(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024078373
(43)【公開日】2024-06-10
(54)【発明の名称】OHT管理システム及びOHT管理システム制御方法
(51)【国際特許分類】
B65G 1/00 20060101AFI20240603BHJP
B65G 1/04 20060101ALI20240603BHJP
E04G 1/20 20060101ALI20240603BHJP
E04G 1/24 20060101ALI20240603BHJP
【FI】
B65G1/00 511J
B65G1/04 555Z
E04G1/20 A
E04G1/24 301A
【審査請求】未請求
【請求項の数】20
【出願形態】OL
(21)【出願番号】P 2023082226
(22)【出願日】2023-05-18
(31)【優先権主張番号】10-2022-0163015
(32)【優先日】2022-11-29
(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR
(71)【出願人】
【識別番号】520236767
【氏名又は名称】サムス カンパニー リミテッド
(74)【代理人】
【識別番号】110001519
【氏名又は名称】弁理士法人太陽国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】リ、マン ギュ
【テーマコード(参考)】
2E003
3F022
【Fターム(参考)】
2E003AC02
2E003CC01
3F022AA08
3F022JJ08
3F022MM57
3F022NN22
(57)【要約】
【課題】本発明はOHT管理システム及びOHT管理システム制御方法に関し、解決しようとする技術的課題は、作業者がOHTまたは物流設備らを点検時、管理者が作業区間にインターロック情報を設定しない場合にも作業者が位置する作業区間に自動でインターロックが設定されるようにするOHT管理システム及びOHT管理システム制御方法を提供する。
【解決手段】本発明のOHT管理システムは、レールと、前記レール上で自律走行するOHTと、前記レールと一定距離以内で近接して点検作業を進行するための作業手続き進行時作業進行情報を生成する作業端末と、及び、前記OHTと連動して前記OHTのインターロック情報を設定し、前記作業端末と連動して前記作業進行情報の入力を受ける場合前記作業端末が配置される区間で前記OHTが走行しないように前記インターロック情報をターンオン状態で設定するOCSと、を含む。
【選択図】
図1
【特許請求の範囲】
【請求項1】
レールと、
前記レール上で自律走行するOHTと、
前記レールと一定距離以内で近接して点検作業を進行するための作業手続き進行時の作業進行情報を生成する作業端末と、及び、
前記OHTと連動して前記OHTのインターロック情報を設定し、前記作業端末と連動して前記作業進行情報の入力を受ける場合前記作業端末が配置される区間で前記OHTが走行しないように前記インターロック情報をターンオン状態で設定するOCSと、を含む、OHT管理システム。
【請求項2】
前記レールは複数個がお互いの間に連結されて構成され、
前記OHTは複数個で構成され、
複数個で構成され、前記複数個のレールが設置される領域別にお互いの間に離隔されて配置され、前記作業端末で前記作業進行情報の発生時複数個それぞれで前記作業進行情報を前記OCSに送る中継機と、をさらに含む、請求項1に記載のOHT管理システム。
【請求項3】
前記OCSは前記OHTが自律走行する領域別にインターロック情報らを生成し、前記作業進行情報の発生時前記インターロック情報らのうちで前記作業端末が位置したインターロック情報をターンオン状態に転換させる、請求項2に記載のOHT管理システム。
【請求項4】
前記複数個の中継機それぞれは前記インターロック情報それぞれに対応する中継機ID値らをさらに含んで構成され、
前記作業端末は作業ID値と信号強度値をさらに含んで構成され、
前記作業端末は前記作業進行情報の伝送時前記作業ID値と前記信号強度値を前記中継機らそれぞれに送って、
前記OCSは前記中継機らそれぞれと連動して前記中継機ID値と前記作業ID値及び前記信号強度値らの入力を受けて、入力を受けた前記中継機ID値と前記作業ID値及び前記信号強度値らのうちで最大の信号強度値を送る中継機の中継機ID値を検出し、検出された中継機ID値に対応するインターロック情報をターンオン状態に転換させる、請求項2に記載のOHT管理システム。
【請求項5】
前記作業端末が配置される高所作業台と、をさらに含む、請求項1に記載のOHT管理システム。
【請求項6】
前記高所作業台と脱着可能に締結される締結部と、をさらに含む、請求項5に記載のOHT管理システム。
【請求項7】
前記締結部に結合され、前記締結部が前記高所作業台と締結時締結部位に圧力が加えられる場合圧力信号を生成し、生成された圧力信号を前記作業端末に送る圧力センサーと、をさらに含み、
前記作業端末は前記圧力信号の入力を受ける場合前記作業進行情報を生成する、請求項6に記載のOHT管理システム。
【請求項8】
前記締結部に結合され、前記締結部の締結領域に前記高所作業台が配置された状態を感知して感知信号を生成し、生成された感知信号を前記作業端末に送る感知センサーと、をさらに含み、
前記作業端末は前記感知信号の入力を受ける場合前記作業進行情報を生成する、請求項6に記載のOHT管理システム。
【請求項9】
前記高所作業台は作業位置の高さが調節されるリフティング装置と、をさらに含む、請求項5に記載のOHT管理システム。
【請求項10】
前記高所作業台は作業位置を移動させる走行装置と、をさらに含む、請求項5に記載のOHT管理システム。
【請求項11】
前記作業端末と電気的に連結され、前記作業端末の高度を測定して高度値を生成し、生成された高度値を前記作業端末に送る高度センサーと、をさらに含み、
