ホーム > 特許ランキング > マスプロ電工株式会社
特開2024-79239センサー精度確認システム及びセンサー精度確認方法、並びにセンサー校正システム及びセンサー校正方法
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024079239
(43)【公開日】2024-06-11
(54)【発明の名称】センサー精度確認システム及びセンサー精度確認方法、並びにセンサー校正システム及びセンサー校正方法
(51)【国際特許分類】
G01N 1/00 20060101AFI20240604BHJP
【ＦＩ】
G01N1/00 E
G01N1/00 101R
【審査請求】未請求
【請求項の数】22
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022192073
(22)【出願日】2022-11-30
(71)【出願人】
【識別番号】000113665
【氏名又は名称】マスプロ電工株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100078721
【弁理士】
【氏名又は名称】石田 喜樹
(74)【代理人】
【識別番号】100124420
【弁理士】
【氏名又は名称】園田 清隆
(72)【発明者】
【氏名】熊崎 真吉
【テーマコード（参考）】
2G052
【Ｆターム（参考）】
2G052AB06
2G052AD22
2G052AD42
2G052CA04
2G052CA35
2G052CA38
2G052DA13
2G052GA23
2G052HC04
2G052HC09
2G052HC24
2G052JA07
2G052JA09
(57)【要約】
【課題】複数の状態に係るセンサーの精度の確認が十分に正確な状態で効率良く行えるセンサー精度確認システム，方法を提供する。
【解決手段】センサー精度確認システム１は、検知対象の濃度を検知するセンサー（被試験器Ｔ）に係る精度を確認するシステムであり、被試験器Ｔを収容可能である試験箱４と、試験箱４に真空弁５を介してつながっており、密閉状態の試験箱４の負圧を調整可能である真空ポンプ７と、窒素ガス中に検知対象を第１所定濃度，第２所定濃度で含む第１の気体，第２の気体の流量を調整して密閉状態の試験箱４の内部へ導入する第１切替弁２２，第２切替弁２４と、第１切替弁２２，第２切替弁２４及び真空弁５を制御可能なＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０と、を備えている。ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０は、試験箱４の内部を複数の精度確認対象濃度とした状態で、被試験器Ｔから検知対象の濃度に係る信号である濃度信号をそれぞれ受信する。
【選択図】図１
【解決手段】センサー精度確認システム１は、検知対象の濃度を検知するセンサー（被試験器Ｔ）に係る精度を確認するシステムであり、被試験器Ｔを収容可能である試験箱４と、試験箱４に真空弁５を介してつながっており、密閉状態の試験箱４の負圧を調整可能である真空ポンプ７と、窒素ガス中に検知対象を第１所定濃度，第２所定濃度で含む第１の気体，第２の気体の流量を調整して密閉状態の試験箱４の内部へ導入する第１切替弁２２，第２切替弁２４と、第１切替弁２２，第２切替弁２４及び真空弁５を制御可能なＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０と、を備えている。ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０は、試験箱４の内部を複数の精度確認対象濃度とした状態で、被試験器Ｔから検知対象の濃度に係る信号である濃度信号をそれぞれ受信する。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
検知対象の濃度を検知するセンサーに係る精度を確認するシステムであるセンサー精度確認システムであって、
前記センサーを収容可能であり、且つ開閉可能であって、閉塞時には密閉可能である試験箱と、
前記試験箱に真空弁を介してつながっており、密閉状態の前記試験箱の負圧を調整可能である真空ポンプと、
媒体中に前記検知対象を所定濃度で含む流体を収めたボンベと、
前記流体の流量を調整して閉じた前記試験箱の内部へ導入する、前記ボンベと前記試験箱との間に設けられた切替弁と、
前記センサーと通信可能であり、前記切替弁並びに前記真空弁及び前記真空ポンプを制御可能である精度確認制御手段と、
を備えており、
前記精度確認制御手段は、
密閉状態の前記試験箱の内部が第１の精度確認対象濃度である状態で、前記センサーから前記検知対象の濃度に係る信号である濃度信号を受信すると共に、
前記切替弁並びに前記真空弁及び前記真空ポンプを制御して密閉状態の前記試験箱の内部を前記第１の精度確認対象濃度とは異なる第２の精度確認対象濃度とした状態で、前記センサーから前記検知対象の濃度に係る信号である濃度信号を受信する
ことを特徴とするセンサー精度確認システム。
前記センサーを収容可能であり、且つ開閉可能であって、閉塞時には密閉可能である試験箱と、
前記試験箱に真空弁を介してつながっており、密閉状態の前記試験箱の負圧を調整可能である真空ポンプと、
媒体中に前記検知対象を所定濃度で含む流体を収めたボンベと、
前記流体の流量を調整して閉じた前記試験箱の内部へ導入する、前記ボンベと前記試験箱との間に設けられた切替弁と、
前記センサーと通信可能であり、前記切替弁並びに前記真空弁及び前記真空ポンプを制御可能である精度確認制御手段と、
を備えており、
前記精度確認制御手段は、
密閉状態の前記試験箱の内部が第１の精度確認対象濃度である状態で、前記センサーから前記検知対象の濃度に係る信号である濃度信号を受信すると共に、
前記切替弁並びに前記真空弁及び前記真空ポンプを制御して密閉状態の前記試験箱の内部を前記第１の精度確認対象濃度とは異なる第２の精度確認対象濃度とした状態で、前記センサーから前記検知対象の濃度に係る信号である濃度信号を受信する
ことを特徴とするセンサー精度確認システム。
【請求項2】
検知対象の濃度を検知するセンサーに係る精度を確認するシステムであるセンサー精度確認システムであって、
前記センサーを収容可能であり、且つ開閉可能であって、閉塞時には密閉可能である試験箱と、
前記試験箱に真空弁を介してつながっており、密閉状態の前記試験箱の負圧を調整可能である真空ポンプと、
媒体中に前記検知対象を第１所定濃度で含む第１の流体を収めた第１ボンベと、
媒体中に前記検知対象を第２所定濃度で含む第２の流体を収めた第２ボンベと、
前記第１の流体の流量を調整して閉じた前記試験箱の内部へ導入する、前記第１ボンベと前記試験箱との間に設けられた第１切替弁と、
前記第２の流体の流量を調整して閉じた前記試験箱の内部へ導入する、前記第２ボンベと前記試験箱との間に設けられた第２切替弁と、
前記センサーと通信可能であり、前記第１切替弁及び前記第２切替弁並びに前記真空弁及び前記真空ポンプを制御可能である精度確認制御手段と、
を備えており、
前記精度確認制御手段は、
前記第１切替弁並びに前記真空弁及び前記真空ポンプを制御して密閉状態の前記試験箱の内部を第１の精度確認対象濃度とした状態で、前記センサーから前記検知対象の濃度に係る信号である濃度信号を受信すると共に、
前記第２切替弁並びに前記真空弁及び前記真空ポンプを制御して密閉状態の前記試験箱の内部を第２の精度確認対象濃度とした状態で、前記センサーから前記検知対象の濃度に係る信号である濃度信号を受信する
ことを特徴とするセンサー精度確認システム。
前記センサーを収容可能であり、且つ開閉可能であって、閉塞時には密閉可能である試験箱と、
前記試験箱に真空弁を介してつながっており、密閉状態の前記試験箱の負圧を調整可能である真空ポンプと、
媒体中に前記検知対象を第１所定濃度で含む第１の流体を収めた第１ボンベと、
媒体中に前記検知対象を第２所定濃度で含む第２の流体を収めた第２ボンベと、
前記第１の流体の流量を調整して閉じた前記試験箱の内部へ導入する、前記第１ボンベと前記試験箱との間に設けられた第１切替弁と、
前記第２の流体の流量を調整して閉じた前記試験箱の内部へ導入する、前記第２ボンベと前記試験箱との間に設けられた第２切替弁と、
前記センサーと通信可能であり、前記第１切替弁及び前記第２切替弁並びに前記真空弁及び前記真空ポンプを制御可能である精度確認制御手段と、
を備えており、
前記精度確認制御手段は、
前記第１切替弁並びに前記真空弁及び前記真空ポンプを制御して密閉状態の前記試験箱の内部を第１の精度確認対象濃度とした状態で、前記センサーから前記検知対象の濃度に係る信号である濃度信号を受信すると共に、
前記第２切替弁並びに前記真空弁及び前記真空ポンプを制御して密閉状態の前記試験箱の内部を第２の精度確認対象濃度とした状態で、前記センサーから前記検知対象の濃度に係る信号である濃度信号を受信する
ことを特徴とするセンサー精度確認システム。
【請求項3】
前記試験箱の内部に、前記検知対象の濃度を検知する基準器が入っている
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のセンサー精度確認システム。
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のセンサー精度確認システム。
【請求項4】
前記精度確認制御手段は、前記基準器と通信可能であり、前記基準器から前記検知対象の濃度に係る信号である基準信号を受信して、前記基準信号に基づき前記試験箱の内部の濃度を制御する
ことを特徴とする請求項３に記載のセンサー精度確認システム。
ことを特徴とする請求項３に記載のセンサー精度確認システム。
【請求項5】
更に、ｋ＝［３］ｏｒ［３，４］ｏｒ［３，４，５］ｏｒ・・・として、
媒体中に前記検知対象を第ｋ所定濃度で含む第ｋの流体を収めた第ｋボンベと、
前記第ｋの流体の流量を調整して閉じた前記試験箱の内部へ導入する、前記第ｋボンベと前記試験箱との間に設けられた第ｋ切替弁と、
を備えており、
前記精度確認制御手段は、
前記第ｋ切替弁を制御可能であり、
前記第ｋ切替弁を制御して前記試験箱の内部を第ｋの精度確認対象濃度とした状態で、前記センサーから前記検知対象の濃度に係る信号である濃度信号を受信する
ことを特徴とする請求項２に記載のセンサー精度確認システム。
媒体中に前記検知対象を第ｋ所定濃度で含む第ｋの流体を収めた第ｋボンベと、
前記第ｋの流体の流量を調整して閉じた前記試験箱の内部へ導入する、前記第ｋボンベと前記試験箱との間に設けられた第ｋ切替弁と、
を備えており、
前記精度確認制御手段は、
前記第ｋ切替弁を制御可能であり、
前記第ｋ切替弁を制御して前記試験箱の内部を第ｋの精度確認対象濃度とした状態で、前記センサーから前記検知対象の濃度に係る信号である濃度信号を受信する
ことを特徴とする請求項２に記載のセンサー精度確認システム。
【請求項6】
前記試験箱の内部に、ファンが設けられている
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のセンサー精度確認システム。
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のセンサー精度確認システム。
【請求項7】
前記センサーは、複数設けられており、各前記センサーは、前記試験箱に収容されている
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のセンサー精度確認システム。
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のセンサー精度確認システム。
【請求項8】
前記試験箱は、内部を所定温度に保持可能であり、又は内部を所定温度に保持する恒温槽の内部に入っている
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のセンサー精度確認システム。
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のセンサー精度確認システム。
【請求項9】
更に、前記試験箱の内部に配置されたスペーサーを備えている
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のセンサー精度確認システム。
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のセンサー精度確認システム。
【請求項10】
前記検知対象はＣＯ２である
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のセンサー精度確認システム。
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のセンサー精度確認システム。
【請求項11】
前記センサーは、無線通信可能である
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のセンサー精度確認システム。
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のセンサー精度確認システム。
【請求項12】
更に、前記試験箱につながっており、前記試験箱の密閉状態を保持可能であると共に前記試験箱に係る負圧を開放可能である開放弁を備えている
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のセンサー精度確認システム。
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のセンサー精度確認システム。
【請求項13】
検知対象の濃度を検知するセンサーに係る精度を確認するシステムであるセンサー精度確認システムであって、
前記センサーを収容可能であり、且つ開閉可能であって、閉塞時には密閉可能である試験箱と、
前記試験箱に真空弁を介してつながっており、密閉状態の前記試験箱の負圧を調整可能である真空ポンプと、
媒体中に前記検知対象を所定濃度で含む流体を収めたボンベと、
前記流体の流量及び媒体の流量を調整して閉じた前記試験箱の内部へ導入する、前記ボンベと前記試験箱との間に設けられた分割弁と、
前記センサーと通信可能であり、前記分割弁及び前記真空弁を制御可能である精度確認制御手段と、
を備えており、
前記精度確認制御手段は、
前記分割弁及び前記真空弁を制御して密閉状態の前記試験箱の内部を順次複数の精度確認対象濃度とした状態で、前記センサーから前記検知対象の濃度に係る信号である濃度信号をそれぞれの状態において受信する
ことを特徴とするセンサー精度確認システム。
前記センサーを収容可能であり、且つ開閉可能であって、閉塞時には密閉可能である試験箱と、
前記試験箱に真空弁を介してつながっており、密閉状態の前記試験箱の負圧を調整可能である真空ポンプと、
媒体中に前記検知対象を所定濃度で含む流体を収めたボンベと、
前記流体の流量及び媒体の流量を調整して閉じた前記試験箱の内部へ導入する、前記ボンベと前記試験箱との間に設けられた分割弁と、
前記センサーと通信可能であり、前記分割弁及び前記真空弁を制御可能である精度確認制御手段と、
を備えており、
前記精度確認制御手段は、
前記分割弁及び前記真空弁を制御して密閉状態の前記試験箱の内部を順次複数の精度確認対象濃度とした状態で、前記センサーから前記検知対象の濃度に係る信号である濃度信号をそれぞれの状態において受信する
ことを特徴とするセンサー精度確認システム。
【請求項14】
前記試験箱の内部に、前記検知対象の濃度を検知する基準器が入っている
ことを特徴とする請求項１３に記載のセンサー精度確認システム。
ことを特徴とする請求項１３に記載のセンサー精度確認システム。
【請求項15】
前記精度確認制御手段は、前記基準器と通信可能であり、前記基準器から前記検知対象の濃度に係る信号である基準信号を受信して、前記基準信号に基づき前記試験箱の内部の濃度を制御する
ことを特徴とする請求項１４に記載のセンサー精度確認システム。
ことを特徴とする請求項１４に記載のセンサー精度確認システム。
【請求項16】
更に、ｋ＝［３］ｏｒ［３，４］ｏｒ［３，４，５］ｏｒ・・・として、
前記精度確認制御手段は、前記分割弁を制御して前記試験箱の内部を第ｋの精度確認対象濃度とした状態で、前記センサーから前記検知対象の濃度に係る信号である濃度信号を受信する
ことを特徴とする請求項１３に記載のセンサー精度確認システム。
前記精度確認制御手段は、前記分割弁を制御して前記試験箱の内部を第ｋの精度確認対象濃度とした状態で、前記センサーから前記検知対象の濃度に係る信号である濃度信号を受信する
ことを特徴とする請求項１３に記載のセンサー精度確認システム。
【請求項17】
前記分割弁により流量を調整される前記媒体は、外気である
ことを特徴とする請求項１３に記載のセンサー精度確認システム。
ことを特徴とする請求項１３に記載のセンサー精度確認システム。
【請求項18】
前記試験箱の内部に、ファンが設けられている
ことを特徴とする請求項１３に記載のセンサー精度確認システム。
ことを特徴とする請求項１３に記載のセンサー精度確認システム。
【請求項19】
前記試験箱の内部に入れられた前記検知対象の濃度を検知する基準器から前記検知対象の濃度に係る信号である基準信号が発信される請求項１、請求項２、請求項５及び請求項１３から請求項１８の何れかに記載のセンサー精度確認システムで取得された、前記センサーにおける前記検知対象の濃度と、前記第１の精度確認対象濃度、前記第２の精度確認対象濃度、及び前記基準器における前記検知対象の濃度の少なくとも何れかと、に基づいて、前記センサーを校正する
ことを特徴とするセンサー校正システム。
ことを特徴とするセンサー校正システム。
【請求項20】
検知対象の濃度を検知するセンサーに係る精度を、複数の精度確認対象濃度において確認する方法であるセンサー精度確認方法であって、
開閉可能であり閉じた状態で前記センサーを入れた試験箱の内部における前記検知対象の濃度を、順次複数の前記精度確認対象濃度のうちの何れかとして前記センサーの精度をそれぞれ確認する
ことを特徴とするセンサー精度確認方法。
開閉可能であり閉じた状態で前記センサーを入れた試験箱の内部における前記検知対象の濃度を、順次複数の前記精度確認対象濃度のうちの何れかとして前記センサーの精度をそれぞれ確認する
