特開 2024-77207 シート供給装置およびシート供給方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024077207

(43)【公開日】2024-06-07

(54)【発明の名称】シート供給装置およびシート供給方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20240531BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022189142

(22)【出願日】2022-11-28

(71)【出願人】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000637

【氏名又は名称】弁理士法人樹之下知的財産事務所

(72)【発明者】

【氏名】高野 健

(72)【発明者】

【氏名】加藤 秀昭

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131CA33

5F131CA42

5F131EC32

5F131EC64

5F131EC66

(57)【要約】

【課題】剥離された接着シートを取り除く作業が発生することを防止することができるシート供給装置およびシート供給方法を提供する。
【解決手段】シート供給装置ＥＡは、剥離シートＲＬの一方の面に接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段１０と、繰出手段１０で繰り出された原反ＲＳの剥離シートＲＬを剥離縁２１Ａで折り返し、折り返された剥離シートＲＬの折返し部ＲＬ１で当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離して供給する剥離手段２０とを備え、繰出手段１０で原反ＲＳを繰り出した際に、剥離手段２０によって剥離シートＲＬから接着シートＡＳが剥離されないように、当該原反ＲＳを剥離縁２１Ａの周囲で弛ませる弛み形成手段３０を備えている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記繰出手段で繰り出された前記原反の前記剥離シートを剥離縁で折り返し、折り返された前記剥離シートの折返し部で当該剥離シートから前記接着シートを剥離して供給する剥離手段とを備え、
前記繰出手段で前記原反を繰り出した際に、前記剥離手段によって前記剥離シートから前記接着シートが剥離されないように、当該原反を前記剥離縁の周囲で弛ませる弛み形成手段を備えていることを特徴とするシート供給装置。

【請求項2】

前記剥離シートに気体を吹き付けて当該剥離シートを前記剥離縁から離間させる吹付手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート供給装置。

【請求項3】

前記吹付手段で前記剥離シートに気体を吹き付ける際、前記剥離手段での前記原反の姿勢を安定させる姿勢安定化手段を備えていることを特徴とする請求項２に記載のシート供給装置。

【請求項4】

剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記繰出工程で繰り出された前記原反の前記剥離シートを剥離縁で折り返し、折り返された前記剥離シートの折返し部で当該剥離シートから前記接着シートを剥離して供給する剥離工程とを実施し、
前記繰出工程で前記原反を繰り出した際に、前記剥離工程によって前記剥離シートから前記接着シートが剥離されないように、当該原反を前記剥離縁の周囲で弛ませる弛み形成工程を実施することを特徴とするシート供給方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シート供給装置およびシート供給方法に関する。

【背景技術】

【0002】

剥離シートに接着シートが仮着された原反を繰り出し、剥離シートから接着シートを剥離して供給するシート供給装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１２－８４６８８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載された両面粘着テープ貼付け装置（シート供給装置）では、長尺のキャリアテープｃｔ（剥離シート）に長尺の両面粘着テープｔ（接着シート）を貼合わせた原反テープＴ（原反）をセットした後、原反を繰り出して当該原反の蛇行調整や、接着シートの停止位置調整等の運転前調整が行われる。その際、ナイフエッジ１４（剥離手段）の先端部（剥離縁）で剥離シートが折り返されたままの状態が維持されていると、接着シートが剥離シートから剥離されてしまうため、剥離された接着シートを取り除く作業が発生するという不都合がある。

【0005】

本発明の目的は、剥離された接着シートを取り除く作業が発生することを防止することができるシート供給装置およびシート供給方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、剥離手段によって剥離シートから接着シートが剥離されないように、原反を剥離縁の周囲で弛ませるため、剥離された接着シートを取り除く作業が発生することを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】（Ａ）は、本発明の一施形態に係るシート供給装置を備えたシート貼付装置の説明図。（Ｂ）、（Ｃ）は、シート貼付装置の動作説明図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１（Ａ）の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１（Ａ）中手前方向で「後」がその逆方向とする。

