特開 2024-78787 感光性組成物、光学フィルタ、固体撮像素子、画像表示装置、及び赤外線センサ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024078787

(43)【公開日】2024-06-11

(54)【発明の名称】感光性組成物、光学フィルタ、固体撮像素子、画像表示装置、及び赤外線センサ

(51)【国際特許分類】

   G03F 7/027 20060101AFI20240604BHJP

   G03F 7/004 20060101ALI20240604BHJP

   G03F 7/075 20060101ALI20240604BHJP

   G02B 5/22 20060101ALI20240604BHJP

   G09F 9/30 20060101ALI20240604BHJP

   H01L 31/0232 20140101ALI20240604BHJP

   H01L 27/146 20060101ALI20240604BHJP

   H01L 27/144 20060101ALI20240604BHJP

【ＦＩ】

G03F7/027 502

G03F7/004 505

G03F7/075 501

G02B5/22

G09F9/30 349A

G09F9/30 349C

H01L31/02 D

H01L27/146 D

H01L27/144 K

【審査請求】未請求

【請求項の数】12

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022191344

(22)【出願日】2022-11-30

(71)【出願人】

【識別番号】000222118

【氏名又は名称】ａｒｔｉｅｎｃｅ株式会社

(72)【発明者】

【氏名】櫻井 慎太郎

(72)【発明者】

【氏名】宮崎 智也

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 駿平

(72)【発明者】

【氏名】近藤 慶一

(72)【発明者】

【氏名】吉田 寛之

【テーマコード（参考）】

2H148

2H225

4M118

5C094

5F149

5F849

【Ｆターム（参考）】

2H148CA04

2H148CA12

2H148CA14

2H148CA17

2H148CA19

2H225AC21

2H225AC32

2H225AC33

2H225AC34

2H225AC35

2H225AC36

2H225AC37

2H225AC44

2H225AC46

2H225AC63

2H225AC72

2H225AC74

2H225AC75

2H225AC80

2H225AD02

2H225AD06

2H225AE24P

2H225AM22P

2H225AM23P

2H225AM25P

2H225AM32P

2H225AM66P

2H225AM86P

2H225AM96P

2H225AN39P

2H225AN42P

2H225AN58P

2H225AN72P

2H225AN80P

2H225AN91P

2H225AN94P

2H225AN95P

2H225AN96P

2H225AN97P

2H225AN98P

2H225BA02P

2H225BA05P

2H225BA12P

2H225BA13P

2H225BA16P

2H225BA17P

2H225BA32P

2H225BA33P

2H225BA35P

2H225CA15

2H225CB05

2H225CC01

2H225CC13

4M118AA10

4M118AB01

4M118BA10

4M118BA14

4M118CA02

4M118CA14

4M118CB20

4M118GA10

4M118GB03

4M118GB07

4M118GC08

4M118GC11

4M118GC20

4M118GD04

4M118HA26

4M118HA27

5C094AA43

5C094BA27

5C094BA43

5C094ED02

5C094ED15

5C094FB01

5C094JA01

5F149AA01

5F149BB03

5F149BB07

5F149HA06

5F149HA10

5F149HA20

5F849AA01

5F849BB03

5F849BB07

5F849HA06

5F849HA10

5F849HA20

(57)【要約】

【課題】本発明は、線幅安定性、密着性に優れ、低温加熱で優れたパターン形状、耐性を有する膜が形成可能な感光性組成物の提供を目的とする。
【解決手段】上記課題は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、重合性化合物（Ｂ）、及び重合開始剤（Ｃ）を含む感光性組成物であって、
前記重合性化合物（Ｂ）が、水酸基又は酸性基を有する単官能（メタ）アクリレート（Ｂ１）、及び２官能（メタ）アクリレート（Ｂ２）を含み、
前記水酸基又は酸性基を有する単官能（メタ）アクリレート（Ｂ１）と前記２官能（メタ）アクリレート（Ｂ２）の合計含有量が、前記重合性化合物（Ｂ）１００質量％中に、５０質量％以上である感光性組成物によって解決できる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、重合性化合物（Ｂ）、及び重合開始剤（Ｃ）を含む感光性組成物であって、
前記重合性化合物（Ｂ）が、水酸基又は酸性基を有する単官能（メタ）アクリレート（Ｂ１）、及び２官能（メタ）アクリレート（Ｂ２）を含み、
前記水酸基又は酸性基を有する単官能（メタ）アクリレート（Ｂ１）と前記２官能（メタ）アクリレート（Ｂ２）の合計含有量が、前記重合性化合物（Ｂ）１００質量％中に、５０質量％以上である感光性組成物。

【請求項2】

前記水酸基又は酸性基を有する単官能（メタ）アクリレート（Ｂ１）と前記２官能（メタ）アクリレート（Ｂ２）の質量比が、５：９５～５０：５０である請求項１に記載の感光性組成物。

【請求項3】

前記２官能（メタ）アクリレート（Ｂ２）が、下記一般式（１）で表される化合物を含む請求項１に記載の感光性組成物。
一般式（１）

【化1】

（一般式（１）中、Ｒ_１及びＲ_２は、それぞれ独立して水素原子又はメチル基を表し、Ａ_１及びＡ_２は、それぞれ独立してアルキレン基を表し、ｌ及びｍは、それぞれ独立して０～１０の整数を表し、ｎは、６～２０の整数を表す。）

【請求項4】

更に、前記重合性化合物（Ｂ）が、３官能以上の（メタ）アクリレート（Ｂ３）を含む請求項１に記載の感光性組成物。

【請求項5】

前記３官能以上の（メタ）アクリレート（Ｂ３）が、水酸基を有する化合物を含む請求項４に記載の感光性組成物。

【請求項6】

更に、シランカップリング剤（Ｄ）を含む請求項１に記載の感光性組成物。

【請求項7】

更に、顔料（Ｅ）を含む請求項１に記載の感光性組成物。

【請求項8】

請求項１～７のいずれか１項に記載の感光性組成物から形成されてなる膜。

【請求項9】

請求項８に記載の膜を有する光学フィルタ。

【請求項10】

請求項９に記載の光学フィルタを有する固体撮像素子。

【請求項11】

請求項９に記載の光学フィルタを有する画像表示装置。

【請求項12】

請求項９に記載の光学フィルタを有する赤外線センサ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、感光性組成物及びその用途に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、液晶表示装置、デジタルカメラ、スマートフォン、赤外線センサ等の普及から、これらに使用される光学フィルタの需要が伸びている。そして、これら装置の軽量、薄型、省電力のためバックライトを必要としないＯＬＥＤ（Ｏｒｇａｎｉｃ Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ）等を用いた有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ－Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示装置や、イメージセンサにおける光電子変化膜の有機素材化が検討されている。

【0003】

有機ＥＬ表示装置等に用いられる有機発光層の耐熱性は一般的に低いため、それらに用いる光学フィルタを形成するための感光性組成物は、加熱工程を低温、例えば１２０℃以下、より好ましくは１００℃以下で行うことが求められている。そのため、光学フィルタを低温で製造する検討として、高感度の重合開始剤を用いて、露光工程で十分に光硬化させる試みが行われている。例えば、特許文献１には、着色剤と、重合性化合物と、光重合開始剤を含有し、前記光重合開始剤が、前記光重合開始剤をアセトニトリルに０．００１質量％溶解させた溶液の波長３４０ｎｍにおける吸光度が０．４５以上である着色感光性組成物が開示されている。また、特許文献２には、色材、多官能モノマー、酸性基含有単官能モノマー、及びオキシムエステル系光開始剤を含有する光硬化性着色樹脂組成物が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】国際公開第２０１７／０３８７０８号

【特許文献2】国開公開第２０２２／０７０９７７号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかし、低温加熱の場合、パターン形状、膜の耐性が不十分であるという課題があった。また、高感度の重合開始剤を用いた場合、露光でパターンが所望した線幅にならないといった課題もあった。

【0006】

本発明は、線幅安定性、密着性に優れ、低温加熱で優れたパターン形状、耐性を有する膜が形成可能な感光性組成物の提供を目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、重合性化合物（Ｂ）、及び重合開始剤（Ｃ）を含む感光性組成物であって、
前記重合性化合物（Ｂ）が、水酸基又は酸性基を有する単官能（メタ）アクリレート（Ｂ１）、及び２官能（メタ）アクリレート（Ｂ２）を含み、
前記水酸基又は酸性基を有する単官能（メタ）アクリレート（Ｂ１）と前記２官能（メタ）アクリレート（Ｂ２）の合計含有量が、前記重合性化合物（Ｂ）１００質量％中に、５０質量％以上である感光性組成物に関する。

【発明の効果】

【0008】

上記の本発明によれば、線幅安定性、密着性に優れ、低温加熱で優れたパターン形状、耐性を有する膜が形成可能な感光性組成物を提供できる。また、本発明は、光学フィルタ、固体撮像素子、画像表示装置、及び赤外線センサを提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】図１は、光学フィルタを備えた赤外線センサの構成例を示す概略断面図である

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下に、本発明の感光性組成物を実施するための形態について詳細に説明する。なお、本発明は、以下の実施形態に制限されるものではなく、課題を解決可能な範囲内で変形して実施できる。

【0011】

本明細書において、「（メタ）アクリロイル」、「（メタ）アクリル」、「（メタ）アクリル酸」、「（メタ）アクリレート」、又は「（メタ）アクリルアミド」とは、特に説明がない限り、それぞれ、「アクリロイル及び／又はメタアクリロイル」、「アクリル及び／又はメタアクリル」、「アクリル酸及び／又はメタアクリル酸」、「アクリレート及び／又はメタクリレート」、又は「アクリルアミド及び／又はメタアクリルアミド」を意味する。また、「ＥＯ」は「エチレンオキサイド」、「ＰＯ」は「プロピレンオキサイド」を表す。また、「Ｃ．Ｉ．」は、カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．；Ｔｈｅ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｏｆ Ｄｙｅｒｓ ａｎｄ Ｃｏｌｏｕｒｉｓｔｓ発行）を意味する。重合性不飽和基は、エチレン性不飽和二重結合である。
本発明における化合物の分子量に関しては、分子量が特定できる低分子化合物は、計算により算出した値（式量）、若しくはＥＳＩ－ＭＳ（エレクトロスプレーイオン化質量分析法）により測定した分子量であり、分子量の分布を持つ化合物は、テトラヒドロフランを溶剤とした場合のゲルパーミエーションクロマトグラフィーで測定されるポリスチレン換算の重量平均分子量である。
単量体は、重合により樹脂を形成する化合物である。単量体は、未反応状態であり、単量体単位は、単量体が重合後に樹脂を形成している状態である。

【0012】

＜感光性組成物＞
本発明の一実施形態である感光性組成物は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、重合性化合物（Ｂ）、及び重合開始剤（Ｃ）を含む感光性組成物であって、
前記重合性化合物（Ｂ）が、水酸基又は酸性基を有する単官能（メタ）アクリレート（Ｂ１）、及び２官能（メタ）アクリレート（Ｂ２）を含み、
前記水酸基又は酸性基を有する単官能（メタ）アクリレート（Ｂ１）と前記２官能（メタ）アクリレート（Ｂ２）の合計含有量が、前記重合性化合物（Ｂ）１００質量％中に、５０質量％以上であることを特徴とする。

【0013】

上記構成の感光性組成物が、本発明の課題を解決できるメカニズムは明らかではないが、以下のように推測している。

【0014】

フォトリソグラフィー法でパターンを作製する場合、例えば、基板に感光性組成物の膜を塗工する工程、パターンを介して膜を露光し光硬化する工程、膜を現像する工程、膜を２００～２６０℃の高温で加熱して硬化の促進及びパターン形状を形成する工程（以下、ポストベークともいう）を経る。しかし、１２０℃以下の低温でポストベークする場合、光学フィルタの分野で広く使用されているジペンタエリスリトールヘキサアクリレートを多く含む感光性組成物は、光硬化後の架橋密度が高いため、良好なパターン形状が得にくい。一方、架橋密度が低くなり過ぎると、密着性、耐性が悪化しやすい。
本発明の感光性組成物は、重合性化合物として官能基数が１つである単官能（メタ）アクリレートを使用することで、架橋密度を低くすることができ、低温ポストベークでパターンが熱でフローしやすくなり、良好なパターン形状が得られると推測する。そして、官能基数が２つである２官能（メタ）アクリレートを併用し、かつ、単官能（メタ）アクリレートと２官能（メタ）アクリレートの合計含有量を、重合性化合物１００質量％中に５０質量％以上にすることで、良好なパターン形状を維持しながら、良好な線幅安定性、膜耐性が得られる適度な架橋密度が実現できると推測する。さらに、単官能（メタ）アクリレートとして、水酸基又は酸性基を有する単官能（メタ）アクリレートを使用することで、水酸基又は酸性基が基材と相互作用し、密着性にも優れた膜が得られたと推測する。

【0015】

［アルカリ可溶性樹脂（Ａ）］
本発明の感光性組成物は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）を含む。

【0016】

アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、アルカリ現像液に溶解すれば特に制限がなく、公知の樹脂を使用できる。例えば、（メタ）アクリル樹脂、スチレン樹脂、スチレン／（メタ）アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、環状オレフィン樹脂等が挙げられる。

【0017】

アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の重量平均分子量（Ｍｗ）は、３，０００～５０，０００が好ましく、４，０００～４０，０００がより好ましい。

【0018】

アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の酸価は、３０～２００ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましく、４０～１８０ｍｇＫＯＨ／ｇがより好ましい。

【0019】

アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、単独又は２種類以上を併用して使用できる。

【0020】

アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、感光性組成物の不揮発分１００質量％中、１～９５質量％が好ましく、５～８０質量％がより好ましい。

【0021】

（アルカリ可溶性樹脂（Ａ１））
本発明の感光性組成物は、低温ポストベークでの耐性の観点から、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）としてブロックイソシアネート基含有単量体単位（ａ１）及び水酸基含有単量体単位（ａ２）を有するアルカリ可溶性樹脂（Ａ１）（以下、アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）ともいう）を含むことが好ましい。アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）中の水酸基による水素結合により、樹脂同士が近接しやすいため、加熱でブロック剤が脱離したイソシアネート基と水酸基が反応しやすく、低温ポストベークでの耐性が向上すると推測する。

【0022】

〔ブロックイソシアネート基含有単量体単位（ａ１）〕
ブロックイソシアネート基含有単量体は、イソシアネート基含有単量体のイソシアネート基を、熱で脱離する化合物（以下、ブロック剤ともいう）で保護した単量体である。ブロック剤の脱離温度は、６０～１６０℃が好ましく、７０～１３０℃がより好ましく、８０～１００℃が特に好ましい。

【0023】

イソシアネート基含有単量体は、例えば、２－イソシアナトエチル（メタ）アクリレート、２－イソシアナトプロピル（メタ）アクリレート、３－イソシアナトプロピル（メタ）アクリレート、２－イソシアナト－１－メチルエチル（メタ）アクリレート、２－イソシアナト－１，１－ジメチルエチル（メタ）アクリレート、４－イソシアナトシクロヘキシル（メタ）アクリレート、メタクリロイルイソシアネート等が挙げられる。また、２－ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレートとジイソシアネート化合物との等モル反応生成物も使用できる。こられの中でも、２－イソシアナトエチル（メタ）アクリレート、２－イソシアナトプロピル（メタ）アクリレートが好ましい。

【0024】

ブロック剤は、オキシム化合物、ラクタム化合物、フェノール化合物、アルコール化合物、アミン化合物、活性メチレン化合物、ピラゾール化合物、メルカプタン化合物、イミダゾール化合物、イミド化合物、尿素化合物、イミン化合物、及び重亜硫酸塩化合物等が挙げられる。

【0025】

オキシム化合物は、例えば、ホルムアルドオキシム、アセトアルドオキシム、アセトオキシム、メチルエチルケトオキシム、メチルイソブチルケトオキシム、シクロヘキサノンオキシム、ベンゾフェノンオキシム等が挙げられ、メチルエチルケトオキシムが好ましい。
ラクタム化合物は、例えば、ε－カプロラクタム、δ－バレロラクタム、γ－ブチロラクタム、β－プロピオラクタム等が挙げられる。
フェノール化合物は、例えば、フェノール、クレゾール、２，６－キシレノール、３，５－キシレノール、エチルフェノール、ｐ－ｔｅｒｔ－ブチルフェノール、ノニルフェノール、２－ヒドロキシ安息香酸メチル、４－ヒドロキシ安息香酸メチル、ｐ－ナフトール、ｐ－ニトロフェノール等が挙げられ、３，５－キシレノール、２－ヒドロキシ安息香酸メチル、４－ヒドロキシ安息香酸メチルが好ましい。
アルコール化合物は、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、エチレングリコール、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、メチルカルビトール、ベンジルアルコール、フェニルセロソルブ、フルフリルアルコールが挙げられる。
アミン化合物は、例えば、ジフェニルアミン、フェニルナフチルアミン、アニリン、カルバゾール等が挙げられる。
活性メチレン化合物は、例えば、マロン酸ジメチル、マロン酸ジエチル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、アセチルアセトン等が挙げられ、マロン酸ジエチルが好ましい。
ピラゾール化合物は、例えば、ピラゾール、メチルピラゾール、３，５－ジメチルピラゾール等が挙げられ、３，５－ジメチルピラゾールが好ましい。
メルカプタン化合物は、例えば、ブチルメルカプタン、チオフェノール、ｔｅｒｔ－ドデシルメルカプタン等が挙げられる。
イミダゾール化合物は、例えば、イミダゾール、２－メチルイミダゾール、２－エチルイミダゾール、１，２－ジメチルイミダゾール、２－エチル－４－メチルイミダゾール、１－ベンジル－２－フェニルイミダゾール等が挙げられる。
イミド化合物は、例えば、コハク酸イミド、マレイン酸イミド、マレイミド、フタルイミド等が挙げられる。
尿素化合物は、例えば、尿素、チオ尿素、エチレン尿素等が挙げられる。
イミン化合物は、例えば、エチレンイミン、ポリエチレンイミン等が挙げられる。
重亜硫酸塩化合物は、例えば、重亜硫酸ソーダ、重亜硫酸カリウム等が挙げられる。これらのブロック剤は、単独又は２種類以上を併用して使用できる。

【0026】

ブロック剤は、オキシム化合物、ラクタム化合物、フェノール化合物、アルコール化合物、アミン化合物、活性メチレン化合物、ピラゾール化合物、メルカプタン化合物、イミダゾール化合物、及びイミド化合物からなる群から選ばれる１種以上が好ましく、保護反応、脱保護反応の観点から、オキシム化合物、フェノール化合物、活性メチレン化合物、ピラゾール化合物からなる群から選ばれる１種以上がより好ましい。

【0027】

ブロックイソシアネート基含有単量体は、例えば、以下の化合物が挙げられる。なお、本発明はこれらに限定されない。

【0028】

【化2】

【0029】

ブロックイソシアネート基含有単量体の市販品は、例えば、昭和電工社製のカレンズＭＯＩ－ＤＥＭ（ブロック剤の脱離温度：８５～９５℃）、ＭＯＩ－ＢＰ（ブロック剤の脱離温度：１０５～１１５℃）、ＭＯＩ－ＢＭ（ブロック剤の脱離温度：１２５～１３５℃）等が挙げられる。

【0030】

ブロックイソシアネート基含有単量体単位（ａ１）の含有量は、低温ポストベークでの耐性の観点から、アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）の全単量体単位中、１～５０モル％が好ましく、３～４０モル％がより好ましい。

【0031】

〔水酸基含有単量体単位（ａ２）〕
水酸基含有単量体は、例えば、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、３－ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、４－ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、２，３－ジヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、グリセロールモノ（メタ）アクリレート、シクロヘキサンジメタノールモノ（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシ－３－フェノキシプロピルアクリレート、２－アクリロイロキシエチル－２－ヒドロキシエチルフタル酸、４－ヒドロキシフェニル（メタ）アクリレート、４－ビニルフェノール、４－イソプロペニルフェノール等が挙げられる。

【0032】

ブロックイソシアネート基含有単量体単位（ａ１）及び水酸基含有単量体単位（ａ２）の合計含有量は、低温ポストベークでの耐性の観点から、アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）の全構成単位中、１０～６０モル％が好ましく、２０～５０モル％がより好ましい。

【0033】

ブロックイソシアネート基含有単量体単位（ａ１）及び水酸基含有単量体単位（ａ２）のモル比は、低温ポストベークでの耐性の観点から、１０：９０～５０：５０が好ましく、１５：８５～４５：５５がより好ましい。

【0034】

アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）は、ブロックイソシアネート基含有単量体単位（ａ１）、及び水酸基含有単量体単位（ａ２）以外の単量体単位を有してよい。例えば、脂肪族縮合環構造含有単量体単位（ａ３）、酸性基含有単量体単位（ａ４）、エポキシ基含有単量体単位（ａ５）、重合性不飽和基含有単量体単位（ａ６）、その他単量体単位単位（ａ７）が挙げられる。これらの中でも、低温ポストベークでの耐性の観点から、脂肪族縮合環構造含有単量体単位（ａ３）を有することが好ましく、現像性の観点から、酸性基含有単量体単位（ａ４）を有することが好ましい。

【0035】

〔脂肪族縮合環構造含有単量体単位（ａ３）〕
脂肪族縮合環構造含有単量体は、例えば、イソボロニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニルオキシエチル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル（メタ）アクリレート、アダマンチル（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらの中でも、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニルオキシエチル（メタ）アクリレートが好ましい。

【0036】

脂肪族縮合環構造含有単量体単位（ａ３）の含有量は、低温ポストベークでの耐性の観点から、アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）の全構成単位中、１～４０モル％が好ましく、５～３０モル％がより好ましい。

【0037】

〔酸性基含有単量体単位（ａ４）〕
酸性基含有単量体は、例えば、（メタ）アクリル酸、クロトン酸、プロピオール酸、けい皮酸、イタコン酸、無水イタコン酸、マレイン酸、マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチル、マレイン酸モノイソプロピル、無水マレイン酸、フマル酸、２－メタクリロイロキシエチルコハク酸、２－アクリロイロキシエチルフタル酸、２－アクリロイロキシエチルヘキシルヒドロフタル酸、ｐ－スチレンスルホン酸、ビニルスルホン酸、２－アクリルアミド－２－メチルプロパンスルホン酸、ｔｅｒｔ－ブチルアクリルアミドスルホン酸、２－（メタ）アクリロイルオキシエチルアシッドフォスフェート等が挙げられる。

【0038】

酸性基含有単量体単位（ａ４）の含有量は、現像性の観点から、アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）の全構成単位中、１～４０モル％が好ましく、５～３０モル％がより好ましい。

【0039】

〔エポキシ基含有単量体単位（ａ５）〕
エポキシ基含有単量体は、例えば、オキシラニル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、２－メチルグリシジル（メタ）アクリレート、２－エチルグリシジル（メタ）アクリレート、２－オキシラニルエチル（メタ）アクリレート、２－グリシジルオキシエチル（メタ）アクリレート、３，４－エポキシシクロヘキシル（メタ）アクリレート、３，４－エポキシシクロヘキシルメチル（メタ）アクリレート、２－（３，４－エポキシシクロヘキシル）エチル（メタ）アクリレート、２－（３，４－エポキシシクロヘキシルメチルオキシ）エチル（メタ）アクリレート、３－（３，４－エポキシシクロヘキシルメチルオキシ）プロピル（メタ）アクリレート等が挙げられる。

【0040】

〔重合性不飽和基含有単量体単位（ａ６）〕
重合性不飽和基含有単量体単位（ａ６）は、例えば、以下に示す（ｉ）～（ｉｉｉ）の方法によって導入した単位が挙げられる。

【0041】

＜方法（ｉ）＞
酸性基含有単量体単位（ａ４）を有する樹脂の酸性基に、上述のエポキシ基含有単量体を付加させる方法（ｉ）である。

【0042】

＜方法（ｉｉ）＞
エポキシ基含有単量体単位（ａ５）を有する樹脂のエポキシ基に、上述の酸性基含有単量体を付加させる方法（ｉｉ）である。

【0043】

また、方法（ｉ）、（ｉｉ）の反応によって生じた水酸基に、更に、酸無水物を反応させる重合性不飽和基含有単量体単位（ａ６）も好ましい。

【0044】

酸無水物は、例えば、テトラヒドロ無水フタル酸、無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、無水コハク酸、無水マレイン酸等が挙げられる。

【0045】

＜方法（ｉｉｉ）＞
水酸基含有単量体単位（ａ２）を有する樹脂の水酸基に、イソシアネート基含有単量体のイソシアネート基を反応させる方法（ｉｉｉ）である。

【0046】

イソシアネート基含有単量体は、例えば、２－（メタ）アクリロイルエチルイソシアネート、２－（メタ）アクリロイルオキシエチルイソシアネート、又は１，１－ビス〔メタアクリロイルオキシ〕エチルイソシアネート等が挙げられる。