ことを特徴とするセンサー精度確認方法。
【請求項21】
前記試験箱の内部における前記検知対象の濃度を、まず複数の前記精度確認対象濃度のうち最も小さいものとして前記センサーの精度を確認し、続いて複数の前記精度確認対象濃度のうち順に小さいものとして前記センサーの精度を確認する
ことを特徴とする請求項２０に記載のセンサー精度確認方法。
ことを特徴とする請求項２０に記載のセンサー精度確認方法。
【請求項22】
請求項２０又は請求項２１に記載のセンサー精度確認方法で確認された、複数の前記精度確認対象濃度における各前記濃度に基づいて、前記センサーを校正する
ことを特徴とするセンサー校正方法。
ことを特徴とするセンサー校正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、二酸化炭素（ＣＯ２）濃度センサーを始めとするセンサーの精度を確認するシステムであるセンサー精度確認システム、及びセンサーの精度を確認する方法であるセンサー精度確認方法、並びにセンサーを校正するシステムであるセンサー校正システム、及びセンサーを校正する方法であるセンサー校正方法に関する。
【背景技術】
【0002】
建物構成材料から放散される有害物質の濃度を確認するシステムとして、特開２００９－２５２５５号公報（特許文献１）に記載のものが知られている。
このシステム１０は、試料Ｓが内部に収容されるチャンバー１１と、システム外から取り込まれた新鮮空気を清浄する空気清浄装置１９と、空気清浄装置１９を通過した清浄空気をチャンバー１１内に導く給気流路２０と、チャンバー１１からの排出空気をシステム外に導く排気流路２７と、チャンバー１１からの排出空気の一部を取り込んで試料Ｓからの有害物質を捕集する捕集部２９と、排気流路２７から分岐して給気流路２０に繋がる循環流路３４と、各流路２０，２７，３４を流れる各空気の流量を制御する制御手段２３，３１，３５とを備えている。システム１０では、システム外及び捕集部２９に流れる排出空気の総流量が、清浄空気の流量と同一に制御され、清浄空気と排出空気とが所定割合で混合されてチャンバー１１内に供給される。
このシステム１０は、試料Ｓが内部に収容されるチャンバー１１と、システム外から取り込まれた新鮮空気を清浄する空気清浄装置１９と、空気清浄装置１９を通過した清浄空気をチャンバー１１内に導く給気流路２０と、チャンバー１１からの排出空気をシステム外に導く排気流路２７と、チャンバー１１からの排出空気の一部を取り込んで試料Ｓからの有害物質を捕集する捕集部２９と、排気流路２７から分岐して給気流路２０に繋がる循環流路３４と、各流路２０，２７，３４を流れる各空気の流量を制御する制御手段２３，３１，３５とを備えている。システム１０では、システム外及び捕集部２９に流れる排出空気の総流量が、清浄空気の流量と同一に制御され、清浄空気と排出空気とが所定割合で混合されてチャンバー１１内に供給される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２００９－２５２５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
製造されあるいは校正されたＣＯ２濃度センサーの精度を確認する場合、特許文献１のシステムのようにチャンバーにＣＯ２濃度センサーを入れ、更に複数の大きさの濃度（第１の精度確認対象濃度、第２の精度確認対象濃度、・・・）となるようにそれぞれＣＯ２を入れて、ＣＯ２濃度センサーの値を確認する必要がある。
しかし、特許文献１のシステムでは、チャンバー内での濃度の大きさの正確な変更（例えば第１の精度確認対象濃度から第２の精度確認対象濃度への正確な変更）については何ら実現されていない。
しかし、特許文献１のシステムでは、チャンバー内での濃度の大きさの正確な変更（例えば第１の精度確認対象濃度から第２の精度確認対象濃度への正確な変更）については何ら実現されていない。
【0005】
そこで、本発明の主な目的は、複数の状態に係るセンサーの精度の確認が十分に正確な状態で効率良く行えるセンサー精度確認システム，センサー精度確認方法を提供することである。
又、本発明の別の主な目的は、センサーの校正が十分に正確な状態で効率良く行えるセンサー校正システム，センサー校正方法を提供することである。
又、本発明の別の主な目的は、センサーの校正が十分に正確な状態で効率良く行えるセンサー校正システム，センサー校正方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0006】
請求項１に記載の発明は、検知対象の濃度を検知するセンサーに係る精度を確認するシステムであるセンサー精度確認システムであって、前記センサーを収容可能であり、且つ開閉可能であって、閉塞時には密閉可能である試験箱と、前記試験箱に真空弁を介してつながっており、密閉状態の前記試験箱の負圧を調整可能である真空ポンプと、媒体中に前記検知対象を所定濃度で含む流体を収めたボンベと、前記流体の流量を調整して閉じた前記試験箱の内部へ導入する、前記ボンベと前記試験箱との間に設けられた切替弁と、前記センサーと通信可能であり、前記切替弁並びに前記真空弁及び前記真空ポンプを制御可能である精度確認制御手段と、を備えており、前記精度確認制御手段は、密閉状態の前記試験箱の内部が第１の精度確認対象濃度である状態で、前記センサーから前記検知対象の濃度に係る信号である濃度信号を受信すると共に、前記切替弁並びに前記真空弁及び前記真空ポンプを制御して密閉状態の前記試験箱の内部を前記第１の精度確認対象濃度とは異なる第２の精度確認対象濃度とした状態で、前記センサーから前記検知対象の濃度に係る信号である濃度信号を受信することを特徴とするものである。
請求項２に記載の発明は、検知対象の濃度を検知するセンサーに係る精度を確認するシステムであるセンサー精度確認システムであって、前記センサーを収容可能であり、且つ開閉可能であって、閉塞時には密閉可能である試験箱と、前記試験箱に真空弁を介してつながっており、密閉状態の前記試験箱の負圧を調整可能である真空ポンプと、媒体中に前記検知対象を第１所定濃度で含む第１の流体を収めた第１ボンベと、媒体中に前記検知対象を第２所定濃度で含む第２の流体を収めた第２ボンベと、前記第１の流体の流量を調整して閉じた前記試験箱の内部へ導入する、前記第１ボンベと前記試験箱との間に設けられた第１切替弁と、前記第２の流体の流量を調整して閉じた前記試験箱の内部へ導入する、前記第２ボンベと前記試験箱との間に設けられた第２切替弁と、前記センサーと通信可能であり、前記第１切替弁及び前記第２切替弁並びに前記真空弁及び前記真空ポンプを制御可能である精度確認制御手段と、を備えており、前記精度確認制御手段は、前記第１切替弁並びに前記真空弁及び前記真空ポンプを制御して密閉状態の前記試験箱の内部を第１の精度確認対象濃度とした状態で、前記センサーから前記検知対象の濃度に係る信号である濃度信号を受信すると共に、前記第２切替弁並びに前記真空弁及び前記真空ポンプを制御して密閉状態の前記試験箱の内部を第２の精度確認対象濃度とした状態で、前記センサーから前記検知対象の濃度に係る信号である濃度信号を受信することを特徴とするものである。
請求項３に記載の発明は、上記発明にあって、前記試験箱の内部に、前記検知対象の濃度を検知する基準器が入っていることを特徴とするものである。
請求項４に記載の発明は、上記発明にあって、前記精度確認制御手段は、前記基準器と通信可能であり、前記基準器から前記検知対象の濃度に係る信号である基準信号を受信して、前記基準信号に基づき前記試験箱の内部の濃度を制御することを特徴とするものである。
請求項５に記載の発明は、上記発明にあって、更に、ｋ＝［３］ｏｒ［３，４］ｏｒ［３，４，５］ｏｒ・・・として、媒体中に前記検知対象を第ｋ所定濃度で含む第ｋの流体を収めた第ｋボンベと、前記第ｋの流体の流量を調整して閉じた前記試験箱の内部へ導入する、前記第ｋボンベと前記試験箱との間に設けられた第ｋ切替弁と、を備えており、前記精度確認制御手段は、前記第ｋ切替弁を制御可能であり、前記第ｋ切替弁を制御して前記試験箱の内部を第ｋの精度確認対象濃度とした状態で、前記センサーから前記検知対象の濃度に係る信号である濃度信号を受信することを特徴とするものである。
請求項６に記載の発明は、上記発明にあって、前記試験箱の内部に、ファンが設けられていることを特徴とするものである。
請求項７に記載の発明は、上記発明にあって、前記センサーは、複数設けられており、各前記センサーは、前記試験箱に収容されていることを特徴とするものである。
請求項８に記載の発明は、上記発明にあって、前記試験箱は、内部を所定温度に保持可能であり、又は内部を所定温度に保持する恒温槽の内部に入っていることを特徴とするものである。
請求項９に記載の発明は、上記発明にあって、更に、前記試験箱の内部に配置されたスペーサーを備えていることを特徴とするものである。
請求項１０に記載の発明は、上記発明にあって、前記検知対象はＣＯ２であることを特徴とするものである。
請求項１１に記載の発明は、上記発明にあって、前記センサーは、無線通信可能であることを特徴とするものである。
請求項１２に記載の発明は、上記発明にあって、更に、前記試験箱につながっており、前記試験箱の密閉状態を保持可能であると共に前記試験箱に係る負圧を開放可能である開放弁を備えていることを特徴とするものである。
請求項２に記載の発明は、検知対象の濃度を検知するセンサーに係る精度を確認するシステムであるセンサー精度確認システムであって、前記センサーを収容可能であり、且つ開閉可能であって、閉塞時には密閉可能である試験箱と、前記試験箱に真空弁を介してつながっており、密閉状態の前記試験箱の負圧を調整可能である真空ポンプと、媒体中に前記検知対象を第１所定濃度で含む第１の流体を収めた第１ボンベと、媒体中に前記検知対象を第２所定濃度で含む第２の流体を収めた第２ボンベと、前記第１の流体の流量を調整して閉じた前記試験箱の内部へ導入する、前記第１ボンベと前記試験箱との間に設けられた第１切替弁と、前記第２の流体の流量を調整して閉じた前記試験箱の内部へ導入する、前記第２ボンベと前記試験箱との間に設けられた第２切替弁と、前記センサーと通信可能であり、前記第１切替弁及び前記第２切替弁並びに前記真空弁及び前記真空ポンプを制御可能である精度確認制御手段と、を備えており、前記精度確認制御手段は、前記第１切替弁並びに前記真空弁及び前記真空ポンプを制御して密閉状態の前記試験箱の内部を第１の精度確認対象濃度とした状態で、前記センサーから前記検知対象の濃度に係る信号である濃度信号を受信すると共に、前記第２切替弁並びに前記真空弁及び前記真空ポンプを制御して密閉状態の前記試験箱の内部を第２の精度確認対象濃度とした状態で、前記センサーから前記検知対象の濃度に係る信号である濃度信号を受信することを特徴とするものである。
請求項３に記載の発明は、上記発明にあって、前記試験箱の内部に、前記検知対象の濃度を検知する基準器が入っていることを特徴とするものである。
請求項４に記載の発明は、上記発明にあって、前記精度確認制御手段は、前記基準器と通信可能であり、前記基準器から前記検知対象の濃度に係る信号である基準信号を受信して、前記基準信号に基づき前記試験箱の内部の濃度を制御することを特徴とするものである。
請求項５に記載の発明は、上記発明にあって、更に、ｋ＝［３］ｏｒ［３，４］ｏｒ［３，４，５］ｏｒ・・・として、媒体中に前記検知対象を第ｋ所定濃度で含む第ｋの流体を収めた第ｋボンベと、前記第ｋの流体の流量を調整して閉じた前記試験箱の内部へ導入する、前記第ｋボンベと前記試験箱との間に設けられた第ｋ切替弁と、を備えており、前記精度確認制御手段は、前記第ｋ切替弁を制御可能であり、前記第ｋ切替弁を制御して前記試験箱の内部を第ｋの精度確認対象濃度とした状態で、前記センサーから前記検知対象の濃度に係る信号である濃度信号を受信することを特徴とするものである。
請求項６に記載の発明は、上記発明にあって、前記試験箱の内部に、ファンが設けられていることを特徴とするものである。
請求項７に記載の発明は、上記発明にあって、前記センサーは、複数設けられており、各前記センサーは、前記試験箱に収容されていることを特徴とするものである。
請求項８に記載の発明は、上記発明にあって、前記試験箱は、内部を所定温度に保持可能であり、又は内部を所定温度に保持する恒温槽の内部に入っていることを特徴とするものである。
請求項９に記載の発明は、上記発明にあって、更に、前記試験箱の内部に配置されたスペーサーを備えていることを特徴とするものである。
請求項１０に記載の発明は、上記発明にあって、前記検知対象はＣＯ２であることを特徴とするものである。
請求項１１に記載の発明は、上記発明にあって、前記センサーは、無線通信可能であることを特徴とするものである。
請求項１２に記載の発明は、上記発明にあって、更に、前記試験箱につながっており、前記試験箱の密閉状態を保持可能であると共に前記試験箱に係る負圧を開放可能である開放弁を備えていることを特徴とするものである。
【0007】
請求項１３に記載の発明は、検知対象の濃度を検知するセンサーに係る精度を確認するシステムであるセンサー精度確認システムであって、前記センサーが入っている開閉可能な試験箱と、前記試験箱に真空弁を介してつながっており、密閉状態の前記試験箱の負圧を調整可能である真空ポンプと、媒体中に前記検知対象を所定濃度で含む流体を収めたボンベと、前記流体の流量及び媒体の流量を調整して閉じた前記試験箱の内部へ導入する、前記ボンベと前記試験箱との間に設けられた分割弁と、前記センサーと通信可能であり、前記分割弁及び前記真空弁を制御可能である精度確認制御手段と、を備えており、前記精度確認制御手段は、前記分割弁及び前記真空弁を制御して前記試験箱の内部を第１の精度確認対象濃度及び第２の精度確認対象濃度とした状態で、前記センサーから前記検知対象の濃度に係る信号である濃度信号をそれぞれの状態において受信することを特徴とするものである。
請求項１４に記載の発明は、上記発明にあって、前記試験箱の内部に、前記検知対象の濃度を検知する基準器が入っていることを特徴とするものである。
請求項１５に記載の発明は、上記発明にあって、前記精度確認制御手段は、前記基準器と通信可能であり、前記基準器から前記検知対象の濃度に係る信号である基準信号を受信して、前記基準信号に基づき前記試験箱の内部の濃度を制御することを特徴とするものである。
請求項１６に記載の発明は、上記発明にあって、更に、ｋ＝［３］ｏｒ［３，４］ｏｒ［３，４，５］ｏｒ・・・として、前記精度確認制御手段は、前記分割弁を制御して前記試験箱の内部を第ｋの精度確認対象濃度とした状態で、前記センサーから前記検知対象の濃度に係る信号である濃度信号を受信することを特徴とするものである。
請求項１７に記載の発明は、上記発明にあって、前記分割弁により流量を調整される前記媒体は、外気であることを特徴とするものである。
請求項１８に記載の発明は、上記発明にあって、前記試験箱の内部に、ファンが設けられていることを特徴とするものである。
請求項１９に記載の発明は、センサー校正システムであって、上記のセンサー精度確認システムで確認された、前記第１の精度確認対象濃度における前記濃度信号と、前記第２の精度確認対象濃度における前記濃度信号と、に基づいて、前記センサーを校正することを特徴とするものである。
請求項１４に記載の発明は、上記発明にあって、前記試験箱の内部に、前記検知対象の濃度を検知する基準器が入っていることを特徴とするものである。
請求項１５に記載の発明は、上記発明にあって、前記精度確認制御手段は、前記基準器と通信可能であり、前記基準器から前記検知対象の濃度に係る信号である基準信号を受信して、前記基準信号に基づき前記試験箱の内部の濃度を制御することを特徴とするものである。
請求項１６に記載の発明は、上記発明にあって、更に、ｋ＝［３］ｏｒ［３，４］ｏｒ［３，４，５］ｏｒ・・・として、前記精度確認制御手段は、前記分割弁を制御して前記試験箱の内部を第ｋの精度確認対象濃度とした状態で、前記センサーから前記検知対象の濃度に係る信号である濃度信号を受信することを特徴とするものである。
請求項１７に記載の発明は、上記発明にあって、前記分割弁により流量を調整される前記媒体は、外気であることを特徴とするものである。
請求項１８に記載の発明は、上記発明にあって、前記試験箱の内部に、ファンが設けられていることを特徴とするものである。
請求項１９に記載の発明は、センサー校正システムであって、上記のセンサー精度確認システムで確認された、前記第１の精度確認対象濃度における前記濃度信号と、前記第２の精度確認対象濃度における前記濃度信号と、に基づいて、前記センサーを校正することを特徴とするものである。
【0008】
請求項２０に記載の発明は、検知対象の濃度を検知するセンサーに係る精度を、複数の精度確認対象濃度において確認する方法であるセンサー精度確認方法であって、開閉可能であり閉じた状態で前記センサーを入れた試験箱の内部における前記検知対象の濃度を、順次複数の前記精度確認対象濃度のうちの何れかとして前記センサーの精度をそれぞれ確認することを特徴とするものである。
請求項２１に記載の発明は、上記発明において、前記試験箱の内部における前記検知対象の濃度を、まず複数の前記精度確認対象濃度のうち最も小さいものとして前記センサーの精度を確認し、続いて複数の前記精度確認対象濃度のうち順に小さいものとして前記センサーの精度を確認することを特徴とするものである。
請求項２２に記載の発明は、センサー校正方法であって、上記センサー精度確認方法で確認された、複数の前記精度確認対象濃度における各前記濃度に基づいて、前記センサーを校正することを特徴とするものである。
請求項２１に記載の発明は、上記発明において、前記試験箱の内部における前記検知対象の濃度を、まず複数の前記精度確認対象濃度のうち最も小さいものとして前記センサーの精度を確認し、続いて複数の前記精度確認対象濃度のうち順に小さいものとして前記センサーの精度を確認することを特徴とするものである。
請求項２２に記載の発明は、センサー校正方法であって、上記センサー精度確認方法で確認された、複数の前記精度確認対象濃度における各前記濃度に基づいて、前記センサーを校正することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【0009】
本発明の主な効果は、複数の状態に係るセンサーの精度の確認が十分に正確な状態で効率良く行えるセンサー精度確認システム，センサー精度確認方法が提供されることである。
