特開 2024-77941 駆動基板、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024077941

(43)【公開日】2024-06-10

(54)【発明の名称】駆動基板、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/14 20060101AFI20240603BHJP

【ＦＩ】

B41J2/14 611

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022190195

(22)【出願日】2022-11-29

(71)【出願人】

【識別番号】501167725

【氏名又は名称】エスアイアイ・プリンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001357

【氏名又は名称】弁理士法人つばさ国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】吉田 憲右

【テーマコード（参考）】

2C057

【Ｆターム（参考）】

2C057AG81

2C057AG91

2C057AK07

2C057AK09

2C057AK10

(57)【要約】

【課題】信頼性を向上させることが可能な駆動基板等を提供する。
【解決手段】本開示の一実施の形態に係る駆動基板は、複数のノズルを有する液体噴射ヘッドに適用する駆動信号を出力する基板であって、基板面上に実装されており、ノズルから液体を噴射させるための駆動信号を生成すると共に、互いに異なる複数箇所に位置する複数のデジタルグランド端子を有する１または複数の駆動デバイスと、この駆動デバイスの実装領域内に配置されており、複数箇所のデジタルグランド端子のうちの２箇所以上のデジタルグランド端子に対して、電気的に共通接続されたデジタルグランド配線と、を備えている。
【選択図】図７

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数のノズルを有する液体噴射ヘッドに適用する駆動信号を出力する基板であって、
基板面上に実装されており、前記ノズルから液体を噴射させるための前記駆動信号を生成すると共に、互いに異なる複数箇所に位置する複数のデジタルグランド端子を有する、１または複数の駆動デバイスと、
前記駆動デバイスの実装領域内に配置されており、前記複数箇所のデジタルグランド端子のうちの２箇所以上の前記デジタルグランド端子に対して、電気的に共通接続されたデジタルグランド配線と
を備えた駆動基板。

【請求項2】

前記駆動デバイスは、前記実装領域内に、デジタル回路が配置されたデジタル回路配置領域を、更に有しており、
前記デジタルグランド配線は、前記デジタル回路配置領域の少なくとも一部と重なるように形成されている、第１ガード領域を有する
請求項１に記載の駆動基板。

【請求項3】

前記駆動デバイスは、複数のデバイス制御端子を更に有していると共に、
前記複数のデバイス制御端子に対して個別に電気的接続された、複数のデバイス制御配線が更に設けられており、
前記複数のデバイス制御配線のうちの少なくとも１つが、前記第１ガード領域内において、前記デジタルグランド配線と電気的に接続されている
請求項２に記載の駆動基板。

【請求項4】

前記駆動デバイスは、データが入力されるデータ入力端子と、前記データを出力するデータ出力端子と、を更に有していると共に、
前記データ入力端子および前記データ出力端子に対して個別に電気的接続されたデータ配線が、更に設けられており、
前記デジタルグランド配線は、前記データ配線の周囲に配置されていると共に前記第１ガード領域と電気的に接続された、第２ガード領域を更に有している
請求項２または請求項３に記載の駆動基板。

【請求項5】

前記データ配線が、差動伝送配線を含む
請求項４に記載の駆動基板。

【請求項6】

複数の前記駆動デバイスが、前記差動伝送配線を介して互いにカスケード接続されている
請求項５に記載の駆動基板。

【請求項7】

請求項１ないし請求項３いずれか１項に記載の駆動基板と、
前記駆動基板から出力される前記駆動信号に基づいて前記液体を噴射する、前記複数のノズルを有する噴射部と
を備えた液体噴射ヘッド。

【請求項8】

請求項７に記載の液体噴射ヘッドを備えた
液体噴射記録装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、駆動基板、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置に関する。

【背景技術】

【0002】

液体噴射ヘッドを備えた液体噴射記録装置が様々な分野に利用されており、液体噴射ヘッドとしては、各種方式のものが開発されている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１７－１４４６７２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

このような液体噴射ヘッドでは一般に、信頼性を向上させることが求められている。信頼性を向上させることが可能な、駆動基板、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置を提供することが望ましい。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本開示の一実施の形態に係る駆動基板は、複数のノズルを有する液体噴射ヘッドに適用する駆動信号を出力する基板であって、基板面上に実装されており、ノズルから液体を噴射させるための駆動信号を生成すると共に、互いに異なる複数箇所に位置する複数のデジタルグランド端子を有する１または複数の駆動デバイスと、この駆動デバイスの実装領域内に配置されており、複数箇所のデジタルグランド端子のうちの２箇所以上のデジタルグランド端子に対して、電気的に共通接続されたデジタルグランド配線と、を備えたものである。

【0006】

本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッドは、上記本開示の一実施の形態に係る駆動基板と、この駆動基板から出力される駆動信号に基づいて液体を噴射する複数のノズルを有する噴射部と、を備えたものである。

【0007】

本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置は、上記本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッドを備えたものである。

【発明の効果】

【0008】

本開示の一実施の形態に係る駆動基板、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置によれば、信頼性を向上させることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本開示の一実施の形態に係る液体噴射装置の概略構成例を表すブロック図である。

【図2】図１に示した液体噴射ヘッドの概略構成例を模式的に表す斜視図である。

【図3】図２に示した液体噴射ヘッドの構成例を模式的に表す断面図である。

【図4A】図２，図３に示したフレキシブル基板の詳細構成例を模式的に表す平面図である。

【図4B】図２，図３に示した他のフレキシブル基板の詳細構成例を模式的に表す平面図である。

【図5】図４Ｂに示したフレキシブル基板内での各配線等の配置構成例を模式的に表す平面図である。

【図6】実施の形態に係る駆動デバイスの詳細構成例を模式的に表す平面図である。

【図7】実施の形態に係るフレキシブル基板の詳細構成例を模式的に表す平面図である。

【図8】実施の形態に係るフレキシブル基板の他の詳細構成例を模式的に表す平面図である。

【図9】比較例に係るフレキシブル基板の構成例を模式的に表す平面図である。

【図10】変形例１－１に係るフレキシブル基板の詳細構成例を模式的に表す平面図である。

【図11】変形例１－２に係るフレキシブル基板の詳細構成例を模式的に表す平面図である。

【図12】変形例１－３に係るフレキシブル基板の詳細構成例を模式的に表す平面図である。

【図13】変形例２－１に係るフレキシブル基板の詳細構成例を模式的に表す平面図である。

【図14】変形例２－２に係るフレキシブル基板の詳細構成例を模式的に表す平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、本開示の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、説明は以下の順序で行う。
１．実施の形態（２箇所以上のデジタルグランド端子に対して電気的に共通接続されたデジタルグランド配線を設けた駆動基板の例）
２．変形例
変形例１－１～１－３（第１ガード領域を有するデジタルグランド配線の例）
変形例２－１，２－２（第２ガード領域を更に有するデジタルグランド配線の例）
３．その他の変形例

【0011】

＜１．実施の形態＞
［プリンタ５の概略構成］
図１は、本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置としてのプリンタ５の概略構成例を、ブロック図で表したものである。図２は、図１に示した液体噴射ヘッドとしてのインクジェットヘッド１の概略構成例を、模式的に斜視図で表したものである。図３は、図２に示したインクジェットヘッド１の構成例を、模式的に断面図（Ｙ－Ｚ断面図）で表したものである。なお、本明細書の説明に用いられる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。

【0012】

プリンタ５は、後述するインク９を利用して、被記録媒体（例えば、図１中に示した記録紙Ｐ）に対し、画像や文字等の記録（印刷）を行うインクジェットプリンタである。このプリンタ５は、図１に示したように、インクジェットヘッド１、印刷制御部２およびインクタンク３を備えている。

【0013】

なお、インクジェットヘッド１は、本開示における「液体噴射ヘッド」の一具体例に対応し、プリンタ５は、本開示における「液体噴射記録装置」の一具体例に対応している。また、インク９は、本開示における「液体」の一具体例に対応している。

【0014】

（Ａ．印刷制御部２）
印刷制御部２は、インクジェットヘッド１に対して、各種の情報（データ）を供給するものである。具体的には図１に示したように、印刷制御部２は、インクジェットヘッド１内（後述する駆動デバイス４１等）に対してそれぞれ、印刷制御信号Ｓｃを供給するようになっている。なお、この印刷制御信号Ｓｃには、例えば、画像データ、吐出タイミング信号、および、インクジェットヘッド１を動作させるための電源電圧等が、含まれるようになっている。