前記作業端末は前記高度値の入力を受ける場合前記高度値が既設定された値以上の場合に前記作業進行情報を生成する、請求項1に記載のOHT管理システム。
【請求項12】
前記作業端末と電気的に連結され、重さを感知する場合重さ値を生成し、生成された重さ値を前記作業端末に送る重さセンサーと、をさらに含み、
前記作業端末は前記重さ値の入力を受ける場合前記重さ値が既設定された値以上の場合に前記作業進行情報を生成する、請求項1に記載のOHT管理システム。
【請求項13】
OHTがレール上に自律走行するOHT走行段階と、
作業端末と高所作業台を前記レール上の特定区間に配置する点検準備段階と、
作業者が前記高所作業台に乗りこんで前記OHTの点検のための作業手続き進行時前記作業端末が作業進行情報を生成する作業進行情報生成段階と、
中継機を通じて前記作業進行情報をOCSに送る作業進行情報伝送段階と、及び、
前記OCSが前記作業進行情報が生成される区間に前記OHTが進入しないようにインターロック情報をターンオン状態に転換させるインターロック設定段階と、を含む、OHT管理システム制御方法。
【請求項14】
前記作業進行情報生成段階では作業者と前記高所作業台との間を連結させる締結部が前記高所作業台と締結される場合に前記作業進行情報を生成する、請求項13に記載のOHT管理システム制御方法。
【請求項15】
前記作業進行情報生成段階では前記締結部が前記高所作業台と締結時締結部位に圧力が加えられる場合、圧力信号を生成し、前記圧力信号の生成時前記作業進行情報を生成する、請求項14に記載のOHT管理システム制御方法。
【請求項16】
前記作業進行情報生成段階では前記締結部の締結領域に前記高所作業台が配置された状態を感知して感知信号を生成し、前記感知信号の生成時前記作業進行情報を生成する、請求項14に記載のOHT管理システム制御方法。
【請求項17】
前記作業進行情報生成段階では高度値が一定値以上になる場合に前記作業進行情報を生成する、請求項13に記載のOHT管理システム制御方法。
【請求項18】
前記作業進行情報生成段階では前記高所作業台に一定値以上重さが増加する場合に前記作業進行情報を生成する、請求項13に記載のOHT管理システム制御方法。
【請求項19】
前記作業進行情報伝送段階では複数個の中継機それぞれから前記OCSに作業進行情報及び前記作業端末の信号強度値を送って、
前記インターロック設定段階ではOCSで前記信号強度値らのうちで最大の信号強度値を有する中継機が位置した区間の一定領域に前記OHTが進入することができないようにインターロック情報をターンオン状態に転換させる、請求項13に記載のOHT管理システム制御方法。
【請求項20】
複数個がお互いの間に連結されて構成されるレールと、
複数個で構成され、前記レール上で自律走行するOHTと、
前記レールと一定距離以内で近接して点検作業を進行するための作業手続き進行時の作業状態情報を生成し、作業ID値と信号強度値を含む作業端末と、
前記OHTと連動して前記OHTが自律走行する領域別にインターロック情報らを設定し、前記作業端末と連動して前記作業状態情報の入力を受ける場合前記OHTが走行しないように前記インターロック情報らのうちで前記作業端末が位置したインターロック情報をターンオン状態に転換させるOCSと、
複数個で構成され、複数個それぞれが前記インターロック情報それぞれに対応する中継機ID値らをさらに含んで構成され、前記作業ID値と前記信号強度値の入力を受けて、前記複数個のレールが設置される領域別にお互いの間に離隔されて配置され、前記作業端末で前記作業状態情報の発生時複数個それぞれから前記作業状態情報を前記OCSに送る中継機と、
前記作業端末が配置されて作業位置の高さが調節されるリフティング装置及び作業位置を移動させる走行装置を含む高所作業台と、
前記高所作業台と脱着可能に締結され、前記高所作業台と締結時のみに前記作業状態情報の生成条件が充足されるようにする締結部と、
前記締結部に結合され、前記締結部が前記高所作業台と締結時締結部位に圧力が加えられる場合圧力信号を生成し、生成された圧力信号を前記作業端末に伝送時前記作業端末で前記作業状態情報が生成されるようにする圧力センサーと、
前記締結部に結合され、前記締結部の締結領域に前記高所作業台が配置された状態を感知して感知信号を生成し、生成された感知信号を前記作業端末に伝送時前記作業端末で前記作業状態情報が生成されるようにする感知センサーと、
前記作業端末と電気的に連結され、前記作業端末の高度を測定して高度値を生成し、生成された高度値を前記作業端末に送って、前記作業端末で前記高度値の入力を受ける場合前記高度値が既設定された値以上の場合に前記作業状態情報が生成されるようにする高度センサーと、及び、
前記作業端末と電気的に連結され、重さを感知する場合重さ値を生成し、生成された重さ値を前記作業端末に送って、前記作業端末は前記重さ値の入力を受ける場合前記重さ値が既設定された値以上の場合に前記作業状態情報が生成されるようにする重さセンサーと、を含み、
前記OCSは前記中継機から前記中継機ID値と前記作業ID値及び前記信号強度値の入力を受けて、入力を受けた前記中継機ID値と前記作業ID値及び前記信号強度値らのうちで最大の信号強度値を送る中継機の中継機ID値を検出し、検出された中継機ID値に対応するインターロック情報内に前記OHTが進入しないようにインターロック情報をターンオン状態に転換させる、OHT管理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、OHT管理システム及びOHT管理システム制御方法に関するものであり、より詳細には、OHTの走行を管理するOHT管理システム及びOHT管理システム制御方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
