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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024074987
(43)【公開日】2024-05-31
(54)【発明の名称】物品搬送車
(51)【国際特許分類】
B65G 1/00 20060101AFI20240524BHJP
【ＦＩ】
B65G1/00 501C
【審査請求】有
【請求項の数】8
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2024064057
(22)【出願日】2024-04-11
(62)【分割の表示】P 2020215637の分割
【原出願日】2020-12-24
(71)【出願人】
【識別番号】000003643
【氏名又は名称】株式会社ダイフク
(74)【代理人】
【識別番号】110001818
【氏名又は名称】弁理士法人Ｒ＆Ｃ
(72)【発明者】
【氏名】冨田 大地
(72)【発明者】
【氏名】大塚 洋
(57)【要約】
【課題】物品に伝わる振動を少なく抑えることができるようにしつつ、物品が適正な姿勢に対して傾くことを抑制して物品を載置箇所に適切に載置することができる物品搬送車の実現
【解決手段】物品搬送車は、走行体と、物品６を保持する保持装置２３と、走行体に搭載され保持装置２３を走行体に対して昇降させる昇降装置と、を備え、保持装置２３が、昇降装置に連結された連結部３１と、物品６を支持する物品支持部５１と、を備えた物品搬送車であって、保持装置２３が、物品支持部５１と連結部３１との間に設けられて物品支持部５１を連結部３１に対して上下方向Ｚに弾性を有する状態で支持する弾性支持機構３６と、連結部３１に対する物品支持部５１の上下方向Ｚの移動を案内する案内機構３７と、を備え、案内機構３７が、連結部３１に対する物品支持部５１の上下方向Ｚの平行移動を許容すると共に、連結部３１に対する物品支持部５１の揺動を規制する。
【選択図】図３
【解決手段】物品搬送車は、走行体と、物品６を保持する保持装置２３と、走行体に搭載され保持装置２３を走行体に対して昇降させる昇降装置と、を備え、保持装置２３が、昇降装置に連結された連結部３１と、物品６を支持する物品支持部５１と、を備えた物品搬送車であって、保持装置２３が、物品支持部５１と連結部３１との間に設けられて物品支持部５１を連結部３１に対して上下方向Ｚに弾性を有する状態で支持する弾性支持機構３６と、連結部３１に対する物品支持部５１の上下方向Ｚの移動を案内する案内機構３７と、を備え、案内機構３７が、連結部３１に対する物品支持部５１の上下方向Ｚの平行移動を許容すると共に、連結部３１に対する物品支持部５１の揺動を規制する。
【選択図】図３
【特許請求の範囲】
【請求項1】
走行経路に沿って走行する走行体と、物品を保持する保持装置と、前記走行体に搭載され前記保持装置を前記走行体に対して昇降させる昇降装置と、を備え、
前記保持装置が、前記昇降装置に連結された連結部と、前記物品に接触して前記物品を支持する物品支持部と、を備えた物品搬送車であって、
前記保持装置が、前記物品支持部と前記連結部との間に設けられて前記物品支持部を前記連結部に対して上下方向に弾性を有する状態で支持する弾性支持機構と、前記連結部に対する前記物品支持部の前記上下方向の移動を案内する案内機構と、を備え、
前記案内機構が、前記連結部に対する前記物品支持部の前記上下方向の平行移動を許容すると共に、前記連結部に対する前記物品支持部の揺動を規制するように構成されている、物品搬送車。
前記保持装置が、前記昇降装置に連結された連結部と、前記物品に接触して前記物品を支持する物品支持部と、を備えた物品搬送車であって、
前記保持装置が、前記物品支持部と前記連結部との間に設けられて前記物品支持部を前記連結部に対して上下方向に弾性を有する状態で支持する弾性支持機構と、前記連結部に対する前記物品支持部の前記上下方向の移動を案内する案内機構と、を備え、
前記案内機構が、前記連結部に対する前記物品支持部の前記上下方向の平行移動を許容すると共に、前記連結部に対する前記物品支持部の揺動を規制するように構成されている、物品搬送車。
【請求項2】
前記物品支持部は、一対の把持部を備え、
一対の前記把持部は、前記走行経路に沿う方向である走行方向に互いに離間して配置され、
前記弾性支持機構は、一対の前記把持部が互いに独立して上下動するように一対の前記把持部を支持しており、
前記案内機構は、一対の前記把持部のそれぞれについての前記連結部に対する前記上下方向の移動を案内するように構成されている、請求項１に記載の物品搬送車。
一対の前記把持部は、前記走行経路に沿う方向である走行方向に互いに離間して配置され、
前記弾性支持機構は、一対の前記把持部が互いに独立して上下動するように一対の前記把持部を支持しており、
前記案内機構は、一対の前記把持部のそれぞれについての前記連結部に対する前記上下方向の移動を案内するように構成されている、請求項１に記載の物品搬送車。
【請求項3】
前記上下方向に沿う上下方向視で前記走行方向に直交する方向を幅方向として、
前記弾性支持機構は、一対の前記把持部のそれぞれについて、前記幅方向に離間して配置された一対の弾性体を備え、
前記案内機構は、一対の前記把持部のそれぞれについて、前記幅方向に離間して配置された一対の直動案内機構を備え、
一対の前記把持部のそれぞれにおいて、一対の前記直動案内機構が一対の前記弾性体よりも前記幅方向の外側に配置されている、請求項２に記載の物品搬送車。
前記弾性支持機構は、一対の前記把持部のそれぞれについて、前記幅方向に離間して配置された一対の弾性体を備え、
前記案内機構は、一対の前記把持部のそれぞれについて、前記幅方向に離間して配置された一対の直動案内機構を備え、
一対の前記把持部のそれぞれにおいて、一対の前記直動案内機構が一対の前記弾性体よりも前記幅方向の外側に配置されている、請求項２に記載の物品搬送車。
【請求項4】
前記案内機構は、水平面に沿う方向に互いに離間して複数個所に配置された直動案内機構を備え、
前記直動案内機構のそれぞれは、前記連結部及び前記物品支持部の一方に固定された案内体と、前記連結部及び前記物品支持部の他方に固定されて前記案内体に沿って移動する移動体と、を備え、
前記案内体は、前記上下方向に沿って前記移動体が移動するように配置されている、請求項１から３のいずれか一項に記載の物品搬送車。
前記直動案内機構のそれぞれは、前記連結部及び前記物品支持部の一方に固定された案内体と、前記連結部及び前記物品支持部の他方に固定されて前記案内体に沿って移動する移動体と、を備え、
前記案内体は、前記上下方向に沿って前記移動体が移動するように配置されている、請求項１から３のいずれか一項に記載の物品搬送車。
【請求項5】
前記物品は、上部に設けられたフランジ部と底部に設けられた係合凹部とを備えた容器であり、
前記係合凹部は、前記昇降装置により下降されて載置箇所に載置される場合に、当該載置箇所に設けられた位置決め用の係合凸部に係合され、
前記物品支持部は、一対の把持部により前記フランジ部を把持するように構成されている、請求項１から４のいずれか一項に記載の物品搬送車。
前記係合凹部は、前記昇降装置により下降されて載置箇所に載置される場合に、当該載置箇所に設けられた位置決め用の係合凸部に係合され、
前記物品支持部は、一対の把持部により前記フランジ部を把持するように構成されている、請求項１から４のいずれか一項に記載の物品搬送車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、走行経路に沿って走行する走行体と、物品を保持する保持装置と、走行体に搭載さらえ保持装置を走行体に対して昇降させる昇降装置と、を備えている物品搬送車に関する。
【背景技術】
【0002】
従来のこの種の物品搬送車が、特開２０１６－０９４２６３号公報（特許文献１）に開示されている。以下、背景技術の説明において括弧内に示された符号は、特許文献１のものである。
【0003】
特許文献１に開示された物品搬送車（１）は、走行レール（２）上を移動経路に沿って走行する走行移動部（１６）と、走行移動部（１６）に支持され且つ物品（搬送物６）を吊り下げ支持する支持機構（２３）と、支持機構（２３）を昇降移動自在に支持する昇降支持部（１７）と、を備えている。支持機構（２３）は、昇降体（３１）と、案内支持部（３５）と、昇降体（３１）と案内支持部（３５）との間に位置して案内支持部（３５）の荷重を受ける、上下方向に弾性変形自在な緩衝体（３６）と、を有している。そのため、走行移動部（１６）が走行するときの振動や昇降体（３１）が昇降するときに物品（６）に伝わる振動を少なく抑えることができるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０１６－０９４２６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
特許文献１に開示された物品搬送車（１）は、物品（６）を床面上の支持台（４）に移載するために、巻回体（２８）を回転駆動させ、巻取りベルト（２４ａ）を繰り出すことによって、支持機構（２３）を物品（６）と共に下降させる。一般的に、支持台（４）には、物品（６）を位置決めするための位置決めピン等の位置決め機構が設けられているため、物品（６）を支持台（４）に適切に移載するためには、物品（６）を適正な姿勢で支持台（４）まで下降させる必要がある。
【0006】
しかし、特許文献１に開示された物品搬送車（１）では、案内支持部（３５）が昇降体（３１）に対して緩衝体（３６）を介して支持されているため、案内支持部（３５）に対して偏った荷重が作用した場合には、案内支持部（３５）が昇降体（３１）に対して傾くことがある。例えば、物品（６）の重心の位置に偏りがある場合等に、緩衝体（３６）の変形量に偏りが生じて案内支持部（３５）が昇降体（３１）に対して傾き、物品（６）が適正な姿勢に対して傾いた姿勢となることがある。このように、物品（６）が適正な姿勢に対して傾いた姿勢で支持台（４）まで下降した場合には、物品（６）を支持台（４）に適切に移載することができない場合がある。一方、物品（６）が傾いた姿勢となることを制限するために、緩衝体（３６）の弾性率を高くすると、物品（６）に伝わる振動を適切に抑制することが困難になる。
【0007】
そこで、物品に伝わる振動を少なく抑えることができるようにしつつ、物品が適正な姿勢に対して傾くことを抑制して物品を載置箇所に適切に載置することができる物品搬送車の実現が望まれる。
【課題を解決するための手段】
【0008】
上記に鑑みた、物品搬送車の特徴構成は、走行経路に沿って走行する走行体と、物品を保持する保持装置と、前記走行体に搭載され前記保持装置を前記走行体に対して昇降させる昇降装置と、を備え、前記保持装置が、前記昇降装置に連結された連結部と、前記物品に接触して前記物品を支持する物品支持部と、を備えた物品搬送車であって、前記保持装置が、前記物品支持部と前記連結部との間に設けられて前記物品支持部を前記連結部に対して上下方向に弾性を有する状態で支持する弾性支持機構と、前記連結部に対する前記物品支持部の前記上下方向の移動を案内する案内機構と、を備え、前記案内機構が、前記連結部に対する前記物品支持部の前記上下方向の平行移動を許容すると共に、前記連結部に対する前記物品支持部の揺動を規制するように構成されている点にある。
【0009】
本構成によれば、物品支持部と連結部との間に弾性支持機構が設けられているため、走行体が走行することによる走行体の振動や、昇降装置によって昇降することによる保持装置の振動等を弾性支持機構によって減衰させることができる。よって、物品に伝わる振動を少なく抑えることができる。
また、本構成によれば、案内機構が、連結部に対する物品支持部の揺動を規制するように構成されているため、物品支持部が連結部に対して傾くことを規制できる。そのため、例えば物品の重心に偏りがあること等によって物品支持部に対して偏った荷重が作用した場合であっても、物品支持部及び物品支持部に支持された物品が連結部に対して傾くことを規制することができる。従って、昇降装置によって保持装置を下降させて物品を載置箇所に載置する場合に、物品の姿勢が適正姿勢に対して傾くことで物品を適切に載置できない事態が生じることを回避することができる。一方、案内機構は、連結部に対する物品支持部の上下方向の平行移動を許容する。そのため、物品支持部及び物品支持部に支持された物品に作用する上下方向の振動を弾性支持機構によって緩和する効果が案内機構によって妨げられることはない。
このように本構成によれば、物品に伝わる振動を少なく抑えることができるようにしつつ、物品が適正な姿勢に対して傾くことを抑制して物品を載置箇所に適切に載置することができる。
また、本構成によれば、案内機構が、連結部に対する物品支持部の揺動を規制するように構成されているため、物品支持部が連結部に対して傾くことを規制できる。そのため、例えば物品の重心に偏りがあること等によって物品支持部に対して偏った荷重が作用した場合であっても、物品支持部及び物品支持部に支持された物品が連結部に対して傾くことを規制することができる。従って、昇降装置によって保持装置を下降させて物品を載置箇所に載置する場合に、物品の姿勢が適正姿勢に対して傾くことで物品を適切に載置できない事態が生じることを回避することができる。一方、案内機構は、連結部に対する物品支持部の上下方向の平行移動を許容する。そのため、物品支持部及び物品支持部に支持された物品に作用する上下方向の振動を弾性支持機構によって緩和する効果が案内機構によって妨げられることはない。
このように本構成によれば、物品に伝わる振動を少なく抑えることができるようにしつつ、物品が適正な姿勢に対して傾くことを抑制して物品を載置箇所に適切に載置することができる。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【図1】物品搬送設備の側面図
【図2】天井搬送車の側面図
【図3】一対の搬送物支持部が支持用位置に位置している保持装置の縦断側面図
【図4】保持装置の平面図
【図5】物品搬送車の走行状態において、物品支持部が走行方向に傾く場合の側面図
【図6】物品が載置箇所に適切に移載された場合の側面図
【図7】物品が傾いた状態で載置箇所に移載される場合の側面図
【発明を実施するための形態】
【0011】
１．実施形態
以下、本発明に係る物品搬送車を物品搬送設備に適用した場合の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１に示すように、物品搬送設備には、天井側に配設された走行レール２に沿って走行自在な天井搬送車として構成された物品搬送車１と、物品６に収容されている基板に対して処理を行う処理装置３と、その処理装置３に隣接する状態で床面上に設置された支持台等の載置箇所４と、が設けられている。ここで、支持台は、物品搬送車１による物品６の載置箇所４の一例である。このように、本実施形態では、走行レール２によって物品搬送車１の走行経路が構成されている。物品搬送車１によって搬送される物品６は、収容物を収容する搬送容器であり、具体的には、収容物として複数の半導体基板を収容するＦＯＵＰ（Front Opening Unify Pod）である。
以下、本発明に係る物品搬送車を物品搬送設備に適用した場合の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１に示すように、物品搬送設備には、天井側に配設された走行レール２に沿って走行自在な天井搬送車として構成された物品搬送車１と、物品６に収容されている基板に対して処理を行う処理装置３と、その処理装置３に隣接する状態で床面上に設置された支持台等の載置箇所４と、が設けられている。ここで、支持台は、物品搬送車１による物品６の載置箇所４の一例である。このように、本実施形態では、走行レール２によって物品搬送車１の走行経路が構成されている。物品搬送車１によって搬送される物品６は、収容物を収容する搬送容器であり、具体的には、収容物として複数の半導体基板を収容するＦＯＵＰ（Front Opening Unify Pod）である。
【0012】
物品６を載置する支持台等の載置箇所４は、物品搬送車１の走行経路の下方に設置されており、物品搬送車１の走行方向Ｘに沿って複数設置されている。物品搬送車１は、物品６を搬送すると共に昇降装置２４により物品６を下降させて載置箇所４に物品６を載置する。また、物品搬送車１は、物品６を載置箇所４から受け取って昇降装置２４により上昇させ、別の搬送先へ向けて物品６を搬送する。本実施形態では、このような物品搬送車１と載置箇所４との間での物品６の受け渡しを移載と称し、そのような動作を移載動作と称する。本実施形態では、載置箇所４における物品６が載置される載置面４ａには、物品６の位置決め用の係合凸部Ｐが設けられている。本例では、載置面４ａ上に、３つの係合凸部Ｐが三角形の頂点部分に位置するような位置関係で配置されている。本例では、載置箇所４としての支持台に物品６としてのＦＯＵＰが載置された後、処理装置３により当該ＦＯＵＰ内から半導体基板が取り出され、所定の処理が行われる。そして、処理が完了した半導体基板を収容したＦＯＵＰを、物品搬送車１が受け取って別の処理装置３等の搬送先へ搬送する。
