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▶ シュネーベルガー・ホールディング・アクチエンゲゼルシャフトの特許一覧
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024079608
(43)【公開日】2024-06-11
(54)【発明の名称】可動の要素をポジショニングするポジショニング装置
(51)【国際特許分類】
H01L 21/68 20060101AFI20240604BHJP
G12B 5/00 20060101ALI20240604BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 K
G12B5/00 T
【審査請求】未請求
【請求項の数】20
【出願形態】ＯＬ
【外国語出願】
(21)【出願番号】P 2023194150
(22)【出願日】2023-11-15
(31)【優先権主張番号】22208725
(32)【優先日】2022-11-22
(33)【優先権主張国・地域又は機関】EP
(71)【出願人】
【識別番号】516122151
【氏名又は名称】シュネーベルガー・ホールディング・アクチエンゲゼルシャフト
(74)【代理人】
【識別番号】100069556
【弁理士】
【氏名又は名称】江崎 光史
(74)【代理人】
【識別番号】100111486
【弁理士】
【氏名又は名称】鍛冶澤 實
(74)【代理人】
【識別番号】100191835
【弁理士】
【氏名又は名称】中村 真介
(74)【代理人】
【識別番号】100221981
【弁理士】
【氏名又は名称】石田 大成
(74)【代理人】
【識別番号】100191938
【弁理士】
【氏名又は名称】高原 昭典
(72)【発明者】
【氏名】ジャン－クロード・ジールマン
(57)【要約】 （修正有）
【課題】比較的コンパクトで、可動の要素をポジショニングする高度に動的なポジショニング装置を提供する。
【解決手段】ポジショニング装置１において、第１の運動装置１０のガントリ駆動部ＧＡは、ＸーＹ方向に平行に配置するガイド面ＦＦを有するベースＢ、ガントリ構造形式の第１の運動装置でガイド面に間隔を置くＹ方向で延在するガントリビーム１５及び相対的にＸ方向のガントリ駆動部でＸ方向で延在する２つの第の１リニア軸Ｘ１、２を備え、第１のリニア軸がリニア駆動部ＬＭＸ１、２を備える。ガントリビームをベースにガイドする第１の空気軸受装置ＬＬ１は、ガントリビームの第１の端部１５．１を第１のセクションＦＦ１にガイドする第１の空気軸受アッセンブリ３０、第２の端部１５．２を第２のセクションＦＦ２にガイドする第２の空気軸受アッセンブリ３５及び中央の第３のセクションＦＦ３にガイドする第３の空気軸受アッセンブリ５０を有する。
【選択図】図１
【解決手段】ポジショニング装置１において、第１の運動装置１０のガントリ駆動部ＧＡは、ＸーＹ方向に平行に配置するガイド面ＦＦを有するベースＢ、ガントリ構造形式の第１の運動装置でガイド面に間隔を置くＹ方向で延在するガントリビーム１５及び相対的にＸ方向のガントリ駆動部でＸ方向で延在する２つの第の１リニア軸Ｘ１、２を備え、第１のリニア軸がリニア駆動部ＬＭＸ１、２を備える。ガントリビームをベースにガイドする第１の空気軸受装置ＬＬ１は、ガントリビームの第１の端部１５．１を第１のセクションＦＦ１にガイドする第１の空気軸受アッセンブリ３０、第２の端部１５．２を第２のセクションＦＦ２にガイドする第２の空気軸受アッセンブリ３５及び中央の第３のセクションＦＦ３にガイドする第３の空気軸受アッセンブリ５０を有する。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
可動の要素（５）をポジショニングするポジショニング装置（１）であって、
第１の方向（Ｘ）に対して平行に、かつ第２の方向（Ｙ）に対して平行に配置されている平坦なガイド面（ＦＦ）を有するベース（Ｂ）と、
ガントリ構造形式の第１の運動装置（１０）であって、前記第１の運動装置は、前記平坦なガイド面（ＦＦ）の上方に配置される、前記平坦なガイド面（ＦＦ）に対して間隔を置いて前記第２の方向（Ｙ）で延在するガントリビーム（１５）と、前記ガントリビームを前記ベース（Ｂ）に対して相対的に前記第１の方向（Ｘ）で動かすガントリ駆動部（ＧＡ）とを有し、前記ガントリビーム（１５）は、第１の端部（１５．１）と、前記第１の端部（１５．１）とは反対側の第２の端部（１５．２）とを有し、前記ガントリ駆動部（ＧＡ）は、前記第１の方向（Ｘ）で延在する２つの第１のリニア軸（Ｘ１，Ｘ２）を有し、前記第１のリニア軸（Ｘ１，Ｘ２）は、各１つのリニア駆動部（ＬＭＸ１，ＬＭＸ２）を有し、２つの前記第１のリニア軸（Ｘ１，Ｘ２）のうちの一方の第１のリニア軸の前記リニア駆動部（ＬＭＸ１）は、前記ガントリビーム（１５）の前記第１の端部（１５．１）に結合され、２つの前記第１のリニア軸（Ｘ１，Ｘ２）のうちの他方の前記第１のリニア軸の前記リニア駆動部（ＬＭＸ２）は、前記ガントリビーム（１５）の前記第２の端部（１５．２）に結合されている第１の運動装置（１０）と、
前記ガントリビームを前記ベース（Ｂ）の前記平坦なガイド面（ＦＦ）にガイドする、前記ガントリビーム（１５）に結合される複数の空気軸受を有する第１の空気軸受装置（ＬＬ１）と、
を備え、
前記可動の要素（５）は、前記ガントリビーム（１５）に、前記可動の要素（５）が前記ガントリビームにリニアに前記第２の方向（Ｙ）で可動であるように支承されており、かつ前記ガントリビーム（１５）は、前記第２の方向（Ｙ）で延在する１つの第２のリニア軸（Ｙ１）を有し、前記第２のリニア軸（Ｙ１）は、前記可動の要素（５）に結合される、前記可動の要素（５）を前記第２の方向（Ｙ）で動かすリニア駆動部（ＬＭＹ）を有し、
前記第１の空気軸受装置（ＬＬ１）は、第１の空気軸受アッセンブリ（３０）を有し、前記第１の空気軸受アッセンブリ（３０）は、前記ガントリビーム（１５）の前記第１の端部（１５．１）に配置される、前記ガントリビーム（１５）の前記第１の端部（１５．１）を、前記平坦なガイド面（ＦＦ）の、前記第１の方向（Ｘ）で延在する第１のセクション（ＦＦ１）にガイドする少なくとも１つの第１の水平の空気軸受（３１，３２）を有し、少なくとも１つの前記第１の水平の空気軸受（３１，３２）には、前記平坦なガイド面（ＦＦ）の前記第１のセクション（ＦＦ１）に関して、プリロードが付与されており、
前記第１の空気軸受装置（ＬＬ１）は、第２の空気軸受アッセンブリ（３５）を有し、前記第２の空気軸受アッセンブリ（３５）は、前記ガントリビーム（１５）の前記第２の端部（１５．２）に配置される、前記ガントリビームの前記第２の端部（１５．２）を、前記平坦なガイド面（ＦＦ）の、前記第１の方向（Ｘ）で延在する第２のセクション（ＦＦ２）にガイドする少なくとも１つの第２の水平の空気軸受（３６，３７）を有し、少なくとも１つの前記第２の水平の空気軸受（３６，３７）には、前記平坦なガイド面（ＦＦ）の前記第２のセクション（ＦＦ２）に関して、プリロードが付与されており、
前記第１の空気軸受装置（ＬＬ１）は、第３の空気軸受アッセンブリ（５０）を有し、前記第３の空気軸受アッセンブリ（５０）は、少なくとも１つの第３の水平の空気軸受（５１，５２）と、少なくとも１つの第４の水平の空気軸受（５３，５４）とを有し、少なくとも１つの前記第３の水平の空気軸受（５１，５２）と、少なくとも１つの前記第４の水平の空気軸受（５３，５４）とは、前記ガントリビーム（１５）の前記第１の端部（１５．１）と、前記ガントリビーム（１５）の前記第２の端部（１５．２）との間の、前記ガントリビーム（１５）の中央のセクションに配置されており、その結果、前記ガントリビームの前記中央のセクションは、前記第３の水平の空気軸受（５１，５２）と前記第４の水平の空気軸受（５３，５４）とにより、前記平坦なガイド面（ＦＦ）の、前記第１の方向（Ｘ）で延在し、前記第２の方向（Ｙ）に関して、前記平坦なガイド面（ＦＦ）の前記第１のセクション（ＦＦ１）と前記平坦なガイド面（ＦＦ）の前記第２のセクション（ＦＦ２）との間に配置されている第３のセクション（ＦＦ３）にガイドされており、少なくとも１つの前記第３の水平の空気軸受（５１，５２）と、少なくとも１つの前記第４の水平の空気軸受（５３，５４）とは、互いに相対的に間隔を前記第１の方向（Ｘ）で有し、少なくとも１つの前記第３の水平の空気軸受（５１，５２）及び少なくとも１つの前記第４の水平の空気軸受（５３，５４）には、前記平坦なガイド面（ＦＦ）の前記第３のセクション（ＦＦ３）に関して、プリロードが付与されており、
前記ベース（Ｂ）には、前記平坦なガイド面（ＦＦ）の前記第３のセクション（ＦＦ３）の横に、前記第１の方向（Ｘ）で延在するガイドビーム（ＦＢ）が配置されており、前記ガイドビーム（ＦＢ）は、１つの平坦な側面（ＳＦ）を有し、前記１つの平坦な側面（ＳＦ）は、前記第１の方向（Ｘ）に対して平行に、かつ前記平坦なガイド面（ＦＦ）に対して略垂直に配向された第３の方向（Ｚ）に対して平行に延在し、
前記第３の空気軸受アッセンブリ（５０）は、前記ガントリビーム（１５）の前記中央のセクションに配置される、前記ガントリビーム（１５）を前記ガイドビーム（ＦＢ）の前記１つの平坦な側面（ＳＦ）にガイドする少なくとも１つの側方の空気軸受（５５，５６）を有し、少なくとも１つの前記側方の空気軸受（５５，５６）には、前記ガイドビーム（ＦＢ）の前記１つの平坦な側面（ＳＦ）に関して、プリロードが付与されている、
可動の要素（５）をポジショニングするポジショニング装置（１）。
第１の方向（Ｘ）に対して平行に、かつ第２の方向（Ｙ）に対して平行に配置されている平坦なガイド面（ＦＦ）を有するベース（Ｂ）と、
ガントリ構造形式の第１の運動装置（１０）であって、前記第１の運動装置は、前記平坦なガイド面（ＦＦ）の上方に配置される、前記平坦なガイド面（ＦＦ）に対して間隔を置いて前記第２の方向（Ｙ）で延在するガントリビーム（１５）と、前記ガントリビームを前記ベース（Ｂ）に対して相対的に前記第１の方向（Ｘ）で動かすガントリ駆動部（ＧＡ）とを有し、前記ガントリビーム（１５）は、第１の端部（１５．１）と、前記第１の端部（１５．１）とは反対側の第２の端部（１５．２）とを有し、前記ガントリ駆動部（ＧＡ）は、前記第１の方向（Ｘ）で延在する２つの第１のリニア軸（Ｘ１，Ｘ２）を有し、前記第１のリニア軸（Ｘ１，Ｘ２）は、各１つのリニア駆動部（ＬＭＸ１，ＬＭＸ２）を有し、２つの前記第１のリニア軸（Ｘ１，Ｘ２）のうちの一方の第１のリニア軸の前記リニア駆動部（ＬＭＸ１）は、前記ガントリビーム（１５）の前記第１の端部（１５．１）に結合され、２つの前記第１のリニア軸（Ｘ１，Ｘ２）のうちの他方の前記第１のリニア軸の前記リニア駆動部（ＬＭＸ２）は、前記ガントリビーム（１５）の前記第２の端部（１５．２）に結合されている第１の運動装置（１０）と、
前記ガントリビームを前記ベース（Ｂ）の前記平坦なガイド面（ＦＦ）にガイドする、前記ガントリビーム（１５）に結合される複数の空気軸受を有する第１の空気軸受装置（ＬＬ１）と、
を備え、
前記可動の要素（５）は、前記ガントリビーム（１５）に、前記可動の要素（５）が前記ガントリビームにリニアに前記第２の方向（Ｙ）で可動であるように支承されており、かつ前記ガントリビーム（１５）は、前記第２の方向（Ｙ）で延在する１つの第２のリニア軸（Ｙ１）を有し、前記第２のリニア軸（Ｙ１）は、前記可動の要素（５）に結合される、前記可動の要素（５）を前記第２の方向（Ｙ）で動かすリニア駆動部（ＬＭＹ）を有し、
前記第１の空気軸受装置（ＬＬ１）は、第１の空気軸受アッセンブリ（３０）を有し、前記第１の空気軸受アッセンブリ（３０）は、前記ガントリビーム（１５）の前記第１の端部（１５．１）に配置される、前記ガントリビーム（１５）の前記第１の端部（１５．１）を、前記平坦なガイド面（ＦＦ）の、前記第１の方向（Ｘ）で延在する第１のセクション（ＦＦ１）にガイドする少なくとも１つの第１の水平の空気軸受（３１，３２）を有し、少なくとも１つの前記第１の水平の空気軸受（３１，３２）には、前記平坦なガイド面（ＦＦ）の前記第１のセクション（ＦＦ１）に関して、プリロードが付与されており、
前記第１の空気軸受装置（ＬＬ１）は、第２の空気軸受アッセンブリ（３５）を有し、前記第２の空気軸受アッセンブリ（３５）は、前記ガントリビーム（１５）の前記第２の端部（１５．２）に配置される、前記ガントリビームの前記第２の端部（１５．２）を、前記平坦なガイド面（ＦＦ）の、前記第１の方向（Ｘ）で延在する第２のセクション（ＦＦ２）にガイドする少なくとも１つの第２の水平の空気軸受（３６，３７）を有し、少なくとも１つの前記第２の水平の空気軸受（３６，３７）には、前記平坦なガイド面（ＦＦ）の前記第２のセクション（ＦＦ２）に関して、プリロードが付与されており、
前記第１の空気軸受装置（ＬＬ１）は、第３の空気軸受アッセンブリ（５０）を有し、前記第３の空気軸受アッセンブリ（５０）は、少なくとも１つの第３の水平の空気軸受（５１，５２）と、少なくとも１つの第４の水平の空気軸受（５３，５４）とを有し、少なくとも１つの前記第３の水平の空気軸受（５１，５２）と、少なくとも１つの前記第４の水平の空気軸受（５３，５４）とは、前記ガントリビーム（１５）の前記第１の端部（１５．１）と、前記ガントリビーム（１５）の前記第２の端部（１５．２）との間の、前記ガントリビーム（１５）の中央のセクションに配置されており、その結果、前記ガントリビームの前記中央のセクションは、前記第３の水平の空気軸受（５１，５２）と前記第４の水平の空気軸受（５３，５４）とにより、前記平坦なガイド面（ＦＦ）の、前記第１の方向（Ｘ）で延在し、前記第２の方向（Ｙ）に関して、前記平坦なガイド面（ＦＦ）の前記第１のセクション（ＦＦ１）と前記平坦なガイド面（ＦＦ）の前記第２のセクション（ＦＦ２）との間に配置されている第３のセクション（ＦＦ３）にガイドされており、少なくとも１つの前記第３の水平の空気軸受（５１，５２）と、少なくとも１つの前記第４の水平の空気軸受（５３，５４）とは、互いに相対的に間隔を前記第１の方向（Ｘ）で有し、少なくとも１つの前記第３の水平の空気軸受（５１，５２）及び少なくとも１つの前記第４の水平の空気軸受（５３，５４）には、前記平坦なガイド面（ＦＦ）の前記第３のセクション（ＦＦ３）に関して、プリロードが付与されており、
前記ベース（Ｂ）には、前記平坦なガイド面（ＦＦ）の前記第３のセクション（ＦＦ３）の横に、前記第１の方向（Ｘ）で延在するガイドビーム（ＦＢ）が配置されており、前記ガイドビーム（ＦＢ）は、１つの平坦な側面（ＳＦ）を有し、前記１つの平坦な側面（ＳＦ）は、前記第１の方向（Ｘ）に対して平行に、かつ前記平坦なガイド面（ＦＦ）に対して略垂直に配向された第３の方向（Ｚ）に対して平行に延在し、
前記第３の空気軸受アッセンブリ（５０）は、前記ガントリビーム（１５）の前記中央のセクションに配置される、前記ガントリビーム（１５）を前記ガイドビーム（ＦＢ）の前記１つの平坦な側面（ＳＦ）にガイドする少なくとも１つの側方の空気軸受（５５，５６）を有し、少なくとも１つの前記側方の空気軸受（５５，５６）には、前記ガイドビーム（ＦＢ）の前記１つの平坦な側面（ＳＦ）に関して、プリロードが付与されている、
可動の要素（５）をポジショニングするポジショニング装置（１）。
【請求項2】
前記第３の空気軸受アッセンブリ（５０）は、前記ガントリビーム（１５）の前記中央のセクションを前記平坦なガイド面（ＦＦ）の前記第３のセクション（ＦＦ３）にガイドする２つの第３の水平の空気軸受（５１，５２）及び２つの第４の水平の空気軸受（５３，５４）を有し、２つの前記第３の水平の空気軸受（５１，５２）は、互いに相対的に、２つの前記第３の水平の空気軸受（５１，５２）が互いに相対的に間隔を前記第２の方向（Ｙ）で有しているように配置されており、２つの前記第４の水平の空気軸受（５３，５４）は、互いに相対的に、２つの前記第４の水平の空気軸受（５３，５４）が互いに相対的に間隔を前記第２の方向（Ｙ）で有しているように配置されており、
２つの前記第３の水平の空気軸受（５１，５２）及び２つの前記第４の水平の空気軸受（５３，５４）には、前記平坦なガイド面（ＦＦ）の前記第３のセクション（ＦＦ３）に関して、プリロードが付与されている、
請求項１に記載のポジショニング装置（１）。
２つの前記第３の水平の空気軸受（５１，５２）及び２つの前記第４の水平の空気軸受（５３，５４）には、前記平坦なガイド面（ＦＦ）の前記第３のセクション（ＦＦ３）に関して、プリロードが付与されている、
請求項１に記載のポジショニング装置（１）。
【請求項3】
前記第３の空気軸受アッセンブリ（５０）は、前記ガントリビーム（１５）を前記ガイドビーム（ＦＢ）の前記平坦な側面（ＳＦ）にガイドする２つの側方の空気軸受（５５，５６）を有し、２つの前記側方の空気軸受（５５，５６）は、互いに相対的に、２つの前記側方の空気軸受（５５，５６）が互いに相対的に間隔を前記第１の方向（Ｘ）で有しているように配置されており、かつ
２つの前記側方の空気軸受（５５，５６）には、前記ガイドビーム（ＦＢ）の前記平坦な側面（ＳＦ）に関して、プリロードが付与されている、
請求項１又は２に記載のポジショニング装置（１）。
２つの前記側方の空気軸受（５５，５６）には、前記ガイドビーム（ＦＢ）の前記平坦な側面（ＳＦ）に関して、プリロードが付与されている、
請求項１又は２に記載のポジショニング装置（１）。
【請求項4】
前記第３の空気軸受アッセンブリ（５０）のすべての第３の水平の空気軸受（５１，５２）、前記第３の空気軸受アッセンブリ（５０）のすべての第４の水平の空気軸受（５３，５４）及び前記第３の空気軸受アッセンブリ（５０）のすべての側方の空気軸受（５５，５６）は、１つの共通のキャリア（７０）に取り付けられており、前記キャリア（７０）は、前記ガントリビーム（１５）に取り付けられており、その結果、前記第３の空気軸受アッセンブリ（５０）は、前記キャリア（７０）により前記ガントリビーム（１５）に保持されている、請求項１から３のいずれか一項に記載のポジショニング装置（１）。
【請求項5】
前記キャリア（７０）は、前記ガントリビーム（１５）より下に、前記ガントリビーム（１５）と前記平坦なガイド面（ＦＦ）との間の中間スペース内に配置されている、請求項４に記載のポジショニング装置（１）。
【請求項6】
前記キャリア（７０）が、前記第３の空気軸受アッセンブリ（５０）のすべての第３の水平の空気軸受（５１，５２）、前記第３の空気軸受アッセンブリ（５０）のすべての第４の水平の空気軸受（５３，５４）及び前記第３の空気軸受アッセンブリ（５０）のすべての側方の空気軸受（５５，５６）とともに、前記ガントリビーム（１５）に対して相対的に、前記第３の方向（Ｚ）で延在する回動軸線（ＤＺ）回りに回動可能であるように、前記キャリア（７０）は、前記ガントリビーム（１５）に回動可能に支承されている、請求項４又は５に記載のポジショニング装置（１）。
【請求項7】
前記キャリア（７０）は、前記ガントリビーム（１５）に、１つ又は複数の固体継手（８０Ａ，８０Ｂ）から形成されているピボット継手（ＤＧＺ）を介して結合されている、請求項４から６のいずれか一項に記載のポジショニング装置（１）。
【請求項8】
前記第１の空気軸受アッセンブリ（３０）は、前記ガントリビームの前記第１の端部（１５．１）を前記平坦なガイド面（ＦＦ）の前記第１のセクション（ＦＦ１）にガイドする２つの第１の水平の空気軸受（３１，３２）を有し、２つの前記第１の水平の空気軸受（３１，３２）は、互いに相対的に、２つの前記第１の水平の空気軸受（３１，３２）が互いに相対的に間隔を前記第１の方向（Ｘ）で有しているように配置されており、２つの前記第１の水平の空気軸受（３１，３２）には、前記平坦なガイド面（ＦＦ）の前記第１のセクション（ＦＦ１）に関して、プリロードが付与されている、請求項１から７のいずれか一項に記載のポジショニング装置（１）。
【請求項9】
前記第２の空気軸受アッセンブリ（３５）は、前記ガントリビーム（１５）の前記第２の端部（１５．２）を前記平坦なガイド面（ＦＦ）の前記第２のセクション（ＦＦ２）にガイドする２つの第２の水平の空気軸受（３６，３７）を有し、２つの前記第２の水平の空気軸受（３６，３７）は、互いに相対的に、２つの前記第２の水平の空気軸受（３６，３７）が前記第１の方向（Ｘ）で互いに相対的に間隔を有しているように配置されており、２つの前記第２の水平の空気軸受（３６，３７）には、前記平坦なガイド面（ＦＦ）の前記第２のセクション（ＦＦ２）に関して、プリロードが付与されている、請求項１から８のいずれか一項に記載のポジショニング装置（１）。
【請求項10】
前記可動の要素（５）を前記ガントリビーム（１５）にガイドする、前記可動の要素（５）に結合される複数の空気軸受を有する第２の空気軸受装置（ＬＬ２）を備える、請求項１から９のいずれか一項に記載のポジショニング装置（１）。
【請求項11】
前記ガントリビーム（１５）は、平坦なガイド面（ＦＦＧ１，ＦＦＧ２）を有し、前記平坦なガイド面（ＦＦＧ１，ＦＦＧ２）は、前記第１の方向（Ｘ）に対して平行に、かつ前記第２の方向（Ｙ）に対して平行に配置されており、
前記ガントリビーム（１５）は、１つの平坦な側面（ＳＦＧ２）を有し、前記１つの平坦な側面（ＳＦＧ２）は、前記第２の方向（Ｙ）に対して平行に、かつ前記ガントリビーム（１５）の前記平坦なガイド面（ＦＦＧ１，ＦＦＧ２）に対して略垂直に配向された第３の方向（Ｚ）に対して平行に延在し、
前記第２の空気軸受装置（ＬＬ２）は、少なくとも１つの第１の水平の空気軸受（１２１，１２２）と、少なくとも１つの第２の水平の空気軸受（１２３，１２４）とを有し、少なくとも１つの前記第１の水平の空気軸受（１２１，１２２）と、少なくとも１つの前記第２の水平の空気軸受（１２３，１２４）とは、前記可動の要素（５）が、前記第２の空気軸受装置（ＬＬ２）の少なくとも１つの前記第１の水平の空気軸受（１２１，１２２）と、少なくとも１つの前記第２の水平の空気軸受（１２３，１２４）とにより、前記ガントリビーム（１５）の前記平坦なガイド面（ＦＦＧ１，ＦＦＧ２）にガイドされており、前記第２の空気軸受装置（ＬＬ２）の少なくとも１つの前記第１の水平の空気軸受（１２１，１２２）が、少なくとも１つの前記第２の水平の空気軸受（１２３，１２４）に対して相対的に間隔を前記第２の方向（Ｙ）で有しているように、前記可動の要素（５）に配置されており、前記第２の空気軸受装置（ＬＬ２）の少なくとも１つの前記第１の水平の空気軸受（１２１，１２２）及び少なくとも１つの前記第２の水平の空気軸受（１２３，１２４）には、前記ガントリビーム（１５）の前記平坦なガイド面（ＦＦＧ１，ＦＦＧ２）に関して、プリロードが付与されており、
前記第２の空気軸受装置（ＬＬ２）は、前記可動の要素（５）に配置される、前記可動の要素（５）を前記ガントリビーム（１５）の前記１つの平坦な側面（ＳＦＧ２）にガイドする少なくとも１つの側方の空気軸受（１４０，１４１）を有し、前記第２の空気軸受装置（ＬＬ２）の少なくとも１つの前記側方の空気軸受（１４０，１４１）には、前記ガントリビーム（１５）の前記１つの平坦な側面（ＳＦＧ２）に関して、プリロードが付与されている、
請求項１０に記載のポジショニング装置（１）。
前記ガントリビーム（１５）は、１つの平坦な側面（ＳＦＧ２）を有し、前記１つの平坦な側面（ＳＦＧ２）は、前記第２の方向（Ｙ）に対して平行に、かつ前記ガントリビーム（１５）の前記平坦なガイド面（ＦＦＧ１，ＦＦＧ２）に対して略垂直に配向された第３の方向（Ｚ）に対して平行に延在し、
前記第２の空気軸受装置（ＬＬ２）は、少なくとも１つの第１の水平の空気軸受（１２１，１２２）と、少なくとも１つの第２の水平の空気軸受（１２３，１２４）とを有し、少なくとも１つの前記第１の水平の空気軸受（１２１，１２２）と、少なくとも１つの前記第２の水平の空気軸受（１２３，１２４）とは、前記可動の要素（５）が、前記第２の空気軸受装置（ＬＬ２）の少なくとも１つの前記第１の水平の空気軸受（１２１，１２２）と、少なくとも１つの前記第２の水平の空気軸受（１２３，１２４）とにより、前記ガントリビーム（１５）の前記平坦なガイド面（ＦＦＧ１，ＦＦＧ２）にガイドされており、前記第２の空気軸受装置（ＬＬ２）の少なくとも１つの前記第１の水平の空気軸受（１２１，１２２）が、少なくとも１つの前記第２の水平の空気軸受（１２３，１２４）に対して相対的に間隔を前記第２の方向（Ｙ）で有しているように、前記可動の要素（５）に配置されており、前記第２の空気軸受装置（ＬＬ２）の少なくとも１つの前記第１の水平の空気軸受（１２１，１２２）及び少なくとも１つの前記第２の水平の空気軸受（１２３，１２４）には、前記ガントリビーム（１５）の前記平坦なガイド面（ＦＦＧ１，ＦＦＧ２）に関して、プリロードが付与されており、
前記第２の空気軸受装置（ＬＬ２）は、前記可動の要素（５）に配置される、前記可動の要素（５）を前記ガントリビーム（１５）の前記１つの平坦な側面（ＳＦＧ２）にガイドする少なくとも１つの側方の空気軸受（１４０，１４１）を有し、前記第２の空気軸受装置（ＬＬ２）の少なくとも１つの前記側方の空気軸受（１４０，１４１）には、前記ガントリビーム（１５）の前記１つの平坦な側面（ＳＦＧ２）に関して、プリロードが付与されている、
請求項１０に記載のポジショニング装置（１）。
【請求項12】
前記第２の空気軸受装置（ＬＬ２）は、前記可動の要素（５）に配置される、前記可動の要素（５）を前記ガントリビーム（１５）の前記平坦なガイド面（ＦＦＧ１，ＦＦＧ２）にガイドする２つの第１の水平の空気軸受（１２１，１２２）を有し、前記第２の空気軸受装置（ＬＬ２）の２つの前記第１の水平の空気軸受（１２１，１２２）は、互いに相対的に間隔を前記第１の方向（Ｘ）で有し、前記ガントリビーム（１５）の前記平坦なガイド面（ＦＦＧ１，ＦＦＧ２）に関して、プリロードが付与されており、かつ／又は
前記第２の空気軸受装置（ＬＬ２）は、前記可動の要素（５）に配置される、前記可動の要素（５）を前記ガントリビーム（１５）の前記平坦なガイド面（ＦＦＧ１，ＦＦＧ２）にガイドする２つの第２の水平の空気軸受（１２３，１２４）を有し、前記第２の空気軸受装置（ＬＬ２）の２つの前記第２の水平の空気軸受（１２３，１２４）は、互いに相対的に間隔を前記第１の方向（Ｘ）で有し、前記ガントリビーム（１５）の前記平坦なガイド面（ＦＦＧ１，ＦＦＧ２）に関して、プリロードが付与されており、かつ／又は
前記第２の空気軸受装置（ＬＬ２）は、前記可動の要素（５）に配置される、前記可動の要素（５）を前記ガントリビーム（１５）の前記１つの平坦な側面（ＳＦＧ２）にガイドする２つの側方の空気軸受（１４０，１４１）を有し、前記第２の空気軸受装置（ＬＬ２）の２つの前記側方の空気軸受（１４０，１４１）は、互いに相対的に間隔を前記第２の方向（Ｙ）で有し、前記ガントリビーム（１５）の前記平坦な側面（ＳＦＧ２）に関して、プリロードが付与されている、
