特開 2024-78978 電子線照射装置、電子線被照射物の保護カバー及び電子線被照射物の保護方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024078978

(43)【公開日】2024-06-11

(54)【発明の名称】電子線照射装置、電子線被照射物の保護カバー及び電子線被照射物の保護方法

(51)【国際特許分類】

   G21K 5/08 20060101AFI20240604BHJP

   B29C 35/08 20060101ALI20240604BHJP

   G21K 5/04 20060101ALI20240604BHJP

【ＦＩ】

G21K5/08 C

B29C35/08

G21K5/04 E

【審査請求】未請求

【請求項の数】13

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022191637

(22)【出願日】2022-11-30

(71)【出願人】

【識別番号】503237806

【氏名又は名称】株式会社ＮＨＶコーポレーション

(74)【代理人】

【識別番号】110000796

【氏名又は名称】弁理士法人三枝国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】西田 和治

【テーマコード（参考）】

4F203

【Ｆターム（参考）】

4F203AA45

4F203AC03

4F203AC04

4F203AG01

4F203AG08

4F203AJ02

4F203AK03

4F203DA11

4F203DB01

4F203DC07

4F203DL14

4F203DN12

4F203DN21

(57)【要約】

【課題】電子線照射される被照射物を保護することができる電子線照射装置、電子線照射装置において被照射物を保護するための保護カバー、及び、電子線照射装置において被照射物を保護する方法を提供することを目的とする。
【解決手段】電子線照射装置１は、照射室４、電子線を照射窓部３０から照射室４内の被照射物２に照射する装置本体３、被照射物２を保護する保護カバー６を備える。保護カバー６は、電子線を透過可能でありかつ被照射物２に覆い被さる被覆材７、被覆材７の外周縁に沿うように被覆材７上に載せられる定置具８を備える。被覆材７において、定置具８が載せられる部分は定置具８により載置台５に押し付けられており、定置具８は、冷却用流体が流通する内部流路８０と、冷却用流体を内部流路８０に導入する導入口８１と、冷却用流体を内部流路８０から導出する導出口８２と、を有する。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

電子線被照射物を載置する載置台を備えた照射室と、電子線を発生させかつ前記電子線を照射窓部から前記照射室内の前記電子線被照射物に照射する装置本体と、を少なくとも備えた電子線照射装置であって、
前記載置台上に設けられて前記電子線被照射物を保護する保護カバーをさらに備え、
前記保護カバーは、前記電子線を透過可能でありかつ前記電子線被照射物に覆い被さる被覆材と、前記被覆材の外周縁の少なくとも一部分に沿うように前記被覆材上に載せられる少なくとも一つの定置具と、を備え、
前記被覆材において、前記定置具が載せられる部分は前記定置具により前記載置台に押し付けられており、
前記定置具は、該定置具を冷却するための冷却用流体が流通する内部流路と、前記冷却用流体を前記内部流路に導入する導入口と、前記冷却用流体を前記内部流路から導出する導出口と、を有する、電子線照射装置。

【請求項2】

前記定置具は、前記被覆材と対向する部分に、前記被覆材を前記定置具に固定する固定手段が設けられている、請求項１に記載の電子線照射装置。

【請求項3】

前記定置具は、前記被覆材と対向する下面が平坦であり、
前記固定手段は、前記定置具の下面に設けられている、請求項２に記載の電子線照射装置。

【請求項4】

前記固定手段は、接着剤、粘着剤又は両面テープである、請求項２又は３に記載の電子線照射装置。

【請求項5】

前記定置具は、前記被覆材の外周縁の全周に沿うように前記被覆材上に載せられる平面視枠状を呈しており、前記電子線被照射物の周囲に前記定置具が配置される、請求項１に記載の電子線照射装置。

【請求項6】

前記定置具の平面視における大きさは、前記装置本体の前記照射窓部から前記載置台に照射される前記電子線の照射領域の平面視における大きさよりも小さい、請求項１に記載の電子線照射装置。

【請求項7】

前記定置具の高さは、３ｃｍ以下である、請求項１に記載の電子線照射装置。

【請求項8】

前記被覆材は、可撓性を有する、請求項１に記載の電子線照射装置。

【請求項9】

前記被覆材は、金属製である、請求項１に記載の電子線照射装置。

【請求項10】

前記被覆材は、アルミニウム箔で構成される、請求項８又は９に記載の電子線照射装置。

【請求項11】

冷却用ガスにより前記照射窓部を冷却する冷却器をさらに備える、請求項１に記載の電子線照射装置。

【請求項12】

載置台に載置された電子線被照射物に電子線を照射する電子線照射装置において、前記載置台上に設けられて前記電子線被照射物を保護するための保護カバーであって、
前記電子線を透過可能でありかつ前記電子線被照射物に覆い被さる被覆材と、前記被覆材の外周縁の少なくとも一部分に沿うように前記被覆材上に載せられて前記被覆材を前記載置台の方に押し付ける少なくとも一つの定置具と、を備え、
前記定置具は、該定置具を冷却するための冷却用流体が流通する内部流路と、前記冷却用流体を前記内部流路に導入する導入口と、前記冷却用流体を前記内部流路から導出する導出口と、を有する、保護カバー。

