特開 2024-80082 フィルタユニット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024080082

(43)【公開日】2024-06-13

(54)【発明の名称】フィルタユニット

(51)【国際特許分類】

   G02B 26/00 20060101AFI20240606BHJP

   G02B 5/28 20060101ALI20240606BHJP

【ＦＩ】

G02B26/00

G02B5/28

【審査請求】未請求

【請求項の数】13

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022192973

(22)【出願日】2022-12-01

(71)【出願人】

【識別番号】000236436

【氏名又は名称】浜松ホトニクス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100140442

【弁理士】

【氏名又は名称】柴山 健一

(72)【発明者】

【氏名】大山 泰生

(72)【発明者】

【氏名】柴山 勝己

(72)【発明者】

【氏名】能野 隆文

(72)【発明者】

【氏名】笠原 隆

(72)【発明者】

【氏名】蔵本 有未

【テーマコード（参考）】

2H141

2H148

【Ｆターム（参考）】

2H141MA22

2H141MB28

2H141MC06

2H141MD04

2H141MD38

2H141ME01

2H141ME22

2H141ME23

2H141MF05

2H141MF08

2H141MF16

2H141MF26

2H141MF28

2H141MG09

2H141MZ02

2H148GA01

2H148GA30

2H148GA48

(57)【要約】

【課題】ファブリペロー干渉フィルタの光軸方向に狭い領域への配置に適したフィルタユニットを提供する。
【解決手段】フィルタユニット１は、開口部２３を有する支持体２と、Ｚ軸方向において互いに向かい合っており且つ互いの距離が可変である一対のミラー部を含み、Ｚ軸方向から見た場合に開口部２３と重なるように支持体２上に配置されたファブリペロー干渉フィルタ１０と、Ｚ軸方向から見た場合にファブリペロー干渉フィルタ１０と重ならないように支持体２上に配置されており、ファブリペロー干渉フィルタ１０と電気的に接続された配線基板４と、を備える。支持体２には、Ｚ軸方向を深さ方向として第２凹部２２が形成されている。第２凹部２２は、Ｚ軸方向から見た場合に支持体２の外縁に至っている。配線基板４は、第２凹部２２内に配置されている。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

光通過部を有する支持体と、
第１方向において互いに向かい合っており且つ互いの距離が可変である一対のミラー部を含み、前記第１方向から見た場合に前記光通過部と重なるように前記支持体上に配置されたファブリペロー干渉フィルタと、
前記第１方向から見た場合に前記ファブリペロー干渉フィルタと重ならないように前記支持体上に配置されており、前記ファブリペロー干渉フィルタと電気的に接続された配線基板と、を備え、
前記支持体には、前記第１方向を深さ方向として凹部が形成されており、
前記凹部は、前記第１方向から見た場合に前記支持体の外縁に至っており、
前記配線基板は、前記凹部内に配置されている、フィルタユニット。

【請求項2】

前記第１方向から見た場合に、前記ファブリペロー干渉フィルタは、前記支持体の中心に位置している、請求項１に記載のフィルタユニット。

【請求項3】

前記第１方向から見た場合に、前記支持体の外縁は、円形状を呈している、請求項２に記載のフィルタユニット。

【請求項4】

前記支持体には、前記第１方向を深さ方向として前記光通過部とは反対側に開口する別の凹部が形成されており、
前記ファブリペロー干渉フィルタは、前記別の凹部内に配置されており、
前記第１方向から見た場合に、前記ファブリペロー干渉フィルタの外縁及び前記別の凹部の内縁のそれぞれは、矩形状を呈している、請求項１に記載のフィルタユニット。

【請求項5】

前記ファブリペロー干渉フィルタは、前記支持体の第１載置面に配置されており、
前記配線基板は、前記支持体の第２載置面に配置されており、
前記第１載置面及び前記第２載置面は、同一平面上に位置している、請求項１に記載のフィルタユニット。

【請求項6】

前記支持体には、前記第１方向を深さ方向として前記光通過部とは反対側に開口する別の凹部が形成されており、
前記ファブリペロー干渉フィルタは、前記別の凹部内に配置されており、
前記支持体は、前記凹部と前記別の凹部との間に配置された仕切部を含む、請求項１に記載のフィルタユニット。

【請求項7】

光透過部材と、
接着部材と、を更に備え、
前記支持体には、前記第１方向を深さ方向として前記光通過部とは反対側に開口する別の凹部が形成されており、
前記ファブリペロー干渉フィルタは、前記別の凹部内に配置されており、
前記光透過部材は、少なくとも前記別の凹部の開口を覆っており、
前記接着部材は、前記配線基板と前記支持体との間、及び前記配線基板と前記光透過部材との間に配置されている、請求項１に記載のフィルタユニット。

【請求項8】

前記支持体には、前記第１方向を深さ方向として前記光通過部とは反対側に開口する別の凹部が形成されており、
前記ファブリペロー干渉フィルタは、前記別の凹部内に配置されており、
前記第１方向から見た場合に、一方向における前記別の凹部の内縁から前記支持体の外縁までの距離は、前記一方向における前記ファブリペロー干渉フィルタの幅よりも大きい、請求項１に記載のフィルタユニット。

【請求項9】

前記支持体には、前記第１方向を深さ方向として前記光通過部とは反対側に開口する別の凹部が形成されており、
前記ファブリペロー干渉フィルタは、前記別の凹部内に配置されており、
前記光通過部は、前記支持体に形成された開口部であり、
前記第１方向から見た場合に、前記ファブリペロー干渉フィルタの外縁は、矩形状を呈しており、
前記第１方向から見た場合に、前記ファブリペロー干渉フィルタの前記外縁の一辺に垂直な方向における前記ファブリペロー干渉フィルタの前記外縁から前記支持体の前記外縁までの距離は、前記ファブリペロー干渉フィルタの前記外縁の対角線の長さよりも大きく、
前記第１方向から見た場合に、前記開口部の幅は、前記一辺に垂直な前記方向における前記ファブリペロー干渉フィルタの幅よりも小さい、請求項１に記載のフィルタユニット。

【請求項10】

前記支持体には、前記第１方向を深さ方向として前記光通過部とは反対側に開口する別の凹部が形成されており、
前記凹部及び前記別の凹部は、前記第１方向に垂直な第２方向に並んでおり、
前記ファブリペロー干渉フィルタは、前記別の凹部内に配置されており、
前記第１方向及び前記第２方向の両方向に垂直な第３方向における前記ファブリペロー干渉フィルタの幅をＷｆとし、前記第３方向における前記配線基板の幅をＷｓとし、前記第３方向における前記別の凹部の幅をＷ１とし、前記第３方向における前記凹部の幅をＷ２とすると、「Ｗｆ≦Ｗ１＜Ｗｓ≦Ｗ２」の関係、又は「Ｗｓ≦Ｗ２＜Ｗｆ≦Ｗ１」の関係が成立する、請求項１に記載のフィルタユニット。

【請求項11】

「Ｗｆ＝Ｗ１」の関係が成立する、請求項１０に記載のフィルタユニット。

【請求項12】

「Ｗｓ＝Ｗ２」の関係が成立する、請求項１０に記載のフィルタユニット。

【請求項13】

前記支持体には、前記第１方向を深さ方向として前記光通過部とは反対側に開口する別の凹部が形成されており、
前記ファブリペロー干渉フィルタは、前記別の凹部内に配置されており、
前記支持体には、前記別の凹部の内面及び前記支持体の外面に開口する貫通孔が形成されている、請求項１に記載のフィルタユニット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ファブリペロー干渉フィルタを備えるフィルタユニットに関する。

【背景技術】

【0002】

互いの距離が可変である一対のミラー部を含むファブリペロー干渉フィルタを用いてフィルタユニットを構成するために、次のような構造を利用することが考えられる。すなわち、ステム及びキャップを有するＣＡＮパッケージと、ＣＡＮパッケージ内においてステム上に配置された配線基板と、ＣＡＮパッケージ内において配線基板上に配置されたファブリペロー干渉フィルタと、ステムを貫通している複数のリードピンと、を備える構造である（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】米国特許出願公開第２０１７／０３５０７６０号明細書

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかし、上述した構造が適用されたフィルタユニットには、ファブリペロー干渉フィルタの光軸方向（すなわち、一対のミラー部が互いに向かい合っている方向）においてフィルタユニットを薄くすることが難しく、また、ファブリペロー干渉フィルタの光軸方向に対して側方から電気的な接続を実施することが難しいため、ファブリペロー干渉フィルタの光軸方向に狭い領域（例えば、鏡筒内におけるレンズの間の領域）への配置に適さないという課題がある。

【0005】

本発明は、ファブリペロー干渉フィルタの光軸方向に狭い領域への配置に適したフィルタユニットを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明のフィルタユニットは、［１］「光通過部を有する支持体と、第１方向において互いに向かい合っており且つ互いの距離が可変である一対のミラー部を含み、前記第１方向から見た場合に前記光通過部と重なるように前記支持体上に配置されたファブリペロー干渉フィルタと、前記第１方向から見た場合に前記ファブリペロー干渉フィルタと重ならないように前記支持体上に配置されており、前記ファブリペロー干渉フィルタと電気的に接続された配線基板と、を備え、前記支持体には、前記第１方向を深さ方向として凹部が形成されており、前記凹部は、前記第１方向から見た場合に前記支持体の外縁に至っており、前記配線基板は、前記凹部内に配置されている、フィルタユニット」である。

【0007】

上記［１］に記載のフィルタユニットでは、配線基板が、第１方向から見た場合に支持体上においてファブリペロー干渉フィルタと重なっておらず、第１方向を深さ方向として支持体に形成された凹部内に配置されている。これにより、ファブリペロー干渉フィルタの光軸方向（すなわち、一対のミラー部が互いに向かい合っている方向）である第１方向においてフィルタユニットを薄くすることができる。また、配線基板が配置された凹部が、第１方向から見た場合に支持体の外縁に至っている。これにより、ファブリペロー干渉フィルタの光軸方向である第１方向に対して側方から電気的な接続を実施することができる。よって、上記［１］に記載のフィルタユニットは、ファブリペロー干渉フィルタの光軸方向に狭い領域への配置に適している。

