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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024074489
(43)【公開日】2024-05-31
(54)【発明の名称】積層シート
(51)【国際特許分類】
B32B 3/04 20060101AFI20240524BHJP
B32B 27/00 20060101ALI20240524BHJP
B32B 27/36 20060101ALI20240524BHJP
G09F 9/30 20060101ALI20240524BHJP
H01L 21/02 20060101ALI20240524BHJP
【ＦＩ】
B32B3/04
B32B27/00
B32B27/00 101
B32B27/36
G09F9/30 310
H01L21/02 C
【審査請求】未請求
【請求項の数】6
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022185672
(22)【出願日】2022-11-21
(71)【出願人】
【識別番号】000000044
【氏名又は名称】ＡＧＣ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100152984
【弁理士】
【氏名又は名称】伊東 秀明
(74)【代理人】
【識別番号】100168985
【弁理士】
【氏名又は名称】蜂谷 浩久
(74)【代理人】
【識別番号】100148080
【弁理士】
【氏名又は名称】三橋 史生
(74)【代理人】
【識別番号】100149401
【弁理士】
【氏名又は名称】上西 浩史
(72)【発明者】
【氏名】高田 晃右
【テーマコード（参考）】
4F100
5C094
【Ｆターム（参考）】
4F100AG00
4F100AK42A
4F100AK42C
4F100AK52B
4F100BA03
4F100DB01C
4F100EJ30
4F100GB41
4F100JL14
5C094AA43
5C094BA27
5C094BA43
5C094EB01
(57)【要約】
【課題】不要部を剥離する際及びハンドリング時での剥離欠点を抑制できる積層シートを提供する。
【解決手段】積層シートは第１の樹脂基板と中間層は形状及び大きさが同じであり、かつ積層されて積層部を構成し、第１の樹脂基板は第１の樹脂基板の表面の法線方向から見た外形が四角形である。第２の樹脂基板は積層部よりも面積が大きく、第１の樹脂基板の第１の辺と第２の辺が直交して交わる頂点を含む角部において第１の辺、頂点及び第２の辺の外縁から張り出す張出部を有する。張出部は第１の辺から第１の辺と直交する第１の方向に張出部が張り出す長さが５～２０ｍｍ、張出部と第１の辺との交点から第１の辺と平行な方向における張出部の長さが１０～４０ｍｍ、第２の辺から第２の辺と直交する第２の方向に張出部が張り出す長さが５～２０ｍｍ、張出部と第２の辺との交点から第２の辺と平行な方向における張出部の長さが１０～４０ｍｍである。
【選択図】図１
【解決手段】積層シートは第１の樹脂基板と中間層は形状及び大きさが同じであり、かつ積層されて積層部を構成し、第１の樹脂基板は第１の樹脂基板の表面の法線方向から見た外形が四角形である。第２の樹脂基板は積層部よりも面積が大きく、第１の樹脂基板の第１の辺と第２の辺が直交して交わる頂点を含む角部において第１の辺、頂点及び第２の辺の外縁から張り出す張出部を有する。張出部は第１の辺から第１の辺と直交する第１の方向に張出部が張り出す長さが５～２０ｍｍ、張出部と第１の辺との交点から第１の辺と平行な方向における張出部の長さが１０～４０ｍｍ、第２の辺から第２の辺と直交する第２の方向に張出部が張り出す長さが５～２０ｍｍ、張出部と第２の辺との交点から第２の辺と平行な方向における張出部の長さが１０～４０ｍｍである。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１の樹脂基板と中間層と第２の樹脂基板とが、この順で積層された積層シートであって、
前記第１の樹脂基板と前記中間層とは形状及び大きさが同じであり、かつ積層されて積層部を構成し、前記第１の樹脂基板は、前記第１の樹脂基板の表面の法線方向から見た外形が四角形であり、
前記第２の樹脂基板は、前記第１の樹脂基板及び前記中間層よりも面積が大きく、かつ前記第１の樹脂基板の前記表面の前記法線方向から見た場合、前記第１の樹脂基板の第１の辺と第２の辺とが直交して交わる頂点を含む角部において、前記第１の辺、前記頂点及び前記第２の辺の外縁から張り出す張出部を有し、
前記張出部は、前記第１の辺から前記第１の辺と直交する第１の方向に前記張出部が張り出す長さが５ｍｍ以上２０ｍｍ以下、前記張出部と前記第１の辺との交点から前記第１の辺と平行な方向における前記張出部の長さが１０ｍｍ以上４０ｍｍ以下、前記第２の辺から前記第２の辺と直交する第２の方向に前記張出部が張り出す長さが５ｍｍ以上２０ｍｍ以下、前記張出部と前記第２の辺との交点から前記第２の辺と平行な方向における前記張出部の長さが１０ｍｍ以上４０ｍｍ以下である、積層シート。
前記第１の樹脂基板と前記中間層とは形状及び大きさが同じであり、かつ積層されて積層部を構成し、前記第１の樹脂基板は、前記第１の樹脂基板の表面の法線方向から見た外形が四角形であり、
前記第２の樹脂基板は、前記第１の樹脂基板及び前記中間層よりも面積が大きく、かつ前記第１の樹脂基板の前記表面の前記法線方向から見た場合、前記第１の樹脂基板の第１の辺と第２の辺とが直交して交わる頂点を含む角部において、前記第１の辺、前記頂点及び前記第２の辺の外縁から張り出す張出部を有し、
前記張出部は、前記第１の辺から前記第１の辺と直交する第１の方向に前記張出部が張り出す長さが５ｍｍ以上２０ｍｍ以下、前記張出部と前記第１の辺との交点から前記第１の辺と平行な方向における前記張出部の長さが１０ｍｍ以上４０ｍｍ以下、前記第２の辺から前記第２の辺と直交する第２の方向に前記張出部が張り出す長さが５ｍｍ以上２０ｍｍ以下、前記張出部と前記第２の辺との交点から前記第２の辺と平行な方向における前記張出部の長さが１０ｍｍ以上４０ｍｍ以下である、積層シート。
【請求項2】
前記第２の樹脂基板の前記張出部上に、前記積層部と分離して配置され、前記中間層とは別の中間層及び前記第１の樹脂基板とは別の第１の樹脂基板とが、この順で積層されている、請求項１に記載の積層シート。
【請求項3】
前記張出部は、前記第１の樹脂基板の前記表面の前記法線方向から見た外形は、輪郭が直線及び曲線のうち、少なくとも１つで構成されている、請求項１又は２に記載の積層シート。
【請求項4】
前記張出部は、前記第１の樹脂基板の前記表面の前記法線方向から見た外形が、多角形、扇形、又は楕円扇形である、請求項１又は２に記載の積層シート。
【請求項5】
前記中間層は、シリコーン樹脂層である、請求項１又は２に記載の積層シート。
【請求項6】
前記第１の樹脂基板及び前記第２の樹脂基板は、ポリエチレンテレフタレート基板である、請求項１又は２に記載の積層シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、積層シートに関する。
【背景技術】
【0002】
太陽電池；液晶パネル（ＬＣＤ）；有機ＥＬパネル（ＯＬＥＤ）；電磁波、Ｘ線、紫外線、可視光線、赤外線等を感知する受信センサーパネル；等の電子デバイスを製造する際に、ポリイミド樹脂層が基板として用いられる。ポリイミド樹脂層は、ガラス基板上に設けられた積層体の状態で用いられ、積層体が電子デバイスの製造に提供されている。
ポリイミド樹脂層を有する積層体は、例えば、ガラス基板上に、シリコーン樹脂層等の吸着層が設けられ、この吸着層上にポリイミド樹脂層が形成されている。
ポリイミド樹脂層を有する積層体を形成する場合、ガラス基板上のシリコーン樹脂層等の吸着層上に保護フィルムが設けられている。
ポリイミド樹脂層を有する積層体の製造には、例えば、離型フィルムと吸着層と保護フィルムとの積層体が用いられる。この積層体において、離型フィルムと吸着層とを切断した後、不要部を取り除いた後、保護フィルムを剥離して、吸着層をガラス基板に貼合して、吸着層をガラス基板上に設ける。ガラス基板上に吸着層がある状態で、上述のように吸着層上にポリイミド樹脂層が形成される。
ポリイミド樹脂層を有する積層体は、例えば、ガラス基板上に、シリコーン樹脂層等の吸着層が設けられ、この吸着層上にポリイミド樹脂層が形成されている。
ポリイミド樹脂層を有する積層体を形成する場合、ガラス基板上のシリコーン樹脂層等の吸着層上に保護フィルムが設けられている。
ポリイミド樹脂層を有する積層体の製造には、例えば、離型フィルムと吸着層と保護フィルムとの積層体が用いられる。この積層体において、離型フィルムと吸着層とを切断した後、不要部を取り除いた後、保護フィルムを剥離して、吸着層をガラス基板に貼合して、吸着層をガラス基板上に設ける。ガラス基板上に吸着層がある状態で、上述のように吸着層上にポリイミド樹脂層が形成される。
【0003】
上述の積層体の保護フィルムの剥離について提案されている（特許文献１）。より具体的には、特許文献１では、粘着剤層と、粘着剤層の一方の面に貼着され、少なくとも第１の剥離剤層を有する第１の剥離シートと、粘着剤層の他方の面に貼着され、少なくとも第２の剥離剤層を有する第２の剥離シートとを有し、第１の剥離剤層が主としてオレフィン系樹脂で構成され、第２の剥離剤層が主としてジエン系高分子材料で構成されたものであり、第１の剥離シートの粘着剤層に対する剥離力をＸ［ｍＮ／２０ｍｍ］、第２の剥離シートの粘着剤層に対する剥離力をＹ［ｍＮ／２０ｍｍ］としたとき、Ｙ－Ｘ≧５０の関係を満足し、粘着剤層、第１の剥離剤層及び第２の剥離剤層が、実質的にシリコーン化合物及びハロゲン化合物を含まない電子部品用両面粘着シートが開示されている。特許文献１では、第１の剥離シート、粘着剤層及び第２の剥離シートは同じ大きさである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】国際公開第２００９／０４７９８４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
特許文献１では、第１の剥離シートを剥離した後、粘着剤層の第１の剥離シートを剥離した面を被着体に粘着する。その後、さらに第２の剥離シートを粘着剤層から剥離して、被着体を他の被着体に粘着する。上述のように第１の剥離シート、粘着剤層及び第２の剥離シートは同じ大きさである。このため、第１の剥離シートを剥離した際に、剥離終端部にある粘着剤層において、凝集破壊等の剥離欠点が発生しやすく、その改善が必要であった。また、ハンドリング時の際にも、各層の界面で剥離等の剥離欠陥が発生しないことが望まれている。
本発明は、不要部を剥離する際、及びハンドリング時での剥離欠点を抑制できる積層シートを提供することを目的とする。
本発明は、不要部を剥離する際、及びハンドリング時での剥離欠点を抑制できる積層シートを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明者らは、鋭意検討した結果、以下の構成により上述の課題を解決できることを見出した。
（１）第１の樹脂基板と中間層と第２の樹脂基板とが、この順で積層された積層シートであって、第１の樹脂基板と中間層とは形状及び大きさが同じであり、かつ積層されて積層部を構成し、第１の樹脂基板は、第１の樹脂基板の表面の法線方向から見た外形が四角形であり、第２の樹脂基板は、第１の樹脂基板及び中間層よりも面積が大きく、かつ第１の樹脂基板の表面の法線方向から見た場合、第１の樹脂基板の第１の辺と第２の辺とが直交して交わる頂点を含む角部において、第１の辺、頂点及び第２の辺の外縁から張り出す張出部を有し、張出部は、第１の辺から第１の辺と直交する第１の方向に張出部が張り出す長さが５ｍｍ以上２０ｍｍ以下、張出部と第１の辺との交点から第１の辺と平行な方向における張出部の長さが１０ｍｍ以上４０ｍｍ以下、第２の辺から第２の辺と直交する第２の方向に張出部が張り出す長さが５ｍｍ以上２０ｍｍ以下、張出部と第２の辺との交点から第２の辺と平行な方向における張出部の長さが１０ｍｍ以上４０ｍｍ以下である、積層シート。
（２）第２の樹脂基板の張出部上に、積層部と分離して配置され、中間層とは別の中間層及び第１の樹脂基板とは別の第１の樹脂基板とが、この順で積層されている、（１）に記載の積層シート。
