特開 2024-77368 産業用ロボットのハンドおよび産業用ロボット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024077368

(43)【公開日】2024-06-07

(54)【発明の名称】産業用ロボットのハンドおよび産業用ロボット

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20240531BHJP

   B25J 15/08 20060101ALI20240531BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

B25J15/08 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022189428

(22)【出願日】2022-11-28

(71)【出願人】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100125690

【弁理士】

【氏名又は名称】小平 晋

(72)【発明者】

【氏名】青木 雅裕

(72)【発明者】

【氏名】細川 正己

【テーマコード（参考）】

3C707

5F131

【Ｆターム（参考）】

3C707AS24

3C707BS15

3C707CY25

3C707DS01

3C707ES03

3C707ET08

3C707EU17

3C707EV08

3C707HS14

3C707NS13

5F131AA02

5F131CA09

5F131CA12

5F131DB02

5F131DB05

5F131DB06

5F131DB12

5F131DB14

5F131DB15

5F131DB42

5F131DB45

5F131DB52

5F131DB62

5F131DB76

5F131JA03

5F131JA20

5F131JA22

5F131JA26

5F131JA33

(57)【要約】

【課題】搬送対象物が搭載される搭載部と、搭載部の基端側が固定される搭載支持部と、搭載部に搭載される搬送対象物を水平方向の一定位置で保持するための保持機構とを備える産業用ロボットのハンドにおいて、液体が使用される環境下で使用されても、保持機構の一部を構成する駆動機構が収容される搭載支持部の内部の配置空間への液体の浸入を効果的に抑制することが可能なハンドを提供する。
【解決手段】このハンドは、搭載支持部１６の内部への液体の浸入を防止するための複数のシール部材２０、２１と、搭載支持部１６の内部に気体を供給する気体供給機構とを備えている。複数のシール部材２０、２１は、軸部３２の軸方向に配列され軸配置穴４１ａに配置されるとともに、軸部３２の外周面に接触している。気体供給機構は、搭載支持部１６の内部の配置空間Ｓに気体を供給して配置空間Ｓを陽圧にしている。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送対象物を搬送する産業用ロボットのハンドにおいて、
前記搬送対象物が搭載される搭載部と、少なくとも一部が中空状に形成されるとともに前記搭載部の基端側が固定される搭載支持部と、前記搭載部に搭載される前記搬送対象物を水平方向の一定位置で保持するための保持機構と、前記搭載支持部の内部への液体の浸入を防止するための複数のシール部材と、前記搭載支持部の内部に気体を供給する気体供給機構とを備え、
前記保持機構は、前記搬送対象物の端面が当接する当接面を有し前記搭載部の先端側に取り付けられる端面当接部材と、前記搬送対象物の端面に接触して前記当接面に前記搬送対象物の端面を押し付ける押付部と前記押付部が先端側に取り付けられる軸状の軸部とを有し前記搭載支持部に保持される押付部材と、前記搭載支持部の内部の配置空間に収容されるとともに前記軸部の基端側が連結され前記搭載支持部に対して前記押付部材を水平方向に直線的に移動させる駆動機構とを備え、
前記搭載支持部には、前記軸部の一部が配置されるとともに前記配置空間に通じる軸配置穴が形成され、
複数の前記シール部材は、前記軸部の軸方向に配列され前記軸配置穴に配置されるとともに、前記軸部の外周面に接触し、
前記気体供給機構は、前記配置空間に気体を供給して前記配置空間を陽圧にすることを特徴とするハンド。

【請求項2】

前記シール部材として、前記軸部の軸方向において互いに間隔をあけた状態で配置される第１シール部材および第２シール部材の２個の前記シール部材を備え、
前記軸部の軸方向において前記押付部が配置される側を第１方向側とすると、
前記第１シール部材は、前記第２シール部材よりも前記第１方向側に配置されていることを特徴とする請求項１記載のハンド。

【請求項3】

前記搭載支持部には、前記搭載支持部の外側面から、前記軸配置穴の、前記第１シール部材と前記第２シール部材との間の部分に通じる液体の抜き穴が形成されていることを特徴とする請求項２記載のハンド。

【請求項4】

前記第１シール部材は、オムニシールであり、
前記第２シール部材は、ＵパッキンまたはＶパッキンであることを特徴とする請求項２または３記載のハンド。

【請求項5】

前記駆動機構は、前記押付部が前記搬送対象物の端面に接触して前記当接面に前記搬送対象物の端面を押し付ける把持位置と、前記押付部が前記搬送対象物の端面から離れる退避位置との間で前記押付部材を移動させ、
前記押付部材が前記把持位置に配置されているときには、前記軸部の一部は、前記搭載支持部の外部に配置され、
前記軸部の軸方向において前記押付部が配置される側を第１方向側とし、前記軸部の、前記押付部材が前記把持位置に配置されているときに前記搭載支持部の外部に配置されている部分を外部配置部とすると、
前記押付部材が前記退避位置に配置されているときに、前記外部配置部は、最も前記第１方向側に配置される前記シール部材よりも前記第１方向側に配置されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のハンド。

【請求項6】

前記搭載支持部は、前記軸配置穴が形成されるとともに内周側で複数の前記シール部材を保持する筒状のシール保持部材と、前記シール保持部材と別体で形成されるとともに前記シール保持部材が固定される支持部本体とを備え、
前記支持部本体には、前記シール保持部材が配置されるとともに前記配置空間に通じるシール保持部材配置穴が形成され、
前記シール保持部材は、前記支持部本体に対して着脱可能になっており、
前記シール保持部材の外周面または前記シール保持部材配置穴の内周面には、前記配置空間への液体の浸入を防止するための外周側シール部材が配置される外周側シール配置凹部が形成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のハンド。