【0047】

〔その他単量体単位単位（ａ７）〕
その他単量体は、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ－プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ｎ－ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ－ブチル（メタ）アクリレート、ペンチル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、フェノキジエチレングリコール（メタ）アクリレート、フェノールのＥＯ変性（メタ）アクリレート、ノニルフェノールのＥＯ又はＰＯ変性（メタ）アクリレート、パラクミルフェノールのＥＯ又はＰＯ変性（メタ）アクリレート、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ジエチルアミノエチル（メタ）アクリレート等のアクリル酸エステル類；
スチレン、α－メチルスチレン、ｐ－ビニルトルエン、ｐ－クロロスチレン、ビニルナフタレン等の芳香族ビニル化合物類；
（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジエチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－イソプロピル（メタ）アクリルアミド、ダイアセトン（メタ）アクリルアミド、又はアクリロイルモルホリン等の（メタ）アクリルアミド類；
エチルビニルエーテル、ｎ－プロピルビニルエーテル、イソプロピルビニルエーテル、ｎ－ブチルビニルエーテル、又はイソブチルビニルエーテル等のビニルエーテル類；
酢酸ビニル、又はプロピオン酸ビニル等の脂肪酸ビニル類；
フェニルマレイミド、メチルマレイミド、エチルマレイミド、１，２－ビスマレイミドエタン１，６－ビスマレイミドヘキサン、６，７－メチレンジオキシ－４－メチル－３－マレイミドクマリン、４，４’－ビスマレイミドジフェニルメタン、ビス（３－エチル－５－メチル－４－マレイミドフェニル）メタン、Ｎ，Ｎ’－１，３－フェニレンジマレイミド、Ｎ，Ｎ’－１，４－フェニレンジマレイミド、Ｎ－（１－ピレニル）マレイミド、Ｎ－（２，４，６－トリクロロフェニル）マレイミド、Ｎ－（４－アミノフェニル）マレイミド、Ｎ－（４－ニトロフェニル）マレイミド、Ｎ－ベンジルマレイミド、Ｎ－ブロモメチル－２，３－ジクロロマレイミド、Ｎ－スクシンイミジル－３－マレイミドベンゾエート、Ｎ－スクシンイミジル－３－マレイミドプロピオナート、Ｎ－スクシンイミジル－４－マレイミドブチラート、Ｎ－スクシンイミジル－６－マレイミドヘキサノアート、Ｎ－［４－（２－ベンゾイミダゾリル）フェニル］マレイミド、９－マレイミドアクリジン等のＮ－置換マレイミド類；
ジメチル－２，２’－［オキシビス（メチレン）］ビス－２－プロペノエート、ジエチル－２，２’－［オキシビス（メチレン）］ビス－２－プロペノエート、ジ（ｎ－プロピル）－２，２’－［オキシビス（メチレン）］ビス－２－プロペノエート、ジ（イソプロピル）－２，２’－［オキシビス（メチレン）］ビス－２－プロペノエート、ジ（２－エチルヘキシル）－２，２’－［オキシビス（メチレン）］ビス－２－プロペノエート等が挙げられる。その他単量体は、単独又は２種以上併用して使用できる。

【0048】

アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）の重量平均分子量（Ｍｗ）は、４，０００～５０，０００が好ましく、４，０００～４０，０００がより好ましい。

【0049】

アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）の酸価は、３０～２００ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましく、４０～１８０ｍｇＫＯＨ／ｇがより好ましい。

【0050】

アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）は、単独又は２種類以上を併用して使用できる。

【0051】

アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）の含有量は、低温ポストベークでの耐性の観点から、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）１００質量％中、３０～１００質量％が好ましい。

【0052】

（アルカリ可溶性樹脂（Ａ２））
本発明の感光性組成物は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）としてアルカリ可溶性樹脂（Ａ１）以外のアルカリ可溶性樹脂（Ａ２）（以下、単にアルカリ可溶性樹脂（Ａ２）ともいう）を含有できる。

【0053】

アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）は、アルカリ現像液に溶解すれば特に制限がなく、公知の樹脂を使用できる。例えば、酸性基を有する（メタ）アクリル樹脂、酸性基を有するスチレン／（メタ）アクリル樹脂、α－オレフィン／（無水）マレイン酸共重合体、スチレン／スチレンスルホン酸共重合体、エチレン／（メタ）アクリル酸共重合体、又はイソブチレン／（無水）マレイン酸共重合体等が挙げられる。

【0054】

［重合性化合物（Ｂ）］
本発明の感光性組成物は、重合性化合物（Ｂ）を含む。

【0055】

重合性化合物（Ｂ）は、重合性不飽和基を有するモノマー、オリゴマーが挙げられる。重合性不飽和基は、ビニル基、（メタ）アクリロイル基、アリル基等のエチレン性不飽和基である。重合性化合物（Ｂ）は、特に制限はなく、公知の化合物を使用できる。

【0056】

（水酸基又は酸性基を有する単官能（メタ）アクリレート（Ｂ１））
本発明の感光性組成物は、重合性化合物（Ｂ）として水酸基又は酸性基を有する単官能（メタ）アクリレート（Ｂ１）を含む。

【0057】

水酸基を有する単官能（メタ）アクリレートは、例えば、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシ－３－フェノキシプロピル（メタ）アクリレート、２－（メタ）アクリロイルオキシエチル－２－ヒドロキシエチルフタル酸、２，３－ジヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、４－ヒドロキシフェニル（メタ）アクリレート等が挙げられる。

【0058】

水酸基を有する単官能（メタ）アクリレートの市販品は、例えば、共栄社化学社製のライトエステルＨＯＡ（Ｎ），ＨＯＰ－Ａ（Ｎ），ＨＯＢ（Ｎ）、ライトアクリレートＨＯＢ－Ａ、エポキシエステルＭ－６００Ａ、ＨＯＡ－ＭＰＥ（Ｎ）、日油社製のブレンマーＧＬＭ，ＧＬＭ－ＥＸ，ＧＬＭ－Ｒ，Ｇ－ＦＡ８０，ＰＥ－９０，ＰＥ－２００，ＰＰ－５００，５０ＰＥＰ－３００、東亞合成社製のアロニックスＭ－５７００等が挙げられる。

【0059】

酸性基を有する単官能（メタ）アクリレートの酸性基は、スルホン酸基、リン酸基、カルボキシル基等が挙げられる。これらの中でも、密着性の観点から、リン酸基、カルボキシル基が好ましく、カルボキシル基がより好ましい。

【0060】

酸性基を有する単官能（メタ）アクリレートは、例えば、２－スルホエチル（メタ）アクリレート、２－（メタ）アクリロイルオキシエチルアシッドフォスフェート、３－（メタ）アクリロイルオキシプロピオン酸、２－（メタ）アクリロイルオキシエチルコハク酸、２－（メタ）アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸、２－（メタ）アクリロイルオキシエチルフタル酸、２－（メタ）アクリロイルオキシプロピルテトラヒドロフタル酸、ω－カルボキシ－ポリカプロラクトン－モノアクリレート等が挙げられる。

【0061】

また、酸性基を有する単官能（メタ）アクリレートは、適宜合成したものを使用してもよい。例えば、（メタ）アクリル酸のラクトン付加反応物、水酸基を有する（メタ）アクリレートとジカルボン酸又はジカルボン酸無水物との反応物、エポキシ基を有する（メタ）アクリレートとジカルボン酸又はジカルボン酸無水物との反応物、水酸基を有する（メタ）アクリレートのラクトン付加反応物とジカルボン酸又はジカルボン酸無水物との反応物、エポキシ基を有する（メタ）アクリレートのラクトン付加反応物とジカルボン酸又はジカルボン酸無水物との反応物等が挙げられる。

【0062】

ラクトンは、例えば、ε－カプロラクトン、β－カプロラクトン、γ－ブチロラクトン、γ－バレロラクトン、δ－バレロラクトン等が挙げられる。

【0063】

水酸基を有する（メタ）アクリレートは、例えば、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシ－３－フェノキシプロピル（メタ）アクリレート、２－（メタ）アクリロイルオキシエチル－２－ヒドロキシエチルフタル酸、２，３－ジヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、４－ヒドロキシフェニル（メタ）アクリレート、１，４－シクロヘキサンジメタノールモノアクリレート等が挙げられる。

【0064】

エポキシ基を有する（メタ）アクリレートは、例えば、グリシジル（メタ）アクリレート、２－メチルグリシジル（メタ）アクリレート、２－エチルグリシジル（メタ）アクリレート、３，４－エポキシシクロヘキシル（メタ）アクリレート、３，４－エポキシシクロヘキシルメチル（メタ）アクリレート、２－（３，４－エポキシシクロヘキシル）エチル（メタ）アクリレート、２－（３，４－エポキシシクロヘキシルメチルオキシ）エチル（メタ）アクリレート、３－（３，４－エポキシシクロヘキシルメチルオキシ）プロピル（メタ）アクリレート等が挙げられる。

【0065】

ジカルボン酸は、例えば、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、１，６－ヘキサンジカルボン酸、ヘキサヒドロフタル酸、テレフタル酸、イソフタル酸、フタル酸等が挙げられる。

【0066】

ジカルボン酸無水物は、例えば、コハク酸無水物、メチルコハク酸無水物、オクテニルコハク酸無水物、テトラプロペニルコハク酸無水物、ドデセン－１－イルコハク酸無水物、（２，７－オクタジエン－１－イル）コハク酸無水物、アジピン酸無水物、ヘキサヒドロフタル酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物、無水マレイン酸、無水フタル酸等が挙げられる。

【0067】

水酸基又は酸性基を有する単官能（メタ）アクリレート（Ｂ１）は、密着性の観点から、酸性基を有する単官能（メタ）アクリレートを含むことが好ましく、低温ポストベークでのパターン形状の観点から、酸性基及び芳香族環構造を有する単官能（メタ）アクリレートを含むことがより好ましい。

【0068】

水酸基又は酸性基を有する単官能（メタ）アクリレート（Ｂ１）は、単独又は２種類以上を併用して使用できる。

【0069】

（２官能（メタ）アクリレート（Ｂ２））
本発明の感光性組成物は、重合性化合物（Ｂ）として２官能（メタ）アクリレート（Ｂ２）を含む。

【0070】

２官能（メタ）アクリレート（Ｂ２）は、例えば、ジプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコール（２００）ジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコール（４００）ジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコール（６００）ジ（メタ）アクリレート、ポリプリピレングリコール（４００）ジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールＰＯ変性ジアクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシ－３－メタクリルプロピルアクリレート、１，３－ブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，４－ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，５－ペンタジオールジ（メタ）アクリレート、３－メチル－１，５－ペンタジオールジ（メタ）アクリレート、１，６－ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，６－ヘキサンジオールＥＯ変性ジ（メタ）アクリレート、１，６－ヘキサンジオールＰＯ変性ジ（メタ）アクリレート、１，７－ヘプタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，９－ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、１，１０－デカンジオールジ（メタ）アクリレート、１，１１－ウンデカンジオールジ（メタ）アクリレート、１，１２－ドデカンジオールジ（メタ）アクリレート、１，１３－トリデカンジオールジ（メタ）アクリレート、１，１４－テトラデカンジオールジ（メタ）アクリレート、１，１５－ペンタデカンジオールジ（メタ）アクリレート、１，１
６－ヘキサデカンジオールジ（メタ）アクリレート、シクロヘキサンジメタノールジ（メタ）アクリレート、トリシクロデカンジメタノールジ（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニルジ（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニルジ（メタ）アクリレート、１，３－アダマンタンジオールジ（メタ）アクリレート、５，７－ジメチル－１，３－アダマンタンジオールジ（メタ）アクリレート、９，９－ビス［４－（２－アクリロイルオキシエトキシ）フェニル］フルオレン、９，９－ビス［４－（２－メタクリロイルオキシエトキシ）フェニル］フルオレン、９，９－ビス［４－（２－メタクリロイルオキシエトキシ）－３－メチルフェニル］フルオレン、水素化ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、ＥＯ変性水素化ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡＥＯ変性ジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＦＥＯ変性ジ（メタ）アクリレート、イソシアヌル酸ＥＯ変性ジ（メタ）アクリレート、グリセロールジ（メタ）アクリレート等が挙げられる。

【0071】

２官能（メタ）アクリレート（Ｂ２）の市販品は、例えば、東亞合成社製のアロニックスＭ－２０８，Ｍ－２１１Ｂ，Ｍ－２１５，Ｍ－２２０，Ｍ－２２５，Ｍ－２７０，Ｍ－２４０，Ｍ－９２０、新中村化学工業社製のＮＫエステルＡ－ＨＤ－Ｎ，Ａ－ＮＯＤ－Ｎ，Ａ－ＤＯＤ－Ｎ，Ａ－ＮＰＧ，７０１Ａ，Ａ－２００，Ａ－４００，Ａ－６００，ＡＰＧ－２００，ＡＰＧ－４００，ＡＰＧ－７００，Ａ－ＤＣＰ，ＡＢＥ－３００，Ａ－ＢＰＥ－４，Ａ－ＢＰＥ－１０，Ａ－ＢＰＥ－２０，ＨＤ－Ｎ，ＮＯＤ－Ｎ，ＤＯＤ－Ｎ，ＮＰＧ，７０１，ＤＣＰ，ＢＰＥ－８０Ｎ，ＢＰＥ－１００，ＢＰＥ－２００、Ｍｉｗｏｎ Ｓｐｅｃｉａｌｙｔ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｃｏ．，Ｌｔｄ製のＭｉｒａｍｅｒ Ｍ２０２，Ｍ２０４，Ｍ２１０，Ｍ２１６，Ｍ２２０，Ｍ２２２，Ｍ２３２，Ｎ２６２，Ｍ２７０，ＨＲ６０６０，ＨＲ６１００，ＨＲ６２００、大阪ガスケミカル社製のＯＧＳＯＬ ＥＡ－０２００，ＥＡ－０３００，ＧＡ－５０６０Ｐ，ＧＡ－２８００、第一工業製薬社製のニューフロンティアＨＰＮ，ＨＢＰＥ－４、共栄社化学のライトアクリレートＨＰＰＡ，ＭＰＤ－Ａ、エポキシエステル４０ＥＭ，７０ＰＡ，２００ＰＡ，８０ＭＦＡ、３００２Ｍ（Ｎ），３０００ＭＫ，３０００Ａ、日本化薬社製のＫＡＹＡＲＡＤ Ｒ－１６７，ＨＸ－２２０，ＨＸ－６２０，Ｒ－６０４等が挙げられる。

【0072】

２官能（メタ）アクリレート（Ｂ２）は、線幅安定性、低温ポストベークでのパターン形状の観点から、下記一般式（１）で表される化合物を含むことが好ましい。

【0073】

一般式（１）

【化3】

【0074】

一般式（１）中、Ｒ_１及びＲ_２は、それぞれ独立して水素原子又はメチル基を表し、Ａ_１及びＡ_２は、それぞれ独立してアルキレン基を表し、ｌ及びｍは、それぞれ独立して０～１０の整数を表し、ｎは、６～２０の整数を表す。

【0075】

Ｒ_１及びＲ_２は、反応性の観点から、水素原子が好ましい。

【0076】

Ａ_１及びＡ_２が表すアルキレン基の炭素数は、１～５が好ましく、１～４がより好ましく、２又は３が特に好ましい。アルキレン基は、直鎖、分岐のいずれでもよい。アルキレン基の具体例は、エチレン基、直鎖又は分岐のプロピレン基等が挙げられる。

【0077】

ｌ及びｍは、線幅安定性、低温ポストベークでのパターン形状の観点から、０～５が好ましく、０～３がより好ましい。

【0078】

ｎは、線幅安定性、低温ポストベークでのパターン形状の観点から、６～１２が好ましく、９～１２がより好ましい。

【0079】

２官能（メタ）アクリレート（Ｂ２）は、単独又は２種類以上を併用して使用できる。

【0080】

水酸基又は酸性基を有する単官能（メタ）アクリレート（Ｂ１）と２官能（メタ）アクリレート（Ｂ２）の合計含有量は、重合性化合物（Ｂ）１００質量％中に、５０質量％以上である。好ましくは、６０質量％以上９８質量％未満であり、より好ましくは、７０質量％以上９５質量％未満である。

【0081】

水酸基又は酸性基を有する単官能（メタ）アクリレート（Ｂ１）と２官能（メタ）アクリレート（Ｂ２）の質量比は、線幅安定性、密着性、低温ポストベークでのパターン形状、及び低温ポストベークでの耐性の観点から、（Ｂ１）：（Ｂ２）＝５：９５～５０：５０が好ましく、１０：９０～４０：６０がより好ましい。

【0082】

（３官能以上の（メタ）アクリレート（Ｂ３））
本発明の感光性組成物は、密着性、低温ポストベークでの耐性の観点から、更に、重合性化合物（Ｂ）として３官能以上の（メタ）アクリレート（Ｂ３）を含むことが好ましい。

【0083】

３官能以上の（メタ）アクリレート（Ｂ３）は、例えば、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンＥＯ変性トリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンＰＯ変性トリ（メタ）アクリレート、イソシアヌル酸ＥＯ変性トリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、グリセロールトリ（メタ）アクリレート、グリセロールＰＯ変性トリ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート等の３官能（メタ）アクリレート；
ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールＥＯ変性テトラ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート等の４官能（メタ）アクリレート；
ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールＥＯ変性ペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールＰＯ変性ペンタ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート等の５官能（メタ）アクリレート；
ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールＥＯ変性ヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールＰＯ変性ヘキサ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等の６官能（メタ）アクリレート等が挙げられる。
また、酸性基、ウレタン結合、デンドリマー構造、ハイパーブランチ構造、アミン構造を有する３官能以上の（メタ）アクリレートが挙げられる。

【0084】

３官能以上の（メタ）アクリレート（Ｂ３）の市販品は、例えば、東亞合成社製のアロニックスＭ－３０９，Ｍ－３１０，Ｍ－３２１，Ｍ－３５０，Ｍ－３６０，Ｍ－３１５，Ｍ－３０５，Ｍ－３０６，Ｍ－４５０，Ｍ－４０８，Ｍ－４００，Ｍ－４０２，Ｍ－４０３，Ｍ－４０４，Ｍ－４０５，Ｍ－４０６，Ｍ－４７１，Ｍ－４６０，Ｍ－５１０，Ｍ－５２０，Ｍ－５２１，Ｍ－９３０，ＭＴ－３０４１，ＭＴ－３０４２、日本化薬社製のＫＡＹＡＲＡＤ ＧＰＯ－３０３，ＴＭＰＴＡ，ＰＥＴ－３０，Ｔ－１４２０（Ｔ），ＲＰ－１０４０，ＤＰＨＡ，ＤＰＥＡ－１２，Ｄ－３１０，ＤＰＣＡ－２０，ＤＰＣＡ－３０，ＤＰＣＡ－６０，ＤＰＣＡ－１２０、共栄社化学社製のＡＨ－６００、ＵＡ－３０６Ｈ、ＵＡ－３０６Ｔ、ＵＡ－３０６Ｉ、ＵＡ－５１０Ｈ、ＵＦ－８００１Ｇ、新中村化学社製のＵＡ－１１００Ｈ、Ｕ－６ＬＰＡ、ＵＡ－３３Ｈ、Ｕ－１０ＨＡ、Ｕ－１５ＨＡ、ダイセル・オルネクス社製のＥＢＥＣＲＹＬ１２９０、ＫＲＭ８４５２、大阪有機化学工業社製のビスコート＃１０００ＬＴ（デンドリマー構造、平均アクリロイル基数１４）、Ｍｉｗｏｎ Ｓｐｅｃｉａｌｔｙ Ｃｈｅｍｉｃａｌ社製のＭｉｒａｍｅｒ ＳＰ－１１０６（デンドリマー構造、平均アクリロイル基数１８），ＳＰ－１１０８（デンドリマー構造、平均アクリロイル基数１３）、ＳＡＲＴＯＭＥＲ社製のＣＮ２３０１（ハイパーブランチ構造、平均アクリロイル基数９），ＣＮ２３０２（ハイパーブランチ構造、平均アクリロイル基数１６），ＣＮ２３０３（ハイパーブランチ構造、平均アクリロイル基数６），ＣＮ２３０４（ハイパーブランチ構造、平均アクリロイル基数１８）、Ｅｔｅｒｎａｌ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ社製のＥｔｅｒｃｕｒｅ６３６１－１００（ハイパーブランチ構造、平均アクリロイル基数８），６３６２－１００（ハイパーブランチ構造、平均アクリロイル基数１２），６３６３（ハイパーブランチ構造、平均アクリロイル基数１６），ＤＲ－Ｅ５２２（ハイパーブランチ構造、平均アクリロイル基数１５）等が挙げられる。
等が挙げられる。

【0085】

３官能以上の（メタ）アクリレート（Ｂ３）は、密着性、低温ポストベークでの耐性の観点から、水酸基を有する化合物が好ましく、水酸基及びアミン構造を有する化合物がより好ましい。なお、前記アミン構造は、カルボニル基が窒素原子と直接結合しているアミド構造、イミド構造及びウレタン構造は含まれない。

【0086】

前記水酸基を有する化合物は、例えば、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールＥＯ変性ペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールＰＯ変性ペンタ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらの中でも、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレートが好ましい。

【0087】

前記水酸基及びアミン構造を有する化合物は、適宜合成したものを使用してもよいし、市販品を使用してもよい。例えば、（メタ）アクリレート化合物（Ｘ）とアミン化合物（Ｙ）とのマイケル付加反応生成物が挙げられる。

【0088】

（メタ）アクリレート化合物（Ｘ）は、例えば、グリセリントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジグリセリントリ（メタ）アクリレート、ジグリセリンテトラ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンアルキレンオキサイド変性トリ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンアルキレンオキサイド変性トリ及びテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールアルキレンオキサイド変性トリ及びテトラ（メタ）アクリレート、ジグリセリンアルキレンオキサイド変性トリ及びテトラ（メタ）アクリレート、ジペンエリスリトールアルキレンオキサイド変性テトラ、ペンタ及びヘキサ（メタ）アクリレート等が挙げられる。
前記アルキレンオキサイド変性における、アルキレンオキサイド単位は、エチレンオキサイド、プロピレンオキサイド及びブチレンオキサイド等が挙げられる。
また、（メタ）アクリレート化合物（Ｘ）としては、酸性基を有する（メタ）アクリレート化合物も挙げられる。

【0089】

（メタ）アクリレート化合物（Ｘ）は、単独又は２種類以上を併用して使用できる。

【0090】

アミン化合物（Ｙ）は、例えば、ｎ－プロピルアミン、ｎ－ブチルアミン、ｎ－ヘキシルアミン、ベンジルアミン、アミノカプロン酸、モノエタノールアミン、２－（２－アミノエトキシ）エタノール、ｏ－アミノフェノール、ｍ－アミノフェノール、ｐ－アミノフェノール等の１級アミン；
ジメチルアミン、ジエチルアミン、ジプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、ジブチルアミン、シクロヘキシルアミン、モルフォリン、ピペリジン、１－メチルピペラジン、プロリン、Ｎ－メリルエタノールアミン、Ｎ－アセチルエタノールアミン、ジエタノールアミン、３－アニリンフェノール、４－アニリンフェノール等の２級アミン等が挙げられる。

【0091】

アミン化合物（Ｙ）は、単独又は２種類以上を併用して使用できる。

【0092】

（メタ）アクリレート化合物（Ｘ）とアミン化合物（Ｙ）とのマイケル付加反応生成物の製造方法は、特に制限はなく、公知の方法を使用できる。例えば、国際公開第２００６／０７５７５４号、特表２００８－５４５８５９号公報、特開２０１７－０６６３４７号公報等に記載の方法が挙げられる。

【0093】

前記水酸基及びアミン構造を有する化合物は、（メタ）アクリレート化合物（Ｘ）やアミン化合物（Ｙ）に、水酸基を有する化合物を使用することで得られる。

【0094】

前記水酸基及びアミン構造を有する化合物の水酸基価は、１～５００ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましく、１０～２５０ｍｇＫＯＨ／ｇであることがより好ましい。

【0095】

前記水酸基及びアミン構造を有する化合物の市販品は、例えば、東亞合成社製のアロニックスＭＴ－３０４１が挙げられる。

【0096】

３官能以上の（メタ）アクリレート（Ｂ３）は、単独又は２種類以上を併用して使用できる。

【0097】

３官能以上の（メタ）アクリレート（Ｂ３）の含有量は、重合性化合物（Ｂ）１００質量％中に、５０質量％未満が好ましく、２質量％以上４０質量％未満がより好ましく、５質量％以上３０質量％未満が特に好ましい。

【0098】

（その他重合性化合物（Ｂ４））
本発明の感光性組成物は、重合性化合物（Ｂ）として水酸基又は酸性基を有する単官能（メタ）アクリレート（Ｂ１）、２官能（メタ）アクリレート（Ｂ２）、及び３官能以上の（メタ）アクリレート（Ｂ３）以外の重合性化合物（Ｂ４）（以下、単にその他重合性化合物（Ｂ４）ともいう）を含むことができる。

【0099】

その他重合性化合物（Ｂ４）は、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、フェノールＥＯ変性（メタ）アクリレート、２－エチルヘキシルＥＯ変性（メタ）アクリレート、Ｎ－アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタルイミド、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、スチレン、酢酸ビニル、エチレングリコールジビニルエーテル、ペンタエリスリトールトリビニルエーテル、（メタ）アクリルアミド、Ｎ－ビニルホルムアミド、アクリロニトリル等が挙げられる。

【0100】

その他重合性化合物（Ｂ４）の市販品は、例えば、東亞合成社製のアロニックスＭ－１０１Ａ，Ｍ－１０２，Ｍ－１１１，Ｍ－１１３，Ｍ－１２０，Ｍ－１４０、第一工業製薬社製のニューフロンティアＰＨＥ－２Ｄ，ＮＰ－１，ＮＰ－４，ＯＰＰＥ、大阪有機化学工業社製のビスコート＃１５０，１５０Ｄ，１５５，１９６，２００、ＭＥＤＯＬ－１０，ＯＸＥ－１０，ＯＸＥ－３０等が挙げられる。

【0101】

その他重合性化合物（Ｂ４）は、単独又は２種類以上を併用して使用できる。

【0102】

重合性化合物（Ｂ）の含有量は、線幅安定性、密着性、低温ポストベークでのパターン形状、及び耐性の観点から、感光性組成物の不揮発分１００質量％中、５～３０質量％が好ましく、１０～２５質量％がより好ましい。

【0103】

［重合開始剤（Ｃ）］
本発明の感光性組成物は、重合開始剤（Ｃ）を含む。

【0104】

重合開始剤（Ｃ）は、特に制限がなく、公知の化合物を用いることができる。例えば、光又は熱の作用によってラジカルを発生させて、ラジカル重合反応を開始又は促進させる化合物が挙げられる。
光によってラジカルを発生させる重合開始剤（以下、単に光重合開始剤ともいう）は、紫外線から可視領域の光線に対してラジカルを発生させる化合物が好ましい。
熱によってラジカルを発生させる重合開始剤（以下、単に熱重合開始剤ともいう）は、熱及び光の作用によってラジカルを発生させる化合物であってもよい。