【0013】
〔物品〕
図２に示すように、本実施形態に係る物品６は、複数枚の基板を収容する本体部７と、この本体部７より上方である物品６の上部に備えられたフランジ部９と、を備えている。また、この物品６は、本体部７の前面に形成された基板出し入れ用の開口を閉じる蓋体５（図６参照）を備えている。蓋体５は、本体部７に対して着脱自在に設けられている。なお、以下では、上下方向Ｚに沿う上下方向視で、物品６の中心から蓋体５に直交する方向を物品前後方向とし、物品前後方向と直交する方向を物品左右方向とする。
図２に示すように、本実施形態に係る物品６は、複数枚の基板を収容する本体部７と、この本体部７より上方である物品６の上部に備えられたフランジ部９と、を備えている。また、この物品６は、本体部７の前面に形成された基板出し入れ用の開口を閉じる蓋体５（図６参照）を備えている。蓋体５は、本体部７に対して着脱自在に設けられている。なお、以下では、上下方向Ｚに沿う上下方向視で、物品６の中心から蓋体５に直交する方向を物品前後方向とし、物品前後方向と直交する方向を物品左右方向とする。
【0014】
本実施形態では、蓋体５の単位体積当たりの重量は、物品６（ＦＯＵＰ）のその他の部分に比べて大きい。そのため、本体部７に半導体基板が収容されていない空の状態では、物品６の重心は物品前後方向の蓋体５側に偏る。本体部７に半導体基板が収容され物品６の全体の重量が大きくなると、当該重量における蓋体５の重量の割合が小さくなる。そのため、重心位置は物品６の中央部分に近づくように、物品前後方向における蓋体５側とは反対側に向けて移動する。また、物品６は、物品左右方向においては重量が均等になるように構成されている。そのため、物品６が空の状態である場合や、半導体基板が収容された状態である場合においても、物品６の重心の物品左右方向の偏りは小さい。
【0015】
フランジ部９と本体部７とは、物品連結部８を介して連結されている。物品連結部８は、本体部７から上方に突出するように形成されている。そして、フランジ部９は、物品連結部８の上部に取り付けられ、当該物品連結部８から物品前後方向及び物品左右方向に突出する板状に形成されている。そして、本体部７の上面とフランジ部９の下面との間に形成される、物品前後方向及び物品左右方向の窪みにより、挿入用空間１２が形成されている。この挿入用空間１２に、後述する一対の把持部５０が挿入されることで、物品６が一対の把持部５０により把持される。
【0016】
図６に示すように、物品６は、底部１１に設けられた係合凹部Ｂを備えている。係合凹部Ｂは、上述した載置箇所４の載置面４ａに設けられた係合凸部Ｐに係合されることで、載置箇所４における物品６の位置決めを行うためのものである。本実施形態では、底部１１の下方を向く面である底面１１ａに、３つの係合凹部Ｂが三角形の頂点部分に位置するような位置関係で配置されている。３つの係合凹部Ｂの位置関係は、載置箇所４の３つの係合凸部Ｐの位置関係に対応している。各係合凹部Ｂは、底面１１ａから上方に向けて窪んだ凹溝とされている。本例では、３つの係合凹部Ｂのうち２つは物品６の前端部に近接しかつ物品左右方向に離間して設けられている。３つの係合凹部Ｂのうち１つは、物品６の後端部に近接しかつ左右方向で２つの係合凹部Ｂの中間に設けられている。本実施形態では、図６に示すように、係合凹部Ｂは、後述する昇降装置２４により下降されて物品６
が載置箇所４に載置される場合に、当該載置箇所４に設けられた位置決め用の係合凸部Ｐに係合される。
が載置箇所４に載置される場合に、当該載置箇所４に設けられた位置決め用の係合凸部Ｐに係合される。
【0017】
〔物品搬送車〕
次に、物品搬送車１について説明する。ここでは、物品搬送車１の走行方向に沿う方向を走行方向Ｘと称し、走行方向Ｘと上下方向視で直交する方向を幅方向Ｙと称して説明する。本実施形態では、物品６はその物品左右方向が物品搬送車１の走行方向Ｘに沿う向きで支持される。そのため、以下では、物品６が保持装置２３にて保持されている状態を基準として、物品６の物品左右方向を走行方向Ｘとし、物品６の物品前後方向を幅方向Ｙとして説明する。
次に、物品搬送車１について説明する。ここでは、物品搬送車１の走行方向に沿う方向を走行方向Ｘと称し、走行方向Ｘと上下方向視で直交する方向を幅方向Ｙと称して説明する。本実施形態では、物品６はその物品左右方向が物品搬送車１の走行方向Ｘに沿う向きで支持される。そのため、以下では、物品６が保持装置２３にて保持されている状態を基準として、物品６の物品左右方向を走行方向Ｘとし、物品６の物品前後方向を幅方向Ｙとして説明する。
【0018】
図１及び図２に示すように、物品搬送車１は、走行経路に沿って走行する走行体１６と、物品６を保持する保持装置２３と、走行体１６に搭載され保持装置２３を走行体１６に対して昇降させる昇降装置２４とを備えている。また、物品搬送車１は、昇降装置２４による昇降範囲の上限付近に保持装置２３が位置する状態で、当該保持装置２３に支持された物品６の上方側及び走行方向Ｘの両側を覆うカバー部２５を更に備えている。
【0019】
図２に示すように、走行体１６は、走行用モータ１９にて回転駆動されて走行レール２の上面を転動する駆動輪２０と、走行レール２の側面に当接する回転自在な案内輪２１と、を備えている。そして、駆動輪２０が走行用モータ１９によって回転駆動され、案内輪２１が走行レール２の側面に当接して案内される。これにより、走行体１６が、走行レール２に案内されて走行経路に沿って走行する。
【0020】
昇降装置２４は、巻取りベルト２４ａを巻回する巻回体２８と、巻回体２８を回転駆動する昇降用モータ２９と、を備えている。巻取りベルト２４ａの先端部には、保持装置２３が連結されている。そして、昇降装置２４は、昇降用モータ２９にて巻回体２８を正転方向に回転駆動させて巻取りベルト２４ａを繰り出し、巻回体２８を逆転方向に回転駆動させて巻取りベルト２４ａを巻き取ることで、保持装置２３を走行体１６に対して昇降させる。
【0021】
〔保持装置〕
次に、物品搬送車１の保持装置２３について説明する。
図３～図５に示すように、物品搬送車１の保持装置２３は、昇降装置２４に連結された連結部３１と、物品６に接触して物品６を支持する物品支持部５１と、を備えている。本実施形態では、連結部３１は、巻取りベルト２４ａの先端部に連結されている。そのため、連結部３１は、昇降装置２４によって昇降される。連結部３１は、後述する弾性支持機構３６及び案内機構３７を支持する支持体３１ａと、支持体３１ａに取り付けられて、弾性支持機構３６及び案内機構３７を覆う箱状の筐体３１ｂと、を備えている。また、本実施形態では、保持装置２３は、物品支持部５１を構成する一対の把持部５０を互いに接近及び離間させる方向に駆動する把持駆動機構３０を備えている。この把持駆動機構３０も、支持体３１ａに支持され、筐体３１ｂの内部に収容されている。
次に、物品搬送車１の保持装置２３について説明する。
図３～図５に示すように、物品搬送車１の保持装置２３は、昇降装置２４に連結された連結部３１と、物品６に接触して物品６を支持する物品支持部５１と、を備えている。本実施形態では、連結部３１は、巻取りベルト２４ａの先端部に連結されている。そのため、連結部３１は、昇降装置２４によって昇降される。連結部３１は、後述する弾性支持機構３６及び案内機構３７を支持する支持体３１ａと、支持体３１ａに取り付けられて、弾性支持機構３６及び案内機構３７を覆う箱状の筐体３１ｂと、を備えている。また、本実施形態では、保持装置２３は、物品支持部５１を構成する一対の把持部５０を互いに接近及び離間させる方向に駆動する把持駆動機構３０を備えている。この把持駆動機構３０も、支持体３１ａに支持され、筐体３１ｂの内部に収容されている。
【0022】
まず、把持駆動機構３０について説明する。把持駆動機構３０は、把持案内機構３８と、把持駆動源３３と、把持伝達機構３９と、を備えている。把持駆動源３３は、本実施形態では、電動モータにより構成される把持駆動モータである。
【0023】
把持案内機構３８は、一対の把持部５０の相互の接近・離間方向の移動を案内する機構である。本実施形態では、一対の把持部５０の接近・離間方向は、走行方向Ｘに平行な方向である。そして、本例では、把持案内機構３８は、一対の把持部５０のそれぞれに対応して設けられ、一対の把持部５０のそれぞれの接近・離間方向の移動に連動する連動部材
４２と、一対の連動部材４２の接近・離間方向の移動を案内する案内レール４０とを備えている。ここでは、図４に示すように、複数の案内レール４０が走行方向Ｘに沿うように支持体３１ａに支持されている。本実施形態では、１つの連動部材４２について一対の案内レール４０が幅方向Ｙに離間して配置されている。従って、本実施形態では、把持案内機構３８は、一対の連動部材４２に対応して４つの案内レール４０を備えている。図３及び図４に示すように、連動部材４２のそれぞれにおける、各案内レール４０によって案内される部分には、当該案内レール４０に沿って走行方向Ｘに案内される被案内部材４１が取り付けられている。被案内部材４１は、案内レール４０に沿って移動自在な状態で当該案内レール４０に係合している。
４２と、一対の連動部材４２の接近・離間方向の移動を案内する案内レール４０とを備えている。ここでは、図４に示すように、複数の案内レール４０が走行方向Ｘに沿うように支持体３１ａに支持されている。本実施形態では、１つの連動部材４２について一対の案内レール４０が幅方向Ｙに離間して配置されている。従って、本実施形態では、把持案内機構３８は、一対の連動部材４２に対応して４つの案内レール４０を備えている。図３及び図４に示すように、連動部材４２のそれぞれにおける、各案内レール４０によって案内される部分には、当該案内レール４０に沿って走行方向Ｘに案内される被案内部材４１が取り付けられている。被案内部材４１は、案内レール４０に沿って移動自在な状態で当該案内レール４０に係合している。
【0024】
上記のとおり、連動部材４２は、一対の把持部５０のそれぞれに対応して設けられている。そして、各連動部材４２は、把持伝達機構３９と案内機構３７とを接続するように構成されている。そして、連動部材４２と把持部５０とは、案内機構３７を介して接続されている。本実施形態では、後述するように、一対の把持部５０のそれぞれに対応する案内機構３７が、それぞれ一対の直動案内機構３７ａを備えている。従って、連動部材４２は、把持伝達機構３９と一対の直動案内機構３７ａとを接続している。
【0025】
具体的には、連動部材４２は、同じ把持部５０を支える一対の直動案内機構３７ａのそれぞれに固定された一対の連動固定部４２ａと、一対の連動固定部４２ａを互いに連結する連動本体部４２ｂと、当該連動本体部４２ｂに設けられて、把持伝達機構３９に接続された連動接続部４２ｃと、を備えている。本例では、連動本体部４２ｂは、幅方向Ｙに長い長尺板状に形成されている。そして、連動本体部４２ｂは、幅方向Ｙに離間して配置された２つの被案内部材４１に固定されている。また、連動本体部４２ｂは、幅方向Ｙに離間して配置された一対の連動固定部４２ａに連結されている。本例では、一対の連動固定部４２ａのそれぞれは、上下方向Ｚ視で被案内部材４１と重複するように配置されている。このように、連動本体部４２ｂは、一対の被案内部材４１同士を連結すると共に、一対の連動固定部４２ａ同士を連結している。一対の連動固定部４２ａは、連動本体部４２ｂよりも上下方向Ｚの寸法が大きく形成されている。そして、一対の連動固定部４２ａのそれぞれにおける上下方向Ｚに直交する方向を向く面に、直動案内機構３７ａが取り付けられている。連動接続部４２ｃは、後述する把持伝達機構３９に接続される部分である。本実施形態では、把持伝達機構３９を構成するナット部３５が連動接続部４２ｃに取り付けられている。ここでは、連動接続部４２ｃは、連動本体部４２ｂの幅方向Ｙにおける中央部分に設けられている。また、図示の例では、連動接続部４２ｃは、ナット部３５を内部に保持するブロック状に形成されている。本実施形態では、一対の連動部材４２のそれぞれが備える連動接続部４２ｃが、走行方向Ｘに互いに離間して配置されている。
【0026】
把持伝達機構３９は、把持駆動源３３の動力を一対の把持部５０のそれぞれに伝達し、一対の把持部５０を互いに接近及び離間させる方向に移動させる機構である。本実施形態では、把持伝達機構３９は、ボールねじ３４と、ボールねじ３４に螺合するナット部３５と、を備えている。
【0027】
ボールねじ３４は、把持駆動源３３としての把持駆動モータに接続されている。そして、ボールねじ３４は、当該把持駆動源３３により、軸心回りに回転するように駆動される。本実施形態では、図４に示すように、ボールねじ３４は、軸心が走行方向Ｘに沿うように配置されている。また、本例では、ボールねじ３４は、支持体３１ａにおける幅方向Ｙの中央部分に配置されている。ボールねじ３４の外周面には、雄ねじが形成されている。本例では、ボールねじ３４の軸心に沿う方向（走行方向Ｘ）の中央部に対して一方側と他方側とで、螺旋の向きが逆方向となるように雄ねじが形成されている。また、ボールねじ３４の軸心に沿う方向（走行方向Ｘ）の一方側の端部が、把持駆動源３３に接続されている。具体的には、ボールねじ３４の軸方向の一端部が、把持駆動モータの出力軸に連結さ
れている。
れている。
【0028】
ナット部３５は、ボールねじ３４の外周面に形成された雄ねじに螺合するように、内周面に雌ねじが形成された筒状部材である。従って、ナット部３５の軸心方向も、ボールねじ３４と同様に走行方向Ｘに沿うように配置されている。本実施形態では、上記のとおり、ナット部３５は、連動部材４２の連動接続部４２ｃに取り付けられている。すなわち、走行方向Ｘに互いに離間して配置された一対の連動接続部４２ｃのそれぞれに、ナット部３５が取り付けられている。そして、一方のナット部３５と他方のナット部３５とが、ボールねじ３４における、雄ねじの向きが互いに異なる部分に螺合している。従って、ボールねじ３４が第１の方向に回転した場合に一対のナット部３５が互いに接近し、ボールねじ３４が第１の方向のとは反対の第２の方向に回転した場合に一対のナット部３５が互いに離間する。このような一対のナット部３５の接近及び離間する動きに連動して、一対の連動部材４２及び一対の把持部５０が互いに接近及び離間する。
【0029】
物品支持部５１は、図４に示すように一対の把持部５０を備えており、一対の把持部５０は走行方向Ｘに互いに離間して配置されている。そして、物品支持部５１は、一対の把持部５０により物品６のフランジ部９を把持するように構成されている。本実施形態では、一対の把持部５０のそれぞれは、後述する弾性支持機構３６及び案内機構３７を介して連動部材４２に支持されている。図３に示すように、一対の把持部５０のそれぞれは、フランジ部９に接する部分となる把持爪部５０ａと、弾性支持機構３６及び案内機構３７により支持される被支持部５０ｂと、把持爪部５０ａと被支持部５０ｂとを連結する把持連結部５０ｃと、を備えている。本例では、図６に示すように、把持爪部５０ａは、幅方向Ｙに延在する長尺板状に形成されている。また、図４及び図５に示すように、被支持部５０ｂは、幅方向Ｙに延在するように形成されている。そして、把持連結部５０ｃは、把持爪部５０ａ及び被支持部５０ｂにおける幅方向Ｙの両端部のそれぞれに設けられ、把持爪部５０ａと被支持部５０ｂとを連結している。このように、本例では、把持部５０は、一対の把持連結部５０ｃを備えている。なお、一対の把持部５０は、向きが対称に配置されている以外、互いに同じ構成となっている。
【0030】
把持爪部５０ａは、連結部３１よりも下方に配置されている。被支持部５０ｂは、連結部３１の内部に収容されている。把持連結部５０ｃは、把持爪部５０ａと被支持部５０ｂとを接続するように、連結部３１の内部から連結部３１よりも下方へ向けて突出するように配置されている。本例では、図３及び図４に示すように、把持連結部５０ｃは、連結部３１の支持体３１ａに形成された貫通孔４３を通って上下方向Ｚに延在している。上記のとおり、一対の把持部５０のそれぞれは、一対の把持連結部５０ｃを備えている。従って、支持体３１ａには、走行方向Ｘ及び幅方向Ｙに離間して４つの貫通孔４３が形成されており、各貫通孔４３に１つの把持連結部５０ｃが挿通されている。
【0031】
図３及び図６に示すように、一対の把持部５０の把持爪部５０ａが、フランジ部９の下方に形成された挿入用空間１２に配置された状態で、フランジ部９を把持する。より具体的には、一対の把持爪部５０ａがフランジ部９に対して下方から当接することで、フランジ部９を下方から支持する。ここで、上記のとおり、一対の把持部５０のそれぞれは、後述する弾性支持機構３６及び案内機構３７を介して連動部材４２に支持されている。そして、一対の連動部材４２が、把持駆動機構３０により走行方向Ｘに接近及び離間する方向に駆動されることにより、一対の把持部５０も、接近及び離間する方向に駆動される。これにより、一対の把持部５０の間隔が、把持用間隔と解除用間隔とに変化する。把持用間隔は、一対の把持部５０が互いに接近した状態の間隔である。この把持用間隔となった状態では、一対の把持爪部５０ａの走行方向Ｘの間隔は、フランジ部９の走行方向Ｘの幅よりも狭くなる。解除用間隔は、一対の把持部５０が互いに離間した状態の間隔である。この解除用間隔となった状態では、一対の把持爪部５０ａの走行方向Ｘの間隔は、フランジ
