特開 2024-80616 ウエハキャリア測定装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024080616

(43)【公開日】2024-06-13

(54)【発明の名称】ウエハキャリア測定装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20240606BHJP

   H01L 21/02 20060101ALI20240606BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

H01L21/02 Z

【審査請求】有

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023190197

(22)【出願日】2023-11-07

(31)【優先権主張番号】63/429,218

(32)【優先日】2022-12-01

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(71)【出願人】

【識別番号】506017182

【氏名又は名称】家登精密工業股▲ふん▼有限公司

【氏名又は名称原語表記】ＧＵＤＥＮＧ ＰＲＥＣＩＳＩＯＮ ＩＮＤＵＳＴＲＩＡＬ ＣＯ．，ＬＴＤ

(74)【代理人】

【識別番号】100094569

【弁理士】

【氏名又は名称】田中 伸一郎

(74)【代理人】

【識別番号】100103610

【弁理士】

【氏名又は名称】▲吉▼田 和彦

(74)【代理人】

【識別番号】100109070

【弁理士】

【氏名又は名称】須田 洋之

(74)【代理人】

【識別番号】100098475

【弁理士】

【氏名又は名称】倉澤 伊知郎

(74)【代理人】

【識別番号】100130937

【弁理士】

【氏名又は名称】山本 泰史

(74)【代理人】

【識別番号】100144451

【弁理士】

【氏名又は名称】鈴木 博子

(74)【代理人】

【識別番号】100128428

【弁理士】

【氏名又は名称】田巻 文孝

(72)【発明者】

【氏名】邱 銘乾

(72)【発明者】

【氏名】荘 家和

(72)【発明者】

【氏名】李 國華

(72)【発明者】

【氏名】沈 恩年

(72)【発明者】

【氏名】呂 俊明

(72)【発明者】

【氏名】▲黄▼ 信淵

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131CA09

5F131CA53

5F131DA05

5F131DA33

5F131DA42

5F131GA13

5F131GA62

5F131GA82

5F131GA92

5F131JA04

5F131JA13

5F131JA23

5F131JA24

5F131JA27

5F131JA36

5F131KA06

5F131KA14

5F131KA40

5F131KA72

5F131KB12

5F131KB32

(57)【要約】

【課題】ウエハキャリア測定装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、開放端を有し、かつ少なくとも１本のガス流通管を内設したウエハキャリアを測定するための測定装置を提供する。ウエハキャリア測定装置は、ウエハキャリアを固定するための載置インターフェースを備える。前記ウエハキャリアの開放端は、測定装置の検出空間に面している。前記載置インターフェースは、ウエハキャリアの底板に連結されることで、ガスをウエハキャリアに供給する給気組立体を備える。検出空間内に、主に前記収容空間内のガス流通管からの気体の流速を測定するための測定アセンブリが配置されている。前記測定アセンブリは、第２連結部材構造に固定された複数の風速センシング素子及び複数の変位センシング素子を含む。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

開放端を有し、かつ少なくとも１本のガス流通管を内設したウエハキャリアを測定するためのウエハキャリア測定装置であって
前記ウエハキャリアを固定し、前記ウエハキャリアの収容空間に気体を供給するための載置インターフェースであって、前記収容空間が前記ガス流通管の気体流出孔と連通する載置インターフェースと、
検出空間の内に移動可能に収容される測定アセンブリであって、前記検出空間が前記開放端の位置に対応する測定アセンブリとを含み、
前記ウエハキャリアが前記載置インターフェースに固定され、かつ前記載置インターフェースが前記ウエハキャリアの前記収容空間に気体を供給した時、前記測定アセンブリは前記検出空間から前記収容空間の内に移動し、異なる水平高さで前記ガス流通管の気体流データをそれぞれ測定することができるウエハキャリア測定装置。

【請求項2】

前記測定アセンブリは、
第１連結部材と、
前記第１連結部材に連結され、垂直方向に互いに間隔をあける複数の第２連結部材と、
前記複数の第２連結部材に装着されて、前記ガス流通管の異なる水平高さからの気体流を測定するための複数の風速センシング素子と
を含む請求項１に記載のウエハキャリア測定装置。