（１）第１の樹脂基板と中間層と第２の樹脂基板とが、この順で積層された積層シートであって、第１の樹脂基板と中間層とは形状及び大きさが同じであり、かつ積層されて積層部を構成し、第１の樹脂基板は、第１の樹脂基板の表面の法線方向から見た外形が四角形であり、第２の樹脂基板は、第１の樹脂基板及び中間層よりも面積が大きく、かつ第１の樹脂基板の表面の法線方向から見た場合、第１の樹脂基板の第１の辺と第２の辺とが直交して交わる頂点を含む角部において、第１の辺、頂点及び第２の辺の外縁から張り出す張出部を有し、張出部は、第１の辺から第１の辺と直交する第１の方向に張出部が張り出す長さが５ｍｍ以上２０ｍｍ以下、張出部と第１の辺との交点から第１の辺と平行な方向における張出部の長さが１０ｍｍ以上４０ｍｍ以下、第２の辺から第２の辺と直交する第２の方向に張出部が張り出す長さが５ｍｍ以上２０ｍｍ以下、張出部と第２の辺との交点から第２の辺と平行な方向における張出部の長さが１０ｍｍ以上４０ｍｍ以下である、積層シート。
（２）第２の樹脂基板の張出部上に、積層部と分離して配置され、中間層とは別の中間層及び第１の樹脂基板とは別の第１の樹脂基板とが、この順で積層されている、（１）に記載の積層シート。
【0007】
（３）張出部は、第１の樹脂基板の表面の法線方向から見た外形は、輪郭が直線及び曲線のうち、少なくとも１つで構成されている、（１）又は（２）に記載の積層シート。
（４）張出部は、第１の樹脂基板の表面の法線方向から見た外形が、多角形、扇形、又は楕円扇形である、（１）～（３）のいずれか１つに記載の積層シート。
（５）中間層は、シリコーン樹脂層である、（１）～（４）のいずれか１つに記載の積層シート。
（６）第１の樹脂基板及び第２の樹脂基板は、ポリエチレンテレフタレート基板である、（１）～（５）のいずれか１つに記載の積層シート。
（４）張出部は、第１の樹脂基板の表面の法線方向から見た外形が、多角形、扇形、又は楕円扇形である、（１）～（３）のいずれか１つに記載の積層シート。
（５）中間層は、シリコーン樹脂層である、（１）～（４）のいずれか１つに記載の積層シート。
（６）第１の樹脂基板及び第２の樹脂基板は、ポリエチレンテレフタレート基板である、（１）～（５）のいずれか１つに記載の積層シート。
【発明の効果】
【0008】
本発明によれば、不要部を剥離する際、及びハンドリング時での剥離欠点を抑制した積層シートを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】本発明の実施形態の積層シートの第１の例を示す模式的平面図である。
【図2】本発明の実施形態の積層シートの第１の例を示す模式的断面図である。
【図3】本発明の実施形態の積層シートの第２の例を示す模式的平面図である。
【図4】本発明の実施形態の積層シートの第２の例を示す模式的断面図である。
【図5】本発明の実施形態の積層シートの第３の例を示す模式的平面図である。
【図6】本発明の実施形態の積層シートの第４の例を示す模式的平面図である。
【図7】本発明の実施形態の積層シートの第１の例の剥離方法を示す模式的平面図である。
【図8】本発明の実施形態の積層シートの第１の例の剥離方法を示す模式的断面図である。
【図9】本発明の実施形態の積層シートの第１の例の第２の樹脂基板を剥離した後にガラス基板に貼合した状態を示す模式的断面図である。
【図10】従来の積層シートの第２の樹脂基板の剥離方法を示す模式的平面図である。
【図11】従来の積層シートの第２の樹脂基板の剥離方法を示す模式的平面図である。
【図12】積層シートの他の例の製造方法の一例を工程順に示す模式的平面図である。
【図13】積層シートの他の例の製造方法の一例を工程順に示す模式的断面図である。
【図14】積層シートの他の例の製造方法の一例を工程順に示す模式的断面図である。
【図15】積層シートの他の例の製造方法の他の例を工程順に示す模式的断面図である。
【図16】積層シートの他の例の製造方法の他の例を工程順に示す模式的断面図である。
【図17】積層シートの他の例の第２の樹脂基板の剥離方法を示す模式的断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。ただし、以下の実施形態は本発明を説明するための例示的なものであり、本発明は以下に示す実施形態に制限されることはない。なお、本発明の範囲を逸脱することなく、以下の実施形態に種々の変形及び置換を加えることができる。
以下において、「～」を用いて表される数値範囲は、「～」の前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む範囲を意味する。
また、以下において、「直交」及び「平行」は、特に記載がなければ、一般的に許容される誤差範囲を含む。
以下において、「～」を用いて表される数値範囲は、「～」の前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む範囲を意味する。
また、以下において、「直交」及び「平行」は、特に記載がなければ、一般的に許容される誤差範囲を含む。
【0011】
本発明の積層シートの特徴点としては、第１の樹脂基板と中間層と第２の樹脂基板とが、この順で積層された積層シートであって、第１の樹脂基板と中間層とは形状及び大きさが同じであり、かつ積層されて積層部を構成し、第１の樹脂基板は、第１の樹脂基板の表面の法線方向から見た外形が四角形であり、第２の樹脂基板は、第１の樹脂基板及び中間層よりも面積が大きく、かつ第１の樹脂基板の表面の法線方向から見た場合、第１の樹脂基板の第１の辺と第２の辺とが直交して交わる頂点を含む角部において、第１の辺、頂点及び第２の辺の外縁から張り出す張出部を有し、張出部は、第１の辺から第１の辺と直交する第１の方向に張出部が張り出す長さが５ｍｍ以上２０ｍｍ以下、張出部と第１の辺との交点から第１の辺と平行な方向における張出部の長さが１０ｍｍ以上４０ｍｍ以下、第２の辺から第２の辺と直交する第２の方向に張出部が張り出す長さが５ｍｍ以上２０ｍｍ以下、張出部と第２の辺との交点から第２の辺と平行な方向における張出部の長さが１０ｍｍ以上４０ｍｍ以下であることにより、不要部として、第２の樹脂基板を剥離する際に、剥離欠点を抑制できることを知見している。これにより、所望の効果が得られる。
【0012】
＜積層シートの第１の例＞
図１は本発明の実施形態の積層シートの第１の例を示す模式的平面図であり、図２は本発明の実施形態の積層シートの第１の例を示す模式的断面図である。図２は図１のＡ－Ａ線による模式的断面図である。図１は、第１の樹脂基板１２の表面１２ａの法線方向から見た模式的平面図である。
図１に示す第１の例の積層シート１０は、図２に示すように第１の樹脂基板１２と、中間層１４と、第２の樹脂基板１６とをこの順に積層されたものである。
積層シート１０は、第２の樹脂基板１６の表面１６ａに中間層１４が配置され、中間層１４の表面１４ａに第１の樹脂基板１２が配置されている。
第１の樹脂基板１２と中間層１４とは形状及び大きさが同じであり、かつ積層されて積層部１５を構成する。
図１は本発明の実施形態の積層シートの第１の例を示す模式的平面図であり、図２は本発明の実施形態の積層シートの第１の例を示す模式的断面図である。図２は図１のＡ－Ａ線による模式的断面図である。図１は、第１の樹脂基板１２の表面１２ａの法線方向から見た模式的平面図である。
図１に示す第１の例の積層シート１０は、図２に示すように第１の樹脂基板１２と、中間層１４と、第２の樹脂基板１６とをこの順に積層されたものである。
積層シート１０は、第２の樹脂基板１６の表面１６ａに中間層１４が配置され、中間層１４の表面１４ａに第１の樹脂基板１２が配置されている。
第１の樹脂基板１２と中間層１４とは形状及び大きさが同じであり、かつ積層されて積層部１５を構成する。
【0013】
第１の樹脂基板１２は、図１に示すように、第１の樹脂基板１２の表面１２ａの法線方向から見た外形が四角形である。
第２の樹脂基板１６は、第１の樹脂基板１２及び中間層１４よりも面積が大きい。かつ第２の樹脂基板１６は、第１の樹脂基板１２の表面１２ａの法線方向から見た場合、第１の樹脂基板１２の第１の辺１３ａと第２の辺１３ｂとが直交して交わる頂点１３ｅを含む角部１２ｅにおいて、第１の辺１３ａ、頂点１３ｅ及び第２の辺１３ｂの外縁から張り出す張出部１８を有する。すなわち、第２の樹脂基板１６は、積層部１５よりも面積が大きい。
第２の樹脂基板１６は、第１の樹脂基板１２及び中間層１４よりも面積が大きい。かつ第２の樹脂基板１６は、第１の樹脂基板１２の表面１２ａの法線方向から見た場合、第１の樹脂基板１２の第１の辺１３ａと第２の辺１３ｂとが直交して交わる頂点１３ｅを含む角部１２ｅにおいて、第１の辺１３ａ、頂点１３ｅ及び第２の辺１３ｂの外縁から張り出す張出部１８を有する。すなわち、第２の樹脂基板１６は、積層部１５よりも面積が大きい。
【0014】
積層シート１０では、図１に示すように第１の樹脂基板１２は、第１の辺１３ａ、第２の辺１３ｂ、第３の辺１３ｃ及び第４の辺１３ｄを有する。第１の辺１３ａと第３の辺１３ｃとは同じ長さであり、かつ平行である。第２の辺１３ｂと第４の辺１３ｄとは同じ長さであり、かつ平行である。第１の辺１３ａと第２の辺１３ｂとは直交している。また、第３の辺１３ｃと第４の辺１３ｄとは直交している。
図１に示す積層部１５では、第１の辺１３ａ及び第３の辺１２ｃの長さＬ１は、第２の辺１３ｂ及び第４の辺１３ｄの長さＬ２よりも短い。
なお、積層部１５において、第１の辺１３ａ及び第３の辺１２ｃの長さＬ１は、第２の辺１３ｂ及び第４の辺１３ｄの長さＬ２よりも長くてもよく、また、第１の辺１３ａ及び第３の辺１３ｃの長さＬ１と、第２の辺１３ｂ及び第４の辺１３ｄの長さＬ２とは同じでもよい。第１の辺１３ａ及び第３の辺１３ｃの長さＬ１と、第２の辺１３ｂ及び第４の辺１３ｄの長さＬ２とが同じ場合、第１の樹脂基板１２の表面１２ａの法線方向から見た外形が正方形である。
図１に示す積層部１５では、第１の辺１３ａ及び第３の辺１２ｃの長さＬ１は、第２の辺１３ｂ及び第４の辺１３ｄの長さＬ２よりも短い。
なお、積層部１５において、第１の辺１３ａ及び第３の辺１２ｃの長さＬ１は、第２の辺１３ｂ及び第４の辺１３ｄの長さＬ２よりも長くてもよく、また、第１の辺１３ａ及び第３の辺１３ｃの長さＬ１と、第２の辺１３ｂ及び第４の辺１３ｄの長さＬ２とは同じでもよい。第１の辺１３ａ及び第３の辺１３ｃの長さＬ１と、第２の辺１３ｂ及び第４の辺１３ｄの長さＬ２とが同じ場合、第１の樹脂基板１２の表面１２ａの法線方向から見た外形が正方形である。
【0015】
積層シート１０は、図２に示すように第２の樹脂基板１６の張出部１８の表面１８ａ上は何もない構成である。
張出部１８は、第１の樹脂基板１２の表面１２ａの法線方向から見た外形が、例えば、図１に示すように２つの四角形が結合した形状である。張出部１８は、第１の樹脂基板１２の表面１２ａの法線方向から見た外形が図１に示すようにＬ字形状である。
張出部１８は、第１の樹脂基板１２の表面１２ａの法線方向から見た外形が、例えば、図１に示すように２つの四角形が結合した形状である。張出部１８は、第１の樹脂基板１２の表面１２ａの法線方向から見た外形が図１に示すようにＬ字形状である。
【0016】
張出部１８は、第１の辺１３ａから第１の辺１３ａと直交する第１の方向Ｄ１に張出部１８が張り出す長さｄ１が５ｍｍ以上２０ｍｍ以下、張出部１８と第１の辺１３ａとの交点Ｍ１から第１の辺１３ａと平行な方向における張出部１８の長さｄ２が１０ｍｍ以上４０ｍｍ以下である。第２の辺１３ｂから第２の辺１３ｂと直交する第２の方向Ｄ２に張出部１８が張り出す長さｄ３が５ｍｍ以上２０ｍｍ以下、張出部１８と第２の辺１３ｂとの交点Ｍ２から第２の辺１３ｂと平行な方向における張出部１８の長さｄ４が１０ｍｍ以上４０ｍｍ以下である。
なお、第１の辺１３ａと平行な方向は第２の方向Ｄ２であり、第２の辺１３ｂと平行な方向は第１の方向Ｄ１である。
張出部１８が張り出す長さｄ１及び張出部１８が張り出す長さｄ３は、５ｍｍ～１０ｍｍが好ましい。
第１の辺１３ａと平行な方向における張出部１８の長さｄ２及び第２の辺１３ｂと平行な方向における張出部１８の長さｄ４は、２０ｍｍ～３０ｍｍが好ましい。
上述の張出部１８が張り出す長さｄ１、第１の辺１３ａと平行な方向における張出部１８の長さｄ２、張出部１８が張り出す長さｄ３及び第２の辺１３ｂと平行な方向における張出部１８の長さｄ４は、それぞれ張出部１８が張り出す長さｄ１、第１の辺１３ａと平行な方向における張出部１８の長さｄ２、張出部１８が張り出す長さｄ３及び第２の辺１３ｂと平行な方向における張出部１８の長さｄ４に相当する距離の任意の１０箇所の距離の平均値である。