部９の走行方向Ｘの幅よりも広くなる。
部９の走行方向Ｘの幅よりも広くなる。
【0032】
従って、一対の把持部５０を解除用間隔から把持用間隔に変化させることで、フランジ部９を把持して、保持装置２３により物品６を保持することができる。また、一対の把持部５０を把持用間隔から解除用間隔に変化させることで、フランジ部９の把持を解除して、保持装置２３による物品６の保持を解除することができる。
【0033】
図３～図５に示すように、保持装置２３は、物品支持部５１と連結部３１との間に設けられて物品支持部５１を連結部３１に対して上下方向Ｚに弾性を有する状態で支持する弾性支持機構３６を備えている。上記のとおり、本実施形態では、物品支持部５１は、一対の把持部５０を備えている。そこで、弾性支持機構３６は、一対の把持部５０のそれぞれを連結部３１に対して弾性的に支持するように構成されている。また上記のとおり、一対の把持部５０は、把持案内機構３８により相互の接近・離間方向（ここでは走行方向Ｘ）の移動が案内されるように構成されている。そのため、一対の把持部５０のそれぞれは、弾性支持機構３６及び案内機構３７を介して、把持案内機構３８を構成する連動部材４２に支持されている。従って、本実施形態では、弾性支持機構３６は、把持部５０を連動部材４２に対して上下方向Ｚに弾性を有する状態で支持するように構成されている。より具体的には、弾性支持機構３６は、連動本体部４２ｂと把持部５０の被支持部５０ｂとの上下方向Ｚの間に設けられている。図示の例では、連動本体部４２ｂよりも上方に被支持部５０ｂが配置されている。従って、弾性支持機構３６は、被支持部５０ｂを下方から弾性的に支持している。本例では、弾性支持機構３６は上下方向Ｚに弾性を有する弾性体３６ａを備えている。弾性体３６ａは、図示の例では圧縮コイルばねである。弾性体３６ａの下端部は、連動本体部４２ｂに保持され、弾性体３６ａの上端部は、被支持部５０ｂに保持されている。すなわち、連動本体部４２ｂ及び被支持部５０ｂは、それぞれ弾性体３６ａを保持する保持部を備えている。そして、弾性体３６ａは、圧縮状態で連動本体部４２ｂと被支持部５０ｂとの間に挟まれて配置されている。
【0034】
本実施形態では、弾性支持機構３６は、一対の把持部５０のそれぞれについて、幅方向Ｙに離間して配置された一対の弾性体３６ａを備えている。図４に示すように、１つの把持部５０に対応する一対の弾性体３６ａは、幅方向Ｙに離間して配置されている。また、本実施形態では、一対の把持部５０のそれぞれにおいて、一対の弾性体３６ａは、一対の案内レール４０よりも幅方向Ｙの内側に配置されている。
【0035】
更に、本実施形態では、弾性支持機構３６は、一対の把持部５０が互いに独立して上下動するように一対の把持部５０を支持している。上記のとおり、弾性支持機構３６は、一対の把持部５０のそれぞれに対応して設けられ、一対の把持部５０のそれぞれを連結部３１に対して弾性的に支持するように構成されている。従って、一対の把持部５０の一方は、一対の弾性支持機構３６の一方によって連結部３１に対して上下方向Ｚに弾性を有する状態で支持され、一対の把持部５０の他方は、一対の弾性支持機構３６の他方によって連結部３１に対して上下方向Ｚに弾性を有する状態で支持されている。これにより、一対の把持部５０は、互いに独立して上下動するように弾性支持機構３６によって支持されている。
【0036】
図３及び図４に示すように、保持装置２３は、連結部３１に対する物品支持部５１の上下方向Ｚの移動を案内する案内機構３７を備えている。案内機構３７は、連結部３１に対する物品支持部５１の上下方向Ｚの平行移動を許容すると共に、連結部３１に対する物品支持部５１の揺動を規制するように構成されている。上記の通り、本実施形態では、物品支持部５１は一対の把持部５０を備えている。そこで、案内機構３７は、一対の把持部５０のそれぞれの連結部３１に対する上下方向Ｚの平行移動を許容するように構成されている。また、案内機構３７は、連結部３１に対する一対の把持部５０のそれぞれの幅方向Ｙ
及び走行方向Ｘの揺動を規制するように構成されている。そのため、本実施形態では、案内機構３７は、一対の把持部５０のそれぞれが、対応する連動部材４２に対して上下方向Ｚに平行移動可能な状態で、把持部５０と連動部材４２とを接続している。
及び走行方向Ｘの揺動を規制するように構成されている。そのため、本実施形態では、案内機構３７は、一対の把持部５０のそれぞれが、対応する連動部材４２に対して上下方向Ｚに平行移動可能な状態で、把持部５０と連動部材４２とを接続している。
【0037】
ここで「平行移動」とは、物品支持部５１が物品６を支持しておらず、保持装置２３が水平面に対して理想的な位置関係となる姿勢を基準姿勢とし、基準姿勢において上下方向Ｚに平行となる連結部３１の基準となる仮想軸を第１基準軸とし、基準姿勢において上下方向Ｚに平行となる物品支持部５１の基準となる仮想軸を第２基準軸とした場合に、第１基準軸と第２基準軸とが平行な状態のままで、物品支持部５１（本実施形態では、一対の把持部５０のそれぞれ）が連結部３１に対して相対移動することをいう。また、「揺動」とは第１基準軸に対して第２基準軸が傾くように、物品支持部５１（本実施形態では、一対の把持部５０のそれぞれ）が連結部３１に対して相対移動することをいう。案内機構３７が、連結部３１に対する物品支持部５１の揺動を規制するように構成されているため、物品支持部５１が連結部３１に対して傾くことが規制される。
【0038】
本実施形態では、図３及び図４に示すように、案内機構３７は、一対の把持部５０のそれぞれについての連結部３１に対する上下方向Ｚの移動を案内するように構成されている。ここで、案内機構３７は、一対の把持部５０が互いに独立して上下動するように一対の把持部５０を案内する構成となっている。このような案内のため、案内機構３７は、直動案内機構３７ａを備えている。本実施形態では、案内機構３７は、水平面に沿う方向に互いに離間して複数個所に配置された直動案内機構３７ａを備えている。具体的には、図３～図５に示すように、案内機構３７は、全体として４つの直動案内機構３７ａを備えている。直動案内機構３７ａのそれぞれは、連結部３１に固定された案内体３７ｂと、物品支持部５１に固定されて案内体３７ｂに沿って移動する移動体３７ｃと、を備えている。また、案内体３７ｂは、上下方向Ｚに沿って移動体３７ｃが移動するように配置されている。すなわち、案内体３７ｂは、上下方向Ｚに沿って配置されている。ここで、案内体３７ｂは、移動体３７ｃが直線的に移動するように案内する部材であり、本例では、レール状に形成されている。移動体３７ｃは、案内体３７ｂに沿って直線的に移動するように、案内体３７ｂに係合している。なお、本例では、直動案内機構３７ａはリニアガイドである。
【0039】
本実施形態では、案内体３７ｂは、連動部材４２に固定されている。また、移動体３７ｃは、把持部５０に固定されている。上記のように、移動体３７ｃが案内体３７ｂに沿って上下方向Ｚに移動するように案内されることにより、把持部５０は、連動部材４２に対して上下方向Ｚに移動するように案内される。つまり、把持部５０の連動部材４２に対する上下方向Ｚの平行移動が許容される。一方、案内体３７ｂに案内される移動体３７ｃが、上下方向Ｚ以外には移動できないことにより、把持部５０の連動部材４２に対する幅方向Ｙ及び走行方向Ｘへの揺動は規制される。
【0040】
また、本実施形態では、案内機構３７は、一対の把持部５０のそれぞれについて、幅方向Ｙに離間して配置された一対の直動案内機構３７ａを備えている。図４に示すように、１つの把持部５０に対応する一対の直動案内機構３７ａは、幅方向Ｙに離間して配置されている。本例では、一対の直動案内機構３７ａは、連動本体部４２ｂの幅方向Ｙの両端部に設けられた一対の連動固定部４２ａのそれぞれに取り付けられている。より具体的には、一対の直動案内機構３７ａのそれぞれの案内体３７ｂが、連動固定部４２ａに固定されている。このように、一対の直動案内機構３７ａは連動部材４２によって連結されている。また、一対の直動案内機構３７ａは、上下方向Ｚ視で、連動本体部４２ｂ及び被案内部材４１と重複する位置に配置されている。更に、本実施形態では、一対の直動案内機構３７ａは、把持部５０における被支持部５０ｂに取り付けられている。より具体的には、一対の直動案内機構３７ａのそれぞれの移動体３７ｃが、被支持部５０ｂに固定されている
。これにより、把持部５０は、一対の直動案内機構３７ａにより、連動部材４２に対して上下方向Ｚに沿って平行移動するように案内される。
。これにより、把持部５０は、一対の直動案内機構３７ａにより、連動部材４２に対して上下方向Ｚに沿って平行移動するように案内される。
【0041】
ところで、一対の把持部５０は互いに独立している。すなわち、一対の把持部５０のそれぞれは、図３～図５に示すように、互いに別の弾性支持機構３６により支持され、互いに別の案内機構３７により案内される。これにより、一対の把持部５０は、連結部３１に対して互いに独立して上下方向Ｚに移動することが許容される。そのため、例えば図５に示すように、一対の把持部５０の上下方向Ｚの位置が互いに異なるものとなり得る。
【0042】
このように、一対の把持部５０が走行方向Ｘに互いに離間して配置され、それぞれ独立して上下動するようになっているため、上記のような案内機構３７を備えているにも関わらず、物品６の走行方向Ｘの揺動が許容される。一般的に、物品搬送車１によって搬送中の物品６には、物品搬送車１の加減速等によって走行方向Ｘの荷重が作用することが多い。しかし、本実施形態の構成によれば、一対の把持部５０が互いに独立して上下動するため、物品６が走行方向Ｘに揺動する方向の振動を弾性支持機構３６によって緩和する効果が案内機構３７によって妨げられることがない。一方、本実施形態の構成においても、案内機構３７が、一対の把持部５０のそれぞれについて、連結部３１に対する上下方向Ｚの移動を案内するように構成され、連結部３１に対する一対の把持部５０のそれぞれの揺動、特に幅方向Ｙの揺動を規制するように構成されている。そのため、例えば物品６の重心に幅方向Ｙの偏りあること等によって一対の把持部５０に対して幅方向Ｙに偏った荷重が作用した場合であっても、一対の把持部５０が連結部３１に対して幅方向Ｙに傾くことを規制できる。従って、一対の把持部５０に支持された物品６が連結部３１に対して幅方向Ｙに傾くことを規制することができる。本実施形態では、物品６が複数の半導体基板を収容するＦＯＵＰであり、蓋体５（図６参照）が物品６における幅方向Ｙの一方側に配置された状態で、物品搬送車１により搬送される。ＦＯＵＰは、蓋体５の単位体積当たりの重量がその他の部分に比べて大きく、内部に収容される半導体基板の枚数等によって、物品６の全体における幅方向Ｙの重心位置が変動する。しかし、本実施形態に係る構成によれば、このような重心の変動によって、物品６が幅方向Ｙに傾くことを規制することができる。
【0043】
また、本実施形態では、図４に示すように、一対の把持部５０のそれぞれにおいて、一対の直動案内機構３７ａが一対の弾性体３６ａよりも幅方向Ｙの外側に配置されている。ここで、物品６の幅方向Ｙの揺動により把持部５０に作用する荷重は、てこの原理により、幅方向Ｙの内側の方が幅方向Ｙの外側よりも大きくなるのが一般的である。従って、一対の直動案内機構３７ａを一対の弾性体３６ａより幅方向Ｙの内側に配置するよりも、一対の直動案内機構３７ａを一対の弾性体３６ａよりも幅方向Ｙの外側に配置した方が、直動案内機構３７ａに作用する荷重を小さくすることができる。なお、この場合、一対の弾性体３６ａには比較的大きい荷重が作用することになるが、一般的に、弾性体３６ａは、直動案内機構３７ａよりも構造が単純で強度も高く確保し易いため、大きな問題は生じ難い。
【0044】
〔物品の移載動作〕
次に、保持装置２３に保持された状態の物品６を、昇降装置２４により下降させて直下の載置箇所４に載置する（移載する）場合の動作について説明する。
次に、保持装置２３に保持された状態の物品６を、昇降装置２４により下降させて直下の載置箇所４に載置する（移載する）場合の動作について説明する。
【0045】
ここで、物品６がカバー部２５に収容された状態における、走行体１６に対する保持装置２３の位置を走行用位置（図２参照）とする。昇降装置２４は、昇降用モータ２９の回転駆動により巻取りベルト２４ａを繰り出して、保持装置２３を走行用位置から移載用位置（図６参照）まで下降させる。保持装置２３を移載用位置まで下降させることにより、保持装置２３に保持された物品６が載置箇所４に載置される。このように、移載用位置は
、走行用位置よりも下方の位置であって、保持装置２３に保持された物品６が載置箇所４の載置面４ａに載置された状態での、走行体１６に対する保持装置２３の位置である。保持装置２３が移載用位置にあり、物品６が載置面４ａに載置された状態で、把持駆動機構３０により、一対の把持部５０の間隔を、物品６を把持する把持用間隔から物品６の把持を解除する解除用間隔に切り換える。このようにして、物品６は載置箇所４に移載される。上記のとおり、本例では、載置箇所４の載置面４ａに、位置決め用の係合凸部Ｐが複数設けられている。また、物品６の底面１１ａに、当該係合凸部Ｐと係合する係合凹部Ｂが設けられている。そして、物品６が適正姿勢である状態で保持装置２３が移載用位置まで下降した場合、物品６の係合凹部Ｂが載置箇所４の係合凸部Ｐに係合した状態となり、物品６が載置箇所４の載置面４ａに適正に載置される。以下では、保持装置２３が移載用位置まで下降した場合に、物品６の係合凹部Ｂが載置箇所４の係合凸部Ｐに適正に係合することができるような物品６の姿勢を適正姿勢とする。本実施形態では、載置箇所４の載置面４ａは水平面に沿うように配置されており、物品６の姿勢が適正姿勢である状態では、物品６の底面１１ａは水平面に沿う姿勢となる。
、走行用位置よりも下方の位置であって、保持装置２３に保持された物品６が載置箇所４の載置面４ａに載置された状態での、走行体１６に対する保持装置２３の位置である。保持装置２３が移載用位置にあり、物品６が載置面４ａに載置された状態で、把持駆動機構３０により、一対の把持部５０の間隔を、物品６を把持する把持用間隔から物品６の把持を解除する解除用間隔に切り換える。このようにして、物品６は載置箇所４に移載される。上記のとおり、本例では、載置箇所４の載置面４ａに、位置決め用の係合凸部Ｐが複数設けられている。また、物品６の底面１１ａに、当該係合凸部Ｐと係合する係合凹部Ｂが設けられている。そして、物品６が適正姿勢である状態で保持装置２３が移載用位置まで下降した場合、物品６の係合凹部Ｂが載置箇所４の係合凸部Ｐに係合した状態となり、物品６が載置箇所４の載置面４ａに適正に載置される。以下では、保持装置２３が移載用位置まで下降した場合に、物品６の係合凹部Ｂが載置箇所４の係合凸部Ｐに適正に係合することができるような物品６の姿勢を適正姿勢とする。本実施形態では、載置箇所４の載置面４ａは水平面に沿うように配置されており、物品６の姿勢が適正姿勢である状態では、物品６の底面１１ａは水平面に沿う姿勢となる。
【0046】
比較例として、保持装置２３が直動案内機構３７ａを備えていない場合の移載動作について説明する。この場合、一対の把持部５０は連結部３１に対する揺動が規制されない。そのため、物品６の重心が幅方向Ｙに偏っている場合、一対の把持部５０に対して偏った荷重が作用し、一対の把持部５０及びこれに把持された物品６が連結部３１に対して幅方向Ｙに傾く。例えば、本実施形態のように、物品６が複数の半導体基板を収容するＦＯＵＰであり、蓋体５（図７参照）が物品６における幅方向Ｙの一方側に配置されている場合、蓋体５の単位体積当たりの重量がその他の部分に比べて大きいために、内部に収容される半導体基板の枚数によって、物品６の全体における幅方向Ｙの重心位置が変動する。具体的には、半導体基板の枚数が少なくなるに従って、物品６の重心が幅方向Ｙにおける蓋体５の側に偏ることになる。本比較例のように、保持装置２３が直動案内機構３７ａを備えていない場合、一対の把持部５０は弾性支持機構３６によって弾性的に支持されている。そのため、物品６の重心に偏りがあると、重心が偏っている側に物品６と共に一対の把持部５０が傾斜することを規制できず、物品６が適正姿勢に対して幅方向Ｙに傾くことになる。このように物品６が適正姿勢に対して傾いた状態で保持装置２３が移載用位置まで下降した場合、例えば図７に示すように、物品６の底面１１ａが載置面４ａに対して傾いた姿勢となる。そのため、物品６の係合凹部Ｂが載置箇所４の係合凸部Ｐに適正に係合することができない場合が生じる。このような場合、物品６を載置箇所４に適切に載置できず、移載不良となる事態が生じ得る。
【0047】