【請求項3】

前記測定アセンブリは、前記ガス流通管の高さ及び位置を判断するように構成される少なくとも１つの変位センシング素子をさらに含む請求項１に記載のウエハキャリア測定装置。

【請求項4】

前記変位センシング素子は、撮像素子、レーザセンシング素子又は非接触式センシング素子のうちの１つである請求項３に記載のウエハキャリア測定装置。

【請求項5】

前記複数の風速センシング素子の少なくとも１つは、前記収容空間の底部に位置する前記ガス流通管からの気体流を測定するために、前記第１連結部材の底端と同じ高さにある請求項２に記載のウエハキャリア測定装置。

【請求項6】

各風速センシング素子は、センシングロッドと、センシング線とを備え、前記センシング線は加熱可能な金属線である請求項２に記載のウエハキャリア測定装置。

【請求項7】

前記載置インターフェースは、
前記ウエハキャリアを位置合わせ及び位置決めするための位置決め構造と、
気体を前記ガス流通管に供給するための給気組立体と
を含む請求項１に記載のウエハキャリア測定装置。

【請求項8】

前記位置決め構造は、前記ウエハキャリアの底板に嵌合するための一対の位置決めポストを備える請求項７に記載のウエハキャリア測定装置。

【請求項9】

前記測定アセンブリを操作し、かつ前記ガス流通管の測定状態を観察するためのユーザインターフェースをさらに含む請求項２に記載のウエハキャリア測定装置。

【請求項10】

前記測定アセンブリは、前記検出空間内の移動ユニットに連結されるものであって、前記ウエハキャリアが前記載置インターフェースに固定された時、前記測定アセンブリが前記移動ユニットの駆動により前記ウエハキャリアの前記収容空間に進入する請求項１に記載のウエハキャリア測定装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ウエハキャリア測定装置に関し、特に、ウエハキャリア内のガス流通管からの気体流データを測定する装置に関する。

【背景技術】

【0002】

図１Ａ及び図１Ｂは、頂部と、底部と、背面、一対の側面とを有する筐体Ｈを含む既存のウエハキャリアＣを示し、筐体Ｈは開放端ＯＰを有する。ドアカバー（図示せず）がウエハキャリアＣの開放端ＯＰに結合した時、ドアカバーと筐体Ｈとが密閉された収容空間Ｓ_Cを形成する。前記収容空間Ｓ_C内には、複数のウエハ（図示せず）を支持するための一対の支持部材ＳＭ及び筐体Ｈの底部に接続され、筐体Ｈの頂部方向に延びる少なくとも１本のガス流通管ＧＴが配置される。

【0003】

ウエハキャリアＣの底部には、設備に連結可能な底板Ｂも設けられることで、非反応性乾燥ガスＧを底板Ｂ内に設けられたガスバルブ（図示せず）を経由して少なくとも１本の前記ガス流通管（ｇａｓ ｔｏｗｅｒ）ＧＴ内に吹き込まれ、前記ガス流通管ＧＴを介して収容空間Ｓ_C内に拡散する。半導体製造工程の異なるプロセスにおいて、ウエハキャリアＣは、真空引き、ガス交換又はガスのバックフィル等の手順を実施する必要がある。しかしながら、組立段階中又は製造工程段階後に、様々な要因により流体の流れる経路を閉塞することで、ウエハキャリアＣ内の気体流に影響を与える可能性がある。例えばガス流通管ＧＴの頂端及び底端での拡散流量がばらつく。前記流量のばらつきによりガス流通管ＧＴの総気体流出量を低下させてしまう。ガス流通管ＧＴの組立過程中に破損又は密着性が悪いことでガス漏れが生じた場合、ウエハキャリアＣにはガス流通管ＧＴの流量がばらつくという問題が存在する可能性がある。例えばガス流通管ＧＴが適切に取り付けられていない場合、給気する時、ガス流通管ＧＴの底部から流出する流量が多くなる。

【0004】

上述したように、現在、ウエハキャリアＣの給気機能が正常であるか否かを確認するため、ウエハキャリアＣを測定する測定装置又は測定方法が求められている。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