【0105】

光重合開始剤は、例えば、４－フェノキシジクロロアセトフェノン、４－ｔ－ブチル－ジクロロアセトフェノン、ジエトキシアセトフェノン、１－（４－イソプロピルフェニル）－２－ヒドロキシ－２－メチルプロパン－１－オン、１－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２－メチル－１－［４－（メチルチオ）フェニル］－２－モルフォリノプロパン－１－オン、２－（ジメチルアミノ）－１－［４－（４－モルホリノ）フェニル］－２－（フェニルメチル）－１－ブタノン、２－（ジメチルアミノ）－２－［（４－メチルフェニル）メチル］－１－［４－（４－モルホリニル）フェニル］－１－ブタノン等のアセトフェノン系化合物；
２，４，６－トリクロロ－ｓ－トリアジン、２－フェニル－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－（ｐ－メトキシフェニル）－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－（ｐ－トリル）－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－ピペロニル－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２，４－ビス（トリクロロメチル）－６－スチリル－ｓ－トリアジン、２－（ナフト－１－イル）－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－（４－メトキシ－ナフト－１－イル）－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２，４－トリクロロメチル－（ピペロニル）－６－トリアジン、２，４－トリクロロメチル－（４’－メトキシスチリル）－６－トリアジン等のトリアジン系化合物；
１，２－オクタンジオン，１－〔４－（フェニルチオ）フェニル－，２－（Ｏ－ベンゾイルオキシム）〕、エタノーン，１－〔９－エチル－６－（２－メチルベンゾイル）－９Ｈ－カルバゾール３－イル〕－，１－（Ｏ－アセチルオキシム）等のオキシム系化合物；
ビス（２，４，６－トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド、ジフェニル－２，４，６－トリメチルベンゾイルホスフィンオキサイド等のアシルホスフィン系化合物；
９，１０－フェナンスレンキノン、カンファーキノン、エチルアントラキノン等のキノン系化合物；ボレート系化合物；カルバゾール系化合物等が挙げられる。

【0106】

市販品では、アセトフェノン系化合物として、ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ社製のＯｍｎｉｒａｄ９０７，３６９Ｅ，３７９ＥＧ，１２７，１８４，１１７３，２９５９、アシルホスフィン系化合物として、ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ社製のＯｍｎｉｒａｄ８１９，ＴＰＯ、オキシム系化合物として、ＢＡＳＦジャパン社製のＩＲＧＡＣＵＲＥ ＯＸＥ－０１，０２，０３，０４，０５、ＡＤＥＫＡ社製のアデカアークルズＮ－１９１９，ＮＣＩ－７３０，８３１Ｅ，９３０、常州強力新材料社製のＴＲＯＮＬＹ ＴＲ－ＰＢＧ－３０１，３０４，３０５，３０９，３１４，３４５，３５８，３８０，３６５，６１０，３０５４，３０５７、ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ社製のＯｍｎｉｒａｄ１３１２，１３１４，１３１６，サムヤンコーポレーション社製のＳＰＩ－０２，０３，０４，０５，０６，０７、ダイトーケミックス社製のＤＦＩ－０２０，３０６，ＥＯＸ－０１等が挙げられる。また、特開２００７－２１０９９１号公報、特開２００９－１７９６１９号公報、特開２０１０－０３７２２３号公報、特開２０１０－２１５５７５号公報、特開２０１１－０２０９９８号公報、国際公開第２０１５／０３６９１０号、特表２０１９－５０７１０８号公報、特表２０１９－５２８３３１号公報、国際公開第２０２１／１７５８５５号等に記載の化合物も挙げられる。

【0107】

重合開始剤（Ｃ）は、密着性、低温ポストベークでの耐性の観点から、オキシム系化合物を含むことが好ましい。

【0108】

以下、オキシム系化合物の具体例を示す。なお、本発明はこれらに限定されない。

【0109】

【化4】

【0110】

【化5】

【0111】

【化6】

【0112】

オキシム系化合物の中でも、密着性、低温ポストベークでの耐性の観点から、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数が５．０×１０^３Ｌ／ｍｏｌ・ｃｍ以上の化合物が好ましく、１．０×１０^４Ｌ／ｍｏｌ・ｃｍ以上の化合物がより好ましい。

【0113】

更に、オキシム系化合物の中でも、オキシム基を２つ有する化合物がより好ましい。

【0114】

熱重合開始剤は、例えば、ベンゾピナコール、１，２－ジメトキシ－１，１，２，２－テトラフェニルエタン、１，２－ジメトキシ－１，１，２，２－テトラフェニルエタン、１，２－ジフェノキシ－１，１，２，２－テトラフェニルエタン、１，２－ジメトキシ－１，１，２，２－テトラ（４－メチルフェニル）エタン、１，２－ジフェノキシ－１，１，２，２－テトラ（４－メトキシフェニル）エタン、１，２－ビス（トリメチルシロキシ）－１，１，２，２－テトラフェニルエタン、１，２－ビス（トリエチルシロキシ）－１，１，２，２－テトラフェニルエタン、１，２－ビス（ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシロキシ）－１，１，２，２－テトラフェニルエタン、１－ヒドロキシ－２－トリメチルシロキシ－１，１，２，２－テトラフェニルエタン、１－ヒドロキシ－２－トリエチルシロキシ－１，１，２，２－テトラフェニルエタン、１－ヒドロキシ－２－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシロキシ－１，１，２，２－テトラフェニルエタン等のピナコール系化合物；
２，２’－アゾビス（４－メトキシ２，４－ジメチルバレロニトリル）、２，２’－アゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）、ジメチル－２，２’－アゾビス（２－メチルプロピオネート）、２，２’－アゾビス（２－メチルブチロニトリル）、１，１’－アゾビス（シクロヘキサン－１－カルボニトリル）、２，２’－アゾビス［Ｎ－（２－プロペニル）２－メチルプロピオンアミド］、１－［（１－シアノ－１－メチルエチル）アゾ］ホルムアミド、２，２’－アゾビス（Ｎ－ブチル－２－メチルプロピオンアミド）、２，２’－アゾビス（Ｎ－シクロヘキシル－２－メチルプロピオンアミド）等のアゾ系化合物；
メチルエチルケトンパーオキサイド、シクロヘキサノンパーオキサイド、３，３，５－トリメチルシクロヘキサノンパーオキサイド、メチルシクロヘキサノンパーオキサイド、アセチルアセトンパーオキサイド、１，１－ビス（ｔｅｒｔ－ブチルパーオキシ）－３，３，５－トリメチルシクロヘキサン、１，１－ビス（ｔｅｒｔ－ブチルパーオキシ）シクロヘキサン、２，２－ビス（ｔｅｒｔ－ブチルパーオキシ）ブタン、過酸化コハク酸、過酸化ベンゾイル等の有機過酸化物等が挙げられる。

【0115】

重合開始剤（Ｃ）は、単独又は２種類以上を併用して使用できる。

【0116】

重合開始剤（Ｃ）の含有量は、感光性組成物の不揮発分１００質量％中、０．５～２０質量％が好ましく、１～１０質量％がより好ましい。

【0117】

［シランカップリング剤（Ｄ）］
本発明の感光性組成物は、密着性、低温ポストベークでの耐性の観点から、シランカップリング剤（Ｄ）を含むことが好ましい。

【0118】

本発明において、シランカップリング剤（Ｄ）は、加水分解性基及びそれ以外の官能基を有する化合物である。前記加水分解性基とは、ケイ素原子に直結し、加水分解反応及び縮合反応の少なくともいずれかの反応によってシロキサン結合を生じる基である。前記加水分解性基は、例えば、ハロゲン原子、アルコキシ基、アシルオキシ基等が挙げられる。これらの中でも、アルコキシ基が好ましい。アルコキシ基は、密着性の観点から、メトキシ基、エトキシ基が好ましい。
また、前記それ以外の官能基は、例えば、エポキシ基、アミノ基、ビニル基、（メタ）アクリロイル基、イソシアネート基、イソシアヌレート基、メルカプト基、オキセタニル基、スチリル基、ウレイド基等が挙げられる。これらの中でも、低温ポストベークでの耐性の観点から、エポキシ基、（メタ）アクリロイル基、メルカプト基が好ましく、（メタ）アクリロイル基がより好ましい。

【0119】

シランカップリング剤（Ｄ）は、例えば、２－（３，４－エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３－グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、３－グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３－グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、Ｎ－２－（アミノエチル）－３－アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ－２－（アミノエチル）－３－アミノプロピルトリメトキシシラン、３－アミノプロピルトリメトキシシラン、３－アミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ－フェニル－３－アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ－（ビニルベンジル）－２－アミノエチル－３－アミノプロピルトリメトキシシランの塩酸塩、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、３－メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、３－メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３－メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、３－メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、３－アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３－イソシアネートプロピルトリエトキシシラン、トリス－（トリメトキシシリルプロピル）イソシアヌレート、３－メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、３－メルカプトプロピルトリメトキシシラン、ｐ－スチリルトリメトキシシラン、３－ウレイドプロピルトリアルコキシシラン等が挙げられる。

【0120】

シランカップリング剤（Ｄ）の市販品は、例えば、信越シリコーン社製のＫＢＭ－３０２、ＫＢＭ－４０２、ＫＢＭ－４０３、ＫＢＥ－４０２、ＫＢＥ－４０３、ＫＢＭ－４８０３、ＫＢＭ－６０２、ＫＢＭ－６０３、ＫＢＭ－９０３、ＫＢＥ－９１０３Ｐ、ＫＢＭ－５７３、ＫＢＭ－６８０３、ＫＢＭ－１００３、ＫＢＥ－１００３、ＫＢＭ－５０２、ＫＢＭ－５０３、ＫＢＥ－５０２、ＫＢＥ－５０３、ＫＢＭ－５８０３、Ｘ－１２－１０４８、Ｘ－１２－１０５０、ＫＢＥ－９００７Ｎ、ＫＢＭ－９６５９、ＫＢＭ－８０２、ＫＢＭ－８０３、ＫＢＭ－１０４３、ＫＢＥ－５８５Ａ等が挙げられる。

【0121】

また、シランカップリング剤（Ｄ）は、ポリマータイプであってもよい。ポリマータイプは、ポリシロキサンタイプ、有機ポリマータイプが挙げられる。

【0122】

ポリシロキサンタイプは、主鎖にポリシロキサン骨格を有するポリマーに、前記加水分解性基及び前記それ以外の官能基が結合したシランカップリング剤である。ポリシロキサンタイプの市販品は、信越シリコーン社製のＫＲ－５１３、ＫＲ－５１６、ＫＲ－５１７、Ｘ－４１－１８０５、Ｘ－４１－１８１０等が挙げられる。

【0123】

有機ポリマータイプは、主鎖が有機構造である有機ポリマーに、前記加水分解性基及び前記それ以外の官能基が結合したシランカップリング剤である。有機ポリマータイプの市販品は、信越シリコーン社製のＸ－１２－９８１５、Ｘ－１２－９８４５、Ｘ－１２－１１５４、Ｘ－１２－９７２Ｆ、Ｘ－１２－１１５９Ｌ等が挙げられる。

【0124】

シランカップリング剤（Ｄ）は、密着性、低温ポストベークでの耐性の観点から、前記加水分解性基としてアルコキシ基、前記それ以外の官能基として（メタ）アクリロイル基を有し、かつ、分子内にウレタン結合を有する化合物が好ましい。ウレタン結合を有することで、ウレタン結合部の分子間水素結合による物理的架橋構造が形成される。このウレタン結合部の分子間水素結合のもつ分子凝集エネルギーは、エーテル結合など他の有機構造がもつ凝集エネルギーに比べて大きい。また、ウレタン結合間の相互作用は、化学結合よりは結合力が弱い。そのため、膜は、低温ポストベークでのパターン形状の悪化を抑制しながらも、ウレタン結合間の相互作用により強固になり、密着性、低温ポストベークでの耐性が向上すると推測される。

【0125】

前記加水分解性基としてアルコキシ基、前記それ以外の官能基として（メタ）アクリロイル基を有し、かつ、分子内にウレタン結合を有する化合物は、例えば、イソシアネート基を有するシランカップリング剤と水酸基を有する（メタ）アクリレートとのウレタン反応により製造することができる。

【0126】

イソシアネート基を有するシランカップリング剤は、例えば、イソシアネートプロピルトリエトキシシラン、イソシアネートプロピルメチルジエトキシシラン、イソシアネートプロピルジメチルエトキシシラン、イソシアネートプロピルトリメトキシシラン、イソシアネートプロピルメチルジメトキシシラン、イソシアネートプロピルジメチルメトキシシラン、イソシアネートプロピルトリプロポキシシラン、イソシアネートプロピルメチルジプロポキシシラン、イソシアネートプロピルジメチルプロポキシシラン、イソシアネートプロピルトリブトキシシラン、イソシアネートプロピルメチルジブトキシシラン、イソシアネートプロピルジメチルブトキシシラン等が挙げられる。

【0127】

水酸基を有する（メタ）アクリレートは、例えば、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、３－ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、４－ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、２，３－ジヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、グリセロールモノ（メタ）アクリレート、シクロヘキサンジメタノールモノ（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシ－３－フェノキシプロピルアクリレート、２－アクリロイロキシエチル－２－ヒドロキシエチルフタル酸、４－ヒドロキシフェニル（メタ）アクリレート、イソシアヌル酸ＥＯ又はＰＯ変性（メタ）アクリレート、イソシアヌル酸ＥＯ又はＰＯ変性ジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ポリペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールＥＯ又はＰＯ変性ペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールカプロラクトン変性ペンタ（メタ）アクリレート等が挙げられる。

【0128】

ウレタン反応を行う反応温度は、３０～１５０℃が好ましく、５０～１００℃がより好ましい。

【0129】

ウレタン反応を行うにあたり、必要に応じて溶媒、反応触媒を使用できる。溶媒は、炭化水素系溶剤、芳香族系溶剤が挙げられる。反応触媒は、３級アミン、スズ化合物等のウレタン化触媒が挙げられる。

【0130】

前記加水分解性基としてアルコキシ基、前記それ以外の官能基として（メタ）アクリロイル基を有し、かつ、分子内にウレタン結合を有する化合物は、下記一般式（２）で表される化合物が好ましい。

【0131】

一般式（２）

【化7】

【0132】

一般式（２）中、３つのＲ_１は、それぞれ独立して水素原子又は炭素数１～４のアルキル基を表し、Ｒ_２は炭素数１～８のアルキレン基を表し、Ｘは下記一般式（Ｘ－１）～（Ｘ－４）で表される基であり、ｎは１～１０の整数を表す。

【0133】

【化8】

【0134】

一般式（Ｘ－１）中、Ｒ_３は炭素数１～８のアルキレン基を表す。一般式（Ｘ－１）～（Ｘ－４）中、Ｒ_４は水素原子又はメチル基を表す。＊は酸素原子との結合手である。

【0135】

シランカップリング剤（Ｄ）は、単独又は２種類以上を併用して使用できる。

【0136】

シランカップリング剤（Ｄ）の含有量は、密着性、低温ポストベークでの耐性の観点から、感光性組成物の不揮発分１００質量％中、０．５～２０質量％が好ましく、１～１５質量％がより好ましい。

【0137】

［顔料（Ｅ）］
本発明の感光性組成物は、顔料（Ｅ）を含むことが好ましい。顔料（Ｅ）を含むことで光学フィルタの各波長領域の透過率を制御することができる。

【0138】

顔料は、特に限定されるものではなく、有彩色顔料、白色顔料、黒色顔料、及び近赤外線吸収顔料等が挙げられる。本発明において、顔料は、２５℃のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１００ｇに対する溶解度が、２ｇ未満であることが好ましく、１ｇ未満であることがより好ましく、０．５ｇ以下であることが特に好ましい。

【0139】

本発明の感光性組成物をカラーフィルタに用いる場合には、顔料としては有彩色顔料が好ましい。有彩色顔料は、単独又は２種類以上を併用して使用できる。本発明の感光性組成物を近赤外線カットフィルタに用いる場合には、顔料としては近赤外線吸収顔料が好ましい。近赤外線吸収顔料は、単独又は２種類以上を併用して使用できる。近赤外線透過フィルタに用いる場合には、顔料としては黒色顔料や有彩色顔料を２種以上併用して黒色として用いることが好ましい。更に、近赤外線吸収顔料を併用してもよい。

【0140】

（有彩色顔料）
有彩色顔料は、特に限定されものではなく、公知の有彩色顔料を用いることができる。例えば、カラーインデックスにおいてピグメントに分類されている化合物を挙げることができる。

【0141】

有彩色顔料は、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１，２，３，４，５，６，７，８，９，１２，１４，１５，１６，１７，２１，２２，２３，３１，３２，３７，３８，４１，４７，４８，４８：１，４８：２，４８：３，４８：４，４９，４９：１，４９：２，５０：１，５２：１，５２：２，５３，５３：１，５３：２，５３：３，５７，５７：１，５７：２，５８：４，６０，６３，６３：１，６３：２，６４，６４：１，６８，６９，８１，８１：１，８１：２，８１：３，８１：４，８３，８８，９０：１，１０１，１０１：１，１０４，１０８，１０８：１，１０９，１１２，１１３，１１４，１２２，１２３，１４４，１４６，１４７，１４９，１５１，１６６，１６８，１６９，１７０，１７２，１７３，１７４，１７５，１７６，１７７，１７８，１７９，１８１，１８４，１８５，１８７，１８８，１９０，１９３，１９４，２００，２０２，２０６，２０７，２０８，２０９，２１０，２１４，２１６，２２０，２２１，２２４，２３０，２３１，２３２，２３３，２３５，２３６，２３７，２３８，２３９，２４２，２４３，２４５，２４７，２４９，２５０，２５１，２５３，２５４，２５５，２５６，２５７，２５８，２５９，２６０，２６２，２６３，２６４，２６５，２６６，２６７，２６８，２６９，２７０，２７１，２７２，２７３，２７４，２７５，２７６，２７７，２７８，２７９，２８０，２８１，２８２，２８３，２８４，２８５，２８６，２８７，２９１，２９５，２９６、特開２０１４－１３４７１２号公報に記載された顔料、特許第６３６８８４４号公報に記載された顔料等の赤色顔料が挙げられる。

【0142】

Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３６，３８，４３，６４，７１，７３等の橙色顔料が挙げられる。

【0143】

Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１，２，３，４，５，６，１０，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８，２４，３１，３２，３４，３５，３５：１，３６，３６：１，３７，３７：１，４０，４２，４３，５３，５５，６０，６１，６２，６３，６５，７３，７４，７７，８１，８３，９３，９４，９５，９７，９８，１００，１０１，１０４，１０６，１０８，１０９，１１０，１１３，１１４，１１５，１１６，１１７，１１８，１１９，１２０，１２３，１２６，１２７，１２８，１２９，１３８，１３９，１４７，１５０，１５１，１５２、１５３，１５４，１５５，１５６，１６１，１６２，１６４，１６６，１６７，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７３，１７４，１７５，１７６，１７７，１７９，１８０，１８１，１８２，１８５，１８７，１８８，１９２，１９３，１９４，１９６，１９８，１９９，２１３，２１４，２３１，２３３、特開２０１２－２２６１１０号公報に記載された黄色顔料が挙げられる。

【0144】

また、黄色顔料として、下記一般式（３）で表されるアゾ化合物及びそれの互変異性構造のアゾ化合物のモノ、ジ、トリ及びテトラアニオンからなる群から選ばれる１種以上のアニオンと、Ｃｄ，Ｃｏ，Ａｌ，Ｃｒ，Ｓｎ，Ｐｂ，Ｚｎ，Ｆｅ，Ｎｉ，Ｃｕ及びＭｎから選ばれる少なくとも２種の金属イオンと、下記一般式（４）で表される化合物を含む金属アゾ顔料が挙げられる。

【0145】

一般式（３）

【化9】

【0146】

一般式（３）中、２つのＲ_１は、それぞれ独立して－ＯＨ、－ＮＨ_２、－ＮＨ－ＣＮ、アシルアミノ基、アルキルアミノ基、又はアリールアミノ基を表し、２つのＲ_２は、それぞれ独立して－ＯＨ、又は－ＮＨ_２を表す。

【0147】

一般式（４）

【化10】

【0148】

一般式（４）中、３つのＲ_３は、それぞれ独立して水素原子、又はアルキル基を表す。

【0149】

前記金属アゾ顔料は、例えば、特開２０１４－１２８３８号公報、特開２０１７－１７１９１２号公報、特開２０１７－１７１９１３号公報、特開２０１７－１７１９１４号公報、特開２０１７－１７１９１５号公報、特開２０２２－６１４９４号公報等に記載された金属アゾ顔料が挙げられる。

【0150】

Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン１，２，４，７，８，１０，１３，１４，１５，１７，１８，１９，２６，３６，３７，４５，４８，５０，５１，５４，５５，５８，５９，６２，６３，６４，６５，６６等の緑色顔料が挙げられる。

【0151】

Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１，１：２，９，１４，１５，１５：１，１５：２，１５：３，１５：４，１５：６，１６，１７，１９，２５，２７，２８，２９，３３，３５，３６，５６，５６：１，６０，６１，６１：１，６２，６３，６６，６７，６８，７１，７２，７３，７４，７５，７６，７８，７９，８０，８７，８８等の青色顔料が挙げられる。

【0152】

Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１，１：１，２，２：２，３，３：１，３：３，５，５：１，１４，１５，１６，１９，２３，２５，２７，２９，３１，３２，３７，３９，４２，４４，４７，４９，５０等の紫色顔料が挙げられる。

【0153】

有彩色顔料は、単独又は２種類以上を併用して使用できる。例えば、黒色の場合、後述する黒色顔料を使用する以外に、赤色顔料、黄色顔料、緑色顔料、青色顔料、及び紫色顔料からなる群から選ばれる２種以上の有彩色顔料を用いて（組み合わせて）得ることができる。前記組み合わせは、例えば、以下の態様が挙げられる。
（１）黄色顔料、及び紫色顔料を含有する。
（２）赤色顔料、黄色顔料、及び紫色顔料を含有する。
（３）赤色顔料、黄色顔料、及び青色顔料を含有する。
（４）赤色顔料、黄色顔料、及び緑色顔料を含有する。
（５）黄色顔料、青色顔料、及び紫色顔料を含有する。
（６）赤色顔料、黄色顔料、青色顔料、及び紫色顔料を含有する。
（７）黄色顔料、青色顔料、緑色顔料、及び紫色顔料を含有する。

【0154】

上記（１）の態様は、例えば、黄色顔料はＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９，１８５，２３１，２３３から選ばれる１種以上と、紫色顔料はＣ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３とを含有する態様が挙げられる。
上記（２）の態様は、例えば、赤色顔料はＣ．Ｉ．ピグメントレッド１７７，２５４，２９１，２９５，２９６から選ばれる１種以上と、黄色顔料はＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９，１８５，２３１，２３３から選ばれる１種以上と、紫色顔料はＣ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３とを含有する態様が挙げられる。
上記（３）の態様は、例えば、赤色顔料はＣ．Ｉ．ピグメントレッド１７７，２５４，２９１，２９５，２９６から選ばれる１種以上と、黄色顔料はＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９，１８５，２３１，２３３から選ばれる１種以上と、青色顔料はＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３，１５：４，１５：６から選ばれる１種以上とを含有する態様が挙げられる。
上記（４）の態様は、例えば、赤色顔料はＣ．Ｉ．ピグメントレッド１７７，２５４，２９１，２９５，２９６から選ばれる１種以上と、黄色顔料はＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９，１８５，２３１，２３３から選ばれる１種以上と、緑色顔料はＣ．Ｉ．ピグメントグリーン７，３６，５８，５９，６３から選ばれる１種以上とを含有する態様が挙げられる。
上記（５）の態様は、例えば、黄色顔料はＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９，１８５，２３１，２３３から選ばれる１種以上と、青色顔料はＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３，１５：４，１５：６から選ばれる１種以上と、紫色顔料はＣ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３とを含有する態様が挙げられる。
上記（６）の態様は、例えば、赤色顔料はＣ．Ｉ．ピグメントレッド１７７，２５４，２９１，２９５，２９６から選ばれる１種以上と、黄色顔料はＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９，１８５，２３１，２３３から選ばれる１種以上と、青色顔料はＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３，１５：４，１５：６から選ばれる１種以上と、紫色顔料はＣ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３とを含有する態様が挙げられる。
上記（７）の態様は、例えば、黄色顔料はＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９，１８５，２３１，２３３から選ばれる１種以上と、青色顔料はＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３，１５：４，１５：６から選ばれる１種以上と、緑色顔料はＣ．Ｉ．ピグメントグリーン７，３６，５８，５９，６３から選ばれる１種以上と紫色顔料はＣ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３とを含有する態様が挙げられる。

【0155】

表１に、各態様の各有彩色顔料の好ましい質量比（質量％）を示す。

【0156】

【表1】

【0157】

これらの上記（１）～（７）の有彩色顔料の組み合わせは、本発明の感光性組成物を近赤外線透過フィルタに用いる場合に好ましい。

【0158】

（白色顔料）
白色顔料は、特に限定されものではなく、公知の白色顔料を用いることができる。例えば、酸化チタン、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム、酸化アンチモン、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、シリカ、酸化亜鉛、マイカ、タルク、カオリン、クレー、チタン酸ストロンチウム、タングステン酸バリウム、リン酸亜鉛、水酸化アルミニウム、ケイ酸アルミニウム、中空樹脂粒子、特開２０１１－０７５７８６号公報、国際公開第２０１３／０６１６２１号、特開２０１５－０４７５２０号公報、特開２０１５－１６４８８１号公報に記載の化合物等が挙げられる。
また、カラーインデックスにおいてピグメントに分類されている化合物として、Ｃ．Ｉ．ピグメントホワイト１，２，３，４，５，６，６：１，７，８，１０，１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８，１８：１，１９，２０，２１，２２，２３，２４，２５，２６，２７，２８，３０，３２，３３等が挙げられる。

【0159】

（黒色顔料）
黒色顔料は、特に限定されものではなく、公知の黒色顔料を用いることができる。例えば、カーボンブラック、チタンブラック、アセチレンブラック、ランプブラック、黒鉛、アニリンブラック、シアニンブラック、ペリレンブラック、特開平１－１７０６０１号公報、特開平２－３４６６４号公報、特開２００７－３０２８３６号公報、特表２０１０－５３４７２６号公報、特表２０１２－５１５２３３号公報に記載に化合物等が挙げられる。
また、カラーインデックスにおいてピグメントに分類されている化合物として、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１，６，７，１２，２０，３１等が挙げられる。

【0160】

（近赤外線吸収顔料）
近赤外線吸収顔料は、波長７００～２，０００ｎｍの範囲に極大吸収を有する化合物であり、有機顔料（近赤外線吸収有機顔料ともいう）、無機顔料（近赤外線吸収無機顔料ともいう）のいずれであってもよい。また、近赤外線吸収有機顔料と近赤外線吸収無機顔料を併用してもよい。

