特開 2024-76441 水晶ウエハ、圧電振動片、圧電振動子、及び圧電振動片の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024076441

(43)【公開日】2024-06-06

(54)【発明の名称】水晶ウエハ、圧電振動片、圧電振動子、及び圧電振動片の製造方法

(51)【国際特許分類】

   H03H 9/19 20060101AFI20240530BHJP

   H03H 9/215 20060101ALI20240530BHJP

   H03H 3/02 20060101ALI20240530BHJP

【ＦＩ】

H03H9/19 J

H03H9/215

H03H3/02 C

【審査請求】未請求

【請求項の数】12

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022187947

(22)【出願日】2022-11-25

(71)【出願人】

【識別番号】713005174

【氏名又は名称】エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100142837

【弁理士】

【氏名又は名称】内野 則彰

(74)【代理人】

【識別番号】100166305

【弁理士】

【氏名又は名称】谷川 徹

(72)【発明者】

【氏名】百瀬 友博

(72)【発明者】

【氏名】小林 高志

【テーマコード（参考）】

5J108

【Ｆターム（参考）】

5J108BB02

5J108CC06

5J108DD05

5J108KK01

5J108KK03

5J108MM08

5J108MM11

(57)【要約】

【課題】水晶ウエハから振動片を折り取る際の飛散を抑制する。
【解決手段】水晶ウエハ１００は、長さ方向Ｌに延びる一対の振動腕部２１，２２を有する圧電振動片３と、圧電振動片３を複数の連結部６０を介して支持するフレーム部５０と、を備え、複数の連結部６０は、長さ方向Ｌと交差する方向に延びている。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

長手方向に延びる一対の振動腕部を有する圧電振動片と、
前記圧電振動片を複数の連結部を介して支持するフレーム部と、を備え、
前記複数の連結部は、前記長手方向と交差する方向に延びている、
水晶ウエハ。

【請求項2】

前記複数の連結部は、前記圧電振動片の短手方向において、前記圧電振動片を挟んで配置された第１連結部及び第２連結部を備える、
請求項１に記載の水晶ウエハ。

【請求項3】

前記第１連結部及び前記第２連結部は、前記長手方向において同じ位置で、前記圧電振動片に連結されている、
請求項２に記載の水晶ウエハ。

【請求項4】

前記第１連結部及び前記第２連結部は、前記長手方向において異なる位置で、前記圧電振動片に連結されている、
請求項２に記載の水晶ウエハ。

【請求項5】

前記第１連結部及び前記第２連結部は、前記圧電振動片の前記短手方向を向く両側面に連結されている、
請求項２に記載の水晶ウエハ。

【請求項6】

前記圧電振動片は、前記一対の振動腕部を前記短手方向の外側から取り囲む、平面視Ｌ字状の一対の支持腕部を有し、
前記第１連結部は、前記一対の支持腕部の一方の角部に連結され、
前記第２連結部は、前記一対の支持腕部の他方の角部に連結されている、
請求項２に記載の水晶ウエハ。

【請求項7】

前記圧電振動片に形成された励振電極と、
前記励振電極から、前記複数の連結部を通って前記フレーム部まで延伸する複数の延伸電極と、を備える、
請求項１～６のいずれか一項に記載の水晶ウエハ。

【請求項8】

前記複数の連結部は、切り欠きが形成された弱化部を有する、
請求項１～６のいずれか一項に記載の水晶ウエハ。

【請求項9】

前記複数の連結部は、前記圧電振動片側よりも前記フレーム部側の方が、幅が広い、
請求項１～６のいずれか一項に記載の水晶ウエハ。

【請求項10】

長手方向に延びる一対の振動腕部を有し、
前記長手方向と交差する方向を向く側面に、複数の折り取り痕が形成されている、
圧電振動片。

【請求項11】

請求項１０に記載の圧電振動片と、
前記圧電振動片を封止したパッケージと、を備える、
圧電振動子。

【請求項12】

長手方向に延びる一対の振動腕部を有する圧電振動片と、前記圧電振動片を複数の連結部を介して支持するフレーム部と、を備える水晶ウエハから、前記圧電振動片を折り取る工程を含む、圧電振動片の製造方法であって、
前記複数の連結部は、前記長手方向と交差する方向に延びており、
前記複数の連結部を支点に、前記圧電振動片を前記水晶ウエハの厚み方向に回動させ、前記複数の連結部を破断させる、
圧電振動片の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、水晶ウエハ、圧電振動片、圧電振動子、及び圧電振動片の製造方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

下記特許文献１には、多数の水晶振動子と、これら振動子をウエハに連結する連結部と、各連結部近傍及び又は連結部自体に設けられ幅が狭く水晶のＺ′軸に沿っている切り欠き部とが、フォトリソ技術及びウエットエッチング技術により一体形成されている水晶ウエハから、前記切り欠き部を起点として各水晶振動子を折り取る工程を含む、水晶振動子の製造方法が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１６－３２１９７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記従来技術では、水晶ウエハに対して水晶振動子が、水晶振動子の一対の振動腕部が延びる長手方向において、一箇所で連結されている。この水晶振動子を折り取る際には、水晶振動子に対し水晶ウエハの厚み方向に曲げるように力を加えるが、このとき連結部に対して引張・圧縮応力が加わる。この状態で連結部が破断すると、水晶振動子が飛散してしまい、下方に配置した受けに水晶振動子が入らないことがあった。特に、小型の水晶振動子は、質量が小さいため、折り取りの際に飛散し易く、歩留まりの低下を招く一因となっていた。

【0005】

本開示は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、水晶ウエハから振動片を折り取る際の飛散を抑制することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

（１）本開示の一態様に係る水晶ウエハは、長手方向に延びる一対の振動腕部を有する圧電振動片と、前記圧電振動片を複数の連結部を介して支持するフレーム部と、を備え、前記複数の連結部は、前記長手方向と交差する方向に延びている。

【0007】

本態様に係る水晶ウエハによれば、圧電振動片とフレーム部とが複数の連結部で連結されており、複数の連結部が圧電振動片の長手方向と交差する方向に延びているため、圧電振動片に対し水晶ウエハの厚み方向に曲げるように力を加えると、複数の連結部に対してねじりモーメントを作用させて、複数の連結部を破断させる（ねじ切る）ことができる。これにより、折り取った圧電振動片を飛散させずに鉛直方向に落下させ易くなり、下方に配置した受けへの収納率が高まり、歩留まりが向上する。

