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特開2024-78367誘電体スラリー組成物及びこれを用いた積層型電子部品の製造方法
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024078367
(43)【公開日】2024-06-10
(54)【発明の名称】誘電体スラリー組成物及びこれを用いた積層型電子部品の製造方法
(51)【国際特許分類】
H01G 4/30 20060101AFI20240603BHJP
H01B 3/12 20060101ALI20240603BHJP
【ＦＩ】
H01G4/30 201L
H01G4/30 515
H01G4/30 517
H01G4/30 311
H01B3/12 303
【審査請求】未請求
【請求項の数】18
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023060259
(22)【出願日】2023-04-03
(31)【優先権主張番号】10-2022-0162708
(32)【優先日】2022-11-29
(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR
【公序良俗違反の表示】
（特許庁注：以下のものは登録商標）
１．ＴＲＩＴＯＮ
２．ＢＲＩＪ
(71)【出願人】
【識別番号】594023722
【氏名又は名称】サムソン エレクトロ－メカニックス カンパニーリミテッド．
(74)【代理人】
【識別番号】110000877
【氏名又は名称】弁理士法人ＲＹＵＫＡ国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】クォン、テ ギュン
(72)【発明者】
【氏名】ホン、ソ ヒョン
(72)【発明者】
【氏名】リー、ウン ソク
【テーマコード（参考）】
5E001
5E082
5G303
【Ｆターム（参考）】
5E001AB03
5E001AC04
5E001AD04
5E001AE01
5E001AE02
5E001AE03
5E001AE04
5E001AJ02
5E082AB03
5E082EE04
5E082EE05
5E082FF05
5E082FG03
5E082FG04
5E082FG26
5G303AA01
5G303AB05
5G303BA12
5G303CA01
5G303CB03
5G303CB06
5G303CB35
5G303CB39
5G303CD01
5G303CD04
5G303CD07
5G303DA05
(57)【要約】
【課題】水系溶媒の誘電体スラリーを用いてシートアタック現象を防止し、誘電体粉末の分散性を向上させて凝集現象を防止する。
【解決手段】
本発明の一実施形態による誘電体スラリー組成物３０，３０'は、疎水性溶媒１１及び誘電体粒子１２を含む第１溶液１０，１０'と、親水性溶媒２１、親水性分散剤２２及び親水性バインダー２３を含む第２溶液２０と、を含み、上記第１溶液の少なくとも一部は、上記第２溶液中にエマルジョン構造を有することができる。
【選択図】図３
【解決手段】
本発明の一実施形態による誘電体スラリー組成物３０，３０'は、疎水性溶媒１１及び誘電体粒子１２を含む第１溶液１０，１０'と、親水性溶媒２１、親水性分散剤２２及び親水性バインダー２３を含む第２溶液２０と、を含み、上記第１溶液の少なくとも一部は、上記第２溶液中にエマルジョン構造を有することができる。
【選択図】図３
【特許請求の範囲】
【請求項1】
疎水性溶媒及び誘電体粒子を含む第１溶液と、
親水性溶媒、親水性分散剤及び親水性バインダーを含む第２溶液と、を含み、
前記第１溶液の少なくとも一部は、前記第２溶液中にエマルジョン構造を有する、誘電体スラリー組成物。
親水性溶媒、親水性分散剤及び親水性バインダーを含む第２溶液と、を含み、
前記第１溶液の少なくとも一部は、前記第２溶液中にエマルジョン構造を有する、誘電体スラリー組成物。
【請求項2】
前記エマルジョン構造は、前記第２溶液中に水滴（ｄｒｏｐｌｅｔ）構造を有して分散している形状を含む、請求項１に記載の誘電体スラリー組成物。
【請求項3】
前記エマルジョン構造の内表面には、前記誘電体粒子が配置される、請求項１に記載の誘電体スラリー組成物。
【請求項4】
前記エマルジョン構造の内部には、前記誘電体粒子が配置される、請求項３に記載の誘電体スラリー組成物。
【請求項5】
前記第１溶液の体積比率は１．０ｖｏｌ％以上５０．０ｖｏｌ％以下であり、前記第２溶液の体積比率は５０．０ｖｏｌ％以上９９．０ｖｏｌ％以下である、請求項１に記載の誘電体スラリー組成物。
【請求項6】
前記第２溶液は、０．１ｖｏｌ％以上１０．０ｖｏｌ％以下の親水性分散剤、５．０ｖｏｌ％以上５０．０ｖｏｌ％以下の親水性バインダー及び４０．０ｖｏｌ％以上９４．９ｖｏｌ％以下の親水性溶媒を含む、請求項１に記載の誘電体スラリー組成物。
【請求項7】
前記第２溶液の親水性溶媒は単一溶媒である、請求項１に記載の誘電体スラリー組成物。
【請求項8】
前記第１溶液は、１．０ｖｏｌ％以上８０．０ｖｏｌ％以下の誘電体粒子及び２０．０ｖｏｌ％以上９９．０ｖｏｌ％以下の疎水性溶媒を含む、請求項１に記載の誘電体スラリー組成物。
【請求項9】
内部電極パターンを形成する段階と、
前記内部電極パターン上に誘電体スラリー組成物をインクジェットプリンティングする段階と、を含み、
前記誘電体スラリー組成物は、疎水性溶媒と誘電体粒子を含む第１溶液及び親水性溶媒、親水性分散剤と親水性バインダーを含む第２溶液を含み、
前記第１溶液の少なくとも一部は、前記第２溶液中にエマルジョン構造を有する、積層型電子部品の製造方法。
前記内部電極パターン上に誘電体スラリー組成物をインクジェットプリンティングする段階と、を含み、
前記誘電体スラリー組成物は、疎水性溶媒と誘電体粒子を含む第１溶液及び親水性溶媒、親水性分散剤と親水性バインダーを含む第２溶液を含み、
前記第１溶液の少なくとも一部は、前記第２溶液中にエマルジョン構造を有する、積層型電子部品の製造方法。
【請求項10】
前記エマルジョン構造は、前記第２溶液中に水滴（ｄｒｏｐｌｅｔ）構造を有して分散している形状を含む、請求項９に記載の積層型電子部品の製造方法。
【請求項11】
前記エマルジョン構造の内表面には、前記誘電体粒子が配置される、請求項９に記載の積層型電子部品の製造方法。
【請求項12】
前記エマルジョン構造の内部には、前記誘電体粒子が配置される、請求項１１に記載の積層型電子部品の製造方法。
【請求項13】
前記第１溶液の体積比率は１．０ｖｏｌ％以上５０．０ｖｏｌ％以下であり、前記第２溶液の体積比率は５０．０ｖｏｌ％以上９９．０ｖｏｌ％以下である、請求項９に記載の積層型電子部品の製造方法。
【請求項14】
前記第２溶液は、０．１ｖｏｌ％以上１０．０ｖｏｌ％以下の親水性分散剤、５．０ｖｏｌ％以上５０．０ｖｏｌ％以下の親水性バインダー及び４０．０ｖｏｌ％以上９４．９ｖｏｌ％以下の親水性溶媒を含む、請求項９に記載の積層型電子部品の製造方法。
【請求項15】
前記第２溶液の親水性溶媒は単一溶媒である、請求項９に記載の積層型電子部品の製造方法。