【0008】

本発明のフィルタユニットは、［２］「前記第１方向から見た場合に、前記ファブリペロー干渉フィルタは、前記支持体の中心に位置している、上記［１］に記載のフィルタユニット」であってもよい。当該［２］に記載のフィルタユニットによれば、第１方向に対して側方から支持体に外力が作用したとしても、当該外力がファブリペロー干渉フィルタに及ぶのを抑制することができる。また、例えば、鏡筒等の筒体の内側に支持体を嵌め合わせることで、筒体の中心線上にファブリペロー干渉フィルタを配置することができる。

【0009】

本発明のフィルタユニットは、［３］「前記第１方向から見た場合に、前記支持体の外縁は、円形状を呈している、上記［２］に記載のフィルタユニット」であってもよい。当該［３］に記載のフィルタユニットによれば、第１方向に対して側方から支持体に外力が作用したとしても、当該外力がファブリペロー干渉フィルタに及ぶのをバランス良く抑制することができる。また、例えば、筒体が円筒状である場合に、円筒状の筒体の中心線上にファブリペロー干渉フィルタを容易に且つ精度良く配置することができる。

【0010】

本発明のフィルタユニットは、［４］「前記支持体には、前記第１方向を深さ方向として前記光通過部とは反対側に開口する別の凹部が形成されており、前記ファブリペロー干渉フィルタは、前記別の凹部内に配置されており、前記第１方向から見た場合に、前記ファブリペロー干渉フィルタの外縁及び前記別の凹部の内縁のそれぞれは、矩形状を呈している、上記［１］～［３］のいずれか一つに記載のフィルタユニット」であってもよい。当該［４］に記載のフィルタユニットによれば、ファブリペロー干渉フィルタが、第１方向を深さ方向として支持体に形成された別の凹部内に配置されているため、ファブリペロー干渉フィルタの光軸方向である第１方向においてフィルタユニットをより薄くすることができる。また、第１方向から見た場合に、ファブリペロー干渉フィルタの外縁及び別の凹部の内縁のそれぞれが矩形状を呈しているため、支持体に対するファブリペロー干渉フィルタの位置決めを容易に且つ精度良く実施することができる。

【0011】

本発明のフィルタユニットは、［５］「前記ファブリペロー干渉フィルタは、前記支持体の第１載置面に配置されており、前記配線基板は、前記支持体の第２載置面に配置されており、前記第１載置面及び前記第２載置面は、同一平面上に位置している、上記［１］～［４］のいずれか一つに記載のフィルタユニット」であってもよい。当該［５］に記載のフィルタユニットによれば、ファブリペロー干渉フィルタの光軸方向である第１方向においてフィルタユニットをより薄くすることができる。

【0012】

本発明のフィルタユニットは、［６］「前記支持体には、前記第１方向を深さ方向として前記光通過部とは反対側に開口する別の凹部が形成されており、前記ファブリペロー干渉フィルタは、前記別の凹部内に配置されており、前記支持体は、前記凹部と前記別の凹部との間に配置された仕切部を含む、上記［１］～［５］のいずれか一つに記載のフィルタユニット」であってもよい。当該［６］に記載のフィルタユニットによれば、ファブリペロー干渉フィルタが、第１方向を深さ方向として支持体に形成された別の凹部内に配置されているため、ファブリペロー干渉フィルタの光軸方向である第１方向においてフィルタユニットをより薄くすることができる。また、仕切部を基準とすることで、支持体に対するファブリペロー干渉フィルタ及び配線基板の位置決めを容易に且つ精度良く実施することができる。

【0013】

本発明のフィルタユニットは、［７］「光透過部材と、接着部材と、を更に備え、前記支持体には、前記第１方向を深さ方向として前記光通過部とは反対側に開口する別の凹部が形成されており、前記ファブリペロー干渉フィルタは、前記別の凹部内に配置されており、前記光透過部材は、少なくとも前記別の凹部の開口を覆っており、前記接着部材は、前記配線基板と前記支持体との間、及び前記配線基板と前記光透過部材との間に配置されている、上記［１］～［６］のいずれか一つに記載のフィルタユニット」であってもよい。当該［７］に記載のフィルタユニットによれば、ファブリペロー干渉フィルタの光軸方向である第１方向における厚さの増大を抑制しつつ、支持体、配線基板、光透過部材及び接着部材によって、ファブリペロー干渉フィルタを収容するパッケージを構成することができる。これにより、湿気やパーティクル等からファブリペロー干渉フィルタを保護することができる。

【0014】

本発明のフィルタユニットは、［８］「前記支持体には、前記第１方向を深さ方向として前記光通過部とは反対側に開口する別の凹部が形成されており、前記ファブリペロー干渉フィルタは、前記別の凹部内に配置されており、前記第１方向から見た場合に、一方向における前記別の凹部の内縁から前記支持体の外縁までの距離は、前記一方向における前記ファブリペロー干渉フィルタの幅よりも大きい、上記［１］～［７］のいずれか一つに記載のフィルタユニット」であってもよい。当該［８］に記載のフィルタユニットによれば、ファブリペロー干渉フィルタが、第１方向を深さ方向として支持体に形成された別の凹部内に配置されているため、ファブリペロー干渉フィルタの光軸方向である第１方向においてフィルタユニットをより薄くすることができる。また、第１方向から見た場合に、一方向における別の凹部の内縁から支持体の外縁までの距離が、当該一方向におけるファブリペロー干渉フィルタの幅よりも大きいため、第１方向に対して側方から支持体に外力が作用したとしても、当該外力がファブリペロー干渉フィルタに及ぶのを抑制することができる。

【0015】

本発明のフィルタユニットは、［９］「前記支持体には、前記第１方向を深さ方向として前記光通過部とは反対側に開口する別の凹部が形成されており、前記ファブリペロー干渉フィルタは、前記別の凹部内に配置されており、前記光通過部は、前記支持体に形成された開口部であり、前記第１方向から見た場合に、前記ファブリペロー干渉フィルタの外縁は、矩形状を呈しており、前記第１方向から見た場合に、前記ファブリペロー干渉フィルタの前記外縁の一辺に垂直な方向における前記ファブリペロー干渉フィルタの前記外縁から前記支持体の前記外縁までの距離は、前記ファブリペロー干渉フィルタの前記外縁の対角線の長さよりも大きく、前記第１方向から見た場合に、前記開口部の幅は、前記一辺に垂直な前記方向における前記ファブリペロー干渉フィルタの幅よりも小さい、上記［１］～［８］のいずれか一つに記載のフィルタユニット」であってもよい。当該［９］に記載のフィルタユニットによれば、ファブリペロー干渉フィルタが、第１方向を深さ方向として支持体に形成された別の凹部内に配置されているため、ファブリペロー干渉フィルタの光軸方向である第１方向においてフィルタユニットをより薄くすることができる。また、第１方向から見た場合に、支持体に比べて開口部が非常に小さくなるため、ファブリペロー干渉フィルタに迷光が入射するのを抑制することができる。

【0016】

本発明のフィルタユニットは、［１０］「前記支持体には、前記第１方向を深さ方向として前記光通過部とは反対側に開口する別の凹部が形成されており、前記凹部及び前記別の凹部は、前記第１方向に垂直な第２方向に並んでおり、前記ファブリペロー干渉フィルタは、前記別の凹部内に配置されており、前記第１方向及び前記第２方向の両方向に垂直な第３方向における前記ファブリペロー干渉フィルタの幅をＷｆとし、前記第３方向における前記配線基板の幅をＷｓとし、前記第３方向における前記別の凹部の幅をＷ１とし、前記第３方向における前記凹部の幅をＷ２とすると、「Ｗｆ≦Ｗ１＜Ｗｓ≦Ｗ２」の関係、又は「Ｗｓ≦Ｗ２＜Ｗｆ≦Ｗ２」の関係が成立する、上記［１］～［９］のいずれか一つに記載のフィルタユニット」であってもよい。当該［１０］に記載のフィルタユニットによれば、ファブリペロー干渉フィルタが、第１方向を深さ方向として支持体に形成された別の凹部内に配置されているため、ファブリペロー干渉フィルタの光軸方向である第１方向においてフィルタユニットをより薄くすることができる。また、別の凹部の幅Ｗ１及び凹部の幅Ｗ２が互いに異なっているため、別の凹部と凹部との境界部を基準（例えば、機械的な位置決め部、又は、基準座標）とすることで、支持体に対するファブリペロー干渉フィルタ及び配線基板の位置決めを容易に且つ精度良く実施することができる。また、別の凹部の幅Ｗ１及び凹部の幅Ｗ２のうち大きい方の幅に小さい方の幅を合わせた場合に比べて、支持体の強度を確保することができる。更に、「Ｗｆ≦Ｗ１＜Ｗｓ≦Ｗ２」の関係が成立する場合には、第１方向に対して側方から配線基板に外力が作用したとしても、当該外力を第１凹部と第２凹部との境界部から支持体に逃がすことができ、当該外力がファブリペロー干渉フィルタに及ぶのを抑制することができる。一方、「Ｗｓ≦Ｗ２＜Ｗｆ≦Ｗ１」の関係が成立する場合には、配線基板が配置された第２凹部を介してファブリペロー干渉フィルタに迷光が入射するのを抑制することができる。

【0017】

本発明のフィルタユニットは、［１１］「「Ｗｆ＝Ｗ１」の関係が成立する、上記［１０］に記載のフィルタユニット」であってもよい。当該［１１］に記載のフィルタユニットによれば、支持体に対するファブリペロー干渉フィルタの位置決めをより容易に且つより精度良く実施することができる。

【0018】

本発明のフィルタユニットは、［１２］「「Ｗｓ＝Ｗ２」の関係が成立する、上記［１０］又は［１１］に記載のフィルタユニット」であってもよい。当該［１２］に記載のフィルタユニットによれば、支持体に対する配線基板の位置決めをより容易に且つより精度良く実施することができる。

【0019】

本発明のフィルタユニットは、［１３］「前記支持体には、前記第１方向を深さ方向として前記光通過部とは反対側に開口する別の凹部が形成されており、前記ファブリペロー干渉フィルタは、前記別の凹部内に配置されており、前記支持体には、前記別の凹部の内面及び前記支持体の外面に開口する貫通孔が形成されている、上記［１］～［１２］のいずれか一つに記載のフィルタユニット」であってもよい。当該［１３］に記載のフィルタユニットによれば、ファブリペロー干渉フィルタが、第１方向を深さ方向として支持体に形成された別の凹部内に配置されているため、ファブリペロー干渉フィルタの光軸方向である第１方向においてフィルタユニットをより薄くすることができる。また、例えば、フィルタユニットの製造時に、何らかの部材によって別の凹部の開口が覆われた状態で、別の凹部内でガスが発生したとしても、当該ガスを貫通孔から外部に逃がすことができる。

