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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024074594
(43)【公開日】2024-05-31
(54)【発明の名称】試料保持具
(51)【国際特許分類】
H01L 21/683 20060101AFI20240524BHJP
H05B 3/20 20060101ALI20240524BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 N
H05B3/20 309
【審査請求】未請求
【請求項の数】13
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022185861
(22)【出願日】2022-11-21
(71)【出願人】
【識別番号】000006633
【氏名又は名称】京セラ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110002147
【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】長野 良紀
【テーマコード（参考）】
3K034
5F131
【Ｆターム（参考）】
3K034AA02
3K034AA15
3K034BA06
3K034JA10
5F131AA02
5F131AA03
5F131AA32
5F131BA03
5F131BA04
5F131BA19
5F131BA23
5F131CA03
5F131CA06
5F131EB11
5F131EB81
5F131EB87
(57)【要約】
【課題】試料全体を均等に加熱することができる試料保持具を提供する。
【解決手段】試料保持具は、セラミック体と、発熱抵抗体と、金属板と、固定部材と、を備える。セラミック体は、板状であり、試料を保持する第１面および第１面の反対に位置する第２面をする。発熱抵抗体は、セラミック体の内部または第２面に位置する。金属板は、セラミック体の第２面と離間して対向する第３面および第３面の反対に位置する第４面を有する。固定部材は、金属板とセラミック体とを固定している。金属板は、中央部に周辺部よりも厚みが薄い薄肉部を有する。
【選択図】図２
【解決手段】試料保持具は、セラミック体と、発熱抵抗体と、金属板と、固定部材と、を備える。セラミック体は、板状であり、試料を保持する第１面および第１面の反対に位置する第２面をする。発熱抵抗体は、セラミック体の内部または第２面に位置する。金属板は、セラミック体の第２面と離間して対向する第３面および第３面の反対に位置する第４面を有する。固定部材は、金属板とセラミック体とを固定している。金属板は、中央部に周辺部よりも厚みが薄い薄肉部を有する。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
板状のセラミック体と、
発熱抵抗体と、
金属板と、
固定部材と、を備え、
前記セラミック体は、試料を保持する第１面および該第１面の反対に位置する第２面を有し、
前記発熱抵抗体は、前記セラミック体の内部または前記第２面に位置し、
前記金属板は、前記セラミック体の前記第２面と離間して対向する第３面および該第３面の反対に位置する第４面を有し、
前記固定部材は、前記金属板と前記セラミック体とを固定しており、
前記金属板は、中央部に周辺部よりも厚みが薄い薄肉部を有する
試料保持具。
発熱抵抗体と、
金属板と、
固定部材と、を備え、
前記セラミック体は、試料を保持する第１面および該第１面の反対に位置する第２面を有し、
前記発熱抵抗体は、前記セラミック体の内部または前記第２面に位置し、
前記金属板は、前記セラミック体の前記第２面と離間して対向する第３面および該第３面の反対に位置する第４面を有し、
前記固定部材は、前記金属板と前記セラミック体とを固定しており、
前記金属板は、中央部に周辺部よりも厚みが薄い薄肉部を有する
試料保持具。
【請求項2】
前記金属板の前記中央部における前記第４面に端面が接する筒状部材、を備え、
前記金属板は、前記中央部の前記第３面から前記第４面に貫通する第１通気孔を有する
請求項１に記載の試料保持具。
前記金属板は、前記中央部の前記第３面から前記第４面に貫通する第１通気孔を有する
請求項１に記載の試料保持具。
【請求項3】
前記金属板は、前記第３面に開口する第１凹部を有し、
前記薄肉部は、前記第１凹部に対応して位置する
請求項１または２に記載の試料保持具。
前記薄肉部は、前記第１凹部に対応して位置する
請求項１または２に記載の試料保持具。
【請求項4】
前記金属板は、前記第４面に開口する第２凹部を有し、
前記薄肉部は、前記第２凹部に対応して位置する
請求項１または２に記載の試料保持具。
前記薄肉部は、前記第２凹部に対応して位置する
請求項１または２に記載の試料保持具。
【請求項5】
前記金属板は、前記第３面に開口する第１凹部および前記第４面に開口する第２凹部を有し、
前記薄肉部は、前記第１凹部および前記第２凹部に対応して位置し、
前記第１凹部および前記第２凹部は、深さが等しい
請求項１または２に記載の試料保持具。
前記薄肉部は、前記第１凹部および前記第２凹部に対応して位置し、
前記第１凹部および前記第２凹部は、深さが等しい
請求項１または２に記載の試料保持具。
【請求項6】
板状のセラミック体と、
発熱抵抗体と、
金属板と、
固定部材と、を備え、
前記セラミック体は、試料を保持する第１面および該第１面の反対に位置する第２面を有し、
前記発熱抵抗体は、前記セラミック体の内部または前記第２面に位置し、
前記金属板は、
前記セラミック体の前記第２面と離間して対向する第５面および該第５面の反対に位置する第６面を有し、中央部に貫通孔を有する第１部材と、
第７面および該第７面の反対に位置する第８面を有し、前記第１部材の前記貫通孔を覆うように位置する第２部材と、を有し、
前記第２部材によって前記第１部材の前記中央部に周辺部よりも厚みが薄い薄肉部が形成される
試料保持具。
発熱抵抗体と、
金属板と、
固定部材と、を備え、
前記セラミック体は、試料を保持する第１面および該第１面の反対に位置する第２面を有し、
前記発熱抵抗体は、前記セラミック体の内部または前記第２面に位置し、
前記金属板は、
前記セラミック体の前記第２面と離間して対向する第５面および該第５面の反対に位置する第６面を有し、中央部に貫通孔を有する第１部材と、
第７面および該第７面の反対に位置する第８面を有し、前記第１部材の前記貫通孔を覆うように位置する第２部材と、を有し、
前記第２部材によって前記第１部材の前記中央部に周辺部よりも厚みが薄い薄肉部が形成される
試料保持具。
【請求項7】
前記第１部材の前記中央部における前記第６面に端面が接する筒状部材、を備え、
前記第２部材は、前記第７面から前記第８面に貫通する第２通気孔を有する
請求項６に記載の試料保持具。
前記第２部材は、前記第７面から前記第８面に貫通する第２通気孔を有する
請求項６に記載の試料保持具。
【請求項8】
前記第２通気孔は、上端部と下端部とで内径が異なる
請求項７に記載の試料保持具。
請求項７に記載の試料保持具。
【請求項9】
前記第２部材は、前記第１部材の前記第５面に接する
請求項６～８のいずれか一つに記載の試料保持具。
請求項６～８のいずれか一つに記載の試料保持具。
【請求項10】
前記第２部材は、前記第１部材の前記第６面に接する
請求項６～８のいずれか一つに記載の試料保持具。
請求項６～８のいずれか一つに記載の試料保持具。
【請求項11】
前記第２部材は、平板状である
請求項６～８のいずれか一つに記載の試料保持具。
請求項６～８のいずれか一つに記載の試料保持具。
【請求項12】
前記第２部材は、前記第７面または前記第８面に凸部を有し、前記凸部が前記第１部材の前記貫通孔内に位置する
請求項６～８のいずれか一つに記載の試料保持具。
請求項６～８のいずれか一つに記載の試料保持具。
【請求項13】
前記第２部材は、前記第７面および前記第８面に一対の凸部を有し、一方の前記凸部が前記第１部材の前記貫通孔内に位置する
請求項６～８のいずれか一つに記載の試料保持具。
請求項６～８のいずれか一つに記載の試料保持具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