【請求項16】
前記第１溶液は、１．０ｖｏｌ％以上８０．０ｖｏｌ％以下の誘電体粒子及び２０．０ｖｏｌ％以上９９．０ｖｏｌ％以下の疎水性溶媒を含む、請求項９に記載の積層型電子部品の製造方法。
【請求項17】
前記インクジェットプリンティングする段階の前に、前記第１溶液及び第２溶液を混合して超音波処理して前記第１溶液をエマルジョン化したエマルジョン構造を設ける段階と、を含む、請求項９に記載の積層型電子部品の製造方法。
【請求項18】
前記インクジェットプリンティングする段階の後に、前記誘電体スラリー組成物を乾燥する段階と、をさらに含み、
前記乾燥した誘電体スラリー組成物内のエマルジョン構造の外表面の少なくとも一部は、前記第２溶液の親水性分散剤及び親水性バインダーの少なくとも一つ以上が配置される、請求項９に記載の積層型電子部品の製造方法。
前記乾燥した誘電体スラリー組成物内のエマルジョン構造の外表面の少なくとも一部は、前記第２溶液の親水性分散剤及び親水性バインダーの少なくとも一つ以上が配置される、請求項９に記載の積層型電子部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、誘電体スラリー組成物及びこれを用いた積層型電子部品の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
積層型電子部品の一つである積層セラミックキャパシタ（ＭＬＣＣ：Ｍｕｌｔｉ－Ｌａｙｅｒｅｄ Ｃｅｒａｍｉｃ Ｃａｐａｃｉｔｏｒ）は、液晶表示装置（ＬＣＤ：Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）及びプラズマ表示装置パネル（ＰＤＰ：Ｐｌａｓｍａ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｐａｎｅｌ）などの映像機器、コンピュータ、スマートフォン及び携帯電話などの様々な電子製品のプリント回路基板に装着されて電気を充電または放電させる役割を果たすチップ形態のコンデンサである。
【0003】
かかる積層セラミックキャパシタは、小型でありながらも高容量が保障され、実装が容易であるという利点により、様々な電子装置の部品として用いられることができる。コンピュータ、モバイル機器など、各種電子機器が小型化、高出力化され、積層セラミックキャパシタに対する小型化及び高容量化の要求が増大している。
【0004】
現在、積層セラミックキャパシタ（ＭＬＣＣ）は、セラミックグリーンシートと導電性ペーストを用いた内部電極パターンを交差積層して形成する。セラミックグリーンシートは、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）などに代表されるセラミック粉末及び有機バインダーを主成分とする。
【0005】
従来には、疎水性を有する有機溶媒に有機バインダーを溶解させたビヒクルのうち、誘電体粉末が分散された形態の誘電体スラリーを用いた。従来の方法を用いて、導電性ペーストを形成し、乾燥した内部電極パターン上に誘電体スラリーを塗布して乾燥したセラミックグリーンシートを形成する場合、導電性ペースト中の有機溶媒がセラミックグリーンシート中の有機バインダーを膨潤または溶解させて不良を起こすシートアタック（ｓｈｅｅｔ ａｔｔａｃｋ）現象が現れるという問題点があった。このようなシートアタック現象は、最終製品である積層セラミックキャパシタの誘電体層の絶縁性を低下させたり、ショート発生率を増加させるという問題点をもたらすおそれがある。
【0006】
このような問題点を解決するために、内部電極ペーストまたは誘電体スラリーの溶剤として水系を用いる試みがあったが、バインダー及び分散剤の種類や含量によって金属粉末または誘電体粉末の分散性の程度が異なるため、最適の設計組成に対する研究が必要な状況である。
【0007】
一方、従来の誘電体スラリーを塗布する方法として、テープキャスティング（ｔａｐｅ ｃａｓｔｉｎｇ）方式を多く利用するが、テープキャスティング方式の場合、内部電極ペーストを塗布してから、これを完全に乾燥した後に誘電体スラリーを塗布する必要があるため、時間が多くかかり、厚さの超薄膜化が難しいという問題点がある。一方、インクジェットプリンティング（ｉｎｋｊｅｔ ｐｒｉｎｔｉｎｇ）方式は、内部電極ペースト塗布後に完全乾燥をしなくても誘電体スラリーを塗布することができるという利点があるが、一般的に有機溶媒の誘電体スラリーを用いる場合、インクジェットの吐出入口が詰まるか、インクジェットの洗浄が容易ではないため、工程上の不便がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0008】
【特許文献1】日本公開特許公報第２００２－２８４５７９号
【特許文献2】日本公開特許公報第２００１－３０２３４２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0009】
本発明が解決しようとする様々な課題の一つは、水系溶媒の誘電体スラリーを用いてシートアタック現象を防止することである。
【0010】
本発明が解決しようとする様々な課題の一つは、誘電体粉末の分散性を向上させて凝集現象を防止することである。
【0011】
但し、本発明が解決しようとする様々な課題は、上述した内容に限定されず、本発明の具体的な実施形態を説明する過程でより容易に理解することができる。
【課題を解決するための手段】
【0012】
本発明の一実施形態による誘電体スラリー組成物は、疎水性溶媒及び誘電体粒子を含む第１溶液と、親水性溶媒、親水性分散剤及び親水性バインダーを含む第２溶液と、を含み、上記第１溶液の少なくとも一部は、上記第２溶液中にエマルジョン構造を有することができる。
【0013】
本発明の他の一実施形態による積層型電子部品の製造方法は、内部電極パターンを形成する段階と、上記内部電極パターン上に誘電体スラリー組成物をインクジェットプリンティングする段階と、を含み、上記誘電体スラリー組成物は、疎水性溶媒と誘電体粒子を含む第１溶液、及び親水性溶媒、親水性分散剤と親水性バインダーを含む第２溶液を含み、上記第１溶液の少なくとも一部は、上記第２溶液中にエマルジョン構造を有することができる。
【発明の効果】
【0014】
本発明の様々な効果の一つは、水系溶媒の誘電体スラリーを用いることでシートアタック現象を防止することができることである。
【0015】
本発明の様々な効果の一つは、誘電体粉末の分散性を向上させて凝集現象を防止することができることである。
【0016】
但し、本発明の多様でありながらも有意義な利点及び効果は、上述した内容に限定されず、本発明の具体的な実施形態を説明する過程で、より容易に理解することができる。
【図面の簡単な説明】
【0017】
【図1】積層型電子部品の斜視図を概略的に示した図面である。
【図3】本発明の一実施形態である誘電体スラリー及びこれを製造する方法を概略的に示した図面である。
【図5】本発明の一実施形態である誘電体スラリーを概略的に示した図面である。
【図6】本発明の一実施形態である誘電体スラリーを乾燥した状態を概略的に示した図面である。