【発明の効果】

【0020】

本発明によれば、ファブリペロー干渉フィルタの光軸方向に狭い領域への配置に適したフィルタユニットを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】一実施形態のフィルタユニットが備えるファブリペロー干渉フィルタの斜視図である。

【図2】図１に示されるII－II線に沿ってのファブリペロー干渉フィルタの断面図である。

【図3】一実施形態のフィルタユニットの平面図である。

【図4】図３に示されるIV－IV線に沿ってのフィルタユニットの断面図である。

【図5】一実施形態のフィルタユニットの一部分の平面図である。

【図6】一実施形態のフィルタユニットの一部分の平面図である。

【図7】一実施形態のフィルタユニットの底面図である。

【図8】一実施形態のフィルタユニットを備える鏡筒の断面図である。

【図9】変形例のフィルタユニットの一部分の平面図である。

【図10】変形例のフィルタユニットを備える鏡筒の一部分の断面図である。

【図11】変形例のファブリペロー干渉フィルタの断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
［フィルタユニットが備えるファブリペロー干渉フィルタの構成］

【0023】

図１に示されるように、ファブリペロー干渉フィルタ１０は、光透過領域１０ａを有している。ファブリペロー干渉フィルタ１０は、Ｚ軸方向を厚さ方向とする矩形板状の素子である。光透過領域１０ａは、Ｚ軸方向に平行な中心線を有する円柱状の領域である。Ｚ軸方向から見た場合に、光透過領域１０ａの中心は、ファブリペロー干渉フィルタ１０の中心に一致している。

【0024】

図２に示されるように、ファブリペロー干渉フィルタ１０は、Ｚ軸方向を厚さ方向とする基板１１を備えている。基板１１の材料は、例えば、シリコン、石英、ガラス等である。基板１１は、一対の表面１１ａ，１１ｂを有している。一対の表面１１ａ，１１ｂは、Ｚ軸方向において互いに向かい合っている。基板１１の表面１１ａには、第１積層構造１２が積層されている。基板１１の表面１１ｂには、第２積層構造１３が積層されている。

【0025】

第１積層構造１２は、反射防止層１２１、第１積層体１２２、中間層１２３及び第２積層体１２４を含んでいる。反射防止層１２１、第１積層体１２２、中間層１２３及び第２積層体１２４は、この順序で基板１１の表面１１ａ上に積層されている。第１積層体１２２と第２積層体１２４との間には、枠状の中間層１２３によって空隙（エアギャップ）Ｓが形成されている。基板１１の材料がシリコンである場合、反射防止層１２１及び中間層１２３のそれぞれの材料は、例えば、酸化シリコン等である。中間層１２３の厚さは、例えば、設計中心波長の１／２の整数倍である。なお、中間層１２３の厚さは、必要に応じて、設計中心波長の１／２の整数倍よりも大きくされてもよい。

【0026】

第１積層体１２２のうち光透過領域１０ａに対応する部分は、ミラー部１４として機能する。ミラー部１４は、反射防止層１２１を介して基板１１に支持されている。一例として、第１積層体１２２は、複数のポリシリコン層と複数の窒化シリコン層とが一層ずつ交互に積層されることで構成されている。ミラー部１４を構成する各層の光学厚さは、例えば、設計中心波長の１／４の整数倍である。なお、窒化シリコン層の代わりに酸化シリコン層が用いられてもよい。

【0027】

第２積層体１２４のうち光透過領域１０ａに対応する部分は、ミラー部１５として機能する。ミラー部１５は、反射防止層１２１、第１積層体１２２及び中間層１２３を介して基板１１に支持されており、空隙Ｓを介してミラー部１４と向かい合っている。一例として、第２積層体１２４は、複数のポリシリコン層と複数の窒化シリコン層とが一層ずつ交互に積層されることで構成されている。ミラー部１５を構成する各層の光学厚さは、例えば、設計中心波長の１／４の整数倍である。なお、窒化シリコン層の代わりに酸化シリコン層が用いられてもよい。なお、第２積層体１２４のうち空隙Ｓに対応する部分には、ミラー部１５の機能に実質的に影響を与えない程度に、複数の貫通孔が形成されている。複数の貫通孔は、エッチングによって中間層１２３の一部を除去することで空隙Ｓを形成する際に用いられたものである。

【0028】

ミラー部１４には、第１電極１２５及び第２電極１２６が形成されている。第１電極１２５は、Ｚ軸方向から見た場合に光透過領域１０ａを包囲している。第２電極１２６は、Ｚ軸方向から見た場合に光透過領域１０ａと重なっている。Ｚ軸方向から見た場合における第２電極１２６の形状は、Ｚ軸方向から見た場合における光透過領域１０ａの形状と略同一である。第１電極１２５及び第２電極１２６のそれぞれは、ポリシリコン層の一部分に不純物をドープして当該一部分を低抵抗化することで形成されている。

【0029】

ミラー部１５には、第３電極１２７が形成されている。第３電極１２７は、空隙Ｓを介して第１電極１２５及び第２電極１２６と向かい合っている。第３電極１２７は、ポリシリコン層の一部分に不純物をドープして当該一部分を低抵抗化することで形成されている。一例として、第２電極１２６と第３電極１２７との間の距離は、第１電極１２５と第３電極１２７との間の距離と略同一である。

【0030】

第１積層構造１２には、光透過領域１０ａを挟むように一対の端子１６が設けられている（図１参照）。各端子１６は、基板１１とは反対側に開口し且つ第１積層体１２２に至るように第２積層体１２４及び中間層１２３に形成された貫通孔内に配置されている。各端子１６は、配線１２５ａを介して第１電極１２５と電気的に接続されている。

【0031】

第１積層構造１２には、光透過領域１０ａを挟むように一対の端子１７が設けられている（図１参照）。各端子１７は、基板１１とは反対側に開口し且つ中間層１２３に至るように第２積層体１２４及び中間層１２３に形成された貫通孔内に配置されている。各端子１７は、配線１２６ａを介して第２電極１２６と電気的に接続されていると共に、配線１２７ａを介して第３電極１２７と電気的に接続されている。なお、一対の端子１７が光透過領域１０ａを挟んでいる方向は、一対の端子１６が光透過領域１０ａを挟んでいる方向に垂直な方向である（図１参照）。

【0032】

第１積層体１２２には、一対のトレンチ１２２ａが形成されている。各トレンチ１２２ａは、配線１２６ａのうち各端子１７からＺ軸方向に延在している部分を包囲するように、環状に延在している。各トレンチ１２２ａは、第１電極１２５と配線１２６ａとを電気的に絶縁している。第１積層体１２２には、トレンチ１２２ｂが形成されている。トレンチ１２２ｂは、第１電極１２５の内縁に沿って環状に延在している。トレンチ１２２ｂは、第１電極１２５と第２電極１２６とを電気的に絶縁している。各トレンチ１２２ａ，１２２ｂ内の領域は、絶縁材料で埋められていてもよいし、空隙であってもよい。

【0033】

第２積層体１２４には、一対のトレンチ１２４ａが形成されている。各トレンチ１２４ａは、各端子１６を包囲するように環状に延在している。各トレンチ１２４ａは、各端子１６と第３電極１２７とを電気的に絶縁している。各トレンチ１２４ａ内の領域は、絶縁材料で埋められていてもよいし、空隙であってもよい。

【0034】

第２積層構造１３は、反射防止層１３１、第３積層体１３２、中間層１３３及び第４積層体１３４を含んでいる。反射防止層１３１、第３積層体１３２、中間層１３３及び第４積層体１３４は、この順序で基板１１の表面１１ｂに積層されている。反射防止層１３１及び中間層１３３は、それぞれ、反射防止層１２１及び中間層１２３と同様の構成を有している。第３積層体１３２及び第４積層体１３４は、それぞれ、基板１１を基準として第１積層体１２２及び第２積層体１２４と対称の積層構造を有している。反射防止層１３１、第３積層体１３２、中間層１３３及び第４積層体１３４は、基板１１の反りを抑制する機能を有している。

【0035】

第３積層体１３２、中間層１３３及び第４積層体１３４には、光透過領域１０ａを含むように開口部１８が形成されている。開口部１８は、Ｚ軸方向から見た場合に光透過領域１０ａと重なっている。Ｚ軸方向から見た場合における開口部１８の形状は、Ｚ軸方向から見た場合における光透過領域１０ａの形状と略同一である。つまり、開口部１８の中心線は、光透過領域１０ａの中心線に一致している。開口部１８は、基板１１とは反対側に開口しており、反射防止層１３１に至っている。

【0036】

第４積層体１３４における基板１１とは反対側の表面には、遮光層１３５が形成されている。遮光層１３５の材料は、例えば、アルミニウム等である。遮光層１３５の表面及び開口部１８の内面には、保護層１３６が形成されている。保護層１３６の材料は、例えば、酸化アルミニウム等である。なお、保護層１３６の厚さを１００ｎｍ以下（好ましくは、３０ｎｍ程度）にすることで、保護層１３６による光学的な影響を無視することができる。

【0037】

以上のように構成されたファブリペロー干渉フィルタ１０では、複数の端子１６，１７を介して第１電極１２５及び第３電極１２７に電圧が印加されることで第１電極１２５と第３電極１２７との間に電位差が発生すると、当該電位差に応じた静電気力が第１電極１２５と第３電極１２７との間に発生する。第１電極１２５と第３電極１２７との間に静電気力が発生することでミラー部１４にミラー部１５が引き付けられ、ミラー部１４とミラー部１５との間の距離が調整される。このとき、第３電極１２７と同電位である第２電極１２６が補償電極として機能し、光透過領域１０ａにおいてミラー部１５が平坦に保たれる。

