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特開2024-79476液体噴射ヘッド、液体噴射装置及びフィルター部材

書誌要約請求の範囲詳細な説明課題実施例実施するための形態図面の説明

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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024079476

(43)【公開日】2024-06-11

(54)【発明の名称】液体噴射ヘッド、液体噴射装置及びフィルター部材

(51)【国際特許分類】

B41J 2/14 20060101AFI20240604BHJP

【ＦＩ】

B41J2/14

B41J2/14 603

【審査請求】未請求

【請求項の数】19

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022192449

(22)【出願日】2022-11-30

(71)【出願人】

【識別番号】000002369

【氏名又は名称】セイコーエプソン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100101236

【弁理士】

【氏名又は名称】栗原浩之

(74)【代理人】

【識別番号】100166914

【弁理士】

【氏名又は名称】山▲崎▼ 雄一郎

(72)【発明者】

【氏名】岡沢宣昭

(72)【発明者】

【氏名】曽我部英徳

【テーマコード（参考）】

2C057

【Ｆターム（参考）】

2C057AF72

2C057AG12

2C057AG29

2C057AG42

2C057AG44

2C057AG68

2C057AG77

2C057AP02

2C057AP24

2C057AP27

2C057AP31

2C057BA03

2C057BA14

(57)【要約】

【課題】フィルター部材の目を細かくすることで流路抵抗が増大し、フィルター部材を流通する液体の圧力損失が増大するというという問題がある。
【解決手段】ノズルへ供給されるインクが通過する複数のフィルター孔５０を有するフィルター部材４０を備え、フィルター部材４０は、第１貫通孔６１が形成される第１フィルター板４１と、第２貫通孔６２が形成される第２フィルター板４２と、を含み、フィルター孔５０は、Ｚ１方向に見て第１貫通孔６１の一部と第２貫通孔６２の一部とが重なる部分であり第１面Ｓ１から第２面Ｓ２に貫通する貫通部分５３と、Ｚ１方向に見て貫通部分５３に隣り合うとともに第２面Ｓ２から第１面Ｓ１に向かってフィルター部材４０の厚さの半分よりも凹む第１部分５１と、を含む。
【選択図】図７

【特許請求の範囲】

【請求項1】

液体を噴射するノズルと、
第１方向に複数のフィルター板が積層されて構成されたフィルター部材であって、前記ノズルへ供給される液体が通過する複数のフィルター孔を有するフィルター部材と、
を備え、
前記フィルター部材は、前記第１方向に関して互いに反対方向を向く第１面及び第２面を含み、
前記複数のフィルター板は、第１貫通孔が形成されるとともに前記第１面を画定する第１フィルター板と、第２貫通孔が形成されるとともに前記第２面を画定する第２フィルター板と、を含み、
前記フィルター孔は、前記第１方向に見て前記第１貫通孔の一部と前記第２貫通孔の一部とが重なる部分であり前記第１面から前記第２面に貫通する貫通部分と、前記第１方向に見て前記貫通部分に隣り合うとともに前記第２面から前記第１面に向かって前記フィルター部材の厚さの半分よりも凹む第１部分と、を含む、
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。

【請求項2】

前記フィルター孔は、前記第１方向に見て前記貫通部分に隣り合うとともに前記第１面から前記第２面に向かって前記フィルター部材の厚さの半分よりも凹む第２部分を含み、
前記貫通部分は、前記第１方向に直交する第２方向に関して前記第１部分と前記第２部分との間に配置される、
ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。

【請求項3】

前記第１フィルター板は、前記第１面とは反対側の第３面を画定し、
前記第２フィルター板は、前記第２面とは反対側の第４面を画定し、
前記第１フィルター板と前記第２フィルター板とは、前記第３面と前記第４面とが接触するようにして積層され、
前記第１フィルター板の前記第３面には、前記第１方向に見て前記第１貫通孔に隣り合うとともに前記第２貫通孔に重なる第１凹部が形成される、
ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。

【請求項4】

前記第２フィルター板の前記第４面には、前記第１方向に見て前記第２貫通孔に隣り合うとともに前記第１貫通孔と重なる第２凹部が形成され、
前記貫通部分は、前記第１方向に直交する第２方向に関して前記第１凹部と前記第２凹部との間に配置される、
ことを特徴とする請求項３に記載の液体噴射ヘッド。

【請求項5】

前記第１凹部の全ては、前記第１方向に見て、前記第２貫通孔に重なり、
前記第２凹部の全ては、前記第１方向に見て、前記第１貫通孔に重なる、
ことを特徴とする請求項４に記載の液体噴射ヘッド。

【請求項6】

前記第１貫通孔に内接する最大の内接円の直径は、前記ノズルに内接する最大の内接円の直径よりも小さい、
ことを特徴とする請求項３に記載の液体噴射ヘッド。

【請求項7】

前記貫通部分の前記第２方向に関する幅が最大となる位置で、前記フィルター部材を前記第１方向及び前記第２方向に沿って切断した断面において、前記第１凹部の底面と前記第２凹部の底面との最短距離は、前記第１貫通孔に内接する最大の内接円の直径よりも小さい、
ことを特徴とする請求項４に記載の液体噴射ヘッド。

【請求項8】

前記第１貫通孔に内接する最大の内接円の直径は、前記ノズルに内接する最大の内接円の直径よりも小さく、
前記貫通部分の前記第２方向に関する幅が最大となる位置で、前記フィルター部材を前記第１方向及び前記第２方向に沿って切断した断面において、前記第１凹部の底面と前記第２凹部の底面との最短距離は、前記第１貫通孔に内接する最大の内接円の直径よりも小さい、
ことを特徴とする請求項４に記載の液体噴射ヘッド。

【請求項9】

前記第１凹部の底面と前記第２凹部の底面との前記第１方向に関する距離は、前記貫通部分の前記第２方向に関する最大幅よりも小さい、
ことを特徴とする請求項４に記載の液体噴射ヘッド。

【請求項10】

前記フィルター部材は、第３貫通孔が形成されるとともに前記第１フィルター板と前記第２フィルター板との間に挟まれた第３フィルター板を更に含み、
前記第３貫通孔は、前記第１方向に見て、前記第１貫通孔及び前記第２貫通孔と重なる部分と、前記第２貫通孔と重なるが前記第１貫通孔と重ならない部分と、前記第１貫通孔と重なるが前記第２貫通孔と重ならない部分と、を有する、
ことを特徴とする請求項２に記載の液体噴射ヘッド。

【請求項11】

前記第３フィルター板の厚さは、前記第１フィルター板の厚さ及び前記第２フィルター板の厚さよりも厚い、
ことを特徴とする請求項１０に記載の液体噴射ヘッド。

【請求項12】

１つの前記フィルター孔は、互いに連通する、１つの前記第１貫通孔、１つの前記第２貫通孔及び１つの前記第３貫通孔によって画定されている、
ことを特徴とする請求項１０に記載の液体噴射ヘッド。

【請求項13】

前記第３貫通孔のうち前記貫通部分に対して前記第２方向の一方側の部分の全ては、前記第１方向に見て、前記第２貫通孔に重なり、
前記第３貫通孔のうち前記貫通部分に対して前記第２方向の他方側の部分の全ては、前記第１方向に見て、前記第１貫通孔に重なる、
ことを特徴とする請求項１０に記載の液体噴射ヘッド。

【請求項14】

前記第１貫通孔に内接する最大の内接円の直径は、前記ノズルに内接する最大の内接円の直径よりも小さい、
ことを特徴とする請求項１０に記載の液体噴射ヘッド。

【請求項15】

前記貫通部分の前記第２方向に関する幅が最大となる位置で、前記フィルター部材を前記第１方向及び前記第２方向に沿って切断した断面において、前記第１部分の底面と前記第２部分の底面との最短距離は、前記第１貫通孔に内接する最大の内接円の直径よりも小さい、
ことを特徴とする請求項１０に記載の液体噴射ヘッド。

【請求項16】

前記第１貫通孔に内接する最大の内接円の直径は、前記ノズルに内接する最大の内接円の直径よりも小さく、
前記貫通部分の前記第２方向に関する幅が最大となる位置で、前記フィルター部材を前記第１方向及び前記第２方向に沿って切断した断面において、前記第１部分の底面と前記第２部分の底面との最短距離は、前記第１貫通孔の前記直径よりも小さい、
ことを特徴とする請求項１０に記載の液体噴射ヘッド。

【請求項17】

前記第３貫通孔の前記第１方向に関する寸法は、前記貫通部分の前記第２方向に関する最大幅よりも小さい、
ことを特徴とする請求項１０に記載の液体噴射ヘッド。

【請求項18】

液体を噴射するノズルを有する液体噴射ヘッドと、
第１方向に複数のフィルター板が積層されて構成されたフィルター部材であって、前記液体噴射ヘッドへ供給される液体が通過する複数のフィルター孔を有するフィルター部材と、
を備え、
前記フィルター部材は、前記第１方向に関して互いに反対方向を向く第１面及び第２面を含み、
前記複数のフィルター板は、第１貫通孔が形成されるとともに前記第１面を画定する第１フィルター板と、第２貫通孔が形成されるとともに前記第２面を画定する第２フィルター板と、を含み、
前記フィルター孔は、前記第１方向に見て前記第１貫通孔の一部と前記第２貫通孔の一部とが重なる部分であり前記第１面から前記第２面に貫通する貫通部分と、前記第１方向に見て前記貫通部分に隣り合うとともに前記第２面から前記第１面に向かって前記フィルター部材の厚さの半分よりも凹む第１部分と、を含む、
ことを特徴とする液体噴射装置。

【請求項19】

第１方向に複数のフィルター板が積層されて構成され、液体が通過する複数のフィルター孔を有するフィルター部材であって、
前記フィルター部材は、前記第１方向に関して互いに反対方向を向く第１面及び第２面を含み、
前記複数のフィルター板は、第１貫通孔が形成されるとともに前記第１面を画定する第１フィルター板と、第２貫通孔が形成されるとともに前記第２面を画定する第２フィルター板と、を含み、
前記フィルター孔は、前記第１方向に見て前記第１貫通孔の一部と前記第２貫通孔の一部とが重なる部分であり前記第１面から前記第２面に貫通する貫通部分と、前記第１方向に見て前記貫通部分に隣り合うとともに前記第２面から前記第１面に向かって前記フィルター部材の厚さの半分よりも凹む第１部分と、を含む、
ことを特徴とするフィルター部材。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、液体を噴射する液体噴射ヘッド、液体噴射装置、液体中の異物を除去するフィルター部材に関する。

【背景技術】

【0002】

プリンターやプロッターなどのインクジェット式記録装置に代表される液体噴射装置は、インクを噴射するインクジェット式記録ヘッドなどの液体噴射ヘッドを備える。例えば、特許文献１には、複数の貫通孔がそれぞれ形成された複数のフィルター板（振動板）を積層することで形成されたフィルター部材を備えるインクジェット式記録ヘッドが開示されている。フィルター部材の目を細かくし、小さな異物を補足するために、積層されたフィルター板のそれぞれに形成された貫通孔同士は部分的に重なっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００８－１８６６２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に係る液体噴射ヘッドは、フィルター部材の目を細かくすることで流路抵抗が増大し、フィルター部材を流通する液体の圧力損失が増大するという問題がある。このような問題は、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置やインク以外の液体中の異物を流通させるフィルター部材においても同様に存在する。

【課題を解決するための手段】

【0005】

上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズルと、第１方向に複数のフィルター板が積層されて構成されたフィルター部材であって、前記ノズルへ供給される液体が通過する複数のフィルター孔を有するフィルター部材と、を備え、前記フィルター部材は、前記第１方向に関して互いに反対方向を向く第１面及び第２面を含み、前記複数のフィルター板は、第１貫通孔が形成されるとともに前記第１面を画定する第１フィルター板と、第２貫通孔が形成されるとともに前記第２面を画定する第２フィルター板と、を含み、前記フィルター孔は、前記第１方向に見て前記第１貫通孔の一部と前記第２貫通孔の一部とが重なる部分であり前記第１面から前記第２面に貫通する貫通部分と、前記第１方向に見て前記貫通部分に隣り合うとともに前記第２面から前記第１面に向かって前記フィルター部材の厚さの半分よりも凹む第１部分と、を含む、ことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。

【0006】

また、本発明の他の態様は、液体を噴射するノズルを有する液体噴射ヘッドと、第１方向に複数のフィルター板が積層されて構成されたフィルター部材であって、前記液体噴射ヘッドへ供給される液体が通過する複数のフィルター孔を有するフィルター部材と、を備え、前記フィルター部材は、前記第１方向に関して互いに反対方向を向く第１面及び第２面を含み、前記複数のフィルター板は、第１貫通孔が形成されるとともに前記第１面を画定する第１フィルター板と、第２貫通孔が形成されるとともに前記第２面を画定する第２フィルター板と、を含み、前記フィルター孔は、前記第１方向に見て前記第１貫通孔の一部と前記第２貫通孔の一部とが重なる部分であり前記第１面から前記第２面に貫通する貫通部分と、前記第１方向に見て前記貫通部分に隣り合うとともに前記第２面から前記第１面に向かって前記フィルター部材の厚さの半分よりも凹む第１部分と、を含む、ことを特徴とする液体噴射装置にある。

【0007】

また、本発明の他の態様は、第１方向に複数のフィルター板が積層され、液体が通過する複数のフィルター孔を有するフィルター部材であって、液体が通過する複数のフィルター孔を有するフィルター部材であって、前記フィルター部材は、前記第１方向に関して互いに反対方向を向く第１面及び第２面を含み、前記複数のフィルター板は、第１貫通孔が形成されるとともに前記第１面を画定する第１フィルター板と、第２貫通孔が形成されるとともに前記第２面を画定する第２フィルター板と、を含み、前記フィルター孔は、前記第１方向に見て前記第１貫通孔の一部と前記第２貫通孔の一部とが重なる部分であり前記第１面から前記第２面に貫通する貫通部分と、前記第１方向に見て前記貫通部分に隣り合うとともに前記第２面から前記第１面に向かって前記フィルター部材の厚さの半分よりも凹む第１部分と、を含む、ことを特徴とするフィルター部材にある。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】実施形態１に係るインクジェット式記録装置の概略図である。