本発明の主な目的は、現在ウエハキャリア内の気体流を手動測定する時に存在する測定誤差の問題を改善することである。

【0006】

本発明の第２の目的は、ウエハキャリア内のガス流通管の手動組み立ての欠陥による不均一な給気、さらにガス漏れにより給気効果が低下するという問題を解決することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

これ故に、本発明は、開放端を有し、かつ少なくとも１本のガス流通管を内設したウエハキャリアを測定するための測定装置を提供する。ウエハキャリア測定装置は、ウエハキャリアを固定するための載置インターフェースを備える。前記ウエハキャリアの開放端は、測定装置の検出空間に面している。前記載置インターフェースは、ウエハキャリアの底板に連結されることで、ガスをウエハキャリアに供給する給気組立体を備える。検出空間内に、主に前記収容空間内のガス流通管からの気体の流速を測定するための測定アセンブリが配置されている。前記測定アセンブリは、第２連結部材構造に固定された複数の風速センシング素子及び複数の変位センシング素子を含む。

【0008】

本発明の一実施形態において、前記測定アセンブリは、第１連結部材と、前記第１連結部材に連結された複数の第２連結部材と、前記複数の第２連結部材に装着され、前記ガス流通管の異なる水平高さからの気体流を測定するための複数の風速センシング素子とを含む。

【0009】

本発明の一実施形態において、前記測定アセンブリは、前記ガス流通管の高さ及び位置を判断するように構成される少なくとも１つの変位センシング素子をさらに含む。

【0010】

本発明の一実施形態において、前記変位センシング素子は、撮像素子、レーザセンシング素子又は非接触式センシング素子のうちの１つである。

【0011】

本発明の一実施形態において、前記風速センシング素子は、前記収容空間の底部に位置する前記ガス流通管からの気体流を測定するために、少なくとも前記第１連結部材の底端に配置される。

【0012】

本発明の一実施形態において、各風速センシング素子は、センシングロッドと、センシング線とを備え、前記センシング線は加熱可能な金属線である。

【0013】

本発明の一実施形態において、前記載置インターフェースは、前記ウエハキャリアを位置合わせ及び位置決めするための位置決め構造と、気体を前記ガス流通管に供給するための給気組立体とを含む。

【0014】

本発明の一実施形態において、前記位置決め構造は、前記ウエハキャリアの底板に嵌合するための一対の位置決めポストを備える。

【0015】

本発明の一実施形態において、前記測定アセンブリを操作し、かつ前記ガス流通管の測定状態を観察するためのユーザインターフェースをさらに含む。

【0016】

本発明の一実施形態において、前記測定アセンブリは、前記検出空間内の移動ユニットに連結されるものであって、前記ウエハキャリアが前記載置インターフェースに固定された時、前記測定アセンブリが前記移動ユニットの駆動により前記ウエハキャリアの前記収容空間に進入する。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1A】従来のウエハキャリアを示す前面図である。

【図1B】従来のウエハキャリアを示す背面図である。

【図2】本発明のウエハキャリア測定装置を示す立体図である。

【図3】本発明のウエハキャリア測定装置を示す上面図である。

【図4】本発明の測定アセンブリを示す立体図である。

【図5】本発明の測定アセンブリを示す前面図である。

【図6】本発明の図４内の部位Ａの拡大図である。

【図7】本発明の測定アセンブリを示す上面図である。

【図8】本発明の測定アセンブリを示す側面図である。

【図9】本発明により測定されたウエハキャリア内の測定状態を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

