特開 2024-77879 シート製造装置およびシート製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024077879

(43)【公開日】2024-06-10

(54)【発明の名称】シート製造装置およびシート製造方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20240603BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022190091

(22)【出願日】2022-11-29

(71)【出願人】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000637

【氏名又は名称】弁理士法人樹之下知的財産事務所

(72)【発明者】

【氏名】高野 健

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131BA53

5F131CA32

5F131CA53

5F131DA33

5F131DA42

5F131DB51

5F131EA07

5F131EB01

5F131EB11

5F131EB31

5F131EB78

(57)【要約】

【課題】接着シートの形成不良を防止することができるシート製造装置およびシート製造方法を提供する。
【解決手段】シート製造装置ＥＡは、帯状の接着シート基材ＡＢを繰り出す繰出手段１０と、繰出手段１０で繰り出される接着シート基材ＡＢに切込ＣＵを形成し、当該切込ＣＵで仕切られた領域に接着シートＡＳを形成する切断刃２３を備えた接着シート形成手段２０と、接着シート基材ＡＢを吸引する吸引口３２Ｃを有し、接着シート基材ＡＢを切断刃２３に押し付ける押し付け手段３０とを備え、押し付け手段３０は、接着シート基材ＡＢを切断刃２３に押し付けない位置に吸引口３２Ｃが設けられている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

帯状の接着シート基材を繰り出す繰出手段と、
前記繰出手段で繰り出される前記接着シート基材に切込を形成し、当該切込で仕切られた領域に接着シートを形成する切断刃を備えた接着シート形成手段と、
前記接着シート基材を吸引する吸引口を有し、前記接着シート基材を前記切断刃に押し付ける押し付け手段とを備え、
前記押し付け手段は、前記接着シート基材を前記切断刃に押し付けない位置に前記吸引口が設けられていることを特徴とするシート製造装置。

【請求項2】

前記押し付け手段は、前記接着シート基材における繰出方向に直交する幅方向の両端部を吸引する位置に前記吸引口が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のシート製造装置。

【請求項3】

帯状の接着シート基材を繰り出す繰出工程と、
前記繰出工程で繰り出される前記接着シート基材に切断刃で切込を形成し、当該切込で仕切られた領域に接着シートを形成する接着シート形成工程と、
前記接着シート基材を吸引口で吸引しつつ、前記接着シート基材を前記切断刃に押し付ける押し付け工程とを実施し、
前記押し付け工程では、前記接着シート基材を前記切断刃に押し付けない位置で前記吸引口によって前記接着シート基材を吸引することを特徴とするシート製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シート製造装置およびシート製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

接着シート基材に切込を形成して当該接着シート基材に接着シートを形成し、当該接着シートを製造するシート製造装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１６－５５３６３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載されたロータリーカッタ１（シート製造装置）では、原反５０（接着シート基材）を刃１１（切断刃）に押し付けるアンビルロール２０（押し付け手段）において、接着シート基材を切断刃に押し付ける位置に吸引孔２１（吸引口）があると、当該吸引口に接着シート基材が逃げ込むため、接着シート基材に対する切断刃の切込量が不足し、製品５１（接着シート）が切れ端５３や他の接着シートと部分的に繋がった状態となり、接着シートの形成不良が生じるという不都合がある。

【0005】

本発明の目的は、接着シートの形成不良を防止することができるシート製造装置およびシート製造方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、接着シート基材を切断刃に押し付けない位置に吸引口が設けられているので、当該吸引口に接着シート基材が逃げ込むことがなくなり、接着シート基材に対する切断刃の切込量が不足することを抑制し、接着シートの形成不良を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本発明の一実施形態に係るシート製造装置を備えたシート貼付装置の説明図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の一実施形態を図１に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。

