特開 2024-76184 ウエハ体収納装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024076184

(43)【公開日】2024-06-05

(54)【発明の名称】ウエハ体収納装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20240529BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

【審査請求】有

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022187622

(22)【出願日】2022-11-24

(71)【出願人】

【識別番号】591009705

【氏名又は名称】株式会社 東京ウエルズ

(74)【代理人】

【識別番号】100120031

【弁理士】

【氏名又は名称】宮嶋 学

(74)【代理人】

【識別番号】100127465

【弁理士】

【氏名又は名称】堀田 幸裕

(74)【代理人】

【識別番号】100091982

【弁理士】

【氏名又は名称】永井 浩之

(72)【発明者】

【氏名】小島 智幸

(72)【発明者】

【氏名】吉沢 誠二

(72)【発明者】

【氏名】稲田 憲昭

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA04

5F131BA52

5F131BA54

5F131CA70

5F131DA13

5F131DA32

5F131DA42

5F131DA52

5F131DA62

5F131FA02

5F131FA19

5F131FA33

5F131GA03

5F131GA33

5F131GA43

5F131GA44

5F131GA64

(57)【要約】

【課題】ウエハ体ラック内にウエハ体を垂直方向に収納することができ、かつウエハ体ラック内でウエハ体を位置決めする。
【解決手段】鉛直方向に対して４５°傾いた受け体４２にウエハ体ラック５０を装着する。ウエハ体ラック５０の収納溝５１内に収納されたウエハ体１１Ａも鉛直方向に対して４５°傾く。収納溝５１内に位置決め部品４５を進入させ、収納溝５１内でウエハ体１１Ａを位置決めした後、受け体４２とウエハ体ラック５０を揺動させて、ウエハ体１１Ａを鉛直方向に向ける。
【選択図】図１９

【特許請求の範囲】

【請求項1】

シートと、前記シート上に設けられ、予め複数のチップ状ワークに分割されたウエハと、前記シートの外周を保持するシートリングとを有するウエハ体を収納するウエハ体収納装置において、
本体と、
前記本体に対して揺動自在に設けられた受け体と、
前記受け体内に装着されるとともに、前記ウエハ体を収納する複数の収納溝が多層に形成された収納溝を有するウエハ体ラックと、
前記受け体に設けられ、前記ウエハ体ラックの前記収納溝内に下方から進入して前記収納溝内の前記ウエハ体を位置決めする位置決め部品と、前記本体に対して前記受け体を揺動させる駆動部とを備え、
前記駆動部は、前記収納溝内の前記ウエハ体が鉛直方向に対して４０°～５０°傾斜する位置から鉛直方向を向くよう、前記受け体を揺動させる、ウエハ体収納装置。

【請求項2】

前記位置決め部品は、前記収納溝内の前記ウエハ体を前記収納溝の一方の壁面に押し付ける、請求項１記載のウエハ体収納装置。

【請求項3】

前記位置決め部品は、前記ウエハ体と直交する断面において、前記収納溝側先端にテーパ部が形成されている、請求項１記載のウエハ体収納装置。

【請求項4】

前記位置決め部品は、前記ウエハ体に直交する方向からみて、ウエハ体の中央部下端に設けられている、請求項３記載のウエハ体収納装置。

【請求項5】

前記本体に、所望の前記収納溝内の前記ウエハ体を上方へ持ち上げるプッシャーを設けた、請求項１記載のウエハ体収納装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示はシートと、シート上に設けられ予め複数のチップ状ワークに分割されたウエハと、ウエハの外周を保持するシートリングとを有するウエハ体を収納するウエハ体収納装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来より、このようなウエハ体収納装置としてはウエハ体を水平方向に向けて収納するウエハ体収納装置が知られている。ウエハ体収納装置から取り出されたウエハ体は移動テーブル上に鉛直方向を向くよう配置され、鉛直方向を向くウエハ体からチップ状ワークがピックアップ装置により一つずつ吸着されて排出される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００９－１５８９４８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながらウエハ体収納装置内にウエハ体を水平方向に向けて収納する場合、水平方向に配置されたウエハ体を水平方向に引き出すスペースが必要となる。また水平方向に引き出されたウエハ体をその後鉛直方向へ９０°方向転換する必要があり、この方向転換装置も大掛かりのものが求められる。

【0005】

他方、ウエハ体収納装置内で鉛直方向にウエハ体を収納することも考えられるが、ウエハ体収納装置内でウエハ体を鉛直方向に配置した場合、自重により水平方向に配置する場合に比べてウエハ体の位置決めがむずかしくなる。