なお、第１の辺１３ａと平行な方向は第２の方向Ｄ２であり、第２の辺１３ｂと平行な方向は第１の方向Ｄ１である。
張出部１８が張り出す長さｄ１及び張出部１８が張り出す長さｄ３は、５ｍｍ～１０ｍｍが好ましい。
第１の辺１３ａと平行な方向における張出部１８の長さｄ２及び第２の辺１３ｂと平行な方向における張出部１８の長さｄ４は、２０ｍｍ～３０ｍｍが好ましい。
上述の張出部１８が張り出す長さｄ１、第１の辺１３ａと平行な方向における張出部１８の長さｄ２、張出部１８が張り出す長さｄ３及び第２の辺１３ｂと平行な方向における張出部１８の長さｄ４は、それぞれ張出部１８が張り出す長さｄ１、第１の辺１３ａと平行な方向における張出部１８の長さｄ２、張出部１８が張り出す長さｄ３及び第２の辺１３ｂと平行な方向における張出部１８の長さｄ４に相当する距離の任意の１０箇所の距離の平均値である。
【0017】
張出部１８は、張出部１８が張り出す長さｄ１、第１の辺１３ａと平行な方向における張出部１８の長さｄ２、張出部１８が張り出す長さｄ３及び第２の辺１３ｂと平行な方向における張出部１８の長さｄ４が上述の範囲にあれば、その形状は特に限定されるものではないが、加工しやすい形状等の加工性を考慮することが好ましい。
張出部１８は、第１の樹脂基板１２の表面１２ａの法線方向から見た外形は、輪郭を直線及び曲線のうち、少なくとも１つで構成することができる。なお、輪郭を構成する直線及び曲線の数は、特に限定されるものではなく、１つでもよく、複数でもよい。
また、張出部１８は、第１の樹脂基板１２の表面１２ａの法線方向から見た外形が、例えば、多角形、扇形、又は楕円扇形である。
張出部１８は、第１の樹脂基板１２の表面１２ａの法線方向から見た外形は、輪郭を直線及び曲線のうち、少なくとも１つで構成することができる。なお、輪郭を構成する直線及び曲線の数は、特に限定されるものではなく、１つでもよく、複数でもよい。
また、張出部１８は、第１の樹脂基板１２の表面１２ａの法線方向から見た外形が、例えば、多角形、扇形、又は楕円扇形である。
【0018】
張出部１８は、上述の張出部１８が張り出す長さｄ１、第１の辺１３ａと平行な方向における張出部１８の長さｄ２、張出部１８が張り出す長さｄ３及び第２の辺１３ｂと平行な方向における張出部１８の長さｄ４が、それぞれ上述の範囲を満たすことにより、凝集破壊等の剥離欠点の発生が抑制され、かつ積層シートを搬送等のハンドリングの際に、積層シートの剥離が抑制される。
なお、上述の張出部１８が張り出す長さｄ１、第１の辺１３ａと平行な方向における張出部１８の長さｄ２、張出部１８が張り出す長さｄ３及び第２の辺１３ｂと平行な方向における張出部１８の長さｄ４が、それぞれ上限値を越えた場合、積層シートの搬送等のハンドリングの際に意図せず積層シートが剥離され、その結果、凝集破壊等の剥離欠点が発生する。
また、上述の張出部１８が張り出す長さｄ１、第１の辺１３ａと平行な方向における張出部１８の長さｄ２、張出部１８が張り出す長さｄ３及び第２の辺１３ｂと平行な方向における張出部１８の長さｄ４が、それぞれ下限値未満の場合、凝集破壊等の剥離欠点が発生する。
なお、上述の張出部１８が張り出す長さｄ１、第１の辺１３ａと平行な方向における張出部１８の長さｄ２、張出部１８が張り出す長さｄ３及び第２の辺１３ｂと平行な方向における張出部１８の長さｄ４が、それぞれ上限値を越えた場合、積層シートの搬送等のハンドリングの際に意図せず積層シートが剥離され、その結果、凝集破壊等の剥離欠点が発生する。
また、上述の張出部１８が張り出す長さｄ１、第１の辺１３ａと平行な方向における張出部１８の長さｄ２、張出部１８が張り出す長さｄ３及び第２の辺１３ｂと平行な方向における張出部１８の長さｄ４が、それぞれ下限値未満の場合、凝集破壊等の剥離欠点が発生する。
【0019】
積層シート１０は、第２の樹脂基板１６に上述の張出部１８を設けることにより、第２の樹脂基板１６を、例えば、張出部１８がある角部１２ｅの対角の位置にある角部１２ｅから、張出部１８がある角部１２ｅに向う方向Ｄｐに剥離した場合、張出部１８がある角部１２ｅが剥離終端部とはならない。このため、凝集破壊等の剥離欠点が、張出部１８がある角部１２ｅで発生することが抑制される。
凝集破壊により、中間層１４が脱落するが、脱落した中間層１４は工程内汚染に繋がるが、このようなことも抑制される。すなわち、工程内汚染も抑制できる。
凝集破壊により、中間層１４が脱落するが、脱落した中間層１４は工程内汚染に繋がるが、このようなことも抑制される。すなわち、工程内汚染も抑制できる。
【0020】
＜積層シートの第２の例～第４の例＞
図３は本発明の実施形態の積層シートの第２の例を示す模式的平面図であり、図４は本発明の実施形態の積層シートの第２の例を示す模式的断面図である。
図５は本発明の実施形態の積層シートの第３の例を示す模式的平面図である。図６は本発明の実施形態の積層シートの第４の例を示す模式的平面図である。
図３、図５及び図６は、第１の樹脂基板１２の表面１２ａの法線方向から見た模式的平面図である。図４は図３のＢ－Ｂ線による模式的断面図である。
なお、図３～図６において、図１及び図２に示す積層シート１０と同一構成物には、同一符号付して、その詳細な説明は省略する。
図３は本発明の実施形態の積層シートの第２の例を示す模式的平面図であり、図４は本発明の実施形態の積層シートの第２の例を示す模式的断面図である。
図５は本発明の実施形態の積層シートの第３の例を示す模式的平面図である。図６は本発明の実施形態の積層シートの第４の例を示す模式的平面図である。
図３、図５及び図６は、第１の樹脂基板１２の表面１２ａの法線方向から見た模式的平面図である。図４は図３のＢ－Ｂ線による模式的断面図である。
なお、図３～図６において、図１及び図２に示す積層シート１０と同一構成物には、同一符号付して、その詳細な説明は省略する。
【0021】
図３に示す第２の例の積層シート１１は、図１及び図２に示す積層シート１０に比して、図４に示すように第２の樹脂基板１６の張出部１８の表面１８ａ上に、積層部１５と分離して配置され、中間層１４とは別の中間層１９ａ及び第１の樹脂基板１２とは別の第１の樹脂基板１９ｂとが、この順で積層されていることが異なり、それ以外の構成は、図１及び図２に示す積層シート１０と同様の構成である。別の中間層１９ａ及び別の第１の樹脂基板１９ｂで積層体１９が構成される。
【0022】
図３に示す積層シート１１では、積層部１５と積層体１９とが切込み線１７で分離されている。すなわち、別の中間層１９ａ及び別の第１の樹脂基板１９ｂは、切込み線１７により、積層部１５と分離されている。
切込み線１７は、図４に示すように第１の樹脂基板１２と中間層１４とを貫通し、かつ第２の樹脂基板１６の厚み方向の途中まで達する。切込み線１７は、第１の樹脂基板１２と中間層１４とに対してはフルカットであり、第２の樹脂基板１６に対してハーフカットである。
別の中間層１９ａは、切込み線１７により上述の中間層１４と分離されているため、中間層１４と同じであってもよいが、上述の中間層１４と異なるものであってもよい。また、別の第１の樹脂基板１９ｂは、切込み線１７により上述の第１の樹脂基板１２と分離されているため、第１の樹脂基板１２と同じであってもよいが、上述の第１の樹脂基板１２と異なるものであってもよい。
積層シート１１では、第２の樹脂基板１６を剥離する場合、第２の樹脂基板１６を剥離する前に、張出部１８の表面１８ａ上の積層体１９を剥離する。積層体１９を剥離すると、図１及び図２に示す積層シート１０の状態になる。積層体１９を剥離した後に、図１及び図２に示す積層シート１０と同様に第２の樹脂基板１６を剥離する。
積層シート１１では、図１及び図２に示す積層シート１０と同様に、凝集破壊等の剥離欠点が発生することが抑制され、工程内汚染も抑制できる。
切込み線１７は、図４に示すように第１の樹脂基板１２と中間層１４とを貫通し、かつ第２の樹脂基板１６の厚み方向の途中まで達する。切込み線１７は、第１の樹脂基板１２と中間層１４とに対してはフルカットであり、第２の樹脂基板１６に対してハーフカットである。
別の中間層１９ａは、切込み線１７により上述の中間層１４と分離されているため、中間層１４と同じであってもよいが、上述の中間層１４と異なるものであってもよい。また、別の第１の樹脂基板１９ｂは、切込み線１７により上述の第１の樹脂基板１２と分離されているため、第１の樹脂基板１２と同じであってもよいが、上述の第１の樹脂基板１２と異なるものであってもよい。
積層シート１１では、第２の樹脂基板１６を剥離する場合、第２の樹脂基板１６を剥離する前に、張出部１８の表面１８ａ上の積層体１９を剥離する。積層体１９を剥離すると、図１及び図２に示す積層シート１０の状態になる。積層体１９を剥離した後に、図１及び図２に示す積層シート１０と同様に第２の樹脂基板１６を剥離する。
積層シート１１では、図１及び図２に示す積層シート１０と同様に、凝集破壊等の剥離欠点が発生することが抑制され、工程内汚染も抑制できる。
【0023】
図５に示す第３の例の積層シート１１ａは、図１及び図２に示す積層シート１０に比して、第２の樹脂基板１６の張出部１８の第１の樹脂基板１２の表面１２ａの法線方向から見た外形が扇形であることが異なり、それ以外の構成は、図１及び図２に示す積層シート１０と同様の構成である。
張出部１８は、上述の外形が第１の樹脂基板１２の頂点１３ｅを中心とした半径ｒの扇形である。張出部１８は、第１の辺１３ａと第２の辺１３ｂとが直交して交わる頂点１３ｅを含む角部１２ｅを囲んでいる。扇形の中心を通る最大の長さｄ５は半径ｒの２倍である。積層シート１１ａでは、最大の長さｄ５が１０ｍｍ以上４０ｍｍ以下である。
半径ｒが上述の第１の方向Ｄ１に張出部１８が張り出す長さｄ１、及び上述の第２の方向Ｄ２に張出部１８が張り出す長さｄ３に相当する。
張出部１８の最大の長さｄ５が、上述の第１の辺１３ａと平行な方向における張出部１８の長さｄ２、及び上述の第２の辺１３ｂと平行な方向における張出部１８の長さｄ４に相当する。
なお、張出部１８の最大の長さｄ５が、１０ｍｍ以上４０ｍｍ以下であるため、半径ｒは５ｍｍ以上２０ｍｍ以下となる。
積層シート１１ａでは、張出部１８の外形が扇形であるが、楕円扇形でもよい。
張出部１８は、上述の外形が第１の樹脂基板１２の頂点１３ｅを中心とした半径ｒの扇形である。張出部１８は、第１の辺１３ａと第２の辺１３ｂとが直交して交わる頂点１３ｅを含む角部１２ｅを囲んでいる。扇形の中心を通る最大の長さｄ５は半径ｒの２倍である。積層シート１１ａでは、最大の長さｄ５が１０ｍｍ以上４０ｍｍ以下である。
半径ｒが上述の第１の方向Ｄ１に張出部１８が張り出す長さｄ１、及び上述の第２の方向Ｄ２に張出部１８が張り出す長さｄ３に相当する。
張出部１８の最大の長さｄ５が、上述の第１の辺１３ａと平行な方向における張出部１８の長さｄ２、及び上述の第２の辺１３ｂと平行な方向における張出部１８の長さｄ４に相当する。
なお、張出部１８の最大の長さｄ５が、１０ｍｍ以上４０ｍｍ以下であるため、半径ｒは５ｍｍ以上２０ｍｍ以下となる。
積層シート１１ａでは、張出部１８の外形が扇形であるが、楕円扇形でもよい。
【0024】
図６に示す第４の例の積層シート１１ｂは、図１及び図２に示す積層シート１０に比して、第２の樹脂基板１６の張出部１８の第１の樹脂基板１２の表面１２ａの法線方向から見た外形が異なり、それ以外の構成は、図１及び図２に示す積層シート１０と同様の構成である。
積層シート１１ｂの張出部１８の外形は、輪郭が第１の辺１３ａから延びた円弧状の曲線２０ａと、この曲線２０ａに接続され第１の辺１３ａに平行な直線２０ｂと、第２の辺１３ｂから延びた円弧状の曲線２０ｃと、この曲線２０ｃに接続され第２の辺１３ｂに平行な直線２０ｄとを有し、第１の辺１３ａに平行な直線２０ｂと、第１の辺１３ａに平行な直線２０ｄとが接続されて構成されている。円弧状の曲線２０ａと円弧状の曲線２０ｃとは同じである。また、直線２０ｂと直線２０ｄとは同じ長さである。
第１の方向Ｄ１における第１の辺１３ａと直線２０ｂとの距離が上述の張出部１８が張り出す長さｄ１である。張出部１８の曲線２０ａと第１の辺１３ａとの交点Ｍ１から直線２０ｂと直線２０ｄとの交点２０ｅ迄の、第１の辺１３ａと平行な方向における距離が上述の張出部１８の長さｄ２である。