【0010】

シート製造装置ＥＡは、帯状の接着シート基材ＡＢを繰り出す繰出工程を実施する繰出手段１０と、繰出手段１０で繰り出される接着シート基材ＡＢに切込ＣＵを形成し、当該切込ＣＵで仕切られた領域に接着シートＡＳを形成する切断刃２３を備えた接着シート形成工程を実施する接着シート形成手段２０と、接着シート基材ＡＢを吸引する吸引口３２Ｃを有し、接着シート基材ＡＢを切断刃２３に押し付ける押し付け工程を実施する押し付け手段３０とを備えている。
なお、本実施形態のシート製造装置ＥＡは、接着シート基材ＡＢから接着シートＡＳを抜き取って供給する供給工程を実施する供給手段４０とでシート供給装置ＥＡ１を形成し、さらに、供給手段４０と、被着体ＷＫに接着シートＡＳを押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ５０とでシート貼付装置ＥＡ２を形成して、被着体ＷＫを支持する支持手段６０の近傍に配置されている。

【0011】

繰出手段１０は、剥離シートＲＬに接着シート基材ＡＢが仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ１１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ１２と、駆動機器としての回動モータ１３Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１３Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ１３と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡ２の自動運転が行われている間、ピンチローラ１３Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ１４とを備えている。

【0012】

接着シート形成手段２０は、駆動機器としての回動モータ２１の出力軸２１Ａに支持されたダイカットローラ２２と、ダイカットローラ２２の外周面に支持され、接着シート基材ＡＢに切込ＣＵを形成する切断刃２３とを備えている。
本実施形態の場合、切断刃２３は、閉ループ状とされ、接着シート基材ＡＢ側から剥離シートＲＬにまで達する切込ＣＵを形成することで、当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳを形成するとともに、当該切込ＣＵの外側に不要シートＵＳを形成するようになっている。

【0013】

押し付け手段３０は、接着シート基材ＡＢを切断刃２３に押し付けない位置に吸引口３２Ｃが設けられている。すなわち、押し付け手段３０は、駆動機器としての回動モータ３１と、回動モータ３１の出力軸３１Ａに支持され、内部に吸引路３２Ａが形成されたアンビルローラ３２と、吸引路３２Ａに回転継手３３Ａおよび配管３３Ｂを介して連通する減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段３３とを備えている。
本実施形態のアンビルローラ３２は、当該アンビルローラ３２の軸方向の両端部に形成され、吸引路３２Ａに連通する凹部３２Ｂと、表面が当該アンビルローラ３２の外周面と一致するように凹部３２Ｂ内に配置され、複数の吸引口３２Ｃが形成された多孔質部材３２Ｄとを備え、図１中ＡＡを付した図中二点鎖線に示すように、アンビルローラ３２の外周面における切断刃２３と対向する領域よりも軸方向外側であって、接着シート基材ＡＢにおける繰出方向に直交する幅方向の両端部を吸引する位置に吸引口３２Ｃが設けられている。

【0014】

供給手段４０は、剥離縁４１Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離して供給する剥離手段としての剥離板４１を備えている。

【0015】

支持手段６０は、駆動機器としてのリニアモータ６１と、リニアモータ６１のスライダ６１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面６２Ａを有するテーブル６２とを備えている。

【0016】

以上のシート製造装置ＥＡを備えたシート貼付装置ＥＡ２の動作を説明する。
先ず、図１中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡ２に対し、当該シート貼付装置ＥＡ２の使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力すると、押し付け手段３０が減圧手段３３を駆動し、多孔質部材３２Ｄでの原反ＲＳの吸引を開始する。次いで、繰出手段１０、接着シート形成手段２０および押し付け手段３０が回動モータ１３Ａ、２１、３１を駆動し、原反ＲＳを繰り出すと、接着シート基材ＡＢがアンビルローラ３２によって切断刃２３に押し付けられ、当該接着シート基材ＡＢに切断刃２３の形状に対応した切込ＣＵが形成されて接着シートＡＳと不要シートＵＳとが形成される。その後、図１に示すように、先頭の接着シートＡＳの繰出方向先端部が剥離板４１の剥離縁４１Ａで所定長さ剥離されると、繰出手段１０、接着シート形成手段２０および押し付け手段３０が回動モータ１３Ａ、２１、３１の駆動を停止する。