又、本発明の別の主な効果は、センサーの校正が十分に正確な状態で効率良く行えるセンサー校正システム，センサー校正方法が提供されることである。
又、本発明の別の主な効果は、センサーの校正が十分に正確な状態で効率良く行えるセンサー校正システム，センサー校正方法が提供されることである。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【図1】本発明の第１形態に係るセンサー精度確認システムのブロック図である。
【図3】本発明の第２形態に係るセンサー校正システムのブロック図である。
【図5】本発明の第３形態に係るセンサー精度確認システムのブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【0011】
以下、本発明に係る実施の形態及びその変更例が、適宜図面に基づいて説明される。
本発明は、当該形態及び変更例に限定されない。
本発明は、当該形態及び変更例に限定されない。
【0012】
［第１形態］
図１は、本発明の第１形態に係るセンサー精度確認システム１のブロック図である。
センサー精度確認システム１は、ＣＯ２濃度センサーの精度を確認するシステムである。ＣＯ２濃度センサーは、検知対象としてのＣＯ２に係る濃度を検知するセンサーである。尚、センサー精度確認システム１では、ＣＯ２重量センサーの精度が確認されても良いし、ＣＯ２以外の濃度及び重量の少なくとも一方等を検知するセンサーが確認されても良い。
図１は、本発明の第１形態に係るセンサー精度確認システム１のブロック図である。
センサー精度確認システム１は、ＣＯ２濃度センサーの精度を確認するシステムである。ＣＯ２濃度センサーは、検知対象としてのＣＯ２に係る濃度を検知するセンサーである。尚、センサー精度確認システム１では、ＣＯ２重量センサーの精度が確認されても良いし、ＣＯ２以外の濃度及び重量の少なくとも一方等を検知するセンサーが確認されても良い。
【0013】
センサー精度確認システム１は、恒温槽２と、試験箱４と、真空弁５（減圧弁）と、開放弁６と、真空ポンプ７と、ＣＯ２基準器８と、ＣＯ２確認ＰＣ１０（ＣＯ２確認パーソナルコンピューター）と、第１ガスボンベ１２と、第２ガスボンベ１４と、第３ガスボンベ１６と、第１切替弁２２と、第２切替弁２４と、第３切替弁２６と、制御ＰＣ３０（制御パーソナルコンピューター）と、モニター３２と、サーバー３４（サーバーコンピュータ）と、を有する。ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０が、精度確認制御手段を構成する。
尚、センサー精度確認システム１を構成する部材及び部分の少なくとも一部は、様々に変更されても良い。例えば、第１ガスボンベ１２、第２ガスボンベ１４、及び第３ガスボンベ１６の数、並びに第１切替弁２２、第２切替弁２４、及び第３切替弁２６の数は、それぞれ２つ以下あるいは４つ以上であっても良い。又、ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０は、一体であっても良いし、３台以上に分かれていても良い。精度確認制御手段に、モニター３２及びサーバー３４の少なくとも一方が加えられても良い。加えて、開放弁６は、省略されても良い。
尚、センサー精度確認システム１を構成する部材及び部分の少なくとも一部は、様々に変更されても良い。例えば、第１ガスボンベ１２、第２ガスボンベ１４、及び第３ガスボンベ１６の数、並びに第１切替弁２２、第２切替弁２４、及び第３切替弁２６の数は、それぞれ２つ以下あるいは４つ以上であっても良い。又、ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０は、一体であっても良いし、３台以上に分かれていても良い。精度確認制御手段に、モニター３２及びサーバー３４の少なくとも一方が加えられても良い。加えて、開放弁６は、省略されても良い。
【0014】
恒温槽２は、開閉可能であり、閉じた内部を所定温度に保持する槽である。所定温度は、ここでは２５℃である。尚、所定温度は、２５℃以外であっても良い。
恒温槽２の電源は、精度確認動作中、常に投入（オン）されており、精度確認完了後、適宜手動で切られる（オフ）。尚、恒温槽２がＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０の少なくとも一方に電気的に接続されても良く、恒温槽２の電源状態及び所定温度の少なくとも一方等は、ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０の少なくとも一方により制御されても良い。
恒温槽２の電源は、精度確認動作中、常に投入（オン）されており、精度確認完了後、適宜手動で切られる（オフ）。尚、恒温槽２がＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０の少なくとも一方に電気的に接続されても良く、恒温槽２の電源状態及び所定温度の少なくとも一方等は、ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０の少なくとも一方により制御されても良い。
【0015】
試験箱４は、恒温槽２の内部に入れられている。尚、恒温槽２に代えて、あるいは恒温槽２と共に、試験箱４が内部の温度を保持する機能を有していても良く、即ち試験箱４は内部の温度を保持可能であっても良い。恒温槽２は、省略されても良い。
試験箱４は、試験箱本体４０と、ファン４２と、圧力センサー４８と、を有する。
試験箱本体４０は、開閉可能である箱状である。試験箱本体４０は、閉塞時、開放弁６が閉じていれば外部との間で気体の流通がない状態となる。即ち、試験箱本体４０は、密閉可能である。
ファン４２は、試験箱本体４０の内部に配置されており、試験箱本体４０の内部のエアを撹拌する。
圧力センサー４８は、試験箱本体４０の内部に入れられており、試験箱４（試験箱本体４０）の内部の圧力を検知して、圧力に対応する圧力信号を出力する。圧力センサー４８は、制御ＰＣ３０と電気的に接続されている。
試験箱４は、試験箱本体４０と、ファン４２と、圧力センサー４８と、を有する。
試験箱本体４０は、開閉可能である箱状である。試験箱本体４０は、閉塞時、開放弁６が閉じていれば外部との間で気体の流通がない状態となる。即ち、試験箱本体４０は、密閉可能である。
ファン４２は、試験箱本体４０の内部に配置されており、試験箱本体４０の内部のエアを撹拌する。
圧力センサー４８は、試験箱本体４０の内部に入れられており、試験箱４（試験箱本体４０）の内部の圧力を検知して、圧力に対応する圧力信号を出力する。圧力センサー４８は、制御ＰＣ３０と電気的に接続されている。
【0016】
真空弁５は、試験箱本体４０の壁体とつながる管路に設けられており、試験箱４とつながっている。真空弁５は、真空ポンプ７とつながっており、真空ポンプ７と試験箱４とのつながりの有無及びその度合等の切替を行う。
開放弁６は、試験箱本体４０の壁体とつながる管路に設けられており、試験箱４とつながっていて、恒温槽２の内部（試験箱４の外部）との連通状態を、連通状態（開放状態）と非連通状態（閉鎖状態）とで切り替える。開放弁６は、閉鎖状態となると、試験箱４の密閉状態を保持可能である。他方、開放弁６は、開放状態となると、試験箱４に係る負圧を開放可能である。
真空弁５及び開放弁６は、何れも電磁弁である。尚、真空弁５及び開放弁６の少なくとも一方は、電磁弁以外であっても良い。又、真空弁５及び開放弁６の少なくとも一方の切替は、段階（オンオフの２段階を含む、以下同様）的であっても良いし、連続的であっても良い。真空弁５及び開放弁６の少なくとも一方は、試験箱本体４０の壁体に設けられても良い。真空弁５及び開放弁６の少なくとも一方は、試験箱４の構成要素と扱われても良い。
開放弁６は、試験箱本体４０の壁体とつながる管路に設けられており、試験箱４とつながっていて、恒温槽２の内部（試験箱４の外部）との連通状態を、連通状態（開放状態）と非連通状態（閉鎖状態）とで切り替える。開放弁６は、閉鎖状態となると、試験箱４の密閉状態を保持可能である。他方、開放弁６は、開放状態となると、試験箱４に係る負圧を開放可能である。
真空弁５及び開放弁６は、何れも電磁弁である。尚、真空弁５及び開放弁６の少なくとも一方は、電磁弁以外であっても良い。又、真空弁５及び開放弁６の少なくとも一方の切替は、段階（オンオフの２段階を含む、以下同様）的であっても良いし、連続的であっても良い。真空弁５及び開放弁６の少なくとも一方は、試験箱本体４０の壁体に設けられても良い。真空弁５及び開放弁６の少なくとも一方は、試験箱４の構成要素と扱われても良い。
【0017】
真空ポンプ７は、作動により、真空弁５を介して、試験箱４（試験箱本体４０）の内部の気圧を低下させる。真空ポンプ７の作用の度合は、真空弁５の開度の制御により調整される。
真空ポンプ７の電源は、精度確認動作中、常に投入されており、精度確認完了後、適宜手動で切られる。尚、真空ポンプ７が、真空弁５に代えて、あるいは真空弁５と共に、ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０の少なくとも一方に電気的に接続されても良く、試験箱４内部の気圧（真空度）等は、ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０の少なくとも一方により、真空ポンプ７を介して制御されても良い。
真空ポンプ７の電源は、精度確認動作中、常に投入されており、精度確認完了後、適宜手動で切られる。尚、真空ポンプ７が、真空弁５に代えて、あるいは真空弁５と共に、ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０の少なくとも一方に電気的に接続されても良く、試験箱４内部の気圧（真空度）等は、ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０の少なくとも一方により、真空ポンプ７を介して制御されても良い。
【0018】
ＣＯ２基準器８は、ＣＯ２濃度センサーであり、周囲のＣＯ２濃度を検知可能であり、又そのＣＯ２濃度に対応した信号である基準濃度信号（基準信号）を発信可能である。
ＣＯ２基準器８は、基準濃度信号を、無線構内通信により、モニター３２に送信し、モニター３２は、基準濃度信号を、ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０に対し、有線構内通信により送信する。尚、ＣＯ２基準器８は、基準濃度信号を、無線構内通信以外の無線通信により発信しても良いし、有線通信により発信しても良い。又、ＣＯ２基準器８は、表示部を備えていても良く、基準濃度信号の発信に代えて、あるいは基準濃度信号の発信と共に、ＣＯ２濃度及び基準濃度信号の内容の少なくとも一方等を表示しても良い。ＣＯ２基準器８は、モニター３２を介さずに直接ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０に送信しても良い。モニター３２とＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０の少なくとも一方との間の通信は、無線通信とされても良い。
ＣＯ２基準器８は、試験箱４の内部に入れられている。尚、ＣＯ２基準器８は、複数台設けられても良い。この場合、各基準濃度信号が示すＣＯ２濃度の平均値等が、基準濃度として用いられても良い。
ＣＯ２基準器８は、基準濃度信号を、無線構内通信により、モニター３２に送信し、モニター３２は、基準濃度信号を、ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０に対し、有線構内通信により送信する。尚、ＣＯ２基準器８は、基準濃度信号を、無線構内通信以外の無線通信により発信しても良いし、有線通信により発信しても良い。又、ＣＯ２基準器８は、表示部を備えていても良く、基準濃度信号の発信に代えて、あるいは基準濃度信号の発信と共に、ＣＯ２濃度及び基準濃度信号の内容の少なくとも一方等を表示しても良い。ＣＯ２基準器８は、モニター３２を介さずに直接ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０に送信しても良い。モニター３２とＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０の少なくとも一方との間の通信は、無線通信とされても良い。
ＣＯ２基準器８は、試験箱４の内部に入れられている。尚、ＣＯ２基準器８は、複数台設けられても良い。この場合、各基準濃度信号が示すＣＯ２濃度の平均値等が、基準濃度として用いられても良い。
【0019】
試験箱４（試験箱本体４０）は、その内部において、試験対象（精度確認対象）としてのＣＯ２濃度センサーである被試験器Ｔを、複数（例えば１８台）収容可能である。尚、１台の被試験器Ｔのみが試験箱４の内部に入れられても良い。
各被試験器Ｔは、ＣＯ２濃度センサーであり、周囲のＣＯ２濃度を検知可能であり、又そのＣＯ２濃度に対応した信号である濃度信号を発信可能である。
各被試験器Ｔは、濃度信号を、無線構内通信により、モニター３２に送信し、モニター３２は、濃度信号を、ＣＯ２確認ＰＣ１０に送信する。尚、各被試験器Ｔは、濃度信号を、ＣＯ２確認ＰＣ１０に代えて、あるいはＣＯ２確認ＰＣ１０と共に、制御ＰＣ３０に送っても良い。又、各被試験器Ｔは、ＣＯ２基準器８と同様の変更例を適宜有する。更に、各被試験器Ｔの精度確認の正確性を向上する観点から、ＣＯ２基準器８の精度は、各被試験器Ｔの精度より高いことが好ましい。
各被試験器Ｔは、１つ以上のスペーサーＳを介して、試験箱４の内部に収容される。スペーサーＳは、例えばプラスチック製であり、試験箱４の内部に配置されて、試験箱本体４０の内壁と各被試験器Ｔとの間のスペースの一部を埋めるものである。各被試験器ＴによるＣＯ２の検知が必要であるため、スペーサーＳは、試験箱本体４０の内壁と各被試験器Ｔとの間のスペースの全部を埋めない。尚、ＣＯ２基準器８が、各被試験器Ｔに代えて、あるいは各被試験器Ｔと共に、スペーサーＳに入れられても良い。又、スペーサーＳは、省略されても良い。更に、スペーサーＳは、高密度発泡スチロール及びゴムブロックの少なくとも一方等の弾性部材あるいは凹凸部材であっても良い。
各被試験器Ｔは、閉塞（密閉）が解かれて開放された試験箱本体４０に対し、適宜新しい各被試験器Ｔに取り替えたうえで、出し入れすることが可能である。
各被試験器Ｔは、ＣＯ２濃度センサーであり、周囲のＣＯ２濃度を検知可能であり、又そのＣＯ２濃度に対応した信号である濃度信号を発信可能である。
各被試験器Ｔは、濃度信号を、無線構内通信により、モニター３２に送信し、モニター３２は、濃度信号を、ＣＯ２確認ＰＣ１０に送信する。尚、各被試験器Ｔは、濃度信号を、ＣＯ２確認ＰＣ１０に代えて、あるいはＣＯ２確認ＰＣ１０と共に、制御ＰＣ３０に送っても良い。又、各被試験器Ｔは、ＣＯ２基準器８と同様の変更例を適宜有する。更に、各被試験器Ｔの精度確認の正確性を向上する観点から、ＣＯ２基準器８の精度は、各被試験器Ｔの精度より高いことが好ましい。
各被試験器Ｔは、１つ以上のスペーサーＳを介して、試験箱４の内部に収容される。スペーサーＳは、例えばプラスチック製であり、試験箱４の内部に配置されて、試験箱本体４０の内壁と各被試験器Ｔとの間のスペースの一部を埋めるものである。各被試験器ＴによるＣＯ２の検知が必要であるため、スペーサーＳは、試験箱本体４０の内壁と各被試験器Ｔとの間のスペースの全部を埋めない。尚、ＣＯ２基準器８が、各被試験器Ｔに代えて、あるいは各被試験器Ｔと共に、スペーサーＳに入れられても良い。又、スペーサーＳは、省略されても良い。更に、スペーサーＳは、高密度発泡スチロール及びゴムブロックの少なくとも一方等の弾性部材あるいは凹凸部材であっても良い。
各被試験器Ｔは、閉塞（密閉）が解かれて開放された試験箱本体４０に対し、適宜新しい各被試験器Ｔに取り替えたうえで、出し入れすることが可能である。
【0020】
ＣＯ２確認ＰＣ１０は、それぞれ図示されない、入力手段、出力手段、記憶手段、通信手段及び制御手段を有している。入力手段は、ユーザーの入力を受け付ける手段であり、例えばキーボード及びポインティングデバイスの少なくとも一方である。出力手段は、各種の情報を出力する手段であり、例えばモニター及びプリンターの少なくとも一方である。記憶手段は、各種の情報を記憶する手段であり、例えばメモリー及びハードディスクの少なくとも一方である。通信手段は、各種の情報の通信を行う手段であり、例えば通信コントローラである。制御手段は、各種の手段を制御する手段であり、例えばＣＰＵ（中央処理装置）である。制御手段は、記憶手段に記憶されたＣＯ２確認ＰＣ側センサー精度確認プログラムを読み出して実行することにより、センサーの精度の確認に係る処理を実行する。尚、入力手段兼出力手段としてのタッチパネルのように、複数の手段を兼ねる１つの手段が用いられても良い。
ＣＯ２確認ＰＣ１０は、制御ＰＣ３０と電気的に接続されている。ＣＯ２確認ＰＣ１０は、制御ＰＣ３０と通信可能である。
ＣＯ２確認ＰＣ１０（制御手段）は、通信手段を介して各被試験器Ｔから受信した濃度信号に対応する情報（濃度情報）を、各被試験器Ｔを識別するために被試験器Ｔ毎に付与される識別情報と対応づけて、記憶手段に記憶する（濃度情報データベース）。
尚、ＣＯ２確認ＰＣ１０（制御手段）は、通信手段を介してＣＯ２基準器８から受信した基準濃度信号に対応する情報（基準濃度情報）を、濃度情報データベースの項目として記憶しても良く、各濃度情報と基準濃度情報との差の算出及び記憶を行っても良い。又、濃度情報は、濃度信号の内容そのものであっても良く、基準濃度情報は、基準濃度信号の内容そのものであっても良い。
ＣＯ２確認ＰＣ１０は、制御ＰＣ３０と電気的に接続されている。ＣＯ２確認ＰＣ１０は、制御ＰＣ３０と通信可能である。
ＣＯ２確認ＰＣ１０（制御手段）は、通信手段を介して各被試験器Ｔから受信した濃度信号に対応する情報（濃度情報）を、各被試験器Ｔを識別するために被試験器Ｔ毎に付与される識別情報と対応づけて、記憶手段に記憶する（濃度情報データベース）。
尚、ＣＯ２確認ＰＣ１０（制御手段）は、通信手段を介してＣＯ２基準器８から受信した基準濃度信号に対応する情報（基準濃度情報）を、濃度情報データベースの項目として記憶しても良く、各濃度情報と基準濃度情報との差の算出及び記憶を行っても良い。又、濃度情報は、濃度信号の内容そのものであっても良く、基準濃度情報は、基準濃度信号の内容そのものであっても良い。
【0021】