【図7】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の一実施形態である誘電体スラリーをＯＭを用いてスキャンした画像イメージである。
【図8】本発明の一実施形態である誘電体スラリーを乾燥した状態をＳＥＭを用いてスキャンした画像イメージである。
【図9】本発明の一実施形態である誘電体スラリーをインクジェットプリンティング方式で塗布する段階を概略的に示した図面である。
【発明を実施するための形態】
【0018】
以下、具体的な実施形態及び添付の図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。しかし、本発明の実施形態は、いくつかの他の形態に変形することができ、本発明の範囲が以下説明する実施形態に限定されるものではない。また、本発明の実施形態は、通常の技術者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。したがって、図面における要素の形状及び大きさなどはより明確な説明のために拡大縮小表示（又は強調表示や簡略化表示）がされることがあり、図面上に同一符号で示される要素は同一要素である。
【0019】
尚、図面において本発明を明確に説明するために説明と関係ない部分は省略し、図示した各構成の大きさ及び厚さは、説明の便宜のために任意で示したものであるため、本発明は必ずしも図示により限定されない。また、同一の思想の範囲内の機能が同一である構成要素は、同一の参照符号を用いて説明することができる。さらに、明細書全体において、ある部分がある構成要素を「含む」というのは、特に反対される記載がない限り、他の構成要素を除外するのではなく、他の構成要素をさらに含むことができることを意味する。
【0020】
図面において、第１方向は積層方向または厚さ（Ｔ）方向、第２方向は長さ（Ｔ）方向、第３方向は幅（Ｗ）方向と定義することができる。
【0021】
誘電体スラリー組成物
図３は、本発明の一実施形態である誘電体スラリー及びこれを製造する方法を概略的に示した図面であり、図４は、図３のＰ領域の拡大図を概略的に示した図面であり、図５は、本発明の一実施形態である誘電体スラリーを概略的に示した図面であり、図６は、本発明の一実施形態である誘電体スラリーを乾燥した状態を概略的に示した図面である。
図３は、本発明の一実施形態である誘電体スラリー及びこれを製造する方法を概略的に示した図面であり、図４は、図３のＰ領域の拡大図を概略的に示した図面であり、図５は、本発明の一実施形態である誘電体スラリーを概略的に示した図面であり、図６は、本発明の一実施形態である誘電体スラリーを乾燥した状態を概略的に示した図面である。
【0022】
【0023】
本発明の一実施形態による誘電体スラリー組成物３０は、疎水性溶媒１１及び誘電体粒子１２を含む第１溶液１０と、親水性溶媒２１、親水性分散剤２２及び親水性バインダー２３を含む第２溶液２０と、を含み、上記第１溶液１０の少なくとも一部は、上記第２溶液２０中にエマルジョン構造１０'を有することができる。
【0024】
エマルジョン（ｅｍｕｌｓｉｏｎ）とは、ある溶液が他の溶液にコロイド状に広がっている溶液を意味することができ、互いに混ざらない２つの溶液の間に発生することができ、互いに異なる溶媒を用いた溶液が混ざっていることを意味することができる。
【0025】
本発明において、エマルジョン構造１０'は、第１溶液１０が第２溶液２０内で複数個の水滴（ｄｒｏｐｌｅｔ）構造を有して分散されている形状を意味することができ、一つのｄｒｏｐｌｅｔ構造をエマルジョン構造１０'と説明することができる。
【0026】
一方、第１溶液１０及び第２溶液２０が混合された誘電体スラリー組成物３０を超音波処理（ｓｏｎｉｆｉｃａｔｉｏｎ）することで、第１溶液１０をエマルジョン化してエマルジョン構造１０'を有するようにすることができる。誘電体スラリー組成物３０を超音波処理によって撹拌することで、第１溶液１０を第２溶液２０内に均一に分散させることができる。これにより、誘電体スラリー組成物３０は、第１溶液１０が第２溶液２０内に分散された油中水滴型（ ｏｉｌ －ｉｎ－ｗａｔｅｒ ）エマルジョン構造１０'を含むことができる。
【0027】
本発明の一実施形態である誘電体スラリー組成物３０中の第１溶液１０の体積比率は１．０ｖｏｌ％以上５０．０ｖｏｌ％以下であり、第２溶液２０の体積比率は５０．０ｖｏｌ％以上９９．０ｖｏｌ％以下であることができる。
【0028】
すなわち、第２溶液２０の体積が第１溶液１０よりも高いことで、第２溶液２０が第１溶液１０を囲むようになり、第１溶液１０がエマルジョン構造１０'を有するか、または第１溶液１０が第２溶液２０に散布された状態のエマルジョン構造１０'をより容易に有することができる。
【0029】
第１溶液１０は、疎水性溶媒１１及び誘電体粒子１２を含むことができる。
【0030】
疎水性溶媒１１は、例えば、Ｄｉｈｙｄｒｏ ｔｅｒｐｉｎｅｏｌ ａｃｅｔａｔｅ （ＤＨＴＡ）、トルエン（ｔｏｌｕｅｎｅ）、ベンゼン（ｂｅｎｚｅｎｅ）、クロロフォーム（ｃｈｌｏｒｏｆｏｒｍ）、ヘキシルアセテート（ｈｅｘｙｌ ａｃｅｔａｔｅ）及びヘキサン酸アリル（ａｌｌｙｌ ｈｅｘａｎｏａｔｅ）系疎水性溶媒の少なくとも一つ以上を含むことができるが、特にこれに制限されるものではなく、炭化水素鎖（ｈｙｄｒｏｃａｒｂｏｎ ｃｈａｉｎ）を含む溶媒であればいずれも用いることができる。
【0031】
誘電体粒子１２は、誘電容量を形成する物質であればいずれも用いることができ、一般的にペロブスカイト系物質（ＡＢＯ３）を用いることができ、添加剤が固溶または拡散した状態を含むことができる。より具体的な誘電体粒子１２に対する説明は後述する。
【0032】
第１溶液１０は、１．０ｖｏｌ％以上８０．０ｖｏｌ％以下の誘電体粒子１２及び２０．０ｖｏｌ％以上９９．０ｖｏｌ％以下の疎水性溶媒１１を含むことができる。
【0033】
誘電体粒子１２の体積比率が１．０ｖｏｌ％未満である場合、十分な誘電容量を確保することが困難であり、２０．０ｖｏｌ％超過である場合、分散が難しくなって凝集現象により十分な誘電容量を確保することが困難であり、粉末または結晶粒の形状の制御が困難であることがある。
【0034】
疎水性溶媒１１の体積比率が２０．０ｖｏｌ％未満である場合、誘電体粒子１２の分散が難しくなって凝集現象が発生する可能性があり、体積比率が９９．０ｖｏｌ％超過である場合、十分な誘電容量を確保することが困難である場合がある。
【0035】
但し、第１溶液１０の構成はこれに限定されるものではなく、例えば、各種添加剤をさらに含むことができる。
【0036】
第２溶液２０は親水性溶媒２１、親水性分散剤２２、及び親水性バインダー２３を含むことができる。
【0037】
親水性溶媒２１は、親水性分散剤２２及び親水性バインダー２３を溶解することができるが、ｓｗｅｌｌｉｎｇが可能なものであれば十分であり、特に制限されるものではないが、例えば、水またはジメチルスルホキシドなどを用いることができる。
【0038】