半導体製造技術は技術集約的な未来技術らが融合されながら急変する技術革新速度及び速く変化する環境に対応しているし、特に、半導体素子の集積度が高くなって高性能製品が開発されることによって半導体製造工程の物流技術までもより効率的な技術を追い求めている。
【0003】
このような半導体製造物流の流れはボトルネック現象解決、設備故障改善、そして、予防保全(Preventive Maintenance、PM)などを通じて現場状況によって管理されている状況である。
【0004】
このような半導体製造物流の流れによって、半導体ファブ(FAB)ではOHT(Overhead Hoist Transport)を利用して多様な物流返送を遂行している。
【0005】
このようなOHTはレール上で大量に運営され、これを制御及び管理するために、全体OHTを制御して管理するOCS(OHT Control System、以下‘OCS’)がある。
【0006】
この場合、OHTまたは物流設備らを点検しようとすれば、作業者は梯子や高所作業台を利用して高所作業を進行するようになって、この時、管理者はOCSを制御して作業区間にOHTが進入することができないようにインターロック(InterLock)をターンオン状態で設定するようになる。
【0007】
しかし、このようにOHTまたは物流設備らを点検する作業は、管理者の間違いで作業区間ではない他の作業区間のインターロック情報をターンオン状態で設定するか、または、間違いでインターロック情報をターンオン状態に転換させることができなくなれば、安全事故の発生危険性が増加して発生する問題点がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0008】
【特許文献1】韓国特許第10-2221115号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0009】
前記した問題点を解決するための本発明の技術的課題は作業者がOHTまたは物流設備らを点検時、管理者が作業区間にインターロック情報を設定しない場合にも作業者が位置する作業区間に自動でインターロックが設定されるようにするOHT管理システム及びOHT管理システム制御方法を提供することにある。
【0010】
本発明の解決しようとする技術的課題はこれに制限されないし、通常の技術者なら言及されなかった他の技術的課題らが下の明細書及び図面に利用される構成らから導出されることができることを理解することができるであろう。
【課題を解決するための手段】
【0011】
前記した技術的課題を達成するための本発明のOHT管理システムは、レールと、前記レール上で自律走行するOHTと、前記レールと一定距離以内に近接して点検作業を進行するための作業手続き進行時作業進行情報を生成する作業端末と、及び、前記OHTと連動して前記OHTのインターロック情報を設定し、前記作業端末と連動して前記作業進行情報の入力を受ける場合前記作業端末が配置される区間で前記OHTが走行しないように前記インターロック情報をターンオン状態で設定するOCSと、を含む。
【0012】
一実施例によれば、前記OHT管理システムは、前記レールが複数個がお互いの間に連結されて構成され、前記OHTが複数個で構成され、複数個で構成されて前記複数個のレールが設置される領域別にお互いの間に離隔されて配置されて前記作業端末で前記作業進行情報の発生時複数個それぞれで前記作業進行情報を前記OCSに送る中継機と、をさらに含む。
【0013】
一実施例によれば、前記OCSは前記OHTが自律走行する領域別にインターロック情報らを生成し、前記作業進行情報の発生時前記インターロック情報らのうちで前記作業端末が位置したインターロック情報をターンオン状態に転換させるようになる。
【0014】
一実施例によれば、前記複数個の中継機それぞれは、前記インターロック情報それぞれに対応する中継機ID値らをさらに含んで構成され、前記作業端末は作業ID値と信号強度値をさらに含んで構成され、前記作業端末は前記作業進行情報の伝送時前記作業ID値と前記信号強度値を前記中継機それぞれに送って、前記OCSは前記中継機それぞれと連動して前記中継機ID値と前記作業ID値及び前記信号強度値らの入力を受けて、入力を受けた前記中継機ID値と前記作業ID値及び前記信号強度値らのうちで最大の信号強度値を送る中継機の中継機ID値を検出し、検出された中継機ID値に対応するインターロック情報をターンオン状態に転換させるようになる。
【0015】
一実施例によれば、前記OHT管理システムは前記作業端末が配置される高所作業台と、をさらに含む。
【0016】
一実施例によれば、前記OHT管理システムは前記高所作業台と脱着可能に締結される締結部と、をさらに含む。
【0017】
一実施例によれば、前記OHT管理システムは前記締結部に結合され、前記締結部が前記高所作業台と締結時締結部位に圧力が加えられる場合圧力信号を生成して生成された圧力信号を前記作業端末に送る圧力センサーと、をさらに含み、この場合、前記作業端末は前記圧力信号の入力を受ける場合前記作業進行情報を生成するようになる。
【0018】
一実施例によれば、前記OHT管理システムは前記締結部に結合されて前記締結部の締結領域に前記高所作業台が配置された状態を感知して感知信号を生成して生成された感知信号を前記作業端末に送る感知センサーと、をさらに含み、この場合、前記作業端末は前記感知信号の入力を受ける場合前記作業進行情報を生成するようになる。
【0019】
一実施例によれば、前記高所作業台は作業位置の高さが調節されるリフティング装置と、及び、前記高所作業台は作業位置を移動させる走行装置と、をさらに含む。
【0020】
一実施例によれば、前記OHT管理システムは前記作業端末と電気的に連結されて前記作業端末の高度を測定して高度値を生成して生成された高度値を前記作業端末に送る高度センサーと、をさらに含み、この場合、前記作業端末は前記高度値の入力を受ける場合前記高度値が既設定された値以上である場合に前記作業進行情報を生成するようになる。