第１ボンベとしての第１ガスボンベ１２は、第１の流体としての第１の気体を収めたボンベである。第１の気体は、所定の媒体（ここでは窒素ガス）中に第１所定濃度（ここでは４４０ｐｐｍ（parts per million））のＣＯ２を含むものである。第１の気体は、４００ｐｐｍ（第１の精度確認対象濃度）における被試験器Ｔの精度を確認するために用いられる。精度確認対象濃度は、被試験器Ｔの精度の確認を行う対象として設定される検知対象（ＣＯ２）の濃度であり、センサー精度確認システム１では複数設定される。尚、所定媒体は、空気等、他のものであっても良い。又、第１所定濃度は、４４０ｐｐｍ以外であっても良く、例えば第１の精度確認対象濃度（４００ｐｐｍ）と同じ濃度であっても良い。更に、第１の精度確認対象濃度は、４００ｐｐｍ以外であっても良い。
第２ボンベとしての第２ガスボンベ１４は、第２の流体としての第２の気体を収めたボンベである。第２の気体は、窒素ガス中に第２所定濃度（ここでは１１００ｐｐｍ）のＣＯ２を含むものである。第２の気体は、１０００ｐｐｍ（第２の精度確認対象濃度）における被試験器Ｔの精度を確認するために用いられる。１０００ｐｐｍのＣＯ２濃度は、店舗及び住宅等の室内の換気が十分であるか否かの境界値の目安とされている。第２の精度確認対象濃度は、第１の精度確認対象濃度より大きい。尚、第２の気体の媒体は、第１の気体の媒体と異なっていても良い。又、第２所定濃度は、１１００ｐｐｍ以外であっても良く、例えば第２の精度確認対象濃度（１０００ｐｐｍ）と同じ濃度であっても良い。更に、第２の精度確認対象濃度は、１０００ｐｐｍ以外であっても良い。
第３ボンベとしての第３ガスボンベ１６は、第３の流体としての第３の気体を収めたボンベである。第３の気体は、窒素ガス中に第３所定濃度（ここでは５２００ｐｐｍ）のＣＯ２を含むものである。第３の気体は、５０００ｐｐｍ（第３の精度確認対象濃度）における被試験器Ｔの精度を確認するために用いられる。第３の精度確認対象濃度は、第２の精度確認対象濃度より大きい。尚、第３の気体の媒体は、第１の気体及び第２の気体の少なくとも一方の媒体と異なっていても良い。又、第３所定濃度は、５２００ｐｐｍ以外であっても良く、例えば第３の精度確認対象濃度（５０００ｐｐｍ）と同じ濃度であっても良い。更に、第３の精度確認対象濃度は、５０００ｐｐｍ以外であっても良い。又更に、精度確認対象濃度の数は、複数であれば、２以上であっても良い。加えて、第１ガスボンベ１２、第２ガスボンベ１４及び第３ガスボンベ１６は、液体ボンベ等であっても良く、第１の気体、第２の気体及び第３の気体は液体等であっても良い。液体ボンベの場合、ボンベからの吹き出し圧力が一般に高いため、吹き出し圧力を減圧するためのレギュレータを備えても良い。
第２ボンベとしての第２ガスボンベ１４は、第２の流体としての第２の気体を収めたボンベである。第２の気体は、窒素ガス中に第２所定濃度（ここでは１１００ｐｐｍ）のＣＯ２を含むものである。第２の気体は、１０００ｐｐｍ（第２の精度確認対象濃度）における被試験器Ｔの精度を確認するために用いられる。１０００ｐｐｍのＣＯ２濃度は、店舗及び住宅等の室内の換気が十分であるか否かの境界値の目安とされている。第２の精度確認対象濃度は、第１の精度確認対象濃度より大きい。尚、第２の気体の媒体は、第１の気体の媒体と異なっていても良い。又、第２所定濃度は、１１００ｐｐｍ以外であっても良く、例えば第２の精度確認対象濃度（１０００ｐｐｍ）と同じ濃度であっても良い。更に、第２の精度確認対象濃度は、１０００ｐｐｍ以外であっても良い。
第３ボンベとしての第３ガスボンベ１６は、第３の流体としての第３の気体を収めたボンベである。第３の気体は、窒素ガス中に第３所定濃度（ここでは５２００ｐｐｍ）のＣＯ２を含むものである。第３の気体は、５０００ｐｐｍ（第３の精度確認対象濃度）における被試験器Ｔの精度を確認するために用いられる。第３の精度確認対象濃度は、第２の精度確認対象濃度より大きい。尚、第３の気体の媒体は、第１の気体及び第２の気体の少なくとも一方の媒体と異なっていても良い。又、第３所定濃度は、５２００ｐｐｍ以外であっても良く、例えば第３の精度確認対象濃度（５０００ｐｐｍ）と同じ濃度であっても良い。更に、第３の精度確認対象濃度は、５０００ｐｐｍ以外であっても良い。又更に、精度確認対象濃度の数は、複数であれば、２以上であっても良い。加えて、第１ガスボンベ１２、第２ガスボンベ１４及び第３ガスボンベ１６は、液体ボンベ等であっても良く、第１の気体、第２の気体及び第３の気体は液体等であっても良い。液体ボンベの場合、ボンベからの吹き出し圧力が一般に高いため、吹き出し圧力を減圧するためのレギュレータを備えても良い。
【0022】
第１切替弁２２は、第１ガスボンベ１２と試験箱４との間に介装されている。第１ガスボンベ１２と第１切替弁２２とは第１－１流路５２で結ばれており、第１切替弁２２と試験箱４とは第１－２流路５３で結ばれている。第１切替弁２２は、制御ＰＣ３０と電気的に接続されている。第１切替弁２２は、その開度に応じ、第１ガスボンベ１２から試験箱４への第１の気体の流量を０から所定の最大値まで連続的に調整可能である。尚、第１切替弁２２は、第１の気体の流量を段階的に調整可能であっても良い。又、第１切替弁２２に、複数の第１ガスボンベ１２が接続されていても良く、この場合は、実質的には容量が増した１つの第１ガスボンベ１２が接続されたときと同等である。
第２切替弁２４は、第２ガスボンベ１４と試験箱４との間に介装されている。第２ガスボンベ１４と第２切替弁２４とは第２－１流路５４で結ばれており、第２切替弁２４と試験箱４とは第２－２流路５５で結ばれている。第２切替弁２４は、制御ＰＣ３０と電気的に接続されている。第２切替弁２４は、その開度に応じ、第２ガスボンベ１４から試験箱４への第２の気体の流量を０から所定の最大値まで連続的に調整可能である。尚、第２切替弁２４は、第２の気体の流量を段階的に調整可能であっても良い。又、第２切替弁２４が調整可能な第２の気体の流量の最大値は、第１切替弁２２が調整可能な第１の気体の流量の最大値と異なっていても良い。加えて、第２切替弁２４に、複数の第２ガスボンベ１４が接続されていても良く、この場合は、実質的には容量が増した１つの第２ガスボンベ１４が接続されたときと同等である。
第３切替弁２６は、第３ガスボンベ１６と試験箱４との間に介装されている。第３ガスボンベ１６と第３切替弁２６とは第３－１流路５６で結ばれており、第３切替弁２６と試験箱４とは第３－２流路５７で結ばれている。第３切替弁２６は、制御ＰＣ３０と電気的に接続されている。第３切替弁２６は、その開度に応じ、第３ガスボンベ１６から試験箱４への第３の気体の流量を０から所定の最大値まで連続的に調整可能である。尚、第３切替弁２６は、第３の気体の流量を段階的に調整可能であっても良い。又、第３切替弁２６が調整可能な第３の気体の流量の最大値は、第１切替弁２２が調整可能な第１の気体の流量の最大値及び第２切替弁２４が調整可能な第２の気体の流量の最大値の少なくとも一方と異なっていても良い。加えて、第３切替弁２６に、複数の第３ガスボンベ１６が接続されていても良く、この場合は、実質的には容量が増した１つの第３ガスボンベ１６が接続されたときと同等である。
第１切替弁２２、第２切替弁２４、及び第３切替弁２６は、何れも電磁弁である。尚、第１切替弁２２、第２切替弁２４、及び第３切替弁２６の少なくとも何れかは、電磁弁以外であっても良い。
第２切替弁２４は、第２ガスボンベ１４と試験箱４との間に介装されている。第２ガスボンベ１４と第２切替弁２４とは第２－１流路５４で結ばれており、第２切替弁２４と試験箱４とは第２－２流路５５で結ばれている。第２切替弁２４は、制御ＰＣ３０と電気的に接続されている。第２切替弁２４は、その開度に応じ、第２ガスボンベ１４から試験箱４への第２の気体の流量を０から所定の最大値まで連続的に調整可能である。尚、第２切替弁２４は、第２の気体の流量を段階的に調整可能であっても良い。又、第２切替弁２４が調整可能な第２の気体の流量の最大値は、第１切替弁２２が調整可能な第１の気体の流量の最大値と異なっていても良い。加えて、第２切替弁２４に、複数の第２ガスボンベ１４が接続されていても良く、この場合は、実質的には容量が増した１つの第２ガスボンベ１４が接続されたときと同等である。
第３切替弁２６は、第３ガスボンベ１６と試験箱４との間に介装されている。第３ガスボンベ１６と第３切替弁２６とは第３－１流路５６で結ばれており、第３切替弁２６と試験箱４とは第３－２流路５７で結ばれている。第３切替弁２６は、制御ＰＣ３０と電気的に接続されている。第３切替弁２６は、その開度に応じ、第３ガスボンベ１６から試験箱４への第３の気体の流量を０から所定の最大値まで連続的に調整可能である。尚、第３切替弁２６は、第３の気体の流量を段階的に調整可能であっても良い。又、第３切替弁２６が調整可能な第３の気体の流量の最大値は、第１切替弁２２が調整可能な第１の気体の流量の最大値及び第２切替弁２４が調整可能な第２の気体の流量の最大値の少なくとも一方と異なっていても良い。加えて、第３切替弁２６に、複数の第３ガスボンベ１６が接続されていても良く、この場合は、実質的には容量が増した１つの第３ガスボンベ１６が接続されたときと同等である。
第１切替弁２２、第２切替弁２４、及び第３切替弁２６は、何れも電磁弁である。尚、第１切替弁２２、第２切替弁２４、及び第３切替弁２６の少なくとも何れかは、電磁弁以外であっても良い。
【0023】
制御ＰＣ３０は、ＣＯ２確認ＰＣ１０と同様に、入力手段、出力手段、記憶手段、通信手段及び制御手段を有している。制御ＰＣ３０の制御手段は、記憶手段に記憶された制御ＰＣ側センサー精度確認プログラムを読み出して実行することにより、センサーの精度の確認に係る処理を実行する。
制御ＰＣ３０（制御手段）は、通信手段を介してＣＯ２基準器８から受信した基準濃度信号に対応する情報（基準濃度情報）を、受信タイミングと対応づけて記憶手段に記憶する（基準濃度情報データベース）。
又、制御ＰＣ３０は、それぞれ電気的に接続された、第１切替弁２２、第２切替弁２４、及び第３切替弁２６（各開度）をそれぞれ制御して、各気体の流量を制御する。
更に、制御ＰＣ３０は、それぞれ電気的に接続された、ファン４２、真空弁５及び開放弁６をそれぞれ制御して、ファン４２の回転状態、真空ポンプ７とのつながりの有無等の切替、及び試験箱本体４０の開放閉鎖状態をそれぞれ制御する。
加えて、制御ＰＣ３０（制御手段）は、通信手段を介して圧力センサー４８から受信した圧力信号に対応する情報（圧力情報）を、受信タイミングと対応づけて記憶手段に記憶し（圧力情報データベース）、各種の制御に適宜用いる。
又、制御ＰＣ３０（制御手段）は、通信手段を介してＣＯ２確認ＰＣ１０を制御可能である。
ＣＯ２確認ＰＣ１０と制御ＰＣ３０とが分かれているため、分散処理により処理の効率がより良好になる。特に、ＣＯ２確認ＰＣ１０が主に各被試験器Ｔの濃度情報の記憶を担当し、制御ＰＣ３０が主に精度確認に係る各種の制御を担当するため、ユーザーは精度確認中は主に制御ＰＣ３０を操作しあるいは監視すれば良く、精度確認のためのデータはＣＯ２確認ＰＣ１０に蓄積されて、多数の被試験器Ｔの精度確認に更に適した分散処理が行える。
尚、制御ＰＣ３０（制御手段）は、通信手段を介して各被試験器Ｔから受信した濃度信号に対応する情報（濃度情報）を、各被試験器Ｔを識別するために被試験器Ｔ毎に付与される識別情報と共に、基準濃度情報データベースの項目として記憶しても良い。又、制御ＰＣ３０は、ファン４２の回転量を連続的に制御しても良いし、段階的に制御しても良い。ファン４２のオンオフ及び回転量調整の少なくとも一方は、手動で行われても良い。更に、圧力情報は、圧力信号の内容そのものであっても良い。加えて、圧力情報は、最新の１つあるいは２つ等のみ記憶されても良い。
制御ＰＣ３０（制御手段）は、通信手段を介してＣＯ２基準器８から受信した基準濃度信号に対応する情報（基準濃度情報）を、受信タイミングと対応づけて記憶手段に記憶する（基準濃度情報データベース）。
又、制御ＰＣ３０は、それぞれ電気的に接続された、第１切替弁２２、第２切替弁２４、及び第３切替弁２６（各開度）をそれぞれ制御して、各気体の流量を制御する。
更に、制御ＰＣ３０は、それぞれ電気的に接続された、ファン４２、真空弁５及び開放弁６をそれぞれ制御して、ファン４２の回転状態、真空ポンプ７とのつながりの有無等の切替、及び試験箱本体４０の開放閉鎖状態をそれぞれ制御する。
加えて、制御ＰＣ３０（制御手段）は、通信手段を介して圧力センサー４８から受信した圧力信号に対応する情報（圧力情報）を、受信タイミングと対応づけて記憶手段に記憶し（圧力情報データベース）、各種の制御に適宜用いる。
又、制御ＰＣ３０（制御手段）は、通信手段を介してＣＯ２確認ＰＣ１０を制御可能である。
ＣＯ２確認ＰＣ１０と制御ＰＣ３０とが分かれているため、分散処理により処理の効率がより良好になる。特に、ＣＯ２確認ＰＣ１０が主に各被試験器Ｔの濃度情報の記憶を担当し、制御ＰＣ３０が主に精度確認に係る各種の制御を担当するため、ユーザーは精度確認中は主に制御ＰＣ３０を操作しあるいは監視すれば良く、精度確認のためのデータはＣＯ２確認ＰＣ１０に蓄積されて、多数の被試験器Ｔの精度確認に更に適した分散処理が行える。
尚、制御ＰＣ３０（制御手段）は、通信手段を介して各被試験器Ｔから受信した濃度信号に対応する情報（濃度情報）を、各被試験器Ｔを識別するために被試験器Ｔ毎に付与される識別情報と共に、基準濃度情報データベースの項目として記憶しても良い。又、制御ＰＣ３０は、ファン４２の回転量を連続的に制御しても良いし、段階的に制御しても良い。ファン４２のオンオフ及び回転量調整の少なくとも一方は、手動で行われても良い。更に、圧力情報は、圧力信号の内容そのものであっても良い。加えて、圧力情報は、最新の１つあるいは２つ等のみ記憶されても良い。
【0024】
モニター３２は、上述の通り、ＣＯ２基準器８及び各被試験器Ｔと、ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０との間に介装され、これらの間の通信の仲立ちをする。
【0025】
サーバー３４は、ＣＯ２確認ＰＣ１０と同様に、入力手段、出力手段、記憶手段、通信手段及び制御手段を有している。制御ＰＣ３０の制御手段は、記憶手段に記憶されたサーバー側センサー精度確認プログラムを読み出して実行することにより、センサーの精度の確認に係る処理を実行する。
サーバー３４は、ＣＯ２確認ＰＣ１０と直接通信可能である。尚、サーバー３４の設置箇所は、ＣＯ２確認ＰＣ１０等と同じ場所であっても良いし、ＣＯ２確認ＰＣ１０等から離れた場所であっても良い。サーバー３４は、ＣＯ２確認ＰＣ１０から離れた場所に接地された場合、インターネット等を介して通信されても良い。又、サーバー３４は、制御ＰＣ３０と直接通信可能であっても良い。
サーバー３４は、ＣＯ２確認ＰＣ１０と直接通信可能である。尚、サーバー３４の設置箇所は、ＣＯ２確認ＰＣ１０等と同じ場所であっても良いし、ＣＯ２確認ＰＣ１０等から離れた場所であっても良い。サーバー３４は、ＣＯ２確認ＰＣ１０から離れた場所に接地された場合、インターネット等を介して通信されても良い。又、サーバー３４は、制御ＰＣ３０と直接通信可能であっても良い。
【0026】
次いで、センサー精度確認システム１の動作例が説明される。
図２は、当該動作例に係るフローチャートである。
ユーザーは、恒温槽２の電源を投入して内部を２５℃とし（ステップＳ１）、更に試験箱４にＣＯ２基準器８をオン状態で入れると共にスペーサーＳを介して各被試験器Ｔをオン状態で収容して試験箱４を密閉可能とし（ステップＳ２）、恒温槽２に試験箱４を入れて恒温槽２を閉じる。
第１切替弁２２、第２切替弁２４、及び第３切替弁２６、並びに真空弁５は、何れも閉じており、開放弁６は、開放状態とされており、ファン４２は、オフとされている。各被試験器Ｔは、所定タイミング（例えば１５秒毎）において、濃度信号を発信する。尚、ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０の少なくとも一方により、ＣＯ２基準器８及び各被試験器Ｔの少なくとも何れかのオンオフ状態が制御されても良く、精度確認時のみ等においてＣＯ２基準器８及び各被試験器Ｔの少なくとも何れかがオンに制御されても良い。
図２は、当該動作例に係るフローチャートである。
ユーザーは、恒温槽２の電源を投入して内部を２５℃とし（ステップＳ１）、更に試験箱４にＣＯ２基準器８をオン状態で入れると共にスペーサーＳを介して各被試験器Ｔをオン状態で収容して試験箱４を密閉可能とし（ステップＳ２）、恒温槽２に試験箱４を入れて恒温槽２を閉じる。
第１切替弁２２、第２切替弁２４、及び第３切替弁２６、並びに真空弁５は、何れも閉じており、開放弁６は、開放状態とされており、ファン４２は、オフとされている。各被試験器Ｔは、所定タイミング（例えば１５秒毎）において、濃度信号を発信する。尚、ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０の少なくとも一方により、ＣＯ２基準器８及び各被試験器Ｔの少なくとも何れかのオンオフ状態が制御されても良く、精度確認時のみ等においてＣＯ２基準器８及び各被試験器Ｔの少なくとも何れかがオンに制御されても良い。
【0027】
次いで、ユーザーは、制御ＰＣ３０への所定の入力（例えば開始ボタンへの入力）により、センサー精度確認処理の開始を指令し、まずｎ＝１として、第１の精度確認対象濃度（４００ｐｐｍ）のＣＯ２濃度における精度確認処理を行う（ステップＳ３，ｎ＝１）。
制御ＰＣ３０は、開放弁６を閉鎖して試験箱４を密閉し、真空弁５を真空ポンプ７とつながる状態として真空ポンプ７を起動し（ステップＳ３－１）、試験箱４内部の圧力を圧力情報により監視して所定程度以下とし、試験箱４の内部を負圧にする。尚、制御ＰＣ３０は、圧力情報が所定閾値外の異常値を取った場合等において、圧力異常状態を検出し、センサー精度確認システム１における適宜の部材及び部分の作動を緊急停止しても良い。センサー精度確認システム１は、圧力センサー４８とは別に、異常状態検出用のセンサーを有していても良い。
制御ＰＣ３０は、開放弁６を閉鎖して試験箱４を密閉し、真空弁５を真空ポンプ７とつながる状態として真空ポンプ７を起動し（ステップＳ３－１）、試験箱４内部の圧力を圧力情報により監視して所定程度以下とし、試験箱４の内部を負圧にする。尚、制御ＰＣ３０は、圧力情報が所定閾値外の異常値を取った場合等において、圧力異常状態を検出し、センサー精度確認システム１における適宜の部材及び部分の作動を緊急停止しても良い。センサー精度確認システム１は、圧力センサー４８とは別に、異常状態検出用のセンサーを有していても良い。
