特開 2024-74982 検査システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024074982

(43)【公開日】2024-05-31

(54)【発明の名称】検査システム

(51)【国際特許分類】

   H05K 13/00 20060101AFI20240524BHJP

【ＦＩ】

H05K13/00 G

H05K13/00 Z

【審査請求】有

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2024063730

(22)【出願日】2024-04-11

(62)【分割の表示】P 2022036288の分割

【原出願日】2018-03-22

(71)【出願人】

【識別番号】000237271

【氏名又は名称】株式会社ＦＵＪＩ

(74)【代理人】

【識別番号】110000604

【氏名又は名称】弁理士法人 共立特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】星川 和美

(72)【発明者】

【氏名】村上 浩

(57)【要約】

【課題】構成装置を対象としたメンテナンス処理の利便性および管理性を向上できる検査システムを提供することを目的とする。
【解決手段】検査システムは、作業者による操作を受け付ける端末装置と、部品装着機から取り外された装着ヘッドが取り付けられ、端末装置に対して直接的に通信可能に接続されずに装着ヘッドの駆動部を動作させるヘッドベンチと、端末装置およびヘッドベンチにインターネットを介して通信可能に接続されるサーバであり、ヘッドベンチに対して端末装置からの要求に応じた種別の検査の実行を指令するサーバと、を備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

作業者による操作を受け付ける端末装置と、
部品装着機から取り外された装着ヘッドが取り付けられ、前記端末装置に対して直接的に通信可能に接続されずに前記装着ヘッドの駆動部を動作させるヘッドベンチと、
前記端末装置および前記ヘッドベンチにインターネットを介して通信可能に接続されるサーバであり、前記ヘッドベンチに対して前記端末装置からの要求に応じた種別の検査の実行を指令するサーバと、
を備える検査システム。

【請求項2】

前記サーバは、前記ヘッドベンチまたは前記端末装置に対する作業者の操作記録をトレースログとして記録するログ記録部を備える、請求項１に記載の検査システム。

【請求項3】

前記装着ヘッドは、前記駆動部の動作により、部品を採取するとともに、前記部品の上下方向位置および角度を調整し、
前記ヘッドベンチは、前記検査の種別に応じて前記装着ヘッドの前記駆動部を動作させ、前記駆動部の動作状態を検出するセンサまたはカメラを用いて検査を行う、請求項１または２に記載の検査システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、検査システムに関するものである。

【背景技術】

【0002】

基板製品の製造に用いられる対基板作業機には、供給された部品を採取して基板に装着する部品装着機が含まれる。例えば部品装着機を構成する複数の構成装置は、適正な動作を維持するためにメンテナンスを必要とする。特許文献１には、構成装置としての装着ヘッドを対象として、メンテナンス処理を行うメンテナンス装置が開示されている。メンテナンス装置には、検査用の動作プログラムや、良否判定の基準となる判定基準データなどが予め記憶されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】国際公開第２０１３／１５３５９８号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

対基板作業機の構成装置のメンテナンスが必要となった場合に、対基板作業機に対してメンテナンス装置が遠隔地に設置されていると、構成装置を輸送する必要が生じ、構成装置を運用可能とするまでに要する時間が増加する。これに対して、対基板作業機の設置場所までメンテナンス装置を輸送することが考えられる。しかしながら、メンテナンス装置には検査用の動作プログラムや判定基準データなどの重要な情報が記憶されており、メンテナンス装置を作業現場まで持ち出すことは、情報の流出の観点からは管理性を低減させるおそれがある。

【0005】

本明細書は、構成装置を対象としたメンテナンス処理の利便性および管理性を向上できる構成装置良否判定サーバ、構成装置良否判定方法、検査システム、検査システム用の端末装置、および検査装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本明細書は、基板製品の製造に用いられる対基板作業機を構成する構成装置の良否判定方法であって、前記対基板作業機に組み込まれて前記対基板作業機による対基板作業に用いられる設備による所定種別の検査によって得られた検査データをインターネットを介してサーバにより取得する工程と、取得した前記検査データに基づいて前記構成装置の良否を判定する工程と、判定した良否判定結果を、インターネットを介して通信可能に接続された端末装置に送信する工程と、を備える構成装置良否判定方法を開示する。
本明細書は、対基板作業機を構成する構成装置を対象とした検査の種別に応じて前記構成装置を動作させて検査を行う検査装置にインターネットを介して通信可能に接続されるサーバであって、前記検査装置による所定種別の検査によって得られた検査データを取得する検査データ取得部と、取得した前記検査データに基づいて前記構成装置の良否を判定する判定部と、前記判定部が判定した良否判定結果を、インターネットを介して通信可能に接続された端末装置に送信する送信部と、を備え、前記対基板作業機は、供給された部品を採取して基板に装着する部品装着機であり、前記構成装置は、前記部品を採取するとともに、前記部品の上下方向位置および角度を調整して前記基板に装着する装着ヘッドであり、前記部品装着機は、前記装着ヘッドに保持された前記部品を撮像する部品カメラを備え、前記検査装置は、前記部品装着機に組み込まれ、前記部品カメラの撮像により取得された画像データに基づいて前記装着ヘッドを検査する構成装置良否判定サーバを開示する。