【0015】

（Ｂ．インクタンク３）
インクタンク３は、インク９を内部に収容するタンクである。このインクタンク３内のインク９は、図１に示したように、インク供給管３０を介して、インクジェットヘッド１内（後述する噴射部１１）へと供給されるようになっている。なお、このようなインク供給管３０は、例えば、可撓性を有するフレキシブルホースにより構成されている。

【0016】

（Ｃ．インクジェットヘッド１）
インクジェットヘッド１は、図１中の破線の矢印で示したように、後述する複数のノズル孔Ｈｎから記録紙Ｐに対して液滴状のインク９を噴射（吐出）して、画像や文字等の記録を行うヘッドである。このインクジェットヘッド１は、例えば図２，図３に示したように、１つの噴射部１１と、１つのＩ／Ｆ（インターフェース）基板１２と、４つのフレキシブル基板１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄと、２つの冷却ユニット１４１，１４２とを、備えている。

【0017】

（Ｃ－１．Ｉ／Ｆ基板１２）
Ｉ／Ｆ基板１２は、図２，図３に示したように、２つのコネクタ１０と、４つのコネクタ１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃ，１２０ｄと、回路配置領域１２１とを、備えている。

【0018】

コネクタ１０は、図２に示したように、印刷制御部２からインクジェットヘッド１（後述する各フレキシブル基板１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ）へ向けて供給される、前述した印刷制御信号Ｓｃを入力する部分（コネクタ部分）である。コネクタ１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃ，１２０ｄはそれぞれ、Ｉ／Ｆ基板１２と、フレキシブル基板１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄとの間をそれぞれ、電気的に接続する部分（コネクタ部分）である。

【0019】

回路配置領域１２１は、Ｉ／Ｆ基板１２上において各種の回路が配置されている領域である。なお、Ｉ／Ｆ基板１２上の他の領域にも、このような回路配置領域が設けられているようにしてもよい。

【0020】

（Ｃ－２．噴射部１１）
噴射部１１は、図１に示したように、複数のノズル孔Ｈｎを有しており、これらのノズル孔Ｈｎからインク９を噴射する部分である。このようなインク９の噴射は、各フレキシブル基板１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ上の後述する駆動デバイス４１から供給される駆動信号Ｓｄ（駆動電圧Ｖｄ）に従って、行われるようになっている（図１参照）。

【0021】

このような噴射部１１は、図１に示したように、アクチュエータプレート１１１およびノズルプレート１１２を含んで構成されている。

【0022】

（ノズルプレート１１２）
ノズルプレート１１２は、ポリイミド等のフィルム材または金属材料により構成されたプレートであり、図１に示したように、上記した複数のノズル孔Ｈｎを有している。これらのノズル孔Ｈｎは、所定の間隔をおいて並んで形成されており、例えば円形状となっている。

【0023】

具体的には、図２に示した噴射部１１の例では、ノズルプレート１１２内における複数のノズル孔Ｈｎが、列方向（Ｘ軸方向）に沿ってそれぞれ配置された、複数のノズル列（４つのノズル列）により構成されている。また、これらの４つのノズル列同士は、列方向と直交する方向（Ｙ軸方向）に沿って、並んで配置されている。

【0024】

なお、このようなノズル孔Ｈｎは、本開示における「ノズル」の一具体例に対応している。

【0025】

（アクチュエータプレート１１１）
アクチュエータプレート１１１は、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料により構成されたプレートである。このアクチュエータプレート１１１には、複数のチャネル（圧力室）が設けられている。これらのチャネルは、インク９に対して圧力を印加するための部分であり、所定の間隔をおいて互いに平行となるよう、並んで配置されている。各チャネルは、圧電体からなる駆動壁（不図示）によってそれぞれ画成されており、断面視にて凹状の溝部となっている。

【0026】

このようなチャネルには、インク９を吐出させるための吐出チャネルと、インク９を吐出させないダミーチャネル（非吐出チャネル）とが、存在している。言い換えると、吐出チャネルにはインク９が充填される一方、ダミーチャネルにはインク９が充填されないようになっている。なお、各吐出チャネルに対するインク９の充填は、例えば、そのような各吐出チャネルに共通して連通する流路（共通流路）を介して、行われるようになっている。また、各吐出チャネルは、ノズルプレート１１２におけるノズル孔Ｈｎと個別に連通している一方、各ダミーチャネルは、ノズル孔Ｈｎには連通しないようになっている。これらの吐出チャネルとダミーチャネルとは、前述した列方向（Ｘ軸方向）に沿って、交互に並んで配置されている。

【0027】

また、上記した駆動壁における対向する内側面にはそれぞれ、駆動電極が設けられている。この駆動電極には、吐出チャネルに面する内側面に設けられたコモン電極（共通電極）と、ダミーチャネルに面する内側面に設けられたアクティブ電極（個別電極）とが、存在している。これらの駆動電極と、後述する駆動デバイス４１との間は、各フレキシブル基板１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄを介して、電気的に接続されている。これにより、各フレキシブル基板１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄを介して、駆動デバイス４１から各駆動電極に対し、前述した駆動電圧Ｖｄ（駆動信号Ｓｄ）が印加されるようになっている（図１参照）。

【0028】

（Ｃ－３．フレキシブル基板１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ）
フレキシブル基板１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄはそれぞれ、図２，図３に示したように、Ｉ／Ｆ基板１２と噴射部１１との間を電気的に接続する基板である。これらのフレキシブル基板１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄはそれぞれ、前述したノズルプレート１１２における４列のノズル列ごとのインク９の噴射動作を、個別に制御するようになっている。また、例えば図３中の符号Ｐ１ａ，Ｐ１ｂ，Ｐ１ｃ，Ｐ１ｄにて示したように、各フレキシブル基板１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄが噴射部１１と接続する箇所付近（圧着電極４３３付近）では、各フレキシブル基板１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄが、折り曲げられるようになっている。なお、圧着電極４３３と噴射部１１との間は、例えばＡＣＦ（Anisotropic Conductive Film：異方性導電フィルム）を用いた熱圧着によって、互いに電気的接続がなされるようになっている。

【0029】

このようなフレキシブル基板１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ上にはそれぞれ、駆動デバイス４１が個別に実装されている（図３参照）。これらの駆動デバイス４１はそれぞれ、噴射部１１における対応するノズル列内のノズル孔Ｈｎからインク９を噴射させるための、駆動信号Ｓｄ（駆動電圧Ｖｄ）を出力するデバイスである。したがって、各フレキシブル基板１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄからは、このような駆動信号Ｓｄが、噴射部１１に対して出力されるようになっている。なお、このような各駆動デバイス４１は、例えば、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等により構成されている。

【0030】

また、これらの各駆動デバイス４１は、前述した冷却ユニット１４１，１４２によって冷却されるようになっている。具体的には図３に示したように、フレキシブル基板１３ａ，１３ｂ上の駆動デバイス４１同士の間に、冷却ユニット１４１が固定配置されており、この冷却ユニット１４１がこれらの駆動デバイス４１に対してそれぞれ押し当てられることで、各駆動デバイス４１が冷却されている。同様に、フレキシブル基板１３ｃ，１３ｄ上の駆動デバイス４１同士の間に、冷却ユニット１４２が固定配置されており、この冷却ユニット１４２がこれらの駆動デバイス４１に対してそれぞれ押し当てられることで、各駆動デバイス４１が冷却されている。なお、このような冷却ユニット１４１，１４２はそれぞれ、各種方式の冷却機構を用いて構成することが可能である。

【0031】

［フレキシブル基板１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄの詳細構成］
続いて、図１～図３に加えて、図４Ａ，図４Ｂ，図５～図８を参照して、前述したフレキシブル基板１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄの詳細構成例について、説明する。