【請求項13】

載置台に載置された電子線被照射物に電子線を照射する電子線照射装置において、前記載置台上に設けられて前記電子線被照射物を保護する方法であって、
前記電子線を透過可能な被覆材を前記電子線被照射物に覆い被せ、
少なくとも一つの定置具を前記被覆材の外周縁の少なくとも一部分に沿うように前記被覆材上に載せて前記被覆材を前記載置台の方に押し付け、
前記定置具の内部に冷却用流体を流通させて前記定置具を冷却する、ことを特徴とする電子線被照射物の保護方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、電子線照射装置、電子線被照射物の保護カバー及び電子線被照射物の保護方法に関する。

【背景技術】

【0002】

電子線照射装置は、一般的に、図６に示すように、電子線を発生させる装置本体１１１と、装置本体１１１が設けられる照射室１１２と、を備える。装置本体１１１は、真空中でフィラメントの加熱により電子を発生させ、電子を加速して電子線とし、電子線を照射窓部１１３から出射することで、照射室１１２内において、照射窓部１１３に対向して配置された電子線被照射物（本開示では、「被照射物」ともいう。）１１０に電子線を照射する。照射窓部１１３は、電子線が透過可能な金属箔（窓箔）１１４により覆われており、この金属箔１１４は、真空状態の装置本体１１１内と大気圧状態の照射室１１２内とのバウンダリングとして機能する。

【0003】

照射窓部１１３の金属箔１１４は、電子線に曝されているため電子線のエネルギーの一部を吸収することで温度が上昇する。金属箔１１４は例えばチタンなどで形成されるが、電子線照射により過度に発熱すると、強度の低下により変形したり劣化により破損したりする。そのため、照射窓部１１３の金属箔１１４に、空気や窒素ガスなどの冷却用ガスを吹き付けて金属箔を冷却するための冷却器１１５を備えた電子線照射装置が提案されている（例えば特許文献１を参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開平８－２７８３９９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

照射窓部１１３の金属箔１１４に吹き付けられた冷却用ガスは、金属箔１１４に当たることで反射し、照射窓部１１３に対向して配置された被照射物１１０に勢いよく当たるおそれがある。冷却用ガスが当たることで被照射物１１０が移動するおそれがある。また、被照射物１１０が粉粒体などの軽量物であると、被照射物１１０が飛散するおそれがある。また、飛散した被照射物１１０が照射窓部１１３の金属箔１１４に当たることで金属箔１１４がダメージを受けるおそれがある。また、金属箔１１４で反射した冷却用ガスの対流により照射室１１２内の塵埃が被照射物１１０に付着するおそれがある。なお、被照射物１１０が粉粒体の場合、粉粒体１１０は通常は袋に収容された状態で照射室１１２内に設置される。この場合、電子線照射により粉粒体に含まれる空気の熱膨張により個々の粒や粉が袋を突き破ることで、被照射物１１０が飛散するおそれもある。

【0006】

本発明は、上記事情に鑑みてなされ、電子線照射される被照射物を保護することができる電子線照射装置、電子線照射装置において被照射物を保護するための保護カバー、及び、電子線照射装置において被照射物を保護する方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の第一態様は、電子線被照射物を載置する載置台を備えた照射室と、電子線を発生させかつ前記電子線を照射窓部から前記照射室内の前記電子線被照射物に照射する装置本体と、を少なくとも備えた電子線照射装置に関する。本発明の電子線照射装置は、前記載置台上に設けられて前記電子線被照射物を保護する保護カバーをさらに備え、前記保護カバーは、前記電子線を透過可能でありかつ前記電子線被照射物に覆い被さる被覆材と、前記被覆材の外周縁の少なくとも一部分に沿うように前記被覆材上に載せられる少なくとも一つの定置具と、を備え、前記被覆材において、前記定置具が載せられる部分は前記定置具により前記載置台に押し付けられており、前記定置具は、該定置具を冷却するための冷却用流体が流通する内部流路と、前記冷却用流体を前記内部流路に導入する導入口と、前記冷却用流体を前記内部流路から導出する導出口と、を有する、ことを特徴とする。