【0028】
制御ＰＣ３０は、試験箱４内部の圧力が所定程度以下となったら、真空ポンプ７を停止すると共に（ステップＳ３－２）、第１切替弁２２及び真空弁５を制御して、第１ガスボンベ１２から第１の気体を試験箱４の内部に導入して（ステップＳ３－３）、ファン４２を起動する（ステップＳ３－４）。導入時、真空弁５を介した真空ポンプ７の作用により、第１の気体が試験箱４の内部に吸い込まれる。制御ＰＣ３０は、第２切替弁２４及び第３切替弁２６を何れも閉じている。又、ファン４２により、第１の気体が試験箱４の内部で撹拌される。更に、第１の気体におけるＣＯ２の濃度（第１所定濃度）は、第１の精度確認対象濃度より僅かに大きいため（第１の精度確認対象濃度の１０％に相当する＋４０ｐｐｍ）、第１の精度確認対象濃度とする十分な正確性を得た状態で、第１の精度確認対象濃度とするまでの時間を、第１所定濃度が第１の精度確認対象濃度と同じである場合に比べて短縮することができる。
又、制御ＰＣ３０は、第１の気体の導入開始から所定時間が経過したことを把握すると、第１切替弁２２及び真空弁５を制御して、第１ガスボンベ１２から密閉状態の試験箱４の内部への第１の気体の導入を停止し（ステップＳ３－５）、ファン４２を停止する（ステップＳ３－６）。
尚、第１所定濃度の第１の精度確認対象濃度に対する増分は、第１の精度確認対象濃度を超えて第１の精度確認対象濃度の１０％未満の何れかの値であっても良い。更に、第１の気体は、負圧による吸い込みに代えて、あるいは負圧による吸い込みと共に、送風機等による送り込み等によって試験箱４の内部に導入されても良い。
又、制御ＰＣ３０は、第１の気体の導入開始から所定時間が経過したことを把握すると、第１切替弁２２及び真空弁５を制御して、第１ガスボンベ１２から密閉状態の試験箱４の内部への第１の気体の導入を停止し（ステップＳ３－５）、ファン４２を停止する（ステップＳ３－６）。
尚、第１所定濃度の第１の精度確認対象濃度に対する増分は、第１の精度確認対象濃度を超えて第１の精度確認対象濃度の１０％未満の何れかの値であっても良い。更に、第１の気体は、負圧による吸い込みに代えて、あるいは負圧による吸い込みと共に、送風機等による送り込み等によって試験箱４の内部に導入されても良い。
【0029】
そして、制御ＰＣ３０は、濃度の測定に係る基準濃度信号を、モニター３２を介して受信し（ステップＳ３－７）、基準濃度情報を確認して、基準濃度情報が第１の精度確認対象濃度とならないと（ステップＳ３－８でＮｏ）、ｎ＝１のままステップＳ３－１へ戻って、以降の処理を繰り返す。
かように、制御ＰＣ３０は、基準濃度情報が第１の精度確認対象濃度となるまで、ステップＳ３－１～Ｓ３－８を繰り返すことで、第１切替弁２２及び開放弁６を制御するため、第１の精度確認対象濃度とするための制御が自動化され、第１の精度確認対象濃度に係る試験の精度が向上する。
尚、制御ＰＣ３０において、ステップＳ３－６の条件は、基準濃度情報が複数回（例えば３回）連続で第１の精度確認対象濃度となった場合にＹｅｓとする等、様々なものに設定されていても良い。
かように、制御ＰＣ３０は、基準濃度情報が第１の精度確認対象濃度となるまで、ステップＳ３－１～Ｓ３－８を繰り返すことで、第１切替弁２２及び開放弁６を制御するため、第１の精度確認対象濃度とするための制御が自動化され、第１の精度確認対象濃度に係る試験の精度が向上する。
尚、制御ＰＣ３０において、ステップＳ３－６の条件は、基準濃度情報が複数回（例えば３回）連続で第１の精度確認対象濃度となった場合にＹｅｓとする等、様々なものに設定されていても良い。
【0030】
他方、制御ＰＣ３０は、基準濃度情報が第１の精度確認対象濃度となると（ステップＳ３－８でＹｅｓ）、次のような各被試験器Ｔの濃度情報取得処理（ステップＳ３－９）へ移行する。ステップＳ３－９において、制御ＰＣ３０の制御に基づいて、ＣＯ２確認ＰＣ１０は、所定時間（例えば６０秒）にわたり、第１の精度確認対象濃度となった密閉状態の試験箱４の内部における各被試験器Ｔから、モニター３２を介して濃度信号を得て、濃度の精度を確認するための各濃度情報を取得し、記憶する。
尚、ＣＯ２確認ＰＣ１０は、各濃度情報（の平均）を第１の精度確認対象濃度と比較しても良いし、あるいは基準濃度信号を得て基準濃度情報と比較しても良いし、又はこれらを併用しても良い。又、ＣＯ２確認ＰＣ１０は、所定時間に代えて、各被試験器Ｔから所定回数（例えば４回）分の濃度信号が得られるまで等において精度確認を行っても良い。
尚、ＣＯ２確認ＰＣ１０は、各濃度情報（の平均）を第１の精度確認対象濃度と比較しても良いし、あるいは基準濃度信号を得て基準濃度情報と比較しても良いし、又はこれらを併用しても良い。又、ＣＯ２確認ＰＣ１０は、所定時間に代えて、各被試験器Ｔから所定回数（例えば４回）分の濃度信号が得られるまで等において精度確認を行っても良い。
【0031】
続いて、制御ＰＣ３０は、第２の精度確認対象濃度（１０００ｐｐｍ）のＣＯ２濃度における精度確認処理を行う（ステップＳ３の２回目の繰り返し、ｎ＝２）。第２の精度確認対象濃度における精度確認処理は、第１の精度確認対象濃度における精度確認処理と同様の変更例を適宜有する。
尚、制御ＰＣ３０は、第１の精度確認対象濃度での精度確認（ステップＳ３－７、ｎ＝１）後に、試験箱４の開放処理を行っても良い。制御ＰＣ３０は、開放処理において、開放弁６を所定時間（例えば６０秒間）開放して試験箱４の内部圧力を大気圧程度に戻した後、ステップＳ５と同様に試験箱４の内部を負圧とする。試験箱４の内部圧力の開放により、試験箱４内部の気体が排気され、入れ替えられる。更に、制御ＰＣ３０は、開放処理において、試験箱４の内部圧力の開放及び負圧化の処理の組を、複数回行っても良い。かような開放処理を行うことにより、精度確認の時間が増加するものの、試験箱４の内部を第２の精度確認対象濃度とする際の正確性がより一層向上する。かような正確性は、圧力の開放及び負圧化の処理の組の回数が増すほど上昇するところ、精度確認の効率性とのバランスをとる観点から、圧力の開放及び負圧化の処理の組の回数は好ましくは１回以上３回以下とされる。加えて、開放弁６を開放する所定時間は、圧力の開放及び負圧化の処理の各組の一部または全部において、互いに同じであっても良いし、互いに異なっていても良い。
尚、制御ＰＣ３０は、第１の精度確認対象濃度での精度確認（ステップＳ３－７、ｎ＝１）後に、試験箱４の開放処理を行っても良い。制御ＰＣ３０は、開放処理において、開放弁６を所定時間（例えば６０秒間）開放して試験箱４の内部圧力を大気圧程度に戻した後、ステップＳ５と同様に試験箱４の内部を負圧とする。試験箱４の内部圧力の開放により、試験箱４内部の気体が排気され、入れ替えられる。更に、制御ＰＣ３０は、開放処理において、試験箱４の内部圧力の開放及び負圧化の処理の組を、複数回行っても良い。かような開放処理を行うことにより、精度確認の時間が増加するものの、試験箱４の内部を第２の精度確認対象濃度とする際の正確性がより一層向上する。かような正確性は、圧力の開放及び負圧化の処理の組の回数が増すほど上昇するところ、精度確認の効率性とのバランスをとる観点から、圧力の開放及び負圧化の処理の組の回数は好ましくは１回以上３回以下とされる。加えて、開放弁６を開放する所定時間は、圧力の開放及び負圧化の処理の各組の一部または全部において、互いに同じであっても良いし、互いに異なっていても良い。
【0032】
即ち、制御ＰＣ３０は、真空ポンプ７を作動させる（ステップＳ３－１）。
又、制御ＰＣ３０は、真空ポンプ７を停止する（ステップＳ３－２）。
更に、制御ＰＣ３０は、第２切替弁２４を制御して、第２の気体を密閉状態の試験箱４の内部に導入し（ステップＳ３－３）、ファン４２を起動する（ステップＳ３－３）。制御ＰＣ３０は、第１切替弁２２及び第３切替弁２６を何れも閉じている。第２の精度確認対象濃度は、第１の精度確認対象濃度より大きいため、上述の開放処理が行われなかったとしても、第２の精度確認対象濃度に十分に正確に到達することができる。又、開放処理が行われない分、精度確認の効率が良くなる。
第２の気体におけるＣＯ２の濃度（第２所定濃度）は、第２の精度確認対象濃度より僅かに大きいため（第２の精度確認対象濃度の１０％に相当する＋１００ｐｐｍ）、第２の精度確認対象濃度とする十分な正確性を得た状態で、第２の精度確認対象濃度とするまでの時間を、第２所定濃度が第２の精度確認対象濃度と同じである場合に比べて短縮することができる。尚、第２所定濃度の第２の精度確認対象濃度に対する増分は、第２の精度確認対象濃度を超えて第２の精度確認対象濃度の１０％未満の何れかの値であっても良い。
又更に、制御ＰＣ３０は、第２の気体の試験箱４内への導入を停止し（ステップＳ３－５）、ファン４２を停止して（ステップＳ３－６）、濃度測定のうえ（ステップＳ３－７）、基準濃度情報が第２の精度確認対象濃度となった場合に（ステップＳ３－８でＹｅｓ）、ＣＯ２確認ＰＣ１０に被試験器Ｔの精度確認を行わせる（ステップＳ３－９）。
そして、制御ＰＣ３０は、基準濃度情報が第２の精度確認対象濃度となるまで、ステップＳ３－１～Ｓ３－８を繰り返すことで、第２切替弁２４及び開放弁６を制御するため、第２の精度確認対象濃度とするための制御が自動化され、第２の精度確認対象濃度に係る試験の精度が向上する。
又、制御ＰＣ３０は、真空ポンプ７を停止する（ステップＳ３－２）。
更に、制御ＰＣ３０は、第２切替弁２４を制御して、第２の気体を密閉状態の試験箱４の内部に導入し（ステップＳ３－３）、ファン４２を起動する（ステップＳ３－３）。制御ＰＣ３０は、第１切替弁２２及び第３切替弁２６を何れも閉じている。第２の精度確認対象濃度は、第１の精度確認対象濃度より大きいため、上述の開放処理が行われなかったとしても、第２の精度確認対象濃度に十分に正確に到達することができる。又、開放処理が行われない分、精度確認の効率が良くなる。
第２の気体におけるＣＯ２の濃度（第２所定濃度）は、第２の精度確認対象濃度より僅かに大きいため（第２の精度確認対象濃度の１０％に相当する＋１００ｐｐｍ）、第２の精度確認対象濃度とする十分な正確性を得た状態で、第２の精度確認対象濃度とするまでの時間を、第２所定濃度が第２の精度確認対象濃度と同じである場合に比べて短縮することができる。尚、第２所定濃度の第２の精度確認対象濃度に対する増分は、第２の精度確認対象濃度を超えて第２の精度確認対象濃度の１０％未満の何れかの値であっても良い。
又更に、制御ＰＣ３０は、第２の気体の試験箱４内への導入を停止し（ステップＳ３－５）、ファン４２を停止して（ステップＳ３－６）、濃度測定のうえ（ステップＳ３－７）、基準濃度情報が第２の精度確認対象濃度となった場合に（ステップＳ３－８でＹｅｓ）、ＣＯ２確認ＰＣ１０に被試験器Ｔの精度確認を行わせる（ステップＳ３－９）。
そして、制御ＰＣ３０は、基準濃度情報が第２の精度確認対象濃度となるまで、ステップＳ３－１～Ｓ３－８を繰り返すことで、第２切替弁２４及び開放弁６を制御するため、第２の精度確認対象濃度とするための制御が自動化され、第２の精度確認対象濃度に係る試験の精度が向上する。
【0033】
続いて、制御ＰＣ３０は、第３の精度確認対象濃度（５０００ｐｐｍ）のＣＯ２濃度における精度確認処理を行う（ステップＳ３の３回目の繰り返し、ｎ＝３）。第３の精度確認対象濃度における精度確認処理は、第１の精度確認対象濃度及び第２の精度確認対象濃度における精度確認処理と同様の変更例を適宜有する。
尚、制御ＰＣ３０は、第２の精度確認対象濃度での精度確認（ステップＳ３－９、ｎ＝２）後に、上述した試験箱４の開放処理を行っても良い。第２の精度確認対象濃度での精度確認後の開放処理は、第１の精度確認対象濃度での精度確認後の開放処理と同じであっても良いし、異なっていても良い。例えば、第２の精度確認対象濃度での精度確認後の開放処理における開放に係る所定時間は、第１の精度確認対象濃度での精度確認後の開放処理における開放に係る所定時間と同じであっても良いし、異なっていても良い。又、第２の精度確認対象濃度での精度確認後の開放処理における圧力の開放及び負圧化の処理の組の回数は、第１の精度確認対象濃度での精度確認後の開放処理における圧力の開放及び負圧化の処理の組の回数と同じであっても良いし、異なっていても良い。
尚、制御ＰＣ３０は、第２の精度確認対象濃度での精度確認（ステップＳ３－９、ｎ＝２）後に、上述した試験箱４の開放処理を行っても良い。第２の精度確認対象濃度での精度確認後の開放処理は、第１の精度確認対象濃度での精度確認後の開放処理と同じであっても良いし、異なっていても良い。例えば、第２の精度確認対象濃度での精度確認後の開放処理における開放に係る所定時間は、第１の精度確認対象濃度での精度確認後の開放処理における開放に係る所定時間と同じであっても良いし、異なっていても良い。又、第２の精度確認対象濃度での精度確認後の開放処理における圧力の開放及び負圧化の処理の組の回数は、第１の精度確認対象濃度での精度確認後の開放処理における圧力の開放及び負圧化の処理の組の回数と同じであっても良いし、異なっていても良い。
【0034】
即ち、制御ＰＣ３０は、真空ポンプ７を作動させる（ステップＳ３－１）。
又、制御ＰＣ３０は、真空ポンプ７を停止する（ステップＳ３－２）。
更に、制御ＰＣ３０は、第３切替弁２６を制御して、第３の気体を密閉状態の試験箱４の内部に導入し（ステップＳ３－３）、ファン４２を起動する（ステップＳ３－３）。制御ＰＣ３０は、第１切替弁２２及び第２切替弁２４を何れも閉じている。第３の精度確認対象濃度は、第２の精度確認対象濃度より大きいため、上述の開放処理が行われなかったとしても、第３の精度確認対象濃度に十分に正確に到達することができる。又、開放処理が行われない分、精度確認の効率が良くなる。
第３の気体におけるＣＯ２の濃度（第３所定濃度）は、第３の精度確認対象濃度より僅かに大きいため（第３の精度確認対象濃度の４％に相当する＋２００ｐｐｍ）、第３の精度確認対象濃度とする十分な正確性を得た状態で、第３の精度確認対象濃度とするまでの時間を、第３所定濃度が第３の精度確認対象濃度と同じである場合に比べて短縮することができる。尚、第３所定濃度の第３の精度確認対象濃度に対する増分は、第３の精度確認対象濃度を超えて第３の精度確認対象濃度の１０％以下の何れかの値（２００ｐｐｍを除く）であっても良いし、第３の精度確認対象濃度の４％未満の何れかの値であっても良い。
又更に、制御ＰＣ３０は、第３の気体の試験箱４内への導入を停止し（ステップＳ３－５）、ファン４２を停止して（ステップＳ３－６）、濃度測定のうえ（ステップＳ３－７）、基準濃度情報が第３の精度確認対象濃度となった場合に（ステップＳ３－８でＹｅｓ）、ＣＯ２確認ＰＣ１０に被試験器Ｔの精度確認を行わせる（ステップＳ３－９）。
そして、制御ＰＣ３０は、基準濃度情報が第３の精度確認対象濃度となるまで、ステップＳ３－１～Ｓ３－８を繰り返すことで、第３切替弁２６及び開放弁６を制御するため、第３の精度確認対象濃度とするための制御が自動化され、第３の精度確認対象濃度に係る試験の精度が向上する。
尚、制御ＰＣ３０は、第１～第３の精度確認対象濃度の少なくとも何れかでの被試験器Ｔの精度確認において、環境誤差の補償に係る演算を行っても良い。例えば、被試験器ＴであるＣＯ２濃度センサーの測定値は、圧力により変化するために圧力による誤差が発生し得るところ、制御ＰＣ３０は、かような圧力による誤差を補償するために、圧力センサー４８から得た圧力情報に基づいて、被試験器Ｔの測定値を、標準的な気圧（例えば１気圧）での値に変換しても良い。あるいは、制御ＰＣ３０は、かような圧力による誤差の補償に代えて、又は当該補償と共に、測定時の温度に基づいて、被試験器Ｔの測定値を、標準的な温度（例えば２５℃）での値に変換しても良い。
又、制御ＰＣ３０は、真空ポンプ７を停止する（ステップＳ３－２）。
更に、制御ＰＣ３０は、第３切替弁２６を制御して、第３の気体を密閉状態の試験箱４の内部に導入し（ステップＳ３－３）、ファン４２を起動する（ステップＳ３－３）。制御ＰＣ３０は、第１切替弁２２及び第２切替弁２４を何れも閉じている。第３の精度確認対象濃度は、第２の精度確認対象濃度より大きいため、上述の開放処理が行われなかったとしても、第３の精度確認対象濃度に十分に正確に到達することができる。又、開放処理が行われない分、精度確認の効率が良くなる。
第３の気体におけるＣＯ２の濃度（第３所定濃度）は、第３の精度確認対象濃度より僅かに大きいため（第３の精度確認対象濃度の４％に相当する＋２００ｐｐｍ）、第３の精度確認対象濃度とする十分な正確性を得た状態で、第３の精度確認対象濃度とするまでの時間を、第３所定濃度が第３の精度確認対象濃度と同じである場合に比べて短縮することができる。尚、第３所定濃度の第３の精度確認対象濃度に対する増分は、第３の精度確認対象濃度を超えて第３の精度確認対象濃度の１０％以下の何れかの値（２００ｐｐｍを除く）であっても良いし、第３の精度確認対象濃度の４％未満の何れかの値であっても良い。
又更に、制御ＰＣ３０は、第３の気体の試験箱４内への導入を停止し（ステップＳ３－５）、ファン４２を停止して（ステップＳ３－６）、濃度測定のうえ（ステップＳ３－７）、基準濃度情報が第３の精度確認対象濃度となった場合に（ステップＳ３－８でＹｅｓ）、ＣＯ２確認ＰＣ１０に被試験器Ｔの精度確認を行わせる（ステップＳ３－９）。
そして、制御ＰＣ３０は、基準濃度情報が第３の精度確認対象濃度となるまで、ステップＳ３－１～Ｓ３－８を繰り返すことで、第３切替弁２６及び開放弁６を制御するため、第３の精度確認対象濃度とするための制御が自動化され、第３の精度確認対象濃度に係る試験の精度が向上する。
尚、制御ＰＣ３０は、第１～第３の精度確認対象濃度の少なくとも何れかでの被試験器Ｔの精度確認において、環境誤差の補償に係る演算を行っても良い。例えば、被試験器ＴであるＣＯ２濃度センサーの測定値は、圧力により変化するために圧力による誤差が発生し得るところ、制御ＰＣ３０は、かような圧力による誤差を補償するために、圧力センサー４８から得た圧力情報に基づいて、被試験器Ｔの測定値を、標準的な気圧（例えば１気圧）での値に変換しても良い。あるいは、制御ＰＣ３０は、かような圧力による誤差の補償に代えて、又は当該補償と共に、測定時の温度に基づいて、被試験器Ｔの測定値を、標準的な温度（例えば２５℃）での値に変換しても良い。
【0035】