一方、互いに異なる種類の親水性溶媒を混合して親水性溶媒２１として用いることができるが、単一水系溶媒を用いる場合には、水系溶媒内の物質の分散性に優れ、大量生産が容易であるため、経済的にも利点があり、単一水系溶媒を用いて第２溶液２０を製造することが好ましいことがある。
【0039】
親水性分散剤２２は、両親媒性を有する物質であれば、その種類を大きく制限しない。例えば、Ｔｒｉｔｏｎ Ｘ－１１４、Ｔｒｉｔｏｎ Ｘ－１００、Ｂｒｉｊ－５８、オクチルグルコシド（ｏｃｔｙｌ ｇｌｕｃｏｓｉｄｅ）、オクチルチオグルコシド（ｏｃｔｙｌｔｈｉｏ ｇｌｕｃｏｓｉｄｅ）、デカエチレングリコールモノデシルエーテル（ｄｅｃａｅｔｈｙｌｅｎｅ ｇｌｙｃｏｌ ｍｏｎｏｄｏｄｅｃｙｌ ｅｔｈｅｒ）、Ｎ－デカノイル－Ｎ－メチルグルカミン（Ｎ－ｄｅｃａｎｏｙｌ－Ｎ－ｍｅｔｈｙｌｇｌｕｃａｍｉｎｅ）、デシルマルトピラノサイド（ｄｅｃｙｌ ｍａｌｔｏｐｙｒａｎｏｓｉｄｅ）、Ｎ－ドデシルマルトサイド（Ｎ－ｄｏｄｅｃｙｌ ｍａｌｔｏｓｉｄｅ）、ノナエチレングリコールモノデシルエーテル（ｎｏｎａｅｔｈｙｌｅｎｅ ｇｌｙｃｏｌ ｍｏｎｏｄｏｄｅｃｙｌ ｅｔｈｅｒ）、Ｎ－ノナノイル－Ｎ－メチルグルカミン（Ｎ－ｎｏｎａｎｏｙｌ－Ｎ－ｍｅｔｈｙｌｇｌｕｃａｍｉｎｅ）、オクタエチレングリコールモノドデシルエーテル（ｏｃｔａｅｔｈｙｌｅｎｅ ｇｌｙｃｏｌ ｍｏｎｏｄｏｄｅｃｙｌ ｅｔｈｅｒ）、スパン２０（Ｓｐａｎ２０）、ポリビニルピロリドン（ｐｏｌｙｖｉｎｙｌｐｙｒｒｏｌｉｄｏｎｅ）及びＳｙｎｐｅｒｏｎｉｃ Ｆ１０８（ＰＥＯ－ｂ－ＰＰＯ－ｂ－ＰＥＯ）の少なくとも一つ以上を含むことができ、親水性溶媒２１内で溶解及びｓｗｅｌｌｉｎｇが可能な物質であれば、いずれも用いることができる。
【0040】
親水性分散剤２２は、第１溶液１０と第２溶液２０の界面に吸着されることができる。この場合、親水性分散剤２２の疎水性基は第１溶液１０側に、親水性基は第２溶液２０側に吸着されることができる。
【0041】
親水性分散剤２２が第１溶液１０及び第２溶液２０の界面に吸着されると、第１溶液１０の油中水滴型（ ｏｉｌ －ｉｎ－ｗａｔｅｒ ）エマルジョン構造１０'をさらに安定して維持することができる。
【0042】
親水性バインダー２３は、例えば、ＨＳＰ（Ｈａｎｓｅｎ ｓｏｌｕｂｉｌｉｔｙ ｐａｒａｍｅｔｅｒ）が１０（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２以上の高分子を用いることができ、例えばＰＥＧ－８ ｓｔｅａｒａｔｅなどのＰＥＧ（ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ ｇｌｙｃｏｌ）系列、ＰＶＰ（ｐｏｌｙｖｉｎｙｌ ｐｙｒｒｏｌｉｄｏｎｅ）系列、ＰＶＡ（ｐｏｌｙｖｉｎｙｌ ａｌｃｏｈｏｌ）系列の少なくとも一つ以上を含むことができるが、特にこれに制限されるものではない。
【0043】
親水性バインダー２３は、セラミックグリーンシートと内部電極導電性ペーストに含まれる粒子との間の結合性向上に寄与する成分である。
【0044】
親水性バインダー２３が第１溶液１０と混合された状態で誘電体スラリー組成物３０の内部に存在する場合、第１溶液１０内の誘電体粒子１２などに影響を及ぼさず、第１溶液１０の乾燥時に誘電体粒子１２の集合体が分散され得るマトリックスの役割を果たすことができる。
【0045】
本発明の一実施形態において、エマルジョン構造１０'の内表面には誘電体粒子１２が配置されることができる。
【0046】
ここで、内表面に誘電体粒子１２が配置されたとは、第１溶液１０のエマルジョン構造１０'のうち、第２溶液２０との界面に誘電体粒子１２が配置された形態を意味することができる。
【0047】
本発明の一実施形態において、エマルジョン構造１０'の内部には誘電体粒子１２が配置されることができる。
【0048】
すなわち、エマルジョン構造１０'と第２溶液２０の界面領域ではない界面領域よりも内部、例えばエマルジョン構造１０'の中央領域に誘電体粒子１２が配置されることができる。
【0049】
エマルジョン構造１０'を有する形状に誘電体粒子１２を含むことで、誘電体粒子１２間の凝集現象が発生することを抑制することができ、エマルジョン構造１０'の内部に誘電体粒子１２をさらに含む場合には、同一体積に対する誘電特性がさらに向上することができる効果がある。
【0050】
図７の（ａ）及び（ｂ）は、本発明の一実施形態を光学顕微鏡（ＯＭ：Ｏｐｔｉｃａｌ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）を介してスキャンした画像イメージである。誘電体スラリー組成物３０において、第２溶液２０内に第１溶液１０がエマルジョン構造１０'を有して分散されていることを確認することができる。各物質の種類及び含量に応じて、様々な大きさ及び形態のエマルジョン構造１０'が形成されることができる。
【0051】
図７の（ａ）は、エマルジョン構造１０'の内表面に誘電体粒子１２が配置された形態をスキャンした画像イメージであり、（ｂ）の場合、エマルジョン構造１０'の内表面及び内部に誘電体粒子１２が配置された形態をスキャンした画像イメージである。
【0052】
図面を参照すると分かるように、エマルジョン構造１０'の内表面及び内部に誘電体粒子１２が配置された図７の（ｂ）の場合、内表面のみに誘電体粒子１２が配置された図７の（ａ）に比べて体積または面積がさらに大きいことができる。
【0053】
一方、図６を参照すると、エマルジョン構造１０'を含む誘電体スラリー組成物３０を乾燥して、乾燥された誘電体スラリー組成物３０'となる場合、エマルジョン構造１０'の外表面の少なくとも一部は、第２溶液２０の親水性分散剤２２及び親水性バインダー２３の少なくとも一つ以上が配置されることができる。
【0054】
誘電体スラリー組成物３０が乾燥過程を経て第２溶液２０に含まれた第２溶媒２１が除去されながら、親水性分散剤２２及び親水性バインダー２３がエマルジョン構造１０'に吸着するにつれて、このような構造を有することができるが、特にこれに制限されるものではない。
【0055】
乾燥温度に応じて異なることができ、乾燥過程を経て第１溶液１０に含まれた第１溶媒１１も除去されることができるが、特にこれに制限されるものではない。
【0056】
図８は、乾燥された誘電体スラリー組成物３０'はＳＥＭを用いてスキャンした画像イメージであり、第１溶液１０またはエマルジョン構造１０'の乾燥された残余物がＰＥＴフィルム上に存在することを確認することができる。
【0057】
【0058】
以下、図１及び図２を参照して、本発明の一実施形態による積層型電子部品の製造方法によって製造された積層型電子部品について詳細に説明する。但し、積層型電子部品の一例として、積層セラミックキャパシタについて説明するが、本発明は誘電体組成物を利用する様々な電子製品、例えば、インダクタ、圧電体素子、バリスタ、またはサーミスタなどにも適用されることができる。
【0059】
本体１１０は、誘電体層１１１及び内部電極１２１、１２２が交互に積層されている。
【0060】
より具体的には、本体１１０は、本体１１０の内部に配置され、誘電体層１１１を挟んで互いに向かい合うように交互に配置される第１内部電極１２１及び第２内部電極１２２を含んで容量を形成する容量形成部を含むことができる。