第２の方向Ｄ２における第２の辺１３ｂと直線２０ｄとの距離が上述の張出部１８が張り出す長さ３である。曲線２０ｃと第２の辺１３ｂとの交点Ｍ２から交点２０ｅ迄の、第２の辺１３ｂと平行な方向における距離が上述の張出部１８の長さｄ４である。
積層シート１１ｂの張出部１８の外形は、輪郭が第１の辺１３ａから延びた円弧状の曲線２０ａと、この曲線２０ａに接続され第１の辺１３ａに平行な直線２０ｂと、第２の辺１３ｂから延びた円弧状の曲線２０ｃと、この曲線２０ｃに接続され第２の辺１３ｂに平行な直線２０ｄとを有し、第１の辺１３ａに平行な直線２０ｂと、第１の辺１３ａに平行な直線２０ｄとが接続されて構成されている。円弧状の曲線２０ａと円弧状の曲線２０ｃとは同じである。また、直線２０ｂと直線２０ｄとは同じ長さである。
第１の方向Ｄ１における第１の辺１３ａと直線２０ｂとの距離が上述の張出部１８が張り出す長さｄ１である。張出部１８の曲線２０ａと第１の辺１３ａとの交点Ｍ１から直線２０ｂと直線２０ｄとの交点２０ｅ迄の、第１の辺１３ａと平行な方向における距離が上述の張出部１８の長さｄ２である。
第２の方向Ｄ２における第２の辺１３ｂと直線２０ｄとの距離が上述の張出部１８が張り出す長さ３である。曲線２０ｃと第２の辺１３ｂとの交点Ｍ２から交点２０ｅ迄の、第２の辺１３ｂと平行な方向における距離が上述の張出部１８の長さｄ４である。
【0025】
図５に示す積層シート１１ａ及び図６に示す第４の例の積層シート１１ｂにおいても、図１及び図２に示す積層シート１０と同様に第２の樹脂基板１６を剥離する。この場合、図１及び図２に示す積層シート１０と同様に、凝集破壊等の剥離欠点が発生することが抑制され、工程内汚染も抑制できる。
また、図５に示す積層シート１１ａ及び図６に示す第４の例の積層シート１１ｂにおいても、図４に示す積層シート１１のように、張出部１８の表面１８ａ上に、中間層１４と第１の樹脂基板１２とが、この順で積層された積層体１９がある構成でもよい。
また、図５に示す積層シート１１ａ及び図６に示す第４の例の積層シート１１ｂにおいても、図４に示す積層シート１１のように、張出部１８の表面１８ａ上に、中間層１４と第１の樹脂基板１２とが、この順で積層された積層体１９がある構成でもよい。
【0026】
＜積層シートの剥離方法＞
図７は本発明の実施形態の積層シートの第１の例の剥離方法を示す模式的平面図であり、図８は本発明の実施形態の積層シートの第１の例の剥離方法を示す模式的断面図である。図８は図７のＣ－Ｃ線による模式的断面図である。
積層シートの剥離方法では、第２の樹脂基板１６を張出部１８の対角の方から張出部１８に向かって剥離する。
図７及び図８に示すように、第１の樹脂基板１２の表面１２ａを吸着テーブル３０の表面３０ａに向けて、積層シート１０を吸着テーブル３０の表面３０ａに載置する。そして、吸着テーブル３０が積層シート１０を吸引して積層シート１０を固定する。
このとき、張出部１８と、吸着テーブル３０との間にマスク３２が設けられている。マスク３２により、張出部１８と吸着テーブル３０との接触が抑制される。
図７は本発明の実施形態の積層シートの第１の例の剥離方法を示す模式的平面図であり、図８は本発明の実施形態の積層シートの第１の例の剥離方法を示す模式的断面図である。図８は図７のＣ－Ｃ線による模式的断面図である。
積層シートの剥離方法では、第２の樹脂基板１６を張出部１８の対角の方から張出部１８に向かって剥離する。
図７及び図８に示すように、第１の樹脂基板１２の表面１２ａを吸着テーブル３０の表面３０ａに向けて、積層シート１０を吸着テーブル３０の表面３０ａに載置する。そして、吸着テーブル３０が積層シート１０を吸引して積層シート１０を固定する。
このとき、張出部１８と、吸着テーブル３０との間にマスク３２が設けられている。マスク３２により、張出部１８と吸着テーブル３０との接触が抑制される。
【0027】
マスク３２は、例えば、粘着テープが用いられる。粘着テープを用いることにより、積層シートの形状に応じた位置にマスクを配置できる。
マスク３２は、上述の粘着テープ以外に、例えば、ＰＥＴフィルムシート等を積層シート１０よりも少し大きいサイズに繰り抜いたものを用いることができる。マスク３２として上述のＰＥＴフィルムシート等を吸着テーブル３０に載置する。
また、マスク３２を設けることなく、例えば、吸着テーブル３０の吸着穴パターンを積層シート１０と同じにしてもよい。また、吸着テーブル３０で積層シート１０を吸着する時に使用する吸着穴を積層シート１０形状に合わせて使い分けてもよい。
マスク３２と積層部１５との距離ｄｍは、０ｍｍより大きく、５ｍｍ以下が好ましく、上限は２ｍｍ以下がより好ましい。
距離ｄｍは、距離ｄｍに相当する任意の１０箇所の距離の平均値である。
なお、距離ｄｍが５ｍｍを超える場合、第２の樹脂基板１６を剥離するときに、積層シート１０全体がずれることがある。また、第２の樹脂基板１６を剥離するときにリークが大きくなり、積層シート１０を十分に吸引固定できなくなることがある。その結果、積層シート１０にカールが付いている場合、又は積層シート１０の剛性が低い場合、積層シート１０に皺又はカールが出現し、ガラス基板への貼合時に不具合が生じる。
マスク３２は、上述の粘着テープ以外に、例えば、ＰＥＴフィルムシート等を積層シート１０よりも少し大きいサイズに繰り抜いたものを用いることができる。マスク３２として上述のＰＥＴフィルムシート等を吸着テーブル３０に載置する。
また、マスク３２を設けることなく、例えば、吸着テーブル３０の吸着穴パターンを積層シート１０と同じにしてもよい。また、吸着テーブル３０で積層シート１０を吸着する時に使用する吸着穴を積層シート１０形状に合わせて使い分けてもよい。
マスク３２と積層部１５との距離ｄｍは、０ｍｍより大きく、５ｍｍ以下が好ましく、上限は２ｍｍ以下がより好ましい。
距離ｄｍは、距離ｄｍに相当する任意の１０箇所の距離の平均値である。
なお、距離ｄｍが５ｍｍを超える場合、第２の樹脂基板１６を剥離するときに、積層シート１０全体がずれることがある。また、第２の樹脂基板１６を剥離するときにリークが大きくなり、積層シート１０を十分に吸引固定できなくなることがある。その結果、積層シート１０にカールが付いている場合、又は積層シート１０の剛性が低い場合、積層シート１０に皺又はカールが出現し、ガラス基板への貼合時に不具合が生じる。
【0028】
マスク３２の厚みｔｍは、例えば、積層部１５の厚みと同じである。このため、第１の樹脂基板１２と中間層１４との、それぞれの厚みにより、マスク３２の厚みｔｍが決定される。
マスク３２の厚みｔｍが厚いと、積層シート１０を吸引するときに、中間層１４と第２の樹脂基板１６との界面で剥離が生じ、剥離欠点が発生する可能性がある。剥離欠点が発生すると、剥がれ部分にパーティクルが付着して貼合欠点につながる。
なお、上述の距離ｄｍ、及びマスク３２の厚みｔｍが適切である場合、第２の樹脂基板１６と中間層１４とが意図せずに剥離することがなく、第２の樹脂基板１６を意図的に剥がすときに、積層シート１０がズレずに剥離できる。このため、剥離欠点がなく、位置決め精度も良く、ガラス基板に貼合できる。
マスク３２の厚みｔｍは、５点以上の任意の位置におけるマスク３２の厚みを接触式膜厚測定装置で測定し、それらを算術平均したものである。
マスク３２の厚みｔｍが厚いと、積層シート１０を吸引するときに、中間層１４と第２の樹脂基板１６との界面で剥離が生じ、剥離欠点が発生する可能性がある。剥離欠点が発生すると、剥がれ部分にパーティクルが付着して貼合欠点につながる。
なお、上述の距離ｄｍ、及びマスク３２の厚みｔｍが適切である場合、第２の樹脂基板１６と中間層１４とが意図せずに剥離することがなく、第２の樹脂基板１６を意図的に剥がすときに、積層シート１０がズレずに剥離できる。このため、剥離欠点がなく、位置決め精度も良く、ガラス基板に貼合できる。
マスク３２の厚みｔｍは、５点以上の任意の位置におけるマスク３２の厚みを接触式膜厚測定装置で測定し、それらを算術平均したものである。
【0029】
次に、張出部１８側の第１の樹脂基板１２の角部１２ｅに対して対角にある角部１２ｅから、張出部１８側の角部１２ｅに向う方向Ｄｐに、第２の樹脂基板１６を剥離する。このとき、張出部１８側の角部１２ｅが剥離終端部なる。この剥離終端部に相当する、中間層１４の裏面１４ｂの領域に凝集破壊等の剥離欠点が発生することがない。中間層１４には剥離欠点がない。
第２の樹脂基板１６を剥離した後、露出した中間層１４の裏面１４ｂを、ガラス基板２２に貼合する。このとき、中間層１４には剥離欠点がないため、ガラス基板２２に貼合した後に、貼合不良が生じない。なお、剥離欠点はガラス貼合した時に貼合不良として視認される。
第２の樹脂基板１６を剥離した後、露出した中間層１４の裏面１４ｂを、ガラス基板２２に貼合する。このとき、中間層１４には剥離欠点がないため、ガラス基板２２に貼合した後に、貼合不良が生じない。なお、剥離欠点はガラス貼合した時に貼合不良として視認される。
【0030】
ここで、図１０及び図１１は、従来の積層シートの第２の樹脂基板の剥離方法を工程順に示す模式的平面図である。
なお、図１０及び図１１において、図１及び図２に示す積層シート１０と同一構成物には、同一符号付して、その詳細な説明は省略する。
図１０に示すように従来の積層シート１００は、張出部１８がない構成であり、外形が四角形である。第１の樹脂基板１２（図示せず）を吸着テーブル３０の表面３０ａに向けて、従来の積層シート１００を吸着テーブル３０の表面３０ａに載置する。そして、吸着テーブル３０が従来の積層シート１００を吸引して従来の積層シート１００を固定する。
この固定された状態で、従来の積層シート１００において、第２の樹脂基板１６を、角部１００ｅから対角の角部１００ｆに向う方向に剥離する。角部１００ｆが剥離終端部である。
剥離後、剥離終端部に相当する中間層１４の裏面１４ｂの角部１４ｅに凝集破壊による剥離欠点１０２が発生する。
剥離欠点１０２が発生した中間層１４を、図９に示すガラス基板２２に貼合した場合、剥離欠点１０２は貼合不良として視認される。
なお、図１０及び図１１において、図１及び図２に示す積層シート１０と同一構成物には、同一符号付して、その詳細な説明は省略する。
図１０に示すように従来の積層シート１００は、張出部１８がない構成であり、外形が四角形である。第１の樹脂基板１２（図示せず）を吸着テーブル３０の表面３０ａに向けて、従来の積層シート１００を吸着テーブル３０の表面３０ａに載置する。そして、吸着テーブル３０が従来の積層シート１００を吸引して従来の積層シート１００を固定する。
この固定された状態で、従来の積層シート１００において、第２の樹脂基板１６を、角部１００ｅから対角の角部１００ｆに向う方向に剥離する。角部１００ｆが剥離終端部である。
剥離後、剥離終端部に相当する中間層１４の裏面１４ｂの角部１４ｅに凝集破壊による剥離欠点１０２が発生する。
剥離欠点１０２が発生した中間層１４を、図９に示すガラス基板２２に貼合した場合、剥離欠点１０２は貼合不良として視認される。
【0031】
（積層シートの他の例）
図１２～図１４は積層シートの他の例の製造方法の一例を工程順に示す模式的平面図である。図１５及び図１６は積層シートの他の例の製造方法の他の例を工程順に示す模式的断面図である。図１７は積層シートの他の例の第２の樹脂基板の剥離方法を示す模式的断面図である。
なお、図１２～図１７において、図１及び図２に示す積層シート１０と同一構成物には、同一符号付して、その詳細な説明は省略する。
図１２及び図１３に示すように、第２の樹脂基板１６、中間層１４及び第１の樹脂基板１２が、この順で積層された積層材４０を用意する。
積層材４０は、例えば、第１の樹脂基板１２の裏面１２ｂに、スピンコート又はダイコートを用いて中間層１４を形成する。次に、第２の樹脂基板１６を中間層１４の裏面１４ｂに貼合する。上述の中間層１４の形成は枚葉式でも、ロールツーロール方式でもよい。
次に、積層材４０の第１の樹脂基板１２側から切込み線１７を、四角形の枠状に形成する。切込み線１７で囲まれた領域４１が製品となり、切込み線１７の外側の領域４２が不要部である。切込み線１７の外側の領域４２は、不要部として取り除かれる。
切込み線１７は、図１３に示すように第１の樹脂基板１２及び中間層１４を貫通しており、第２の樹脂基板１６には達していない。切込み線１７は、第１の樹脂基板１２と中間層１４とに対してはフルカットである。切込み線１７は、例えば、レーザー又は打抜きにより形成できる。