図２に示す本発明のウエハキャリア測定装置１０を参照すると、前記ウエハキャリア測定装置１０は、図１Ａ及び図１Ｂに示すように開放端ＯＰを有するウエハキャリアＣを測定するために用いられる。前記ウエハキャリア測定装置１０は、載置インターフェース１００と、検出空間Ｓ内に配置された測定アセンブリ（ｍｅａｓｕｒｉｎｇ ａｓｓｅｍｂｌｙ）２００と、ユーザインターフェース４００とを含む。前記載置インターフェース１００は、ウエハキャリアＣを載置し、位置決めし、気体を前記ウエハキャリアＣの収容空間Ｓ_Cに供給する。具体的には、載置インターフェース１００には、ウエハキャリアＣを位置決めするための移動制限手段及び気体を供給する複数のノズル（ｎｏｚｚｌｅ）が設けられ、前記移動制限手段はウエハキャリアＣの底板Ｂに嵌合できる複数の位置決めピン（図示せず）を含み、ノズルは底板Ｂの気体流入モジュール或いは気体流入バルブに嵌合して気体をウエハキャリアＣ内のガス流通管ＧＴに送り込むことができる。前記検出空間Ｓは、開口部を有し、前記開口部によって画定された平面は載置インターフェース１００に対して垂直である。本実施形態の開口部は、筐体Ｈの垂直面に大まかに形成され、検出空間Ｓを載置インターフェース１００上のウエハキャリアＣの開放端ＯＰに面させ、収容空間Ｓ_Cと連通させることができる。測定アセンブリ２００は、前記検出空間Ｓ内に移動可能に収容され、前記ウエハキャリア測定装置１０は前記測定アセンブリ２００の変位を制御して、前記測定アセンブリ２００が検出空間Ｓから移動してウエハキャリアＣの収容空間Ｓ_C内に進入するようにし、前記載置インターフェース１００が気体をウエハキャリアＣの収容空間Ｓ_Cに供給した時、前記測定アセンブリ２００は各々異なる水平高さで前記収容空間Ｓ_C内のガス流通管ＧＴの異なる高さの気体流データを測定する。前記ユーザインターフェース４００は、操作者が測定アセンブリ２００の変位を調整し、気体測定條件を入力すること、及びガス流通管ＧＴの組立状態と測定状態の観察、測定結果の表示のために用いられる。

【0019】

別の実施形態において、測定アセンブリ２００は、移動不能に検出空間Ｓに収容され、載置インターフェース１００は載置インターフェース１００上に置かれたウエハキャリアＣを検出空間Ｓの所定検出位置に到達するよう押進させることができる移動手段を含み得る。測定アセンブリ２００の詳細に関しては、後述する。

【0020】

図３のウエハキャリア測定装置１０の上面図を参照されたい。図に示すように、ウエハキャリア測定装置１０の載置インターフェース１００は、複数の位置決め構造１１０と、給気組立体１３０とを備え、前記位置決め構造１１０はウエハキャリアＣの底板Ｂを載置インターフェース１００に位置合わせして位置決めさせ、前記給気組立体１３０は気体をウエハキャリアＣ底板Ｂの気体流入モジュール或いは気体流入バルブに供給して収容空間Ｓ_Cを満たすために用いられる。給気組立体１３０は、基本的に底板Ｂの気体流入モジュールの数に対応する数のノズルを含み、例えば底板Ｂに当接して気密を形成できるノズルである。

【0021】

本発明の一実施形態において、前記位置決め構造１１０は、少なくとも一対の位置決めブロック１１１と、一対の位置決めポスト１１２とを備え、それぞれウエハキャリアＣの底板Ｂが対応する凹部構造に嵌合することで、ウエハキャリアＣが載置インターフェース１００上で滑ったりずれたりすることが防止され、ウエハキャリアＣの底板Ｂの一対の気体流入バルブが載置インターフェース１００の一対の給気組立体１３０と位置合わせされ、ウエハキャリアＣの開放端ＯＰを検出空間Ｓに面させることで、ウエハキャリアＣの収容空間Ｓ_Cを検出空間Ｓに連通させる。

【0022】

前記給気組立体１３０は、載置インターフェース１００の下に埋め込まれた給気システムに接続されるため、ウエハキャリア測定装置１０が給気組立体１３０、ウエハキャリアＣの気体流入バルブ及びガス流通管ＧＴなどの構成要素を介して気体をウエハキャリアＣの収容空間Ｓ_C内に供給する。前記実施形態において、位置決め構造１１０及び給気組立体１３０は、載置インターフェース１００から取り外し可能であるため、ウエハキャリア測定装置１０は位置決め構造１１０及び給気組立体１３０の数及び位置を増減して異なるウエハキャリアを測定することができる。図示していないが、載置インターフェース１００はウエハキャリアＣの収容空間Ｓ_C内の気体を排出するための排気組立体も含み得る。本発明の構成によれば、測定アセンブリ２００は、給気組立体１３０の給気操作を介して対応する検出をすることができる。