【0038】

このように、ファブリペロー干渉フィルタ１０では、Ｚ軸方向において互いに向かい合っている一対のミラー部１４，１５が、互いの距離が可変である一対のミラー部として機能する。ここで、ファブリペロー干渉フィルタ１０を透過する光の波長は、ミラー部１４とミラー部１５との間の距離に依存する。したがって、第１電極１２５及び第３電極１２７に印加する電圧（第１電極１２５と第３電極１２７との間に発生する電位差）を調整することで、ファブリペロー干渉フィルタ１０を透過する光の波長を選択することができる。
［フィルタユニットの構成］

【0039】

図３及び図４に示されるように、フィルタユニット１は、支持体２と、光透過部材３と、配線基板４と、コネクタ５と、カバー６と、上述したファブリペロー干渉フィルタ１０と、を備えている。なお、図３では、光透過部材３、及び後述する接着部材７３，７５が二点鎖線で示されている。

【0040】

支持体２は、Ｚ軸方向（第１方向）を厚さ方向とする円形板状の部材である。つまり、Ｚ軸方向から見た場合に、支持体２の外縁２Ｅは、円形状を呈している。支持体２は、一対の表面２ａ，２ｂ、及び側面２ｃを有している。一対の表面２ａ，２ｂは、Ｚ軸方向において互いに向かい合っている。側面２ｃは、表面２ａの外縁と表面２ｂの外縁とを結んでいる。支持体２の材料は、例えば、ステンレス鋼等の金属材料、又は樹脂材料である。支持体２の外径は、例えば、２０ｍｍ～５０ｍｍである。Ｚ軸方向における支持体２の厚さは、例えば、２ｍｍ～５ｍｍである。

【0041】

図４及び図５に示されるように、支持体２には、第１凹部（別の凹部）２１及び第２凹部（凹部）２２が形成されている。第１凹部２１及び第２凹部２２は、それぞれ、Ｚ軸方向を深さ方向として表面２ａ側に開口している。第１凹部２１の底面（第１載置面）２１ａ及び第２凹部２２の底面（第２載置面）２２ａは、Ｚ軸方向に垂直な同一平面上に位置している。Ｚ軸方向における底面２１ａ，２２ａから支持体２の表面２ｂまでの厚さは、例えば１００μｍ程度である。第１凹部２１及び第２凹部２２は、Ｘ軸方向（第１方向に垂直な第２方向）に並んでいる。なお、図５では、光透過部材３、及び後述する接着部材７３，７５の図示が省略されている。

【0042】

第１凹部２１は、Ｚ軸方向から見た場合に支持体２の中心Ｃを含んでいる。第１凹部２１は、Ｚ軸方向から見た場合に支持体２の外縁２Ｅに至っていない。Ｚ軸方向から見た場合に、第１凹部２１の内縁２１Ｅは、矩形状を呈している。本実施形態では、Ｚ軸方向から見た場合に、第１凹部２１の内縁２１Ｅは、Ｘ軸方向を長手方向とする矩形状を呈している。Ｘ軸方向における第１凹部２１の幅は、例えば、５ｍｍ～２０ｍｍである。Ｙ軸方向における第１凹部２１の幅は、例えば、２．２ｍｍ～２２ｍｍである。Ｚ軸方向における第１凹部２１の深さは、例えば、０．２ｍｍ～２ｍｍである。

【0043】

第２凹部２２は、Ｚ軸方向から見た場合に支持体２の中心Ｃを含んでいない。第２凹部２２は、Ｚ軸方向から見た場合に支持体２の外縁２Ｅに至っている。Ｚ軸方向から見た場合に、第２凹部２２の内縁２２Ｅは、矩形状を呈している。本実施形態では、Ｚ軸方向から見た場合に、第２凹部２２の内縁２２Ｅは、Ｘ軸方向を長手方向とする矩形状を呈している。本実施形態では、第２凹部２２は、Ｘ軸方向における第１凹部２１とは反対側において、支持体２の側面２ｃに至っている。第２凹部２２は、Ｚ軸方向から見た場合に、第２凹部２２の短辺側において支持体２の外縁２Ｅに至っている。Ｚ軸方向から見た場合に第２凹部２２が支持体２を横断していないため、第２凹部２２が支持体２を横断している構成に比べ、支持体２の剛性が高い。Ｘ軸方向における第２凹部２２の幅は、例えば、８ｍｍ～２３ｍｍである。Ｙ軸方向における第２凹部２２の幅は、例えば、３ｍｍ～２４ｍｍである。Ｚ軸方向における第２凹部２２の深さは、例えば、０．２ｍｍ～２ｍｍである。

【0044】

Ｙ軸方向（第１方向及び第２方向の両方向に垂直な第３方向）における第２凹部２２の幅Ｗ２は、Ｙ軸方向における第１凹部２１の幅Ｗ１よりも大きい。本実施形態では、Ｚ軸方向から見た場合に、Ｘ軸方向に平行な第１凹部２１の中心線は、支持体２の中心Ｃを通っている。本実施形態では、Ｚ軸方向から見た場合に、Ｘ軸方向に平行な第２凹部２２の中心線は、Ｘ軸方向に平行な第１凹部２１の中心線に一致している。

【0045】

支持体２には、開口部（光通過部）２３及び貫通孔２４が形成されている。開口部２３及び貫通孔２４は、それぞれ、第１凹部２１の底面（内面）２１ａ及び支持体２の表面（外面）２ｂに開口している。つまり、第１凹部２１は、Ｚ軸方向を深さ方向として開口部２３とは反対側に開口している。開口部２３及び貫通孔２４は、Ｘ軸方向に並んでいる。開口部２３は、Ｚ軸方向に平行な中心線を有する円柱状の空間を画定している。Ｚ軸方向から見た場合に、開口部２３の中心は、支持体２の中心Ｃに一致している。開口部２３の内径は、例えば、２ｍｍ～１５ｍｍである。

【0046】

支持体２には、拡幅部２５が形成されている。拡幅部２５は、第１凹部２１の開口に対して、Ｘ軸方向における第２凹部２２とは反対側、及びＹ軸方向における両側に拡幅されている。拡幅部２５は、Ｚ軸方向を深さ方向として表面２ａ側に開口し且つ第１凹部２１の開口に至るように支持体２に形成された凹部である。本実施形態では、Ｙ軸方向における拡幅部２５の幅は、Ｙ軸方向における第２凹部２２の幅Ｗ２に等しい。

【0047】

支持体２は、仕切部２６を含んでいる。仕切部２６は、第１凹部２１と第２凹部２２との間に配置されている。仕切部２６は、支持体２の一部分として支持体２の他の部分と一体で形成されている。本実施形態では、仕切部２６は、第１凹部２１の底面２１ａと第２凹部２２の底面２２ａとの間においてＹ軸方向に延在している壁部である。本実施形態では、底面２１ａ及び底面２２ａが位置する平面を基準とすると、Ｚ軸方向における仕切部２６の高さは、Ｚ軸方向における支持体２の表面２ａの高さよりも低く、Ｚ軸方向における拡幅部２５の底面２５ａの高さよりも低い。Ｘ軸方向における仕切部２６の幅は、例えば、０．５ｍｍ～５ｍｍである。Ｚ軸方向における仕切部２６の高さは、例えば、０．１ｍｍ～２ｍｍである。

【0048】

ファブリペロー干渉フィルタ１０は、Ｚ軸方向から見た場合に開口部２３と重なるように、Ｚ軸方向を厚さ方向として支持体２上に配置されている。より具体的には、ファブリペロー干渉フィルタ１０は、Ｚ軸方向から見た場合に開口部２３と重なるように、Ｚ軸方向を厚さ方向として第１凹部２１内に配置されている。ファブリペロー干渉フィルタ１０は、第１凹部２１内において仕切部２６と接触している。本実施形態では、第１凹部２１の底面２１ａを基準とすると、Ｚ軸方向におけるファブリペロー干渉フィルタ１０の高さは、Ｚ軸方向における支持体２の表面２ａの高さよりも低く、Ｚ軸方向における拡幅部２５の底面２５ａの高さよりも低い。本実施形態では、第１凹部２１の底面２１ａを基準とすると、Ｚ軸方向における仕切部２６の高さは、Ｚ軸方向におけるファブリペロー干渉フィルタ１０の高さ以下である。Ｘ軸方向におけるファブリペロー干渉フィルタ１０の幅は、例えば、２ｍｍ～２０ｍｍである。Ｙ軸方向におけるファブリペロー干渉フィルタ１０の幅は、例えば、２ｍｍ～２０ｍｍである。Ｚ軸方向におけるファブリペロー干渉フィルタ１０の厚さは、例えば、３００μｍ～６５０μｍである。

【0049】

上述したように、ファブリペロー干渉フィルタ１０は、Ｚ軸方向を厚さ方向とする矩形板状の素子である。したがって、Ｚ軸方向から見た場合に、ファブリペロー干渉フィルタ１０の外縁１０Ｅは、矩形状を呈している。ファブリペロー干渉フィルタ１０は、Ｚ軸方向から見た場合に外縁１０Ｅの各辺がＸ軸方向又はＹ軸方向に平行となり且つ開口部１８が開口部２３と向かい合うように、第１凹部２１の底面２１ａ上に配置されている。開口部１８の中心線は、開口部２３の中心線に一致している。つまり、Ｚ軸方向から見た場合に、ファブリペロー干渉フィルタ１０は、支持体２の中心Ｃに位置している。Ｚ軸方向から見た場合に、開口部１８は、開口部２３の内側に位置している。

【0050】

ファブリペロー干渉フィルタ１０は、接着部材７１によって底面２１ａに固定されている。接着部材７１は、底面２１ａとファブリペロー干渉フィルタ１０の一つの角部との間にドット状に配置されている。これにより、温度変化に伴う支持体２及び／又は接着部材７１の変形に起因する応力がファブリペロー干渉フィルタ１０に及ぶのを抑制することができる。接着部材７１の材料は、例えば、ポリイミド系樹脂、シリコーン樹脂、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、又はこれらのハイブリット系樹脂等である。

【0051】

図４及び図６に示されるように、光透過部材３は、第１凹部２１の開口を覆うように、Ｚ軸方向を厚さ方向として支持体２上に配置されている。より具体的には、光透過部材３は、第１凹部２１の開口を覆うように、Ｚ軸方向を厚さ方向として拡幅部２５内に配置されている。本実施形態では、光透過部材３は、第１凹部２１の開口と共に、第２凹部２２の開口の一部を覆っている。本実施形態では、拡幅部２５の底面２５ａを基準とすると、Ｚ軸方向における光透過部材３の高さは、Ｚ軸方向における支持体２の表面２ａの高さよりも低い。