【0021】
一実施例によれば、前記OHT管理システムは前記作業端末と電気的に連結されて重さを感知する場合重さ値を生成して生成された重さ値を前記作業端末に送る重さセンサーと、をさらに含み、この場合、前記作業端末は前記重さ値の入力を受ける場合前記重さ値が既設定された値以上である場合に前記作業進行情報を生成するようになる。
【0022】
一方、前記した技術的課題を達成するための本発明のOHT管理システム制御方法は、OHTがレール上に自律走行するOHT走行段階と、作業端末と高所作業台を前記レール上の特定区間に配置する点検準備段階と、作業者が前記高所作業台に乗りこんで前記OHTの点検のための作業手続き進行時前記作業端末が作業進行情報を生成する作業進行情報生成段階と、中継機を通じて前記作業進行情報をOCSに送る作業進行情報伝送段階と、及び、前記OCSが前記作業進行情報が生成される区間に前記OHTが進入しないようにインターロック情報をターンオン状態転換させるインターロック設定段階と、を含む。
【0023】
一実施例によれば、前記作業進行情報生成段階では作業者と前記高所作業台の間を連結させる締結部が前記高所作業台と締結される場合に前記作業進行情報を生成するようになる。
【0024】
一実施例によれば、前記作業進行情報生成段階では前記締結部が前記高所作業台と締結時締結部位に圧力が加えられる場合圧力信号を生成し、前記圧力信号の生成時前記作業進行情報を生成するようになる。
【0025】
一実施例によれば、前記作業進行情報生成段階では前記締結部の締結領域に前記高所作業台が配置された状態を感知して感知信号を生成して前記感知信号の生成時前記作業進行情報を生成するようになる。
【0026】
一実施例によれば、前記作業進行情報生成段階では高度値が一定値以上になる場合に前記作業進行情報を生成するようになる。
【0027】
一実施例によれば、前記作業進行情報生成段階では前記高所作業台に一定値以上重さが増加する場合に前記作業進行情報を生成するようになる。
【0028】
一実施例によれば、前記作業進行情報伝送段階では複数個の中継機それぞれから前記OCSに作業進行情報及び前記作業端末の信号強度値を送って、前記インターロック設定段階ではOCSで前記信号強度値らのうちで最大の信号強度値を有する中継機が位置した区間の一定領域に前記OHTが進入することができないようにインターロック情報をターンオン状態に転換させるようになる。
【0029】
他の一方、前記した技術的課題を達成するための本発明の他のOHT管理システムは複数個がお互いの間に連結されて構成されるレールと、複数個で構成され、前記レール上で自律走行するOHTと、前記レールと一定距離以内に近接して点検作業を進行するための作業手続き進行時作業状態情報を生成し、作業ID値と信号強度値を含む作業端末と、前記OHTと連動して前記OHTが自律走行する領域別にインターロック情報らを設定し、前記作業端末と連動して前記作業状態情報の入力を受ける場合前記OHTが走行しないように前記インターロック情報らのうちで前記作業端末が位置したインターロック情報をターンオン状態に転換させるOCSと、複数個で構成され、複数個それぞれが前記インターロック情報それぞれに対応する中継機ID値らをさらに含んで構成され、前記作業ID値と前記信号強度値の入力を受けて、前記複数個のレールが設置される領域別にお互いの間に離隔されて配置され、前記作業端末で前記作業状態情報の発生時複数個それぞれで前記作業状態情報を前記OCSに送る中継機と、前記作業端末が配置されて作業位置の高さが調節されるリフティング装置及び作業位置を移動させる走行装置を含む高所作業台と、前記高所作業台と脱着可能に締結され、前記高所作業台と締結時だけに前記作業状態情報の生成条件が充足されるようにする締結部と、前記締結部に結合され、前記締結部が前記高所作業台と締結時締結部位に圧力が加えられる場合圧力信号を生成し、生成された圧力信号を前記作業端末に伝送時前記作業端末で前記作業状態情報が生成されるようにする圧力センサーと、前記締結部に結合され、前記締結部の締結領域に前記高所作業台が配置された状態を感知して感知信号を生成し、生成された感知信号を前記作業端末に伝送時前記作業端末で前記作業状態情報が生成されるようにする感知センサーと、前記作業端末と電気的に連結され、前記作業端末の高度を測定して高度値を生成し、生成された高度値を前記作業端末に送って、前記作業端末で前記高度値の入力を受ける場合前記高度値が既設定された値以上の場合に前記作業状態情報が生成されるようにする高度センサーと、及び、前記作業端末と電気的に連結され、重さを感知する場合重さ値を生成し、生成された重さ値を前記作業端末に送って、前記作業端末は前記重さ値の入力を受ける場合前記重さ値が既設定された値以上の場合に前記作業状態情報が生成されるようにする重さセンサーと、を含み、前記OCSは前記中継機から前記中継機ID値と前記作業ID値及び前記信号強度値の入力を受けて、入力を受けた前記中継機ID値と前記作業ID値及び前記信号強度値らのうちで最大の信号強度値を送る中継機の中継機ID値を検出し、検出された中継機ID値に対応するインターロック情報内に前記OHTが進入しないようにインターロック情報をターンオン状態に転換させるようになる。
【発明の効果】
【0030】
本発明は、作業者がOHTまたは物流設備らを点検時、管理者が作業区間にインターロック情報を設定しない場合にも作業者が位置する作業区間に自動でインターロックが設定されるようにして安全事故を防止する効果がある。
【0031】
本発明の効果は、上述した効果に限定されるものではなくて、通常の技術者なら言及されなかった他の効果らが下の明細書及び図面に利用される構成らから導出されることができることを理解することができるであろう。
【図面の簡単な説明】
【0032】
【
図1】本発明の一実施例によるOHT管理システムを模式化した状態の平面図である。
【
図2】