【0008】

（２）（１）の態様の水晶ウエハにおいて、前記複数の連結部は、前記圧電振動片の短手方向において、前記圧電振動片を挟んで配置された第１連結部及び第２連結部を備えてもよい。

【0009】

この場合には、第１連結部及び第２連結部が、圧電振動片を折り取る際の回動軸となり、圧電振動片をねじ切り易くなる。

【0010】

（３）（２）の態様の水晶ウエハにおいて、前記第１連結部及び前記第２連結部は、前記長手方向において同じ位置で、前記圧電振動片に連結されてもよい。

【0011】

この場合には、第１連結部と第２連結部が同一直線上になるときにねじりモーメントによる折りとりの力が最大限発揮されるため、圧電振動片を鉛直方向へ最も効果的に折り取ることができ、圧電振動片を折り取る際に、圧電振動片がフレーム部と衝突または接触し難くなる。

【0012】

（４）（２）の態様の水晶ウエハにおいて、前記第１連結部及び前記第２連結部は、前記長手方向において異なる位置で、前記圧電振動片に連結されてもよい。

【0013】

この場合には、水晶ウエハのエッチング残りを加味し、第１連結部及び第２連結部の長手方向の位置をずらすことで、圧電振動片の折り取り時にかかるねじりモーメントを最適化でき、エッチング残りによる影響を抑制することができる。

【0014】

（５）（２）から（４）のいずれかの態様の水晶ウエハにおいて、前記第１連結部及び前記第２連結部は、前記圧電振動片の前記短手方向を向く両側面に連結されてもよい。

【0015】

この場合には、第１連結部及び第２連結部を圧電振動片の短手方向を向く両側面に接続することで、圧電振動片の折り取り時の力が、圧電振動片に対して下向きの力となり、受けへの収納率が向上するため、歩留まりが向上する。

【0016】

（６）（２）から（４）のいずれかの態様の水晶ウエハにおいて、前記圧電振動片は、前記一対の振動腕部を前記短手方向の外側から取り囲む、平面視Ｌ字状の一対の支持腕部を有し、前記第１連結部は、前記一対の支持腕部の一方の角部に連結され、前記第２連結部は、前記一対の支持腕部の他方の角部に連結されていてもよい。

【0017】

この場合には、圧電振動片の短手方向両側にフレーム部を延ばす必要がなくなるため、圧電振動片を密に配置でき、一つの水晶ウエハからより多くの圧電振動片を製造することができる。

【0018】

（７）（１）から（６）のいずれかの態様の水晶ウエハにおいて、前記圧電振動片に形成された励振電極と、前記励振電極から、前記複数の連結部を通って前記フレーム部まで延伸する複数の延伸電極と、を備えてもよい。

【0019】

この場合には、水晶ウエハから圧電振動片に電極を引き回しする際に、複数の連結部を通る複数のルートで電極を引き回しできるため、水晶ウエハから圧電振動片への電極引き回し構造の自由度が高くなる。

【0020】

（８）（１）から（７）のいずれかの態様の水晶ウエハにおいて、前記複数の連結部は、切り欠きが形成された弱化部を有してもよい。

【0021】

この場合には、弱化部を起点に連結部を破断し易くなる。

【0022】

（９）（１）から（８）のいずれかの態様の水晶ウエハにおいて、前記複数の連結部は、前記圧電振動片側よりも前記フレーム部側の方が、幅が広くてもよい。

【0023】

この場合には、連結部がフレーム部側で折れ難くなり、圧電振動片の折り取り時に、連結部が圧電振動片側に残ること抑制することができる。

【0024】

（１０）本開示の一態様に係る圧電振動片は、長手方向に延びる一対の振動腕部を有し、前記長手方向と交差する方向を向く側面に、複数の折り取り痕が形成されている。

【0025】

本態様に係る圧電振動片によれば、歩留まりの高い品質のよい圧電振動片が得られる。

【0026】

（１１）本開示の一態様に係る圧電振動子は、（１１）の態様の圧電振動片と、前記圧電振動片を封止したパッケージと、を備える。

【0027】

本態様に係る圧電振動子によれば、歩留まりの高い品質のよい圧電振動子が得られる。

【0028】

（１２）本開示の一態様に係る圧電振動片の製造方法は、長手方向に延びる一対の振動腕部を有する圧電振動片と、前記圧電振動片を複数の連結部を介して支持するフレーム部と、を備える水晶ウエハから、前記圧電振動片を折り取る工程を含む、圧電振動片の製造方法であって、前記複数の連結部は、前記長手方向と交差する方向に延びており、前記複数の連結部を支点に、前記圧電振動片を前記水晶ウエハの厚み方向に回動させ、前記複数の連結部を破断させる。

【0029】

本態様に係る圧電振動片の製造方法によれば、歩留まりの高い品質のよい圧電振動片を製造できる。

【発明の効果】

【0030】

上記本開示の一態様によれば、水晶ウエハから振動片を折り取る際の飛散を抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0031】

【図1】第１実施形態に係る圧電振動子の分解斜視図である。

【図2】第１実施形態に係る圧電振動片の製造方法を示すフローチャートである。

【図3】第１実施形態に係る水晶ウエハの平面図である。

【図4】第１実施形態に係る水晶ウエハの平面図である。

【図5】第１実施形態に係る圧電振動片の製造方法の個片化工程の様子を示す平面図である。

【図6】第２実施形態に係る水晶ウエハの平面図である。

【図7】第３実施形態に係る水晶ウエハの平面図である。

【図8】第４実施形態に係る水晶ウエハの平面図である。

【図9】第５実施形態に係る水晶ウエハの平面図である。

【図10】第６実施形態に係る水晶ウエハの平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0032】

［第１実施形態］
以下、本開示に係る第１実施形態について図面を参照して説明する。

【0033】

（圧電振動子）
図１は、第１実施形態に係る圧電振動子１の分解斜視図である。
図１に示す圧電振動子１は、内部に気密封止されたキャビティ４を有するパッケージ２と、キャビティ４内に収容された音叉型の圧電振動片３と、を備えたセラミックパッケージタイプの表面実装型振動子とされている。