【0161】

近赤外線吸収有機顔料は、特に限定されものではなく、公知の近赤外線吸収有機顔料を用いることができる。例えば、シアニン化合物、フタロシアニン化合物、ナフタロシアニン化合物、インジゴ化合物、インモニウム化合物、アントラキノン化合物、ピロロピロール化合物、スクアリリウム化合物、クロコニウム化合物、ポルフィリン化合物等が挙げられる。これらの中でも、近赤外線吸収性、耐熱性の観点から、ナフタロシアニン化合物、ピロロピロール化合物、スクアリリウム化合物、インジゴ化合物が好ましく、ナフタロシアニン化合物、スクアリリウム化合物、インジゴ化合物がより好ましい。

【0162】

シアニン化合物は、国際公開第２００６／００６５７３号、国際公開第２０１０／０７３８５７号、特開２０１３－２４１５９８号公報、特開２０１６－１１３５０１号公報、特開２０１６－１１３５０４号公報等；フタロシアニン化合物は、特開平４－２３８６８号公報、特開平０６－１９２５８４号公報、特開２０００－６３６９１号公報、国際公開第２０１４／２０８５１４号、特開２０２２－０２２０７０号公報、特開２０２２－１１０２６２号公報等；ナフタロシアニン化合物は、特開平１１－１５２４１４号公報、特開２０００－８６９１９号公報、特開２００９－２９９５５号公報、国際公開第２０１８／１８６４９０号、特開２０２２－１２３６８９、特開２０２２－０９１０９９号公報等；インジゴ化合物は、特開２０１３－２３０４１２号公報等；インモニウム化合物は、特開２００５－３３６１５０号公報、特開２００７－１９７４９２号公報、特開２００８－８８４２６号公報等；アントラキノン化合物は、特開昭６２－９０３号公報、特開平１－１７２４５８号公報等；ピロロピロール化合物は、特開２００９－２６３６１４号公報、特開２０１０－９０３１３号公報、特開２０１１－０６８７３１号公報、国際公開第２０２１／０３９２０５号；スクアリリウム化合物は、特開２０１１－１３２３６１号公報、特開２０１６－１４２８９１号公報、国際公開第２０１７／１３５３５９号、国際公開第２０１８／２２５８３７号、特開２０１９－００１９８７号公報、国際公開第２０２０／０５４７１８号、国際公開２０２０／１８９４５９号等；クロコニウム化合物は、国際公開第２０１９／０２１７６７号；ポルフィリン化合物は、特開２００６－２０９０５９号公報、国際公開第２０２２／１３１１９１号等に記載の化合物が挙げられる。

【0163】

〔スクアリリウム化合物〕
スクアリリウム化合物は、下記一般式（５）で表される化合物が好ましい。

【0164】

一般式（５）

【化11】

【0165】

一般式（５）中、Ｒ^１～Ｒ^４は、それぞれ独立して水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、ヘテロアリール基、アラルキル基、－ＯＲ^１０、－ＣＯＲ^１１、－ＣＯＯＲ^１２、－ＯＣＯＲ^１３、－ＮＲ^１４Ｒ^１５、－ＮＨＣＯＲ^１６、－ＣＯＮＲ^１７Ｒ^１８、－ＮＨＣＯＮＲ^１９Ｒ^２０、－ＮＨＣＯＯＲ^２１、－ＳＲ^２２、－ＳＯ_２Ｒ^２３、－ＳＯ_２ＯＲ^２４、－ＮＨＳＯ_２Ｒ^２５、－ＳＯ_２ＮＲ^２６Ｒ^２７、－Ｂ（ＯＲ^２８）_２、及び－ＮＨＢＲ^２９Ｒ^３０を表す。Ｒ^１０～Ｒ^３０は、それぞれ独立にして水素原子、置換基を有してもよいアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、ヘテロアリール基、及びアラルキル基を表す。なお、－ＣＯＯＲ^１２のＲ^１２が水素の場合（すなわち、カルボキシル基）は、水素原子が解離してもよく（すなわち、カルボネート基）、塩の状態であってもよい。また、－ＳＯ_２ＯＲ^２４のＲ^２４が水素原子の場合（すなわち、スルホ基）は、水素原子が解離してもよく（すなわち、スルホネート基）、塩の状態であってもよい。また、Ｒ^１とＲ^２、Ｒ^３とＲ^４はお互いに結合して環を形成しても良い。

【0166】

「置換基」としては、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、ヘテロアリール基、アラルキル基、－ＯＲ^１００、－ＣＯＲ^１０１、－ＣＯＯＲ^１０２、－ＯＣＯＲ^１０３、－ＮＲ^１０４Ｒ^１０５、－ＮＨＣＯＲ^１０６、－ＣＯＮＲ^１０７Ｒ^１０８、－ＮＨＣＯＮＲ^１０９Ｒ^１１０、－ＮＨＣＯＯＲ^１１１、－ＳＲ^１１２、－ＳＯ_２Ｒ^１１３、－ＳＯ_２ＯＲ^１１４、－ＮＨＳＯ_２Ｒ^１１５、又は－ＳＯ_２ＮＲ^１１６Ｒ^１１７が挙げられる。
Ｒ^１００～Ｒ^１１７は、それぞれ独立にして水素原子、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、ヘテロアリール基、又はアラルキル基を表す。なお、－ＣＯＯＲ^１０２のＲ^１０２が水素の場合（すなわち、カルボキシル基）は、水素原子が解離してもよく（すなわち、カルボネート基）、塩の状態であってもよい。また、－ＳＯ_２ＯＲ^１１４のＲ^１１４が水素原子の場合（すなわち、スルホ基）は、水素原子が解離してもよく（すなわち、スルホネート基）、塩の状態であってもよい。

【0167】

ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられる。
アルキル基の炭素数は、１～２０が好ましく、１～１２がさらに好ましく、１～８が特に好ましい。アルキル基は直鎖、分岐、環状のいずれでも良い。
アルケニル基の炭素数は、２～２０が好ましく、２～１２がさらに好ましく、２～８が特に好ましい。アルケニル基は直鎖、分岐、環状のいずれでも良い。
アルキニル基の炭素数は、２～２０が好ましく、２～１２がさらに好ましく、２～８が特に好ましい。アルキニル基は直鎖、分岐、環状のいずれでも良い。
アリール基の炭素数は、６～２５が好ましく、６～１５がさらに好ましく、６～１０が特に好ましい。
アラルキル基のアルキル部分は、上記アルキル基と同様である。アラルキル基のアリール部分は、上記アリール基と同様である。アラルキル基の炭素数は、７～４０が好ましく、７～３０がさらに好ましく、７～２５が特に好ましい。
ヘテロアリール基は、単環または縮合環が好ましく、単環または縮合数が２～８の縮合環がさらに好ましく、単環または縮合数が２～４の縮合環が特に好ましい。ヘテロアリール基の環を構成するヘテロ原子の数は１～３が好ましい。ヘテロアリール基の環を構成するヘテロ原子は、窒素原子、酸素原子、または硫黄原子が好ましい。ヘテロアリール基は、５員環または６員環が好ましい。ヘテロアリール基の環を構成する炭素原子の数は３～３０が好ましく、３～１８がさらに好ましく、３～１２が特に好ましい。
アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、ヘテロアリール基、およびアラルキル基は置換基を有していても良く、無置換であっても良い。置換基としては上述した「置換基」が挙げられる。

【0168】

スクアリリウム化合物は、耐光性、及び耐熱性の観点から、下記一般式（６）で表される化合物がより好ましい。

【0169】

一般式（６）

【化12】

【0170】

一般式（６）中、Ｒ^５～Ｒ^８は、それぞれ独立して水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、ヘテロアリール基、アラルキル基、－ＯＲ^５０、－ＣＯＲ^５１、－ＣＯＯＲ^５２、－ＯＣＯＲ^５３、－ＮＲ^５４Ｒ^５５、－ＮＨＣＯＲ^５６、－ＣＯＮＲ^５７Ｒ^５８、－ＮＨＣＯＮＲ^５９Ｒ^６０、－ＮＨＣＯＯＲ^６１、－ＳＲ^６２、－ＳＯ_２Ｒ^６３、－ＳＯ_２ＯＲ^６４、－ＮＨＳＯ_２Ｒ^６５、－ＳＯ_２ＮＲ^６６Ｒ^６７、－Ｂ（ＯＲ^６８）_２、および－ＮＨＢＲ^６９Ｒ^７０を表す。Ｒ^５０～Ｒ^７０は、それぞれ独立して水素原子、置換基を有してもよいアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、ヘテロアリール基、およびアラルキル基を表す。なお、－ＣＯＯＲ^５２のＲ^５２が水素の場合（すなわち、カルボキシル基）は、水素原子が解離してもよく（すなわち、カルボネート基）、塩の状態であってもよい。また、－ＳＯ_２ＯＲ^６４のＲ^６４が水素原子の場合（すなわち、スルホ基）は、水素原子が解離してもよく（すなわち、スルホネート基）、塩の状態であってもよい。また、Ｒ^５とＲ^６、Ｒ^７とＲ^８はお互いに結合して環を形成しても良い。

【0171】

「置換基」は、上述の「置換基」と同様の意義である。

【0172】

以下、一般式（５）で表される化合物の具体例を示す。なお、本発明はこれらに限定されない。

【0173】

【化13】

【0174】

【化14】

【0175】

〔ピロロピロール化合物〕
ピロロピロール化合物は、下記一般式（７）で表される化合物が好ましい。

【0176】

一般式（７）

【化15】

【0177】

一般式（７）中、Ｒ^１ｘ及びＲ^１ｙは、それぞれ独立してアルキル基、アリール基、又はヘテロアリール基を表し、Ｒ^２及びＲ^３は、それぞれ独立して水素原子又は置換基を表し、Ｒ^２及びＲ^３は、互いに結合して環を形成してもよく、Ｒ^４は、水素原子、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、－ＢＲ^４ｘＲ^４ｙ又は金属原子を表し、Ｒ^４は、Ｒ^１ｘ、Ｒ^１ｙ及びＲ^３からなる群から選ばれる少なくとも１つと共有結合又は配位結合してもよく、Ｒ^４ｘ、Ｒ^４ｙは各々独立に、置換基を表す。一般式（７）の詳細は、特開２００９－２６３６１４号公報、特開２０１１－６８７３１号公報、国際公開第２０１５／１６６８７３号に記載されている。

【0178】

Ｒ^１ｘ及びＲ^１ｙは、それぞれ独立してアリール基、又はヘテロアリール基が好ましく、アリール基がより好ましい。また、Ｒ^１ｘ及びＲ^１ｙが表すアルキル基、アリール基が及びヘテロアリール基は、置換基を有してもよく、無置換であってもよい。置換基としては、アルコキシ基、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、－ＯＣＯＲ^１１、－ＳＯＲ^１２、－ＳＯ_２Ｒ^１３等が挙げられる。Ｒ^１１～Ｒ^１３は、各々独立に、炭化水素基又はヘテロアリール基を表す。また、置換基としては、特開２００９－２６３６１４号公報の段落００２０～００２２に記載の置換基が挙げられる。なかでも、置換基としては、アルコキシ基、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、－ＯＣＯＲ^１１、－ＳＯＲ^１２、－ＳＯ_２Ｒ^１３が好ましい。Ｒ^１ｘ及びＲ^１ｙで表される基としては、分岐アルキル基を有するアルコキシ基、又は－ＯＣＯＲ^１１で表される基を置換基として有するアリール基であることが好ましい。分岐アルキル基の炭素数は、３～３０が好ましく、３～２０がより好ましい。

【0179】

Ｒ^２及びＲ^３の少なくとも一方は電子吸引性基が好ましく、Ｒ^２は電子吸引性基を表し、Ｒ^３はヘテロアリール基を表すことがより好ましい。ヘテロアリール基は、５員環又は６員環が好ましい。また、ヘテロアリール基は、単環又は縮合環が好ましく、単環又は縮合数が２～８の縮合環が好ましく、単環又は縮合数が２～４の縮合環がより好ましい。ヘテロアリール基を構成するヘテロ原子の数は、１～３が好ましく、１～２がより好ましい。ヘテロ原子は、例えば、窒素原子、酸素原子、硫黄原子が挙げられる。ヘテロアリール基は、窒素原子を１個以上有することが好ましい。一般式（７）における２個のＲ^２同士は同一であってもよく、異なっていてもよい。また、一般式（７）における２個のＲ^３同士は同一であってもよく、異なっていてもよい。

【0180】

Ｒ^４は、水素原子、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、又は－ＢＲ^４ｘＲ^４ｙで表される基であることが好ましく、水素原子、アルキル基、アリール基、又は－ＢＲ^４ｘＲ^４ｙで表される基であることがより好ましく、－ＢＲ^４ｘＲ^４ｙで表される基であることが特に好ましい。Ｒ^４ｘ、Ｒ^４ｙが表す置換基としては、ハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、又はヘテロアリール基が好ましく、アルキル基、アリール基、又はヘテロアリール基がより好ましく、アリール基が特に好ましい。これらの基は、更に置換基を有してもよい。一般式（７）における２個のＲ^４同士は同一であってもよく、異なっていてもよい。

【0181】

以下、一般式（７）で表される化合物の具体例を示す。以下の構造式中、Ｍｅはメチル基、Ｐｈはフェニル基を表す。また、ピロロピロール化合物としては、特開２００９－２６３６１４号公報の段落００１６～００５８、特開２０１１－６８７３１号公報の段落００３７～００５２、特開２０１４－１３０３４３号公報の段落００１４～００２７、国際公開第２０１５／１６６８７３号の段落００１０～００３３に記載の化合物が挙げられる。なお、本発明はこれらに限定されない。

【0182】

【化16】

【0183】

〔ナフタロシアニン化合物〕
ナフタロシアニン化合物は、下記一般式（８）で表される化合物が好ましい。

【0184】

一般式（８）

【化17】

【0185】

一般式（８）中、Ｘ_１～Ｘ_８、Ｙ_ｌ～Ｙ_８は、それぞれ独立して水素原子、ハロゲン原子、ニトロ基、スルホン基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基、置換基を有してもよいシクロアルキル基、置換基を有してもよい複素環基、置換基を有してもよいアルコキシル基、置換基を有してもよいアリールオキシ基、置換基を有してもよいアルキルチオ基、置換基を有してもよいアリールチオ基、置換基を有してもよいフタルイミドメチル基、または、置換基を有してもよいスルファモイル基を表す。また、Ｘ_１～Ｘ_８は、それぞれ独立に、互いに結合して置換基を有してもよい芳香環を形成しても良い。ただし、Ｘ_１とＸ_２、Ｘ_３とＸ_４、Ｘ_５とＸ_６、Ｘ_７とＸ_８のいずれか１つ以上は互いに結合して置換基を有してもよい芳香環を形成する。
Ｚは、下記一般式（９）で示す単量体単位を含む重合体部位、または下記一般式（１０）で表すリン化合物部位であり、＊は、Ａｌとの結合手である。

【0186】

置換基を有してもよいアルキル基の「アルキル基」は、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ネオペンチル基、ｎ－へキシル基、ｎ－オクチル基、ステアリル基、２－エチルへキシル基等の直鎖又は分岐アルキル基が挙げられる。「置換基を有するアルキル基」は、例えば、トリクロロメチル基、トリフルオロメチル基、２，２，２－トリフルオロエチル基、２，２－ジブロモエチル基、２，２，３，３－テトラフルオロプロピル基、２－エトキシエチル基、２－ブトキシエチル基、２－ニトロプロピル基、ベンジル基、４－メチルベンジル基、４－ｔｅｒｔ－プチルベンジル基、４－メトキシベンジル基、４－ニトロベンジル基、２，４－ジクロロベンジル基等が挙げられる。

【0187】

置換基を有してもよいアリール基の「アリール基」は、例えば、フェニル基、ナフチル基、アンスリル基等が挙げられる。
「置換基を有するアリール基」は、例えば、ｐ－メチルフェニル基、ｐ－ブロモフェニル基、ｐ－ニトロフェニル基、ｐ－メトキシフェニル基、２，４－ジクロロフェニル基、ペンタフルオロフェニル基、２－アミノフェニル基、２－メチル－４－クロロフェニル基、４－ヒドロキシ－１－ナフチル基、６－メチル－２－ナフチル基、４，５，８－トリクロロ－２－ナフチル基、アントラキノニル基、２－アミノアントラキノニル基等が挙げられる。

【0188】

置換基を有してもよいシクロアルキル基の「シクロアルキル基」は、例えば、シクロペンチル基、シクロへキシル基、アダマンチル基等が挙げられる。
「置換基を有するシクロアルキル基」は、例えば、２，５－ジメチルシクロペンチル基、４－ｔｅｒｔ－ブチルシクロヘキシル基等が挙げられる。

【0189】

置換基を有してもよい複素環基の「複素環基」としては、ピリジル基、ピラジル基、ピペリジノ基、ピラニル基、モルホリノ基、アクリジニル基等が挙げられる。「置換基を有する複素環基」としては、３－メチルピリジル基、Ｎ－メチルピペリジル基、Ｎ－メチルピロリル基等が挙げられる。

【0190】

置換基を有してもよいアルコキシル基の「アルコキシル基」は、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基、ｎ－ブトキシ基、イソブトキシ基、ｔｅｒｔ－ブトキシ基、ネオペンチルオキシ基、２，３－ジメチル－３－ペンチルオキシ、ｎ－へキシルオキシ基、ｎ－オクチルオキシ基、ステアリルオキシ基、２－エチルへキシルオキシ基等の直鎖又は分岐アルコキシル基が挙げられる。
「置換基を有するアルコキシル基」は、例えば、トリクロロメトキシ基、トリフルオロメトキシ基、２，２，２－トリフルオロエトキシ基、２，２，３，３－テトラフルオロプロポキシ基、２，２－ジトリフルオロメチルプロポキシ基、２－エトキシエトキシ基、２－ブトキシエトキシ基、２－ニトロプロポキシ基、ベンジルオキシ基等が挙げられる。

【0191】

置換基を有してもよいアリールオキシ基の「アリールオキシ基」は、例えば、フェノキシ基、ナフトキシ基、アンスリルオキシ基等が挙げられ、
「置換基を有するアリールオキシ基」は、例えば、ｐ－メチルフェノキシ基、ｐ－ニトロフェノキシ基、ｐ－メトキシフェノキシ基、２，４－ジクロロフェノキシ基、ペンタフルオロフェノキシ基、２－メチル－４－クロロフェノキシ基等が挙げられる。

【0192】

置換基を有してもよいアルキルチオ基の「アルキルチオ基」は、例えば、メチルチオ基、エチルチオ基、プロピルチオ基、ブチルチオ基、ペンチルチオ基、ヘキシルチオ基、オクチルチオ基、デシルチオ基、ドデシルチオ基、オクタデシルチオ基等が挙げられる。
「置換基を有するアルキルチオ基」は、例えば、メトキシエチルチオ基、アミノエチルチオ基、ベンジルアミノエチルチオ基、メチルカルボニルアミノエチルチオ基、フェニルカルボニルアミノエチルチオ基等が挙げられる。

【0193】

置換基を有してもよいアリールチオ基の「アリールチオ基」は、例えば、フェニルチオ基、１－ナフチルチオ基、２－ナフチルチオ基、９－アンスリルチオ基等が挙げられる。
「置換基を有するアリールチオ基」は、例えば、クロロフェニルチオ基、トリフルオロメチルフェニルチオ基、シアノフェニルチオ基、ニトロフェニルチオ基、２－アミノフェニルチオ基、２－ヒドロキシフェニルチオ基等が挙げられる。

【0194】

置換基を有してもよい芳香環の置換基としては、ハロゲン原子、ニトロ基、ニトリル基、カルボキシル基、スルホン基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基、置換基を有してもよいシクロアルキル基、置換基を有してもよいアルコキシル基、置換基を有してもよいアリールオキシ基、置換基を有してもよいアルキルチオ基、置換基を有してもよいアリールチオ基が挙げられる。

【0195】

一般式（９）

【化18】

【0196】

一般式（９）中、Ｘは、－ＣＯＮＨ－Ｒ^２５－、－ＣＯＯ－Ｒ^２６－、－ＣＯＮＨ－Ｒ^２７－Ｏ－、－ＣＯＯ－Ｒ^２８－Ｏ－である。Ｒ^２５～Ｒ^２８は、炭素原子と炭素原子の間が、－Ｏ－、－ＣＯ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－ＣＯＮＨ－、または－ＮＨＣＯ－で連結されていても良いアルキレン基もしくはアリーレン基を表す。Ｒ^３１は水素または、メチル基を表す。＊は、Ａｌとの結合手である。

【0197】

アルキレン基は、例えば、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基が挙げられる。アリーレン基は、例えば、フェニレン、ナフチレン、ビフェニレン基、ターフェニレン基、アンスリレン基が挙げられる。

【0198】

一般式（９）で示す単量体単位は、例えば、（２－（メタ）アクリロイルオキシエチル）アシッドホスフェート、（２－（メタ）アクリロイルオキシプロピル）アシッドホスフェート、（２－（メタ）アクリロイルオキシイソプロピル）アシッドホスフェート等の単量体を重合することで得られる。また、これら単量体以外の単量体（以下、その他単量体ともいう）を併用し共重合することもできる。

【0199】

その他単量体は、例えば、（メタ）アクリル酸エステル類、クロトン酸エステル類、ビニルエステル類、マレイン酸ジエステル類、フマル酸ジエステル類、イタコン酸ジエステル類、（メタ）アクリルアミド類、ビニルエーテル類、ビニルアルコールのエステル類、スチレン類、（メタ）アクリロニトリル、酸基含有モノマー、熱架橋性基含有モノマー等が挙げられる。

【0200】

重合体部位の重量平均分子量は、５，０００～２０，０００が好ましく、８，０００～１５，０００が好ましい。適度な分子量を有することで光学特性と耐熱性が向上する。

【0201】

重合体部位のガラス転移温度（Ｔｇ）は、－５０～１５０℃が好ましく、２０～８０℃がより好ましい。適度なＴｇにより光学特性が向上する。

【0202】

一般式（１０）

【化19】

【0203】

一般式（１０）中、Ｒ^２９及びＲ^３０は、それぞれ独立して水酸基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基、置換基を有してもよいアルコキシル基または置換基を有してもよいアリールオキシ基を表し、Ｒ^２９とＲ^３０は、互いに結合して環を形成しても良い。＊は、Ａｌとの結合手である。

【0204】

置換基を有してもよいアルキル基の「アルキル基」、置換基を有してもよいアリール基の「アリール基」、置換基を有してもよいアルコキシル基の「アルコキシル基」、置換基を有してもよいアリールオキシ基の「アリールオキシ基」は、上記一般式（８）の説明で例示したものと同じものが挙げられる。

【0205】

一般式（１０）は、分散性や分光特性の観点から、Ｒ^２９とＲ^３０のうちの少なくとも１つが、置換基を有してもよいアリール基又は置換基を有してもよいアリールオキシ基が好ましく、Ｒ^２９とＲ^３０がいずれもアリール基、またはアリールオキシ基がより好ましく、Ｒ^２９とＲ^３０がいずれもフェニル基またはフェノキシ基がさらに好ましい。

【0206】

以下、一般式（８）で表される化合物の具体例を示す。なお、本発明はこれらに限定されない。

【0207】

【化20】

【0208】

【化21】

【0209】

一般式（８）で表される化合物は、耐光性、及び耐熱性の観点から、Ｘ_１とＸ_２、Ｘ_３とＸ_４、Ｘ_５とＸ_６、Ｘ_７とＸ_８のいずれか２つ以上が互いに結合して置換基を有してもよい芳香環を形成する化合物を含むことが好ましく、３つ以上が互いに結合して置換基を有してもよい芳香環を形成する化合物を含むことがより好ましい。

【0210】

〔インジゴ化合物〕
インジゴ化合物は、下記一般式（１１）、又は／及び一般式（１２）で表される化合物が好ましい。

【0211】

【化22】

【0212】

一般式（１１）及び一般式（１２）中、Ｘ_１～Ｘ_４０は、それぞれ独立して水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基、置換基を有していてもよいアルコキシル基、置換基を有していてもよいアリールオキシ基、置換基を有していてもよいアリールアルキル基、置換基を有していてもよいシクロアルキル基、置換基を有していてもよいアルキルチオ基、置換基を有していてもよいアリールチオ基、アミノ基、置換基を有していてもよいアルキルアミノ基、置換基を有していてもよいアリールアミノ基、シアノ基、ハロゲン原子、ニトロ基、水酸基、－ＳＯ_３Ｈ；－ＣＯＯＨ；およびこれら酸性基の１価～３価の金属塩；アルキルアンモニウム塩を表す。Ｍは、金属原子を表す。

【0213】

置換基を有してもよいアルキル基の「アルキル基」は、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ネオペンチル基、ｎ－へキシル基、ｎ－オクチル基、ステアリル基、２－エチルへキシル基等の直鎖又は分岐アルキル基が挙げられる。「置換基を有するアルキル基」は、例えば、トリクロロメチル基、トリフルオロメチル基、２，２，２－トリフルオロエチル基、２，２－ジブロモエチル基、２，２，３，３－テトラフルオロプロピル基、２－エトキシエチル基、２－ブトキシエチル基、２－ニトロプロピル基、ベンジル基、４－メチルベンジル基、４－ｔｅｒｔ－プチルベンジル基、４－メトキシベンジル基、４－ニトロベンジル基、２，４－ジクロロベンジル基等が挙げられる。

【0214】

置換基を有してもよいアリール基の「アリール基」は、例えば、フェニル基、ナフチル基、アンスリル基等が挙げられる。
「置換基を有するアリール基」は、例えば、ｐ－メチルフェニル基、ｐ－ブロモフェニル基、ｐ－ニトロフェニル基、ｐ－メトキシフェニル基、２，４－ジクロロフェニル基、ペンタフルオロフェニル基、２－アミノフェニル基、２－メチル－４－クロロフェニル基、４－ヒドロキシ－１－ナフチル基、６－メチル－２－ナフチル基、４，５，８－トリクロロ－２－ナフチル基、アントラキノニル基、２－アミノアントラキノニル基等が挙げられる。