制御ＰＣ３０は、目的の３種類の精度確認対象濃度での精度確認が完了すると、開放弁６を開放して試験箱４の内部圧力を大気圧程度に戻す（ステップＳ４）。尚、ステップＳ４は、上述の開放処理と、変更例も含め同様に行われても良い。又、制御ＰＣ３０は、恒温槽２を停止する（ステップＳ５）
ユーザーは、続けて別の各被試験器Ｔの精度確認を行う場合、ステップＳ５を行う前に、ステップＳ２～Ｓ４（各被試験器Ｔのセット、各精度確認、及び試験箱４の負圧開放）を繰り返すことができる。試験済みの各被試験器Ｔは、試験箱４の負圧開放後に取り出される。
ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０の少なくとも一方は、かようにして得られた被試験器Ｔにおける第１～第３の精度確認対象濃度毎の各濃度情報を、被試験器Ｔの識別情報と共に、サーバー３４に送信し、サーバー３４は、受信した各濃度情報及び被試験器Ｔの識別情報の組を記憶する。サーバー３４には、各種の被試験器Ｔの識別情報及びその各濃度情報がそれぞれ対応付けられた濃度情報データベースが記憶される。尚、かようなサーバー３４への情報の送信は、省略されても良い。
ユーザーは、続けて別の各被試験器Ｔの精度確認を行う場合、ステップＳ５を行う前に、ステップＳ２～Ｓ４（各被試験器Ｔのセット、各精度確認、及び試験箱４の負圧開放）を繰り返すことができる。試験済みの各被試験器Ｔは、試験箱４の負圧開放後に取り出される。
ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０の少なくとも一方は、かようにして得られた被試験器Ｔにおける第１～第３の精度確認対象濃度毎の各濃度情報を、被試験器Ｔの識別情報と共に、サーバー３４に送信し、サーバー３４は、受信した各濃度情報及び被試験器Ｔの識別情報の組を記憶する。サーバー３４には、各種の被試験器Ｔの識別情報及びその各濃度情報がそれぞれ対応付けられた濃度情報データベースが記憶される。尚、かようなサーバー３４への情報の送信は、省略されても良い。
【0036】
ユーザーは、センサー精度確認システム１により得られた、被試験器Ｔにおける第１～第３の精度確認対象濃度毎の各濃度情報を、適宜基準濃度情報及び第１～第３の精度確認対象濃度の少なくとも何れかと比較することで、当該被試験器Ｔの精度を確認することができる。
ユーザーは、適宜、センサー精度確認システム１により得られた被試験器Ｔの精度に基づいて、被試験器Ｔの精度証明書を発行したり、より良好な精度となるように校正したりすることができる。校正について、より詳しくは、後述の第２形態が参照可能である。
ユーザーは、適宜、センサー精度確認システム１により得られた被試験器Ｔの精度に基づいて、被試験器Ｔの精度証明書を発行したり、より良好な精度となるように校正したりすることができる。校正について、より詳しくは、後述の第２形態が参照可能である。
【0037】
以上のセンサー精度確認システム１は、検知対象（ＣＯ２）の濃度を検知するセンサー（被試験器Ｔ）に係る精度を確認するシステムである。センサー精度確認システム１は、被試験器Ｔを収容可能であり、且つ開閉可能であって、閉塞時には密閉可能である試験箱４と、試験箱４に真空弁５を介してつながっており、密閉状態の試験箱４の負圧を調整可能である真空ポンプ７と、窒素ガス中に検知対象を第１所定濃度で含む第１の気体を収めた第１ガスボンベ１２と、窒素ガス中に検知対象を第２所定濃度で含む第２の気体を収めた第２ガスボンベ１４と、第１の気体の流量を調整して閉じた試験箱４の内部へ導入する、第１ガスボンベ１２と試験箱４との間に設けられた第１切替弁２２と、第２の気体の流量を調整して閉じた試験箱４の内部へ導入する、第２ガスボンベ１４と試験箱４との間に設けられた第２切替弁２４と、被試験器Ｔと通信可能であり、第１切替弁２２及び第２切替弁２４並びに真空弁５及び真空ポンプ７を制御可能であるＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０と、を備えている。ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０は、第１切替弁２２並びに真空弁５及び真空ポンプ７を制御して密閉状態の試験箱４の内部を第１の精度確認対象濃度（４００ｐｐｍ）とした状態で、被試験器Ｔから検知対象の濃度に係る信号である濃度信号を受信すると共に、第２切替弁２４並びに真空弁５及び真空ポンプ７を制御して密閉状態の試験箱４の内部を第２の精度確認対象濃度（１０００ｐｐｍ）とした状態で、被試験器Ｔから検知対象の濃度に係る信号である濃度信号を受信する。
よって、複数の状態（第１，第２の精度確認対象濃度）に係る被試験器Ｔの精度の確認が十分に正確な状態で効率良く行えるセンサー精度確認システム１が提供される。
よって、複数の状態（第１，第２の精度確認対象濃度）に係る被試験器Ｔの精度の確認が十分に正確な状態で効率良く行えるセンサー精度確認システム１が提供される。
【0038】
又、試験箱４の内部に、検知対象の濃度を検知するＣＯ２基準器８が入っている。よって、センサー精度確認システム１では、ＣＯ２基準器８からの基準濃度信号に基づき、より正確な動作が実現される。
更に、ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０は、ＣＯ２基準器８と通信可能であり、ＣＯ２基準器８から検知対象の濃度に係る信号である基準濃度信号を受信して、基準濃度信号に基づき試験箱４の内部の濃度を制御する。
よって、センサー精度確認システム１では、ＣＯ２基準器８からの基準濃度信号に基づき、より正確に試験箱４の内部で第１の精度確認対象濃度及び第２の精度確認対象濃度が実現される。
更に、ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０は、ＣＯ２基準器８と通信可能であり、ＣＯ２基準器８から検知対象の濃度に係る信号である基準濃度信号を受信して、基準濃度信号に基づき試験箱４の内部の濃度を制御する。
よって、センサー精度確認システム１では、ＣＯ２基準器８からの基準濃度信号に基づき、より正確に試験箱４の内部で第１の精度確認対象濃度及び第２の精度確認対象濃度が実現される。
【0039】
更に、ｋ＝［３］（［］は集合を示す）として、センサー精度確認システム１は、窒素ガス中に検知対象を第３所定濃度で含む第３の気体を収めた第３ガスボンベ１６と、第３の気体の流量を調整して閉じた試験箱４の内部へ導入する、第３ガスボンベ１６と試験箱４との間に設けられた第３切替弁２６と、を備えている。ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０は、第３切替弁２６を制御して試験箱４の内部を第３の精度確認対象濃度（５０００ｐｐｍ）とした状態で、被試験器Ｔから検知対象の濃度に係る信号である濃度信号を受信する。
よって、複数の状態（第１，第２，第３の精度確認対象濃度）に係る被試験器Ｔの精度の確認が十分に正確な状態で効率良く行えるセンサー精度確認システム１が提供される。
尚、ｋ＝［３，４］では、第３の精度確認対象濃度等及び第４の精度確認対象濃度等が設けられる。又、ｋ＝［３，４，５］ｏｒ・・・では、第３の精度確認対象濃度等、第４の精度確認対象濃度等及び第５の精度確認対象濃度等が設けられ、あるいは更に第６・・・の精度確認対象濃度等が設けられる。
よって、複数の状態（第１，第２，第３の精度確認対象濃度）に係る被試験器Ｔの精度の確認が十分に正確な状態で効率良く行えるセンサー精度確認システム１が提供される。
尚、ｋ＝［３，４］では、第３の精度確認対象濃度等及び第４の精度確認対象濃度等が設けられる。又、ｋ＝［３，４，５］ｏｒ・・・では、第３の精度確認対象濃度等、第４の精度確認対象濃度等及び第５の精度確認対象濃度等が設けられ、あるいは更に第６・・・の精度確認対象濃度等が設けられる。
【0040】
加えて、試験箱４の内部に、ファン４２が設けられている。よって、試験箱４の内部を撹拌可能であり、試験箱４の内部における第１の精度確認対象濃度等がより均一で正確なものとなり、より正確な精度確認が行える。
又、被試験器Ｔは、複数設けられており、各被試験器Ｔは、試験箱４に入っている。よって、複数台の被試験器Ｔの精度をまとめて確認することができ、精度確認の効率がより一層良好になる。
更に、試験箱４は、内部を所定温度に保持する恒温槽２の内部に入っている。よって、センサー精度確認システム１では、所定温度における被試験器Ｔの精度を確認可能である。
又更に、センサー精度確認システム１は、試験箱４の内部に配置されたスペーサーＳを備えている。よって、センサー精度確認システム１では、スペーサーＳの分第１の気体等で満たす必要がなくなり、より素早く第１の精度確認対象濃度等とすることができ、一層精度確認の効率が良好になる。
又、検知対象はＣＯ２である。よって、センサー精度確認システム１では、ＣＯ２濃度センサーの精度確認がより素早く十分に正確に行える。
更に、被試験器Ｔは、無線通信可能である。よって、通信線が不要であり、閉じた試験箱４の内部への設置がより簡単で、センサーの精度確認がより簡単に行える。
加えて、センサー精度確認システム１は、試験箱４につながっており、試験箱４の密閉状態を保持可能であると共に試験箱４に係る負圧を開放可能である開放弁６を備えている。よって、密閉された試験箱４内の環境の制御がより一層行い易く、又その制御の精度がより一層良好になる。
又、被試験器Ｔは、複数設けられており、各被試験器Ｔは、試験箱４に入っている。よって、複数台の被試験器Ｔの精度をまとめて確認することができ、精度確認の効率がより一層良好になる。
更に、試験箱４は、内部を所定温度に保持する恒温槽２の内部に入っている。よって、センサー精度確認システム１では、所定温度における被試験器Ｔの精度を確認可能である。
又更に、センサー精度確認システム１は、試験箱４の内部に配置されたスペーサーＳを備えている。よって、センサー精度確認システム１では、スペーサーＳの分第１の気体等で満たす必要がなくなり、より素早く第１の精度確認対象濃度等とすることができ、一層精度確認の効率が良好になる。
又、検知対象はＣＯ２である。よって、センサー精度確認システム１では、ＣＯ２濃度センサーの精度確認がより素早く十分に正確に行える。
更に、被試験器Ｔは、無線通信可能である。よって、通信線が不要であり、閉じた試験箱４の内部への設置がより簡単で、センサーの精度確認がより簡単に行える。
加えて、センサー精度確認システム１は、試験箱４につながっており、試験箱４の密閉状態を保持可能であると共に試験箱４に係る負圧を開放可能である開放弁６を備えている。よって、密閉された試験箱４内の環境の制御がより一層行い易く、又その制御の精度がより一層良好になる。
【0041】
又、センサー精度確認システム１の動作により実施されるセンサー精度確認方法は、検知対象の濃度を検知するセンサー（被試験器Ｔ）に係る精度を、複数の精度確認対象濃度において確認する方法である。そして、センサー精度確認方法では、ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０は、開閉可能であり閉じた状態で被試験器Ｔを入れた試験箱４の内部におけるＣＯ２濃度を、順次複数の精度確認対象濃度のうちの何れか（第１の精度確認対象濃度、第２の精度確認対象濃度、第３の精度確認対象濃度）として被試験器Ｔの精度をそれぞれ確認する（ステップＳ３、ｎ＝１～３）。
よって、センサー精度確認方法では、複数の精度確認対象濃度に係る被試験器Ｔの精度確認が効率よく行える。
よって、センサー精度確認方法では、複数の精度確認対象濃度に係る被試験器Ｔの精度確認が効率よく行える。
【0042】
更に、センサー精度確認方法では、ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０が、試験箱４の内部におけるＣＯ２濃度を、まず、複数の精度確認対象濃度のうち最も小さいもの（第１の精度確認対象濃度、４００ｐｐｍ）として被試験器Ｔの精度を確認する（ステップＳ３、ｎ＝１）。センサー精度確認方法では、次いで、ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０が、試験箱４の内部におけるＣＯ２濃度を、複数の精度確認対象濃度のうち次に小さいもの（第２の精度確認対象濃度、１０００ｐｐｍ）として被試験器Ｔの精度を確認する（ステップＳ３、ｎ＝２）。又、センサー精度確認方法では、引き続き、ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０が、試験箱４の内部におけるＣＯ２濃度を、複数の精度確認対象濃度のうちその次に小さいもの（第３の精度確認対象濃度、５０００ｐｐｍ）として被試験器Ｔの精度を確認する（ステップＳ３、ｎ＝３）。
よって、センサー精度確認方法では、第１の精度確認対象濃度から第２の精度確認対象濃度とする際の試験箱４内部の排気等が省略可能あるいは簡略化可能であり、又更には第２の精度確認対象濃度から第３の精度確認対象濃度とする際の試験箱４内部の排気等が省略可能あるいは簡略化可能であり、その分効率良く被試験器Ｔの精度確認が行える。
よって、センサー精度確認方法では、第１の精度確認対象濃度から第２の精度確認対象濃度とする際の試験箱４内部の排気等が省略可能あるいは簡略化可能であり、又更には第２の精度確認対象濃度から第３の精度確認対象濃度とする際の試験箱４内部の排気等が省略可能あるいは簡略化可能であり、その分効率良く被試験器Ｔの精度確認が行える。
【0043】
尚、第１形態の変更例として、第１ガスボンベ１２及び第１切替弁２２並びに第３ガスボンベ１６及び第３切替弁２６を省略し、１つの第２ガスボンベ１４、及び１つの第２切替弁２４で被試験器Ｔの精度確認を行うものが挙げられる。
この変更例では、ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０は、まず通常の大気中で（例えばＣＯ２濃度４００ｐｐｍ，第１の精度確認対象濃度）、あるいは試験箱４内を予め所定のＣＯ２濃度に調整した状態で、被試験器Ｔの精度確認を行い、次いで、第２ガスボンベ１４及び第２切替弁２４を制御して試験箱４内を第２の精度確認対象濃度（１０００ｐｐｍ）とした状態で、被試験器Ｔの精度確認を行う。
尚、ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０は、第１ガスボンベ１２及び第１切替弁２２並びに第２ガスボンベ１４及び第２切替弁２４を省略し、１つの第３ガスボンベ１６、及び１つの第３切替弁２６で被試験器Ｔの精度確認（例えば４００ｐｐｍ及び５０００ｐｐｍ）を行っても良い。
この変更例では、ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０は、まず通常の大気中で（例えばＣＯ２濃度４００ｐｐｍ，第１の精度確認対象濃度）、あるいは試験箱４内を予め所定のＣＯ２濃度に調整した状態で、被試験器Ｔの精度確認を行い、次いで、第２ガスボンベ１４及び第２切替弁２４を制御して試験箱４内を第２の精度確認対象濃度（１０００ｐｐｍ）とした状態で、被試験器Ｔの精度確認を行う。
尚、ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０は、第１ガスボンベ１２及び第１切替弁２２並びに第２ガスボンベ１４及び第２切替弁２４を省略し、１つの第３ガスボンベ１６、及び１つの第３切替弁２６で被試験器Ｔの精度確認（例えば４００ｐｐｍ及び５０００ｐｐｍ）を行っても良い。
【0044】
かような第１形態の変更例は、検知対象（ＣＯ２）の濃度を検知するセンサー（被試験器Ｔ）に係る精度を確認するシステムである。このセンサー精度確認システムは、被試験器Ｔを収容可能であり、且つ開閉可能であって、閉塞時には密閉可能である試験箱４と、試験箱４に真空弁５を介してつながっており、密閉状態の試験箱４の負圧を調整可能である真空ポンプ７と、窒素ガス中に検知対象を所定濃度で含む第２の気体を収めた第２ガスボンベ１４と、第２の気体の流量を調整して閉じた試験箱４の内部へ導入する、第２ガスボンベ１４と試験箱４との間に設けられた第２切替弁２４と、被試験器Ｔと通信可能であり、第２切替弁２４並びに真空弁５及び真空ポンプ７を制御可能であるＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０と、を備えている。ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０は、
密閉状態の試験箱４の内部が第１の精度確認対象濃度（例えば４００ｐｐｍ）である状態で、被試験器Ｔから検知対象の濃度に係る信号である濃度信号を受信すると共に、第２切替弁２４並びに真空弁５及び真空ポンプ７を制御して密閉状態の試験箱４の内部を第２の精度確認対象濃度（１０００ｐｐｍ）とした状態で、被試験器Ｔから検知対象の濃度に係る信号である濃度信号を受信する。
よって、この第１形態の変更例においても、複数の状態（第１，第２の精度確認対象濃度）に係る被試験器Ｔの精度の確認が十分に正確な状態で効率良く行える。
密閉状態の試験箱４の内部が第１の精度確認対象濃度（例えば４００ｐｐｍ）である状態で、被試験器Ｔから検知対象の濃度に係る信号である濃度信号を受信すると共に、第２切替弁２４並びに真空弁５及び真空ポンプ７を制御して密閉状態の試験箱４の内部を第２の精度確認対象濃度（１０００ｐｐｍ）とした状態で、被試験器Ｔから検知対象の濃度に係る信号である濃度信号を受信する。
よって、この第１形態の変更例においても、複数の状態（第１，第２の精度確認対象濃度）に係る被試験器Ｔの精度の確認が十分に正確な状態で効率良く行える。
【0045】
［第２形態］
図３は、本発明の第２形態に係るセンサー校正システム７１のブロック図である。
センサー校正システム７１は、上述のセンサー精度確認システム１のサーバー３４がサーバー７４に置き換えられたものである。サーバー７４以外の構成は、上述のセンサー精度確認システム１と同様であるため、説明を省略する。
図３は、本発明の第２形態に係るセンサー校正システム７１のブロック図である。
センサー校正システム７１は、上述のセンサー精度確認システム１のサーバー３４がサーバー７４に置き換えられたものである。サーバー７４以外の構成は、上述のセンサー精度確認システム１と同様であるため、説明を省略する。
【0046】
又、被試験器Ｔは、検知部ＴＳと、記憶部ＴＭと、出力部ＴＯと、通信部ＴＮと、これらを制御可能な制御部ＴＣと、を有する。
検知部ＴＳは、ＣＯ２濃度を検知して補正前濃度信号を発生する部分である。