【0010】

シート供給装置ＥＡは、剥離シートＲＬの一方の面に接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出工程を実施する繰出手段１０と、繰出手段１０で繰り出された原反ＲＳの剥離シートＲＬを剥離縁２１Ａで折り返し、折り返された剥離シートＲＬの折返し部ＲＬ１で当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離して供給する剥離工程を実施する剥離手段２０と、繰出手段１０で原反ＲＳを繰り出した際に、剥離手段２０によって剥離シートＲＬから接着シートＡＳが剥離されないように、当該原反ＲＳを剥離縁２１Ａの周囲で弛ませる弛み形成工程を実施する弛み形成手段３０と、剥離シートＲＬに大気やガス等の気体を吹き付けて当該剥離シートＲＬを剥離縁２１Ａから離間させる吹付工程を実施する吹付手段４０と、吹付手段４０で剥離シートＲＬに気体を吹き付ける際、剥離手段２０での原反ＲＳの姿勢を安定させる姿勢安定化工程を実施する姿勢安定化手段５０とを備えている。
なお、本実施形態のシート供給装置ＥＡは、被着体ＷＫに接着シートＡＳを押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ６０とでシート貼付装置ＥＡ１を構成し、被着体ＷＫを支持する支持手段７０の近傍に配置されている。

【0011】

繰出手段１０は、当該繰出手段１０を構成する構成物を直接的または間接的に支持するベースプレート１１と、原反ＲＳを支持する支持ローラ１２と、原反ＲＳを案内するガイドローラ１３と、駆動機器としての回動モータ１４Ａの図示しない出力軸に支持され、剥離手段２０よりも原反ＲＳの繰出方向上流側にてピンチローラ１４Ｂとで原反ＲＳを挟み込む駆動ローラ１４と、駆動機器としての回動モータ１５Ａの図示しない出力軸に支持され、剥離手段２０よりも原反ＲＳの繰出方向下流側にてピンチローラ１５Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ１５と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡ１の自動運転が行われている間、ピンチローラ１５Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ１６とを備えている。

【0012】

剥離手段２０は、剥離縁２１Ａと、剥離縁２１Ａよりも原反繰出方向上流側で原反ＲＳを案内する案内面２１Ｂとを有する剥離板２１を備えている。

【0013】

弛み形成手段３０は、本実施形態では繰出手段１０と兼用されており、駆動ローラ１４と、回動モータ１４Ａと、ピンチローラ１４Ｂとを備えている。

【0014】

吹付手段４０は、剥離板２１の案内面２１Ｂに形成された気体噴出孔４１に配管４２Ａを介して連通する加圧ポンプやタービン等の気体供給手段４２を備えている。

【0015】

姿勢安定化手段５０は、駆動機器としての直動モータ５１と、直動モータ５１の出力軸５１Ａに回転可能に支持され、原反ＲＳを剥離板２１の案内面２１Ｂに押さえ付ける押え付けローラ５２とを備えている。

【0016】

支持手段７０は、駆動機器としてのリニアモータ７１と、リニアモータ７１のスライダ７１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面７２Ａを有するテーブル７２とを備えている。

【0017】

以上のシート供給装置ＥＡを備えたシート貼付装置ＥＡ１の動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡ１に対し、当該シート貼付装置ＥＡ１の使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して原反ＲＳの繰出確認開始の信号を入力する。すると、弛み形成手段３０が回動モータ１４Ａを駆動し、原反ＲＳを所定長さ繰り出して当該原反ＲＳを剥離縁２１Ａの周囲で弛ませる。次いで、姿勢安定化手段５０が直動モータ５１を駆動し、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、押え付けローラ５２を下降させて原反ＲＳを剥離板２１の案内面２１Ｂに押さえ付ける。その後、吹付手段４０が気体供給手段４２を駆動し、気体噴出孔４１から剥離シートＲＬへの気体吹付を開始して、当該剥離シートＲＬを剥離縁２１Ａから離間させる。

