特開 2024-74650 リニアモータ、位置決め装置、処理装置、デバイス製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024074650

(43)【公開日】2024-05-31

(54)【発明の名称】リニアモータ、位置決め装置、処理装置、デバイス製造方法

(51)【国際特許分類】

   H02K 41/03 20060101AFI20240524BHJP

   H05K 7/20 20060101ALI20240524BHJP

【ＦＩ】

H02K41/03 A

H05K7/20 M

【審査請求】未請求

【請求項の数】11

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022185947

(22)【出願日】2022-11-21

(71)【出願人】

【識別番号】000002107

【氏名又は名称】住友重機械工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100105924

【弁理士】

【氏名又は名称】森下 賢樹

(74)【代理人】

【識別番号】100116274

【弁理士】

【氏名又は名称】富所 輝観夫

(72)【発明者】

【氏名】池田 隆

(72)【発明者】

【氏名】吉田 達矢

(72)【発明者】

【氏名】篠平 大輔

(72)【発明者】

【氏名】和田 康太郎

【テーマコード（参考）】

5E322

5H641

【Ｆターム（参考）】

5E322DA04

5E322FA01

5H641BB06

5H641BB16

5H641GG02

5H641GG04

5H641GG10

5H641HH03

5H641JA02

5H641JA09

5H641JB05

(57)【要約】

【課題】コアが設けられるコイル列を効果的に冷却できるリニアモータ等を提供する。
【解決手段】リニアモータは、移動方向に沿って配列される複数のコイル４１を備え、流される電流に応じて動力を発生させるコイル列４と、複数のコイル４１が巻かれる複数のコア部３１と、コイル列４の少なくとも一方の端面側において複数のコア部３１を連結するコア連結部３２と、を備えるコア部材３と、コイル列４を冷却する冷媒を流す冷却部６と、を備える。冷却部６は、コイル列４の少なくとも一方の端面側において、移動方向に垂直な幅方向の両側に設けられる第１側方空間６１および第２側方空間６２と、コア連結部３２に穿設されて第１側方空間６１および第２側方空間６２を連通する連通路６３と、に冷媒を流す。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

移動方向に沿って配列される複数のコイルを備え、流される電流に応じて動力を発生させるコイル列と、
前記複数のコイルが巻かれる複数のコア部と、前記コイル列の少なくとも一方の端面側において前記複数のコア部を連結するコア連結部と、を備えるコア部材と、
前記コイル列を冷却する冷媒を流す冷却部と、
を備え、
前記冷却部は、前記コイル列の少なくとも一方の端面側において、前記移動方向に垂直な幅方向の両側に設けられる第１側方空間および第２側方空間と、前記コア連結部に穿設されて前記第１側方空間および前記第２側方空間を連通する連通路と、に前記冷媒を流す、
リニアモータ。

【請求項2】

前記コア連結部の幅は前記コイル列の幅より小さく、
前記第１側方空間および前記第２側方空間は、前記コイル列の少なくとも一方の端面側において、前記コア連結部が存在しない当該コイル列の前記幅方向の両側の空間である、
請求項１に記載のリニアモータ。

【請求項3】

前記連通路は複数穿設される、請求項１に記載のリニアモータ。

【請求項4】

前記第１側方空間および前記第２側方空間の少なくともいずれかを前記移動方向に隔てる隔壁を備え、
前記隔壁の前記移動方向の両側に、それぞれ少なくとも一つの前記連通路が穿設される、
請求項３に記載のリニアモータ。

【請求項5】

前記複数の連通路は、前記冷媒の上流側における第１径の第１連通路と、前記第１連通路より下流側における前記第１径より小さい第２径の第２連通路と、を備える、請求項３に記載のリニアモータ。