【0008】

本発明の第二態様は、載置台に載置された電子線被照射物に電子線を照射する電子線照射装置において、前記載置台上に設けられて前記電子線被照射物を保護するための保護カバーに関する。本発明の保護カバーは、前記電子線を透過可能でありかつ前記電子線被照射物に覆い被さる被覆材と、前記被覆材の外周縁の少なくとも一部分に沿うように前記被覆材上に載せられて前記被覆材を前記載置台の方に押し付ける少なくとも一つの定置具と、を備え、前記定置具は、該定置具を冷却するための冷却用流体が流通する内部流路と、前記冷却用流体を前記内部流路に導入する導入口と、前記冷却用流体を前記内部流路から導出する導出口と、を有する、ことを特徴とする。

【0009】

本発明の第三態様は、載置台に載置された電子線被照射物に電子線を照射する電子線照射装置において、前記載置台上に設けられて前記電子線被照射物を保護する方法に関する。本発明の電子線被照射物の保護方法は、前記電子線を透過可能な被覆材を前記電子線被照射物に覆い被せ、少なくとも一つの定置具を前記被覆材の外周縁の少なくとも一部分に沿うように前記被覆材上に載せて前記被覆材を前記載置台の方に押し付け、前記定置具の内部に冷却用流体を流通させて前記定置具を冷却する、ことを特徴とする。

【発明の効果】

【0010】

本発明によれば、

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】電子線照射装置の概略構成図である。

【図2】図１の要部を拡大した概略構成図である。

【図3】図１の保護カバーの平面図である。

【図4】変形例の保護カバーの平面図である。

【図5】変形例の保護カバーの平面図である。

【図6】従来例の電子線照射装置の概略構成図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、本発明の実施形態に係る電子線照射装置について、図面を参照して詳細に説明する。図１から図３は、本実施形態の電子線照射装置１の概略構成を示す。電子線照射装置１は、電子線を被照射物２に照射することにより、例えば被照射物２に対して素材の性質改善、機能付加、殺菌・滅菌などを行う。電子線照射装置１は、被照射物２に照射する電子線を発生させる装置本体３と、被照射物２を載置する載置台５を備えた照射室４と、照射室４内の載置台５上に設けられて被照射物２を保護する保護カバー６と、を少なくとも備える。

【0013】

電子線が照射される被照射物２は、特に限定されるものではなく、例えば電線、光ケーブル、ワイヤー、ゴムホース、チューブ、フィルム、シート、粉粒体などを挙げることができる。

【0014】

装置本体３は、電子線の生成及び被照射物２に対する電子線の照射を行う。装置本体３は、その内部を真空ポンプにより減圧した状態で、フィラメントの加熱により電子を発生させ、電子を加速して電子線とし、電子線を照射窓部３０から装置本体３の外部に出射する。装置本体３は、上述した電子線の生成及び被照射物２に対する電子線の照射が可能であれば、その構造は特に限定されるものではなく、走査型であってもよいし、非走査型であってもよい。

【0015】

照射窓部３０は、照射室４内で開口する装置本体３の一部分であり、照射窓部３０の下方が電子線の照射領域とされている。照射窓部３０は、金属箔（窓箔）３１により覆われている。金属箔３１は、電子線をその厚み方向に透過可能な金属製の薄いシートであり、例えばチタンにより形成することができる。金属箔３１の厚みは、金属箔３１を透過する電子線のエネルギー損失を抑えるためには極力薄いことが好ましいが、金属箔３１は真空状態の装置本体３内と大気圧状態の照射室４内との境界であり、圧力バウンダリングとして機能しているため、１気圧の差圧に耐えうる程度の厚みを有するように、金属箔３１の厚みが設計されている。

【0016】

電子線照射装置１は、特に限定されないが、好ましくは冷却用ガスにより照射窓部３０を冷却する冷却器１０をさらに備える。冷却器１０は、照射窓部３０の金属箔３１に冷却用ガスを吹きつけるためのノズル１００と、ノズル１００に冷却用ガス供給源（図示は省略）から供給される冷却用ガスを流通させるダクト１０１と、を備えている。

【0017】

照射窓部３０の金属箔３１は、電子線に曝されているため、電子線のエネルギーの一部を吸収することで温度が上昇し、電子線照射により過度に発熱すると、強度の低下により変形したり劣化により破損したりする。そのため、照射窓部３０の金属箔３１に空気や窒素ガスなどの冷却用ガスを吹き付けて金属箔３１を冷却するために、冷却器１０が装置本体３に設けられている。

【0018】

照射室４は、その外部に電子線が流出するのを遮るために鉛系の金属で形成されている。照射室４は、例えば直方体型の箱体であり、その内部の底壁４０上に載置台５が設けられている。また、照射室４は、載置台５の上方において、照射窓部３０と載置台５とが対向配置されるように、装置本体２が設けられている。