【図2】実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。

【図3】実施形態１に係る記録ヘッドの平面図である。

【図4】実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。

【図5】実施形態１に係るフィルター部材を構成する第１フィルター板及び第２フィルター板を接合する前の状態を示す斜視図である。

【図6】実施形態１に係るフィルター部材を構成する第１フィルター板及び第２フィルター板を接合した後の状態を示す斜視図である。

【図7】実施形態１に係るフィルター部材の平面図及び断面図である。

【図8】実施形態２に係るフィルター部材を構成する第１フィルター板及び第２フィルター板を接合する前の状態を示す斜視図である。

【図9】実施形態２に係るフィルター部材を構成する第１フィルター板及び第２フィルター板を接合した後の状態を示す斜視図である。

【図10】実施形態２に係るフィルター部材の平面図及び断面図である。

【図11】実施形態３に係るフィルター部材を構成する第１フィルター板、第２フィルター板及び第３フィルター板を接合する前の状態を示す斜視図である。

【図12】実施形態３に係るフィルター部材の平面図及び断面図である。

【図13】実施形態４に係るフィルター部材を構成する第１フィルター板の平面図である。

【図14】実施形態４に係るフィルター部材を構成する第２フィルター板の平面図である。

【図15】実施形態４に係るフィルター孔の平面図である。

【図16】実施形態４に係る図１５のＥ－Ｅ線断面図である。

【図17】実施形態４に係る図１５のＦ－Ｆ線断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。ただし、以下の説明は、本発明の一態様を示すものであって、本発明の範囲内で任意に変更可能である。

【0010】

各図においてＸ、Ｙ、Ｚは、互いに直交する３つの空間軸を表している。正方向及び負方向を限定せず、それら３つの軸に沿った方向をＸ方向、Ｙ方向、及びＺ方向とする。各図の矢印が向かう方向をＸ１方向、Ｙ１方向、Ｚ１方向、矢印の反対方向をＸ２方向、Ｙ２方向、Ｚ２方向とする。Ｙ方向（Ｙ１方向及びＹ２方向）は媒体の搬送方向に相当する。Ｚ２方向は鉛直方向の下向きであり、Ｚ１方向は鉛直方向の上向きである。なお、Ｚ方向は鉛直方向である必要はない。さらに、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は互いに直交するがこれに限定されず、例えば、８０度以上１００度以下の範囲内の角度で交差していてもよい。

【0011】

〈実施形態１〉
図１に示すインクジェット式記録装置（以下、単に「記録装置」と称する）１は、液体噴射装置の一例であり、液体の一種であるインクをインク滴として印刷用紙等の媒体Ｍに噴射・着弾させて、当該媒体Ｍに形成されるドットの配列により画像等の印刷を行う印刷装置である。なお、媒体Ｍとしては、記録用紙の他、樹脂フィルムや布等の任意の材質を用いることができる。

【0012】

記録装置１は、インクジェット式記録ヘッド２（以下、単に「記録ヘッド２」とも称する）と、液体容器３と、制御部４と、媒体Ｍを送り出す搬送機構５と、移動機構６と、を具備する。

【0013】

記録ヘッド２は、液体噴射ヘッドの一例であり、液体容器３から供給されるインクを複数のノズルから媒体Ｍに噴射する。記録ヘッド２の詳細な構成は後述する。

【0014】

液体容器３は、液体を貯留する液体貯留部の一例であり、記録ヘッド２から噴射される複数種類（例えば、複数色）のインクを個別に貯留する。液体貯留部としては、例えば、記録装置１に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、インクを補充可能なインクタンクなどが挙げられる。

【0015】

制御部４は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の制御装置と、半導体メモリー等の記憶装置と、を備えている。制御部４は、記憶装置に記憶されたプログラムを制御装置が実行することで記録装置１の各要素、すなわち、記録ヘッド２、搬送機構５、移動機構６等を統括的に制御する。

【0016】

搬送機構５は、媒体ＭをＸ方向に搬送する機構である。具体的には、搬送機構５は、搬送ローラー７を有し、搬送ローラー７が回転することで媒体ＭをＸ方向に搬送する。媒体Ｍを搬送する搬送機構５としては、搬送ローラー７を備える機構に限られず、例えば、ベルトやドラムによって媒体Ｍを搬送する機構であってもよい。

【0017】

移動機構６は、記録ヘッド２をＹ方向に沿って往復させるための機構であり、搬送体８と搬送ベルト９とを具備する。搬送体８は、記録ヘッド２を収容する略箱形の構造体、いわゆるキャリッジであり、搬送ベルト９に固定される。搬送ベルト９は、Ｙ方向に沿って架設された無端ベルトである。制御部４による制御のもとで搬送ベルト９が回転することで記録ヘッド２が搬送体８と共にＹ方向で往復移動する。なお搬送体８は、記録ヘッド２と共に液体容器３を搭載する構成であってもよい。

【0018】

記録ヘッド２は、制御部４による制御のもとで、液体容器３から供給されたインクを複数のノズルのそれぞれからインク滴としてＺ２方向に媒体Ｍに噴射する噴射動作を実行する。この記録ヘッド２による噴射動作が、搬送機構５による媒体Ｍの搬送や移動機構６による記録ヘッド２の往復移動と並行して行われることにより、媒体Ｍの表面にインクによる画像が形成される、いわゆる印刷が行われる。

【0019】

図２から図４を用いて記録ヘッド２を説明する。図２は記録ヘッド２の分解斜視図であり、図３は記録ヘッド２の平面図であり、図４は記録ヘッドの断面図である。図３では記録ヘッド２を構成する要素のうち圧力室基板１０及びフィルター部材４０を示し、保護基板３０及びケース部材１００の図示を省略している。図４は図３のＡ－Ａ線に対応する図である。

【0020】

図示するように、本実施形態に係る記録ヘッド２は、圧力室基板１０を具備する。圧力室基板１０は、例えば、シリコン基板、ガラス基板、ＳＯＩ基板、各種セラミック基板等からなる。

【0021】

圧力室基板１０には、Ｚ２方向側に開口した凹部である圧力室１２がＸ方向に沿って並んで配置されている。複数の圧力室１２は、Ｙ方向の位置が同じ位置となるように、Ｘ方向に沿った直線上に配置されている。Ｘ方向で互いに隣り合う圧力室１２は、不図示の隔壁によって区画されている。本実施形態では、圧力室１２は、Ｘ方向に沿って一列となるように並んで配置されている。このような一列に並んだ複数の圧力室１２からなる圧力室の列はＹ方向に２列設けられている。各列の複数の圧力室１２は、Ｙ方向の位置が同じ位置となるように配置されている。なお、圧力室１２の配置は特に限定されない。例えば、Ｘ方向に並ぶ複数の圧力室１２の配置は、各圧力室１２を１つ置きにＹ方向にずれた位置とする、いわゆる千鳥配置となっていてもよい。

【0022】

圧力室１２は、Ｚ方向に見た平面視においてＹ方向の長さがＸ方向の長さよりも長い長方形に形成されている。もちろん、圧力室１２の形状は特に限定されず、平行四辺形状、多角形状、円形状、オーバル形状等であってもよい。なお、ここでいうオーバル形状とは、長方形状を基本として長手方向の両端部を半円状とした形状をいい、角丸長方形状、楕円形状、卵形状などが含まれるものとする。

【0023】

圧力室基板１０のＺ２方向側には、連通板１５とノズルプレート２０及びコンプライアンス基板１１０とが順次積層されている。

【0024】

連通板１５には、圧力室１２とノズル２１とを連通するノズル連通路１６が設けられている。連通板１５には、複数の圧力室１２が連通する共通液室となるマニホールド１３０の一部を構成する第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８が設けられている。第１マニホールド部１７は、連通板１５をＺ方向に貫通して設けられている。第２マニホールド部１８は、連通板１５をＺ方向に貫通することなく、Ｚ２方向側の面に開口して設けられている。

【0025】

連通板１５には、圧力室１２のＹ方向の一方の端部に連通する供給連通路１９が圧力室１２の各々に独立して設けられている。供給連通路１９は、第２マニホールド部１８と各圧力室１２とを連通して、マニホールド１３０内のインクを各圧力室１２に供給する。

【0026】

連通板１５としては、シリコン基板、ガラス基板、ＳＯＩ基板、各種セラミック基板、金属基板等を用いることができる。

【0027】

ノズルプレート２０は、連通板１５の圧力室基板１０とは反対側であるＺ２方向側の面に設けられている。ノズルプレート２０には、各圧力室１２にノズル連通路１６を介して連通するノズル２１が形成されている。

【0028】

複数のノズル２１は、各圧力室１２に対応して設けられ、Ｘ方向に沿って一列となるように並んで配置されている。このような一列に並んだ複数のノズル２１からなるノズル列はＹ方向に２列設けられている。各列の複数のノズル２１は、Ｙ方向の位置が同じ位置となるように配置されている。なおノズル２１の配置は特に限定されない。例えば、Ｘ方向に並んで配置されるノズル２１は、１つ置きにＹ方向にずれた位置に配置されていてもよい。

【0029】

ノズルプレート２０の材料としては、特に限定されず、例えば、シリコン基板、ガラス基板、ＳＯＩ基板、各種セラミック基板、金属基板を用いることができる。金属板としては、例えば、ステンレス基板等が挙げられる。さらにノズルプレート２０の材料としては、ポリイミド樹脂のような有機物などを用いることもできる。

【0030】

コンプライアンス基板１１０は、ノズルプレート２０と共に、連通板１５の圧力室基板１０とは反対側であるＺ２方向側の面に設けられている。コンプライアンス基板１１０は、ノズルプレート２０の周囲に設けられ、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８の開口を封止する。コンプライアンス基板１１０は、本実施形態では、可撓性を有する薄膜からなる封止膜１１１と、金属等の硬質の材料からなる固定基板１１２と、を具備する。固定基板１１２のマニホールド１３０に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された除去部１１８となっている。このため、マニホールド１３０の一方面は、可撓性を有する封止膜１１１のみで封止されたコンプライアンス部１１９となっている。

【0031】

圧力室基板１０のＺ１方向側の面には振動板８４及び圧電素子８０が設けられている。すなわちＺ２方向からＺ１方向に向かって圧力室基板１０、振動板８４及び圧電素子８０は、この順で積層されている。

【0032】

振動板８４は、圧力室基板１０のＺ１方向側の面に設けられた弾性膜と、弾性膜のＺ１方向側の面に設けられた絶縁体膜とから構成されている。弾性膜は、例えば、酸化シリコン（ＳｉＯ_２）で形成される膜である。このような弾性膜は、例えば、圧力室基板のＺ１方向側の面を熱酸化することによって形成することができる。絶縁体膜は、例えば、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ_２）で形成される膜である。このような絶縁体膜は、例えば、スパッタリング法等によりジルコニウム単体の層を形成した後に、当該層を熱酸化することによって形成することができる。なお、振動板は弾性膜及び絶縁体膜で構成されたものに限定されない。例えば、振動板として弾性膜及び絶縁体膜の何れか一方を設けたものであってもよい。また、弾性膜及び絶縁体膜を設けずに、後述する圧電素子８０の第１電極を振動板としてもよい。

【0033】

圧電素子８０は、圧力室１２ごとに形成されている。本実施形態ではＸ方向に複数並んだ圧力室１２の列がＹ方向に２列あるので、圧電素子８０も同様にＸ方向に複数並んで列をなし、その圧電素子８０の列がＹ方向に２列設けられている。圧電素子８０は、圧力室１２内のインクに圧力変化を生じさせる圧力発生手段であり圧電アクチュエーターとも称される。圧電素子８０は、振動板８４側であるＺ２方向側からＺ１方向側に向かって順次積層された第１電極８１と、圧電体層８３と、第２電極８２とを具備する。圧電素子８０は、第１電極８１と第２電極８２との間に電圧を印加した際に、圧電体層８３に圧電歪みが生じる部分である。

【0034】

一般的には、第１電極８１又は第２電極８２の一方を圧電素子８０毎に独立する個別電極とし、他方を複数の圧電素子８０に共通する共通電極として構成する。本実施形態では、第１電極８１が個別電極を構成し、第２電極８２が共通電極を構成している。

【0035】

具体的には、第１電極８１は、圧力室１２毎に切り分けられて圧電素子８０毎に独立する個別電極を構成する。第１電極８１は、Ｘ方向において圧力室１２の幅よりも狭い幅で形成されている。すなわち、Ｘ方向において、第１電極８１は、圧力室１２の内側に位置している。

【0036】

Ｙ方向において、第１電極８１の内側の端部は、圧力室１２に対向する領域から圧力室１２の外側まで延在しており、第１電極８１の外側の端部は、圧力室１２に対向する領域に配置されている。第１電極８１の内側の端部とは、Ｙ方向において２列の圧電素子８０の間の領域に近い側の端部をいう。第１電極８１の外側の端部とは、Ｙ方向において２列の圧電素子８０の間の領域から遠い側の端部をいう。具体的には、Ｙ方向において２列ある圧電素子８０のうちＹ１側にある圧電素子８０については、第１電極８１の内側の端部はＹ２側の端部であり、第１電極８１の外側の端部はＹ１側の端部である。Ｙ方向において２列ある圧電素子８０のうちＹ２側にある圧電素子８０については、第１電極８１の内側の端部はＹ１側の端部であり、第１電極８１の外側の端部はＹ２側の端部である。第２電極８２及び圧電体層８３についても内側及び外側の端部は第１電極８１と同様であるとする。

【0037】

このような第１電極８１の材料は、特に限定されないが、導電性を有する材料、例えば、イリジウム（Ｉｒ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、金（Ａｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、クロム（Ｃｒ）、ニッケルクロム（ＮｉＣｒ）、タングステン（Ｗ）、チタン（Ｔｉ）、酸化チタン（ＴｉＯＸ）、チタンタングステン（ＴｉＷ）等を用いることができる。

【0038】

圧電体層８３は、Ｚ方向の厚さを所定の厚さとし、Ｙ方向の長さを所定の長さとし、Ｘ方向に沿って連続して設けられている。すなわち圧電体層８３は、圧力室１２の並設方向に沿って連続して設けられている。圧電体層８３のＹ方向の長さは、圧力室１２の長手方向であるＹ方向の長さよりも長く、圧電体層８３は、Ｙ方向において圧力室１２の両外側まで延在している。