【0032】

図４Ａ，図４Ｂは、図２，図３に示したフレキシブル基板１３ａ～１３ｄの詳細構成例を、模式的に平面図（Ｚ－Ｘ平面図）で表したものである。具体的には、図４Ａは、フレキシブル基板１３ａ，１３ｃの平面構成例（Ｚ－Ｘ平面構成例）を、図４Ｂは、フレキシブル基板１３ｂ，１３ｄの平面構成例（Ｚ－Ｘ平面構成例）を、それぞれ示している。また、図５は、図４Ｂに示したフレキシブル基板１３ｂ，１３ｄ内での各配線等の配置構成例を、模式的に平面図（Ｚ－Ｘ平面図）で表したものである。図６は、本実施の形態に係る駆動デバイス４１の詳細構成例を、模式的に平面図（Ｚ－Ｘ平面図）で表したもの（後述する裏面Ｓ２側から図示した場合の構成例）である。図７，図８はそれぞれ、本実施の形態に係るフレキシブル基板１３（１３ａ～１３ｄ）の詳細構成例を、模式的に平面図（Ｚ－Ｘ平面図）で表したもの（後述する裏面Ｓ２側から図示した場合の構成例）である。

【0033】

なお、図５では、フレキシブル基板１３ｂ，１３ｄを、フレキシブル基板１３と総称して示している。また、この図５では、フレキシブル基板１３ｂ，１３ｂの場合の構成例について示しているが、上記したフレキシブル基板１３ａ，１３ｃの場合についても、基本的には同様の構成となっている。したがって、図７，図８ではそれぞれ、フレキシブル基板１３ａ～１３ｄの総称としてフレキシブル基板１３と示しており、以降では適宜、フレキシブル基板１３として説明する。また、図４Ａ，図４Ｂでは、後述する差動線路Ｌｔ１，Ｌｔ２，Ｌｔ３１～Ｌｔ３４をそれぞれ、差動線路Ｌｔと総称して示しており、以降では適宜、差動線路Ｌｔとして説明する。

【0034】

ここで、上記したフレキシブル基板１３（１３ａ～１３ｄ）はそれぞれ、本開示における「駆動基板」の一具体例に対応している。

【0035】

まず、図４Ａ，図４Ｂ，図５にそれぞれ示したように、これらのフレキシブル基板１３ａ～１３ｄにはそれぞれ、以下のような各部材が、設けられている。すなわち、接続電極１３０、第１入力端子Ｔin１、第２入力端子Ｔin２、差動線路Ｌｔ１，Ｌｔ２，Ｌｔ３１～Ｌｔ３４、複数（この例では５つ）の駆動デバイス４１、および、前述した圧着電極４３３が、設けられている。

【0036】

接続電極１３０は、各フレキシブル基板１３ａ～１３ｄにおけるＩ／Ｆ基板１２側の端部領域に配置されており、各フレキシブル基板１３ａ～１３ｄとＩ／Ｆ基板１２との間を、電気的に接続するための電極である。

【0037】

第１入力端子Ｔin１および第２入力端子Ｔin２にはそれぞれ、インクジェットヘッド１の外部（前述した印刷制御部２）から伝送される伝送データＤｔ（前述した印刷制御信号Ｓｃ）が、入力されるようになっている（図１，図２，図４Ａ，図４Ｂ，図５参照）。また、このような伝送データＤｔは、第１入力端子Ｔin１および第２入力端子Ｔin２のうちの一方入力端子を介して、各フレキシブル基板１３ａ～１３ｄ内に伝送されるようになっている。具体的には、例えば図４Ａに示したように、フレキシブル基板１３ａ，１３ｃではそれぞれ、第１入力端子Ｔin１を介して、伝送データＤｔが各フレキシブル基板１３ａ，１３ｃ内に、伝送されるようになっている。一方、例えば図４Ｂ，図５に示したように、フレキシブル基板１３ｂ，１３ｄではそれぞれ、第２入力端子Ｔin２を介して、伝送データＤｔが各フレキシブル基板１３ｂ，１３ｄ内に、伝送されるようになっている。

【0038】

上記した５つの駆動デバイス４１はそれぞれ、図４Ａ，図４Ｂ，図５に示した例では、各フレキシブル基板１３ａ～１３ｄ上（表面Ｓ１および裏面Ｓ２のうちの、表面Ｓ１側）に実装されている。このような５つの駆動デバイス４１として、図４Ａ，図４Ｂ，図５に示した例では、駆動デバイス４１１～４１５が、それぞれ設けられている。また、これら５つの駆動デバイス４１は、第１入力端子Ｔin１と第２入力端子Ｔin２との間において、後述する複数の差動線路を経由して、上記した表面Ｓ１上で、互いに直列配置（カスケード接続）されている。具体的には、図４Ａ，図４Ｂ，図５に示したように、各フレキシブル基板１３ａ～１３ｄのいずれにおいても、第１入力端子Ｔin１側から第２入力端子Ｔin２側へ向けて、駆動デバイス４１１～４１５の順で、直列配置されている。換言すると、このような駆動デバイス４１の直列配置のうちの一端に、駆動デバイス４１１が位置すると共に、この直列配置の他端に、駆動デバイス４１５が位置している。そして、これらの駆動デバイス４１１，４１５の間に、複数（この例では３つ）の駆動デバイス４１２～４１４が位置している。これら５つの駆動デバイス４１はそれぞれ、上記したように、第１入力端子Ｔin１および第２入力端子Ｔin２のうちの一方の入力端子を介して入力された伝送データＤｔに基づいて、前述した駆動信号Ｓｄを生成するようになっている。なお、このようにして生成された駆動信号Ｓｄはそれぞれ、各フレキシブル基板１３ａ～１３ｄ上の前述した圧着電極４３３を介して、噴射部１１側へと供給されるようになっている。

【0039】

また、第１入力端子Ｔin１と第２入力端子Ｔin２との間には、互いに直列配置された５つの駆動デバイス４１を介して、伝送データＤｔを伝送するための複数の伝送線路（差動線路）が配置されている。換言すると、この差動線路は、各駆動デバイス４１へ向けて、差動信号としての伝送データＤｔを伝送するための線路である。具体的には、図４Ａ，図４Ｂ，図５に示したように、第１入力端子Ｔin１と駆動デバイス４１１との間には、差動線路Ｌｔ１が配置され、第２入力端子Ｔin２と駆動デバイス４１５との間には、差動線路Ｌｔ２が配置されている。また、駆動デバイス４１１，４１２の間には差動線路Ｌｔ３１が配置され、駆動デバイス４１２，４１３の間には差動線路Ｌｔ３２が配置されている。駆動デバイス４１３，４１４の間には差動線路Ｌｔ３３が配置され、駆動デバイス４１４，４１５の間には差動線路Ｌｔ３４が配置されている。

【0040】

ここで、上記したように、フレキシブル基板１３ａ，１３ｃとフレキシブル基板１３ｂ，１３ｄとではそれぞれ、伝送データＤｔが入力される入力端子（第１入力端子Ｔin１または第２入力端子Ｔin２）が、互いに異なっている（図４Ａ，図４Ｂ，図５参照）。また、それに伴い、フレキシブル基板１３ａ，１３ｃとフレキシブル基板１３ｂ，１３ｄとではそれぞれ、入力された伝送データＤｔにおける基板内での伝送方向が、互いに異なっている。すなわち、フレキシブル基板１３ａ，１３ｃではそれぞれ、第１入力端子Ｔin１から入力された伝送データＤｔが、駆動デバイス４１１～４１５の順に、伝送されるようになっている（図４Ａ参照）。一方、フレキシブル基板１３ｂ，１３ｄではそれぞれ、第２入力端子Ｔin２から入力された伝送データＤｔが、駆動デバイス４１５～４１１の順に、伝送されるようになっている（図４Ｂ，図５参照）。

【0041】

このようにして、フレキシブル基板１３ａ，１３ｃとフレキシブル基板１３ｂ，１３ｄとではそれぞれ、伝送データＤｔが入力される入力端子および伝送データＤｔが出力される出力端子が、互いに異なっている。ただし、これらのフレキシブル基板１３ａ，１３ｃとフレキシブル基板１３ｂ，１３ｄとではそれぞれ、基板の構造自体は互いに同一となっており、各フレキシブル基板１３ａ～１３ｄの構成が、共通化（共用）されている（図４Ａ，図４Ｂ，図５参照）。つまり、伝送データＤｔの伝送方向等に応じて複数種類のフレキシブル基板（駆動基板）を用意する必要がなく、インクジェットヘッド１内において、１種類のフレキシブル基板１３（駆動基板）のみが、設けられていることになる。