【請求項7】

前記シール部材として、前記軸部の軸方向において互いに間隔をあけた状態で配置される第１シール部材および第２シール部材の２個の前記シール部材を備え、
前記軸部の軸方向において前記押付部が配置される側を第１方向側とし、前記第１方向側の反対側を第２方向側とすると、
前記第１シール部材は、前記第２シール部材よりも前記第１方向側に配置され、
前記第１シール部材は、オムニシールであり、
前記第２シール部材は、ＵパッキンまたはＶパッキンであり、
前記シール保持部材は、前記第２シール部材が配置される内周側シール配置凹部が内周側に形成される筒状のシール保持部材本体と、前記第１方向側から前記シール保持部材本体の内周側に挿入される筒状の挿入部を有するカバー部材とを備え、
前記カバー部材は、前記シール保持部材本体と別体で形成されるとともに、前記シール保持部材本体に対して着脱可能になっており、
前記シール保持部材本体の内周側には、前記第１シール部材の、前記第２方向側への移動を規制する第１規制面が形成され、
前記挿入部の前記第２方向側の端面は、前記第１シール部材の、前記第１方向側への移動を規制する第２規制面となっていることを特徴とする請求項６記載のハンド。

【請求項8】

請求項１から３のいずれかに記載のハンドと、前記ハンドが連結されるアームと、前記アームが連結される本体部とを備えることを特徴とする産業用ロボット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、搬送対象物を搬送する産業用ロボットで使用される産業用ロボットのハンドに関する。また、本発明は、かかるハンドを備える産業用ロボットに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体ウエハを搬送するための水平多関節型の産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、半導体ウエハが搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えている。ハンドは、半導体ウエハが搭載される搭載部と、ハンドの基端側部分を構成するハンド基部と、搭載部に搭載される半導体ウエハを水平方向の一定位置で保持するための保持機構とを備えている。搭載部の基端側は、ハンド基部に固定されている。ハンド基部は、アームの先端側に回動可能に連結されている。

【0003】

特許文献１に記載の産業用ロボットでは、保持機構は、半導体ウエハの端面が当接する当接面を有する端面当接部材と、半導体ウエハの端面に接触して端面当接部材の当接面に半導体ウエハの端面を押し付ける押付部材と、押付部材を水平方向に直線的に移動させる駆動機構とを備えている。駆動機構は、中空状に形成されるハンド基部の内部に収容されている。押付部材の基端部は、駆動機構に連結されており、ハンド基部の内部に収容されている。押付部材の先端側部分は、ハンド基部の外部に配置されており、押付部材の先端が半導体ウエハの端面に接触可能となっている。ハンド基部には、押付部材が挿通される開口部が形成されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１５－３６１８６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１に記載の産業用ロボットが、半導体ウエハに対して水等の液体が使用される環境下で使用される場合（すなわち、半導体ウエハが搭載されるハンドが、液体が使用される環境下で使用される場合）、ハンド基部の開口部からハンド基部の内部に液体が浸入するおそれがある。また、ハンド基部の内部に液体が浸入すると、ハンド基部の内部に収容される駆動機構が腐食するおそれが生じる。

【0006】

そこで、本発明の課題は、搬送対象物が搭載される搭載部と、搭載部の基端側が固定される搭載支持部と、搭載部に搭載される搬送対象物を水平方向の一定位置で保持するための保持機構とを備える産業用ロボットのハンドにおいて、液体が使用される環境下で使用されても、保持機構の一部を構成する駆動機構が収容される搭載支持部の内部の配置空間への液体の浸入を効果的に抑制することが可能なハンドを提供することにある。また、本発明の課題は、かかるハンドを備える産業用ロボットを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記の課題を解決するため、本発明の一態様の産業用ロボットのハンドは、搬送対象物を搬送する産業用ロボットのハンドにおいて、搬送対象物が搭載される搭載部と、少なくとも一部が中空状に形成されるとともに搭載部の基端側が固定される搭載支持部と、搭載部に搭載される搬送対象物を水平方向の一定位置で保持するための保持機構と、搭載支持部の内部への液体の浸入を防止するための複数のシール部材と、搭載支持部の内部に気体を供給する気体供給機構とを備え、保持機構は、搬送対象物の端面が当接する当接面を有し搭載部の先端側に取り付けられる端面当接部材と、搬送対象物の端面に接触して当接面に搬送対象物の端面を押し付ける押付部と押付部が先端側に取り付けられる軸状の軸部とを有し搭載支持部に保持される押付部材と、搭載支持部の内部の配置空間に収容されるとともに軸部の基端側が連結され搭載支持部に対して押付部材を水平方向に直線的に移動させる駆動機構とを備え、搭載支持部には、軸部の一部が配置されるとともに配置空間に通じる軸配置穴が形成され、複数のシール部材は、軸部の軸方向に配列され軸配置穴に配置されるとともに、軸部の外周面に接触し、気体供給機構は、配置空間に気体を供給して配置空間を陽圧にすることを特徴とする。

【0008】

本態様の産業用ロボットのハンドは、搭載支持部の内部への液体の浸入を防止するための複数のシール部材と、搭載支持部の内部に気体を供給する気体供給機構とを備えている。また、本態様では、複数のシール部材は、軸部の軸方向に配列され軸配置穴に配置されるとともに、軸部の外周面に接触し、気体供給機構は、配置空間に気体を供給して配置空間を陽圧にしている。そのため、本態様では、液体が使用される環境下でハンドが使用されても、液体が軸配置穴を通過して搭載支持部の内部の配置空間に浸入するのを効果的に抑制することが可能になる。

【0009】

本態様において、たとえば、ハンドは、シール部材として、軸部の軸方向において互いに間隔をあけた状態で配置される第１シール部材および第２シール部材の２個のシール部材を備え、軸部の軸方向において押付部が配置される側を第１方向側とすると、第１シール部材は、第２シール部材よりも第１方向側に配置されている。

【0010】

本態様において、搭載支持部には、搭載支持部の外側面から、軸配置穴の、第１シール部材と第２シール部材との間の部分に通じる液体の抜き穴が形成されていることが好ましい。このように構成すると、仮に、軸配置穴の、第１シール部材が配置された部分を液体が通過して、軸配置穴の、第１シール部材と第２シール部材との間の部分まで液体が浸入したとしても、浸入した液体を抜き穴から排出することが可能になる。したがって、液体が軸配置穴を通過して搭載支持部の内部の配置空間に浸入するのをより効果的に抑制することが可能になる。