【請求項6】

前記連通路は前記幅方向に穿設される、請求項１に記載のリニアモータ。

【請求項7】

前記連通路は、前記移動方向において前記複数のコア部の間に穿設される、請求項１に記載のリニアモータ。

【請求項8】

前記冷媒は絶縁性を有する、請求項１に記載のリニアモータ。

【請求項9】

請求項１から８のいずれかに記載のリニアモータを動力源とする位置決め装置。

【請求項10】

請求項９に記載の位置決め装置によって被処理物を位置決めする処理装置。

【請求項11】

請求項１０に記載の処理装置による前記被処理物の処理を通じてデバイスを製造するデバイス製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、リニアモータ等に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１および特許文献２には、流される電流に応じて動力を発生させるコイル列を備えるリニアモータが開示されている。これらの特許文献では、コイル列の全体が冷媒に浸漬することで冷却される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００６－６０５０号公報

【特許文献2】特開２００６－１２１８１３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１および特許文献２に開示されているリニアモータは、コイル列を構成するコイルが巻かれるコア（磁性材料の芯）が設けられない、いわゆるコアレスリニアモータである。一方、コアが設けられるリニアモータでは、コイルの内側および少なくとも一方の端面にコアが存在するため、冷媒が行き渡らない。

【0005】

本発明はこうした状況に鑑みてなされたものであり、コアが設けられるコイル列を効果的に冷却できるリニアモータ等を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記課題を解決するために、本発明のある態様のリニアモータは、移動方向に沿って配列される複数のコイルを備え、流される電流に応じて動力を発生させるコイル列と、複数のコイルが巻かれる複数のコア部と、コイル列の少なくとも一方の端面側において複数のコア部を連結するコア連結部と、を備えるコア部材と、コイル列を冷却する冷媒を流す冷却部と、を備える。冷却部は、コイル列の少なくとも一方の端面側において、移動方向に垂直な幅方向の両側に設けられる第１側方空間および第２側方空間と、コア連結部に穿設されて第１側方空間および第２側方空間を連通する連通路と、に冷媒を流す。

【0007】

この態様では、コイル列の幅方向の両側に設けられる第１側方空間および第２側方空間と、コア連結部に穿設されて当該第１側方空間および当該第２側方空間を連通する連通路を流れる冷媒によって、コイル列が効果的に冷却される。

【0008】

本発明の別の態様は、位置決め装置である。この装置は、上記のリニアモータを動力源とする。

【0009】

本発明の更に別の態様は、処理装置である。この装置は、上記の位置決め装置によって被処理物を位置決めする。

【0010】

本発明の更に別の態様は、デバイス製造方法である。この方法は、上記の処理装置による被処理物の処理を通じてデバイスを製造する。

【0011】

なお、以上の構成要素の任意の組合せや、これらの表現を方法、装置、システム、記録媒体、コンピュータプログラム等に変換したものも、本発明に包含される。

【発明の効果】

【0012】

本発明によれば、コアが設けられるコイル列を効果的に冷却できる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】ステージ装置を模式的に示す平面図である。

【図2】リニアモータの電機子を示す斜視図である。

【図3】リニアモータの電機子を示す平面図である。

【図4】冷却部の変形例を示す平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下では、図面を参照しながら、本発明を実施するための形態（以下では実施形態ともいう）について詳細に説明する。説明および／または図面においては、同一または同等の構成要素、部材、処理等に同一の符号を付して重複する説明を省略する。図示される各部の縮尺や形状は、説明の簡易化のために便宜的に設定されており、特に言及がない限り限定的に解釈されるものではない。実施形態は例示であり、本発明の範囲を何ら限定するものではない。実施形態に記載される全ての特徴やそれらの組合せは、必ずしも本発明の本質的なものであるとは限らない。

【0015】

図１は、本発明に係るリニアモータを適用可能な位置決め装置または駆動装置としてのステージ装置１００を模式的に示す平面図である。ステージ装置１００は、半導体ウエハ等の被処理物を載置する被駆動体としてのテーブルをＸ軸方向（図１における左右方向）およびＹ軸方向（図１における上下方向）に位置決めするＸＹステージである。ステージ装置１００は、Ｙ軸方向に延びてテーブルをＹ軸方向に駆動する一対のＹステージ１２０と、Ｘ軸方向に延びてテーブルをＸ軸方向に駆動する、当該テーブルと一体化されたＸステージ１３０と、定盤１４０を備える。一対のＹステージ１２０は、Ｘステージ１３０のＸ軸方向の両端に、スライダ１２４を介して連結されている。Ｙステージ１２０およびＸステージ１３０は上面視でＨ型をなす。