切込み線１７の幅δは、１０ｍｍ以上２０ｍｍ以下が好ましい。切込み線１７の幅δが１０ｍｍ以上２０ｍｍ以下であれば、上述の剥離欠点の発生が抑制され、かつハンドリング時に意図せずに第１の樹脂基板１２又は第２の樹脂基板１６が剥離することも抑制される。
図１２～図１４は積層シートの他の例の製造方法の一例を工程順に示す模式的平面図である。図１５及び図１６は積層シートの他の例の製造方法の他の例を工程順に示す模式的断面図である。図１７は積層シートの他の例の第２の樹脂基板の剥離方法を示す模式的断面図である。
なお、図１２～図１７において、図１及び図２に示す積層シート１０と同一構成物には、同一符号付して、その詳細な説明は省略する。
図１２及び図１３に示すように、第２の樹脂基板１６、中間層１４及び第１の樹脂基板１２が、この順で積層された積層材４０を用意する。
積層材４０は、例えば、第１の樹脂基板１２の裏面１２ｂに、スピンコート又はダイコートを用いて中間層１４を形成する。次に、第２の樹脂基板１６を中間層１４の裏面１４ｂに貼合する。上述の中間層１４の形成は枚葉式でも、ロールツーロール方式でもよい。
次に、積層材４０の第１の樹脂基板１２側から切込み線１７を、四角形の枠状に形成する。切込み線１７で囲まれた領域４１が製品となり、切込み線１７の外側の領域４２が不要部である。切込み線１７の外側の領域４２は、不要部として取り除かれる。
切込み線１７は、図１３に示すように第１の樹脂基板１２及び中間層１４を貫通しており、第２の樹脂基板１６には達していない。切込み線１７は、第１の樹脂基板１２と中間層１４とに対してはフルカットである。切込み線１７は、例えば、レーザー又は打抜きにより形成できる。
切込み線１７の幅δは、１０ｍｍ以上２０ｍｍ以下が好ましい。切込み線１７の幅δが１０ｍｍ以上２０ｍｍ以下であれば、上述の剥離欠点の発生が抑制され、かつハンドリング時に意図せずに第１の樹脂基板１２又は第２の樹脂基板１６が剥離することも抑制される。
【0032】
次に、図１４に示すように、切込み線１７の外側の領域４２（図１３参照）が取り除かれ、積層シート４４が得られる。積層シート４４は、第１の樹脂基板１２と中間層１４とが同じ大きさであり、外形が四角形である。第２の樹脂基板１６が第１の樹脂基板１２及び中間層１４よりも大きく、外形が四角形である。第１の樹脂基板１２と中間層１４と第２の樹脂基板１６とは互いに各辺を平行にして配置されている。
また、積層シート４４では、第２の樹脂基板１６の表面１６ａが一部露出している。
積層シート４４は、第２の樹脂基板１６が剥離されて、露出した中間層１４の裏面１４ｂに図９に示すようにガラス基板２２が貼合される。
また、積層シート４４では、第２の樹脂基板１６の表面１６ａが一部露出している。
積層シート４４は、第２の樹脂基板１６が剥離されて、露出した中間層１４の裏面１４ｂに図９に示すようにガラス基板２２が貼合される。
【0033】
また、図１５に示すように第１の樹脂基板１２の裏面１２ｂに、スピンコート又はダイコートを用いて中間層１４を形成する。このとき、第１の樹脂基板１２と中間層１４とは同じ大きさである。
次に、図１６に示すように、第１の樹脂基板１２及び中間層１４よりも面積が大きな第２の樹脂基板１６を、中間層１４の裏面１４ｂに貼合する。これにより、積層シート４４が得られる。
図１６に示す積層シート４４も、第２の樹脂基板１６が剥離されて、露出した中間層１４の裏面１４ｂに図９に示すようにガラス基板２２が貼合される。
次に、図１６に示すように、第１の樹脂基板１２及び中間層１４よりも面積が大きな第２の樹脂基板１６を、中間層１４の裏面１４ｂに貼合する。これにより、積層シート４４が得られる。
図１６に示す積層シート４４も、第２の樹脂基板１６が剥離されて、露出した中間層１４の裏面１４ｂに図９に示すようにガラス基板２２が貼合される。
【0034】
積層シート４４の第２の樹脂基板１６を剥離する場合、図１７に示すように、第１の樹脂基板１２を吸着テーブル３０の表面３０ａに向けて、積層シート４４を吸着テーブル３０の表面３０ａに載置する。第２の樹脂基板１６と吸着テーブル３０との間にマスク３２を配置した。そして、吸着テーブル３０が積層シート４４を吸引して積層シート４４を固定する。なお、マスク３２の配置は、上述の図８に示すマスク３２と同様であるため、その詳細な説明を省略する。
図１７に示す積層シート４４が吸着テーブル３０に固定された状態で、積層シート４４において、第２の樹脂基板１６を、対角線（図示せず）に対して対向する一方の角部（図示せず）から他方の角部（図示せず）に向う方向に剥離する。このとき、他方の角部が剥離終端部である。
第２の樹脂基板１６は、第１の樹脂基板１２及び中間層１４よりも面積が大きいため、中間層１４の端が剥離終端にならない。このため、第２の樹脂基板１６を剥離する際に上述の図１１に示す剥離欠点１０２の発生が抑制される。
なお、第２の樹脂基板１６を剥離する際の積層シートの固定は、上述の吸着テーブル３０に限定されるものではなく、静電チャックでもよい。
図１７に示す積層シート４４が吸着テーブル３０に固定された状態で、積層シート４４において、第２の樹脂基板１６を、対角線（図示せず）に対して対向する一方の角部（図示せず）から他方の角部（図示せず）に向う方向に剥離する。このとき、他方の角部が剥離終端部である。
第２の樹脂基板１６は、第１の樹脂基板１２及び中間層１４よりも面積が大きいため、中間層１４の端が剥離終端にならない。このため、第２の樹脂基板１６を剥離する際に上述の図１１に示す剥離欠点１０２の発生が抑制される。
なお、第２の樹脂基板１６を剥離する際の積層シートの固定は、上述の吸着テーブル３０に限定されるものではなく、静電チャックでもよい。
【0035】
以下、積層シート１０を構成する第１の樹脂基板１２、中間層１４及び第２の樹脂基板１６について詳述する。
【0036】
（第１の樹脂基板及び第２の樹脂基板）
第１の樹脂基板１２及び第２の樹脂基板１６は、中間層１４を保護するものであり、保護層として機能するものであり、保護フィルムとも呼ばれる。また、第１の樹脂基板１２及び第２の樹脂基板１６は、ガラス基板への貼合の際に、いずれかが中間層１４から剥離される。このため、第１の樹脂基板１２及び第２の樹脂基板１６のうち、中間層１４から剥離されるものは離型フィルムとも呼ばれる。
第１の樹脂基板１２及び第２の樹脂基板１６を構成する材料としては、例えば、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂（例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート）、ポリオレフィン樹脂（例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン）、ポリウレタン樹脂が挙げられる。なかでも、ポリエステル樹脂が好ましく、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）がより好ましい。このため、第１の樹脂基板１２及び第２の樹脂基板１６は、ポリエチレンテレフタレート基板であることがより好ましい。
第１の樹脂基板１２及び第２の樹脂基板１６は、中間層１４を保護するものであり、保護層として機能するものであり、保護フィルムとも呼ばれる。また、第１の樹脂基板１２及び第２の樹脂基板１６は、ガラス基板への貼合の際に、いずれかが中間層１４から剥離される。このため、第１の樹脂基板１２及び第２の樹脂基板１６のうち、中間層１４から剥離されるものは離型フィルムとも呼ばれる。
第１の樹脂基板１２及び第２の樹脂基板１６を構成する材料としては、例えば、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂（例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート）、ポリオレフィン樹脂（例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン）、ポリウレタン樹脂が挙げられる。なかでも、ポリエステル樹脂が好ましく、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）がより好ましい。このため、第１の樹脂基板１２及び第２の樹脂基板１６は、ポリエチレンテレフタレート基板であることがより好ましい。
【0037】
第１の樹脂基板１２及び第２の樹脂基板１６の厚みは、外部から受けた力の影響を低減するために、２０μｍ以上が好ましく、３０μｍ以上がより好ましく、５０μｍ以上がさらに好ましい。第１の樹脂基板１２及び第２の樹脂基板１６の厚みの上限値としては、５００μｍ以下が好ましく、３００μｍ以下がより好ましく、１００μｍ以下がさらに好ましい。
【0038】
（中間層）
中間層１４は、第１の樹脂基板１２及び第２の樹脂基板１６の間に設けられる。
中間層１４は、中間層１４上にポリイミド膜（図示せず）が配置された場合、ポリイミド膜の剥離を防止するための膜である。
中間層１４は、第１の樹脂基板１２及び第２の樹脂基板１６の間に設けられる。
中間層１４は、中間層１４上にポリイミド膜（図示せず）が配置された場合、ポリイミド膜の剥離を防止するための膜である。
【0039】
中間層１４は、有機層であっても、無機層であってもよい。
有機層の材質としては、例えば、アクリル樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリイミド樹脂、シリコーン樹脂、ポリイミドシリコーン樹脂、フッ素樹脂が挙げられる。また、いくつかの種類の樹脂を混合して中間層１４を構成することもできる。
無機層の材質としては、例えば、酸化物、窒化物、酸窒化物、炭化物、炭窒化物、珪化物、弗化物が挙げられる。酸化物（好ましくは、金属酸化物）、窒化物（好ましくは、金属窒化物）、酸窒化物（好ましくは、金属酸窒化物）としては、例えば、Ｓｉ、Ｈｆ、Ｚｒ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｙ、Ｎｂ、Ｎａ、Ｃｏ、Ａｌ、Ｚｎ、Ｐｂ、Ｍｇ、Ｂｉ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｄｙ、Ｅｒ、Ｓｒ、Ｓｎ、Ｉｎ及びＢａから選ばれる１種以上の元素の酸化物、窒化物、酸窒化物が挙げられる。
炭化物（好ましくは、金属炭化物）、炭窒化物（好ましくは、金属炭窒化物）としては、例えば、Ｔｉ、Ｗ、Ｓｉ、Ｚｒ、及び、Ｎｂから選ばれる１種以上の元素の炭化物、炭窒化物、炭酸化物が挙げられる。
珪化物（好ましくは、金属珪化物）としては、例えば、Ｍｏ、Ｗ、及び、Ｃｒから選ばれる１種以上の元素の珪化物が挙げられる。
弗化物（好ましくは、金属弗化物）としては、例えば、Ｍｇ、Ｙ、Ｌａ、及び、Ｂａから選ばれる１種以上の元素の弗化物が挙げられる。
有機層の材質としては、例えば、アクリル樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリイミド樹脂、シリコーン樹脂、ポリイミドシリコーン樹脂、フッ素樹脂が挙げられる。また、いくつかの種類の樹脂を混合して中間層１４を構成することもできる。
無機層の材質としては、例えば、酸化物、窒化物、酸窒化物、炭化物、炭窒化物、珪化物、弗化物が挙げられる。酸化物（好ましくは、金属酸化物）、窒化物（好ましくは、金属窒化物）、酸窒化物（好ましくは、金属酸窒化物）としては、例えば、Ｓｉ、Ｈｆ、Ｚｒ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｙ、Ｎｂ、Ｎａ、Ｃｏ、Ａｌ、Ｚｎ、Ｐｂ、Ｍｇ、Ｂｉ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｄｙ、Ｅｒ、Ｓｒ、Ｓｎ、Ｉｎ及びＢａから選ばれる１種以上の元素の酸化物、窒化物、酸窒化物が挙げられる。
炭化物（好ましくは、金属炭化物）、炭窒化物（好ましくは、金属炭窒化物）としては、例えば、Ｔｉ、Ｗ、Ｓｉ、Ｚｒ、及び、Ｎｂから選ばれる１種以上の元素の炭化物、炭窒化物、炭酸化物が挙げられる。
珪化物（好ましくは、金属珪化物）としては、例えば、Ｍｏ、Ｗ、及び、Ｃｒから選ばれる１種以上の元素の珪化物が挙げられる。
弗化物（好ましくは、金属弗化物）としては、例えば、Ｍｇ、Ｙ、Ｌａ、及び、Ｂａから選ばれる１種以上の元素の弗化物が挙げられる。
【0040】
中間層１４は、プラズマ重合膜であってもよい。