【0042】

また、図５に示したように、このフレキシブル基板１３には、各駆動デバイス４１（駆動デバイス４１１～４１５）へ向けて駆動用の所定の定電位を供給するための、駆動用定電位ラインＬｄが配置されている。この駆動用定電位ラインＬｄとしては、詳細は後述するが、所定の定電位Ｖｖを供給するための定電位配線Ｗｖが、設けられている（図７，図８参照）。また、この定電位配線Ｗｖは、定電位Ｖｖとしての電源電位Ｖｐを供給するための電源配線Ｗｐと、定電位Ｖｖとしてのグランド電位Ｖｇを供給するためのグランド配線Ｗｇとを、含んでいる（図７，図８参照）。更に、フレキシブル基板１３（裏面Ｓ２）には、駆動デバイス４１以外の各種部品が配置されている、部品配置領域４０が設けられている。

【0043】

なお、このフレキシブル基板１３は、前述した表面Ｓ１および裏面Ｓ２を有する、２層構造の両面基板となっている。つまり、このフレキシブル基板１３は、そのような２層構造の配線層として、基板面（Ｚ―Ｘ平面）と直交する方向（Ｙ軸方向）に沿って互いに対向する、表面Ｓ１側の第１配線層と、裏面Ｓ２側の第２配線層とを、有している。

【0044】

（駆動デバイス４１および各種配線）
上記した各駆動デバイス４１（駆動デバイス４１１～４１５）は、フレキシブル基板１３における表面Ｓ１側（上記した第１配線層）に、実装されている。具体的には、本実施の形態では、各駆動デバイス４１は、フレキシブル基板１３における基板面（表面Ｓ１）上に、後述する各種の端子（バンプ）を介して、フリップチップ実装されている。なお、図６～図８中には、駆動デバイス４１における基板面への被実装領域Ａｍ（フレキシブル基板１３上での駆動デバイス４１の実装領域）を、示している。

【0045】

このような駆動デバイス４１は、図６～図８に示した例では、デジタル回路配置領域４１０、２つのデータ入力端子Ｔin、２つのデータ出力端子Ｔout、複数のデバイス制御端子Ｔｃ、複数の駆動端子Ｔｄ、複数の定電位端子Ｔｖ、および、複数のデジタルグランド端子Ｔｄｇを、有している。なお、「デジタルグランド」とは、デジタル信号に対するグランドのことを意味しており、以下同様である。

【0046】

デジタル回路配置領域４１０は、図６に示したように、上記した被実装領域Ａｍ内において、後述する複数のデバイス制御端子Ｔｃと複数の定電位端子Ｔｖとの間の領域に、駆動デバイス４１の長手方向（Ｘ軸方向）に沿って延在している。このデジタル回路配置領域４１０には、駆動デバイス４１における各種のデジタル回路（駆動信号Ｓｄを生成するためのデジタル回路等）が、配置されている。

【0047】

データ入力端子Ｔinおよびデータ出力端子Ｔoutにはそれぞれ、データ配線としての前述した差動線路Ｌｔが接続されるようになっており、この差動線路Ｌｔを介して伝送データＤｔが伝送されるようになっている。具体的には、データ入力端子Ｔinには差動線路Ｌｔを介して伝送データＤｔが入力され、データ出力端子Ｔoutから差動線路Ｌｔを介して伝送データＤｔが出力されるようになっている。図６～図８に示した例では、これらのデータ入力端子Ｔinおよびデータ出力端子Ｔoutは、駆動デバイス４１の入力側（Ｚ軸に沿った正方向側）において、駆動デバイス４１の長手方向（Ｘ軸方向）に沿った両端付近に配置されている。

【0048】

ここで、上記した伝送データＤｔ（印刷制御信号Ｓｃに含まれる各種のデータ）は、本開示における「データ」の一具体例に対応している。また、差動線路Ｌｔ（Ｌｔ１，Ｌｔ２，Ｌｔ３１～Ｌｔ３４）は、本開示における「データ配線」および「差動伝送配線」の一具体例に対応している。

【0049】

デバイス制御端子Ｔｃは、フレキシブル基板１３上におけるデバイス制御配線Ｗｃ（駆動デバイス４１に対して各種制御を行うための配線：図７，図８参照）を、駆動デバイス４１に対して電気的に接続するための端子である。つまり、このようなデバイス制御端子Ｔｃに対して、デバイス制御配線Ｗｃが個別に電気的接続されている。図６～図８に示した例では、複数のデバイス制御端子Ｔｃが、駆動デバイス４１の入力側（データ入力端子Ｔinおよびデータ出力端子Ｔoutの間の領域）において、駆動デバイス４１の長手方向に沿って並んで配置されている。また、図６～図８に示した例では、これら複数のデバイス制御端子Ｔｃが、駆動デバイス４１の長手方向に沿って配置された、２つのデバイス制御端子群に区別（グループ化）されている。

【0050】

駆動端子Ｔｄは、駆動信号Ｓｄを個別に伝送するための配線（駆動信号配線）を、駆動デバイス４１に対して電気的に接続するための端子である。つまり、このような駆動端子Ｔｄに対して、駆動信号配線が個別に電気的接続されている。図６～図８に示した例では、複数（例えば１２８個）の駆動端子Ｔｄが、駆動デバイス４１の出力側（Ｚ軸に沿った負方向側）において、駆動デバイス４１の長手方向に沿って並んで配置されている。また、図６～図８に示した例では、これら複数の駆動端子Ｔｄが、駆動デバイス４１の長手方向に沿って配置された、２つの駆動端子群に区別（グループ化）されている。なお、一例として、これら２つの駆動端子群はそれぞれ、６４個ずつの駆動端子Ｔｄを含んで構成されている。

【0051】

定電位端子Ｔｖは、前述した所定の定電位Ｖｖ（電源電位Ｖｐまたはグランド電位Ｖｇ）を供給するための定電位配線Ｗｖ（図７，図８参照）を、駆動デバイス４１に対して電気的に接続するための端子である。この定電位端子Ｔｖは、図６に示した例では、複数の電源端子Ｔｐと、複数のグランド端子Ｔｇとを、有している。また、図６に示した例では前述したように、定電位配線Ｗｖは、電源電位Ｖｐを供給するための電源配線Ｗｐと、グランド電位Ｖｇを供給するためのグランド配線Ｗｇとを、含んでいる。

【0052】

図６に示した例では、これら複数の電源端子Ｔｐおよび複数のグランド端子Ｔｇはそれぞれ、駆動デバイス４１における複数のデバイス制御端子Ｔｃと複数の駆動端子Ｔｄとの間の領域において、駆動デバイス４１の長手方向に沿って並んで配置されている。具体的には、これらの電源端子Ｔｐおよびグランド端子Ｔｇはそれぞれ、駆動デバイス４１における被実装領域Ａｍ内において、上記した複数の駆動端子Ｔｄと近接して配置されている。なお、本実施の形態では、駆動デバイス４１は基板面上にフリップチップ実装されていることから、これらの電源端子Ｔｐおよびグランド端子Ｔｇのうちの一部は、駆動デバイス４１における内部領域にも、配置されている。

【0053】

また、図７，図８に示したように、駆動デバイス４１における複数の定電位端子Ｔｖ（電源端子Ｔｐまたはグランド端子Ｔｇ）の配置位置（長手方向：Ｘ軸方向）に沿って、定電位配線Ｗｖ（電源配線Ｗｐまたはグランド配線Ｗｇ）が延在している。これらの電源配線Ｗｐおよびグランド配線Ｗｇから、各電源端子Ｔｐおよび各グランド端子Ｔｇを介して、駆動デバイス４１に対して電源電位Ｖｐおよびグランド電位Ｖｇがそれぞれ、個別に供給されるようになっている。