開示の実施形態は、試料保持具に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、電子部品などの製造工程において、半導体ウェハや液晶基板、回路基板などの平板状の試料を保持して加熱する試料保持具が用いられている（例えば、特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２００５－２３５６７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
一方で、上記の従来技術では、試料を保持する試料面を有するセラミック体が他の部材に起因して反ることで、保持面が試料全体と均等に接触できない場合があった。これにより、試料全体を均等に加熱できない恐れがあった。
【0005】
本開示は、上記に鑑みてなされたものであって、試料全体を均等に加熱することができる試料保持具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
実施形態の一態様に係る試料保持具は、セラミック体と、発熱抵抗体と、金属板と、固定部材と、を備える。前記セラミック体は、板状であり、試料を保持する第１面および該第１面の反対に位置する第２面を有する。前記発熱抵抗体は、前記セラミック体の内部または前記第２面に位置する。前記金属板は、前記セラミック体の前記第２面と離間して対向する第３面および該第３面の反対に位置する第４面を有する。前記固定部材は、前記金属板と前記セラミック体とを固定している。前記金属板は、中央部に周辺部よりも厚みが薄い薄肉部を有する。
【発明の効果】
【0007】
実施形態の一態様によれば、試料全体を均等に加熱することができる試料保持具を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、添付図面を参照して、本願の開示する試料保持具の実施形態について説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。また、各実施形態は、処理内容を矛盾させない範囲で適宜組み合わせることが可能である。また、以下の各実施形態において同一の部位には同一の符号を付し、重複する説明は省略される。
【0010】
また、以下に示す実施形態では、「等しい」、「垂直」あるいは「平行」といった表現が用いられる場合があるが、これらの表現は、厳密に「等しい」、「垂直」あるいは「平行」であることを要しない。すなわち、上記した各表現は、例えば製造精度、設置精度などのずれを許容するものとする。
【0011】
＜実施形態＞
最初に、実施形態に係る試料保持具１の構成について、図１および図２を参照しながら説明する。図１は、実施形態に係る試料保持具１の構成の一例を示す断面図である。図１に示すように、実施形態に係る試料保持具１は、セラミック体１０と、発熱抵抗体２０と、金属板３０と、固定部材４０と、筒状部材５０とを備える。
最初に、実施形態に係る試料保持具１の構成について、図１および図２を参照しながら説明する。図１は、実施形態に係る試料保持具１の構成の一例を示す断面図である。図１に示すように、実施形態に係る試料保持具１は、セラミック体１０と、発熱抵抗体２０と、金属板３０と、固定部材４０と、筒状部材５０とを備える。
【0012】
セラミック体１０は、図示しない試料を保持するための部材である。セラミック体１０は、試料を保持する第１面１１と、かかる第１面１１の反対に位置する第２面１２を有する。セラミック体１０の形状は、たとえば、第１面１１および第２面１２が円形状の円板状である。セラミック体１０は、第１面１１が試料を保持する試料保持面である。
【0013】
セラミック体１０としては、たとえば、窒化アルミニウム、炭化ケイ素またはアルミナなどのセラミック材料を用いることができる。セラミック体１０は、たとえば、複数のグリーンシートを積層して、これを窒素雰囲気中で焼成することによって得ることができる。また、セラミック体１０は、セラミック材料の粉末をプレス成型して、これを窒素雰囲気中で焼成することによって得ることができる。
【0014】
セラミック体１０の内部には、必要に応じて試料を静電吸着するための静電吸着用電極が設けられてもよい。セラミック体１０の寸法は、たとえば、形状が円板状の場合は、第１面１１および第２面１２の直径を２００（ｍｍ）～５００（ｍｍ）に、厚みを５（ｍｍ）～２５（ｍｍ）にすることができる。
【0015】
発熱抵抗体２０は、電流が流れることによって発熱する部材である。発熱抵抗体２０は、第１面１１に保持された試料を加熱するために設けられる。発熱抵抗体２０は、セラミック体１０の内部または第２面１２に位置する。
【0016】
発熱抵抗体２０は、たとえば、複数の折返し部を有する線状のパターンを有する。これにより、発熱抵抗体２０は、セラミック体１０の第１面１１を均等に加熱することができる。
【0017】
発熱抵抗体２０としては、たとえば、金、銀、パラジウムまたは白金等の金属材料を用いることができる。また、発熱抵抗体２０は、酸化ルテニウムなどの金属酸化物または導電性セラミックの炭化ケイ素などであってもよい。発熱抵抗体２０は、たとえば、二酸化珪素等の酸化物のガラス成分を含んでもよい。
【0018】
発熱抵抗体２０の寸法は、たとえば、幅を１（ｍｍ）～５（ｍｍ）に、厚みを０．０１（ｍｍ）～０．１（ｍｍ）に、長さを１（ｍｍ）～１０（ｍｍ）にすることができる。
【0019】
金属板３０は、発熱抵抗体２０の熱輻射を反射するための部材である。金属板３０は、たとえば、円板状または角板状の部材である。金属板３０は、第３面３１と、かかる第３面３１の反対に位置する第４面３２とを有する。
【0020】
金属板３０の第３面３１は、セラミック体１０の第２面１２と離間して対向する。すなわち、金属板３０は、セラミック体１０の第２面１２に対して第３面３１が向かい合うように設けられる。金属板３０は、たとえば、セラミック体１０に対して平行に設けられてもよい。
【0021】
金属板３０としては、たとえば、アルミニウムまたは鉄などの金属材料を用いることができる。金属板３０の寸法は、たとえば、金属板３０が円板状の場合は、直径を２００（ｍｍ）～６００（ｍｍ）に、厚みを０．５（ｍｍ）～３（ｍｍ）にすることができる。金属板３０の第３面３１とセラミック体１０の第２面１２との間隔は、たとえば、３（ｍｍ）～２０（ｍｍ）にすることができる。
【0022】
試料保持具１に金属板３０が設けられることで、発熱抵抗体２０からの熱輻射を反射することができる。そのため、金属板３０の下方への熱の伝達を低減することができる。したがって、実施形態によれば、金属板３０の下方に位置する部品などが熱変形することを低減することができる。
【0023】
金属板３０は、中央部３３および周辺部３４を有する。中央部３３は、平面視で金属板３０の中央に位置する部位である。周辺部３４は、平面視で中央部３３を囲む部位である。そして、金属板３０は、中央部３３の第３面３１から第４面３２にかけて貫通する第１通気孔３６（図２参照）を複数有する。
【0024】
固定部材４０は、金属板３０とセラミック体１０とを固定するための部材である。固定部材４０は、たとえば、棒状の部材である。固定部材４０は、たとえば、セラミック体１０と金属板３０との間に複数設けられる。固定部材４０は、たとえば、金属板３０の第３面３１に対し垂直に設けられる。固定部材４０は、たとえば、ネジまたはナットなどの金具４１を有し、かかる金具４１によって金属板３０に固定されてもよい。
【0025】
筒状部材５０は、セラミック体１０と金属板３０との間の雰囲気ガスを吸引するための部材である。筒状部材５０は、たとえば、内部に空間５１を有する円筒状の部材である。筒状部材５０は、端面５２が金属板３０の中央部３３における第４面３２に接する。
【0026】
筒状部材５０としては、たとえば、鉄またはステンレスなどの金属材料を用いることができる。筒状部材５０の寸法は、たとえば、内径を２０（ｍｍ）～７４（ｍｍ）に、外径を２５（ｍｍ）～７５（ｍｍ）に、長さを１０（ｍｍ）～１００（ｍｍ）にすることができる。筒状部材５０と金属板３０とは、たとえば、ろう材または樹脂などの接合部材によって接合されてもよい。
【0027】
本開示の試料保持具１において、金属板３０の第１通気孔３６は、筒状部材５０の空間５１に繋がっていてもよい。これにより、第１通気孔３６および筒状部材５０を通じて、セラミック体１０と金属板３０との間の熱がこもった雰囲気ガスを吸引することができる。
【0028】