【0019】

載置台５は、天板部５０及び一つ又は複数の脚部５１を備え、天板部５０の上面に被照射物２を載置可能である。天板部５０の上面は平坦である。天板部５０は、特に限定されないが、例えば天板部５０の内部に冷却水を導入、導出することで天板部５０を冷却する冷却手段が好ましくは設けられる。載置台５は、特に限定されないが、好ましくは照射室４の底壁４０上に移動可能に設置される。

【0020】

保護カバー６は、照射室４内の載置台５上に、被照射物２を覆うように設けられる。保護カバー６は、被照射物２に覆い被さる被覆材７と、被覆材７の外周縁の少なくとも一部分に沿うように被覆材７上に載せられる少なくとも一つの定置具８と、を備える。

【0021】

被覆材７は、冷却用ガスが照射窓部３０の金属箔３１に吹き付けられることにより金属箔３１で反射し、この反射した冷却用ガスが被照射物２に接触するのを保護する。また、被覆材７は、照射室４内の塵埃などの異物が被照射物２に付着するのを保護する。また、被覆材７は、被照射物２が上述した冷却用ガスの吹き付けやその他の要因で載置台５上から飛散するのを保護する。

【0022】

被覆材７は、電子線をその厚み方向に透過可能である。そのため、載置台５上の被照射物２が被覆材７により覆われていても、被照射物２に電子線を照射可能である。また、被覆材７は、電子線照射により発熱するため、耐熱性を有する。また、被覆材７は、照射窓部３０の金属箔３１で反射した冷却用ガスが勢いよく当たるおそれがあるため、冷却用ガスが吹き付けられても破損せずに耐えられる耐久性を有する。また、被覆材７は、特に限定されないが、好ましくは可撓性を有する。被覆材７が可撓性を有し、柔軟に変形可能であることで、載置台５上の被照射物２の高さが変わっても、被覆材７の高さ（図２に示す載置台５の上面から被覆材７の最上位置までの垂直距離Ｈ）を被照射物２の高さに応じて容易に変えることができる。また、被覆材７は、被照射物２が例えば粉粒体である場合に、被照射物２の個々の粒や粉が載置台５上から飛散して被覆材７に衝突するおそれがあるため、特に限定されないが、好ましくは被照射物２が衝突しても破損せずに耐えられる耐久性を有する。また、被覆材７は、特に限定されないが、安価な素材で形成されることが好ましい。

【0023】

上述した観点から、被覆材７は、アルミニウム製のシート、例えば厚みの薄いアルミニウム箔で構成することができる。なお、被覆材７は、アルミニウム以外を素材とする金属製のシート、例えばチタン製のシート、好ましくは厚みの薄いチタン箔で構成することも可能であり、さらに耐熱性は劣るが金属以外の素材で形成されたシート（もしくはフィルム）で構成してもよく、その素材は特に限定されない。そのうえ、被覆材７は必ずしも可撓性を有するシート状である必要はなく、固くて容易に変形しない板状であってもよく、その形態は特に限定されない。

【0024】

被覆材７は、電子線に曝されているため電子線のエネルギーの一部を吸収することで温度が上昇する。被覆材７の厚みは、被覆材７を透過する電子線のエネルギー損失を抑えたり、被覆材７の電子線照射による温度上昇を抑えるためには極力薄いことが好ましい。被覆材７の厚みは、素材に応じて適宜設定されるが、被覆材７がアルミニウム製の場合、例えば１１μｍ以上１７μｍ以下であることが好ましい。厚みが１１μｍ以上１７μｍ以下のアルミニウム製の被覆材７としてはアルミホイルを使用することができ、アルミホイルは一般に入手しやすく、また、安価であることからコストの低減を図ることができる。

【0025】

被覆材７は、外周縁の少なくとも一部分に沿って定置具８が載せられることで、定置具８が載せられる部分が定置具８により載置台５に上から押し付けられている。これにより、被覆材７は、載置台５上の一定の場所、具体的には被照射物２を覆う場所に止まっている。

【0026】

定置具８は、特に限定されないが、好ましくはステンレスなどの錆耐性を有する金属製である。定置具８は、被照射物２の周りにおいて、被覆材７の一部分を載置台５に上から押し付けることができれば、その平面視形状は特に限定されない。

【0027】

ただし、定置具８により被覆材７を安定して載置台５上に定置する、被覆材７と載置台５との間の被照射物２の収容空間を極力閉鎖された空間とするなどの観点から、定置具８は、好ましくは、被覆材７の外周縁の全周に沿うように被覆材７上に載せられて被照射物２の周囲に配置される平面視枠状を呈する。定置具８の平面視形状は、被照射物２の周囲を囲んでその内側の開口した領域に被照射物２を位置できれば、円形の枠状や楕円形の枠状を呈していてもよいし、矩形の枠状を呈していてもよいし、その他の多角形の枠状を呈していてもよい。