【0054】

デジタルグランド端子Ｔｄｇは、駆動デバイス４１の被実装領域Ａｍ内において、互いに異なる複数箇所に配置されている。具体的には、図６～図８の例では、複数のデジタルグランド端子Ｔｄｇが、被実装領域Ａｍ内の６箇所に分けて（点在するように）配置されている。詳細には、上記した複数の駆動端子Ｔｄにおける２つの駆動端子群の間の位置と、上記した複数のデバイス制御端子Ｔｃにおける２つのデバイス制御端子群の間の位置と、一方のデバイス制御端子群とデータ入力端子Ｔinとの間の位置と、他方のデバイス制御端子群とデータ出力端子Ｔoutとの間の位置と、デジタル回路配置領域４１０の長手方向（Ｘ軸方向）に沿った両端側の位置とにそれぞれ、複数個（２個または３個）ずつのデジタルグランド端子Ｔｄｇが配置されている。

【0055】

また、例えば図７，図８に示したように、本実施の形態のフレキシブル基板１３では、これら複数箇所に位置するデジタルグランド端子Ｔｄｇのうちの、２箇所以上のデジタルグランド端子Ｔｄｇに対して、デジタルグランド配線Ｗｄｇが電気的に共通接続されている。具体的には、図７，図８の例では、駆動デバイス４１における図中の左上側に位置する２箇所のデジタルグランド端子Ｔｄｇ同士が、逆Ｌ字型形状のデジタルグランド配線Ｗｄｇ１を介して、互いに電気的に共通接続されている。また、駆動デバイス４１における図中の右上側に位置する２箇所のデジタルグランド端子Ｔｄｇ同士が、Ｌ字型形状のデジタルグランド配線Ｗｄｇ３を介して、互いに電気的に共通接続されている。なお、図７，図８の例では、複数のデバイス制御端子Ｔｃにおける２つのデバイス制御群間に位置する１箇所のデジタルグランド端子Ｔｄｇが、デジタルグランド配線Ｗｄｇ２に対して電気的接続されていると共に、複数のデバイス制御端子Ｔｃにおける２つのデバイス制御端子群間に位置するデジタルグランド端子Ｔｄｇは、デジタルグランド配線Ｗｄｇに電気的接続されていない。

【0056】

また、図７に示したフレキシブル基板１３の例では、上記したデジタルグランド配線Ｗｄｇ１における一端側が、多数のスルーホールＴＨを介して、駆動デバイス４１外部のデジタルグランド領域ＤＧａに対して電気的接続されている。一方、このデジタルグランド配線Ｗｄｇ１における他端側は、１つのスルーホールＴＨのみを介して、駆動デバイス４１外部のデジタルグランド領域ＤＧｂに対して電気的接続されている。つまり、このデジタルグランド配線Ｗｄｇ１における一端側は、安定的なデジタルグランド領域ＤＧａに対して電気的接続されている一方、デジタルグランド配線Ｗｄｇ１における他端側は、不安定なデジタルグランド領域ＤＧｂに対して電気的接続されている。これにより、デジタルグランド配線Ｗｄｇ１の一方側には安定的なグランド領域を配置できない場合であっても、他方側には安定的なグランド領域を配置するといった構成が可能となる。

【0057】

ちなみに、図８に示したフレキシブル基板１３の例では、上記したデジタルグランド配線Ｗｄｇ１における一方側のみが、多数のスルーホールＴＨを介して、駆動デバイス４１外部のデジタルグランド領域ＤＧｃに対して電気的接続されている。つまり、デジタルグランド配線Ｗｄｇ１における他方側は、駆動デバイス４１外部のデジタルグランド領域には、電気的接続されていない。この場合においても、デジタルグランド配線Ｗｄｇ１の一方側には、安定的なグランド領域が配置されていることになる。

【0058】

（差動線路Ｌｔ）
前述した差動線路Ｌｔ（差動線路Ｌｔ１，Ｌｔ２，Ｌｔ３１～Ｌｔ３４）はそれぞれ、図６～図８に示したように、フレキシブル基板１３における表面Ｓ１側（前述した第１配線層）に、配置されている。これらの各差動線路Ｌｔは、前述したように、差動信号としての伝送データＤｔを伝送するための線路であり、例えば、ＬＶＤＳ（Low Voltage Differential Signaling）を用いて構成されている。ただし、各差動線路Ｌｔが、例えば、ＣＭＬ（Current Mode Logic）やＥＣＬ（Emitter Coupled Logic）等を用いて構成されていてもよい。また、これらの各差動線路Ｌｔは、例えば、いわゆるマイクロストリップ線路やコプレーナ線路を用いて構成されている。

【0059】

なお、このような各差動線路Ｌｔ上に、各種の部品（例えば、出力側デバイスと入力側デバイスとの間でコモン電圧が異なる場合などに必要となる、ＡＣカップリング用のコンデンサなど）や、スルーホールなどを配置するようにしてもよい。また、スルーホールを配置するようにした場合、このスルーホール上にてインピーダンスコントロールを行うために、各種の電源配線Ｗｐやグランド配線Ｗｇの近傍に、スルーホールを配置するようにしてもよい。

【0060】

［動作および作用・効果］
（Ａ．プリンタ５の基本動作）
このプリンタ５では、以下のようなインクジェットヘッド１によるインク９の噴射動作を用いて、被記録媒体（記録紙Ｐ等）に対する画像や文字等の記録動作（印刷動作）が行われる。具体的には、本実施の形態のインクジェットヘッド１では、以下のようにして、せん断（シェア）モードを用いたインク９の噴射動作が行われる。

【0061】

まず、各フレキシブル基板１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ上の駆動デバイス４１はそれぞれ、噴射部１１におけるアクチュエータプレート１１１内の前述した駆動電極（コモン電極およびアクティブ電極）に対し、駆動電圧Ｖｄ（駆動信号Ｓｄ）を印加する。具体的には、各駆動デバイス４１は、前述した吐出チャネルを画成する一対の駆動壁に配置された各駆動電極に対し、駆動電圧Ｖｄを印加する。これにより、これら一対の駆動壁がそれぞれ、その吐出チャネルに隣接するダミーチャネル側へ、突出するように変形する。

【0062】

このとき、駆動壁における深さ方向の中間位置を中心として、駆動壁がＶ字状に屈曲変形することになる。そして、このような駆動壁の屈曲変形により、吐出チャネルがあたかも膨らむように変形する。このように、一対の駆動壁での圧電厚み滑り効果による屈曲変形によって、吐出チャネルの容積が増大する。そして、吐出チャネルの容積が増大することにより、インク９が吐出チャネル内へ誘導されることになる。

【0063】

次いで、このようにして吐出チャネル内へ誘導されたインク９は、圧力波となって吐出チャネルの内部に伝播する。そして、ノズルプレート１１２のノズル孔Ｈｎにこの圧力波が到達したタイミング（またはその近傍のタイミング）で、駆動電極に印加される駆動電圧Ｖｄが、０（ゼロ）Ｖとなる。これにより、上記した屈曲変形の状態から駆動壁が復元する結果、一旦増大した吐出チャネルの容積が、再び元に戻ることになる。

【0064】

このようにして、吐出チャネルの容積が元に戻る過程で、吐出チャネル内部の圧力が増加し、吐出チャネル内のインク９が加圧される。その結果、液滴状のインク９が、ノズル孔Ｈｎを通って外部へと（記録紙Ｐへ向けて）吐出される（図１参照）。このようにしてインクジェットヘッド１におけるインク９の噴射動作（吐出動作）がなされ、その結果、記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作が行われる。

【0065】

（Ｂ．インクジェットヘッド１における作用・効果）
続いて、本実施の形態のインクジェットヘッド１における作用および効果について、比較例等と比較しつつ、詳細に説明する。

【0066】

まず、従来の一般的なインクジェットヘッドにて使用される駆動基板では、印刷速度の高速化の要求により、駆動デバイス内部におけるデジタル回路の高速化が、必要となっている。ただし、高速なデジタル回路では、動作電圧を低下させる必要があるため、ノイズ孔による誤動作という問題も生じ易い。特にインクジェットヘッドではアクチュエータを駆動する際に、通常のデジタル回路よりも高い電圧を取り扱うことが多いため、この駆動によるノイズからデジタル回路を防御する配線が、重要となっている。