【0215】

置換基を有してもよいアルコキシル基の「アルコキシル基」は、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基、ｎ－ブトキシ基、イソブトキシ基、ｔｅｒｔ－ブトキシ基、ネオペンチルオキシ基、２，３－ジメチル－３－ペンチルオキシ、ｎ－へキシルオキシ基、ｎ－オクチルオキシ基、ステアリルオキシ基、２－エチルへキシルオキシ基等の直鎖又は分岐アルコキシル基が挙げられる。
「置換基を有するアルコキシル基」は、例えば、トリクロロメトキシ基、トリフルオロメトキシ基、２，２，２－トリフルオロエトキシ基、２，２，３，３－テトラフルオロプロポキシ基、２，２－ジトリフルオロメチルプロポキシ基、２－エトキシエトキシ基、２－ブトキシエトキシ基、２－ニトロプロポキシ基、ベンジルオキシ基等が挙げられる。

【0216】

置換基を有してもよいアリールオキシ基の「アリールオキシ基」は、例えば、フェノキシ基、ナフトキシ基、アンスリルオキシ基等が挙げられ、「置換基を有するアリールオキシ基」は、例えば、ｐ－メチルフェノキシ基、ｐ－ニトロフェノキシ基、ｐ－メトキシフェノキシ基、２，４－ジクロロフェノキシ基、ペンタフルオロフェノキシ基、２－メチル－４－クロロフェノキシ基等が挙げられる。

【0217】

「置換基を有してもよいアリールアルキル基」は、例えば、ベンジル基、２－フェニルプロパン－イル基、スチリル基、ジフェニルメチル基、トリフェニルメチル基等が挙げられる。

【0218】

置換基を有してもよいシクロアルキル基の「シクロアルキル基」は、例えば、シクロペンチル基、シクロへキシル基、アダマンチル基等が挙げられる。「置換基を有するシクロアルキル基」は、例えば、２，５－ジメチルシクロペンチル基、４－ｔｅｒｔ－ブチルシクロヘキシル基等が挙げられる。

【0219】

置換基を有してもよいアルキルチオ基の「アルキルチオ基」は、例えば、メチルチオ基、エチルチオ基、プロピルチオ基、ブチルチオ基、ペンチルチオ基、ヘキシルチオ基、オクチルチオ基、デシルチオ基、ドデシルチオ基、オクタデシルチオ基等が挙げられる。
「置換基を有するアルキルチオ基」は、例えば、メトキシエチルチオ基、アミノエチルチオ基、ベンジルアミノエチルチオ基、メチルカルボニルアミノエチルチオ基、フェニルカルボニルアミノエチルチオ基等が挙げられる。

【0220】

置換基を有してもよいアリールチオ基の「アリールチオ基」は、例えば、フェニルチオ基、１－ナフチルチオ基、２－ナフチルチオ基、９－アンスリルチオ基等が挙げられる。
「置換基を有するアリールチオ基」は、例えば、クロロフェニルチオ基、トリフルオロメチルフェニルチオ基、シアノフェニルチオ基、ニトロフェニルチオ基、２－アミノフェニルチオ基、２－ヒドロキシフェニルチオ基等が挙げられる。

【0221】

置換基を有していてもよいアルキルアミノ基の「アルキルアミノ基」は、例えば、メチルアミノ基、エチルアミノ基、プロピルアミノ基、ブチルアミノ基、ペンチルアミノ基、ヘキシルアミノ基、ヘプチルアミノ基、オクチルアミノ基、ノニルアミノ基、デシルアミノ基、ドデシルアミノ基、オクタデシルアミノ基、イソプロピルアミノ基、イソブチルアミノ基、イソペンチルアミノ基、ｓｅｃ－ブチルアミノ基、ｔｅｒｔ－ブチルアミノ基、ｓｅｃ－ペンチルアミノ基、ｔｅｒｔ－ペンチルアミノ基、ｔｅｒｔ－オクチルアミノ基、ネオペンチルアミノ基、シクロプロピルアミノ基、シクロブチルアミノ基、シクロペンチルアミノ基、シクロヘキシルアミノ基、シクロヘプチルアミノ基、シクロオクチルアミノ基、シクロドデシルアミノ基、１－アダマンタミノ基、２－アダマンタミノ基等が挙げられる。

【0222】

置換基を有していてもよいアリールアミノ基の「アリールアミノ基」は、例えば、アニリノ基、１－ナフチルアミノ基、２－ナフチルアミノ基、ｏ－トルイジノ基、ｍ－トルイジノ基、ｐ－トルイジノ基、２－ビフェニルアミノ基、３－ビフェニルアミノ基、４－ビフェニルアミノ基、１－フルオレンアミノ基、２－フルオレンアミノ基、２－チアゾールアミノ基、ｐ－ターフェニルアミノ基等が挙げられる

【0223】

ハロゲン原子としては、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素が挙げられる。

【0224】

酸性基としては、－ＳＯ_３Ｈ、－ＣＯＯＨが挙げられる。これら酸性基の１価～３価の金属塩としては、ナトリウム塩、カリウム塩、マグネシウム塩、カルシウム塩、鉄塩、アルミニウム塩等が挙げられる。また、酸性基のアルキルアンモニウム塩としては、オクチルアミン、ラウリルアミン、ステアリルアミン等の長鎖モノアルキルアミンのアンモニウム塩、パルミチルトリメチルアンモニウム、ラウリルトリメチルアンモニウム、ジラウリルジメチルアンモニウム、ジステアリルジメチルアンモニウム塩等の４級アルキルアンモニウム塩が挙げられる。

【0225】

上記の置換基の内、Ｘ_１～Ｘ_４０として好ましい置換基としては、水素原子、メチル基、メトキシ基、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、－ＳＯ_３Ｈが挙げられる。

【0226】

Ｍは、金属原子を表す。金属原子としてはＺｎ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｒｕ、Ｐｔ、Ｍｎ、Ｓｎ、Ｔｉ、Ｂａ等が挙げられる。中でも２価金属原子が好ましく、Ｚｎ、Ｃｏ、Ｎｉがより好ましい。

【0227】

以下、一般式（１１）で表される化合物、又は一般式（１２）で表される化合物の具体例を示す。なお、本発明はこれらに限定されない。

【0228】

【化23】

【0229】

【化24】

【0230】

【化25】

【0231】

【化26】

【0232】

近赤外線吸収無機顔料は、特に限定されものではなく、公知の近赤外線吸収無機顔料を用いることができる。例えば、酸化インジウムスズ、酸化アンチモンスズ、酸化亜鉛、Ａｌドープ酸化亜鉛、フッ素ドープ二酸化スズ、ニオブドープ二酸化チタン、セシウム酸化タングステン、ホウ化ランタン、銅、ニッケル、銀、金等の金属酸化物粒子又は金属粒子が挙げられる。

【0233】

顔料（Ｅ）は、単独又は２種類以上を併用して使用できる。

【0234】

顔料（Ｅ）の含有量は、感光性組成物の不揮発分１００質量％中、０．５～６０質量％が好ましく、１～５０質量％がより好ましい。

【0235】

顔料（Ｅ）は、微細化して用いることが好ましい。微細化方法は、特に限定されるものではなく、例えば、湿式磨砕、乾式磨砕、溶解析出法いずれも使用できる。これらの中でも、湿式磨砕の１種であるニーダー法によるソルトミリング処理が好ましい。微細化顔料のＴＥＭ（透過型電子顕微鏡）により求められる平均一次粒子径は、５～９０ｎｍが好ましい。なお、分散性の観点から、平均一次粒子径は１０～７０ｎｍがより好ましい。

【0236】

ソルトミリング処理には、必要に応じて樹脂を添加してもよい。樹脂を添加することにより、顔料（Ｅ）が樹脂で被覆され、安定性、耐光性等が向上する。前記樹脂の種類は特に限定されず、天然樹脂、変性天然樹脂、合成樹脂、天然樹脂で変性された合成樹脂等が挙げられる。これらの中でも、室温で固体であり、水不溶性であることが好ましく、かつ有機溶剤に一部可溶であることが好ましい。樹脂の添加量は、顔料（Ｅ）１００質量部に対して、２～２００質量部が好ましい。

【0237】

［染料（Ｆ）］
本発明の感光性組成物は、染料（Ｆ）を含有できる。

【0238】

染料（Ｆ）は、特に制限はなく、公知の化合物を用いることができる。例えば、酸性染料、直接染料、塩基性染料、造塩染料、油溶性染料、分散染料、反応染料、媒染染料、建染染料、硫化染料等が挙げられる。また、これらの誘導体や、染料をレーキ化したレーキ顔料も挙げられる。

【0239】

酸性染料は、スルホン酸やカルボン酸等の酸性基を有することが好ましい。また、酸性染料と、四級アンモニウム塩化合物、三級アミン化合物、二級アミン化合物、又は一級アミン化合物等の含窒素化合物との塩である造塩化合物が好ましい。また、これらの官能基を有する樹脂成分と酸性染料との塩である造塩化合物も好ましい。また、造塩化合物は、スルホンアミド化してスルホン酸アミド化合物に変性することで耐性（耐光性、耐溶剤性）に優れた感光性組成物を得やすい。
また、酸性染料とオニウム塩基を有する化合物との造塩化合物も、耐性（耐光性、溶剤耐性）に優れるため好ましい。なお、オニウム塩基を有する化合物は、カチオン性基を有する樹脂が好ましい。

【0240】

塩基性染料は、そのままでも使用できるが、有機酸や過塩素酸又はその金属塩と塩を形成する造塩化合物が好ましい。塩基性染料の造塩化合物は、耐性（耐光性、耐溶剤性）や、顔料との親和性が優れているため好ましい。また、塩基性染料の造塩化合物で、カウンタイオンとしてはたらくアニオン成分は、有機スルホン酸、有機硫酸、フッ素基含有リンアニオン化合物、フッ素基含有ホウ素アニオン化合物、シアノ基含有窒素アニオン化合物、ハロゲン化炭化水素基を有する有機酸の共役塩基を有するアニオン化合物、酸性染料とを造塩した造塩化合物が好ましい。なお、造塩化合物は、分子中に重合性不飽和基を含有すると耐性がより向上する。

【0241】

染料（Ｆ）の化学構造は、例えば、アゾ系染料、ジスアゾ系染料、アゾメチン系染料（インドアニリン系染料、インドフェノール系染料など）、ジピロメテン系染料、キノン系染料（ベンゾキノン系染料、ナフトキノン系染料、アントラキノン系染料、アントラピリドン系染料など）、カルボニウム系染料（ジフェニルメタン系染料、トリフェニルメタン系染料、キサンテン系染料、アクリジン系染料など）、キノンイミン系染料（オキサジン系染料、チアジン系染料など）、アジン系染料、ポリメチン系染料（オキソノール系染料、メロシアニン系染料、アリーリデン系染料、スチリル系染料、シアニン系染料、スクアリリウム系染料、クロコニウム系染料など）、キノフタロン系染料、フタロシアニン系染料、サブフタロシアニン系染料、ペリノン系染料、インジゴ系染料、チオインジゴ系染料、キノリン系染料、ニトロ系染料、ニトロソ系染料、ローダミン系染料、及びそれらの金属錯体系染料等から選ばれる染料に由来する色素構造が挙げられる。

【0242】

これらの中でも、色相、色分離性、色むらなどの色特性の観点から、アゾ系染料、キサンテン系染料、シアニン系染料、トリフェニルメタン系染料、アントラキノン系染料、ジピロメテン系染料、スクアリリウム系染料、キノフタロン系染料、フタロシアニン系染料、サブフタロシアニン系染料から選ばれる色素に由来する色素構造が好ましく、キサンテン系染料、シアニン系染料、トリフェニルメタン系染料、アントラキノン系染料、ジピロメテン系染料、フタロシアニン系染料から選ばれる色素に由来する色素構造がより好ましい。

【0243】

染料（Ｆ）は、単独又は２種類以上を併用して使用できる。

【0244】

染料（Ｆ）の含有量は、感光性組成物の不揮発分１００質量％中、０．５～６０質量％が好ましく、１～５０質量％がより好ましい。

【0245】

［色素誘導体（Ｇ）］
本発明の感光性組成物は、色素誘導体（Ｇ）を含有できる。色素誘導体（Ｇ）を使用すると顔料（Ｅ）を安定的に分散できる。

【0246】

色素誘導体（Ｇ）は、特に制限はなく、公知の化合物を用いることができる。例えば、色素の一部が、酸性基、塩基性基、中性基等で置換された構造を有する化合物が挙げられる。具体的には、スルホ基、カルボキシ基、リン酸基などの酸性置換基を有する化合物、およびこれらのアミン塩や、スルホンアミド基や末端に３級アミノ基などの塩基性置換基を有する化合物、フェニル基やフタルイミドアルキル基などの中性置換基を有する化合物が挙げられる。
色素は、例えば、ジケトピロロピロール化合物、フタロシアニン化合物、アントラキノン化合物、キナクリドン化合物、ジオキサジン化合物、ペリノン化合物、ペリレン化合物、チアジンインジゴ化合物、トリアジン化合物、ベンズイミダゾロン化合物、ベンゾイソインドール化合物、イソインドリン化合物、イソインドリノン化合物、キノフタロン化合物、ナフトール化合物、スクアリリウム化合物、スレン化合物、ナフタロシアニン化合物等が挙げられる。

【0247】

色素誘導体（Ｇ）は、単独又は２種類以上を併用して使用できる。

【0248】

色素誘導体（Ｇ）の含有量は、顔料（Ｅ）１００質量部に対して、１～５０質量部が好ましく、２～４０質量部がより好ましい。

【0249】

［分散樹脂（Ｈ）］
本発明の感光性組成物は、分散樹脂（Ｈ）を含有できる。分散樹脂（Ｈ）は、重合性化合物や有機溶剤への溶解性が低い成分、例えば、顔料（Ｅ）等を安定して分散する目的で用いる。なお、本明細書では分散樹脂（Ｈ）は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）に含まれない。

【0250】

分散樹脂（Ｈ）は、顔料（Ｅ）に親和性が高い吸着基を有している樹脂が好ましい。吸着基は、塩基性基及び酸性基のうち１種以上有していることが好ましい。

【0251】

塩基性基は、例えば、１級アミノ基、２級アミノ基、３級アミノ基、４級アンモニウム塩基、及び含窒素複素環など窒素原子を含有する基等が挙げられる。

【0252】

酸性基は、例えば、カルボキシル基、リン酸基、及びスルホン酸基等が挙げられる。

【0253】

分散樹脂（Ｈ）の樹脂種は、例えば、ウレタン樹脂、ポリアクリレート等のポリカルボン酸エステル、不飽和ポリアミド、ポリカルボン酸、ポリカルボン酸（部分）アミン塩、ポリカルボン酸アンモニウム塩、ポリカルボン酸アルキルアミン塩、ポリシロキサン、長鎖ポリアミノアマイドリン酸塩、水酸基含有ポリカルボン酸エステルや、これらの変性物、ポリ（低級アルキレンイミン）と遊離のカルボキシル基を有するポリエステルとの反応により形成されたアミドやその塩等、（メタ）アクリル酸－スチレン共重合体、（メタ）アクリル酸－（メタ）アクリル酸エステル共重合体、スチレン－マレイン酸共重合体、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン等の水溶性樹脂や水溶性高分子化合物、ポリエステル系、変性ポリアクリレート系、エチレンオキサイド／プロピレンオキサイド付加化合物、リン酸エステル系等が挙げられる。

【0254】

分散樹脂（Ｈ）の構造は、例えば、ランダム構造、ブロック構造、グラフト構造、くし型構造及び星型構造等が挙げられる。これらの中でも、分散安定性の観点から、ブロック構造、くし型構造が好ましい。

【0255】

分散樹脂（Ｈ）は、耐性の観点から、熱硬化性基及び／又は重合性不飽和基を有することが好ましい。熱硬化性基は、例えば、水酸基、エポキシ基、オキセタニル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、及びブロックイソシアネート基等が挙げられる。

【0256】

分散樹脂（Ｈ）は、例えば、国際公開第２０１３１７５９７８号の段落番号０１２２～０１５５に記載の樹脂、特開２０１９－７８８７８号公報の段落番号０３１７～０３２１に記載の樹脂、国際公開第２０１８／１３９５３４号の段落番号００８３に記載の樹脂、国際公開第２０１９／１６３５０５号の段落番号０１６７～０１９１に記載の樹脂、国際公開第２０２１／１３１９２７号の段落番号０２９９～０３１０に記載の樹脂、国際公開第２０２２／１０２３６７号の段落番号００８０～００８５に記載の樹脂、国際公開第２０２２／１７２６０７号の段落番号００９９～０１０９に記載の樹脂等が挙げられる。

【0257】

分散樹脂（Ｈ）の市販品は、例えば、ビックケミー・ジャパン社製のＤｉｓｐｅｒｂｙｋ－１０１，１０３，１０７，１０８，１１０，１１１，１１６，１３０，１４０，１５４，１６１，１６２，１６３，１６４，１６５，１６６，１６７，１６８，１７０，１７１，１７４，１８０，１８１，１８２，１８３，１８４，１８５，１９０，２０００，２００１，２００９，２０１０，２０２０，２０２５，２０５０，２０７０，２０９５，２１５０，２１５５，２１６３，２１６４、又はＡｎｔｉ－Ｔｅｒｒａ－Ｕ２０３，２０４、又はＢＹＫ－Ｐ１０４，Ｐ１０４Ｓ，２２０Ｓ、又はＬａｃｔｉｍｏｎ、Ｌａｃｔｉｍｏｎ－ＷＳ、又はＢｙｋｕｍｅｎ等、日本ルーブリゾール社製のＳＯＬＳＰＥＲＳＥ－３０００，９０００，１３０００，１３２４０，１３６５０，１３９４０，１６０００，１７０００，１８０００，２００００，２１０００，２４０００，２６０００，２７０００，２８０００，３１８４５，３２０００，３２５００，３２５５０，３３５００，３２６００，３４７５０，３５１００，３６６００，３８５００，４１０００，４１０９０，５３０９５，５５０００，５６０００，７６５００等、ＢＡＳＦジャパン社製のＥＦＫＡ－４６，４７，４８，４５２，４００８，４００９，４０１０，４０１５，４０２０，４０４７，４０５０，４０５５，４０６０，４０８０，４４００，４４０１，４４０２，４４０３，４４０６，４４０８，４３００，４３１０，４３２０，４３３０，４３４０，４５０，４５１，４５３，４５４０，４５５０，４５６０，４８００，５０１０，５０６５，５０６６，５０７０，７５００，７５５４，１１０１，１２０，１５０，１５０１，１５０２，１５０３等、味の素ファインテクノ社製のアジスーパーＰＡ１１１，ＰＢ７１１，ＰＢ８２１，ＰＢ８２２，ＰＢ８２４等、特開２００８－０２９９０１号公報、特開２００９－１５５４０６号公報、特開２０１０－１８５９３４号公報、特開２０１１－１５７４１６号公報、国際公開第２００８／００７７７６号、特開２００８－０２９９０１号公報、特開２００９－１５５４０６号公報、特開２０１０－１８５９３４号公報、特開２０１１－１５７４１６号公報、特開２００９－２５１４８１号公報、特開２００７－２３１９５号公報、特開１９９６－１４３６５１号公報等に記載の樹脂が挙げられる。

【0258】

分散樹脂（Ｈ）は、単独又は２種類以上を併用して使用できる。

【0259】

分散樹脂（Ｈ）の含有量は、分散安定性の観点から、顔料（Ｅ）１００質量部に対して、３～２００質量部が好ましく、５～１５０質量部がより好ましい。

【0260】

［増感剤（Ｉ）］
本発明の感光性組成物は、増感剤（Ｉ）を含有できる。

【0261】

増感剤（Ｉ）は、例えば、カルコン系化合物、ジベンザルアセトン等に代表される不飽和ケトン類、ベンジルやカンファーキノン等に代表される１，２－ジケトン系化合物、ベンゾイン系化合物、フルオレン系化合物、ナフトキノン系化合物、アントラキノン系化合物、キサンテン系化合物、チオキサンテン系化合物、キサントン系化合物、チオキサントン系化合物、クマリン系化合物、ケトクマリン系化合物、シアニン系化合物、メロシアニン系化合物、オキソノール系化合物等のポリメチン色素、アクリジン系化合物、アジン系化合物、チアジン系化合物、オキサジン系化合物、インドリン系化合物、アズレン系化合物、アズレニウム系化合物、スクアリリウム系化合物、ポルフィリン系化合物、テトラフェニルポルフィリン系化合物、トリアリールメタン系化合物、テトラベンゾポルフィリン系化合物、テトラピラジノポルフィラジン系化合物、フタロシアニン系化合物、テトラアザポルフィラジン系化合物、テトラキノキサリロポルフィラジン系化合物、ナフタロシアニン系化合物、サブフタロシアニン系化合物、ピリリウム系化合物、チオピリリウム系化合物、テトラフィリン系化合物、アヌレン系化合物、スピロピラン系化合物、スピロオキサジン系化合物、チオスピロピラン系化合物、金属アレーン錯体、有機ルテニウム錯体、又はベンゾフェノン系化合物等が挙げられる。これらの中でも、チオキサントン系化合物、ベンゾフェノン系化合物が好ましい。

【0262】

チオキサントン系化合物は、例えば、２，４－ジエチルチオキサントン、２－クロロチオキサントン、２，４－ジクロロチオキサントン、２－イソプロピルチオキサントン、４－イソプロピルチオキサントン、１－クロロ－４－プロポキシチオキサントン等が挙げられる。これらの中でも、２，４－ジエチルチオキサントンが好ましい。

【0263】

ベンゾフェノン系化合物は、例えば、４，４’－ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’－ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２－アミノベンゾフェノン等が挙げられる。これらの中でも、４，４’－ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンが好ましい。

【0264】

増感剤（Ｉ）は、単独又は２種類以上を併用して使用できる。

【0265】

増感剤（Ｉ）の含有量は、重合開始剤（Ｃ）１００質量部に対して、１０～４００質量部が好ましく、２０～３００質量部がより好ましい。

【0266】

［熱硬化性化合物（Ｊ）］
本発明の感光性組成物は、低温ポストベークでの耐性の観点から、熱硬化性化合物（Ｊ）を含むことが好ましい。これにより、加熱で熱硬化性化合物（Ｊ）が架橋し、耐性が向上する。

【0267】

熱硬化性化合物（Ｊ）は、例えば、エポキシ化合物、オキセタン化合物、ベンゾグアナミン化合物、ロジン変性マレイン酸化合物、ロジン変性フマル酸化合物、メラミン化合物、尿素化合物、及びフェノール化合物が挙げられる。これらの中でも、耐性の観点から、エポキシ化合物、オキセタン化合物、メラミン化合物が好ましく、エポキシ化合物がより好ましい。

【0268】

（エポキシ化合物）
エポキシ化合物は、例えば、ビスフェノール類（ビスフェノールＡ、ビスフェノールＦ、ビスフェノールＳ、ビフェノール、ビスフェノールＡＤ等）、フェノール類（フェノール、アルキル置換フェノール、芳香族置換フェノール、ナフトール、アルキル置換ナフトール、ジヒドロキシベンゼン、アルキル置換ジヒドロキシベンゼン、ジヒドロキシナフタレン等）と各種アルデヒド（ホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、アルキルアルデヒド、ベンズアルデヒド、アルキル置換ベンズアルデヒド、ヒドロキシベンズアルデヒド、ナフトアルデヒド、グルタルアルデヒド、フタルアルデヒド、クロトンアルデヒド、シンナムアルデヒド等）との重縮合物、フェノール類と各種ジエン化合物（ジシクロペンタジエン、テルペン類、ビニルシクロヘキセン、ノルボルナジエン、ビニルノルボルネン、テトラヒドロインデン、ジビニルベンゼン、ジビニルビフェニル、ジイソプロペニルビフェニル、ブタジエン、イソプレン等）との重合物、フェノール類とケトン類（アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、アセトフェノン、ベンゾフェノン等）との重縮合物、フェノール類と芳香族ジメタノール類（ベンゼンジメタノール、α，α，α’，α’－ベンゼンジメタノール、ビフェニルジメタノール、α，α，α’，α’－ビフェニルジメタノール等）との重縮合物、フェノール類と芳香族ジクロロメチル類（α，α’－ジクロロキシレン、ビスクロロメチルビフェニル等）との重縮合物、ビスフェノール類と各種アルデヒドの重縮合物、アルコール類等をグリシジル化したグリシジルエーテル系エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、脂肪族エポキシ樹脂、グリシジルアミン系エポキシ樹脂、グリシジルエステル系エポキシ樹脂等が挙げられる。

【0269】

エポキシ化合物の市販品は、例えば、油化シェルエポキシ社製のエピコート８０７，８１５，８２５，８２７，８２８，１９０Ｐ，１９１Ｐ、三井化学社製のＴＥＣＨＭＯＲＥ ＶＧ３１０１Ｌ、日本化薬社製のＥＰＰＮ－２０１，５０１Ｈ，５０２Ｈ、ＥＯＣＮ－１０２Ｓ，１０３Ｓ，１０４Ｓ，１０２０、ジャパンエポキシレジン社製のエピコート１００４，１２５６、ＪＥＲ１０３２Ｈ６０，１５７Ｓ６５，１５７Ｓ７０，１５２，１５４、ダイセル化学工業社製のセロキサイド２０２１、ＥＨＰＥ－３１５０、エポリードＧＴ４０１、ナガセケムテックス社製のデナコールＥＸ－２１１，２１２，２５２，３１３，３１４，３２１，４１１，４２１，５１２，５２１，６１１，６１２，６１４，６１４Ｂ，６２２，７１１，７２１、日産化学工業社製のＴＥＰＩＣ－Ｌ，Ｈ，Ｓ、ＤＩＣ社製のＥＰＩＣＬＯＮ ８３０，８４０，８５０，８６０，１０５０，３０５０，４０５０，Ｎ－６６０、Ｎ－６７０，Ｎ－７４０，Ｎ－７７０，Ｎ８６５，ＨＰ－７２００，ＨＰ－４７００，ＨＰ－４７７０，ＨＰ－５０００，ＨＰ－６０００，ＨＰ－９５００等が挙げられる。

【0270】

エポキシ化合物は、低温ポストベークでの耐性の観点から、分子内に２～５０個のエポキシ基を有する化合物が好ましく、１０～３０個のエポキシ基を有する化合物がより好ましい。また、エポキシ化合物は、芳香族環及び／又は脂肪族環を有するエポキシ化合物が好ましく、脂肪族環を有するエポキシ化合物がより好ましい。エポキシ基は、単結合又は連結基を介して、芳香族環及び／又は脂肪族環に結合していることが好ましい。連結基は、例えば、アルキル基、アリーレン基、－Ｏ－、－ＮＲ－（Ｒは水素原子、置換基を有してもよいアルキル基または置換基を有してもよいアリール基を表す）、－ＳＯ_２－、－ＣＯ－、－Ｏ－、－Ｓ－が挙げられる。脂肪族環を有する構造の場合、エポキシ基は単結合を介して、脂肪族環に結合していることがより好ましい。