これに対し、本実施形態のように、保持装置２３が直動案内機構３７ａを備えている場合、物品支持部５１としての一対の把持部５０は、連結部３１に対し上下方向Ｚの平行移動が許容されていると共に、連結部３１に対する揺動が規制されている。そのため、一対の把持部５０のそれぞれは、上下方向Ｚに平行移動することのみが許容される状態で弾性支持機構３６によって弾性的に支持されている。また上記のとおり、一対の把持部５０のそれぞれは、幅方向Ｙに延在するように形成されており、物品６のフランジ部９を幅方向Ｙに沿う姿勢で支持している。そのため、物品６が一対の把持部５０に対して幅方向Ｙに揺動することが規制されている。これにより、上記のように物品６の重心が幅方向Ｙに偏っていることによって、一対の把持部５０に対して偏った荷重が作用した場合であっても、連結部３１に対する一対の把持部５０のそれぞれの姿勢は維持され、物品６が連結部３１に対して傾くことが規制される。従って、昇降装置２４によって保持装置２３を移載用位置まで下降させて物品６を載置箇所４に載置する場合に、物品６の姿勢が適正姿勢に対して傾くことを規制できる。このように物品６を適正姿勢に維持した状態で保持装置２３を移載用位置まで下降させることにより、図６に示すように、物品６の底面１１ａに設けられた係合凹部Ｂを載置箇所４の載置面４ａに設けられた係合凸部Ｐに適正に係合させることができる。すなわち、物品６の重心の幅方向Ｙの偏りに関わらず、物品６を載置箇所
４に適切に載置することができる。
４に適切に載置することができる。
【0048】
２．その他の実施形態
次に、物品搬送車のその他の実施形態について説明する。
次に、物品搬送車のその他の実施形態について説明する。
【0049】
（１）上記の実施形態では、物品支持部５１と連結部３１との間に設けられた弾性支持機構３６を構成する弾性体３６ａを圧縮コイルばねとした構成を例として説明した。しかし、弾性体３６ａの構成は、これには限定されない。弾性支持機構３６における弾性体３６ａの配置を変更することにより、引っ張りコイルばね等の他の形式のばねを用いても良い。また、例えば、弾性を有する合成ゴムや合成樹脂等を用いても良い。
【0050】
（２）上記の実施形態では、物品支持部５１が一対の把持部５０を備えており、一対の把持部５０が走行方向Ｘに互いに離間して配置される構成を例として説明した。しかし、物品支持部５１の構成はこれには限定されない。例えば、一対の把持部５０が幅方向Ｙに互いに離間して配置されていても良い。このような構成は、物品６の重心位置に走行方向Ｘの偏りがある場合、及び、搬送中の物品６に幅方向Ｙの荷重が作用する場合に適している。また、例えば、物品支持部５１が、一対の把持部５０の代わりに、フランジ部９の挿入用空間１２に挿入されるフォークを備えていても良い。或いは、物品支持部５１が、一対の把持部５０の代わりに、物品６を載置面に載置して支持するための載置部を備えていても良い。これらの構成の場合、一体的に構成された物品支持部５１の全体が、弾性支持機構３６によって弾性支持されると共に、案内機構３７によって連結部３１に対する上下方向Ｚの平行移動を許容すると共に連結部３１に対する揺動（走行方向Ｘ及び幅方向Ｙの双方の揺動）を規制するように案内される。
【0051】
（３）上記の実施形態では、一対の直動案内機構３７ａが一対の弾性体３６ａよりも幅方向Ｙの外側に配置されている構成を例として説明した。しかし、このような構成に限定されることなく、例えば、一対の直動案内機構３７ａが一対の弾性体３６ａよりも幅方向Ｙの内側に配置されていても良い。
【0052】
（４）上記の実施形態では、一対の案内体３７ｂが連動固定部４２ａに固定され、一対の移動体３７ｃが被支持部５０ｂに固定される構成を例として説明した。しかし、このような構成に限定されることなく、例えば、一対の案内体３７ｂが被支持部５０ｂに固定され、一対の移動体３７ｃが連動固定部４２ａに固定されていても良い。
【0053】
（５）上記の実施形態では、案内機構３７を構成する直動案内機構３７ａの一例として、リニアガイドを用いる例について説明した。しかし、直動案内機構３７ａの構成はこれには限定されない。例えば、ボールスプライン、リニアブッシュ等、公知の各種の直動案内機構を用いることができる。
【0054】
（６）上記の実施形態では、図４に示すように、案内機構３７が、一対の把持部５０のそれぞれについて２つ、合計４つの直動案内機構３７ａを備える構成を例として説明した。しかし、案内機構３７の構成はこれには限定されない。例えば、１つの把持部５０に対し３つ以上の直動案内機構３７ａを備えていても良い。また、１つの把持部５０に対し、１つの直動案内機構３７ａのみを備えても良い。また、物品支持部５１が一体的に構成されている場合には、当該一体的な物品支持部５１に対して、１つ或いは複数の直動案内機構３７ａが設けられていても良い。
【0055】
（７）上記の実施形態では、物品６がフランジ部９と係合凹部Ｂとを備え、載置箇所４に係合凹部Ｂと係合する係合凸部Ｐが設けられた構成を例として説明した。しかし、このような構成に限定されることなく、例えば、物品６が係合凹部Ｂを備えず、載置箇所４に係
合凸部Ｐが設けられていない構成であっても良い。そのような構成であっても、上記実施形態の構成により、物品６が載置箇所４の載置面４ａに対して傾いた姿勢で載置されることを規制することで、物品６を載置箇所４に適切に載置することができる。
合凸部Ｐが設けられていない構成であっても良い。そのような構成であっても、上記実施形態の構成により、物品６が載置箇所４の載置面４ａに対して傾いた姿勢で載置されることを規制することで、物品６を載置箇所４に適切に載置することができる。
【0056】
（８）なお、上述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。
【0057】
３．上記実施形態の概要
以下、上記において説明した物品搬送車の概要について説明する。
以下、上記において説明した物品搬送車の概要について説明する。
【0058】
物品搬送車は、走行経路に沿って走行する走行体と、物品を保持する保持装置と、前記走行体に搭載され前記保持装置を前記走行体に対して昇降させる昇降装置と、を備え、前記保持装置が、前記昇降装置に連結された連結部と、前記物品に接触して前記物品を支持する物品支持部と、を備えた物品搬送車であって、前記保持装置が、前記物品支持部と前記連結部との間に設けられて前記物品支持部を前記連結部に対して上下方向に弾性を有する状態で支持する弾性支持機構と、前記連結部に対する前記物品支持部の前記上下方向の移動を案内する案内機構と、を備え、前記案内機構が、前記連結部に対する前記物品支持部の前記上下方向の平行移動を許容すると共に、前記連結部に対する前記物品支持部の揺動を規制するように構成されている。
【0059】
本構成によれば、物品支持部と連結部との間に弾性支持機構が設けられているため、走行体が走行することによる走行体の振動や、昇降装置によって昇降することによる保持装置の振動等を弾性支持機構によって減衰させることができる。よって、物品に伝わる振動を少なく抑えることができる。
また、本構成によれば、案内機構が、連結部に対する物品支持部の揺動を規制するように構成されているため、物品支持部が連結部に対して傾くことを規制できる。そのため、例えば物品の重心に偏りがあること等によって物品支持部に対して偏った荷重が作用した場合であっても、物品支持部及び物品支持部に支持された物品が連結部に対して傾くことを規制することができる。従って、昇降装置によって保持装置を下降させて物品を載置箇所に載置する場合に、物品の姿勢が適正姿勢に対して傾くことで物品を適切に載置できない事態が生じることを回避することができる。一方、案内機構は、連結部に対する物品支持部の上下方向の平行移動を許容する。そのため、物品支持部及び物品支持部に支持された物品に作用する上下方向の振動を弾性支持機構によって緩和する効果が案内機構によって妨げられることはない。
このように本構成によれば、物品に伝わる振動を少なく抑えることができるようにしつつ、物品が適正な姿勢に対して傾くことを抑制して物品を載置箇所に適切に載置することができる。
また、本構成によれば、案内機構が、連結部に対する物品支持部の揺動を規制するように構成されているため、物品支持部が連結部に対して傾くことを規制できる。そのため、例えば物品の重心に偏りがあること等によって物品支持部に対して偏った荷重が作用した場合であっても、物品支持部及び物品支持部に支持された物品が連結部に対して傾くことを規制することができる。従って、昇降装置によって保持装置を下降させて物品を載置箇所に載置する場合に、物品の姿勢が適正姿勢に対して傾くことで物品を適切に載置できない事態が生じることを回避することができる。一方、案内機構は、連結部に対する物品支持部の上下方向の平行移動を許容する。そのため、物品支持部及び物品支持部に支持された物品に作用する上下方向の振動を弾性支持機構によって緩和する効果が案内機構によって妨げられることはない。
このように本構成によれば、物品に伝わる振動を少なく抑えることができるようにしつつ、物品が適正な姿勢に対して傾くことを抑制して物品を載置箇所に適切に載置することができる。
【0060】
ここで、前記物品支持部は、一対の把持部を備え、一対の前記把持部は、前記走行経路に沿う方向である走行方向に互いに離間して配置され、前記弾性支持機構は、一対の前記把持部が互いに独立して上下動するように一対の前記把持部を支持しており、前記案内機構は、一対の前記把持部のそれぞれについての前記連結部に対する前記上下方向の移動を案内するように構成されていると好適である。
【0061】
一般的に、物品搬送車によって搬送中の物品には、物品搬送車の加減速によって走行方向の荷重が作用することが多い。本構成によれば、一対の把持部が走行方向に互いに離間して配置され、それぞれ独立して上下動するように弾性支持機構に支持されているため、上記のような案内機構を備えた構成においても、物品の走行方向の揺動が許容される。従
って、物品が走行方向に揺動する方向の振動を弾性支持機構によって緩和する効果が案内機構によって妨げられることはない。一方、本構成においても、上下方向視で前記走行方向に直交する方向を幅方向として、案内機構が、一対の把持部のそれぞれについて、連結部に対する上下方向の移動を案内するように構成され、連結部に対する一対の把持部のそれぞれの揺動を規制するように構成されている。そのため、例えば物品の重心に幅方向の偏りあること等によって物品支持部に対して幅方向に偏った荷重が作用した場合であっても、物品支持部が連結部に対して幅方向に傾くことを規制できる。従って、物品支持部に支持された物品が連結部に対して幅方向に傾くことを規制することができる。本構成は、物品の重心が幅方向に偏ることが多い場合に適している。
って、物品が走行方向に揺動する方向の振動を弾性支持機構によって緩和する効果が案内機構によって妨げられることはない。一方、本構成においても、上下方向視で前記走行方向に直交する方向を幅方向として、案内機構が、一対の把持部のそれぞれについて、連結部に対する上下方向の移動を案内するように構成され、連結部に対する一対の把持部のそれぞれの揺動を規制するように構成されている。そのため、例えば物品の重心に幅方向の偏りあること等によって物品支持部に対して幅方向に偏った荷重が作用した場合であっても、物品支持部が連結部に対して幅方向に傾くことを規制できる。従って、物品支持部に支持された物品が連結部に対して幅方向に傾くことを規制することができる。本構成は、物品の重心が幅方向に偏ることが多い場合に適している。
【0062】
また、前記上下方向に沿う上下方向視で前記走行方向に直交する方向を幅方向として、前記弾性支持機構は、一対の前記把持部のそれぞれについて、前記幅方向に離間して配置された一対の弾性体を備え、前記案内機構は、一対の前記把持部のそれぞれについて、前記幅方向に離間して配置された一対の直動案内機構を備え、一対の前記把持部のそれぞれにおいて、一対の前記直動案内機構が一対の前記弾性体よりも前記幅方向の外側に配置されていると好適である。
【0063】
本構成によれば、一対の直動案内機構が一対の弾性体より幅方向の内側に配置される場合よりも、直動案内機構に作用する荷重を小さくすることができる。従って、直動案内機構の大型化や高コスト化を回避し易くなる。
【0064】
また、前記案内機構は、水平面に沿う方向に互いに離間して複数個所に配置された直動案内機構を備え、前記直動案内機構のそれぞれは、前記連結部及び前記物品支持部の一方に固定された案内体と、前記連結部及び前記物品支持部の他方に固定されて前記案内体に沿って移動する移動体と、を備え、前記案内体は、前記上下方向に沿って前記移動体が移動するように配置されていると好適である。
【0065】
本構成によれば、直動案内機構が、水平面に沿う方向に互いに離間して複数個所に配置されているため、それぞれの直動案内機構に作用する荷重を比較的小さく抑え易い。また、複数個所に配置された直動案内機構により、物品支持部を安定的に支持し易い。
【0066】
また、前記物品は、上部に設けられたフランジ部と底部に設けられた係合凹部とを備えた容器であり、前記係合凹部は、前記昇降装置により下降されて載置箇所に載置される場合に、当該載置箇所に設けられた位置決め用の係合凸部に係合され、前記物品支持部は、一対の把持部により前記フランジ部を把持するように構成されていると好適である。
【0067】
本構成によれば、物品を載置箇所に載置する場合に、係合凹部が係合凸部に係合されるため、載置箇所の適切な位置に、容器を適切に載置することができる。また、物品支持部が、一対の把持部によりフランジ部を把持することで、物品を吊り下げた状態で適切に保持することができる。
【産業上の利用可能性】
【0068】
本開示に係る技術は、走行経路に沿って走行する物品搬送車に利用することができる。
【符号の説明】
【0069】
１ ：天井搬送車（物品搬送車）
６ ：物品
９ ：フランジ部
１１ ：底部
２３ ：保持装置
２４ ：昇降装置
３１ ：連結部
３２ ：物品支持部
５０ ：把持部
３６ ：弾性支持機構
３６ａ ：弾性体
３７ ：案内機構
３７ａ ：直動案内機構
Ｂ ：係合凹部
Ｐ ：係合凸部
Ｘ ：走行方向
Ｙ ：幅方向
Ｚ ：上下方向
６ ：物品
９ ：フランジ部
１１ ：底部
２３ ：保持装置
２４ ：昇降装置
３１ ：連結部
３２ ：物品支持部
５０ ：把持部
３６ ：弾性支持機構
３６ａ ：弾性体
３７ ：案内機構
３７ａ ：直動案内機構
Ｂ ：係合凹部
Ｐ ：係合凸部
Ｘ ：走行方向
Ｙ ：幅方向
Ｚ ：上下方向
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【手続補正書】
【提出日】2024-05-09
【手続補正1】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
走行経路に沿って走行する走行体と、物品を保持する保持装置と、前記走行体に搭載され前記保持装置を前記走行体に対して昇降させる昇降装置と、を備え、
前記保持装置が、前記昇降装置に連結された連結部と、前記物品に接触して前記物品を支持する物品支持部と、把持案内機構と、を備えた物品搬送車であって、
前記保持装置が、前記物品支持部と前記連結部との間に設けられて前記物品支持部を前記連結部に対して上下方向に弾性を有する状態で支持する弾性支持機構と、前記連結部に対する前記物品支持部の前記上下方向の移動を案内する案内機構と、を備え、
前記案内機構が、前記連結部に対する前記物品支持部の前記上下方向の平行移動を許容すると共に、前記連結部に対する前記物品支持部の揺動を規制するように構成され、
前記物品支持部は、一対の把持部を備え、
一対の前記把持部が並ぶ方向を並び方向として、
一対の前記把持部は、前記並び方向に互いに離間して配置され、互いに前記並び方向に沿って接近及び離間するように構成され、
前記案内機構は、一対の前記把持部に対応するように前記並び方向に互いに離間して配置された第１案内機構と第２案内機構とを備え、
前記把持案内機構は、前記連結部に支持されていると共に、前記並び方向に一対の前記把持部の移動を案内するように構成され、
一対の前記把持部のうちの一方を第１把持部とし、一対の前記把持部のうちの他方を第２把持部として、
前記弾性支持機構は、前記第１把持部に対応する第１弾性支持機構と、前記第２把持部に対応する第２弾性支持機構と、を備え、
前記第１把持部は、前記第１案内機構及び前記第１弾性支持機構を介して前記把持案内機構に支持され、
前記第２把持部は、前記第２案内機構及び前記第２弾性支持機構を介して前記把持案内機構に支持されている、物品搬送車。
前記保持装置が、前記昇降装置に連結された連結部と、前記物品に接触して前記物品を支持する物品支持部と、把持案内機構と、を備えた物品搬送車であって、
前記保持装置が、前記物品支持部と前記連結部との間に設けられて前記物品支持部を前記連結部に対して上下方向に弾性を有する状態で支持する弾性支持機構と、前記連結部に対する前記物品支持部の前記上下方向の移動を案内する案内機構と、を備え、
前記案内機構が、前記連結部に対する前記物品支持部の前記上下方向の平行移動を許容すると共に、前記連結部に対する前記物品支持部の揺動を規制するように構成され、
