特開 2024-80224 一層化機構

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024080224

(43)【公開日】2024-06-13

(54)【発明の名称】一層化機構

(51)【国際特許分類】

   B65G 47/14 20060101AFI20240606BHJP

【ＦＩ】

B65G47/14 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】2

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022193247

(22)【出願日】2022-12-02

(71)【出願人】

【識別番号】522087154

【氏名又は名称】合同会社ポーラス・コーポレーション

(74)【代理人】

【識別番号】110003155

【氏名又は名称】弁理士法人バリュープラス

(72)【発明者】

【氏名】蒲田 喜彦

【テーマコード（参考）】

3F080

【Ｆターム（参考）】

3F080AA13

3F080BC07

3F080BF19

3F080CG11

3F080DA05

3F080DA18

3F080DB08

3F080EA10

(57)【要約】

【課題】積状のワーク全てを一斉に均す構成であると次工程に進むのに非常に時間がかかるという問題を改善する。
【解決手段】一層化機構１は、上面開放され、内部を複数に区画するための区画部材２Ａを分離領域Ｓ（分離部）として設けたエアチャンバ２と、このエアチャンバ２の上面開放面に設けられ、その表裏面に亘ってワークＷよりさらに小さい多数の孔を有したポーラスプレート４と、エアチャンバにおける各区画部にそれぞれ設けられて独立して空気が吸排気される吸排気部Ｐ１，Ｐ２と、エアチャンバ２を所定角度傾斜させる傾斜部３と、吸排気部Ｐ１，Ｐ２と傾斜部３とを制御する制御部７とを備えた。
【効果】ワーク全体ではなく、数度に分けて分散・均していくので、結果として全体を一層化して次工程に送る時間の大幅な短縮化が図れるというメリットがある。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

堆積状に供給された極小のワークを一層化及び分散させる一層化機構であって、上面開放され、内部を複数に区画するための区画部材を分離部として設けたエアチャンバと、このエアチャンバの前記上面開放面に設けられ、その表裏面に亘って該ワークよりさらに小さい多数の孔を有したポーラスプレートと、前記エアチャンバにおける各区画部にそれぞれ設けられて独立して空気が吸排気される吸排気部と、前記エアチャンバを所定角度傾斜させる傾斜部と、前記吸排気部と傾斜部とを制御する制御部とを備えた一層化機構。

【請求項2】

前記分離部内を中空として、中空とされた該分離部に対応した吸排気部を接続した請求項１記載の一層化機構。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、極めて小さい、例えば半導体素子や電子・電気素子のような部品が乱雑に搬送されて多層状、山積状、といったように堆積して部品（以下、ワークという）が重なった状態を一層に均す装置に関する。

【背景技術】

【0002】

ワークが搬送途中において、多層状、山積状になっていると、例えば個数を計数する工程であれば、重なった塊を１個と認識されてしまうので、正確な個数を計数できず、また、例えば外観検査工程であれば、重なって隠れたワークについての外観検査ができず、さらに、例えば個別に移載させる場合は、重なって隠れたワークを移載残しが生じる。したがって、ワークが堆積していれば、重なった状態を均す必要がある。

【0003】

例えば特許文献１（特開２０２０－１１１４６６号公報）には、ワークが接触した載置面や搬送面を揺動又は振動させたり、ヘラを用いたりする手法では、ワークを損傷する可能性あることから適してなく、堆積状のワークを一層化する有効な手立てが存在しないという課題を解決するために、次の構成とした一層化装置が開示されている。

【0004】

すなわち、特許文献１の一層化装置は、ワークの載置面に該ワークよりさらに小さい多数の孔を有すると共に内部が中空とされた載置台と、この載置台に接続されて該載置台の内部に正圧又は負圧を生じさせる吸排気機構と、載置台を揺動させる揺動機構と、吸排気機構と揺動機構とを駆動制御する制御部とを備えた構成とされている。

【0005】

しかしながら、特許文献１の一層化装置は、一層化するに際して堆積状のワーク全てを一斉に均す構成であったため、一層化したワーク全てを例えば移送するには、まずワーク全てを均した後になるため、却って時間がかかるといった問題があった。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２０２０－１１１４６６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