【0271】

エポキシ化合物のエポキシ当量は、５０～４００ｇ／ｅｑが好ましく、１００～２００ｇ／ｅｑがより好ましい。なお、エポキシ当量とは、１当量のエポキシ基を含むエポキシ化合物の質量で定義される。

【0272】

脂肪族環を有するエポキシ化合物は、例えば、３，４－エポキシシクロヘキシルメチル－３，４－エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、３，４－エポキシ－１－メチルシクロヘキシル－３，４－エポキシ－１－メチルヘキサンカルボキシレート、６－メチル－３，４－エポキシシクロヘキシルメチル－６－メチル－３，４－エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、３，４－エポキシ－３－メチルシクロヘキシルメチル－３，４－エポキシ－３－メチルシクロヘキサンカルボキシレート、３，４－エポキシ－５－メチルシクロヘキシルメチル－３，４－エポキシ－５－メチルシクロヘキサンカルボキシレート、２－（３，４－エポキシシクロヘキシル－５，５－スピロ－３，４－エポキシ）シクロヘキサン－メタジオキサン、ビス（３，４－エポキシシクロヘキシルメチル）アジペート、３，４－エポキシ－６－メチルシクロヘキシルカルボキシレート、メチレンビス（３，４－エポキシシクロヘキサン）、ジシクロペンタジエンジエポキサイド、エチレンビス（３，４－エポキシシクロヘキサンカルボキシレート）、エポキシヘキサヒドロフタル酸ジオクチル、エポキシヘキサヒドロフタル酸ジ－２－エチルヘキシル、１－エポキシエチル－３，４－エポキシシクロヘキサン、１，２－エポキシ－２－エポキシエチルシクロヘキサン、ブタンテトラカルボン酸テトラ（３，４－エポキシシクロヘキシルメチル）修飾ε－カプロラクトン、２，２－ビス（ヒドロキシメチル）－１－ブタノールの１，２－エポキシ－４－（２－オキシラニル）シクロヘキサン付加物等が挙げられる。

【0273】

脂肪族環を有するエポキシ化合物は、低温ポストベークでの耐性の観点から、下記一般式（１３）で表される化合物を含むことが特に好ましい。

【0274】

一般式（１３）

【化27】

【0275】

一般式（１３）中、Ｒはｍ価のアルコールからｍ個の水酸基を除いた基を表し、ｍは１～６、ｎは１～３０の整数を表す。

【0276】

Ｒは、ｍ価のアルコールからｍ個の水酸基を除いた基を表す。
ｍ価のアルコールからｍ個の水酸基を除いた基は、炭素原子数２～２０のアルキル基が好ましく、直鎖状でも、分岐状でも、環状でも、それらが結合したものであってもよい。炭素原子数２～２０のアルキル基は、例えば、エチル基、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、２，２－ジメチルプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、３，３－ジメチルブチル基、ペンチル基、イソペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、イソオクチル基、２－エチルヘキシル基、ノニル基、イソノニル基、デシル基、イソデシル基、ウンデシル基、ドデシル基、ヘキサデシル基、シクロペンチル基、シクロペンチルメチル基、シクロヘキシル基、シクロヘキシルメチル基、シクロヘキシルメチル基等が挙げられる。これらの中でも、炭素原子数３～１２の分岐のアルキル基がより好ましい。

【0277】

ｍは１～６、ｎは１～３０の整数を表す。
ｍが２以上の場合、一般式（１３）中のそれぞれのカッコ内の基におけるｎは同一でもよく、異なっていてもよい。

【0278】

一般式（１３）で表される化合物は、具体的には、２，２－ビス（ヒドロキシメチル）－１－ブタノールの１，２－エポキシ－４－（２－オキシラニル）シクロヘキサン付加物が挙げられる。市販品としては、ダイセル社製のＥＨＰＥ－３１５０、ＥＨＰＥ－３１５０ＣＥ等が挙げられる。

【0279】

エポキシ化合物は、単独又は２種類以上を併用して使用できる。

【0280】

エポキシ化合物の含有量は、低温ポストベークでの耐性の観点から、感光性組成物の不揮発分１００質量％中、１～２０質量％が好ましく、２～１５質量％がより好ましい。

【0281】

（オキセタン化合物）
オキセタン化合物は、オキセタン基を有する公知の化合物である。オキセタン化合物は、１官能オキセタン化合物、２官能オキセタン化合物、３官能以上のオキセタン化合物が挙げられる。

【0282】

１官能オキセタン化合物は、例えば、（３－エチルオキセタン－３－イル）メチルアクリレート、（３－エチルオキセタン－３－イル）メチルメタクリレート、３－エチル－３－ヒドロキシメチルオキセタン、３－エチル－３－（２－エチルヘキシロキシメチル）オキセタン、３－エチル－３－（フェノキシメチル）オキセタン、３－エチル－３－（２－メタクリロキシメチル）オキセタン、３－エチル－３－｛［３－（トリエトキシシリル）プロポキシ］メチル｝オキセタン等が挙げられる。

【0283】

市販品は、例えば、大阪有機化学工業社製のＯＸＥ－１０，３０、東亞合成社製のＯＸＴ－１０１，２１２等が挙げられる。

【0284】

２官能オキセタン化合物は、例えば、４，４’－ビス［（３－エチル－３－オキセタニル）メトキシメチル］ビフェニル）、１，４－ビス［（３－エチル－３－オキセタニル）メトキシメチル］ベンゼン、１，４－ビス｛［（３－エチル－３－オキセタニル）メトキシ］メチル｝ベンゼン、ジ［１－エチル（３－オキセタニル）］メチルエーテル、ジ［１－エチル（３－オキセタニル）］メチルエーテル３－エチル－３－ヒドロキシメチルオキセタン、３－エチル－３－（２－エチルヘキシロキシメチル）オキセタン、３－エチル－３－（２－フェノキシメチル）オキセタン、３，７－ビス（３－オキセタニル）－５－オキサ－ノナン、１，２－ビス［（３－エチル－３－オキセタニルメトキシ）メチル］エタン、１，３－ビス［（３－エチル－３－オキセタニルメトキシ）メチル］プロパン、エチレングリコ－スビス（３－エチル－３－オキセタニルメチル）エーテル、ジシクロペンテニルビス（３－エチル－３－オキセタニルメチル）エーテル、トリエチレングリコールビス（３－エチル－３－オキセタニルメチル）エーテル、テトラエチレングリコールビス（３－エチル－３－オキセタニルメチル）エーテル、１，４－ビス（３－エチル－３－オキセタニルメトキシ）ブタン、１，６－ビス（３－エチル－３－オキセタニルメトキシ）ヘキサン、ポリエチレングリコールビス（３－エチル－３－オキセタニルメチル）エーテル、エチレンオキシド（ＥＯ）変性ビスフェノールＡビス（３－エチル－３－オキセタニルメチル）エーテル、プロピレンオキシド（ＰＯ）変性ビスフェノールＡビス（３－エチル－３－オキセタニルメチル）エーテル、ＥＯ変性水添ビスフェノールＡビス（３－エチル－３－オキセタニルメチル）エーテル、ＰＯ変性水添ビスフェノールＡビス（３－エチル－３－オキセタニルメチル）エーテル、ＥＯ変性ビスフェノールＦ（３－エチル－３－オキセタニルメチル）エーテル等が挙げられる。

【0285】

市販品は、例えば、宇部興産社製のＯＸＢＰ、ＯＸＴＰ、東亞合成社製ＯＸＴ－１２１，２２１等が挙げられる。

【0286】

３官能以上のオキセタン化合物は、例えば、ペンタエリスリトールトリス（３－エチル－３－オキセタニルメチル）エーテル、ペンタエリスリトールテトラキス（３－エチル－３－オキセタニルメチル）エーテル、ジペンタエリスリトールヘキサ（３－エチル－３－オキセタニルメチル）エーテル、ジペンタエリスリトールペンタキス（３－エチル－３－オキセタニルメチル）エーテル、ジペンタエリスリトールテトラキス（３－エチル－３－オキセタニルメチル）エーテル、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ（３－エチル－３－オキセタニルメチル）エーテル、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールペンタキス（３－エチル－３－オキセタニルメチル）エーテル、ジトリメチロ－ルプロパンテトラキス（３－エチル－３－オキセタニルメチル）エーテル、オキセタン基を含有する樹脂（例えば、特許第３７８３４６２号記載のオキセタン変性フェノールノボラック樹脂等）や前述のＯＸＥ－３０のような（メタ）アクリルモノマーをラジカル重合させて得られる重合体が挙げられる。

【0287】

オキセタン化合物は、単独又は２種類以上を併用して使用できる。

【0288】

オキセタン化合物の含有量は、低温ポストベークでの耐性の観点から、感光性組成物の不揮発分１００質量％中、１～２０質量％が好ましく、２～１５質量％がより好ましい。

【0289】

（メラミン化合物）
メラミン化合物は、メラミン環構造を有する化合物である。メラミン化合物は、メチロール基を有する化合物が好ましい。

【0290】

メラミン化合物は、単独又は２種類以上を併用して使用できる。

【0291】

メラミン化合物の含有量は、低温ポストベークでの耐性の観点から、感光性組成物の不揮発分１００質量％中、０．０１～１０質量％が好ましく、０．１～５質量％がより好ましい。

【0292】

熱硬化性化合物（Ｊ）は、単独又は２種類以上を併用して使用できる。

【0293】

［硬化剤（硬化促進剤）］
本発明の感光性組成物は、熱硬化性化合物（Ｊ）の硬化を補助するため、硬化剤（硬化促進剤）を併用できる。硬化剤は、例えば、アミン系化合物、酸無水物、活性エステル、カルボン酸系化合物、スルホン酸系化合物等が挙げられる。硬化剤は、例えば、アミン化合物（例えば、ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、４－（ジメチルアミノ）－Ｎ，Ｎ－ジメチルベンジルアミン、４－メトキシ－Ｎ，Ｎ－ジメチルベンジルアミン、４－メチル－Ｎ，Ｎ－ジメチルベンジルアミン等）、４級アンモニウム塩化合物（例えば、トリエチルベンジルアンモニウムクロリド等）、ブロックイソシアネート化合物（例えば、ジメチルアミン等）、イミダゾール誘導体二環式アミジン化合物及びその塩（例えば、イミダゾール、２－メチルイミダゾール、２－エチルイミダゾール、２－エチル－４－メチルイミダゾール、２－フェニルイミダゾール、４－フェニルイミダゾール、１－シアノエチル－２－フェニルイミダゾール、１－（２－シアノエチル）－２－エチル－４－メチルイミダゾール等）、リン化合物（例えば、トリフェニルホスフィン等）、Ｓ－トリアジン誘導体（例えば、２，４－ジアミノ－６－メタクリロイルオキシエチル－Ｓ－トリアジン、２－ビニル－２，４－ジアミノ－Ｓ－トリアジン、２－ビニル－４，６－ジアミノ－Ｓ－トリアジン・イソシアヌル酸付加物、２，４－ジアミノ－６－メタクリロイルオキシエチル－Ｓ－トリアジン・イソシアヌル酸付加物等）等が挙げられる。

【0294】

硬化剤は、単独又は２種類以上を併用して使用できる。

【0295】

硬化剤の含有量は、熱硬化性化合物（Ｊ）１００質量部に対して、０．０１～１５質量部が好ましい。

【0296】

［チオール系連鎖移動剤（Ｋ）］
本発明の感光性組成物は、密着性の観点から、チオール系連鎖移動剤（Ｋ）を含むことが好ましい。チオール系連鎖移動剤（Ｋ）は、光照射後のラジカル重合の際、酸素による重合阻害を受けにくいチイルラジカルが発生し、光硬化を促進することで密着性が向上すると推測する。

【0297】

チオール系連鎖移動剤（Ｋ）は、例えば、チオフェノール、２－メルカプトベンゾチアゾール、２－メルカプトベンゾイミダゾール、２－メルカプトベンゾオキサゾール、２－メルカプト－５－メトキシベンゾチアゾール、２－メルカプト－５－ベンゾイミダゾール、ブタンチオール、オクタンチオール、１－ドデカンチオール、３－メルカプトプロピオン酸メチル、３－メルカプトプロピオン酸エチル、３－メルカプトプロピオン酸オクチル、３－メルカプトプロピオン酸２－エチルヘキシル等の単官能チオール化合物；
２－メルカプトエタノール、１－チオグリセロール、チオグリコール酸、２－メルカプト安息香酸、３－メルカプト安息香酸、４－メルカプトニコチン酸、２－メルカプトプロピオン酸、３－メルカプトプロピオン酸、４－メルカプトブタン酸、チオグリコール酸オクチル、メルカプトコハク酸、１１－メルカプトウンデカン酸、２－メルカプトエタンスルホン酸等の水酸基又は酸性基を有する単官能チオール化合物；
ヘキサンジチオール、デカンジチオール、１，４－ブタンジオールビスチオプロピオネート、１，４－ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリス（３－メルカプトブチレート）、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキス（３-メルカプトプロピオネート）、トリメルカプトプロピオン酸トリス（２－ヒドロキシエチル）イソシアヌレート、１，４－ジメチルメルカプトベンゼン、２、４、６－トリメルカプト－ｓ－トリアジン、２－（Ｎ，Ｎ－ジブチルアミノ）－４，６－ジメルカプト－ｓ－トリアジン等の多官能チオール化合物が挙げられる。

【0298】

チオール系連鎖移動剤（Ｋ）は、低温ポストベークでのパターン形状の観点から、単官能チオール化合物を含むことが好ましく、水酸基又は酸性基を有する単官能チオール化合物を含むことがより好ましい。チオール基が１つであるため、架橋密度が高くなり過ぎることなく、低温ポストベークでもパターン形状への影響を抑制できると推測する。また、水酸基又は酸性基を有することで、基材への密着性がより向上すると推測する。

【0299】

チオール系連鎖移動剤（Ｋ）は、単独又は２種類以上を併用して使用できる。

【0300】

チオール系連鎖移動剤（Ｋ）の含有量は、感光性組成物の１００質量％中、０．５～１０質量％が好ましく、１～８質量％がより好ましい。

【0301】

［重合禁止剤（Ｌ）］
本発明の感光性組成物は、重合禁止剤（Ｌ）を含有できる。

【0302】

重合禁止剤（Ｌ）は、例えば、カテコール、レゾールシノール、１，４－ヒドロキノン、２－メチルカテコール、３－メチルカテコール、４－メチルカテコール、２－エチルカテコール、３－エチルカテコール、４－エチルカテコール、２－プロピルカテコール、３－プロピルカテコール、４－プロピルカテコール、２－ｎ－ブチルカテコール、３－ｎ－ブチルカテコール、４－ｎ－ブチルカテコール、２－ｔ－ブチルカテコール、３－ｔ－ブチルカテコール、４－ｔ－ブチルカテコール、３，５－ジ－ｔ－ブチルカテコール等のアルキルカテコール系化合物、２－メチルレゾールシノール、４－メチルレゾールシノール、２－エチルレゾールシノール、４－エチルレゾールシノール、２－プロピルレゾールシノール、４－プロピルレゾールシノール、２－ｎ－ブチルレゾールシノール、４－ｎ－ブチルレゾールシノール、２－ｔ－ブチルレゾールシノール、４－ｔ－ブチルレゾールシノール等のアルキルレゾールシノール系化合物、メチルヒドロキノン、エチルヒドロキノン、プロピルヒドロキノン、ｔｅｒｔ－ブチルヒドロキノン、２，５－ジ－ｔ－ブチルヒドロキノン等のアルキルヒドロキノン系化合物、トリブチルホスフィン、トリオクチルホスフィン、トリシクロヘキシルホスフィン、トリフェニルホスフィン、トリベンジルホスフィン等のホスフィン化合物、トリオクチルホスフィンオキサイド、トリフェニルホスフィンオキサイドなどのホスフィンオキサイド化合物、トリフェニルホスファイト、トリスノニルフェニルホスファイト等のホスファイト化合物、ピロガロール、フロログルシン等が挙げられる。

【0303】

重合禁止剤（Ｌ）の含有量は、感光性組成物の不揮発分１００質量％中、０．０１～０．４質量％が好ましい。

【0304】

［紫外線吸収剤（Ｍ）］
本発明の感光性組成物は、紫外線吸収剤（Ｍ）を含有できる。

【0305】

紫外線吸収剤（Ｍ）は、紫外線吸収機能を有する有機化合物であり、ベンゾトリアゾール系有機化合物、トリアジン系有機化合物、ベンゾフェノン系有機化合物、サリチル酸エステル系有機化合物、シアノアクリレート系有機化合物、及びサリシレート系有機化合物等が挙げられる。

【0306】

紫外線吸収剤（Ｍ）の含有量は、感光性組成物の不揮発分１００質量％中、０．１～５質量％が好ましい。

【0307】

［酸化防止剤（Ｎ）］
本発明の感光性組成物は、酸化防止剤（Ｎ）を含有できる。酸化防止剤（Ｎ）は、感光性組成物の成分である重合開始剤（Ｃ）や熱硬化性化合物（Ｊ）が、加熱工程やＩＴＯアニール時の熱によって酸化され、黄変することを防ぐ。

【0308】

酸化防止剤（Ｎ）は、例えば、ヒンダードフェノール系、ヒンダードアミン系、リン系、イオウ系及びヒドロキシルアミン系の化合物等が挙げられる。これらの中でも、ヒンダードフェノール系酸化防止剤、ヒンダードアミン系酸化防止剤、リン系酸化防止剤、イオウ系酸化防止剤が好ましい。

【0309】

酸化防止剤（Ｎ）は、単独又は２種類以上を併用して使用できる。

【0310】

酸化防止剤（Ｎ）の含有量は、感光性組成物の不揮発分１００質量％中、０．１～５質量％が好ましい。

【0311】

［レベリング剤（Ｏ）］
本発明の感光性組成物は、レベリング剤（Ｏ）を含有できる。これにより、塗工時の基板に対する濡れ性及び乾燥性が向上する。

【0312】

レベリング剤（Ｏ）は、例えば、シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤、ノニオン性界面活性剤、カチオン性界面活性剤、アニオン性界面活性剤、両性界面活性剤等が挙げられる。

【0313】

シリコーン系界面活性剤は、例えば、シロキサン結合からなる直鎖状ポリマーや、側鎖や末端に有機基を導入した変性シロキサンポリマーが挙げられる。

【0314】

市販品は、例えば、ビックケミー社製のＢＹＫ－３００，３０６，３１０，３１３，３１５Ｎ，３２０，３２２，３２３，３３０，３３１，３３３，３４２，３４５，３４６，３４７，３４８，３４９，３７０，３７７，３７８，３４５５，ＵＶ３５１０，３５７０、東レ・ダウコ－ニング社製のＦＺ－７００２，２１１０，２１２２，２１２３，２１９１，５６０９、信越化学工業社製のＸ－２２－４９５２、Ｘ－２２－４２７２、Ｘ－２２－６２６６、ＫＦ－３５１Ａ、ＫＦ－３５４Ｌ、ＫＦ－３５５Ａ、ＫＦ－９４５、ＫＦ－６４０、ＫＦ－６４２、ＫＦ－６４３、Ｘ－２２－４５１５、ＫＦ－６００４、ＫＰ－３４１等が挙げられる。

【0315】

フッ素系界面活性剤は、例えば、フルオロカーボン鎖を有する界面活性剤又はレベリング剤が挙げられる。

【0316】

市販品は、例えば、ＡＧＣセイミケミカル社製のサーフロンＳ－２４２，２４３，４２０，６１１，６５１，３８６、ＤＩＣ社製のメガファックＦ－２５３，４７７，５５１，５５２，５５５，５５８，５６０，５７０，５７５，５７６、Ｒ－４０－ＬＭ、Ｒ－４１、ＲＳ－７２－Ｋ、ＤＳ－２１、住友スリーエム社製のＦＣ－４４３０，４４３２、三菱マテリアル電子化成社製のＥＦ－ＰＰ３１Ｎ０９、ＥＦ－ＰＰ３３Ｇ１、ＥＦ－ＰＰ３２Ｃ１、ネオス社製フタージェントの６０２Ａ等が挙げられる。

【0317】

ノニオン性界面活性剤は、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンセチルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンミリステルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルドデシルエーテル、ポリオキシアルキレンアルキルエーテル、ポリオキシフェニレンジスチレン化フェニルエーテル、ポリオキシエチレントリベンジルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコール、ポリオキシアルキレンアルケニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸エステル、ソルビタンモノラウレート、ソルビタンモノパルミテ－ト、ソルビタンモノステアレート、ソルビタンジステアレート、ソルビタントリステアレート、ソルビタンモノオレート、ソルビタントリオレート、ソルビタンセスキオレート、ポリオキシエチレンソルビタンモノラウレート、ポリオキシエチレンソルビタンモノパルミテ－ト、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、ポリオキシエチレンソルビタントリステアレート、ポリオキシエチレンソルビタンモノオレート、ポリオキシエチレンソルビタントリイソステアレート、テトラオレイン酸ポリオキシエチレンソルビット、グリセロ－ルモノステアレート、グリセロ－ルモノオレート、ポリエチレングリコールモノラウレート、ポリエチレングリコールモノステアレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ポリエチレングリコールモノオレート、ポリオキシエチレン硬化ヒマシ油、ポリオキシエチレンアルキルアミン、アルキルアルカノールアミド、アルキルイミダゾリン等が挙げられる。

【0318】

市販品は、例えば、花王社製のエマルゲン１０３，１０４Ｐ，１０６，１０８，１０９Ｐ，１２０，１２３Ｐ，１３０Ｋ，１４７，１５０，２１０Ｐ，２２０，３０６Ｐ，３２０Ｐ，３５０，４０４，４０８，４０９ＰＶ，４２０，４３０，７０５，７０７，７０９，１１０８，１１１８Ｓ－７０，１１３５Ｓ－７０，１１５０Ｓ－６０，２０２０Ｇ－ＨＡ，２０２５Ｇ，ＬＳ－１０６，ＬＳ－１１０，ＬＳ－１１４，ＭＳ－１１０，Ａ－６０，Ａ－９０，Ｂ－６６，ＰＰ－２９０、ラテムルＰＤ－４２０，ＰＤ－４３０，ＰＤ－４３０Ｓ，ＰＤ－４５０、レオドールＳＰ－Ｌ１０，ＳＰ－Ｐ１０，ＳＰ－Ｓ１０Ｖ，ＳＰ－Ｓ２０，ＳＰ－Ｓ３０Ｖ，ＳＰ－Ｏ１０Ｖ，ＳＰ－Ｏ３０Ｖ、スーパーＳＰ－Ｌ１０，ＡＳ－１０Ｖ，ＡＯ－１０Ｖ，ＡＯ－１５Ｖ，ＴＷ－Ｌ１２０，ＴＷ－Ｌ１０６，ＴＷ－Ｐ１２０，ＴＷ－Ｓ１２０Ｖ，ＴＷ－Ｓ３２０Ｖ，ＴＷ－Ｏ１２０Ｖ，ＴＷ－Ｏ１０６Ｖ，ＴＷ－ＩＳ３９９Ｃ、スーパーＴＷ－Ｌ１２０，４３０Ｖ，４４０Ｖ，４６０Ｖ，ＭＳ－５０，ＭＳ－６０，ＭＯ－６０，ＭＳ－１６５Ｖ、エマノーン１１１２，３１９９Ｖ，３２９９Ｖ，３２９９ＲＶ，４１１０，ＣＨ－２５，ＣＨ－４０，ＣＨ－６０（Ｋ），アミ－ト１０２，１０５，１０５Ａ，３０２，３２０、アミノーンＰＫ－０２Ｓ、Ｌ－０２、ホモゲノールＬ－９５、ＡＤＥＫＡ社製のアデカプルロニック（登録商標）Ｌ－２３，３１，４４，６１，６２，６４，７１，７２，１０１，１２１、ＴＲ－７０１，７０２，７０４，９１３Ｒ、共栄社化学社製の（メタ）アクリル酸系（共）重合体ポリフロ－Ｎｏ．７５，Ｎｏ．９０，Ｎｏ．９５等が挙げられる。

【0319】

カチオン性界面活性剤は、例えばアルキルアミン塩やラウリルトリメチルアンモニウムクロライド、ステアリルトリメチルアンモニウムクロライド、セチルトリメチルアンモニウムクロライドなどのアルキル４級アンモニウム塩やそれらのエチレンオキサイド付加物が挙げられる。

【0320】

市販品は、例えば、花王社製のアセタミン２４、コータミン２４Ｐ、６０Ｗ、８６Ｐコンク等が挙げられる。

【0321】

アニオン性界面活性剤は、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム、スチレン－アクリル酸共重合体のアルカリ塩、アルキルナフタレンスルホン酸ナトリウム、アルキルジフェニルエーテルジスルホン酸ナトリウム、ラウリル硫酸モノエタノールアミン、ラウリル硫酸トリエタノールアミン、ラウリル硫酸アンモニウム、ステアリン酸モノエタノールアミン、ステアリン酸ナトリウム、ラウリル硫酸ナトリウム、スチレン－アクリル酸共重合体のモノエタノールアミン、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸エステル等が挙げられる。

【0322】

市販品は、例えば、ネオス社製のフタージェント１００，１５０、ＡＤＥＫＡ社製のアデカホープＹＥＳ－２５、アデカコールＴＳ－２３０Ｅ，ＰＳ－４４０Ｅ，ＥＣ－８６００等が挙げられる。

【0323】

両性界面活性剤は、例えば、ラウリン酸アミドプロピルベタイン、ラウリルベタイン、コカミドプロピルベタイン、ステアリルベタイン、アルキルジメチルアミノ酢酸ベタイン等のアルキルベタイン、ラウリルジメチルアミンオキサイド等のアルキルアミンオキサイド等が挙げられる。