【0034】

なお、圧電振動子１は、概略直方体状に形成されており、本実施形態では平面視において圧電振動子１（圧電振動片３）の長手方向を長さ方向Ｌといい、短手方向を幅方向Ｗといい、これら長さ方向Ｌ及び幅方向Ｗに対して直交する方向を厚み方向Ｔという。

【0035】

パッケージ２は、パッケージ本体１０と、このパッケージ本体１０に対して接合されると共に、パッケージ本体１０との間にキャビティ４を形成する封口板１１と、を備えている。

【0036】

パッケージ本体１０は、互いに重ね合わされた状態で接合された第１ベース基板１２及び第２ベース基板１３と、第２ベース基板１３上に接合されたシールリング１４と、を備えている。
第１ベース基板１２は、平面視略長方形状に形成されたセラミックス製の基板とされている。第２ベース基板１３は、第１ベース基板１２と同じ外形形状である平面視略長方形状に形成されたセラミックス製の基板とされており、第１ベース基板１２上に重ねられた状態で焼結等の方法によって一体的に接合されている。

【0037】

第１ベース基板１２及び第２ベース基板１３の四隅には、平面視１／４円弧状の切欠部１５が、厚み方向Ｔの全体に亘って形成されている。これら第１ベース基板１２及び第２ベース基板１３は、例えばウエハ状のセラミック基板を２枚重ねて接合した後、両セラミック基板を貫通する複数のスルーホールを行列状に形成し、その後、各スルーホールを基準としながら両セラミック基板を格子状に切断することで作製される。その際、スルーホールが４分割されることで、切欠部１５となる。
また、第２ベース基板１３の上面は、圧電振動片３がマウントされる実装面１３ａとされている。

【0038】

なお、第１ベース基板１２及び第２ベース基板１３はセラミックス製としたが、その具体的なセラミックス材料としては、例えばアルミナ製のＨＴＣＣ（Ｈｉｇｈ Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｃｏ－Ｆｉｒｅｄ Ｃｅｒａｍｉｃ）や、ガラスセラミックス製のＬＴＣＣ（Ｌｏｗ Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｃｏ－Ｆｉｒｅｄ Ｃｅｒａｍｉｃ）等が挙げられる。

【0039】

シールリング１４は、第１ベース基板１２及び第２ベース基板１３の外形よりも一回り小さい導電性の枠状部材であり、第２ベース基板１３の実装面１３ａに接合されている。具体的には、シールリング１４は、銀ロウ等のロウ材や半田材等による焼付けによって実装面１３ａ上に接合、或いは、実装面１３ａ上に形成（例えば、電解メッキや無電解メッキの他、蒸着やスパッタ等により）された金属接合層に対する溶着等によって接合されている。

【0040】

なお、シールリング１４の材料としては、例えばニッケル基合金等が挙げられ、具体的にはコバール、エリンバー、インバー、４２－アロイ等から選択すれば良い。特に、シールリング１４の材料としては、セラミック製とされている第１ベース基板１２及び第２ベース基板１３に対して熱膨張係数が近いものを選択することが好ましい。例えば、第１ベース基板１２及び第２ベース基板１３として、熱膨張係数６．８×１０－６／℃のアルミナを用いる場合には、シールリング１４としては、熱膨張係数５．２×１０－６／℃のコバールや、熱膨張係数４．５～６．５×１０－６／℃の４２－アロイを用いることが好ましい。

【0041】

封口板１１は、シールリング１４上に重ねられた導電性基板であり、シールリング１４に対する接合によってパッケージ本体１０に対して気密に接合されている。そして、この封口板１１とシールリング１４と第２ベース基板１３の実装面１３ａとで画成された空間が、気密に封止されたキャビティ４として機能する。

【0042】

なお、封口板１１の溶接方法としては、例えばローラ電極を接触させることによるシーム溶接や、レーザー溶接、超音波溶接等が挙げられる。また、封口板１１とシールリング１４との溶接をより確実なものとするため、互いになじみの良いニッケルや金等の接合層を、少なくとも封口板１１の下面と、シールリング１４の上面とにそれぞれ形成することが好ましい。

【0043】

第２ベース基板１３の実装面１３ａには、圧電振動片３との接続電極である一対の電極パッド１６ａ，１６ｂが幅方向Ｗに間隔をあけて形成されている。第１ベース基板１２の下面には、一対の外部電極１７ａ，１７ｂが長さ方向Ｌに間隔をあけて形成されている。これら電極パッド１６ａ，１６ｂ及び外部電極１７ａ，１７ｂは、例えば蒸着やスパッタ等で形成された単一金属による単層膜、又は異なる金属が積層された積層膜であり、互いにそれぞれ導通している。

【0044】

すなわち、第１ベース基板１２及び第２ベース基板１３には、一方の電極パッド１６ａと一方の外部電極１７ａとを導通させる図示しない導通電極が形成されている。また、第１ベース基板１２及び第２ベース基板１３には、他方の電極パッド１６ｂと他方の外部電極１７ｂとを導通させる図示しない導通電極が形成されている。これら導通電極は、第１ベース基板１２及び第２ベース基板１３において厚み方向Ｔに延在し、第１ベース基板１２及び第２ベース基板１３の間において平面方向（長さ方向Ｌ、幅方向Ｗを含む方向）に延在している。

【0045】

第２ベース基板１３の実装面１３ａには、圧電振動片３に対向する部分に、落下等による衝撃の影響によって一対の振動腕部２１，２２等が厚み方向Ｔに変位（撓み変形）した際に、圧電振動片３との接触を回避する凹部１９が形成されている。この凹部１９は、第２ベース基板１３を貫通する貫通孔とされているとともに、シールリング１４の内側において四隅が丸み帯びた平面視正方形状に形成されている。一対の電極パッド１６ａ，１６ｂは、凹部１９の幅方向Ｗの両側面から幅方向Ｗの内側に突出した一対の突部１３ｂ上に形成されている。

【0046】

そして、圧電振動片３は、図示しない金属バンプや導電性接着剤等を介して、基部２０に形成された一対の支持腕部２３，２４の一対のマウント電極が、一対の電極パッド１６ａ，１６ｂに接触するようにマウントされる。これにより、圧電振動片３は、第２ベース基板１３の実装面１３ａ上から浮いた状態で支持されると共に、一対の電極パッド１６ａ，１６ｂにそれぞれ電気的に接続された状態とされている。