【0039】

本実施形態では、圧電体層８３の外側の端部は、第１電極８１の端部よりも外側に位置している。すなわち、第１電極８１の外側の端部は圧電体層８３によって覆われている。また、圧電体層８３の内側の端部は、第１電極８１の端部よりも圧力室１２側に位置しており、第１電極８１の内側の端部は、圧電体層８３で覆われることなく露出されている。

【0040】

圧電体層８３は、一般式ＡＢＯ_３で示されるペロブスカイト構造の複合酸化物からなる圧電材料を用いて構成されている。圧電材料としては、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ；Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ_３）を用いることができる。もちろん、圧電材料はチタン酸ジルコン酸鉛に限定されず、公知のものを適用することができる。

【0041】

第２電極８２は、圧電体層８３の第１電極８１とは反対側であるＺ１方向側に連続して設けられており、複数の圧電素子８０に共通する共通電極を構成する。第２電極８２は、Ｙ方向の長さを所定の長さとし、Ｘ方向に沿って連続して設けられている。

【0042】

第２電極８２の材料は、特に限定されないが、イリジウム（Ｉｒ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、金（Ａｕ）等の貴金属材料、およびランタンニッケル酸化物（ＬＮＯ）に代表される導電性酸化物などが用いられる。また、第２電極８２は、複数材料が積層されたものであってもよく、その場合、第２電極８２の材料として、イリジウム（Ｉｒ）とチタン（Ｔｉ）とを含むものを用いるのが好ましい。

【0043】

第１電極８１から個別リード電極９１が引き出され、第２電極８２から共通リード電極９２が引き出されている。これら個別リード電極９１および共通リード電極９２には、圧電素子８０とは反対側の端部において、可撓性を有する配線基板１２０が接続されている。本実施形態では、個別リード電極９１及び共通リード電極９２は、保護基板３０に形成された第１配線挿通孔３２内に露出するように延設され、この第１配線挿通孔３２内で配線基板１２０と電気的に接続されている。配線基板１２０には、圧電素子８０を駆動するためのスイッチング素子を有する駆動回路１２１が実装されている。

【0044】

上述した圧電素子８０は、第１電極８１を圧電素子８０毎の個別電極とし、第２電極を各圧電素子８０に共通した共通電極としているが、このような構成に限定されない。すなわち、第１電極８１を各圧電素子８０に共通した共通電極とし、第２電極を圧電素子８０毎の個別電極としてもよい。

【0045】

圧力室基板１０のＺ１方向側の面には、圧力室基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電素子８０を保護する空間である保持部３１を有する。保持部３１は、Ｘ方向に並んで配置された圧電素子８０の列毎に独立して設けられたものであり、Ｙ方向に２つ並んで形成されている。また、保護基板３０には、Ｙ方向に並んで配置された２つの保持部３１の間にＺ方向に貫通する第１配線挿通孔３２が設けられている。

【0046】

連通板１５のＺ１方向側の面には、フィルター部材４０が接合されている。図２及び図３ではフィルター部材４０のＺ１方向側の面のうちフィルター孔５０が設けられた領域Ｒをハッチングのみで示し、個々のフィルター孔５０の図示は省略している。

【0047】

本実施形態では、Ｚ２方向に見た平面視において、フィルター部材４０の外形は連通板１５の外形と略同一形状を有する。また、フィルター部材４０は、圧力室基板１０に対向する領域がＺ方向に除去された開口部４５を有している。フィルター部材４０は、開口部４５の内側に圧力室基板１０が配置された状態で連通板１５のＺ１方向側の面に設けられている。

【0048】

フィルター部材４０は、Ｚ２方向に見た平面視において第１マニホールド部１７に対向する領域Ｒにフィルター孔５０が設けられている。フィルター部材４０やフィルター孔５０の詳細な構成については後述する。

【0049】

フィルター部材４０のＺ１方向側の面には、ケース部材１００が固定されている。ケース部材１００は、Ｚ方向に見た平面視においてフィルター部材４０の外形と略同一形状を有する。また、ケース部材１００は、圧力室基板１０及び保護基板３０を収容可能な深さの空間である収容部１０１を有する。収容部１０１は、保護基板３０の圧力室基板１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、収容部１０１に圧力室基板１０及び保護基板３０が収容された状態で収容部１０１の圧力室基板１０側の開口面が振動板８４によって封止されている。さらにケース部材１００には、保護基板３０の第１配線挿通孔３２に連通して配線基板１２０が挿通される第２配線挿通孔１０３が設けられている。ケース部材１００には、Ｙ方向における収容部１０１の両外側に、インク導入部１０２がそれぞれ画成されている。ケース部材１００には、インク導入部１０２に連通して各インク導入部１０２にインクを供給するための導入口１０４が設けられている。

【0050】

フィルター部材４０が連通板１５に設けられることで、第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８とによってマニホールド１３０が構成されている。マニホールド１３０は、Ｘ方向に亘って連続して設けられており、各圧力室１２とマニホールド１３０とを連通する供給連通路１９は、Ｘ方向に並んで配置されている。

【0051】

フィルター部材４０は、連通板１５とケース部材１００との間に設けられており、それらは接着剤によって接着されている。このようにＺ２方向からＺ１方向に向かって連通板１５、フィルター部材４０、ケース部材１００がこの順で接着剤で積層されることで、マニホールド１３０とインク導入部１０２はフィルター部材４０のフィルター孔５０を介して連通している。

【0052】

このような本実施形態の記録ヘッド２では、図示しない外部インク供給手段と接続した導入口１０４からインク導入部１０２にインクが供給される。インク導入部１０２のインクはフィルター部材４０によって異物が除去され、マニホールド１３０に供給される。そして、マニホールド１３０からノズル２１に至るまで内部をインクで満たされた後、駆動回路１２１からの記録信号に従い、圧力室１２に対応するそれぞれの圧電素子８０に電圧を印加する。これにより圧電素子８０と共に振動板８４がたわみ変形して各圧力室１２内の圧力が高まり、各ノズル２１からインク滴が噴射される。

【0053】

図５から図７を用いてフィルター部材４０及びフィルター孔５０について説明する。図５はフィルター部材４０を構成する第１フィルター板４１及び第２フィルター板４２を接合する前の状態を示す斜視図である。図６はフィルター部材４０を構成する第１フィルター板４１及び第２フィルター板４２を接合した後の状態を示す斜視図である。図７はフィルター部材４０の平面図及び断面図である。図５及び図６は、フィルター部材４０に設けられた一つのフィルター孔５０とその周辺を拡大した図である。

【0054】

フィルター部材４０は、複数のフィルター板として第１方向に第２フィルター板４２と第１フィルター板４１がこの順で積層されて構成され、インクが通過する複数のフィルター孔５０を有する部材である。また、フィルター部材４０は、第１方向に関して互いに反対方向を向く第１面Ｓ１及び第２面Ｓ２を含む。第１面Ｓ１及び第２面Ｓ２は、フィルター部材４０の外面を画定する。

【0055】

本実施形態では、第１方向はＺ１方向であり、第１方向に関する反対方向はＺ２方向である。したがって第１面Ｓ１はＺ１方向を向き、第２面Ｓ２はＺ２方向を向く。なお、第１方向はＺ１方向に限定されない。第１方向は、インクを噴射する方向とは関係なく任意の方向とすることができる。例えば、インクの流れる方向や記録ヘッド２の構成に応じて、第１フィルター板４１と第２フィルター板４２とが積層される方向をインクの噴射方向と交差する方向としてもよい。

【0056】

第１フィルター板４１は、第１貫通孔６１が形成されるとともにフィルター部材４０の第１面Ｓ１を画定する。また、第１フィルター板４１の第１面Ｓ１とは反対側の第３面Ｓ３を画定する。第２フィルター板４２は、第２貫通孔６２が形成されるとともにフィルター部材４０の第２面Ｓ２を画定する。また、第２フィルター板４２の第２面Ｓ２とは反対側の第４面Ｓ４を画定する。

【0057】

第１フィルター板４１及び第２フィルター板４２は、図２に示したように開口部４５が設けられたＸ方向に長尺な枠状に形成されている。例えば、ＳＵＳでＸ方向に長尺であり、Ｚ方向に貫通した開口部４５を有する枠状の部材を形成し、その部材の表面にＮｉ－Ｐｄ合金めっきを設けることで第１フィルター板４１及び第２フィルター板４２を形成することができる。

【0058】

第１フィルター板４１は、Ｚ１方向に見た平面視にてマニホールド１３０に対向する領域Ｒ（図３参照）に、Ｚ方向に貫通した複数の第１貫通孔６１が形成されている。第１貫通孔６１の開口形状は特に限定はないが、本実施形態では円形状となっている。

【0059】

第２フィルター板４２は、Ｚ１方向に見た平面視にてマニホールド１３０に対向する領域Ｒ（図３参照）に、Ｚ方向に貫通した複数の第２貫通孔６２が形成されている。第２貫通孔６２の開口形状は特に限定はないが、本実施形態では円形状となっている。また、第２貫通孔６２は、第１貫通孔６１と同じ開口形状としてあるが異なる開口形状であってもよい。

【0060】

また、第１フィルター板４１の領域Ｒに形成される第１貫通孔６１の個数や配置は特に限定はない。本実施形態では、第１フィルター板４１の領域Ｒには、Ｘ方向及びＹ方向に沿って等間隔で所定個数の第１貫通孔６１が形成されている。また、第２フィルター板４２の領域Ｒに形成される第２貫通孔６２の個数や配置は特に限定はない。本実施形態では、第２フィルター板４２の領域Ｒには、Ｘ方向及びＹ方向に沿って等間隔で所定個数の第２貫通孔６２が形成されている。

【0061】

フィルター孔５０は、フィルター部材４０に設けられてインクを通過させるが異物を捕捉するための孔である。フィルター孔５０は、第１部分５１、第２部分５２及び貫通部分５３を含んで構成されている。フィルター孔５０は、第１方向であるＺ１方向に直交する第２方向であるＸ１方向に関して、貫通部分５３が第１部分５１と第２部分５２との間に配置されている。

【0062】

本実施形態では、第２方向はＸ１方向である。もちろん第２方向はＸ１方向に限定されない。第２方向は、第１方向に対して直交する方向であればよく、記録ヘッド２のノズル２１や圧力室１２等が並設されるＸ１方向に関係なく任意の方向とすることができる。

【0063】

貫通部分５３は、第１貫通孔６１及び第２貫通孔６２のそれぞれの一部が重なって形成されている。具体的には、第１フィルター板４１と第２フィルター板４２とが積層されたフィルター部材４０は、Ｚ１方向に見た平面視にて第１貫通孔６１と第２貫通孔６２とは完全には重ならず一部が重なる。このようにＺ１方向に見て第１貫通孔６１の一部と第２貫通孔６２の一部とが重なった部分は、フィルター部材４０の第１面Ｓ１から第２面Ｓ２に貫通する貫通部分５３となっている。

【0064】

第１部分５１は、フィルター孔５０をＺ１方向に見て貫通部分５３に隣り合うとともに第２面Ｓ２から第１面Ｓ１に向かってフィルター部材４０の厚さＴの半分よりも凹む部分である。本実施形態では、Ｚ１方向に見て、第１部分５１は、貫通部分５３のＸ２方向側に隣り合った部分であって、後述する第１凹部７１と、第２貫通孔６２のうち貫通部分５３以外の部分であって第１凹部７１と重なる部分とから構成される部分である。第１部分５１は、フィルター部材４０の厚さＴの半分よりも第１凹部７１の厚さの分だけ凹んでいる。フィルター部材４０の厚さＴは、フィルター孔５０のＺ方向に関する寸法に等しい。また、本実施形態では、第１フィルター板４１の厚さＴ１と第２フィルター板４２の厚さＴ２とは等しい。そのため、フィルター部材４０の厚さＴの半分は、厚さＴ１及び厚さＴ２のそれぞれに等しい。なお、第１フィルター板４１の厚さＴ１及び第２フィルター板４２の厚さＴ２は、異なる厚さであってもよい。

【0065】

Ｚ１方向に見て、第２部分５２は、フィルター孔５０をＺ１方向に見て貫通部分５３に隣り合うとともに第１面Ｓ１から第２面Ｓ２に向かってフィルター部材４０の厚さＴの半分よりも凹む部分である。本実施形態では、第２部分５２は、貫通部分５３のＸ１方向側に隣り合った部分であって、後述する第２凹部７２と、第１貫通孔６１のうち貫通部分５３以外の部分であって第２凹部７２と重なる部分とから構成される部分である。第２部分５２は、フィルター部材４０の厚さＴの半分よりも第２凹部７２の厚さの分だけ凹んでいる。

【0066】

第１凹部７１は、第１フィルター板４１に形成されている。具体的には、第１フィルター板４１の第３面Ｓ３には、第１方向であるＺ１方向に見て第１貫通孔６１に隣り合うとともに第２貫通孔６２に重なる第１凹部７１が形成されている。本実施形態では、Ｚ１方向に見て、Ｙ方向における第１凹部７１の幅が第１貫通孔６１の幅よりも狭く形成されている。また、Ｚ１方向に見て、第１凹部７１は、第１貫通孔６１との境界からＸ２方向に向けて延在しており、Ｘ２方向側の端部が第２貫通孔６２に内接するよう弧状に形成されている。

【0067】

第２凹部７２は、第２フィルター板４２に形成されている。具体的には、第２フィルター板４２の第４面Ｓ４には、第１方向であるＺ１方向に見て第２貫通孔６２に隣り合うとともに第１貫通孔６１に重なる第２凹部７２が形成されている。本実施形態では、Ｚ１方向に見て、Ｙ方向における第２凹部７２の幅が第２貫通孔６２の幅よりも狭く形成されている。また、Ｚ１方向に見て、第２凹部７２は、第２貫通孔６２との境界からＸ１方向に向けて延在しており、Ｘ１方向側の端部が第１貫通孔６１に内接するよう弧状に形成されている。なお、本実施形態では第２凹部７２は、Ｚ１方向にみた平面視においてＹ方向について第１凹部７１の鏡像となるような形状としてあるが、このような形状に限定されない。