【0006】

本開示はこのような点を考慮してなされたものであり、ウエハ体を鉛直方向に収納することができ、かつウエハ体の位置決めを確実に行うことができるウエハ体収納装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本開示は、シートと、前記シート上に設けられ、予め複数のチップ状ワークに分割されたウエハと、前記シートの外周を保持するシートリングとを有するウエハ体を収納するウエハ体収納装置において、本体と、前記本体に対して揺動自在に設けられた受け体と、前記受け体内に装着されるとともに、前記ウエハ体を収納する複数の収納溝が多層に形成された収納溝を有するウエハ体ラックと、前記受け体に設けられ、前記ウエハ体ラックの前記収納溝内に下方から進入して前記収納溝内の前記ウエハ体を位置決めする位置決め部品と、前記本体に対して前記受け体を揺動させる駆動部とを備え、前記駆動部は、前記収納溝内の前記ウエハ体が鉛直方向に対して４０°～５０°傾斜する位置から鉛直方向を向くよう、前記受け体を揺動させる、ウエハ体収納装置である。

【0008】

本開示は、前記位置決め部品は、前記収納溝内の前記ウエハ体を前記収納溝の一方の壁面に押し付ける、ウエハ体収納装置である。

【0009】

本開示は、前記位置決め部品は、前記ウエハ体と直交する断面において、前記収納溝側先端にテーパ部が形成されている、ウエハ体収納装置である。

【0010】

本開示は、前記位置決め部品は、前記ウエハ体に直交する方向からみて、ウエハ体の中央部下端に設けられている、ウエハ体収納装置である。

【0011】

本開示は、前記本体に、所望の前記収納溝内の前記ウエハ体を上方へ持ち上げるプッシャーを設けた、ウエハ体収納装置である。

【発明の効果】

【0012】

本開示によれば、ウエハ体ラック内にウエハ体を鉛直方向に収納することができ、かつウエハ体ラック内でウエハ体を精度良く位置決めすることができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】図１はチップ状ワークの搬送システムを示す平面図。

【図2】図２はウエハ体を作製する前処理工程を示す図。

【図3】図３はウエハ体を作製する前処理工程を示す図。

【図4】図４は受け体にウエハ体ラックを装着する状態を示す側面図。

【図5】図５は位置決め部品が収納溝内に進入した状態を示す側断面図。

【図6】図６は受け体にウエハ体ラックを装着する状態を示す拡大図。

【図7】図７は位置決め部品が収納溝内に進入した状態を示す拡大図。

【図8】図８は受け体が揺動してウエハ体が鉛直方向を向く状態を示す側面図。

【図9】図９はウエハ体ラックの収納溝内で位置決め部品により位置決めされるウエハ体を示す正面図。

【図10】図１０はウエハ体ラックの収納溝内のウエハ体がプッシャーにより持ち上げられる状態を示す正面図。

【図11】図１１はウエハ体ラックの収納溝内のウエハ体がプッシャーにより持ち上げられる状態を示す斜視図。

【図12】図１２はウエハ体を示す側面図。

【図13】図１３はチップ状ワークの搬送装置の押圧装置を示す概略図。

【図14】図１４は図１３の拡大図。

【図15】図１５はチップ状ワークの分離装置を示す概略図。

【図16】図１６はチップ状ワークの分離装置を示す背面図。

【図17】図１７はチップ状ワークの分離装置を示す概略斜視図。

【図18A】図１８Ａはチップ状ワークの分離装置の円筒体と支持テーブルの関係を示す図。

【図18B】図１８Ｂはチップ状ワークの分離装置の作用を示す図。

【図18C】図１８Ｃはチップ状ワークの分離装置の作用を示す図。

【図19】図１９は鉛直方向に対して４５°傾いたウエハ体ラックを示す概略図。

【図20】図２０は鉛直方向を向くウエハ体ラックを示す概略図。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下、図面を参照して本開示によるウエハ体収納装置の実施の形態について説明する。

【0015】

ここで図１乃至図２０は本開示によるウエハ体収納装置の実施の形態を示す図である。

【0016】

まず図１によりウエハ体収納装置４０が組み込まれたチップ状ワークの搬送システムについて説明する。

【0017】

ここでチップ状ワークの搬送システムで処理される対象となるのは、粘着テープ（シートともいう）１１と、粘着テープ１１上に設けられ予め複数のチップ状ワークＷに分割された半導体ウエハ（ウエハともいう）Ｗ１と、粘着テープ１１の外周を保持する保持リング（シートリングともいう）１５とを有するウエハ体１１Ａである（図２および図３参照）。

【0018】

ここで図２および図３はウエハ体１１Ａを作製するための前処理工程を示す図である。

【0019】

粘着テープ１１は上述のように複数のワークＷが配置され、ワークＷを保持するものであり、基材層１２と、基材層１２上に設けられ、ワークＷを接着して保持する紫外線硬化型接着層１３とを有している（図１３および図１４参照）。そして粘着テープ１１の基材層１２および紫外線硬化型接着層１３は、いずれも透明体からなり、基材層１２側から紫外線が照射されると、紫外線硬化型接着層１３が硬化し、その接着力が低下してワークＷを粘着テープ１１から剥離することができる。