【0007】

本明細書は、各種情報を表示する端末装置と、対基板作業機を構成する構成装置を対象とした検査の種別に応じて前記構成装置を動作させて検査を行う検査装置と、前記端末装置および前記検査装置にインターネットを介して通信可能に接続されるサーバであり、前記検査装置による検査によって得られた検査データを取得し、取得した前記検査データに基づいて前記構成装置の良否を判定し、インターネットを介して良否判定結果を前記端末装置に送信する構成装置良否判定サーバと、を備え、前記対基板作業機は、供給された部品を採取して基板に装着する部品装着機であり、前記構成装置は、前記部品を採取するとともに、前記部品の上下方向位置および角度を調整して前記基板に装着する装着ヘッドであり、前記部品装着機は、前記装着ヘッドに保持された前記部品を撮像する部品カメラを備え、前記検査装置は、前記部品装着機に組み込まれ、前記部品カメラの撮像により取得された画像データに基づいて前記装着ヘッドを検査する検査システムを開示する。

【0008】

本明細書は、対基板作業機を構成する構成装置を対象とした検査システムに適用され、各種情報を表示する端末装置であって、前記検査システムは、前記構成装置を対象とした検査の種別に応じて前記構成装置を動作させて検査を行う検査装置と、前記端末装置および前記検査装置にインターネットを介して通信可能に接続されるサーバであり、前記検査装置に所定種別の検査を指定し、前記検査装置による検査によって得られた検査データを取得し、取得した前記検査データに基づいて前記構成装置の良否を判定する構成装置良否判定サーバと、を備え、前記端末装置は、インターネットを介して前記構成装置良否判定サーバより送信された前記構成装置の良否判定結果を表示し、前記対基板作業機は、供給された部品を採取して基板に装着する部品装着機であり、前記構成装置は、前記部品を採取するとともに、前記部品の上下方向位置および角度を調整して前記基板に装着する装着ヘッドであり、前記部品装着機は、前記装着ヘッドに保持された前記部品を撮像する部品カメラを備え、前記検査装置は、前記部品装着機に組み込まれ、前記部品カメラの撮像により取得された画像データに基づいて前記装着ヘッドを検査する、検査システム用の端末装置を開示する。

【0009】

本明細書は、対基板作業機を構成する構成装置を対象とした検査システムに適用され、検査の種別に応じて前記構成装置を動作させて検査を行う検査装置であって、前記検査システムは、各種情報を表示する端末装置と、前記検査装置および前記端末装置にインターネットを介して通信可能に接続されるサーバであり、前記検査装置による検査によって得られた検査データを取得し、取得した前記検査データに基づいて前記構成装置の良否を判定し、インターネットを介して良否判定結果を前記端末装置に送信する構成装置良否判定サーバと、を備え、前記検査装置は、前記構成装置良否判定サーバより指定された所定種別の検査を行うとともに、前記検査による前記検査データを前記構成装置良否判定サーバに送信し、前記対基板作業機は、供給された部品を採取して基板に装着する部品装着機であり、前記構成装置は、前記部品を採取するとともに、前記部品の上下方向位置および角度を調整して前記基板に装着する装着ヘッドであり、前記部品装着機は、前記装着ヘッドに保持された前記部品を撮像する部品カメラを備え、前記検査装置は、前記部品装着機に組み込まれ、前記部品カメラの撮像により取得された画像データに基づいて前記装着ヘッドを検査する、検査システム用の検査装置を開示する。

【発明の効果】

【0010】

このような構成によると、検査システムにおける構成装置良否判定サーバは、検査を行う検査装置、および良否判定結果を表示する端末装置にインターネットを介して接続された別装置として構成される。これにより、検査装置を対基板作業機の設置場所まで輸送するか、構成装置を検査装置の設置場所まで輸送することによりメンテナンス処理が可能となり利便性を向上できる。一方で、良否判定は構成装置良否判定サーバにて行われるので、検査装置や端末装置は、検査用の重要な情報から切り離されている。そのため、このような情報の流出を確実に防止することができ、構成装置を対象としたメンテナンス処理の管理性を向上できる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】実施形態における生産ラインおよび検査システムを示す模式図である。

【図2】図１の生産ラインにおける部品装着機の構成を示す模式図である。

【図3】装着ヘッドの外観および機能ブロックを示す説明図である。

【図4】ヘッドベンチの外観を示す説明図である。

【図5】構成装置の動作履歴が含まれるトレースログを示す図である。

【図6】メンテナンス処理を示すフローチャートである。

【図7】アクセス制限処理を示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0012】

１．検査システム３０の概要
以下、検査システム３０を具体化した実施形態について図面を参照して説明する。検査システム３０は、対基板作業機を構成する構成装置を対象として、検査を含むメンテナンス処理を可能とする。本実施形態において、検査システム３０が対基板作業機としての部品装着機３の装着ヘッド２０を検査の対象として適用された態様を例示する。

【0013】

２．生産ライン１の構成
生産ライン１は、図１に示すように、工場（Ａ）において、複数の対基板作業機を基板９０（図２を参照）の搬送方向に複数設置して構成される。複数の対基板作業機のそれぞれは、生産ライン１を統括して制御するホストコンピュータ（図示しない）に通信可能に接続される。生産ライン１は、複数の対基板作業機としての印刷機２、複数の部品装着機３、リフロー炉４、および検査機５を備える。