【0068】

このように第１凹部７１は、Ｚ１方向に見て、全体が第２貫通孔６２に重なっている。また、第２凹部７２は、Ｚ１方向に見て、全体が第１貫通孔６１に重なっている。もちろん、第１凹部７１及び第２凹部７２はこのような構成に限定されない。第１凹部７１の一部はＺ１方向に見て第２貫通孔６２に重なっておらず、第２貫通孔６２よりも外側に延在された構成としてもよい。同様に、第２凹部７２の一部はＺ１方向に見て第１貫通孔６１に重なっておらず、第１貫通孔６１よりも外側に延在された構成としてもよい。

【0069】

上述したフィルター孔５０を構成する各要素である第１フィルター板４１の第１貫通孔６１及び第１凹部７１、並びに第２フィルター板４２及び第２凹部７２は、電鋳法により形成することができる。また、電鋳法に限定されず、例えばＳＵＳ等の部材をエッチングすることでも形成することができる。

【0070】

第１フィルター板４１と第２フィルター板４２とは、第３面Ｓ３と第４面Ｓ４とが接触するようにして積層されている。第１フィルター板４１と第２フィルター板４２とは、接着剤による接着又は接合によって一体化されている。具体的な接合方法としては、拡散接合を用いることが好ましい。拡散接合とは、第１フィルター板４１及び第２フィルター板４２を溶融させることなく加熱及び加圧し、接合界面の原子を拡散させて接合することをいう。

【0071】

第１フィルター板４１と第２フィルター板４２とが積層されることで、第１貫通孔６１及び第２貫通孔６２のそれぞれの一部が重なって貫通部分５３が形成される。また、第１凹部７１と第２貫通孔６２の貫通部分５３以外の部分であって第１凹部７１と重なる部分とから第１部分５１が形成される。第２凹部７２と第１貫通孔６１の貫通部分５３以外の部分であって第２凹部７２と重なる部分とから第２部分５２が形成される。第２方向であるＸ１方向における第１凹部７１と第２凹部７２との間に貫通部分５３が配置されたフィルター孔５０が形成される。

【0072】

本実施形態のフィルター孔５０は、互いに連通する、１つの第１貫通孔６１、１つの第２貫通孔６２によって画定されている。しかしながら、このように各貫通孔が１対１で構成されたフィルター孔５０に限定されない。

【0073】

例えば、フィルター孔５０は、１つの第１貫通孔６１が複数の第２貫通孔６２にそれぞれ連通していてもよいし、１つの第２貫通孔６２が複数の第１貫通孔６１にそれぞれ連通していてもよい。このように一つの貫通孔が他の複数の貫通孔に共通していてもよい。

【0074】

なお、フィルター孔５０は、フィルター部材４０のマニホールド１３０に対向する領域Ｒに複数形成され、全て同一形状のものを図示したが、個々のフィルター孔５０はそれぞれ形状が異なっていてもよい。

【0075】

Ｚ２方向に見て、第１貫通孔６１に内接する最大の内接円の直径をＤ１とする。本実施形態では第１貫通孔６１は円形状であるので、第１貫通孔６１の開口の直径がＤ１となる。Ｚ１方向に見て、第２貫通孔６２に内接する最大の内接円の直径をＤ２とする。本実施形態では第２貫通孔６２は円形状であるので、第２貫通孔６２の開口の直径がＤ２となる。

【0076】

また、Ｚ１方向に見て、ノズル２１に内接する最大の内接円の直径をＤＮとする。Ｚ１方向にみたノズル２１の形状を図示してはいないが、本実施形態のノズル２１は円形状であるので、図４に示すようにノズル２１の開口の直径がＤＮとなる。なお、ノズル２１の形状は、図４に示すように、ノズルプレート２０の厚さ方向であるＺ方向に関して同じでない場合がある。つまり、Ｚ１方向に見て、ノズル２１に内接する最大の内接円の直径は、ノズルプレート２０の厚さ方向に関して同じでない場合がある。したがって、そのような場合には、ノズルプレート２０の厚さ方向に関して、Ｚ１方向にみたノズル２１に内接する最大の内接円の直径が最小となる位置でのノズル２１に内接する最大の内接円の直径をＤＮとする。

【0077】

直径Ｄ１、直径Ｄ２及び直径ＤＮの大小関係に制限はないが、直径Ｄ１及び直径Ｄ２は、いずれも直径ＤＮより小さくすることが好ましい。このようにノズル２１の直径ＤＮよりも直径Ｄ１及び直径Ｄ２を小さくすることで、インク中のより小さい異物を捕捉できるとともに、単位面積あたりのフィルター孔５０の数を増やすことができるので、フィルター部材４０を通過するインクの圧力損失を低減することができる。もちろん、直径Ｄ１又は／及び直径Ｄ２は、ノズル２１の直径ＤＮよりも大きくてもよい。

【0078】

第１凹部７１の底面ＢＳ１と第２凹部７２の底面ＢＳ２との最短距離をＬ２とする。最短距離Ｌ２は、貫通部分５３のＸ１方向に関する幅が最大となる位置で、フィルター部材４０をＺ１方向及びＸ２方向に沿って切断した断面における、第１凹部７１の底面ＢＳ１と第２凹部７２の底面ＢＳ２との最短距離をいう。

【0079】

本実施形態では、第１貫通孔６１及び第２貫通孔６２は円形状であり、Ｘ方向にずれて重なって貫通部分５３が形成されている。したがって、貫通部分５３のＸ１方向に関する幅が最大となる位置は、Ｚ２方向に見た平面視にて、貫通部分５３のＹ方向における中心位置になる。当該中心位置で、Ｚ１方向及びＸ１方向に沿って切断した断面は図７のＢ－Ｂ線断面となっている。このような断面において、第１凹部７１の底面ＢＳ１と第２凹部７２の底面ＢＳ２の最も近い点同士を結んだ長さが最短距離Ｌ２となっている。

【0080】

最短距離Ｌ２は、直径Ｄ１よりも小さい。このように最短距離Ｌ２を直径Ｄ１よりも小さくすることで、直径Ｄ１よりも小さいが最短距離Ｌ２より大きいインク中の異物をフィルター孔５０で捕捉することができる。また、最短距離Ｌ２は、直径Ｄ２よりも小さい。このように最短距離Ｌ２を直径Ｄ２よりも小さくすることで、直径Ｄ２よりも小さいが最短距離Ｌ２より大きいインク中の異物をフィルター孔５０で捕捉することができる。

【0081】

図７のＢ－Ｂ線断面図に示すように、第１凹部７１の底面ＢＳ１と第２凹部７２の底面ＢＳ２とのＺ１方向に関する距離をＬ１とする。本実施形態では、第１凹部７１の底面ＢＳ１や第２凹部７２の底面ＢＳ２が平坦ではない場合は、第１凹部７１の底面ＢＳ１と第２凹部７２の底面ＢＳ２とのＺ１方向に関する最大の距離をＬ１とする。また、貫通部分５３のＸ１方向に関する最大幅をＬ３とする。

【0082】

距離Ｌ１は、距離Ｌ３よりも小さい。このように距離Ｌ１を距離Ｌ３よりも小さくすることで、第２部分５２から貫通部分５３へ流入しようとする異物を捕捉し易くすることができる。

【0083】

以上のように本実施形態に係る記録ヘッド２は、インクを噴射するノズル２１と、Ｚ１方向に複数のフィルター板が積層されて構成されたフィルター部材４０であって、ノズル２１へ供給されるインクが通過する複数のフィルター孔５０を有するフィルター部材４０と、を備え、フィルター部材４０は、Ｚ方向に関して互いに反対方向であるＺ１方向及びＺ２方向を向く第１面Ｓ１及び第２面Ｓ２を含み、複数のフィルター板は、第１貫通孔６１が形成されるとともに第１面Ｓ１を画定する第１フィルター板４１と、第２貫通孔６２が形成されるとともに第２面Ｓ２を画定する第２フィルター板４２と、を含み、フィルター孔５０は、Ｚ１方向に見て第１貫通孔６１の一部と第２貫通孔６２の一部とが重なる部分であり第１面Ｓ１から第２面Ｓ２に貫通する貫通部分５３と、Ｚ１方向に見て貫通部分５３に隣り合うとともに第２面Ｓ２から第１面Ｓ１に向かってフィルター部材４０の厚さＴの半分よりも凹む第１部分５１と、を含む。

【0084】

このような構成とすることで、第１貫通孔６１と第２貫通孔６２とが部分的に重なることでフィルター孔５０を小さくすることが可能となる。すなわちＺ１方向に見てフィルター孔５０の貫通部分５３は、第１貫通孔６１の開口面積よりも小さく、第２貫通孔６２の開口面積よりも小さい。このように、フィルター孔５０の実質的な目の大きさは、第１貫通孔６１や第２貫通孔６２よりも小さな貫通部分５３によって規定されることになる。したがって、第１貫通孔６１又は第２貫通孔６２のみでフィルター孔５０を構成した場合と比較して、より小さな異物や細長い長尺状の異物を捕捉することが可能となる。

【0085】

さらに、フィルター孔５０は第１部分５１を含んでいる。このような構成としたことで、フィルター孔５０を流通するインクの流れに対する断面積が第１部分５１によって拡張されることになるので、フィルター孔５０の流路抵抗の増加を抑制することができる。

【0086】

このように本実施形態の記録ヘッド２は、第１貫通孔６１と第２貫通孔６２とが部分的に重なることでフィルター孔５０の実質的な目の大きさを細かくしてインク中の異物をより確実に捕捉するとともに、フィルター孔５０に第１部分５１を設けることでフィルター孔５０の流路抵抗の増加を抑制してインクの圧力損失を抑制することができる。

【0087】

フィルター孔５０は、Ｚ１方向に見て貫通部分５３に隣り合うとともに第１面Ｓ１から第２面Ｓ２に向かってフィルター部材４０の厚さＴの半分よりも凹む第２部分５２を含み、貫通部分５３は、Ｚ１方向に直交するＸ１方向に関して第１部分５１と第２部分５２との間に配置されている。このような構成とすることで、第１部分５１から第２部分５２、もしくは第２部分５２から第１部分５１へのインクの流れが生じるので、圧力損失をより顕著に抑制することができる。

【0088】

第１フィルター板４１は、第１面Ｓ１とは反対側の第３面Ｓ３を画定し、第２フィルター板４２は、第２面Ｓ２とは反対側の第４面Ｓ４を画定し、第１フィルター板４１と第２フィルター板４２とは、第３面Ｓ３と第４面Ｓ４とが接触するようにして積層され、第１フィルター板４１の第３面Ｓ３には、Ｚ１方向に見て第１貫通孔６１に隣り合うとともに第２貫通孔６２に重なる第１凹部７１が形成されている。

【0089】

このような構成とすることで、第１凹部７１を有する第１フィルター板４１に第２フィルター板４２を積層することで第１部分５１を形成することができる。すなわち、フィルター部材４０に第１部分５１を形成するためには、第１凹部７１を有する第１フィルター板４１と、第２フィルター板４２とがあればよく、第１部分５１を形成するための別部材を要することがない。したがって部品点数を削減することができる。また、３枚以上のフィルター板を積層したフィルター部材の剛性と、第１フィルター板４１及び第２フィルター板４２を積層した本実施形態のフィルター部材４０の剛性とが同じであるとしたとき、本実施形態のフィルター部材４０はフィルター板の点数が少ない分、第１フィルター板４１及び第２フィルター板４２のそれぞれの剛性を高めることができる。

【0090】

第２フィルター板４２の第４面Ｓ４には、Ｚ１方向に見て第２貫通孔６２に隣り合うとともに第１貫通孔６１と重なる第２凹部７２が形成され、貫通部分５３は、Ｚ１方向に直交するＸ１方向に関して第１凹部７１と第２凹部７２との間に配置されている。

【0091】

このような構成とすることで、第１凹部７１を有する第１フィルター板４１と、第２凹部７２を有する第２フィルター板４２とを積層することで第１部分５１及び第２部分５２を形成することができる。すなわち、フィルター部材４０に第１部分５１及び第２部分５２を形成するためには、第１凹部７１を有する第１フィルター板４１と、第２凹部７２を有する第２フィルター板４２とがあればよく、第１部分５１及び第２部分５２を形成するための別部材を要することがない。したがって部品点数を削減することができる。また、３枚以上のフィルター板を積層したフィルター部材の剛性と、第１フィルター板４１及び第２フィルター板４２を積層した本実施形態のフィルター部材４０の剛性とが同じであるとしたとき、本実施形態のフィルター部材４０はフィルター板の点数が少ない分、第１フィルター板４１及び第２フィルター板４２のそれぞれの剛性を高めることができる。

【0092】

第１凹部７１の全ては、Ｚ１方向に見て、第２貫通孔６２に重なり、第２凹部７２の全ては、Ｚ１方向に見て、第１貫通孔６１に重なっている。

【0093】

仮に、第１凹部７１が第２貫通孔６２に重ならない場合、すなわち、Ｚ１方向に見て第１凹部７１が第２貫通孔６２よりも外側に延在されていると、第１凹部７１のうち第２貫通孔６２よりも外側に延在した部分が小さな隙間となり、その隙間に入り込んでしまった気泡が排出しにくくなる。第２凹部７２についても同様である。

【0094】

しかしながら、本実施形態では、第１凹部７１が第２貫通孔６２に重なり、第２凹部７２が第１貫通孔６１に重なることで小さな隙間が形成されなくなるので、フィルター孔５０から気泡を排出させやすくすることができる。また、Ｚ１方向にみた第１凹部７１は第２貫通孔６２よりも小さく、第２凹部７２は第１貫通孔６１よりも小さくなるため、第１凹部７１や第２凹部７２に気泡が滞留しにくくなる効果も奏する。

【0095】

第１貫通孔６１に内接する最大の内接円の直径Ｄ１は、ノズル２１に内接する最大の内接円の直径ＤＮよりも小さい。このような構成とすることで、ノズル２１を詰まらせるような異物を、フィルター孔５０でより確実に捕捉することができる。また、直径Ｄ１は直径ＤＮよりも小さいのでフィルター孔５０の目の大きさが小さくなり、フィルター部材４０の領域Ｒにおける単位面積当たりのフィルター孔５０の数を増やすことができ、インクの圧力損失をより一層低減することが可能となる。