図1に示されたOHT管理システムの高所作業台に設置される状態を拡大して眺めた部分正面図である。
【
図3】
図2に示された締結部に対する部分正面図である。
【
図4】
図3の締結部に圧力センサーの代わりに近接センサーを結合した変形例の部分正面図である。
【
図5】
図2に示された高所作業台の変形例に対する部分正面図である。
【
図6】本発明の一実施例によるOHT管理システム制御方法の順序図である。
【発明を実施するための形態】
【0033】
以下では添付された図面を参照して本発明を実施するための実施例を説明することにして、この場合、明細書全体である部分がある構成要素を“包含”するとする時、これは特別に反対される記載がない限り他の構成要素を制御するものではなく、他の構成要素をさらに含むことができることを意味することで見做す。また、明細書に記載された“...部”などの用語は、電子ハードウェアまたは電子ソフトウェアに対する説明時少なくとも一つの機能や動作を処理する単位を意味し、機械装置に対する説明時一つの部品、機能、用途、支点または駆動要素を意味することで見做す。また、以下では等しい構成または類似な構成に対しては等しい図面符号を使って説明することにして、等しい構成要素の重複される説明は略することにする。
【0034】
図1は、本発明の一実施例によるOHT管理システムを模式化した状態の平面図である。
図2は、
図1に示されたOHT管理システムの高所作業台に設置される状態を拡大して眺めた部分正面図である。
図3は、
図2に示された締結部に対する部分正面図である。
図4は、
図3の締結部に圧力センサーの代わりに感知センサーを結合した変形例の部分正面図である。
図5は、
図2に示された高所作業台の変形例に対する部分正面図である。
【0035】
図1及び
図2に示されたところのように、本発明の一実施例によるOHT管理システムは、レール1、OHT2、作業端末3、OCS4及び、中継機5を含み、高所作業台6、締結部7、圧力センサー8、感知センサー9、高度センサー10、マクネティックセンサー11及び、重さセンサー12をさらに含んで構成される。
【0036】
レール1は半導体製造設備1dらが設置される半導体製造工場内部の上部空間に設置され、OHT2の駆動部と決着されてOHT2がレール1に沿って移動するように経路を案内するようになる。また、レール1は複数のトラックがお互いの間に結合されて経路を形成するようになる。この場合、レール1は一定区間ごとにノード情報が設定され、OHT2はノード情報を通じてレール1上の位置情報を獲得するようになる。ここで、レール1の経路は図面に示されたところのように、半導体製造設備1dらの上部空間らをすべて通過するように直線経路と曲線経路が選択的に組合された形態で構成される。
【0037】
OHT2はレール1上で既入力されたOHT用マップ(図示せず)を基盤に自律走行しながら、ウェハーを貯蔵及び運搬するための密閉型ウェハーコンテナであるフープ(FOUP:Front Open Unified Pod)を自動で移送させる自律走行装置である。このようなOHT2は複数個で構成され、複数個それぞれらが有機的に駆動されて既設定された物流移送プログラムによって半導体製造設備1dらそれぞれに物流を移送させるようになる。この場合、OHT2はOCS4と連動して出発地情報と目的地情報及び、積載される運び物情報等に関する物流スケジュルリング情報の入力を受けて、物流スケジューリング情報によってレール1上で物流を半導体製造設備1dごとに自動で移送させるようになる。この場合、OHT2はライダーセンサー(図示せず)が設置されて障害物を感知し、障害物感知時に障害物と衝突しないように回避駆動をするようになる。
【0038】
作業端末3はブルートゥース(登録商標)やワイファイのような近距離無線通信機能がある通信端末装置として、作業者が携帯するか、または高速作業台や安全ベルトまたは安全掛けがねと結合されて配置される。このような作業端末3はレール1と一定距離以内で近接して点検作業を進行するための作業手続き進行時作業進行情報を生成するようになって、生成された作業進行情報を中継機5らに送るようになる。また、作業端末3はOHT2を点検及び設置するための作業者が携帯するか、または高所作業台6の周辺に配置される。ここで、作業進行情報は特定シグナルの形態やデジタル化された情報値を含む情報であることができるし、後述する作業ID値や信号強度値を発信する形態でも利用することもできる。このような作業進行情報は作業者が作業端末3を操作して手動で生成しないで自動に生成され、ここで、作業進行情報の生成条件は作業端末3と連結されるセンサーらの検出値が一定値以上の場合に生成される。例えば、作業進行情報の生成条件は作業端末3とレール1との間の距離が一定距離以内に進入するようになる場合を満たした時生成されるか、または、作業端末3と連結される圧力センサー8の圧力が一定値以上増加するようになる場合を満たす時生成されるか、または、作業端末3と連結される感知センサー9で一定距離以内に物体が感知される場合を満たした時生成されるか、または、作業端末3と連結される高度センサー10の高度値が一定値以上の場合を満たした時生成されるか、または、作業端末3と連結される重さセンサー12の重さ値が一定値以上の場合を満たした時生成されることができる。この時、生成される作業進行情報は上述した生成条件らの何れか一つのみを満足する場合に生成されるか、または、少なくともふたつ以上の条件を満足する場合にも生成されることができる。このような作業進行情報の生成条件らは以下の説明でより詳細に説明することにする。
【0039】
また、作業端末3は作業ID値と信号強度値をさらに含む。ここで、作業ID値は作業者らや作業内容を識別するための情報として、中継機5を通じてOCS4に伝送されてOCS4と管理者がこれを確認できるように形成される。信号強度値は作業端末3で無線通信を遂行時に信号の強さに対する値として、中継機5を通じてOCS4に伝送される。この場合、信号強度値は中継機5が作業端末3の信号の入力を受ける場合に決定されるため、作業端末3と中継機5との間の距離に比例してその大きさ値が増加される。