【0052】

光透過部材３は、Ｚ軸方向を厚さ方向とし且つＸ軸方向を長手方向とする矩形板状の部材である。したがって、Ｚ軸方向から見た場合に、光透過部材３の外縁３Ｅは、Ｘ軸方向を長手方向とする矩形状を呈している。光透過部材３は、Ｚ軸方向から見た場合に外縁３Ｅの各辺がＸ軸方向又はＹ軸方向に平行となるように、拡幅部２５の底面２５ａ上に配置されている。一例として、光透過部材３は、所定の波長範囲の光を透過させるバンドパスフィルタである。

【0053】

光透過部材３は、接着部材７２，７３によって拡幅部２５の底面２５ａ及び側面２５ｂに固定されている。接着部材７２は、底面２５ａと光透過部材３の一つの角部との間にドット状に配置されている。接着部材７３は、側面２５ｂと光透過部材３の表面３ａとによって形成された隅部に沿って配置されている。表面３ａは、光透過部材３における第１凹部２１とは反対側の表面である。接着部材７３の一部は、拡幅部２５の側面２５ｂと光透過部材３の側面との間にも入り込んでいる。接着部材７２，７３の材料は、例えば、ポリイミド系樹脂、シリコーン樹脂、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、又はこれらのハイブリット系樹脂等である。

【0054】

図４及び図５に示されるように、配線基板４は、Ｚ軸方向から見た場合にファブリペロー干渉フィルタ１０と重ならないように、Ｚ軸方向を厚さ方向として支持体２上に配置されている。より具体的には、配線基板４は、Ｚ軸方向から見た場合にファブリペロー干渉フィルタ１０と重ならないように、Ｚ軸方向を厚さ方向として第２凹部２２内に配置されている。配線基板４は、第２凹部２２内において仕切部２６と接触している。本実施形態では、第２凹部２２の底面２２ａを基準とすると、Ｚ軸方向における配線基板４の高さは、Ｚ軸方向における支持体２の表面２ａの高さよりも低く、Ｚ軸方向における拡幅部２５の底面２５ａの高さよりも低い。本実施形態では、第２凹部２２の底面２２ａを基準とすると、Ｚ軸方向における仕切部２６の高さは、Ｚ軸方向における配線基板４の高さ以下である。

【0055】

配線基板４は、Ｚ軸方向を厚さ方向とし且つＸ軸方向を長手方向とする矩形板状の基板である。したがって、Ｚ軸方向から見た場合に、配線基板４の外縁４Ｅは、Ｘ軸方向を長手方向とする矩形状を呈している。配線基板４は、Ｚ軸方向から見た場合に外縁４Ｅの各辺がＸ軸方向又はＹ軸方向に平行となるように、第２凹部２２の底面２２ａ上に配置されている。

【0056】

配線基板４は、接着部材７４によって第２凹部２２の底面２２ａに固定されている。接着部材７４は、一対の第１部分７４ａ、及び第２部分７４ｂを含んでいる。一対の第１部分７４ａは、底面２２ａと配線基板４との間において互いに向かい合っており、それぞれ、Ｘ軸方向に延在している。各第１部分７４ａの一部は、第２凹部２２の側面と配線基板４の側面との間にも入り込んでいる。第２部分７４ｂは、底面２２ａと配線基板４との間において仕切部２６と向かい合っており、Ｙ軸方向に延在している。接着部材７４の材料は、例えば、ポリイミド系樹脂、シリコーン樹脂、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、又はこれらのハイブリット系樹脂等である。

【0057】

配線基板４は、ファブリペロー干渉フィルタ１０と電気的に接続されている。より具体的には、配線基板４の端子４１が、ファブリペロー干渉フィルタ１０の一対の端子１６のうち仕切部２６に近い端子１６とワイヤ８によって電気的に接続されており、配線基板４の端子４２が、ファブリペロー干渉フィルタ１０の一対の端子１７のうち仕切部２６に近い端子１７とワイヤ８によって電気的に接続されている。一対の端子４１，４２は、配線基板４における光透過部材３側の表面４ａのうち仕切部２６に沿った領域に配置されている。各ワイヤ８は、仕切部２６と光透過部材３との間の隙間を通っている。Ｘ軸方向から見た場合に、各ワイヤ８は、第１凹部２１及び第２凹部２２内に収まっている。Ｘ軸方向における仕切部２６の幅は、Ｘ軸方向におけるファブリペロー干渉フィルタ１０の幅よりも小さい。これにより、ファブリペロー干渉フィルタ１０と配線基板４との間の距離を短くすることができる。

【0058】

コネクタ５は、配線基板４の表面４ａに実装されており、配線基板４と電気的に接続されている。コネクタ５の一部５ａは、第２凹部２２のうち支持体２の側面２ｃに至っている領域を介して、支持体２の側面２ｃよりも外側に位置している。コネクタ５の一部５ａには、支持体２の中心Ｃとは反対側に開口する接続ポート５１が設けられている。コネクタ５は、Ｚ軸方向においては第２凹部２２内に収まっている。フィルタユニット１では、コネクタ５に接続された外部の配線から、配線基板４及び一対のワイヤ８を介して、一対の端子１６，１７に電圧が印加される。

【0059】

図４及び図６に示されるように、配線基板４と光透過部材３との間には、接着部材７５が配置されている。接着部材７５は、Ｚ軸方向から見た場合に光透過部材３の外縁３Ｅのうち配線基板４と重なっている部分に沿って延在している。接着部材７５は、一対の端子４１，４２よりも外側（支持体２の中心Ｃとは反対側）において、配線基板４と光透過部材３との間の隙間を封止している。接着部材７５の材料は、例えば、ポリイミド系樹脂、シリコーン樹脂、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、又はこれらのハイブリット系樹脂等である。なお、本実施形態では、接着部材７４，７５によって、「配線基板４と支持体２との間、及び配線基板４と光透過部材３との間に配置された接着部材７」が構成されている。

【0060】

図４及び図７に示されるように、カバー６は、開口部２３及び貫通孔２４を覆うように、支持体２の表面２ｂ上に配置されている。カバー６は、光透過性を有する板状の部材であり、Ｚ軸方向を厚さ方向として支持体２の表面２ｂ上に配置されている。一例として、カバー６は、円形板状を呈しており、Ｚ軸方向から見た場合に、カバー６の外縁６Ｅは、支持体２の外縁２Ｅの内側に位置している。カバー６は、カバー６の外縁６Ｅに沿って配置された接着部材７６によって、表面２ｂに固定されている。接着部材７６の材料は、例えば、ポリイミド系樹脂、シリコーン樹脂、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、又はこれらのハイブリット系樹脂等である。カバー６における支持体２とは反対側の表面６ａには、遮光膜６１が設けられている。遮光膜６１は、Ｚ軸方向から見た場合に貫通孔２４と重なっている。遮光膜６１は、カバー６を介して貫通孔２４に光が入射するのを防止するのに十分な大きさを有している。遮光膜６１は、例えば、クロムメッキ膜等である。

【0061】

図４に示されるように、フィルタユニット１では、支持体２及び光透過部材３が、第１壁部２１０、第２壁部２２０及び包囲部２３０を含む筐体２００を構成している。より具体的には、支持体２の一部が第１壁部２１０２３０を構成しており、光透過部材３の一部が第２壁部２２０を構成している。支持体２の他の一部及び光透過部材３の他の一部が包囲部２３０を構成している。第１壁部２１０は、開口部２３を有する壁部であり、具体的には、支持体２のうち、Ｚ軸方向から見た場合に第１凹部２１内の領域と重なっている部分（すなわち、第１凹部２１の底壁部）である。第２壁部２２０は、Ｚ軸方向において第１壁部２１０と向かい合っている壁部であり、具体的には、光透過部材３のうち、Ｚ軸方向から見た場合に第１凹部２１内の領域と重なっている部分である。包囲部２３０は、第１壁部２１０と第２壁部２２０との間の領域を包囲している部分であり、具体的には、支持体２及び光透過部材３のうち、Ｚ軸方向から見た場合に第１凹部２１内の領域を包囲している部分である。

【0062】

したがって、フィルタユニット１では、次のことがいえる。第１凹部２１は、第１壁部２１０及び包囲部２３０によって画定されている。第１凹部２１内の領域は、筐体２００内の領域に相当する。第２凹部２２は、Ｚ軸方向を深さ方向として第２壁部２２０側に開口するように、包囲部２３０に形成されている。Ｚ軸方向から見た場合に、筐体２００の外縁２００Ｅは、支持体２の外縁２Ｅに一致している（図３参照）。配線基板４は、Ｚ軸方向から見た場合にファブリペロー干渉フィルタ１０と重ならないように筐体２００に取り付けられている。配線基板４は、配線基板４の全体が包囲部２３０に埋設されるように筐体２００に取り付けられている。なお、「配線基板４の全体が包囲部２３０に埋設される」とは、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向のいずれの方向から見た場合にも、配線基板４の全体が包囲部２３０と重なっていることを意味する。配線基板４の少なくとも一部は、筐体２００の外部に露出している。本実施形態では、配線基板４の少なくとも一部が、第２凹部２２の開口のうち光透過部材３に覆われていない領域、及び第２凹部２２のうち支持体２の側面２ｃに至っている領域を介して、筐体２００の外部に露出している。

【0063】

図５に示されるように、Ｙ軸方向におけるファブリペロー干渉フィルタの幅Ｗｆは、Ｙ軸方向における第１凹部の幅Ｗ１以下である。Ｙ軸方向における配線基板の幅Ｗｓは、Ｙ軸方向における第１凹部の幅Ｗ１よりも大きく、Ｙ軸方向における第２凹部の幅Ｗ２以下である。したがって、フィルタユニット１では、「Ｗｆ≦Ｗ１＜Ｗｓ≦Ｗ２」の関係が成立している。本実施形態では、「Ｗｆ＝Ｗ１」の関係、及び「Ｗｓ＝Ｗ２」の関係が成立している。フィルタユニット１では、「Ｗ１＜２Ｗｆ」の関係が成立していることが好ましい。また、フィルタユニット１では、「Ｗ２＜２Ｗｓ」の関係が成立していることが好ましい。