【0324】

市販品は、花王社製のアンヒトール２０ＡＢ，２０ＢＳ，２４Ｂ，５５ＡＢ，８６Ｂ，２０Ｙ－Ｂ，２０Ｎ等が挙げられる。

【0325】

レベリング剤（Ｏ）は、単独又は２種類以上を併用して使用できる。

【0326】

レベリング剤（Ｏ）の含有量は、感光性組成物の不揮発分１００質量％中、０．００１～２質量％が好ましく、０．００５～１質量％がより好ましい。

【0327】

［貯蔵安定剤（Ｐ）］
本発明の感光性組成物は、貯蔵安定剤（Ｐ）を含有できる。これにより、感光性組成物の経時粘度が安定化する。

【0328】

貯蔵安定剤（Ｐ）は、例えば、ベンジルトリメチルクロライド、ジエチルヒドロキシアミンなどの４級アンモニウムクロライド、乳酸、シュウ酸などの有機酸およびそのメチルエーテル、ｔ－ブチルピロカテコール、テトラエチルホスフィン、テトラフェニルなどの有機ホスフィン、亜リン酸塩等が挙げられる。

【0329】

貯蔵安定剤（Ｐ）の含有量は、感光性組成物の不揮発分１００質量％中、０．０５～５質量％が好ましい。

【0330】

［有機溶剤（Ｑ）］
本発明の感光性組成物は、有機溶剤（Ｑ）を含有できる。

【0331】

有機溶剤（Ｑ）は、例えば、１，２，３－トリクロロプロパン、１－メトキシ－２－プロパノール、乳酸エチル、１，３－ブタンジオ－ル、１，３－ブチレングリコール、１，３－ブチレングリコールジアセテート、１，４－ジオキサン、２－ヘプタノーン、２－メチル－１，３－プロパンジオール、３，５，５－トリメチル－２－シクロヘキセン－１－オン、３，３，５－トリメチルシクロヘキサノン、３－エトキシプロピオン酸エチル、３－メチル－１，３－ブタンジオール、３－メトキシ－３－メチル－１－ブタノール、３－メトキシ－３－メチルブチルアセテート、３－メトキシブタノール、３－メトキシブチルアセテート、４－ヘプタノーン、ｍ－キシレン、ｍ－ジエチルベンゼン、ｍ－ジクロロベンゼン、Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、ｎ－ブチルアルコール、ｎ－ブチルベンゼン、ｎ－プロピルアセテート、Ｎ－メチルピロリドン、ｏ－キシレン、トルエン、ｏ－クロロトルエン、ベンゼン、ｏ－ジエチルベンゼン、ｏ－ジクロロベンゼン、ｐ－クロロトルエン、ｐ－ジエチルベンゼン、ｓｅｃ－ブチルベンゼン、ｔｅｒｔ－ブチルベンゼン、γ－ブチロラクトン、イソブチルアルコール、イソホロン、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールジブチルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノターシャリーブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノヘキシルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジイソブチルケトン、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールモノイソプロピルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、シクロヘキサノール、シクロヘキサノールアセテート、シクロヘキサノン、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ダイアセトンアルコール、トリアセチン、トリプロピレングリコールモノブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールジアセテート、プロピレングリコールフェニルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルプロピオネート、ベンジルアルコール、メチルイソブチルケトン、メチルシクロヘキサノール、酢酸ｎ－アミル、酢酸ｎ－ブチル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、酢酸プロピル、二塩基酸エステル等が挙げられる。これらの中でも、樹脂の溶解性、塗工性の観点から、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート等のグリコールアセテート類、ダイアセトンアルコール等のアルコール類やシクロヘキサノン等のケトン類が好ましい。

【0332】

本発明の感光性組成物は、環境面の観点から、芳香族炭化水素類（トルエン、キシレン、ベンゼン、クロロベンゼン等）である有機溶剤は、実質的に含有しないことが好ましい。実質的に含有しないとは、感光性組成物中、５０質量ｐｐｍ以下であり、３０質量ｐｐｍ以下が好ましく、１０質量ｐｐｍ以下がより好ましい。

【0333】

有機溶剤（Ｑ）は、単独又は２種類以上を併用して使用できる。

【0334】

有機溶剤（Ｑ）の含有量は、感光性組成物の不揮発分が５～５０質量％となる量であることが好ましい。

【0335】

［特定金属元素の含有量］
本発明の感光性組成物は、感光性組成物に含まれるＬｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｆｅ、及びＣｒ（以下、特定金属元素ともいう）の合計含有量が、５００質量ｐｐｍ以下であることが好ましい。

【0336】

特定金属元素の合計量が、上記範囲内の感光性組成物であると、経時保存後でも分散安定性・感度に優れる。特定金属元素の含有量は、誘導結合プラズマ発光分光分析（ＩＣＰ）によって、測定できる。

【0337】

［水の含有量］
本発明の感光性組成物は、感光性組成物に含まれる水の含有量が２．０質量％以下であることが好ましい。

【0338】

水の含有量が、上記範囲内の感光性組成物であると、経時保存後でも分散安定性・感度に優れる。水の含有量は、カールフィッシャー法などの公知の方法により測定することができる。

【0339】

［感光性組成物の製造方法］
本発明の感光性組成物は、上述の各成分を混合して調整できる。調整に際しては、各成分を一括配合してもよいし、各成分を有機溶剤に溶解や分散した後に逐次配合してもよい。溶解性の低い成分、例えば、顔料（Ｅ）を使用する場合、まずは、分散処理を行うことが好ましい。
例えば、顔料（Ｅ）、分散樹脂（Ｈ）、及び有機溶剤（Ｑ）等を加えて分散処理を行うことで、分散体を製造する。その後、前記分散体に、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、重合性化合物（Ｂ）、及び重合開始剤（Ｃ）等を配合し混合することで製造できる。なお、各材料を配合するタイミングは、任意である。また、分散工程を複数回行うこともできる。

【0340】

分散処理を行う分散機は、例えば、２本ロールミル、３本ロールミル、ボールミル、横型サンドミル、縦型サンドミル、アニュラー型ビーズミル、又はアトライター等が挙げられる。

【0341】

分散体中の粒子の平均分散粒子径（二次粒子径）は、３０～２００ｎｍが好ましく、４０～２００ｎｍがより好ましい。適度な粒子径を有すると分散安定性が高い感光性組成物が得やすい。

【0342】

平均分散粒子径（二次粒子径）の測定方法は、例えば、動的光散乱法（ＦＦＴパワ－スペクトール法）を採用した日機装社のマイクロトラックＵＰＡ－ＥＸ１５０を用い、粒子透過性を吸収モード、粒子形状を非球形とし、Ｄ５０粒子径を平均径とする。測定用の希釈溶剤は分散に使用した有機溶剤をそれぞれ用い、超音波で処理したサンプルについてサンプル調整直後に測定するとバラツキが少ない結果が得られやすく好ましい。

【0343】

感光性組成物は、遠心分離、焼結フィルタやメンブレンフィルタによる濾過等の手段にて、５μｍ以上の粗大粒子、好ましくは１μｍ以上の粗大粒子、さらに好ましくは０．５μｍ以上の粗大粒子、および混入した塵の除去を行うことが好ましい。本発明の感光性組成物は、実質的に０．５μｍ以上の粒子を含まないことが好ましく、０．３μｍ以下の粒子を含まないことがより好ましい。

【0344】

＜膜＞
本発明の膜は、上述した感光性組成物を用いて形成されたものである。膜はパターンを形成した膜が好ましいが、平坦膜として用いることもできる。

【0345】

［膜の製造方法］
膜の製造方法は、特に限定されず、公知の方法を使用できる。本発明で膜の作成は、全工程を通じて加熱温度は、１２０℃以下が好ましく、１００℃以下がより好ましい。加熱を１２０℃以下で行うことにより、画像表示装置の発光光源として有機ＥＬ素子を用いた場合、イメージセンサの光電変換膜が有機素材の場合、プラスチックフィルム等の熱に弱い基材を用いた場合等に、これらの性能を維持することができる。なお、加熱温度は、５０℃以上が好ましい。

【0346】

膜の製造は、まず、本発明の感光性組成物を基材上に塗工する。基材は、例えば、ガラス、樹脂、シリコン等の材質で構成された基板が挙げられる。ガラスは、無色透明であってもよく、用途によってはブルーガラスのような着色ガラスを用いてもよい。これらの基材上には有機発光層が形成されてもよい。また、基材には、ＣＣＤ、ＣＭＯＳ等の撮像素子が形成されていてもよい。また、基材上には、必要に応じて、上部との層との密着改良、物質の拡散防止、表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。

【0347】

塗工方法は、公知の方法を使用できる。例えば、滴下法、スリットコート法、スプレー法、ロールコート法、回転塗布法、流延塗布法、インクジェット法、フレキソ印刷、スクリーン印刷、グラビア印刷、オフセット印刷等が挙げられる。

【0348】

膜の厚さは、目的に応じて適宜調節できる。膜の厚さは、０．０５～２０．０μｍが好ましく、０．３～１０．０μｍがより好ましい。

【0349】

次に、パターンを形成する。パターンを形成する方法は、フォトリソグラフィー法やドライエッチング法が挙げられる。これらの中でも、フォトリソグラフィー法が好ましい。なお、平坦膜として使用する場合は、パターンを形成する工程を行わなくてよく、塗工後、必要に応じて乾燥、全面露光や加熱処理をする。

【0350】

以下、フォトリソグラフィー法でパターンを形成する方法について詳細に説明する。

【0351】

フォトリソグラフィー法でパターンを形成する場合、基板上に本発明の感光性組成物を塗工して形成した層を、必要に応じて５０～１００℃の温度で乾燥した後、マスクを介してパターン状に露光（露光工程）し、未露光部分をアルカリ現像により除去（現像工程）後、パターンを加熱処理（加熱工程）する。

【0352】

〔露光工程〕
露光工程は、塗工で形成した層を、例えば、ステッパー等の露光装置を用い、マスクを介して特定のパターンを露光する。これにより、露光部分を硬化することができる。露光に用いる活性エネルギー線は、例えば、ｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｈ線（波長４０５ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等の紫外線が挙げられる。また、波長３００ｎｍ以下の光を用いることもできる。波長３００ｎｍ以下の光としては、ＫｒＦ線（波長２４８ｎｍ）、ＡｒＦ線（波長１９３ｎｍ）等が挙げられる。
また、露光に際しては、光を連続的に照射して露光してもよく、短時間（例えば、ミリ秒レベル以下）のサイクルで光の照射と休止を繰り返して露光（パルス露光）してもよい。

【0353】

〔現像工程〕
次に、アルカリ現像液で処理を行うことで、未露光部分の層がアルカリ現像液に溶出し、硬化部分のみが残りパターン状の膜が得られる。
アルカリ現像液は、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８－ジアザビシクロ－〔５．４．０〕－７－ウンデセン等のアルカリ性化合物が挙げられる。
アルカリ現像液の濃度は、０．００１～１０質量％が好ましく、０．０１～１質量％がより好ましい。アルカリ現像液のｐＨは、１１～１３が好ましく、１１．５～１２．５がより好ましい。適度なｐＨで使用するとパターンの荒れや剥離を抑制し、現像後の残膜率が向上する。
現像方法は、例えば、ディップ法、スプレー法、パドル法等が挙げられる。現像温度は１５～４０℃が好ましい。なお、アルカリ現像後は、純水で洗浄することが好ましい。

【0354】

〔加熱工程〕
現像後、加熱処理を行う。加熱により、膜の耐性が向上する。
加熱温度は、１２０℃以下が好ましく、１００℃以下がより好ましい。加熱時間は、２分間～１時間程度が好ましい。

【0355】

＜光学フィルタ＞
本発明の光学フィルタは、上記膜を有する。光学フィルタは、例えば、カラーフィルタ、ブラックマトリックス、遮光フィルタ、反射防止フィルタ、赤外線カットフィルタ、赤外線透過フィルタ、マイクロレンズ等に用いられる。本発明の光学フィルタの製造は、上述の膜と同様の方法で製造できる。

【0356】

＜固体撮像素子＞
本発明の固体撮像素子は、上記光学フィルタを有する。
固体撮像素子は、本発明の光学フィルタを備え、固体撮像素子として機能すれば特に制限されないが、例えば、以下のような構成が挙げられる。

【0357】

基材上に、固体撮像素子（ＣＣＤイメージセンサ、ＣＭＯＳイメージセンサ等）の受光エリアを構成する複数のフォトダイオードおよびポリシリコン等からなる転送電極を有し、フォトダイオードおよび転送電極上にフォトダイオードの受光部のみ開口した遮光膜を有し、遮光膜上に遮光膜全面およびフォトダイオード受光部を覆うように形成された窒化シリコン等からなるデバイス保護膜を有し、デバイス保護膜上に、本発明の光学フィルタ（カラーフィルタ）を有する構成である。さらに、デバイス保護膜上であって光学フィルタの下（基材に近い側）に集光手段（例えば、マイクロレンズ等。以下同じ）を有する構成や、光学フィルタ上に集光手段を有する構成等であってもよい。また、フィルタは、隔壁により例えば格子状に仕切られた空間に、各着色画素を形成する硬化膜が埋め込まれた構造を有していてもよい。この場合の隔壁は、各着色画素に対して低屈折率であることが好ましい。
本発明の固体撮像素子を備えた撮像装置は、例えば、デジタルカメラ、撮像機能を有する電子機器（携帯電話、スマートフォン等）、車載カメラ、監視カメラ等様々な用途に使用できる。

【0358】

＜画像表示装置＞
本発明の画像表示装置は、上記光学フィルタを有する。画像表示装置は、例えば、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等が挙げられる。
画像表示装置に用いる形態は、画像表示装置として機能すればよく、特に制限されない。例えば、「次世代液晶ディスプレイ技術（内田龍男著、（株）工業調査会、１９９４年発行）に記載されている構成等が挙げられる。
画像表示装置の定義や各画像表示装置の詳細については、例えば、「電子ディスプレイデバイス（佐々木昭夫著、（株）工業調査会、１９９０年発行）」、「ディスプレイデバイス（伊吹順章著、産業図書（株）、平成元年発行）」等に記載されている。

【0359】

＜赤外線センサ＞
本発明の赤外線センサは、上記光学フィルタを有する。
赤外線センサに用いる形態は、本発明の光学フィルタを備え、赤外線センサとして機能すれば特に制限されないが、例えば、以下のような構成が挙げられる。

【0360】

基板上に、固体撮像素子（ＣＣＤイメージセンサ、ＣＭＯＳイメージセンサ等）の受光エリアを構成する複数のフォトダイオードおよびポリシリコン等からなる転送電極を有する。これらフォトダイオード及び転送電極上に、フォトダイオードの受光部のみ開口した遮光膜を有する。この遮光膜上に、デバイス保護膜を有し、更にこのデバイス保護膜上に、本発明の光学フィルタを有する。さらに、デバイス保護膜上であって光学フィルタの下（基材に近い側）に集光手段（例えば、マイクロレンズ等。以下同じ）を有する構成や、光学フィルタ上に集光手段を有する構成等であってもよい。

【0361】

図１は、本発明の光学フィルタを備えた赤外線センサの構成例を示す概略断面図である。図１に示す赤外線センサは１００、固体撮像素子１１０を備える。

【0362】

固体撮像素子１１０上に設けられている撮像領域は、赤外線カットフィルタ１１１とカラーフィルタ１１２とを組み合せて構成されている。

【0363】

赤外線カットフィルタ１１１は、本発明の感光性組成物を用いて形成できる。赤外線カットフィルタ１１１は、可視光領域の光（例えば、波長４００～７００ｎｍの光）を透過し、赤外領域の光（例えば、波長８００～１，３００ｎｍの光）を遮蔽する。

【0364】

カラーフィルタ１１２は、可視光領域における特定波長の光を透過及び吸収する画素が形成されたカラーフィルタであって、本発明の感光性組成物を用いて形成できる。例えば、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の画素が形成されたカラーフィルタ等が用いられる。

【0365】

赤外線透過フィルタ１１３と固体撮像素子１１０との間には、赤外線透過フィルタ１１３を透過した波長の光を透過可能な樹脂膜１１４が配置されている。

【0366】

赤外線透過フィルタ１１３は、本発明の感光性組成物を用いて形成することができ、可視光遮蔽性を有し、かつ、特定波長の赤外線を透過させるフィルタである。赤外線透過フィルタ１１３は、例えば、波長４００～８３０ｎｍの光を遮光し、波長９００～１，３００ｎｍの光を透過させることが好ましい。

【0367】

カラーフィルタ１１２、及び赤外線透過フィルタ１１３の入射光ｈ側には、マイクロレンズ１１５が配置されている。マイクロレンズ１１５を覆うように平坦化膜１１６が形成されている。

【0368】

図１に示す形態では、樹脂膜１１４が配置されているが、樹脂膜１１４に代えて赤外線透過フィルタ１１３を形成してもよい。

【0369】

この赤外線センサによれば、画像情報を同時に取り込めるため、動きを検知する対象を認識したモーションセンシング等が可能である。また、この赤外線センサによれば、距離情報を取得できるため、３Ｄ情報を含んだ画像の撮影等も可能である。更に、この赤外線センサは、生体認証センサとしても使用できる。

【実施例0370】

以下、実施例で本発明をより具体的に説明する。ただし、本発明は実施例に限定されない。なお、「部」は「質量部」、「％」は「質量％」である。
また、本発明において、不揮発分もしくは不揮発分濃度は、２３０℃で３０分間オーブン静置後の質量残分をいう。

【0371】

実施例に先立ち、各測定方法について説明する。

【0372】

樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）、数平均分子量（Ｍｎ）、酸価（ｍｇＫＯＨ／ｇ）、アミン価（ｍｇＫＯＨ／ｇ）の測定、及び重合性化合物の水酸基価（ｍｇＫＯＨ／ｇ）の測定は、以下の通りである。

【0373】

（樹脂の平均分子量）
樹脂の数平均分子量（Ｍｎ）、重量平均分子量（Ｍｗ）は、ＲＩ検出器を装備したゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）で測定した。装置としてＨＬＣ－８２２０ＧＰＣ（東ソー社製）を用い、分離カラムを２本直列に繋ぎ、両方の充填剤には「ＴＳＫ－ＧＥＬ ＳＵＰＥＲ ＨＺＭ－Ｎ」を２連でつなげて使用し、オーブン温度４０℃、溶離液としてテトラヒドロフラン（ＴＨＦ）溶液を用い、流速０．３５ｍｌ／ｍｉｎで測定した。サンプルは１質量％の上記溶離液からなる溶剤に溶解し、２０マイクロリットール注入した。分子量は、ポリスチレン換算値である。

【0374】

（樹脂の酸価）
樹脂溶液０．５～１ｇに、アセトン８０ｍｌ及び水１０ｍｌを加えて攪拌して均一に溶解させ、０．１ｍｏｌ／ＬのＫＯＨ水溶液を滴定液として、自動滴定装置（「ＣＯＭ－５５５」平沼産業社製）を用いて滴定し、酸価（ｍｇＫＯＨ／ｇ）を測定した。そして、樹脂溶液の酸価と樹脂溶液の不揮発分濃度から、樹脂の不揮発分あたりの酸価を算出した。

【0375】

（樹脂のアミン価）
樹脂のアミン価は、ＡＳＴＭ Ｄ ２０７４の方法に準拠し、測定した全アミン価（ｍｇＫＯＨ／ｇ）を不揮発分換算した値である。

【0376】

（重合性化合物の水酸基価）
重合性化合物の水酸基価（ｍｇＫＯＨ／ｇ）は、ＪＩＳ Ｋ ００７０－１９９２に基づいて測定される。

【0377】

＜アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の製造＞
（アルカリ可溶性樹脂（Ａ１－１））
攪拌装置、滴下ロート、コンデンサー、温度計及びガス導入管を備えたフラスコに、１００部のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（以下、ＰＧＭＡｃ）を入れた後、窒素置換しながら攪拌し、７８℃に昇温した。次に、ブロックイソシアネート基含有単量体であるカレンズＭＯＩ－ＤＥＭ（昭和電工社製のマロン酸－２－［［［［（２－メチル－１－オキソ－２－プロペニル）オキシ］エチル］アミノ］カルボニル］－１，３－ジエチルエステル）２５．２部、水酸基含有単量体である２－ヒドロキシエチルメタクリレート３１．２部、脂肪族縮合環構造含有単量体であるジシクロペンタニルメタクリレート３７．５部、酸性基含有単量体であるメタクリル酸２０．７部、及びその他単量体単位のメチルメタクリレート２７．０部の混合物と、１２．０部の２，２’－アゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）（重合開始剤）を５０部のＰＧＭＡｃに添加し溶解させたものをそれぞれ滴下ロートからフラスコ中に滴下した。滴下終了後、７８℃で３時間攪拌した。
その後、不揮発分が４０質量％になるようにＰＧＭＡｃを添加して、アルカリ可溶性樹脂（Ａ１－１）を調整した。アルカリ可溶性樹脂（Ａ１－１）は、酸価７４ｍｇＫＯＨ／ｇ、重量平均分子量８，０００であった。なお、表２で配合量はモル％で表記する。

【0378】

（アルカリ可溶性樹脂（Ａ１－２）～（Ａ１－５）、アルカリ可溶性樹脂（Ａ２－１）及び（Ａ２－２））
表２に記載の各構成単位とモル％となるように、アルカリ可溶性樹脂（Ａ１－２）～（Ａ１－５）、アルカリ可溶性樹脂（Ａ２－１）及び（Ａ２－２）を合成し、ＰＧＭＡｃを添加し不揮発分を４０質量％とした。

【0379】

【表2】

【0380】

表２に記載のカレンズＭＯＩ－ＢＰは、昭和電工社製のメタクリル酸２－（３，５－ジエチルピラゾール－１－イル）カルボニルアミノエチル、カレンズＭＯＩ－ＢＭは、昭和電工社製のメタクリル酸２－［Ｏ－（１’－メチルプロピリデンアミノ）カルボキシアミノ］エチル、アロニックスＭ－１１０は、東亞合成社製のパラクミルフェノールＥＯ変性アクリレートである。
ＧＭＡ＋ＡＡは、グリシジルメタクリレート（ＧＭＡ）のエポキシ基に、アクリル酸（ＡＡ）のカルボキシル基を反応させた重合性不飽和基含有単量体単位（ａ６）を表し、ＧＭＡ＋ＡＡ＋ＴＨＰＡは、ＧＭＡ＋ＡＡの水酸基にテトラヒドロ無水フタル酸（ＴＨＰＡ）を反応させた重合性不飽和基含有単量体単位（ａ６）を表す。

【0381】

＜重合性化合物（Ｂ）の製造＞
（３官能以上の（メタ）アクリレート（Ｂ３－２））
温度計、撹拌機及び還流管を備えた４口フラスコに、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート及びジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの混合物（東亞合成社製、アロニックスＭ－４０３）２５０部（０．３１１モル）を加え、ジエタノールアミン７．２部（０．０６８モル）を室温で加えた後、５０℃で４時間反応を行い、水酸基及びアミン構造を有する３官能以上の（メタ）アクリレート（Ｂ３－２）を得た。反応は、空気／窒素の混合雰囲気下で行った。水酸基価１２２ｍｇＫＯＨ／ｇであった。

【0382】

（３官能以上の（メタ）アクリレート（Ｂ３－３））
温度計、撹拌機及び還流管を備えた４口フラスコに、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート及びジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの混合物（東亞合成社製、アロニックスＭ－４０２）２５０部（０．２４７モル）を加え、ジ－ｎ－ブチルアミン１７．３部（０．１３４モル）を室温で加えた後、５０℃で４時間反応を行い、水酸基及びアミン構造を有する３官能以上の（メタ）アクリレート（Ｂ３－３）を得た。反応は、空気／窒素の混合雰囲気下で行った。水酸基価３０ｍｇＫＯＨ／ｇであった。

【0383】

＜シランカップリング剤（Ｄ）の製造＞
（シランカップリング剤（Ｄ－１））
撹拌機、還流冷却器、滴下ロート及び温度計を備えた１Ｌセパラブルフラスコに、ヒドロキシエチルアクリレートを１１６ｇ仕込み、８０℃に加熱した。その中に３－イソシアネートプロピルトリメトキシシラン２０５ｇを滴下投入し、８０℃にて４時間加熱撹拌した。その後、ＩＲ測定により原料のイソシアネート基由来の吸収ピークが完全に消失し、代わりにウレタン結合由来の吸収ピークが生成したことを確認し、主成分が下記化学式（１４）で表されるシランカップリング剤（Ｄ－１）を得た。なお、副成分として、化学式（１４）の縮合物である２～１０量体（一般式（２）中のｎが２～１０の化合物）が含まれる。

【0384】

化学式（１４）

【化28】

【0385】

（シランカップリング剤（Ｄ－２））
撹拌機、還流冷却器、滴下ロート及び温度計を備えた１Ｌセパラブルフラスコに、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートを５２４ｇ仕込み、８０℃に加熱した。その中に３－イソシアネートプロピルトリメトキシシラン２０５ｇを滴下投入し、８０℃にて４時間加熱撹拌した。その後、ＩＲ測定により原料のイソシアネート基由来の吸収ピークが完全に消失し、代わりにウレタン結合由来の吸収ピークが生成したことを確認し、主成分が下記化学式（１５）で表されるシランカップリング剤（Ｄ－２）を得た。なお、副成分として、化学式（１５）の縮合物である２～１０量体（一般式（２）中のｎが２～１０の化合物）が含まれる。

【0386】

化学式（１５）

【化29】

【0387】

＜顔料（Ｅ）の製造＞
（近赤外線吸収顔料（Ｅ－１１））
トルエン４００部に、１，８－ジアミノナフタレン４０．０部、３，５－ジメチルシクロヘキサノン３２．２部、ｐ－トルエンスルホン酸一水和物０．０８７部を混合し、窒素ガスの雰囲気中で加熱攪拌し、３時間還流させた。反応中に生成した水は共沸蒸留により反応系中から除去した。反応終了後、トルエンを蒸留して得られた暗茶色固体をアセトンで抽出し、アセトンとエタノールの混合溶媒から再結晶することにより精製した。得られた茶色固体を、トルエン２４０部とｎ－ブタノール１６０部の混合溶媒に溶解させ、３，４－ジヒドロキシ－３－シクロブテン－１，２－ジオン１３．８部を加えて、窒素ガスの雰囲気中で加熱撹拌し、８時間還流反応させた。反応中に生成した水は共沸蒸留により反応系中から除去した。
反応終了後、溶媒を蒸留し、得られた反応混合物を攪拌しながら、ヘキサン２００部を加えた。得られた黒茶色沈殿物を濾別した後、順次ヘキサン、エタノール、及びアセトンで洗浄を行い、減圧下で乾燥させ、下記化学式（１６）で表される近赤外線吸収顔料（Ｅ－１１）を得た。得られた近赤外線吸収顔料（Ｅ－１１）５０部、塩化ナトリウム５００部、ジエチレングリコール６０部をステンレス製ガロンニーダー（井上製作所社製）中に仕込み、６０℃で１２時間混練した。次に、混練した混合物を温水に投入し、約８０℃に加熱しながら１時間攪拌してスラリー状として、濾過、及びイオン交換水での洗浄を複数回繰り返した後、８０℃で一昼夜乾燥させ粉砕することにより、微細化した近赤外線吸収顔料（Ｅ－１１）を得た。