【0096】

また、第２貫通孔６２に内接する最大の内接円の直径Ｄ２は、ノズル２１に内接する最大の内接円の直径ＤＮよりも小さい。このような構成とすることで、ノズル２１を詰まらせるような異物を、フィルター孔５０でより確実に捕捉することができる。また、直径Ｄ２は直径ＤＮよりも小さいのでフィルター孔５０の目の大きさが小さくなり、フィルター部材４０の領域Ｒにおける単位面積当たりのフィルター孔５０の数を増やすことができ、インクの圧力損失をより一層低減することが可能となる。

【0097】

貫通部分５３のＸ１方向に関する幅が最大となる位置で、フィルター部材４０をＺ１方向及びＸ２方向に沿って切断した断面において、第１凹部７１の底面ＢＳ１と第２凹部７２の底面ＢＳ２との最短距離Ｌ２は、第１貫通孔６１に内接する最大の内接円の直径Ｄ１よりも小さい。このような構成とすることで、直径Ｄ１よりも小さいが最短距離Ｌ２より大きいインク中の異物をフィルター孔５０で捕捉することができる。

【0098】

貫通部分５３のＸ１方向に関する幅が最大となる位置で、フィルター部材４０をＺ１方向及びＸ２方向に沿って切断した断面において、第１凹部７１の底面ＢＳ１と第２凹部７２の底面ＢＳ２との最短距離Ｌ２は、第２貫通孔６２に内接する最大の内接円の直径Ｄ２よりも小さい。このような構成とすることで、直径Ｄ２よりも小さいが最短距離Ｌ２より大きいインク中の異物をフィルター孔５０で捕捉することができる。

【0099】

第１凹部７１の底面ＢＳ１と第２凹部７２の底面ＢＳ２とのＺ１方向に関する距離Ｌ１は、貫通部分５３のＸ１方向に関する最大幅である距離Ｌ３よりも小さい。このような構成とすることで、第２部分５２から貫通部分５３へ流入しようとする異物を捕捉し易くすることができる。

【0100】

また、本実施形態に係るフィルター部材４０は、Ｚ１方向に複数のフィルター板が積層されて構成され、ノズル２１へ供給されるインクが通過する複数のフィルター孔５０を有するものであって、Ｚ方向に関して互いに反対方向であるＺ１方向及びＺ２方向を向く第１面Ｓ１及び第２面Ｓ２を含み、複数のフィルター板は、第１貫通孔６１が形成されるとともに第１面Ｓ１を画定する第１フィルター板４１と、第２貫通孔６２が形成されるとともに第２面Ｓ２を画定する第２フィルター板４２と、を含み、フィルター孔５０は、Ｚ１方向に見て第１貫通孔６１の一部と第２貫通孔６２の一部とが重なる部分であり第１面Ｓ１から第２面Ｓ２に貫通する貫通部分５３と、Ｚ１方向に見て貫通部分５３に隣り合うとともに第２面Ｓ２から第１面Ｓ１に向かってフィルター部材４０の厚さの半分よりも凹む第１部分５１と、を含む。

【0101】

このような構成とすることで、第１貫通孔６１と第２貫通孔６２とが部分的に重なることでフィルター孔５０の実質的な目の大きさを細かくしてインク中の異物をより確実に捕捉するとともに、フィルター孔５０に第１部分５１を設けることでフィルター孔５０の流路抵抗の増加を抑制してインクの圧力損失を抑制することができるフィルター部材４０が提供される。

【0102】

また、本実施形態においては、フィルター部材４０は記録ヘッド２の連通板１５とケース部材１００との間に挟まれた構成を例示したが、このような構成に限定されない。フィルター部材４０は、インクが流通する任意の位置に設けることができる。つまり、フィルター部材４０は、記録ヘッド２の外部に設けられていてもよく、具体的には記録ヘッド２と液体容器３との間に設けられたフィルターユニットの一部として設けられていてもよい。

【0103】

このような場合、記録装置１は、インクを噴射するノズル２１を有する記録ヘッド２と、Ｚ１方向に複数のフィルター板が積層されて構成されたフィルター部材４０であって、ノズル２１へ供給されるインクが通過する複数のフィルター孔５０を有するフィルター部材４０と、を備え、フィルター部材４０は、Ｚ方向に関して互いに反対方向であるＺ１方向及びＺ２方向を向く第１面Ｓ１及び第２面Ｓ２を含み、複数のフィルター板は、第１貫通孔６１が形成されるとともに第１面Ｓ１を画定する第１フィルター板４１と、第２貫通孔６２が形成されるとともに第２面Ｓ２を画定する第２フィルター板４２と、を含み、フィルター孔５０は、Ｚ１方向に見て第１貫通孔６１の一部と第２貫通孔６２の一部とが重なる部分であり第１面Ｓ１から第２面Ｓ２に貫通する貫通部分５３と、Ｚ１方向に見て貫通部分５３に隣り合うとともに第２面Ｓ２から第１面Ｓ１に向かってフィルター部材４０の厚さＴの半分よりも凹む第１部分５１と、を含む。

【0104】

このような構成とすることで、第１貫通孔６１と第２貫通孔６２とが部分的に重なることでフィルター孔５０の実質的な目の大きさを細かくしてインク中の異物をより確実に捕捉するとともに、フィルター孔５０に第１部分５１を設けることでフィルター孔５０の流路抵抗の増加を抑制してインクの圧力損失を抑制した記録装置１が提供される。

【0105】

〈実施形態２〉
図８はフィルター部材４０を構成する第１フィルター板４１及び第２フィルター板４２を接合する前の状態を示す斜視図である。図９はフィルター部材４０を構成する第１フィルター板４１及び第２フィルター板４２を接合した後の状態を示す斜視図である。図１０はフィルター部材４０の平面図及び断面図である。図８及び図９は、フィルター部材４０に設けられた一つのフィルター孔５０とその周辺を拡大した図である。実施形態１と同一の部材には同一符号を付し、重複する説明は省略する。

【0106】

本実施形態のフィルター部材４０は、第１フィルター板４１に第１貫通孔６１が形成され、第２フィルター板４２に第２貫通孔６２が形成されている。これらの第１貫通孔６１及び第２貫通孔６２は、実施形態１と同様に円形状となっている。

【0107】

フィルター孔５０は、第１部分５１、第２部分５２及び貫通部分５３を含んで構成されている。フィルター孔５０は、第１方向であるＺ１方向に直交する第２方向であるＸ１方向に関して、貫通部分５３が第１部分５１と第２部分５２との間に配置されている。

【0108】

【0109】

第１部分５１は、フィルター孔５０をＺ１方向に見て貫通部分５３に隣り合うとともに第２面Ｓ２から第１面Ｓ１に向かってフィルター部材４０の厚さＴの半分よりも凹む部分である。本実施形態では、第１部分５１は、貫通部分５３のＸ２方向側に隣り合った部分であって、第２貫通孔６２のうち貫通部分５３以外の部分と、後述する第１凹部７１とから構成される部分である。第１部分５１は、フィルター部材４０の厚さＴの半分よりも第１凹部７１の厚さの分だけ凹んでいる。

【0110】

第２部分５２は、フィルター孔５０をＺ１方向に見て貫通部分５３に隣り合うとともに第１面Ｓ１から第２面Ｓ２に向かってフィルター部材４０の厚さＴの半分よりも凹む部分である。本実施形態では、第２部分５２は、貫通部分５３のＸ１方向側に隣り合った部分であって、第１貫通孔６１のうち貫通部分５３以外の部分と、後述する第２凹部７２とから構成される部分である。第２部分５２は、フィルター部材４０の厚さＴの半分よりも第２凹部７２の厚さの分だけ凹んでいる。

【0111】

第１凹部７１は、第１フィルター板４１に形成されている。具体的には、第１フィルター板４１の第３面Ｓ３には、第１方向であるＺ１方向に見て第１貫通孔６１に隣り合うとともに第２貫通孔６２に重なる第１凹部７１が形成されている。本実施形態では、Ｚ１方向に見て、Ｙ方向における第１凹部７１の幅が第１貫通孔６１の幅と同じになるように形成されている。また、Ｚ１方向に見て、第１凹部７１は、第１貫通孔６１との境界からＸ２方向に向けて延在しており、Ｘ１方向側の端部が第１貫通孔６１の円弧に一致するように弧状に形成され、且つ、Ｘ２方向側の端部が第２貫通孔６２の円弧に一致するように弧状に形成されている。

【0112】

第２凹部７２は、第２フィルター板４２に形成されている。具体的には、第２フィルター板４２の第４面Ｓ４には、第１方向であるＺ１方向に見て第２貫通孔６２に隣り合うとともに第１貫通孔６１に重なる第２凹部７２が形成されている。本実施形態では、Ｚ１方向に見て、Ｙ方向における第２凹部７２の幅が第２貫通孔６２の幅と同じになるように形成されている。また、Ｚ１方向に見て、第２凹部７２は、第２貫通孔６２との境界からＸ１方向に向けて延在しており、Ｘ２方向側の端部が第２貫通孔６２の円弧に一致するように弧状に形成され、且つ、Ｘ１方向側の端部が第１貫通孔６１の円弧に一致するように弧状に形成されている。なお、本実施形態では第２凹部７２は、Ｚ１方向にみた平面視においてＹ方向について第１凹部７１の鏡像となるような形状としてあるがこのような形状に限定されない。

【0113】

本実施形態の第１凹部７１は、Ｚ１方向に見て、全体が第２貫通孔６２に重なっていない。具体的には、第１凹部７１のうち、第２貫通孔６２との境界部分のＹ１方向及びＹ２方向の端部においては、第２貫通孔６２に重なっていない隙間Ｖとなっている。同様に、第２凹部７２も、Ｚ１方向に見て、全体が第１貫通孔６１に重なっていない。具体的には、第２凹部７２のうち、第１貫通孔６１との境界部分のＹ１方向及びＹ２方向の端部においては、第１貫通孔６１に重なっていない隙間Ｖとなっている。隙間Ｖは、Ｚ方向に見て、第１凹部７１と第２凹部７２とが重なっている部分である。つまり、隙間Ｖは、第１凹部７１の底面ＢＳ１と第２凹部７２の底面ＢＳ２とに挟まれた隙間である。

【0114】

第１フィルター板４１と第２フィルター板４２とが積層されることで、第１貫通孔６１及び第２貫通孔６２のそれぞれの一部が重なって貫通部分５３が形成される。また、第１凹部７１と第２貫通孔６２の貫通部分５３以外の部分とから第１部分５１が形成される。第２凹部７２と第１貫通孔６１の貫通部分５３以外の部分とから第２部分５２が形成される。第２方向であるＸ１方向における第１凹部７１と第２凹部７２との間に貫通部分５３が配置されたフィルター孔５０が形成される。

【0115】

【0116】

【0117】

また、フィルター孔５０は、フィルター部材４０のマニホールド１３０に対向する領域Ｒに複数形成されるが、個々のフィルター孔５０はそれぞれ形状が異なっていてもよい。領域Ｒに形成された複数のフィルター孔５０は、全て同一形状のものを図示したが、これに限定されずそれぞれ異なる形状であってもよい。

【0118】

【0119】

【0120】

【0121】

本実施形態では、第１貫通孔６１及び第２貫通孔６２は円形状であり、Ｘ方向にずれて重なって貫通部分５３が形成されている。したがって、貫通部分５３のＸ１方向に関する幅が最大となる位置は、Ｚ２方向に見た平面視にて、貫通部分５３のＹ方向における中心位置になる。当該中心位置で、Ｚ１方向及びＸ１方向に沿って切断した断面は図１０のＣ－Ｃ線断面となっている。このような断面において、第１凹部７１の底面ＢＳ１と第２凹部７２の底面ＢＳ２の最も近い点同士を結んだ長さが最短距離Ｌ２となっている。

【0122】

【0123】

第１凹部７１の底面ＢＳ１と第２凹部７２の底面ＢＳ２とのＺ１方向に関する距離をＬ１とする。本実施形態では、図１０のＣ－Ｃ線断面図に示すように、距離Ｌ１は、第１凹部７１の底面ＢＳ１と第２凹部７２の底面ＢＳ２とのＺ１方向に関する距離である。第１凹部７１の底面ＢＳ１や第２凹部７２の底面ＢＳ２が平坦ではない場合は、第１凹部７１の底面ＢＳ１と第２凹部７２の底面ＢＳ２とのＺ１方向に関する最大の距離をＬ１とする。また、貫通部分５３のＸ１方向に関する最大幅をＬ３とする。

【0124】

距離Ｌ１は、距離Ｌ３よりも小さい。このように距離Ｌ１を距離Ｌ３よりも小さくすることで、第２部分５２側から貫通部分５３側へ流入しようとする異物を捕捉し易くすることができる。

【0125】

実施形態１に係る記録ヘッド２は、第１凹部７１の全ては、Ｚ１方向に見て、第２貫通孔６２に重なっており、第２凹部７２の全ては、Ｚ１方向に見て、第１貫通孔６１に重なっている。一方、本実施形態に係る記録ヘッド２は、第１凹部７１の全ては、Ｚ１方向に見て、第２貫通孔６２に重なっておらず、第２凹部７２の全ては、Ｚ１方向に見て、第１貫通孔６１に重なっておらず、第１凹部７１の一部及び第２凹部７２の一部が隙間Ｖとなっている。

【0126】

本実施形態の記録ヘッド２は、このような小さな隙間Ｖにより気泡が若干排出しにくくなるものの、それ以外の作用効果については実施形態１の記録ヘッド２と同様の作用効果を奏する。

【0127】

〈実施形態３〉
図１１はフィルター部材４０を構成する第１フィルター板４１、第２フィルター板４２及び第３フィルター板４３を接合する前の状態を示す斜視図である。図１２はフィルター部材４０の平面図及び断面図である。図１１は、フィルター部材４０に設けられた一つのフィルター孔５０とその周辺を拡大した図である。実施形態１と同一の部材には同一符号を付し、重複する説明は省略する。