【0047】

（圧電振動片）
圧電振動片３は、水晶、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウム等の圧電材料から形成された音叉型の振動片であり、所定の電圧が印加されたときに振動する。
圧電振動片３は、基部２０と、一対の振動腕部２１，２２と、を備えている。

【0048】

一対の振動腕部２１，２２は、基部２０から長さ方向Ｌに沿って互いに平行に延在している。一対の振動腕部２１，２２は、延在方向における先端側が、基端側（基部２０側）を固定端として振動する自由端とされている。一対の振動腕部２１，２２は、先端側の幅寸法が基端側に比べて拡大されたハンマーヘッドタイプである。

【0049】

一対の振動腕部２１，２２をハンマーヘッドタイプにした場合は、振動腕部２１，２２の先端側の重量および振動時の慣性モーメントを増大させることができ、それにより、振動腕部２１，２２を振動し易くすることができる。従って、振動腕部２１，２２の長さを短くすることができ、小型化が図れるメリットがある。

【0050】

一対の振動腕部２１，２２は、厚み方向Ｔの両表面に、一対の振動腕部２１，２２の長さ方向Ｌ（延在方向）に沿ってそれぞれ形成された溝部２５を備えている。溝部２５は、例えば、一対の振動腕部２１，２２の基端側から先端側に至る間に形成されている。
また、一対の振動腕部２１，２２には、これら振動腕部２１，２２を幅方向Ｗに振動させる、互いに絶縁された２系統の励振電極が設けられている。

【0051】

基部２０は、一対の振動腕部２１，２２の基端同士を一体に接続している。また、基部２０には、一対の支持腕部２３，２４が形成されている。一対の支持腕部２３，２４は、平面視でＬ字状であり、一対の振動腕部２１，２２を幅方向Ｗの外側から取り囲んでいる。具体的に、一対の支持腕部２３，２４は、幅方向Ｗの外側に向けて突設された後、長さ方向Ｌに沿って一対の振動腕部２１，２２と平行に延在している。

【0052】

このように構成された圧電振動子１を作動させる場合には、一対の外部電極１７ａ，１７ｂに対して、所定の駆動電圧を印加する。これにより、一対の電極パッド１６ａ，１６ｂを介して、圧電振動片３の一対の振動腕部２１，２２の励振電極に電流を流すことができる。そして、これら励振電極の相互作用により一対の振動腕部２１，２２が互いに接近、離間する方向（幅方向Ｗ）に所定の共振周波数で振動する。この一対の振動腕部２１，２２の振動は、時刻源、制御信号のタイミング源やリファレンス信号源等として用いることができる。

【0053】

なお、本実施形態においては、圧電振動片３を用いた圧電振動子１として、セラミックパッケージタイプの表面実装型振動子について説明したが、圧電振動片３を、ガラス材によって形成されるベース基板およびリッド基板が陽極接合によって接合されるガラスパッケージタイプの圧電振動子１に適用することも可能である。

【0054】

また、本実施形態においては、圧電振動片３として、一対の振動腕部２１，２２に溝部２５が形成されているものを用いたが、溝部２５が形成されていない圧電振動片を用いてもよい。

【0055】

（圧電振動片の製造方法）
図２は、第１実施形態に係る圧電振動片３の製造方法を示すフローチャートである。
図２に示すように、圧電振動片３は、外形形成工程（ステップＳ１０）、電極形成工程（ステップＳ２０）、重り金属膜形成工程（ステップＳ３０）、周波数調整工程（ステップＳ４０）、及び個片化工程（ステップＳ５０）を経て製造される。

【0056】

外形形成工程は、水晶ウエハから圧電振動片３の外形を削り出す工程である。外形形成工程は、圧電振動片３に溝部２５が無い場合は、メタルスパッタにより水晶ウエハの表面に保護膜を形成し、保護膜の上にフォトリソグラフィーにより圧電振動片３の外形形状に対応するフォトレジスト膜をパターニングする。そして、このフォトレジスト膜をマスクとしてメタルエッチングを行い、マスクされていない保護膜を選択的に除去する。その後、保護膜が除去された部分をエッチングすることにより、水晶ウエハから圧電振動片３の外形を削り出すことができる。

【0057】

圧電振動片３に溝部２５が有る場合は、上述した外形形成時と同様に、パターニングされたエッチング保護膜上にフォトレジスト膜を成膜する。そして、フォトリソグラフィー技術によって、溝部２５の領域を空けるようにフォトレジスト膜をパターニングする。そして、パターニングされたフォトレジスト膜をマスクとしてエッチングを行い、エッチング保護膜を選択的に除去する。その後、フォトレジスト膜を除去することで、既にパターニングされたエッチング保護膜を、溝部２５の領域を空けた状態でさらにパターニングすることができる。次いで、この再度パターニングされたエッチング保護膜をマスクとして、水晶ウエハをエッチングした後、マスクとしていたエッチング保護膜を除去する。これにより、一対の振動腕部２１，２２の両主面上に溝部２５をそれぞれ形成することができる。

【0058】

電極形成工程は、外形形成工程の後、圧電振動片３に電極を形成する工程である。電極形成工程では、メタルスパッタにより圧電振動片３の表面に電極膜を形成し、電極膜の上にフォトリソグラフィーにより所定の電極形状に対応するフォトレジスト膜をパターニングする。そして、このフォトレジスト膜をマスクとしてメタルエッチングを行い、マスクされていない電極膜を選択的に除去する。これにより、圧電振動片３に電極を形成することができる。

【0059】

重り金属膜形成工程は、電極形成工程後、圧電振動片３の一対の振動腕部２１，２２に周波数調整用の重りとなる金属膜を蒸着する工程である。なお、重り金属膜形成工程は、電極形成工程において同時に行ってもよい。

【0060】

周波数調整工程は、重り金属膜形成工程の後、圧電振動片３の周波数を調整する工程である。周波数調整工程では、圧電振動片３に駆動電圧を印加するため、測定器のプローブを押し当て、一対の振動腕部２１，２２を振動させる。そして、このとき測定された周波数と、予め設定された目標周波数との差に応じて、一対の振動腕部２１，２２に蒸着された重りをレーザートリミング等で部分的に除去する。これにより、圧電振動片３の周波数の目標周波数に調整することができる。