【0061】
本体１１０の具体的な形状に特に制限はないが、図示のように本体１１０は六面体状やこれと類似した形状からなることができる。焼成過程で本体１１０に含まれたセラミック粉末の収縮により、本体１１０は、完全な直線を有する六面体状ではないが、実質的に六面体状を有することができる。
【0062】
本体１１０は、第１方向に互いに向かい合う第１及び第２面１、２、第１及び第２面１、２に連結され、第２方向に互いに向かい合う第３及び第４面３、４、第１～第４面１、２、３、４に連結され、第３方向に互いに向かい合う第５及び第６面５、６を有することができる。
【0063】
本体１１０を形成する複数の誘電体層１１１は、焼成された状態であって、隣接する誘電体層１１１間の境界は、走査電子顕微鏡（ＳＥＭ：Ｓｃａｎｎｉｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）を利用せずには確認しにくいほど一体化することができる。
【0064】
誘電体層１１１を形成する原料は、十分な静電容量が得られる限り制限されない。一般的に、ペロブスカイト（ＡＢＯ３）系材料を用いることができ、例えば、チタン酸バリウム系材料、鉛複合ペロブスカイト系材料またはチタン酸ストロンチウム系材料などを用いることができる。チタン酸バリウム系材料は、ＢａＴｉＯ３系セラミック粉末を含むことができ、セラミック粉末の例示として、ＢａＴｉＯ３、ＢａＴｉＯ３にＣａ（カルシウム）、Ｚｒ（ジルコニウム）などが一部固溶された（Ｂａ１－ｘＣａｘ）ＴｉＯ３（０＜ｘ＜１）、Ｂａ（Ｔｉ１－ｙＣａｙ）Ｏ３（０＜ｙ＜１）、（Ｂａ１－ｘＣａｘ）（Ｔｉ１－ｙＺｒｙ）Ｏ３（０＜ｘ＜１、０＜ｙ＜１）またはＢａ（Ｔｉ１－ｙＺｒｙ）Ｏ３（０＜ｙ＜１）などが挙げられる。
【0065】
また、誘電体層１１１を形成する原料は、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）などの粉末に本発明の目的に応じて様々なセラミック添加剤、有機溶剤、結合剤、分散剤などが添加されることができる。
【0066】
一方、誘電体層１１１を形成する方法は特に制限されないが、テープキャスティング（ｔａｐｅ ｃａｓｔｉｎｇ）方法を用いるか、インクジェットプリンティング（ｉｎｋ－ｊｅｔ ｐｒｉｎｔｉｎｇ）方法を用いることができる。
【0067】
本発明の一実施形態である誘電体スラリー組成物３０を用いてインクジェットプリンティング方法を用いる場合、親水性溶媒２１を用いるため、インクジェット吐出入口が詰まらないことができ、洗浄が容易であってインクジェットプリンタ２００の長期間使用が可能であるという利点がある。
【0068】
誘電体層１１１の厚さは特に限定する必要はない。
【0069】
但し、積層型電子部品の小型化及び高容量化をより容易に達成するために、誘電体層１１１の厚さは０．６μｍ以下であることができ、より好ましくは０．４μｍ以下であることができる。
【0070】
ここで、誘電体層１１１の厚さは、第１及び第２内部電極１２１、１２２の間に配置される誘電体層１１１の厚さを意味することができる。
【0071】
一方、誘電体層１１１の厚さは、誘電体層１１１の第１方向の大きさを意味することができる。なお、誘電体層１１１の厚さは、誘電体層１１１の平均厚さｔｄを意味することができ、誘電体層１１１の第１方向の平均大きさを意味することができる。
【0072】
誘電体層１１１の第１方向の平均大きさは、本体１１０の第１及び第２方向の断面（ｃｒｏｓｓ－ｓｅｃｔｉｏｎ）を１万倍率の走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いてイメージをスキャンして測定することができる。より具体的には、スキャンされたイメージにおいて一つの誘電体層１１１を第２方向に等間隔の３０つの地点で第１方向の大きさを測定した平均値であることができる。上記等間隔の３０つの地点は容量形成部で指定されることができる。また、このような平均値測定を１０つの誘電体層１１１に拡張して平均値を測定すれば、誘電体層１１１の第１方向の平均大きさをさらに一般化することができる。
【0073】
内部電極１２１、１２２は誘電体層１１１と交互に積層されることができる。
【0074】
内部電極１２１、１２２は第１内部電極１２１及び第２内部電極１２２を含むことができ、第１及び第２内部電極１２１、１２２は本体１１０を構成する誘電体層１１１を挟んで互いに向かい合うように交互に配置され、本体１１０の第３及び第４面３、４にそれぞれ露出することができる。
【0075】
より具体的には、第１内部電極１２１は第４面４から離隔し、第３面３を介して露出することができ、第２内部電極１２２は第３面３から離隔して第４面４を介して露出することができる。本体１１０の第３面３には第１外部電極１３１が配置されて第１内部電極１２１に連結され、本体１１０の第４面４には第２外部電極１３２が配置されて第２内部電極１２２に連結されることができる。
【0076】
すなわち、第１内部電極１２１は第２外部電極１３２とは連結されず、第１外部電極１３１に連結され、第２内部電極１２２は第１外部電極１３１とは連結されず、第２外部電極１３２に連結されることができる。このとき、第１及び第２内部電極１２１、１２２は、中間に配置された誘電体層１１１によって互いに電気的に分離されることができる。
【0077】
一方、本体１１０は、第１内部電極１２１が印刷されたセラミックグリーンシートと第２内部電極１２２が印刷されたセラミックグリーンシートを交互に積層した後、焼成して形成されることができる。
【0078】
内部電極１２１、１２２を形成する材料は特に制限されず、電気導電性に優れた材料を用いることができる。例えば、内部電極１２１、１２２は、ニッケル（Ｎｉ）、銅（Ｃｕ）、パラジウム（Ｐｄ）、銀（Ａｇ）、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、スズ（Ｓｎ）、タングステン（Ｗ）、チタン（Ｔｉ）及びこれらの合金のうち一つ以上を含むことができる。
【0079】
また、内部電極１２１、１２２は、ニッケル（Ｎｉ）、銅（Ｃｕ）、パラジウム（Ｐｄ）、銀（Ａｇ）、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、スズ（Ｓｎ）、タングステン（Ｗ）、チタン（Ｔｉ）及びこれらの合金のうち一つ以上を含む内部電極導電性ペーストをセラミックグリーンシートに印刷して形成することができる。上記内部電極導電性ペーストの印刷方法は、スクリーン印刷法またはグラビア印刷法などを用いることができるが、本発明はこれに限定されるものではない。
【0080】
一方、内部電極１２１、１２２の厚さは特に限定する必要はない。
【0081】
但し、積層型電子部品の小型化及び高容量化をより容易に達成するために、内部電極１２１、１２２の厚さは０．６μｍ以下であることができ、より好ましくは０．４μｍ以下であることができる。
【0082】