そのため、セラミック体１０と金属板３０との間の熱のこもりを低減できることから、金属板３０の熱変形を低減することができる。したがって、実施形態によれば、試料保持具１の耐久性を高めることができる。
【0029】
【0030】
図２の（ａ）に示すように、実施形態に係る試料保持具１では、金属板３０が、中央部３３に周辺部３４よりも厚みが薄い薄肉部３５を有してもよい。すなわち、実施形態では、薄肉部３５の厚みＴ１が周辺部３４の厚みＴ２よりも小さくてもよい。
【0031】
かかる薄肉部３５によって、中央部３３が熱膨張した際の体積変化を減少させることができるため、金属板３０の反りを低減することができる。さらに、熱膨張の応力は肉厚の薄い部分（すなわち、薄肉部３５）に集中するため、肉厚の厚い部分（すなわち、周辺部３４）には反りが生じにくくなる。
【0032】
これにより、金属板３０の反りが固定部材４０（図１参照）を介してセラミック体１０（図１参照）に伝わり、セラミック体１０が反ることを低減できる。したがって、実施形態によれば、セラミック体１０の第１面１１（図１参照）と試料全体とを均等に接触させることができるため、試料全体を均等に加熱することができる。
【0033】
また、実施形態では、金属板３０が第３面３１に開口する第１凹部３７を有し、薄肉部３５は、かかる第１凹部３７に対応して位置してもよい。すなわち、実施形態では、薄肉部３５が、金属板３０の第３面３１に位置する第１凹部３７によって形成されてもよい。
【0034】
このように、上方から形成された第１凹部３７に雰囲気ガスが流入すると、第１凹部３７と第３面３１との間の段差コーナー部３７ａを冷やす効果を生じさせることができる。
【0035】
これにより、金属板３０の熱膨張自体を低減できることから、金属板３０の反りが固定部材４０を介してセラミック体１０に伝わり、セラミック体１０が反ることをさらに低減できる。したがって、実施形態によれば、セラミック体１０の第１面１１と試料全体とをさらに均等に接触させることができるため、試料全体をさらに均等に加熱することができる。
【0036】
また、実施形態では、第１凹部３７の底面３７ｂが、第３面３１と平行になっていてもよい。実施形態では、金属板３０の第３面３１および第４面３２に凹凸がないため、第１凹部３７を形成した箇所にだけ段差が形成される。すなわち、実施形態では、熱膨張の変形応力が段差コーナー部３７ａに集中するため、金属板３０において第１凹部３７が形成されていない部位には反りが生じにくい。
【0037】
これにより、金属板３０の反りが固定部材４０を介してセラミック体１０に伝わり、セラミック体１０が反ることをさらに低減できる。したがって、実施形態によれば、セラミック体１０の第１面１１と試料全体とをさらに均等に接触させることができるため、試料全体をさらに均等に加熱することができる。
【0038】
また、実施形態では、金属板３０の薄肉部３５に第１通気孔３６が位置してもよい。これにより、中央部３３が熱膨張した際の体積変化をさらに減少させることができるため、金属板３０の反りをさらに低減することができる。
【0039】
すなわち、金属板３０の反りが固定部材４０を介してセラミック体１０に伝わり、セラミック体１０が反ることをさらに低減できる。したがって、実施形態によれば、セラミック体１０の第１面１１と試料全体とをさらに均等に接触させることができるため、試料全体をさらに均等に加熱することができる。
【0040】
また、実施形態では、薄肉部３５の厚みＴ１が、周辺部３４の厚みＴ２の１０（％）～９０（％）であるとよく、１０（％）～５０（％）であると好ましく、２０（％）～３０（％）であるとさらに好ましい。
【0041】
厚みＴ１を上記の範囲に設定することで、中央部３３が熱膨張した際の体積変化をさらに減少させることができるため、金属板３０の反りをさらに低減することができる。
【0042】
すなわち、金属板３０の反りが固定部材４０を介してセラミック体１０に伝わり、セラミック体１０が反ることをさらに低減できる。したがって、実施形態によれば、セラミック体１０の第１面１１と試料全体とをさらに均等に接触させることができるため、試料全体をさらに均等に加熱することができる。
【0043】
【0044】
図３に示すように、別の実施形態１に係る試料保持具１では、金属板３０の中央部３３の構成が上述の実施形態と異なる。そこで、以降の例では、すでに説明した実施形態等と同様の部位については同じ符号を付して、詳細な説明は省略する。
【0045】
具体的には、別の実施形態１では、金属板３０が第４面３２に開口する第２凹部３８を有し、薄肉部３５は、第２凹部３８に対応して位置する。
【0046】
これによっても、中央部３３に位置する薄肉部３５により、中央部３３が熱膨張した際の体積変化を減少させることができるため、金属板３０の反りを低減することができる。さらに、熱膨張の応力は肉厚の薄い部分（すなわち、薄肉部３５）に集中するため、肉厚の厚い部分（すなわち、周辺部３４）には反りが生じにくくなる。
【0047】
これにより、金属板３０の反りが固定部材４０（図１参照）を介してセラミック体１０（図１参照）に伝わり、セラミック体１０が反ることを低減できる。したがって、別の実施形態１によれば、セラミック体１０の第１面１１（図１参照）と試料全体とを均等に接触させることができるため、試料全体を均等に加熱することができる。
【0048】
また、別の実施形態１では、薄肉部３５が、金属板３０の第４面３２に位置する第２凹部３８によって形成されてもよい。このような構成では、熱膨張による応力が集中する箇所が第４面３２側に位置する段差コーナー部３８ａとなるため、セラミック体１０と向かい合う金属板３０の第３面３１には、ほとんど応力が集中しなくなる。
【0049】
すなわち、薄肉部３５が金属板３０の第４面３２に位置する第２凹部３８によって形成されることで、金属板３０の反りをさらに低減することができる。
【0050】
これにより、金属板３０の反りが固定部材４０を介してセラミック体１０に伝わり、セラミック体１０が反ることをさらに低減できる。したがって、別の実施形態１によれば、セラミック体１０の第１面１１と試料全体とをさらに均等に接触させることができるため、試料全体をさらに均等に加熱することができる。
【0051】
また、別の実施形態１では、第２凹部３８の上底面３８ｂが、第３面３１と平行になっていてもよい。別の実施形態１では、金属板３０の第３面３１および第４面３２に凹凸がないため、第２凹部３８を形成した箇所にだけ段差が形成される。すなわち、別の実施形態１では、熱膨張の変形応力が段差コーナー部３８ａに集中するため、金属板３０において第２凹部３８が形成されていない部位には反りが生じにくい。
【0052】
これにより、金属板３０の反りが固定部材４０を介してセラミック体１０に伝わり、セラミック体１０が反ることをさらに低減できる。したがって、別の実施形態１によれば、セラミック体１０の第１面１１と試料全体とをさらに均等に接触させることができるため、試料全体をさらに均等に加熱することができる。
【0053】
なお、図３の例では、筒状部材５０の端面５２が金属板３０の第４面３２に接する例について示したが、本開示はかかる例に限られない。図４は、別の実施形態２に係る試料保持具１の金属板３０の中央部３３およびその近傍を示す拡大断面図である。
【0054】
図４に示すように、本開示では、筒状部材５０の端面５２が第２凹部３８の上底面３８ｂに接していてもよい。これによっても、金属板３０の第１通気孔３６が筒状部材５０の空間５１に繋がることで、第１通気孔３６および筒状部材５０を通じて、セラミック体１０と金属板３０との間の熱がこもった雰囲気ガスを吸引することができる。
【0055】
そのため、セラミック体１０と金属板３０との間の熱のこもりを低減できるため、金属板３０の熱変形を低減することができる。したがって、別の実施形態２によれば、試料保持具１の耐久性を高めることができる。
【0056】
＜別の実施形態３、４＞
図５は、別の実施形態３に係る試料保持具１の金属板３０の中央部３３およびその近傍を示す拡大断面図である。図５に示すように、別の実施形態３に係る試料保持具１では、金属板３０の第３面３１に第１凹部３７が位置するとともに、第４面３２に第２凹部３８が位置する。そして、薄肉部３５は、第１凹部３７および第２凹部３８に対応して位置する。