【0011】

本態様において、第１シール部材は、オムニシールであり、第２シール部材は、ＵパッキンまたはＶパッキンであることが好ましい。このように構成すると、たとえば、第１シール部材および第２シール部材がＯリングである場合と比較して、第１シール部材および第２シール部材と軸部との摺動摩擦を低減することが可能になる。したがって、第１シール部材および第２シール部材の摩耗を抑制しつつ、搭載支持部の内部の配置空間に液体が浸入するのを効果的に抑制することが可能になる。また、このように構成すると、第１シール部材がオムニシールであり、第１シール部材のシール性が高いため、搭載支持部の内部の配置空間に液体が浸入するのをより効果的に抑制することが可能になる。

【0012】

本態様において、駆動機構は、押付部が搬送対象物の端面に接触して当接面に搬送対象物の端面を押し付ける把持位置と、押付部が搬送対象物の端面から離れる退避位置との間で押付部材を移動させ、押付部材が把持位置に配置されているときには、軸部の一部は、搭載支持部の外部に配置され、軸部の軸方向において押付部が配置される側を第１方向側とし、軸部の、押付部材が把持位置に配置されているときに搭載支持部の外部に配置されている部分を外部配置部とすると、押付部材が退避位置に配置されているときに、外部配置部は、最も第１方向側に配置されるシール部材よりも第１方向側に配置されていることが好ましい。

【0013】

このように構成すると、押付部材が把持位置に配置されているときに搭載支持部の外部に配置されて液体が付着する外部配置部がシール部材に接触するのを防止することが可能になる。したがって、たとえば、研磨剤が含まれる薬液が使用される環境下でハンドが使用されても、薬液に含まれる研磨剤が付着した外部配置部がシール部材に接触するのを防止することが可能になる。その結果、研磨剤が含まれる薬液が使用される環境下でハンドが使用されても、外部配置部に付着した研磨剤に起因するシール部材の損傷を防止することが可能になる。

【0014】

本態様において、搭載支持部は、軸配置穴が形成されるとともに内周側で複数のシール部材を保持する筒状のシール保持部材と、シール保持部材と別体で形成されるとともにシール保持部材が固定される支持部本体とを備え、支持部本体には、シール保持部材が配置されるとともに配置空間に通じるシール保持部材配置穴が形成され、シール保持部材は、支持部本体に対して着脱可能になっており、シール保持部材の外周面またはシール保持部材配置穴の内周面には、配置空間への液体の浸入を防止するための外周側シール部材が配置される外周側シール配置凹部が形成されていることが好ましい。このように構成すると、支持部本体からシール保持部材を取り外せば、複数のシール部材を一緒に支持部本体から取り外すことができる。したがって、複数のシール部材の交換作業を容易に行うことが可能になる。

【0015】

本態様において、ハンドは、シール部材として、軸部の軸方向において互いに間隔をあけた状態で配置される第１シール部材および第２シール部材の２個のシール部材を備え、軸部の軸方向において押付部が配置される側を第１方向側とし、第１方向側の反対側を第２方向側とすると、第１シール部材は、第２シール部材よりも第１方向側に配置され、第１シール部材は、オムニシールであり、第２シール部材は、ＵパッキンまたはＶパッキンであり、シール保持部材は、第２シール部材が配置される内周側シール配置凹部が内周側に形成される筒状のシール保持部材本体と、第１方向側からシール保持部材本体の内周側に挿入される筒状の挿入部を有するカバー部材とを備え、カバー部材は、シール保持部材本体と別体で形成されるとともに、シール保持部材本体に対して着脱可能になっており、シール保持部材本体の内周側には、第１シール部材の、第２方向側への移動を規制する第１規制面が形成され、挿入部の第２方向側の端面は、第１シール部材の、第１方向側への移動を規制する第２規制面となっていることが好ましい。

【0016】

このように構成すると、たとえば、第１シール部材および第２シール部材がＯリングである場合と比較して、第１シール部材および第２シール部材と軸部との摺動摩擦を低減することが可能になる。したがって、第１シール部材および第２シール部材の摩耗を抑制しつつ、搭載支持部の内部の配置空間に液体が浸入するのを効果的に抑制することが可能になる。また、このように構成すると、第１シール部材がオムニシールであり、第１シール部材のシール性が高いため、搭載支持部の内部の配置空間に液体が浸入するのをより効果的に抑制することが可能になる。

【0017】

また、このように構成すると、第１シール部材の第１方向側への移動を規制する第２規制面が形成されるカバー部材が、シール保持部材本体と別体で形成されていて、シール保持部材本体に対して着脱可能になっているため、ＵパッキンやＶパッキンと比較して剛性の高いオムニシールが第１シール部材としてシール保持部材の内周側に配置されていても、シール保持部材本体からカバー部材を取り外すことで、シール保持部材の内周側に第１シール部材を容易に配置することが可能になる。

【0018】

本態様のハンドは、ハンドが連結されるアームと、アームが連結される本体部とを備える産業用ロボットに用いることができる。この産業用ロボットでは、液体が使用される環境下でハンドが使用されても、液体が軸配置穴を通過して搭載支持部の内部の配置空間に浸入するのを効果的に抑制することが可能になる。

【発明の効果】

【0019】

以上のように、本発明では、搬送対象物が搭載される搭載部と、搭載部の基端側が固定される搭載支持部と、搭載部に搭載される搬送対象物を水平方向の一定位置で保持するための保持機構とを備える産業用ロボットのハンドにおいて、液体が使用される環境下で使用されても、保持機構の一部を構成する駆動機構が収容される搭載支持部の内部の配置空間への液体の浸入を効果的に抑制することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの側面図である。

【図2】図１に示す産業用ロボットの平面図である。

【図3】図２に示すハンドの構成を説明するための平面図である。

【図4】図３のＥ－Ｅ断面の構成を説明するための断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

【0022】

（産業用ロボットの概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の側面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の平面図である。

【0023】

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である半導体ウエハ２（以下、「ウエハ２」とする。）を搬送するための水平多関節型のロボットである。ウエハ２は、円板状に形成されている。ロボット１は、半導体製造システムに組み込まれて使用される。ロボット１は、ウエハ２が搭載されるハンド３と、ハンド３が連結されるアーム４と、アーム４が連結される本体部５とを備えている。本形態のロボット１は、ウエハ２に対して水等の液体が使用される環境下で使用される。すなわち、本形態では、ウエハ２が搭載されるハンド３は、液体が使用される環境下で使用される。