ここで、内部電極１２１、１２２の厚さは、内部電極１２１、１２２の第１方向の大きさを意味することができる。また、内部電極１２１、１２２の厚さは、内部電極１２１、１２２の平均厚さｔｅを意味することができ、内部電極１２１、１２２の第１方向の平均大きさを意味することができる。
【0083】
内部電極１２１、１２２の第１方向の平均大きさは、本体１１０の第１及び第２方向の断面（ｃｒｏｓｓ－ｓｅｃｔｉｏｎ）を１万倍率の走査電子顕微鏡（ＳＥＭ、Ｓｃａｎｎｉｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）を用いてイメージをスキャンして測定することができる。より具体的には、スキャンされたイメージにおいて一つの内部電極１２１、１２２を第２方向に等間隔の３０つの地点で第１方向の大きさを測定した平均値であることができる。上記等間隔の３０つの地点は、容量形成部で指定されることができる。また、このような平均値測定を１０つの内部電極１２１、１２２に拡張して平均値を測定すると、内部電極１２１、１２２の第１方向の平均大きさをさらに一般化することができる。
【0084】
一方、本体１１０は、容量形成部の第１方向の両端面（ｅｎｄ－ｓｕｒｆａｃｅ）上に配置されたカバー部１１２、１１３を含むことができる。
【0085】
より具体的には、容量形成部の第１方向の上部に配置される上部カバー部１１２及び容量形成部の第１方向の下部に配置される下部カバー部１１３を含むことができる。
【0086】
上部カバー部１１２及び下部カバー部１１３は、単一誘電体層１１１又は２つ以上の誘電体層１１１を容量形成部の上下面にそれぞれ第１方向に積層して形成することができ、基本的に物理的または化学的ストレスによる内部電極１２１、１２２の損傷を防止する役割を果たすことができる。
【0087】
上部カバー部１１２及び下部カバー部１１３は、内部電極１２１、１２２を含まず、誘電体層１１１と同じ材料を含むことができる。すなわち、上部カバー部１１２及び下部カバー部１１３はセラミック材料を含むことができ、例えばチタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）系セラミック材料を含むことができる。
【0088】
一方、カバー部１１２、１１３の厚さは特に限定する必要はない。
【0089】
但し、積層型電子部品の小型化及び高容量化をより容易に達成するために、カバー部１１２、１１３の厚さは１００μｍ以下であることができ、好ましくは３０μｍ以下であることができ、超小型製品ではより好ましくは２０μｍ以下であることができる。
【0090】
ここで、カバー部１１２、１１３の厚さは、カバー部１１２、１１３の第１方向の大きさを意味することができる。また、カバー部１１２、１１３の厚さは、カバー部１１２、１１３の平均厚さを意味することができ、カバー部１１２、１１３の第１方向の平均大きさを意味することができる。
【0091】
カバー部１１２、１１３の第１方向の平均大きさは、本体１１０の第１及び第２方向の断面（ｃｒｏｓｓ－ｓｅｃｔｉｏｎ）を１万倍率の走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いてイメージをスキャンして測定することができる。より具体的には、スキャンされたイメージにおいて一つのカバー部を第２方向に等間隔の３０つの地点で厚さを測定した平均値であることができる。上記等間隔の３０つの地点は、上部カバー部１１２で指定されることができる。
【0092】
一方、本体１１０の第３方向の両端面（ｅｎｄ－ｓｕｒｆａｃｅ）上にはサイドマージン部が配置されることができる。
【0093】
より具体的には、サイドマージン部は、本体１１０の第５面５に配置された第１サイドマージン部及び第６面６に配置された第２サイドマージン部を含むことができる。すなわち、サイドマージン部は、本体１１０の第３方向の両端面（ｅｎｄ－ｓｕｒｆａｃｅ）に配置されることができる。
【0094】
サイドマージン部は、本体１１０の第２及び第３方向の断面（ｃｒｏｓｓ－ｓｅｃｔｉｏｎ）を基準として、第１及び第２内部電極１２１、１２２の第３方向の両端と本体１１０の境界面の間の領域を意味することができる。
【0095】
サイドマージン部は、基本的に物理的または化学的ストレスによる内部電極１２１、１２２の損傷を防止する役割を果たすことができる。
【0096】
サイドマージン部は、セラミックグリーンシート上にサイドマージン部が形成されるところを除いて、導電性ペーストを塗布して内部電極１２１、１２２を形成し、内部電極１２１、１２２による段差を抑制するために、積層後の内部電極１２１、１２２が本体１１０の第５及び第６面５、６に露出するように切断した後、単一誘電体層１１１または２つ以上の誘電体層１１１を容量形成部の第３方向の両端面（ｅｎｄ－ｓｕｒｆａｃｅ）に第３方向に積層して形成することもできる。
【0097】
一方、第１及び第２サイドマージン部の幅は特に限定する必要はない。
【0098】
但し、積層型電子部品１００の小型化及び高容量化をより容易に達成するために、第１及び第２サイドマージン部の幅は１００μｍ以下であることができ、好ましくは３０μｍ以下であることができ、超小型製品ではより好ましくは２０μｍ以下であることができる。
【0099】
ここで、サイドマージン部の幅は、サイドマージン部の第３方向の大きさを意味することができる。また、サイドマージン部の幅は、サイドマージン部の平均幅を意味することができ、サイドマージン部の第３方向の平均大きさを意味することができる。
【0100】
サイドマージン部の第３方向の平均大きさは、本体１１０の第１及び第３方向の断面（ｃｒｏｓｓ－ｓｅｃｔｉｏｎ）を１万倍率の走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いてイメージをスキャンして測定することができる。より具体的には、スキャンされたイメージにおいて、一つのサイドマージン部を第１方向に等間隔の３０つの地点で第３方向の大きさを測定した平均値であることができる。上記等間隔の３０つの地点は、第１サイドマージン部で指定されることができる。また、このような平均値測定を第２サイドマージン部に拡張して平均値を測定すると、サイドマージン部の第３方向の平均大きさをさらに一般化することができる。
【0101】
本発明の一実施形態においては、セラミック電子部品１００が２つの外部電極１３１、１３２を有する構造を説明しているが、外部電極１３１、１３２の個数や形状などは、内部電極１２１、１２２の形態やその他の目的に応じて変更することができる。
【0102】
外部電極１３１、１３２は本体１１０上に配置されて内部電極１２１、１２２に連結されることができる。
【0103】
より具体的には、外部電極１３１、１３２は、本体１１０の第３及び第４面３、４にそれぞれ配置され、第１及び第２内部電極１２１、１２２にそれぞれ連結される第１及び第２外部電極１３１、１３２を含むことができる。すなわち、第１外部電極１３１は本体の第３面３に配置され、第１内部電極１２１に連結されることができ、第２外部電極１３２は本体の第４面４に配置され、第２内部電極１２２に連結されることができる。
【0104】