【0067】

また、近年のインクジェットヘッドの多機能化に伴い、駆動デバイス自体の動作設定を行う際に必要となる制御端子などが増加していることから、駆動デバイス内部のデジタル回路に対して、適切なデジタルグランドを配置することが困難となっている。具体的には、駆動デバイスに接続されるグランドは、例えば、駆動基板の両端にのみ存在しているが、この駆動デバイス内部のデジタル回路での高速化を考慮すると、駆動デバイスのデジタルグランドは強化することが望ましいと言える。

【0068】

（Ｂ－１．比較例）
ここで、図９は、比較例に係る駆動基板（フレキシブル基板１０３）の構成例を、模式的に平面図（Ｚ－Ｘ平面図）で表したもの（裏面Ｓ２側から図示した場合の構成例）である。

【0069】

この比較例のフレキシブル基板１０３では、上記した本実施の形態のフレキシブル基板１３（図７，図８）とは異なり、デジタルグランド配線Ｗｄｇが、以下のように配置されている。すなわち、この比較例のフレキシブル基板１０３では、駆動デバイス４１において互いに異なる複数箇所に位置している複数のデジタルグランド端子Ｔｄｇに対して、各所にデジタルグランド配線Ｗｄｇが電気的接続されている。具体的には図９に示したように、このフレキシブル基板１０３では、複数箇所（この例では５箇所）のデジタルグランド端子Ｔｄｇの各々に対して、デジタルグランド配線Ｗｄｇが個別に電気的接続されている。

【0070】

ここで、デジタルグランド端子Ｔｄｇが駆動デバイス４１の各所に点在している場合、駆動デバイス４１内部のデジタル回路の安定動作に対しては、有利に働く。ただし、デバイス制御端子Ｔｃなどの個数が多くなった場合、点在したデジタルグランド端子Ｔｄｇとデバイス制御端子Ｔｃとの間の電気的接続が、困難となる。具体的には、駆動デバイスが実装された基板面上には、各デバイス制御端子Ｔｃに接続されるデバイス制御配線Ｗｃが非常に多くなると共に、それらのデバイス制御配線Ｗｃが密集した状態となる。そのため、デジタルグランド端子Ｔｄｇに対して電気的接続されるデジタルグランド配線Ｗｄｇや電源配線の配置が困難となり、貧弱になる。これは、上記したデジタル回路のノイズによる誤動作につながるものである。

【0071】

これらのことから、比較例のフレキシブル基板１０３では、駆動デバイス４１に対して安定的なデジタルグランドを供給したり、フレキシブル基板１０３の基板面上での配線配置の効率化を図ることが、困難である。その結果、この比較例では、駆動デバイス４１の動作の安定化を図ることが困難となり、信頼性の低下を招くおそれがあると言える。

【0072】

（Ｂ－２．作用・効果）
これに対して、本実施の形態のインクジェットヘッド１では、以下のような構成となっていることで、例えば、以下のような作用および効果が得られる。

【0073】

すなわち、まず、このインクジェットヘッド１では、駆動デバイス４１において互いに異なる複数箇所に位置するデジタルグランド端子Ｔｄｇのうちの、２箇所以上のデジタルグランド端子Ｔｄｇに対して、デジタルグランド配線Ｗｄｇ（Ｗｄｇ１，Ｗｄｇ３）が電気的に共通接続されている。

【0074】

これにより、駆動デバイス４１の外部からデジタルグランド配線Ｗｄｇを導入する際に、複数箇所のデジタルグランド端子Ｔｄｇの各々に対して、前述した比較例の場合とは異なり、安定的なデジタルグランド領域を配置する必要性が、低くなる。つまり、デジタルグランド配線Ｗｄｇに対して電気的接続された２箇所以上のデジタルグランド端子Ｔｄｇのうちの、少なくとも１箇所のデジタルグランド端子Ｔｄｇに対して、そのような安定的なデジタルグランド領域（例えば、前述したデジタルグランド領域ＤＧａ，ＤＧｃなど）を配置すれば、済むようになる。したがって、駆動デバイス４１に対して安定的なデジタルグランドを供給しつつ、フレキシブル基板１３の基板面上での配線配置の効率化を図ることができる。その結果、駆動デバイス４１の動作の安定化を図ることができ、信頼性を向上させることが可能となる。

【0075】

＜２．変形例＞
続いて、上記実施の形態の変形例（変形例１－１～１－３，２－１，２－２）について説明する。なお、以下では、実施の形態における構成要素と同一のものには同一の符号を付し、適宜説明を省略する。

【0076】

［変形例１－１～１－３］
（構成）
図１０～図１２はそれぞれ、変形例１－１，１－２，１－３に係るフレキシブル基板１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃの詳細構成例を、模式的に平面図（Ｚ－Ｘ平面図）で表したもの（裏面Ｓ２側から図示した場合の構成例）である。

【0077】

ここで、このような変形例１－１，１－２，１－３に係るフレキシブル基板１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃはそれぞれ、本開示における「駆動基板」の一具体例に対応している。

【0078】

図１０～図１２に示したように、変形例１－１～１－３のフレキシブル基板１３Ａ～１３Ｃは、実施の形態のフレキシブル基板１３（図７，図８参照）において、デジタルグランド配線Ｗｄｇの代わりにデジタルグランド配線Ｗｄｇａ，Ｗｄｇｃを設けるようにしたものに対応しており、他の構成は基本的に同様となっている。

【0079】

具体的には、変形例１－１，１－２のフレキシブル基板１３Ａ，１３Ｂでは、図１０，図１１に示したように、デジタルグランド配線Ｗｄｇの代わりに、デジタルグランド配線Ｗｄｇａが設けられている。また、変形例１－３のフレキシブル基板１３Ｃでは、図１２に示したように、デジタルグランド配線Ｗｄｇの代わりに、デジタルグランド配線Ｗｄｇｃが設けられている。

【0080】

これらのデジタルグランド配線Ｗｄｇａ，Ｗｄｇｃはそれぞれ、駆動デバイス４１における各箇所のデジタルグランド端子Ｔｄｇに対して、電気的に共通接続されていると共に、以下のような第１ガード領域Ａｇ１を有している。この第１ガード領域Ａｇ１は、駆動デバイス４１におけるデジタル回路配置領域４１０（各種のデジタル回路が配置された領域）の少なくとも一部と、重なるように形成されている。具体的には、図１０～図１２の例では、第１ガード領域Ａｇ１が、デジタル回路配置領域４１０の全領域と重なっている。

【0081】

また、フレキシブル基板１３Ａでは、複数のデバイス制御配線Ｗｃがいずれも、デジタルグランド配線Ｗｄｇａとは電気的に接続されていない（図１０参照）。一方、フレキシブル基板１３Ｂ，１３Ｃではそれぞれ、複数のデバイス制御配線Ｗｃのうちの少なくとも１つ（この例では全てのデバイス制御配線Ｗｃ）が、第１ガード領域Ａｇ１内において、デジタルグランド配線Ｗｄｇａ，Ｗｄｇｃと電気的に接続されている（図１１，図１２参照）。

【0082】

また、フレキシブル基板１３Ａ，１３Ｂにおけるデジタルグランド配線Ｗｄｇａでは、５箇所のデジタルグランド端子Ｔｄｇに対する各接続箇所から、駆動デバイス４１の外部（デジタルグランド領域）へと、配線が引き出されている（図１０，図１１参照）。一方、フレキシブル基板１３Ｃにおけるデジタルグランド配線Ｗｄｇｃでは、５箇所のデジタルグランド端子Ｔｄｇに対する接続箇所のうちの一部については、駆動デバイス４１の外部（デジタルグランド領域）へと、配線が引き出されていない（図１２参照）。具体的には、３箇所のデジタルグランド端子Ｔｄｇに対する各接続箇所からは、駆動デバイス４１の外部へと配線が引き出されている一方、残りの２箇所（図１２中の符号Ｐ２ａ，Ｐ２ｂで示した箇所）からは、駆動デバイス４１の外部へと配線が引き出されていない。

【0083】

（作用・効果）
このようにして変形例１－１～１－３のフレキシブル基板１３Ａ～１３Ｃでは、デジタルグランド配線Ｗｄｇａ，Ｗｄｇｃにおいて、上記した第１ガード領域Ａｇ１が設けられていることから、以下のようになる。すなわち、例えば、駆動デバイス４１の近傍に配置された各種の電源配線からのノイズが、この駆動デバイス４１におけるデジタル回路配置領域４１０内のデジタル回路へと混入することが、第１ガード領域Ａｇ１によって防止される。これにより、駆動デバイス４１の動作の更なる安定化を図ることができ、信頼性を更に向上させることが可能となる。