【0014】

印刷機２は、搬入された基板９０における部品の装着位置にペースト状のはんだを印刷する。複数の部品装着機３のそれぞれは、生産ライン１の上流側から搬送された基板９０に部品を装着する。部品装着機３の構成については後述する。リフロー炉４は、生産ライン１の上流側から搬送された基板９０を加熱して、基板９０上のはんだを溶融させてはんだ付けを行う。検査機５は、生産ライン１により生産された基板製品の機能が正常であるか否かを検査する。

【0015】

なお、生産ライン１は、例えば生産する基板製品の種別などに応じて、その構成を適宜追加、変更され得る。具体的には、生産ライン１には、搬送される基板９０を一時的に保持するバッファ装置や基板供給装置や基板反転装置、各種検査装置、シールド装着装置、接着剤塗布装置、紫外線照射装置などの対基板作業機が適宜設置され得る。

【0016】

３．部品装着機３の構成
部品装着機３は、基板９０に部品を装着する装着処理を実行する。部品装着機３は、図２に示すように、基板搬送装置１１、部品供給装置１２、部品移載装置１３、部品カメラ１４、および基板カメラ１５を備える。基板搬送装置１１は、ベルトコンベアおよび位置決め装置などにより構成される。基板搬送装置１１は、基板９０を搬送方向へと順次搬送するとともに、基板９０を機内の所定位置に位置決めする。基板搬送装置１１は、装着処理が終了した後に、基板９０を部品装着機３の機外に搬出する。

【0017】

部品供給装置１２は、基板９０に装着される部品を供給する。部品供給装置１２は、複数のスロット１２１にセットされたフィーダ１２２を備える。フィーダ１２２は、多数の部品が収納されたキャリアテープを送り移動させて、部品を採取可能に供給する。また、部品供給装置１２は、例えば比較的大型の部品を、パレット１２４に載置されたトレイ１２５上に並べた状態で供給する。部品供給装置１２の収納装置１２３は、複数のパレット１２４を収納し、装着処理に応じて所定のパレット１２４を引き出して部品を供給する。

【0018】

部品移載装置１３は、部品供給装置１２により供給された部品を、基板搬送装置１１により機内に搬入された基板９０上の所定の装着位置まで移載する。部品移載装置１３のヘッド駆動装置１３１は、直動機構により移動台１３２を水平方向（Ｘ軸方向およびＹ軸方向）に移動させる。移動台１３２には、図示しないクランプ部材により装着ヘッド２０が交換可能に固定されている。装着ヘッド２０は、部品装着機３を構成する構成装置の一つである。装着ヘッド２０は、部品を採取するとともに、部品の上下方向位置および角度を調整して基板９０に装着する。装着ヘッド２０の構成については後述する。

【0019】

部品カメラ１４、および基板カメラ１５は、ＣＭＯＳなどの撮像素子を有するデジタル式の撮像装置である。部品カメラ１４、および基板カメラ１５は、制御信号に基づいて撮像を行い、当該撮像により取得した画像データを送出する。部品カメラ１４は、装着ヘッド２０の吸着ノズル２５に保持された部品を下方から撮像可能に構成される。基板カメラ１５は、基板９０を上方から撮像可能に構成される。

【0020】

上記のような構成からなる部品装着機３は、部品を基板９０に装着する装着処理を実行する。装着処理において、部品装着機３は、複数設けられた各種センサから出力される情報や画像処理の結果、予め記憶された制御プログラムなどに基づき、部品移載装置１３に制御信号を送出する。これにより、装着ヘッド２０に支持された複数の吸着ノズル２５の位置および角度が制御される。

【0021】

４．装着ヘッド２０の構成
装着ヘッド２０は、図３に示すように、部品移載装置１３の移動台１３２にクランプされるヘッド本体２１を有する。ヘッド本体２１には、ノズルツール２２、ツール駆動装置２３、およびエア供給装置２４が設けられている。ノズルツール２２は、Ｒ軸と同心の円周上において周方向に等間隔に複数の吸着ノズル２５を、Ｚ軸方向に摺動可能に且つθ軸周りに回転可能に保持する。装着ヘッド２０には、ノズルツール２２を着脱可能なタイプと、一体的に固定されたタイプとがある。なお、上記のθ軸は、Ｒ軸に平行で且つそれぞれの吸着ノズル２５の軸心を通る吸着ノズル２５の自転軸である。

【0022】

ツール駆動装置２３は、サーボモータや減速装置、直動機構などにより構成され、吸着ノズル２５のθ軸周りに角度決めするとともにＺ軸方向に位置決めする。ツール駆動装置２３は、Ｒ軸駆動部２３１、θ軸駆動部２３２、およびＺ軸駆動部２３３を備える。Ｒ軸駆動部２３１は、ヘッド本体２１に対してノズルツール２２をＲ軸周りに回転させる。θ軸駆動部２３２は、複数の吸着ノズル２５のそれぞれをθ軸周りに回転させる。Ｚ軸駆動部２３３は、複数の吸着ノズル２５のうちヘッド本体２１における規定位置に割り出された１つをＺ軸方向に昇降させる。