【0128】

フィルター部材４０は、複数のフィルター板として第１方向に第２フィルター板４２と、第３フィルター板４３と、第１フィルター板４１がこの順で積層されて構成され、インクが通過する複数のフィルター孔５０を有する部材である。また、フィルター部材４０は、第１方向であるＺ１方向を向く第１面Ｓ１及び第１方向とは反対のＺ２方向を向く第２面Ｓ２を含む。第１フィルター板４１と第２フィルター板４２と第３フィルター板４３とは、接着剤による接着又は接合によって一体化されている。本実施形態では接合によって、それらを一体化している。

【0129】

第３フィルター板４３は、第３貫通孔６３が形成されるとともに第１フィルター板４１と第２フィルター板４２との間に挟まれた部材である。また、第３フィルター板４３は、第１フィルター板４１の第３面Ｓ３に接合される第５面Ｓ５と、第２フィルター板４２の第４面Ｓ４に接合される第６面Ｓ６を有する。

【0130】

第３フィルター板４３は、第１フィルター板４１及び第２フィルター板４２と同様に、図２に示したように開口部４５が設けられたＸ方向に長尺な枠状に形成されている。例えば、ＳＵＳでＸ方向に長尺であり、Ｚ方向に貫通した開口部４５を有する枠状の部材を形成し、その部材の表面にＮｉ－Ｐｄ合金めっきを設けることで第３フィルター板４３を形成することができる。

【0131】

本実施形態のフィルター部材４０は、第１フィルター板４１に複数の第１貫通孔６１が形成され、第２フィルター板４２に複数の第２貫通孔６２が形成されている。これらの第１貫通孔６１及び第２貫通孔６２は、実施形態１と同様に円形状となっている。

【0132】

第３フィルター板４３は、Ｚ方向に貫通した複数の第３貫通孔６３を有する。第３貫通孔６３は、Ｚ１方向に見て、第１貫通孔６１及び第２貫通孔６２と重なる部分である第３貫通部６３Ｃと、第２貫通孔６２と重なるが第１貫通孔と重ならない部分である第１貫通部６３Ａと、第１貫通孔６１と重なるが第２貫通孔６２と重ならない部分である第２貫通部６３Ｂと、を有する。第１貫通部６３Ａは第１部分５１の一部であり、第２貫通部６３Ｂは第２部分５２の一部であり、第３貫通部６３Ｃは貫通部分５３の一部である。第３貫通孔６３は、Ｚ１方向に見た形状について特に限定はないが、本実施形態では長方形状を基本として長手方向であるＸ方向の両端部を半円状とした角丸長方形となっている。

【0133】

第１貫通部６３Ａは、第３貫通孔６３のうち貫通部分５３に対して第２方向の一方側であるＸ２方向側の部分に相当する。第２貫通部６３Ｂは、第３貫通孔６３のうち貫通部分５３に対して第２方向の他方側であるＸ１方向側の部分に相当する。

【0134】

また、第１貫通部６３Ａの全ては、Ｚ１方向に見て第２貫通孔６２に重なっている。第２貫通部６３Ｂの全ては、Ｚ１方向に見て第１貫通孔６１に重なっている。もちろん、第１貫通部６３Ａの全てがＺ１方向に見て第２貫通孔６２に重なっていなくてもよく、第２貫通孔６２よりも外側に向けて延在していてもよい。同様に、第２貫通部６３Ｂの全てがＺ１方向に見て第１貫通孔６１に重なっていなくてもよく、第１貫通孔６１よりも外側に向けて延在していてもよい。

【0135】

【0136】

貫通部分５３は、第１貫通孔６１及び第２貫通孔６２のそれぞれの一部と、第３貫通部６３Ｃとが重なって形成されている。具体的には、第１フィルター板４１と第２フィルター板４２と第３フィルター板４３とが積層されたフィルター部材４０は、Ｚ１方向に見た平面視にて第１貫通孔６１と第２貫通孔６２とは完全には重ならず一部が重なる。さらに、第１貫通孔６１と第２貫通孔６２とが重なった一部に、第３フィルター板４３の第３貫通孔６３の第３貫通部６３Ｃが重なって貫通部分５３が形成されている。このようにＺ１方向に見て第１貫通孔６１の一部と第２貫通孔６２の一部と、第３貫通部６３Ｃが重なった部分は、フィルター部材４０の第１面Ｓ１から第２面Ｓ２に貫通する貫通部分５３となっている。

【0137】

第１部分５１は、フィルター孔５０をＺ１方向に見て貫通部分５３に隣り合うとともに第２面Ｓ２から第１面Ｓ１に向かってフィルター部材４０の厚さＴの半分よりも凹む部分である。本実施形態では、Ｚ１方向に見て、第１部分５１は、貫通部分５３のＸ２方向側に隣り合った部分であって、第３貫通孔６３のうち第３貫通部６３ＣよりもＸ２方向側の第１貫通部６３Ａと、第２貫通孔６２のうち貫通部分５３以外の部分であって第１貫通部６３Ａと重なる部分とから構成される部分である。第１部分５１は、フィルター部材４０の厚さＴの半分よりも凹んでいる。

【0138】

第２部分５２は、フィルター孔５０をＺ１方向に見て貫通部分５３に隣り合うとともに第１面Ｓ１から第２面Ｓ２に向かってフィルター部材４０の厚さＴの半分よりも凹む部分である。本実施形態では、Ｚ１方向に見て、第２部分５２は、貫通部分５３のＸ１方向側に隣り合った部分であって、第３貫通孔６３のうち第３貫通部６３ＣよりもＸ１側の第２貫通部６３Ｂと、第１貫通孔６１のうち貫通部分５３以外の部分であって第２貫通部６３Ｂと重なる部分と、から構成される部分である。第２部分５２は、フィルター部材４０の厚さＴの半分よりも凹んでいる。

【0139】

第１フィルター板４１と第２フィルター板４２と第３フィルター板４３とが積層されることで、第１貫通孔６１及び第２貫通孔６２のそれぞれの一部と、第３貫通部６３Ｃとが重なって貫通部分５３が形成される。また、第１貫通部６３Ａと第２貫通孔６２の貫通部分５３以外の部分であって第１貫通部６３Ａと重なる部分とから第１部分５１が形成される。第２貫通部６３Ｂと第１貫通孔６１の貫通部分５３以外の部分であって第２貫通部６３Ｂと重なる部分とから第２部分５２が形成される。第２方向であるＸ１方向における第１部分５１と第２部分５２との間に貫通部分５３が配置されたフィルター孔５０が形成される。

【0140】

本実施形態の１つのフィルター孔５０は、互いに連通する、１つの第１貫通孔６１、１つの第２貫通孔６２、１つの第３貫通孔６３によって画定されている。しかしながら、このように各貫通孔が１対１対１で構成されたフィルター孔５０に限定されない。

【0141】

例えば、フィルター孔５０は、１つの第３貫通孔６３が複数の第１貫通孔６１にそれぞれ連通していてもよいし、１つの第３貫通孔６３が複数の第２貫通孔６２にそれぞれ連通していてもよい。他にも、１つの第１貫通孔６１が複数の第３貫通孔６３に連通していてもよしし、１つの第２貫通孔６２が複数の第３貫通孔６３に連通してもよい。このように一つの貫通孔が他の複数の貫通孔に共通していてもよい。

【0142】

また、フィルター孔５０は、フィルター部材４０のマニホールド１３０に対向する領域Ｒに複数形成され、全て同一形状のものを図示したが、個々のフィルター孔５０はそれぞれ形状が異なっていてもよい。

【0143】

【0144】

【0145】

第１部分５１の底面ＢＳ１と第２部分５２の底面ＢＳ２との最短距離をＬ２とする。最短距離Ｌ２は、貫通部分５３のＸ１方向に関する幅が最大となる位置で、フィルター部材４０をＺ１方向及びＸ２方向に沿って切断した断面における、第１部分５１の底面ＢＳ１と第２部分５２の底面ＢＳ２との最短距離をいう。第１部分５１の底面ＢＳ１は、第１フィルター板４１の第３面Ｓ３のうち第１部分５１を画定する部分に相当する。同様に、第２部分５２の底面ＢＳ２は、第２フィルター板４２の第４面Ｓ４のうち第２部分５２を画定する部分に相当する。

【0146】

本実施形態では、第１貫通孔６１及び第２貫通孔６２は円形状であり、第１貫通孔６１及び第２貫通孔６２がＸ方向にずれて重なった部分の一部によって貫通部分５３が形成されている。したがって、貫通部分５３のＸ１方向に関する幅が最大となる位置は、Ｚ２方向に見た平面視にて、貫通部分５３のＹ方向における中心位置になる。当該中心位置で、Ｚ１方向及びＸ１方向に沿って切断した断面は図１２のＤ－Ｄ線断面となっている。このような断面において、第１部分５１の底面ＢＳ１と第２部分５２の底面ＢＳ２の最も近い点同士を結んだ長さが最短距離Ｌ２となっている。

【0147】

【0148】

第３貫通孔６３のＺ１方向に関する寸法を距離Ｌ１と称する。この距離Ｌ１は、換言すれば、第３フィルター板４３のＺ１方向に関する厚さＴ３である。距離Ｌ１は、貫通部分５３のＸ１方向に関する最大幅である距離Ｌ３よりも小さい。このように距離Ｌ１を距離Ｌ３よりも小さくすることで、第２部分５２から貫通部分５３へ流入しようとする異物を捕捉し易くすることができる。

【0149】

【0150】

このような構成とすることで、実施形態１の記録ヘッド２と同様の効果を奏する。

【0151】

さらに、フィルター部材４０は、第３貫通孔６３が形成されるとともに第１フィルター板４１と第２フィルター板４２との間に挟まれた第３フィルター板４３を更に含み、第３貫通孔６３は、Ｚ１方向に見て、第１貫通孔６１及び第２貫通孔６２と重なる部分である第３貫通部６３Ｃと、第２貫通孔６２と重なるが第１貫通孔６１と重ならない部分である第１貫通部６３Ａと、第１貫通孔６１と重なるが第２貫通孔６２と重ならない部分である第２貫通部６３Ｂと、を有する。

【0152】

このような構成とすることで、実施形態１の記録ヘッド２と同様の効果を奏する。

【0153】

さらに、フィルター部材４０は、それぞれ貫通孔のみが形成された３枚の第１フィルター板４１、第２フィルター板４２、及び第３フィルター板４３を積層することで構成されている。したがって、それぞれのフィルター板には貫通孔のみを形成すればよいのでフィルター板を製造しやすいという効果を奏する。

【0154】

第３フィルター板４３の厚さは、第１フィルター板４１の厚さ及び第２フィルター板４２の厚さよりも厚い。このような構成とすることで第３フィルター板４３の剛性を高くすることができる。特に、フィルター孔５０を通過するインクの圧力損失を低減する為に、Ｚ１方向に見て、第３貫通孔６３が、第１貫通孔６１および第２貫通孔６２のそれぞれよりも大きい場合には、第３フィルター板４３の剛性が第１フィルター板４１及び第２フィルター板４２に比べて低下しやすくなるが、第３フィルター板４３の厚さＴ３を第１フィルター板４１の厚さＴ１及び第２フィルター板４２の厚さＴ２よりも厚くすることで、第３フィルター板４３の剛性の低下を抑制することができる。なお、本実施形態のように、Ｚ１方向に見て、第１貫通孔６１および第２貫通孔６２のそれぞれが、第３貫通孔６３よりも大きい場合には、第１フィルター板４１及び第２フィルター板４２の剛性を向上させるために、第１フィルター板４１の厚さＴ１及び第２フィルター板４２の厚さＴ２のそれぞれを、第３フィルター板４３の厚さＴ３よりも厚くしても構わない。但し、この場合でも、フィルター孔５０を通過するインクの圧力損失を低減する為、換言すれば、距離Ｌ１を大きくする為に、第３フィルター板４３の厚さＴ３を第１フィルター板４１の厚さＴ１及び第２フィルター板４２の厚さＴ２よりも厚くしても構わない。

【0155】

１つのフィルター孔５０は、互いに連通する、１つの第１貫通孔６１、１つの第２貫通孔６２及び１つの第３貫通孔６３によって画定されている。このような構成とすることで、フィルター孔５０同士に隔壁が設けられることになるので、例えば、第３貫通孔６３が複数の第１貫通孔６１及び複数の第２貫通孔６２に共通である構成と比べて剛性を高めることが出来る。

【0156】

第３貫通孔６３のうち貫通部分５３に対してＸ方向の一方側の部分である第１貫通部６３Ａの全ては、Ｚ１方向に見て、第２貫通孔６２に重なり、第３貫通孔６３のうち貫通部分５３に対してＸ方向の他方側の部分である第２貫通部６３Ｂの全ては、Ｚ１方向に見て、第１貫通孔６１に重なる。

【0157】

このような構成とすることで、第１貫通部６３Ａが第２貫通孔６２に重なり、第２貫通部６３Ｂが第１貫通孔６１に重なることで、実施形態２の図１０に示したような小さな隙間Ｖが形成されなくなるので、気泡を排出させやすくすることができる。また、Ｚ１方向にみた第１貫通部６３Ａは第２貫通孔６２よりも小さく、第２貫通部６３Ｂは第１貫通孔６１よりも小さくなるため、第１貫通部６３Ａや第２貫通部６３Ｂに気泡が滞留しにくくなる効果を奏する。

【0158】

第１貫通孔６１に内接する最大の内接円の直径Ｄ１は、ノズル２１に内接する最大の内接円の直径ＤＮよりも小さい。このような構成とすることで、実施形態１の記録ヘッド２と同様の効果を奏する。

【0159】

また、第２貫通孔６２に内接する最大の内接円の直径Ｄ２は、ノズル２１に内接する最大の内接円の直径ＤＮよりも小さい。このような構成とすることで、実施形態１の記録ヘッド２と同様の効果を奏する。

【0160】

貫通部分５３のＸ１方向に関する幅が最大となる位置で、フィルター部材４０をＺ１方向及びＸ２方向に沿って切断した断面において、第１部分５１の底面ＢＳ１と第２部分５２の底面ＢＳ２との最短距離Ｌ２は、第１貫通孔６１に内接する最大の内接円の直径Ｄ１よりも小さい。このような構成とすることで、直径Ｄ１よりも小さいが最短距離Ｌ２より大きいインク中の異物をフィルター孔５０で捕捉することができる。