【0020】

このような紫外線硬化型接着層１３としては、例えばアクリルのような材料を用いることができる。また基材層１２としては、例えばポリオレフィンのような材料を用いることができる。

【0021】

また粘着テープ１１上に配置された複数のチップ状ワークＷは、後述のように予め粘着テープ１１上に配置されて保持された半導体ウエハＷ１をダイシングブレード１により個々のチップ状に切断することにより得られる（図２および図３参照）。このとき、粘着テープ１１は、保持リング１５により固定される。

【0022】

そして、上述のように、粘着テープ１１と、粘着テープ１１上の複数のチップ状ワークＷと、粘着テープ１１の外周を保持する保持リング１５とによりウエハ体１１Ａが構成される（図１２参照）。

【0023】

このようなウエハ体１１Ａを処理するチップ状ワークの搬送システムは、図１に示すように、ウエハ体１１Ａを収納する本実施の形態によるウエハ体収納装置４０と、ウエハ体収納装置４０に隣接して設置されウエハ体１１Ａから個々のチップ状ワークＷを分離するチップ状ワークの分離装置１０と、チップ状ワークの分離装置１０で分離された個々のチップ状ワークＷを吸着するピックアップ装置２０と、ピックアップ装置２０により吸着された個々のチップ状ワークＷを吸着して搬送する回転テーブル６０とを備えている。

【0024】

図１はチップ状ワークの搬送システムを示す平面図である。このうち回転テーブル６０は水平面上に配置され、その外周に吸着ノズル６１を有している。そして後述するピックアップ装置２０により吸着された個々のチップ状ワークＷが回転テーブル６０の外周に設けられた吸着ノズル６１に受け渡される。そして回転テーブル６０の回転に伴って吸着ノズル６１により吸着されたチップ状ワークＷも回転し、その後チップ状ワークＷは回転テーブル６０から外方へ排出される。

【0025】

なお、本実施の形態において、ウエハ体収納装置４０、チップ状ワークの分離装置１０、ピックアップ装置２０および回転テーブル６０はいずれも制御部３５により駆動制御される。

【0026】

次にウエハ体収納装置４０について図４乃至図１２により説明する。

【0027】

図４乃至図１２に示すように、ウエハ体収納装置４０は本体４１と、本体４１に対して揺動自在に取り付けられた受け体４２と、受け体４２内に装着されるとともに、ウエハ体１１Ａを収納する多層に形成された複数の収納溝５１、例えば２５個の収納溝５１を有するウエハ体ラック５０とを備えている。またウエハ体ラック５０に形成された収納溝５１は所定のピッチで配置されている。

【0028】

受け体４２は本体４１に対して回動軸４３を介して揺動自在に取り付けられており、この回動軸４３は駆動機構４３Ａにより駆動される。そして回動軸４３を駆動する駆動機構４３Ａは制御部３５により駆動制御される（図９および図１０参照）。

【0029】

本実施の形態において、ウエハ体ラック５０の収納溝５１は、ウエハ体１１Ａの厚みＬ１に比べて３～４倍の大きさの厚さＬ２をもつ（図１９および図２０参照）。このためウエハ体ラック５０の収納溝５１内においてウエハ体１１Ａは厚み方向へ移動可能となっているが、後述する位置決め部品４５により収納溝５１内においてウエハ体１１Ａは厚み方向に位置決めされる。

【0030】

また、受け体４２は回動軸４３により揺動する。この場合、受け体４２および受け体４２に装着されたウエハ体ラック５０はウエハ体ラック５０の収納溝５１内に収納されたウエハ体１１Ａが鉛直方向に対して４０°～５０°、好ましくは４５°傾斜する位置から鉛直方向を向くよう揺動する。

【0031】

すなわち、ウエハ体ラック５０の収納溝５１内に収納されたウエハ体１１Ａは、本体４１の回動軸４３と平行に延び、このため、受け体４２およびウエハ体ラック５０が揺動して収納溝５１内のウエハ体１１Ａが鉛直方向に対して４５°傾斜した場合、ウエハ体ラック５０の収納溝５１内のウエハ体１１Ａは、収納溝５１の一方の壁面５１ａに当接する（図１９乃至図２０参照）。

【0032】

ここで図１９はウエハ体ラック５０の収納溝５１内のウエハ体１１Ａが鉛直方向に対して４５°傾斜する状態を示す図であり、図２０は受け体４２およびウエハ体ラック５０が回動軸４３を中心に揺動して収納溝５１内のウエハ体１１Ａが鉛直方向を向く状態を示す図である。