【0023】

エア供給装置２４は、装着ヘッド２０の内部に形成されたエア流路を介して、図示しないエアポンプによって生成された負圧エアまたは正圧エアを吸着ノズル２５に供給する。エア供給装置２４は、負圧流路２４１、正圧流路２４２、およびバルブ２４３を備える。負圧流路２４１は、吸着ノズル２５に負圧エアを供給する際に使用されるエア流路である。正圧流路２４２は、吸着ノズル２５に正圧エアを供給する際に使用されるエア流路である。

【0024】

バルブ２４３は、例えばステッピングモータ（図示しない）により動作し、エア流路における負圧エアの供給、正圧エアの供給、および遮断を切り換える。吸着ノズル２５は、バルブ２４３の切り換えによりエア供給装置２４から負圧エアを供給されると、先端部において部品を吸着して保持する。また、吸着ノズル２５は、バルブ２４３の切り換えによりエア供給装置２４から正圧エアを供給されると、先端部において吸着していた部品を解放する。

【0025】

５．検査システム３０の構成
検査システム３０は、図１に示すように、構成装置良否判定サーバ（以下、単に「サーバ」と称する）４０と、ヘッドベンチ５０と、端末装置６０とを備える。サーバ４０は、ヘッドベンチ５０および端末装置６０に対してインターネットを介して通信可能に接続される。なお、本実施形態において、ヘッドベンチ５０は、端末装置６０に対して直接的に通信可能には接続されていない。サーバ４０は、ヘッドベンチ５０または端末装置６０に対する作業者の操作に応じて所定の検査を行い、検査結果に基づく装着ヘッド２０の良否判定結果を端末装置６０に表示させる。

【0026】

本実施形態において、サーバ４０は、クラウドサーバであり、複数のクライアント（例えば、複数のヘッドベンチ５０や複数の端末装置６０）と通信可能に接続される。ここで、ヘッドベンチ５０は、部品装着機３を構成する装着ヘッド２０を対象とした検査の種別に応じて装着ヘッド２０を動作させて検査を行う検査装置である。

【0027】

ヘッドベンチ５０は、クランプ機構により装着ヘッド２０が取り付けられ、装着ヘッド２０を動作可能に保持する。ヘッドベンチ５０は、保持する装着ヘッド２０のツール駆動装置２３を動作させ、またエア供給装置２４のエア流路にエア等を流通させることが可能である。ヘッドベンチ５０は、図４に示すように、検査ユニット５１、および制御装置５２を備える。検査ユニット５１は、専用のセンサやカメラを用いて、装着ヘッド２０を対象とした各種の検査を行う。

【0028】

本実施形態において、検査ユニット５１による検査には、装着ヘッド２０の機械的精度の検査が含まれる。上記の「機械的精度の検査」は、装着ヘッド２０の駆動部（Ｒ軸駆動部２３１、θ軸駆動部２３２、Ｚ軸駆動部２３３）が機械的に正確に動作するかの検査である。検査ユニット５１は、例えば、装着ヘッド２０に取り付けられた検査用ノズルをθ軸周りに回転させた後に逆回転させ、検査用ノズルの回転角度を測定する。これにより、θ軸駆動部２３２におけるバックラッシが検出される。また、Ｚ軸駆動部２３３の駆動の前後における検査用ノズルの位置を測定することにより、吸着ノズル２５を保持するホルダの傾きが検出される。

【0029】

また、検査ユニット５１による検査には、装着ヘッド２０の駆動部（Ｒ軸駆動部２３１、θ軸駆動部２３２、Ｚ軸駆動部２３３）の動作時間の検査が含まれる。上記の「動作時間の検査」は、装着ヘッド２０の駆動部に対して規定の動作を行うように指令し、当該動作の所要時間を測定する。駆動部の動作時間は、駆動部の適正に潤滑されているかや汚れの度合いなどによって駆動負荷とともに変動する。検査ユニット５１は、例えば、装着ヘッド２０の駆動部について規定の距離だけ移動、または規定の角度だけ回転させ、サーボモータに供給したパルス電力を測定する。このパルス電力の量に応じて、装着ヘッド２０の駆動部の動作時間や駆動負荷が検出される。

【0030】

また、検査ユニット５１による検査には、装着ヘッド２０が備えるサーボ軸の動作波形の検査が含まれる。上記の「動作波形の検査」は、装着ヘッド２０の駆動部（Ｒ軸駆動部２３１、θ軸駆動部２３２、Ｚ軸駆動部２３３）がサーボモータを駆動源である場合に、装着ヘッド２０の駆動部に対して規定の動作を行うように指令し、当該動作においてサーボモータに組み込まれたエンコーダの出力パルス（動作波形）を測定する。サーボモータは、構成部品の劣化や汚れの度合い応じて、同じ動作に対して出力パルスが変動する。そこで、検査ユニット５１は、エンコーダによる検出位置と、規定動作において収束する出力パルスの波形とを検出する。