【0016】

ステージ装置１００の構成のうち、少なくともテーブル、Ｙステージ１２０、Ｘステージ１３０は、内部が真空状態に保たれた真空チャンバに収容されてもよい。本明細書において「真空」とは、通常の大気圧より低い圧力の気体で満たされた空間の状態を表す。真空は圧力領域によって、低真空（100 kPa～100 Pa）、中真空（100 Pa～0.1 Pa）、高真空（0.1 Pa～10^－5 Pa）、超高真空（10^－5 Pa～10^－8 Pa）、極高真空（10^－8 Pa以下）等のように区分される。本実施形態のステージ装置１００は、以上のいずれの区分の真空環境で使用してもよい。また、本実施形態のステージ装置１００は、以上のいずれの区分にも該当しない非真空環境で使用してもよい。

【0017】

Ｘステージ１３０およびＹステージ１２０には、後述するリニアモータ２Ｘおよび２Ｙがそれぞれ設けられる。各リニアモータ２Ｘ、２Ｙが発生させるＸ軸方向またはＹ軸方向の直線動力は、被駆動体としてのテーブルをＸ軸方向またはＹ軸方向に直線駆動する。Ｘ軸方向の直線駆動を担うリニアモータ２Ｘは、固定子およびＸ軸方向の軌道を構成する電機子２と、当該電機子２に沿ってＸ軸方向に移動可能な可動子２０を備える。この可動子２０には被駆動体としてのテーブルが固定されて、一体的に移動する。Ｙ軸方向の直線駆動を担う一対のリニアモータ２Ｙは、固定子およびＹ軸方向の軌道を構成する電機子２と、当該電機子２に沿ってＹ軸方向に移動可能な可動子２０を備える。この可動子２０にはスライダ１２４が固定されて、一体的に移動する。ここで、一対のスライダ１２４がリニアモータ２Ｘの電機子２の両端に連結されているため、一対のリニアモータ２Ｙは、リニアモータ２Ｘの電機子２を一対のスライダ１２４ごとＹ軸方向に直線駆動する。そして、リニアモータ２Ｘの電機子２（軌道）上にはテーブルがあるため、一対のリニアモータ２Ｙは、テーブルをＹ軸方向に直線駆動することになる。

【0018】

以上のように真空環境下および非真空環境下を問わず高精度な位置決めまたは駆動を実現できる本実施形態のステージ装置１００（リニアモータを動力源とする位置決め装置）は、例えば、露光装置、イオン注入装置、熱処理装置、アッシング装置、スパッタリング装置、ダイシング装置、検査装置、洗浄装置等の半導体製造装置やＦＰＤ（Flat Panel Display）製造装置等のデバイス製造装置において、非処理物としての半導体ウエハ等を載置するテーブルを被駆動体として位置決めまたは駆動する用途に好適である。なお、本実施形態のステージ装置１００を適用可能な処理装置は、当該ステージ装置１００または位置決め装置によって任意の被処理物を処理のために位置決めする任意の装置でよく、例えば、任意の製造装置、任意の加工装置（例えば、工作機械）、任意の検査装置でよい。

【0019】

図２は、Ｘステージ１３０およびＹステージ１２０にそれぞれ設けられるリニアモータ２Ｘ、２Ｙの電機子を示す斜視図である。図３は、図２の電機子を示す平面図または上面図である。リニアモータは、永久磁石または電磁石によって構成される不図示の界磁と、複数のコイル４１およびコア部材３によって構成される電機子２を備える。電機子２は長尺の略矩形板状であり、その長手方向（図３における左右方向）に沿ってコイル列４が形成されている。コイル列４は、電機子２の長手方向に沿って略隙間なく略等間隔に配列された複数のコイル４１を備える。図２および図３の例ではコイル列４が18個のコイル４１を備えるため、当該コイル列４に三相交流が印加される場合は18個のコイル４１が6組の三相コイルに区分される。