【0064】

なお、「Ｗｆ＝Ｗ１」は、ＷｆとＷ１とが実質的に等しいことを意味し、「Ｗｓ＝Ｗ２」は、ＷｓとＷ２とが実質的に等しいことを意味する。一例として、「Ｗｆ＝Ｗ１」は、Ｗ１が「Ｗｆ」以上「１．１Ｗｆ」以下の値であることを意味し、「Ｗｓ＝Ｗ２」は、Ｗ２が「Ｗｓ」以上「１．１Ｗｓ」以下の値であることを意味する。

【0065】

図３に示されるように、Ｚ軸方向から見た場合に、Ｙ軸方向（一方向）における「第１凹部２１の内縁２１Ｅから支持体２の外縁２Ｅまでの距離Ｄ１」は、Ｙ軸方向におけるファブリペロー干渉フィルタ１０の幅Ｗｆよりも大きい。Ｙ軸方向における「第１凹部２１の内縁２１Ｅから支持体２の外縁２Ｅまでの部分」の厚さは、ファブリペロー干渉フィルタ１０の厚さよりも大きい。Ｚ軸方向から見た場合に、Ｙ軸方向（ファブリペロー干渉フィルタ１０の外縁１０Ｅの一辺に垂直な方向）における「ファブリペロー干渉フィルタ１０の外縁１０Ｅから支持体２の外縁２Ｅまでの距離Ｄ２」は、ファブリペロー干渉フィルタ１０の外縁１０Ｅの対角線の長さＬよりも大きい。Ｙ軸方向における「ファブリペロー干渉フィルタ１０の外縁１０Ｅから支持体２の外縁２Ｅまでの距離Ｄ２」は、ファブリペロー干渉フィルタ１０の外縁１０Ｅの対角線の長さＬの２～３倍程度であってもよい。Ｚ軸方向から見た場合に、開口部２３の幅Ｗ３は、Ｙ軸方向におけるファブリペロー干渉フィルタ１０の幅Ｗｆよりも小さい。「ファブリペロー干渉フィルタ１０の外縁１０Ｅから支持体２の外縁２Ｅまでの距離Ｄ２」は、ファブリペロー干渉フィルタ１０の外縁１０Ｅの対角線の長さＬの２～３倍程度であって、幅広な「ファブリペロー干渉フィルタ１０の外縁１０Ｅから支持体２の外縁２Ｅまでの距離Ｄ２」は、開口部２３を包囲している。複数の部品が組み合わされることなく一体で形成された支持体２は、第１凹部２１及び第２凹部２２を包囲している肉厚部を含んでいる。肉厚部は、支持体２のうち、Ｚ軸方向における厚さがＺ軸方向における第１凹部２１の深さよりも大きい部分である。Ｚ軸方向から見た場合における肉厚部の面積は、Ｚ軸方向から見た場合における支持体２の面積の５０％以上である。

【0066】

なお、所定方向における「第１凹部２１の内縁２１Ｅから支持体２の外縁２Ｅまでの距離Ｄ１」は、所定方向における「包囲部２３０の内縁から包囲部２３０の外縁までの距離」に相当する。また、所定方向における「ファブリペロー干渉フィルタ１０の外縁１０Ｅから支持体２の外縁２Ｅまでの距離Ｄ２」は、所定方向における「ファブリペロー干渉フィルタ１０の外縁１０Ｅから包囲部２３０の外縁までの距離」に相当する。
［フィルタユニットの製造方法］

【0067】

上述したフィルタユニット１の製造方法について、図４を参照して説明する。まず、支持体２が用意され、第１凹部２１の底面２１ａに硬化前の接着部材７１が配置されると共に、第２凹部２２の底面２２ａに硬化前の接着部材７４が配置される。続いて、第１凹部２１の底面２１ａにファブリペロー干渉フィルタ１０が配置されると共に、第２凹部２２の底面２２ａに配線基板４が配置される。コネクタ５は、配線基板４の表面４ａに予め実装されている。続いて、接着部材７１，７４が硬化させられる。このとき、ファブリペロー干渉フィルタ１０は、仕切部２６に接触させられつつ第１凹部２１内に嵌め合わされるため、開口部２３に対して精度良く位置決めされる。また、配線基板４は、仕切部２６に接触させられつつ第２凹部２２内に嵌め合わされるため、ファブリペロー干渉フィルタ１０に対して精度良く位置決めされる。続いて、配線基板４の端子４１がワイヤ８によってファブリペロー干渉フィルタ１０の端子１６と電気的に接続されると共に、配線基板４の端子４２がワイヤ８によってファブリペロー干渉フィルタ１０の端子１７と電気的に接続される。配線基板４がファブリペロー干渉フィルタ１０に対して精度良く位置決めされていることは、ファブリペロー干渉フィルタ１０と配線基板４との間におけるワイヤボンディングを確実に実施する上で重要である。一対の端子１６のうちワイヤ８が接続される端子１６は、ファブリペロー干渉フィルタ１０の中心よりも仕切部２６（配線基板４）の近くに位置している。同様に、一対の端子１７のうちワイヤ８が接続される端子１７は、ファブリペロー干渉フィルタ１０の中心よりも仕切部２６（配線基板４）の近くに位置している。これにより、各ワイヤ８の長さを短くすることができる。

【0068】

続いて、拡幅部２５の底面２５ａに硬化前の接着部材７２が配置される。続いて、拡幅部２５の底面２５ａに光透過部材３が配置される。続いて、接着部材７２が硬化させられる。続いて、拡幅部２５の側面２５ｂと光透過部材３の表面３ａとによって形成された隅部に沿って硬化前の接着部材７３が配置されると共に、配線基板４と光透過部材３との間に硬化前の接着部材７５が配置される。続いて、接着部材７３，７５が硬化させられる。このとき、接着部材７３，７５から発生したガスは、第１凹部２１内から貫通孔２４を介して外部に逃がされる。続いて、支持体２の表面２ｂにカバー６が配置される。続いて、カバー６の外縁６Ｅに沿って硬化前の接着部材７６が配置される。続いて、接着部材７６が硬化させられる。遮光膜６１は、カバー６の表面６ａに予め設けられている。以上により、フィルタユニット１が得られる。
［フィルタユニットを備える鏡筒の構造］

【0069】

図８に示されるように、鏡筒３００は、筒体３１０と、複数のレンズを含む集光光学系３２０と、複数のレンズを含む結像光学系３３０と、上述したフィルタユニット１と、を備えている。鏡筒３００は、ハイパースペクトルカメラの交換レンズとして用いられる。ハイパースペクトルカメラとは、光を数十バンド～数百バンドに分光してバンドごとの像を取得することができるカメラである。

【0070】

筒体３１０は、本体部３１１及び基端部３１２を含んでいる。本体部３１１は、集光光学系３２０、結像光学系３３０及びフィルタユニット１を保持している。基端部３１２は、ハイパースペクトルカメラのカメラボディに対して着脱可能となるように構成されている。

【0071】

集光光学系３２０は、本体部３１１の内側の領域のうち基端部３１２とは反対側の領域に配置されている。結像光学系３３０は、本体部３１１の内側の領域のうち基端部３１２側の領域に配置されている。フィルタユニット１は、本体部３１１の内側の領域のうち集光光学系３２０と結像光学系３３０との間の領域に配置されている。集光光学系３２０の光軸、結像光学系３３０の光軸、及びフィルタユニット１の光軸（すなわち、開口部１８，２３の中心線）は、筒体３１０の中心線に一致している。

【0072】

集光光学系３２０及び結像光学系３３０は、非テレセントリック光学系を構成している。集光光学系３２０は、軸上入射光及び軸外入射光を集光する光学系である。フィルタユニット１は、集光光学系３２０において軸上入射光と軸外入射光とが交わる位置に配置されている。フィルタユニット１は、当該位置において絞りとして機能する。結像光学系３３０は、フィルタユニット１を通過した光をハイパースペクトルカメラのイメージセンサ上に結像する。なお、集光光学系３２０及び結像光学系３３０は、テレセントリック光学系を構成していてもよい。

【0073】

フィルタユニット１は、本体部３１１に設けられたフランジ面３１１ａと固定リング３１３とによって挟まれることで、本体部３１１の内側に固定されている。フランジ面３１１ａは、集光光学系３２０側に向くように本体部３１１に設けられた内向きのフランジ面である。フィルタユニット１は、ファブリペロー干渉フィルタ１０に対して開口部２３が集光光学系３２０側に位置した状態で、本体部３１１の内側に固定されている。一例として、フィルタユニット１の開口部２３が、集光光学系３２０の軸上入射光と軸外入射光とが交わる位置に位置している。

【0074】

コネクタ５は、本体部３１１に形成された開口部３１１ｂ内に配置されている。コネクタ５の接続ポート５１は、開口部３１１ｂを介して筒体３１０の外部に露出している。コネクタ５の側面と開口部３１１ｂの内面との間には、接着部材７７が配置されている。これにより、コネクタ５の側面と開口部３１１ｂの内面との間の隙間が封止されている。
［作用及び効果］

【0075】

フィルタユニット１では、配線基板４が、Ｚ軸方向から見た場合に支持体２上においてファブリペロー干渉フィルタ１０と重なっておらず、Ｚ軸方向を深さ方向として支持体２に形成された第２凹部２２内に配置されている。これにより、ファブリペロー干渉フィルタ１０の光軸方向（すなわち、一対のミラー部１４，１５が互いに向かい合っている方向）であるＺ軸方向においてフィルタユニット１を薄くすることができる。また、配線基板４が配置された第２凹部２２が、Ｚ軸方向から見た場合に支持体２の外縁２Ｅに至っている。これにより、ファブリペロー干渉フィルタ１０の光軸方向であるＺ軸方向に対して側方から電気的な接続を実施することができる。よって、フィルタユニット１は、ファブリペロー干渉フィルタ１０の光軸方向に狭い領域への配置に適している。

【0076】

フィルタユニット１では、配線基板４が第２凹部２２内に配置された構成が採用されているため、ファブリペロー干渉フィルタ１０に対して、Ｚ軸方向における配線基板４の位置を調整することが可能である。これにより、ファブリペロー干渉フィルタ１０と配線基板４との間におけるワイヤボンディングの容易化を図ることができる。