【0028】

定置具８の平面視における大きさは、特に限定されないが、好ましくは、装置本体３の照射窓部３０から載置台５に照射される電子線の照射領域の平面視における大きさよりも小さい。言い換えれば、定置具８は、平面視において、装置本体３の照射窓部３０から載置台５に照射される電子線の照射領域の内側に収まる大きさである。定置具８の平面視における大きさが載置台５に照射される電子線の照射領域の平面視における大きさよりも大きいと、定置具８に電子線に曝されるのを抑制でき、定置具８が電子線照射により発熱するのを抑制できるが、定置具８が大きくなり過ぎて保護カバー６を製作したり持ち運んだりするのに効率が悪くなるおそれがある。定置具８の平面視における大きさが載置台５に照射される電子線の照射領域の平面視における大きさよりも小さいことで、保護カバー６を効率よく製作したり持ち運んだりすることができる。

【0029】

なお、定置具８の平面視における大きさが載置台５に照射される電子線の照射領域の平面視における大きさよりも小さいと、定置具８が電子線に曝され、定置具８が電子線照射により発熱する。しかし、この課題は以下で説明するように、定置具８の内部に冷却用流体を流通させることで解消可能である。

【0030】

定置具８の鉛直方向に平行な断面における形状（外形）は、円形状、矩形状、その他の多角形状など、種々の形状にすることができるが、定置具８において被覆材７と対向する下面を平坦とすることができるように、例えば矩形状にすることが好ましい。定置具８の下面が平坦であることで、被覆材７の一部分を面による広範囲で載置台５に押し付けることができ、被覆材７を安定して載置台５上に定置することができる。また、後述するように、被覆材７は定置具８に両面テープなどの固定手段９により固定されるが、定置具８において被覆材７と対向する部分であり、被覆材７に固定される部分が平坦な下面となることで、定置具８を被覆材７に強く固定することができる。

【0031】

定置具８の高さ（図２に示す載置台５上に定置具８を置いた際の最下位置（本実施形態では下面）と最上位置（本実施形態では上面）との垂直距離ｈ）について、定置具８の高さが高すぎると、定置具８の内周面に照射された電子線が反射して被照射物２に照射されてしまい、被照射物２に照射される電子線の照射量が意図した照射量よりも多くなってしまう。そのため、定置具８の高さは、特に限定されないが、好ましくは３ｃｍ以下である。

【0032】

定置具８は、中空のパイプ状を呈しており、冷却用流体が流通する内部流路８０を有する。また、定置具８は、内部流路８０に冷却用流体を導出入できるように、内部流路８０の一端に接続されて冷却用流体を内部流路８０に導入する導入口８１と、内部流路８０の他端に接続されて冷却用流体を内部流路８０から導出する導出口８１と、を有する。導入口８１及び導出口８１は、照射室４の外部に設置された流体タンク（図示は省略）に接続されており、ポンプ（図示は省略）の駆動により、流体タンクに貯留された冷却用流体が循環し、冷却用流体が定置具８の内部を通過する際に定置具８との熱交換により定置具８を冷却する。冷却用流体は、定置具８を冷却することが可能であれば特に限定されないが、好ましくは液体であり、より好ましくは水道水などの冷却水である。

【0033】

定置具８は、特に限定されないが、好ましくは固定手段９により被覆材７が固定されている。固定手段９により被覆材７が定置具８に固定されることで、保護カバー６の持ち運びが容易となり、保護カバー６を被覆材２を覆うように載置台５上に容易に設置することができる。

【0034】

固定手段９は、特に限定されないが、好ましくは定置具８において被覆材７と対向する部分に、本実施形態では被覆材７と対向する下面に設けられる。定置具８において被覆材７と対向する部分に固定手段９が設けられることで、固定手段９は定置具８により覆われており、平面視で定置具８の下に隠れていて露出しないようにされている。これにより、固定手段９は電子線が定置具８により遮られることで電子線が照射されにくく、固定手段９が電子線照射による影響を受けて劣化により破損したり品質が低下したりするのを抑制できる。

【0035】

固定手段９は、被覆材７を定置具８に固定することができれば、特に限定されないが、両面テープ、接着剤、粘着剤を固定手段９として用いることで、被覆材７を定置具８に簡易に固定し、さらには被覆材７を定置具８から容易に取り外すことができる。固定手段９としては、その他に、溶接や、被覆材７の外周縁部を挟み込むクリップなどを定置具８に一体に設けるようにしてもよい。

【0036】

定置具８は、その全長にわたって被覆材７が固定手段９により固定されていてもよいし、その全長の一部分において被覆材７が固定手段９により固定されていてもよい。本実施形態では、平面視枠状を呈する定置具８の全長（全周）にわたって被覆材７が固定手段９により固定されている。