解決しようとする問題は、次工程にワークを送るために堆積状のワーク全てを一斉に均した後となるので、時間がかかるといった点である。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記課題を解決するため、本発明は、堆積状に供給された極小のワークを一層化及び分散させる一層化機構であって、上面開放され、内部を複数に区画するための区画部材を分離部として設けたエアチャンバと、このエアチャンバの前記上面開放部位に設けられ、その表裏面に亘って該ワークよりさらに小さい多数の孔を有したポーラスプレートと、前記エアチャンバにおける各区画部にそれぞれ設けられて独立して空気が吸排気される吸排気部と、前記エアチャンバを所定角度傾斜させる傾斜部と、前記吸排気部と傾斜部とを制御する制御部とを備える構成とした。

【発明の効果】

【0009】

本発明は、エアチャンバを区画し、ワークを浮上させて隣接する区画に移動させる際、分離部により、所定数のワークだけが隣接する区画に移動するから、ワーク全体ではなく、数度に分けて分散・均していくので、結果として全体を一層化して次工程に送る時間の大幅な短縮化が図れるというメリットがある。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明の第１実施例構成を概略的に示すブロック図である。

【図2】本発明の第１実施例構成のエアチャンバ周辺を示す図である。

【図3】本発明の第１実施例の制御フローチャートである。

【図4】（ａ）（ｂ）は本発明の第１実施例の動作を説明するための図である。

【図5】（ａ）（ｂ）は本発明の第１実施例の動作を説明するための図である。

【図6】（ａ）（ｂ）は本発明の第１実施例の動作を説明するための図である。

【図7】（ａ）（ｂ）は本発明の第１実施例の動作を説明するための図である。

【図8】（ａ）（ｂ）は本発明の第１実施例の動作を説明するための図である。

【図9】本発明の第２実施例構成を概略的に示すブロック図である。

【図10】本発明の第２実施例構成のエアチャンバを示す図である。

【図11】本発明の第２実施例の制御フローチャートである。

【図12】（ａ）～（ｈ）は本発明の第２実施例の動作を説明するための図である。

【図13】本発明の第３実施例構成を概略的に示すブロック図である。

【図14】本発明の第３実施例構成のエアチャンバを示す図である。

【図15】（ａ）～（ｄ）は本発明の第３実施例の動作を説明するための図である。

【図16】本発明の第４実施例構成を概略的に示すブロック図である。

【図17】本発明の第４実施例構成のエアチャンバを示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

本発明は、堆積状のワーク全てを一斉に均す構成であると次工程に進むのに非常に時間がかかるという問題を、上面開放され、内部を複数に区画するための区画部材を分離部として設けたエアチャンバと、このエアチャンバの前記上面開放面に設けられ、その表裏面に亘って該ワークよりさらに小さい多数の孔を有したポーラスプレートと、前記エアチャンバにおける各区画部にそれぞれ設けられて独立して空気が吸排気される吸排気部と、前記エアチャンバを所定角度傾斜させる傾斜部と、前記吸排気部と傾斜部とを制御する制御部とを備える構成により解消した。

【0012】

エアチャンバは区画され、各区画に対応した吸排気部が接続されている。そして、各区画を隔てる区画部材が本発明では分離部として機能している。エアチャンバの上面全域はポーラスプレートが設けられ、該エアチャンバ内外の空気の流通が可能となっている。

【0013】

また、傾斜部はポーラスプレートを設けたエアチャンバを所定角度傾斜させるものであり、吸排気部による空気噴射により浮上したポーラスプレート上のワークの一方向から他方向への推進方向付けを行う。なお、本発明においてワークの一方向から他方向への推進力は、ワークの自重である。

【0014】

傾斜部と、吸排気部とは、制御部に接続されており、この制御部によりワークの大きさ（重さ）や全体量や切り分け量に応じて、傾斜角度や空気圧を制御することで、堆積状のワークを一定量ずつ切り分けて、広い区画に誘導して、ここで確実に一層化とワーク同士の分散を行う。