【0018】

次に、繰出手段１０が回動モータ１４Ａ、１５Ａを駆動し、駆動ローラ１４、１５を同じ速度で回転させて、原反ＲＳを弛ませたまま所定長さ繰り出す繰出確認動作を実施する。その結果、運転前調整として、原反ＲＳの蛇行調整や接着シートＡＳの停止位置調整等を行う必要がある場合には、使用者がガイドローラ１３、駆動ローラ１４、１５およびピンチローラ１４Ｂ、１５Ｂ等の各ローラの取付角度や取付位置等を調整し、原反ＲＳの蛇行がなくなるようにしたり、接着シートＡＳを検知して原反ＲＳの繰り出しを停止する図示しないセンサや停止タイミング等を調整し、適切な位置で接着シートＡＳが停止するようにしたりする。この際、図１（Ｂ）に示すように、剥離シートＲＬが弛んでいて剥離縁２１Ａで折り返されないので、接着シートＡＳが剥離シートＲＬから剥離されることがない。そして、運転前調整が完了し、使用者が図示しない操作手段を介して原反ＲＳの繰出確認終了の信号を入力すると、姿勢安定化手段５０が直動モータ５１を駆動し、押え付けローラ５２を初期位置に復帰させた後、吹付手段４０が気体供給手段４２の駆動を停止し、気体噴出孔４１から剥離シートＲＬへの気体の吹き付けを停止する。また、繰出手段１０が回動モータ１５Ａを駆動し、剥離シートＲＬが剥離板２１の剥離縁２１Ａで折り返されるように、原反ＲＳの弛みをなくす。次いで、使用者が図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力すると、繰出手段１０が回動モータ１４Ａ、１５Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出して、図１（Ｃ）に示すように、繰出確認後の先頭の接着シートＡＳの繰出方向先端部が、剥離板２１の剥離縁２１Ａで折り返された剥離シートＲＬの折返し部ＲＬ１で所定長さ剥離されると、回動モータ１４Ａ、１５Ａの駆動を停止する。

【0019】

その後、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、支持面７２Ａ上の所定位置に被着体ＷＫを載置すると、支持手段７０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面７２Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を開始する。次に、支持手段７０がリニアモータ７１を駆動し、テーブル７２を左方へ移動させ、当該テーブル７２が所定の位置に到達すると、繰出手段１０が回動モータ１４Ａ、１５Ａを駆動し、テーブル７２の移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、先頭の接着シートＡＳが剥離シートＲＬの折返し部ＲＬ１で剥離シートＲＬから剥離され、当該剥離シートＲＬから剥離された接着シートＡＳは、図１（Ｃ）中二点鎖線で示すように、押圧ローラ６０によって被着体ＷＫに押圧されて貼付される。

【0020】

接着シートＡＳ全体が被着体ＷＫに貼付され、先頭の接着シートＡＳに続く次の接着シートＡＳの繰出方向先端部が剥離シートＲＬの折返し部ＲＬ１で所定長さ剥離されると、繰出手段１０が回動モータ１４Ａ、１５Ａの駆動を停止する。そして、テーブル７２が押圧ローラ６０の左方所定位置に到達すると、支持手段７０がリニアモータ７１の駆動を停止した後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面７２Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を解除する。次いで、使用者または図示しない搬送手段が、接着シートＡＳが貼付された被着体ＷＫを次工程に搬送すると、支持手段７０がリニアモータ７１を駆動し、テーブル７２を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0021】

以上のような実施形態によれば、供給されない接着シートＡＳが剥離シートＲＬから剥離しないように、当該剥離シートＲＬを剥離縁２１Ａの周囲で弛ませるため、剥離された接着シートＡＳを取り除く作業が発生することを防止することができる。

【0022】

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。

【0023】

例えば、繰出手段１０は、帯状の剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳを繰り出してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シート基材が仮着された帯状接着シート原反を採用し、当該帯状接着シート原反を繰り出す途中で、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段としての切断刃で形成し、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳを繰り出してもよいし、巻回されることなく、例えばファンフォールド折りにされた原反ＲＳから当該原反ＲＳを繰り出してもよいし、巻回することなく、例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートＲＬを回収する回収手段を採用してもよいし、回収手段を採用しなくてもよいし、原反ＲＳの繰出確認終了の信号が入力されると、原反ＲＳを支持ローラ１２方向に巻き取り、剥離シートＲＬから剥離されずに剥離縁２１Ａを過ぎて回収ローラ１６方向に繰り出された接着シートＡＳを、当該剥離縁２１Ａよりも原反繰出方向上流側へ移動させてもよい。