【0077】

フィルタユニット１では、Ｚ軸方向から見た場合に、ファブリペロー干渉フィルタ１０が、支持体２の中心Ｃに位置している。これにより、Ｚ軸方向に対して側方から支持体２に外力が作用したとしても、当該外力がファブリペロー干渉フィルタ１０に及ぶのを抑制することができる。また、例えば、鏡筒３００の筒体３１０の内側に支持体２を嵌め合わせることで、筒体３１０の中心線上にファブリペロー干渉フィルタ１０を配置することができる。

【0078】

フィルタユニット１では、Ｚ軸方向から見た場合に、支持体２の外縁２Ｅが、円形状を呈している。これにより、Ｚ軸方向に対して側方から支持体２に外力が作用したとしても、当該外力がファブリペロー干渉フィルタ１０に及ぶのをバランス良く抑制することができる。また、例えば、筒体３１０が円筒状である場合に、円筒状の筒体３１０の中心線上にファブリペロー干渉フィルタ１０を容易に且つ精度良く配置することができる。

【0079】

フィルタユニット１では、支持体２が円形板状の部材であるため、フィルタユニット１を円筒状の筒体３１０内に設置する際に、円筒状の筒体３１０内においてフィルタユニット１が転げ落ちるのを防止することができる。

【0080】

フィルタユニット１では、ファブリペロー干渉フィルタ１０が、第１凹部２１内に配置されており、Ｚ軸方向から見た場合に、ファブリペロー干渉フィルタ１０の外縁１０Ｅ及び第１凹部２１の内縁２１Ｅのそれぞれが、矩形状を呈している。これにより、ファブリペロー干渉フィルタ１０の光軸方向であるＺ軸方向においてフィルタユニット１をより薄くすることができる。また、Ｚ軸方向から見た場合に、ファブリペロー干渉フィルタ１０の外縁１０Ｅ及び第１凹部２１の内縁２１Ｅのそれぞれが矩形状を呈しているため、支持体２に対するファブリペロー干渉フィルタ１０の位置決めを容易に且つ精度良く実施することができる。

【0081】

フィルタユニット１では、ファブリペロー干渉フィルタ１０及び配線基板４が、同一平面（底面２１ａ，２２ａが位置する平面）上に配置されている。これにより、ファブリペロー干渉フィルタ１０の光軸方向であるＺ軸方向においてフィルタユニット１をより薄くすることができる。

【0082】

フィルタユニット１では、支持体２が、第２凹部２２と第１凹部２１との間に配置された仕切部２６を含んでいる。これにより、仕切部２６を基準とすることで、支持体２に対するファブリペロー干渉フィルタ１０及び配線基板４の位置決めを容易に且つ精度良く実施することができる。

【0083】

フィルタユニット１では、光透過部材３が、第１凹部２１の開口を覆っており、接着部材７（接着部材７４，７５）が、配線基板４と支持体２との間、及び配線基板４と光透過部材３との間に配置されている。これにより、ファブリペロー干渉フィルタ１０の光軸方向であるＺ軸方向における厚さの増大を抑制しつつ、支持体２、配線基板４、光透過部材３及び接着部材７によって、ファブリペロー干渉フィルタ１０を収容するパッケージを構成することができる。これにより、湿気やパーティクル等からファブリペロー干渉フィルタ１０を保護することができる。

【0084】

フィルタユニット１では、Ｚ軸方向から見た場合に、Ｙ軸方向における「第１凹部２１の内縁２１Ｅから支持体２の外縁２Ｅまでの距離Ｄ１」が、Ｙ軸方向におけるファブリペロー干渉フィルタ１０の幅Ｗｆよりも大きい。これにより、Ｚ軸方向に対して側方から支持体２に外力が作用したとしても、当該外力がファブリペロー干渉フィルタ１０に及ぶのを抑制することができる。

【0085】

フィルタユニット１では、Ｙ軸方向における「ファブリペロー干渉フィルタ１０の外縁１０Ｅから支持体２の外縁２Ｅまでの距離Ｄ２」が、ファブリペロー干渉フィルタ１０の外縁１０Ｅの対角線の長さＬよりも大きく、Ｚ軸方向から見た場合に、開口部２３の幅Ｗ３が、Ｙ軸方向におけるファブリペロー干渉フィルタ１０の幅Ｗｆよりも小さい。これにより、Ｚ軸方向から見た場合に、支持体２に比べて開口部２３が非常に小さくなるため、ファブリペロー干渉フィルタ１０に迷光が入射するのを抑制することができる。

【0086】

フィルタユニット１は、上述した鏡筒３００では、集光光学系３２０と結像光学系３３０との間において絞りとして機能する。これにより、鏡筒３００が取り付けられたハイパースペクトルカメラにおいて被写界深度を深くすることができる。

【0087】

フィルタユニット１では、Ｙ軸方向におけるファブリペロー干渉フィルタ１０の幅Ｗｆ、Ｙ軸方向における配線基板４の幅Ｗｓ、Ｙ軸方向における第１凹部２１の幅Ｗ１、及びＹ軸方向における第２凹部２２の幅Ｗ２について、「Ｗｆ≦Ｗ１＜Ｗｓ≦Ｗ２」の関係が成立している。これにより、第１凹部２１の幅Ｗ１及び第２凹部２２の幅Ｗ２が互いに異なっているため、第１凹部２１と第２凹部２２との境界部を基準（例えば、機械的な位置決め部、又は、基準座標）とすることで、支持体２に対するファブリペロー干渉フィルタ１０及び配線基板４の位置決めを容易に且つ精度良く実施することができる。また、第２凹部２２の幅Ｗ２に第１凹部２１の幅Ｗ１を合わせた場合に比べて、支持体２の強度を確保することができる。更に、Ｚ軸方向に対して側方から配線基板４に外力が作用したとしても、当該外力を第１凹部２１と第２凹部２２との境界部から支持体２に逃がすことができ、当該外力がファブリペロー干渉フィルタ１０に及ぶのを抑制することができる。

【0088】

フィルタユニット１では、Ｙ軸方向におけるファブリペロー干渉フィルタ１０の幅Ｗｆ、及びＹ軸方向における第１凹部２１の幅Ｗ１について、「Ｗｆ＝Ｗ１」の関係が成立している。これにより、支持体２に対するファブリペロー干渉フィルタ１０の位置決めをより容易に且つより精度良く実施することができる。

【0089】

フィルタユニット１では、Ｙ軸方向における配線基板４の幅Ｗｓ、及びＹ軸方向における第２凹部２２の幅Ｗ２について、「Ｗｓ＝Ｗ２」の関係が成立している。これにより、支持体２に対する配線基板４の位置決めをより容易に且つより精度良く実施することができる。

【0090】

フィルタユニット１では、支持体２に、第１凹部２１の底面２１ａ及び支持体２の表面２ｂに開口する貫通孔２４が形成されている。これにより、フィルタユニット１の製造時に、光透過部材３によって第１凹部２１の開口が覆われた状態で、第１凹部２１内でガスが発生したとしても、当該ガスを貫通孔２４から外部に逃がすことができる。
［変形例］

【0091】

本発明は、上記実施形態に限定されない。例えば、Ｙ軸方向におけるファブリペロー干渉フィルタ１０の幅Ｗｆ、Ｙ軸方向における配線基板４の幅Ｗｓ、Ｙ軸方向における第１凹部２１の幅Ｗ１、及びＹ軸方向における第２凹部２２の幅Ｗ２について、「Ｗｆ≦Ｗ１＜Ｗｓ≦Ｗ２」の関係が成立している場合（図５に示される場合）に、「Ｗｆ＜Ｗ１」の関係が成立していてもよい。同様に、「Ｗｆ≦Ｗ１＜Ｗｓ≦Ｗ２」の関係が成立している場合（図５に示される場合）に、「Ｗｓ＜Ｗ２」の関係が成立していてもよい。

【0092】

また、図９に示されるように、Ｙ軸方向におけるファブリペロー干渉フィルタ１０の幅Ｗｆ、Ｙ軸方向における配線基板４の幅Ｗｓ、Ｙ軸方向における第１凹部２１の幅Ｗ１、及びＹ軸方向における第２凹部２２の幅Ｗ２について、「Ｗｓ≦Ｗ２＜Ｗｆ≦Ｗ１」の関係が成立していてもよい。この場合にも、支持体２に対するファブリペロー干渉フィルタ１０及び配線基板４の位置決めを容易に且つ精度良く実施することができる。また、第１凹部２１の幅Ｗ１に第２凹部２２の幅Ｗ２を合わせた場合に比べて、支持体２の強度を確保することができる。また、配線基板４が配置された第２凹部２２を介してファブリペロー干渉フィルタ１０に迷光が入射するのを抑制することができる。更に、支持体２のうちＹ軸方向における第２凹部２２の両側の部分が、第１凹部２１の幅Ｗ１に第２凹部２２の幅Ｗ２を合わせた場合に比べて、配線基板４に近付くことになるため、配線基板４で発生した熱を支持体２に効率良く逃がすことができる。

【0093】

また、拡幅部２５は、少なくとも第１凹部２１の開口に対して少なくともＹ軸方向に拡幅されていればよい。一例として、図９に示されるように、拡幅部２５は、第１凹部２１の開口から第２凹部２２の開口に渡って延在しており、第１凹部２１の開口及び第２凹部２２の開口に対して少なくともＹ軸方向に拡幅されていてもよい。これのことは、「Ｗｓ≦Ｗ２＜Ｗｆ≦Ｗ１」の関係が成立している場合（図９に示される場合）だけでなく、「Ｗｆ≦Ｗ１＜Ｗｓ≦Ｗ２」の関係が成立している場合（図５に示される場合）にも同様である。拡幅部２５が第１凹部２１の開口から第２凹部２２の開口に渡って延在していると、ファブリペロー干渉フィルタ１０の光軸方向であるＺ軸方向における厚さの増大を抑制しつつ、支持体２上において光透過部材３をより安定的に支持することができる。

【0094】

また、図１０の（ａ）及び（ｂ）に示されるように、フィルタユニット１は、外部に配線と接続するために、フレキシブル配線基板９を備えていてもよい。図１０の（ａ）に示される鏡筒の例では、フレキシブル配線基板９の一端部が配線基板４に接続されており、フレキシブル配線基板９の他端部に接続されたコネクタ５が筒体３１０の開口部３１１ｂ内に配置されている。この場合には、コネクタ５の側面と開口部３１１ｂの内面との間に接着部材７７が配置されている。図１０の（ｂ）に示される鏡筒の例では、フレキシブル配線基板９の一端部が配線基板４に接続されており、フレキシブル配線基板９の他端部が筒体３１０の開口部３１１ｂを介して外部に引き出されている。この場合には、フレキシブル配線基板９と開口部３１１ｂの内面との間に接着部材７７が配置されている。