請求項１１に記載のポジショニング装置（１）。
前記第２の空気軸受装置（ＬＬ２）は、前記可動の要素（５）に配置される、前記可動の要素（５）を前記ガントリビーム（１５）の前記平坦なガイド面（ＦＦＧ１，ＦＦＧ２）にガイドする２つの第２の水平の空気軸受（１２３，１２４）を有し、前記第２の空気軸受装置（ＬＬ２）の２つの前記第２の水平の空気軸受（１２３，１２４）は、互いに相対的に間隔を前記第１の方向（Ｘ）で有し、前記ガントリビーム（１５）の前記平坦なガイド面（ＦＦＧ１，ＦＦＧ２）に関して、プリロードが付与されており、かつ／又は
前記第２の空気軸受装置（ＬＬ２）は、前記可動の要素（５）に配置される、前記可動の要素（５）を前記ガントリビーム（１５）の前記１つの平坦な側面（ＳＦＧ２）にガイドする２つの側方の空気軸受（１４０，１４１）を有し、前記第２の空気軸受装置（ＬＬ２）の２つの前記側方の空気軸受（１４０，１４１）は、互いに相対的に間隔を前記第２の方向（Ｙ）で有し、前記ガントリビーム（１５）の前記平坦な側面（ＳＦＧ２）に関して、プリロードが付与されている、
請求項１１に記載のポジショニング装置（１）。
【請求項13】
前記第２の空気軸受装置（ＬＬ２）の少なくとも１つの前記第１の水平の空気軸受（１２１，１２２）及び少なくとも１つの前記第２の水平の空気軸受（１２３，１２４）には、磁気式の手段（１５０，１５１）により、前記ガントリビーム（１５）の前記平坦なガイド面（ＦＦＧ）に関して、プリロードが付与されており、かつ／又は
前記第２の空気軸受装置（ＬＬ２）の少なくとも１つの前記側方の空気軸受（１４０，１４１）には、磁気式の手段（１６０，１６１）により、前記ガントリビーム（１５）の前記１つの平坦な側面（ＳＦＧ２）に関して、プリロードが付与されている、
請求項１１又は１２に記載のポジショニング装置（１）。
前記第２の空気軸受装置（ＬＬ２）の少なくとも１つの前記側方の空気軸受（１４０，１４１）には、磁気式の手段（１６０，１６１）により、前記ガントリビーム（１５）の前記１つの平坦な側面（ＳＦＧ２）に関して、プリロードが付与されている、
請求項１１又は１２に記載のポジショニング装置（１）。
【請求項14】
前記第１の空気軸受アッセンブリ（３０）の少なくとも１つの前記第１の水平の空気軸受（３１，３２）には、磁気式の手段（４０，４１，４２）により、前記ベース（Ｂ）の前記平坦なガイド面（ＦＦ）の前記第１のセクション（ＦＦ１）に関して、プリロードが付与されており、かつ／又は
前記第２の空気軸受アッセンブリ（３５）の少なくとも１つの前記第２の水平の空気軸受（３６，３７）には、磁気式の手段（４０，４１，４２）により、前記平坦なガイド面（ＦＦ）の前記第２のセクション（ＦＦ２）に関して、プリロードが付与されており、かつ／又は
前記第３の空気軸受アッセンブリ（５０）の少なくとも１つの前記第３の水平の空気軸受（５１，５２）及び前記第３の空気軸受アッセンブリ（５０）の少なくとも１つの前記第４の水平の空気軸受（５３，５４）には、磁気式の手段（４０，４１，４２）により、前記平坦なガイド面（ＦＦ）の前記第３のセクション（ＦＦ３）に関して、プリロードが付与されており、かつ／又は
前記第３の空気軸受アッセンブリ（５０）の少なくとも１つの前記側方の空気軸受（５５，５６）には、磁気式の手段（６０，６１）により、前記ガイドビーム（ＦＢ）の前記１つの平坦な側面（ＳＦ）に関して、プリロードが付与されている、
請求項１から１３のいずれか一項に記載のポジショニング装置（１）。
前記第２の空気軸受アッセンブリ（３５）の少なくとも１つの前記第２の水平の空気軸受（３６，３７）には、磁気式の手段（４０，４１，４２）により、前記平坦なガイド面（ＦＦ）の前記第２のセクション（ＦＦ２）に関して、プリロードが付与されており、かつ／又は
前記第３の空気軸受アッセンブリ（５０）の少なくとも１つの前記第３の水平の空気軸受（５１，５２）及び前記第３の空気軸受アッセンブリ（５０）の少なくとも１つの前記第４の水平の空気軸受（５３，５４）には、磁気式の手段（４０，４１，４２）により、前記平坦なガイド面（ＦＦ）の前記第３のセクション（ＦＦ３）に関して、プリロードが付与されており、かつ／又は
前記第３の空気軸受アッセンブリ（５０）の少なくとも１つの前記側方の空気軸受（５５，５６）には、磁気式の手段（６０，６１）により、前記ガイドビーム（ＦＢ）の前記１つの平坦な側面（ＳＦ）に関して、プリロードが付与されている、
請求項１から１３のいずれか一項に記載のポジショニング装置（１）。
【請求項15】
第１の固体継手（８０Ａ）であって、第１の縦長の固体からなり、前記第１の縦長の固体は、前記第３の方向（Ｚ）に対して平行な第１の平面（ＭＥ１）に沿って、前記第３の方向（Ｚ）に対して垂直に延在しており、前記第３の方向（Ｚ）に対して垂直に配置される長手方向軸線を有し、前記第１の縦長の固体は、前記第１の縦長の固体の前記長手方向軸線の方向で相前後して配置される以下の長手方向セクション：
前記第１の縦長の固体の第１の端部を形成する第１の端部セクション（Ｅ１）と；
前記第１の縦長の固体の前記第１の端部とは前記第１の縦長の固体の前記長手方向軸線の方向で反対側の前記第１の縦長の固体の第２の端部を形成する第２の端部セクション（Ｅ２）と；
前記第１の縦長の固体の前記第１の端部セクションと前記第２の端部セクションとの間に配置される中央セクション（Ｆ）と；
前記第１の縦長の固体の前記第１の端部セクション（Ｅ１）と前記中央セクション（Ｆ）との間に配置され、前記第１の端部セクション（Ｅ１）と前記中央セクション（Ｆ）とに結合される第１のウェブ部分（Ｓ１）と；
前記第２の端部セクション（Ｅ２）と前記中央セクション（Ｆ）との間に配置され、前記第１の縦長の固体の前記第２の端部セクション（Ｅ２）と前記中央セクション（Ｆ）とに結合される第２のウェブ部分（Ｓ２）と；
を有する、
第１の固体継手（８０Ａ）と、
第２の固体継手（８０Ｂ）であって、第２の縦長の固体からなり、前記第２の縦長の固体は、前記第３の方向（Ｚ）に対して平行な第２の平面（ＭＥ２）に沿って、前記第３の方向（Ｚ）に対して垂直に延在しており、前記第３の方向（Ｚ）に対して垂直に配置される長手方向軸線を有し、前記第２の縦長の固体は、前記第２の縦長の固体の前記長手方向軸線の方向で相前後して配置される以下の長手方向セクション：
前記第２の縦長の固体の第１の端部を形成する第１の端部セクション（Ｅ１）と；
前記第２の縦長の固体の前記第１の端部とは前記第２の縦長の固体の前記長手方向軸線の方向で反対側の前記第２の縦長の固体の第２の端部を形成する第２の端部セクション（Ｅ２）と；
前記第２の縦長の固体の前記第１の端部セクションと前記第２の端部セクションとの間に配置される中央セクション（Ｆ）と；
前記第２の縦長の固体の前記第１の端部セクション（Ｅ１）と前記中央セクション（Ｆ）との間に配置され、前記第１の端部セクションと前記中央セクションとに結合される第１のウェブ部分（Ｓ１）と；
前記第２の縦長の固体の前記第２の端部セクション（Ｅ２）と前記中央セクション（Ｆ）との間に配置され、前記第１の縦長の固体の前記第２の端部セクション（Ｅ２）と前記中央セクション（Ｆ）とに結合される第２のウェブ部分（Ｓ２）と；
を有する、
第２の固体継手（８０Ｂ）と、
を備え、
前記キャリア（７０）は、前記ガントリビーム（１５）に前記第１の固体継手（８０Ａ）と前記第２の固体継手（８０Ｂ）とを介して、
前記第１の縦長の固体の前記第１の端部セクション（Ｅ１）及び前記第１の縦長の固体の前記第２の端部セクション（Ｅ２）が前記キャリア（７０）に剛結され、前記第１の縦長の固体の前記中央セクション（Ｆ）が前記ガントリビーム（１５）に剛結されているとともに、
前記第２の縦長の固体の前記第１の端部セクション（Ｅ１）及び前記第２の縦長の固体の前記第２の端部セクション（Ｅ２）が前記キャリア（７０）に剛結され、前記第２の縦長の固体の前記中央セクション（Ｆ）が前記ガントリビーム（１５）に剛結されている、
ように結合されており、
前記第１の平面（ＭＥ１）と前記第２の平面（ＭＥ２）とは、互いに相対的に、前記第１の平面（ＭＥ１）と前記第２の平面（ＭＥ２）とが、前記第３の方向（Ｚ）に対して平行に延在する１つの共通の交線（ＤＺ）を形成するように傾けられており、
前記第１の固体継手（８０Ａ）の前記第１のウェブ部分（Ｓ１）及び前記第２のウェブ部分（Ｓ２）並びに前記第２の固体継手（８０Ｂ）の前記第１のウェブ部分（Ｓ１）及び前記第２のウェブ部分（Ｓ２）は、弾性的に変形可能に形成されており、その結果、前記第１の固体継手（８０Ａ）の前記中央セクション（Ｆ）は、前記第１の固体継手（８０Ａ）の前記第１の端部セクション（Ｅ１）と前記第１の固体継手（８０Ａ）の前記第２の端部セクション（Ｅ２）とに対して相対的に可動であり、かつ前記第２の固体継手（８０Ｂ）の前記中央セクション（Ｆ）は、前記第２の固体継手（８０Ｂ）の前記第１の端部セクション（Ｅ１）と前記第２の固体継手（８０Ｂ）の前記第２の端部セクション（Ｅ２）とに対して相対的に可動であり、前記キャリア（７０）は、前記第１の固体継手（８０Ａ）と前記第２の固体継手（８０Ｂ）とにより前記ガントリビームに前記第１の平面（ＭＥ１）と前記第２の平面（ＭＥ２）との前記共通の交線（ＤＺ）回りに回動可能に支承されている、
請求項４から７のいずれか一項に記載のポジショニング装置（１）。
前記第１の縦長の固体の第１の端部を形成する第１の端部セクション（Ｅ１）と；
前記第１の縦長の固体の前記第１の端部とは前記第１の縦長の固体の前記長手方向軸線の方向で反対側の前記第１の縦長の固体の第２の端部を形成する第２の端部セクション（Ｅ２）と；
前記第１の縦長の固体の前記第１の端部セクションと前記第２の端部セクションとの間に配置される中央セクション（Ｆ）と；
前記第１の縦長の固体の前記第１の端部セクション（Ｅ１）と前記中央セクション（Ｆ）との間に配置され、前記第１の端部セクション（Ｅ１）と前記中央セクション（Ｆ）とに結合される第１のウェブ部分（Ｓ１）と；
前記第２の端部セクション（Ｅ２）と前記中央セクション（Ｆ）との間に配置され、前記第１の縦長の固体の前記第２の端部セクション（Ｅ２）と前記中央セクション（Ｆ）とに結合される第２のウェブ部分（Ｓ２）と；
を有する、
第１の固体継手（８０Ａ）と、
第２の固体継手（８０Ｂ）であって、第２の縦長の固体からなり、前記第２の縦長の固体は、前記第３の方向（Ｚ）に対して平行な第２の平面（ＭＥ２）に沿って、前記第３の方向（Ｚ）に対して垂直に延在しており、前記第３の方向（Ｚ）に対して垂直に配置される長手方向軸線を有し、前記第２の縦長の固体は、前記第２の縦長の固体の前記長手方向軸線の方向で相前後して配置される以下の長手方向セクション：
前記第２の縦長の固体の第１の端部を形成する第１の端部セクション（Ｅ１）と；
前記第２の縦長の固体の前記第１の端部とは前記第２の縦長の固体の前記長手方向軸線の方向で反対側の前記第２の縦長の固体の第２の端部を形成する第２の端部セクション（Ｅ２）と；
前記第２の縦長の固体の前記第１の端部セクションと前記第２の端部セクションとの間に配置される中央セクション（Ｆ）と；
前記第２の縦長の固体の前記第１の端部セクション（Ｅ１）と前記中央セクション（Ｆ）との間に配置され、前記第１の端部セクションと前記中央セクションとに結合される第１のウェブ部分（Ｓ１）と；
前記第２の縦長の固体の前記第２の端部セクション（Ｅ２）と前記中央セクション（Ｆ）との間に配置され、前記第１の縦長の固体の前記第２の端部セクション（Ｅ２）と前記中央セクション（Ｆ）とに結合される第２のウェブ部分（Ｓ２）と；
を有する、
第２の固体継手（８０Ｂ）と、
を備え、
前記キャリア（７０）は、前記ガントリビーム（１５）に前記第１の固体継手（８０Ａ）と前記第２の固体継手（８０Ｂ）とを介して、
前記第１の縦長の固体の前記第１の端部セクション（Ｅ１）及び前記第１の縦長の固体の前記第２の端部セクション（Ｅ２）が前記キャリア（７０）に剛結され、前記第１の縦長の固体の前記中央セクション（Ｆ）が前記ガントリビーム（１５）に剛結されているとともに、
前記第２の縦長の固体の前記第１の端部セクション（Ｅ１）及び前記第２の縦長の固体の前記第２の端部セクション（Ｅ２）が前記キャリア（７０）に剛結され、前記第２の縦長の固体の前記中央セクション（Ｆ）が前記ガントリビーム（１５）に剛結されている、
ように結合されており、
前記第１の平面（ＭＥ１）と前記第２の平面（ＭＥ２）とは、互いに相対的に、前記第１の平面（ＭＥ１）と前記第２の平面（ＭＥ２）とが、前記第３の方向（Ｚ）に対して平行に延在する１つの共通の交線（ＤＺ）を形成するように傾けられており、
前記第１の固体継手（８０Ａ）の前記第１のウェブ部分（Ｓ１）及び前記第２のウェブ部分（Ｓ２）並びに前記第２の固体継手（８０Ｂ）の前記第１のウェブ部分（Ｓ１）及び前記第２のウェブ部分（Ｓ２）は、弾性的に変形可能に形成されており、その結果、前記第１の固体継手（８０Ａ）の前記中央セクション（Ｆ）は、前記第１の固体継手（８０Ａ）の前記第１の端部セクション（Ｅ１）と前記第１の固体継手（８０Ａ）の前記第２の端部セクション（Ｅ２）とに対して相対的に可動であり、かつ前記第２の固体継手（８０Ｂ）の前記中央セクション（Ｆ）は、前記第２の固体継手（８０Ｂ）の前記第１の端部セクション（Ｅ１）と前記第２の固体継手（８０Ｂ）の前記第２の端部セクション（Ｅ２）とに対して相対的に可動であり、前記キャリア（７０）は、前記第１の固体継手（８０Ａ）と前記第２の固体継手（８０Ｂ）とにより前記ガントリビームに前記第１の平面（ＭＥ１）と前記第２の平面（ＭＥ２）との前記共通の交線（ＤＺ）回りに回動可能に支承されている、
請求項４から７のいずれか一項に記載のポジショニング装置（１）。
【請求項16】
前記第１の固体継手（８０Ａ）と前記第２の固体継手（８０Ｂ）とは、前記第２の方向（Ｙ）に対して平行に、かつ前記第３の方向（Ｚ）に対して平行に延在する第３の平面（Ｅ３）に関して対称に配置されている、請求項１５に記載のポジショニング装置（１）。
【請求項17】
前記キャリア（７０）は、少なくとも１つの中空室（７１Ａ，７１Ｂ）を有し、前記中空室（７１Ａ，７１Ｂ）内には、前記第１の固体継手（８０Ａ）及び／又は前記第２の固体継手（８０Ｂ）が配置されている、請求項１５又は１６に記載のポジショニング装置（１）。
【請求項18】
前記キャリア（７０）は、前記第１の固体継手（８０Ａ）と前記第２の固体継手（８０Ｂ）とにより、前記ガントリビーム（１５）に関して静止位置に、前記キャリア（７０）が、前記第１の平面（ＭＥ１）と前記第２の平面（ＭＥ２）との前記共通の交線（ＤＺ）回りの前記ガントリビーム（１５）に対して相対的な前記キャリア（７０）の回動により前記静止位置から可動であるように、保持されている、請求項１５から１７のいずれか一項に記載のポジショニング装置（１）。
【請求項19】
前記キャリア（７０）は、少なくとも１つのストッパ要素（ＨＳＡ１，ＨＳＡ２）であって、前記キャリア（７０）が、前記ガントリビーム（１５）に対して相対的に前記静止位置に配置されているとき、前記ストッパ要素（ＨＳＡ１，ＨＳＡ２）が、前記第１の固体継手（８０Ａ）の前記中央セクション（Ｆ）に対して間隔を有し、かつ前記ストッパ要素（ＨＳＡ１，ＨＳＡ２）が、前記第１の平面（ＭＥ１）と前記第２の平面（ＭＥ２）との前記共通の交線（ＤＺ）回りの予め決められた最大の回動角度の前記キャリア（７０）の回動により、前記第１の固体継手（８０Ａ）の前記中央セクション（Ｆ）と接触に至ることが可能であり、その結果、前記第１の固体継手（８０Ａ）の前記中央セクション（Ｆ）が、前記キャリア（７０）の前記回動を制限する機械的なストッパを前記キャリア（７０）のために形成するように配置されているストッパ要素（ＨＳＡ１，ＨＳＡ２）を有し、かつ／又は
前記キャリア（７０）は、少なくとも１つのストッパ要素（ＨＳＢ１，ＨＳＢ２）であって、前記キャリア（７０）が、前記ガントリビーム（１５）に対して相対的に前記静止位置に配置されているとき、前記ストッパ要素（ＨＳＢ１，ＨＳＢ２）が、前記第２の固体継手（８０Ｂ）の前記中央セクション（Ｆ）に対して間隔を有し、かつ前記ストッパ要素（ＨＳＢ１，ＨＳＢ２）が、前記第１の平面（ＭＥ１）と前記第２の平面（ＭＥ２）との前記共通の交線（ＤＺ）回りの予め決められた最大の回動角度の前記キャリア（７０）の回動により、前記第２の固体継手（８０Ｂ）の前記中央セクション（Ｆ）と接触に至ることが可能であり、その結果、前記第２の固体継手（８０Ｂ）の前記中央セクション（Ｆ）が、前記キャリア（７０）の前記回動を制限する機械的なストッパを前記キャリア（７０）のために形成するように配置されているストッパ要素（ＨＳＢ１，ＨＳＢ２）を有する、
請求項１８に記載のポジショニング装置（１）。
前記キャリア（７０）は、少なくとも１つのストッパ要素（ＨＳＢ１，ＨＳＢ２）であって、前記キャリア（７０）が、前記ガントリビーム（１５）に対して相対的に前記静止位置に配置されているとき、前記ストッパ要素（ＨＳＢ１，ＨＳＢ２）が、前記第２の固体継手（８０Ｂ）の前記中央セクション（Ｆ）に対して間隔を有し、かつ前記ストッパ要素（ＨＳＢ１，ＨＳＢ２）が、前記第１の平面（ＭＥ１）と前記第２の平面（ＭＥ２）との前記共通の交線（ＤＺ）回りの予め決められた最大の回動角度の前記キャリア（７０）の回動により、前記第２の固体継手（８０Ｂ）の前記中央セクション（Ｆ）と接触に至ることが可能であり、その結果、前記第２の固体継手（８０Ｂ）の前記中央セクション（Ｆ）が、前記キャリア（７０）の前記回動を制限する機械的なストッパを前記キャリア（７０）のために形成するように配置されているストッパ要素（ＨＳＢ１，ＨＳＢ２）を有する、
請求項１８に記載のポジショニング装置（１）。
【請求項20】
２つの前記第１のリニア軸（Ｘ１，Ｘ２）の各リニア駆動部（ＬＭＸ１，ＬＭＸ２）は、リニアモータであり、かつ／又は
１つの前記第２のリニア軸（Ｙ１）の前記リニア駆動部（ＬＭＹ）は、リニアモータである、
請求項１から１９のいずれか一項に記載のポジショニング装置（１）。
１つの前記第２のリニア軸（Ｙ１）の前記リニア駆動部（ＬＭＹ）は、リニアモータである、
請求項１から１９のいずれか一項に記載のポジショニング装置（１）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、可動の要素をポジショニングするポジショニング装置に関する。本発明は、特に、可動の要素を、ガントリ構造形式の運動装置により、ベースに形成される平坦なガイド面に関して、第１の方向及び第２の方向で動かすべく、形成されている、可動の要素をポジショニングするポジショニング装置に関する。
【背景技術】
【0002】
可動の要素を、ベースに形成される平坦なガイド面に関して、第１の方向及び第２の方向で動かすのに好適な、可動の要素をポジショニングするポジショニング装置は、多数、既に公知である。この種のポジショニング装置は、例えば半導体産業において、とりわけ半導体ウエハを、微細構造を半導体ウエハの表面に製造するプロセスステップ中、様々なポジションにもたらすために、又は半導体ウエハを計測学的な目的で測定装置に対して相対的に（例えば半導体ウエハの表面に設けられた微細構造の検査及び／若しくは測定技術的な特徴付けのために）ポジショニングするために使用される。
【0003】
例えば微細構造の製造又は微細構造の検査及び／若しくは測定技術的な特徴付けのためのプロセスステップを実施するための産業上の利用に関して、可動の要素（例えばポジショニングすべき対象を受けるプラットフォームあるいはテーブル）を、第１の方向及び第２の方向で（すなわち、予め決められた一平面に対して相対的に２次元的に）、できる限り大きな速度で、かつ場合によってはできる限り大きな加速度（例えば２ｇ又はそれ以上の範囲）で動かし、その際、繰り返し、かつ再現可能に、予め決められたポジションに、その都度、大きな精度で（すなわち、サブマイクロメートル領域の精度で）ポジショニングするのに好適なポジショニング装置が必要である。
【0004】
第１の方向及び第２の方向での可動の要素の迅速かつ精緻なポジショニングを可能にすべく、前述の形態のポジショニング装置は、第１の方向に対して平行に、かつ第２の方向に対して平行に配置されている平坦なガイド面を有するベース（例えばグラナイトからなるブロック）と、可動の要素をベースの平坦なガイド面に関して動かす運動機構とを備えていることが多い。前述の形態の運動機構は、この場合、例えばとりわけガントリ構造形式の第１の運動装置を有していることができ、第１の運動装置は、平坦なガイド面の上方に配置される、平坦なガイド面に対して間隔を置いて第２の方向で延在するガントリビームと、ガントリビームをベースに対して相対的に第１の方向で動かすガントリ駆動部とを有している。ガントリビームは、この場合、第１の端部と、第１の端部とは反対側の第２の端部とを有し、ガントリ駆動部は、第１の方向で延在する２つの第１のリニア軸を有し、第１のリニア軸は、各１つのリニア駆動部を有し、第１の方向で延在する２つの第１のリニア軸は、２つの第１のリニア軸のうちの一方の第１のリニア軸のリニア駆動部が、ガントリビームの第１の端部に結合され、２つの第１のリニア軸のうちの他方の第１のリニア軸のリニア駆動部が、ガントリビームの第２の端部に結合されているように設計されている。
【0005】
第１の方向及び第２の方向での可動の要素の運動を可能にすべく、この場合、可動の要素は、ガントリビームに、可動の要素がガントリビームにリニアに第２の方向で可動であるように支承されており、ガントリビームは、第２の方向で延在する１つの第２のリニア軸を有し、第２のリニア軸は、可動の要素に結合される、可動の要素を第２の方向で動かすリニア駆動部を有している。
【0006】
可動の要素が、繰り返し、かつ再現可能に、予め決められたポジションに、その都度、大きな精度で（すなわち、ナノメートル領域の精度で）ベースのガイド面に対して相対的にポジショニングされ得ることを可能にすべく、多くの用途にとって、第１の運動装置のガントリビームを、ベースの平坦なガイド面に沿った運動時、空気軸受によりベースに支承し、この目的のために、ガントリビームをベースの平坦なガイド面にガイドする、ガントリビームに結合される複数の空気軸受を有する空気軸受装置を提供することが有利であり得る。これらの空気軸受は、ベースに対して相対的なガントリビームの運動時、ガントリビームと、ベースのガイド面との、対向し、互いに相対的に動かされる表面領域が、空気軸受の領域において、それぞれエアクッションにより分離されており、それゆえ非接触式に互いに相対的に動かされ得るという効果を有している。これにより、ガントリビームと、ベースのガイド面との、対向する表面領域間の機械的な摩擦（静摩擦及び／又は滑り摩擦）が防止され、ひいては、互いに相対的に動かされる固体間の機械的な摩擦に起因し、互いに相対的に動かされる固体のポジショニングの精度に悪影響を及ぼすことが常である効果（互いに相対的に動かされる固体のスティックスリップ効果あるいはびびり）が回避されることが、特に保証されている。
【0007】
前述の形態のポジショニング装置の多くの用途に関して、この種のポジショニング装置を「高度に動的」に形成し、その結果、ポジショニング装置が、可動の要素を大きな加速度で（例えば２ｇ又はそれ以上の範囲で）動かすのに好適であるようにする必要がある。高度に動的な前述の形態のポジショニング装置の場合、主な要求は、ポジショニング装置、特に第１の運動装置のガントリビームが、質量慣性の結果、第１の方向での２つの第１のリニア軸のリニア駆動部によるガントリビームの大きな加速中も、第２の方向での第２のリニア軸のリニア駆動部による可動の要素の大きな加速時も、できる限り変形されず、それゆえ、第１の方向及び／若しくは第２の方向を中心とする曲げ並びに／又はトーションの形態の変形に関して、できる限り大きな剛性を有していることが望ましいという点にある。
【0008】
ガントリビームを空気軸受によりベースにガイドしていて、かつ高度に動的に形成されている前述の形態のポジショニング装置に関して、特に、ガントリビームの（固有振動数に応じた）動的なトーション剛性を最大化すべく、第１のリニア軸の両リニア駆動部が、できる限り、ポジショニング装置の、これらの両リニア駆動部により動かされる全部材の重心の高さに配置されているようにした、「フラット」な構造形態を有する構造が公知となっている。上記事項は、２つの第１のリニア軸のリニア駆動部の、ガントリビームに作用する力ベクトルと、ポジショニング装置の、２つの第１のリニア軸のリニア駆動部により動かされる全部材の重心との間の鉛直（すなわち、ベースの平坦なガイド面に対して垂直）の間隔が大きければ大きいほど、強く、ガントリビームが、第１の方向での加速される運動時、ポジショニング装置の、２つの第１のリニア軸のリニア駆動部により動かされる部材の質量慣性に基づいてねじられ、このことは、不都合に、ガントリビームが、第１の方向でのガントリビームの加速後に再び安定な位置に達するのに必要とする整定時間を延長させてしまうという事実と関連している。
【0009】
ガントリビームを空気軸受によりベースの平坦なガイド面にガイドしている高度に動的に形成される前述の形態のポジショニング装置は、例えば特許文献１において公知である。このポジショニング装置は、ワークを受ける可動のテーブルの形態の可動の要素の精緻なポジショニング用（例えばワークの微細加工用）に設計されている。このポジショニング装置のガントリビームは、ベースの上面に設けられた平坦なガイド面に２つの水平の空気軸受によりガイドされており、２つの水平の空気軸受の一方は、ガントリビームの第１の端部に配置されており、これにより、ガントリビームの第１の端部を、第１の方向での運動時、ベースの平坦なガイド面上に支持あるいはガイドすることができ、かつ２つの水平の空気軸受の他方は、ガントリビームの第２の端部に配置されており、これにより、ガントリビームの第２の端部を、第１の方向での運動時、ベースの上面に設けられた平坦なガイド面上に支持あるいはガイドすることができる。ポジショニングすべき可動のテーブルは、ガントリビームに配置される第２のリニア軸のリニア駆動部により第２の方向（ガントリビームの長手方向）で可動であり、同じく水平の空気軸受により、ベースの上面に設けられた平坦なガイド面に支持あるいはガイドされている。ガントリビームを、第１の方向での運動時、側方でガイドすべく、側方のガイド面が設けられており、側方のガイド面は、第１の方向に対して平行に、かつベースの平坦なガイド面に対して垂直に延在している。側方のガイド面は、ベースの上面に設けられた平坦なガイド面に関して、ガントリビームと大体同じ高さに、この側方のガイド面が、側方でガントリビームの横に、ガントリビームの端部の一方の近傍に、ガントリビームのこの一方の端部に対して間隔を置いて布置されているように配置されている。ガントリビームは、一方の側方のガイド面に側方の空気軸受によりガイドされており、この側方の空気軸受は、この目的のために、ガントリビームの一方の側面に、ガントリビームの、側方のガイド面の近傍に配置されている上記一方の端部において取り付けられている。側方のガイド面のこの配置（すなわち、側方でガントリビームの横に、ガントリビームの端部の一方の近傍に、ガントリビームのこの一方の端部に対して間隔を置いて配置したこと）は、第２の方向（ガントリビームの長手方向に相当）での可動のテーブルの加速時のガントリビームの動的な曲げ剛性の最大化を可能にする。上記事項は、ガントリビームが側方の空気軸受により上記一方の側方のガイド面にガイドされている場所と、ガントリビームに配置される可動のテーブルの重心との間の間隔が大きければ大きいほど、第２の方向での可動のテーブルの加速時にガントリビームあるいは側方の空気軸受に作用する曲げモーメントが大きくなり、このことは、ガントリビームの曲げ剛性を減じ、不都合に、ガントリビームが、第２の方向での可動のテーブルの加速後に再び安定な位置に達するのに必要とする整定時間を延長させてしまうという事実と関連している。公差と、第１の方向でのガントリビームの運動時の２つの第１のリニア軸の両リニア駆動部のそれぞれ異なる速度とを補償すべく、側方の空気軸受は、（側方の空気軸受と、ガントリビームの上記一方の端部との間に配置される）固体継手を介して、側方の空気軸受がガントリビームに対して相対的に揺動可能であるように、ガントリビームの上記一方の端部に結合されている。