図５は、別の実施形態３に係る試料保持具１の金属板３０の中央部３３およびその近傍を示す拡大断面図である。図５に示すように、別の実施形態３に係る試料保持具１では、金属板３０の第３面３１に第１凹部３７が位置するとともに、第４面３２に第２凹部３８が位置する。そして、薄肉部３５は、第１凹部３７および第２凹部３８に対応して位置する。
【0057】
すなわち、別の実施形態３では、金属板３０の第３面３１に第１凹部３７が位置するとともに、第４面３２に第２凹部３８が位置することで、金属板３０の中央部３３に薄肉部３５が形成される。
【0058】
これによっても、中央部３３に位置する薄肉部３５により、中央部３３が熱膨張した際の体積変化を減少させることができるため、金属板３０の反りを低減することができる。さらに、熱膨張の応力は肉厚の薄い部分（すなわち、薄肉部３５）に集中するため、肉厚の厚い部分（すなわち、周辺部３４）には反りが生じにくくなる。
【0059】
これにより、金属板３０の反りが固定部材４０（図１参照）を介してセラミック体１０（図１参照）に伝わり、セラミック体１０が反ることを低減できる。したがって、別の実施形態３によれば、セラミック体１０の第１面１１（図１参照）と試料全体とを均等に接触させることができるため、試料全体を均等に加熱することができる。
【0060】
また、別の実施形態３では、薄肉部３５が、金属板３０の第３面３１および第４面３２にそれぞれ位置する第１凹部３７および第２凹部３８によって形成されてもよい。
【0061】
このような構成によって、第３面３１および第４面３２にそれぞれ形成された段差コーナー部３７ａ、３８ａに、熱膨張による応力が分散する。さらに、第１凹部３７および第２凹部３８が形成された領域内で応力が分散することで、肉厚の厚い周辺部３４では反りが低減される。
【0062】
すなわち、薄肉部３５が金属板３０の第３面３１および第４面３２にそれぞれ位置する第１凹部３７および第２凹部３８によって形成されることで、金属板３０の反りをさらに低減することができる。
【0063】
これにより、金属板３０の反りが固定部材４０を介してセラミック体１０に伝わり、セラミック体１０が反ることをさらに低減できる。したがって、別の実施形態３によれば、セラミック体１０の第１面１１と試料全体とをさらに均等に接触させることができるため、試料全体をさらに均等に加熱することができる。
【0064】
また、別の実施形態３では、第１凹部３７の底面３７ｂおよび第２凹部３８の上底面３８ｂが、第３面３１と平行になっていてもよい。別の実施形態３では、金属板３０の第３面３１および第４面３２に凹凸がないため、第１凹部３７および第２凹部３８を形成した箇所にだけ段差が形成される。
【0065】
すなわち、別の実施形態３では、熱膨張の変形応力が段差コーナー部３７ａ、３８ａに集中するため、金属板３０において第１凹部３７および第２凹部３８が形成されていない部位には反りが生じにくい。
【0066】
これにより、金属板３０の反りが固定部材４０を介してセラミック体１０に伝わり、セラミック体１０が反ることをさらに低減できる。したがって、別の実施形態３によれば、セラミック体１０の第１面１１と試料全体とをさらに均等に接触させることができるため、試料全体をさらに均等に加熱することができる。
【0067】
なお、本開示では、図６に示すように、第１凹部３７の底面３７ｂおよび第２凹部３８の上底面３８ｂが、第３面３１と平行になっていなくてもよい。図６は、別の実施形態４に係る試料保持具１の金属板３０の中央部３３およびその近傍を示す拡大断面図である。
【0068】
これによっても、中央部３３に位置する薄肉部３５により、中央部３３が熱膨張した際の体積変化を減少させることができるため、金属板３０の反りを低減することができる。
【0069】
これにより、金属板３０の反りが固定部材４０（図１参照）を介してセラミック体１０（図１参照）に伝わり、セラミック体１０が反ることを低減できる。したがって、別の実施形態４によれば、セラミック体１０の第１面１１（図１参照）と試料全体とを均等に接触させることができるため、試料全体を均等に加熱することができる。
【0070】
図５の説明に戻る。別の実施形態３では、第１凹部３７の深さＤ１と、第２凹部３８の深さＤ２とが等しくてもよい。このような構成によって、薄肉部３５において上下均等に応力が緩和されることから、金属板３０の反りをさらに低減することができる。
【0071】
これにより、金属板３０の反りが固定部材４０を介してセラミック体１０に伝わり、セラミック体１０が反ることをさらに低減できる。したがって、別の実施形態３によれば、セラミック体１０の第１面１１と試料全体とをさらに均等に接触させることができるため、試料全体をさらに均等に加熱することができる。
【0072】
また、別の実施形態３では、深さＤ１および深さＤ２の合計が、周辺部３４の厚みＴ２の５０（％）以上であってもよい。これにより、金属板３０の反りをさらに低減できることから、金属板３０の反りが固定部材４０を介してセラミック体１０に伝わり、セラミック体１０が反ることをさらに低減できる。
【0073】
したがって、別の実施形態３によれば、セラミック体１０の第１面１１と試料全体とをさらに均等に接触させることができるため、試料全体をさらに均等に加熱することができる。
【0074】
なお、本開示の試料保持具１は、深さＤ１と深さＤ２とが等しい場合に限られず、深さＤ１と深さＤ２とが異なっていてもよい。
【0075】
＜別の実施形態５、６＞
図７は、別の実施形態５に係る試料保持具１の金属板３０の中央部３３およびその近傍を示す拡大断面図（図７の（ａ））および上面図（図７の（ｂ））である。図７に示すように、別の実施形態５に係る試料保持具１では、金属板３０の構成が上述の実施形態と異なる。
図７は、別の実施形態５に係る試料保持具１の金属板３０の中央部３３およびその近傍を示す拡大断面図（図７の（ａ））および上面図（図７の（ｂ））である。図７に示すように、別の実施形態５に係る試料保持具１では、金属板３０の構成が上述の実施形態と異なる。
【0076】
具体的には、別の実施形態５では、金属板３０が第１部材３０Ａおよび第２部材３０Ｂで構成される。第１部材３０Ａは、たとえば、円板状または角板状の部材である。第１部材３０Ａは、第５面３０Ａ１と、かかる第５面３０Ａ１の反対に位置する第６面３０Ａ２とを有する。
【0077】
【0078】
第１部材３０Ａとしては、たとえば、アルミニウムまたは鉄などの金属部材を用いることができる。第１部材３０Ａの寸法は、たとえば、第１部材３０Ａが円板状の場合は、直径を２００（ｍｍ）～６００（ｍｍ）に、厚みを０．５（ｍｍ）～３（ｍｍ）にすることができる。第１部材３０Ａの第５面３０Ａ１とセラミック体１０の第２面１２との間隔は、たとえば、３（ｍｍ）～２０（ｍｍ）にすることができる。
【0079】
第１部材３０Ａは、中央部３０Ａ３および周辺部３０Ａ４を有する。中央部３０Ａ３は、平面視で第１部材３０Ａの中央に位置する部位である。周辺部３０Ａ４は、平面視で中央部３０Ａ３を囲む部位である。そして、第１部材３０Ａは、中央部３０Ａ３の第５面３０Ａ１から第６面３０Ａ２にかけて貫通する貫通孔３０Ａ５を有する。かかる貫通孔３０Ａ５は、たとえば、平面視で円形状を有する。
【0080】
第２部材３０Ｂは、第７面３０Ｂ１と、かかる第７面３０Ｂ１の反対に位置する第８面３０Ｂ２とを有する。第２部材３０Ｂは、第１部材３０Ａの貫通孔３０Ａ５を覆うように位置する。たとえば、別の実施形態５では、第２部材３０Ｂが、第１部材３０Ａの貫通孔３０Ａ５を第５面３０Ａ１側から覆うように位置する。
【0081】
第２部材３０Ｂは、たとえば、平面視で円形状を有し、第７面３０Ｂ１から第８面３０Ｂ２にかけて貫通する第２通気孔３０Ｂ４を複数有する。また、第２部材３０Ｂは、第８面３０Ｂ２側に凸部３０Ｂ３を有し、かかる凸部３０Ｂ３が第１部材３０Ａの貫通孔３０Ａ５内に位置する。
【0082】
すなわち、別の実施形態５では、第８面３０Ｂ２側の凸部３０Ｂ３が貫通孔３０Ａ５に挿入される。第２部材３０Ｂとしては、たとえば、アルミニウムまたは鉄などの金属部材を用いることができる。
【0083】
ここで、別の実施形態５では、第２部材３０Ｂの厚みＴ３が、第１部材３０Ａの周辺部３０Ａ４の厚みＴ４よりも薄くてもよい。すなわち、別の実施形態５では、第１部材３０Ａの中央部３０Ａ３に位置する第２部材３０Ｂによって、薄肉部３５が形成されてもよい。
【0084】
かかる薄肉部３５によって、中央部３０Ａ３が熱膨張した際の体積変化を減少させることができるため、金属板３０の反りを低減することができる。
【0085】