【0024】

弛み形成手段３０は、駆動ローラ１４、回動モータ１４Ａおよびピンチローラ１４Ｂに代えてまたは併用して、駆動ローラ１５と、回動モータ１５Ａと、ピンチローラ１５Ｂをと備え、剥離シートＲＬを剥離板２１側に送って当該剥離シートＲＬを剥離縁２１Ａの周囲で弛ませてもよい。
弛み形成手段３０は、繰出手段１０と兼用されなくてもよく、この場合、例えば、剥離板２１を出力軸で支持する駆動機器としての直動モータを備え、当該直動モータを駆動して剥離板２１を剥離シートＲＬから離間させることで、剥離シートＲＬを剥離縁２１Ａの周囲で弛ませてもよい。

【0025】

吹付手段４０は、気体噴出孔４１に代えてまたは併用して、案内面２１Ｂから上方もしくは下方または案内面２１Ｂと平行な方向に向かって剥離シートＲＬに気体を吹き付けてもよいし、剥離板２１から独立した構成とされ、配管４２Ａを介して気体供給手段４２と連通するノズルや吹付管等の気体吹付部材を備え、当該気体吹付部材から剥離シートＲＬに気体を吹き付けてもよい。

【0026】

姿勢安定化手段５０は、直動モータ５１および押え付けローラ５２に代えてまたは併用して、ノズルや吹付管等の気体吹付部材で原反ＲＳに気体を吹き付けて当該原反ＲＳを剥離板２１の案内面２１Ｂに押し付けたり、剥離板２１の案内面２１Ｂに設けた吸引孔で原反ＲＳを吸引したり、板状部材で原反ＲＳを剥離板２１の案内面２１Ｂに押し付けたりすることで、原反ＲＳの姿勢を安定させてもよい。

【0027】

押圧手段は、駆動機器としての直動モータと、直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材とを備え、当該保持部材で保持した接着シートＡＳを被着体ＷＫに押圧して貼付する構成を採用してもよいし、シート供給装置ＥＡとともに天地反転して配置したり横置きに配置したりして、被着体ＷＫの下面や側面等に接着シートＡＳを押圧して貼付するように構成してもよいし、押圧ローラ６０を被着体ＷＫに離間接近させる押圧部材接離手段としての駆動機器を採用し、被着体ＷＫにストレスがかかったり損傷したりすることを防止するようにしてもよいし、本発明のシート供給装置ＥＡやシート貼付装置ＥＡ１に備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、備わっていない場合、他の装置で被着体ＷＫに接着シートＡＳを押圧して貼付ししてもよい。

【0028】

支持手段７０は、支持面７２Ａで吸着保持ができないテーブル７２が採用されてもよいし、本発明のシート供給装置ＥＡやシート貼付装置ＥＡ１に備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、備わっていない場合、他の装置で被着体ＷＫを移動させてもよい。

【0029】

シート供給装置ＥＡは、剥離シートＲＬから剥離した接着シートＡＳを押圧手段以外に供給してもよく、例えば、接着シートＡＳに印刷を施す印刷装置や、接着シートＡＳの状態を検査する検査装置や、使用者に接着シートＡＳを供給してもよいし、繰出確認動作を実施する際に、回動モータ１５Ａを駆動させずに回動モータ１４Ａのみを駆動し、所定長さの原反ＲＳを繰り出して弛んだ原反ＲＳを更に弛ませるようにしてもよい。

【0030】

接着シートＡＳおよび被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳおよび被着体ＷＫは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層とが積層された２層のもの、基材と接着剤層との間に１または複数の中間層が積層された３層または３層以上のもの、基材の上面に１または複数のカバー層が積層された３層または３層以上のもの、基材、中間層またはカバー層が剥離可能に設けられたもの、接着剤層のみからなる単層の両面接着シート、１または複数の中間層の両最外面に接着剤層が積層された両面接着シート等、どのようなものでもよい。さらに、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

【0031】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、繰出手段は、剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出すものであればどんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

【0032】

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や樹脂等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。

【符号の説明】

【0033】

ＥＡ…シート供給装置
１０…繰出手段
２０…剥離手段
２１Ａ…剥離縁
３０…弛み形成手段
４０…吹付手段
５０…姿勢安定化手段
ＡＳ…接着シート
ＲＬ…剥離シート
ＲＳ…原反
ＷＫ…被着体

【図1】