【0040】
OCS4はOHT2らの走行状態とOHT2の自体状態及び物流情報状態をモニタリングして、OHT2らの走行状態とOHT2の自体状態及び物流情報状態を制御して管理するための装置である。より具体的には、OCS4は半導体製造設備1d内で運用されるOHT2らと無線で通信を遂行してOHT2らの出発地情報、目的地情報及び、位置情報等を設定するか、またはモニタリングしてOHT2の走行スケジュールを管理するようになる。また、OCS4はOHT2らが半導体製造設備1d内の物流を運搬時に物流内容及び物流の上下車情報の受信を受けて、物流内容及び物流移動内訳をモニタリングするようになる。また、OCS4はOHT2らと連動してOHT2らのすべての走行状況を見張ってOHT2らのバッテリー状態、電力状態及び、過負荷状態等に関する状態情報の入力を受けてモニタリングするようになる。
【0041】
また、OCS4はOHT2と連動してOHT2のインターロック情報らを設定するようになる。ここで、インターロック情報はレール1の各区間ごとに設定されたノード情報を基盤で、経路の特定領域に該当するノード情報らのグループで分けて、グループごとにOHT2がインターロック情報らであるか走行が不可能な経路らであるかに対する情報をターンオン状態でターンオフ状態に設定された情報である。この場合、OCS4はレール1の特定領域内のインターロック情報内のインターロックがターンオン状態の場合レール1らにOHT2が進入することができないように設定するようになって、インターロックがターンオフ状態の場合OHT2が進入するように設定するようになる。このようなインターロック情報の転換設定はOCS4を管理する管理者が手動で設定して予想できない状況でOHT2の進入状態を直接的に制御することができる。
【0042】
また、インターロック情報の転換設定は前述したようにOCS4を管理する管理者が手動で設定する方式以外に、自動的に設定される方式を採択することができる。この場合、インターロック情報が自動的に設定される方式はOCS4が中継機5から作業端末3で生成した作業進行情報の入力を受ける場合作業端末3が配置される位置のレール1らにOHT2が走行しないようにインターロック情報をターンオン状態に転換させるものである。
【0043】
また、OCS4は中継機5らそれぞれに対する中継機ID値と中継機5らそれぞれに対する位置情報値を保存するようになる。この場合、中継機5らそれぞれに対する位置情報値はOCS4と連動するディスプレイ装置にグラフィック化されて出力される。この時、OCS4と連動するディスプレイ装置には中継機5らそれぞれの位置情報がグラフィック化されて出力されることだけでなく、レール1の形態とレール1の各領域ごとにインターロック情報をグラフィック化して出力するようになる。また、OCS4は中継機5らそれぞれが複数個のインターロック情報らそれぞれと対応するように設定されることができる。例えば、レール1の一区間に対するインターロックを設定するインターロック情報を生成した時、該当区間には一つの中継機5がマッチングされるように設定するようになって、この時、インターロック情報と中継機5のマッチングは中継機ID値を対応させて設定されることができる。
【0044】
中継機5は複数個で構成され、複数個のレール1が設置される領域別にお互いの間に離隔されて配置される。このような中継機5は作業端末3と連動し、作業端末3で作業進行情報の発生時複数個それぞれの中継機5らで作業進行情報をOCS4に送るようになる。この場合、OCS4はOHT2が自律走行する領域別にインターロック情報らを生成し、作業進行情報の発生時インターロック情報らのうちで作業端末3が位置したインターロック情報内にOHT2が進入しないようにインターロックをターンオン状態に切り替えるようになる。
【0045】
この場合、複数個の中継機5それぞれは作業端末3が位置する区間を判断するために、インターロック情報それぞれに対応する中継機ID値らを内蔵するようになる。このような中継機ID値は作業端末3で作業進行情報の生成時作業端末3の作業ID値と信号強度値とともにOCS4に伝送される。中継機ID値と作業端末3の作業ID値と信号強度値を中継機5らそれぞれから入力を受けたOCS4は入力を受けた中継機ID値と作業ID値及び信号強度値らのうちで最大の信号強度値を送る中継機ID値を検出するようになる。この時、OCS4は検出された中継機ID値に該当するインターロック情報をターンオン状態に転換させて該当区間にOHT2が進入することができないようにインターロック情報をターンオン状態に転換させるようになる。ここで、中継機5から伝達される信号強度値らは中継機5と作業端末3との間の距離が近いほど大きい値を形成するため、OCS4は中継機5と作業端末3との間の距離が一番近い中継機5を検出するようになる。よって、OCS4は作業端末3が位置した区間のみでOHT2が進入されないようにして安全事故を防止し、作業端末3の一定距離を脱した区間ではOHT2が自律走行するようにできる。
【0046】
高所作業台6は作業者がOHT2やレール1などを点検時高さと位置を遠隔で調節しながら高所作業を進行するようにする装置である。一例として、高所作業台6は作業者が作業を進行することができる足場6a、足場6a周辺を取り囲んで作業者の墜落を防止する欄干6b、作業位置の高さが調節されるリフティング装置6c及び、作業位置を移動させる走行装置6dを含んで形成されることができる。ここで、リフティング装置6cは図面に示されたところのように、作業者が足場6aに位置した状態で遠隔にリフトを高さを調節する形態で具現されることができるし、走行装置6dはモータと連動する輪を作業者が足場6aに位置した状態で遠隔で調整する形態で具現されることができる。このような高速作業台は遠隔で高さを調節して高さがお互いの間に異なるレール1やOHT2及びその他設備らの高さに合わせて作業を進行するようにして、遠隔で作業位置を移動して作業者が下車しなくて作業位置が変更されるようにすることで作業効率を増加させることができる。また、高所作業台6は足場6a及び欄干6bによって締結部7と作業端末3及び検出センサーらが特定位置に付着されるようにする領域を提供するようになる。