【0061】

個片化工程は、水晶ウエハから圧電振動片３を折り取って、圧電振動片３を個片化する工程である。個片化された圧電振動片３には、図１に示すように、その幅方向Ｗを向く側面に、第１折り取り痕２６Ａ及び第２折り取り痕２６Ｂが形成される。

【0062】

第１折り取り痕２６Ａ及び第２折り取り痕２６Ｂは、水晶の自然結晶面とは異なる構造の面（非結晶面）により形成された切断面を有し、例えば波状の凹凸を有する不均一な面となっている。第１折り取り痕２６Ａは、圧電振動片３の幅方向Ｗの支持腕部２３側の側面に形成されている。また、第２折り取り痕２６Ｂは、圧電振動片３の幅方向Ｗの支持腕部２４側の側面に形成されている。
以上により、圧電振動片３を製造することができる。

【0063】

（水晶ウエハ）
図３は、第１実施形態に係る水晶ウエハ１００の平面図である。なお、図３は、上記外形形成工程後の水晶ウエハ１００を示している。なお、図３中の符号Ｃは、圧電振動片３の一対の振動腕部２１，２２の中心位置を通る中心線Ｃを示している。
図３に示すように、水晶ウエハ１００は、圧電振動片３と、この圧電振動片３を、複数の連結部６０を介して支持するフレーム部５０と、を備えている。

【0064】

フレーム部５０は、圧電振動片３を囲う矩形の枠状に形成されている。フレーム部５０は、圧電振動片３の基部２０に沿って幅方向Ｗに延びる第１部分５１と、圧電振動片３の一対の支持腕部２３，２４に沿って長さ方向Ｌに延びる第２部分５２及び第３部分５３と、圧電振動片３の一対の振動腕部２１，２２の先端に沿って幅方向Ｗに延びる第４部分５４と、を備えている。

【0065】

連結部６０は、第１連結部６０Ａと、第２連結部６０Ｂと、を備えている。第１連結部６０Ａ及び第２連結部６０Ｂは、それぞれ長さ方向Ｌと交差する方向（本実施形態では幅方向Ｗ）に延在して、圧電振動片３の基部２０に連結されている。第１連結部６０Ａは、切り欠きが形成された第１弱化部６１Ａを有する。第２連結部６０Ｂは、切り欠きが形成された第２弱化部６１Ｂを有する。

【0066】

第１弱化部６１Ａ及び第２弱化部６１Ｂに形成された切り欠きは、例えば、外形形成工程のエッチングによって形成されている。第１連結部６０Ａ及び第２連結部６０Ｂは、第１弱化部６１Ａ及び第２弱化部６１Ｂを起点として折り取ることができる。つまり、第１弱化部６１Ａの折り取り痕が、図１に示す第１折り取り痕２６Ａであり、第２弱化部６１Ｂの折り取り痕が、図１に示す第２折り取り痕２６Ｂとなる。

【0067】

図３に示すように、第１連結部６０Ａは、フレーム部５０の第２部分５２から幅方向Ｗに延び、圧電振動片３の支持腕部２３側の側面に連結されている。第１連結部６０Ａは、圧電振動片３側よりもフレーム部５０側の方が、幅が広い。具体的に、第１連結部６０Ａは、フレーム部５０側において第１幅Ｗ１を有し、圧電振動片３側において第１幅Ｗ１よりも小さい第２幅Ｗ２を有する。さらに、第１連結部６０Ａは、圧電振動片３側の端部に位置する第１弱化部６１Ａにおいて、第２幅Ｗ２よりも小さい第３幅Ｗ３を有している。

【0068】

第１連結部６０Ａは、フレーム部５０側から圧電振動片３側の第１弱化部６１Ａに至るまでの間、幅方向Ｗの寸法が第１幅Ｗ１から第２幅Ｗ２に徐々に小さくなっている。より詳しくは、第１連結部６０Ａの幅が減少する傾きは、フレーム部５０側から圧電振動片３側に向かうに従って漸次小さくなっている。その結果、第１連結部６０Ａの幅方向Ｗの両側面は、曲面となっている。第１弱化部６１Ａにおいては、第１連結部６０Ａが局所的に括れて（切り欠かれて）おり、第１連結部６０Ａの最小幅となっている。

【0069】

第２連結部６０Ｂは、幅方向Ｗにおいて、圧電振動片３を挟んで第１連結部６０Ａと対向配置されている。つまり、第１連結部６０Ａ及び第２連結部６０Ｂは、長さ方向Ｌにおいて同じ位置で、圧電振動片３に連結されている。なお、第１連結部６０Ａ及び第２連結部６０Ｂの長さ方向Ｌの連結位置は、圧電振動片３の先端側よりも基端側が好ましい。第２連結部６０Ｂは、フレーム部５０の第３部分５３から幅方向Ｗに延び、圧電振動片３の支持腕部２４側の側面に連結されている。第２連結部６０Ｂは、第１連結部６０Ａと同様に、圧電振動片３側よりもフレーム部５０側の方が、幅が広くなっている。

【0070】

なお、第１弱化部６１Ａ及び第２弱化部６１Ｂは、局所的に幅が狭くなっているが、本質的に連結部６０の剛性を低くできればよく、例えば局所的に連結部６０の厚みが薄くなっていてもよい。また、第１弱化部６１Ａ及び第２弱化部６１Ｂは、例えば、レーザー照射や薬液等によりマイクロポア（細孔）を形成し、局所的に連結部６０の剛性を低くできればよい。

【0071】

図４は、第１実施形態に係る水晶ウエハ１００の平面図である。なお、図４は、上記電極形成工程後の水晶ウエハ１００を示している。
図４に示すように、圧電振動片３には、２系統の電極３０，４０が形成されている。一対の振動腕部２１，２２は、基部２０から長さ方向Ｌに延伸するアーム部２１ａ，２２ａと、アーム部２１ａ，２２ａの先端に連設されたヘッド部２１ｂ，２２ｂと、を備えている。

【0072】

アーム部２１ａ，２２ａの外表面上には、励振電極３１，４１が形成されている。励振電極３１，４１は、所定の駆動電圧が印加されたときに、一対の振動腕部２１，２２を幅方向Ｗに振動させる。励振電極３１，４１は、互いに電気的に絶縁された状態でパターニングされている。