中間層１４がプラズマ重合膜である場合、プラズマ重合膜を形成する材料は、ＣＦ4、ＣＨＦ3、Ｃ2Ｈ6、Ｃ3Ｈ6、Ｃ2Ｈ2、ＣＨ3Ｆ、Ｃ4Ｈ8等のフルオロカーボンモノマー、メタン、エタン、プロパン、エチレン、プロピレン、アセチレン、ベンゼン、トルエン等のハイドロカーボンモノマー、水素、ＳＦ6等が挙げられる。
中間層１４がプラズマ重合膜である場合、プラズマ重合膜を形成する材料は、ＣＦ4、ＣＨＦ3、Ｃ2Ｈ6、Ｃ3Ｈ6、Ｃ2Ｈ2、ＣＨ3Ｆ、Ｃ4Ｈ8等のフルオロカーボンモノマー、メタン、エタン、プロパン、エチレン、プロピレン、アセチレン、ベンゼン、トルエン等のハイドロカーボンモノマー、水素、ＳＦ6等が挙げられる。
【0041】
なかでも、耐熱性や剥離性の点から、中間層１４の材質として、シリコーン樹脂、ポリイミドシリコーン樹脂が好ましく、シリコーン樹脂がより好ましく、縮合反応型シリコーンより形成されるシリコーン樹脂がより好ましい。
以下では、中間層１４がシリコーン樹脂層である態様について詳述する。
以下では、中間層１４がシリコーン樹脂層である態様について詳述する。
【0042】
シリコーン樹脂とは、所定のオルガノシロキシ単位を含む樹脂であり、通常、硬化性シリコーンを硬化させて得られる。硬化性シリコーンは、その硬化機構により付加反応型シリコーン、縮合反応型シリコーン、紫外線硬化型シリコーン及び電子線硬化型シリコーンに分類されるが、いずれも使用できる。なかでも、縮合反応型シリコーンが好ましい。
縮合反応型シリコーンとしては、モノマーである加水分解性オルガノシラン化合物若しくはその混合物（モノマー混合物）、又は、モノマー又はモノマー混合物を部分加水分解縮合反応させて得られる部分加水分解縮合物（オルガノポリシロキサン）を好適に用いることができる。
この縮合反応型シリコーンを用いて、加水分解・縮合反応（ゾルゲル反応）を進行させることにより、シリコーン樹脂を形成できる。
縮合反応型シリコーンとしては、モノマーである加水分解性オルガノシラン化合物若しくはその混合物（モノマー混合物）、又は、モノマー又はモノマー混合物を部分加水分解縮合反応させて得られる部分加水分解縮合物（オルガノポリシロキサン）を好適に用いることができる。
この縮合反応型シリコーンを用いて、加水分解・縮合反応（ゾルゲル反応）を進行させることにより、シリコーン樹脂を形成できる。
【0043】
中間層１４は、硬化性シリコーンを含む硬化性組成物を用いて形成されることが好ましい。
硬化性組成物は、硬化性シリコーンのほかに、溶媒、白金触媒（硬化性シリコーンとして付加反応型シリコーンを用いる場合）、レベリング剤、金属化合物等を含んでいてもよい。金属化合物に含まれる金属元素としては、例えば、３ｄ遷移金属、４ｄ遷移金属、ランタノイド系金属、ビスマス（Ｂｉ）、アルミニウム（Ａｌ）、スズ（Ｓｎ）が挙げられる。金属化合物の含有量は、特に制限されず、適宜調整される。
硬化性組成物は、硬化性シリコーンのほかに、溶媒、白金触媒（硬化性シリコーンとして付加反応型シリコーンを用いる場合）、レベリング剤、金属化合物等を含んでいてもよい。金属化合物に含まれる金属元素としては、例えば、３ｄ遷移金属、４ｄ遷移金属、ランタノイド系金属、ビスマス（Ｂｉ）、アルミニウム（Ａｌ）、スズ（Ｓｎ）が挙げられる。金属化合物の含有量は、特に制限されず、適宜調整される。
【0044】
中間層１４は、ヒドロキシ基を有することが好ましい。中間層１４のシリコーン樹脂を構成するＳｉ－Ｏ－Ｓｉ結合の一部が切れて、ヒドロキシ基が現れ得る。また、縮合反応型シリコーンを用いる場合には、そのヒドロキシ基が、中間層１４のヒドロキシ基になり得る。
【0045】
中間層１４の第１の樹脂基板１２の表面１２ａの法線方向の厚みは、５０μｍ以下が好ましく、３０μｍ以下がより好ましく、１２μｍ以下がさらに好ましい。一方、中間層１４の厚みは、１μｍ超が好ましく、異物埋め込み性がより優れる点で、６μｍ以上がより好ましい。上記厚みは、５点以上の任意の位置における中間層１４の厚みを接触式膜厚測定装置で測定し、それらを算術平均したものである。
なお、異物埋め込み性に優れるとは、中間層１４と他の基板等の間に異物があっても、中間層１４によって異物が埋め込まれことを意味する。異物の埋め込み性が優れると、中間層に異物による凸部が生じにくく、ポリイミド膜上に電子デバイス用部材を形成した際に、凸部による電子デバイス用部材中での断線等のリスクが抑制される。なお、上記凸部の発生の際に形成される空隙が気泡として観察されるため、気泡の発生の有無により異物埋め込み性を評価できる。
なお、異物埋め込み性に優れるとは、中間層１４と他の基板等の間に異物があっても、中間層１４によって異物が埋め込まれことを意味する。異物の埋め込み性が優れると、中間層に異物による凸部が生じにくく、ポリイミド膜上に電子デバイス用部材を形成した際に、凸部による電子デバイス用部材中での断線等のリスクが抑制される。なお、上記凸部の発生の際に形成される空隙が気泡として観察されるため、気泡の発生の有無により異物埋め込み性を評価できる。
【0046】
ここで、例えば、ガラス基板（図示せず）上にポリイミド膜を形成し、高温熱処理を行うと、ポリイミド膜が黄変するため、透明な電子デバイスへの適用が難しくなる。ところが、メカニズムは不明だが、ガラス基板上に中間層１４を形成し、中間層１４上にポリイミド膜を形成することで、高温熱処理によるポリイミド膜の黄変を抑制できる。
【0047】
（ガラス基板）
中間層１４が貼合されるガラス基板２２は、第１の樹脂基板１２及び中間層１４を支持して補強する部材である。また、ガラス基板２２は搬送基板として機能する。
ガラスの種類としては、無アルカリホウケイ酸ガラス、ホウケイ酸ガラス、ソーダライムガラス、高シリカガラス、その他の酸化ケイ素を主な成分とする酸化物系ガラスが好ましい。酸化物系ガラスとしては、酸化物換算による酸化ケイ素の含有量が４０～９０質量％のガラスが好ましい。
ガラス板として、より具体的には、無アルカリホウケイ酸ガラスからなるガラス板（ＡＧＣ株式会社製商品名「ＡＮ１００」、及び線膨張係数３８×１０-７／℃、ＡＧＣ株式会社製 商品名「ＡＮ-Ｗｉｚｕｓ」）が挙げられる。
ガラス板の製造方法は、通常、ガラス原料を溶融し、溶融ガラスを板状に成形して得られる。このような成形方法は、一般的なものであってよく、例えば、フロート法、フュージョン法、スロットダウンドロー法が挙げられる。
ガラス基板２２は、フレキシブルでないことが好ましい。そのため、ガラス基板２２の厚みは、０．３ｍｍ以上が好ましく、０．５ｍｍ以上がより好ましい。
一方、ガラス基板２２の厚みは、１．０ｍｍ以下が好ましい。
ガラス基板２２は、表面粗さＲａが０．４ｎｍ未満が好ましく、０．２５ｎｍ未満がより好ましい。ガラス基板２２の表面租度が大きいと、シリコーン樹脂層とガラス基板表面との接触面積が増え、ガラス基板からシリコーン樹脂層に水分子が移行しやすくなり、ポリイミド樹脂層が黄変しやすくなる。そのため、ガラス基板２２の表面粗度は一定値以下であることが好ましい。
中間層１４が貼合されるガラス基板２２は、第１の樹脂基板１２及び中間層１４を支持して補強する部材である。また、ガラス基板２２は搬送基板として機能する。
ガラスの種類としては、無アルカリホウケイ酸ガラス、ホウケイ酸ガラス、ソーダライムガラス、高シリカガラス、その他の酸化ケイ素を主な成分とする酸化物系ガラスが好ましい。酸化物系ガラスとしては、酸化物換算による酸化ケイ素の含有量が４０～９０質量％のガラスが好ましい。
ガラス板として、より具体的には、無アルカリホウケイ酸ガラスからなるガラス板（ＡＧＣ株式会社製商品名「ＡＮ１００」、及び線膨張係数３８×１０-７／℃、ＡＧＣ株式会社製 商品名「ＡＮ-Ｗｉｚｕｓ」）が挙げられる。
ガラス板の製造方法は、通常、ガラス原料を溶融し、溶融ガラスを板状に成形して得られる。このような成形方法は、一般的なものであってよく、例えば、フロート法、フュージョン法、スロットダウンドロー法が挙げられる。
ガラス基板２２は、フレキシブルでないことが好ましい。そのため、ガラス基板２２の厚みは、０．３ｍｍ以上が好ましく、０．５ｍｍ以上がより好ましい。
一方、ガラス基板２２の厚みは、１．０ｍｍ以下が好ましい。
ガラス基板２２は、表面粗さＲａが０．４ｎｍ未満が好ましく、０．２５ｎｍ未満がより好ましい。ガラス基板２２の表面租度が大きいと、シリコーン樹脂層とガラス基板表面との接触面積が増え、ガラス基板からシリコーン樹脂層に水分子が移行しやすくなり、ポリイミド樹脂層が黄変しやすくなる。そのため、ガラス基板２２の表面粗度は一定値以下であることが好ましい。
【0048】
ガラス基板２２は、ガラス基板２２の表面の法線方向から観察した際の形状は、特に制限されず、四角形でも円形でもよいが、四角形が好ましい。
【0049】
ガラス基板２２は、中間層１４及び第１の樹脂基板１２よりも大きく、ガラス基板２２の表面には中間層１４及び第１の樹脂基板１２が配置されていない周辺領域があり、ガラス基板２２の周縁領域の表面は露出している。
ガラス基板２２の周縁領域の幅は特に制限されないが、１ｍｍ～３０ｍｍが好ましく、３ｍｍ～１０ｍｍがより好ましい。周縁領域の幅とは、第１の樹脂基板１２の外周縁からガラス基板２２の外縁までの距離に該当する。
ガラス基板２２の周縁領域の幅が３０ｍｍ以下であれば、電子デバイス等を形成する際の有効面積がより広くなり、電子デバイスの作製効率が向上する。また、周縁領域の幅が１ｍｍ以上であることにより、中間層１４上にポリイミド膜を作製する場合に、ポリイミド膜の剥離がより生じにくくなる。
ガラス基板２２の周縁領域の幅は特に制限されないが、１ｍｍ～３０ｍｍが好ましく、３ｍｍ～１０ｍｍがより好ましい。周縁領域の幅とは、第１の樹脂基板１２の外周縁からガラス基板２２の外縁までの距離に該当する。
ガラス基板２２の周縁領域の幅が３０ｍｍ以下であれば、電子デバイス等を形成する際の有効面積がより広くなり、電子デバイスの作製効率が向上する。また、周縁領域の幅が１ｍｍ以上であることにより、中間層１４上にポリイミド膜を作製する場合に、ポリイミド膜の剥離がより生じにくくなる。
【0050】
（積層体の用途）
貼合により得られた積層体は、種々の用途に使用でき、例えば、後述する表示装置用パネル、ＰＶ、薄膜２次電池、表面に回路が形成された半導体ウエハ、受信センサーパネル等の電子部品を製造する用途が挙げられる。これらの用途では、積層体が大気雰囲気下にて、高温条件（例えば、４５０℃以上）で曝される（例えば、２０分以上）場合もある。
表示装置用パネルは、ＬＣＤ、ＯＬＥＤ（Ｏｒｇａｎｉｃ Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ）、電子ペーパー、プラズマディスプレイパネル、フィールドエミッションパネル、量子ドットＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ）パネル、マイクロＬＥＤディスプレイパネル、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ）シャッターパネル等を含む。
受信センサーパネルは、電磁波受信センサーパネル、Ｘ線受光センサーパネル、紫外線受光センサーパネル、可視光線受光センサーパネル、及び赤外線受光センサーパネル等を含む。受信センサーパネルに用いる基板は、樹脂等の補強シート等によって補強されていてもよい。
貼合により得られた積層体は、種々の用途に使用でき、例えば、後述する表示装置用パネル、ＰＶ、薄膜２次電池、表面に回路が形成された半導体ウエハ、受信センサーパネル等の電子部品を製造する用途が挙げられる。これらの用途では、積層体が大気雰囲気下にて、高温条件（例えば、４５０℃以上）で曝される（例えば、２０分以上）場合もある。
表示装置用パネルは、ＬＣＤ、ＯＬＥＤ（Ｏｒｇａｎｉｃ Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ）、電子ペーパー、プラズマディスプレイパネル、フィールドエミッションパネル、量子ドットＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ）パネル、マイクロＬＥＤディスプレイパネル、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ）シャッターパネル等を含む。
受信センサーパネルは、電磁波受信センサーパネル、Ｘ線受光センサーパネル、紫外線受光センサーパネル、可視光線受光センサーパネル、及び赤外線受光センサーパネル等を含む。受信センサーパネルに用いる基板は、樹脂等の補強シート等によって補強されていてもよい。