【0010】
ガントリビームと、ガントリビームの長手方向で可動である可動の要素とを、それぞれ空気軸受によりベースの平坦なガイド面にガイドしている、公知の、高度に動的に形成される前述の形態のポジショニング装置（例えば前述の、特許文献１において公知のポジショニング装置）は、これらのポジショニング装置が、ポジショニングすべき可動の要素がそれぞれのポジショニング装置によりベースの平坦なガイド面に対して相対的に可動である距離と比較して、（ポジショニング装置のそれぞれの部材が空間的に分配配置されている第１の方向及び第２の方向に対して平行な底面に関して）比較的大きな所要スペースを、２つの第１のリニア軸及び１つの第２のリニア軸の空間的な配置と、ガントリビーム及び可動の要素をベースにガイドする空気軸受の空間的な配置とに起因して有しているという欠点を有している。ガントリビームに配置される、ガントリビームをベースにガイドする空気軸受と、可動の要素に配置される、可動の要素をベースにガイドする空気軸受とは、この場合、互いに相対的に、通例、可動の要素が、それぞれの空気軸受の所要スペースに基づいて、第２の方向でガントリビームの全長に沿っては動かされ得ず、ガントリビームの長さの一部にわたってしか動かされ得ないように配置されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0011】
【特許文献1】中国特許出願公開第１１３９７７２９４号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0012】
本発明の根底にある課題は、挙げた欠点を回避するとともに、ガントリビームを空気軸受によりベースの平坦なガイド面にガイドしていて、比較的コンパクトに（ポジショニング装置のそれぞれの部材が空間的に分配配置されている比較的小さな底面を有して）構成されており、加えて、可動の要素を比較的大きな加速度で（ポジショニング装置の底面と比較して）比較的大きな面積にわたって動かすのに好適である、可動の要素をポジショニングする高度に動的に形成されるポジショニング装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0013】
上記課題は、請求項１の特徴を備える、可動の要素をポジショニングするポジショニング装置により解決される。
【0014】
ポジショニング装置は、第１の方向に対して平行に、かつ第２の方向に対して平行に配置されている平坦なガイド面を有するベースと、ガントリ構造形式の第１の運動装置であって、第１の運動装置は、平坦なガイド面の上方に配置される、平坦なガイド面に対して間隔を置いて第２の方向で延在するガントリビームと、ガントリビームをベースに対して相対的に第１の方向で動かすガントリ駆動部とを有し、ガントリビームは、第１の端部と、第１の端部とは反対側の第２の端部とを有し、ガントリ駆動部は、第１の方向で延在する２つの第１のリニア軸を有し、第１のリニア軸は、各１つのリニア駆動部を有している第１の運動装置と、を備えている。その際、２つの第１のリニア軸のうちの一方の第１のリニア軸のリニア駆動部は、ガントリビームの第１の端部に結合され、２つの第１のリニア軸のうちの他方の第１のリニア軸のリニア駆動部は、ガントリビームの第２の端部に結合されている。
【0015】
ポジショニング装置は、さらに、ガントリビームをベースの平坦なガイド面にガイドする、ガントリビームに結合される複数の空気軸受を有する第１の空気軸受装置を備えている。
【0016】
可動の要素は、ガントリビームに、可動の要素がガントリビームにリニアに第２の方向で可動であるように支承されており、ガントリビームは、第２の方向で延在する１つの第２のリニア軸を有し、第２のリニア軸は、可動の要素に結合される、可動の要素を第２の方向で動かすリニア駆動部を有している。
【0017】
ポジショニング装置の第１の空気軸受装置は、第１の空気軸受アッセンブリを有し、第１の空気軸受アッセンブリは、ガントリビームの第１の端部に配置される、ガントリビームの第１の端部を、平坦なガイド面の、第１の方向で延在する第１のセクションにガイドする少なくとも１つの第１の水平の空気軸受を有し、少なくとも１つの第１の水平の空気軸受には、平坦なガイド面の第１のセクションに関して、プリロードが付与されている。
【0018】
ポジショニング装置の第１の空気軸受装置は、さらに第２の空気軸受アッセンブリを有し、第２の空気軸受アッセンブリは、ガントリビームの第２の端部に配置される、ガントリビームの第２の端部を、平坦なガイド面の、第１の方向で延在する第２のセクションにガイドする少なくとも１つの第２の水平の空気軸受を有し、少なくとも１つの第２の水平の空気軸受には、平坦なガイド面の第２のセクションに関して、プリロードが付与されている。
【0019】
本発明によれば、ポジショニング装置の第１の空気軸受装置は、付加的に第３の空気軸受アッセンブリを有し、第３の空気軸受アッセンブリは、少なくとも１つの第３の水平の空気軸受と、少なくとも１つの第４の水平の空気軸受とを有し、少なくとも１つの第３の水平の空気軸受と、少なくとも１つの第４の水平の空気軸受とは、ガントリビームの第１の端部と、ガントリビームの第２の端部との間の、ガントリビームの中央のセクションに配置されており、その結果、ガントリビームの中央のセクションは、第３の水平の空気軸受と第４の水平の空気軸受とにより、平坦なガイド面の、第１の方向で延在し、第２の方向に関して、平坦なガイド面の第１のセクションと平坦なガイド面の第２のセクションとの間に配置されている第３のセクションにガイドされており、少なくとも１つの第３の水平の空気軸受と、少なくとも１つの第４の水平の空気軸受とは、互いに相対的に間隔を第１の方向で有し、少なくとも１つの第３の水平の空気軸受及び少なくとも１つの第４の水平の空気軸受には、平坦なガイド面の第３のセクションに関して、プリロードが付与されている。
【0020】
ポジショニング装置は、さらに、ベースに、平坦なガイド面の第３のセクションの横に、第１の方向で延在するガイドビームが配置されており、ガイドビームは、１つの平坦な側面を有し、上記１つの平坦な側面は、第１の方向に対して平行に、かつ平坦なガイド面に対して略垂直に配向された第３の方向に対して平行に延在しているように形成されている。相応に第３の空気軸受アッセンブリは、ガントリビームの中央のセクションに配置される、ガントリビームをガイドビームの上記１つの平坦な側面にガイドする少なくとも１つの側方の空気軸受を有し、少なくとも１つの側方の空気軸受には、ガイドビームの上記１つの平坦な側面に関して、プリロードが付与されている。
【0021】
付言すると、「平坦なガイド面に対して略垂直に配向された第３の方向に対して平行」なる言い回しは、この関連において、「第３の方向」が、「平坦なガイド面に対して垂直」に延在する直線に対して正確に平行に配向されていてもよいが、必ずしも、「平坦なガイド面に対して垂直」に延在する直線に対して正確に平行に配向されている必要はなく、「平坦なガイド面に対して垂直」に延在する直線に関して０°～５°の範囲内の角度で傾けられていてもよいと解釈すべきものである。
【0022】
「水平の空気軸受」なる称呼は、この関連において、「軸受装置」であって、圧縮空気の放出によりエアクッションをベースの平坦なガイド面と軸受装置との間に発生させ、こうして軸受装置をベースの平坦なガイド面に対して間隔を置いて保持すべく、形成されている「軸受装置」を指している。
【0023】
「側方の空気軸受」なる称呼は、この関連において、「軸受装置」であって、圧縮空気の放出によりエアクッションをガイドビームの平坦な側面と軸受装置との間に発生させ、こうして軸受装置をガイドビームの平坦な側面に対して間隔を置いて保持すべく、形成されている「軸受装置」を指している。
【0024】
「平坦なガイド面の任意のセクションに関してプリロードが付与されている水平の空気軸受」なる称呼は、この関連において、「軸受装置」であって、圧縮空気の放出によりエアクッションをベースの平坦なガイド面と軸受装置との間に発生させるべく、形成されているとともに、付加的に、軸受装置に作用する、平坦なガイド面のそれぞれのセクションに向かって配向された吸引力（「プリロード力」）を発生させるのに好適な技術的な手段を有し、その結果、軸受装置は、エアクッションと、発生される吸引力あるいはプリロード力との相互作用により、平坦なガイド面に関して安定な位置に保持されており、この安定な位置において、軸受装置は、（圧縮空気の放出により発生されるエアクッションが形成されている、軸受装置と平坦なガイド面との間の空隙の厚さに応じて）間隔を平坦なガイド面に関して有している「軸受装置」を指している。空気軸受にプリロードを付与する相応の技術的な手段は、それ自体公知であり、以下でさらに特定する。平坦なガイド面に向かって配向されたプリロード力と、軸受装置から放出される圧縮空気との相互作用に基づき、軸受装置と平坦なガイド面との間の空隙内に形成されるエアクッションは、平坦なガイド面に対して垂直な方向で弾性的に変形可能である「ばね要素」の作用を有している。軸受装置と平坦なガイド面との間にエアクッションの存在に基づいて形成されている空隙の厚さは、それゆえ、軸受装置に作用する、平坦なガイド面に対して垂直に配向された力によってのみ変更（すなわち、力のその都度の方向に依存して拡大又は縮小）されることができ、エアクッションは、空隙の厚さの変更に関して「剛性」を有している。剛性は、この場合、軸受装置に作用する、平坦なガイド面に対して垂直に配向された力と、軸受装置に作用する力により引き起こされる空隙の厚さの変化の大きさとの比として規定されている。空気軸受の剛性の大きさは、この場合、とりわけプリロード力のその都度の大きさに依存しており、その結果、空気軸受の剛性は、所定の範囲内で必要に応じて（プリロード力の所定の大きさの選択により）変更され得る。平坦なガイド面に対して垂直に配向された力に関する空気軸受の剛性は、これに応じて、有利には、所定のプリロード力の選択により、軸受装置を特に効果的に平坦なガイド面に関して安定な位置に保持すべく、「最大化」され得る。
【0025】
相応に、「ガイドビームの上記１つの平坦な側面に関してプリロードが付与されている側方の空気軸受」なる表現は、この関連において、「軸受装置」であって、圧縮空気の放出によりエアクッションをガイドビームの平坦な側面との間に発生させるべく、形成されているとともに、付加的に、軸受装置に作用する、ガイドビームの平坦な側面に向かって配向された吸引力（「プリロード力」）を発生させるのに好適な技術的な手段を有し、その結果、軸受装置は、エアクッションと、発生される吸引力あるいはプリロード力との相互作用により、ガイドビームの平坦な側面に関して安定な位置に保持されており、この安定な位置において、軸受装置は、（圧縮空気の放出により発生されるエアクッションが形成されている、軸受装置とガイドビームの平坦な側面との間の空隙の厚さに応じて）間隔をガイドビームの平坦な側面に関して有している「軸受装置」を指している。空気軸受にプリロードを付与する相応の技術的な手段は、以下でさらに特定する。軸受装置とガイドビームの平坦な側面との間の空隙内に形成されるエアクッションは、平坦な側面に対して垂直な方向で弾性的に変形可能である「ばね要素」の作用を有している。軸受装置と平坦な側面との間にエアクッションの存在に基づいて形成されている空隙の厚さは、それゆえ、軸受装置に作用する、平坦な側面に対して垂直に配向された力によってのみ変更（すなわち、力のその都度の方向に依存して拡大又は縮小）されることができ、エアクッションは、空隙の厚さの変更に関して剛性を有している。空気軸受の剛性の大きさは、この場合、とりわけプリロード力のその都度の大きさに依存しており、その結果、空気軸受の剛性は、所定の範囲内で必要に応じて（プリロード力の所定の大きさの選択により）変更され得る。平坦な側面に対して垂直に配向された力に関する空気軸受の剛性は、これに応じて、有利には、所定のプリロード力の選択により、軸受装置を特に効果的に平坦な側面に関して安定な位置に保持すべく、「最大化」され得る。
【0026】
「リニア軸」とは、ここでは、それぞれ、リニアガイドとリニア駆動部とからなる組み合わせと解される。第１の空気軸受装置の水平の空気軸受及び第１の空気軸受装置の側方の空気軸受は、ベースの平坦なガイド面及びガイドビームの平坦な側面と協働し、ガントリビームが、リニアに第１の方向で可動であるように、ガントリビームが、第１の空気軸受装置の水平の空気軸受と側方の空気軸受とによりガイドされているようにしている。ガントリビームのこのリニアガイドは、ガントリビームの２つの端部のそれぞれ１つに結合されている２つのリニア駆動部のそれぞれ１つとの組み合わせにおいて、ポジショニング装置の２つの「第１のリニア軸」のそれぞれ１つをなしている。可動の要素は、ガントリビームに、可動の要素がガントリビームにリニアに第２の方向で可動であるように支承されているので、ガントリビームは、可動の要素を第２の方向での運動時にガイドするリニアガイドを有し、このリニアガイドは、可動の要素を第２の方向で動かすべく、可動の要素に結合されているリニア駆動部との組み合わせにおいて、ポジショニング装置の「第２のリニア軸」をなしている。
【0027】
本発明の根底にある課題の解決に関して重要と見なされ得るのは、本発明に係るポジショニング装置の第１の空気軸受装置が、第１の空気軸受アッセンブリ及び第２の空気軸受アッセンブリに対して付加的に、第３の空気軸受アッセンブリを有し、かつベースに、平坦なガイド面の第３のセクションの横に、第１の方向で延在するガイドビームが、第１の方向に対して平行に、かつ第３の方向に対して平行に延在する１つの平坦な側面を有して配置されていることである。
【0028】
第３の空気軸受アッセンブリは、この場合、特に、少なくとも３つの異なる空気軸受の群を有し、空気軸受の群は、少なくとも１つの第３の水平の空気軸受と、少なくとも１つの第４の水平の空気軸受と、少なくとも１つの側方の空気軸受とを有している。第３の空気軸受アッセンブリのこれらの少なくとも３つの異なる空気軸受は、ガントリビームに第２の方向（ガントリビームの長手方向に相当）に関して空間的に第１の空気軸受アッセンブリのそれぞれの（水平の）空気軸受と、第２の空気軸受アッセンブリのそれぞれの（水平の）空気軸受との間に（ガントリビームの「中央のセクション」内に）配置されており、それゆえ、ガントリビームを、ガントリビームの第１の端部と第２の端部との間のガントリビームの「中央のセクション」の領域において、ベースの（第１の方向に対して平行に、かつ第２の方向に対して平行に延在する）平坦なガイド面に（少なくとも１つの第３の水平の空気軸受と、少なくとも１つの第４の水平の空気軸受とにより）支持あるいはガイドするとともに、ガイドビームの（第１の方向に対して平行に、かつ第３の方向に対して平行に延在する）上記１つの平坦な側面に側方で（少なくとも１つの側方の空気軸受により）ガイドする目的を有しており、その結果、ガントリビームは、リニアに第１の方向で可動である。
【0029】
「ガントリビームの中央のセクション」なる称呼は、この関連において、ガントリビームの、第２の方向で延在する１つの長手方向セクションであって、第２の方向で、第２の方向でのガントリビームの延在寸法の最大で５０％である長さにわたって延在し、かつガントリビームの第１の端部と、ガントリビームの第２の端部とに関して、それぞれ、第２の方向でのガントリビームの延在寸法の少なくとも２５％である間隔を第２の方向で有している長手方向セクションを指している。
【0030】
第３の空気軸受アッセンブリの空気軸受は、これらの空気軸受が、ポジショニング装置の運転中、第１のリニア軸のリニア駆動部による第１の方向でのガントリビームの加速時及び第２のリニア軸のリニア駆動部による第２の方向での可動の要素の加速時の、第１の方向及び／又は第２の方向に関するガントリビームのトーション剛性及び曲げ剛性を向上させ、ひいては、ガントリ軸の、第１の方向でのガントリビームの加速によりかつ／又は第２の方向での可動の要素の加速により誘導可能なトーション又は曲げが減じられるという効果を有している。
【0031】
少なくとも１つの第３の水平の空気軸受と、少なくとも１つの第４の水平の空気軸受とが、互いに相対的に間隔を第１の方向で有していることにより、少なくとも１つの第３の水平の空気軸受と、少なくとも１つの第４の水平の空気軸受とは、相俟って、第１の方向でのガントリビームの加速時の、第２の方向を中心とするガントリビームのトーションに関する、ガントリビームのトーション剛性を向上させるのに特に好適である。ガントリビームのトーション剛性の向上は、この場合、主として、少なくとも１つの第３の水平の空気軸受及び少なくとも１つの第４の水平の空気軸受のそれぞれの剛性の大きさにより決定される（少なくとも１つの第３の水平の空気軸受及び少なくとも１つの第４の水平の空気軸受のそれぞれの剛性が大きければ大きいほど、ガントリビームのトーション剛性の向上は大きくなる）。
【0032】
第１の方向で延在するガイドビームが、平坦なガイド面の第３のセクションの横に配置されていることにより、かつガントリビームの中央のセクションが、少なくとも１つの側方の空気軸受によりガイドビームの平坦な側面に、そして少なくとも１つの第３の水平の空気軸受と少なくとも１つの第４の水平の空気軸受とにより平坦なガイド面の第３のセクションに支持あるいはガイドされていることにより、少なくとも１つの側方の空気軸受並びに少なくとも１つの第３の水平の空気軸受及び少なくとも１つの第４の水平の空気軸受は、それらの互いに相対的な配置に基づいて、相俟って、第２の方向での可動の要素の加速時の、第１の方向を中心とするガントリビームのトーション又は曲げに関する、ガントリビームの剛性を向上させるのに好適である。第１の方向を中心とするガントリビームのトーション又は曲げに関する、ガントリビームの剛性の向上は、この場合、主として、少なくとも１つの側方の空気軸受、少なくとも１つの第３の水平の空気軸受及び少なくとも１つの第４の水平の空気軸受のそれぞれの剛性の大きさにより決定される（少なくとも１つの側方の空気軸受、少なくとも１つの第３の水平の空気軸受あるいは少なくとも１つの第４の水平の空気軸受のそれぞれの剛性が大きければ大きいほど、第１の方向を中心とするガントリビームのトーション又は曲げに関するガントリビームの剛性の向上は大きくなる）。
【0033】
第３の空気軸受アッセンブリは、とりわけ以下に挙げる理由から、本発明に係るポジショニング装置が、（比較的小さな底面を有して）コンパクトな構造を有していることができ、加えて、可動の要素を比較的大きな加速度で（ポジショニング装置の底面と比較して）比較的大きな面積にわたって動かすのに好適であるための前提を形成する。
【0034】
一方では、平坦な側面を有するガイドビームは（特許文献１において公知の、上で説明したように、側方のガイド面が、側方でガントリビームの横に、ガントリビームの端部の一方の近傍に、ガントリビームのこの一方の端部に対して間隔を置いて布置されているポジショニング装置とは異なり）、ベースに、平坦なガイド面の第３のセクションの横に配置されており、かつ第１の方向で、ガントリビームの中央のセクションの領域において、ガントリビームと、ベースの平坦なガイド面との間の中間スペースを通して延在している。ガイドビームのこの配置に基づき、有利な形式で、第２の方向（ガントリビームの長手方向に相当）でのポジショニング装置の延在に関する、本発明に係るポジショニング装置の所要スペースは、減じられている。ガイドビームの配置は、他方では、本発明に係るポジショニング装置の高度に動的な形成に関して、ガントリビームが、ガイドビームの配置のために、ベースの平坦なガイド面に対して、第３の方向でのガイドビームの平坦な側面の延在寸法より大きい予め決められた間隔を有していなければならないという点において、不都合な効果と結び付いてしまうように見える。ガイドビームの配置に基づき、ガントリビームには、それゆえ、第１の方向でのガントリビームの加速時、（ガントリビームが、ベースの平坦なガイド面に対して、第３の方向でのガイドビームの平坦な側面の延在寸法より小さい間隔を有しているときに、ガントリビームに、第１の方向でのガントリビームの同じ加速時に作用するであろう相応のトーションモーメントと比較して）第２の方向の方向での「高められた」トーションモーメントが作用しかねない。前述の不都合な効果は、本発明に係るポジショニング装置の場合、しかし、第１の方向での加速中の、第２の方向を中心とするトーションに関するガントリビームのトーション剛性が、第３の空気軸受アッセンブリにより拡大されて、前述の不都合な効果が、第３の空気軸受アッセンブリに基づくガントリビームのトーション剛性の向上と比較して、相対的に小さいように、第３の空気軸受アッセンブリを形成することができれば、何ら問題なく甘受され得る。
【0035】
第３の空気軸受アッセンブリにより達成可能な、第１の方向でのガントリビームの加速時及び第２の方向での可動の要素の加速時の、第１の方向及び／又は第２の方向に関するガントリビームのトーション剛性及び曲げ剛性の向上は、さらに、可動の要素を水平の空気軸受により同じくベースの平坦なガイド面にガイドすることを（特許文献１において公知のポジショニング装置とは異なり）省略し得るための前提を提供する。第３の空気軸受アッセンブリにより達成可能な、ガントリビームのトーション剛性及び曲げ剛性の向上は、可動の要素を、第２の方向での運動時、ガントリビームにのみガイドし、それにもかかわらず、ポジショニング装置が高度に動的に形成されており、第１の方向及び／又は第２の方向での可動の要素の大きな加速時の、ガントリビーム自体の変形が、許容可能な限度内に維持され得ることを保証することを可能にする。可動の要素が第２の方向での運動時にガントリビームにのみガイドされているように、可動の要素がガントリビームに配置され得ることにより、可動の要素が実質的にガントリビームの全長にわたって第２の方向で動かされ得るように、可動の要素をガントリビームにガイドすることが可能である。特許文献１において公知のポジショニング装置と比較して、こうして、可動の要素が第２の方向で可動である距離の長さは、拡大されている。
【0036】
ポジショニング装置の一実施の形態は、第３の空気軸受アッセンブリが、ガントリビームの中央のセクションを平坦なガイド面の第３のセクションにガイドする２つの第３の水平の空気軸受及び２つの第４の水平の空気軸受を有し、２つの第３の水平の空気軸受は、互いに相対的に、２つの第３の水平の空気軸受が互いに相対的に間隔を第２の方向で有しているように配置されており、２つの第４の水平の空気軸受は、互いに相対的に、２つの第４の水平の空気軸受が互いに相対的に間隔を第２の方向で有しているように配置されており、２つの第３の水平の空気軸受及び２つの第４の水平の空気軸受には、平坦なガイド面の第３のセクションに関して、プリロードが付与されているように形成されている。２つの第３の水平の空気軸受及び２つの第４の水平の空気軸受を前述のように提供することで、第３の空気軸受アッセンブリは、第２の方向での可動の要素の加速時の、第１の方向を中心とするガントリビームのトーション又は曲げに関する、ガントリビームの剛性の付加的な向上を可能にする。２つの第３の空気軸受の、互いに相対的な第２の方向での間隔と、２つの第４の水平の空気軸受の、互いに相対的な第２の方向での間隔とは、それぞれ、ガントリビームの剛性を、予め決められた値の分だけ向上させるべく、好適に選択され得る。
【0037】
ポジショニング装置の別の一実施の形態は、第３の空気軸受アッセンブリが、ガントリビームをガイドビームの平坦な側面にガイドする２つの側方の空気軸受を有し、２つの側方の空気軸受は、互いに相対的に、２つの側方の空気軸受が互いに相対的に間隔を第１の方向で有しているように配置されており、かつ２つの側方の空気軸受には、ガイドビームの平坦な側面に関して、プリロードが付与されているように形成されている。互いに相対的に間隔を第１の方向で有している複数の側方の空気軸受の使用は、第１の方向でのガントリビームの運動時、特に、ガントリビームの運動が、第３の方向を中心とするガントリビームのトーション又はねじれに関して安定化されるように、より安定にガントリビームをガイドビームの平坦な側面にガイドすることを可能にする。
【0038】
ポジショニング装置の別の一実施の形態は、第１の空気軸受アッセンブリが、ガントリビームの第１の端部を平坦なガイド面の第１のセクションにガイドする２つの第１の水平の空気軸受を有し、２つの第１の水平の空気軸受は、互いに相対的に、２つの第１の水平の空気軸受が互いに相対的に間隔を第１の方向で有しているように配置されており、２つの第１の水平の空気軸受には、平坦なガイド面の第１のセクションに関して、プリロードが付与されているように形成されている。第１の空気軸受アッセンブリが、２つの（第１の方向で互いに相対的に間隔を置いて配置される）第１の水平の空気軸受を有していることにより、第１の空気軸受アッセンブリは、第２の方向を中心とするガントリビームのねじれ又はトーションに関するガントリビームの第１の端部の剛性の向上を可能にし、その結果、第１の方向でのガントリビームの第１の端部の運動は、第２の方向を中心とするガントリビームのねじれ又はトーションに関して安定化されている。剛性の向上は、この場合、第１の方向での２つの第１の水平の空気軸受間の間隔に依存しており、その結果、第１の方向での２つの第１の水平の空気軸受間の間隔が大きく選択されればされるほど、剛性は、通例、大きくなる。