外部電極１３１、１３２は、金属などのように電気導電性を有するものであれば、どのような物質を用いても形成されることができ、電気的特性、構造的安定性などを考慮して具体的な物質が決定されることができ、さらに多層構造を有することができる。
【0105】
例えば、外部電極１３１、１３２は、本体１１０に配置される電極層１３１ａ、１３２ａ及び電極層１３１ａ、１３２ａ上に配置されるめっき層１３１ｂ、１３２ｂを含むことができる。
【0106】
電極層１３１ａ、１３２ａに対するより具体的な例を挙げると、電極層１３１ａ、１３２ａは、導電性金属及びガラスを含む焼成電極であるか、導電性金属及び樹脂を含む樹脂系電極であることができる。
【0107】
また、電極層１３１ａ、１３２ａは、本体１１０上に焼成電極及び樹脂系電極が順次形成された形態であることができる。
【0108】
また、電極層１３１ａ、１３２ａは、本体１１０上に導電性金属を含むシートを転写する方式で形成されるか、焼成電極上に導電性金属を含むシートを転写する方式で形成されたものであることができる。
【0109】
電極層１３１ａ、１３２ａに用いられる導電性金属は、静電容量形成のために上記内部電極１２１、１２２と電気的に連結されることができる材質であれば特に制限されず、例えば、ニッケル（Ｎｉ）、銅（Ｃｕ）、パラジウム（Ｐｄ）、銀（Ａｇ）、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、スズ（Ｓｎ）、タングステン（Ｗ）、チタン（Ｔｉ）、及びこれらの合金からなる群から選択された一つ以上を含むことができる。電極層１３１ａ、１３２ａは、上記導電性金属粉末にガラスフリットを添加して設けられた導電性ペーストを塗布した後に焼成することで形成されることができる。
【0110】
めっき層１３１ｂ、１３２ｂは、実装特性を向上させる役割を果たす。
【0111】
めっき層１３１ｂ、１３２ｂの種類は特に限定されず、ニッケル（Ｎｉ）、スズ（Ｓｎ）、パラジウム（Ｐｄ）、及びこれらの合金のうち一つ以上を含む単一層のめっき層１３１ｂ、１３２ｂであることができ、複数の層で形成されることができる。
【0112】
めっき層１３１ｂ、１３２ｂに対するより具体的な例を挙げると、めっき層１３１ｂ、１３２ｂは、Ｎｉめっき層またはＳｎめっき層であることができ、電極層１３１ａ、１３２ａ上にＮｉめっき層及びＳｎめっき層が順次形成された形態であることができ、Ｓｎめっき層、Ｎｉめっき層及びＳｎめっき層が順次形成された形態であることができる。また、めっき層１３１ｂ、１３２ｂは、複数のＮｉめっき層及び／または複数のＳｎめっき層を含むこともできる。
【0113】
積層型電子部品の製造方法
本発明の一実施形態によって製造された誘電体スラリー組成物は、積層型電子部品の誘電体グリーンシートを製造するための用途で用いられることができる。
本発明の一実施形態によって製造された誘電体スラリー組成物は、積層型電子部品の誘電体グリーンシートを製造するための用途で用いられることができる。
【0114】
誘電体スラリー組成物に対する説明のうち、上述したものと重複する説明は省略することができ、積層型電子部品の製造方法において誘電体スラリー組成物に対するより詳細な説明が必要な場合、付加して詳細に説明する。
【0115】
図９は、本発明の一実施形態である誘電体スラリーをインクジェットプリンティング方式で塗布する段階を概略的に示した図面である。
【0116】
以下、図９を参照して、本発明の他の一実施形態による積層型電子部品の製造方法について詳細に説明する。
【0117】
本発明の一実施形態による積層型電子部品の製造方法は、内部電極パターンを形成する段階と、上記内部電極パターン４０上に誘電体スラリー組成物をインクジェットプリンティングする段階と、を含み、上記誘電体スラリー組成物３０は、疎水性溶媒１１と誘電体粒子１２を含む第１溶液１０及び親水性溶媒２１、親水性分散剤２２と親水性バインダー２３を含む第２溶液２０を含み、上記第１溶液１０の少なくとも一部は上記第２溶液２０中にエマルジョン構造１０'を有することができる。
【0118】
内部電極パターン４０を形成する段階は、セラミックグリーンシートまたはインクジェットプリンティング方式によって形成されたセラミック上にスクリーン印刷法またはグラビア印刷法などを用いて形成することができるが、これに限定されるものではない。
【0119】
内部電極パターン４０は、ストライプ状を有することができ、導電性金属を含む内部電極ペーストによって形成されることができる。
【0120】
導電性金属の種類は特に制限されず、電気導電性に優れた材料を用いることができる。例えば、ニッケル（Ｎｉ）、銅（Ｃｕ）、パラジウム（Ｐｄ）、銀（Ａｇ）、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、スズ（Ｓｎ）、タングステン（Ｗ）、チタン（Ｔｉ）、及びこれらの合金のうち一つ以上を含むことができる。
【0121】
導電性金属は特に制限されるものではないが、電気導電性に優れた材料を用いることができる。
【0122】
次に、内部電極パターン４０上の誘電体スラリー組成物３０をインクジェットプリンティングする段階を行うことができる。
【0123】
ここで、誘電体スラリー組成物３０に対する説明のうち、上述の内容と同じ内容は省略する。
【0124】
図９は、インクジェットプリンタ２００を用いてインクジェット方式によって誘電体スラリー組成物３０を塗布することを示した図面である。
【0125】
インクジェットプリンタ２００は、予め設定されたパターンに応じて誘電体スラリー組成物３０をキャリア（ｃａｒｒｉｅｒ）フィルム上に塗布するか、内部電極パターン４０上に塗布することができる。
【0126】
インクジェットプリンタ２００は、キャリアフィルムまたは内部電極パターン４０上に移動しながら誘電体スラリー組成物３０を印刷することができ、インクジェットの吐出入口を介して噴射することができる。
【0127】
インクジェットプリンタ２００は、これを支えている台、予め設定されたパターンに応じて誘電体スラリー組成物３０を噴射するインクジェットプリンタヘッド、インクジェットプリンタヘッドをキャリアフィルムまたは内部電極パターン上で移動させる移動装置、インクジェットプリンタヘッドが予め設定されたパターンに応じて誘電体スラリー組成物３０を噴射するように制御するプログラムを行う回路部などを含むことができる。
【0128】
インクジェットプリンタヘッドは、予め設定されたパターンに応じた経路上で移動しながら誘電体を印刷することができ、誘電体スラリー組成物３０の噴射時間、噴射される量などを調節することで、予め設定されたパターンに応じて誘電体を形成することができ、誘電体層の厚さを制御することができる。
【0129】
一方、誘電体スラリー組成物３０は水系型に該当し、第１溶液１０が第２溶液２０内に均一に分散されたエマルジョン構造１０'として存在することができる。これにより、誘電体スラリー組成物３０を内部電極パターン４０上に塗布しても、親水性溶媒２１が下層の疎水性内部電極パターン４０と混ざらず、疎水性第１溶液１０が内部電極パターン４０と直接的に接触しないようになるため、内部電極パターン４０に含まれた有機バインダーを膨潤または溶解させないことができる。また、親水性の第２溶液２０が内部電極パターン４０と直接的に接触しても、親水性を有する第２溶媒２１は、内部電極パターン４０に含まれた有機バインダーと非相溶性を有することで、シートアタック現象を防止することができる。