【0033】

図１９に示すように、収納溝５１内のウエハ体１１Ａが鉛直方向に対して４５°傾斜して、収納溝５１の一方の壁面５１ａに当接した際、受け体４２に設けられた位置決め部品４５が収納溝５１内に下方から進入して収納溝５１内のウエハ体１１Ａを収納溝５１の一方の壁面５１ａと位置決め部品４５との間で挟持する。このことにより収納溝５１内において、ウエハ体１１Ａは位置決めされる。

【0034】

次に図２０に示すように、受け体４２およびウエハ体ラック５０が回動軸４３を中心として揺動して収納溝５１内のウエハ体１１Ａが鉛直方向を向く。この間、収納溝５１内のウエハ体１１Ａは位置決め部品４５により位置決めされた状態を保つ。

【0035】

その後、本体４１に設けられたプッシャー４８により、ウエハ体ラック５０の所望の収納溝５１内に収納されたウエハ体１１Ａが上方へ持ち上げられる（図９および図１０参照）。

【0036】

その後、ウエハ体ラック５０の所望の収納溝５１から上方へ持ち上げられたウエハ体１１Ａは、その保持リング１５上部がハンドラ６５により把持されてチップ状ワークの分離装置１０まで搬送される。

【0037】

このように受け体４２およびウエハ体ラック５０が回動軸４３を中心に回動し、収納溝５１内のウエハ体１１Ａは鉛直方向に対して４５°傾く位置から鉛直方向へ向きを変える。この間、ウエハ体ラック５０の収納溝５１内のウエハ体１１Ａは位置決め部品４５により位置決めされている。

【0038】

このためウエハ体ラック５０の所望の収納溝５１内のウエハ体１１Ａをプッシャー４８に対して精度良く位置決めすることができ、ウエハ体１１Ａをプッシャー４８により確実に持ち上げることができる。その後、収納溝５１から持ち上げられたウエハ体１１Ａをハンドラ６５により確実に把持してチップ状ワークの分離装置１０まで搬送することができる。

【0039】

次に、受け体４２に設けられた位置決め部品４５および本体４１に設けられたプッシャー４８について更に述べる。

【0040】

上述のように受け体４２に設けられた位置決め部品４５は、ウエハ体ラック５０の各収納溝５１内に下方から進入自在となっている。そして各収納溝５１内に進入する位置決め部品４５は、ウエハ体１１Ａの厚み方向に延びる支持体４５Ｂにより支持されている（図４乃至図７および図１９乃至図２０参照）。

【0041】

また支持体４５Ｂには収納溝５１に対応して複数の位置決め部品４５が支持されており、位置決め部品４５はウエハ体ラック５０の収納溝５１と同数、例えば２５個、収納溝５１と同一ピッチで配置されている。

【0042】

本実施の形態において、各収納溝５１内に進入する位置決め部品４５と、各位置決め部品４５を支持する支持体４５Ｂとにより位置決め機構４５Ａが構成されている。

【0043】

また受け体４２には駆動機構４６が設けられている。そして位置決め部品４５を有する位置決め機構４５Ａは全体として受け体４２に設けられた駆動機構４６によりウエハ体ラック５０に向けて駆動され、このことにより位置決め機構４５Ａの位置決め部品４５はウエハ体ラック５０の収納溝５１内に進入可能となっている。

【0044】

また各収納溝５１内に進入する位置決め部品４５は、ウエハ体１１Ａと直交する断面において、収納溝５１側の先端にテーパ部４５ａが形成されている。

【0045】

このため各収納溝５１内に位置決め部品４５を進入する際、テーパ部４５ａによりウエハ体１１Ａを収納溝５１の一方の壁面５１ａにより確実に当接させることができる。

【0046】

なお、ウエハ体ラック５０の各収納溝５１内に進入する位置決め部品４５は、ウエハ体１１Ａに直交する方向からみて、ウエハ体１１Ａの中央部下端に設けられている（図１０参照）。

【0047】

また、図１０および図１１に示すように、プッシャー４８は本体４１に設けられ、ウエハ体ラック５０の収納溝５１内に収納されたウエハ体１１Ａの下端部の両側に２個設けられている。また本体４１に駆動機構４９が取り付けられており、各プッシャー４８は本体４１に設けられた駆動機構４９により駆動されて収納溝５１内に収納されたウエハ体１１Ａを下方から持ち上げるようになっている。またプッシャー４８の駆動機構４９はウエハ体ラック５０の各収納溝５１内に収納されたウエハ体１１Ａの厚み方向に延びる移動軸６２に沿って移動可能となっている。このため、移動軸６２に沿って駆動機構４９を移動させることにより、プッシャー４８により所望の収納溝５１内に収納されたウエハ体１１Ａを上方へ持ち上げることができる。