【0031】

その他に、検査ユニット５１は、装着ヘッド２０のエア流路に負圧エアまたは正圧エアを供給して、図示しない流量測定センサにより負圧流路２４１および正圧流路２４２におけるエアの流量を測定する。検査ユニット５１は、検査処理において、負圧エアまたは正圧エアを流通させた状態でノズルツール２２をＲ軸周りに回転させたり、吸着ノズル２５を保持するホルダをθ軸周りに回転させたりＺ軸方向に昇降させたりして、種々の状態における流量を測定する。装着ヘッド２０のエア流路における流量が低下している場合には、エア流路に汚れがあったり、可動部の潤滑性が低下していたりすることが想定される。

【0032】

制御装置５２は、主として、ＣＰＵや各種メモリ、制御回路により構成されるコントローラである。制御装置５２は、サーバ４０と通信可能に接続される。制御装置５２は、サーバ４０より指定された所定種別の検査が行われるように、装着ヘッド２０および各種のセンサの動作を制御する。また、制御装置５２は、装着ヘッド２０と通信することにより、装着ヘッド２０に記憶された識別符号（ＩＤ）を取得する。

【0033】

また、制御装置５２は、上記のように検査の種別に応じて装着ヘッド２０を動作し、後の良否判定に必要な測定値を取得して検査データＭ１を生成する。この検査データＭ１の測定値には、ノズルなどの位置、角度、可動部の所要時間、パルス電力、エアの流量、圧力などの各種センサにより測定された値が含まれ得る。さらに、検査データＭ１には、ノズルなどの位置や角度を割り出すために用いられた画像データが含まれ得る。

【0034】

さらに、検査データＭ１には、上記の測定値に換えて、または加えて、検査に準ずるデータとしてもよい。具体的には、吸着ノズル２５を支持するホルダの傾きを検査する場合に、制御装置５２は、検査用ノズルの昇降の前後における位置を示す測定値に基づいてホルダの傾き角度を割り出す。そして、制御装置５２は、その傾き角度を検査データＭ１に記録してもよい。

【0035】

また、ヘッドベンチ５０は、各種の検査の何れにおいても測定値の取得、または検査に準ずるデータの割り出しを行うに留まり、測定値などを用いた良否判定や不調のある箇所の特定などは行わない。そのため、ヘッドベンチ５０には、各種の検査において良否の判定に必要な判定基準データなどの重要な情報が記憶されていない。

【0036】

端末装置６０は、各種情報を表示する表示装置である。また、端末装置６０は、装着ヘッド２０を対象とした調整案内を行う案内装置としても機能する。本実施形態において、端末装置６０は、図１に示すように、タッチスクリーン６１を備える。タッチスクリーン６１は、各種情報を表示するとともに、作業者による操作を受け付ける。端末装置６０は、サーバ４０と通信可能に接続される。また、端末装置６０は、サーバ４０から良否判定の結果や調整案内に係る情報を受け取り、タッチスクリーン６１に表示させる。端末装置６０は、固有の識別符号（ＩＤ）が付されており、必要に応じてサーバ４０に識別符号を送出する。

【0037】

端末装置６０は、例えばヘッドベンチ５０にセットされた装着ヘッド２０を対象としたメンテナンス処理の種別を選択可能にタッチスクリーン６１に表示させる。上記の「メンテナンス処理」には、部品装着機３の構成装置の一つである装着ヘッド２０を対象とする各種の検査、および検査結果に基づく調整案内が含まれる。そして、端末装置６０は、タッチスクリーン６１に対する操作により所定種別のメンテナンス処理が選択された場合に、サーバ４０に対してメンテナンス処理の種別を送出する。

【0038】

サーバ４０は、インストールされたソフトウェアにより構成装置良否判定サーバとして機能する。サーバ４０は、図１に示すように、処理制御部４１、検査データ取得部４２、判定部４３、送信部４４、アクセス制限部４５、調整部４６、ログ記録部４７、および記憶装置４８を備える。処理制御部４１は、メンテナンス処理における各部の動作を制御するとともに、通信により外部装置の識別符号（ＩＤ）の取得などを行う。検査データ取得部４２は、ヘッドベンチ５０による所定種別の検査によって得られた検査データＭ１を取得する。検査データ取得部４２は、取得した検査データＭ１を記憶装置４８に記憶する。

【0039】

ここで、記憶装置４８は、ハードディスク装置などの光学ドライブ装置、またはフラッシュメモリなどにより構成される。この記憶装置４８には、上記の検査データＭ１の他に、判定基準データＭ２、および調整基準データＭ３が予め記憶される。上記の「判定基準データＭ２」は、正常な装着ヘッド２０がヘッドベンチ５０による検査において示す検査データＭ１の範囲に対応する。つまり、判定基準データＭ２には、検査データＭ１に基づいて、検査対象の装着ヘッド２０が検査項目において正常であるための範囲や閾値が含まれる。

【0040】

また、上記の「調整基準データＭ３」は、検査データＭ１に対応する装着ヘッド２０における調整箇所および調整量が設定される。つまり、調整基準データＭ３には、検査データＭ１に含まれる複数の測定値などに対応して、多数の部品により構成される装着ヘッド２０のうち調整すべき箇所を特定し、且つ調整箇所に対する調整量を算出可能な情報が予め設定されている。判定基準データＭ２および調整基準データＭ３は、多くの実績や試験などに基づいて設定され、外部への流出を防止すべき重要なデータである。