【0023】

図４及び図５の測定アセンブリ２００の立体図以及び前面図を参照されたい。測定アセンブリ２００は、ウエハキャリア測定装置１０の検出空間Ｓ内に配置され、移動ユニット３００に設けられる。前記測定アセンブリ２００は、前記移動ユニット３００に固結された第１連結部材２１０と、前記第１連結部材２１０に連結された複数の第２連結部材２２０と、第２連結部材２２０に対称的に連結され、ウエハキャリアＣの収容空間Ｓ_Cに面する複数対の風速センシング素子２３０と、検出空間Ｓ内に装着された複数の変位センシング素子２４０とを備える。変位センシング素子２４０は、風速センシング素子２３０の測定に影響を与えない位置に設けられ、ウエハキャリアＣの収容空間Ｓ_Cに面する。

【0024】

具体的には前記第１連結部材２１０は、主に１本以上の支柱からなる塔状構造物であり、移動ユニット３００に連結される。移動ユニット３００の変位により前記複数の第２連結部材２２０と前記複数の風速センシング素子２３０をｘ－ｙ軸に移動させる。前記複数の第２連結部材２２０は、横梁構造（ｂｅａｍ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ）で、前記第１連結部材２１０に連結され、かつ各第２連結部材２２０には少なくとも一対の風速センシング素子２３０が装着される。第２連結部材２２０と第１連結部材２１０は、突き合わせるように配置された位置決め構造（図示せず）を備える。例えば第２連結部材２２０は、第１連結部材２１０の位置決めポストを挿通させるための位置決め穴を有し、かつ第２連結部材２２０は固定手段を介して第１連結部材２１０の異なる垂直位置に位置決めされることができる。したがって、第２連結部材２２０は、風速センシング素子２３０の測定に必要な高さ位置に応じて適切に調整することができ、ウエハキャリアＣがウエハキャリア測定装置１０に載置されると、前記複数の風速センシング素子２３０は、移動ユニット３００を介して風速センシング素子２３０を駆動させ、ウエハキャリアＣの収容空間Ｓ_C内に適切に進入させてガス流通管ＧＴからの気体流を測定する。

【0025】

前記複数の変位センシング素子２４０は、測定に邪魔しない空間内に配置され、情報を取得してウエハキャリアＣのガス流通管ＧＴの取り付け高さが一致するか傾斜しているかを判断するために用いられる。変位センシング素子２４０は、前記収容空間Ｓ_C内の頂部付近に配置されることが好ましい。前記変位センシング素子２４０は、撮像素子、レーザセンシング素子などの非接触式変位センシング素子により実現できるものとするが、これらに限定されない。本発明の一実施形態において、変位センシング素子２４０（例えば撮像素子）は、レンズと、感光素子とを備え、各撮像素子はウエハキャリアＣのガス流通管ＧＴの１つに対応し、画像認識を介して前記ガス流通管ＧＴの位置及び高さを判断することで、各ガス流通管ＧＴが正しく取り付けられているかどうかをさらに判断する。

【0026】

図６の本発明風速センシング素子２３０の立体拡大図及び図７の測定アセンブリ２００の上面図を参照して、本発明の風速センシング素子を具体的に説明する。本発明の各風速センシング素子２３０は、第２連結部材２２０の一端に枢動可能に設けられ、すなわち、各第２連結部材２２０の両端に一対の風速センシング素子２３０が連結されることで、各対の風速センシング素子２３０をウエハキャリアＣ内部にある前記ガス流通管ＧＴの異なる高さに対応させることができる。風速センシング素子２３０は、枢動により各対の風速センシング素子２３０の向き（図７）を調整することができる。前記枢動メカニズムにより、各対の風速センシング素子２３０を好ましい気体流の経路に位置させるため、各対の風速センシング素子２３０が異なる高さで各ガス流通管ＧＴからの気体流を正確に受け取り、気体流データを測定できるようにする。