【0073】

ヘッド部２１ｂ，２２ｂの外表面上には、重り金属膜３２，４２が形成されている。重り金属膜３２，４２は、一対の振動腕部２１，２２の先端における質量を増加させ、一対の振動腕部２１，２２を短縮したときに、共振周波数の上昇を抑制するために設けられている。本実施形態では、重り金属膜３２は、励振電極３１と一体で形成され、重り金属膜４２は、励振電極４１と一体に形成されている。

【0074】

一対の支持腕部２３，２４の外表面上には、圧電振動片３をパッケージ２に実装する際のマウント部として、マウント電極３３，４３が設けられている。具体的に、マウント電極３３は、一対の支持腕部２３，２４のうち一方の支持腕部２４に形成されている。マウント電極４３は、一対の支持腕部２３，２４のうち他方の支持腕部２３に形成されている。

【0075】

励振電極３１，４１と、マウント電極３３，４３は、引き回し電極３４，４４によりそれぞれ導通されている。引き回し電極３４は、支持腕部２４から基部２０を経由して振動腕部２２に至る経路に形成されている。引き回し電極４４は、支持腕部２３から、基部２０を経由して振動腕部２１に至る経路に形成されている。
なお、励振電極３１，４１、マウント電極３３，４３、及び、引き回し電極３４，４４は、例えば厚み方向Ｔから見た平面視形状が一致するように圧電振動片３の両主面上に形成されている。

【0076】

基部２０の主面上には、連結部６０を通ってフレーム部５０まで延伸する延伸電極３５，４５が形成されている。延伸電極３５は、引き回し電極３４から第２連結部６０Ｂを通ってフレーム部５０まで延伸している。また、延伸電極４５は、引き回し電極４４から第１連結部６０Ａを通ってフレーム部５０まで延伸している。これにより、フレーム部５０から圧電振動片３に電極を引き回しする際に、第１連結部６０Ａ及び第２連結部６０Ｂの２通りのルートで電極を引き回しできる。仮に、連結部６０が１本のみの場合は、例えば、連結部６０の一方の主面に電極３０を形成し、連結部６０の他方の主面に電極４０を形成して電極を引き回す必要がある。

【0077】

上記周波数調整工程では、フレーム部５０上の電極３０，４０に測定器のプローブを押し当て、延伸電極３５，４５を介して励振電極３１，４１間に所定の駆動電圧を印加し、一対の振動腕部２１，２２を振動させる。これにより、圧電振動片３の周波数を測定することができる。そして、周波数調整工程の後、個片化工程にて水晶ウエハ１００から圧電振動片３を折り取る。

【0078】

図５は、第１実施形態に係る圧電振動片の製造方法の個片化工程の様子を示す平面図である。
図５に示すように、個片化工程では、例えば、一対の振動腕部２１，２２の溝部２５上の先端側領域Ａを、図示しない折り取り治具で厚み方向Ｔに押して力を加える。そうすると、第１連結部６０Ａ及び第２連結部６０Ｂを支点に、圧電振動片３が水晶ウエハ１００の厚み方向Ｔに回動し、第１連結部６０Ａ及び第２連結部６０Ｂが、第１弱化部６１Ａ及び第２弱化部６１Ｂを起点に、ねじ切れるように破断する。これにより、図１に示すように、第１連結部６０Ａに対応する部分には、第１折り取り痕２６Ａが形成され、第２連結部６０Ｂに対応する部分には、第２折り取り痕２６Ｂが形成される。なお、第１折り取り痕２６Ａ及び第２折り取り痕２６Ｂは、一対の支持腕部２３，２４に形成されるため、折り取り痕が残った場合であっても製品特性へ影響を与えることが少ない。

【0079】

以上説明したように、本実施形態の水晶ウエハ１００は、長さ方向Ｌ（長手方向）に延びる一対の振動腕部２１，２２を有する圧電振動片３と、圧電振動片３を複数の連結部６０を介して支持するフレーム部５０と、を備え、複数の連結部６０は、長さ方向Ｌと交差する方向に延びている。

【0080】

本実施形態の水晶ウエハ１００によれば、圧電振動片３とフレーム部５０とが複数の連結部６０で連結されており、複数の連結部６０が圧電振動片３の長さ方向Ｌと交差する方向に延びているため、圧電振動片３に対し水晶ウエハ１００の厚み方向Ｔに曲げるように力を加えると、複数の連結部６０に対してねじりモーメントを作用させて、複数の連結部６０を破断させる（ねじ切る）ことができる。これにより、折り取った圧電振動片３を飛散させずに鉛直方向に落下させ易くなり、下方に配置した図示しない受けへの収納率が高まり、歩留まりが向上する。

【0081】

また、本実施形態の水晶ウエハ１００において、複数の連結部６０は、圧電振動片３の幅方向Ｗ（短手方向）において、圧電振動片３を挟んで配置された第１連結部６０Ａ及び第２連結部６０Ｂを備える。この構成によれば、第１連結部６０Ａ及び第２連結部６０Ｂが、圧電振動片３を折り取る際の回動軸となり、圧電振動片３をねじ切り易くなる。

【0082】

また、本実施形態の水晶ウエハ１００において、第１連結部６０Ａ及び第２連結部６０Ｂは、長さ方向Ｌにおいて同じ位置で、圧電振動片３に連結されている。この構成によれば、第１連結部６０Ａと第２連結部６０Ｂが同一直線上になるときにねじりモーメントによる折りとりの力が最大限発揮されるため、圧電振動片３を鉛直方向へ最も効果的に折り取ることができ、圧電振動片３を折り取る際に、圧電振動片３がフレーム部５０と衝突または接触し難くなる。

【0083】

また、本実施形態の水晶ウエハ１００において、第１連結部６０Ａ及び第２連結部６０Ｂは、圧電振動片３の幅方向Ｗを向く両側面に連結されている。この構成によれば、第１連結部６０Ａ及び第２連結部６０Ｂを圧電振動片３の幅方向Ｗの両側面に接続することで、圧電振動片３の折り取り時の力が、圧電振動片３に対して下向きの力となり、図示しない受けへの収納率が向上するため、歩留まりが向上する。