【0015】

要するに、本発明は、堆積状で供給されたワーク全てを一層化して次工程に送るという従来手法に代えて、堆積状で供給されたワークを少しずつ一層化して、一層化されたワークを次工程に送り、並行してさらに残りのワークを一層化する、端的にいえば、一層化作業と次工程に送る作業を並行して行うというものである。こうすることで、ワークを扱うライン工程において一層化工程の次工程の待機時間を短縮することができる。

【0016】

また、本発明は、上記構成において、前記分離部内を中空として、中空とされた該分離部に対応した吸排気部を接続してもよい。こうすることで、より効率的に一層化が可能となる。

【実施例0017】

以下、図１～図１７を参照して本発明の具体的な第１～第４実施例を説明する。本発明の一層化機構についての基本構成は第１実施例において説明する。第２～第４実施例では、第１実施例と異なる構成について説明することとし、第１実施例と重複する構成についての説明は省略し、図示においては同じ参照符号を示す。

【0018】

（第１実施例）
図１～図８に示す本発明の一層化機構１は、上面が開放され、底面と４側面が閉塞したエアチャンバ２を備えている。エアチャンバ２は、内部が、第１実施例の場合、区画部材２Ａにより、（図示左から）領域Ｌ１と領域Ｌ２とに２分割されている。第１実施例では、領域Ｌ１が領域Ｌ２よりも面積が広くなっている。そして、この区画部材２Ａは、本発明では分離領域Ｓ（分離部）とされ、堆積したワークＷの切り分け機能を果たしている。

【0019】

エアチャンバ２の領域Ｌ１と領域Ｌ２のそれぞれの底面には、各々独立して稼働する吸排気部Ｐ１（領域Ｌ１に対応）、吸排気部Ｐ２（領域Ｌ２に対応）が、バルブを介して接続されている。

【0020】

さらに、エアチャンバ２には、傾斜部３が設けられており、この傾斜部３は、該エアチャンバ２の一方端に軸部３Ａが設けられ、他方端には傾動部３Ｂが設けられている。傾斜部３は、傾動部３Ｂにより他方端を上下動させることで、軸部３Ａを中心にエアチャンバ２ごと傾斜させる構成とされている。なお、この傾斜部３に関しては、エアチャンバ２が傾斜させることができれば、特に構成の限定はしない。

【0021】

エアチャンバ２における上面の開放面には、その表裏面に亘って現行の最小サイズのワークＷよりさらに小さいサイズの多数の孔を有したポーラスプレート４が設けられている。ポーラスプレート４は全領域一面に多数の孔を有したものであって区画されていないが、以下の説明では、このポーラスプレート４上において、上記のエアチャンバ２の領域Ｌ１、領域Ｌ２、分離領域Ｓを示している。

【0022】

ポーラスプレート４の上面には、枠体５が設けられている。この枠体５は、ポーラスプレート４上の４側面部の壁面として機能してワークＷの落下、散乱を予防することと、該ポーラスプレート４をエアチャンバ２に取り付ける部材として機能して該ポーラスプレート４がエアチャンバ２の内圧で反ったり、該エアチャンバ２との接触部分に隙間が生じたりすることを予防する。

【0023】

ポーラスプレート４の上方には、撮像手段としてカメラ６が設けられ、このカメラ６で撮像したデータが処理部６Ａに入力される。本例では、カメラ６はポーラスプレート４上全体を視野に入れる１台とされ、画角や視野の切り替えなどは後述の制御部７が行う。

【0024】

上記、吸排気部Ｐ１，Ｐ２、傾動部３Ｂ，処理部６Ａは、制御部７において制御される。以下、制御部７によって、供給された堆積状のワークＷを一層化及び分散し、次工程へワークＷをピックアップするまでの具体的な制御手順について説明する。

【0025】

図３の手順１（以下＃１と記す）、図４（ａ）（ｂ）に示すように、制御部７は、エアチャンバ２を傾斜０°つまり水平にし、吸排気部Ｐ１，Ｐ２をＯＦＦ、つまり吸気も排気も行わない状態とし、この状態で、ワークＷがポーラスプレート４上の領域Ｌ１に供給される。このとき、ワークＷは山状に堆積された状態となっている。

