特開2024-76184ウエハ体収納装置

発明の名称　ウエハ体収納装置

出願人　株式会社　東京ウエルズ　（識別番号 591009705）

　　　　特許公開件数ランキング 1019 位（22件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 920 位（22件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2024-76184

公報発行日　2024年6月5

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2024-76184

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