【実施例0051】
以下に、実施例等により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらの例によって制限されるものではない。
以下に示す例１～７のうち、例１～５は実施例であり、例６及び７は比較例である。
以下に示す例１～７のうち、例１～５は実施例であり、例６及び７は比較例である。
【0052】
［積層シートの作製］
＜硬化性シリコーンの調製＞
１Ｌ（リットル）のフラスコに、トリエトキシメチルシラン（１７９ｇ）、トルエン（３００ｇ）、酢酸（５ｇ）を加えて、混合物を２５℃で２０分間撹拌後、さらに、６０℃に加熱して１２時間反応させて、反応粗液を得た。
得られた反応粗液を２５℃に冷却後、水（３００ｇ）を用いて、反応粗液を３回洗浄した。洗浄された反応粗液にクロロトリメチルシラン（７０ｇ）を加えて、混合物を２５℃で２０分間撹拌後、さらに、５０℃に加熱して１２時間反応させた。得られた反応粗液を２５℃に冷却後、水（３００ｇ）を用いて、反応粗液を３回洗浄した。
洗浄された反応粗液からトルエンを減圧留去し、スラリー状態にした後、真空乾燥機で終夜乾燥することにより、白色のオルガノポリシロキサン化合物である硬化性シリコーン１を得た。
硬化性シリコーン１は、Ｍ単位とＴ単位とのモル比が１３：８７、有機基は全てメチル基、平均ＯＸ基数が０．０２であった。Ｍ単位は（Ｒ）３ＳｉＯ１／２で表されるオルガノシロキシ単位を意味し、Ｔ単位はＲＳｉＯ３／２で表されるオルガノシロキシ単位を意味し、各式におけるＲは水素原子又は有機基を表す。平均ＯＸ基数は、Ｓｉ原子１個に平均で何個のＯＸ基（Ｘは水素原子又は炭化水素基）が結合しているかを表した数値である。
＜硬化性シリコーンの調製＞
１Ｌ（リットル）のフラスコに、トリエトキシメチルシラン（１７９ｇ）、トルエン（３００ｇ）、酢酸（５ｇ）を加えて、混合物を２５℃で２０分間撹拌後、さらに、６０℃に加熱して１２時間反応させて、反応粗液を得た。
得られた反応粗液を２５℃に冷却後、水（３００ｇ）を用いて、反応粗液を３回洗浄した。洗浄された反応粗液にクロロトリメチルシラン（７０ｇ）を加えて、混合物を２５℃で２０分間撹拌後、さらに、５０℃に加熱して１２時間反応させた。得られた反応粗液を２５℃に冷却後、水（３００ｇ）を用いて、反応粗液を３回洗浄した。
洗浄された反応粗液からトルエンを減圧留去し、スラリー状態にした後、真空乾燥機で終夜乾燥することにより、白色のオルガノポリシロキサン化合物である硬化性シリコーン１を得た。
硬化性シリコーン１は、Ｍ単位とＴ単位とのモル比が１３：８７、有機基は全てメチル基、平均ＯＸ基数が０．０２であった。Ｍ単位は（Ｒ）３ＳｉＯ１／２で表されるオルガノシロキシ単位を意味し、Ｔ単位はＲＳｉＯ３／２で表されるオルガノシロキシ単位を意味し、各式におけるＲは水素原子又は有機基を表す。平均ＯＸ基数は、Ｓｉ原子１個に平均で何個のＯＸ基（Ｘは水素原子又は炭化水素基）が結合しているかを表した数値である。
【0053】
＜硬化性組成物の調製＞
硬化性シリコーン１（２０ｇ）と、金属化合物としてオクチル酸ジルコニウム化合物（「オルガチックスＺＣ－２００」、マツモトファインケミカル株式会社製）（０．１６ｇ）と、２－エチルヘキサン酸セリウム（ＩＩＩ）（Ａｌｆａ Ａｅｓａｒ社製、金属含有率１２質量％）（０．１７ｇ）、溶媒としてＩｓｏｐｅｒ Ｇ（東燃ゼネラル石油株式会社製）（１９．７ｇ）とを混合し、得られた混合液を、孔径０．４５μｍのフィルタを用いてろ過することにより、硬化性組成物１を得た。
硬化性シリコーン１（２０ｇ）と、金属化合物としてオクチル酸ジルコニウム化合物（「オルガチックスＺＣ－２００」、マツモトファインケミカル株式会社製）（０．１６ｇ）と、２－エチルヘキサン酸セリウム（ＩＩＩ）（Ａｌｆａ Ａｅｓａｒ社製、金属含有率１２質量％）（０．１７ｇ）、溶媒としてＩｓｏｐｅｒ Ｇ（東燃ゼネラル石油株式会社製）（１９．７ｇ）とを混合し、得られた混合液を、孔径０．４５μｍのフィルタを用いてろ過することにより、硬化性組成物１を得た。
【0054】
＜例１ 積層シート＞
第１の樹脂基板（離型フィルム）としてＰＥＴフィルム（東洋紡株式会社製、東洋紡エステル（登録商標）フィルム ＨＰＥ、厚さ５０μｍ）を準備し、この第１の樹脂基板の表面上に調製した硬化性組成物１を塗布し、ホットプレートを用いて１４０℃で１０分間加熱することにより、第１の樹脂基板（離型フィルム）上にシリコーン樹脂層を形成した。
シリコーン樹脂層の上に第２の樹脂基板（保護フィルム）として、ＰＥＴフィルム（東洋紡株式会社製、エステル（登録商標）フィルム ＨＰＥ、厚さ５０μｍ）を貼合した。次に、打抜き機を用いて、サイズ９１２（Ｌ２）ｍｍ×７２２（Ｌ１）ｍｍの１つの角部にＬ字形状の張出部が形成されるように切断した。
張出部を、第１の方向Ｄ１に張出部が張り出す長さｄ１、及び第２の方向Ｄ２に張出部が張り出す長さｄ３が１０ｍｍとなるように、第１の辺１３ａと平行な方向における張出部１８の長さｄ２、及び第２の辺１３ｂと平行な方向における張出部１８の長さｄ４が２０ｍｍとなるように形成した。
第１の樹脂基板（離型フィルム）であるＰＥＴフィルム側から刃物を用いて、第１の樹脂基板（離型フィルム）であるＰＥＴフィルム及びシリコーン樹脂層（中間層）をフルカット切断し、第２の樹脂基板（保護フィルム）であるＰＥＴフィルムを、その厚みの途中までハーフカット切断した。刃物を用いた積層シートのハーフカットの切断方式のことを「打抜き方式」とする。
このようにして、第１の樹脂基板（離型フィルム）、シリコーン樹脂層（中間層）及び第２の樹脂基板（保護フィルム）がこの順に積層された積層シート１を得た。得られた積層シート１の厚さは、１１０μｍであった。例１は張出部が図１に示す形状である。
なお、第１の方向Ｄ１に張出部が張り出す長さｄ１、及び第２の方向Ｄ２に張出部が張り出す長さｄ３のことを、下記表１では「張出部の張り出す長さｄ１、ｄ３」とした。
また、第１の辺１３ａと平行な方向における張出部１８の長さｄ２、及び第２の辺１３ｂと平行な方向における張出部１８の長さｄ４のことを、下記表１では「張出部の長さｄ２、ｄ４」とした。
第１の樹脂基板（離型フィルム）としてＰＥＴフィルム（東洋紡株式会社製、東洋紡エステル（登録商標）フィルム ＨＰＥ、厚さ５０μｍ）を準備し、この第１の樹脂基板の表面上に調製した硬化性組成物１を塗布し、ホットプレートを用いて１４０℃で１０分間加熱することにより、第１の樹脂基板（離型フィルム）上にシリコーン樹脂層を形成した。
シリコーン樹脂層の上に第２の樹脂基板（保護フィルム）として、ＰＥＴフィルム（東洋紡株式会社製、エステル（登録商標）フィルム ＨＰＥ、厚さ５０μｍ）を貼合した。次に、打抜き機を用いて、サイズ９１２（Ｌ２）ｍｍ×７２２（Ｌ１）ｍｍの１つの角部にＬ字形状の張出部が形成されるように切断した。
張出部を、第１の方向Ｄ１に張出部が張り出す長さｄ１、及び第２の方向Ｄ２に張出部が張り出す長さｄ３が１０ｍｍとなるように、第１の辺１３ａと平行な方向における張出部１８の長さｄ２、及び第２の辺１３ｂと平行な方向における張出部１８の長さｄ４が２０ｍｍとなるように形成した。
第１の樹脂基板（離型フィルム）であるＰＥＴフィルム側から刃物を用いて、第１の樹脂基板（離型フィルム）であるＰＥＴフィルム及びシリコーン樹脂層（中間層）をフルカット切断し、第２の樹脂基板（保護フィルム）であるＰＥＴフィルムを、その厚みの途中までハーフカット切断した。刃物を用いた積層シートのハーフカットの切断方式のことを「打抜き方式」とする。
このようにして、第１の樹脂基板（離型フィルム）、シリコーン樹脂層（中間層）及び第２の樹脂基板（保護フィルム）がこの順に積層された積層シート１を得た。得られた積層シート１の厚さは、１１０μｍであった。例１は張出部が図１に示す形状である。
なお、第１の方向Ｄ１に張出部が張り出す長さｄ１、及び第２の方向Ｄ２に張出部が張り出す長さｄ３のことを、下記表１では「張出部の張り出す長さｄ１、ｄ３」とした。
また、第１の辺１３ａと平行な方向における張出部１８の長さｄ２、及び第２の辺１３ｂと平行な方向における張出部１８の長さｄ４のことを、下記表１では「張出部の長さｄ２、ｄ４」とした。
【0055】
＜例２～７＞
上記切断の際に、積層シートの寸法と、積層シートの張出部の外形及びサイズ、積層シートのハーフカットの切断方式を、下記表１に示す例２～８の関係となるように、積層シートを切断した以外は、上記例１と同様の手順に従って積層シートを得た。
なお、下記表１において「‐」と記されている場合、該当するものがないことを示す。
例２は、張出部が図１に示す形状である。
例２は、打抜き機ではなく、レーザー加工機を用いて、サイズ９１２（Ｌ２）ｍｍ×７２２（Ｌ１）ｍｍの１つの角部にＬ字形状の張出部が形成されるように切断した。張出部を、第１の方向Ｄ１に張出部が張り出す長さｄ１、及び第２の方向Ｄ２に張出部が張り出す長さｄ３が１０ｍｍとなるように、第１の辺１３ａと平行な方向における張出部１８の長さｄ２、及び第２の辺１３ｂと平行な方向における張出部１８の長さｄ４が２０ｍｍとなるように形成した。
第１の樹脂基板（離型フィルム）であるＰＥＴフィルム側から、レーザー加工機を用いて、第１の樹脂基板（離型フィルム）であるＰＥＴフィルム及びシリコーン樹脂層（中間層）をフルカット切断し、第２の樹脂基板（保護フィルム）であるＰＥＴフィルムを、その厚みの途中までハーフカット切断した。レーザー加工機を用いた積層シートのハーフカットの切断方式のことを「レーザー方式」とする。
レーザー加工機には、ＣＯ２リニアモーションプロッターレーザーを用いた。
上記切断の際に、積層シートの寸法と、積層シートの張出部の外形及びサイズ、積層シートのハーフカットの切断方式を、下記表１に示す例２～８の関係となるように、積層シートを切断した以外は、上記例１と同様の手順に従って積層シートを得た。
なお、下記表１において「‐」と記されている場合、該当するものがないことを示す。
例２は、張出部が図１に示す形状である。
例２は、打抜き機ではなく、レーザー加工機を用いて、サイズ９１２（Ｌ２）ｍｍ×７２２（Ｌ１）ｍｍの１つの角部にＬ字形状の張出部が形成されるように切断した。張出部を、第１の方向Ｄ１に張出部が張り出す長さｄ１、及び第２の方向Ｄ２に張出部が張り出す長さｄ３が１０ｍｍとなるように、第１の辺１３ａと平行な方向における張出部１８の長さｄ２、及び第２の辺１３ｂと平行な方向における張出部１８の長さｄ４が２０ｍｍとなるように形成した。
第１の樹脂基板（離型フィルム）であるＰＥＴフィルム側から、レーザー加工機を用いて、第１の樹脂基板（離型フィルム）であるＰＥＴフィルム及びシリコーン樹脂層（中間層）をフルカット切断し、第２の樹脂基板（保護フィルム）であるＰＥＴフィルムを、その厚みの途中までハーフカット切断した。レーザー加工機を用いた積層シートのハーフカットの切断方式のことを「レーザー方式」とする。
レーザー加工機には、ＣＯ２リニアモーションプロッターレーザーを用いた。
【0056】
例３は、張出部が図１に示す形状である。
例３では、積層シート１をレーザー加工機を用いて、サイズ９１２（Ｌ２）ｍｍ×７２２（Ｌ１）ｍｍの１つの角部にＬ字形状の張出部が形成されるように切断した。張出部を、第１の方向Ｄ１に張出部が張り出す長さｄ１、及び第２の方向Ｄ２に張出部が張り出す長さｄ３が２０ｍｍとなるように、第１の辺１３ａと平行な方向における張出部１８の長さｄ２、及び第２の辺１３ｂと平行な方向における張出部１８の長さｄ４が４０ｍｍとなるように形成した。
例４は、張出部が図５に示す形状である。
例４では、積層シート１をレーザー加工機を用いて、サイズ９１２（Ｌ２）ｍｍ×７２２（Ｌ１）ｍｍの１つの角部に扇形状の張出部が形成されるように切断した。張出部を、図５に示す最大の長さｄ５が２０ｍｍとなるように形成した。
例３では、積層シート１をレーザー加工機を用いて、サイズ９１２（Ｌ２）ｍｍ×７２２（Ｌ１）ｍｍの１つの角部にＬ字形状の張出部が形成されるように切断した。張出部を、第１の方向Ｄ１に張出部が張り出す長さｄ１、及び第２の方向Ｄ２に張出部が張り出す長さｄ３が２０ｍｍとなるように、第１の辺１３ａと平行な方向における張出部１８の長さｄ２、及び第２の辺１３ｂと平行な方向における張出部１８の長さｄ４が４０ｍｍとなるように形成した。
例４は、張出部が図５に示す形状である。