【0026】

図３の＃２、図５（ａ）（ｂ）に示すように、制御部７は、ワークＷが領域Ｌ１に供給された後に、吸排気部Ｐ１，Ｐ２をＯＮ、この場合は排気（エアチャンバ２内を正圧化する）する。このとき、ワークＷがポーラスプレート４からの空気圧で浮上しようとして、堆積山が崩れ、裾野の面積が広がる。

【0027】

分離領域Ｓは第１実施例の場合、区画部材２Ａによってポーラスプレート４の孔を塞いでいる。よって、エアチャンバ２の正圧の影響でワークＷは浮上せず、水平であればほぼ分離領域Ｓを超えて領域Ｌ２に移動することはない。

【0028】

図３の＃３、図６（ａ）（ｂ）に示すように、制御部７は、吸排気部Ｐ１，Ｐ２をＯＮとすると共に吸排気部Ｐ２の圧力を吸排気部Ｐ１より高くし、さらにエアチャンバ２を角度－θだけ傾斜するよう傾斜部３を制御する。なお、以下の説明では負角度はエアチャンバ２の図示右端が下がるように傾動することを、正角度はエアチャンバ２の図示右端が上がるように傾動することを、それぞれ意味する。

【0029】

制御部７は、傾斜部３を制御して、傾動部３Ｂにより軸部３Ａを中心として、エアチャンバ２を水平にしたり、左端に対して右端側に下り勾配となる傾斜としたり、左端に対して右端側に上り勾配となる傾斜としたり、する。

【0030】

吸排気部Ｐ１，Ｐ２をＯＮとすると共に吸排気部Ｐ２の圧力を吸排気部Ｐ１より高くし、エアチャンバ２を角度－θだけ傾斜すると、領域Ｌ１のワークＷは、浮上してポーラスプレート４との接触摩擦による拘束から開放されて、傾斜と自重により領域Ｌ２に移動しようとする。

【0031】

このとき、分離領域Ｓは上記したとおり無圧状態であるため、領域Ｌ２へ移動しようとするワークＷは該分離領域Ｓで停止するが、領域Ｌ１から領域Ｌ２へ移動しようとする後続に押されたワークＷや堆積山が崩れる際に斜面を転動してワークＷでなる少量のワークＷが分離領域Ｓを超えて領域Ｌ２に移動する。

【0032】

図３の＃４、図７（ａ）（ｂ）に示すように、制御部７は、吸排気部Ｐ１，Ｐ２をＯＮとすると共に吸排気部Ｐ２の圧力を吸排気部Ｐ１より高くし、エアチャンバ２を角度－θだけ傾斜させた状態を、所定時間維持した後、吸排気部Ｐ１だけＯＦＦにする。

【0033】

これにより、領域Ｌ１に位置するワークＷはポーラスプレート４と接触することとなり、（接触摩擦により）エアチャンバ２が傾斜していても領域Ｌ２側に移動しない。一方、既に領域Ｌ２に移動した一定量のワークＷは、該領域Ｌ２においてポーラスプレート４の下り勾配端に向けて移動を続ける。

【0034】

ポーラスプレート４上のワークＷは、極めて微細であるとしてポーラスプレート４の孔の開いている部分とそうでない部分とを移動することになるので、該ポーラスプレート４の面と常に平行に移動するのではなく、上下左右に微細に揺れながら（踊りながら）移動することとなる。したがって、上下で重なっていたり、前後左右で接触したりするワークＷは、一層化されると共に分散化される。

【0035】

図３の＃５、図８（ａ）（ｂ）に示すように、制御部７は、領域Ｌ２にあるワークＷが該領域Ｌ２の進行方向の所定位置に来たことをカメラ６で撮像して処理部６Ａがその旨検知したとき、あるいは上記で吸排気部Ｐ１をＯＦＦにして所定時間だけ経過したとき、吸排気部Ｐ１のみならず吸排気部Ｐ２をＯＦＦとして、エアチャンバ２を水平に戻す。