【0037】

以上に説明した本実施形態の電子線照射装置１においては、載置台５に載置された被照射物２に電子線を照射する際に、保護カバー６を載置台５上に設けて被照射物を保護している。具体的な保護方法は、電子線を透過可能な被覆材７を被照射物２に覆い被せながら被照射物２に電子線を照射し、少なくとも一つの定置具８を被覆材７の外周縁の少なくとも一部分に沿うように被覆材７上に載せて被覆材７を載置台５の方に押し付けることで被覆材７を載置台５上に定置させ、電子線の照射中に定置具７の内部に冷却用流体を流通させて定置具８を冷却している。

【0038】

本実施形態の電子線照射装置１では、載置台５上の被照射物２を被覆材７で覆いながら被照射物２に電子線を照射する。そのため、冷却器１０により照射窓部３０の金属箔３１に吹き付けられた冷却用ガスが金属箔３１で反射して載置台５上の被照射物２の方に流れてきても、冷却用ガスは被覆材７により遮られて被照射物２に勢いよく当たるのが防止される。よって、冷却用ガスが当たることで被照射物２が載置台５上を移動したり、被照射物２が粉粒体などの軽量物である場合に被照射物２が載置台５上から飛散したりするおそれがない。その結果、被照射物２に対して目的の照射条件で電子線を照射することができる。また、飛散した被照射物２が照射窓部３０の金属箔３１に当たるなどして金属箔３１が破損するおそれもない。また、金属箔３１で反射した冷却用ガスの対流により照射室４内の塵埃などの異物が飛び散ったとしても被照射物２に異物が付着するおそれもない。

【0039】

なお、被照射物２が粉粒体の場合、粉粒体２は通常は袋に収容された状態で載置台５上に載置される。この場合に、電子線照射により粉粒体に含まれる空気の熱膨張により個々の粒や粉が袋を突き破ることで、被照射物２が飛散するおそれがあるが、保護カバー６の被覆材７により被照射物２が飛散することが遮られるため、被照射物２は載置台５上の所定の範囲内にしか散らばらない。よって、この場合も、被照射物２が飛散して照射窓部３０の金属箔３１に当たるなどして金属箔３１が破損するおそれがない。

【0040】

加えて、本実施形態の電子線照射装置１では、電子線の照射中に、保護カバー６の定置具８が冷却用流体により冷却されている。定置具８は、電子線に曝されているため、電子線のエネルギーの一部を吸収することで温度が上昇し、電子線照射により過度に発熱すると、強度の低下により変形したり劣化により破損したりする。定置具８が電子線の照射中に冷却用流体により冷却され続けていることで、変形や破損を抑制でき、繰り返しの使用が可能である。

【0041】

加えて、本実施形態の電子線照射装置１では、定置具８と被覆材７とが固定手段９により固定されている。そのため、保護カバー６の持ち運びが容易である。そのうえ、定置具８は、被覆材７と対向する部分（本実施形態では下面）に固定手段９が設けられている。そのため、固定手段９が電子線に曝されるのを抑制でき、固定手段９が電子線照射による影響を受けて劣化により破損したり品質が低下したりするのを抑制できる。なお、固定手段９も定置具８内を流通する冷却用流体により冷却されるため、冷却によっても固定手段９が劣化により破損したり品質が低下したりするのを抑制できる。

【0042】

加えて、本実施形態の電子線照射装置１では、定置具８は、被覆材７と対向する下面が平坦である。そのため、定置具８は、被覆材７の一部分を面による広範囲で載置台５に押し付けることができ、被覆材７を安定して載置台５上に定置することができる。そのうえ、固定手段９に両面テープ、接着剤、粘着剤を用いた場合に、定置具８の平坦な下面に固定手段９を設けることで、定置具８を被覆材７に強く固定することができる。

【0043】

加えて、本実施形態の電子線照射装置１では、定置具８は、被覆材７の外周縁の全周に沿うように被覆材７上に載せられる平面視枠状を呈している。そのため、定置具８により被覆材７を安定して載置台５上に定置することができるうえ、被覆材７と載置台５との間の被照射物２の収容空間を極力閉鎖された空間とすることができる。

【0044】

加えて、本実施形態の電子線照射装置１では、定置具８の平面視における大きさは、装置本体３の照射窓部３０から載置台５に照射される電子線の照射領域の平面視における大きさよりも小さい。そのため、保護カバー６を効率よく製作したり持ち運んだりすることができる。

【0045】

加えて、本実施形態の電子線照射装置１では、定置具の高さは、３ｃｍ以下である。そのため、定置具８の内周面に照射された電子線が反射して被照射物２に照射されるのを抑制でき、被照射物２に照射される電子線の照射量が意図した照射量よりも多くなるのを抑制できる。