【0024】

アーム４の先端側には、ハンド３が回動可能に連結されている。本体部５には、アーム４の基端側が回動可能に連結されている。アーム４は、基端側が本体部５に回動可能に連結されるアーム部７と、アーム部７の先端側に基端側が回動可能に連結されるアーム部８とから構成されている。ハンド３およびアーム部７、８は、上下方向を回動の軸方向として回動する。アーム４は、水平方向に伸縮動作を行う。

【0025】

本体部５は、アーム４の基端側（すなわち、アーム部７の基端側）が回動可能に連結される昇降体１１と、昇降体１１が収容される筐体１２と、筐体１２に対して昇降体１１を昇降させる昇降機構とを備えている。アーム部７の基端側は、昇降体１１の上端部に回動可能に連結されている。昇降機構は、筐体１２に収容されている。本体部５とアーム部７とアーム部８とハンド３とは、上下方向において、下側からこの順番で配置されている。また、ロボット１は、アーム部７、８およびハンド３を回動させてアーム４を伸縮させるアーム駆動機構等を備えている。

【0026】

（ハンドの構成）
図３は、図２に示すハンド３の構成を説明するための平面図である。図４は、図３のＥ－Ｅ断面の構成を説明するための断面図である。

【0027】

ハンド３は、たとえば、上下方向から見たときの形状が長方形状となるように形成されている。ハンド３は、ウエハ２が搭載される搭載部１５と、搭載部１５の基端側が固定される搭載支持部１６と、ハンド３の基端側部分を構成するハンド基部１７とを備えている。ハンド基部１７は、アーム部８の先端側に回動可能に連結されている。ハンド基部１７は、上下方向を回動の軸方向としてアーム部８に対して回動可能となっている。搭載支持部１６は、ハンド基部１７に回動可能に連結されている。搭載支持部１６は、水平方向を回動の軸方向としてハンド基部１７に対して回動可能となっている。搭載支持部１６の少なくとも一部は、中空状に形成されている。

【0028】

搭載部１５と搭載支持部１６とハンド基部１７とは、水平方向においてこの順番で配列されている。以下の説明では、水平方向であって、搭載部１５と搭載支持部１６とハンド基部１７とが配列される方向を「前後方向」とし、上下方向（鉛直方向）と前後方向とに直交する図３等のＹ方向を「左右方向」とする。また、前後方向の一方側である図３等のＸ１方向側を「前」側とし、その反対側である図３等のＸ２方向側を「後ろ」側とする。搭載部１５は、搭載支持部１６の前側に配置され、搭載支持部１６は、ハンド基部１７の前側に配置されている。搭載支持部１６は、前後方向を回動の軸方向としてハンド基部１７に対して回動可能となっている。

【0029】

ハンド３は、搭載部１５に搭載されるウエハ２を水平方向の一定位置で保持するための保持機構１９（図２参照）と、搭載支持部１６の内部への液体の浸入を防止するための複数のシール部材２０、２１と、搭載支持部１６の内部に気体を供給する気体供給機構２２（図２参照）とを備えている。本形態のハンド３は、第１シール部材としてのシール部材２０と、第２シール部材としてのシール部材２１との２個のシール部材２０、２１を備えている。また、ハンド３は、前後方向を回動の軸方向としてハンド基部１７に対して搭載部１５および搭載支持部１６を少なくとも１８０°回動させる回動機構（図示省略）を備えている。ロボット１では、搭載部１５に搭載されるウエハ２を搭載部１５と一緒に反転させることが可能になっている。

【0030】

搭載部１５は、たとえば、長方形の平板状に形成されている。搭載部１５は、搭載部１５の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。また、搭載部１５は、長方形状に形成される搭載部１５の長辺の方向と前後方向とが一致するように配置されている。搭載支持部１６は、上下方向の厚さが薄い扁平な直方体のブロック状に形成されている。搭載部１５の後端部は、搭載支持部１６の前端部に固定されている。

【0031】

保持機構１９は、搭載部１５に搭載されるウエハ２の端面（外周面）に３方向から接触して搭載部１５に搭載されるウエハ２を水平方向において一定位置で保持するエッジグリップ型の保持機構である。保持機構１９は、ウエハ２の端面が当接する当接面２５ａを有する端面当接部材２５と、ウエハ２の端面に接触して端面当接部材２５の当接面２５ａにウエハ２の端面を押し付ける押付部としてのローラ部２６を有する押付部材２７と、押付部材２７を水平方向に直線的に移動させる駆動機構２８とを備えている。

【0032】

端面当接部材２５は、搭載部１５の先端側に取り付けられている。すなわち、端面当接部材２５は、搭載部１５の前端側に取り付けられている。具体的には、端面当接部材２５は、搭載部１５の上面の前端部の２箇所に固定されている。搭載部１５の基端側の上面（すなわち、搭載部１５の後端側の上面）には、ウエハ２が載置される２個のウエハ載置部材２９が固定されている。搭載部１５に搭載されるウエハ２の下面は、端面当接部材２５およびウエハ載置部材２９に接触している。なお、図１では、端面当接部材２５およびウエハ載置部材２９の図示を省略している。

【0033】

押付部材２７は、搭載支持部１６に保持されている。具体的には、押付部材２７は、前後方向への直線的な移動が可能となるように搭載支持部１６に保持されている。押付部材２７は、ローラ部２６が先端側に取り付けられる軸状の軸部３２を備えている。軸部３２は、前後方向に細長い円柱状に形成されている。軸部３２の軸方向は、前後方向と一致している。すなわち、前後方向は、軸部３２の軸方向となっている。

【0034】

ローラ部２６は、軸部３２の前端部に取り付けられている。ローラ部２６は、ローラ３３と、ローラ３３を回転可能に保持するローラ保持部材３４とを備えている。ローラ保持部材３４は、軸部３２の前端部に固定されている。ローラ３３は、上下方向を回転の軸方向とする回転が可能となるようにローラ保持部材３４に保持されている。本形態の前側（Ｘ１方向側）は、軸部３２の軸方向において押付部であるローラ部２６が配置される側である第１方向側となっており、後ろ側（Ｘ２方向側）は、第１方向側の反対側である第２方向側となっている。