【0084】

また、特に変形例１－２，１－３では、複数のデバイス制御配線Ｗｃのうちの少なくとも１つが、第１ガード領域Ａｇ１内においてデジタルグランド配線Ｗｄｇａ，Ｗｄｇｃと電気的に接続されていることから、以下のようになる。すなわち、デバイス制御端子Ｔｃに対するグランド電位への設定を、第１ガード領域Ａｇ１を用いて効率的に行うことができる。これにより、デバイス制御端子Ｔｃの周囲に、他の電源や信号線を接続するための配線用の配置スペースが、確保し易くなる。その結果、フレキシブル基板１３Ｂ，１３Ｃの小型化を図ることが可能となり、インクジェットヘッドの小型化を図ることも可能となる。

【0085】

［変形例２－１，２－２］
（構成）
図１３，図１４はそれぞれ、変形例２－１，２－２に係るフレキシブル基板１３Ｄ，１３Ｅの詳細構成例を、模式的に平面図（Ｚ－Ｘ平面図）で表したもの（裏面Ｓ２側から図示した場合の構成例）である。具体的には、図１３に示した変形例２－１のフレキシブル基板１３Ｄでは、１つの駆動デバイス４１周辺についての平面構成例を示しており、図１４に示した変形例２－２のフレキシブル基板１３Ｅでは、複数（２つ）の駆動デバイス４１周辺についての平面構成例を示している。

【0086】

ここで、このような変形例２－１，２－２に係るフレキシブル基板１３Ｄ，１３Ｅはそれぞれ、本開示における「駆動基板」の一具体例に対応している。

【0087】

図１３，図１４に示したように、変形例２－１，２－２のフレキシブル基板１３Ｄ，１３Ｅはそれぞれ、変形例１－１～１－３のフレキシブル基板１３Ａ～１３Ｃ（図１０～図１２参照）において、デジタルグランド配線Ｗｄｇａ，Ｗｄｇｃの代わりにデジタルグランド配線Ｗｄｇｄ，Ｗｄｇｅを設けるようにしたものに対応しており、他の構成は基本的に同様となっている。

【0088】

具体的には、変形例２－１のフレキシブル基板１３Ｄでは、図１３に示したように、デジタルグランド配線Ｗｄｇａ，Ｗｄｇｃの代わりに、デジタルグランド配線Ｗｄｇｄが設けられている。また、変形例２－２のフレキシブル基板１３Ｅでは、図１４に示したように、デジタルグランド配線Ｗｄｇａ，Ｗｄｇｃの代わりに、デジタルグランド配線Ｗｄｇｅが設けられている。

【0089】

これらのフレキシブル基板１３Ｄ，１３Ｅではそれぞれ、駆動デバイス４１におけるデータ入力端子Ｔinおよびデータ出力端子Ｔoutに対して、データ配線としての差動線路Ｌｔ（差動伝送配線）が、個別に電気的接続されている。また、フレキシブル基板１３Ｅでは特に、複数の駆動デバイス４１が、この差動線路Ｌｔを介して互いにカスケード接続されている（図１４参照）。つまり、一方の駆動デバイス４１におけるデータ出力端子Ｔoutと、他方の駆動デバイス４１におけるデータ入力端子Ｔinとが、差動線路Ｌｔを介して互いに接続されている。

【0090】

また、上記したデジタルグランド配線Ｗｄｇｄ，Ｗｄｇｅはそれぞれ、このような差動線路Ｌｔの周囲に配置されていると共に第１ガード領域Ａｇ１と電気的に接続された、第２ガード領域Ａｇ２を有している（図１３，図１４参照）。つまり、これらのデジタルグランド配線Ｗｄｇｄ，Ｗｄｇｅは、デジタルグランド配線Ｗｄｇａ，Ｗｄｇｃにおいて、そのような第２ガード領域Ａｇ２を更に設けたものに対応している。

【0091】

この第２ガード領域Ａｇ２は、図１３，図１４に示した例では、データ入力端子Ｔinおよびデータ出力端子Ｔoutの各近傍において、差動線路Ｌｔ、データ入力端子Ｔinおよびデータ出力端子Ｔoutの周囲を、Ｘ軸方向に沿った両側から、Ｌ字状に取り囲む形状となっている。また、特に図１４に示したデジタルグランド配線Ｗｄｇｅの例では、互いに隣接する複数の駆動デバイス４１に対して、１つのデジタルグランド配線Ｗｄｇｅが共通して配置されている。そして、これらの駆動デバイス４１間で、第２ガード領域Ａｇ２が差動線路Ｌｔに沿って、延在している。言い換えると、一方の駆動デバイス４１に対応する第１ガード領域Ａｇ１と、他方の駆動デバイス４１に対応する第１ガード領域Ａｇ１とが、第２ガード領域Ａｇ２を介して互いに接続されている（図１４参照）。

【0092】

（作用・効果）
このようにして変形例２－１，２－２のフレキシブル基板１３Ｄ，１３Ｅでは、デジタルグランド配線Ｗｄｇｄ，Ｗｄｇｅにおいて、第１ガード領域Ａｇ１と電気的接続された第２ガード領域Ａｇ２が、上記したデータ配線（差動線路Ｌｔ）の周囲に設けられていることから、以下のようになる。すなわち、例えば、駆動デバイス４１の外部に配置された他のデジタルグランド等を用いることなく、データ配線に対するガード領域を設置できるようになる。これにより、フレキシブル基板１３Ｄ，１３Ｅの基板面上での配線配置の更なる効率化を図ることができるため、フレキシブル基板１３Ｄ，１３Ｅの小型化を図ることが可能となり、インクジェットヘッドの小型化を図ることも可能となる。

【0093】

また、これらの変形例２－１，２－２では、上記したデータ配線として差動線路Ｌｔ（差動伝送配線）を含んでいることから、デジタルグランド配線Ｗｄｇｄ，Ｗｄｇｅにおける第２ガード領域Ａｇ２を用いて、インピーダンスコントロールを行うことができるようになる。これにより、インピーダンスコントロールの自由度が上がるため、フレキシブル基板１３Ｄ，１３Ｅやインクジェットヘッドの更なる小型化を図ることが可能となる。

【0094】

更に、特に変形例２－２では、複数の駆動デバイス４１が差動線路Ｌｔを介して互いにカスケード接続されていることから、以下のようになる。すなわち、フレキシブル基板１３Ｅの基板面上に複数の駆動デバイス４１が実装されている場合においても、各駆動デバイス４１に対して安定的なデジタルグランドを供給しつつ、基板面上での配線配置の効率化を図ることができる。これにより、各駆動デバイス４１の動作の安定化を図ることができ、信頼性を向上させることが可能となる。

【0095】

＜３．その他の変形例＞
以上、実施の形態および変形例をいくつか挙げて本開示を説明したが、本開示はこれらの実施の形態等に限定されず、種々の変形が可能である。

【0096】

例えば、上記実施の形態等では、プリンタおよびインクジェットヘッドにおける各部材の構成例（形状、配置、個数等）を具体的に挙げて説明したが、上記実施の形態等で説明したものには限られず、他の形状や配置、個数等であってもよい。