前記物品支持部は、一対の把持部を備え、
一対の前記把持部が並ぶ方向を並び方向として、
一対の前記把持部は、前記並び方向に互いに離間して配置され、互いに前記並び方向に沿って接近及び離間するように構成され、
前記案内機構は、一対の前記把持部に対応するように前記並び方向に互いに離間して配置された第１案内機構と第２案内機構とを備え、
前記把持案内機構は、前記連結部に支持されていると共に、前記並び方向に一対の前記把持部の移動を案内するように構成され、
一対の前記把持部のうちの一方を第１把持部とし、一対の前記把持部のうちの他方を第２把持部として、
前記弾性支持機構は、前記第１把持部に対応する第１弾性支持機構と、前記第２把持部に対応する第２弾性支持機構と、を備え、
前記第１把持部は、前記第１案内機構及び前記第１弾性支持機構を介して前記把持案内機構に支持され、
前記第２把持部は、前記第２案内機構及び前記第２弾性支持機構を介して前記把持案内機構に支持されている、物品搬送車。
【請求項2】
前記並び方向は、前記走行経路に沿う方向である走行方向と同じ方向であり、
前記弾性支持機構は、一対の前記把持部が互いに独立して上下動するように一対の前記把持部を支持しており、
前記案内機構は、一対の前記把持部のそれぞれについての前記連結部に対する前記上下方向の移動を案内するように構成されている、請求項１に記載の物品搬送車。
前記弾性支持機構は、一対の前記把持部が互いに独立して上下動するように一対の前記把持部を支持しており、
前記案内機構は、一対の前記把持部のそれぞれについての前記連結部に対する前記上下方向の移動を案内するように構成されている、請求項１に記載の物品搬送車。
【請求項3】
前記上下方向に沿う上下方向視で前記走行方向に直交する方向を幅方向として、
前記弾性支持機構は、一対の前記把持部のそれぞれについて、前記幅方向に離間して配置された一対の弾性体を備え、
前記案内機構は、一対の前記把持部のそれぞれについて、前記幅方向に離間して配置された一対の直動案内機構を備え、
一対の前記把持部のそれぞれにおいて、一対の前記直動案内機構が一対の前記弾性体よりも前記幅方向の外側に配置されている、請求項２に記載の物品搬送車。
前記弾性支持機構は、一対の前記把持部のそれぞれについて、前記幅方向に離間して配置された一対の弾性体を備え、
前記案内機構は、一対の前記把持部のそれぞれについて、前記幅方向に離間して配置された一対の直動案内機構を備え、
一対の前記把持部のそれぞれにおいて、一対の前記直動案内機構が一対の前記弾性体よりも前記幅方向の外側に配置されている、請求項２に記載の物品搬送車。
【請求項4】
前記案内機構は、水平面に沿う方向に互いに離間して複数個所に配置された直動案内機構を備え、
前記直動案内機構のそれぞれは、前記連結部及び前記物品支持部の一方に固定された案内体と、前記連結部及び前記物品支持部の他方に固定されて前記案内体に沿って移動する移動体と、を備え、
前記案内体は、前記上下方向に沿って前記移動体が移動するように配置されている、請求項１から３のいずれか一項に記載の物品搬送車。
前記直動案内機構のそれぞれは、前記連結部及び前記物品支持部の一方に固定された案内体と、前記連結部及び前記物品支持部の他方に固定されて前記案内体に沿って移動する移動体と、を備え、
前記案内体は、前記上下方向に沿って前記移動体が移動するように配置されている、請求項１から３のいずれか一項に記載の物品搬送車。
【請求項5】
前記物品は、上部に設けられたフランジ部と底部に設けられた係合凹部とを備えた容器であり、
前記係合凹部は、前記昇降装置により下降されて載置箇所に載置される場合に、当該載置箇所に設けられた位置決め用の係合凸部に係合され、
前記物品支持部は、一対の前記把持部により前記フランジ部を把持するように構成されている、請求項１から４のいずれか一項に記載の物品搬送車。
前記係合凹部は、前記昇降装置により下降されて載置箇所に載置される場合に、当該載置箇所に設けられた位置決め用の係合凸部に係合され、
前記物品支持部は、一対の前記把持部により前記フランジ部を把持するように構成されている、請求項１から４のいずれか一項に記載の物品搬送車。
【請求項6】
前記把持案内機構は、前記第１把持部、前記第１案内機構、及び前記第１弾性支持機構を前記並び方向に沿って一体的に移動させると共に、前記第２把持部、前記第２案内機構、及び前記第２弾性支持機構を前記並び方向に沿って一体的に移動させる、請求項１から５のいずれか一項に記載の物品搬送車。
【請求項7】
走行経路に沿って走行する走行体と、物品を保持する保持装置と、前記走行体に搭載され前記保持装置を前記走行体に対して昇降させる昇降装置と、を備え、
前記保持装置が、前記昇降装置に連結された連結部と、前記物品に接触して前記物品を支持する物品支持部と、把持案内機構と、を備えた物品搬送車であって、
前記保持装置が、前記物品支持部と前記連結部との間に設けられて前記物品支持部を前記連結部に対して上下方向に弾性を有する状態で支持する弾性支持機構と、前記連結部に対する前記物品支持部の前記上下方向の移動を案内する案内機構と、を備え、
前記案内機構が、前記連結部に対する前記物品支持部の前記上下方向の平行移動を許容すると共に、前記連結部に対する前記物品支持部の揺動を規制するように構成され、
前記物品支持部は、一対の把持部を備え、
一対の前記把持部が並ぶ方向を並び方向として、
一対の前記把持部は、前記並び方向に互いに離間して配置され、
前記案内機構は、一対の前記把持部のそれぞれについて前記連結部に対する前記上下方向の移動を案内するように構成され、
前記案内機構は、一対の前記把持部に対応するように前記並び方向に互いに離間して配置された第１案内機構と第２案内機構とを備え、
一対の前記把持部のうちの一方を第１把持部とし、一対の前記把持部のうちの他方を第２把持部として、
前記第１案内機構の前記並び方向における配置領域は、前記第１把持部における前記連結部よりも下側の部分の前記並び方向における配置領域と重複し、
前記第２案内機構の前記並び方向における配置領域は、前記第２把持部における前記連結部よりも下側の部分の前記並び方向における配置領域と重複している、物品搬送車。
前記保持装置が、前記昇降装置に連結された連結部と、前記物品に接触して前記物品を支持する物品支持部と、把持案内機構と、を備えた物品搬送車であって、
前記保持装置が、前記物品支持部と前記連結部との間に設けられて前記物品支持部を前記連結部に対して上下方向に弾性を有する状態で支持する弾性支持機構と、前記連結部に対する前記物品支持部の前記上下方向の移動を案内する案内機構と、を備え、
前記案内機構が、前記連結部に対する前記物品支持部の前記上下方向の平行移動を許容すると共に、前記連結部に対する前記物品支持部の揺動を規制するように構成され、
前記物品支持部は、一対の把持部を備え、
一対の前記把持部が並ぶ方向を並び方向として、
一対の前記把持部は、前記並び方向に互いに離間して配置され、
前記案内機構は、一対の前記把持部のそれぞれについて前記連結部に対する前記上下方向の移動を案内するように構成され、
前記案内機構は、一対の前記把持部に対応するように前記並び方向に互いに離間して配置された第１案内機構と第２案内機構とを備え、
一対の前記把持部のうちの一方を第１把持部とし、一対の前記把持部のうちの他方を第２把持部として、
前記第１案内機構の前記並び方向における配置領域は、前記第１把持部における前記連結部よりも下側の部分の前記並び方向における配置領域と重複し、
前記第２案内機構の前記並び方向における配置領域は、前記第２把持部における前記連結部よりも下側の部分の前記並び方向における配置領域と重複している、物品搬送車。
【請求項8】
前記弾性支持機構は、前記第１把持部に対応する第１弾性支持機構と、前記第２把持部に対応する第２弾性支持機構と、を備え、
前記第１案内機構の前記並び方向における配置領域は、更に、前記第１弾性支持機構の前記並び方向における配置領域と重複し、
前記第２案内機構の前記並び方向における配置領域は、更に、前記第２弾性支持機構の前記並び方向における配置領域と重複している、請求項７に記載の物品搬送車。
前記第１案内機構の前記並び方向における配置領域は、更に、前記第１弾性支持機構の前記並び方向における配置領域と重複し、
前記第２案内機構の前記並び方向における配置領域は、更に、前記第２弾性支持機構の前記並び方向における配置領域と重複している、請求項７に記載の物品搬送車。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、走行経路に沿って走行する走行体と、物品を保持する保持装置と、走行体に搭載され保持装置を走行体に対して昇降させる昇降装置と、を備えている物品搬送車に関する。
【背景技術】
【0002】
従来のこの種の物品搬送車が、特開２０１６－０９４２６３号公報（特許文献１）に開示されている。以下、背景技術の説明において括弧内に示された符号は、特許文献１のものである。
【0003】
特許文献１に開示された物品搬送車（１）は、走行レール（２）上を移動経路に沿って走行する走行移動部（１６）と、走行移動部（１６）に支持され且つ物品（搬送物６）を吊り下げ支持する支持機構（２３）と、支持機構（２３）を昇降移動自在に支持する昇降支持部（１７）と、を備えている。支持機構（２３）は、昇降体（３１）と、案内支持部（３５）と、昇降体（３１）と案内支持部（３５）との間に位置して案内支持部（３５）の荷重を受ける、上下方向に弾性変形自在な緩衝体（３６）と、を有している。そのため、走行移動部（１６）が走行するときの振動や昇降体（３１）が昇降するときに物品（６）に伝わる振動を少なく抑えることができるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０１６－０９４２６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
特許文献１に開示された物品搬送車（１）は、物品（６）を床面上の支持台（４）に移載するために、巻回体（２８）を回転駆動させ、巻取りベルト（２４ａ）を繰り出すことによって、支持機構（２３）を物品（６）と共に下降させる。一般的に、支持台（４）には、物品（６）を位置決めするための位置決めピン等の位置決め機構が設けられているため、物品（６）を支持台（４）に適切に移載するためには、物品（６）を適正な姿勢で支持台（４）まで下降させる必要がある。
【0006】
しかし、特許文献１に開示された物品搬送車（１）では、案内支持部（３５）が昇降体（３１）に対して緩衝体（３６）を介して支持されているため、案内支持部（３５）に対して偏った荷重が作用した場合には、案内支持部（３５）が昇降体（３１）に対して傾くことがある。例えば、物品（６）の重心の位置に偏りがある場合等に、緩衝体（３６）の変形量に偏りが生じて案内支持部（３５）が昇降体（３１）に対して傾き、物品（６）が適正な姿勢に対して傾いた姿勢となることがある。このように、物品（６）が適正な姿勢に対して傾いた姿勢で支持台（４）まで下降した場合には、物品（６）を支持台（４）に適切に移載することができない場合がある。一方、物品（６）が傾いた姿勢となることを制限するために、緩衝体（３６）の弾性率を高くすると、物品（６）に伝わる振動を適切に抑制することが困難になる。
【0007】
そこで、物品に伝わる振動を少なく抑えることができるようにしつつ、物品が適正な姿勢に対して傾くことを抑制して物品を載置箇所に適切に載置することができる物品搬送車の実現が望まれる。
【課題を解決するための手段】
【0008】
上記に鑑みた、物品搬送車の特徴構成は、走行経路に沿って走行する走行体と、物品を保持する保持装置と、前記走行体に搭載され前記保持装置を前記走行体に対して昇降させる昇降装置と、を備え、前記保持装置が、前記昇降装置に連結された連結部と、前記物品に接触して前記物品を支持する物品支持部と、把持案内機構と、を備えた物品搬送車であって、前記保持装置が、前記物品支持部と前記連結部との間に設けられて前記物品支持部を前記連結部に対して上下方向に弾性を有する状態で支持する弾性支持機構と、前記連結部に対する前記物品支持部の前記上下方向の移動を案内する案内機構と、を備え、前記案内機構が、前記連結部に対する前記物品支持部の前記上下方向の平行移動を許容すると共に、前記連結部に対する前記物品支持部の揺動を規制するように構成され、前記物品支持部は、一対の把持部を備え、一対の前記把持部が並ぶ方向を並び方向として、一対の前記把持部は、前記並び方向に互いに離間して配置され、互いに前記並び方向に沿って接近及び離間するように構成され、前記案内機構は、一対の前記把持部に対応するように前記並び方向に互いに離間して配置された第１案内機構と第２案内機構とを備え、前記把持案内機構は、前記連結部に支持されていると共に、前記並び方向に一対の前記把持部の移動を案内するように構成され、一対の前記把持部のうちの一方を第１把持部とし、一対の前記把持部のうちの他方を第２把持部として、前記弾性支持機構は、前記第１把持部に対応する第１弾性支持機構と、前記第２把持部に対応する第２弾性支持機構と、を備え、前記第１把持部は、前記第１案内機構及び前記第１弾性支持機構を介して前記把持案内機構に支持され、前記第２把持部は、前記第２案内機構及び前記第２弾性支持機構を介して前記把持案内機構に支持されている点にある。
【0009】
本構成によれば、物品支持部と連結部との間に弾性支持機構が設けられているため、走行体が走行することによる走行体の振動や、昇降装置によって昇降することによる保持装置の振動等を弾性支持機構によって減衰させることができる。よって、物品に伝わる振動を少なく抑えることができる。
また、本構成によれば、案内機構が、連結部に対する物品支持部の揺動を規制するように構成されているため、物品支持部が連結部に対して傾くことを規制できる。そのため、例えば物品の重心に偏りがあること等によって物品支持部に対して偏った荷重が作用した場合であっても、物品支持部及び物品支持部に支持された物品が連結部に対して傾くことを規制することができる。従って、昇降装置によって保持装置を下降させて物品を載置箇所に載置する場合に、物品の姿勢が適正姿勢に対して傾くことで物品を適切に載置できない事態が生じることを回避することができる。一方、案内機構は、連結部に対する物品支持部の上下方向の平行移動を許容する。そのため、物品支持部及び物品支持部に支持された物品に作用する上下方向の振動を弾性支持機構によって緩和する効果が案内機構によって妨げられることはない。
このように本構成によれば、物品に伝わる振動を少なく抑えることができるようにしつつ、物品が適正な姿勢に対して傾くことを抑制して物品を載置箇所に適切に載置することができる。
また、本構成によれば、案内機構が、連結部に対する物品支持部の揺動を規制するように構成されているため、物品支持部が連結部に対して傾くことを規制できる。そのため、例えば物品の重心に偏りがあること等によって物品支持部に対して偏った荷重が作用した場合であっても、物品支持部及び物品支持部に支持された物品が連結部に対して傾くことを規制することができる。従って、昇降装置によって保持装置を下降させて物品を載置箇所に載置する場合に、物品の姿勢が適正姿勢に対して傾くことで物品を適切に載置できない事態が生じることを回避することができる。一方、案内機構は、連結部に対する物品支持部の上下方向の平行移動を許容する。そのため、物品支持部及び物品支持部に支持された物品に作用する上下方向の振動を弾性支持機構によって緩和する効果が案内機構によって妨げられることはない。
このように本構成によれば、物品に伝わる振動を少なく抑えることができるようにしつつ、物品が適正な姿勢に対して傾くことを抑制して物品を載置箇所に適切に載置することができる。
【0010】
また、上記に鑑みた別の物品搬送車の特徴構成は、走行経路に沿って走行する走行体と、物品を保持する保持装置と、前記走行体に搭載され前記保持装置を前記走行体に対して昇降させる昇降装置と、を備え、前記保持装置が、前記昇降装置に連結された連結部と、前記物品に接触して前記物品を支持する物品支持部と、把持案内機構と、を備えた物品搬送車であって、前記保持装置が、前記物品支持部と前記連結部との間に設けられて前記物品支持部を前記連結部に対して上下方向に弾性を有する状態で支持する弾性支持機構と、前記連結部に対する前記物品支持部の前記上下方向の移動を案内する案内機構と、を備え、前記案内機構が、前記連結部に対する前記物品支持部の前記上下方向の平行移動を許容すると共に、前記連結部に対する前記物品支持部の揺動を規制するように構成され、前記物品支持部は、一対の把持部を備え、一対の前記把持部が並ぶ方向を並び方向として、一対の前記把持部は、前記並び方向に互いに離間して配置され、前記案内機構は、一対の前記把持部のそれぞれについて前記連結部に対する前記上下方向の移動を案内するように構成され、前記案内機構は、一対の前記把持部に対応するように前記並び方向に互いに離間して配置された第１案内機構と第２案内機構とを備え、一対の前記把持部のうちの一方を第１把持部とし、一対の前記把持部のうちの他方を第２把持部として、前記第１案内機構の前記並び方向における配置領域は、前記第１把持部における前記連結部よりも下側の部分の前記並び方向における配置領域と重複し、前記第２案内機構の前記並び方向における配置領域は、前記第２把持部における前記連結部よりも下側の部分の前記並び方向における配置領域と重複している点にある。