【0048】

次にチップ状ワークＷを個々のチップ状ワークＷに分離するチップ状ワークの分離装置１０と、チップ状ワークの分離装置１０により分離された個々のチップ状ワークＷを吸着するピックアップ装置２０と、ピックアップ装置２０により吸着された個々のチップ状ワークＷを吸着して搬送する回転テーブル６０の構成を説明する。

【0049】

図１３乃至図１７に示すように、チップ状ワークの分離装置１０は、支持テーブル本体３０Ａと、支持テーブル本体３０Ａに取り付けられるとともに、ウエハ体１１Ａを支持する支持テーブル３０と、ウエハ体１１Ａの粘着テープ１１上のチップ状ワークＷを押圧する押圧装置１７とを備えている。

【0050】

また支持テーブル３０は、図１７に示すようにそのピックアップ装置２０側端部に設けられた固定リング３１を有し、この固定リング３１の右側に、固定リング３１に対して左右方向へ移動する可動リング３２が設けられている。そして粘着テープ１１を保持する保持リング１５が固定リング３１と可動リング３２との間で挟持され、このようにして保持リング１５を介してウエハ体１１Ａを支持テーブル３０により保持することができる。

【0051】

本実施の形態において、支持テーブル３０は鉛直面上に配置され、支持テーブル３０の右側端部に設けられた固定リング３１と、固定リング３１の右側に設けられた可動リング３２との間で保持リング１５が挟持され、ウエハ体１１Ａは鉛直面上に保持される（図１７参照）。

【0052】

この場合、支持テーブル３０に保持されたウエハ体１１Ａの粘着テープ１１はそのピックアップ装置２０側が紫外線硬化型接着層１３となり、そのピックアップ装置２０と反対側が基材層１２となり、チップ状ワークＷは紫外線硬化型接着層１３に接着されている（図１３参照）。

【0053】

ところで、ウエハ体１１Ａを保持する支持テーブル３０は、支持テーブル本体３０Ａに移動自在に取り付けられている（図１７および図１８Ａ乃至図１８Ｃ参照）。すなわち、支持テーブル３０は、支持テーブル本体３０Ａに支持体７１を介して左右方向に移動自在に取り付けられている（図１７参照）。また、支持テーブル本体３０Ａには、ウエハ体１１Ａ側に延びるとともに、ウエハ体１１Ａの保持リング１５の内径より小さな外径をもつ円筒体７０が設けられている。

【0054】

通常時には、支持テーブル３０は、円筒体７０に対してピックアップ装置２０側へ離間しており、このため、円筒体７０は支持テーブル３０により支持されるウエハ体１１Ａに対して作用しない（図１８Ｂ参照）。次に支持テーブル本体３０Ａに取り付けられた支持テーブル３０を支持体７１とともに支持テーブル本体３０Ａ側へ移動させることにより、円筒体７０がウエハ体１１Ａの保持リング１５内に入り込む（図１８Ｃ参照）。このことにより、円筒体７０がウエハ体１１Ａの粘着テープ１１を半径方向外方へ向かって伸張させることができる。このように粘着テープ１１が半径方向外方へ向かって伸張することにより、粘着テープ１１上の複数のチップ状ワークＷは互いに離間した状態で粘着テープ１１上に配置されることになる。

【0055】

このため、粘着テープ１１上の特定のチップ状ワークＷ２のみを後述する押圧装置１７により、ピックアップ装置２０側へ押圧し、押圧されたチップ状ワークＷをピックアップ装置２０により吸着することができる。

【0056】

なお、支持テーブル本体３０Ａは、鉛直面上で回転方向および／または上下方向および左右方向に移動可能となっている。このため、支持テーブル本体３０Ａに取り付けられた支持テーブル３０も、鉛直面上で回転方向および／または上下および左右方向に移動可能となっている。

【0057】

また押圧装置１７は支持テーブル３０に保持されたウエハ体１１Ａのピックアップ装置２０と反対側に配置されている。この押圧装置１７はウエハ体１１Ａの粘着テープ１１を押圧するニードルピン１７ａと、ニードルピン１７ａを駆動するピン駆動シリンダ１７ｂとを有する。また、ピン駆動シリンダ１７ｂは駆動シリンダ保持体１８により保持されている。このような構成からなる押圧装置１７は鉛直面上で上下および左右方向に移動可能となっている。

【0058】

さらにまたピックアップ装置２０は、支持テーブル３０と回転テーブル６０との間に配置されている。ピックアップ装置２０は水平方向に延びる回転軸２５ａを中心として回動する回転体２５と、回転体２５の外周に取り付けられた８本の保持体２２と、各保持体２２に伸縮自在に設けられ、チップ状ワークＷを吸着して排出する吸着部２１とを有する（図１５参照）。