【0020】

コイル４１の配列方向（電機子２の長手方向）の各端部には、電機子２の剛性を高めるためのブロック状のエンドリブ４２、４３が設けられる。電機子２の長手方向の一端部の第１エンドリブ４２には、コイル列４を冷却する冷媒を供給する冷媒供給口４２１が設けられる。また、電機子２の長手方向の他端部の第２エンドリブ４３には、コイル列４を冷却する冷媒を排出する冷媒排出口４３１が設けられる。後述するように、冷媒供給口４２１から供給された冷媒は、電機子２の長手方向の一端側（図３における右側）から他端側（図３における左側）に向かって流れながらコイル列４を冷却し、冷媒排出口４３１から排出される。このため、冷媒供給口４２１が設けられる電機子２の長手方向の一端側は（冷媒の）上流側とも表され、冷媒排出口４３１が設けられる電機子２の長手方向の他端側は（冷媒の）下流側とも表される。

【0021】

コア部材３は、コイル列４を構成する複数（図２の例では18個）のコイル４１が巻かれる複数（図２の例では18個）のコア部３１と、コイル列４の少なくとも一方の端面側（図２の例では上面側）において複数のコア部３１を連結するコア連結部３２を備える。コア連結部３２は長尺の略矩形板状であり、その下面から複数の足状のコア部３１が複数のコイル４１の内側に延びて挿入される。コア部材３（特に、複数のコア部３１）は、コイル列４と共に電機子２または電磁石を構成する磁性部材である。

【0022】

コア部材３は任意の磁性材料によって構成されうるが、例えば、図２の例では積層された電磁鋼板によってコア部材３が構成される。図２において模式的に示されるように、電磁鋼板は渦電流損を低減するためにコイル４１の配列方向（電機子２の長手方向）に垂直な幅方向（図３における上下方向）に積層される。なお、後述するように電磁鋼板としてのコア部材３（コア連結部３２）には冷媒が流される。そこで、積層された電磁鋼板の間から冷媒が漏れることを防止するために、コア部材３の表面に接着材等によるコーティングや粉体塗装等を施してもよい。コア部材３およびコイル列４は、各コア部３１が各コイル４１の内側に挿入された状態で、エポキシ樹脂等の絶縁性を有する樹脂材料５によってモールドされる。

【0023】

コイル列４の他方の端面（図２の例では下面）に対向する永久磁石または電磁石を備える不図示の界磁および／またはコイル列４自体には、三相交流等の駆動電流が流された当該コイル列４が発生させる磁界による直線動力が及ぼされる。この直線動力の方向（すなわち移動方向）はコイル列４の配列方向（すなわち電機子２の長手方向）と略同じであり、当該方向に界磁および電機子２が相対的に直線移動する。界磁および電機子２は、いずれを可動子または固定子としてもよい。すなわち、界磁を可動子として電機子２を固定子としてもよいし、界磁を固定子として電機子２を可動子としてもよいし、界磁および電機子２を共に可動子としてもよい。

【0024】

電機子２には、コイル列４を冷却する冷媒を流す冷却部６が設けられる。冷却部６は、コイル列４の少なくとも一方の端面側（図２の例では上面側）において、移動方向（図３における左右方向）に垂直な幅方向（図３における上下方向）の両側に設けられる第１側方空間６１および第２側方空間６２と、コア連結部３２に穿設されて第１側方空間６１および第２側方空間６２を連通する連通路６３に冷媒を流す。