【0035】

駆動機構２８は、中空状に形成される搭載支持部１６の内部の配置空間Ｓ（図４参照）に収容されている。駆動機構２８は、駆動源としてのエアシリンダ３５と、エアシリンダ３５の動力で前後方向に直線的に移動するスライダ３６とを備えている。スライダ３６は、エアシリンダ３５のロッドに連結されている。スライダ３６には、ガイドブロック３７が固定されている。ガイドブロック３７は、搭載支持部１６に固定されるガイドレール３８に係合している。

【0036】

スライダ３６は、ガイドブロック３７とガイドレール３８とによって前後方向に案内される。軸部３２の基端側は、スライダ３６に連結されている。具体的には、軸部３２の後端部がスライダ３６に固定されている。軸部３２の後端部は、１本のネジ３９によってスライダ３６の前端部に固定されている。ネジ３９は、たとえば、六角穴付き止めネジである。押付部材２７は、ネジ３９を緩めることでスライダ３６から取り外すことが可能になっている。

【0037】

駆動機構２８は、搭載支持部１６に対して押付部材２７を前後方向に直線的に移動させる。また、駆動機構２８は、ローラ部２６がウエハ２の端面に接触して（具体的には、ローラ３３がウエハ２の端面に接触して）当接面２５ａにウエハ２の端面を押し付ける把持位置（図３の二点鎖線参照）と、ローラ部２６がウエハ２の端面から離れる（具体的には、ローラ３３がウエハ２の端面から離れる）退避位置（図３の実線参照）との間で押付部材２７を移動させる。押付部材２７は、把持位置に向かって前側に移動するとともに、退避位置に向かって後ろ側に移動する。

【0038】

搭載支持部１６は、内周側でシール部材２０、２１を保持する筒状のシール保持部材４１と、シール保持部材４１と別体で形成される支持部本体４２と、支持部本体４２と別体で形成され支持部本体４２に固定されるカバー部材４３とを備えている。支持部本体４２は、上面が開口する直方体の箱状に形成されている。カバー部材４３は、平板状に形成されている。カバー部材４３は、支持部本体４２の上面の開口を覆うように支持部本体４２の上面側に固定されている。配置空間Ｓは、支持部本体４２とカバー部材４３とによって画定されている。駆動機構２８は、支持部本体４２の内部に配置されている。

【0039】

支持部本体４２の前端部の内側には、シール保持部材４１を保持する保持部４２ａが形成されている。保持部４２ａは、支持部本体４２の左右方向の中心位置に形成されている。保持部４２ａには、シール保持部材４１が配置されるシール保持部材配置穴４２ｂが形成されている。すなわち、支持部本体４２にはシール保持部材配置穴４２ｂが形成されている。シール保持部材配置穴４２ｂは、前後方向で保持部４２ａを貫通する丸穴である。シール保持部材配置穴４２ｂは、支持部本体４２の前端面で開口するとともに配置空間Ｓに通じている。

【0040】

シール保持部材４１は、鍔付きの円筒状に形成されている。シール保持部材４１の鍔部を除いた部分は、前側からシール保持部材配置穴４２ｂの中に挿入されている。シール保持部材４１は、シール保持部材４１の軸方向と前後方向とが一致するように配置されている。シール保持部材４１の鍔部は、シール保持部材４１の前端部を構成している。シール保持部材４１は、支持部本体４２に固定されている。具体的には、シール保持部材４１の鍔部が保持部４２ａの前端側に固定されている。また、シール保持部材４１は、複数のネジ４４によって支持部本体４２に固定されている。ネジ４４は、たとえば、六角穴付きボルトである。シール保持部材４１は、ネジ４４を取り外すことで支持部本体４２から取り外すことが可能になっている。すなわち、シール保持部材４１は、支持部本体４２に対して着脱可能になっている。

【0041】

シール保持部材４１の内周側は、軸部３２の一部が配置される軸配置穴４１ａとなっている。すなわち、搭載支持部１６には、軸配置穴４１ａが形成されている。具体的には、シール保持部材４１に軸配置穴４１ａが形成されている。ローラ部２６は、シール保持部材４１よりも前側に配置されている。軸部３２の径方向において、軸部３２の外周面と軸配置穴４１ａの内周面との間には隙間が形成されている。軸配置穴４１ａは、配置空間Ｓに通じている。軸配置穴４１ａには、シール部材２０、２１が配置されている。シール部材２０とシール部材２１とは、前後方向において互いに間隔をあけた状態で配置されている。すなわち、シール部材２０とシール部材２１とは、前後方向に配列されている。本形態では、シール部材２０は、シール部材２１よりも前側に配置されている。

【0042】

シール部材２０、２１は、リップパッキンであり、環状に形成されている。具体的には、シール部材２０は、オムニシールであり、シール部材２１は、ＵパッキンまたはＶパッキン（Ｙパッキン）である。シール部材２０、２１は、軸部３２の外周側に配置されている。シール部材２０、２１は、軸部３２の外周面に接触している。具体的には、シール部材２０、２１のリップ部分が軸部３２の外周面に密着している。シール部材２０、２１は、軸配置穴４１ａから配置空間Ｓに液体が浸入するのを防止する機能を果たしている。

【0043】

シール保持部材４１の内周面には、シール部材２０が配置されるシール配置凹部４１ｂと、シール部材２１が配置されるシール配置凹部４１ｃとが形成されている。すなわち、軸配置穴４１ａには、シール配置凹部４１ｂ、４１ｃが形成されている。シール配置凹部４１ｂ、４１ｃは、シール保持部材４１の径方向の外側に向かって窪む環状に形成されている。シール配置凹部４１ｂは、シール部材２０の前後方向の移動を規制し、シール配置凹部４１ｃは、シール部材２１の前後方向の移動を規制している。シール配置凹部４１ｂは、シール配置凹部４１ｃよりも前側に形成されている。本形態のシール配置凹部４１ｃは、内周側シール配置凹部である。