また、別の実施形態５では、第１部材３０Ａが中央部３０Ａ３に貫通孔３０Ａ５を有するリング形状であるため、熱膨張の応力を分散しやすい形状である。また、別の実施形態５では、第２部材３０Ｂがリング形状の第１部材３０Ａの貫通孔３０Ａ５を覆う位置に配置されているため、熱膨張の応力によって第１部材３０Ａがツイスト変形することを低減できる。
【0086】
これにより、金属板３０の反りが固定部材４０（図１参照）を介してセラミック体１０に伝わり、セラミック体１０が反ることを低減できる。したがって、別の実施形態５によれば、セラミック体１０の第１面１１（図１参照）と試料全体とを均等に接触させることができるため、試料全体を均等に加熱することができる。
【0087】
また、別の実施形態５では、第２部材３０Ｂが第１部材３０Ａの貫通孔３０Ａ５を上方から覆ってもよい。すなわち、別の実施形態５では、第２部材３０Ｂが、第１部材３０Ａの第５面３０Ａ１に接してもよい。
【0088】
これにより、第２部材３０Ｂを第１部材３０Ａよりもセラミック体１０に近づけることができるため、第１部材３０Ａよりも第２部材３０Ｂのほうがより大きく変形することから、金属板３０全体では応力を緩和することができる。
【0089】
すなわち、別の実施形態５では、金属板３０の反りをさらに低減できることから、金属板３０の反りが固定部材４０を介してセラミック体１０に伝わり、セラミック体１０が反ることをさらに低減できる。
【0090】
したがって、別の実施形態５によれば、セラミック体１０の第１面１１と試料全体とをさらに均等に接触させることができるため、試料全体をさらに均等に加熱することができる。
【0091】
また、別の実施形態５では、第２部材３０Ｂに第２通気孔３０Ｂ４が位置してもよい。これにより、中央部３０Ａ３に位置する第２部材３０Ｂが熱膨張した際の体積変化をさらに減少させることができるため、金属板３０の反りをさらに低減することができる。
【0092】
すなわち、金属板３０の反りが固定部材４０を介してセラミック体１０に伝わり、セラミック体１０が反ることをさらに低減できる。したがって、別の実施形態５によれば、セラミック体１０の第１面１１と試料全体とをさらに均等に接触させることができるため、試料全体をさらに均等に加熱することができる。
【0093】
また、別の実施形態５では、第１部材３０Ａの中央部３０Ａ３における第６面３０Ａ２に筒状部材５０の端面５２が接するとともに、第２部材３０Ｂは、第７面３０Ｂ１から第８面３０Ｂ２に貫通する第２通気孔３０Ｂ４を有してもよい。
【0094】
すなわち、別の実施形態５では、第２部材３０Ｂの第２通気孔３０Ｂ４が、筒状部材５０の空間５１に繋がっていてもよい。これにより、第２通気孔３０Ｂ４および筒状部材５０を通じて、セラミック体１０と金属板３０との間の熱がこもった雰囲気ガスを吸引することができる。
【0095】
そのため、セラミック体１０と金属板３０との間の熱のこもりを低減できるため、金属板３０の熱変形を低減することができる。したがって、別の実施形態５によれば、試料保持具１の耐久性を高めることができる。
【0096】
また、別の実施形態５では、第２部材３０Ｂの厚みＴ３が、第１部材３０Ａの周辺部３０Ａ４の厚みＴ４の１０（％）～９０（％）であるとよく、１０（％）～５０（％）であると好ましく、２０（％）～３０（％）であるとさらに好ましい。
【0097】
厚みＴ３を上記の範囲に設定することで、中央部３０Ａ３に位置する第２部材３０Ｂが熱膨張した際の体積変化をさらに減少させることができるため、金属板３０の反りをさらに低減することができる。
【0098】
すなわち、金属板３０の反りが固定部材４０を介してセラミック体１０に伝わり、セラミック体１０が反ることをさらに低減できる。したがって、別の実施形態５によれば、セラミック体１０の第１面１１と試料全体とをさらに均等に接触させることができるため、試料全体をさらに均等に加熱することができる。
【0099】
また、別の実施形態５では、図７の（ｂ）に示すように、第２部材３０Ｂが第１部材３０Ａに対して複数のボルト６０で固定されてもよい。これにより、かかるボルト６０の近傍に応力を集中させることができるため、肉厚の第１部材３０Ａは変形しにくくなる。
【0100】
すなわち、別の実施形態５では、金属板３０の反りをさらに低減できることから、金属板３０の反りが固定部材４０を介してセラミック体１０に伝わり、セラミック体１０が反ることをさらに低減できる。
【0101】
したがって、別の実施形態５によれば、セラミック体１０の第１面１１と試料全体とをさらに均等に接触させることができるため、試料全体をさらに均等に加熱することができる。
【0102】
また、別の実施形態５では、第２部材３０Ｂは、第１部材３０Ａと同じ材質を用いてもよい。これにより、第１部材３０Ａの線膨張係数と第２部材３０Ｂの線膨張係数とを揃えることができるため、金属板３０全体が予期しない形に変形することを低減できる。
【0103】
なお、図７の例では、第２部材３０Ｂに位置する第２通気孔３０Ｂ４の内径が、すべての位置で均等である場合について示したが、本開示はかかる例に限られない。
【0104】
図８は、別の実施形態６に係る試料保持具１の金属板３０の中央部３０Ａ３を示す拡大断面図である。図８に示すように、別の実施形態６では、第２通気孔３０Ｂ４において、凸部３０Ｂ３側（図で下端部）の開口部の内径Ｌ１が、凸部３０Ｂ３とは反対側（図では上端部）の開口部の内径Ｌ２よりも大きくてもよい。
【0105】
このような構成によって、第２部材３０Ｂにおける凸部３０Ｂ３側の体積がさらに小さくなるため、第２部材３０Ｂは、熱膨張によって凸部３０Ｂ３とは反対側（すなわち、上側）に凸に変形しやすくなる。
【0106】
そして、第２部材３０Ｂが凸部３０Ｂ３とは反対側に凸に変形することで、第１部材３０Ａにかかる応力を逃がすことができるため、第１部材３０Ａの変形をさらに低減することができる。
【0107】
すなわち、別の実施形態６では、金属板３０の反りをさらに低減できることから、金属板３０の反りが固定部材４０（図１参照）を介してセラミック体１０（図１参照）に伝わり、セラミック体１０が反ることをさらに低減できる。
【0108】
したがって、別の実施形態６によれば、セラミック体１０の第１面１１（図１参照）と試料全体とをさらに均等に接触させることができるため、試料全体をさらに均等に加熱することができる。
【0109】
＜別の実施形態７、８＞
図９は、別の実施形態７に係る試料保持具１の金属板３０の中央部３０Ａ３およびその近傍を示す拡大断面図である。図９に示すように、別の実施形態７に係る試料保持具１では、第２部材３０Ｂの配置が上述の別の実施形態５と異なる。
図９は、別の実施形態７に係る試料保持具１の金属板３０の中央部３０Ａ３およびその近傍を示す拡大断面図である。図９に示すように、別の実施形態７に係る試料保持具１では、第２部材３０Ｂの配置が上述の別の実施形態５と異なる。
【0110】
具体的には、別の実施形態７では、第２部材３０Ｂが、第１部材３０Ａの貫通孔３０Ａ５を第６面３０Ａ２側から覆うように位置する。また、第２部材３０Ｂは、第７面３０Ｂ１側に凸部３０Ｂ３を有し、かかる凸部３０Ｂ３が第１部材３０Ａの貫通孔３０Ａ５内に位置する。すなわち、別の実施形態７では、第７面３０Ｂ１側の凸部３０Ｂ３が貫通孔３０Ａ５に挿入される。
【0111】
これによっても、第１部材３０Ａの中央部３０Ａ３に位置する第２部材３０Ｂによって薄肉部３５が形成されることで、中央部３０Ａ３が熱膨張した際の体積変化を減少させることができるため、金属板３０の反りを低減することができる。
【0112】
また、別の実施形態７では、第１部材３０Ａが中央部３０Ａ３に貫通孔３０Ａ５を有するリング形状であるため、熱膨張の応力を分散しやすい形状である。また、別の実施形態７では、第２部材３０Ｂがリング形状の第１部材３０Ａの貫通孔３０Ａ５を覆う位置に配置されているため、熱膨張の応力によって第１部材３０Ａがツイスト変形することを低減できる。
【0113】
これにより、金属板３０の反りが固定部材４０（図１参照）を介してセラミック体１０（図１参照）に伝わり、セラミック体１０が反ることを低減できる。したがって、別の実施形態７によれば、セラミック体１０の第１面１１（図１参照）と試料全体とを均等に接触させることができるため、試料全体を均等に加熱することができる。
【0114】