【0161】

貫通部分５３のＸ１方向に関する幅が最大となる位置で、フィルター部材４０をＺ１方向及びＸ２方向に沿って切断した断面において、第１部分５１の底面ＢＳ１と第２部分５２の底面ＢＳ２との最短距離Ｌ２は、第２貫通孔６２に内接する最大の内接円の直径Ｄ２よりも小さい。このような構成とすることで、直径Ｄ２よりも小さいが最短距離Ｌ２より大きいインク中の異物をフィルター孔５０で捕捉することができる。

【0162】

第３貫通孔６３のＺ１方向に関する寸法である距離Ｌ１は、貫通部分５３のＸ１方向に関する最大幅である距離Ｌ３よりも小さい。このような構成とすることで、第２部分５２から貫通部分５３へ流入しようとする異物を捕捉し易くすることができる。

【0163】

〈実施形態４〉
図１３はフィルター部材４０を構成する第１フィルター板４１の平面図である。図１４はフィルター部材４０を構成する第２フィルター板４２の平面図である。図１５はフィルター孔５０の平面図である。図１６は図１５のＥ－Ｅ線断面図である。図１７は図１５のＦ－Ｆ線断面図である。図１３から図１５は、フィルター部材４０に設けられた一つのフィルター孔５０とその周辺を拡大した図である。図１５については貫通部分５３、第１部分５１、第２部分５２にハッチングを付してある。実施形態１と同一の部材には同一符号を付し、重複する説明は省略する。

【0164】

本実施形態のフィルター部材４０は、複数のフィルター板としてＺ１方向に第２フィルター板４２と第１フィルター板４１がこの順で積層されて構成され、インクが通過する複数のフィルター孔５０を有する部材である。また、フィルター部材４０は、第１方向であるＺ１方向を向く第１面Ｓ１及び第１方向とは反対のＺ２方向を向く第２面Ｓ２を含む。

【0165】

【0166】

【0167】

第１フィルター板４１は、Ｚ１方向に見た平面視にてマニホールド１３０に対向する領域Ｒに、Ｚ方向に貫通した複数の第１貫通孔６１が形成されている。本実施形態の第１貫通孔６１は、同じ半径の円形状をＹ方向に中心をずらして重ねた形状となっている。

【0168】

第２フィルター板４２は、Ｚ１方向に見た平面視にてマニホールド１３０に対向する領域Ｒに、Ｚ方向に貫通した複数の第２貫通孔６２が形成されている。本実施形態の第２貫通孔６２は、同じ半径の円形状をＸ方向に中心をずらして重ねた形状となっている。

【0169】

【0170】

フィルター孔５０は、第１部分５１、第２部分５２及び貫通部分５３を含んで構成されている。フィルター孔５０は、貫通部分５３が第１部分５１と第２部分５２とに囲まれるようにして配置されている。

【0171】

貫通部分５３は、第１貫通孔６１及び第２貫通孔６２が重なって形成されている。具体的には、第１フィルター板４１と第２フィルター板４２とが積層されたフィルター部材４０は、Ｚ１方向に見た平面視にて第１貫通孔６１と第２貫通孔６２とは完全には重ならず一部が重なる。このようにＺ１方向に見て第１貫通孔の一部と第２貫通孔６２の一部とが重なった部分は、フィルター部材４０の第１面Ｓ１から第２面Ｓ２に貫通する貫通部分５３となっている。

【0172】

第１部分５１は、フィルター孔５０をＺ１方向に見て貫通部分５３に隣り合うとともに第２面Ｓ２から第１面Ｓ１に向かってフィルター部材４０の厚さの半分よりも凹む部分である。本実施形態では、第１部分５１は、貫通部分５３のＸ１方向側とＸ２方向側の双方に隣り合った部分であって、第２貫通孔６２のうち貫通部分５３以外の部分と、第１凹部７１とから構成される部分である。第１部分５１は、フィルター部材４０の厚さの半分よりも第１凹部７１の厚さの分だけ凹んでいる。

【0173】

第２部分５２は、フィルター孔５０をＺ１方向に見て貫通部分５３に隣り合うとともに第１面Ｓ１から第２面Ｓ２に向かってフィルター部材４０の厚さの半分よりも凹む部分である。本実施形態では、第２部分５２は、貫通部分５３のＹ１方向側とＹ２方向側の双方に隣り合った部分であって、第１貫通孔６１のうち貫通部分５３以外の部分と、第２凹部７２とから構成される部分である。第２部分５２は、フィルター部材４０の厚さの半分よりも第２凹部７２の厚さの分だけ凹んでいる。

【0174】

第１凹部７１は、第１フィルター板４１に形成されている。具体的には、第１フィルター板４１の第３面Ｓ３には、第１方向であるＺ１方向に見て第１貫通孔６１に隣り合うとともに第２貫通孔６２に重なる第１凹部７１が形成されている。第１凹部７１は、貫通部分５３よりもＸ１方向側に１つ、Ｘ２方向側に１つ形成されている。また、Ｚ１方向に見て、Ｙ方向における第１凹部７１の幅が第１貫通孔６１の幅よりも狭く形成されている。さらに、Ｘ１方向側の第１凹部７１は、第１貫通孔６１との境界からＸ１方向に向けて延在しており、Ｘ１方向側の端部が第２貫通孔６２の円弧に一致するよう弧状に形成されている。同様に、Ｘ２方向側の第１凹部７１は、第１貫通孔６１との境界からＸ２方向に向けて延在しており、Ｘ２方向側の端部が第２貫通孔６２の円弧に一致するよう弧状に形成されている。なお、本実施形態では２つの第１凹部７１は、Ｚ１方向にみた平面視においてＹ方向について鏡像となるような形状としてあるがこのような形状に限定されない。

【0175】

第２凹部７２は、第２フィルター板４２に形成されている。具体的には、第２フィルター板４２の第４面Ｓ４には、第１方向であるＺ１方向に見て第２貫通孔６２に隣り合うとともに第１貫通孔６１に重なる第２凹部７２が形成されている。第２凹部７２は、貫通部分５３よりもＹ１方向側に１つ、Ｙ２方向側に１つ形成されている。また、Ｚ１方向に見て、Ｘ方向における第２凹部７２の幅が第２貫通孔６２の幅よりも狭く形成されている。さらに、Ｙ１方向側の第２凹部７２は、第２貫通孔６２との境界からＹ１方向に向けて延在しており、Ｙ１方向側の端部が第１貫通孔６１に接するよう弧状に形成されている。Ｙ２方向側の第２凹部７２は、第２貫通孔６２との境界からＹ２方向に向けて延在しており、Ｙ２方向側の端部が第１貫通孔６１に接するよう弧状に形成されている。なお、本実施形態では２つの第２凹部７２は、Ｚ１方向にみた平面視においてＸ方向について鏡像となるような形状としてあるがこのような形状に限定されない。

【0176】

【0177】

第１フィルター板４１と第２フィルター板４２とは、第３面Ｓ３と第４面Ｓ４とが接触するようにして積層されている。第１フィルター板４１と第２フィルター板４２とは、接着剤による接着又は接合によって一体化されている。

【0178】

第１フィルター板４１と第２フィルター板４２とが積層されることで、第１貫通孔６１及び第２貫通孔６２のそれぞれの一部が重なって貫通部分５３が形成される。また、第１凹部７１と第２貫通孔６２の貫通部分５３以外の部分とから第１部分５１が形成される。第２凹部７２と第１貫通孔６１の貫通部分５３以外の部分とから第２部分５２が形成される。このようにしてＸ１方向においては２つの第１凹部７１の間に、Ｙ１方向においては２つの第２凹部７２の間に貫通部分５３が配置されたフィルター孔５０が形成される。

【0179】

本実施形態のフィルター孔５０は、互いに連通する、１つの第１貫通孔６１、１つの第２貫通孔６２によって画定されている。

【0180】

なお、フィルター孔５０は、フィルター部材４０のマニホールド１３０に対向する領域Ｒに複数形成されるが、個々のフィルター孔５０はそれぞれ形状が異なっていてもよい。領域Ｒに形成された複数のフィルター孔５０は、全て同一形状のものを図示したが、これに限定されずそれぞれ異なる形状であってもよい。

【0181】

Ｚ２方向に見て、第１貫通孔６１に内接する最大の内接円の直径をＤ１とする。本実施形態では第１貫通孔６１は同じ半径の２つの円形状をＹ方向に中心をずらして重ねた形状である。したがって、最大の内接円Ｃ１は、元の円形状のうちの一つと同形状となり、その円形状の直径が第１貫通孔６１に内接する最大の内接円の直径Ｄ１となる。

【0182】

Ｚ１方向に見て、第２貫通孔６２に内接する最大の内接円の直径をＤ２とする。本実施形態では第２貫通孔６２は同じ半径の２つの円形状をＸ方向に中心をずらして重ねた形状である。したがって、最大の内接円Ｃ２は、元の円形状のうちの一つと同形状となり、その円形状の直径が第２貫通孔６２に内接する最大の内接円の直径Ｄ２となる。

【0183】

本実施形態では、円形状以外の第１貫通孔６１及び第２貫通孔６２として、２つの円形状を重ねた形状を例示したが、これに限定されない。第１貫通孔６１及び第２貫通孔６２は、矩形や楕円形など、最大の内接円を規定できる任意の開口形状とすることができる。

【0184】

また、Ｚ１方向に見て、不図示のノズル２１に内接する最大の内接円の直径をＤＮとする。なお、ノズル２１についてもＺ１方向にみた形状が円形に限定されず、最大の内接円を規定できる任意の開口形状とすることができる。

【0185】

【0186】

第１凹部７１のＢＳ１底面と第２凹部７２の底面ＢＳ２とのＺ１方向に関する距離をＬ１とする。本実施形態では、図１６のＥ－Ｅ線断面図に示すように、距離Ｌ１は、第１凹部７１の底面ＢＳ１と第２凹部７２の底面ＢＳ２とのＺ１方向に関する距離である。第１凹部７１の底面ＢＳ１や第２凹部７２の底面ＢＳ２が平坦ではない場合は、第１凹部７１の底面ＢＳ１と第２凹部７２の底面ＢＳ２とのＺ１方向に関する最大の距離をＬ１とする。また、貫通部分５３の最大幅をＬ３とする。本実施形態ではＸ１方向に関する幅とＹ１方向に関する幅が同じであり、最大幅となっている。

【0187】

距離Ｌ１は、距離Ｌ３よりも小さい。このように距離Ｌ１を距離Ｌ３よりも小さくすることで、図１７の矢印Ｇに示すように、第２部分５２から貫通部分５３へ流入しようとする異物を捕捉し易くすることができる。

【0188】

以上のように本実施形態に係る記録ヘッド２は、第１貫通孔６１及び第２貫通孔６２が円形状でない点で実施形態１に係る記録ヘッド２と相違するものの、実施形態１の記録ヘッド２と同様の作用効果を奏する。

【0189】

〈他の実施形態〉

【0190】

上記実施形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッドを対象としたものであり、インク以外の液体を吐出する液体噴射ヘッドにも適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置にも適用できる。

【0191】

上記実施形態において、圧力室に圧力変化を生じさせる駆動素子として圧電アクチュエーターを用いて説明したが、特にこれに限定されない。例えば、駆動素子として、圧力室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズルからインク滴を吐出させるものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルからインク滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。

【0192】

なお、本発明は前記実施形態に限られるものでないことは言うまでもない。当業者であれば言うまでもないことであるが、
・前記実施形態の中で開示した相互に置換可能な部材および構成等を適宜その組み合わせを変更して適用すること
・前記実施例の中で開示されていないが、公知技術であって前記実施形態の中で開示した部材および構成等と相互に置換可能な部材および構成等を適宜置換し、またその組み合わせを変更して適用すること
・前記実施形態の中で開示されていないが、公知技術等に基づいて当業者が前記実施形態の中で開示した部材および構成等の代用として想定し得る部材および構成等と適宜置換し、またその組み合わせを変更して適用すること
は本発明の一実施形態として開示されるものである。

【0193】

（付記）
以上に例示した形態から、例えば以下の構成が把握される。

【0194】

好適な態様である態様１に係る液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズルと、第１方向に複数のフィルター板が積層されて構成されたフィルター部材であって、前記ノズルへ供給される液体が通過する複数のフィルター孔を有するフィルター部材と、を備え、前記フィルター部材は、前記第１方向に関して互いに反対方向を向く第１面及び第２面を含み、前記複数のフィルター板は、第１貫通孔が形成されるとともに前記第１面を画定する第１フィルター板と、第２貫通孔が形成されるとともに前記第２面を画定する第２フィルター板と、を含み、前記フィルター孔は、前記第１方向に見て前記第１貫通孔の一部と前記第２貫通孔の一部とが重なる部分であり前記第１面から前記第２面に貫通する貫通部分と、前記第１方向に見て前記貫通部分に隣り合うとともに前記第２面から前記第１面に向かって前記フィルター部材の厚さの半分よりも凹む第１部分と、を含む。

【0195】

態様１によれば、第１貫通孔と第２貫通孔とが部分的に重なることでフィルター孔を小さくすることが可能となる。すなわち第１方向に見てフィルター孔の貫通部分は、第１貫通孔の開口面積よりも小さく、第２貫通孔の開口面積よりも小さい。このように、フィルター孔の実質的な目の大きさは、第１貫通孔や第２貫通孔よりも小さな貫通部分によって規定されることになる。したがって、第１貫通孔又は第２貫通孔のみでフィルター孔を構成した場合と比較して、より小さな異物や細長い長尺状の異物を捕捉することが可能となる。

【0196】

さらに、フィルター孔は第１部分を含んでいる。このような構成としたことで、フィルター孔を流通する液体の流れに対する断面積が第１部分によって拡張されることになるので、フィルター孔の流路抵抗の増加を抑制することができる。

【0197】

このように態様１の液体噴射ヘッドは、第１貫通孔と第２貫通孔とが部分的に重なることでフィルター孔の実質的な目の大きさを細かくして液体中の異物をより確実に捕捉するとともに、フィルター孔に第１部分を設けることでフィルター孔の流路抵抗の増加を抑制して液体の圧力損失を抑制することができる。