【0059】

本実施の形態において、ピックアップ装置２０は固定され、このピックアップ装置２０に対してウエハ体１１Ａを保持する支持テーブル３０が鉛直面上で回転方向および／または上下および左右方向に移動するようになっている。

【0060】

次にこのような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。

【0061】

まず、ウエハ体１１Ａの粘着テープ１１に対して予め紫外線照射装置（図示せず）により、紫外線が照射され、粘着テープ１１の紫外線硬化型接着層１３が硬化して、その接着力を低下させておく。次に、図２および図３に示すように、ウエハ体収納装置４０の受け体４２が本体４１に対して、鉛直方向に関し４０°～５０°の間の角度、例えば４５°だけ傾いている。次に鉛直方向に対して傾く受け体４２内にウエハ体１１Ａが収納されたウエハ体ラック５０が装着される（図４および図６参照）。

【0062】

この場合、ウエハ体ラック５０の収納溝５１内に収納されたウエハ体１１Ａも鉛直方向に関し、４５°傾いており、収納溝５１内のウエハ体１１Ａは収納溝５１の一方の壁面５１ａに当接した状態で配置される。この状態から受け体４２を回動軸４３を中心として揺動させ、鉛直方向に起こして、ウエハ体１１Ａを鉛直方向に向けると、収納溝５１内でウエハ体１１Ａが自由に厚み方向へ移動することも考えられる。

【0063】

本実施の形態においては、次に受け体４２に設けられた駆動機構４６により、位置決め部品４５を有する位置決め機構４５Ａを全体としてウエハ体ラック５０に向かって移動させる。このことき、位置決め機構４５Ａの位置決め部品４５がウエハ体ラック５０の収納溝５１内に進入する（図５および図７参照）。

【0064】

このように位置決め部品４５が収納溝５１内に下方から進入することにより、収納溝５１内のウエハ体１１Ａを収納溝５１の一方の壁面５１ａと位置決め部品４５との間で挟持することができる（図１９参照）。このようにしてウエハ体ラック５０の収納溝５１内において、ウエハ体１１Ａを確実に位置決めすることができる。

【0065】

この場合、位置決め部品４５の収納溝５１側の先端にテーパ部４５ａが形成されているため、収納溝５１内に位置決め部品４５をスムーズに進入させることができ、この位置決め部品４５により収納溝５１内のウエハ体１１Ａを一方の壁面５１ａ側へ確実に押し付けて位置決めすることができる。

【0066】

なお、上記実施の形態において、予め受け体４２が本体４１に対して鉛直方向に、例えば４５°だけ傾いていて、この４５°だけ傾いている受け体４２内にウエハ体１１Ａが収納されたウエハ体ラック５０を装着する例を示したが、これに限らず、鉛直方向近傍に待機する受け体４２内にウエハ体ラックを装着し、ウエハ体ラック５０が装着されたことを図示しない近接センサで検知しても良い。近接センサからの信号は制御部３５に送られ、その後、制御部３５により受け体４２が回動軸４３により揺動して、本体４１とウエハ体ラック５０を鉛直方向に関し、４５°だけ傾く位置までもっていってもよい。その後は、上述した実施の形態と同様に、ウエハ体ラック５０の収納溝５１内に位置決め部品４５が進入する。

【0067】

次に図８に示すように、受け体４２が回動軸４３により揺動して、本体４１とウエハ体ラック５０が鉛直方向を向き、同様に収納溝５１内のウエハ体１１Ａも鉛直方向を向く（図２０参照）。

【0068】

なお、本体４１に対して受け体４２を回動軸４３を中心として揺動させる際、回動軸４３は駆動機構４３Ａにより駆動される。

【0069】

この間、収納溝５１内のウエハ体１１Ａは位置決め部品４５により位置決めされた状態を保つ。

【0070】

その後、図９および図１０に示すように、本体に設けられたプッシャー４８が駆動機構４９により駆動され、ウエハ体ラック５０の所望の収納溝５１内に収納されたウエハ体１１Ａが上方へ持ち上げられる。

【0071】

その後、ウエハ体ラック５０の所望の収納溝５１から上方へ持ち上げられたウエハ体１１Ａは、その保持リング１５上部がハンドラ６５により把持されて、チップ状ワークの分離装置１０まで搬送される。

【0072】

この場合、ウエハ体ラック５０の収納溝５１内のウエハ体１１Ａは鉛直方向の姿勢をとりながら、上方へ持ち上げられ、ウエハ体１１Ａは鉛直方向の姿勢を保ちながら、ハンドラ６５によりその保持リング１５上部が把持される。次にハンドラ６５により保持リング１５上部が把持されたウエハ体１１Ａは鉛直方向の姿勢を保ちながらチップ状ワークの分離装置１０の支持テーブル３０上方へ達する。次に鉛直方向の姿勢をもつウエハ体１１Ａはハンドラ６５により下方へ移動して、支持テーブル本体３０Ａに取り付けられた支持テーブル３０へ受け渡される。