また、別の実施形態７では、第２部材３０Ｂが第１部材３０Ａの貫通孔３０Ａ５を下方から覆ってもよい。すなわち、別の実施形態７では、第２部材３０Ｂが、第１部材３０Ａの第６面３０Ａ２に接してもよい。
【0115】
このような構成によって、熱膨張の変形応力が第１部材３０Ａの段差コーナー部３０Ａ６に集中するため、第１部材３０Ａには反りが生じにくい。
【0116】
すなわち、金属板３０の反りをさらに低減することができるため、金属板３０の反りが固定部材４０を介してセラミック体１０に伝わり、セラミック体１０が反ることをさらに低減できる。
【0117】
したがって、別の実施形態７によれば、セラミック体１０の第１面１１と試料全体とをさらに均等に接触させることができるため、試料全体をさらに均等に加熱することができる。
【0118】
なお、図９の例では、第２部材３０Ｂに位置する第２通気孔３０Ｂ４の内径が、すべての位置で均等である場合について示したが、本開示はかかる例に限られない。
【0119】
図１０は、別の実施形態８に係る試料保持具１の金属板３０の中央部３０Ａ３を示す拡大断面図である。図１０に示すように、別の実施形態８では、第２通気孔３０Ｂ４において、凸部３０Ｂ３側（図では上端部）の開口部の内径Ｌ１が、凸部３０Ｂ３とは反対側（図では下端部）の開口部の内径Ｌ２よりも大きくてもよい。
【0120】
このような構成によって、第２部材３０Ｂにおける凸部３０Ｂ３側の体積がさらに小さくなるため、第２部材３０Ｂは、熱膨張によって凸部３０Ｂ３とは反対側（すなわち、下側）に凸に変形しやすくなる。
【0121】
そして、第２部材３０Ｂが凸部３０Ｂ３とは反対側に凸に変形することで、第１部材３０Ａにかかる応力を逃がすことができるため、第１部材３０Ａの変形をさらに低減することができる。
【0122】
すなわち、別の実施形態８では、金属板３０の反りをさらに低減できることから、金属板３０の反りが固定部材４０（図１参照）を介してセラミック体１０（図１参照）に伝わり、セラミック体１０が反ることをさらに低減できる。
【0123】
したがって、別の実施形態８によれば、セラミック体１０の第１面１１（図１参照）と試料全体とをさらに均等に接触させることができるため、試料全体をさらに均等に加熱することができる。
【0124】
＜別の実施形態９＞
図１１は、別の実施形態９に係る試料保持具１の金属板３０の中央部３０Ａ３およびその近傍を示す拡大断面図である。図１１に示すように、別の実施形態９に係る試料保持具１では、第１部材３０Ａおよび一対の第２部材３０Ｂが金属板３０に設けられる。
図１１は、別の実施形態９に係る試料保持具１の金属板３０の中央部３０Ａ３およびその近傍を示す拡大断面図である。図１１に示すように、別の実施形態９に係る試料保持具１では、第１部材３０Ａおよび一対の第２部材３０Ｂが金属板３０に設けられる。
【0125】
一方の第２部材３０Ｂは、第１部材３０Ａの貫通孔３０Ａ５を第５面３０Ａ１側から覆うように位置し、もう一方の第２部材３０Ｂは、第１部材３０Ａの貫通孔３０Ａ５を第６面３０Ａ２側から覆うように位置する。すなわち、一方の第２部材３０Ｂは第１部材３０Ａの第５面３０Ａ１に接し、もう一方の第２部材３０Ｂは第１部材３０Ａの第６面３０Ａ２に接する。
【0126】
そして、別の実施形態９では、一方の第２部材３０Ｂの厚みＴ３ａと、もう一方の第２部材３０Ｂの厚みＴ３ｂの合計が、第１部材３０Ａの周辺部３０Ａ４の厚みＴ４よりも薄くてもよい。すなわち、別の実施形態９では、第１部材３０Ａの中央部３０Ａ３に位置する一対の第２部材３０Ｂによって、薄肉部３５が形成されてもよい。
【0127】
かかる薄肉部３５によって、中央部３０Ａ３が熱膨張した際の体積変化を減少させることができるため、金属板３０の反りを低減することができる。
【0128】
また、別の実施形態９では、第１部材３０Ａが中央部３０Ａ３に貫通孔３０Ａ５を有するリング形状であるため、熱膨張の応力を分散しやすい形状である。また、別の実施形態９では、一対の第２部材３０Ｂがリング形状の第１部材３０Ａの貫通孔３０Ａ５を覆う位置に配置されているため、熱膨張の応力によって第１部材３０Ａがツイスト変形することを低減できる。
【0129】
これにより、金属板３０の反りが固定部材４０（図１参照）を介してセラミック体１０（図１参照）に伝わり、セラミック体１０が反ることを低減できる。したがって、別の実施形態９によれば、セラミック体１０の第１面１１（図１参照）と試料全体とを均等に接触させることができるため、試料全体を均等に加熱することができる。
【0130】
＜別の実施形態１０＞
図１２は、別の実施形態１０に係る試料保持具１の金属板３０の中央部３０Ａ３およびその近傍を示す拡大断面図である。図１２に示すように、別の実施形態１０に係る試料保持具１では、第２部材３０Ｂの構成が上述の別の実施形態５と異なる。
図１２は、別の実施形態１０に係る試料保持具１の金属板３０の中央部３０Ａ３およびその近傍を示す拡大断面図である。図１２に示すように、別の実施形態１０に係る試料保持具１では、第２部材３０Ｂの構成が上述の別の実施形態５と異なる。
【0131】
具体的には、別の実施形態１０では、第２部材３０Ｂが平板状であり、凸部３０Ｂ３（図７参照）を有さない。そして、別の実施形態１０では、平板状の第２部材３０Ｂが、第１部材３０Ａの貫通孔３０Ａ５を第５面３０Ａ１側から覆うように位置する。
【0132】
ここで、別の実施形態１０では、平板状の第２部材３０Ｂの厚みＴ３が、第１部材３０Ａの周辺部３０Ａ４の厚みＴ４よりも薄くてもよい。すなわち、別の実施形態１０では、第１部材３０Ａの中央部３０Ａ３に位置する第２部材３０Ｂによって、薄肉部３５が形成されてもよい。
【0133】
かかる薄肉部３５によって、中央部３０Ａ３が熱膨張した際の体積変化を減少させることができるため、金属板３０の反りを低減することができる。
【0134】
また、別の実施形態１０では、第１部材３０Ａが中央部３０Ａ３に貫通孔３０Ａ５を有するリング形状であるため、熱膨張の応力を分散しやすい形状である。また、別の実施形態１０では、第２部材３０Ｂがリング形状の第１部材３０Ａの貫通孔３０Ａ５を覆う位置に配置されているため、熱膨張の応力によって第１部材３０Ａがツイスト変形することを低減できる。
【0135】
これにより、金属板３０の反りが固定部材４０（図１参照）を介してセラミック体１０（図１参照）に伝わり、セラミック体１０が反ることを低減できる。したがって、別の実施形態１０によれば、セラミック体１０の第１面１１（図１参照）と試料全体とを均等に接触させることができるため、試料全体を均等に加熱することができる。
【0136】
また、別の実施形態１０では、平板状の第２部材３０Ｂが第１部材３０Ａの貫通孔３０Ａ５を上方から覆ってもよい。すなわち、別の実施形態１０では、平板状の第２部材３０Ｂが、第１部材３０Ａの第５面３０Ａ１に接してもよい。
【0137】
これにより、第２部材３０Ｂを第１部材３０Ａよりもセラミック体１０に近づけることができるため、第１部材３０Ａよりも第２部材３０Ｂのほうがより大きく変形することから、金属板３０全体では応力を緩和することができる。
【0138】
すなわち、別の実施形態１０では、金属板３０の反りをさらに低減できることから、金属板３０の反りが固定部材４０を介してセラミック体１０に伝わり、セラミック体１０が反ることをさらに低減できる。
【0139】
したがって、別の実施形態１０によれば、セラミック体１０の第１面１１と試料全体とをさらに均等に接触させることができるため、試料全体をさらに均等に加熱することができる。
【0140】
＜別の実施形態１１＞
図１３は、別の実施形態１１に係る試料保持具１の金属板３０の中央部３０Ａ３およびその近傍を示す拡大断面図である。図１３に示すように、別の実施形態１１に係る試料保持具１では、第２部材３０Ｂの配置が上述の別の実施形態１０と異なる。
図１３は、別の実施形態１１に係る試料保持具１の金属板３０の中央部３０Ａ３およびその近傍を示す拡大断面図である。図１３に示すように、別の実施形態１１に係る試料保持具１では、第２部材３０Ｂの配置が上述の別の実施形態１０と異なる。
【0141】
具体的には、別の実施形態１１では、平板状の第２部材３０Ｂが、第１部材３０Ａの貫通孔３０Ａ５を第６面３０Ａ２側から覆うように位置する。
【0142】
これによっても、第１部材３０Ａの中央部３０Ａ３に位置する平板状の第２部材３０Ｂによって薄肉部３５が形成されることで、中央部３０Ａ３が熱膨張した際の体積変化を減少させることができるため、金属板３０の反りを低減することができる。