【0044】

シール保持部材４１の外周側には、シール保持部材４１の外周面とシール保持部材配置穴４２ｂの内周面との隙間から配置空間Ｓに液体が浸入するのを防止するためのシール部材４５が配置されている。シール部材４５は、Ｏリングであり、環状に形成されている。シール保持部材４１の外周面には、シール部材４５が配置されるシール配置凹部４１ｄが形成されている。シール配置凹部４１ｄは、シール保持部材４１の径方向の内側に向かって窪む環状に形成されている。本形態のシール部材４５は、外周側シール部材であり、シール配置凹部４１ｄは、外周側シール配置凹部である。

【0045】

また、シール保持部材４１は、シール配置凹部４１ｃが内周側に形成される筒状のシール保持部材本体４７と、シール保持部材本体４７と別体で形成される筒状のカバー部材４８とを備えている。本形態のシール保持部材４１は、シール保持部材本体４７とカバー部材４８とによって構成されている。

【0046】

シール保持部材本体４７は、鍔付きの円筒状に形成されている。シール保持部材本体４７の鍔部を除いた部分は、シール保持部材配置穴４２ｂの中に挿入されている。シール保持部材本体４７は、シール保持部材本体４７の軸方向と前後方向とが一致するように配置されている。シール保持部材本体４７の鍔部は、シール保持部材本体４７の前端部を構成している。シール配置凹部４１ｄは、シール保持部材本体４７の外周面に形成されている。

【0047】

カバー部材４８は、鍔付きの円筒状に形成されている。カバー部材４８は、シール保持部材本体４７の内周側に前側から挿入される筒状の挿入部４８ａを備えている。挿入部４８ａは、円筒状に形成されている。挿入部４８ａの長さ（前後方向の長さ）は、シール保持部材本体４７の長さ（前後方向の長さ）よりも短くなっている。たとえば、挿入部４８ａの長さは、シール保持部材本体４７の長さの半分程度となっている。

【0048】

カバー部材４８は、カバー部材４８の軸方向と前後方向とが一致するように配置されている。カバー部材４８の鍔部は、挿入部４８ａの前端に繋がっており、カバー部材４８の前端部を構成している。カバー部材４８の鍔部は、シール保持部材本体４７の鍔部の前側に配置されている。カバー部材４８の鍔部の後面は、シール保持部材本体４７の鍔部の前面に接触している。シール保持部材本体４７とカバー部材４８とは、ネジ４４によって一緒に保持部４２ａに固定されている。カバー部材４８は、シール保持部材本体４７に着脱可能となっている。

【0049】

挿入部４８ａが内周側に挿入されるシール保持部材本体４７の前側部分の内径は、シール保持部材本体４７の後ろ側部分の内径よりも大きくなっている。シール保持部材本体４７の後ろ側部分の内径は、カバー部材４８の内径とほぼ等しくなっている。シール配置凹部４１ｃは、シール保持部材本体４７の後ろ側部分の内周側に形成されている。シール保持部材本体４７の前側部分の内周面とシール保持部材本体４７の後ろ側部分の内周面との境界には、前後方向に直交する円環状の段差面４７ａが形成されている。

【0050】

シール配置凹部４１ｂは、段差面４７ａと挿入部４８ａの後端面４８ｂとの間に形成されている。すなわち、シール部材２０は、段差面４７ａと後端面４８ｂとの間に配置されている。本形態の段差面４７ａは、シール部材２０の後ろ側への移動を規制する第１規制面となっている。すなわち、シール保持部材本体４７の内周側には、第１規制面が形成されている。また、挿入部４８ａの後端面４８ｂは、シール部材２０の後ろ側への移動を規制する第２規制面となっている。また、本形態では、シール保持部材本体４７の後ろ側部分の内周側と挿入部４８ａの内周側とに軸配置穴４１ａが形成されている。

【0051】

搭載支持部１６には、搭載支持部１６の外側面から、軸配置穴４１ａの、シール部材２０とシール部材２１との間の部分に通じる液体の抜き穴１６ａが形成されている。抜き穴１６ａは、搭載支持部１６の下面から、軸配置穴４１ａの、シール部材２０とシール部材２１との間の部分まで貫通する貫通穴である。図４に示すように、抜き穴１６ａは、シール保持部材本体４７の後ろ側部分に形成される貫通穴と、支持部本体４２の下面部に形成される貫通穴とによって構成されている。抜き穴１６ａは、シール部材４５よりも前側に形成されている。

【0052】

上述のように、駆動機構２８は、ローラ３３がウエハ２の端面に接触して当接面２５ａにウエハ２の端面を押し付ける把持位置と、ローラ３３がウエハ２の端面から離れる退避位置との間で押付部材２７を移動させる。押付部材２７が把持位置に配置されているときには、軸部３２の前端側の一部は、搭載支持部１６の外部に配置されている。軸部３２の、押付部材２７が把持位置に配置されているときに搭載支持部１６の外部に配置されている部分を外部配置部３２ａとすると、たとえば、図４の破線で囲まれた部分が外部配置部３２ａとなっている。図４に示すように、押付部材２７が退避位置に配置されているときには、外部配置部３２ａは、前側に配置されるシール部材２０よりも前側に配置されている。

【0053】

気体供給機構２２は、配置空間Ｓに気体を供給して配置空間Ｓを陽圧にする。本形態の気体供給機構２２は、配置空間Ｓに空気を供給する。気体供給機構２２は、配置空間Ｓに圧縮空気を送る送風機等の圧縮空気の供給源と、圧縮空気の供給源と配置空間Ｓとを繋ぐ配管等を備えている。

【0054】

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、ハンド３は、搭載支持部１６の内部への液体の浸入を防止するための２個のシール部材２０、２１と、搭載支持部１６の内部に気体を供給する気体供給機構２２とを備えている。また、本形態では、軸部３２の外周面に接触する２個のシール部材２０、２１が軸配置穴４１ａに配置され、気体供給機構２２が配置空間Ｓに気体を供給して配置空間Ｓを陽圧にしている。そのため、本形態では、液体が使用される環境下でハンド３が使用されても、液体が軸配置穴４１ａを通過して搭載支持部１６の内部の配置空間Ｓに浸入するのを効果的に抑制することが可能になる。