【0198】

また態様１の具体例である態様２において、前記フィルター孔は、前記第１方向に見て前記貫通部分に隣り合うとともに前記第１面から前記第２面に向かって前記フィルター部材の厚さの半分よりも凹む第２部分を含み、前記貫通部分は、前記第１方向に直交する第２方向に関して前記第１部分と前記第２部分との間に配置される。このような態様２によれば、第１部分から第２部分、もしくは第２部分から第１部分への液体の流れが生じるので、圧力損失をより顕著に抑制することができる。

【0199】

また態様１の具体例である態様３において、前記第１フィルター板は、前記第１面とは反対側の第３面を画定し、前記第２フィルター板は、前記第２面とは反対側の第４面を画定し、前記第１フィルター板と前記第２フィルター板とは、前記第３面と前記第４面とが接触するようにして積層され、前記第１フィルター板の前記第３面には、前記第１方向に見て前記第１貫通孔に隣り合うとともに前記第２貫通孔に重なる第１凹部が形成される。このような態様３によれば、第１凹部を有する第１フィルター板に第２フィルター板を接合することで第１部分を形成することができる。すなわち、フィルター部材に第１部分を形成するためには、第１凹部を有する第１フィルター板と、第２フィルター板とがあればよく、第１部分を形成するための別部材を要することがない。したがって部品点数を削減することができる。また、３枚以上のフィルター板を積層したフィルター部材の剛性と、第１フィルター板及び第２フィルター板を積層した態様３のフィルター部材の剛性とが同じであるとしたとき、態様３のフィルター部材はフィルター板の点数が少ない分、第１フィルター板及び第２フィルター板のそれぞれの剛性を高めることができる。

【0200】

また態様３の具体例である態様４において、前記第２フィルター板の前記第４面には、前記第１方向に見て前記第２貫通孔に隣り合うとともに前記第１貫通孔と重なる第２凹部が形成され、前記貫通部分は、前記第１方向に直交する第２方向に関して前記第１凹部と前記第２凹部との間に配置される。このような態様４によれば、第１凹部を有する第１フィルター板と、第２凹部を有する第２フィルター板とを接合することで第１部分及び第２部分を形成することができる。すなわち、フィルター部材に第１部分及び第２部分を形成するためには、第１凹部を有する第１フィルター板４１と、第２凹部を有する第２フィルター板とがあればよく、第１部分及び第２部分を形成するための別部材を要することがない。したがって部品点数を削減することができる。また、３枚以上のフィルター板を積層したフィルター部材の剛性と、第１フィルター板及び第２フィルター板を積層した態様４のフィルター部材の剛性とが同じであるとしたとき、態様４のフィルター部材はフィルター板の点数が少ない分、第１フィルター板及び第２フィルター板のそれぞれの剛性を高めることができる。

【0201】

また態様４の具体例である態様５において、前記第１凹部の全ては、前記第１方向に見て、前記第２貫通孔に重なり、前記第２凹部の全ては、前記第１方向に見て、前記第１貫通孔に重なる。このような態様５によれば、第１凹部が第２貫通孔に重なり、第２凹部が第１貫通孔に重なることで小さな隙間が形成されなくなるので、気泡を排出させやすくすることができる。また、第１方向にみた第１凹部は第２貫通孔よりも小さく、第２凹部は第１貫通孔よりも小さくなるため、第１凹部や第２凹部に気泡が滞留しにくくなる効果を奏する。

【0202】

また態様３の具体例である態様６において、前記第１貫通孔に内接する最大の内接円の直径は、前記ノズルに内接する最大の内接円の直径よりも小さい。このような態様６によれば、ノズルを詰まらせるような異物を、フィルター孔でより確実に捕捉することができる。また、第１貫通孔に内接する最大の内接円の直径はノズルに内接する最大の内接円の直径よりも小さいのでフィルター孔の目の大きさが小さくなり、フィルター部材における単位面積当たりのフィルター孔の数を増やすことができ、液体の圧力損失をより一層低減することが可能となる。

【0203】

また態様４の具体例である態様７において、前記貫通部分の前記第２方向に関する幅が最大となる位置で、前記フィルター部材を前記第１方向及び前記第２方向に沿って切断した断面において、前記第１凹部の底面と前記第２凹部の底面との最短距離は、前記第１貫通孔に内接する最大の内接円の直径よりも小さい。このような態様７によれば、第１貫通孔に内接する最大の内接円の直径よりも小さいが最短距離より大きい液体中の異物をフィルター孔で捕捉することができる。

【0204】

また態様４の具体例である態様８において、前記第１貫通孔に内接する最大の内接円の直径は、前記ノズルに内接する最大の内接円の直径よりも小さく、前記貫通部分の前記第２方向に関する幅が最大となる位置で、前記フィルター部材を前記第１方向及び前記第２方向に沿って切断した断面において、前記第１凹部の底面と前記第２凹部の底面との最短距離は、前記第１貫通孔に内接する最大の内接円の直径よりも小さい。このような態様８によれば、ノズルを詰まらせるような異物を、フィルター孔でより確実に捕捉することができる。また、第１貫通孔に内接する最大の内接円の直径はノズルに内接する最大の内接円の直径よりも小さいのでフィルター孔の目の大きさが小さくなり、フィルター部材における単位面積当たりのフィルター孔の数を増やすことができ、液体の圧力損失をより一層低減することが可能となる。さらにこのような態様８によれば、第１貫通孔に内接する最大の内接円の直径よりも小さいが最短距離より大きい液体中の異物をフィルター孔で捕捉することができる。

【0205】

また態様４の具体例である態様９において、前記第１凹部の底面と前記第２凹部の底面との前記第１方向に関する距離は、前記貫通部分の前記第２方向に関する最大幅よりも小さい。このような態様９によれば、第２部分側から貫通部分側へ流入しようとする異物を捕捉し易くすることができる。

【0206】

また態様２の具体例である態様１０において、前記フィルター部材は、第３貫通孔が形成されるとともに前記第１フィルター板と前記第２フィルター板との間に挟まれた第３フィルター板を更に含み、前記第３貫通孔は、前記第１方向に見て、前記第１貫通孔及び前記第２貫通孔と重なる部分と、前記第２貫通孔と重なるが前記第１貫通孔と重ならない部分と、前記第１貫通孔と重なるが前記第２貫通孔と重ならない部分と、を有する。このような態様１０によれば、第１貫通孔と第２貫通孔とが部分的に重なることでフィルター孔の実質的な目の大きさを細かくして液体中の異物をより確実に捕捉するとともに、フィルター孔に第１部分を設けることでフィルター孔の流路抵抗の増加を抑制して液体の圧力損失を抑制することができる。さらに、フィルター部材は、それぞれ貫通孔のみが形成された３枚の第１フィルター板、第２フィルター板、及び第３フィルター板を積層することで構成されている。したがって、それぞれのフィルター板には貫通孔のみを形成すればよいのでフィルター板を製造しやすい。

【0207】

また態様１０の具体例である態様１１において、前記第３フィルター板の厚さは、前記第１フィルター板の厚さ及び前記第２フィルター板の厚さよりも厚い。このような態様１１によれば、第３フィルター板の剛性を高くすることができる。

【0208】

また態様１０の具体例である態様１２において、１つの前記フィルター孔は、互いに連通する、１つの前記第１貫通孔、１つの前記第２貫通孔及び１つの前記第３貫通孔によって画定されている。このような態様１２によれば、フィルター孔同士に隔壁が設けられることになるので、例えば、第３貫通孔が複数の第１貫通孔及び複数の第２貫通孔に共通である構成と比べて剛性を高めることが出来る。

【0209】

また態様１０の具体例である態様１３において、前記第３貫通孔のうち前記貫通部分に対して前記第２方向の一方側の部分の全ては、前記第１方向に見て、前記第２貫通孔に重なり、前記第３貫通孔のうち前記貫通部分に対して前記第２方向の他方側の部分の全ては、前記第１方向に見て、前記第１貫通孔に重なる。このような態様１３によれば、フィルター孔に小さな隙間が形成されなくなるので、気泡を排出させやすくすることができる。また、第１方向にみた、第３貫通孔のうち貫通部分に対して第２方向の一方側の部分、及び第３貫通孔のうち前記貫通部分に対して前記第２方向の他方側の部分に気泡が滞留しにくくなる。

【0210】

また態様１０の具体例である態様１４において、前記第１貫通孔に内接する最大の内接円の直径は、前記ノズルに内接する最大の内接円の直径よりも小さい。このような態様１４によれば、ノズルを詰まらせるような異物を、フィルター孔でより確実に捕捉することができる。また、第１貫通孔に内接する最大の内接円の直径はノズルに内接する最大の内接円の直径よりも小さいのでフィルター孔の目の大きさが小さくなり、フィルター部材における単位面積当たりのフィルター孔の数を増やすことができ、液体の圧力損失をより一層低減することが可能となる。

【0211】

また態様１０の具体例である態様１５において、前記貫通部分の前記第２方向に関する幅が最大となる位置で、前記フィルター部材を前記第１方向及び前記第２方向に沿って切断した断面において、前記第１部分の底面と前記第２部分の底面との最短距離は、前記第１貫通孔に内接する最大の内接円の直径よりも小さい。このような態様１５によれば、第１貫通孔に内接する最大の内接円の直径よりも小さいが最短距離より大きい液体中の異物をフィルター孔で捕捉することができる。

【0212】

また態様１０の具体例である態様１６において、前記第１貫通孔に内接する最大の内接円の直径は、前記ノズルに内接する最大の内接円の直径よりも小さく、前記貫通部分の前記第２方向に関する幅が最大となる位置で、前記フィルター部材を前記第１方向及び前記第２方向に沿って切断した断面において、前記第１部分の底面と前記第２部分の底面との最短距離は、前記第１貫通孔の前記直径よりも小さい。このような態様１６によれば、ノズルを詰まらせるような異物を、フィルター孔でより確実に捕捉することができる。また、第１貫通孔に内接する最大の内接円の直径はノズルに内接する最大の内接円の直径よりも小さいのでフィルター孔の目の大きさが小さくなり、フィルター部材における単位面積当たりのフィルター孔の数を増やすことができ、液体の圧力損失をより一層低減することが可能となる。さらにこのような態様１６によれば、第１貫通孔に内接する最大の内接円の直径よりも小さいが最短距離より大きい液体中の異物をフィルター孔で捕捉することができる。

【0213】

また態様１０の具体例である態様１７において、前記第３貫通孔の前記第１方向に関する寸法は、前記貫通部分の前記第２方向に関する最大幅よりも小さい。このような態様１７によれば、第２部分側から貫通部分側へ流入しようとする異物を捕捉し易くすることができる。

【0214】

また、好適な他の態様である態様１８に係る液体噴射装置は、液体を噴射するノズルを有する液体噴射ヘッドと、第１方向に複数のフィルター板が積層されて構成されたフィルター部材であって、前記液体噴射ヘッドへ供給される液体が通過する複数のフィルター孔を有するフィルター部材と、を備え、前記フィルター部材は、前記第１方向に関して互いに反対方向を向く第１面及び第２面を含み、前記複数のフィルター板は、第１貫通孔が形成されるとともに前記第１面を画定する第１フィルター板と、第２貫通孔が形成されるとともに前記第２面を画定する第２フィルター板と、を含み、前記フィルター孔は、前記第１方向に見て前記第１貫通孔の一部と前記第２貫通孔の一部とが重なる部分であり前記第１面から前記第２面に貫通する貫通部分と、前記第１方向に見て前記貫通部分に隣り合うとともに前記第２面から前記第１面に向かって前記フィルター部材の厚さの半分よりも凹む第１部分と、を含む。

【0215】

態様１８によれば、第１貫通孔と第２貫通孔とが部分的に重なることでフィルター孔の実質的な目の大きさを細かくして液体中の異物をより確実に捕捉するとともに、フィルター孔に第１部分を設けることでフィルター孔の流路抵抗の増加を抑制して液体の圧力損失を抑制することができる。

【0216】

また、好適な他の態様である態様１９に係るフィルター部材は、第１方向に複数のフィルター板が積層されて構成され、液体が通過する複数のフィルター孔を有するフィルター部材であって、前記フィルター部材は、前記第１方向に関して互いに反対方向を向く第１面及び第２面を含み、前記複数のフィルター板は、第１貫通孔が形成されるとともに前記第１面を画定する第１フィルター板と、第２貫通孔が形成されるとともに前記第２面を画定する第２フィルター板と、を含み、前記フィルター孔は、前記第１方向に見て前記第１貫通孔の一部と前記第２貫通孔の一部とが重なる部分であり前記第１面から前記第２面に貫通する貫通部分と、前記第１方向に見て前記貫通部分に隣り合うとともに前記第２面から前記第１面に向かって前記フィルター部材の厚さの半分よりも凹む第１部分と、を含む。

【0217】

態様１９によれば、第１貫通孔と第２貫通孔とが部分的に重なることでフィルター孔の実質的な目の大きさを細かくして液体中の異物をより確実に捕捉するとともに、フィルター孔に第１部分を設けることでフィルター孔の流路抵抗の増加を抑制して液体の圧力損失を抑制することができる。

【符号の説明】

【0218】

ＢＳ１、ＢＳ２…底面、Ｃ１、Ｃ１…内接円、Ｄ１、Ｄ２、ＤＮ…直径、Ｌ１…距離、Ｌ２…最短距離、Ｌ３…距離、Ｓ１…第１面、Ｓ２…第２面、Ｓ３…第３面、Ｓ４…第４面、Ｓ５…第５面、Ｓ６…第６面、１…記録装置（液体噴射装置）、２…記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、１０…圧力室基板、１２…圧力室、２０…ノズルプレート、２１…ノズル、４０…フィルター部材、４１…第１フィルター板、４２…第２フィルター板、４３…第３フィルター板、５０…フィルター孔、５１…第１部分、５２…第２部分、５３…貫通部分、６１…第１貫通孔、６２…第２貫通孔、６３…第３貫通孔、６３Ａ…第１貫通部、６３Ｂ…第２貫通部、６３Ｃ…第３貫通部、７１…第１凹部、７２…第２凹部、８０…圧電素子、１００…ケース部材、１１０…コンプライアンス基板、１２０…配線基板、１２１…駆動回路、１３０…マニホールド

【図1】