【0047】
締結部7は高所作業台6と脱着可能に締結され、高所作業台6と締結時のみに作業端末3で作業進行情報が生成されるようにできる。ここで、締結部7が高所作業台6と結合される領域は高所作業台6に形成された欄干6bのように作業者の墜落を防止するための棒に結合されることができる。このような締結部7の一例として、締結部7は図面に示されたところのように、作業者が高所作業台6で作業時墜落事故を防止するために高所作業台6と締結される安全ベルトの安全掛けがね形態で構成されることができる。この場合、安全掛けがねは掛けがね模様で形成されるが、棒等に挿入されて締結結合することができるように一部領域に板スプリングによって特定位置に圧迫される回動ピンが形成される形態で構成されることができる。しかし、本発明で締結部7の構成を前記した例に限定するものではなくて、締結部7は多様な形態で変形されて実施されることができることは勿論である。
【0048】
圧力センサー8は締結部7に結合され、締結部7が高所作業台6と締結時締結部7上に圧力が加えられる場合圧力信号を生成し、生成された圧力信号を作業端末3に送るようになる。このような圧力センサー8はストレーンゲージ、圧電センサー及び、ロードセルのように圧力を感知するセンサーで構成されることができる。この場合、圧力センサー8と締結部7が結合される位置は締結部7の内側領域と高所作業台6が触れ合う部位である。このような圧力センサー8は作業者がOHT2を点検するために締結部7を高所作業台6と結合時圧力信号を作業端末3に発生させるようになる。この時、作業端末3は作業進行情報を発生させるようになって、作業進行情報は中継機5を通じてOCS4に伝達されるようにするようになる。作業進行情報の伝達を受けたOCS4は中継機5が位置する区間のインターロック情報をターンオン状態に転換させることで、作業区間にOHT2が進入されないように自動で設定するようになる。
【0049】
一方、
図4に示されたところのように、締結部7は圧力センサー8を利用する方式以外に感知センサー9を利用して作業進行情報が生成されるようにできる。この場合、感知センサー9は締結部7に結合され、締結部7の締結領域に高所作業台6が配置された状態を感知して感知信号を生成するようになる。この場合、感知センサー9は一定距離以内に物体があるかの如何を判別するためのセンサーとして、超音波センサー、レーザー変位センサー、赤外線センサー、渦電流センサー、マグネチックセンサー及び、リミットスイッチのような近接センサーで構成されることができる。このような感知センサー9は締結部7の締結領域内に高所作業台6の欄干6bが挿入される場合、感知センサー9が棒の形態や金属材質または接触如何を感知して感知信号を発生することができる。ここで、感知信号の入力を受けた作業端末3は作業進行情報を生成して中継機5を通じてOCS4に送るようになって、作業進行情報の入力を受けたOCS4は中継機5が位置した区間のインターロック情報をターンオン状態に転換させることで、作業区間にOHT2が進入しないように自動で設定するようになる。
【0050】
高度センサー10は締結部7と結合される形態で構成されるか、または、高所作業台6に結合される形態で構成されることができる。このような高度センサー10は作業端末3と電気的に連結され、作業端末3の高度を測定して高度値を生成し、生成された高度値を作業端末3に送るようになる。この場合、作業端末3は高度値の入力を受ける場合高度値が既設定された値以上である場合に作業進行情報を生成するようになる。例えば、作業端末3は作業者が高所作業台6に乗りこんだ状態でリフティング装置6cをリフティングさせ、高度センサー10の高度がOHT2と一定距離以内で近接して高度値が一定値以上増加するようになる場合、作業端末3では作業進行情報を生成してOCS4に送るようになる。この時、作業進行情報の入力を受けたOCS4は中継機5が位置した区間のインターロック情報をターンオン状態に転換させることで、作業区間にOHT2が進入しないように自動で設定するようになる。このように、高度センサー10は作業者が高所作業台6を利用してOHT2に接するように位置が変更される場合、該当位置の作業区間にOHT2が進入しないようにして事故が発生することを防止するようになる。
【0051】
重さセンサー12は高所作業台6に結合され、作業者の重さを検出するようになる。この場合、重さセンサー12はロードセルのような重さを測定するセンサーで構成されることができる。このような重さセンサー12は作業端末3と電気的に連結され、高所作業台6に乗りこんだ作業者の重さを感知する場合重さ値を生成し、生成された重さ値を作業端末3に送るようになって、この時、作業端末3は生成された重さ値が既設定された値以上の場合に作業進行情報を送るようになる。例えば、作業端末3は重さセンサー12に検出した重さ値が40Kg以上増加するようになる場合に作業進行情報を生成するようになる。このように生成された作業進行情報はOCS4に送るようになる。この時、作業進行情報の入力を受けたOCS4は中継機5が位置した区間のインターロック情報をターンオン状態に転換させることで、作業区間にOHT2が進入しないように自動で設定するようになる。このように、重さセンサー12は作業者が高所作業台6に乗りこんだ場合に該当位置の作業区間にOHT2が進入しないようにして事故が発生することを防止するようになる。
【0052】
以下では前記したところのようなOHT管理システムを利用したOHT管理システム制御方法に対して説明することにする。