【0039】
ポジショニング装置の別の一実施の形態は、第２の空気軸受アッセンブリが、ガントリビームの第２の端部を平坦なガイド面の第２のセクションにガイドする２つの第２の水平の空気軸受を有し、２つの第２の水平の空気軸受は、互いに相対的に、２つの第２の水平の空気軸受が第１の方向で互いに相対的に間隔を有しているように配置されており、２つの第２の水平の空気軸受には、平坦なガイド面の第２のセクションに関して、プリロードが付与されているように形成されている。第２の空気軸受アッセンブリが、２つの（第１の方向で互いに相対的に間隔を置いて配置される）第２の水平の空気軸受を有していることにより、第２の空気軸受アッセンブリは、第２の方向を中心とするガントリビームのねじれ又はトーションに関する、ガントリビームの第２の端部の剛性の向上を可能にし、その結果、第１の方向でのガントリビームの第２の端部の運動は、第２の方向を中心とするガントリビームのねじれ又はトーションに関して安定化されている。剛性の向上は、この場合、第１の方向での２つの第２の水平の空気軸受間の間隔に依存しており、その結果、第１の方向での２つの第２の水平の空気軸受間の間隔が大きく選択されればされるほど、剛性は、通例、大きくなる。
【0040】
ポジショニング装置の別の一実施の形態は、ポジショニング装置が、可動の要素をガントリビームにガイドする、可動の要素に結合される複数の空気軸受を有する第２の空気軸受装置を備えているように形成されている。第２の空気軸受装置は、可動の要素が第２の空気軸受装置の空気軸受により非接触式に、かつ摩擦フリーにガントリビームにのみ（可動の要素が空気軸受によりベースの平坦なガイド面に支持あるいはガイドされる必要なしに）ガイドされ得るという効果を有している。第２の空気軸受装置の空気軸受は、この場合、第２の空気軸受装置の空気軸受のいずれもが、第１の空気軸受装置の空気軸受のいずれかと衝突し得ないように、可動の要素に対して相対的に、かつガントリビームに対して相対的に、かつ第１の空気軸受装置のそれぞれの空気軸受に対して相対的に配置され得る。この目的のために、第２の空気軸受装置の全空気軸受は、ベースの平坦なガイド面に関して１つの高さに布置されることができ、その結果、第２の空気軸受装置の空気軸受は、第１の空気軸受装置の空気軸受より上に配置されている。こうした事情から、第２の空気軸受装置の空気軸受は、可動の要素に、ガントリビームに関して、可動の要素が第２の方向で、第２の空気軸受装置の空気軸受によりガイドされて、実質的に第２の方向でのガントリビームの延在全体に沿って動かされ得るように配置されていることができる。
【0041】
第２の空気軸受装置とガントリビームとは、特に、可動の要素が、第２の空気軸受装置の空気軸受によりガントリビームにガイドされて、リニアに第２の方向でガントリビームに可動であるように形成されていることができる。第２の空気軸受装置の空気軸受とガントリビームとは、この場合、可動の要素用のリニアガイドを、可動の要素がリニアに第２の方向で可動であるように形成する。可動の要素を第２の方向で動かすべく、可動の要素に結合されているリニア駆動部との組み合わせにおけるこのリニアガイドは、ポジショニング装置の「第２のリニア軸」をなしている。
【0042】
ポジショニング装置の前述の実施の形態の一発展形は、ガントリビームが、平坦なガイド面を有し、平坦なガイド面は、第１の方向に対して平行に、かつ第２の方向に対して平行に配置されており、かつガントリビームが、１つの平坦な側面を有し、上記１つの平坦な側面は、第２の方向に対して平行に、かつガントリビームの平坦なガイド面に対して略垂直に配向された第３の方向に対して平行に延在しているように形成されている（「略垂直」なる言い回しは、「第３の方向」が、ガントリビームの平坦なガイド面に対して垂直に配向されているか、又はガントリビームの平坦なガイド面に対して垂直に配向された直線に関して０°～５°の範囲内の傾き角度で傾けられている直線に沿って延在していることを示唆するものである）。この場合、第２の空気軸受装置は、少なくとも１つの第１の水平の空気軸受と、少なくとも１つの第２の水平の空気軸受とを有し、少なくとも１つの第１の水平の空気軸受と、少なくとも１つの第２の水平の空気軸受とは、可動の要素が、第２の空気軸受装置の少なくとも１つの第１の水平の空気軸受と、少なくとも１つの第２の水平の空気軸受とにより、ガントリビームの平坦なガイド面にガイドされており、第２の空気軸受装置の少なくとも１つの第１の水平の空気軸受が、少なくとも１つの第２の水平の空気軸受に対して相対的に間隔を第２の方向で有しているように、可動の要素に配置されており、第２の空気軸受装置の少なくとも１つの第１の水平の空気軸受及び少なくとも１つの第２の水平の空気軸受には、ガントリビームの平坦なガイド面に関して、プリロードが付与されている。さらに第２の空気軸受装置は、可動の要素に配置される、可動の要素をガントリビームの上記１つの平坦な側面にガイドする少なくとも１つの側方の空気軸受を有し、第２の空気軸受装置の少なくとも１つの側方の空気軸受には、ガントリビームの上記１つの平坦な側面に関して、プリロードが付与されている。
【0043】
前述の実施の形態のこの発展形の場合、可動の要素を第２の方向での運動時にガントリビームの平坦なガイド面上に支持すべく、第２の空気軸受装置の少なくとも１つの第１の水平の空気軸受と、少なくとも１つの第２の水平の空気軸受とが設けられている。第２の空気軸受装置の少なくとも１つの側方の空気軸受は、可動の要素を第２の方向での運動時に側方でガントリビームの上記１つの平坦な側面にガイドするために設けられており、その結果、可動の要素は、リニアに第２の方向で可動である。
【0044】
第２の空気軸受装置のそれぞれの水平の空気軸受及び第２の空気軸受装置のそれぞれの側方の空気軸受は、ガントリビームの平坦なガイド面及びガントリビームの平坦な側面と協働し、可動の要素が、リニアに第２の方向で可動であるように、可動の要素が、第２の空気軸受装置の水平の空気軸受及び側方の空気軸受によりガイドされているようにしている。可動の要素のこのリニアガイドは、可動の要素を第２の方向で動かすべく、可動の要素に結合されているリニア駆動部との組み合わせにおいて、ポジショニング装置の「第２のリニア軸」をなしている。
【0045】
第２の空気軸受装置の少なくとも１つの側方の空気軸受に、ガントリビームの上記１つの平坦な側面に関して、プリロードが付与されていることにより、上記１つの側方の空気軸受は、可動の要素を第２の方向での運動時に側方で十分安定にガイドする、具体的には、単一のガイド面、すなわち、ガントリビームの上記１つの平坦な側面にのみガイドするのに好適である。それゆえ、可動の要素を第２の方向での運動時に十分安定に側方でガイドすることを保証するために、付加的な側方の空気軸受を可動の要素に配置し、可動の要素が、この付加的な側方の空気軸受によって、ガントリビームの前述の１つの平坦な側面とは第１の方向に関して反対側に配置されているガントリビームの第２の側面に、側方でガイドされているようにすることは、不要である。こうして、第２の空気軸受装置の空気軸受が、比較的小さな所要スペースでガントリビームに配置され得ることが保証されている。可動の要素が、ガントリビームに側方で、少なくとも１つの側方の空気軸受によりガントリビームの上記１つの平坦な側面にガイドされているだけであるので、ガントリビームの、上記１つの平坦な側面とは第１の方向で反対側の第２の側面は、この第２の側面が、可動の要素によっても、第２の空気軸受装置の空気軸受の１つによっても覆われておらず、それゆえ、この第２の側面が、この第２の側面にポジショニング装置の所定の機能的な要素（例えば空気軸受に圧縮空気を供給する供給ライン並びに／又は２つの第１のリニア軸のリニア駆動部及び１つの第２のリニア軸のリニア駆動部に電気的なエネルギを供給する電気的なライン）を取り付けるために、スペースを提供するように、自由にアクセス可能であるように構成されていることができる。
【0046】
第２の空気軸受装置の少なくとも１つの第１の水平の空気軸受と、少なくとも１つの第２の水平の空気軸受とが、互いに相対的に間隔を第２の方向で有していることにより、前述の第１の水平の空気軸受と、前述の第２の水平の空気軸受とは、ガントリビームに沿った第２の方向での可動の要素の加速される運動時、第１の方向を中心とする可動の要素のねじれ又はトーションに関する、可動の要素の空間的な位置を安定化させるべく、形成されている。さらに、少なくとも１つの第１の水平の空気軸受、少なくとも１つの第２の水平の空気軸受及び少なくとも１つの側方の空気軸受は、相俟って、第１の方向での可動の要素の加速される運動時、第２の方向を中心とする可動の要素のねじれ又はトーションに関する、可動の要素の空間的な位置を安定化させるべく、形成されている。
【0047】
上述の発展形の一変化態様において、ポジショニング装置は、第２の空気軸受装置が、可動の要素に配置される、可動の要素をガントリビームの平坦なガイド面にガイドする２つの第１の水平の空気軸受を有し、第２の空気軸受装置の２つの第１の水平の空気軸受は、互いに相対的に間隔を第１の方向で有し、ガントリビームの平坦なガイド面に関して、プリロードが付与されているように形成されていてもよい。代替的又は付加的に、ポジショニング装置は、第２の空気軸受装置が、可動の要素に配置される、可動の要素をガントリビームの平坦なガイド面にガイドする２つの第２の水平の空気軸受を有し、第２の空気軸受装置の２つの第２の水平の空気軸受は、互いに相対的に間隔を第１の方向で有し、ガントリビームの平坦なガイド面に関して、プリロードが付与されているように形成されていてもよい。代替的又は付加的に、ポジショニング装置は、さらに、第２の空気軸受装置が、可動の要素に配置される、可動の要素をガントリビームの上記１つの平坦な側面にガイドする２つの側方の空気軸受を有し、第２の空気軸受装置の２つの側方の空気軸受は、互いに相対的に間隔を第２の方向で有し、ガントリビームの平坦な側面に関して、プリロードが付与されているように形成されていてもよい。第２の空気軸受装置が、前述のように、可動の要素に配置される２つの第１の水平の空気軸受及び／又は可動の要素に配置される２つの第２の水平の空気軸受及び／又は可動の要素に配置される２つの側方の空気軸受を有していることにより、第１の方向での可動の要素の加速される運動時及び／又は第２の方向での可動の要素の加速される運動時、可動の要素の空間的な位置、具体的には、第１の方向を中心とする可動の要素のねじれ又はトーションに関するかつ／又は第２の方向を中心とする可動の要素のねじれ又はトーションに関するかつ／又は第３の方向を中心とする可動の要素のねじれ又はトーションに関する、可動の要素の空間的な位置が、特に効果的に安定化され得ることが達成される。
【0048】
ポジショニング装置のそれぞれの空気軸受に１つの面に関してプリロードが付与されていることを達成すべく、例えば好適な磁気式の手段が提供されてもよく、例えば、第２の空気軸受装置の少なくとも１つの（又は代替的にはすべての）第１の水平の空気軸受及び少なくとも１つの（又は代替的にはすべての）第２の水平の空気軸受には、磁気式の手段により、ガントリビームの平坦なガイド面に関して、プリロードが付与されており、かつ／又は第２の空気軸受装置の少なくとも１つの（又は代替的にはすべての）側方の空気軸受には、磁気式の手段により、ガントリビームの上記１つの平坦な側面に関して、プリロードが付与されているようにしてもよい。この目的のために、例えばガントリビームは、強磁性の素材（例えば鋼）から形成されていてもよく、第２の空気軸受装置の少なくとも１つの（又は代替的にはすべての）第１の水平の空気軸受及び少なくとも１つの（又は代替的にはすべての）第２の水平の空気軸受には、それぞれ、永久磁石が設けられていてもよい。ガントリビームの強磁性の素材と、それぞれの空気軸受内に配置される強磁性体との間の相互の磁気吸引に基づき、それぞれの空気軸受に作用する、ガントリビームに向かって配向されたそれぞれの空気軸受のプリロード力が、それぞれ発生される。
【0049】
第１の空気軸受アッセンブリの空気軸受にプリロードを付与すべく、相応に磁気式の手段が提供されてもよく、第１の空気軸受アッセンブリの少なくとも１つの（又は代替的にはすべての）第１の水平の空気軸受には、磁気式の手段により、ベースの平坦なガイド面の第１のセクションに関して、プリロードが付与されており、かつ／又は第２の空気軸受アッセンブリの少なくとも１つの（又は代替的にはすべての）第２の水平の空気軸受には、磁気式の手段により、平坦なガイド面の第２のセクションに関して、プリロードが付与されており、かつ／又は第３の空気軸受アッセンブリの少なくとも１つの（又は代替的にはすべての）第３の水平の空気軸受及び第３の空気軸受アッセンブリの少なくとも１つの（又は代替的にはすべての）第４の水平の空気軸受には、磁気式の手段により、平坦なガイド面の第３のセクションに関して、プリロードが付与されており、かつ／又は第３の空気軸受アッセンブリの少なくとも１つの（又は代替的にはすべての）側方の空気軸受には、磁気式の手段により、ガイドビームの上記１つの平坦な側面に関して、プリロードが付与されているようにしてもよい。この目的のために、例えば第１の空気軸受装置の１つの水平の（又は代替的にはすべての水平の）空気軸受に、永久磁石が設けられていて、ベースが、強磁性の材料から製作されているか、又は代替的に、少なくとも、ベースの、平坦なガイド面における所定の領域が、強磁性の材料から形成されていてもよい。同様に、例えば第３の空気軸受アッセンブリの側方の空気軸受に、永久磁石が設けられていて、ガイドビームが、強磁性の材料から製作されていてもよい。
【0050】
磁気式の手段による空気軸受のプリロードは、空気軸受の比較的大きなプリロード力が比較的小さな永久磁石により発生されることができ、このことは、有利な形式で、それぞれの空気軸受の配置のために必要とされる所要スペースを減じ、ひいては空気軸受の特にコンパクトな、省スペースな配置のための前提を提供するという利点を有している。
【0051】
磁気式の手段によりプリロードが付与される空気軸受に代えて、真空式にプリロードが付与される空気軸受を使用することが可能であることも自明である。真空式にプリロードが付与される空気軸受は、通例、予め決められた所定のプリロード力の発生を保証するために、（磁気式の手段によりプリロードが付与される空気軸受と比較して）より大きな所要スペースを有している。
【0052】
ポジショニング装置の別の一実施の形態は、第３の空気軸受アッセンブリのすべての第３の水平の空気軸受、第３の空気軸受アッセンブリのすべての第４の水平の空気軸受及び第３の空気軸受アッセンブリのすべての側方の空気軸受が、１つの共通のキャリアに取り付けられており、キャリアが、ガントリビームに取り付けられており、その結果、第３の空気軸受アッセンブリは、キャリアによりガントリビームに保持されているように形成されている。第３の空気軸受アッセンブリの全空気軸受が、１つの共通のキャリアに取り付けられていることにより、第３の空気軸受アッセンブリの空気軸受は、キャリアとともに単一の構成群を形成し、この単一の構成群は、例えば、第３の空気軸受アッセンブリの空気軸受を、ガントリビームに対して相対的に、又はベースの平坦なガイド面に対して相対的に、又はガイドビームに対して相対的に配置すべく、又は第１の方向、第２の方向及び／又は第３の方向に関して方向付けるべく、全体として（１つのユニットとして）取り扱われ得る。このことは、第３の空気軸受アッセンブリの全空気軸受の精緻な空間的な配置を容易にする。キャリアは、加えて、空気軸受に、ポジショニング装置の運転中に必要とされる作動媒体を供給する（例えばそれぞれの空気軸受に圧縮空気を供給する）供給ラインをキャリアに取り付ける可能性を提供し、その結果、第３の空気軸受アッセンブリの空気軸受は、キャリア及びそれぞれの供給ラインとともに単一のコンパクトな構成群として提供され得る。キャリアは、特にハウジングとして形成されていてもよく、ハウジングは、第３の空気軸受アッセンブリの空気軸受のコンポーネント及び／又はこれらの空気軸受に作動媒体を供給する供給ラインを収容するためのものとして定められている。
【0053】
ポジショニング装置の前述の実施の形態の一発展形は、キャリアが、ガントリビームより下に、ガントリビームと平坦なガイド面との間の中間スペース内に配置されているように設計されている。こうして、ガントリビームが、ポジショニング装置の運転中、簡単に、平坦なガイド面に対面した面において、キャリアと、キャリアに配置される空気軸受とを有し、かつ１つのユニットを形成している単一の構成群により支持され、前述の構成群が全体として空気軸受により、ベースの平坦なガイド面にも、ガイドビームの上記１つの平坦な側面にもガイドされており、ひいては滑動要素を形成し、滑動要素が、ガントリビーム、あるいは特にガントリビームの中央のセクションを、非接触式に、かつ摩擦フリーに、ベースの平坦なガイド面に支持及びガイドし、さらに側方で、ガイドビームの上記１つの平坦な側面にガイドするための構造的な前提が提供されている。
【0054】
ポジショニング装置の前述の実施の形態の別の一発展形は、キャリアが、第３の空気軸受アッセンブリのすべての第３の水平の空気軸受、第３の空気軸受アッセンブリのすべての第４の水平の空気軸受及び第３の空気軸受アッセンブリのすべての側方の空気軸受とともに、ガントリビームに対して相対的に、第３の方向で延在する回動軸線回りに回動可能であるように、キャリアが、ガントリビームに回動可能に支承されているように形成されている。キャリアが、第３の方向で延在する回動軸線回りに回動可能であることにより、第３の空気軸受アッセンブリの空間的な位置が、全体として、ポジショニング装置の運転中、ガントリビームに対して相対的に、回動軸線回りのキャリアの回動により変更され得るという可能性が存在する。こうして、第３の空気軸受アッセンブリは、ポジショニング装置の運転中、第１の方向に対して相対的な、ガントリビームの長手方向（第２の方向に相当）の方向付けが変更されるべきとき（例えば、ガントリビームの第１の端部と、ガントリビームの第２の端部とが、同期的にそれぞれ同じ速度で第１の方向で動かされないように、両第１のリニア軸のリニアモータが制御されるべきとき）でも、常にガイドビームの平坦な側面に関して予め決められた安定なポジションに配置されていることができる。こうして、特に第３の空気軸受アッセンブリの側方の空気軸受が、ガイドビームの平坦な側面と衝突してしまうことは、回避され、ひいては、第３の空気軸受アッセンブリの側方の空気軸受は、ガイドビームとの衝突に基づく過負荷あるいは損傷から保護され得る。
【0055】
ポジショニング装置の前述の実施の形態の別の一発展形は、キャリアが、ガントリビームに、１つ又は複数の固体継手から形成されているピボット継手を介して結合されているように形成されている。１つ又は複数の固体継手の使用は、キャリアとガントリビームとの間の摩擦フリーの、かつ遊びなしの相対運動を可能にし、ガントリビームに対して相対的なキャリアの配置を精緻にコントロール可能かつ再現可能に変更する簡単な可能性を提供する。
【0056】
ポジショニング装置の前述の実施の形態の別の一発展形は、第１の固体継手と、第２の固体継手とを備えている。第１の固体継手は、第１の縦長の固体からなり、第１の縦長の固体は、第３の方向に対して平行な第１の平面に沿って、第３の方向に対して垂直に延在しており、第３の方向に対して垂直に配置される長手方向軸線を有し、第１の縦長の固体は、第１の縦長の固体の長手方向軸線の方向で相前後して配置される以下の長手方向セクション：
第１の縦長の固体の第１の端部を形成する第１の端部セクションと；
第１の縦長の固体の第１の端部とは第１の縦長の固体の長手方向軸線の方向で反対側の第１の縦長の固体の第２の端部を形成する第２の端部セクションと；
第１の縦長の固体の第１の端部セクションと第２の端部セクションとの間に配置される中央セクションと；
第１の縦長の固体の第１の端部セクションと中央セクションとの間に配置され、第１の端部セクションと中央セクションとに結合される第１のウェブ部分と；
第２の端部セクションと中央セクションとの間に配置され、第１の縦長の固体の第２の端部セクションと中央セクションとに結合される第２のウェブ部分と；
を有している。
第１の縦長の固体の第１の端部を形成する第１の端部セクションと；
第１の縦長の固体の第１の端部とは第１の縦長の固体の長手方向軸線の方向で反対側の第１の縦長の固体の第２の端部を形成する第２の端部セクションと；
第１の縦長の固体の第１の端部セクションと第２の端部セクションとの間に配置される中央セクションと；
第１の縦長の固体の第１の端部セクションと中央セクションとの間に配置され、第１の端部セクションと中央セクションとに結合される第１のウェブ部分と；
第２の端部セクションと中央セクションとの間に配置され、第１の縦長の固体の第２の端部セクションと中央セクションとに結合される第２のウェブ部分と；
を有している。
【0057】
第２の固体継手は、第２の縦長の固体からなり、第２の縦長の固体は、第３の方向に対して平行な第２の平面に沿って、第３の方向に対して垂直に延在しており、第３の方向に対して垂直に配置される長手方向軸線を有し、第２の縦長の固体は、第２の縦長の固体の長手方向軸線の方向で相前後して配置される以下の長手方向セクション：
第２の縦長の固体の第１の端部を形成する第１の端部セクションと；
第２の縦長の固体の第１の端部とは第２の縦長の固体の長手方向軸線の方向で反対側の第２の縦長の固体の第２の端部を形成する第２の端部セクションと；
第２の縦長の固体の第１の端部セクションと第２の端部セクションとの間に配置される中央セクションと；
第２の縦長の固体の第１の端部セクションと中央セクションとの間に配置され、第１の端部セクションと中央セクションとに結合される第１のウェブ部分と；
第２の縦長の固体の第２の端部セクションと中央セクションとの間に配置され、第１の縦長の固体の第２の端部セクションと中央セクションとに結合される第２のウェブ部分と；
を有している。
第２の縦長の固体の第１の端部を形成する第１の端部セクションと；
第２の縦長の固体の第１の端部とは第２の縦長の固体の長手方向軸線の方向で反対側の第２の縦長の固体の第２の端部を形成する第２の端部セクションと；
第２の縦長の固体の第１の端部セクションと第２の端部セクションとの間に配置される中央セクションと；
第２の縦長の固体の第１の端部セクションと中央セクションとの間に配置され、第１の端部セクションと中央セクションとに結合される第１のウェブ部分と；
第２の縦長の固体の第２の端部セクションと中央セクションとの間に配置され、第１の縦長の固体の第２の端部セクションと中央セクションとに結合される第２のウェブ部分と；
を有している。
【0058】
その際、キャリアは、ガントリビームに第１の固体継手と第２の固体継手とを介して、第１の縦長の固体の第１の端部セクション及び第１の縦長の固体の第２の端部セクションがキャリアに剛結され、第１の縦長の固体の中央セクションがガントリビームに剛結されているとともに、第２の縦長の固体の第１の端部セクション及び第２の縦長の固体の第２の端部セクションがキャリアに剛結され、第２の縦長の固体の中央セクションがガントリビームに剛結されているように結合されており、第１の平面と第２の平面とは、互いに相対的に、第１の平面と第２の平面とが、第３の方向に対して平行に延在する１つの共通の交線を形成するように傾けられている。第１の固体継手の第１のウェブ部分及び第２のウェブ部分並びに第２の固体継手の第１のウェブ部分及び第２のウェブ部分は、弾性的に変形可能に形成されており、その結果、第１の固体継手の中央セクションは、第１の固体継手の第１の端部セクションと第１の固体継手の第２の端部セクションとに対して相対的に可動であり、かつ第２の固体継手の中央セクションは、第２の固体継手の第１の端部セクションと第２の固体継手の第２の端部セクションとに対して相対的に可動であり、キャリアは、第１の固体継手と第２の固体継手とによりガントリビームに第１の平面と第２の平面との共通の交線回りに回動可能に支承されている。
【0059】
第１の固体継手及び第２の固体継手の配置は、互いに組み合わされて、キャリアが、（第３の空気軸受アッセンブリの、キャリアに配置される全空気軸受とともに）回動可能にガントリビームに、第１の固体継手及び第２の固体継手の配置が、互いに組み合わされて、第１の平面と第２の平面との（第３の方向で延在する）共通の交線回りのガントリビームに対して相対的なキャリアの回動に関して、できる限り小さな回転剛性を有しているように配置されていることを保証することが望ましい。上記事項は、２つの第１のリニア軸の両リニア駆動部が、ガントリビームの両端部を同期的に同じ速度で第１の方向で動かすべきでない場合のために、第３の空気軸受アッセンブリの側方の空気軸受の過負荷、又は第３の空気軸受アッセンブリの側方の空気軸受の、ガイドビームの平坦な側面からの浮き上がりを回避するために用いられる。
【0060】
第３の方向を中心とする、ガントリビームに対して相対的なキャリアの回動に関する、互いに組み合わされた第１の固体継手及び第２の固体継手の配置のできる限り小さな回転剛性は、さらに、キャリアとガントリビームとが、相俟って、第１の固体継手と第２の固体継手とにより連結された１つの系を形成し、この系は、第３の方向を中心とするガントリビームに対して相対的なキャリアの回動に関して、低い固有振動数（例えば３０Ｈｚ未満の範囲内）を有しているという利点を有している。上記事項は、第１のリニア軸の両リニア駆動部の調整を容易にする。
【0061】
第１の方向でのガントリビームの加速される運動時及び第２の方向での可動の要素の加速される運動時のポジショニング装置の動的な挙動に関して、他方では、キャリアとガントリビームとが、相俟って、第１の固体継手と第２の固体継手とにより連結された１つの系を形成し、この系は、第１の方向でのガントリビームの加速される運動時及び第２の方向での可動の要素の加速される運動時、それぞれ、第１の方向及び／又は第２の方向及び／又は第３の方向でのガントリビームに対して相対的なキャリアの並進に関して、かつ第１の方向及び／又は第２の方向を中心とするガントリビームに対して相対的なキャリアの回転に関して、大きな剛性を有していることは、有利であろう。第１の方向及び／又は第２の方向及び／又は第３の方向でのガントリビームに対して相対的なキャリアの並進、並びに第１の方向及び／又は第２の方向を中心とするガントリビームに対して相対的なキャリアの回転に関する、キャリアとガントリビームとから形成される連結された系の大きな剛性は、第１のリニア軸のリニア駆動部及び第２のリニア軸のリニア駆動部のより迅速な調整を可能にし、第１の方向でのガントリビームの加速される運動時及び第２の方向での可動の要素の加速される運動時の、キャリアあるいはガントリビームの振動挙動を改善し、かつ可動の要素のポジショニングのより高い精度を可能にする。