【0084】

また、本実施形態の水晶ウエハ１００において、圧電振動片３に形成された励振電極３１，４１と、励振電極３１，４１から、複数の連結部６０を通ってフレーム部５０まで延伸する延伸電極３５，４５と、を備え、当該延伸電極として、第１連結部６０Ａを通る延伸電極４５（第１延伸電極）と、第２連結部６０Ｂを通る延伸電極３５（第２延伸電極）と、を備える。この構成によれば、水晶ウエハ１００から圧電振動片３に電極を引き回しする際に、第１連結部６０Ａ及び第２連結部６０Ｂの２通りのルートで電極を引き回しできるため、水晶ウエハ１００から圧電振動片３への電極引き回し構造の自由度が高くなる。

【0085】

また、本実施形態の水晶ウエハ１００において、複数の連結部６０は、切り欠きが形成された第１弱化部６１Ａ及び第２弱化部６１Ｂを有する。この構成によれば、第１弱化部６１Ａ及び第２弱化部６１Ｂを起点に連結部６０を破断し易くなる。

【0086】

また、本実施形態の水晶ウエハ１００において、複数の連結部６０は、圧電振動片３側よりもフレーム部５０側の方が、幅が広い。この構成によれば、連結部６０がフレーム部５０側で折れ難くなり、圧電振動片３の折り取り時に、連結部６０が圧電振動片３側に残ること抑制することができる。

【0087】

また、本実施形態の圧電振動片３は、長さ方向Ｌに延びる一対の振動腕部２１，２２を有し、長さ方向Ｌと交差する方向を向く側面に、複数の折り取り痕（第１折り取り痕２６Ａ及び第２折り取り痕２６Ｂ）が形成されている。本実施形態に係る圧電振動片３によれば、歩留まりの高い品質のよい圧電振動片３が得られる。

【0088】

また、本実施形態の圧電振動子１は、圧電振動片３と、圧電振動片３を封止したパッケージと、を備える。本実施形態に係る圧電振動子１によれば、歩留まりの高い品質のよい圧電振動子１が得られる。

【0089】

また、本実施形態の圧電振動片３の製造方法は、長さ方向Ｌに延びる一対の振動腕部２１，２２を有する圧電振動片３と、圧電振動片３を複数の連結部６０を介して支持するフレーム部５０と、を備える水晶ウエハ１００から、圧電振動片３を折り取る工程を含む、圧電振動片３の製造方法であって、複数の連結部６０は、長さ方向Ｌと交差する方向に延びており、複数の連結部６０を支点に、圧電振動片３を水晶ウエハ１００の厚み方向Ｔに回動させ、複数の連結部６０を破断させる。本実施形態に係る圧電振動片３の製造方法によれば、歩留まりの高い品質のよい圧電振動片３を製造できる。

【0090】

このように、本実施形態によれば、水晶ウエハ１００から振動片を折り取る際の飛散を抑制することができ歩留まりの高い品質のよい圧電振動片３、圧電振動子１を製造することができる。

【0091】

［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。

【0092】

図６は、第２実施形態に係る水晶ウエハ１００の平面図である。
図６に示すように、第２実施形態に係る水晶ウエハ１００は、第１連結部６０Ａ及び第２連結部６０Ｂが、長さ方向Ｌにおいて異なる位置で、圧電振動片３に連結されている点で、上記実施形態と異なる。

【0093】

すなわち、第１連結部６０Ａの幅方向Ｗに延びる中心線Ｃ１は、第２連結部６０Ｂの幅方向Ｗに延びる中心線Ｃ２と、長さ方向Ｌにおいて距離Ｄで離間している。なお、図６の例では、第２連結部６０Ｂの連結位置は、第１連結部６０Ａの連結位置よりも、圧電振動片３の基端側に設定されているが、逆の位置関係であっても構わない。

【0094】

このように、第２実施形態の水晶ウエハ１００において、第１連結部６０Ａ及び第２連結部６０Ｂは、長さ方向Ｌにおいて異なる位置で、圧電振動片３に連結されている。この構成によれば、水晶ウエハ１００のエッチング残りを加味し、第１連結部６０Ａ及び第２連結部６０Ｂの長さ方向Ｌの位置をずらすことで、圧電振動片３の折り取り時にかかるねじりモーメントを最適化でき、エッチング残りによる影響を抑制することができる。

【0095】

［第３実施形態］
次に、本発明の第３実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。

【0096】

図７は、第３実施形態に係る水晶ウエハ１００の平面図である。
図７に示すように、第３実施形態に係る水晶ウエハ１００は、連結部６０が、フレーム部５０側から圧電振動片３側までシームレスに幅が狭くなっている点で、上記実施形態と異なる。

【0097】

具体的に、第１連結部６０Ａは、フレーム部５０側から圧電振動片３側の第１弱化部６１Ａに至るまでの間、幅方向Ｗの寸法が第１幅Ｗ１から第４幅Ｗ４に徐々に小さくなっている。第４幅Ｗ４は、第１弱化部６１Ａの第３幅Ｗ３より同じ若しくは僅かに大きくなっている。なお、第２連結部６０Ｂの幅も、第１連結部６０Ａと同様に変化している。

【0098】

このように、第３実施形態の水晶ウエハ１００において、連結部６０がフレーム部５０側から圧電振動片３側までシームレスに幅が狭くなっているため、例えば、連結部６０に切り欠きを形成する工程を簡略化若しくは省略することが可能となる。

【0099】

［第４実施形態］
次に、本発明の第４実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。

【0100】

図８は、第４実施形態に係る水晶ウエハ１００の平面図である。
図８に示すように、第４実施形態に係る水晶ウエハ１００は、第１連結部６０Ａ及び第２連結部６０Ｂの幅が、第１弱化部６１Ａ及び第２弱化部６１Ｂを除き一定である点で、上記実施形態と異なる。また、第１連結部６０Ａ及び第２連結部６０Ｂの連結位置が、圧電振動片３の基部２０側に設定されている点で、上記実施形態と異なる。