【0055】

本形態では、搭載支持部１６に、搭載支持部１６の外側面から、軸配置穴４１ａの、シール部材２０とシール部材２１との間の部分に通じる液体の抜き穴１６ａが形成されている。そのため、本形態では、仮に、軸配置穴４１ａの、シール部材２０が配置された部分を液体が通過して、軸配置穴４１ａの、シール部材２０とシール部材２１との間の部分まで液体が浸入したとしても、浸入した液体を抜き穴１６ａから排出することが可能になる。特に本形態では、抜き穴１６ａが搭載支持部１６の下面に通じているため、仮に、軸配置穴４１ａの、シール部材２０とシール部材２１との間の部分まで液体が浸入したとしても、重力の作用で、浸入した液体を抜き穴１６ａから排出しやすくなる。したがって、本形態では、液体が軸配置穴４１ａを通過して配置空間Ｓに浸入するのをより効果的に抑制することが可能になる。

【0056】

本形態では、シール部材２０は、オムニシールであり、シール部材２１は、ＵパッキンまたはＶパッキンである。そのため、本形態では、たとえば、シール部材２０、２１がＯリングである場合と比較して、シール部材２０、２１と軸部３２との摺動摩擦を低減することが可能になる。したがって、本形態では、シール部材２０、２１の摩耗を抑制しつつ、配置空間Ｓに液体が浸入するのを効果的に抑制することが可能になる。また、本形態では、シール部材２０がオムニシールであり、シール部材２０のシール性が高いため、配置空間Ｓに液体が浸入するのをより効果的に抑制することが可能になる。

【0057】

本形態では、押付部材２７が退避位置に配置されているときに、軸部３２の外部配置部３２ａは、前側に配置されるシール部材２０よりも前側に配置されている。そのため、本形態では、押付部材２７が把持位置に配置されているときに搭載支持部１６の外部に配置されて液体が付着する外部配置部３２ａがシール部材２０、２１に接触するのを防止することが可能になる。したがって、本形態では、たとえば、研磨剤が含まれる薬液が使用される環境下でハンド３が使用されても、薬液に含まれる研磨剤が付着した外部配置部３２ａがシール部材２０、２１に接触するのを防止することが可能になる。その結果、本形態では、研磨剤が含まれる薬液が使用される環境下でハンド３が使用されても、外部配置部３２ａに付着した研磨剤に起因するシール部材２０、２１の損傷を防止することが可能になる。

【0058】

本形態では、搭載支持部１６は、内周側でシール部材２０、２１を保持するシール保持部材４１と、シール保持部材４１と別体で形成されるとともにシール保持部材４１が固定される支持部本体４２とを備えており、シール保持部材４１は、支持部本体４２に対して着脱可能になっている。また、本形態では、ネジ３９を緩めてスライダ３６から押付部材２７を取り外すとともに、ネジ４４を取り外して支持部本体４２からシール保持部材４１を取り外せば、２個のシール部材２０、２１を一緒に支持部本体４２から取り外すことができる。したがって、本形態では、２個のシール部材２０、２１の交換作業を容易に行うことが可能になる。

【0059】

また、本形態では、シール保持部材４１の外周面にシール部材４５が配置されるシール配置凹部４１ｄが形成されているため、支持部本体４２からシール保持部材４１を取り外せば、２個のシール部材２０、２１と一緒にシール部材４５も支持部本体４２から取り外すことができる。したがって、本形態では、３個のシール部材２０、２１、４５の交換作業を容易に行うことが可能になる。

【0060】

本形態では、シール部材２０の前側への移動を規制する後端面４８ｂが形成されるカバー部材４８が、シール保持部材本体４７と別体で形成されていて、シール保持部材本体４７に対して着脱可能になっている。そのため、本形態では、ＵパッキンやＶパッキンと比較して剛性の高いオムニシールであるシール部材２０がシール保持部材４１の内周側に配置されていても、シール保持部材本体４７からカバー部材４８を取り外すことで、シール保持部材４１の内周側にシール部材２０を容易に配置することが可能になる。

【0061】

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

【0062】

上述した形態において、シール部材２０は、ＵパッキンまたはＶパッキンであっても良い。また、上述した形態において、シール部材２１は、オムニシールであっても良い。また、上述した形態において、シール部材２０、２１は、Ｏリングであっても良い。さらに、上述した形態において、ハンド３は、軸配置穴４１ａに配置される３個以上のシール部材を備えていても良い。

【0063】

上述した形態において、シール保持部材４１は、１個の部材によって構成されていても良い。すなわち、シール保持部材本体４７とカバー部材４８とが一体で形成されていても良い。また、上述した形態において、シール保持部材４１と支持部本体４２とが一体で形成されていても良い。さらに、上述した形態において、搭載支持部１６に抜き穴１６ａが形成されていなくても良い。また、上述した形態において、シール保持部材配置穴４２ｂの内周面にシール部材４５が配置される外周側シール配置凹部が形成されていても良い。

【0064】

上述した形態において、駆動機構２８は、エアシリンダ３５に代えてモータ等の駆動源を備えていても良い。また、上述した形態において、ローラ３３は、ローラ保持部材３４に対して回転可能になっていなくても良い。また、上述した形態において、押付部材２７は、ローラ部２６以外の押付部を備えていても良い。さらに、上述した形態において、搭載支持部１６は、ハンド基部１７に対して回動可能となっていなくても良い。また、上述した形態において、気体供給機構２２は、配置空間Ｓに空気以外の気体を供給しても良い。

【0065】

上述した形態において、ロボット１は、アーム４の先端側に回動可能に連結される２個のハンド３を備えていても良い。また、上述した形態において、アーム４は、３個以上のアーム部によって構成されていても良い。また、上述した形態において、ロボット１によって搬送される搬送対象物は、ウエハ２以外のものであっても良い。この場合には、たとえば、搬送対象物は、正方形または長方形の平板状に形成されていても良い。

【0066】

本発明が適用される産業用ロボットは、水平多関節型の産業用ロボット以外のロボットであっても良い。たとえば、本発明が適用される産業用ロボットは、ハンド３の直線的な往復移動が可能となるようにハンド３が連結されるアームと、アームが回動可能に連結される本体部と、アームに対してハンド３を直線的に往復移動させるリニア駆動部とを備える産業用ロボットであっても良い。