【0062】
キャリアとガントリビームとから形成される連結された系のその都度の剛性は、主に第１の固体継手及び第２の固体継手の互いに相対的な配置、特に、第２の平面に関する第１の平面の傾きの大きさに依存している。
【0063】
第２の平面に関する第１の平面の傾き（あるいは第２の平面に関する第１の平面の相応の傾き角度）は、第１の固体継手及び第２の固体継手の配置が、結果的に、第３の方向を中心とするガントリビームに対して相対的なキャリアの回動に関しては、キャリアとガントリビームとから形成される連結された系の小さな回転剛性に至り、さらに、第１の方向及び／又は第２の方向でのガントリビームに対して相対的なキャリアの並進並びに第１の方向及び／又は第２の方向を中心とするガントリビームに対して相対的なキャリアの回転に関しては、キャリアとガントリビームとから形成される連結された系の大きな剛性を保証するように、好適に選択され得る。上記事項は、前述の要求に関する受け入れ可能な折衷の意味で、例えば、第１の平面が、第２の平面に関して、３０°～９０°の範囲内の角度、好ましくは、約６０°の角度の分だけ傾けられているとき、達成される。
【0064】
第１の固体継手と第２の固体継手とは、特に、第２の方向に対して平行に、かつ第３の方向に対して平行に延在する第３の平面に関して対称に配置されていてもよい。第１の固体継手及び第２の固体継手のこの配置は、第２の方向での可動の要素の加速時、第２の方向でのガントリビームに対して相対的なキャリアの並進に関して、キャリアとガントリビームとから形成される連結された系の特に大きな剛性を保証する。さらに、第３の平面に関する第１の固体継手及び第２の固体継手の対称の配置は、第１の固体継手と第２の固体継手とに、第２の方向での可動の要素の加速時、それぞれ同じように負荷がかかるという効果を有している。このことは、第１の固体継手と第２の固体継手とが、第２の方向での可動の要素の加速時、第３の方向を中心とするガントリビームに関するキャリアの回動を可能としかねないことを防止し、かつ第２の方向での可動の要素の加速中、ガイドビームに関するキャリアの空間的な位置を安定化させるために用いられる。
【0065】
前述の実施の形態の別の一発展形は、キャリアが、少なくとも１つの中空室を有し、中空室内には、第１の固体継手及び／又は第２の固体継手が配置されているように形成されている。キャリアのこの構成は、第１の固体継手及び／又は第２の固体継手をキャリア内に組み込む可能性を提供し、その結果、第１の固体継手及び／又は第２の固体継手は、第３の方向で少なくとも１つの中空室から突出しないか、又は精々のところ比較的小さな距離しか突出しない。こうして、キャリアとガントリビームとは、第１の固体継手及び／又は第２の固体継手を介して、ガントリビームとキャリアとが第３の空気軸受アッセンブリとともにベースの平坦なガイド面に関して比較的小さな構造高さを有しているように、互いに結合され得る。
【0066】
第１の固体継手及び第２の固体継手の配置は、前述の実施の形態の場合、キャリアが、第１の固体継手と第２の固体継手とにより、ガントリビームに関して静止位置に、キャリアが、第１の平面と第２の平面との共通の交線回りのガントリビームに対して相対的なキャリアの回動により静止位置から可動であるように、保持されているという技術的な効果を有している。キャリアは、この場合、第１の固体継手及び第２の固体継手がそれぞれ未変形の状態にあるとき、静止位置に存在しており、その結果、これらの固体継手の中央セクションの各々は、それぞれ、第１の固体継手あるいは第２の固体継手の第１の端部セクション及び第２の端部セクションに対して相対的に、安定な位置に保持されている。キャリアが、ガントリビームに対して相対的なキャリアの回動により静止位置から動かされるとき、第１の固体継手及び第２の固体継手のウェブ部分は、弾性的に変形され、その結果、第１の固体継手及び第２の固体継手は、相俟って、キャリアに作用する戻し力を発現し、戻し力は、静止位置からのガントリビームの運動に抗して作用する。
【0067】
ポジショニング装置は、好ましくは、静止位置からのキャリアの運動を制限すべく、機械的なストッパとして用いられる１つ又は複数のストッパ要素を備えている。この目的のために、キャリアは、例えば少なくとも１つのストッパ要素であって、キャリアが、ガントリビームに対して相対的に静止位置に配置されているとき、ストッパ要素が、第１の固体継手の中央セクションに対して間隔を有し、かつストッパ要素が、第１の平面と第２の平面との共通の交線回りの予め決められた最大の回動角度のキャリアの回動により、第１の固体継手の中央セクションと接触に至ることが可能であり、その結果、第１の固体継手の中央セクションが、キャリアの回動を制限する機械的なストッパをキャリアのために形成するように配置されているストッパ要素を有していてもよい。代替的又は付加的に、キャリアは、少なくとも１つのストッパ要素であって、キャリアが、ガントリビームに対して相対的に静止位置に配置されているとき、ストッパ要素が、第２の固体継手の中央セクションに対して間隔を有し、かつストッパ要素が、第１の平面と第２の平面との共通の交線回りの予め決められた最大の回動角度のキャリアの回動により、第２の固体継手の中央セクションと接触に至ることが可能であり、その結果、第２の固体継手の中央セクションが、キャリアの回動を制限する機械的なストッパをキャリアのために形成するように配置されているストッパ要素を有していてもよい。こうして、第１の固体継手及び第２の固体継手の機械的な過負荷は、回避され得る。
【0068】
ポジショニング装置のリニア駆動部として、例えばリニアモータが好適である。ポジショニング装置は、例えば、２つの第１のリニア軸の各リニア駆動部が、リニアモータであり、かつ／又は１つの第２のリニア軸のリニア駆動部が、リニアモータであるように形成されていてもよい。別の構造形態のリニア駆動部、例えばねじ山付きスピンドルを有するリニア駆動部又はボールねじ機構又はローラねじ機構が、原理的に同じく好適である。
【0069】
本発明のさらなる詳細と、特に本発明に係るポジショニング装置の例示的な実施の形態とについて、以下に添付の図面を基に説明する。
【図面の簡単な説明】
【0070】
【図1】ベースであって、Ｘ軸に対して平行に、かつＹ軸に対して平行に延在する平坦なガイド面を有するベースと、ガントリ構造形式の運動装置であって、Ｙ軸の方向で延在し、複数の空気軸受を有する第１の空気軸受装置によりベースの平坦なガイド面にガイドされるガントリビームと、ガントリビームをＸ軸の方向で動かすガントリ駆動部とを有する運動装置と、可動の要素であって、複数の空気軸受を有する第２の空気軸受装置によりガントリビームにガイドされ、リニアにＹ軸の方向で可動である可動の要素と、を備える本発明に係るポジショニング装置の一実施の形態を、３つの軸Ｘ，Ｙ，Ｚ（Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸）を有する座標系に関して示す斜視図である。
【図5】ガントリ構造形式の運動装置の部材と、図３に示す第１の空気軸受装置の第１の空気軸受アッセンブリ、第２の空気軸受アッセンブリ及び第３の空気軸受アッセンブリとの、図４とは別の視点から見た斜視分解立体図である。
【図10】可動の要素と、可動の要素をガントリビームにガイドする、複数の空気軸受を有する第２の空気軸受装置の一実施の形態との斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【0071】
特に断りのない限り、図中の同じ要素には、それぞれ、同じ符号を使用する。
【0072】
図１～１３は、可動の要素５をポジショニングする本発明に係るポジショニング装置１（あるいはこのポジショニング装置１の部材）を示している。可動の要素５は、本例では、可動のプラットフォームあるいは可動のテーブルとして設計されており、可動のプラットフォームあるいは可動のテーブルは、例えば、ポジショニング装置１により可動の要素５とともにポジショニングされるべき対象を布置可能な載置面を有している。
【0073】
図１は、ポジショニング装置１を斜視図で、図１に示す３つの軸Ｘ，Ｙ，Ｚ（Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸）を有する座標系に関して示しており、図２、１１～１３は、同じポジショニング装置１を、別の視点から見た別の図で、特にＺ軸（図２）、Ｘ軸（図１１、１２）及びＹ軸（図１３）に沿った図で示している。
【0074】
図１～３及び１１～１３から看取可能であるように、ポジショニング装置１は、ベースＢを備え、ベースＢは、例えばグラナイトからなるプレートとして実現されていてもよく、本例では、上側の面に平坦なガイド面ＦＦを有し、平坦なガイド面ＦＦは、第１の方向（図１に示すＸ軸の方向に相当。以下に「第１の方向Ｘ」という）に対して平行に、かつ第２の方向（図１に示すＹ軸の方向に相当。以下に「第２の方向Ｙ」という）に対して平行に配置されている。
【0075】
ポジショニング装置１は、可動の要素５をベースＢの平坦なガイド面ＦＦに対して平行に第１の方向Ｘ及び／又は第２の方向Ｙで動かし、その際、予め決められたポジションにそれぞれサブマイクロメートル領域（すなわち１μｍ未満）の精度でポジショニングすべく、設計されている。迅速なポジショニングを可能にすべく、可動の要素５を比較的大きな加速度（２ｇ以上）で第１の方向Ｘ及び／又は第２の方向Ｙで動かすことができるようにしてある。
【0076】
この目的のために、ポジショニング装置１は、ガントリ構造形式の第１の運動装置１０を備え、第１の運動装置１０は、平坦なガイド面ＦＦの上方に配置される、平坦なガイド面ＦＦに対して間隔を置いて第２の方向Ｙで延在するガントリビーム１５と、ガントリビーム１５をベースＢに対して相対的に第１の方向Ｘで動かすガントリ駆動部ＧＡとを有している。ガントリビーム１５は、第２の方向Ｙで延在する長手方向軸線を有し、この長手方向軸線に関して、第１の端部１５．１と、第１の端部１５．１とは反対側の第２の端部１５．２とを有し、ガントリ駆動部ＧＡは、第１の方向Ｘで延在する２つの第１のリニア軸Ｘ１あるいはＸ２を有し、第１のリニア軸Ｘ１あるいはＸ２は、各１つのリニア駆動部ＬＭＸ１あるいはＬＭＸ２を有している。この場合、一方の第１のリニア軸Ｘ１のリニア駆動部ＬＭＸ１は、ガントリビーム１５の第１の端部１５．１に結合されており、その結果、ガントリビーム１５の第１の端部１５．１は、リニア駆動部ＬＭＸ１により第１の方向Ｘで可動である。相応に、他方の第１のリニア軸Ｘ２のリニア駆動部ＬＭＸ２は、ガントリビーム１５の第２の端部１５．２に結合されており、その結果、ガントリビーム１５の第２の端部１５．２は、リニア駆動部ＬＭＸ２により同じく第１の方向Ｘで可動である。
【0077】
本例において、リニア駆動部ＬＭＸ１及びＬＭＸ２は、それぞれ、従来慣用のリニアモータとして形成されている。これに応じて、（リニアモータとして形成される）リニア駆動部ＬＭＸ１は、リニアに第１の方向Ｘで延在していて、ベースＢに取り付けられている固定子２０Ａと、固定子２０Ａに対して相対的に第１の方向Ｘで可動の、アダプタプレート１５ａを介してガントリビーム１５の第１の端部１５．１に取り付けられている可動子２０Ｂとを有している。相応に、（リニアモータとして形成される）リニア駆動部ＬＭＸ２は、リニアに第１の方向Ｘで延在していて、ベースＢに取り付けられている固定子２１Ａと、固定子２１Ａに対して相対的に第１の方向Ｘで可動の、アダプタプレート１５ｂを介してガントリビーム１５の第２の端部１５．２に取り付けられている可動子２１Ｂとを有している。
【0078】
リニア駆動部ＬＭＸ１の固定子２０Ａも、リニア駆動部ＬＭＸ２の固定子２１Ａも、第１の方向Ｘに対して垂直な横断面内に、それぞれ１つの略Ｕ字形の輪郭を有し、それぞれ１つの略Ｕ字形の輪郭は、相並んで配置される２つの脚片を有し、これらの脚片は、それぞれ、第１の方向Ｘでそれぞれの固定子２０Ａあるいは２０Ｂの全長にわたって延在する間隙を画定し、すなわち、固定子２０Ａの場合は、間隙ＳＸ１を画定し、固定子２１Ａの場合は、間隙ＳＸ２を画定している。従来慣用のリニアモータの場合に一般的であるように、固定子２０Ａは、固定子２０Ａの間隙ＳＸ１内に静磁界を提供する手段を有し、固定子２１Ａは、固定子２１Ａの間隙ＳＸ２内に静磁界を提供する手段を有している。相応に、リニア駆動部ＬＭＸ１の可動子２０Ｂは、交流電流を供給可能な、交番磁界を発生させる（図面には示さない）コイルを有しているとともに、空間的に、可動子２０Ｂのコイルを有する可動子２０Ｂのセクション２０Ｂ－１が、固定子２０Ａの間隙ＳＸ１内に突入し、かつ可動子２０Ｂが、第１の方向Ｘでこの間隙ＳＸ１内を、第１の方向Ｘでの固定子２０Ａの延在寸法に相当する距離にわたって可動であるように延在している。相応に、リニア駆動部ＬＭＸ２の可動子２１Ｂは、交流電流を供給可能な、交番磁界を発生させる（図面には示さない）コイルを有しているとともに、空間的に、可動子２１Ｂのコイルを有する可動子２１Ｂのセクション２１Ｂ－１が、固定子２１Ａの間隙ＳＸ２内に突入し、かつ可動子２１Ｂが、第１の方向Ｘでこの間隙ＳＸ２内を、第１の方向Ｘでの固定子２１Ａの延在寸法に相当する距離にわたって可動であるように延在している。第１の方向Ｘでのガントリビーム１５の動きを制御すべく、両第１のリニア軸Ｘ１あるいはＸ２のリニア駆動部ＬＭＸ１及びＬＭＸ２は、互いに独立的に（図面には示さない）制御装置により動作制御可能である。
【0079】
両第１のリニア軸Ｘ１あるいはＸ２の省スペースな配置を達成すべく、図１に示すポジショニング装置１の本実施の形態のリニア駆動部ＬＭＸ１及びＬＭＸ２の固定子は、固定子２０Ａの間隙ＳＸ１も、固定子２１Ａの間隙ＳＸ２も、さらに可動子２０Ｂも、可動子２１Ｂも、第１の方向Ｘに対して平行に、かつベースＢの平坦なガイド面ＦＦに対して垂直に配置されている一平面に対して略平行に延在しているように配置されており、その結果、固定子２０Ａの間隙ＳＸ１も、固定子２１Ａの間隙ＳＸ２も、さらに可動子２０Ｂも、可動子２１Ｂも、それぞれ、第２の方向Ｙに、平坦なガイド面ＦＦに対して垂直な方向での延在寸法より大幅に小さい延在寸法を有している。両第１のリニア軸Ｘ１あるいはＸ２のこの配置は、第１の方向Ｘに対して平行に、かつ第２の方向Ｙに対して平行に延在する一平面内におけるできる限り小さい底面の要求に関して有利であり、とりわけ、両リニア駆動部ＬＭＸ１及びＬＭＸ２の各々は、固定子２０Ａ及び２１Ａのそれぞれの構造と、可動子２０Ｂ及び２１Ｂの構造とに基づいて、前述の配置では、平坦なガイド面ＦＦに対して垂直に、第２の方向Ｙでのそれぞれのリニア駆動部ＬＭＸ１あるいはＬＭＸ２の延在寸法より複数倍大きい（典型的には２倍より大きい）延在寸法を有している。上記事項は、特に図１、２、１１及び１２におけるポジショニング装置１の図示を基に明瞭に看取可能である。両第１のリニア軸Ｘ１あるいはＸ２の前述の配置は、それゆえ、第２の方向Ｙ（ガントリビーム１５の長手方向に相当）の方向に特に小さな空間的な延在寸法を有し、特に両第１のリニア軸Ｘ１あるいはＸ２の配置に関して最小化されているポジショニング装置１の構造を可能にする。
【0080】
図１～３に略示するように、可動の要素５は、可動の要素５がガントリビーム１５にリニアに第２の方向Ｙで可動であるように、ガントリビーム１５に支承されており、ガントリビーム１５は、第２の方向Ｙで延在する１つの第２のリニア軸Ｙ１を有し、第２のリニア軸Ｙ１は、可動の要素５に結合される、可動の要素５を第２の方向Ｙで動かすリニア駆動部ＬＭＹを有している。
【0081】
本例において、第２のリニア軸Ｙ１のリニア駆動部ＬＭＹは、同じく従来慣用のリニアモータとして形成されており、（リニア駆動部ＬＭＸ１及びＬＭＸ２の構造と同様に）リニアに第２の方向Ｙで延在している固定子１００Ａであって、ガントリビーム１５の上側の面に取り付けられており、第２の方向Ｙで第１の端部１５．１と第２の端部１５．２との間でガントリビーム１５の全長にわたって延在している固定子１００Ａと、固定子１００Ａに対して相対的に第２の方向Ｙで可動の、可動の要素５に取り付けられている可動子１００Ｂとを有している。
【0082】
リニア駆動部ＬＭＹの固定子１００Ａは、第２の方向Ｙに対して垂直な横断面内に、略Ｕ字形の輪郭を有し、略Ｕ字形の輪郭は、相並んで配置される２つの脚片を有し、これらの脚片は、それぞれ、第２の方向Ｙで固定子１００Ａの全長にわたって延在する間隙ＳＹを画定している。固定子１００Ａは、固定子１００Ａの間隙ＳＹ内に静磁界を提供する手段を有している。相応に、リニア駆動部ＬＭＹの可動子１００Ｂは、交流電流を供給可能な、交番磁界を発生させる（図面には示さない）コイルを有しているとともに、空間的に、可動子１００Ｂのコイルを有する可動子１００Ｂのセクション１００Ｂ－１が、固定子１００Ａの間隙ＳＹ内に突入し、かつ可動子１００Ｂが、第２の方向Ｙでこの間隙ＳＹ内を、第２の方向Ｙでの固定子１００Ａの延在寸法に相当する距離にわたって可動であるように延在している。第２の方向Ｙでの可動の要素５の動きを制御すべく、リニア駆動部ＬＭＹは、（図面には示さない）制御装置により動作制御可能である。
【0083】
第２のリニア軸Ｙ１の省スペースな配置を達成すべく、図１に示すポジショニング装置１の本実施の形態のリニア駆動部ＬＭＹの固定子１００Ａは、固定子１００Ａの間隙ＳＹも、可動子１００Ｂも、ベースＢの平坦なガイド面ＦＦに対して平行に配置されている一平面に対して略平行に延在しているように配置されており、その結果、固定子１００Ａの間隙ＳＹも、可動子１００Ｂも、第１の方向Ｘに、ベースＢの平坦なガイド面ＦＦに対して垂直な方向での延在寸法より大幅に大きい延在寸法を有している。
【0084】
付加的に、ガントリビーム１５と、リニア駆動部ＬＭＹの固定子１００Ａとが、相俟って、ベースＢの平坦なガイド面ＦＦに対して垂直に、できる限り小さな延在寸法を有することを達成すべく、ガントリビーム１５は、ガントリビーム１５の上側の面に、第２の方向Ｙでガントリビーム１５の全長にわたって延在する（特に図１、５及び１３に看取可能な）トレンチ形の、Ｚ軸の方向の凹部ＶＹを有している。この凹部は、第２の方向Ｙに対して垂直な一平面に関して長方形の横断面積を有し、下側の面において、第１の方向Ｘに対して平行に、かつ第２の方向Ｙに対して平行に延在する平坦な底面ＧＶＹにより画定されている。図１、５及び１３に看取可能であるように、固定子１００Ａは、凹部ＶＹの平坦な底面ＧＶＹ上に布置されており、その結果、こうして、平坦なガイド面ＦＦに関する固定子１００Ａの高さは、減じられている。リニア軸Ｙ１の前述の配置は、それゆえ、ベースＢの平坦なガイド面ＦＦに対して垂直な方向に、特に小さな空間的な延在寸法を有しているポジショニング装置１の構造を可能にする。
【0085】
ガントリビーム１５における可動の要素５の支承に関するさらなる詳細と、可動の要素５における可動子１００Ｂの配置に関する詳細とについて、以下にさらに、特に図１０との関連において説明する。
【0086】
図１に略示するように、ポジショニング装置１は、ガントリビームをベースＢの平坦なガイド面ＦＦにガイドする、ガントリビーム１５に結合される複数の空気軸受を有する第１の空気軸受装置ＬＬ１を備えている。図１から看取可能であるように、第１の空気軸受装置ＬＬ１は、第１の空気軸受アッセンブリ３０を有し、第１の空気軸受アッセンブリ３０は、ガントリビーム１５の第１の端部１５．１に配置される、ガントリビーム１５の第１の端部１５．１を、平坦なガイド面ＦＦの、第１の方向Ｘで延在する第１のセクションＦＦ１にガイドする少なくとも１つの第１の水平の空気軸受を有している。付加的に第１の空気軸受装置ＬＬ１は、第２の空気軸受アッセンブリ３５を有し、第２の空気軸受アッセンブリ３５は、ガントリビーム１５の第２の端部１５．２に配置される、ガントリビーム１５の第２の端部１５．２を、平坦なガイド面ＦＦの、第１の方向Ｘで延在する第２のセクションＦＦ２にガイドする少なくとも１つの第２の水平の空気軸受を有している。第１の空気軸受アッセンブリ３０及び第２の空気軸受アッセンブリ３５のそれぞれの空気軸受は、ガントリビーム１５を、それぞれ、ガントリビーム１５の第１の端部１５．１における一部セクションと、ガントリビーム１５の第２の端部１５．２における一部セクションとにおいて、平坦なガイド面ＦＦ上に支持あるいはガイドする役割を有している。第１の空気軸受アッセンブリ３０及び第２の空気軸受アッセンブリ３５の詳細について、以下にさらに、特に図３～５との関連において説明する。
【0087】
図１にさらに略示するように、第１の空気軸受装置ＬＬ１は、付加的に第３の空気軸受アッセンブリ５０を有し、第３の空気軸受アッセンブリ５０は、少なくとも１つの第３の水平の空気軸受と、少なくとも１つの第４の水平の空気軸受とを有し、少なくとも１つの第３の水平の空気軸受と、少なくとも１つの第４の水平の空気軸受とは、ガントリビーム１５の第１の端部１５．１と、ガントリビーム１５の第２の端部１５．２との間の、ガントリビーム１５の「中央のセクション」に配置されており、その結果、ガントリビーム１５の「中央のセクション」は、第３の水平の空気軸受と第４の水平の空気軸受とにより、平坦なガイド面ＦＦの、第１の方向Ｘで延在し、第２の方向Ｙに関して、平坦なガイド面ＦＦの第１のセクションＦＦ１と、平坦なガイド面の第２のセクションＦＦ２との間に配置されている第３のセクションＦＦ３にガイドされている。前述の少なくとも１つの第３の水平の空気軸受と、前述の少なくとも１つの第４の水平の空気軸受とに関する第３の空気軸受アッセンブリ５０の詳細について、以下にさらに、特に図３、５及び６との関連において説明する。
【0088】
ガントリビーム１５の「中央のセクション」とは、この関連において、ガントリビーム１５の、第２の方向Ｙで延在する１つの長手方向セクションであって、第２の方向Ｙで、第２の方向Ｙでのガントリビーム１５の延在寸法の最大で５０％である長さにわたって延在し、かつガントリビーム１５の第１の端部１５．１と、ガントリビーム１５の第２の端部１５．２とに関して、それぞれ、第２の方向Ｙでのガントリビーム１５の延在寸法の少なくとも２５％である間隔を第２の方向Ｙで有している長手方向セクションと見なされるべきである。
【0089】
図１にさらに示すように、ベースＢには、平坦なガイド面ＦＦの第３のセクションＦＦ３の横に、第１の方向Ｘで延在するガイドビームＦＢが配置されており、ガイドビームＦＢは、１つの平坦な側面ＳＦを有し、上記１つの平坦な側面ＳＦは、第１の方向Ｘに対して平行に、かつ平坦なガイド面ＦＦに対して略垂直に配向された第３の方向（図１に示すＺ軸の方向に相当、以下に「第３の方向Ｚ」という）に対して平行に延在している。さらに第３の空気軸受アッセンブリ５０は、ガントリビーム１５の中央のセクションに配置される、ガントリビームをガイドビームＦＢの上記１つの平坦な側面ＳＦにガイドする少なくとも１つの側方の空気軸受を有している。前述の少なくとも１つの側方の空気軸受に関する第３の空気軸受アッセンブリ５０の詳細について、以下にさらに、特に図３、５及び６との関連において説明する。
【0090】
以下にさらに詳しく説明するように、本例では、第３の空気軸受アッセンブリ５０の全空気軸受は、１つのユニットを形成してガントリビーム１５に取り付けられる「構成群」の構成部分であり、この構成群は、ガントリビーム１５より下に、ガントリビーム１５と平坦なガイド面ＦＦとの間の中間スペース内に配置されており、ガントリビーム１５を、ガントリビーム１５の中央のセクションの領域内で、第３の空気軸受アッセンブリ５０の水平の空気軸受により、平坦なガイド面ＦＦの第３のセクションＦＦ３の領域内で支持あるいはガイドするとともに、第１の方向Ｘでの運動時、側方で、第３の空気軸受アッセンブリ５０の少なくとも１つの側方の空気軸受により、ガイドビームＦＢの平坦な側面ＳＦにガイドする役割を有している。前述の構成群は、これに応じて、ガントリビーム１５に取り付けられる「滑動要素」ＧＥを形成し、滑動要素ＧＥは、ポジショニング装置１の運転中、非接触式に、平坦なガイド面ＦＦの第３のセクションＦＦ３に載って、かつガイドビームＦＢの平坦な側面ＳＦに沿って、具体的には、第３の空気軸受アッセンブリ５０のそれぞれの水平の空気軸受により、滑動要素ＧＥと平坦なガイド面ＦＦの第３のセクションＦＦ３との間で発生可能であるエアクッションに載って、かつ第３の空気軸受アッセンブリ５０のそれぞれの側方の空気軸受により、滑動要素ＧＥとガイドビームＦＢの平坦な側面ＳＦとの間で発生可能であるエアクッションに沿って、第１の方向Ｘで滑動するように形成されている。滑動要素ＧＥのさらなる構造的な詳細と、ガントリビーム１５における滑動要素ＧＥの配置とについて、以下にさらに、特に図６、８及び９との関連において説明する。
【0091】
図１に略示するように、ガントリビーム１５は、上側の（ベースＢの平坦なガイド面ＦＦから背離した）面に、２つの平坦なガイド面ＦＦＧ１あるいはＦＦＧ２を有し、ガイド面ＦＦＧ１あるいはＦＦＧ２は、それぞれ、ガントリビーム１５の上側の面に第２の方向Ｙでガントリビーム１５の全長にわたってガントリビーム１５の第１の端部１５．１と第２の端部１５．２との間にそれぞれ、ガントリビーム１５の上側の面に形成されるトレンチ形の凹部ＶＹに対して平行に延在し、その結果、２つの平坦なガイド面ＦＦＧ１あるいはＦＦＧ２は、第１の方向Ｘに関して、トレンチ形の凹部ＶＹの互いに反対側に配置されている。２つの平坦なガイド面ＦＦＧ１あるいはＦＦＧ２は、この場合、それぞれ、第１の方向Ｘに対して平行に、かつ第２の方向Ｙに対して平行に配置されている。
【0092】
図１にさらに略示するように、ガントリビーム１５は、さらに、第１の方向Ｘに関して互いに反対側の２つの面に、それぞれ、平坦な側面ＳＦＧ１あるいはＳＦＧ２を有しており、側面ＳＦＧ１あるいはＳＦＧ２は、第２の方向Ｙに対して平行に、かつガントリビーム１５の平坦なガイド面ＦＦＧ１あるいはＦＦＧ２に対して略垂直にガントリビーム１５の全長にわたって第２の方向Ｙで延在している。
【0093】