【0036】

そして、カメラ６でポーラスプレート４における領域Ｌ２を撮像し、処理部６Ａにより撮像した領域Ｌ２のワークＷのうち、ピックアップするのに適した、垂直方向には上下重なりなく一層化され、水平方向には互いに接触せず間隔を有するように分散したワークＷを画像判定し、そのデータをピックアップ機構（不図示）に送り、ピックアップ機構によりピックアップする（図３の＃６）。

【0037】

領域Ｌ２のワークＷのピックアップは、処理部６Ａでピックアップすると判定されたワークＷを全てピックアップし終える（図３の＃７でＹＥＳ）まで行われる（図３の＃７でＮＯのとき＃６に戻る）。

【0038】

制御部７は、領域Ｌ２におけるピックアップするワークＷが無くなったとき（図３の＃７でＹＥＳ）、ポーラスプレート４の全てのワークＷをピックアップしたか否かを判断し（図３の＃８）、残っていなければ（図３の＃８でＹＥＳ）、処理を終了し、残っている場合は（図３の＃８でＮＯ）、＃３に戻り、＃８までの処理を繰り返す。

【0039】

なお、図３の＃８でＮＯにより、＃３に処理を戻す際に、吸排気部Ｐ１，Ｐ２を同圧でＯＮにして、エアチャンパ２を角度＋θに傾斜させて、領域Ｌ２に残留している可能性のあるワークＷを領域Ｌ１に戻す処理を加えてもよい。

【0040】

（第２実施例）
図９～図１２に示す第２実施例の一層化機構１は、以下が第１実施例と異なる構成である。第２実施例は、第１実施例よりワークＷの量がかなり多い場合に好適である。第２実施例では、エアチャンバ２は、２個の区画部材２Ａ，２Ａにより（図示左から）領域Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３の３分割され、それぞれの区画に吸排気部Ｐ１（領域Ｌ１）、吸排気部Ｐ２（領域Ｌ２）、吸排気部Ｐ３（領域Ｌ３）が設けられている。また、第２実施例では、例えば領域Ｌ１と領域Ｌ３の面積は同じで、これらの間の領域Ｌ２の面積は領域Ｌ１，Ｌ３よりも大きくされている。

【0041】

以下、制御部７によって、供給された堆積状のワークＷを一層化及び分散し、次工程へワークＷをピックアップするまでの具体的な制御手順について説明する。

【0042】

図１１の＃１１、図１２（ａ）に示すように、制御部７は、エアチャンバ２を傾斜０°つまり水平にし、吸排気部Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３をＯＦＦ、つまり吸気も排気も行わない状態とし、この状態で、ワークＷがポーラスプレート４上の領域Ｌ２に供給される。このとき、ワークＷは山状に堆積され、一部が領域Ｌ１，Ｌ３にも位置した状態となっている。

【0043】

図１１の＃１２、図１２（ｂ）に示すように、制御部７は、ワークＷが供給された後に、吸排気部Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３をＯＮにして、エアチャンバ２内を正圧化すると共にエアチャンバ２を角度－θだけ傾斜するよう傾斜部３を制御する。このとき、全てのワークＷが領域Ｌ３に移動する。

【0044】

図１１の＃１３、図１２（ｃ）に示すように、制御部７は、吸排気部Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３をＯＮとすると共に吸排気部Ｐ１，Ｐ２の圧力を吸排気部Ｐ３より高くし、さらにエアチャンバ２を角度＋θだけ傾斜するよう傾斜部３を制御する。このとき、領域Ｌ３のワークＷは、浮上してポーラスプレート４との接触摩擦による拘束から開放されて、傾斜と自重により領域Ｌ２，Ｌ１に一層化及び分散化しつつ移動する。

【0045】

図１１の＃１４、図１２（ｄ）に示すように、制御部７は、領域Ｌ３にあるワークＷが該領域Ｌ２又は領域Ｌ１の進行方向の所定位置に来たことをカメラ６で撮像して処理部６Ａがその旨検知したとき、あるいは上記で吸排気部Ｐ１，Ｐ２を吸排気部Ｐ３より高圧にして所定時間だけ経過したとき、吸排気部Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３をＯＦＦとして、エアチャンバ２を水平に戻す。