【0073】

次に支持テーブル３０に受け渡されたウエハ体１１Ａに対する処理作用について述べる。

【0074】

まず図１３乃至図１７に示すように、個々のチップ状ワークＷを保持した粘着テープ１１を有するウエハ体１１Ａが、その外周に設けられた保持リング１５を介して支持テーブル３０に支持される。

【0075】

この場合、ウエハ体１１Ａの保持リング１５が支持テーブル３０の固定リング３１と可動リング３２との間に挿入され、次に可動リング３２を固定リング３１側へ駆動体により移動する。このようにしてウエハ体１１Ａの保持リング１５を固定リング３１と可動リング３２との間で挟持して、ウエハ体１１Ａを支持テーブル３０により保持することができる。

【0076】

次に粘着テープ１１上に設けられた押圧装置１７が鉛直面上で、回転方向および／または上下および左右方向に移動して、ピックアップ装置２０に対向する位置に位置決めされる。

【0077】

次に制御部３５により、支持テーブル３０を支持する支持テーブル本体３０Ａが、鉛直面上で回転方向および／または上下および左右方向に移動して、支持テーブル３０に保持された複数のチップ状ワークＷのうち、ピックアップ装置２０により吸着して排出するワーク（対象ワーク）Ｗ２をピックアップ装置２０の直近までもってくる。

【0078】

このとき、、支持テーブル３０は、円筒体７０に対してピックアップ装置２０側へ離間しており、このため、円筒体７０は支持テーブル３０により支持されるウエハ体１１Ａに対して作用しない（図１８Ｂ参照）。次に支持テーブル本体３０Ａに取り付けられた支持テーブル３０を支持体７１とともに支持テーブル本体３０Ａ側へ移動させることにより、円筒体７０がウエハ体１１Ａの保持リング１５内に入り込む（図１８Ｃ参照）。このことにより、円筒体７０がウエハ体１１Ａの粘着テープ１１を半径方向外方へ向かって伸張させることができる。このように粘着テープ１１が半径方向外方へ向かって伸張することにより、粘着テープ１１上の複数のチップ状ワークＷは互いに離間した状態で粘着テープ１１上に配置される。

【0079】

次に押圧装置１７のニードルピン１７ａがピン駆動シリンダ１７ｂにより駆動され、このニードルピン１７ａにより、ピックアップ装置２０の直近にきた対象ワークＷ２のみを押圧する。このことにより対象ワークＷ２が粘着テープ１１から剥離され、ピックアップ装置２０側へ押し出される。

【0080】

このようにニードルピン１７ａにより対象ワークＷ２をピックアップ装置２０側へ押し出した後、ピックアップ装置２０の吸着部２１の吸着作用により対象ワークＷ２を吸着して粘着テープ１１から剥離して取り出す。

【0081】

その後、ピックアップ装置２０の吸着部２１により粘着テープ１１から剥離して取り出された対象ワークＷ２は、回転体２５の回転に伴って、９０°回転して、ピックアップ装置２０のウエハ体１１Ａ側の位置から上方位置まで搬送される。ピックアップ装置２０の上方位置まで対象ワークＷ２が達すると、ピックアップ装置２０の吸着部２１の吸着作用が停止する。

【0082】

このときピックアップ装置２０の吸着部２１から対象ワークＷ２が回転テーブル６０の外周に設けられた吸着ノズル６１に受け渡され、回転テーブル６０の吸着ノズル６１に吸着された対象ワークＷ２は、回転テーブル６０の回転に伴って、回転テーブル６０とともに回転移動して、その後外方へ排出される。

【0083】

このような作用を繰り返すことにより粘着テープ１１上のチップ状ワークＷを順次、粘着テープ１１から分離して、ピックアップ装置２０を介して回転テーブル６０へ送ることができる。

【0084】

その後、後工程においてチップ状ワークに対して検査工程が行われる。

【0085】

またピックアップ装置２０の吸着部２１により対象ワークＷ２を吸着する間、ピックアップ装置２０の回転体２５に接続された吸着力測定装置２８により、対象ワークＷ２を吸着する吸着時の吸着部２１の吸着力を測定してもよい。吸着力測定装置２８により測定された吸着時の吸着部２１の吸着力は制御部３５へ送られる。

【0086】

制御部３５は吸着力測定装置２８により測定された吸着時の吸着力に基づいて、紫外線硬化型接着層１３の接着力低下の程度を判断する。そして吸着力測定装置により測定された吸着力低下の程度に基づいて、制御部３５はピン駆動シリンダ１７ｂを制御して、ピン駆動シリンダ１７ｂによるニードルピン１７ａの押圧力を調整することができる。