【図面の簡単な説明】
【0011】
【図1】物品搬送設備の側面図
【図2】天井搬送車の側面図
【図3】一対の搬送物支持部が支持用位置に位置している保持装置の縦断側面図
【図4】保持装置の平面図
【図5】物品搬送車の走行状態において、物品支持部が走行方向に傾く場合の側面図
【図6】物品が載置箇所に適切に移載された場合の側面図
【図7】物品が傾いた状態で載置箇所に移載される場合の側面図
【発明を実施するための形態】
【0012】
１．実施形態
以下、本発明に係る物品搬送車を物品搬送設備に適用した場合の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１に示すように、物品搬送設備には、天井側に配設された走行レール２に沿って走行自在な天井搬送車として構成された物品搬送車１と、物品６に収容されている基板に対して処理を行う処理装置３と、その処理装置３に隣接する状態で床面上に設置された支持台等の載置箇所４と、が設けられている。ここで、支持台は、物品搬送車１による物品６の載置箇所４の一例である。このように、本実施形態では、走行レール２によって物品搬送車１の走行経路が構成されている。物品搬送車１によって搬送される物品６は、収容物を収容する搬送容器であり、具体的には、収容物として複数の半導体基板を収容するＦＯＵＰ（Front Opening Unify Pod）である。
以下、本発明に係る物品搬送車を物品搬送設備に適用した場合の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１に示すように、物品搬送設備には、天井側に配設された走行レール２に沿って走行自在な天井搬送車として構成された物品搬送車１と、物品６に収容されている基板に対して処理を行う処理装置３と、その処理装置３に隣接する状態で床面上に設置された支持台等の載置箇所４と、が設けられている。ここで、支持台は、物品搬送車１による物品６の載置箇所４の一例である。このように、本実施形態では、走行レール２によって物品搬送車１の走行経路が構成されている。物品搬送車１によって搬送される物品６は、収容物を収容する搬送容器であり、具体的には、収容物として複数の半導体基板を収容するＦＯＵＰ（Front Opening Unify Pod）である。
【0013】
物品６を載置する支持台等の載置箇所４は、物品搬送車１の走行経路の下方に設置されており、物品搬送車１の走行方向Ｘに沿って複数設置されている。物品搬送車１は、物品６を搬送すると共に昇降装置２４により物品６を下降させて載置箇所４に物品６を載置する。また、物品搬送車１は、物品６を載置箇所４から受け取って昇降装置２４により上昇させ、別の搬送先へ向けて物品６を搬送する。本実施形態では、このような物品搬送車１と載置箇所４との間での物品６の受け渡しを移載と称し、そのような動作を移載動作と称する。本実施形態では、載置箇所４における物品６が載置される載置面４ａには、物品６の位置決め用の係合凸部Ｐが設けられている。本例では、載置面４ａ上に、３つの係合凸部Ｐが三角形の頂点部分に位置するような位置関係で配置されている。本例では、載置箇所４としての支持台に物品６としてのＦＯＵＰが載置された後、処理装置３により当該ＦＯＵＰ内から半導体基板が取り出され、所定の処理が行われる。そして、処理が完了した半導体基板を収容したＦＯＵＰを、物品搬送車１が受け取って別の処理装置３等の搬送先へ搬送する。
【0014】
〔物品〕
図２に示すように、本実施形態に係る物品６は、複数枚の基板を収容する本体部７と、この本体部７より上方である物品６の上部に備えられたフランジ部９と、を備えている。
また、この物品６は、本体部７の前面に形成された基板出し入れ用の開口を閉じる蓋体５（図６参照）を備えている。蓋体５は、本体部７に対して着脱自在に設けられている。なお、以下では、上下方向Ｚに沿う上下方向視で、物品６の中心から蓋体５に直交する方向を物品前後方向とし、物品前後方向と直交する方向を物品左右方向とする。
図２に示すように、本実施形態に係る物品６は、複数枚の基板を収容する本体部７と、この本体部７より上方である物品６の上部に備えられたフランジ部９と、を備えている。
また、この物品６は、本体部７の前面に形成された基板出し入れ用の開口を閉じる蓋体５（図６参照）を備えている。蓋体５は、本体部７に対して着脱自在に設けられている。なお、以下では、上下方向Ｚに沿う上下方向視で、物品６の中心から蓋体５に直交する方向を物品前後方向とし、物品前後方向と直交する方向を物品左右方向とする。
【0015】
本実施形態では、蓋体５の単位体積当たりの重量は、物品６（ＦＯＵＰ）のその他の部分に比べて大きい。そのため、本体部７に半導体基板が収容されていない空の状態では、物品６の重心は物品前後方向の蓋体５側に偏る。本体部７に半導体基板が収容され物品６の全体の重量が大きくなると、当該重量における蓋体５の重量の割合が小さくなる。そのため、重心位置は物品６の中央部分に近づくように、物品前後方向における蓋体５側とは反対側に向けて移動する。また、物品６は、物品左右方向においては重量が均等になるように構成されている。そのため、物品６が空の状態である場合や、半導体基板が収容された状態である場合においても、物品６の重心の物品左右方向の偏りは小さい。
【0016】
フランジ部９と本体部７とは、物品連結部８を介して連結されている。物品連結部８は、本体部７から上方に突出するように形成されている。そして、フランジ部９は、物品連結部８の上部に取り付けられ、当該物品連結部８から物品前後方向及び物品左右方向に突出する板状に形成されている。そして、本体部７の上面とフランジ部９の下面との間に形成される、物品前後方向及び物品左右方向の窪みにより、挿入用空間１２が形成されている。この挿入用空間１２に、後述する一対の把持部５０が挿入されることで、物品６が一対の把持部５０により把持される。
【0017】
図６に示すように、物品６は、底部１１に設けられた係合凹部Ｂを備えている。係合凹部Ｂは、上述した載置箇所４の載置面４ａに設けられた係合凸部Ｐに係合されることで、載置箇所４における物品６の位置決めを行うためのものである。本実施形態では、底部１１の下方を向く面である底面１１ａに、３つの係合凹部Ｂが三角形の頂点部分に位置するような位置関係で配置されている。３つの係合凹部Ｂの位置関係は、載置箇所４の３つの係合凸部Ｐの位置関係に対応している。各係合凹部Ｂは、底面１１ａから上方に向けて窪んだ凹溝とされている。本例では、３つの係合凹部Ｂのうち２つは物品６の前端部に近接しかつ物品左右方向に離間して設けられている。３つの係合凹部Ｂのうち１つは、物品６の後端部に近接しかつ左右方向で２つの係合凹部Ｂの中間に設けられている。本実施形態では、図６に示すように、係合凹部Ｂは、後述する昇降装置２４により下降されて物品６が載置箇所４に載置される場合に、当該載置箇所４に設けられた位置決め用の係合凸部Ｐに係合される。
【0018】
〔物品搬送車〕
次に、物品搬送車１について説明する。ここでは、物品搬送車１の走行方向に沿う方向を走行方向Ｘと称し、走行方向Ｘと上下方向視で直交する方向を幅方向Ｙと称して説明する。本実施形態では、物品６はその物品左右方向が物品搬送車１の走行方向Ｘに沿う向きで支持される。そのため、以下では、物品６が保持装置２３にて保持されている状態を基準として、物品６の物品左右方向を走行方向Ｘとし、物品６の物品前後方向を幅方向Ｙとして説明する。
次に、物品搬送車１について説明する。ここでは、物品搬送車１の走行方向に沿う方向を走行方向Ｘと称し、走行方向Ｘと上下方向視で直交する方向を幅方向Ｙと称して説明する。本実施形態では、物品６はその物品左右方向が物品搬送車１の走行方向Ｘに沿う向きで支持される。そのため、以下では、物品６が保持装置２３にて保持されている状態を基準として、物品６の物品左右方向を走行方向Ｘとし、物品６の物品前後方向を幅方向Ｙとして説明する。
【0019】
図１及び図２に示すように、物品搬送車１は、走行経路に沿って走行する走行体１６と、物品６を保持する保持装置２３と、走行体１６に搭載され保持装置２３を走行体１６に対して昇降させる昇降装置２４とを備えている。また、物品搬送車１は、昇降装置２４による昇降範囲の上限付近に保持装置２３が位置する状態で、当該保持装置２３に支持された物品６の上方側及び走行方向Ｘの両側を覆うカバー部２５を更に備えている。
【0020】
図２に示すように、走行体１６は、走行用モータ１９にて回転駆動されて走行レール２の上面を転動する駆動輪２０と、走行レール２の側面に当接する回転自在な案内輪２１と、を備えている。そして、駆動輪２０が走行用モータ１９によって回転駆動され、案内輪２１が走行レール２の側面に当接して案内される。これにより、走行体１６が、走行レール２に案内されて走行経路に沿って走行する。
【0021】
昇降装置２４は、巻取りベルト２４ａを巻回する巻回体２８と、巻回体２８を回転駆動する昇降用モータ２９と、を備えている。巻取りベルト２４ａの先端部には、保持装置２３が連結されている。そして、昇降装置２４は、昇降用モータ２９にて巻回体２８を正転方向に回転駆動させて巻取りベルト２４ａを繰り出し、巻回体２８を逆転方向に回転駆動させて巻取りベルト２４ａを巻き取ることで、保持装置２３を走行体１６に対して昇降させる。
【0022】
〔保持装置〕
次に、物品搬送車１の保持装置２３について説明する。
図３～図５に示すように、物品搬送車１の保持装置２３は、昇降装置２４に連結された連結部３１と、物品６に接触して物品６を支持する物品支持部５１と、を備えている。本実施形態では、連結部３１は、巻取りベルト２４ａの先端部に連結されている。そのため、連結部３１は、昇降装置２４によって昇降される。連結部３１は、後述する弾性支持機構３６及び案内機構３７を支持する支持体３１ａと、支持体３１ａに取り付けられて、弾性支持機構３６及び案内機構３７を覆う箱状の筐体３１ｂと、を備えている。また、本実施形態では、保持装置２３は、物品支持部５１を構成する一対の把持部５０を互いに接近及び離間させる方向に駆動する把持駆動機構３０を備えている。この把持駆動機構３０も、支持体３１ａに支持され、筐体３１ｂの内部に収容されている。
次に、物品搬送車１の保持装置２３について説明する。
図３～図５に示すように、物品搬送車１の保持装置２３は、昇降装置２４に連結された連結部３１と、物品６に接触して物品６を支持する物品支持部５１と、を備えている。本実施形態では、連結部３１は、巻取りベルト２４ａの先端部に連結されている。そのため、連結部３１は、昇降装置２４によって昇降される。連結部３１は、後述する弾性支持機構３６及び案内機構３７を支持する支持体３１ａと、支持体３１ａに取り付けられて、弾性支持機構３６及び案内機構３７を覆う箱状の筐体３１ｂと、を備えている。また、本実施形態では、保持装置２３は、物品支持部５１を構成する一対の把持部５０を互いに接近及び離間させる方向に駆動する把持駆動機構３０を備えている。この把持駆動機構３０も、支持体３１ａに支持され、筐体３１ｂの内部に収容されている。
【0023】
まず、把持駆動機構３０について説明する。把持駆動機構３０は、把持案内機構３８と、把持駆動源３３と、把持伝達機構３９と、を備えている。把持駆動源３３は、本実施形態では、電動モータにより構成される把持駆動モータである。
【0024】
把持案内機構３８は、一対の把持部５０の相互の接近・離間方向の移動を案内する機構である。本実施形態では、一対の把持部５０の接近・離間方向は、走行方向Ｘに平行な方向である。そして、本例では、把持案内機構３８は、一対の把持部５０のそれぞれに対応して設けられ、一対の把持部５０のそれぞれの接近・離間方向の移動に連動する連動部材４２と、一対の連動部材４２の接近・離間方向の移動を案内する案内レール４０とを備えている。ここでは、図４に示すように、複数の案内レール４０が走行方向Ｘに沿うように支持体３１ａに支持されている。本実施形態では、１つの連動部材４２について一対の案内レール４０が幅方向Ｙに離間して配置されている。従って、本実施形態では、把持案内機構３８は、一対の連動部材４２に対応して４つの案内レール４０を備えている。図３及び図４に示すように、連動部材４２のそれぞれにおける、各案内レール４０によって案内される部分には、当該案内レール４０に沿って走行方向Ｘに案内される被案内部材４１が取り付けられている。被案内部材４１は、案内レール４０に沿って移動自在な状態で当該案内レール４０に係合している。
【0025】
上記のとおり、連動部材４２は、一対の把持部５０のそれぞれに対応して設けられている。そして、各連動部材４２は、把持伝達機構３９と案内機構３７とを接続するように構成されている。そして、連動部材４２と把持部５０とは、案内機構３７を介して接続されている。本実施形態では、後述するように、一対の把持部５０のそれぞれに対応する案内機構３７が、それぞれ一対の直動案内機構３７ａを備えている。従って、連動部材４２は、把持伝達機構３９と一対の直動案内機構３７ａとを接続している。
【0026】
具体的には、連動部材４２は、同じ把持部５０を支える一対の直動案内機構３７ａのそれぞれに固定された一対の連動固定部４２ａと、一対の連動固定部４２ａを互いに連結する連動本体部４２ｂと、当該連動本体部４２ｂに設けられて、把持伝達機構３９に接続された連動接続部４２ｃと、を備えている。本例では、連動本体部４２ｂは、幅方向Ｙに長い長尺板状に形成されている。そして、連動本体部４２ｂは、幅方向Ｙに離間して配置された２つの被案内部材４１に固定されている。また、連動本体部４２ｂは、幅方向Ｙに離間して配置された一対の連動固定部４２ａに連結されている。本例では、一対の連動固定部４２ａのそれぞれは、上下方向Ｚ視で被案内部材４１と重複するように配置されている。このように、連動本体部４２ｂは、一対の被案内部材４１同士を連結すると共に、一対の連動固定部４２ａ同士を連結している。一対の連動固定部４２ａは、連動本体部４２ｂよりも上下方向Ｚの寸法が大きく形成されている。そして、一対の連動固定部４２ａのそれぞれにおける上下方向Ｚに直交する方向を向く面に、直動案内機構３７ａが取り付けられている。連動接続部４２ｃは、後述する把持伝達機構３９に接続される部分である。本実施形態では、把持伝達機構３９を構成するナット部３５が連動接続部４２ｃに取り付けられている。ここでは、連動接続部４２ｃは、連動本体部４２ｂの幅方向Ｙにおける中央部分に設けられている。また、図示の例では、連動接続部４２ｃは、ナット部３５を内部に保持するブロック状に形成されている。本実施形態では、一対の連動部材４２のそれぞれが備える連動接続部４２ｃが、走行方向Ｘに互いに離間して配置されている。
【0027】
把持伝達機構３９は、把持駆動源３３の動力を一対の把持部５０のそれぞれに伝達し、一対の把持部５０を互いに接近及び離間させる方向に移動させる機構である。本実施形態では、把持伝達機構３９は、ボールねじ３４と、ボールねじ３４に螺合するナット部３５と、を備えている。
【0028】
ボールねじ３４は、把持駆動源３３としての把持駆動モータに接続されている。そして、ボールねじ３４は、当該把持駆動源３３により、軸心回りに回転するように駆動される。本実施形態では、図４に示すように、ボールねじ３４は、軸心が走行方向Ｘに沿うように配置されている。また、本例では、ボールねじ３４は、支持体３１ａにおける幅方向Ｙの中央部分に配置されている。ボールねじ３４の外周面には、雄ねじが形成されている。
本例では、ボールねじ３４の軸心に沿う方向（走行方向Ｘ）の中央部に対して一方側と他方側とで、螺旋の向きが逆方向となるように雄ねじが形成されている。また、ボールねじ３４の軸心に沿う方向（走行方向Ｘ）の一方側の端部が、把持駆動源３３に接続されている。具体的には、ボールねじ３４の軸方向の一端部が、把持駆動モータの出力軸に連結されている。
本例では、ボールねじ３４の軸心に沿う方向（走行方向Ｘ）の中央部に対して一方側と他方側とで、螺旋の向きが逆方向となるように雄ねじが形成されている。また、ボールねじ３４の軸心に沿う方向（走行方向Ｘ）の一方側の端部が、把持駆動源３３に接続されている。具体的には、ボールねじ３４の軸方向の一端部が、把持駆動モータの出力軸に連結されている。
【0029】
ナット部３５は、ボールねじ３４の外周面に形成された雄ねじに螺合するように、内周面に雌ねじが形成された筒状部材である。従って、ナット部３５の軸心方向も、ボールねじ３４と同様に走行方向Ｘに沿うように配置されている。本実施形態では、上記のとおり、ナット部３５は、連動部材４２の連動接続部４２ｃに取り付けられている。すなわち、走行方向Ｘに互いに離間して配置された一対の連動接続部４２ｃのそれぞれに、ナット部３５が取り付けられている。そして、一方のナット部３５と他方のナット部３５とが、ボールねじ３４における、雄ねじの向きが互いに異なる部分に螺合している。従って、ボールねじ３４が第１の方向に回転した場合に一対のナット部３５が互いに接近し、ボールねじ３４が第１の方向のとは反対の第２の方向に回転した場合に一対のナット部３５が互いに離間する。このような一対のナット部３５の接近及び離間する動きに連動して、一対の連動部材４２及び一対の把持部５０が互いに接近及び離間する。