【0017】

次に、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、支持面６２Ａ上の所定の位置に被着体ＷＫを載置すると、支持手段６０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面６２Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を開始する。そして、支持手段６０がリニアモータ６１を駆動し、テーブル６２を左方へ移動させ、当該テーブル６２が所定の位置に到達すると、繰出手段１０、接着シート形成手段２０および押し付け手段３０が回動モータ１３Ａ、２１、３１を駆動し、テーブル６２の移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、接着シートＡＳは、剥離シートＲＬから剥離されることで接着シート基材ＡＢから抜き取られ、当該接着シート基材ＡＢから抜き取られた接着シートＡＳは、図１中二点鎖線で示すように、押圧ローラ５０によって被着体ＷＫに押圧されて貼付される。次いで、接着シートＡＳ全体が被着体ＷＫに貼付され、先頭の接着シートＡＳに続く次の接着シートＡＳの繰出方向先端部が剥離板４１の剥離縁４１Ａで所定長さ剥離されると、繰出手段１０、接着シート形成手段２０および押し付け手段３０が回動モータ１３Ａ、２１、３１の駆動を停止する。その後、テーブル６２が押圧ローラ５０の左方所定位置に到達すると、支持手段６０がリニアモータ６１の駆動を停止した後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面６２Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を解除する。次に、使用者または図示しない搬送手段が、接着シートＡＳが貼付された被着体ＷＫを次工程に搬送すると、支持手段６０がリニアモータ６１を駆動し、テーブル６２を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0018】

以上のような実施形態によれば、接着シート基材ＡＢを切断刃２３に押し付けない位置に吸引口３２Ｃが設けられているので、当該吸引口３２Ｃに接着シート基材ＡＢが逃げ込むことがなくなり、接着シート基材ＡＢに対する切断刃２３の切込量が不足することを抑制し、接着シートＡＳの形成不良を防止することができる。

【0019】

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。

【0020】

例えば、繰出手段１０は、剥離シートＲＬに仮着されていない接着シート基材ＡＢを繰り出してもよいし、支持ローラ１１やガイドローラ１２等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で原反ＲＳ、接着シート基材ＡＢ、剥離シートＲＬ、不要シートＵＳを支持したり案内したりしてもよいし、原反ＲＳや接着シート基材ＡＢを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、剥離シートＲＬや不要シートＵＳを巻回することなくファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートＲＬや不要シートＵＳを回収する回収手段を採用してもよいし、回収手段を採用しなくてもよい。

【0021】

接着シート形成手段２０は、接着シート基材ＡＢの幅方向の一端から他端にわたって切込を形成する切断刃を備え、当該切込で仕切られた領域に接着シートＡＳを形成してもよいし、ダイカットローラ２２の外周面に複数の切断刃２３が備わっていてもよいし、ダイカットローラ２２に直接切断刃２３が形成されていてもよいし、ダイカットローラ２２に対して着脱可能な切断刃２３が備わっていてもよいし、出力軸で回動モータ２１を支持する直動モータ等の駆動機器によって、切断刃２３を接着シート基材ＡＢに離間接近させて接着シートＡＳを形成してもよいし、ダイカットローラ２２以外の例えば平坦な板に切断刃２３が支持されていてもよいし、外縁形状が円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形等の接着シートＡＳを形成可能な切断刃２３が備わっていてもよい。

【0022】

押し付け手段３０は、凹部３２Ｂおよび多孔質部材３２Ｄがアンビルローラ３２の外周面に断続して設けられていてもよいし、凹部３２Ｂおよび多孔質部材３２Ｄに代えてまたは併用して、アンビルローラ３２の外周面に吸引口３２Ｃが直接形成されていてもよいし、剥離シートＲＬを介さずに接着シート基材ＡＢを直接切断刃２３に押し付けてもよいし、接着シート基材ＡＢにおける繰出方向に直交する幅方向の一端部のみを吸引する位置に吸引口３２Ｃが設けられていてもよいし、他端部のみを吸引する位置に吸引口３２Ｃが設けられていてもよい。
押し付け手段３０は、アンビルローラ３２の外周面における切断刃２３と対向する領域内であって、例えば、切断刃２３が形成する閉ループ状の切込ＣＵの内側となる位置や、当該閉ループ状の切込ＣＵの外側であって接着シート基材ＡＢの幅方向の両端部でない位置に吸引口３２Ｃが形成されていてもよく、この場合、切断刃２３が吸引口３２Ｃ上に位置しないようにダイカットローラ２２とアンビルローラ３２との回転を調整すればよい。
吸引口３２Ｃの形状は、特に限定されず、その断面形状や開口形状が円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形の他、溝状形状や焼結によって形成された孔形状等どのような形状であってもよい。