図１に可視であるように、ポジショニング装置１は、さらに、可動の要素５をガントリビーム１５にガイドする、可動の要素５に結合される複数の空気軸受を有する第２の空気軸受装置ＬＬ２を備えている。第２の空気軸受装置ＬＬ２のそれぞれの空気軸受は、可動の要素５をガントリビーム１５の平坦なガイド面ＦＦＧ１あるいはＦＦＧ２に支持及びガイドするとともに、ガントリビーム１５の平坦な側面ＳＦＧ２にガイドすべく、形成されている。第２の空気軸受装置ＬＬ２のさらなる構造的な詳細について、以下にさらに、特に図１０との関連において説明する。
【0094】
付言すると、第１の空気軸受装置ＬＬ１のすべての水平の空気軸受には、ベースＢの平坦なガイド面ＦＦに関して、そして第１の空気軸受装置ＬＬ１のすべての側方の空気軸受には、ガイドビームＦＢの平坦な側面ＳＦに関して、プリロードが付与されている。相応に、第２の空気軸受装置ＬＬ２のすべての空気軸受には、ガントリビーム１５の平坦なガイド面の一方ＦＦＧ１あるいはＦＦＧ２に関して、又はガントリビーム１５の平坦な側面ＳＦＧ２に関して、プリロードが付与されている。それぞれの空気軸受のプリロードには、本例では、磁気式の手段が用いられ、磁気式の手段について、以下にさらに、特に図４～６及び１０との関連において説明する。
【0095】
図３～５に関して、以下に第１の空気軸受装置ＬＬ１の第１の空気軸受アッセンブリ３０及び第２の空気軸受アッセンブリ３５の詳細について説明する。本例において、第１の空気軸受装置ＬＬ１の第１の空気軸受アッセンブリ３０は、ガントリビーム１５の第１の端部１５．１をベースＢの平坦なガイド面ＦＦの第１のセクションＦＦ１にガイドする２つの第１の水平の空気軸受３１あるいは３２を有している。第１の水平の空気軸受３１は、ガントリビーム１５に取り付けられている軸受キャリア３１ａと、軸受キャリア３１ａに配置されていて、圧縮空気の放出用として定められたフロント面を有する圧縮空気パッド３１ｂとを有し、フロント面は、ベースＢの平坦なガイド面ＦＦに対して略平行に延在している。相応に第１の水平の空気軸受３２は、ガントリビーム１５に取り付けられている軸受キャリア３２ａと、軸受キャリア３２ａに配置されていて、圧縮空気の放出用として定められたフロント面を有する圧縮空気パッド３２ｂとを有し、フロント面は、ベースＢの平坦なガイド面ＦＦに対して略平行に延在している。圧縮空気パッド３１ｂの、圧縮空気の放出用として定められたフロント面と、圧縮空気パッド３２ｂの、圧縮空気の放出用として定められたフロント面とは、本例では、円形面の形態を呈している（ただし、これらのフロント面の、円形面とは逸脱した形態が、この関連において重要な、２つの第１の水平の空気軸受３１あるいは３２の技術的な機能に関して、原理的に好適であることもあろう）。２つの第１の水平の空気軸受３１あるいは３２は、互いに相対的に、第１の水平の空気軸受３１と第１の水平の空気軸受３２とが、互いに相対的に間隔を第１の方向Ｘで有しているように配置され、本例では、空気軸受パッド３１ｂ及び３２ｂが、第１の方向Ｘに関してガントリビーム１５の互いに反対側の縁部に配置されているように、配置されている（図４から看取可能）。
【0096】
２つの第１の水平の空気軸受３１あるいは３２が互いに相対的に第１の方向Ｘで間隔を置いて配置されていることにより、２つの第１の水平の空気軸受３１あるいは３２は、ポジショニング装置１の運転中、平坦なガイド面ＦＦにおけるガントリビーム１５の第１の端部１５．１の、第２の方向Ｙを中心とするガントリビーム１５のねじれ又はトーションに関して相対的に剛性的である支承を保証するのに好適であり、その結果、第１の方向Ｘでのガントリビーム１５の第１の端部１５．１の運動は、第２の方向Ｙを中心とするガントリビームのねじれ又はトーションに関して安定化されている。
【0097】
付言すると、第１の空気軸受装置ＬＬ１は、本発明の範囲内において、必ずしも、ガントリビーム１５の第１の端部１５．１をベースＢの平坦なガイド面ＦＦの第１のセクションＦＦ１にガイドする２つの第１の水平の空気軸受３１あるいは３２を有している必要はない。２つの第１の水平の空気軸受３１あるいは３２は、単一の圧縮空気パッドを有する単一の水平の空気軸受、特に、１つの圧縮空気パッドを有し、その圧縮空気パッドの、圧縮空気の放出用として定められたフロント面が、第１の方向Ｘに、第２の方向Ｙでの延在寸法より大きな延在寸法を有している単一の水平の空気軸受により置換されてもよい。
【0098】
第１の空気軸受アッセンブリ３０の構造に類似して、第１の空気軸受装置ＬＬ１の第２の空気軸受アッセンブリ３５は、本例では、ガントリビーム１５の第２の端部１５．２をベースＢの平坦なガイド面ＦＦの第２のセクションＦＦ２にガイドする２つの第２の水平の空気軸受３６あるいは３７を有している。第２の水平の空気軸受３６は、ガントリビーム１５に取り付けられている軸受キャリア３６ａと、軸受キャリア３６ａに配置されていて、圧縮空気の放出用として定められたフロント面を有する圧縮空気パッド３６ｂとを有し、フロント面は、ベースＢの平坦なガイド面ＦＦに対して略平行に延在している。相応に第２の水平の空気軸受３７は、ガントリビーム１５に取り付けられている軸受キャリア３７ａと、軸受キャリア３７ａに配置されていて、圧縮空気の放出用として定められたフロント面を有する圧縮空気パッド３７ｂとを有し、フロント面は、ベースＢの平坦なガイド面ＦＦに対して略平行に延在している。圧縮空気パッド３６ｂの、圧縮空気の放出用として定められたフロント面と、圧縮空気パッド３７ｂの、圧縮空気の放出用として定められたフロント面とは、本例では、円形面の形態を呈している（ただし、これらのフロント面の、円形面とは逸脱した形態が、この関連において重要な、２つの第２の水平の空気軸受３６あるいは３７の技術的な機能に関して、原理的に好適であることもあろう）。２つの第２の水平の空気軸受３６あるいは３７は、互いに相対的に、第２の水平の空気軸受３６と第２の水平の空気軸受３７とが、互いに相対的に間隔を第１の方向Ｘで有しているように配置され、本例では、空気軸受パッド３６ｂ及び３７ｂが、第１の方向Ｘに関してガントリビーム１５の互いに反対側の縁部に配置されているように、配置されている（図４から看取可能）。
【0099】
２つの第２の水平の空気軸受３６あるいは３７が互いに相対的に第１の方向Ｘで間隔を置いて配置されていることにより、２つの第２の水平の空気軸受３６あるいは３７は、ポジショニング装置１の運転中、平坦なガイド面ＦＦにおけるガントリビーム１５の第２の端部１５．２の、第２の方向Ｙを中心とするガントリビーム１５のねじれ又はトーションに関して相対的に剛性的である支承を保証するのに好適であり、その結果、第１の方向Ｘでのガントリビーム１５の第２の端部１５．２の運動は、第２の方向Ｙを中心とするガントリビームのねじれ又はトーションに関して安定化されている。
【0100】
付言すると、第１の空気軸受装置ＬＬ１は、本発明の範囲内において、必ずしも、ガントリビーム１５の第２の端部１５．２をベースＢの平坦なガイド面ＦＦの第２のセクションＦＦ２にガイドする２つの第２の水平の空気軸受３６あるいは３７を有している必要はない。２つの第２の水平の空気軸受３６あるいは３７は、単一の圧縮空気パッドを有する単一の水平の空気軸受、特に、１つの圧縮空気パッドを有し、その圧縮空気パッドの、圧縮空気の放出用として定められたフロント面が、第１の方向Ｘに、第２の方向Ｙでの延在寸法より大きな延在寸法を有している単一の水平の空気軸受により置換されてもよい。
【0101】
図３、５及び６に関して、以下に滑動要素ＧＥの詳細について、第３の空気軸受アッセンブリ５０の空気軸受との関連において説明する。特に図６から看取可能であるように、滑動要素ＧＥは、主要な構成部分としてキャリア７０を有し、キャリア７０は、第３の空気軸受アッセンブリ５０の空気軸受をガントリビーム１５に関して予め決められたポジションに保持すべく、第３の空気軸受アッセンブリ５０の空気軸受を収容し、かつガントリビーム１５に取り付けられるために用いられるものとして定められている。キャリア７０は、本例では、２つのパーツからなるハウジングとして形成されており、複数の中空室を有する基体７１と、カバープレート７２とを有し、カバープレート７２は、基体７１、特に基体７１内に形成される中空室を、基体７１の、平坦なガイド面ＦＦから背離した上面において被覆すべく、基体７１上に載置されるために用いられるものとして定められている。
【0102】
基体７１とカバープレート７２とは、それぞれ、フラットな平坦なプレートの形態を呈し、その結果、基体７１とカバープレート７２とから形成されるキャリア７０は、同じく平坦なプレートの形態を呈している。図３、５、１１及び１２から看取可能であるように、キャリア７０は、ガントリビーム１５に、キャリア７０が、ガントリビーム１５より下に、ガントリビーム１５と、平坦なガイド面ＦＦの第３のセクションＦＦ３との間の中間スペース内に、ベースＢの平坦なガイド面ＦＦに対して平行に、かつガイドビームＦＢの平坦な側面ＳＦに対して平行に延在するように装着されている。
【0103】
図６から看取可能であるように、第３の空気軸受アッセンブリ５０は、本例では、キャリア７０の基体７１の、ベースＢの平坦なガイド面ＦＦに対面した下面に配置されている、ガントリビーム１５の中央のセクションを平坦なガイド面ＦＦの第３のセクションＦＦ３にガイドする計４つの水平の空気軸受、具体的には、２つの第３の水平の空気軸受５１あるいは５２と、２つの第４の水平の空気軸受５３あるいは５４とを有している。２つの第３の水平の空気軸受５１あるいは５２は、各１つの圧縮空気パッド５１ａあるいは５２ａを有し、圧縮空気パッド５１ａ及び５２ａは、圧縮空気の放出用として定められたそれぞれ１つのフロント面を有し、フロント面は、ベースＢの平坦なガイド面ＦＦに対して略平行に延在している。相応に、２つの第４の水平の空気軸受５３あるいは５４は、各１つの圧縮空気パッド５３ａあるいは５４ａを有し、圧縮空気パッド５３ａ及び５４ａは、圧縮空気の放出用として定められたそれぞれ１つのフロント面を有し、フロント面は、ベースＢの平坦なガイド面ＦＦに対して略平行に延在している。
【0104】
圧縮空気パッド５１ａ，５２ａ，５３ａあるいは５４ａの、圧縮空気の放出用として定められたフロント面は、本例では、円形面の形態を呈している（ただし、これらのフロント面の、円形面とは逸脱した形態が、この関連において重要な、２つの第３の水平の空気軸受５１あるいは５２及び２つの第４の水平の空気軸受５３あるいは５４の技術的な機能に関して、原理的に好適であることもあろう）。
【0105】
図６から看取可能であるように、２つの第３の水平の空気軸受５１及び５２は、互いに相対的に、２つの第３の水平の空気軸受５１及び５２が互いに相対的に間隔を第２の方向Ｙで有しているように配置されており、かつ２つの第４の水平の空気軸受５３及び５４は、互いに相対的に、２つの第４の水平の空気軸受５３及び５４が互いに相対的に同じく間隔を第２の方向Ｙで有しているように配置されている。２つの第３の水平の空気軸受５１及び５２は、他方、２つの第４の水平の空気軸受５３及び５４に対して相対的に、２つの第３の水平の空気軸受５１及び５２の各々が、２つの第４の水平の空気軸受５３及び５４の各々に対してそれぞれ１つの間隔を第１の方向Ｘで有しているように配置されている。
【0106】
図６から看取可能であるように、第３の空気軸受アッセンブリ５０は、本例では、ガントリビーム１５をガイドビームＦＢの平坦な側面ＳＦにガイドする２つの側方の空気軸受５５あるいは５６を有し、２つの側方の空気軸受５５及び５６は、互いに相対的に、２つの側方の空気軸受５５及び５６が互いに相対的に間隔を第１の方向Ｘで有しているように配置されている。側方の空気軸受５５は、圧縮空気パッド５５ａを有し、側方の空気軸受５６は、圧縮空気パッド５６ａを有し、両圧縮空気パッド５５ａ及び５６ａは、それぞれ、キャリア７０の基体７１の、ガイドビームＦＢの平坦な側面ＳＦに対面した面に配置されており、圧縮空気の放出用として定められたそれぞれ１つのフロント面を有し、フロント面は、ガイドビームＦＢの平坦な側面ＳＦに対して略平行に延在している。圧縮空気パッド５５ａ及び５６ａの、圧縮空気の放出用として定められたフロント面は、本例では、略長方形の面の形態を呈している（これらのフロント面の、長方形の面とは逸脱した形態が、この関連において重要な、２つの側方の空気軸受５５あるいは５６の技術的な機能に関して、原理的に好適であることもあろう）。
【0107】
図６から看取可能であるように、キャリア７０の基体７１内には、基体７１の、ガントリビーム１５に対面した上面に、２つの縦長の略直方体形の中空室７１Ａあるいは７１Ｂが形成されており、中空室７１Ａあるいは７１Ｂは、それぞれ、第３の方向Ｚに対して垂直にあるいはベースＢの平坦なガイド面ＦＦに対して平行に延在する長手方向軸線を有し、第１の方向Ｘに関して、縦長の中空室７１Ａと、縦長の中空室７１Ｂとが、互いに相対的に間隔を第１の方向Ｘで有しているように配置されている。図６に略示するように、縦長の中空室７１Ａ及び７１Ｂは、第１の固体継手８０Ａあるいは第２の固体継手８０Ｂを収容するために用いられ、第１の固体継手８０Ａは、中空室７１Ａ内に装入されるためのものとして定められており、第２の固体継手８０Ｂは、中空室７１Ｂ内に装入されるためのものとして定められており、２つの固体継手８０Ａあるいは８０Ｂは、キャリア７０とガントリビーム１５との間の結合を形成するために設けられており、この結合は、滑動要素ＧＥが、２つの固体継手８０Ａあるいは８０Ｂを介して、ガントリビーム１５に関して、一方では、安定な位置に保持されており、他方では、２つの固体継手８０Ａあるいは８０Ｂを介して、滑動要素ＧＥが、第３の方向Ｚで延在する回動軸線回りにガントリビーム１５に対して相対的に回動可能であるように、ガントリビーム１５に支承されているようになっており、その結果、２つの固体継手８０Ａあるいは８０Ｂの配置は、これに応じて「ピボット継手」ＤＧＺをなし、ピボット継手ＤＧＺは、滑動要素ＧＥをガントリビーム１５に結合するとともに、ガントリビーム１５に可動（回動可能）に保持するために用いられる。
【0108】
図６からさらに看取可能であるように、カバープレート７２内には、第３の方向Ｚで貫通する２つの開口７２Ａあるいは７２Ｂが形成されている。カバープレート７２内に形成される開口７２Ａ及び７２Ｂの空間的な配置及び形態は、キャリア７０の基体７１内に形成される縦長の中空室７１Ａあるいは７１Ｂの空間的な配置及び形態に適合されており、この適合は、具体的には、カバープレート７２が、基体７１の、ガントリビーム１５に対面した上面に配置されており、その結果、基体７１とカバープレート７２とが、組み立てられて、相俟ってキャリア７０を形成しているとき、カバープレート７２が、基体７１の、ガントリビーム１５に対面した上面に設けられた縦長の中空室７１Ａあるいは７１Ｂを部分的に覆い、かつカバープレート７２内に形成される開口７２Ａ及び７２Ｂが、基体７１内に形成される縦長の中空室７１Ａ及び７１Ｂに対して相対的に、開口７２Ａが縦長の中空室７１Ａの直上に布置されていて、縦長の中空室７１Ａの一部長手方向セクションが、ガントリビーム１５に対面した側から開口７２Ａを通してアクセス可能であるように、かつ開口７２Ｂが縦長の中空室７１Ｂの直上に布置されていて、縦長の中空室７１Ｂの一部長手方向セクションが、ガントリビーム１５に対面した側から開口７２Ｂを通してアクセス可能であるように配置されているようになっている。
【0109】
キャリア７０の前述の構造は、キャリア７０内への２つの固体継手８０Ａあるいは８０Ｂの組み込みを可能にする。この目的のために、固体継手８０Ａは、全体として中空室７１Ａ内に装入されることができ、第１の固体継手８０Ａの１つ又は複数のセクションは、キャリア７０に（すなわち選択的に基体７１又はカバープレート７２に）固定され得る一方、第１の固体継手８０Ａの、開口７２ａを通してアクセス可能なセクションは、ガントリビーム１５に取り付けられ得る。これにより、開口７２Ａを通して、第１の固体継手８０Ａの、開口７２Ａを通してアクセス可能なセクションと、ガントリビーム１５との間の結合を（従来慣用の、この種の結合のために好適な取り付け手段、例えばねじにより、かつ／又は接着により）形成することができる。同様に第２の固体継手８０Ｂは、全体として中空室７１Ｂ内に装入されることができ、第２の固体継手８０Ｂの１つ又は複数のセクションは、キャリア７０に（すなわち選択的に基体７１又はカバープレート７２に）固定され得る一方、第２の固体継手８０Ｂの、開口７２Ｂを通してアクセス可能なセクションは、ガントリビーム１５に取り付けられ得る。これにより、開口７２Ｂを通して、第２の固体継手８０Ｂの、開口７２Ｂを通してアクセス可能なセクションと、ガントリビーム１５との間の結合を（従来慣用の、この種の結合のために好適な取り付け手段、例えばねじにより、かつ／又は接着により）形成することができる。
【0110】
第１の固体継手８０Ａあるいは第２の固体継手８０Ｂに関するさらなる構造的な詳細と、滑動要素ＧＥをガントリビーム１５に結合するピボット継手ＤＧＺを形成するこれらの固体継手８０Ａ及び８０Ｂの配置とについて、以下にさらに、特に図６～９との関連において説明する。
【0111】
図１、３、１０～１３に関して、まず、可動の要素５の構造の詳細について、可動の要素５をガントリビーム１５にガイドする、可動の要素５に結合される空気軸受を有する第２の空気軸受装置ＬＬ２に関する詳細との関連において説明する。
【0112】
図１、３、１０及び１３から看取可能であるように、可動の要素５は、本例では、「Ｌ字形」のプラットフォームとして設計されており、「Ｌ字形」のプラットフォームは、フラットなベースプレート５．１と、ベースプレート５．１に結合される側壁５．２とから構成されている。「Ｌ字形」なる称呼は、この関連において、可動の要素５が、ポジショニング装置１のガントリビーム１５上に、図１及び１３に示すように布置されているとき、（ベースプレート５．１と側壁５．２とから構成される）可動の要素５の、第２の方向Ｙに対して垂直に延在する一平面に関する横断面積の形態に関する。
【0113】
可動の要素５は、ガントリビーム１５に支承されており、このとき、ベースプレート５．１は、ガントリビーム１５の上側の面に形成される平坦なガイド面ＦＦＧ１及びＦＦＧ２の上方に配置されているとともに、第１の方向Ｘに対して平行に、かつ第２の方向Ｙに対して平行に延在し、ベースプレート５．１が、第１の方向Ｘに対して平行に、かつ第２の方向Ｙに対して平行に延在する一平面に関して、略長方形の横断面積を有しているようになっている。ベースプレート５．１は、第２の方向Ｙに、第２の方向Ｙでのガントリビーム１５の延在寸法より小さい延在寸法を有し、かつ第１の方向Ｘに、第１の方向Ｘでのガントリビーム１５の延在寸法より大きい延在寸法を有している。
【0114】
図１及び１３から看取可能であるように、一方では、ガントリビーム１５の平坦なガイド面ＦＦＧ１及びＦＦＧ２は、そして他方では、ガントリビーム１５の側面ＳＦＧ１及びＳＦＧ２は、ガントリビームの、第１の方向Ｘに関して互いに反対側の「縁部領域」に配置されており、これらの「縁部領域」の一方に設けられた平坦なガイド面ＦＦＧ１が、側面ＳＦＧ１に直接隣接し、かつこれらの「縁部領域」の他方に設けられた平坦なガイド面ＦＦＧ２が、側面ＳＦＧ２に直接隣接するようになっており、本例では、特に、ガイド面ＦＦＧ１と側面ＳＦＧ１とが、互いに相対的に直角をなして互いに境界を接する２つの面を形成し、かつガイド面ＦＦＧ２と側面ＳＦＧ２とが、互いに相対的に直角をなして互いに境界を接する２つの面を形成するようになっている。
【0115】
可動の要素５は、この場合、ベースプレート５．１が、ガントリビーム１５より上に、ガントリビーム１５の平坦なガイド面ＦＦＧ１及びＦＦＧ２の上方において布置されているとともに、ベースプレート５．１の一部セクションが、ガントリビーム１５の平坦な側面ＳＦＧ２の領域において、この平坦な側面ＳＦＧ２に境界を接する平坦なガイド面ＦＦＧ２から、第１の方向Ｘで、第１の方向Ｘでの側壁５．２の延在寸法より大きい距離の分だけ張り出しているように配置されている。側壁５．２は、ベースプレート５．１に、このベースプレート５．１の、第１の方向Ｘで平坦なガイド面ＦＦＧ２から突き出したセクションにおいて結合され、このとき、側壁５．２は、ベースプレート５．１の下面において、第２の方向Ｙで、平坦な側面ＳＦＧ２に対して略平行に延在し、その際、この平坦な側面ＳＦＧ２に対して間隔を有しているようになっている。
【0116】
図１、１０及び１３から看取可能であるように、第２の空気軸受装置ＬＬ２の空気軸受の一部は、可動の要素５のベースプレート５．１に（ベースプレート５．１と、ガントリビーム１５の平坦なガイド面の一方ＦＦＧ１あるいはＦＦＧ２との間の中間スペース内に）配置され、第２の空気軸受装置ＬＬ２の空気軸受の別の一部は、可動の要素５の側壁５．２に（側壁５．２と、ガントリビーム１５の平坦な側面ＳＦＧ２との間の中間スペース内に）配置されている。
【0117】
第２の空気軸受装置ＬＬ２は、少なくとも１つの第１の水平の空気軸受と、少なくとも１つの第２の水平の空気軸受とを有し、少なくとも１つの第１の水平の空気軸受と、少なくとも１つの第２の水平の空気軸受とは、可動の要素が、第２の空気軸受装置ＬＬ２の少なくとも１つの第１の水平の空気軸受と、少なくとも１つの第２の水平の空気軸受とにより、ガントリビーム１５の平坦なガイド面の一方ＦＦＧ１又はＦＦＧ２にガイドされているように、可動の要素５に配置されており、第２の空気軸受装置ＬＬ２の少なくとも１つの第１の水平の空気軸受及び少なくとも１つの第２の水平の空気軸受には、ガントリビーム１５の平坦なガイド面の一方ＦＦＧ１又はＦＦＧ２に関して、プリロードが付与されている。さらに第２の空気軸受装置ＬＬ２は、可動の要素５に配置される、可動の要素５をガントリビーム１５の１つの平坦な側面ＳＦＧ２にガイドする少なくとも１つの側方の空気軸受を有し、第２の空気軸受装置ＬＬ２の少なくとも１つの側方の空気軸受には、ガントリビーム１５の上記１つの平坦な側面ＳＦＧ２に関して、プリロードが付与されている。
【0118】
本例において（図１０及び１３から看取可能であるように）、第２の空気軸受装置ＬＬ２は、可動の要素５のベースプレート５．１に配置される、可動の要素５をガントリビーム１５の平坦なガイド面ＦＦＧ１あるいはＦＦＧ２にガイドする計２つの第１の水平の空気軸受１２１あるいは１２２を有し、第２の空気軸受装置ＬＬ２の２つの第１の水平の空気軸受１２１あるいは１２２は、互いに相対的に間隔を第１の方向Ｘで有しており、ガントリビーム１５の平坦なガイド面ＦＦＧ１あるいはＦＦＧ２に関して、プリロードが付与されている。第２の空気軸受装置ＬＬ２は、本例によれば、さらに、可動の要素５のベースプレート５．１に配置される、可動の要素５をガントリビーム１５の平坦なガイド面ＦＦＧ１あるいはＦＦＧ２にガイドする計２つの第２の水平の空気軸受１２３あるいは１２４を有し、第２の空気軸受装置ＬＬ２の２つの第２の水平の空気軸受１２３あるいは１２４は、互いに相対的に間隔を第１の方向Ｘで有しており、ガントリビーム１５の平坦なガイド面ＦＦＧ１あるいはＦＦＧ２に関して、プリロードが付与されている。さらに第２の空気軸受装置ＬＬ２は、本例によれば、可動の要素５の側壁５．２に配置される、可動の要素５をガントリビーム１５の上記１つの平坦な側面ＳＦＧ２にガイドする２つの側方の空気軸受１４０あるいは１４１を有し、第２の空気軸受装置ＬＬ２の２つの側方の空気軸受１４０あるいは１４１は、互いに相対的に間隔を第２の方向Ｙで有しており、ガントリビーム１５の平坦な側面ＳＦＧ２に関して、プリロードが付与されている。
【0119】
第２の空気軸受装置ＬＬ２の２つの第１の水平の空気軸受１２１あるいは１２２が互いに相対的に間隔を第１の方向Ｘで有しており、かつ第２の空気軸受装置ＬＬ２の２つの第２の水平の空気軸受１２３あるいは１２４が同じく互いに相対的に間隔を第１の方向Ｘで有していることにより、ベースプレート５．１の、ガントリビーム１５に対面した面には、２つの第１の水平の空気軸受１２１あるいは１２２間にかつ第２の水平の空気軸受１２３あるいは１２４間に、第２のリニア軸Ｙ１のリニア駆動部ＬＭＹの可動子１００Ｂの配置のために利用される空間が存在している。これに応じて、本例では、リニア駆動部ＬＭＹの可動子１００Ｂは、可動子１００Ｂが第２の方向Ｙで、２つの第１の水平の空気軸受１２１あるいは１２２間に形成される中間スペースを通して、かつ２つの第２の水平の空気軸受１２３あるいは１２４間に形成される中間スペースを通して延在し、２つの第１の水平の空気軸受１２１あるいは１２２が第１の方向Ｘに関して、それぞれ可動子１００Ｂの互いに反対側に配置され、かつ２つの第２の水平の空気軸受１２３あるいは１２４が第１の方向Ｘに関して、同じくそれぞれ可動子１００Ｂの互いに反対側に配置されているように、ベースプレート５．１において、ベースプレート５．１の、ガントリビーム１５に対面した面に、配置されている（図１０及び１３）。リニア駆動部ＬＭＹの可動子１００Ｂは、この場合、可動子１００Ｂのセクション１００Ｂ－１が、第１の方向Ｘに対して平行に、かつ第２の方向Ｙに対して平行に、ベースプレート５．１に対して間隔を置いて延在するとともに、リニア駆動部ＬＭＹの固定子１００Ａの間隙ＳＹ内に突入し、可動の要素５が、可動子１００Ｂとともに第２の方向Ｙでガントリビーム１５の延在全体にわたって第１の端部１５．１と第２の端部１５．２との間で可動であるように、ベースプレート５．１に取り付けられている（図１、１０及び１３）。
【0120】
図１０から看取可能であるように、第２の空気軸受装置ＬＬ２の水平の空気軸受１２１，１２２，１２３あるいは１２４は、それぞれ１つの圧縮空気パッド１２１ａ，１２２ａ，１２３ａあるいは１２４ａを（この順序で）有し、第２の空気軸受装置ＬＬ２の２つの側方の空気軸受１４０あるいは１４１は、それぞれ１つの圧縮空気パッド１４０ａあるいは１４１ａを（この順序で）有している。この場合、一方の第１の水平の空気軸受１２１の圧縮空気パッド１２１ａと、一方の第２の水平の空気軸受１２３の圧縮空気パッド１２３ａとは、可動の要素５のベースプレート５．１の、ガントリビーム１５の平坦なガイド面ＦＦＧ１に対面した面に配置されており、圧縮空気の放出用として定められたそれぞれ１つのフロント面を有し、フロント面は、ガントリビーム１５の平坦なガイド面ＦＦＧ１に対して略平行に延在している。相応に、他方の第１の水平の空気軸受１２２の圧縮空気パッド１２２ａと、他方の第２の水平の空気軸受１２４の圧縮空気パッド１２４ａとは、可動の要素５のベースプレート５．１の、ガントリビーム１５の平坦なガイド面ＦＦＧ２に対面した面に配置されており、圧縮空気の放出用として定められたそれぞれ１つのフロント面を有し、フロント面は、ガントリビーム１５の平坦なガイド面ＦＦＧ２に対して略平行に延在している。相応に、第２の空気軸受装置ＬＬ２の２つの側方の空気軸受１４０あるいは１４１の圧縮空気パッド１４０ａあるいは１４１ａは、可動の要素５の側壁５．２の、ガントリビーム１５の平坦な側面ＳＦＧ２に対面した面に配置されており、圧縮空気の放出用として定められたそれぞれ１つのフロント面を有し、フロント面は、ガントリビーム１５の平坦な側面ＳＦＧ２に対して略平行に延在している。