【0030】
物品支持部５１は、図４に示すように一対の把持部５０を備えており、一対の把持部５０は走行方向Ｘに互いに離間して配置されている。そして、物品支持部５１は、一対の把持部５０により物品６のフランジ部９を把持するように構成されている。本実施形態では、一対の把持部５０のそれぞれは、後述する弾性支持機構３６及び案内機構３７を介して連動部材４２に支持されている。図３に示すように、一対の把持部５０のそれぞれは、フランジ部９に接する部分となる把持爪部５０ａと、弾性支持機構３６及び案内機構３７により支持される被支持部５０ｂと、把持爪部５０ａと被支持部５０ｂとを連結する把持連結部５０ｃと、を備えている。本例では、図６に示すように、把持爪部５０ａは、幅方向Ｙに延在する長尺板状に形成されている。また、図４及び図５に示すように、被支持部５０ｂは、幅方向Ｙに延在するように形成されている。そして、把持連結部５０ｃは、把持爪部５０ａ及び被支持部５０ｂにおける幅方向Ｙの両端部のそれぞれに設けられ、把持爪部５０ａと被支持部５０ｂとを連結している。このように、本例では、把持部５０は、一対の把持連結部５０ｃを備えている。なお、一対の把持部５０は、向きが対称に配置されている以外、互いに同じ構成となっている。
【0031】
把持爪部５０ａは、連結部３１よりも下方に配置されている。被支持部５０ｂは、連結部３１の内部に収容されている。把持連結部５０ｃは、把持爪部５０ａと被支持部５０ｂとを接続するように、連結部３１の内部から連結部３１よりも下方へ向けて突出するように配置されている。本例では、図３及び図４に示すように、把持連結部５０ｃは、連結部３１の支持体３１ａに形成された貫通孔４３を通って上下方向Ｚに延在している。上記のとおり、一対の把持部５０のそれぞれは、一対の把持連結部５０ｃを備えている。従って、支持体３１ａには、走行方向Ｘ及び幅方向Ｙに離間して４つの貫通孔４３が形成されており、各貫通孔４３に１つの把持連結部５０ｃが挿通されている。
【0032】
図３及び図６に示すように、一対の把持部５０の把持爪部５０ａが、フランジ部９の下方に形成された挿入用空間１２に配置された状態で、フランジ部９を把持する。より具体的には、一対の把持爪部５０ａがフランジ部９に対して下方から当接することで、フランジ部９を下方から支持する。ここで、上記のとおり、一対の把持部５０のそれぞれは、後述する弾性支持機構３６及び案内機構３７を介して連動部材４２に支持されている。そして、一対の連動部材４２が、把持駆動機構３０により走行方向Ｘに接近及び離間する方向に駆動されることにより、一対の把持部５０も、接近及び離間する方向に駆動される。これにより、一対の把持部５０の間隔が、把持用間隔と解除用間隔とに変化する。把持用間隔は、一対の把持部５０が互いに接近した状態の間隔である。この把持用間隔となった状態では、一対の把持爪部５０ａの走行方向Ｘの間隔は、フランジ部９の走行方向Ｘの幅よりも狭くなる。解除用間隔は、一対の把持部５０が互いに離間した状態の間隔である。この解除用間隔となった状態では、一対の把持爪部５０ａの走行方向Ｘの間隔は、フランジ部９の走行方向Ｘの幅よりも広くなる。
【0033】
従って、一対の把持部５０を解除用間隔から把持用間隔に変化させることで、フランジ部９を把持して、保持装置２３により物品６を保持することができる。また、一対の把持部５０を把持用間隔から解除用間隔に変化させることで、フランジ部９の把持を解除して、保持装置２３による物品６の保持を解除することができる。
【0034】
図３～図５に示すように、保持装置２３は、物品支持部５１と連結部３１との間に設けられて物品支持部５１を連結部３１に対して上下方向Ｚに弾性を有する状態で支持する弾性支持機構３６を備えている。上記のとおり、本実施形態では、物品支持部５１は、一対の把持部５０を備えている。そこで、弾性支持機構３６は、一対の把持部５０のそれぞれを連結部３１に対して弾性的に支持するように構成されている。また上記のとおり、一対の把持部５０は、把持案内機構３８により相互の接近・離間方向（ここでは走行方向Ｘ）の移動が案内されるように構成されている。そのため、一対の把持部５０のそれぞれは、弾性支持機構３６及び案内機構３７を介して、把持案内機構３８を構成する連動部材４２に支持されている。従って、本実施形態では、弾性支持機構３６は、把持部５０を連動部材４２に対して上下方向Ｚに弾性を有する状態で支持するように構成されている。より具体的には、弾性支持機構３６は、連動本体部４２ｂと把持部５０の被支持部５０ｂとの上下方向Ｚの間に設けられている。図示の例では、連動本体部４２ｂよりも上方に被支持部５０ｂが配置されている。従って、弾性支持機構３６は、被支持部５０ｂを下方から弾性的に支持している。本例では、弾性支持機構３６は上下方向Ｚに弾性を有する弾性体３６ａを備えている。弾性体３６ａは、図示の例では圧縮コイルばねである。弾性体３６ａの下端部は、連動本体部４２ｂに保持され、弾性体３６ａの上端部は、被支持部５０ｂに保持されている。すなわち、連動本体部４２ｂ及び被支持部５０ｂは、それぞれ弾性体３６ａを保持する保持部を備えている。そして、弾性体３６ａは、圧縮状態で連動本体部４２ｂと被支持部５０ｂとの間に挟まれて配置されている。
【0035】
本実施形態では、弾性支持機構３６は、一対の把持部５０のそれぞれについて、幅方向Ｙに離間して配置された一対の弾性体３６ａを備えている。図４に示すように、１つの把持部５０に対応する一対の弾性体３６ａは、幅方向Ｙに離間して配置されている。また、本実施形態では、一対の把持部５０のそれぞれにおいて、一対の弾性体３６ａは、一対の案内レール４０よりも幅方向Ｙの内側に配置されている。
【0036】
更に、本実施形態では、弾性支持機構３６は、一対の把持部５０が互いに独立して上下動するように一対の把持部５０を支持している。上記のとおり、弾性支持機構３６は、一対の把持部５０のそれぞれに対応して設けられ、一対の把持部５０のそれぞれを連結部３１に対して弾性的に支持するように構成されている。従って、一対の把持部５０の一方は、一対の弾性支持機構３６の一方によって連結部３１に対して上下方向Ｚに弾性を有する状態で支持され、一対の把持部５０の他方は、一対の弾性支持機構３６の他方によって連結部３１に対して上下方向Ｚに弾性を有する状態で支持されている。これにより、一対の把持部５０は、互いに独立して上下動するように弾性支持機構３６によって支持されている。
【0037】
図３及び図４に示すように、保持装置２３は、連結部３１に対する物品支持部５１の上下方向Ｚの移動を案内する案内機構３７を備えている。案内機構３７は、連結部３１に対する物品支持部５１の上下方向Ｚの平行移動を許容すると共に、連結部３１に対する物品支持部５１の揺動を規制するように構成されている。上記の通り、本実施形態では、物品支持部５１は一対の把持部５０を備えている。そこで、案内機構３７は、一対の把持部５０のそれぞれの連結部３１に対する上下方向Ｚの平行移動を許容するように構成されている。また、案内機構３７は、連結部３１に対する一対の把持部５０のそれぞれの幅方向Ｙ及び走行方向Ｘの揺動を規制するように構成されている。そのため、本実施形態では、案内機構３７は、一対の把持部５０のそれぞれが、対応する連動部材４２に対して上下方向Ｚに平行移動可能な状態で、把持部５０と連動部材４２とを接続している。
【0038】
ここで「平行移動」とは、物品支持部５１が物品６を支持しておらず、保持装置２３が水平面に対して理想的な位置関係となる姿勢を基準姿勢とし、基準姿勢において上下方向Ｚに平行となる連結部３１の基準となる仮想軸を第１基準軸とし、基準姿勢において上下方向Ｚに平行となる物品支持部５１の基準となる仮想軸を第２基準軸とした場合に、第１基準軸と第２基準軸とが平行な状態のままで、物品支持部５１（本実施形態では、一対の把持部５０のそれぞれ）が連結部３１に対して相対移動することをいう。また、「揺動」とは第１基準軸に対して第２基準軸が傾くように、物品支持部５１（本実施形態では、一対の把持部５０のそれぞれ）が連結部３１に対して相対移動することをいう。案内機構３７が、連結部３１に対する物品支持部５１の揺動を規制するように構成されているため、物品支持部５１が連結部３１に対して傾くことが規制される。
【0039】
本実施形態では、図３及び図４に示すように、案内機構３７は、一対の把持部５０のそれぞれについての連結部３１に対する上下方向Ｚの移動を案内するように構成されている。ここで、案内機構３７は、一対の把持部５０が互いに独立して上下動するように一対の把持部５０を案内する構成となっている。このような案内のため、案内機構３７は、直動案内機構３７ａを備えている。本実施形態では、案内機構３７は、水平面に沿う方向に互いに離間して複数個所に配置された直動案内機構３７ａを備えている。具体的には、図３～図５に示すように、案内機構３７は、全体として４つの直動案内機構３７ａを備えている。直動案内機構３７ａのそれぞれは、連結部３１に固定された案内体３７ｂと、物品支持部５１に固定されて案内体３７ｂに沿って移動する移動体３７ｃと、を備えている。また、案内体３７ｂは、上下方向Ｚに沿って移動体３７ｃが移動するように配置されている。すなわち、案内体３７ｂは、上下方向Ｚに沿って配置されている。ここで、案内体３７ｂは、移動体３７ｃが直線的に移動するように案内する部材であり、本例では、レール状に形成されている。移動体３７ｃは、案内体３７ｂに沿って直線的に移動するように、案内体３７ｂに係合している。なお、本例では、直動案内機構３７ａはリニアガイドである。
【0040】
本実施形態では、案内体３７ｂは、連動部材４２に固定されている。また、移動体３７ｃは、把持部５０に固定されている。上記のように、移動体３７ｃが案内体３７ｂに沿って上下方向Ｚに移動するように案内されることにより、把持部５０は、連動部材４２に対して上下方向Ｚに移動するように案内される。つまり、把持部５０の連動部材４２に対する上下方向Ｚの平行移動が許容される。一方、案内体３７ｂに案内される移動体３７ｃが、上下方向Ｚ以外には移動できないことにより、把持部５０の連動部材４２に対する幅方向Ｙ及び走行方向Ｘへの揺動は規制される。
【0041】
また、本実施形態では、案内機構３７は、一対の把持部５０のそれぞれについて、幅方向Ｙに離間して配置された一対の直動案内機構３７ａを備えている。図４に示すように、１つの把持部５０に対応する一対の直動案内機構３７ａは、幅方向Ｙに離間して配置されている。本例では、一対の直動案内機構３７ａは、連動本体部４２ｂの幅方向Ｙの両端部に設けられた一対の連動固定部４２ａのそれぞれに取り付けられている。より具体的には、一対の直動案内機構３７ａのそれぞれの案内体３７ｂが、連動固定部４２ａに固定されている。このように、一対の直動案内機構３７ａは連動部材４２によって連結されている。また、一対の直動案内機構３７ａは、上下方向Ｚ視で、連動本体部４２ｂ及び被案内部材４１と重複する位置に配置されている。更に、本実施形態では、一対の直動案内機構３７ａは、把持部５０における被支持部５０ｂに取り付けられている。より具体的には、一対の直動案内機構３７ａのそれぞれの移動体３７ｃが、被支持部５０ｂに固定されている。これにより、把持部５０は、一対の直動案内機構３７ａにより、連動部材４２に対して上下方向Ｚに沿って平行移動するように案内される。
【0042】
ところで、一対の把持部５０は互いに独立している。すなわち、一対の把持部５０のそれぞれは、図３～図５に示すように、互いに別の弾性支持機構３６により支持され、互いに別の案内機構３７により案内される。これにより、一対の把持部５０は、連結部３１に対して互いに独立して上下方向Ｚに移動することが許容される。そのため、例えば図５に示すように、一対の把持部５０の上下方向Ｚの位置が互いに異なるものとなり得る。
【0043】
このように、一対の把持部５０が走行方向Ｘに互いに離間して配置され、それぞれ独立して上下動するようになっているため、上記のような案内機構３７を備えているにも関わらず、物品６の走行方向Ｘの揺動が許容される。一般的に、物品搬送車１によって搬送中の物品６には、物品搬送車１の加減速等によって走行方向Ｘの荷重が作用することが多い。しかし、本実施形態の構成によれば、一対の把持部５０が互いに独立して上下動するため、物品６が走行方向Ｘに揺動する方向の振動を弾性支持機構３６によって緩和する効果が案内機構３７によって妨げられることがない。一方、本実施形態の構成においても、案内機構３７が、一対の把持部５０のそれぞれについて、連結部３１に対する上下方向Ｚの移動を案内するように構成され、連結部３１に対する一対の把持部５０のそれぞれの揺動、特に幅方向Ｙの揺動を規制するように構成されている。そのため、例えば物品６の重心に幅方向Ｙの偏りあること等によって一対の把持部５０に対して幅方向Ｙに偏った荷重が作用した場合であっても、一対の把持部５０が連結部３１に対して幅方向Ｙに傾くことを規制できる。従って、一対の把持部５０に支持された物品６が連結部３１に対して幅方向Ｙに傾くことを規制することができる。本実施形態では、物品６が複数の半導体基板を収容するＦＯＵＰであり、蓋体５（図６参照）が物品６における幅方向Ｙの一方側に配置された状態で、物品搬送車１により搬送される。ＦＯＵＰは、蓋体５の単位体積当たりの重量がその他の部分に比べて大きく、内部に収容される半導体基板の枚数等によって、物品６の全体における幅方向Ｙの重心位置が変動する。しかし、本実施形態に係る構成によれば、このような重心の変動によって、物品６が幅方向Ｙに傾くことを規制することができる。
【0044】
また、本実施形態では、図４に示すように、一対の把持部５０のそれぞれにおいて、一対の直動案内機構３７ａが一対の弾性体３６ａよりも幅方向Ｙの外側に配置されている。
ここで、物品６の幅方向Ｙの揺動により把持部５０に作用する荷重は、てこの原理により、幅方向Ｙの内側の方が幅方向Ｙの外側よりも大きくなるのが一般的である。従って、一対の直動案内機構３７ａを一対の弾性体３６ａより幅方向Ｙの内側に配置するよりも、一対の直動案内機構３７ａを一対の弾性体３６ａよりも幅方向Ｙの外側に配置した方が、直動案内機構３７ａに作用する荷重を小さくすることができる。なお、この場合、一対の弾性体３６ａには比較的大きい荷重が作用することになるが、一般的に、弾性体３６ａは、直動案内機構３７ａよりも構造が単純で強度も高く確保し易いため、大きな問題は生じ難い。
ここで、物品６の幅方向Ｙの揺動により把持部５０に作用する荷重は、てこの原理により、幅方向Ｙの内側の方が幅方向Ｙの外側よりも大きくなるのが一般的である。従って、一対の直動案内機構３７ａを一対の弾性体３６ａより幅方向Ｙの内側に配置するよりも、一対の直動案内機構３７ａを一対の弾性体３６ａよりも幅方向Ｙの外側に配置した方が、直動案内機構３７ａに作用する荷重を小さくすることができる。なお、この場合、一対の弾性体３６ａには比較的大きい荷重が作用することになるが、一般的に、弾性体３６ａは、直動案内機構３７ａよりも構造が単純で強度も高く確保し易いため、大きな問題は生じ難い。
【0045】
〔物品の移載動作〕
次に、保持装置２３に保持された状態の物品６を、昇降装置２４により下降させて直下の載置箇所４に載置する（移載する）場合の動作について説明する。
次に、保持装置２３に保持された状態の物品６を、昇降装置２４により下降させて直下の載置箇所４に載置する（移載する）場合の動作について説明する。
【0046】
ここで、物品６がカバー部２５に収容された状態における、走行体１６に対する保持装置２３の位置を走行用位置（図２参照）とする。昇降装置２４は、昇降用モータ２９の回転駆動により巻取りベルト２４ａを繰り出して、保持装置２３を走行用位置から移載用位置（図６参照）まで下降させる。保持装置２３を移載用位置まで下降させることにより、保持装置２３に保持された物品６が載置箇所４に載置される。このように、移載用位置は、走行用位置よりも下方の位置であって、保持装置２３に保持された物品６が載置箇所４の載置面４ａに載置された状態での、走行体１６に対する保持装置２３の位置である。保持装置２３が移載用位置にあり、物品６が載置面４ａに載置された状態で、把持駆動機構３０により、一対の把持部５０の間隔を、物品６を把持する把持用間隔から物品６の把持を解除する解除用間隔に切り換える。このようにして、物品６は載置箇所４に移載される。上記のとおり、本例では、載置箇所４の載置面４ａに、位置決め用の係合凸部Ｐが複数設けられている。また、物品６の底面１１ａに、当該係合凸部Ｐと係合する係合凹部Ｂが設けられている。そして、物品６が適正姿勢である状態で保持装置２３が移載用位置まで下降した場合、物品６の係合凹部Ｂが載置箇所４の係合凸部Ｐに係合した状態となり、物品６が載置箇所４の載置面４ａに適正に載置される。以下では、保持装置２３が移載用位置まで下降した場合に、物品６の係合凹部Ｂが載置箇所４の係合凸部Ｐに適正に係合することができるような物品６の姿勢を適正姿勢とする。本実施形態では、載置箇所４の載置面４ａは水平面に沿うように配置されており、物品６の姿勢が適正姿勢である状態では、物品６の底面１１ａは水平面に沿う姿勢となる。