記憶部ＴＭは、各種の情報を記憶可能であり、補正値ＴＲ、及び被試験器Ｔの識別情報ＩＤを記憶可能である。
制御部ＴＣは、補正前濃度信号につき補正値ＴＲに基づき補正して濃度信号を得る。ここでは、制御部ＴＣは、補正前濃度信号が示す補正前濃度に補正値ＴＲを加えて補正後の濃度とし、補正後の濃度を示す濃度信号を得る。補正値ＴＲが０である場合、補正前濃度信号が濃度信号となる。
出力部ＴＯは、補正済みの濃度信号を出力する。
通信部ＴＮは、サーバー７４（の通信手段）と無線通信可能である。尚、かような通信は、上述の通信と同様の変更例を適宜有する。
検知部ＴＳは、ＣＯ２濃度を検知して補正前濃度信号を発生する部分である。
記憶部ＴＭは、各種の情報を記憶可能であり、補正値ＴＲ、及び被試験器Ｔの識別情報ＩＤを記憶可能である。
制御部ＴＣは、補正前濃度信号につき補正値ＴＲに基づき補正して濃度信号を得る。ここでは、制御部ＴＣは、補正前濃度信号が示す補正前濃度に補正値ＴＲを加えて補正後の濃度とし、補正後の濃度を示す濃度信号を得る。補正値ＴＲが０である場合、補正前濃度信号が濃度信号となる。
出力部ＴＯは、補正済みの濃度信号を出力する。
通信部ＴＮは、サーバー７４（の通信手段）と無線通信可能である。尚、かような通信は、上述の通信と同様の変更例を適宜有する。
【0047】
サーバー７４は、被試験器Ｔから識別情報ＩＤを受信可能であり、又被試験器Ｔに対し、当該識別情報ＩＤに対応する、各濃度情報に関する情報を送信可能である。
ここでは、サーバー７４は、各濃度情報に関する情報として、次のものを送信する。即ち、第１の精度確認対象濃度（４００ｐｐｍ）におけるＣＯ２基準器８の濃度情報を引く数とし、第１の精度確認対象濃度における当該識別情報ＩＤの被試験器Ｔの濃度情報が示す濃度を引かれる数として演算された値（第１の補正値要素）と、第２の精度確認対象濃度（１０００ｐｐｍ）におけるＣＯ２基準器８の濃度情報を引く数とし、第２の精度確認対象濃度における当該識別情報ＩＤの被試験器Ｔの濃度情報が示す濃度を引かれる数として演算された値（第２の補正値要素）と、第３の精度確認対象濃度（５０００ｐｐｍ）におけるＣＯ２基準器８の濃度情報を引く数とし、第３の精度確認対象濃度における当該識別情報ＩＤの被試験器Ｔの濃度情報が示す濃度を引かれる数として演算された値（第３の補正値要素）と、について平均して得られる、これら第１～第３の補正値要素の平均値である。
尚、サーバー７４は、各濃度情報に関する情報として、各濃度情報そのものを送信しても良いし、これら第１～第３の補正値要素を示す情報を送信しても良い。又、サーバー７４は、各濃度情報に関する情報として、第１～第３の精度確認対象濃度における各濃度情報のうちの一部に基づく情報を送信しても良い。更に、サーバー７４は、第１の補正値要素につき、第１の精度確認対象濃度を引く数としても良く、第２の補正値要素につき、第２の精度確認対象濃度を引く数としても良く、第３の補正値要素につき、第３の精度確認対象濃度を引く数としても良い。
ここでは、サーバー７４は、各濃度情報に関する情報として、次のものを送信する。即ち、第１の精度確認対象濃度（４００ｐｐｍ）におけるＣＯ２基準器８の濃度情報を引く数とし、第１の精度確認対象濃度における当該識別情報ＩＤの被試験器Ｔの濃度情報が示す濃度を引かれる数として演算された値（第１の補正値要素）と、第２の精度確認対象濃度（１０００ｐｐｍ）におけるＣＯ２基準器８の濃度情報を引く数とし、第２の精度確認対象濃度における当該識別情報ＩＤの被試験器Ｔの濃度情報が示す濃度を引かれる数として演算された値（第２の補正値要素）と、第３の精度確認対象濃度（５０００ｐｐｍ）におけるＣＯ２基準器８の濃度情報を引く数とし、第３の精度確認対象濃度における当該識別情報ＩＤの被試験器Ｔの濃度情報が示す濃度を引かれる数として演算された値（第３の補正値要素）と、について平均して得られる、これら第１～第３の補正値要素の平均値である。
尚、サーバー７４は、各濃度情報に関する情報として、各濃度情報そのものを送信しても良いし、これら第１～第３の補正値要素を示す情報を送信しても良い。又、サーバー７４は、各濃度情報に関する情報として、第１～第３の精度確認対象濃度における各濃度情報のうちの一部に基づく情報を送信しても良い。更に、サーバー７４は、第１の補正値要素につき、第１の精度確認対象濃度を引く数としても良く、第２の補正値要素につき、第２の精度確認対象濃度を引く数としても良く、第３の補正値要素につき、第３の精度確認対象濃度を引く数としても良い。
【0048】
被試験器Ｔの制御部ＴＣは、サーバー７４から第１～第３の補正値要素の平均値を通信部ＴＮにおいて受信すると、これを当該被試験器Ｔに係る補正値ＴＲとして記憶部ＴＭに記憶する。
尚、補正値ＴＲは、第１～第３の精度確認対象濃度（４００，１０００，５０００ｐｐｍ）毎に設けられても良い。又、補正値ＴＲは、第１～第３の精度確認対象濃度から演算される補正値分布（濃度と補正量との関係を示す分布）、あるいは補正値関数（濃度を変数として補正量が得られる関数）とされても良い。
尚、補正値ＴＲは、第１～第３の精度確認対象濃度（４００，１０００，５０００ｐｐｍ）毎に設けられても良い。又、補正値ＴＲは、第１～第３の精度確認対象濃度から演算される補正値分布（濃度と補正量との関係を示す分布）、あるいは補正値関数（濃度を変数として補正量が得られる関数）とされても良い。
【0049】
次いで、センサー校正システム７１の動作の例、及びセンサー校正方法の例が説明される。
図４は、当該動作（方法）の例に係るフローチャートである。
ユーザーは、センサー精度確認システム１で精度の確認を終えた被試験器Ｔを、サーバー７４に接続する（ステップＳ１１）。
被試験器Ｔは、サーバー７４に識別情報ＩＤを送信する（ステップＳ１２）。
サーバー７４は、受信した識別情報ＩＤに対応する各濃度情報に関する情報（第１～第３の補正値要素の平均値）を、補正値ＴＲに対応するものとして被試験器Ｔに送信する（ステップＳ１３）。
被試験器Ｔは、受信した各濃度情報に関する情報を、補正値ＴＲとして記憶する（ステップＳ１４）。被試験器Ｔは、かような補正値ＴＲの記憶により校正される。
図４は、当該動作（方法）の例に係るフローチャートである。
ユーザーは、センサー精度確認システム１で精度の確認を終えた被試験器Ｔを、サーバー７４に接続する（ステップＳ１１）。
被試験器Ｔは、サーバー７４に識別情報ＩＤを送信する（ステップＳ１２）。
サーバー７４は、受信した識別情報ＩＤに対応する各濃度情報に関する情報（第１～第３の補正値要素の平均値）を、補正値ＴＲに対応するものとして被試験器Ｔに送信する（ステップＳ１３）。
被試験器Ｔは、受信した各濃度情報に関する情報を、補正値ＴＲとして記憶する（ステップＳ１４）。被試験器Ｔは、かような補正値ＴＲの記憶により校正される。
【0050】
ユーザーは、適宜、順次あるいは同時に、他の被試験器Ｔの校正処理を行うことができる。
尚、被試験器Ｔの校正は、センサー精度確認システム１において各濃度情報が得られた後で連続的に行われても良い。
尚、被試験器Ｔの校正は、センサー精度確認システム１において各濃度情報が得られた後で連続的に行われても良い。
【0051】
以上のセンサー校正システム７１は、試験箱４の内部に入れられたＣＯ２濃度を検知するＣＯ２基準器８からＣＯ２濃度に係る信号である基準信号が発信されるセンサー精度確認システム１で取得された、被試験器ＴにおけるＣＯ２濃度と、ＣＯ２基準器８におけるＣＯ２濃度と、に基づいて、被試験器Ｔを校正する。
よって、センサーが、精度良く校正される。
よって、センサーが、精度良く校正される。
【0052】
又、センサー校正システム７１で実行可能なセンサー校正方法は、上記センサー精度確認方法で確認された、複数（第１～第３）の精度確認対象濃度における各濃度に基づいて、被試験器Ｔを校正する（ステップＳ１４）。
よって、センサーが、複数の状態に係る濃度に基づいて、精度良く校正される。
よって、センサーが、複数の状態に係る濃度に基づいて、精度良く校正される。
【0053】
［第３形態］
図５は、本発明の第３形態に係るセンサー精度確認システム１０１のブロック図である。
第３形態のセンサー精度確認システム１０１は、ＣＯ２濃度センサーの精度を確認するシステムである。
第３形態のセンサー精度確認システム１０１における試験箱４及びその内部の構成、並びに真空弁５、開放弁６及び真空ポンプ７の構成は、第１形態のセンサー精度確認システム１における試験箱４及びその内部の構成、並びに真空弁５、開放弁６及び真空ポンプ７の構成と同様に成る。センサー精度確認システム１０１において第１形態のセンサー精度確認システム１と同様に成る部材及び部分には、適宜、同じ符号が付されて、説明が省略される。
尚、第３形態のセンサー精度確認システム１０１は、第１形態のセンサー精度確認システム１の変更例と同様の変更例を、適宜有する。
図５は、本発明の第３形態に係るセンサー精度確認システム１０１のブロック図である。
第３形態のセンサー精度確認システム１０１は、ＣＯ２濃度センサーの精度を確認するシステムである。
第３形態のセンサー精度確認システム１０１における試験箱４及びその内部の構成、並びに真空弁５、開放弁６及び真空ポンプ７の構成は、第１形態のセンサー精度確認システム１における試験箱４及びその内部の構成、並びに真空弁５、開放弁６及び真空ポンプ７の構成と同様に成る。センサー精度確認システム１０１において第１形態のセンサー精度確認システム１と同様に成る部材及び部分には、適宜、同じ符号が付されて、説明が省略される。
尚、第３形態のセンサー精度確認システム１０１は、第１形態のセンサー精度確認システム１の変更例と同様の変更例を、適宜有する。
【0054】
センサー精度確認システム１０１は、恒温槽１０２と、試験箱４と、真空弁５（減圧弁）と、開放弁６と、真空ポンプ７と、ＣＯ２基準器８と、ＣＯ２確認ＰＣ１０と、ガスボンベ１１２と、分割弁１２２と、制御ＰＣ１３０と、モニター３２と、サーバー３４（サーバーコンピュータ）と、を有する。
制御ＰＣ１３０が、精度確認制御手段を構成する。
制御ＰＣ１３０が、精度確認制御手段を構成する。
【0055】
恒温槽１０２は、制御ＰＣ１３０による制御が可能であることを除き、第１形態の恒温槽２と同様に成る。恒温槽１０２は、制御ＰＣ１３０と電気的に接続されている。
恒温槽１０２により保持される所定温度は、制御ＰＣ１３０の制御及び恒温槽２に設けられた図示されないスイッチの手動切替の少なくとも一方に基づき、所定温度範囲（例えば０℃以上４０℃以下）内で変更可能である。尚、第１形態において、第３形態の恒温槽１０２が用いられても良い。
恒温槽１０２により保持される所定温度は、制御ＰＣ１３０の制御及び恒温槽２に設けられた図示されないスイッチの手動切替の少なくとも一方に基づき、所定温度範囲（例えば０℃以上４０℃以下）内で変更可能である。尚、第１形態において、第３形態の恒温槽１０２が用いられても良い。
【0056】
ボンベとしてのガスボンベ１１２は、流体としての第４の気体を収めたボンベである。第４の気体は、所定の媒体（ここでは窒素ガス）中に第４所定濃度（ここでは８０００ｐｐｍ）のＣＯ２を含むものである。第４所定濃度は、第３所定濃度（５２００ｐｐｍ）あるいは第３の精度確認対象濃度（５０００ｐｐｍ）より大きい。
尚、ガスボンベ１１２は、第１ガスボンベ１２、第２ガスボンベ１４及び第３ガスボンベ１６の少なくとも何れかと同様の変更例を、適宜有する。又、第４の気体の媒体等は、第１～第３の気体の少なくとも何れかと異なっていても良い。
尚、ガスボンベ１１２は、第１ガスボンベ１２、第２ガスボンベ１４及び第３ガスボンベ１６の少なくとも何れかと同様の変更例を、適宜有する。又、第４の気体の媒体等は、第１～第３の気体の少なくとも何れかと異なっていても良い。
【0057】
分割弁１２２は、ガスボンベ１１２と試験箱４との間に介装されている。ガスボンベ１１２と分割弁１２２とは流路１５２で結ばれており、分割弁１２２と試験箱４とは流路１５３で結ばれている。又、分割弁１２２は、流路１５４を介して外気Ｆを導入可能である。外気ＦのＣＯ２濃度は、十分に換気された室内におけるＣＯ２濃度である４００ｐｐｍ以下である。分割弁１２２は、ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ１３０と電気的に接続されている。分割弁１２２は、ガスボンベ１１２からの第４の気体の流量（流路１５２に対する開度）、及び外気Ｆの流量（流路１５４に対する開度）をそれぞれ調整して、第４の気体と外気Ｆとを適宜混合のうえ、流路１５３を介して試験箱４の内部に注入可能である。分割弁１２２は、外気Ｆのみ（流路１５２に対する開度を０として第４の気体に対し全閉）、あるいは第４の気体のみ（流路１５４に対する開度を０として外気Ｆに対し全閉）を、試験箱４の内部に導くことができる。それぞれの開度に応じた第４の気体の流量及び外気Ｆの流量は、０から所定の最大値まで連続的に調整可能である。
分割弁１２２は、電磁弁である。尚、分割弁１２２は、電磁弁以外であっても良い。
尚、分割弁１２２は、第４の気体の流量及び外気Ｆの流量の少なくとも一方を、段階的に調整可能であっても良い。又、外気Ｆに代えて、又は外気Ｆと共に、０ｐｐｍを含む４００ｐｐｍ（第１の精度確認対象濃度）以下のＣＯ２濃度の希釈用ガスタンクからの希釈用ガス（希釈用媒体）が、分割弁１２２を介して、適宜流量調整のうえ、試験箱４の内部に導入されても良い。希釈用ガスの組成は、ＣＯ２以外のどのようなものでも良いところ、精度確認への悪影響を抑制する観点から、好ましくはガスボンベ１１２の媒体あるいは外気Ｆと同様のものとされる。分割弁１２２における、第４の気体の流量に係る所定の最大値と、外気Ｆの流量に係る所定の最大値とは、互いに一致していても良いし、互いに異なっていても良い。
分割弁１２２は、電磁弁である。尚、分割弁１２２は、電磁弁以外であっても良い。
尚、分割弁１２２は、第４の気体の流量及び外気Ｆの流量の少なくとも一方を、段階的に調整可能であっても良い。又、外気Ｆに代えて、又は外気Ｆと共に、０ｐｐｍを含む４００ｐｐｍ（第１の精度確認対象濃度）以下のＣＯ２濃度の希釈用ガスタンクからの希釈用ガス（希釈用媒体）が、分割弁１２２を介して、適宜流量調整のうえ、試験箱４の内部に導入されても良い。希釈用ガスの組成は、ＣＯ２以外のどのようなものでも良いところ、精度確認への悪影響を抑制する観点から、好ましくはガスボンベ１１２の媒体あるいは外気Ｆと同様のものとされる。分割弁１２２における、第４の気体の流量に係る所定の最大値と、外気Ｆの流量に係る所定の最大値とは、互いに一致していても良いし、互いに異なっていても良い。
【0058】
制御ＰＣ１３０は、第１形態の制御ＰＣ３０と同様であり、それぞれ図示されない、入力手段、出力手段、記憶手段、通信手段及び制御手段を有している。
尚、第１～第３形態の少なくとも何れかにおいて、ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０を統合したＰＣが用いられても良く、あるいは３台以上のコンピューターが用いられても良い。
尚、第１～第３形態の少なくとも何れかにおいて、ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０を統合したＰＣが用いられても良く、あるいは３台以上のコンピューターが用いられても良い。
【0059】
第３形態に係るセンサー精度確認システム１０１の動作例は、変更例を含め、第１形態のセンサー精度確認システム１の動作例と同様である。
図６は、第３形態に係るセンサー精度確認システム１０１の動作例に係るフローチャートである。
図６は、第３形態に係るセンサー精度確認システム１０１の動作例に係るフローチャートである。
【0060】
センサー精度確認システム１０１では、まず、制御ＰＣ１３０により恒温槽１０２が起動される（ステップＳ２１）。ステップＳ２１等において、制御ＰＣ１３０は、恒温槽１０２を制御して、恒温槽１０２が保持する所定温度（恒温槽１０２の設定温度）を変更することができ、任意の温度における各被試験器Ｔの精度確認が行える。
そして、ユーザーは、各被試験器Ｔを試験箱４内にセットして（ステップＳ２２）、試験箱４を恒温槽１０２内に入れ、制御ＰＣ１３０の入力手段への所定の入力に基づき、センサー精度確認処理の開始を指令する（ステップＳ２３）。すると、制御ＰＣ１３０は、第１の精度確認対象濃度（４００ｐｐｍ、ｎ＝１）についてのステップＳ２４に移行する。
そして、ユーザーは、各被試験器Ｔを試験箱４内にセットして（ステップＳ２２）、試験箱４を恒温槽１０２内に入れ、制御ＰＣ１３０の入力手段への所定の入力に基づき、センサー精度確認処理の開始を指令する（ステップＳ２３）。すると、制御ＰＣ１３０は、第１の精度確認対象濃度（４００ｐｐｍ、ｎ＝１）についてのステップＳ２４に移行する。
【0061】
制御ＰＣ１３０は、ステップＳ２４において、まず真空ポンプ７を起動し（ステップＳ２４－１）、又停止して（ステップＳ２４－２）、試験箱４内を負圧にする。
そして、制御ＰＣ１３０は、第４の気体の試験箱４内への導入を開始して試験箱４内の加圧を開始し（ステップＳ２４－３）、更に分割弁１２２を制御により調整して、第４の気体、外気Ｆ又はそれらの混合気である流路１５３への気体のＣＯ２濃度が上述の第１の精度確認対象濃度の程度あるいは第１所定濃度の程度となるようにし、又流路１５３への気体の流量が調整されるようにする（ステップＳ２４－４）。制御ＰＣ１３０は、流路１５３への気体のＣＯ２濃度を、所定濃度に保持しても良いし、徐々に小さくするあるいは現在の試験箱４内部のＣＯ２濃度に応じたものとする等の態様で変動させても良い。流路１５３の気体は、試験箱４の内部に導入される。又、このとき、ファン４２の起動（ステップＳ２４－５）により、試験箱４内が撹拌される。
制御ＰＣ１３０は、特定のタイミング（例えば所定時間毎あるいはＣＯ２基準器８が第１の精度確認対象濃度あるいはこれに基づく所定の値を示した場合等）となると、第４の気体の試験箱４内への導入を停止し（ステップＳ２４－６）、更にファン４２を停止させ（ステップＳ２４－７）、ＣＯ２基準器８からの基準濃度信号に基づき、試験箱４の内部におけるＣＯ２の濃度を測定する（ステップＳ２４－８）。
そして、制御ＰＣ１３０は、試験箱４内のＣＯ２の濃度が第１の精度確認対象濃度となっているか否かを判断し（ステップＳ２４－９）、試験箱４の内部が第１の精度確認対象濃度となっていなかったら（Ｎｏ）、ステップＳ２４－１に戻って以降のステップを繰り返す。