【0046】

加えて、本実施形態の電子線照射装置１では、被覆材７は、可撓性を有する。そのため、被覆材７を上方に緩みを持たせた状態で被照射物２に被覆することで、被照射物２の高さに応じて被覆材７の高さを容易に変えることができ、各種の高さの被覆材２を被覆することができる。

【0047】

加えて、本実施形態の電子線照射装置１では、被覆材７は、アルミニウム箔で構成されている。そのため、被覆材７に耐熱性、耐久性、可撓性を持たせることができるうえ、厚みが薄いため、被覆材７を透過する際の電子線のエネルギー損失を抑えることができる。

【0048】

以上、本発明の電子線照射装置、保護カバー及び被照射物の保護方法の実施形態について説明したが、本発明の電子線照射装置、保護カバー及び被照射物の保護方法は上述した実施形態に限定されるものではなく、本開示の趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変形が可能である。

【0049】

例えば上述した実施形態では、定置具８は、被覆材７の外周縁の全周に沿うように被覆材７上に載せられる平面視枠状を呈しているが、定置具８は、必ずしも被覆材７の外周縁の全周に沿うように被覆材７上に載せられる形状である必要はない。定置具８は、被覆材７の外周縁の一部分に沿うように被覆材７上に載せられる形状、例えば図４に示すように、被覆材７の外周縁（四辺）のうちの三辺に沿うように被覆材７上に載せられる形状（平面視でコの字をなす形状）であってもよいし、図示は省略するが被覆材７の外周縁（四辺）のうちの直交する二辺に沿うように被覆材７上に載せられる形状（平面視でＬ字をなす形状）であってもよい。

【0050】

例えば上述した実施形態では、一つの定置具８により被覆材７を載置台５上に定置しているが、定置具８は、必ずしも一つである必要はなく、複数であってもよい。例えば図５に示すように、定置具８は二つであってもよい。図５では、二つの定置具８は、それぞれが平面視で直線状に延びる形状である。それぞれの定置具８が、被覆材７の外周縁（四辺）のうちの一辺に沿うように被覆材７上に載せられている。なお、図５では、二つの定置具８は、被覆材７の外周縁（四辺）のうちの互いに平行となる二辺に沿って被覆材７上に載せられているが、被覆材７の外周縁（四辺）のうちの互いに直交する二辺に沿って被覆材７上に載せられていてもよい。また、図５においては、平面視で直線状に延びる形状の定置具８を三つ用意し、それぞれを被覆材７の外周縁（四辺）のうちの一辺に沿って（合計三辺に沿って）被覆材７上に載せてもよいし、平面視で直線状に延びる形状の定置具８を四つ用意し、それぞれを被覆材７の外周縁（四辺）のうちの一辺に沿って（合計四辺に沿って）被覆材７上に載せてもよい。あるいは、平面視でＬ字をなす形状の定置具８を二つ用意し、それぞれを被覆材７の外周縁（四辺）のうちの互いに直交する二辺に沿って（合計四辺に沿って）被覆材７上に載せてもよい。

【0051】

例えば上述した実施形態では、定置具８と被覆材７は固定手段９により固定されているが、定置具８と被覆材７は必ずしも固定手段９により固定されている必要はなく、単に被覆材７上に定置具８が置かれるだけでもよい。

【0052】

以上に説明した通り、本発明の電子線照射装置は、本開示の課題を解決するため、以下の項１に記載の電子線照射装置を包含する。

【0053】

項１．電子線被照射物を載置する載置台を備えた照射室と、電子線を発生させかつ前記電子線を照射窓部から前記照射室内の前記電子線被照射物に照射する装置本体と、を少なくとも備えた電子線照射装置であって、
前記載置台上に設けられて前記電子線被照射物を保護する保護カバーをさらに備え、
前記保護カバーは、前記電子線を透過可能でありかつ前記電子線被照射物に覆い被さる被覆材と、前記被覆材の外周縁の少なくとも一部分に沿うように前記被覆材上に載せられる少なくとも一つの定置具と、を備え、
前記被覆材において、前記定置具が載せられる部分は前記定置具により前記載置台に押し付けられており、
前記定置具は、該定置具を冷却するための冷却用流体が流通する内部流路と、前記冷却用流体を前記内部流路に導入する導入口と、前記冷却用流体を前記内部流路から導出する導出口と、を有する、電子線照射装置。