【0046】

そして、カメラ６でポーラスプレート４における領域Ｌ２，Ｌ１を撮像し、処理部６Ａにより撮像した領域Ｌ２，Ｌ１のワークＷのうち、ピックアップするのに適した、垂直方向には上下重なりなく一層化され、水平方向には互いに接触せず間隔を有するように分散したワークＷを画像判定し、そのデータをピックアップ機構（不図示）に送り、ピックアップ機構によりピックアップする（図１１の＃１５）。

【0047】

領域Ｌ２，Ｌ１のワークＷのピックアップは、領域Ｌ２，Ｌ１において処理部６Ａでピックアップすると判定されたワークＷを全てピックアップし終える（図１１の＃１６でＹＥＳ）まで行われる（図１１の＃１６でＮＯのとき＃１３に戻る）。

【0048】

制御部７は、領域Ｌ２，Ｌ１におけるピックアップするワークＷが無くなったとき（図１１の＃１６でＹＥＳ）、ポーラスプレート４の全てのワークＷをピックアップしたか否かを判断し（図１１の＃１７）、残っていなければ（図１１の＃１７でＹＥＳ）、処理を終了し、残っている場合は（図１１の＃１７でＮＯ）、＃１８に進む。

【0049】

図１１の＃１８、図１２（ｅ）に示すように、領域Ｌ３，Ｌ２，Ｌ１に未だワークＷが残っている場合は、吸排気部Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３をＯＮにすると共にエアチャンバ２を角度＋θだけ傾斜するよう傾斜部３を制御する。このとき、ワークＷは、領域Ｌ１に向けて移動を開始する。

【0050】

図１１の＃１９、図１２（ｆ）に示すように、制御部７は、領域Ｌ１にワークＷが集約されたことをカメラ６の撮像データにより検知したとき、吸排気部Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３をＯＦＦにすると共にエアチャンバ２を水平に戻す。

【0051】

図１１の＃２０、図１２（ｇ）に示すように、制御部７は、吸排気部Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３をＯＮとすると共に吸排気部Ｐ２，Ｐ３の圧力を吸排気部Ｐ１より高くし、さらにエアチャンバ２を角度－θだけ傾斜するよう傾斜部３を制御する。このとき、領域Ｌ１のワークＷは、浮上してポーラスプレート４との接触摩擦による拘束から開放されて、傾斜と自重により領域Ｌ２，Ｌ３に一層化及び分散化しつつ移動する。

【0052】

図１１の＃２１、図１２（ｈ）に示すように、制御部７は、領域Ｌ１にあるワークＷが該領域Ｌ２又は領域Ｌ３の進行方向の所定位置に来たことをカメラ６で撮像して処理部６Ａがその旨検知したとき、あるいは上記で吸排気部Ｐ２，Ｐ３を吸排気部Ｐ１より高圧にして所定時間だけ経過したとき、吸排気部Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３をＯＦＦとして、エアチャンバ２を水平に戻す。

【0053】

そして、カメラ６でポーラスプレート４における領域Ｌ２，Ｌ３を撮像し、処理部６Ａにより撮像した領域Ｌ２，Ｌ３のワークＷのうち、ピックアップするのに適した、垂直方向には上下重なりなく一層化され、水平方向には互いに接触せず間隔を有するように分散したワークＷを画像判定し、そのデータをピックアップ機構（不図示）に送り、ピックアップ機構によりピックアップする（図１１の＃２２）。

【0054】

そして、カメラ６でポーラスプレート４における領域Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３を撮像し、ポーラスプレート４の全てのワークＷをピックアップしたか否かを判断し（図１１の＃２３）、残っていなければ（図１１の＃２３でＹＥＳ）、処理を終了し、残っている場合は（図１１の＃２３でＮＯ）、＃１２に戻り、＃２３までの処理を繰り返す。