【0143】
また、別の実施形態１１では、第１部材３０Ａが中央部３０Ａ３に貫通孔３０Ａ５を有するリング形状であるため、熱膨張の応力を分散しやすい形状である。また、別の実施形態１１では、第２部材３０Ｂがリング形状の第１部材３０Ａの貫通孔３０Ａ５を覆う位置に配置されているため、熱膨張の応力によって第１部材３０Ａがツイスト変形することを低減できる。
【0144】
これにより、金属板３０の反りが固定部材４０（図１参照）を介してセラミック体１０（図１参照）に伝わり、セラミック体１０が反ることを低減できる。したがって、別の実施形態１１によれば、セラミック体１０の第１面１１（図１参照）と試料全体とを均等に接触させることができるため、試料全体を均等に加熱することができる。
【0145】
また、別の実施形態１１では、平板状の第２部材３０Ｂが第１部材３０Ａの貫通孔３０Ａ５を下方から覆ってもよい。すなわち、別の実施形態１１では、第２部材３０Ｂが、第１部材３０Ａの第６面３０Ａ２に接してもよい。
【0146】
このような構成によって、熱膨張の変形応力が第１部材３０Ａの段差コーナー部３０Ａ６に集中するため、第１部材３０Ａには反りが生じにくい。
【0147】
すなわち、金属板３０の反りをさらに低減することができるため、金属板３０の反りが固定部材４０を介してセラミック体１０に伝わり、セラミック体１０が反ることをさらに低減できる。
【0148】
したがって、別の実施形態１１によれば、セラミック体１０の第１面１１と試料全体とをさらに均等に接触させることができるため、試料全体をさらに均等に加熱することができる。
【0149】
＜別の実施形態１２＞
図１４は、別の実施形態１２に係る試料保持具１の金属板３０の中央部３０Ａ３およびその近傍を示す拡大断面図である。図１４に示すように、別の実施形態１２に係る試料保持具１では、第１部材３０Ａおよび一対の平板状の第２部材３０Ｂが金属板３０に設けられる。
図１４は、別の実施形態１２に係る試料保持具１の金属板３０の中央部３０Ａ３およびその近傍を示す拡大断面図である。図１４に示すように、別の実施形態１２に係る試料保持具１では、第１部材３０Ａおよび一対の平板状の第２部材３０Ｂが金属板３０に設けられる。
【0150】
一方の第２部材３０Ｂは、第１部材３０Ａの貫通孔３０Ａ５を第５面３０Ａ１側から覆うように位置し、もう一方の第２部材３０Ｂは、第１部材３０Ａの貫通孔３０Ａ５を第６面３０Ａ２側から覆うように位置する。すなわち、一方の第２部材３０Ｂは第１部材３０Ａの第５面３０Ａ１に接し、もう一方の第２部材３０Ｂは第１部材３０Ａの第６面３０Ａ２に接する。
【0151】
そして、別の実施形態１２では、一方の第２部材３０Ｂの厚みＴ３ａと、もう一方の第２部材３０Ｂの厚みＴ３ｂの合計が、第１部材３０Ａの周辺部３０Ａ４の厚みＴ４よりも薄くてもよい。すなわち、別の実施形態１２では、第１部材３０Ａの中央部３０Ａ３に位置する一対の平板状の第２部材３０Ｂによって、薄肉部３５が形成されてもよい。
【0152】
かかる薄肉部３５によって、中央部３０Ａ３が熱膨張した際の体積変化を減少させることができるため、金属板３０の反りを低減することができる。
【0153】
また、別の実施形態１２では、第１部材３０Ａが中央部３０Ａ３に貫通孔３０Ａ５を有するリング形状であるため、熱膨張の応力を分散しやすい形状である。また、別の実施形態１２では、一対の第２部材３０Ｂがリング形状の第１部材３０Ａの貫通孔３０Ａ５を覆う位置に配置されているため、熱膨張の応力によって第１部材３０Ａがツイスト変形することを低減できる。
【0154】
これにより、金属板３０の反りが固定部材４０（図１参照）を介してセラミック体１０（図１参照）に伝わり、セラミック体１０が反ることを低減できる。したがって、別の実施形態１２によれば、セラミック体１０の第１面１１（図１参照）と試料全体とを均等に接触させることができるため、試料全体を均等に加熱することができる。
【0155】
＜別の実施形態１３＞
図１５は、別の実施形態１３に係る試料保持具１の金属板３０の中央部３０Ａ３およびその近傍を示す拡大断面図である。図１５に示すように、別の実施形態１３に係る試料保持具１では、第２部材３０Ｂの構成が上述の別の実施形態５～１２と異なる。
図１５は、別の実施形態１３に係る試料保持具１の金属板３０の中央部３０Ａ３およびその近傍を示す拡大断面図である。図１５に示すように、別の実施形態１３に係る試料保持具１では、第２部材３０Ｂの構成が上述の別の実施形態５～１２と異なる。
【0156】
具体的には、別の実施形態１３では、第２部材３０Ｂの第７面３０Ｂ１側および第８面３０Ｂ２側にそれぞれ一対の凸部３０Ｂ３が位置する。そして、別の実施形態１３では、この第２部材３０Ｂが、第１部材３０Ａの貫通孔３０Ａ５を第６面３０Ａ２側から覆うように位置するとともに、一方の凸部３０Ｂ３が第１部材３０Ａの貫通孔３０Ａ５内に位置する。すなわち、別の実施形態１３では、一方の凸部３０Ｂ３が貫通孔３０Ａ５に挿入される。
【0157】
これによっても、第１部材３０Ａの中央部３０Ａ３に位置する第２部材３０Ｂによって薄肉部３５が形成されることで、中央部３０Ａ３が熱膨張した際の体積変化を減少させることができるため、金属板３０の反りを低減することができる。
【0158】
また、別の実施形態１３では、第１部材３０Ａが中央部３０Ａ３に貫通孔３０Ａ５を有するリング形状であるため、熱膨張の応力を分散しやすい形状である。また、別の実施形態１３では、第２部材３０Ｂがリング形状の第１部材３０Ａの貫通孔３０Ａ５を覆う位置に配置されているため、熱膨張の応力によって第１部材３０Ａがツイスト変形することを低減できる。
【0159】
これにより、金属板３０の反りが固定部材４０（図１参照）を介してセラミック体１０（図１参照）に伝わり、セラミック体１０が反ることを低減できる。したがって、別の実施形態１３によれば、セラミック体１０の第１面１１（図１参照）と試料全体とを均等に接触させることができるため、試料全体を均等に加熱することができる。
【0160】
また、別の実施形態１３では、第２部材３０Ｂが一対の凸部３０Ｂ３を有することで、かかる第２部材３０Ｂの表面積が増加するため、第２部材３０Ｂの冷却性能を向上させることができる。
【0161】
これにより、第２部材３０Ｂの熱のこもりを低減できるため、第２部材３０Ｂの熱変形を低減することができる。したがって、別の実施形態１３によれば、試料保持具１の耐久性を高めることができる。
【0162】
また、別の実施形態１３では、第２部材３０Ｂが第１部材３０Ａの貫通孔３０Ａ５を下方から覆ってもよい。すなわち、別の実施形態１３では、第２部材３０Ｂが、第１部材３０Ａの第６面３０Ａ２に接してもよい。
【0163】
このような構成によって、熱膨張の変形応力が第１部材３０Ａの段差コーナー部３０Ａ６に集中するため、第１部材３０Ａには反りが生じにくい。
【0164】
すなわち、金属板３０の反りをさらに低減することができるため、金属板３０の反りが固定部材４０を介してセラミック体１０に伝わり、セラミック体１０が反ることをさらに低減できる。
【0165】
したがって、別の実施形態１３によれば、セラミック体１０の第１面１１と試料全体とをさらに均等に接触させることができるため、試料全体をさらに均等に加熱することができる。
【0166】
なお、図１５の例では、第２部材３０Ｂが第１部材３０Ａの貫通孔３０Ａ５を第６面３０Ａ２側から覆うように位置するとともに、上側の凸部３０Ｂ３が第１部材３０Ａの貫通孔３０Ａ５に挿入される例について示したが、本開示はかかる例に限られない。
【0167】
たとえば、本開示では、第２部材３０Ｂが第１部材３０Ａの貫通孔３０Ａ５を第５面３０Ａ１側から覆うように位置するとともに、下側の凸部３０Ｂ３が第１部材３０Ａの貫通孔３０Ａ５に挿入されてもよい。
【0168】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。たとえば、上記の実施形態では、試料保持具１に筒状部材５０が設けられるとともに、かかる筒状部材５０の空間５１に繋がる第１通気孔３６または第２通気孔３０Ｂ４が金属板３０に設けられる例について示したが、本開示はかかる例に限られない。
【0169】
たとえば、試料保持具１に筒状部材５０が設けられなくてもよいし、金属板３０に第１通気孔３６または第２通気孔３０Ｂ４が設けられなくてもよい。これによっても、金属板３０の中央部３３または第１部材３０Ａの中央部３０Ａ３に薄肉部３５を設けることで、セラミック体１０の上面に保持される試料全体を均等に加熱することができる。