【0095】

また、フィルタユニット１は、図１１に示されるようなファブリペロー干渉フィルタを備えていてもよい。図１１に示されるファブリペロー干渉フィルタ４００について説明する。ファブリペロー干渉フィルタ４００は、基板層４１１と、ミラー部４１２と、駆動電極４１３と、を備えている。基板層４１１は、互いに向かい合っている表面４１１ａ及び表面４１１ｂを有している。基板層４１１は、光透過性材料によって形成されている。ミラー部４１２は、例えば、金属膜、誘電体多層膜、又はそれらの複合膜である。駆動電極４１３は、例えば、金属材料によって形成されている。

【0096】

ファブリペロー干渉フィルタ４００は、基板層４２１と、ミラー部４２２と、駆動電極４２３と、を更に備えている。基板層４２１は、互いに向かい合っている表面４２１ａ及び表面４２１ｂを有している。基板層４２１は、光透過性材料によって形成されている。ミラー部４２２は、例えば、金属膜、誘電体多層膜、又はそれらの複合膜である。駆動電極４２３は、例えば、金属材料によって形成されている。

【0097】

基板層４１１の表面４１１ａには、凹部４１４が形成されている。凹部４１４の底面４１４ａには、凸部４１５が設けられている。底面４１４ａを基準とすると、凸部４１５の端面４１５ａの高さは、基板層４１１の表面４１１ａの高さよりも低い。ミラー部４１２は、凸部４１５の端面４１５ａに設けられている。駆動電極４１３は、凸部４１５を包囲するように凹部４１４の底面４１４ａに設けられている。駆動電極４１３は、例えば、基板層４１１に設けられた配線（図示省略）を介して、電極パッド（図示省略）と電気的に接続されている。当該電極パッドは、例えば、基板層４１１のうち外部からアクセス可能な領域に設けられている。

【0098】

基板層４２１の表面４２１ｂは、例えば、プラズマ接合等によって、基板層４１１の表面４１１ａと接合されている。基板層４２１の表面４２１ｂには、ミラー部４２２及び駆動電極４２３が設けられている。ミラー部４２２は、空隙Ｓを介してミラー部４１２と向かい合っている。駆動電極４２３は、ミラー部４２２を包囲するように基板層４２１の表面４２１ｂに設けられており、空隙Ｓを介して駆動電極４１３と向かい合っている。駆動電極４２３は、例えば、基板層４２１に設けられた配線（図示省略）を介して、電極パッド（図示省略）と電気的に接続されている。当該電極パッドは、例えば、基板層４２１のうち外部からアクセス可能な領域に設けられている。

【0099】

基板層４２１の表面４２１ａには、Ｚ軸方向から見た場合に、ミラー部４２２及び駆動電極４２３を包囲するように溝４２４が形成されている。溝４２４は、円環状に延在している。基板層４２１のうち溝４２４に包囲された部分は、溝４２４が形成された部分をダイヤフラム状の保持部４２５として、一対のミラー部４１２，４２２が互いに向かい合っている方向に移動可能である。

【0100】

なお、ダイヤフラム状の保持部４２５は、Ｚ軸方向から見た場合にミラー部４２２及び駆動電極４２３を包囲する溝が、基板層４２１の表面４２１ａ及び表面４２１ｂの少なくとも一方に形成されることで、構成されていてもよい。Ｚ軸方向から見た場合にミラー部４１２及び駆動電極４１３を包囲する溝が、基板層４１１に形成されることで、基板層４１１においてダイヤフラム状の保持部が構成されていてもよい。ダイヤフラム状の保持部に代えて、放射状に配置された複数の梁によって保持部が構成されていてもよい。

【0101】

図１１に示されるファブリペロー干渉フィルタ４００では、駆動電極４１３及び駆動電極４２３に電圧が印加されることで駆動電極４１３と駆動電極４２３との間に電位差が発生すると、当該電位差に応じた静電気力が駆動電極４１３と駆動電極４２３との間に発生する。駆動電極４１３と駆動電極４２３との間に静電気力が発生することで、基板層４２１のうち溝４２４に包囲された部分が基板層４１１側に引き付けられ、ミラー部４１２とミラー部４２２との間の距離が調整される。これにより、ミラー部４１２とミラー部４２２との間の距離に応じた波長を有する光が透過する。

【0102】

また、フィルタユニット１では、Ｚ軸方向から見た場合に、支持体２の外縁２Ｅが、矩形状等、円形状以外の形状を呈していてもよい。フィルタユニット１では、ファブリペロー干渉フィルタ１０の外縁１０Ｅ、配線基板４の外縁４Ｅ、第１凹部２１の内縁２１Ｅ、及び第２凹部２２の内縁２２Ｅのそれぞれが、矩形状以外の形状を呈していてもよい。

【0103】

フィルタユニット１では、Ｚ軸方向から見た場合に、ファブリペロー干渉フィルタ１０が、支持体２の中心Ｃからずれていてもよい。フィルタユニット１では、ファブリペロー干渉フィルタ１０が配置される支持体２の載置面が、第１凹部２１の底面２１ａでなくてもよい。フィルタユニット１では、配線基板４が配置される支持体２の載置面が、第２凹部２２の底面２２ａでなくてもよい。フィルタユニット１では、ファブリペロー干渉フィルタ１０が配置される支持体２の載置面、及び配線基板４が配置される支持体２の載置面が、同一平面上に位置していなくてもよい。

【0104】

フィルタユニット１では、ファブリペロー干渉フィルタ１０の全体が、第１凹部２１内に配置されていなくてもよい。フィルタユニット１では、光透過部材３の全体が、拡幅部２５内に配置されていなくてもよい。フィルタユニット１では、配線基板４の全体が、第２凹部２２内に配置されていなくてもよい。フィルタユニット１では、配線基板４の一部が包囲部２３０に埋設されるように、配線基板４が筐体２００に取り付けられていてもよい。なお、「配線基板４の一部が包囲部２３０に埋設される」とは、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向のいずれの方向から見た場合にも、配線基板４の当該一部が包囲部２３０と重なっていることを意味する。

【0105】

フィルタユニット１では、支持体２が、第１凹部２１と第２凹部２２との間に配置された仕切部２６を含んでいなくてもよい。フィルタユニット１では、第１凹部２１及び第２凹部２２が、互いに繋がっていてもよい。支持体２が仕切部２６を含んでいる場合、仕切部２６は、第１凹部２１と第２凹部２２と完全に仕切っておらず、部分的に仕切っていてもよい。支持体２が仕切部２６を含んでいる場合、Ｚ軸方向における仕切部２６の高さは、上述したものに限定されない。例えば、Ｚ軸方向における仕切部２６の高さは、第１凹部２１の底面２１ａを基準として、Ｚ軸方向におけるファブリペロー干渉フィルタ１０の高さよりも高くてもよい。Ｚ軸方向における仕切部２６の高さは、第２凹部２２の底面２２ａを基準として、Ｚ軸方向における配線基板４の高さよりも高くてもよい。仕切部２６は、支持体２とは別体で形成されたものであって、支持体２に取り付けられたものであってもよい。

【0106】

フィルタユニット１では、Ｚ軸方向から見た場合に、Ｙ軸方向以外の一方向における「第１凹部２１の内縁２１Ｅから支持体２の外縁２Ｅまでの距離」が、当該一方向におけるファブリペロー干渉フィルタ１０の幅よりも大きくてもよい。フィルタユニット１では、Ｙ軸方向以外の「ファブリペロー干渉フィルタ１０の外縁１０Ｅの一辺に垂直な方向」における「ファブリペロー干渉フィルタ１０の外縁１０Ｅから支持体２の外縁２Ｅまでの距離」が、ファブリペロー干渉フィルタ１０の外縁１０Ｅの対角線の長さよりも大きく、Ｚ軸方向から見た場合に、開口部２３の幅が、当該一辺に垂直な方向におけるファブリペロー干渉フィルタ１０の幅よりも小さくてもよい。

【0107】

フィルタユニット１では、開口部２３が光通過部として支持体２に形成されていたが、例えば、開口部２３内の領域が光透過性材料で埋められていたり、光学素子（例えば、レンズ、フィルタ等）が開口部２３内に配置されていたりする等、光透過部が光通過部として支持体２に形成されていてもよい。いずれの場合にも、光通過部は、ファブリペロー干渉フィルタ１０（又はファブリペロー干渉フィルタ４００）から出射された光を通過させるものであってもよいし、或いは、ファブリペロー干渉フィルタ１０（又はファブリペロー干渉フィルタ４００）に入射する光を通過させるものであってもよい。フィルタユニット１では、貫通孔２４は、第１凹部２１の内面、及び支持体２の外面に開口していればよい。フィルタユニット１では、支持体２の表面２ｂに、カバー６が配置されていなくてもよい。フィルタユニット１では、支持体２の表面２ｂ及び開口部２３の内面の少なくとも一方に光反射防止膜が形成されていてもよい。一例として、支持体２がステンレス鋼で形成されている場合、光反射防止膜は、支持体２の表面にクロムメッキ処理が施されることにより形成されてもよい。

【0108】

フィルタユニット１では、配線基板４は、第２凹部２２内に配置されている必要があるが、ファブリペロー干渉フィルタ１０は、支持体２上に配置されていれば、第１凹部２１内に配置されている必要はない。つまり、支持体２には、ファブリペロー干渉フィルタ１０が配置される第１凹部２１が形成されていなくてもよい。

【符号の説明】

【0109】

１…フィルタユニット、２…支持体、２Ｅ…外縁、２ｂ…表面（外面）、３…光透過部材、４…配線基板、７…接着部材、１０，４００…ファブリペロー干渉フィルタ、１０Ｅ…外縁、１４，１５，４１２，４２２…ミラー部、２１…第１凹部（別の凹部）、２１Ｅ…内縁、２１ａ…底面（第１載置面、内面）、２２…第２凹部（凹部）、２２ａ…底面（第２載置面）、２３…開口部（光通過部）、２４…貫通孔、２６…仕切部。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】