【0097】

具体的には、例えば、上記実施の形態等では、フレキシブル基板（駆動基板）、駆動デバイス、差動線路、各種の端子および各種の配線等の構成例（形状、配置、個数等）について、具体的に挙げて説明したが、これらの構成例は、上記実施の形態等で説明したものには限られない。例えば、上記実施の形態等では、本開示における「駆動基板」がフレキシブル基板である場合を、例に挙げて説明したが、例えば、本開示における「駆動基板」が、非フレキシブル基板であってもよい。また、上記実施の形態等では、複数の駆動基板がインクジェットヘッド内に設けられている場合の例について説明したが、この例には限られず、例えば、インクジェットヘッド内に１つの駆動基板のみが設けられているようにしてもよい。また、上記実施の形態等では、各駆動基板内に複数の駆動デバイスが、データ出力端子Ｔoutとデータ入力端子Ｔinとの間のカスケード接続によって、互いに直列配置されて設けられている場合の例について説明したが、この例には限られない。すなわち、例えば、複数の駆動デバイスが（上記したようなカスケード接続ではなく、）互いに並列接続されていたり、あるいは、各駆動基板内に１つの駆動デバイスのみが設けられているようにしてもよい。更に、上記実施の形態等では、駆動デバイスの形状を長方形状としているが、この例には限られず、例えば正方形状であってもよい。加えて、上記実施の形態等では、複数の駆動デバイスが、それらの長手方向に沿って並んで配置されているが、この例には限られず、例えば複数の駆動デバイスが、それらの長手方向に沿って並んで配置されていないようにしてもよい。また、上記実施の形態等では、各駆動基板における基板面上に、各駆動デバイスがフリップチップ実装されている場合の例について説明したが、この例には限られず、例えば、各駆動デバイスが基板面上に、他の実装方法（半田による挿入実装、表面実装、ワイヤボンディング実装など）によって実装されているようにしてもよい。更に、上記実施の形態等では、伝送データＤｔを伝送するデータ配線が、差動伝送配線（差動線路Ｌｔ）である場合を例に挙げて説明したが、この場合には限られず、例えばデータ配線が、シングルエンド伝送の配線であってもよい。加えて、上記実施の形態等では主に、デジタル回路およびデジタルグランドに関する適用例について説明したが、例えば場合によっては、アナログ回路およびアナロググランド（アナログ信号に対するグランド）に関しても、本開示を適用するようにしてもよい。

【0098】

更に、上記実施の形態等で説明した各種パラメータの数値例については、実施の形態等で説明した数値例には限られず、他の数値であってもよい。

【0099】

また、インクジェットヘッドの構造としては、各タイプのものを適用することが可能である。すなわち、例えば、アクチュエータプレート１１１における各吐出チャネルの延在方向の中央部からインク９を吐出する、いわゆるサイドシュートタイプのインクジェットヘッドであってもよい。あるいは、例えば、各吐出チャネルの延在方向に沿ってインク９を吐出する、いわゆるエッジシュートタイプのインクジェットヘッドであってもよい。更には、プリンタの方式としても、上記実施の形態等で説明した方式には限られず、例えば、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）方式など、各種の方式を適用することが可能である。

【0100】

更に、例えば、インクタンクとインクジェットヘッドとの間でインク９を循環させて利用する、循環式のインクジェットヘッド、あるいは、インク９を循環させずに利用する、非循環式のインクジェットヘッドのいずれであっても、本開示を適用することが可能である。

【0101】

また、上記実施の形態等で説明した一連の処理は、ハードウェア（回路）で行われるようにしてもよいし、ソフトウェア（プログラム）で行われるようにしてもよい。ソフトウェアで行われるようにした場合、そのソフトウェアは、各機能をコンピュータにより実行させるためのプログラム群で構成される。各プログラムは、例えば、上記コンピュータに予め組み込まれて用いられてもよいし、ネットワークや記録媒体から上記コンピュータにインストールして用いられてもよい。

【0102】

更に、上記実施の形態等では、本開示における「液体噴射記録装置」の一具体例として、プリンタ５（インクジェットプリンタ）を挙げて説明したが、この例には限られず、インクジェットプリンタ以外の他の装置にも、本開示を適用することが可能である。換言すると、本開示の「液体噴射ヘッド」（インクジェットヘッド）を、インクジェットプリンタ以外の他の装置に適用するようにしてもよい。具体的には、例えば、ファクシミリやオンデマンド印刷機などの装置に、本開示の「液体噴射ヘッド」を適用するようにしてもよい。

【0103】

加えて、これまでに説明した各種の例を、任意の組み合わせで適用させるようにしてもよい。

【0104】

なお、本明細書中に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものではなく、また、他の効果があってもよい。

【0105】

また、本開示は、以下のような構成を取ることも可能である。
（１）
複数のノズルを有する液体噴射ヘッドに適用する駆動信号を出力する基板であって、
基板面上に実装されており、前記ノズルから液体を噴射させるための前記駆動信号を生成すると共に、互いに異なる複数箇所に位置する複数のデジタルグランド端子を有する、１または複数の駆動デバイスと、
前記駆動デバイスの実装領域内に配置されており、前記複数箇所のデジタルグランド端子のうちの２箇所以上の前記デジタルグランド端子に対して、電気的に共通接続されたデジタルグランド配線と
を備えた駆動基板。
（２）
前記駆動デバイスは、前記実装領域内に、デジタル回路が配置されたデジタル回路配置領域を、更に有しており、
前記デジタルグランド配線は、前記デジタル回路配置領域の少なくとも一部と重なるように形成されている、第１ガード領域を有する
上記（１）に記載の駆動基板。
（３）
前記駆動デバイスは、複数のデバイス制御端子を更に有していると共に、
前記複数のデバイス制御端子に対して個別に電気的接続された、複数のデバイス制御配線が更に設けられており、
前記複数のデバイス制御配線のうちの少なくとも１つが、前記第１ガード領域内において、前記デジタルグランド配線と電気的に接続されている
上記（２）に記載の駆動基板。
（４）
前記駆動デバイスは、データが入力されるデータ入力端子と、前記データを出力するデータ出力端子と、を更に有していると共に、
前記データ入力端子および前記データ出力端子に対して個別に電気的接続されたデータ配線が、更に設けられており、
前記デジタルグランド配線は、前記データ配線の周囲に配置されていると共に前記第１ガード領域と電気的に接続された、第２ガード領域を更に有している
上記（２）または（３）に記載の駆動基板。
（５）
前記データ配線が、差動伝送配線を含む
上記（４）に記載の駆動基板。
（６）
複数の前記駆動デバイスが、前記差動伝送配線を介して互いにカスケード接続されている
上記（５）に記載の駆動基板。
（７）
上記（１）ないし（６）のいずれかに記載の駆動基板と、
前記駆動基板から出力される前記駆動信号に基づいて前記液体を噴射する、前記複数のノズルを有する噴射部と
を備えた液体噴射ヘッド。
（８）
上記（７）に記載の液体噴射ヘッドを備えた
液体噴射記録装置。

【符号の説明】

【0106】

１…インクジェットヘッド、１０…コネクタ、１１…噴射部、１１１…アクチュエータプレート、１１２…ノズルプレート、１２…Ｉ／Ｆ基板、１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃ，１２０ｄ…コネクタ、１２１…回路配置領域、１３，１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ，１３Ａ～１３Ｅ…フレキシブル基板、１３０…接続電極、１４１，１４２…冷却ユニット、２…印刷制御部、３…インクタンク、３０…インク供給管、４０…部品配置領域、４１，４１１～４１５…駆動デバイス、４１０…デジタル回路配置領域、４３３…圧着電極、５…プリンタ、９…インク、Ｐ…記録紙、Ｈｎ…ノズル孔、Ｄｔ…伝送データ、Ｓｃ…印刷制御信号、Ｓｄ…駆動信号、Ｖｄ…駆動電圧、Ｓ１…表面、Ｓ２…裏面、Ｔin１…第１入力端子、Ｔin２…第２入力端子、Ｔin…データ入力端子、Ｔout…データ出力端子、Ｔｃ…デバイス制御端子、Ｔｄ…駆動端子、Ｔｖ…定電位端子、Ｔｐ…電源端子、Ｔｇ…グランド端子、Ｔｄｇ…デジタルグランド端子、Ｌｔ１，Ｌｔ２，Ｌｔ３１～Ｌｔ３４…差動線路（差動伝送配線）、Ｌｄ…駆動用定電位ライン、Ｗｃ…デバイス制御配線、Ｗｖ…定電位配線、Ｗｐ…電源配線、Ｗｇ…グランド配線、Ｗｄｇ，Ｗｄｇ１～Ｗｄｇ３，Ｗｄｇａ，Ｗｄｇｃ，Ｗｄｇｄ，Ｗｄｇｅ…デジタルグランド配線、ＤＧａ～ＤＧｃ…デジタルグランド領域、Ａｇ１…第１ガード領域、Ａｇ２…第２ガード領域、ＴＨ…スルーホール、Ａｍ…被実装領域。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4A】

【図4B】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】