【0054】

また本発明の電子線照射装置は、上記項１に記載の電子線照射装置の好ましい態様として、以下の項２に記載の電子線照射装置を包含する。

【0055】

項２．前記定置具は、前記被覆材と対向する部分に、前記被覆材を前記定置具に固定する固定手段が設けられている、項１に記載の電子線照射装置。

【0056】

また本発明は、上記項２に記載の電子線照射装置の好ましい態様として、以下の項３に記載の電子線照射装置を包含する。

【0057】

項３．前記定置具は、前記被覆材と対向する下面が平坦であり、
前記固定手段は、前記定置具の下面に設けられている、項２に記載の電子線照射装置。

【0058】

また本発明は、上記項２及び項３に記載の電子線照射装置の好ましい態様として、以下の項４に記載の電子線照射装置を包含する。

【0059】

項４．前記固定手段は、接着剤、粘着剤又は両面テープである、項２又は３に記載の電子線照射装置。

【0060】

また本発明は、上記項１から項４に記載の電子線照射装置の好ましい態様として、以下の項５に記載の電子線照射装置を包含する。

【0061】

項５．前記定置具は、前記被覆材の外周縁の全周に沿うように前記被覆材上に載せられる平面視枠状を呈しており、前記電子線被照射物の周囲に前記定置具が配置される、項１から４のいずれか一項に記載の電子線照射装置。

【0062】

また本発明は、上記項１から項５に記載の電子線照射装置の好ましい態様として、以下の項６に記載の電子線照射装置を包含する。

【0063】

項６．前記定置具の平面視における大きさは、前記装置本体の前記照射窓部から前記載置台に照射される前記電子線の照射領域の平面視における大きさよりも小さい、項１から５のいずれか一項に記載の電子線照射装置。

【0064】

また本発明は、上記項１から項６に記載の電子線照射装置の好ましい態様として、以下の項７に記載の電子線照射装置を包含する。

【0065】

項７．前記定置具の高さは、３ｃｍ以下である、項１から６のいずれか一項に記載の電子線照射装置。

【0066】

また本発明は、上記項１から項７に記載の電子線照射装置の好ましい態様として、以下の項８に記載の電子線照射装置を包含する。

【0067】

項８．前記被覆材は、可撓性を有する、項１から７のいずれか一項に記載の電子線照射装置。

【0068】

また本発明は、上記項１から項８に記載の電子線照射装置の好ましい態様として、以下の項９に記載の電子線照射装置を包含する。

【0069】

項９．前記被覆材は、金属製である、項１から８のいずれか一項に記載の電子線照射装置。

【0070】

また本発明は、上記項８及び項９に記載の電子線照射装置の好ましい態様として、以下の項１０に記載の電子線照射装置を包含する。

【0071】

項１０．前記被覆材は、アルミニウム箔で構成される、項８又は９に記載の電子線照射装置。

【0072】

また本発明は、上記項１から項１０に記載の電子線照射装置の好ましい態様として、以下の項１１に記載の電子線照射装置を包含する。

【0073】

項１１．冷却用ガスにより前記照射窓部を冷却する冷却器をさらに備える、項１から１０のいずれか一項に記載の電子線照射装置。

【0074】

また本発明の保護カバーは、本開示の課題を解決するため、以下の項１２に記載の保護カバーを包含する。

【0075】

項１２．載置台に載置された電子線被照射物に電子線を照射する電子線照射装置において、前記載置台上に設けられて前記電子線被照射物を保護するための保護カバーであって、
前記電子線を透過可能でありかつ前記電子線被照射物に覆い被さる被覆材と、前記被覆材の外周縁の少なくとも一部分に沿うように前記被覆材上に載せられて前記被覆材を前記載置台の方に押し付ける少なくとも一つの定置具と、を備え、
前記定置具は、該定置具を冷却するための冷却用流体が流通する内部流路と、前記冷却用流体を前記内部流路に導入する導入口と、前記冷却用流体を前記内部流路から導出する導出口と、を有する、保護カバー。

【0076】

また本発明の電子線被照射物の保護方法は、本開示の課題を解決するため、以下の項１３に記載の電子線被照射物の保護方法を包含する。

【0077】

項１３．載置台に載置された電子線被照射物に電子線を照射する電子線照射装置において、前記載置台上に設けられて前記電子線被照射物を保護する方法であって、
前記電子線を透過可能な被覆材を前記電子線被照射物に覆い被せ、
少なくとも一つの定置具を前記被覆材の外周縁の少なくとも一部分に沿うように前記被覆材上に載せて前記被覆材を前記載置台の方に押し付け、
前記定置具の内部に冷却用流体を流通させて前記定置具を冷却する、ことを特徴とする電子線被照射物の保護方法。

【符号の説明】

【0078】

１ 電子線照射装置
２ 被照射物
３ 装置本体
４ 照射室
５ 載置台
６ 保護カバー
７ 被覆材
８ 定置材
９ 固定手段
１０ 冷却器
８０ 内部流路
８１ 導入口
８２ 導出口
３０ 照射窓部
３１ 金属箔

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】