【0023】

供給手段４０は、剥離シートＲＬに仮着されていない接着シート基材ＡＢが採用された場合（剥離シートＲＬに仮着されている接着シート基材ＡＢが採用された場合でも）、例えば、剥離板４１に代えてまたは併用して、駆動機器としての直動モータと、直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な接着シート保持部材とを備えたものを採用し、当該接着シート保持部材で保持した接着シートＡＳを接着シート基材ＡＢから抜き取って供給してもよいし、本発明のシート製造装置ＥＡ、シート供給装置ＥＡ１またはシート貼付装置ＥＡ２に備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、備わっていない場合、他の装置で接着シートＡＳを供給してもよい。

【0024】

押圧手段は、駆動機器としての直動モータと、直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材とを備え、当該保持部材で保持した接着シートＡＳを被着体ＷＫに押圧して貼付する構成を採用してもよいし、シート製造装置ＥＡや押圧ローラ５０等を天地反転して配置したり横置きに配置したりして、被着体ＷＫの下面や側面等に接着シートＡＳを押圧して貼付するように構成してもよいし、押圧ローラ５０を被着体ＷＫに離間接近させる押圧部材接離手段としての駆動機器を採用し、被着体ＷＫにストレスがかかったり損傷したりすることを防止するようにしてもよいし、本発明のシート製造装置ＥＡ、シート供給装置ＥＡ１またはシート貼付装置ＥＡ２に備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、備わっていない場合、他の装置で被着体ＷＫに接着シートＡＳを押圧して貼付してもよい。

【0025】

支持手段６０は、支持面６２Ａで吸着保持ができないテーブル６２が採用されてもよいし、本発明のシート製造装置ＥＡ、シート供給装置ＥＡ１またはシート貼付装置ＥＡ２に備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、備わっていない場合、他の装置で被着体ＷＫを移動させてもよい。

【0026】

シート製造装置ＥＡは、単体で用いられてもよいし、供給手段４０とで形成されたシート供給装置ＥＡ１単体で用いられてもよく、例えば、シート供給装置ＥＡ１は、接着シート基材ＡＢから抜き取った接着シートＡＳを押圧手段以外の例えば、公知の印刷装置や検査装置等の他の装置に供給したり、使用者に供給したりしてもよい。

【0027】

接着シート基材ＡＢ、接着シートＡＳおよび被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シート基材ＡＢ、接着シートＡＳおよび被着体ＷＫは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シート基材ＡＢは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シート基材ＡＢが採用された場合は、接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、接着シート基材ＡＢは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層とが積層された２層のもの、基材と接着剤層との間に１または複数の中間層が積層された３層または３層以上のもの、基材の上面に１または複数のカバー層が積層された３層または３層以上のもの、基材、中間層またはカバー層が剥離可能に設けられたもの、接着剤層のみからなる単層の両面接着シート、１または複数の中間層の両最外面に接着剤層が積層された両面接着シート等、どのようなものでもよい。さらに、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

【0028】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、繰出手段は、帯状の接着シート基材を繰り出すものであればどんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

【0029】

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や樹脂等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよい。

【符号の説明】

【0030】

ＥＡ…シート製造装置
１０…繰出手段
２０…接着シート形成手段
２３…切断刃
３０…押し付け手段
３２Ｃ…吸引口
ＡＢ…接着シート基材
ＡＳ…接着シート
ＣＵ…切込

【図1】