【0025】

第１側方空間６１および第２側方空間６２は、コイル列４の少なくとも一方の端面側（図２の例では上面側）において、コア連結部３２が存在しない当該コイル列４の幅方向の両側の空間である。図３に示されるように、コア連結部３２の幅がコイル列４の幅より小さいため、コア連結部３２の幅方向の両側（図３における上側および下側）において、コイル列４を構成する各コイル４１の両端部（図３における上端部および下端部）が突出している。このように各コイル４１の両端部が略露出している第１側方空間６１および第２側方空間６２に冷媒を流すことで、当該各コイル４１の両端部が効果的に冷却される。なお、前述のように、各コイル４１は絶縁性を有する樹脂材料５によってモールドされているため、第１側方空間６１および第２側方空間６２内の冷媒と各コイル４１の間の絶縁性を確保できる。このため冷媒は水等の導電性を有するものでもよいが、より絶縁性を高めるためには絶縁性を有する冷媒を利用するのが好ましい。更に、コイル列４およびコア部材３によって構成される電磁石の作用を妨げないように、磁性を有しない非磁性の冷媒が利用されるのが好ましい。

【0026】

第１側方空間６１および第２側方空間６２内の冷媒は、コア連結部３２に穿設された孔状または溝状の複数の連通路６３を介して相互に流通する。各連通路６３を流れる冷媒が、各コイル４１および各コア部３１によって構成される電磁石の作用を妨げないように、各連通路６３は上面視（図３）において各コイル４１の内側および／または各コア部３１と重ならないように穿設されるのが好ましい。具体的には、上面視において各コイル４１の導線が存在する各コア部３１の間の移動方向領域に各連通路６３が穿設されるのが好ましい。各連通路６３の方向は、第１側方空間６１および第２側方空間６２を最短距離で結ぶという観点と、上面視において各コイル４１の内側および／または各コア部３１と重ならないようにするという観点から、幅方向（図３における上下方向）とするのが好ましい。また、前述のように、コア部材３は積層された電磁鋼板等によって構成されるが、その積層方向である幅方向であれば容易に孔（連通路６３）を穿設できる。

【0027】

なお、上面視において各コイル４１の内側および／または各コア部３１と重ならない限り、各連通路６３は図３に示されるような直線状に限らず曲線状でもよい（例えば、各コア部３１の間の領域を蛇行しながら第１側方空間６１および第２側方空間６２を連通する）。また、連通路６３を流れる冷媒や、連通路６３を穿設することに伴うコア部材３（コア連結部３２）の欠損が、電磁石の作用に及ぼす影響を無視できる場合は、連通路６３が各コイル４１等の配置によらず任意の形状および／または方向でコア連結部３２に穿設されてもよい。

【0028】

連通路６３は、複数穿設されるのが好ましい。図示の例では、18個のコイル４１および／またはコア部３１に対して、9本の連通路６３が移動方向（図３における左右方向）に沿って等間隔に配置される。図示の例における各連通路６３の移動方向の間隔は二つのコイル４１の移動方向の長さに等しい（つまり、コイル「二つ置き」に連通路が配置される）。なお、各連通路６３の移動方向の間隔は任意であり、例えば、一つのコイル４１の移動方向の長さに等しくてもよい。この場合、連通路６３は全てのコイル４１の間に設けられる（コイル４１が18個ある図示の例では、17本の連通路６３が設けられる）。

【0029】

第１側方空間６１は、一または複数の第１隔壁６４Ａによって移動方向に隔てられる（分断される）。図示の例では、第１側方空間６１が、一つの第１隔壁６４Ａによって、上流側の第１上流側空間６１Ａと下流側の第１下流側空間６１Ｂの二つのサブ空間に区分される。第１隔壁６４Ａの移動方向の両側の第１上流側空間６１Ａおよび第１下流側空間６１Ｂには、それぞれ少なくとも一つの連通路６３が穿設（開口）されている。同様に、第２側方空間６２は、一または複数の第２隔壁６５Ａによって移動方向に隔てられる（分断される）。図示の例では、第２側方空間６２が、一つの第２隔壁６５Ａによって、上流側の第２上流側空間６２Ａと下流側の第２下流側空間６２Ｂの二つのサブ空間に区分される。第２隔壁６５Ａの移動方向の両側の第２上流側空間６２Ａおよび第２下流側空間６２Ｂには、それぞれ少なくとも一つの連通路６３が穿設（開口）されている。第１隔壁６４Ａおよび第２隔壁６５Ａは、移動方向（図３における左右方向）の異なる位置において、それぞれ第１側方空間６１および第２側方空間６２を隔てる。