【0170】
さらなる効果や他の態様は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細および代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の特許請求の範囲およびその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。
【0171】
なお、本技術は以下のような構成も取ることができる。
（１）
板状のセラミック体と、
発熱抵抗体と、
金属板と、
固定部材と、を備え、
前記セラミック体は、試料を保持する第１面および該第１面の反対に位置する第２面を有し、
前記発熱抵抗体は、前記セラミック体の内部または前記第２面に位置し、
前記金属板は、前記セラミック体の前記第２面と離間して対向する第３面および該第３面の反対に位置する第４面を有し、
前記固定部材は、前記金属板と前記セラミック体とを固定しており、
前記金属板は、中央部に周辺部よりも厚みが薄い薄肉部を有する
試料保持具。
（２）
前記金属板の前記中央部における前記第４面に端面が接する筒状部材、を備え、
前記金属板は、前記中央部の前記第３面から前記第４面に貫通する第１通気孔を有する
前記（１）に記載の試料保持具。
（３）
前記金属板は、前記第３面に開口する第１凹部を有し、
前記薄肉部は、前記第１凹部に対応して位置する
前記（１）または（２）に記載の試料保持具。
（４）
前記金属板は、前記第４面に開口する第２凹部を有し、
前記薄肉部は、前記第２凹部に対応して位置する
前記（１）～（３）のいずれか一つに記載の試料保持具。
（５）
前記金属板は、前記第３面に開口する第１凹部および前記第４面に開口する第２凹部を有し、
前記薄肉部は、前記第１凹部および前記第２凹部に対応して位置し、
前記第１凹部および前記第２凹部は、深さが等しい
前記（１）または（２）に記載の試料保持具。
（６）
板状のセラミック体と、
発熱抵抗体と、
金属板と、
固定部材と、を備え、
前記セラミック体は、試料を保持する第１面および該第１面の反対に位置する第２面を有し、
前記発熱抵抗体は、前記セラミック体の内部または前記第２面に位置し、
前記金属板は、
前記セラミック体の前記第２面と離間して対向する第５面および該第５面の反対に位置する第６面を有し、中央部に貫通孔を有する第１部材と、
第７面および該第７面の反対に位置する第８面を有し、前記第１部材の前記貫通孔を覆うように位置する第２部材と、を有し、
前記第２部材によって前記第１部材の前記中央部に周辺部よりも厚みが薄い薄肉部が形成される
試料保持具。
（７）
前記第１部材の前記中央部における前記第６面に端面が接する筒状部材、を備え、
前記第２部材は、前記第７面から前記第８面に貫通する第２通気孔を有する
前記（６）に記載の試料保持具。
（８）
前記第２通気孔は、上端部と下端部とで内径が異なる
前記（７）に記載の試料保持具。
（９）
前記第２部材は、前記第１部材の前記第５面に接する
前記（６）～（８）のいずれか一つに記載の試料保持具。
（１０）
前記第２部材は、前記第１部材の前記第６面に接する
前記（６）～（９）のいずれか一つに記載の試料保持具。
（１１）
前記第２部材は、平板状である
前記（６）～（１０）のいずれか一つに記載の試料保持具。
（１２）
前記第２部材は、前記第７面または前記第８面に凸部を有し、前記凸部が前記第１部材の前記貫通孔内に位置する
前記（６）～（１０）のいずれか一つに記載の試料保持具。
（１３）
前記第２部材は、前記第７面および前記第８面に一対の凸部を有し、一方の前記凸部が前記第１部材の前記貫通孔内に位置する
前記（６）～（１０）のいずれか一つに記載の試料保持具。
（１）
板状のセラミック体と、
発熱抵抗体と、
金属板と、
固定部材と、を備え、
前記セラミック体は、試料を保持する第１面および該第１面の反対に位置する第２面を有し、
前記発熱抵抗体は、前記セラミック体の内部または前記第２面に位置し、
前記金属板は、前記セラミック体の前記第２面と離間して対向する第３面および該第３面の反対に位置する第４面を有し、
前記固定部材は、前記金属板と前記セラミック体とを固定しており、
前記金属板は、中央部に周辺部よりも厚みが薄い薄肉部を有する
試料保持具。
（２）
前記金属板の前記中央部における前記第４面に端面が接する筒状部材、を備え、
前記金属板は、前記中央部の前記第３面から前記第４面に貫通する第１通気孔を有する
前記（１）に記載の試料保持具。
（３）
前記金属板は、前記第３面に開口する第１凹部を有し、
前記薄肉部は、前記第１凹部に対応して位置する
前記（１）または（２）に記載の試料保持具。
（４）
前記金属板は、前記第４面に開口する第２凹部を有し、
前記薄肉部は、前記第２凹部に対応して位置する
前記（１）～（３）のいずれか一つに記載の試料保持具。
（５）
前記金属板は、前記第３面に開口する第１凹部および前記第４面に開口する第２凹部を有し、
前記薄肉部は、前記第１凹部および前記第２凹部に対応して位置し、
前記第１凹部および前記第２凹部は、深さが等しい
前記（１）または（２）に記載の試料保持具。
（６）
板状のセラミック体と、
発熱抵抗体と、
金属板と、
固定部材と、を備え、
前記セラミック体は、試料を保持する第１面および該第１面の反対に位置する第２面を有し、
前記発熱抵抗体は、前記セラミック体の内部または前記第２面に位置し、
前記金属板は、
前記セラミック体の前記第２面と離間して対向する第５面および該第５面の反対に位置する第６面を有し、中央部に貫通孔を有する第１部材と、
第７面および該第７面の反対に位置する第８面を有し、前記第１部材の前記貫通孔を覆うように位置する第２部材と、を有し、
前記第２部材によって前記第１部材の前記中央部に周辺部よりも厚みが薄い薄肉部が形成される
試料保持具。
（７）
前記第１部材の前記中央部における前記第６面に端面が接する筒状部材、を備え、
前記第２部材は、前記第７面から前記第８面に貫通する第２通気孔を有する
前記（６）に記載の試料保持具。
（８）
前記第２通気孔は、上端部と下端部とで内径が異なる
前記（７）に記載の試料保持具。
（９）
前記第２部材は、前記第１部材の前記第５面に接する
前記（６）～（８）のいずれか一つに記載の試料保持具。
（１０）
前記第２部材は、前記第１部材の前記第６面に接する
前記（６）～（９）のいずれか一つに記載の試料保持具。
（１１）
前記第２部材は、平板状である
前記（６）～（１０）のいずれか一つに記載の試料保持具。
（１２）
前記第２部材は、前記第７面または前記第８面に凸部を有し、前記凸部が前記第１部材の前記貫通孔内に位置する
前記（６）～（１０）のいずれか一つに記載の試料保持具。
（１３）
前記第２部材は、前記第７面および前記第８面に一対の凸部を有し、一方の前記凸部が前記第１部材の前記貫通孔内に位置する
前記（６）～（１０）のいずれか一つに記載の試料保持具。
【符号の説明】
【0172】
１ 試料保持具
１０ セラミック体
１１ 第１面
１２ 第２面
２０ 発熱抵抗体
３０ 金属板
３０Ａ 第１部材
３０Ａ１ 第５面
３０Ａ２ 第６面
３０Ａ３ 中央部
３０Ａ４ 周辺部
３０Ａ５ 貫通孔
３０Ｂ 第２部材
３０Ｂ１ 第７面
３０Ｂ２ 第８面
３０Ｂ３ 凸部
３０Ｂ４ 第２通気孔
３１ 第３面
３２ 第４面
３３ 中央部
３４ 周辺部
３５ 薄肉部
３６ 第１通気孔
３７ 第１凹部
３７ａ 段差コーナー部
３７ｂ 底面
３８ 第２凹部
３８ａ 段差コーナー部
３８ｂ 上底面
４０ 固定部材
５０ 筒状部材
５１ 空間
５２ 端面
Ｔ１～Ｔ４ 厚み
１０ セラミック体
１１ 第１面
１２ 第２面
２０ 発熱抵抗体
３０ 金属板
３０Ａ 第１部材
３０Ａ１ 第５面
３０Ａ２ 第６面
３０Ａ３ 中央部
３０Ａ４ 周辺部
３０Ａ５ 貫通孔
３０Ｂ 第２部材
３０Ｂ１ 第７面
３０Ｂ２ 第８面
３０Ｂ３ 凸部
３０Ｂ４ 第２通気孔
３１ 第３面
３２ 第４面
３３ 中央部
３４ 周辺部
３５ 薄肉部
３６ 第１通気孔
３７ 第１凹部
３７ａ 段差コーナー部
３７ｂ 底面
３８ 第２凹部
３８ａ 段差コーナー部
３８ｂ 上底面
４０ 固定部材
５０ 筒状部材
５１ 空間
５２ 端面
Ｔ１～Ｔ４ 厚み
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】