【0047】
比較例として、保持装置２３が直動案内機構３７ａを備えていない場合の移載動作について説明する。この場合、一対の把持部５０は連結部３１に対する揺動が規制されない。
そのため、物品６の重心が幅方向Ｙに偏っている場合、一対の把持部５０に対して偏った荷重が作用し、一対の把持部５０及びこれに把持された物品６が連結部３１に対して幅方向Ｙに傾く。例えば、本実施形態のように、物品６が複数の半導体基板を収容するＦＯＵＰであり、蓋体５（図７参照）が物品６における幅方向Ｙの一方側に配置されている場合、蓋体５の単位体積当たりの重量がその他の部分に比べて大きいために、内部に収容される半導体基板の枚数によって、物品６の全体における幅方向Ｙの重心位置が変動する。具体的には、半導体基板の枚数が少なくなるに従って、物品６の重心が幅方向Ｙにおける蓋体５の側に偏ることになる。本比較例のように、保持装置２３が直動案内機構３７ａを備えていない場合、一対の把持部５０は弾性支持機構３６によって弾性的に支持されている。そのため、物品６の重心に偏りがあると、重心が偏っている側に物品６と共に一対の把持部５０が傾斜することを規制できず、物品６が適正姿勢に対して幅方向Ｙに傾くことになる。このように物品６が適正姿勢に対して傾いた状態で保持装置２３が移載用位置まで下降した場合、例えば図７に示すように、物品６の底面１１ａが載置面４ａに対して傾いた姿勢となる。そのため、物品６の係合凹部Ｂが載置箇所４の係合凸部Ｐに適正に係合することができない場合が生じる。このような場合、物品６を載置箇所４に適切に載置できず、移載不良となる事態が生じ得る。
そのため、物品６の重心が幅方向Ｙに偏っている場合、一対の把持部５０に対して偏った荷重が作用し、一対の把持部５０及びこれに把持された物品６が連結部３１に対して幅方向Ｙに傾く。例えば、本実施形態のように、物品６が複数の半導体基板を収容するＦＯＵＰであり、蓋体５（図７参照）が物品６における幅方向Ｙの一方側に配置されている場合、蓋体５の単位体積当たりの重量がその他の部分に比べて大きいために、内部に収容される半導体基板の枚数によって、物品６の全体における幅方向Ｙの重心位置が変動する。具体的には、半導体基板の枚数が少なくなるに従って、物品６の重心が幅方向Ｙにおける蓋体５の側に偏ることになる。本比較例のように、保持装置２３が直動案内機構３７ａを備えていない場合、一対の把持部５０は弾性支持機構３６によって弾性的に支持されている。そのため、物品６の重心に偏りがあると、重心が偏っている側に物品６と共に一対の把持部５０が傾斜することを規制できず、物品６が適正姿勢に対して幅方向Ｙに傾くことになる。このように物品６が適正姿勢に対して傾いた状態で保持装置２３が移載用位置まで下降した場合、例えば図７に示すように、物品６の底面１１ａが載置面４ａに対して傾いた姿勢となる。そのため、物品６の係合凹部Ｂが載置箇所４の係合凸部Ｐに適正に係合することができない場合が生じる。このような場合、物品６を載置箇所４に適切に載置できず、移載不良となる事態が生じ得る。
【0048】
これに対し、本実施形態のように、保持装置２３が直動案内機構３７ａを備えている場合、物品支持部５１としての一対の把持部５０は、連結部３１に対し上下方向Ｚの平行移動が許容されていると共に、連結部３１に対する揺動が規制されている。そのため、一対の把持部５０のそれぞれは、上下方向Ｚに平行移動することのみが許容される状態で弾性支持機構３６によって弾性的に支持されている。また上記のとおり、一対の把持部５０のそれぞれは、幅方向Ｙに延在するように形成されており、物品６のフランジ部９を幅方向Ｙに沿う姿勢で支持している。そのため、物品６が一対の把持部５０に対して幅方向Ｙに揺動することが規制されている。これにより、上記のように物品６の重心が幅方向Ｙに偏っていることによって、一対の把持部５０に対して偏った荷重が作用した場合であっても、連結部３１に対する一対の把持部５０のそれぞれの姿勢は維持され、物品６が連結部３１に対して傾くことが規制される。従って、昇降装置２４によって保持装置２３を移載用位置まで下降させて物品６を載置箇所４に載置する場合に、物品６の姿勢が適正姿勢に対して傾くことを規制できる。このように物品６を適正姿勢に維持した状態で保持装置２３を移載用位置まで下降させることにより、図６に示すように、物品６の底面１１ａに設けられた係合凹部Ｂを載置箇所４の載置面４ａに設けられた係合凸部Ｐに適正に係合させることができる。すなわち、物品６の重心の幅方向Ｙの偏りに関わらず、物品６を載置箇所４に適切に載置することができる。
【0049】
２．その他の実施形態
次に、物品搬送車のその他の実施形態について説明する。
次に、物品搬送車のその他の実施形態について説明する。
【0050】
（１）上記の実施形態では、物品支持部５１と連結部３１との間に設けられた弾性支持機構３６を構成する弾性体３６ａを圧縮コイルばねとした構成を例として説明した。しかし、弾性体３６ａの構成は、これには限定されない。弾性支持機構３６における弾性体３６ａの配置を変更することにより、引っ張りコイルばね等の他の形式のばねを用いても良い。また、例えば、弾性を有する合成ゴムや合成樹脂等を用いても良い。
【0051】
（２）上記の実施形態では、物品支持部５１が一対の把持部５０を備えており、一対の把持部５０が走行方向Ｘに互いに離間して配置される構成を例として説明した。しかし、物品支持部５１の構成はこれには限定されない。例えば、一対の把持部５０が幅方向Ｙに互いに離間して配置されていても良い。このような構成は、物品６の重心位置に走行方向Ｘの偏りがある場合、及び、搬送中の物品６に幅方向Ｙの荷重が作用する場合に適している。また、例えば、物品支持部５１が、一対の把持部５０の代わりに、フランジ部９の挿入用空間１２に挿入されるフォークを備えていても良い。或いは、物品支持部５１が、一対の把持部５０の代わりに、物品６を載置面に載置して支持するための載置部を備えていても良い。これらの構成の場合、一体的に構成された物品支持部５１の全体が、弾性支持機構３６によって弾性支持されると共に、案内機構３７によって連結部３１に対する上下方向Ｚの平行移動を許容すると共に連結部３１に対する揺動（走行方向Ｘ及び幅方向Ｙの双方の揺動）を規制するように案内される。
【0052】
（３）上記の実施形態では、一対の直動案内機構３７ａが一対の弾性体３６ａよりも幅方向Ｙの外側に配置されている構成を例として説明した。しかし、このような構成に限定されることなく、例えば、一対の直動案内機構３７ａが一対の弾性体３６ａよりも幅方向Ｙの内側に配置されていても良い。
【0053】
（４）上記の実施形態では、一対の案内体３７ｂが連動固定部４２ａに固定され、一対の移動体３７ｃが被支持部５０ｂに固定される構成を例として説明した。しかし、このような構成に限定されることなく、例えば、一対の案内体３７ｂが被支持部５０ｂに固定され、一対の移動体３７ｃが連動固定部４２ａに固定されていても良い。
【0054】
（５）上記の実施形態では、案内機構３７を構成する直動案内機構３７ａの一例として、リニアガイドを用いる例について説明した。しかし、直動案内機構３７ａの構成はこれには限定されない。例えば、ボールスプライン、リニアブッシュ等、公知の各種の直動案内機構を用いることができる。
【0055】
（６）上記の実施形態では、図４に示すように、案内機構３７が、一対の把持部５０のそれぞれについて２つ、合計４つの直動案内機構３７ａを備える構成を例として説明した。
しかし、案内機構３７の構成はこれには限定されない。例えば、１つの把持部５０に対し３つ以上の直動案内機構３７ａを備えていても良い。また、１つの把持部５０に対し、１つの直動案内機構３７ａのみを備えても良い。また、物品支持部５１が一体的に構成されている場合には、当該一体的な物品支持部５１に対して、１つ或いは複数の直動案内機構３７ａが設けられていても良い。
しかし、案内機構３７の構成はこれには限定されない。例えば、１つの把持部５０に対し３つ以上の直動案内機構３７ａを備えていても良い。また、１つの把持部５０に対し、１つの直動案内機構３７ａのみを備えても良い。また、物品支持部５１が一体的に構成されている場合には、当該一体的な物品支持部５１に対して、１つ或いは複数の直動案内機構３７ａが設けられていても良い。
【0056】
（７）上記の実施形態では、物品６がフランジ部９と係合凹部Ｂとを備え、載置箇所４に係合凹部Ｂと係合する係合凸部Ｐが設けられた構成を例として説明した。しかし、このような構成に限定されることなく、例えば、物品６が係合凹部Ｂを備えず、載置箇所４に係合凸部Ｐが設けられていない構成であっても良い。そのような構成であっても、上記実施形態の構成により、物品６が載置箇所４の載置面４ａに対して傾いた姿勢で載置されることを規制することで、物品６を載置箇所４に適切に載置することができる。
【0057】
（８）なお、上述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。
【0058】
３．上記実施形態の概要
以下、上記において説明した物品搬送車の概要について説明する。
以下、上記において説明した物品搬送車の概要について説明する。
【0059】
物品搬送車は、走行経路に沿って走行する走行体と、物品を保持する保持装置と、前記走行体に搭載され前記保持装置を前記走行体に対して昇降させる昇降装置と、を備え、前記保持装置が、前記昇降装置に連結された連結部と、前記物品に接触して前記物品を支持する物品支持部と、を備えた物品搬送車であって、前記保持装置が、前記物品支持部と前記連結部との間に設けられて前記物品支持部を前記連結部に対して上下方向に弾性を有する状態で支持する弾性支持機構と、前記連結部に対する前記物品支持部の前記上下方向の移動を案内する案内機構と、を備え、前記案内機構が、前記連結部に対する前記物品支持部の前記上下方向の平行移動を許容すると共に、前記連結部に対する前記物品支持部の揺動を規制するように構成されている。
【0060】
本構成によれば、物品支持部と連結部との間に弾性支持機構が設けられているため、走行体が走行することによる走行体の振動や、昇降装置によって昇降することによる保持装置の振動等を弾性支持機構によって減衰させることができる。よって、物品に伝わる振動を少なく抑えることができる。
また、本構成によれば、案内機構が、連結部に対する物品支持部の揺動を規制するように構成されているため、物品支持部が連結部に対して傾くことを規制できる。そのため、例えば物品の重心に偏りがあること等によって物品支持部に対して偏った荷重が作用した場合であっても、物品支持部及び物品支持部に支持された物品が連結部に対して傾くことを規制することができる。従って、昇降装置によって保持装置を下降させて物品を載置箇所に載置する場合に、物品の姿勢が適正姿勢に対して傾くことで物品を適切に載置できない事態が生じることを回避することができる。一方、案内機構は、連結部に対する物品支持部の上下方向の平行移動を許容する。そのため、物品支持部及び物品支持部に支持された物品に作用する上下方向の振動を弾性支持機構によって緩和する効果が案内機構によって妨げられることはない。
このように本構成によれば、物品に伝わる振動を少なく抑えることができるようにしつつ、物品が適正な姿勢に対して傾くことを抑制して物品を載置箇所に適切に載置することができる。
また、本構成によれば、案内機構が、連結部に対する物品支持部の揺動を規制するように構成されているため、物品支持部が連結部に対して傾くことを規制できる。そのため、例えば物品の重心に偏りがあること等によって物品支持部に対して偏った荷重が作用した場合であっても、物品支持部及び物品支持部に支持された物品が連結部に対して傾くことを規制することができる。従って、昇降装置によって保持装置を下降させて物品を載置箇所に載置する場合に、物品の姿勢が適正姿勢に対して傾くことで物品を適切に載置できない事態が生じることを回避することができる。一方、案内機構は、連結部に対する物品支持部の上下方向の平行移動を許容する。そのため、物品支持部及び物品支持部に支持された物品に作用する上下方向の振動を弾性支持機構によって緩和する効果が案内機構によって妨げられることはない。
このように本構成によれば、物品に伝わる振動を少なく抑えることができるようにしつつ、物品が適正な姿勢に対して傾くことを抑制して物品を載置箇所に適切に載置することができる。
【0061】
ここで、前記物品支持部は、一対の把持部を備え、一対の前記把持部は、前記走行経路に沿う方向である走行方向に互いに離間して配置され、前記弾性支持機構は、一対の前記把持部が互いに独立して上下動するように一対の前記把持部を支持しており、前記案内機構は、一対の前記把持部のそれぞれについての前記連結部に対する前記上下方向の移動を案内するように構成されていると好適である。
【0062】
一般的に、物品搬送車によって搬送中の物品には、物品搬送車の加減速によって走行方向の荷重が作用することが多い。本構成によれば、一対の把持部が走行方向に互いに離間して配置され、それぞれ独立して上下動するように弾性支持機構に支持されているため、上記のような案内機構を備えた構成においても、物品の走行方向の揺動が許容される。従って、物品が走行方向に揺動する方向の振動を弾性支持機構によって緩和する効果が案内機構によって妨げられることはない。一方、本構成においても、上下方向視で前記走行方向に直交する方向を幅方向として、案内機構が、一対の把持部のそれぞれについて、連結部に対する上下方向の移動を案内するように構成され、連結部に対する一対の把持部のそれぞれの揺動を規制するように構成されている。そのため、例えば物品の重心に幅方向の偏りあること等によって物品支持部に対して幅方向に偏った荷重が作用した場合であっても、物品支持部が連結部に対して幅方向に傾くことを規制できる。従って、物品支持部に支持された物品が連結部に対して幅方向に傾くことを規制することができる。本構成は、物品の重心が幅方向に偏ることが多い場合に適している。
【0063】
また、前記上下方向に沿う上下方向視で前記走行方向に直交する方向を幅方向として、前記弾性支持機構は、一対の前記把持部のそれぞれについて、前記幅方向に離間して配置された一対の弾性体を備え、前記案内機構は、一対の前記把持部のそれぞれについて、前記幅方向に離間して配置された一対の直動案内機構を備え、一対の前記把持部のそれぞれにおいて、一対の前記直動案内機構が一対の前記弾性体よりも前記幅方向の外側に配置されていると好適である。
【0064】
本構成によれば、一対の直動案内機構が一対の弾性体より幅方向の内側に配置される場合よりも、直動案内機構に作用する荷重を小さくすることができる。従って、直動案内機構の大型化や高コスト化を回避し易くなる。
【0065】
また、前記案内機構は、水平面に沿う方向に互いに離間して複数個所に配置された直動案内機構を備え、前記直動案内機構のそれぞれは、前記連結部及び前記物品支持部の一方に固定された案内体と、前記連結部及び前記物品支持部の他方に固定されて前記案内体に沿って移動する移動体と、を備え、前記案内体は、前記上下方向に沿って前記移動体が移動するように配置されていると好適である。
【0066】
本構成によれば、直動案内機構が、水平面に沿う方向に互いに離間して複数個所に配置されているため、それぞれの直動案内機構に作用する荷重を比較的小さく抑え易い。また、複数個所に配置された直動案内機構により、物品支持部を安定的に支持し易い。
【0067】
また、前記物品は、上部に設けられたフランジ部と底部に設けられた係合凹部とを備えた容器であり、前記係合凹部は、前記昇降装置により下降されて載置箇所に載置される場合に、当該載置箇所に設けられた位置決め用の係合凸部に係合され、前記物品支持部は、一対の把持部により前記フランジ部を把持するように構成されていると好適である。
【0068】
本構成によれば、物品を載置箇所に載置する場合に、係合凹部が係合凸部に係合されるため、載置箇所の適切な位置に、容器を適切に載置することができる。また、物品支持部が、一対の把持部によりフランジ部を把持することで、物品を吊り下げた状態で適切に保持することができる。
【産業上の利用可能性】
【0069】
本開示に係る技術は、走行経路に沿って走行する物品搬送車に利用することができる。
【符号の説明】
【0070】
１ ：天井搬送車（物品搬送車）
６ ：物品
９ ：フランジ部
１１ ：底部
２３ ：保持装置
２４ ：昇降装置
３１ ：連結部
３２ ：物品支持部
５０ ：把持部
３６ ：弾性支持機構
３６ａ ：弾性体
３７ ：案内機構
３７ａ ：直動案内機構
Ｂ ：係合凹部
Ｐ ：係合凸部
Ｘ ：走行方向
Ｙ ：幅方向
Ｚ ：上下方向
６ ：物品
９ ：フランジ部
１１ ：底部
２３ ：保持装置
２４ ：昇降装置
３１ ：連結部
３２ ：物品支持部
５０ ：把持部
３６ ：弾性支持機構
３６ａ ：弾性体
３７ ：案内機構
３７ａ ：直動案内機構
Ｂ ：係合凹部
Ｐ ：係合凸部
Ｘ ：走行方向
Ｙ ：幅方向
Ｚ ：上下方向