【0087】

以上のように、本実施の形態によれば、ウエハ体収納装置４０の受け体４２を本体４１に対して鉛直方向に関し、例えば４５°だけ傾ける。この状態で受け体４２内にウエハ体１１Ａが収納されたウエハ体ラック５０を装着する。この場合、ウエハ体ラック５０の収納溝５１内に収納されたウエハ体１１Ａも鉛直方向に関し４５°だけ傾いており、収納溝５１内のウエハ体１１Ａを収納溝５１の一方の壁面５１ａに当接させることができる。次に位置決め部品４５をウエハ体ラック５０の収納溝５１内に進入させることにより、収納溝５１内のウエハ体１１Ａを収納溝５１の一方の壁面５１ａと位置決め部品４５との間で挟持して位置決めすることができる（図１９参照）。

【0088】

その後、受け体４２およびウエハ体ラック５０を回動軸４３を中心として揺動して収納溝５１内のウエハ体１１Ａが鉛直方向を向く。次にウエハ体ラック５０の所望の収納溝５１内に収納されたウエハ体１１Ａをプッシャー４８により上方へ持ち上げ、このウエハ体１１Ａをハンドラ６５によりチップ状ワークの分離装置１０まで搬送することができる（図２０参照）。

【0089】

この間、収納溝５１内のウエハ体１１Ａは位置決め部品４５により収納溝５１の所定位置、すなわち収納溝５１の一方の壁面５１ａに当接する位置において位置決めされる。このため、収納溝５１内のウエハ体１１Ａをプッシャー４８に対して精度良く位置決めし、その後、ウエハ体１１Ａをプッシャー４８により確実に持ち上げることができる。またプッシャー４８により持ち上げられたウエハ体１１Ａの保持リング１５上部をハンドラ６５により確実に把持してチップ状ワークの分離装置まで搬送することができる。

【0090】

またウエハ体１１Ａを収納したウエハ体ラック５０を鉛直方向に関し４５°だけ傾斜した受け体４２内に装着し、受け体４２を鉛直方向まで揺動させた後、ウエハ体ラック５０から鉛直方向を向くウエハ体１１Ａの保持リング１５上部を上方へ取り出してハンドラ６５によりチップ状ワークの分離装置１０まで鉛直方向の姿勢を保ちながら搬送している。このため例えばウエハ体ラック内でウエハ体を水平方向に向けて収納し、ウエハ体ラックからウエハ体を水平方向へ引き出し、その後ウエハ体を鉛直方向へ向きを変えた後チップ状ワークの分離装置まで搬送する場合に比べて、ウエハ体ラック内に水平方向に収納されたウエハ体を水平方向に引き出す機構および配置エリアを設ける必要がないため、全体の設置面積を小さくすることができ、かつ装置全体の構成を簡略化することができる。とりわけ、本実施の形態において使用されるウエハ体は、例えば１６５ｍｍ程度の直径をもっている。そしてこのような大型のウエハ体をウエハ体ラック内に水平方向に収納しておき、水平方向に収納されたウエハ体を水平方向へ引き出した後、ウエハ体を水平方向から鉛直方向へ方向転換する場合、大掛かりな構造および設置面積が必要となる。

【0091】

これに対して本実施の形態によれば、ウエハ体ラック５０内に鉛直方向に配置されたウエハ体１１Ａを、この鉛直方向の姿勢を保ったまま、ハンドラ６５によりチップ状ワークの分離装置１０まで搬送するため、全体の構造を簡略化することができ、かつ全体の設置面積を抑えることができる。

【符号の説明】

【0092】

１ ダイシングブレード
１０ チップ状ワークの分離装置
１１ 粘着テープ
１１Ａ ウエハ体
１２ 基材層
１３ 紫外線硬化型接着層
１５ 保持リング
１７ 押圧装置
１７ａ ニードルピン
１７ｂ ピン駆動シリンダ
１８ 駆動シリンダ保持体
２０ ピックアップ装置
２１ 吸着部
２２ 保持体
２５ 回転体
２８ 吸着力測定装置
３０ 支持テーブル
３０Ａ 支持テーブル本体
３１ 固定リング
３２ 可動リング
３５ 制御部
４０ ウエハ体収納装置
４１ 本体
４２ 受け体
４３ 回動軸
４３Ａ 駆動機構
４５ 位置決め部品
４５ａ テーパ部
４５Ａ 位置決め機構
４６ 駆動機構
４８ プッシャー
４９ 駆動機構
５０ ウエハ体ラック
５１ 収納溝
５１ａ 一方の壁面
６０ 回転テーブル
６１ 吸着ノズル
７０ 円筒体
７１ 支持体
Ｗ ワーク
Ｗ１ 半導体ウエハ
Ｗ２ 対象ワーク

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18A】

【図18B】

【図18C】

【図19】

【図20】