【0030】

以上の結果、上面視（図３）において、上流側（右側）から下流側（左側）に向かって、第１側方空間６１および第２側方空間６２の間を蛇行（往復）する冷媒の流れを形成できる。具体的には、図３において、右下の冷媒供給口４２１から第１上流側空間６１Ａ内に供給された冷媒は、当該第１上流側空間６１Ａ内に開口する一または複数の連通路６３を下から上に向かって流れて第２上流側空間６２Ａ内の上流側（移動方向において第１隔壁６４Ａより右側）に入り、当該第２上流側空間６２Ａ内の下流側（移動方向において第１隔壁６４Ａより左側）に開口する一または複数の連通路６３を上から下に向かって流れて第１下流側空間６１Ｂ内の上流側（移動方向において第２隔壁６５Ａより右側）に入り、当該第１下流側空間６１Ｂ内の下流側（移動方向において第２隔壁６５Ａより左側）に開口する一または複数の連通路６３を下から上に向かって流れて第２下流側空間６２Ｂ内に入り、左上の冷媒排出口４３１から排出される。

【0031】

以上のように冷媒が流れる過程で、第１側方空間６１および第２側方空間６２を移動方向（図３における左右方向）に流れる冷媒によってコイル列４の幅方向（図３における上下方向）の両端部が冷却され、複数の連通路６３を幅方向に流れる冷媒によってコイル列４の本体部または中間部が冷却される。このように、本実施形態によれば、冷却対象のコイル列４の各部を効率的に巡回する冷媒の流れによって、当該コイル列４を効果的に冷却できる。

【0032】

また、冷媒の流通路としての連通路６３を、コア部材３（コア連結部３２）における孔または溝として簡易的に形成できるため、例えば、コア部材３に銅管等の追加的な配管を設ける場合に比べてコストを低減できる。また、追加的な配管を設ける場合には、配管自体の厚さの分だけ流通路の径が小さくなってしまうが、このような制約がない本実施形態では、連通路６３の径を大きくでき、より多くの冷媒を流してコイル列４をより効果的に冷却できる。

【0033】

以上のような冷媒の流れを効率的に形成するために、第１隔壁６４Ａおよび第２隔壁６５Ａは曲面状に形成されるのが好ましい。具体的には、上面視（図３）において、第１隔壁６４Ａの上流側（右側）の曲面は、第１上流側空間６１Ａ内の冷媒を上方の連通路６３および第２上流側空間６２Ａに向け、第１隔壁６４Ａの下流側（左側）の曲面は、上方の連通路６３および第２上流側空間６２Ａからの冷媒の流れを下流側に向ける。同様に、第２隔壁６５Ａの上流側（右側）の曲面は、第２上流側空間６２Ａ内の冷媒を下方の連通路６３および第１下流側空間６１Ｂに向け、第２隔壁６５Ａの下流側（左側）の曲面は、下方の連通路６３および第１下流側空間６１Ｂからの冷媒の流れを下流側に向ける。

【0034】

図示の例では、これらの第１隔壁６４Ａおよび第２隔壁６５Ａに加えて、第１側方空間６１（第１下流側空間６１Ｂ）の下流端（左端）に設けられて、第１下流側空間６１Ｂ内の冷媒を上方の連通路６３および第２下流側空間６２Ｂに向ける曲面を有する第１端部ブロック６４Ｂと、第２側方空間６２（第２上流側空間６２Ａ）の上流端（右端）に設けられて、下方の連通路６３および第１上流側空間６１Ａからの冷媒の流れを下流側に向ける曲面を有する第２端部ブロック６５Ｂが設けられる。