【0041】

判定部４３は、取得した検査データＭ１に基づいて装着ヘッド２０の良否を判定するとともに、良否判定結果を記憶装置４８に記憶する。判定部４３は、検査データＭ１および判定基準データＭ２に基づいて装着ヘッド２０の良否を判定する。つまり、判定部４３は、例えば検査データＭ１に含まれる測定値が判定基準データＭ２により示される正常範囲に含まれる場合に、装着ヘッド２０が正常であると判定する。

【0042】

また、判定部４３は、良否判定において、例えば測定値が正常範囲のうち中央付近にあるのか、境界付近にあるのか、正常範囲からどの程度外れているのかに基づいて、良否の程度を判定する。判定部４３は、検査項目における良否の程度を良否判定結果に関連付けて記憶装置４８に記憶する。

【0043】

送信部４４は、判定部４３が判定した良否判定結果を、インターネットを介して通信可能に接続された端末装置６０に送信する。また、送信部４４は、後述する調整部４６により特定された調整箇所および算出された調整量を示す調整案内情報を端末装置６０に送信する。端末装置６０は、良否判定結果や調整案内情報を受け取り、タッチスクリーン６１に表示する。

【0044】

アクセス制限部４５は、端末装置６０から判定基準データＭ２または調整基準データＭ３へのアクセスを制限する。具体的には、アクセス制限部４５は、例えば端末装置６０がサーバ４０に通信可能に接続する際に、端末装置６０の識別符号やＩＰアドレスなどを用いたクライアント機器の特定することにより、アクセス可能な情報を制限する。アクセス制限部４５は、管理権限を有する機器からのアクセスに対しては判断基準データＭ２や調整基準データＭ３の更新を許容する。

【0045】

また、アクセス制限部４５は、上記の方法に換えて、または加えて、ユーザ認証によるアクセス可能な情報を制限してもよい。アクセス制限部４５は、何れの方法により端末装置６０との通信を許容した場合でも、管理権限を有しないクライアント機器からの判定基準データＭ２および調整基準データＭ３へのアクセスを制限する。これにより、送信部４４が端末装置６０に対して検査データＭ１、判定基準データＭ２、および調整基準データＭ３を送信することはない。

【0046】

調整部４６は、検査データＭ１および調整基準データＭ３に基づいて、装着ヘッド２０の調整箇所を特定するとともに調整量を算出する。具体的には、調整部４６は、例えば判定部４３による良否判定において装着ヘッド２０が不良と判定された場合に、判定部４３が検査データＭ１に基づいて算出した検査項目における良否の程度、および調整基準データＭ３に基づいて、検査項目に関する調整箇所の特定および調整量の算出を行う。調整部４６は、特定した調整箇所および算出した調整量を示す調整案内情報として、記憶装置４８に記憶する。

【0047】

ログ記録部４７は、サーバ４０が装着ヘッド２０の良否を判定する場合に、検査および調整案内をトレース可能とするトレースログＭ４を記録する。上記の「トレースログＭ４」には、検査における装着ヘッド２０の動作履歴が含まれる。本実施形態において、ログ記録部４７は、図５に示すように、装着ヘッド２０の動作履歴に装着ヘッド２０の識別符号（ＩＤ）、検査データＭ１、および端末装置６０の識別情報（ＩＤ）の少なくとも一つを関連付けてトレースログＭ４として記録する。

【0048】

トレースログＭ４は、検査システム３０が所定の検査や調整案内を行った場合に、例えば装着ヘッド２０に対する指令信号、装着ヘッド２０におけるツール駆動装置２３およびエア供給装置２４の制御信号、装着ヘッド２０の動作完了の通知情報などを動作履歴として、時刻とともに記録したものである。ログ記録部４７は、さらに、サーバ４０とヘッドベンチ５０の通信記録、サーバ４０と端末装置６０の通信記録、ヘッドベンチ５０または端末装置６０に対する作業者の操作記録などをトレースログＭ４として記録してもよい。

【0049】

６．検査システム３０を用いたメンテナンス処理
検査システム３０によるメンテナンス処理について図６を参照して説明する。メンテナンス処理の対象となる装着ヘッド２０は、例えば前回のメンテナンス処理からの稼働時間が一定以上経過したものや、部品交換などの修理がなされた後のものなどが想定される。メンテナンス処理に際して、例えば部品装着機３の設置場所までヘッドベンチ５０が輸送されるか、ヘッドベンチ５０の設置場所まで装着ヘッド２０が輸送される。

【0050】

ヘッドベンチ５０に装着ヘッド２０がセットされ、端末装置６０からメンテナンス処理の開始が要求されると、図６に示すように、サーバ４０がメンテナンス処理を実行する。なお、サーバ４０は、国や地域などに対応して複数稼働するものとしてもよい。この場合には、複数のサーバ４０のうち、例えばヘッドベンチ５０の設置場所から通信負荷が最小となるものが選択され、メンテナンス処理を実行する。

【0051】

サーバ４０の処理制御部４１は、先ずメンテナンス処理の開始を要求した端末装置６０の識別符号を取得する（Ｓ１１）。次に、処理制御部４１は、処理対象として指定された装着ヘッド２０がセットされたヘッドベンチ５０の識別符号、および指定の装着ヘッド２０の識別符号を取得する（Ｓ１２）。これにより、処理制御部４１は、ヘッドベンチ５０と通信可能であるかを確認する。また、処理制御部４１は、Ｓ１１およびＳ１２にてそれぞれ取得した識別符号に基づいて、メンテナンス処理の実行要求が正規ユーザによるものでないと判断した場合には、メンテナンス処理を中断してもよい。

