特開2024-75360ウェーハ欠陥検出装置及びウェーハ欠陥検査システム

発明の名称　ウェーハ欠陥検出装置及びウェーハ欠陥検査システム

出願人　株式会社ナノシステムソリューションズ　（識別番号 504385524）

　　　　特許公開件数ランキング 11776 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 4065 位（3件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2024-75360

公報発行日　2024年6月3

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2024-75360

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特開-2024-75360「ウェーハ欠陥検出装置及びウェーハ欠陥検査システム」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録