【0035】

以上の実施形態では、冷媒を連通路６３に流す各サブ空間（具体的には、第１上流側空間６１Ａ、第２上流側空間６２Ａ、第１下流側空間６１Ｂ）に、複数の連通路６３が面している。このような場合、概ね上流側から下流側に向かって流れる冷媒は、各サブ空間に面する複数の連通路６３のうち最も下流側（左側）にある連通路６３に流入しやすい。このため、各サブ空間に面する複数の連通路６３の間で冷媒の流通量や流通速度に差が生じうる。そこで、各サブ空間に面する複数の連通路６３の径を、上流側ほど大きく（第１径）下流側ほど小さく（第２径）することで、連通路６３間の冷媒の流通量や流通速度の差を低減してもよい。

【0036】

図４は、冷却部６の変形例を示す平面図または上面図である。この冷却部６は、図２および図３と同様に、第１側方空間６１、第２側方空間６２、複数の連通路６３を備える。但し、図２および図３では複数の連通路６３がコア連結部３２の内部に幅方向に穿設された孔であったのに対し、図４では複数の連通路６３がコア連結部３２の表面または上面に幅方向に穿設される溝である。このように、図４におけるコア連結部３２の表面側には、溝としての連通路６３および後述する中央流通路６６が形成されるが、コア連結部３２の裏面側は略矩形板状に一体化されている。そして、図２および図３と同様に、略矩形板状のコア連結部３２より裏面側には、複数のコイル４１と、それらの内側に挿入される複数のコア部３１（不図示）が設けられる。

【0037】

コア連結部３２の表面における幅方向（図４における上下方向）の中央には、上流側（図４における右側）の冷媒供給口４２１から下流側（図４における左側）に向かって移動方向（図４における左右方向）の中央流通路６６が直線状に穿設される。この中央流通路６６は、幅方向に穿設される連通路６３と直交する。冷媒供給口４２１から供給された冷媒の一部は、中央流通路６６に沿って移動方向に流れ、その下流側の終端において幅方向の両側（図４における上下側）に分かれる。また、冷媒供給口４２１から供給された冷媒の一部は、中央流通路６６と交差する各連通路６３を通じて幅方向の両側に分岐する。このように、幅方向の両側に分かれた冷媒は、それぞれ第１側方空間６１および第２側方空間６２に流入して下流側に向かって流れる。そして、第１側方空間６１および第２側方空間６２の各下流端に設けられる二つの冷媒排出口４３１から冷媒が排出される。

【0038】

以上、本発明を実施形態に基づいて説明した。例示としての実施形態における各構成要素や各処理の組合せには様々な変形例が可能であり、そのような変形例が本発明の範囲に含まれることは当業者にとって自明である。

【0039】

なお、実施形態で説明した各装置や各方法の構成、作用、機能は、ハードウェア資源またはソフトウェア資源によって、あるいは、ハードウェア資源とソフトウェア資源の協働によって実現できる。ハードウェア資源としては、例えば、プロセッサ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、各種の集積回路を利用できる。ソフトウェア資源としては、例えば、オペレーティングシステム、アプリケーション等のプログラムを利用できる。

【符号の説明】

【0040】

２ 電機子、３ コア部材、４ コイル列、５ 樹脂材料、６ 冷却部、３１ コア部、３２ コア連結部、４１ コイル、６１ 第１側方空間、６１Ａ 第１上流側空間、６１Ｂ 第１下流側空間、６２ 第２側方空間、６２Ａ 第２上流側空間、６２Ｂ 第２下流側空間、６３ 連通路、６４Ａ 第１隔壁、６４Ｂ 第１端部ブロック、６５Ａ 第２隔壁、６５Ｂ 第２端部ブロック、６６ 中央流通路、１００ ステージ装置、１２０ Ｙステージ、１３０ Ｘステージ、４２１ 冷媒供給口、４３１ 冷媒排出口。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】