【0067】

（本技術の構成）
なお、本技術は以下のような構成を取ることが可能である。
（１）搬送対象物を搬送する産業用ロボットのハンドにおいて、
前記搬送対象物が搭載される搭載部と、少なくとも一部が中空状に形成されるとともに前記搭載部の基端側が固定される搭載支持部と、前記搭載部に搭載される前記搬送対象物を水平方向の一定位置で保持するための保持機構と、前記搭載支持部の内部への液体の浸入を防止するための複数のシール部材と、前記搭載支持部の内部に気体を供給する気体供給機構とを備え、
前記保持機構は、前記搬送対象物の端面が当接する当接面を有し前記搭載部の先端側に取り付けられる端面当接部材と、前記搬送対象物の端面に接触して前記当接面に前記搬送対象物の端面を押し付ける押付部と前記押付部が先端側に取り付けられる軸状の軸部とを有し前記搭載支持部に保持される押付部材と、前記搭載支持部の内部の配置空間に収容されるとともに前記軸部の基端側が連結され前記搭載支持部に対して前記押付部材を水平方向に直線的に移動させる駆動機構とを備え、
前記搭載支持部には、前記軸部の一部が配置されるとともに前記配置空間に通じる軸配置穴が形成され、
複数の前記シール部材は、前記軸部の軸方向に配列され前記軸配置穴に配置されるとともに、前記軸部の外周面に接触し、
前記気体供給機構は、前記配置空間に気体を供給して前記配置空間を陽圧にすることを特徴とするハンド。
（２）前記シール部材として、前記軸部の軸方向において互いに間隔をあけた状態で配置される第１シール部材および第２シール部材の２個の前記シール部材を備え、
前記軸部の軸方向において前記押付部が配置される側を第１方向側とすると、
前記第１シール部材は、前記第２シール部材よりも前記第１方向側に配置されていることを特徴とする（１）記載のハンド。
（３）前記搭載支持部には、前記搭載支持部の外側面から、前記軸配置穴の、前記第１シール部材と前記第２シール部材との間の部分に通じる液体の抜き穴が形成されていることを特徴とする（２）記載のハンド。
（４）前記第１シール部材は、オムニシールであり、
前記第２シール部材は、ＵパッキンまたはＶパッキンであることを特徴とする（２）または（３）記載のハンド。
（５）前記駆動機構は、前記押付部が前記搬送対象物の端面に接触して前記当接面に前記搬送対象物の端面を押し付ける把持位置と、前記押付部が前記搬送対象物の端面から離れる退避位置との間で前記押付部材を移動させ、
前記押付部材が前記把持位置に配置されているときには、前記軸部の一部は、前記搭載支持部の外部に配置され、
前記軸部の軸方向において前記押付部が配置される側を第１方向側とし、前記軸部の、前記押付部材が前記把持位置に配置されているときに前記搭載支持部の外部に配置されている部分を外部配置部とすると、
前記押付部材が前記退避位置に配置されているときに、前記外部配置部は、最も前記第１方向側に配置される前記シール部材よりも前記第１方向側に配置されていることを特徴とする（１）から（４）のいずれかに記載のハンド。
（６）前記搭載支持部は、前記軸配置穴が形成されるとともに内周側で複数の前記シール部材を保持する筒状のシール保持部材と、前記シール保持部材と別体で形成されるとともに前記シール保持部材が固定される支持部本体とを備え、
前記支持部本体には、前記シール保持部材が配置されるとともに前記配置空間に通じるシール保持部材配置穴が形成され、
前記シール保持部材は、前記支持部本体に対して着脱可能になっており、
前記シール保持部材の外周面または前記シール保持部材配置穴の内周面には、前記配置空間への液体の浸入を防止するための外周側シール部材が配置される外周側シール配置凹部が形成されていることを特徴とする（１）から（５）のいずれかに記載のハンド。
（７）前記シール部材として、前記軸部の軸方向において互いに間隔をあけた状態で配置される第１シール部材および第２シール部材の２個の前記シール部材を備え、
前記軸部の軸方向において前記押付部が配置される側を第１方向側とし、前記第１方向側の反対側を第２方向側とすると、
前記第１シール部材は、前記第２シール部材よりも前記第１方向側に配置され、
前記第１シール部材は、オムニシールであり、
前記第２シール部材は、ＵパッキンまたはＶパッキンであり、
前記シール保持部材は、前記第２シール部材が配置される内周側シール配置凹部が内周側に形成される筒状のシール保持部材本体と、前記第１方向側から前記シール保持部材本体の内周側に挿入される筒状の挿入部を有するカバー部材とを備え、
前記カバー部材は、前記シール保持部材本体と別体で形成されるとともに、前記シール保持部材本体に対して着脱可能になっており、
前記シール保持部材本体の内周側には、前記第１シール部材の、前記第２方向側への移動を規制する第１規制面が形成され、
前記挿入部の前記第２方向側の端面は、前記第１シール部材の、前記第１方向側への移動を規制する第２規制面となっていることを特徴とする（６）記載のハンド。
（８）（１）から（７）のいずれかに記載のハンドと、前記ハンドが連結されるアームと、前記アームが連結される本体部とを備えることを特徴とする産業用ロボット。

【符号の説明】

【0068】

１ ロボット（産業用ロボット）
２ ウエハ（半導体ウエハ、搬送対象物）
３ ハンド
４ アーム
５ 本体部
１５ 搭載部
１６ 搭載支持部
１６ａ 抜き穴
１９ 保持機構
２０ シール部材（第１シール部材）
２１ シール部材（第２シール部材）
２２ 気体供給機構
２５ 端面当接部材
２５ａ 当接面
２６ ローラ部（押付部）
２７ 押付部材
２８ 駆動機構
３２ 軸部
３２ａ 外部配置部
４１ シール保持部材
４１ａ 軸配置穴
４１ｃ シール配置凹部（内周側シール配置凹部）
４１ｄ シール配置凹部（外周側シール配置凹部）
４２ 支持部本体
４２ｂ シール保持部材配置穴
４５ シール部材（外周側シール部材）
４７ シール保持部材本体
４７ａ 段差面（第１規制面）
４８ カバー部材
４８ａ 挿入部
４８ｂ 後端面（挿入部の第２方向側の端面、第２規制面）
Ｓ 配置空間
Ｘ１ 第１方向側
Ｘ２ 第２方向側

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】