【0055】

（第３実施例）
図１３～図１５に示す第３実施例の一層化機構１は、以下が第１実施例と異なる構成である。第３実施例は、領域Ｌ１と領域Ｌ２を区画する区画部材２Ａの内部が中空で、この領域を調整領域Ｓｃとしている、つまり（図示左から）領域Ｌ１、調整領域Ｓｃ、領域Ｌ２とされている。また、調整領域Ｓｃは、これに対応した吸排気部Ｐｃが設けられている。さらに、領域Ｌ１の面積が領域Ｌ２よりも小さくされている。

【0056】

以下、制御部７によって、供給された堆積状のワークＷを一層化及び分散し、次工程へワークＷをピックアップするまでの制御手順について説明する。第３実施例の制御手順は、構成が相違するので異なる手順があるが、領域Ｌ１にワークＷが供給され、領域Ｌ１から一定量のワークＷを領域Ｌ２制に切り出し、領域Ｌ２において一層化及び分散化されたワークＷをピックアップするという手順は、上記図３及び図４～図８に示した第１実施例の制御手順に準じている。

【0057】

第３実施例において、制御部７は、図１５（ａ）に示すように、吸排気部Ｐ１，Ｐｃ，Ｐ２をＯＦＦにすると共にエアチャンバ２を水平とする。この状態でワークＷが領域Ｌ１に供給される。

【0058】

ワークＷが領域Ｌ１に供給された後、図１５（ｂ）に示すように、制御部７は、吸排気部ＰｃをＯＦＦのまま、吸排気部Ｐ２を吸排気部Ｐ１よりも高圧にして吸排気部Ｐ１，Ｐ２をＯＮにすると共にエアチャンバ２を角度－θだけ傾斜させる。このとき、調整領域Ｓｃは、領域Ｌ１から領域Ｌ２側へ移動しようとするワークＷを一旦停止させる分離領域Ｓとして機能している。

【0059】

上記の後、図１５（ｃ）に示すように、制御部７は、上記でＯＦＦとしていた吸排気部Ｐｃを吸排気部Ｐ２と同圧にてＯＮにし、所定時間経過後にＯＦＦとすることを繰り返す。これを数度繰り返すことで、領域Ｌ２に移動するワークは、吸排気部ＰｃをＯＦＦにした時間分だけ領域Ｌ１－Ｌ２方向に間隔が空き、ワークＷ同士をより確実に分散させることができる。

【0060】

そして、図１５（ｄ）に示すように、制御部７は、吸排気部ＰｃのＯＮ・ＯＦＦの繰り返しを所定回数行った後、吸排気部Ｐ１，Ｐｃ，Ｐ２をＯＦＦとして、エアチャンバ２を水平に戻して、領域Ｌ２に位置するワークＷをピックアップする。

【0061】

なお、ポーラスプレート４上に残留するワークＷが存在する場合は、図１５（ｃ）に戻って処理を繰り返すが、この間に吸排気部Ｐ１，Ｐｃ，Ｐ２を同圧でＯＮにして、エアチャンパ２を角度＋θに傾斜させて、領域Ｌ２に残留している可能性のあるワークＷを領域Ｌ１に戻す処理を加えてもよい。

【0062】

（第４実施例）
図１６～図１７に示す第４実施例の一層化機構１は、以下が第１実施例と異なる構成である。第４実施例は、領域Ｌ１と領域Ｌ２を区画する区画部材２Ａの内部が中空で、この領域を調整領域Ｓｃとしている、つまり（図示左から）領域Ｌ１、調整領域Ｓｃ、領域Ｌ２とされている。

【0063】

また、区画部材２Ａの内部中空は、領域Ｌ１，Ｌ２方向と直交する方向に複数区画され、前記領域Ｌ１，Ｌ２方向と直交する方向に交互に調整領域Ｓｃ１，Ｓｃ２が設けられている。すなわち調整領域Ｓｃは調整領域Ｓｃ１，Ｓｃ２で構成されている。さらに、これら調整領域Ｓｃ１，Ｓｃ２に対応した吸排気部Ｐｃ１，Ｐｃ２が設けられている。また、領域Ｌ１の面積が領域Ｌ２よりも小さくされている。