他方、制御ＰＣ１３０は、試験箱４の内部が第１の精度確認対象濃度となっていれば（ステップＳ２４－９でＹｅｓ）、第１の精度確認対象濃度における被試験器Ｔの精度確認を行う（ステップＳ２４－１０）。ステップＳ２４－１０（ｎ＝１）において、ＣＯ２確認ＰＣ１０は、第１の精度確認対象濃度となった試験箱４の内部における各被試験器Ｔから濃度信号を得て、濃度の精度を確認するための各濃度情報を取得し、記憶する。
そして、制御ＰＣ１３０は、第４の気体の試験箱４内への導入を開始して試験箱４内の加圧を開始し（ステップＳ２４－３）、更に分割弁１２２を制御により調整して、第４の気体、外気Ｆ又はそれらの混合気である流路１５３への気体のＣＯ２濃度が上述の第１の精度確認対象濃度の程度あるいは第１所定濃度の程度となるようにし、又流路１５３への気体の流量が調整されるようにする（ステップＳ２４－４）。制御ＰＣ１３０は、流路１５３への気体のＣＯ２濃度を、所定濃度に保持しても良いし、徐々に小さくするあるいは現在の試験箱４内部のＣＯ２濃度に応じたものとする等の態様で変動させても良い。流路１５３の気体は、試験箱４の内部に導入される。又、このとき、ファン４２の起動（ステップＳ２４－５）により、試験箱４内が撹拌される。
制御ＰＣ１３０は、特定のタイミング（例えば所定時間毎あるいはＣＯ２基準器８が第１の精度確認対象濃度あるいはこれに基づく所定の値を示した場合等）となると、第４の気体の試験箱４内への導入を停止し（ステップＳ２４－６）、更にファン４２を停止させ（ステップＳ２４－７）、ＣＯ２基準器８からの基準濃度信号に基づき、試験箱４の内部におけるＣＯ２の濃度を測定する（ステップＳ２４－８）。
そして、制御ＰＣ１３０は、試験箱４内のＣＯ２の濃度が第１の精度確認対象濃度となっているか否かを判断し（ステップＳ２４－９）、試験箱４の内部が第１の精度確認対象濃度となっていなかったら（Ｎｏ）、ステップＳ２４－１に戻って以降のステップを繰り返す。
他方、制御ＰＣ１３０は、試験箱４の内部が第１の精度確認対象濃度となっていれば（ステップＳ２４－９でＹｅｓ）、第１の精度確認対象濃度における被試験器Ｔの精度確認を行う（ステップＳ２４－１０）。ステップＳ２４－１０（ｎ＝１）において、ＣＯ２確認ＰＣ１０は、第１の精度確認対象濃度となった試験箱４の内部における各被試験器Ｔから濃度信号を得て、濃度の精度を確認するための各濃度情報を取得し、記憶する。
【0062】
次いで、制御ＰＣ１３０は、第２の精度確認対象濃度（１０００ｐｐｍ，ｎ＝２）についてステップＳ２４を実行する。
そのステップＳ２４（ｎ＝２）において、制御ＰＣ１３０は、真空ポンプ７を起動及び停止する（ステップＳ２４－１，Ｓ２４－２）。
そして、制御ＰＣ１３０による第４の気体の導入（ステップＳ２４－３）及び分割弁１２２の制御（ステップＳ２４－４）並びにファンの起動（ステップＳ２４－５）に基づき、ステップＳ２４（ｎ＝１）と変更例も含めて同様に、流路１５３への気体のＣＯ２濃度が上述の第２の精度確認対象濃度の程度あるいは第２所定濃度の程度とされ、又流路１５３への気体の流量が調整されて、第４の気体の導入が停止され（ステップＳ２４－６）、ファン４２が停止される（ステップＳ２４－５）。流路１５３の気体は、試験箱４の内部に導入される。尚、ｎ＝１とｎ＝２とで分割弁１２２の制御が変えられても良い。例えば、ｎ＝１では流路１５３への気体の濃度が所定濃度に保持され、ｎ＝２では流路１５３への気体の濃度が変動されても良い。
制御ＰＣ１３０は、濃度測定（ステップＳ２４－８）により試験箱４の内部が第２の精度確認対象濃度となったことを把握したら（ステップＳ２４－９でＹｅｓ）、第２の精度確認対象濃度における被試験器Ｔの精度確認を行う（ステップＳ２４－１０）。ステップＳ２４－１０（ｎ＝２）において、ＣＯ２確認ＰＣ１０は、第２の精度確認対象濃度となった試験箱４の内部における各被試験器Ｔから濃度信号を得て、濃度の精度を確認するための各濃度情報を取得し、記憶する。
そのステップＳ２４（ｎ＝２）において、制御ＰＣ１３０は、真空ポンプ７を起動及び停止する（ステップＳ２４－１，Ｓ２４－２）。
そして、制御ＰＣ１３０による第４の気体の導入（ステップＳ２４－３）及び分割弁１２２の制御（ステップＳ２４－４）並びにファンの起動（ステップＳ２４－５）に基づき、ステップＳ２４（ｎ＝１）と変更例も含めて同様に、流路１５３への気体のＣＯ２濃度が上述の第２の精度確認対象濃度の程度あるいは第２所定濃度の程度とされ、又流路１５３への気体の流量が調整されて、第４の気体の導入が停止され（ステップＳ２４－６）、ファン４２が停止される（ステップＳ２４－５）。流路１５３の気体は、試験箱４の内部に導入される。尚、ｎ＝１とｎ＝２とで分割弁１２２の制御が変えられても良い。例えば、ｎ＝１では流路１５３への気体の濃度が所定濃度に保持され、ｎ＝２では流路１５３への気体の濃度が変動されても良い。
制御ＰＣ１３０は、濃度測定（ステップＳ２４－８）により試験箱４の内部が第２の精度確認対象濃度となったことを把握したら（ステップＳ２４－９でＹｅｓ）、第２の精度確認対象濃度における被試験器Ｔの精度確認を行う（ステップＳ２４－１０）。ステップＳ２４－１０（ｎ＝２）において、ＣＯ２確認ＰＣ１０は、第２の精度確認対象濃度となった試験箱４の内部における各被試験器Ｔから濃度信号を得て、濃度の精度を確認するための各濃度情報を取得し、記憶する。
【0063】
続いて、制御ＰＣ１３０は、第３の精度確認対象濃度（５０００ｐｐｍ，ｎ＝３）についてステップＳ２４を実行する。
そのステップＳ２４（ｎ＝３）において、制御ＰＣ１３０は、真空ポンプ７を起動及び停止する（ステップＳ２４－１，Ｓ２４－２）。
そして、制御ＰＣ１３０による第４の気体の導入（ステップＳ２４－３）及び分割弁１２２の制御（ステップＳ２４－４）並びにファンの起動（ステップＳ２４－５）に基づき、ステップＳ２４（ｎ＝１）と変更例も含めて同様に、流路１５３への気体のＣＯ２濃度が上述の第３の精度確認対象濃度の程度あるいは第３所定濃度の程度とされ、又流路１５３への気体の流量が調整されて、第４の気体の導入が停止され（ステップＳ２４－６）、ファン４２が停止される（ステップＳ２４－５）。流路１５３の気体は、試験箱４の内部に導入される。尚、ｎ＝１及びｎ＝２の少なくとも一方とｎ＝３とで分割弁１２２の制御が変えられても良い。
制御ＰＣ１３０は、濃度測定（ステップＳ２４－８）により試験箱４の内部が第３の精度確認対象濃度となったことを把握したら（ステップＳ２４－９でＹｅｓ）、第３の精度確認対象濃度における被試験器Ｔの精度確認を行う（ステップＳ２４－１０）。ステップＳ２４－１０（ｎ＝３）において、ＣＯ２確認ＰＣ１０は、第３の精度確認対象濃度となった試験箱４の内部における各被試験器Ｔから濃度信号を得て、濃度の精度を確認するための各濃度情報を取得し、記憶する。
そのステップＳ２４（ｎ＝３）において、制御ＰＣ１３０は、真空ポンプ７を起動及び停止する（ステップＳ２４－１，Ｓ２４－２）。
そして、制御ＰＣ１３０による第４の気体の導入（ステップＳ２４－３）及び分割弁１２２の制御（ステップＳ２４－４）並びにファンの起動（ステップＳ２４－５）に基づき、ステップＳ２４（ｎ＝１）と変更例も含めて同様に、流路１５３への気体のＣＯ２濃度が上述の第３の精度確認対象濃度の程度あるいは第３所定濃度の程度とされ、又流路１５３への気体の流量が調整されて、第４の気体の導入が停止され（ステップＳ２４－６）、ファン４２が停止される（ステップＳ２４－５）。流路１５３の気体は、試験箱４の内部に導入される。尚、ｎ＝１及びｎ＝２の少なくとも一方とｎ＝３とで分割弁１２２の制御が変えられても良い。
制御ＰＣ１３０は、濃度測定（ステップＳ２４－８）により試験箱４の内部が第３の精度確認対象濃度となったことを把握したら（ステップＳ２４－９でＹｅｓ）、第３の精度確認対象濃度における被試験器Ｔの精度確認を行う（ステップＳ２４－１０）。ステップＳ２４－１０（ｎ＝３）において、ＣＯ２確認ＰＣ１０は、第３の精度確認対象濃度となった試験箱４の内部における各被試験器Ｔから濃度信号を得て、濃度の精度を確認するための各濃度情報を取得し、記憶する。
【0064】
制御ＰＣ１３０は、目的の３種類の精度確認対象濃度での精度確認が完了すると、開放弁６を開けて試験箱４の内部圧力を大気圧程度に戻す（ステップＳ２５）。
ユーザーは、続けて別の各被試験器Ｔの精度確認を行う場合、ステップＳ２２から繰り返す。
他方、ユーザーは、各被試験器Ｔの精度確認を終える場合、恒温槽１０２をオフとする（ステップＳ２６）。
ユーザーは、続けて別の各被試験器Ｔの精度確認を行う場合、ステップＳ２２から繰り返す。
他方、ユーザーは、各被試験器Ｔの精度確認を終える場合、恒温槽１０２をオフとする（ステップＳ２６）。
【0065】
ユーザーは、センサー精度確認システム１０１により得られた、被試験器Ｔにおける第１～第３の精度確認対象濃度毎の各濃度情報を、適宜基準濃度情報及び第１～第３の精度確認対象濃度の少なくとも何れかと比較することで、当該被試験器Ｔの精度を確認することができる。
ユーザーは、適宜、センサー精度確認システム１０１により得られた被試験器Ｔの精度に基づいて、被試験器Ｔの精度証明書を発行したり、より良好な精度となるように校正したりすることができる。校正について、より詳しくは、後述の第４形態が参照可能である。
ユーザーは、適宜、センサー精度確認システム１０１により得られた被試験器Ｔの精度に基づいて、被試験器Ｔの精度証明書を発行したり、より良好な精度となるように校正したりすることができる。校正について、より詳しくは、後述の第４形態が参照可能である。
【0066】
以上のセンサー精度確認システム１０１は、ＣＯ２濃度を検知するセンサー（被試験器Ｔ）に係る精度を確認するシステムである。センサー精度確認システム１０１は、被試験器Ｔを収容可能であり、且つ開閉可能であって、閉塞時には密閉可能である試験箱４と、試験箱４につながっており、試験箱４の密閉状態を保持可能であると共に試験箱４に係る負圧を開放可能である開放弁６と、窒素ガス中にＣＯ２を所定濃度で含む第４の気体を収めたガスボンベ１１２と、第４の気体の流量及び媒体（外気Ｆ）の流量を調整して閉じた試験箱４の内部へ導入する、ガスボンベ１１２と試験箱４との間に設けられた分割弁１２２と、被試験器Ｔと通信可能であり、分割弁１２２及び開放弁６を制御可能である制御ＰＣ１３０と、を備えている。ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ１３０は、分割弁１２２及び開放弁６を制御して試験箱４の内部を順次複数の精度確認対象濃度とした状態で、被試験器ＴからＣＯ２濃度に係る信号である濃度信号をそれぞれの状態において受信する。
よって、複数の状態（第１，第２の精度確認対象濃度）に係る被試験器Ｔの精度の確認が十分に正確な状態で効率良く行えるセンサー精度確認システム１が提供される。
よって、複数の状態（第１，第２の精度確認対象濃度）に係る被試験器Ｔの精度の確認が十分に正確な状態で効率良く行えるセンサー精度確認システム１が提供される。
【0067】
又、試験箱４の内部に、検知対象の濃度を検知するＣＯ２基準器８が入っている。ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ１３０は、ＣＯ２基準器８と通信可能であり、ＣＯ２基準器８から検知対象の濃度に係る信号である基準濃度信号を受信して、基準濃度信号に基づき試験箱４の内部の濃度を制御する。
よって、センサー精度確認システム１０１では、ＣＯ２基準器８からの基準濃度信号に基づき、より正確に試験箱４の内部で第１の精度確認対象濃度及び第２の精度確認対象濃度が実現される。
よって、センサー精度確認システム１０１では、ＣＯ２基準器８からの基準濃度信号に基づき、より正確に試験箱４の内部で第１の精度確認対象濃度及び第２の精度確認対象濃度が実現される。
【0068】
更に、ｋ＝［３］として、ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ１３０は、分割弁１２２を制御して試験箱４の内部を第３の精度確認対象濃度とした状態で、センサーから検知対象の濃度に係る信号である濃度信号を受信する。
よって、複数の状態（第１，第２，第３の精度確認対象濃度）に係る被試験器Ｔの精度の確認が十分に正確な状態で効率良く行えるセンサー精度確認システム１０１が提供される。
尚、ｋ＝［３，４］では、第３の精度確認対象濃度等及び第４の精度確認対象濃度等が設けられる。又、ｋ＝［３，４，５］ｏｒ・・・では、第３の精度確認対象濃度等、第４の精度確認対象濃度等及び第５の精度確認対象濃度等が設けられ、あるいは更に第６・・・の精度確認対象濃度等が設けられる。
よって、複数の状態（第１，第２，第３の精度確認対象濃度）に係る被試験器Ｔの精度の確認が十分に正確な状態で効率良く行えるセンサー精度確認システム１０１が提供される。
尚、ｋ＝［３，４］では、第３の精度確認対象濃度等及び第４の精度確認対象濃度等が設けられる。又、ｋ＝［３，４，５］ｏｒ・・・では、第３の精度確認対象濃度等、第４の精度確認対象濃度等及び第５の精度確認対象濃度等が設けられ、あるいは更に第６・・・の精度確認対象濃度等が設けられる。
【0069】
加えて、分割弁１２２により流量を調整される媒体は、外気Ｆである。
よって、別途濃度調整用のボンベが設けられる場合に比べ、より簡単に被試験器Ｔの精度が確認される。
よって、別途濃度調整用のボンベが設けられる場合に比べ、より簡単に被試験器Ｔの精度が確認される。
【0070】
又、センサー精度確認システム１０１の動作により実施されるセンサー精度確認方法は、検知対象の濃度を検知するセンサー（被試験器Ｔ）に係る精度を、複数の精度確認対象濃度において確認する方法である。そして、センサー精度確認方法では、ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０が、開閉可能であり閉じた状態で被試験器Ｔを入れた試験箱４の内部におけるＣＯ２濃度を、順次複数の精度確認対象濃度のうちの何れか（第１の精度確認対象濃度、第２の精度確認対象濃度、第３の精度確認対象濃度）として被試験器Ｔの精度をそれぞれ確認する（ステップＳ２４、ｎ＝１～３）。
よって、センサー精度確認方法では、複数の精度確認対象濃度に係る被試験器Ｔの精度確認が効率よく行える。
よって、センサー精度確認方法では、複数の精度確認対象濃度に係る被試験器Ｔの精度確認が効率よく行える。
【0071】
更に、センサー精度確認方法では、ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０が、試験箱４の内部におけるＣＯ２濃度を、まず、複数の精度確認対象濃度のうち最も小さいもの（第１の精度確認対象濃度、４００ｐｐｍ）として被試験器Ｔの精度を確認する（ステップＳ２４、ｎ＝１）。センサー精度確認方法では、次いで、ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０が、試験箱４の内部におけるＣＯ２濃度を、複数の精度確認対象濃度のうち次に小さいもの（第２の精度確認対象濃度、１０００ｐｐｍ）として被試験器Ｔの精度を確認する（ステップＳ２４、ｎ＝２）。又、センサー精度確認方法では、引き続き、ＣＯ２確認ＰＣ１０及び制御ＰＣ３０が、試験箱４の内部におけるＣＯ２濃度を、複数の精度確認対象濃度のうちその次に小さいもの（第３の精度確認対象濃度、５０００ｐｐｍ）として被試験器Ｔの精度を確認する（ステップＳ２４、ｎ＝３）。
よって、センサー精度確認方法では、第１の精度確認対象濃度から第２の精度確認対象濃度とする際の試験箱４内部の排気等が省略可能あるいは簡略化可能であり、又更には第２の精度確認対象濃度から第３の精度確認対象濃度とする際の試験箱４内部の排気等が省略可能あるいは簡略化可能であり、その分効率良く被試験器Ｔの精度確認が行える。
よって、センサー精度確認方法では、第１の精度確認対象濃度から第２の精度確認対象濃度とする際の試験箱４内部の排気等が省略可能あるいは簡略化可能であり、又更には第２の精度確認対象濃度から第３の精度確認対象濃度とする際の試験箱４内部の排気等が省略可能あるいは簡略化可能であり、その分効率良く被試験器Ｔの精度確認が行える。
【0072】
［第４形態］
本発明の第４形態に係るセンサー校正システムは、第３形態のセンサー精度確認システム１０１を用いたものである。
第４形態に係るセンサー校正システムは、第２形態に係るセンサー校正システム７１と、センサー精度確認システムが第１形態から第３形態に変わったことを除いて同様に成る。
本発明の第４形態に係るセンサー校正システムは、第３形態のセンサー精度確認システム１０１を用いたものである。
第４形態に係るセンサー校正システムは、第２形態に係るセンサー校正システム７１と、センサー精度確認システムが第１形態から第３形態に変わったことを除いて同様に成る。
【0073】
第４形態のセンサー校正システムは、試験箱４の内部に入れられたＣＯ２濃度を検知するＣＯ２基準器８からＣＯ２濃度に係る信号である基準信号が発信されるセンサー精度確認システム１０１で取得された、被試験器ＴにおけるＣＯ２濃度と、ＣＯ２基準器８におけるＣＯ２濃度と、に基づいて、被試験器Ｔを校正する。
よって、センサーが、精度良く校正される。
よって、センサーが、精度良く校正される。
【0074】
又、第４形態のセンサー校正システムで実行可能なセンサー校正方法は、上記センサー精度確認方法で確認された、複数（第１～第３）の精度確認対象濃度における各濃度に基づいて、被試験器Ｔを校正する。
よって、センサーが、複数の状態に係る濃度に基づいて、精度良く校正される。
よって、センサーが、複数の状態に係る濃度に基づいて、精度良く校正される。
【符号の説明】
【0075】
１，１０１・・センサー精度確認システム、２，１０２・・恒温槽、４・・試験箱、５・・真空弁、６・・開放弁、７・・真空ポンプ、８・・ＣＯ２基準器（基準器）、１０・・ＣＯ２確認ＰＣ（精度確認制御手段）、１２・・第１ガスボンベ（第１ボンベ）、１４・・第２ガスボンベ（第２ボンベ）、１６・・第３ガスボンベ（第３ボンベ）、２２・・第１切替弁、２４・・第２切替弁、２６・・第３切替弁、３０・・制御ＰＣ（精度確認制御手段）、４２・・ファン、７１・・センサー校正システム、１１２・・ガスボンベ（ボンベ）、１２２・・分割弁、１３０・・ＰＣ（精度確認制御手段）、Ｆ・・外気（分割弁１２２により流量を調整される媒体）、Ｓ・・スペーサー、Ｓ３，Ｓ２４・・ステップ（精度確認処理）、Ｔ・・被試験器（センサー）。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】