【0101】

具体的に、第１連結部６０Ａは、フレーム部５０側から圧電振動片３側の第１弱化部６１Ａに至るまで第５幅Ｗ５を有している。つまり、第１連結部６０Ａにおいては、フレーム部５０側から圧電振動片３側の第１弱化部６１Ａに至るまで一定幅であり、第１弱化部６１Ａにおいて局所的に括れて（切り欠かれて）、その部分が最小幅となっている。なお、第２連結部６０Ｂの幅も、第１連結部６０Ａと同様に変化している。この構成によれば、連結部６０の形状が簡単化・単純化され、連結部６０の形成が容易になる。

【0102】

また、第４実施形態の水晶ウエハ１００において、第１連結部６０Ａ及び第２連結部６０Ｂの連結位置が、圧電振動片３の基部２０側に設定されている。この構成によれば、第１連結部６０Ａ及び第２連結部６０Ｂの連結位置が、図５に示す先端側領域Ａからより離れるため、折り取りの際に大きなモーメントが発生し、圧電振動片３の折り取りが容易になる。

【0103】

［第５実施形態］
次に、本発明の第５実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。

【0104】

図９は、第５実施形態に係る水晶ウエハ１００の平面図である。
図９に示すように、第５実施形態に係る水晶ウエハ１００は、フレーム部５０が、第２部分５２及び第３部分５３の一部、及び、第４部分５４を備えない点で、上記実施形態と異なる。

【0105】

具体的に、フレーム部５０は、第２部分５２及び第３部分５３の第１連結部６０Ａ及び第２連結部６０Ｂより先の部分が無くなっている。この構成によれば、フレーム部５０と図示しない折り取り治具との衝突または接触を避けることができる。

【0106】

［第６実施形態］
次に、本発明の第６実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。

【0107】

図１０は、第６実施形態に係る水晶ウエハ１００の平面図である。
図１０に示すように、第６実施形態に係る水晶ウエハ１００は、第１連結部６０Ａが、一対の支持腕部２３，２４の一方（支持腕部２３）の角部に連結され、第２連結部６０Ｂが、一対の支持腕部２３，２４の他方（支持腕部２４）の角部に連結されている点で、上記実施形態と異なる。

【0108】

具体的に、フレーム部５０は、第１部分５１から長さ方向Ｌに平行に延びる第５部分５５及び第６部分５６を備えている。第５部分５５の先端には、第１連結部６０Ａが設けられ、圧電振動片３の支持腕部２３の角部に連結されている。この例の第１連結部６０Ａは、切り欠きが形成された第１弱化部６１Ａに相当する部分であり、その中心線Ｃ１は、長さ方向Ｌに対して斜め方向に延びている。また、第６部分５６の先端には、第２連結部６０Ｂが設けられ、圧電振動片３の支持腕部２４の角部に連結されている。この例の第２連結部６０Ｂは、切り欠きが形成された第２弱化部６１Ｂに相当する部分であり、その中心線Ｃ２は、長さ方向Ｌに対して斜め方向に延びている。

【0109】

このように、第６実施形態の水晶ウエハ１００において、圧電振動片３は、一対の振動腕部２１，２２を幅方向Ｗの外側から取り囲む、平面視Ｌ字状の一対の支持腕部２３，２４を有し、第１連結部６０Ａは、一対の支持腕部２３，２４の一方（支持腕部２３）の角部に連結され、第２連結部６０Ｂは、一対の支持腕部２３，２４の他方（支持腕部２４）の角部に連結されている。この構成によれば、圧電振動片３の幅方向Ｗの両側にフレーム部５０（上述した第２部分５２及び第３部分５３）を延ばす必要がなくなるため、図１０に示すように圧電振動片３を密に配置でき、一つの水晶ウエハ１００からより多くの圧電振動片３を製造することができる。

【0110】

以上、本発明の好ましい実施形態を記載し説明してきたが、これらの開示は本発明の例示的なものであり、限定するものとして考慮されるべきではないことを理解すべきである。追加、省略、置換、およびその他の変更は、本発明の範囲から逸脱することなく行うことができる。従って、本発明は、前述の説明によって限定されていると見なされるべきではなく、特許請求の範囲によって制限されている。

【0111】

例えば、上記実施形態では、圧電振動片３として、基部２０から延設された一対の支持腕部２３，２４（サイドアーム）を備えた、いわゆるサイドアームタイプを例示したが、サイドアームが無いものであっても構わない。この場合、基部２０をマウント部として、パッケージ２内に圧電振動片３を実装してもよい。

【0112】

例えば、上記実施形態では、複数の連結部６０として、第１連結部６０Ａ及び第２連結部６０Ｂを例示したが、第１連結部６０Ａ及び第２連結部６０Ｂを含んでいれば、第３連結部や第４連結部等があっても構わない。

【符号の説明】

【0113】

１…圧電振動子、２…パッケージ、３…圧電振動片、４…キャビティ、１０…パッケージ本体、１１…封口板、１２…第１ベース基板、１３…第２ベース基板、１３ａ…実装面、１３ｂ…突部、１４…シールリング、１５…切欠部、１６ａ…電極パッド、１６ｂ…電極パッド、１７ａ…外部電極、１７ｂ…外部電極、１９…凹部、２０…基部、２１…振動腕部、２１ａ…アーム部、２１ｂ…ヘッド部、２２…振動腕部、２２ａ…アーム部、２２ｂ…ヘッド部、２３…支持腕部、２４…支持腕部、２５…溝部、２６Ａ…第１折り取り痕、２６Ｂ…第２折り取り痕、３０…電極、３１…励振電極、３２…金属膜、３３…マウント電極、３４…引き回し電極、３５…延伸電極（第２延伸電極）、４０…電極、４１…励振電極、４２…金属膜、４３…マウント電極、４４…引き回し電極、４５…延伸電極（第１延伸電極）、５０…フレーム部、５１…第１部分、５２…第２部分、５３…第３部分、５４…第４部分、５５…第５部分、５６…第６部分、６０…連結部、６０Ａ…第１連結部、６０Ｂ…第２連結部、６１Ａ…第１弱化部、６１Ｂ…第２弱化部、１００…水晶ウエハ、Ａ…先端側領域、Ｃ…中心線、Ｃ１…中心線、Ｃ２…中心線、Ｄ…距離、Ｌ…長さ方向（長手方向）、Ｔ…厚み方向、Ｗ…幅方向（短手方向）、Ｗ１…第１幅、Ｗ２…第２幅、Ｗ３…第３幅、Ｗ４…第４幅、Ｗ５…第５幅

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】