【0052】

続いて、処理制御部４１は、端末装置６０からの要求に応じた検査の種別を指定して、ヘッドベンチ５０に当該種別の検査の実行を指令する（Ｓ１３）。より詳細には、処理制御部４１は、端末装置６０において作業者により選択されたメンテナンス処理に応じて、機械的精度の検査、および装着ヘッド２０の駆動部の動作時間の検査が必要と判定し、各検査を実行するようにヘッドベンチ５０に指令する。このように、ヘッドベンチ５０に対して実行を指令される検査の種別は、選択されたメンテナンス処理の種別により変動する。

【0053】

ヘッドベンチ５０は、指定された１または複数の種類の検査を行う（Ｓ１４）。ヘッドベンチ５０の制御装置５２は、検査データＭ１を生成する。検査データ取得部４２は、ヘッドベンチ５０による所定種別の検査によって得られた検査データＭ１を取得し（Ｓ１５）、記憶装置４８に記憶する。判定部４３は、取得した検査データＭ１および判定基準データＭ２に基づいて、装着ヘッド２０の良否を判定する（Ｓ１６）。

【0054】

続いて、送信部４４は、Ｓ１６において判定部４３が判定した良否判定結果を、インターネットを介して端末装置６０に送信する（Ｓ１７）。端末装置６０は、受け取った良否判定結果をタッチスクリーン６１に表示する（Ｓ１８）。これにより、作業者は、装着ヘッド２０の良否判定結果に基づいて、当該装着ヘッド２０を装着処理に用いることが適正であるか否かを判断することができる。

【0055】

なお、端末装置６０には、選択したメンテナンス処理における装着ヘッド２０の良否についての判定結果が表示され、一方でメンテナンス処理に応じてヘッドベンチ５０が実行した所定種別の検査の結果については表示されない。また、メンテナンス処理には、上記のような検査のみを行う検査モードと、検査結果を用いて調整を行う調整モードとが含まれる。処理制御部４１は、端末装置６０においてメンテナンス処理について調整モードが選択されているか否かを判定する（Ｓ２１）。

【0056】

調整モードが選択されている場合に（Ｓ２１：Ｙｅｓ）、調整部４６は、検査データＭ１および調整基準データＭ３に基づいて、装着ヘッド２０の調整箇所を特定するとともに調整量を算出し（Ｓ２２）、調整案内情報として記憶装置４８に記憶する。続いて、送信部４４は、Ｓ２２において調整部４６が生成した調整案内情報を、インターネットを介して端末装置６０に送信する（Ｓ２３）。端末装置６０は、受け取った調整案内情報をタッチスクリーン６１に表示する（Ｓ２４）。これにより、作業者は、調整案内情報に基づいて、装着ヘッド２０における何れの箇所を調整の対象とし、且つどの程度の調整量とすべきかを認識することができる。

【0057】

一方で、メンテナンス処理について検査モードが選択されている場合には（Ｓ２１：Ｎｏ）、上記のような調整に関する処理（Ｓ２２－Ｓ２４）が省略される。その後に、ログ記録部４７は、装着ヘッド２０の識別符号、検査データＭ１、および端末装置６０の識別情報を装着ヘッド２０の動作履歴に関連付けてトレースログＭ４として記録する（Ｓ２５）。さらに、ログ記録部４７は、サーバ４０と外部装置（ヘッドベンチ５０、端末装置６０）との通信記録、および外部装置に対する操作記録をトレースログＭ４として記録する。

【0058】

７．サーバ４０へのアクセス制限処理
アクセス制限部４５によるアクセス制限処理について図７を参照して説明する。アクセス制限部４５は、外部装置より各種のデータへのアクセスがあった場合に、図７に示すように、アクセス制限処理を実行する。ここで、上記の外部装置には、ヘッドベンチ５０や端末装置６０などのクライアント機器が含まれる。また、クライアント機器には、管理権限を有する管理機器が含まれる。

【0059】

アクセス制限部４５は、先ずアクセスのあった外部装置のアクセス権限を特定する（Ｓ３１）。アクセス権限は、外部装置の識別符号などを用いてクライアント機器を特定するか、ユーザ認証により特定される。次に、アクセス制限部４５は、Ｓ３１にて特定したアクセス権限によりデータへのアクセスを許可するか判定する（Ｓ３２）。アクセス制限部４５は、データへのアクセスを許可する場合には（Ｓ３２：Ｙｅｓ）、外部装置に対してそのデータの出力や更新を許容する（Ｓ３３）。

【0060】

一方で、アクセス制限部４５は、データへのアクセスを許可しない場合には（Ｓ３２：Ｎｏ）、外部装置に対してそのデータへのアクセスを制限する（Ｓ３４）。具体的には、例えば外部装置がヘッドベンチ５０または端末装置６０であり、且つアクセス要求のあったデータが判定基準データＭ２や調整基準データＭ３である場合に、アクセス制限部４５は、これらのデータへのアクセスを制限し、外部装置への送信を行わない。