【0388】

化学式（１６）

【化30】

【0389】

（近赤外線吸収顔料（Ｅ－１２））
反応容器中で、フタロニトリル２６部、２，３―ジシアノナフタレン１４３部、ｎ－アミルアルコール８９０部、ＤＢＵ（１，８－Ｄｉａｚａｂｉｃｙｃｌｏ［５．４．０］ｕｎｄｅｃ－７－ｅｎｅ）１３７部と三塩化アルミニウム３４部を混合攪拌し、昇温後１３６℃で５時間還流した。攪拌したまま３０℃まで冷却した反応溶液を、メタノール５，０００部、イオン交換水１０，０００部からなる混合溶媒中へ攪拌しながら注入し、青色のスラリーを得た。このスラリーを濾過し、メタノール２，０００部、イオン交換水４，０００部からなる混合溶媒で洗浄、乾燥して、化合物ａを得た。
次いで、反応容器中で、濃硫酸１，５００部に１４０部の化合物ａを氷浴下にて加え、１時間攪拌を行った。続けて、この硫酸溶液を３℃の冷水１，０００部に注入し、生成した析出物をろ過、水洗、２．５％水酸化ナトリウム水溶液洗浄、水洗の順で処理を行い、乾燥して、化合物ｂを得た。
Ｎ－メチルピロリドン２００部に５部のジフェニルリン酸を添加し、十分に攪拌混合を行った後、５０℃に加熱した。この溶液に、１０部の化合物ｂを少しずつ添加した後、９０℃で１２０分攪拌した。反応の終点確認は、例えば、濾紙に反応液を滴下して、にじみがなくなったところを終点とした。続けて、この反応溶液をイオン交換水２，０００部に注入し、生成した析出物を濾過およびイオン交換水での洗浄を複数回繰り返した後、乾燥して、下記化学式（１７）で表される化合物の混合物（質量比率は、ｎ１：ｎ２：ｎ３：ｎ４＝７：１９：５９：１５）である近赤外線吸収顔料（Ｅ－１２）を得た。次いで近赤外線吸収顔料（Ｅ－１１）と同様の方法で、微細化した。

【0390】

化学式（１７）

【化31】

【0391】

（近赤外線吸収顔料（Ｅ－１３））
国際公開第２０１９／０５８８８２号の記載に従い、下記化学式（１８）で表される近赤外線吸収顔料（Ｅ－１３）を得た。次いで近赤外線吸収顔料（Ｅ－１１）と同様の方法で、微細化した。

【0392】

化学式（１８）

【化32】

【0393】

（近赤外線吸収顔料（Ｅ－１４））
反応容器中で、アニリン１０．７部、ブロモベンゼン１２０部、及びジアザビシクロオクタン２５．７部を加え、攪拌した。その後、四塩化チタンの１ｍｏｌ／ｌトルエン溶液９５．２部を滴下した。滴下後、インジゴ１０．０部を加え、１０時間還流した。反応終了後、メタノールを加え、濾過し、緑色粉末を得た。これをジクロロメタンと水で分液を行い、有機層を濃縮することで、化合物ｃを１４．６部得た。
反応容器中で、化合物ｃを１３．５部、ビス（２、４－ペンタンジオナト）亜鉛（ＩＩ）を９．０部、とテトラヒドロフラン１２０部を混合攪拌し、昇温後４０℃で５時間攪拌した。攪拌したまま３０℃まで冷却した反応溶液を、メタノール５００部へ攪拌しながら注入し、青色のスラリーを得た。このスラリーを濾過し、メタノール５００部で洗浄後、イオン交換水５００部で複数回洗浄し、乾燥して、下記化学式（１９）で表される化合物の混合物（質量比率は２量体：３量体：４量体＝８１：１７：２）である近赤外線吸収顔料（Ｅ－１４）を得た。次いで近赤外線吸収顔料（Ｅ－１１）と同様の方法で、微細化した。

【0394】

化学式（１９）

【化33】

【0395】

＜分散樹脂（Ｈ）の製造＞
（分散樹脂（Ｈ－１））
ガス導入管、温度計、コンデンサー、攪拌機を備えた反応容器に、１－チオグリセロール１０８部、ピロメリット酸無水物１７４部、ＰＧＭＡｃ６５０部、触媒としてモノブチルスズオキシド０．２部を仕込み、窒素ガスで置換した後、１２０℃で５時間反応させた（第一工程）。酸価の測定で９５％以上の酸無水物がハーフエステル化していることを確認した。次に、第一工程で得られた化合物を不揮発分換算で１６０部、２－ヒドロキシプロピルメタクリレート２００部、エチルアクリレート２００部、ｔｅｒｔ－ブチルアクリレート１５０部、２－メトキシエチルアクリレート２００部、メチルアクリレート２００部、メタクリル酸５０部、ＰＧＭＡｃ６６３部を仕込み、反応容器内を８０℃に加熱して、２，２’－アゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）１．２部を添加し、１２時間反応した（第二工程）。不揮発分測定により９５％が反応したことを確認した。最後に、第二工程で得られた化合物の５０％ＰＧＭＡｃ溶液を５００部、２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネート（ＭＯＩ）２７．０部、ヒドロキノン０．１部を仕込み、ＩＲにてイソシアネート基に基づく２，２７０ｃｍ^－１のピークの消失を確認するまで反応を行った（第三工程）。冷却後、不揮発分が３０質量％となるようにＰＧＭＡｃを添加して、重合性不飽和基を有する分散樹脂（Ｈ－１）を得た。酸価６８ｍｇＫＯＨ／ｇ、重量平均分子量１３，０００であった。

【0396】

（分散樹脂（Ｈ－２））
ガス導入管、温度、コンデンサー、攪拌機を備えた反応容器に、メタクリル酸１０部、メチルメタクリレート１００部、ｉｓｏ－ブチルメタクリレート７０部、ベンジルメタクリレート２０部、ＰＧＭＡｃ５０部を仕込み、窒素ガスで置換した。反応容器内を５０℃に加熱撹拌し、３－メルカプト－１，２－プロパンジオール１２部を添加した。９０℃に昇温し、２，２’－アゾビスイソブチロニトリル０．１部をＰＧＭＡｃ９０部に加えた溶液を添加しながら７時間反応した。不揮発分測定により９５％が反応したことを確認した。ピロメリット酸無水物１９部、ＰＧＭＡｃ５０部、シクロヘキサノン５０部、触媒として１，８－ジアザビシクロ－［５．４．０］－７－ウンデセン０．４部を追加し、１００℃で７時間反応させた。酸価の測定で９８％以上の酸無水物がハーフエステル化していることを確認し反応を終了した。冷却後、不揮発分が３０質量％となるようＰＧＭＡｃを添加して、分散樹脂（Ｈ－２）を得た。酸価７０ｍｇＫＯＨ／ｇ、重量平均分子量８，５００であった。

【0397】

（分散樹脂（Ｈ－３））
ガス導入管、コンデンサー、攪拌翼、及び温度計を備え付けた反応装置に、メチルメタクリレート４０部、ｎ－ブチルメタクリレート１０部、触媒としてテトラメチルエチレンジアミン１３．２部を仕込み、窒素を流しながら５０℃で１時間撹拌し、系内を窒素置換した。次に、開始剤としてブロモイソ酪酸エチル９．３部、触媒として塩化第一銅５．６部、ＰＧＭＡｃ１００部を仕込み、窒素気流下で、１１０℃まで昇温して第一ブロック（Ｂブロック）の重合を開始した。４時間重合後、重合溶液をサンプリングして不揮発分測定を行い、不揮発分から換算して重合転化率が９８％以上であることを確認した。次に、この反応装置に、ＰＧＭＡｃ５０部、第二ブロック（Ａブロック）モノマーとしてジメチルアミノエチルメタクリレート４０部、メタクリロイルオキシエチルベンジルジメチルアンモニウムクロライド１０部を投入し、１１０℃・窒素雰囲気下を保持したまま撹拌し、反応を継続した。投入から２時間後、重合溶液をサンプリングして不揮発分測定を行い、不揮発分から換算して第二ブロック（Ａブロック）の重合転化率が９８％以上であることを確認した。冷却後、不揮発分が３０質量％になるようにＰＧＭＡｃを添加して、分散樹脂（Ｈ－３）を調製した。アミン価１６９．８ｍｇＫＯＨ／ｇであった。

【0398】

（分散樹脂（Ｈ－４））
国際公開第２０２２／１７２６０７号の実施例Ａ３に従って、重合性不飽和基を有する分散樹脂（Ｈ－４）を合成し、不揮発分が３０質量％になるようにＰＧＭＡｃを添加した。アミン価６７ｍｇＫＯＨ／ｇ、重量平均分子量５，６００であった。

【0399】

＜分散体の製造＞
（分散体１）
下記の原料を均一になるように攪拌混合した後、直径０．５ｍｍのジルコニアビーズを用いて、アイガーミル（アイガージャパン社製「ミニモデルＭ－２５０ ＭＫＩＩ」）で３時間分散した後、孔径１．０μｍのフィルタで濾過し、分散体１を作製した。
顔料（Ｅ－１） ：１５．０部
色素誘導体（Ｇ－１） ： １．０部
分散樹脂（Ｈ－１） ：１０．０部
分散樹脂（Ｈ－２） ：１０．０部
有機溶剤（Ｑ－１） ：６４．０部

【0400】

（分散体２～１４）
表３－１及び表３－２に記載した原料、量を変えた以外は、分散体１と同様にして分散体２～１４を作製した。

【0401】

【表3-1】

【0402】

【表3-2】

【0403】

表３－１及び表３－２中に記載したそれぞれの成分は、以下の通りである。

【0404】

［顔料（Ｅ）］
Ｅ－１：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６
Ｅ－２：Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３
Ｅ－３：Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン５８
Ｅ－４：Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６
Ｅ－５：Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン６２
Ｅ－６：Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７
Ｅ－７：Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８
Ｅ－８：Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９
Ｅ－９：Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０
Ｅ－１０：Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４

【0405】

顔料（Ｅ－１）～（Ｅ－１０）は、いずれもソルトミリング処理による微細化を行い、十分に洗浄・乾燥した上で使用した。

【0406】

［色素誘導体（Ｇ）］

【化34】

【0407】

［有機溶剤（Ｑ）］
Ｑ－１：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート

【0408】

＜感光性組成物の製造＞
［実施例１］
（感光性組成物１）
以下の原料を混合、攪拌し、孔径１．０μｍのフィルタで濾過して感光性組成物１を得た。
分散体１ ： ０．７部
分散体２ ： ０．３部
分散体４ ：２０．０部
分散体８ ： ０．７部
分散体９ ： ６．０部
アルカリ可溶性樹脂（Ａ１－１） ： ８．０部
水酸基又は酸性基を有する単官能（メタ）アクリレート（Ｂ１－１）
： ０．５部
２官能（メタ）アクリレート（Ｂ２－１） ： ２．０部
３官能以上の（メタ）アクリレート（Ｂ３－１） ： ０．４部
重合開始剤（Ｃ－１） ： ０．２部
シランカップリング剤（Ｄ－１） ： １．５部
熱硬化性化合物（Ｊ－１） ： ０．７部
チオール系連鎖移動剤（Ｋ－１） ： ０．５部
チオール系連鎖移動剤（Ｋ－３） ： ０．１部
レベリング剤（Ｏ） ： １．０部
有機溶剤（Ｑ） ：５７．４部

【0409】

［実施例２～６７、及び比較例１～３］
（感光性組成物２～７０）
実施例１の感光性組成物１を、表４－１～表４－７に記載した原料、量に変えた以外は、実施例１と同様にして感光性組成物２～７０を作製した。

【0410】

【表4-1】

【0411】

【表4-2】

【0412】

【表4-3】

【0413】

【表4-4】

【0414】

【表4-5】

【0415】

【表4-6】

【0416】

【表4-7】

【0417】

表４－１～表４－７に記載したそれぞれの原料については、以下の通りである。

【0418】

［重合性化合物（Ｂ）］
（水酸基又は酸性基を有する単官能（メタ）アクリレート（Ｂ１））
Ｂ１－１：２－アクリロイルオキシエチルフタル酸（カルボキシル基及び芳香族環構造を有する単官能アクリレート）
Ｂ１－２：２－アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸（カルボキシル基を有する単官能アクリレート）
Ｂ１－３：２－アクリロイルオキシエチルコハク酸（カルボキシル基を有する単官能アクリレート）
Ｂ１－４：ω－カルボキシ－ポリカプロラクトン－モノアクリレート（カルボキシル基を有する単官能アクリレート）
Ｂ１－５：３－アクリロイルオキシプロピオン酸（カルボキシル基を有する単官能アクリレート）
Ｂ１－６：２－アクリロイルオキシエチルアシッドフォスフェート（リン酸基を有する単官能アクリレート）
Ｂ１－７：２－アクリロイルオキシエチル－２－ヒドロキシエチルフタル酸（水酸基及び芳香族環構造を有する単官能アクリレート）

【0419】

（２官能（メタ）アクリレート（Ｂ２））
Ｂ２－１：１，１０－デカンジオールジアクリレート（一般式（１）中、Ｒ_１及びＲ_２が水素原子、ｌ及びｍが０、ｎが１０の化合物）
Ｂ２－２：１，６－ヘキサンジオールジアクリレート（一般式（１）中、Ｒ_１及びＲ_２が水素原子、ｌ及びｍが０、ｎが６の化合物）
Ｂ２－３：１，６－ヘキサンジオールエチレンオキサイド変性ジアクリレート（一般式（１）中、Ｒ_１及びＲ_２が水素原子、Ａ_１及びＡ_２がエチレン基、ｌ及びｍが１、ｎが６の化合物）
Ｂ２－４：１，９－ノナンジオールジアクリレート（一般式（１）中、Ｒ_１及びＲ_２が水素原子、ｌ及びｍが０、ｎが９の化合物）
Ｂ２－５：１，１２－ドデカンジオールジアクリレート（一般式（１）中、Ｒ_１及びＲ_２が水素原子、ｌ及びｍが０、ｎが１２の化合物）
Ｂ２－６：ポリエチレングリコール２００ジアクリレート
Ｂ２－７：ビスフェノールＡエチレンオキサイド変性ジアクリレート

【0420】

（３官能以上の（メタ）アクリレート（Ｂ３））
Ｂ３－１：アロニックスＭＴ－３０４１（東亞合成社製、水酸基価８７ｍｇＫＯＨ／ｇの水酸基及びアミン構造を有する３官能以上のアクリレート）
Ｂ３－４：ペンタエリスリトールトリアクリレート（水酸基を有する３官能アクリレート）
Ｂ３－５：ジペンタエリスリトールペンタアクリレート（水酸基を有する５官能アクリレート）
Ｂ３－６：トリメチロールプロパントリアクリレート（３官能アクリレート）
Ｂ３－７：ペンタエリスリトールテトラアクリレート（４官能アクリレート）
Ｂ３－８：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（６官能アクリレート）

【0421】

［重合開始剤（Ｃ）］
Ｃ－１：上述の化合物（Ｃ－１）（波長３６５ｎｍの光の吸光係数が２７，２５７Ｌ／ｍｏｌ・ｃｍ）
Ｃ－２：上述の化合物（Ｃ－２）（波長３６５ｎｍの光の吸光係数が１８，３３４Ｌ／ｍｏｌ・ｃｍ）
Ｃ－３：上述の化合物（Ｃ－３）（波長３６５ｎｍの光の吸光係数が１３，４１０Ｌ／ｍｏｌ・ｃｍ）
Ｃ－４：上述の化合物（Ｃ－４）（波長３６５ｎｍの光の吸光係数が７，０５１Ｌ／ｍｏｌ・ｃｍ）
Ｃ－５：上述の化合物（Ｃ－５）（波長３６５ｎｍの光の吸光係数が１４，１２７Ｌ／ｍｏｌ・ｃｍ）
Ｃ－６：上述の化合物（Ｃ－６）（波長３６５ｎｍの光の吸光係数が１４，２１４Ｌ／ｍｏｌ・ｃｍ）
Ｃ－７：下記化学式（２０）の化合物（波長３６５ｎｍの光の吸光係数が５，０００Ｌ／ｍｏｌ・ｃｍ未満）

【0422】

化学式（２０）

【化35】

【0423】

［シランカップリング剤（Ｄ）］
Ｄ－３：３－アクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン

【0424】

［熱硬化性化合物（Ｊ）］
Ｊ－１：ＥＨＰＥ－３１５０（ダイセル社製、一般式（１３）で表される化合物、エポキシ基数が約１５個、エポキシ当量が１７０～１９０ｇ／ｅｑ）

【0425】

［チオール系連鎖移動剤（Ｋ）］
Ｋ－１：メルカプトコハク酸（酸性基を有する単官能チオール化合物）
Ｋ－２：２－メルカプトベンゾオキサゾール（単官能チオール化合物）
Ｋ－３：ペンタエリスリトールテトラキス（３－メルカプトプロピオネート）（多官能チオール化合物）

【0426】

［レベリング剤（Ｏ）］
Ｏ－１：ＢＹＫ－３３０（ビックケミー社製）
Ｏ－２：メガファックＦ－５５４（ＤＩＣ社製）
以上、（Ｏ－１）及び（Ｏ－２）をそれぞれ１部混合し、ＰＧＭＡｃ９８部に溶解させた混合溶液をレベリング剤（Ｏ）とした。

【0427】

［有機溶剤（Ｑ）］
Ｑ－１：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
Ｑ－２：シクロヘキサノン
Ｑ－３：３－エトキシプロピオン酸エチル
以上、（Ｑ－１）、（Ｑ－２）、及び（Ｑ－３）を８：１：１の質量比にて混合し、有機溶剤（Ｑ）とした。

【0428】

＜感光性組成物の評価＞
得られた感光性組成物１～７０について、以下の評価を行った。評価結果を表５に示す。

【0429】

［線幅安定性評価］
得られた感光性組成物を、スピンコート法により縦１００ｍｍ×横１００ｍｍ、０．７ｍｍ厚のガラス基板（コーニング社製イーグル２０００）に、乾燥後の膜厚が２．０μｍとなるように塗工し、７０℃１分間ホットプレートで乾燥した。次いで、この基板を室温に冷却後、超高圧水銀灯を用い、照度３０ｍＷ／ｃｍ^２、露光量５０ｍＪ／ｃｍ^２及び１００ｍＪ／ｃｍ^２の２水準で、１００μｍ幅ストライプパターンのフォトマスクを介して露光した。その後、この基板を２３℃の非イオン系界面活性剤０．１２％と水酸化カリウム０．０４％とを含む水系現像液を用いて、スプレー現像した後、イオン交換水で洗浄、風乾した。得られた基板をクリーンオーブンで、１００℃６０分間ポストベークし評価用基板を得た。
得られた評価用基板を、Ｎｉｋｏｎ社製ＥＣＬＩＰＳＥ ＬＶ１００ＰＯＬ Ｍｏｄｅｌ光学顕微鏡を用いて、露光量５０ｍＪ／ｃｍ^２の線幅（ＣＤ_５０）及び１００ｍＪ／ｃｍ^２の線幅（ＣＤ_１００）を測定し、下記式（１）より露光量の違いによる線幅の差（ΔＣＤ）を求めた。評価基準は、以下の通りであり、３以上が実用可能とする。
式（１）：ΔＣＤ＝ＣＤ_１００－ＣＤ_５０
５：ΔＣＤが、２μｍ未満
４：ΔＣＤが、２μｍ以上、３μｍ未満
３：ΔＣＤが、３μｍ以上、５μｍ未満
２：ΔＣＤが、５μｍ以上、６μｍ未満
１：ΔＣＤが、６μｍ以上

【0430】

［密着性評価］
得られた感光性組成物を、スピンコート法により縦１００ｍｍ×横１００ｍｍ、０．７ｍｍ厚のガラス基板（コーニング社製イーグル２０００）に、乾燥後の膜厚が２．０μｍとなるように塗工し、７０℃１分間ホットプレートで乾燥した。次いで、この基板を室温に冷却後、超高圧水銀灯を用い、幅５～２５μｍまで５μｍ幅刻みのストライプパターンのフォトマスクを介して照度３０ｍＷ／ｃｍ^２、１００ｍＪ／ｃｍ^２で露光した。その後、この基板を２３℃の非イオン系界面活性剤０．１２質量％と水酸化カリウム０．０４質量％とを含む水系現像液を用いてスプレー現像した後、イオン交換水で洗浄、風乾し、クリーンオーブンで１００℃６０分間加熱した。スプレー現像は、それぞれの感光性組成物での被膜について、現像残りなくパターン形成可能な最短時間で行った。
得られた基板の幅５、１０、１５、２０、及び２５μｍのパターンについて、光学顕微鏡で観察し、残存したパターンの最小線幅を確認した。評価基準は、以下の通りであり、３以上を実用可能とする。
５：１０μｍ以下の細線が残存している。
４：１５μｍ以上の細線が残存している。
３：２０μｍ以上の細線が残存している。
２：２５μｍの細線が残存している。
１：細線が残存していない。

【0431】

［パターン形状評価］
得られた感光性組成物を、スピンコート法により縦１００ｍｍ×横１００ｍｍ、０．７ｍｍ厚のガラス基板（コーニング社製イーグル２０００）に、乾燥後の膜厚が２．０μｍとなるように塗工し、７０℃１分間ホットプレートで乾燥した。次いで、この基板を室温に冷却後、超高圧水銀灯を用い、１００μｍ幅のストライプパターンのフォトマスクを介して照度３０ｍＷ／ｃｍ^２、１００ｍＪ／ｃｍ^２で露光した。その後、この基板を２３℃の非イオン系界面活性剤０．１２質量％と水酸化カリウム０．０４質量％とを含む水系現像液を用いてスプレー現像した後、イオン交換水で洗浄、風乾し、クリーンオーブンで１００℃６０分間加熱した。スプレー現像は、それぞれの感光性組成物での被膜について、現像残りなくパターン形成可能な最短時間で行った。
走査型電子顕微鏡（日立ハイテック社製「Ｓ－３０００Ｈ」）を用いて、パターンの断面形状を確認した。評価は、幅１００μｍのストライプ型パターンの断面のＳＥＭ画像を取り込み、基材とパターン断面の端部とのテーパー角度を測定することでパターン形状評価を行った。評価基準は、以下の通りであり、３以上を実用可能とする。
５：テーパー角度３０度以上５０度未満
４：テーパー角度５０度以上６０度未満
３：テーパー角度３０度以上４０度未満、もしくは６０度以上７０度未満
２：テーパー角度２０度以上３０度未満、もしくは７０度以上９０度未満
１：テーパー角度２０度未満、もしくは９０度以上

【0432】

［耐溶剤性評価］
得られた感光性組成物を、スピンコート法により縦１００ｍｍ×横１００ｍｍ、０．７ｍｍ厚のガラス基板（コーニング社製イーグル２０００）に、乾燥後の膜厚が２．０μｍとなるように塗工し、７０℃１分間ホットプレートで乾燥した。次いで、この基板を室温に冷却後、超高圧水銀灯を用い、１００μｍ幅のストライプパターンのフォトマスクを介して照度３０ｍＷ／ｃｍ^２、１００ｍＪ／ｃｍ^２で露光した。その後、この基板を２３℃の非イオン系界面活性剤０．１２質量％と水酸化カリウム０．０４質量％とを含む水系現像液を用いてスプレー現像した後、イオン交換水で洗浄、風乾し、クリーンオーブンで１００℃６０分間加熱した。スプレー現像は、それぞれの感光性組成物での被膜について、現像残りなくパターン形成可能な最短時間で行った。
得られた評価基板を、室温で１５分間プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートに浸漬後、イオン交換水で洗浄、風乾して、幅１００μｍのストライプパターン部分について光学顕微鏡を用いて観察した。評価基準は、以下の通りであり、３以上を実用可能とする。
５：外観、色に変化がない。
４：わずかにシワ等が発生するが、色に変化はない。
３：一部にシワ等が発生するが、色に変化はない。
２：全面にシワ等が発生し、少し退色する。
１：剥がれや退色が発生。

【0433】

［高温高湿耐性評価］
得られた感光性組成物を、スピンコート法により縦１００ｍｍ×横１００ｍｍ、０．７ｍｍ厚のガラス基板（コーニング社製イーグル２０００）に、乾燥後の膜厚が２．０μｍとなるように塗工し、７０℃１分間ホットプレートで乾燥した。次いで、この基板を室温に冷却後、超高圧水銀灯を用い、照度３０ｍＷ／ｃｍ^２、１００ｍＪ／ｃｍ^２で露光した。さらに、この基板を室温に冷却後、２３℃の非イオン系界面活性剤０．１２％と水酸化カリウム０．０４％とを含む水系現像液を用いてスプレー現像し、イオン交換水で洗浄して風乾した。その後、クリーンオーブンで、１００℃６０分間加熱処理し評価用基板を得た。
得られた評価用基板を、温度１２０℃、湿度１００％の条件下に３時間保管した。保管後、膜にカッターナイフで１ｍｍ四方の格子パターン（合計１００マス）の切り傷を入れ、透明粘着テープ（ニチバン社製ＣＴ－２４）を強く圧着させ、約１８０℃方向に剥離した後、格子パターンの状態を観察し、剥がれた格子パターンの数を数えた。評価基準は、以下の通りであり、３以上を実用可能とする。
５：２個未満
４：２個以上、５個未満
３：５個以上、１０個未満
２：１０個以上、１５個未満
１：１５個以上

【0434】

【表5】

【符号の説明】

【0435】

１００ 赤外線センサ
１１０ 固体撮像素子
１１１ 赤外線カットフィルタ
１１２ カラーフィルタ
１１３ 赤外線透過フィルタ
１１４ 樹脂膜
１１５ マイクロレンズ
１１６ 平坦膜

【図1】