【0121】
図１０から看取可能であるように、第２の空気軸受装置ＬＬ２の水平の空気軸受１２１，１２２，１２３あるいは１２４の圧縮空気パッド１２１ａ，１２２ａ，１２３ａあるいは１２４ａの、圧縮空気の放出用として定められたフロント面と、第２の空気軸受装置ＬＬ２の２つの側方の空気軸受１４０あるいは１４１の圧縮空気パッド１４０ａあるいは１４１ａの、圧縮空気の放出用として定められたフロント面とは、略長方形の面の形態を呈している（これらのフロント面の、長方形の面とは逸脱した形態が、この関連において重要な、第２の空気軸受装置ＬＬ２のそれぞれの空気軸受の技術的な機能に関して、原理的に好適であることもあろう）。
【0122】
付言すると、第２の空気軸受装置ＬＬ２は、本発明の範囲内において（ポジショニング装置１の、図１０～１３に示す構成とは逸脱して）、必ずしも、（可動の要素５をガントリビーム１５の平坦なガイド面ＦＦＧ１あるいはＦＦＧ２にガイドする２つの第１の水平の空気軸受１２１あるいは１２２と、可動の要素５をガントリビーム１５の平坦なガイド面ＦＦＧ１あるいはＦＦＧ２にガイドする２つの第２の水平の空気軸受１２３あるいは１２４とに応じて）可動の要素５に配置される４つの水平の空気軸受を有している必要もないし、必ずしも、（可動の要素５をガントリビーム１５の上記１つの平坦な側面ＳＦＧ２にガイドする２つの側方の空気軸受１４０あるいは１４１に応じて）２つの側方の空気軸受を有している必要もない。
【0123】
２つの側方の空気軸受１４０及び１４１は、単一の圧縮空気パッドを有する単一の側方の空気軸受、特に、１つの圧縮空気パッドを有し、その圧縮空気パッドの、圧縮空気の放出用として定められたフロント面が、第２の方向Ｙに、図１０に示す圧縮空気パッド１４０ａ及び１４１ａの各々より大きい延在寸法を有している単一の側方の空気軸受により置換されてもよい。
【0124】
さらに、水平の空気軸受１２１及び１２３の、図１０に示す配置は、可動の要素５を平坦なガイド面ＦＦＧ１にガイドする一方の第１の水平の空気軸受１２１及び一方の第２の水平の空気軸受１２３の配置の代わりに、単一の圧縮空気パッドを有する単一の水平の空気軸受、特に、単一の圧縮空気パッドを有し、その圧縮空気パッドの、圧縮空気の放出用として定められたフロント面が、第２の方向Ｙに、図１０に示す圧縮空気パッド１２１ａ及び１２３ａの各々より大きい延在寸法を有している単一の水平の空気軸受が使用されるように改変されてもよい。
【0125】
同様に、水平の空気軸受１２２及び１２４の、図１０に示す配置は、可動の要素５を平坦なガイド面ＦＦＧ２にガイドする第１の水平の空気軸受１２２及び第２の水平の空気軸受１２４の配置の代わりに、単一の圧縮空気パッドを有する単一の水平の空気軸受、特に、単一の圧縮空気パッドを有し、その圧縮空気パッドの、圧縮空気の放出用として定められたフロント面が、第２の方向Ｙに、図１０に示す圧縮空気パッド１２２ａ及び１２４ａの各々より大きい延在寸法を有している単一の水平の空気軸受が使用されるように改変されてもよい。
【0126】
代替的には、２つの第１の水平の空気軸受１２１及び１２２の、図１０に示す配置を、２つの第１の水平の空気軸受１２１及び１２２の配置の代わりに、単一の圧縮空気パッドを有する単一の水平の空気軸受、特に、単一の圧縮空気パッドを有し、その圧縮空気パッドの、圧縮空気の放出用として定められたフロント面が、第１の方向Ｘに、図１０に示す圧縮空気パッド１２１ａ及び１２２ａの各々より大きい延在寸法を有している単一の水平の空気軸受が使用されるように改変することも可能であろう。同様に、代替的又は付加的に、２つの第２の水平の空気軸受１２３及び１２４の、図１０に示す配置を、２つの第２の水平の空気軸受１２３及び１２４の配置の代わりに、単一の圧縮空気パッドを有する単一の水平の空気軸受、特に、単一の圧縮空気パッドを有し、その圧縮空気パッドの、圧縮空気の放出用として定められたフロント面が、第１の方向Ｘに、図１０に示す圧縮空気パッド１２３ａ及び１２４ａの各々より大きい延在寸法を有している単一の水平の空気軸受が使用されるように改変することも可能であろう。
【0127】
前述の代替案を実現するには、２つの第１の水平の空気軸受１２１及び１２２の配置の代わりに、単一の圧縮空気パッドを有する単一の水平の空気軸受が使用される場合、かつ／又は２つの第２の水平の空気軸受１２３及び１２４の配置の代わりに、単一の圧縮空気パッドを有する単一の水平の空気軸受が使用される場合、平坦なガイド面に沿った少なくとも２つの水平の空気軸受による可動の要素のガイドを可能にすべく、リニア駆動部ＬＭＹの配置と、ガントリビーム１５の平坦なガイド面ＦＦＧ１あるいはＦＦＧ２の形成とに関して、付加的な構造的な変更を行うことが合目的的であろう。例えば、ガントリビーム１５の上面に、第１の方向Ｘに対して平行に、かつ第２の方向Ｙに対して平行に延在する１つの平坦なガイド面が形成されており、このガイド面が、第１の方向Ｘでガントリビーム１５の幅全体（第１の方向Ｘでのガントリビーム１５の延在寸法に相当）にわたって延在するように、ガントリビーム１５の構造を改変することが合目的的であろう。この場合、２つの第１の水平の空気軸受１２１及び１２２の配置の代わりに、可動の要素５を上記１つの平坦なガイド面にガイドするために使用されるべき１つの水平の空気軸受は、かつ／又は２つの第２の水平の空気軸受１２３及び１２４の配置の代わりに、可動の要素５を上記１つの平坦なガイド面にガイドするために使用されるべき１つの水平の空気軸受は、第１の方向Ｘで、第１の方向Ｘでのガントリビーム１５の延在寸法に大体相当する延在寸法を有していてもよい。
【0128】
平坦なガイド面を前述のように形成した場合、リニア駆動部ＬＭＹの固定子１００Ａが、ガントリビーム１５の上面ではなく、例えばガントリビーム１５の平坦な側面ＳＦＧ２に布置されており、その結果、固定子１００Ａが、第２の方向Ｙでガントリビーム１５の全長にわたって延在しているように、リニア駆動部ＬＭＹをガントリビーム１５に配置することが合目的的であろう。同様にリニア駆動部ＬＭＹの可動子１００Ｂは、可動の要素５のベースプレート５．１に配置されていることができ、その結果、可動子１００Ｂのセクション１００Ｂ－１は、平坦な側面ＳＦＧ２に布置される固定子１００Ａの間隙ＳＹ内に突入し、可動子１００Ｂは、第２の方向Ｙでこの間隙ＳＹ内を、第２の方向Ｙでの固定子１００Ａの延在寸法に相当する距離にわたって可動である。
【0129】
図１、２、４～６及び１０に関して、以下に、第１の空気軸受装置ＬＬ１及び第２の空気軸受装置ＬＬ２の空気軸受にプリロードを付与する既に言及した磁気式の手段の特徴を説明する。ポジショニング装置１は、本例では、
第１の空気軸受装置ＬＬ１の第１の空気軸受アッセンブリ３０、第２の空気軸受アッセンブリ３５及び第３の空気軸受アッセンブリ５０のそれぞれの水平の空気軸受３１，３２，３６，３７，５１，５２，５３あるいは５４にプリロードを付与する装置４０と、
第１の空気軸受装置ＬＬ１の第３の空気軸受アッセンブリ５０のそれぞれの側方の空気軸受５５あるいは５６にプリロードを付与する装置６０と、
第２の空気軸受装置ＬＬ２のそれぞれの水平の空気軸受１２１～１２４にプリロードを付与する装置１５０と、
第２の空気軸受装置ＬＬ２のそれぞれの側方の空気軸受１４０あるいは１４１にプリロードを付与する装置１６０と、
を備えている。
第１の空気軸受装置ＬＬ１の第１の空気軸受アッセンブリ３０、第２の空気軸受アッセンブリ３５及び第３の空気軸受アッセンブリ５０のそれぞれの水平の空気軸受３１，３２，３６，３７，５１，５２，５３あるいは５４にプリロードを付与する装置４０と、
第１の空気軸受装置ＬＬ１の第３の空気軸受アッセンブリ５０のそれぞれの側方の空気軸受５５あるいは５６にプリロードを付与する装置６０と、
第２の空気軸受装置ＬＬ２のそれぞれの水平の空気軸受１２１～１２４にプリロードを付与する装置１５０と、
第２の空気軸受装置ＬＬ２のそれぞれの側方の空気軸受１４０あるいは１４１にプリロードを付与する装置１６０と、
を備えている。
【0130】
第１の空気軸受装置ＬＬ１の第１の空気軸受アッセンブリ３０のそれぞれの水平の空気軸受にプリロードを付与する装置４０は、（図１、２及び４～６から看取可能であるように）一方では、水平の空気軸受３１，３２，３６あるいは３７のそれぞれの圧縮空気パッド３１ｂ，３２ｂ，３６ｂあるいは３７ｂのすぐ隣で、ガントリビーム１５に、あるいは水平の空気軸受５１，５２，５３あるいは５４の圧縮空気パッド５１ａ，５２ａ，５３ａあるいは５４ａのすぐ隣で、キャリア７０に配置されている複数の永久磁石４１のアッセンブリと、それぞれベースＢに取り付けられていて、特にベースの平坦なガイド面ＦＦのそれぞれのセクションＦＦ１，ＦＦ２及びＦＦ３内に組み込まれている、それぞれ強磁性の材料から形成される複数のストリップ４２のアッセンブリとを有している。図１及び４から看取可能であるように、第１の空気軸受アッセンブリ３０及び第２の空気軸受アッセンブリ３５の水平の空気軸受の軸受キャリア３１ａ，３２ａ，３５ａ及び３６ａの各々に、それぞれ２つの永久磁石４１が取り付けられており、これらの２つの永久磁石４１の各々は、それぞれ、平坦なガイド面ＦＦに対して平行に延在し、かつこれらの２つの永久磁石４１は、それぞれ互いに相対的に間隔を第２の方向Ｙで有しており、それぞれ（第２の方向Ｙに関して）、それぞれの軸受キャリア３１ａ，３２ａ，３５ａあるいは３６ａに配置される圧縮空気パッド３１ｂ，３２ｂ，３５ｂあるいは３６ｂのすぐ隣で、それぞれの圧縮空気パッド３１ｂ，３２ｂ，３５ｂあるいは３６ｂのそれぞれ互いに反対側に布置されているようになっている。図６から看取可能であるように、キャリア７０の基体７１には、基体７１の、平坦なガイド面ＦＦに対面した下面に、２つの永久磁石４１が配置されており、これらの２つの永久磁石４１の一方が、（第２の方向Ｙに関して）２つの第３の水平の空気軸受５１あるいは５２間の中央に配置され、かつこれらの２つの永久磁石４１の他方が、（第２の方向Ｙに関して）２つの第４の水平の空気軸受５３あるいは５４間の中央に配置されているようになっている。図１、４及び６から看取可能であるように、永久磁石４１は、本例によれば、それぞれ直方体形のプレートの形態を呈し、それぞれ、それぞれの永久磁石４１の、平坦なガイド面ＦＦに対面した表面が、ベースＢの平坦なガイド面ＦＦに対して平行に延在するように配置されている。
【0131】
第１の空気軸受装置ＬＬ１の全水平の空気軸受にプリロードが付与されていることを保証すべく、上で言及した、強磁性の材料から形成される計５つのストリップ４２は、これらの５つのストリップ４２の各々が、リニアに第１の方向Ｘで延在し、その際、永久磁石４１の各々が、これらの５つのストリップ４２毎にその直上に配置されていて、それぞれのストリップ４２に対して相対的に間隔を第３の方向Ｚで有しているように布置されているように、ベースの平坦なガイド面ＦＦのそれぞれのセクションＦＦ１，ＦＦ２及びＦＦ３内に組み込まれている。永久磁石４１は、この場合、永久磁石４１の各々に、それぞれの永久磁石４１と、それぞれの永久磁石４１の直下にそれぞれ配置されるストリップ４２との間の磁気吸引に基づき、平坦なガイド面ＦＦに対して垂直に、平坦なガイド面ＦＦに向かって配向されている磁気吸引力が作用するように磁化されている。
【0132】
それぞれ圧縮空気パッド３１ｂあるいは圧縮空気パッド３２ｂに配置されているそれぞれ２つの永久磁石４１は、それゆえ、第１の空気軸受アッセンブリ３０の第１の水平の空気軸受３１あるいは第１の水平の空気軸受３２に、平坦なガイド面ＦＦのセクションＦＦ１に関して、プリロードを付与する効果を有している。それぞれ圧縮空気パッド３６ｂあるいは圧縮空気パッド３７ｂに配置されているそれぞれ２つの永久磁石４１は、それゆえ、第２の空気軸受アッセンブリ３５の第２の水平の空気軸受３６あるいは第２の水平の空気軸受３７に、平坦なガイド面ＦＦのセクションＦＦ２に関して、プリロードを付与する効果を有している。相応に、キャリア７０の基体７１に配置される２つの永久磁石４１の一方は、第３の空気軸受アッセンブリ５０の２つの第３の水平の空気軸受５１あるいは５２に、平坦なガイド面ＦＦのセクションＦＦ３に関して、プリロードを付与する効果を有している一方、キャリア７０の基体７１に配置される２つの永久磁石４１の他方は、２つの第４の水平の空気軸受５３あるいは５４に、平坦なガイド面ＦＦのセクションＦＦ３に関して、プリロードを付与する効果を有している。
【0133】
ベースＢの平坦なガイド面ＦＦのそれぞれのセクションＦＦ１，ＦＦ２及びＦＦ３内へのそれぞれのストリップ４２の簡単な組み込みを可能にすべく、平坦なガイド面ＦＦのセクションＦＦ１，ＦＦ２及びＦＦ３内には、直線状に第１の方向Ｘで延在する計５つの溝ＮＸが形成され、溝ＮＸの各々内には、ストリップ４２のそれぞれ１つが配置され、それぞれのストリップ４２の上側の表面と、平坦なガイド面ＦＦのセクションＦＦ１，ＦＦ２及びＦＦ３の１つとが、それぞれ面一に配置されているようになっている。永久磁石４１の空間的な配置に応じて、本例によれば（図１、２及び５から看取可能であるように）、互いに平行に第１の方向Ｘで延在し、互いに相対的に間隔を第２の方向Ｙで有している２つのストリップ４２が、平坦なガイド面ＦＦの第１のセクションＦＦ１内に組み込まれており、互いに平行に第１の方向Ｘで延在し、互いに相対的に間隔を第２の方向Ｙで有している２つのストリップ４２が、平坦なガイド面ＦＦの第２のセクションＦＦ２内に組み込まれており、かつ１つのストリップ４２が、平坦なガイド面ＦＦの第３のセクションＦＦ３内に組み込まれている。
【0134】
第１の空気軸受装置ＬＬ１の第３の空気軸受アッセンブリ５０のそれぞれの側方の空気軸受にプリロードを付与する装置６０は、（図５～６から看取可能であるように）一方では、キャリア７０の基体７１の、ガイドビームＦＢの平坦な側面ＳＦに対面した面に配置されている２つの永久磁石６１のアッセンブリと、他方では、ガイドビームＦＢとを有し、ガイドビームＦＢは、本例では、強磁性の材料から形成されている。２つの永久磁石６１は、本例によれば、それぞれ直方体形のプレートの形態を呈し、それぞれの永久磁石６１の、ガイドビームＦＢの平坦な側面ＳＦに対面した表面が、それぞれ、ガイドビームＦＢの平坦な側面ＳＦに対して平行に延在し、その際、ガイドビームＦＢの平坦な側面ＳＦに対して間隔を有しているように、それぞれ配置されている。２つの永久磁石６１は、特に第３の空気軸受アッセンブリ５０の２つの側方の空気軸受５５あるいは５６とともに、第１の方向Ｘで延在する一列で、キャリア７０の基体７１に配置され、具体的には、２つの永久磁石６１が、第１の方向Ｘに関して直接相並んで配置され、その際、両者が、側方の空気軸受５５の圧縮空気パッド５５ａと、側方の空気軸受５６の圧縮空気パッド５６ａとの間の中間スペース内に布置されているように配置されている。
【0135】
２つの永久磁石６１は、この場合、永久磁石６１の各々に、それぞれの永久磁石６１とガイドビームＦＢとの間の磁気吸引に基づき、ガイドビームＦＢの平坦な側面ＳＦに対して垂直に、平坦な側面ＳＦに向かって配向されている磁気吸引力が作用するように磁化されている。２つの永久磁石６１は、それゆえ、第３の空気軸受アッセンブリ５０の２つの側方の空気軸受５５あるいは５６に、ガイドビームＦＢの平坦な側面ＳＦに関して、プリロードを付与する効果を有している。
【0136】
第２の空気軸受装置ＬＬ２のそれぞれの水平の空気軸受１２１～１２４にプリロードを付与する装置１５０は、（図１０から看取可能であるように）一方では、可動の要素５のベースプレート５．１において、可動の要素５のベースプレート５．１の、ガントリビーム１５の平坦なガイド面ＦＦＧ１あるいはＦＦＧ２に対面した面に配置されている４つの永久磁石１５１のアッセンブリと、他方では、ガントリビーム１５とを有し、ガントリビーム１５は、本例では、強磁性の材料から形成されている。
【0137】
４つの永久磁石１５１は、本例によれば、それぞれ直方体形のプレートの形態を呈し、それぞれの永久磁石１５１の、ガントリビーム１５の平坦なガイド面ＦＦＧ１あるいはガントリビーム１５の平坦なガイド面ＦＦＧ２に対面した表面が、それぞれ、ガントリビーム１５の平坦なガイド面ＦＦＧ１あるいはガントリビーム１５の平坦なガイド面ＦＦＧ２に対して平行に延在し、その際、ガントリビーム１５の平坦なガイド面ＦＦＧ１に対してあるいはガントリビーム１５の平坦なガイド面ＦＦＧ２に対して間隔を有しているように、それぞれ配置されている。
【0138】
永久磁石１５１の２つは、特に第２の空気軸受装置ＬＬ２の第１の水平の空気軸受１２１及び第２の水平の空気軸受１２３とともに、第２の方向Ｙで延在する一列で配置され、具体的には、２つの永久磁石１５１が、第２の方向Ｙに関して直接相並んで配置され、その際、第１の水平の空気軸受１２１の圧縮空気パッド１２１ａと、第２の水平の空気軸受１２３の圧縮空気パッド１２３ａとの間の中間スペース内に、可動の要素５のベースプレート５．１に、ガントリビーム１５の平坦なガイド面ＦＦＧ１の直上に、平坦なガイド面ＦＦＧ１に対して間隔を置いて布置されているように配置されている。
【0139】
圧縮空気パッド１２１ａと圧縮空気パッド１２３ａとの間の中間スペース内に配置される２つの永久磁石１５１は、この場合、永久磁石１５１の各々に、それぞれの永久磁石１５１とガントリビーム１５との間の磁気吸引に基づき、ガントリビーム１５の平坦なガイド面ＦＦＧ１に対して垂直に、平坦なガイド面ＦＦＧ１に向かって配向されている磁気吸引力が作用するように磁化されている。これらの２つの永久磁石１５１は、それゆえ、第２の空気軸受装置ＬＬ２の第１の水平の空気軸受１２１及び第２の水平の空気軸受１２３に、ガントリビーム１５の平坦なガイド面ＦＦＧ１に関して、プリロードを付与する効果を有している。
【0140】
さらに、永久磁石１５１の２つは、第２の空気軸受装置ＬＬ２の第１の水平の空気軸受１２２及び第２の水平の空気軸受１２４とともに、第２の方向Ｙで延在する一列で配置され、具体的には、２つの永久磁石１５１が、第２の方向Ｙに関して直接相並んで配置され、その際、第１の水平の空気軸受１２２の圧縮空気パッド１２２ａと、第２の水平の空気軸受１２４の圧縮空気パッド１２４ａとの間の中間スペース内に、可動の要素５のベースプレート５．１に、ガントリビーム１５の平坦なガイド面ＦＦＧ２の直上に、平坦なガイド面ＦＦＧ２に対して間隔を置いて布置されているように配置されている。
【0141】
圧縮空気パッド１２２ａと圧縮空気パッド１２４ａとの間の中間スペース内に配置される２つの永久磁石１５１は、この場合、永久磁石１５１の各々に、それぞれの永久磁石１５１とガントリビーム１５との間の磁気吸引に基づき、ガントリビーム１５の平坦なガイド面ＦＦＧ２に対して垂直に、平坦なガイド面ＦＦＧ２に向かって配向されている磁気吸引力が作用するように磁化されている。これらの２つの永久磁石１５１は、それゆえ、第２の空気軸受装置ＬＬ２の第１の水平の空気軸受１２２及び第２の水平の空気軸受１２４に、ガントリビーム１５の平坦なガイド面ＦＦＧ２に関して、プリロードを付与する効果を有している。
【0142】
第２の空気軸受装置ＬＬ２のそれぞれの側方の空気軸受１４０あるいは１４１にプリロードを付与する装置１６０は、（図１０から看取可能であるように）一方では、可動の要素５の側壁５．２において、可動の要素５の側壁５．２の、ガントリビーム１５の平坦な側面ＳＦＧ２に対面した面に配置されている２つの永久磁石１６１のアッセンブリと、他方では、ガントリビーム１５とを有し、ガントリビーム１５は、（既に言及したように）強磁性の材料から形成されている。
【0143】
２つの永久磁石１６１は、本例によれば、それぞれ直方体形のプレートの形態を呈し、それぞれの永久磁石１６１の、ガントリビーム１５の平坦な側面ＳＦＧ２に対面した表面が、ガントリビーム１５の平坦な側面ＳＦＧ２に対して平行に延在し、その際、ガントリビーム１５の平坦な側面ＳＦＧ２に対して間隔を有しているように、それぞれ配置されている。さらに永久磁石１６１の２つは、第２の空気軸受装置ＬＬ２の２つの側方の空気軸受１４０あるいは１４１とともに、第２の方向Ｙで延在する一列で配置され、具体的には、２つの永久磁石１６１が、第２の方向Ｙに関して直接相並んで配置され、その際、可動の要素５の側壁５．２において、側方の空気軸受１４０の圧縮空気パッド１４０ａと、側方の空気軸受１４１の圧縮空気パッド１４１ａとの間の中間スペース内に、ガントリビーム１５の平坦な側面ＳＦＧ２のすぐ隣に、平坦な側面ＳＦＧ２に対して間隔を置いて布置されているように配置されている。２つの永久磁石１６１は、この場合、永久磁石１６１の各々に、それぞれの永久磁石１６１とガントリビーム１５との間の磁気吸引に基づき、ガントリビーム１５の平坦な側面ＳＦＧ２に対して垂直に、平坦な側面ＳＦＧ２に向かって配向されている磁気吸引力が作用するように磁化されている。２つの永久磁石１６１は、それゆえ、第２の空気軸受装置ＬＬ２の２つの側方の空気軸受１４０あるいは１４１に、ガントリビーム１５の平坦な側面ＳＦＧ２に関して、プリロードを付与する効果を有している。
【0144】
永久磁石４１，６１，１５１及び１６１の、（この順序で、ストリップ４２に対して相対的な、あるいはガイドビームＦＢの平坦な側面ＳＦに対して相対的な、あるいはガントリビーム１５の平坦なガイド面ＦＦＧ１に対して相対的な、あるいはガントリビーム１５の平坦なガイド面ＦＦＧ２に対して相対的な、あるいはガントリビーム１５の平坦な側面ＳＦＧ２に対して相対的な）配置は、第１の空気軸受装置ＬＬ１の個々の空気軸受及び第２の空気軸受装置ＬＬ２の個々の空気軸受のそれぞれのプリロード力の大きさを必要に応じて（例えばポジショニング装置１の、２つの第１のリニア軸Ｘ１及びＸ２の２つのリニア駆動部ＬＭＸ１及びＬＭＸ２によりポジショニング装置１の運転中に動かさなければならない部材の全質量に応じて）好適に選択すべく、変更され得る。
【0145】
第１の空気軸受装置ＬＬ１の個々の空気軸受及び第２の空気軸受装置ＬＬ２の個々の空気軸受のプリロード力は、例えば、
ポジショニング装置１の運転中（すなわち、第１の空気軸受装置ＬＬ１の空気軸受３１，３２，３６，３７，５１，５２，５３，５４，５５及び５６の空気圧パッド３１ｂ，３２ｂ，３６ｂ，３７ｂ，５１ａ，５２ａ，５３ａ，５４ａ，５５ａ及び５６ａへの圧縮空気の相応の供給時、及び第２の空気軸受装置ＬＬ２の空気軸受１２１，１２２，１２３，１２４，１４０及び１４１の空気圧パッド１２１ａ，１２２ａ，１２３ａ，１２４ａ，１４０ａ及び１４１ａへの相応の供給時）：
個々の空気圧パッド３１ｂ，３２ｂ，３６ｂ，３７ｂが、ベースＢの平坦なガイド面ＦＦに関して、それぞれ、安定な位置に保持され、この安定な位置において、個々の空気圧パッド３１ｂ，３２ｂ，３６ｂ，３７ｂ，５１ａ，５２ａ，５３ａ，５４ａは、ベースＢの平坦なガイド面ＦＦに関して、予め決められた間隔（例えば４μｍ）を有しており；
個々の空気圧パッド５５ａ及び５６ａが、ガイドビームＦＢの平坦な側面ＳＦに関して、それぞれ、安定な位置に保持され、この安定な位置において、個々の空気圧パッド５５ａ及び５６ａは、ガイドビームＦＢの平坦な側面ＳＦに関して、予め決められた間隔（例えば４μｍ）を有しており；
個々の空気圧パッド１２１ａ，１２２ａ，１２３ａ，１２４ａが、ガントリビーム１５に関して、安定な位置に保持され、この安定な位置において、空気圧パッド１２１ａ及び１２３ａは、平坦なガイド面ＦＦＧ１に関して、そして空気圧パッド１２２ａ及び１２４ａは、平坦なガイド面ＦＦＧ２に関して、予め決められた間隔（例えば４μｍ）を有しており；かつ
個々の空気圧パッド１４０ａ及び１４１ａが、ガントリビーム１５に関して、安定な位置に保持され、この安定な位置において、空気圧パッドは、平坦な側面ＳＦＧ２に関して、予め決められた間隔（例えば４μｍ）を有している；
ように選択され得る。
ポジショニング装置１の運転中（すなわち、第１の空気軸受装置ＬＬ１の空気軸受３１，３２，３６，３７，５１，５２，５３，５４，５５及び５６の空気圧パッド３１ｂ，３２ｂ，３６ｂ，３７ｂ，５１ａ，５２ａ，５３ａ，５４ａ，５５ａ及び５６ａへの圧縮空気の相応の供給時、及び第２の空気軸受装置ＬＬ２の空気軸受１２１，１２２，１２３，１２４，１４０及び１４１の空気圧パッド１２１ａ，１２２ａ，１２３ａ，１２４ａ，１４０ａ及び１４１ａへの相応の供給時）：
個々の空気圧パッド３１ｂ，３２ｂ，３６ｂ，３７ｂが、ベースＢの平坦なガイド面ＦＦに関して、それぞれ、安定な位置に保持され、この安定な位置において、個々の空気圧パッド３１ｂ，３２ｂ，３６ｂ，３７ｂ，５１ａ，５２ａ，５３ａ，５４ａは、ベースＢの平坦なガイド面ＦＦに関して、予め決められた間隔（例えば４μｍ）を有しており；
個々の空気圧パッド５５ａ及び５６ａが、ガイドビームＦＢの平坦な側面ＳＦに関して、それぞれ、安定な位置に保持され、この安定な位置において、個々の空気圧パッド５５ａ及び５６ａは、ガイドビームＦＢの平坦な側面ＳＦに関して、予め決められた間隔（例えば４μｍ）を有しており；
個々の空気圧パッド１２１ａ，１２２ａ，１２３ａ，１２４ａが、ガントリビーム１５に関して、安定な位置に保持され、この安定な位置において、空気圧パッド１２１ａ及び１２３ａは、平坦なガイド面ＦＦＧ１に関して、そして空気圧パッド１２２ａ及び１２４ａは、平坦なガイド面ＦＦＧ２に関して、予め決められた間隔（例えば４μｍ）を有しており；かつ
個々の空気圧パッド１４０ａ及び１４１ａが、ガントリビーム１５に関して、安定な位置に保持され、この安定な位置において、空気圧パッドは、平坦な側面ＳＦＧ２に関して、予め決められた間隔（例えば４μｍ）を有している；
ように選択され得る。
【0146】
図５、６、７Ａ、７Ｂ、８及び９に関して、以下に、第１の固体継手８０Ａあるいは第２の固体継手８０Ｂに関する構造的な詳細と、滑動要素ＧＥをガントリビーム１５に結合するピボット継手ＤＧＺを形成するこれらの固体継手８０Ａ及び８０Ｂの配置とについて説明する。
【0147】
既に言及したように、第１の固体継手８０Ａと第２の固体継手８０Ｂとは、キャリア７０とガントリビーム１５との間の結合を形成すべく、空間的にそれぞれ異なって滑動要素ＧＥのキャリア７０に配置されており、その結果、滑動要素ＧＥは、第３の方向Ｚで延在する回動軸線回りにガントリビーム１５に対して相対的に回動可能である。図７Ａ及び７Ｂが略示するように、第１の固体継手８０Ａと第２の固体継手８０Ｂとは、本例では、第１の固体継手８０Ａと第２の固体継手８０Ｂとの物理的構造に関して、しかし、同一に形成されていることができる。