【0064】

以下、制御部７によって、供給された堆積状のワークＷを一層化及び分散し、次工程へワークＷをピックアップするまでの制御手順について説明する。第４実施例の制御手順は、構成が相違するために異なる手順があるが、領域Ｌ１にワークＷが供給され、領域Ｌ１から一定量のワークＷを領域Ｌ２制に切り出し、領域Ｌ２において一層化及び分散化されたワークＷをピックアップするという点は、図３及び図４～図８に示した第１実施例の制御手順に準じている。

【0065】

第４実施例において、制御部７は、吸排気部Ｐ１，Ｐｃ１，Ｐｃ２，Ｐ２をＯＦＦにすると共にエアチャンバ２を水平とする。この状態でワークＷが領域Ｌ１に供給される。

【0066】

ワークＷが領域Ｌ１に供給された後、制御部７は、吸排気部Ｐｃ１，Ｐｃ２，をＯＦＦのまま、吸排気部Ｐ２を吸排気部Ｐ１よりも高圧にして吸排気部Ｐ１，Ｐ２をＯＮにすると共にエアチャンバ２を角度－θだけ傾斜させる。このとき、調整領域Ｓｃ１，Ｓｃ２は、領域Ｌ１から領域Ｌ２側へ移動しようとするワークＷを一旦停止させる分離領域Ｓとして機能している。

【0067】

上記の後、制御部７は、上記でＯＦＦとしていた例えば吸排気部Ｐｃ１を吸排気部Ｐ２と同圧にてＯＮにし、所定時間経過後に吸排気部Ｐｃ１をＯＦＦとすると同時に吸排気部Ｐｃ２をＯＮにすることを繰り返す。これを数度繰り返すことで、領域Ｌ２に移動するワークは、吸排気部Ｐｃ１，Ｐｃ２をＯＦＦにした時間分だけ領域Ｌ１－Ｌ２方向及び該領域Ｌ１－Ｌ２方向と直交する互いに隣接する調整領域Ｓｃ１、Ｓｃ２の間隔が空き、ワークＷ同士をより確実に分散させることができる。

【0068】

そして、制御部７は、吸排気部Ｐｃ１，Ｐｃ２の交互のＯＮ・ＯＦＦの繰り返しを所定回数行った後、吸排気部Ｐ１，Ｐｃ１，Ｐｃ２，Ｐ２をＯＦＦとして、エアチャンバ２を水平に戻して、領域Ｌ２に位置するワークＷをピックアップする。

【0069】

なお、ポーラスプレート４上に残留するワークＷが存在する場合は、処理を繰り返すが、吸排気部Ｐ１，Ｐｃ，Ｐ２を同圧でＯＮにして、エアチャンパ２を角度＋θに傾斜させて、領域Ｌ２に残留している可能性のあるワークＷを領域Ｌ１に戻してから処理を繰り返すようにしてもよい。

【0070】

このように、本発明は、砂状、粉状、の極小サイズのワークＷが一度に大量かつ堆積状に供給された場合に、個別化する際に大きなメリットがある。すなわち、本発明の一層化機構は、全てのワークＷを一層化及び分散化して次の工程に送るのではなく、一定量ずつ切り分けて一層化及び分散化するので、一層化機構の次の工程の設備の待機時間が著しく短縮できる。

【0071】

なお、上記で「吸排気部」とした構成については、上記実施例では排気のみを行う構成としていたが、例えば給気も制御において活用することでさらに効率的な動作を実現できる可能性がある。

【符号の説明】

【0072】

１ 一層化機構
２ エアチャンバ
２Ａ 区画部材
３ 傾斜部
４ ポーラスプレート
６ カメラ
７ 制御部
Ｌ１ Ｌ２ Ｌ３ 領域
Ｓ Ｓ１ Ｓ２ 分離領域
Ｓｃ Ｓｃ１ Ｓｃ２ 調整領域
Ｐ１ Ｐ２ Ｐ３ Ｐｃ Ｐｃ１ Ｐｃ２ 吸排気部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】