【0061】

８．実施形態の構成による効果
本実施形態におけるサーバ４０は、部品装着機３を構成する装着ヘッド２０を対象とした検査の種別に応じて装着ヘッド２０を動作させて検査を行うヘッドベンチ５０にインターネットを介して通信可能に接続されるサーバである。サーバ４０は、ヘッドベンチ５０に所定種別の検査を指定し、ヘッドベンチ５０による検査によって得られた検査データＭ１を取得する検査データ取得部４２と、取得した検査データＭ１に基づいて装着ヘッド２０の良否を判定する判定部４３と、判定部４３が判定した良否判定結果を、インターネットを介して通信可能に接続された端末装置６０に送信する送信部４４と、を備える。

【0062】

このような構成によると、検査システム３０におけるサーバ４０は、検査を行うヘッドベンチ５０、および良否判定結果を表示する端末装置６０にインターネットを介して接続された別装置として構成される。これにより、ヘッドベンチ５０を部品装着機３の設置場所まで輸送するか、装着ヘッド２０をヘッドベンチ５０の設置場所まで輸送することによりメンテナンス処理が可能となり利便性を向上できる。一方で、良否判定はサーバ４０にて行われるので、ヘッドベンチ５０や端末装置６０は、判定基準データＭ２などの検査用の重要な情報から切り離されている。そのため、このような情報の流出を確実に防止することができ、装着ヘッド２０を対象としたメンテナンス処理の管理性を向上できる。

【0063】

また、実施形態にて例示したような構成からなる検査システム３０の場合には、管理権限を有する機器からサーバ４０へのアクセスが可能である。そのため、検査システム３０の管理者は、例えば多数の検査装置（ヘッドベンチ５０）による検査の結果を集計するとともに分析することができる。さらに、検査システム３０の管理者は、上記の分析の結果に基づいて、判定基準データＭ２や調整基準データＭ３をより適正なものに更新することができる。これにより、以降のメンテナンス処理においては更新された判定基準データＭ２や調整基準データＭ３が反映され、より適正なメンテナンス処理を実行することができる。

【0064】

９．実施形態の変形態様
９－１．検査装置について
実施形態において、検査システム３０は、検査装置としてのヘッドベンチ５０を備える構成とした。これに対して、検査装置は、ヘッドベンチ５０である他に、構成装置を用いて対基板作業を行う対基板作業機に組み込まれる態様を採用し得る。例えば、検査装置は、部品装着機３に組み込まれ、部品カメラ１４の撮像により取得された画像データに基づいて装着ヘッド２０を検査してもよい。

【0065】

このような構成によると、部品装着機３の検査装置は、装着ヘッド２０に所定の動作をさせて、その動作の前後の状態を部品カメラ１４などにより撮像する。そして、検査装置は、撮像により取得した画像データに基づいて装着ヘッド２０の動作量や所要時間などを測定し、実施形態と同様に検査データＭ１を生成する。サーバ４０は、検査データＭ１および判定基準データＭ２に基づいて、装着ヘッド２０の良否を判定する。

【0066】

ここで、部品装着機３には、既存の設備である部品カメラ１４などを用いて装着ヘッド２０の検査を行い、例えば検査結果を装着ヘッド２０の動作の校正に用いる構成を採用し得る。しかしながら、上記のように部品装着機３に装着ヘッド２０を検査可能な構成とすると、判定基準データなどの検査用の重要な情報が流出するおそれがある。これに対して、上記のような構成によると、部品装着機３に組み込まれた検査装置から良否判定を行う機能が切り離されるので、部品装着機３における検査装置の管理性を向上できる。これにより、部品装着機３に検査装置を組み込むことができ、メンテナンスの利便性を向上できる。なお、検査装置は、調整案内を行う機能を省略した構成としてもよい。

【0067】

９－２．対基板作業機および構成装置について
実施形態において、検査システム３０が検査対象とする構成装置は、装着ヘッド２０であるものとして説明した。これに対して、検査システム３０は、部品装着機３を構成する種々の構成装置を検査の対象としてもよい。具体的には、検査システム３０は、基板搬送装置１１、部品供給装置１２、フィーダ１２２、収納装置１２３、および部品移載装置１３の何れか一つとしてもよい。

【0068】

また、実施形態において、構成装置を備える対基板作業機は、部品装着機３であるものとして説明した。これに対して、検査システム３０は、生産ライン１を構成する種々の対基板作業機の構成装置を検査の対象としてもよい。具体的には、対基板作業機としては、印刷機、リフロー炉、検査機、バッファ装置などの生産ライン１を構成する装置の一つとしてもよい。

【符号の説明】

【0069】

３：部品装着機（対基板作業機）、 ２０：装着ヘッド（構成装置）、 ３０：検査システム、 ４０：サーバ（構成装置良否判定サーバ）、 ４１：処理制御部、 ４２：検査データ取得部、 ４３：判定部、 ４４：送信部、 ４５：アクセス制限部、 ４６：調整部、 ４７：ログ記録部、 ４８：記憶装置、 ５０：ヘッドベンチ（検査装置）、 ５１：検査ユニット、 ５２：制御装置、 ６０：端末装置、 ６１：タッチスクリーン

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】