【0148】
【0149】
図７Ａ、７Ｂ、８及び９が略示するように、第１の固体継手８０Ａも、第２の固体継手８０Ｂも、それぞれ、縦長の固体から（例えば鋼から）なっており、縦長の固体は、第３の方向Ｚに対して平行な一平面に沿って、第３の方向Ｚに対して垂直に延在し、かつ第３の方向Ｚに対して垂直に配置される長手方向軸線を有している。
【0150】
図７Ａ及び９に略示するように、この関連において、第１の固体継手８０Ａを形成する第１の縦長の固体は、第３の方向Ｚに対して平行な第１の平面ＭＥ１に沿って延在し、第２の固体継手８０Ｂを形成する第２の縦長の固体は、第３の方向Ｚに対して平行な第２の平面ＭＥ２に沿って延在するものとする。
【0151】
図７Ａ及び７Ｂは、第１の固体継手８０Ａあるいは第２の固体継手８０Ｂをそれぞれ「未変形の基本状態」で示しており、この未変形の基本状態において、第１の固体継手８０Ａあるいは第２の固体継手８０Ｂのそれぞれの縦長の固体は、機械的な負荷に曝されておらず、これに応じて「未変形」である。未変形の基本状態において、第１の固体継手８０Ａの第１の縦長の固体は、第１の平面ＭＥ１に対して対称に形成され、第２の固体継手８０Ｂの第２の縦長の固体は、第２の平面ＭＥ２に対して対称に形成されている。
【0152】
図７Ａ及び７Ｂから看取可能であるように、第１の固体継手８０Ａの第１の縦長の固体は、第１の縦長の固体の、第１の平面ＭＥ１に沿って延在する長手方向軸線の方向で、そして第２の固体継手８０Ｂの第２の縦長の固体は、第２の縦長の固体の、第２の平面ＭＥ２に沿って延在する長手方向軸線の方向で、それぞれ、相前後して配置される以下の長手方向セクション：
それぞれの（第１あるいは第２の）縦長の固体の第１の端部を形成する第１の端部セクションＥ１と；
それぞれの（第１あるいは第２の）縦長の固体の第１の端部とはそれぞれの（第１あるいは第２の）縦長の固体の長手方向軸線の方向で反対側のそれぞれの（第１あるいは第２の）縦長の固体の第２の端部を形成する第２の端部セクションＥ２と；
それぞれの（第１あるいは第２の）縦長の固体の第１の端部セクションＥ１と第２の端部セクションＥ２との間に配置される中央セクションＦと；
それぞれの（第１あるいは第２の）縦長の固体の第１の端部セクションＥ１と中央セクションＦとの間に配置され、第１の端部セクションＥ１と中央セクションＦとに結合される第１のウェブ部分Ｓ１と；
第２の端部セクションＥ２と中央セクションＦとの間に配置され、それぞれの（第１あるいは第２の）縦長の固体の第２の端部セクションＥ２と中央セクションＦとに結合される第２のウェブ部分Ｓ２と；
を有している。
それぞれの（第１あるいは第２の）縦長の固体の第１の端部を形成する第１の端部セクションＥ１と；
それぞれの（第１あるいは第２の）縦長の固体の第１の端部とはそれぞれの（第１あるいは第２の）縦長の固体の長手方向軸線の方向で反対側のそれぞれの（第１あるいは第２の）縦長の固体の第２の端部を形成する第２の端部セクションＥ２と；
それぞれの（第１あるいは第２の）縦長の固体の第１の端部セクションＥ１と第２の端部セクションＥ２との間に配置される中央セクションＦと；
それぞれの（第１あるいは第２の）縦長の固体の第１の端部セクションＥ１と中央セクションＦとの間に配置され、第１の端部セクションＥ１と中央セクションＦとに結合される第１のウェブ部分Ｓ１と；
第２の端部セクションＥ２と中央セクションＦとの間に配置され、それぞれの（第１あるいは第２の）縦長の固体の第２の端部セクションＥ２と中央セクションＦとに結合される第２のウェブ部分Ｓ２と；
を有している。
【0153】
図７Ａ及び７Ｂが略示するように、第１の固体継手８０Ａの第１の縦長の固体と、第２の固体継手８０Ｂの第２の縦長の固体とは、それぞれ、第１の固体継手８０Ａの第１のウェブ部分Ｓ１及び第２のウェブ部分Ｓ２が、第１の平面ＭＥ１に対して垂直な方向に、第１の固体継手８０Ａの第１の端部セクションＥ１、第２の端部セクションＥ２及び中央セクションＦより小さな延在寸法を有し、かつそれぞれ、第２の固体継手８０Ｂの第１のウェブ部分Ｓ１及び第２のウェブ部分Ｓ２が、第２の平面ＭＥ２に対して垂直な方向に、第２の固体継手８０Ｂの第１の端部セクションＥ１、第２の端部セクションＥ２及び中央セクションＦより小さな延在寸法を有しているように、それぞれ成形されている。ウェブ部分Ｓ１及びＳ２の前述の形成は、第１の固体継手８０Ａの第１の縦長の固体も、第２の固体継手８０Ｂの第２の縦長の固体も、主にウェブ部分Ｓ１及びＳ２の領域内で弾性的に変形可能であるという効果を有している。
【0154】
キャリア７０は、ガントリビーム１５に、第１の固体継手８０Ａと第２の固体継手８０Ｂとを介して、第１の固体継手８０Ａの第１の端部セクションＥ１及び第１の固体継手８０Ａの第２の端部セクションＥ２がキャリア７０に剛結され、第１の固体継手８０Ａの中央セクションＦがガントリビーム１５に剛結されているとともに、第２の固体継手８０Ｂの第１の端部セクションＥ１及び第２の固体継手８０Ｂの第２の端部セクションＥ２がキャリア７０に剛結され、第２の固体継手８０Ｂの中央セクションＦがガントリビーム１５に剛結されているように結合されている。
【0155】
第１の固体継手８０Ａ及び第２の固体継手８０Ｂの前述の配置を実現すべく、（図６～９に略示するように）第１の固体継手８０Ａは、キャリア７０の基体７１内に形成される縦長の中空室７１Ａ内に配置されており、その結果、第１の固体継手８０Ａの第１の端部セクションＥ１及び第２の端部セクションＥ２は、キャリア７０に（例えばねじを用いた結合により）剛結されており、第１の固体継手８０Ａの中央セクションＦは、キャリア７０のカバープレート７２内に形成される開口７２Ａを通してガントリビーム１５に（例えばねじを用いた結合により）剛結されている。相応に第２の固体継手８０Ｂは、キャリア７０の基体７１内に形成される縦長の中空室７１Ｂ内に配置されており、その結果、第２の固体継手８０Ｂの第１の端部セクションＥ１及び第２の端部セクションＥ２は、キャリア７０に（例えばねじを用いた結合により）剛結されており、第２の固体継手８０Ｂの中央セクションＦは、キャリア７０のカバープレート７２内に形成される開口７２Ｂを通してガントリビーム１５に（例えばねじを用いた結合により）剛結されている。
【0156】
図６～９に略示するように、縦長の中空室７１Ａは、第１の平面ＭＥ１に沿って、縦長の中空室７１Ａの長手方向軸線が、第１の平面ＭＥ１に対して平行に、かつ第３の方向Ｚに対して垂直に配置されており、かつ縦長の中空室７１Ａが、第１の平面ＭＥ１に関して側方で、基体７１の、第１の平面ＭＥ１に対して平行に、かつ第３の方向Ｚに対して垂直に延在する側壁により画定されているように延在している。基体７１の、縦長の中空室７１Ａを画定する側壁は、この場合、第１の固体継手８０Ａと比較して、第１の固体継手８０Ａの第１の端部セクションＥ１及び第２の端部セクションＥ２が、形状結合式に基体７１に結合されているのに対し、第１の固体継手８０Ａの中央セクションＦが、第１の平面ＭＥ１に対して垂直な方向に、基体７１の第１の壁セクションＨＳＡ１と、基体７１の、第１の壁セクションＨＳＡ１とは第１の平面ＭＥ１に関して反対側の第２の壁セクションＨＳＡ２との間の間隔より小さい延在寸法を有しているように成形されており、壁セクションＨＳＡ１及びＨＳＡ２は、縦長の中空室７１Ａを、第１の固体継手８０Ａの中央セクションＦの領域において側方で画定している。
【0157】
前述の事柄を明らかにするために、基体７１の、縦長の中空室７１Ａを側方で画定する壁セクションＨＳＡ１及びＨＳＡ２は、図９に、それぞれ、比較的太い（符号ＨＳＡ１あるいはＨＳＡ２を付した）黒色の線により示してある。図９に看取可能であるように、第１の固体継手８０Ａの中央セクションＦは、（固体継手８０Ａの未変形の基本状態において）第１の固体継手８０Ａの第１の端部セクションＥ１及び第２の端部セクションＥ２並びに縦長の中空室７１Ａの壁セクションＨＳＡ１及びＨＳＡ２に関して、第１の固体継手８０Ａの中央セクションＦが、壁セクションＨＳＡ１と壁セクションＨＳＡ２との間の大体中央のポジションに存在し、その際、第１の平面ＭＥ１に対して垂直な方向に、壁セクションＨＳＡ１に対しても、壁セクションＨＳＡ２に対しても、それぞれ１つの間隔を有しているように配置されている。
【0158】
相応に、縦長の中空室７１Ｂは、第２の平面ＭＥ２に沿って、縦長の中空室７１Ｂの長手方向軸線が、第２の平面ＭＥ２に対して平行に、かつ第３の方向Ｚに対して垂直に配置されており、かつ縦長の中空室７１Ｂが、第２の平面ＭＥ２に関して側方で、基体７１の、第２の平面ＭＥ２に対して平行に、かつ第３の方向Ｚに対して垂直に延在する側壁により画定されているように延在している。基体７１の、縦長の中空室７１Ｂを画定する側壁は、この場合、第２の固体継手８０Ｂと比較して、第２の固体継手８０Ｂの第１の端部セクションＥ１及び第２の端部セクションＥ２が、形状結合式に基体７１に結合されているのに対し、第２の固体継手８０Ｂの中央セクションＦが、第２の平面ＭＥ２に対して垂直な方向に、基体７１の第１の壁セクションＨＳＢ１と、基体７１の、第１の壁セクションＨＳＢ１とは第２の平面ＭＥ２に関して反対側の第２の壁セクションＨＳＢ２との間の間隔より小さい延在寸法を有しているように成形されており、壁セクションＨＳＢ１及びＨＳＢ２は、縦長の中空室７１Ｂを、第２の固体継手８０Ｂの中央セクションＦの領域において側方で画定している。
【0159】
前述の事柄を明らかにするために、基体７１の、縦長の中空室７１Ｂを側方で画定する壁セクションＨＳＢ１及びＨＳＢ２は、図９に、それぞれ、比較的太い（符号ＨＳＢ１あるいはＨＳＢ２を付した）黒色の線により示してある。図９に看取可能であるように、第２の固体継手８０Ｂの中央セクションＦは、（第２の固体継手８０Ｂの未変形の基本状態において）第２の固体継手８０Ｂの第１の端部セクションＥ１及び第２の端部セクションＥ２並びに縦長の中空室７１Ｂの壁セクションＨＳＢ１及びＨＳＢ２に関して、第２の固体継手８０Ｂの中央セクションＦが、壁セクションＨＳＢ１と壁セクションＨＳＢ２との間の大体中央のポジションに存在し、その際、第２の平面ＭＥ２に対して垂直な方向に、壁セクションＨＳＢ１に対しても、壁セクションＨＳＢ２に対しても、それぞれ１つの間隔を有しているように配置されている。
【0160】
第１の固体継手８０Ａ及び第２の固体継手８０Ｂは、（図９に示すように）両固体継手８０Ａ及び８０Ｂがそれぞれ固体継手８０Ａ及び８０Ｂの未変形の基本状態にあるとき、キャリア７０あるいは滑動要素ＧＥをガントリビーム１５に関して安定な静止位置に保持すべく、形成されている。第１の固体継手８０Ａの第１のウェブ部分Ｓ１及び第２のウェブ部分Ｓ２並びに第２の固体継手８０Ｂの第１のウェブ部分Ｓ１及び第２のウェブ部分Ｓ２が、それぞれ弾性的に変形可能に形成されていることにより、かつ第１の固体継手８０Ａの中央セクションＦが、（第１の固体継手８０Ａの未変形の基本状態において）第１の平面ＭＥ１に対して垂直な方向に、壁セクションＨＳＡ１に対しても、壁セクションＨＳＡ２に対しても、それぞれ１つの間隔を有し、さらに第２の固体継手８０Ｂの中央セクションＦが、（第２の固体継手８０Ｂの未変形の基本状態において）第２の平面ＭＥ２に対して垂直な方向に、壁セクションＨＳＢ１に対しても、壁セクションＨＳＢ２に対しても、それぞれ１つの間隔を有していることにより、キャリア７０あるいは滑動要素ＧＥは、第１の固体継手８０Ａの中央セクションＦが、壁セクションの一方ＨＳＡ１あるいはＨＳＡ２に突き当たり、壁セクションの一方ＨＳＡ１あるいはＨＳＡ２が、ガントリビーム１５に対して相対的なキャリア７０あるいは滑動要素ＧＥの相応の運動を阻止しない限り、かつ／又は第２の固体継手８０Ｂの中央セクションＦが、壁セクションの一方ＨＳＢ１あるいはＨＳＢ２に突き当たり、壁セクションの一方ＨＳＢ１あるいはＨＳＢ２が、ガントリビーム１５に対して相対的なキャリア７０あるいは滑動要素ＧＥの相応の運動を阻止しない限り、キャリア７０あるいは滑動要素ＧＥがガントリビーム１５に対して相対的に可動であるように、第１の固体継手８０Ａと第２の固体継手８０Ｂとによりガントリビーム１５に保持されている。
【0161】
ガントリビーム１５に対して相対的なキャリア７０あるいは滑動要素ＧＥの運動は、この運動時、第１の固体継手８０Ａの第１のウェブ部分Ｓ１及び第２のウェブ部分Ｓ２並びに第２の固体継手８０Ｂの第１のウェブ部分Ｓ１及び第２のウェブ部分Ｓ２が、弾性的に変形され、その際、第１の固体継手８０Ａの中央セクションＦが、第１の固体継手８０Ａの第１の端部セクションＥ１及び第１の固体継手８０Ａの第２の端部セクションＥ２に対して相対的に動かされ、さらに第２の固体継手８０Ｂの中央セクションＦが、第２の固体継手８０Ｂの第１の端部セクションＥ１及び第２の固体継手８０Ｂの第２の端部セクションＥ２に対して相対的に動かされるという効果を有している。
【0162】
第１の固体継手８０Ａの形態に基づき、第１の固体継手８０Ａの中央セクションＦは、第１の固体継手８０Ａの第１の端部セクションＥ１と第２の端部セクションＥ２とに関して異なる運動自由度を有し、これらの運動自由度は、第１の固体継手８０Ａの第１の端部セクションＥ１及び第２の端部セクションＥ２に関して異なる方向での第１の固体継手８０Ａの中央セクションＦの運動に相当する。この関連において重要であるのは、第１の固体継手８０Ａの剛性が、第１の固体継手８０Ａの第１の端部セクションＥ１あるいは第２の端部セクションＥ２に関してそれぞれ異なる方向での中央セクションＦの運動時、（運動の方向に依存して）異なっていることである。第１の固体継手８０Ａの場合、第１の固体継手８０Ａの第１の端部セクションＥ１も、第２の端部セクションＥ２も、キャリア７０に剛結されていることにより、第１の固体継手８０Ａは、中央セクションＦが第１の固体継手８０Ａの長手方向軸線の方向で（すなわち、第１の平面ＭＥ１に対して平行に）第１の固体継手８０Ａの第１の端部セクションＥ１及び第２の端部セクションＥ２に対して相対的に動かされる、第１の固体継手８０Ａの変形に関して、比較的大きな剛性を有し、とりわけ、中央セクションＦのこの種の運動時、第１の固体継手８０Ａの第１のウェブ部分Ｓ１あるいは第２のウェブ部分Ｓ２は、実質的に第１の固体継手８０Ａの長手方向軸線の方向での引っ張りあるいは圧縮でのみ負荷される。他方、第１の固体継手８０Ａは、中央セクションＦが第１の固体継手８０Ａの第１の端部セクションＥ１と第２の端部セクションＥ２とに対して相対的に、リニアに第１の平面ＭＥ１に対して垂直な方向で動かされるか、又は第３の方向Ｚで延在する回動軸線回りに回動される、第１の固体継手８０Ａの変形に関して、比較的小さな剛性を有し、とりわけ、中央セクションＦの前述の運動のうちの一方の運動時、第１の固体継手８０Ａの第１のウェブ部分Ｓ１及び第２のウェブ部分Ｓ２は、それぞれ、引っ張り応力と、第３の方向Ｚで延在する軸線回りの曲げとからなる組み合わせにより負荷され、第１のウェブ部分Ｓ１及び第２のウェブ部分Ｓ２は、第３の方向Ｚで延在する軸線回りの曲げに関して、特に小さな剛性を有している。
【0163】
相応に、第２の固体継手８０Ｂの形態に基づき、第２の固体継手８０Ｂの中央セクションＦは、第２の固体継手８０Ｂの第１の端部セクションＥ１及び第２の端部セクションＥ２に関して異なる運動自由度を有し、これらの運動自由度は、第２の固体継手８０Ｂの第１の端部セクションＥ１及び第２の端部セクションＥ２に関して異なる方向での第２の固体継手８０Ｂの中央セクションＦの運動に相当する。
【0164】
第２の固体継手８０Ｂの場合、第２の固体継手８０Ｂの第１の端部セクションＥ１も、第２の端部セクションＥ２も、キャリア７０に剛結されていることにより、第２の固体継手８０Ｂは、中央セクションＦが第２の固体継手８０Ｂの長手方向軸線の方向で（すなわち、第２の平面ＭＥ２に対して平行に）第２の固体継手８０Ｂの第１の端部セクションＥ１及び第２の端部セクションＥ２に対して相対的に動かされる、第２の固体継手８０Ｂの変形に関して、比較的大きな剛性を有し、とりわけ、中央セクションＦのこの種の運動時、第２の固体継手８０Ｂの第１のウェブ部分Ｓ１あるいは第２のウェブ部分Ｓ２は、実質的に第２の固体継手８０Ｂの長手方向軸線の方向での引っ張りあるいは圧縮でのみ負荷される。他方、第２の固体継手８０Ｂは、中央セクションＦが第２の固体継手８０Ｂの第１の端部セクションＥ１と第２の端部セクションＥ２とに対して相対的に、リニアに第２の平面ＭＥ２に対して垂直な方向で動かされるか、又は第３の方向Ｚで延在する回動軸線回りに回動される、第２の固体継手８０Ｂの変形に関して、比較的小さな剛性を有し、とりわけ、中央セクションＦの前述の運動のうちの一方の運動時、第２の固体継手８０Ｂの第１のウェブ部分Ｓ１及び第２のウェブ部分Ｓ２は、それぞれ、引っ張り応力と、第３の方向Ｚで延在する軸線回りの曲げとからなる組み合わせにより負荷され、第１のウェブ部分Ｓ１及び第２のウェブ部分Ｓ２は、第３の方向Ｚで延在する軸線回りの曲げに関して、特に小さな剛性を有している。
【0165】
ポジショニング装置１の場合に興味深いのは、第１の固体継手８０Ａ及び第２の固体継手８０Ｂの配置が、キャリア７０あるいは滑動要素ＧＥと、ガントリビーム１５との間に、一方では、できる限り高い剛性を、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙ及び第３の方向Ｚでのガントリビーム１５に対して相対的なキャリア７０あるいは滑動要素ＧＥの並進に関して保証し、他方では、しかし、できる限り小さな剛性を、第３の方向Ｚで延在する回動軸線回りのガントリビーム１５に対して相対的なキャリア７０あるいは滑動要素ＧＥの回転に関して有する結合をなすことである。
【0166】
前述の要求を充足すべく、第１の固体継手８０Ａと第２の固体継手８０Ｂとは、互いに相対的に、第１の平面ＭＥ１と第２の平面ＭＥ２とが、互いに平行に配置されているのではなく、互いに相対的に傾けられており、第１の平面ＭＥ１と第２の平面ＭＥ２とが、（図９に示すように）第３の方向Ｚに対して平行に延在する１つの共通の交線ＤＺを形成するように、キャリア７０に配置されている。この場合、第１の平面ＭＥ１と第２の平面ＭＥ２とは、共通の交線ＤＺに関して、０°より大きく、１８０°より小さくなければならない角度αを形成する。第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙでのガントリビーム１５に対して相対的なキャリア７０あるいは滑動要素ＧＥの並進に関して、第１の固体継手８０Ａ及び第２の固体継手８０Ｂの配置の十分高い剛性を保証すべく、角度αは、好ましくは、３０°≦α≦９０°の条件を充足することが望ましい。
【0167】
図６、８及び９に示す例の場合、角度αは、約６０°である。
【0168】
第１の平面ＭＥ１と第２の平面ＭＥ２とが共通の交線ＤＺに関して約６０°の角度αを形成する、第１の固体継手８０Ａ及び第２の固体継手８０Ｂの配置は、この場合、第１の平面ＭＥ１と第２の平面ＭＥ２との共通の交線ＤＺ回りのガントリビーム１５に対して相対的なキャリア７０あるいは滑動要素ＧＥの回転に関して、第１の固体継手８０Ａ及び第２の固体継手８０Ｂの配置の剛性が、十分小さく、かつ第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙでのガントリビーム１５に対して相対的なキャリア７０あるいは滑動要素ＧＥの並進に関して、第１の固体継手８０Ａ及び第２の固体継手８０Ｂの配置の剛性が、十分高いようにする、良好な折衷をなしている。
【0169】
第１の平面ＭＥ１と第２の平面ＭＥ２との共通の交線ＤＺは、この関連において、（第３の方向Ｚで延在する）「仮想」の回動軸線を形成し、この「仮想」の回動軸線回りに、キャリア７０あるいは滑動要素ＧＥは、ガントリビーム１５に対して相対的に第１の固体継手８０Ａ及び第２の固体継手８０Ｂの配置により回動可能に支承されている。
【0170】
図９に略示するように、「仮想」の回動軸線ＤＺは、空間的に、回動軸線ＤＺがキャリア７０あるいは滑動要素ＧＥの外に配置されているように延在していることができる。第１の固体継手８０Ａ及び第２の固体継手８０Ｂの空間的な配置は、それゆえ、必要に応じて、回動軸線ＤＺの予め決められた所定の位置を実現すべく、好適に選択され得る。
【0171】
図９に略示するように、第１の固体継手８０Ａと第２の固体継手８０Ｂとは、第２の方向Ｙに対して平行に、かつ第３の方向Ｚに対して平行に延在する第３の平面Ｅ３に関して対称に配置されている。この種の配置は、第１の固体継手８０Ａ及び第２の固体継手８０Ｂに、第２の方向Ｙでの可動の要素５の加速時、それぞれ同じように負荷がかかるという利点を有している。
【0172】
基体７１の、縦長の中空室７１Ａを側方で画定する壁セクションＨＳＡ１及びＨＳＡ２は、本例では、第１の固体継手８０Ａが未変形の基本状態にあるとき、壁セクションＨＳＡ１及び／又は壁セクションＨＳＡ２が、第１の固体継手８０Ａの（ガントリビーム１５に剛結される）中央セクションＦに対して間隔を有し、かつ壁セクションＨＳＡ１及び／又は壁セクションＨＳＡ２が、「仮想」の回動軸線ＤＺ回りの予め決められた最大の回動角度のキャリア７０の回動により、第１の固体継手８０Ａの中央セクションＦと接触に至ることが可能であり、その結果、第１の固体継手８０Ａの中央セクションＦが、キャリア７０の回動を制限する機械的なストッパをキャリア７０のために形成するように配置されていることができる（図９）。
【0173】
同様に、基体７１の、縦長の中空室７１Ｂを側方で画定する壁セクションＨＳＢ１及びＨＳＢ２は、本例では、第２の固体継手８０Ｂが未変形の基本状態にあるとき、壁セクションＨＳＢ１及び／又は壁セクションＨＳＢ２が、第２の固体継手８０Ｂの（ガントリビーム１５に剛結される）中央セクションＦに対して間隔を有し、かつ壁セクションＨＳＢ１及び／又は壁セクションＨＳＢ２が、「仮想」の回動軸線ＤＺ回りの予め決められた最大の回動角度のキャリア７０の回動により、第２の固体継手８０Ｂの中央セクションＦと接触に至ることが可能であり、その結果、第２の固体継手８０Ｂの中央セクションＦが、キャリア７０の回動を制限する機械的なストッパをキャリア７０のために形成するように配置されていることができる（図９）。
【0174】
基体７１の壁セクションＨＳＡ１及び／若しくはＨＳＡ２並びに／又はＨＳＢ１及び／若しくはＨＳＢ２の配置の好適な選択により、それゆえ、キャリア７０が、キャリア７０の静止位置から「仮想」の回動軸線ＤＺ回りに回動可能である最大の回動角度を予め決めることが可能である。こうして、第１の固体継手８０Ａ及び第２の固体継手８０Ｂは、機械的な過負荷から保護され得る。ポジショニング装置１の場合、例えば、キャリア７０が、ガントリビーム１５に対して相対的に「仮想」の回動軸線ＤＺ回りに少なくとも±０．１°の角度だけ回動可能であることが合目的的であり得る。
【0175】
図１１及び１３から看取可能であるように、第２の空気軸受装置ＬＬ２の空気軸受１２１～１２４，１４０及び１４１は、可動の要素５が第２の方向Ｙで動かされるとき、第２の空気軸受装置ＬＬ２の空気軸受１２１～１２４，１４０及び１４１のいずれもが、第１の空気軸受装置ＬＬ１の空気軸受のいずれかと衝突し得ないように、可動の要素５に対して相対的に、かつガントリビーム１５に対して相対的に、かつ第１の空気軸受装置ＬＬ１のそれぞれの空気軸受に対して相対的に配置されている。
【0176】
可動の要素５は、それゆえ、第２の方向で、第２の空気軸受装置ＬＬ２の空気軸受によりガイドされて、実質的にガントリビーム１５の延在全体に沿って第２の方向Ｙで、例えば第１の端部１５．１に向かっては、（図１１に、側方の空気軸受１４０と、ガントリビーム１５の第１の端部１５．１との間に延在する双方向矢印により略示したように）第２の空気軸受装置ＬＬ２の側方の空気軸受１４０が、ガントリビーム１５の第１の端部１５．１に到達するまで、そして第２の端部１５．２に向かっては、（図１１に、側方の空気軸受１４１と、ガントリビーム１５の第２の端部１５．２との間に延在する双方向矢印により略示したように）第２の空気軸受装置ＬＬ２の側方の空気軸受１４１が、ガントリビーム１５の第２の端部１５．２に到達するまで、動かされ得る。
【0177】
図１２及び１３から看取可能であるように、可動の要素５は、第２の空気軸受装置ＬＬ２の空気軸受により、可動の要素５が、第２の方向Ｙでの運動時、側方で、側方の空気軸受１４０あるいは１４１によりガントリビーム１５の上記１つの平坦な側面ＳＦＧ２にのみガイドされている一方、ガントリビーム１５の、上記平坦な側面ＳＦＧ２とは第１の方向Ｘで反対側の側面ＳＦＧ１が、自由にアクセス可能であるように、ガントリビーム１５にガイドされている。ガントリビーム１５の側面ＳＦＧ１は、それゆえ、例えば第１の空気軸受装置ＬＬ１及び第２の空気軸受装置ＬＬ２の空気軸受に圧縮空気を供給する供給ライン並びに／又は２つの第１のリニア軸Ｘ１及びＸ２のリニア駆動部及び１つの第２のリニア軸Ｙ１のリニア駆動部に電気的なエネルギを供給する電気的なラインを平坦な側面ＳＦＧ２に取り付ける可能性を提供する（相応の供給ラインあるいは電気的なラインは、図には示していない）。
【0178】
可動の要素５が、第２の空気軸受装置ＬＬ２の空気軸受により、第２の方向Ｙでの運動時、ガントリビーム１５にのみガイドされている（ベースＢの平坦なガイド面ＦＦにはガイドされていない）ことにより、ポジショニング装置１のベースＢは、平坦な側面ＳＦＧ２に取り付けられる、第１の空気軸受装置ＬＬ１及び第２の空気軸受装置ＬＬ２の空気軸受に圧縮空気を供給する供給ライン、並びに／又は平坦な側面ＳＦＧ２に取り付けられる、２つの第１のリニア軸Ｘ１及びＸ２のリニア駆動部及び１つの第２のリニア軸Ｙ１のリニア駆動部に電気的なエネルギを供給する電気的なラインを、トレンチ状の凹部ＶＸを通してガイドするためのスペースを、ベースＢの上側の面に提供する。トレンチ状の凹部ＶＸは、ベースＢの上面に形成されており、ポジショニング装置１の、図１、２、５及び１２に示す構成によれば、平坦なガイド面ＦＦの第２のセクションＦＦ２と第３のセクションＦＦ３との間にリニアに第１の方向Ｘで延在している。
【0179】
前述の手段は、ポジショニング装置１がコンパクトに（ポジショニング装置１のそれぞれの部材が空間的に分配配置されている比較的小さな底面を有して）構成されているような、ポジショニング装置１の全コンポーネントの配置を可能にする。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7A】
【図7B】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【外国語明細書】