例４では、積層シート１をレーザー加工機を用いて、サイズ９１２（Ｌ２）ｍｍ×７２２（Ｌ１）ｍｍの１つの角部に扇形状の張出部が形成されるように切断した。張出部を、図５に示す最大の長さｄ５が２０ｍｍとなるように形成した。
【0057】
例５は、張出部が図６に示す形状である。例５については、下記表１の「張出部の外形」の欄に「‐」と記した。
例５では、積層シート１をレーザー加工機を用いて、サイズ９１２（Ｌ２）ｍｍ×７２２（Ｌ１）ｍｍの１つの角部に図６に示す外形の張出部が形成されるように切断した。張出部を、第１の方向Ｄ１に張出部が張り出す長さｄ１、及び第２の方向Ｄ２に張出部が張り出す長さｄ３が５ｍｍとなるように、第１の辺１３ａと平行な方向における張出部１８の長さｄ２、及び第２の辺１３ｂと平行な方向における張出部１８の長さｄ４が２０ｍｍとなるように形成した。
例５では、積層シート１をレーザー加工機を用いて、サイズ９１２（Ｌ２）ｍｍ×７２２（Ｌ１）ｍｍの１つの角部に図６に示す外形の張出部が形成されるように切断した。張出部を、第１の方向Ｄ１に張出部が張り出す長さｄ１、及び第２の方向Ｄ２に張出部が張り出す長さｄ３が５ｍｍとなるように、第１の辺１３ａと平行な方向における張出部１８の長さｄ２、及び第２の辺１３ｂと平行な方向における張出部１８の長さｄ４が２０ｍｍとなるように形成した。
【0058】
例６は、張出部がない構成である。例６では、積層シート１をレーザー加工機を用いて、サイズ９１２（Ｌ２）ｍｍ×７２２（Ｌ１）ｍｍに切断した。
なお、例６については、下記表１の「張出部の外形」の欄に「‐」と記した。
例７は、張出部が図１に示す形状である。
例７では、積層シート１をレーザー加工機を用いて、サイズ９１２（Ｌ２）ｍｍ×７２２（Ｌ１）ｍｍの１つの角部にＬ字形状の張出部が形成されるように切断した。張出部を、第１の方向Ｄ１に張出部が張り出す長さｄ１、及び第２の方向Ｄ２に張出部が張り出す長さｄ３が２５ｍｍとなるように、第１の辺１３ａと平行な方向における張出部１８の長さｄ２、及び第２の辺１３ｂと平行な方向における張出部１８の長さｄ４が５０ｍｍとなるように形成した。
なお、例６については、下記表１の「張出部の外形」の欄に「‐」と記した。
例７は、張出部が図１に示す形状である。
例７では、積層シート１をレーザー加工機を用いて、サイズ９１２（Ｌ２）ｍｍ×７２２（Ｌ１）ｍｍの１つの角部にＬ字形状の張出部が形成されるように切断した。張出部を、第１の方向Ｄ１に張出部が張り出す長さｄ１、及び第２の方向Ｄ２に張出部が張り出す長さｄ３が２５ｍｍとなるように、第１の辺１３ａと平行な方向における張出部１８の長さｄ２、及び第２の辺１３ｂと平行な方向における張出部１８の長さｄ４が５０ｍｍとなるように形成した。
【0059】
＜張出部の離型フィルムのＰＥＴフィルムとシリコーン樹脂層の剥離＞
例１～５と例７は、積層シート１を離型フィルムのＰＥＴフィルムが上になるように吸着テーブルに載置し、積層シート１の張出部にメンディングテープ（３Ｍ社製スコッチ、ＣＭ－１２）を貼り付けた。その後、手で、メンディングテープを引っ張り離型フィルムのＰＥＴフィルムとシリコーン樹脂層を剥離した。
例１～５と例７は、積層シート１を離型フィルムのＰＥＴフィルムが上になるように吸着テーブルに載置し、積層シート１の張出部にメンディングテープ（３Ｍ社製スコッチ、ＣＭ－１２）を貼り付けた。その後、手で、メンディングテープを引っ張り離型フィルムのＰＥＴフィルムとシリコーン樹脂層を剥離した。
【0060】
＜ハンドリング性の評価＞
離型フィルムのＰＥＴフィルムとシリコーン樹脂層を剥離した積層シート１の短辺側を両手で持ち、テーブルから持ち上げて、さらにテーブルに置いて、積層シート１の角部を蛍光灯下で観察した。観察の結果に基づいて、以下の評価基準にしたがって剥離欠点の評価を行った。結果を下記表１に示す。
Ａ：積層シート１の角部に剥離欠点が視認されない。
Ｂ：積層シート１の角部に剥離欠点が視認された。
離型フィルムのＰＥＴフィルムとシリコーン樹脂層を剥離した積層シート１の短辺側を両手で持ち、テーブルから持ち上げて、さらにテーブルに置いて、積層シート１の角部を蛍光灯下で観察した。観察の結果に基づいて、以下の評価基準にしたがって剥離欠点の評価を行った。結果を下記表１に示す。
Ａ：積層シート１の角部に剥離欠点が視認されない。
Ｂ：積層シート１の角部に剥離欠点が視認された。
【0061】
＜保護フィルムのＰＥＴフィルムの剥離＞
精密枚葉貼合機（クライムプロダクツ株式会社製、ＳＥ１２０８ａａ）のナイロンメッシュ表面にシリコーンフィルム粘着テープ（株式会社日本マクセル社製、６２６００１－ＮＢ－２０－５０Ｘ５０）をナイロンメッシュ中央部の９１６ｍｍ×７２６ｍｍを空け、その外周部が粘着テープでマスクされるように貼り付けた。離型フィルムのＰＥＴフィルムとシリコーン樹脂層を剥離した積層シート１をメッシュのマスクがなされていない９１６ｍｍ×７２６ｍｍの内側に離型フィルムのＰＥＴフィルムが接するように載置し、ナイロンメッシュを吸引し、積層シート１を固定した。
例１～５と例７は積層シート１の張出部の対角に位置する保護フィルムのＰＥＴにメンディングテープ（３Ｍ社製スコッチ、ＣＭ－１２）を貼り付けて、張出部の位置する方向に向かって剥離した。
例６は任意の積層シート１の角にメンディングテープを貼り付けて、保護フィルムのＰＥＴフィルムを剥離した。
精密枚葉貼合機（クライムプロダクツ株式会社製、ＳＥ１２０８ａａ）のナイロンメッシュ表面にシリコーンフィルム粘着テープ（株式会社日本マクセル社製、６２６００１－ＮＢ－２０－５０Ｘ５０）をナイロンメッシュ中央部の９１６ｍｍ×７２６ｍｍを空け、その外周部が粘着テープでマスクされるように貼り付けた。離型フィルムのＰＥＴフィルムとシリコーン樹脂層を剥離した積層シート１をメッシュのマスクがなされていない９１６ｍｍ×７２６ｍｍの内側に離型フィルムのＰＥＴフィルムが接するように載置し、ナイロンメッシュを吸引し、積層シート１を固定した。
例１～５と例７は積層シート１の張出部の対角に位置する保護フィルムのＰＥＴにメンディングテープ（３Ｍ社製スコッチ、ＣＭ－１２）を貼り付けて、張出部の位置する方向に向かって剥離した。
例６は任意の積層シート１の角にメンディングテープを貼り付けて、保護フィルムのＰＥＴフィルムを剥離した。
【0062】
＜剥離欠点の評価＞
積層シートから第２の樹脂基板（保護フィルム）であるＰＥＴフィルムを剥離し、第２の樹脂基板（保護フィルム）の剥離終端部を蛍光灯下で観察した。観察の結果に基づいて、以下の評価基準にしたがって剥離欠点の評価を行った。剥離欠点の結果を下記表１に示す。
剥離欠点とは、シリコーン樹脂層（中間層）と第２の樹脂基板（保護フィルム）の界面で剥離されず、シリコーン樹脂層（中間層）の内部で破壊が起きて生じる欠点のことである。第２の樹脂基板（保護フィルム）を剥離する際に、この剥離不具合が起こると、第２の樹脂基板（保護フィルム）の表面にシリコーン樹脂層（中間層）が付着する。剥離欠点（付着したシリコーン樹脂層（中間層））は、蛍光灯下で視認される。
評価基準
Ａ：第２の樹脂基板（保護フィルム）の剥離終端部に剥離欠点が視認されない。
Ｂ：第２の樹脂基板（保護フィルム）の剥離終端部に剥離欠点が視認された。
積層シートから第２の樹脂基板（保護フィルム）であるＰＥＴフィルムを剥離し、第２の樹脂基板（保護フィルム）の剥離終端部を蛍光灯下で観察した。観察の結果に基づいて、以下の評価基準にしたがって剥離欠点の評価を行った。剥離欠点の結果を下記表１に示す。
剥離欠点とは、シリコーン樹脂層（中間層）と第２の樹脂基板（保護フィルム）の界面で剥離されず、シリコーン樹脂層（中間層）の内部で破壊が起きて生じる欠点のことである。第２の樹脂基板（保護フィルム）を剥離する際に、この剥離不具合が起こると、第２の樹脂基板（保護フィルム）の表面にシリコーン樹脂層（中間層）が付着する。剥離欠点（付着したシリコーン樹脂層（中間層））は、蛍光灯下で視認される。
評価基準
Ａ：第２の樹脂基板（保護フィルム）の剥離終端部に剥離欠点が視認されない。
Ｂ：第２の樹脂基板（保護フィルム）の剥離終端部に剥離欠点が視認された。
【0063】
＜積層体の作製＞
水系ガラス洗浄剤（株式会社パーカーコーポレーション製「ＰＫ―ＬＣＧ２１３」）で洗浄後、純水で洗浄した９２０ｍｍ×７３０ｍｍ、厚み０．５ｍｍのガラス基板「ＡＮ Ｗｉｚｕｓ」（支持基板、ヤング率８５ＧＰａ）と、離型フィルムのＰＥＴフィルムとシリコーン樹脂層が剥離された積層シート１から保護フィルムのＰＥＴフィルムを剥離し、積層シート１のシリコーン樹脂層が形成された離型フィルムのＰＥＴフィルムとガラス基板を、精密枚葉貼合機（クライムプロダクツ株式会社製、ＳＥ１２０８ａａ）を用いて貼合して、ガラス基板、シリコーン樹脂層及びＰＥＴフィルムがこの順で配置された積層体を作製した。
ハンドリング性の評価又は剥離欠点の評価で積層シート１に剥離欠点が視認された例６と７では、積層体でも同じ位置にシリコーン樹脂とガラス基板の未接着の欠点が視認された。
水系ガラス洗浄剤（株式会社パーカーコーポレーション製「ＰＫ―ＬＣＧ２１３」）で洗浄後、純水で洗浄した９２０ｍｍ×７３０ｍｍ、厚み０．５ｍｍのガラス基板「ＡＮ Ｗｉｚｕｓ」（支持基板、ヤング率８５ＧＰａ）と、離型フィルムのＰＥＴフィルムとシリコーン樹脂層が剥離された積層シート１から保護フィルムのＰＥＴフィルムを剥離し、積層シート１のシリコーン樹脂層が形成された離型フィルムのＰＥＴフィルムとガラス基板を、精密枚葉貼合機（クライムプロダクツ株式会社製、ＳＥ１２０８ａａ）を用いて貼合して、ガラス基板、シリコーン樹脂層及びＰＥＴフィルムがこの順で配置された積層体を作製した。
ハンドリング性の評価又は剥離欠点の評価で積層シート１に剥離欠点が視認された例６と７では、積層体でも同じ位置にシリコーン樹脂とガラス基板の未接着の欠点が視認された。
【0064】
【表1】
【0065】
表１に示す例１～例７の比較から、例１～５は、例６、７に比して剥離欠点がなく剥離評価が良好であった。
例６は、張出部がない構成であり、剥離欠点が発生した。
例７は、張出部が大きく、ハンドリング性が悪かった。
なお、上述のようにハンドリング性の評価又は剥離欠点の評価で積層シート１に剥離欠点が視認された例６と７では、積層体でも同じ位置にシリコーン樹脂とガラス基板の未接着の欠点が視認された。
例６は、張出部がない構成であり、剥離欠点が発生した。
例７は、張出部が大きく、ハンドリング性が悪かった。
なお、上述のようにハンドリング性の評価又は剥離欠点の評価で積層シート１に剥離欠点が視認された例６と７では、積層体でも同じ位置にシリコーン樹脂とガラス基板の未接着の欠点が視認された。
【符号の説明】
【0066】
１０、１１、１１ａ、１１ｂ、４４、１００ 積層シート
１２ 第１の樹脂基板
１２ａ、１４ａ、１６ａ、１８ａ、３０ａ 表面
１２ｂ、１４ｂ 裏面
１２ｃ 第３の辺
１２ｅ、１４ｅ、１００ｅ、１００ｆ 角部
１３ａ 第１の辺
１３ｂ 第２の辺
１３ｃ 第３の辺
１３ｄ 第４の辺
１３ｅ 頂点
１４ 中間層
１５ 積層部
１６ 第２の樹脂基板
１７ 切込み線
１８ 張出部
１９ 積層体
１９ａ 別の中間層
１９ｂ 別の第１の樹脂基板
２０ｅ 交点
２２ ガラス基板
３０ 吸着テーブル
３２ マスク
４０ 積層材
４１、４２、１１２ 領域
１０２ 剥離欠点
１１０ 積層シート
Ｄ１ 第１の方向
Ｄ２ 第２の方向
Ｄｐ 方向
Ｍ１、Ｍ２ 交点
ｄ１、ｄ３ 張出部が張り出す長さ
ｄ２ 第１の辺と平行な方向における張出部の長さ
ｄ４ 第２の辺と平行な方向における張出部の長さ
ｄｍ 距離
ｒ 半径
ｔｍ 厚み
１２ 第１の樹脂基板
１２ａ、１４ａ、１６ａ、１８ａ、３０ａ 表面
１２ｂ、１４ｂ 裏面
１２ｃ 第３の辺
１２ｅ、１４ｅ、１００ｅ、１００ｆ 角部
１３ａ 第１の辺
１３ｂ 第２の辺
１３ｃ 第３の辺
１３ｄ 第４の辺
１３ｅ 頂点
１４ 中間層
１５ 積層部
１６ 第２の樹脂基板
１７ 切込み線
１８ 張出部
１９ 積層体
１９ａ 別の中間層
１９ｂ 別の第１の樹脂基板
２０ｅ 交点
２２ ガラス基板
３０ 吸着テーブル
３２ マスク
４０ 積層材
４１、４２、１１２ 領域
１０２ 剥離欠点
１１０ 積層シート
Ｄ１ 第１の方向
Ｄ２ 第２の方向
Ｄｐ 方向
Ｍ１、Ｍ２ 交点
ｄ１、ｄ３ 張出部が張り出す長さ
ｄ２ 第１の辺と平行な方向における張出部の長さ
ｄ４ 第２の辺と平行な方向における張出部の長さ
ｄｍ 距離
ｒ 半径
ｔｍ 厚み
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】