【0053】
図6は、本発明の一実施例によるOHT管理システム制御方法の流れ図である。
【0054】
図6に示されたところのように、本発明の一実施例によるOHT管理システム制御方法はOHT走行段階(S10)、点検準備段階(S20)、作業進行情報生成段階(S30)、作業進行情報伝送段階(S40)及び、インターロック設定段階(S50)を含む。
【0055】
図6をさらに参照すれば、先ず、OHT走行段階(S10)ではOHT2がレール1上に自律走行するようになる。
【0056】
次に、点検準備段階(S20)では点検者が作業端末3と高所作業台6をレール1上の特定区間に配置するようになる。
【0057】
次に、作業進行情報生成段階(S30)では作業者が高所作業台6に乗りこんでOHT2の点検のための作業手続き進行時作業端末3が作業進行情報を生成するようになる。この場合、生成される作業進行情報は前述したように、作業者と高所作業台6との間を連結させる締結部7が高所作業台6と締結される場合に生成される。この時、作業進行情報は前述したように、高所作業台6と締結時締結部7上に圧力が加えられる場合圧力センサー8が生成する圧力信号を基盤に生成される。また、作業進行情報は前述したように、締結部7の締結領域に高所作業台6が配置された状態を感知して感知センサー9が感知信号を生成するようになる場合に生成されることができる。また、作業進行情報は前述したように、締結部7の締結領域に高所作業台6が配置された状態をマグネチックセンサーで感知してマグネチックセンサーが自分信号を生成するようになる場合に生成されることができる。また、作業進行情報は前述したように、高度センサー10を利用して高度値が一定値以上になる場合に生成されることができる。また、作業進行情報は前述したように、作業者が高所作業台6に乗りこんで高所作業台6に一定値以上重さが増加する場合に生成されることができる。この場合、作業進行情報は前述したような、圧力検出、感知検出、高度検出及び、重さ検出方式らのうちで少なくとも何れか一つを利用するか、または、これらが組合された方式を通じて生成されることができる。
【0058】
次に、作業進行情報伝送段階(S40)では中継機5を通じて作業進行情報をOCS4に送るようになる。この場合、中継機5は前述したように、中継機ID値をOCS4に送ってOCS4に既保存された中継機ID値を通じて中継機5の位置をマッチングさせることができる。この時、中継機5は中継機ID値とともに作業端末3の作業進行情報とともに作業ID値と信号強度値をOCS4に送るようになる。
【0059】
次に、インターロック設定段階(S50)では作業進行情報が生成される区間にOHT2が進入しないようにインターロック情報をターンオン状態に切り替えるようになる。この場合、OCS4は前述したように、中継機5らから入力を受けた中継機ID値と作業端末3の作業ID値と信号強度値のうちで、最大の信号強度値を送る中継機5の中継機ID値を検出し、該当中継機5が位置した区間のインターロック情報がターンオン状態に転換されるようにできる。
【0060】
次に、作業者はOHT2や周辺設備らを点検及び修理に関する作業を進行するようになる。この時、作業者は高所作業台6のリフティング装置6cを遠隔で調整して作業位置を調整しながら作業を進行するようになって、遠隔で走行装置6dを移動させて作業位置を調整しながら作業を進行するようになる。この時、OCS4は中継機5らから作業端末3で生成される作業進行情報らを持続的に入力を受けて作業区間にOHT2が進入することができないようにするようになる。
【0061】
一方、前記したようにOHT2を点検する作業者は高所作業台6を遠隔に移動させて作業位置を変更するようになる場合、作業区間が変更されて最初インターロック情報とは異なるインターロック情報を有する区間に越えて行くことができるが、この時、作業端末3と中継機5らとの間の距離が変更される。それでは、OCS4は再び最大の信号強度値を発生させる中継機5が位置した区間のインターロック情報をターンオン状態に転換させるようになる。よって、作業者は高所作業台を移動させながら作業を進行する場合、該当区間にインターロック情報が自動でターンオン状態に転換されるため、安全事故が発生されることを防止するようになる。
【0062】
以後、点検を終えた作業者は高所作業台6のリフティング装置6cを遠隔で操作してリフトが地面を向けるようにした後、締結部7と高所作業台6の締結を解除させるようになれば、作業端末3で作業進行情報の生成を止めらせるようになって、OCS4では該当区間に対するインターロック情報をターンオフ状態に転換させてOHT2が作業が完了された区間に進入されるように設定される。
【0063】
このように、本発明の一実施例によるOHT管理システム及びOHT管理システム制御方法は、作業者がOHT2または物流設備らを点検時、管理者が作業区間にインターロック情報を設定しない場合にも作業者が位置する作業区間に自動でインターロックが設定されるようにして安全事故を防止するようになる。
【0064】
以上のように本発明では具体的な構成要素などのような特定事項らと限定された実施例及び図面によって説明されたが、これは本発明のより全般的な理解を助けるために提供されたものであるだけで、本発明は前記の実施例に限定されるものではなくて、本発明が属する分野で通常的な知識を有した者ならこのような記載から多様な修正及び変形が可能である。
【0065】
したがって、本発明の思想は説明された実施例に限って決まってはいけなく、後述する特許請求範囲だけではなく、本特許請求範囲と均等であるか、または等価的変形があるすべてのものなどは本発明思想の範疇に属するとするであろう。
【符号の説明】
【0066】
1 レール
2 OHT
3 作業端末
4 OCS
5 中継機
6 高所作業台
7 締結部
8 圧力センサー
9 感知センサー
10 高度センサー
11 マクネティックセンサー
12 重さセンサー