【0130】
誘電体スラリー組成物３０に含まれる誘電体粒子１２は、ペロブスカイト（ＡＢＯ３）系材料を用いることができ、例えば、チタン酸バリウム系材料、鉛複合ペロブスカイト系材料またはチタン酸ストロンチウム系材料などを用いることができる。チタン酸バリウム系材料は、ＢａＴｉＯ３系セラミック粉末を含むことができ、セラミック粉末の例示として、ＢａＴｉＯ３、ＢａＴｉＯ３にＣａ（カルシウム）、Ｚｒ（ジルコニウム）などが一部固溶された（Ｂａ１－ｘＣａｘ）ＴｉＯ３（０＜ｘ＜１）、Ｂａ（Ｔｉ１－ｙＣａｙ）Ｏ３（０＜ｙ＜１）、（Ｂａ１－ｘＣａｘ）（Ｔｉ１－ｙＺｒｙ）Ｏ３（０＜ｘ＜１、０＜ｙ＜１）またはＢａ（Ｔｉ１－ｙＺｒｙ）Ｏ３（０＜ｙ＜１）などが挙げられる。
【0131】
誘電体粒子１２の直径は特に制限されないが、１５０ｎｍ以下の直径大きさを有することが好ましいことができる。ここで、直径は誘電体粒子１２の中心点を通る最小直径大きさ及び最大直径大きさの平均値を意味することができる。
【0132】
従来、誘電体スラリー組成物３０をインクジェットプリンティング方法を用いて誘電体グリーンシートを製作する場合、有機性溶媒を用いることでインクジェットプリンティングの吐出入口を塞いで工程上の故障を引き起こす場合が多く、インクジェットプリンティングの吐出入口には、有機物が残留物として残っているため、洗浄が容易でないという問題点がある。
【0133】
しかしながら、本発明の一実施形態である誘電体スラリー組成物３０をインクジェットプリンティング方法に用いる場合、主要溶媒が第２溶液２０の親水性溶媒２１であるため、上記のような問題点を解決することができるという利点がある。
【0134】
本発明の一実施形態において、インクジェットプリンティングする段階の前に、第１溶液１０及び第２溶液２０を混合して超音波処理（ｓｏｎｉｆｉｃａｔｉｏｎ）して第１溶液１０をエマルジョン化したエマルジョン構造１０'を設ける段階を含むことができる。
【0135】
第１溶液１０を第２溶液２０内にエマルジョン構造１０'を有するように製造することで、誘電体粒子１２の凝集現象を抑制することができる。これに対するより詳細な説明は上述と同じであるため、省略する。
【0136】
次に、インクジェットプリンティングする段階の後に、誘電体スラリー組成物を乾燥する段階をさらに含むことができ、このとき、乾燥された誘電体スラリー組成物内のエマルジョン構造の外表面の少なくとも一部は、第２溶液２０の親水性分散剤２２及び親水性バインダー２３の少なくとも一つ以上が配置されることができる。
【0137】
乾燥する過程を経る間、第１溶液１０と第２溶液２０との間の境界面に存在する親水性分散剤２２または親水性バインダー２３によって、第１溶液１０はエマルジョン構造１０'を維持することができる。これにより、第１溶媒１１または第２溶媒２１が乾燥及び除去される過程でも誘電体粒子１２、親水性分散剤２２及び親水性バインダー２３は、内部電極パターン４０と相（ｐｈａｓｅ）が分離されたまま存在することができる。結果的に、誘電体スラリー組成物の乾燥塗膜３０' は複数個の誘電体粒子１２の集合体と誘電体粒子１２の集合体の外表面に存在する親水性分散剤２２及び親水性バインダー２３が均一に覆われた形態を有することができる。
【0138】
乾燥温度及び時間は、特に制限されるものではないが、親水性溶媒２１が蒸発することができる温度である１００℃以上の条件で、１分以上熱を加えて乾燥を行うことができる。
【0139】
より具体的には、乾燥段階を経て残留した誘電体スラリー組成物の乾燥塗膜３０'は、乾燥前にエマルジョン構造１０'を有する形態の複数個の誘電体粒子１２を含むことができ、上述したように誘電体粒子１２がエマルジョン構造１０'の内表面に配置された形態を有するか、または内部に誘電体粒子１２を含む形態で存在することができる。
【0140】
このとき、乾燥後のエマルジョン構造１０'の外表面の少なくとも一部は親水性分散剤２２及び親水性バインダー２３の少なくとも一つ以上が配置されることができ、より好ましくは親水性分散剤２２及び親水性バインダー２３の少なくとも一つ以上が誘電体粒子１２を均等に囲んでいる形態を有することができる。
【0141】
本発明の一実施形態によって積層型電子部品を製造する場合、内部電極ペースト上に誘電体スラリー組成物を形成する段階でシートアタックなどの損傷を受けない水系誘電体スラリー組成物を提供することができる。
【0142】
インクジェットプリンティング方式による誘電体グリーンシートの形成時に、速い乾燥過程が伴わなくても安定した誘電体スラリー組成物の塗膜の形成が可能であり、有機溶媒の使用量が非常に少ないにも関わらず、誘電体粒子がエマルジョン構造内に閉じ込められて誘電体粒子間に凝集現象が発生しないという効果がある。
【0143】
また、誘電体スラリー組成物が水系に該当するため、初期状態が維持される期間が非常に長く、誘電体スラリー組成物の保管安定性が容易である。また、誘電体スラリー組成物の大部分が水系で構成されているため、インクジェットプリンタに用いる場合、吐出入口の洗浄が非常に容易であるという利点がある。
【0144】
本明細書で用いられた「一実施形態」という表現は、互いに同一の実施形態を意味するものではなく、それぞれ互いに異なる固有の特徴を強調して説明するために提供されたものである。しかしながら、上記提示された一実施形態は、他の一実施形態の特徴と組み合わせて実現されることを排除しない。例えば、特定の一実施形態で説明された事項が他の一実施形態で説明されていなくても、他の一実施形態でその事項と反対または矛盾する説明がない限り、他の一実施形態に関連した説明であると理解することができる。
【0145】
本明細書で用いられた用語は、単に一実施形態を説明するために用いられたものであり、本開示を限定する意図ではない。このとき、単数の表現は、文脈上明らかに異なるものを意味しない限り、複数の表現を含む。
【符号の説明】
【0146】
１００ 積層型電子部品
１１０ 本体
１１１ 誘電体層
１１２、１１３ カバー部
１２１、１２２ 内部電極
１３１、１３２ 外部電極
１０、１０' 第１溶液（エマルジョン構造）
１１ 疎水性溶媒
１２ 誘電体粒子
２０ 第２溶液
２１ 親水性溶媒
２２ 親水性分散剤
２３ 親水性バインダー
３０、３０' 誘電体スラリー組成物
４０ 内部電極パターン
２００ インクジェットプリンタ
１１０ 本体
１１１ 誘電体層
１１２、１１３ カバー部
１２１、１２２ 内部電極
１３１、１３２ 外部電極
１０、１０' 第１溶液（エマルジョン構造）
１１ 疎水性溶媒
１２ 誘電体粒子
２０ 第２溶液
２１ 親水性溶媒
２２ 親水性分散剤
２３ 親水性バインダー
３０、３０' 誘電体スラリー組成物
４０ 内部電極パターン
２００ インクジェットプリンタ
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