【0027】

その他の実施形態において、風速センシング素子２３０の設置数のニーズは、ウエハキャリアＣ内のガス流通管ＧＴの設置数に応じて調整することができ、風速センシング素子２３０の設置数はここに限定されず、ウエハキャリアＣ内のガス流通管ＧＴの異なる高さの気体流データを測定できれば、本発明の保護範囲に属する。例えばウエハキャリアＣに配置されたガス流通管ＧＴが３本の場合、第２連結部材２２０は適切な配置により３つの対応する風速センシング素子２３０を保持し、前記３つの風速センシング素子２３０に３本のガス流通管ＧＴの気体流を各々受け取らせる。

【0028】

本発明の一実施形態において、風速センシング素子２３０は、熱線式風速計（Ｈｏｔ－ｗｉｒｅ ａｎｅｍｏｍｅｔｅｒ）で、各風速センシング素子２３０はセンシングロッド２３１と、前記センシングロッド２３１の一端に配置され、露出するセンシング線２３２とを備え、前記センシング線２３２は加熱できる金属線である。前記風速センシング素子２３０は、ガス流通管ＧＴから吹き出される気体の流速を異なる高さでそれぞれ測定する。その他の実施形態において、前記風速センシング素子２３０は、超音波風速計（Ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃ ａｎｅｍｏｍｅｔｅｒ）、ベーン式風速計（Ｖａｎｅ ａｎｅｍｏｍｅｔｅｒ）又はレーダー風速計（Ｒａｄａｒ ａｎｅｍｏｍｅｔｅｒ）などの風速計で実現されてもよい。本発明の好ましい実施形態において、ウエハキャリアＣの収容空間Ｓ_Cの底部の構造が比較的複雑であるため、少なくとも一組の風速センシング素子２３０をガス流通管ＧＴと収容空間Ｓ_Cの底部との間の組み立て高さに配置し、測定された風速データを介してウエハキャリアＣの不適切な組み立て又は損傷による気体流入効果低下の問題の有無を判断する。その他の風速センシング素子２３０は、異なるウエハキャリアＣ或いは異なる測定条件件に応じて、風速の測定位置を調整することができ、例えば各対の風速センシング素子２３０の水平高さ又は各対の風速センシング素子２３０間の距離を調整する。

【0029】

図７の測定アセンブリ２００の上面図及び図８の測定アセンブリ２００の側面図を参照して、測定アセンブリ２００と移動ユニット３００との間の関係を具体的に説明する。前記測定アセンブリ２００は、移動ユニット３００に固結され、移動ユニット３００を介してｘ軸に変位して、ウエハキャリアＣの収容空間Ｓ_C内に進入し、かつ前記測定アセンブリ２００は移動ユニット３００を介してｙ軸に変位して、前記収容空間Ｓ_Cの位置を調整する。前記移動ユニット３００は、第１移動機構３１０と、第２移動機構３２０と、複数のガイドレール３３０とを備える。前記第１移動機構３１０は、主に第２移動機構３２０を積載し、複数のガイドレール３３０に沿ってｙ軸上に変位する。本発明の好ましい実施形態において、前記複数のガイドレール３３０は、第１ガイドレール３３１と、第２ガイドレール３３２とを少なくとも含み、前記第１ガイドレール３３１及び第２ガイドレール３３２は水平に並列して第１移動機構３１０を貫設することにより、第１移動機構３１０を第１ガイドレール３３１及び第２ガイドレール３３２に沿ってｙ軸に正確に変位させる。その他の実施形態において、本発明は、ｙ軸上の第１移動機構３１０の変位を実現するために１つのみのガイドレールを使用することもできる。前記第２移動機構３２０は、第１移動機構３１０に固結され、モータ及び伝動機構により駆動され、測定アセンブリ２００をウエハキャリアＣの収容空間Ｓ_Cに対して接近又は離反させる。第２移動機構３２０は、第１移動機構３１０上のガイドレール（図示せず）に沿って測定アセンブリ２００をｘ軸に変位させることで、測定アセンブリ２００をウエハキャリアＣの収容空間Ｓ_C内に進入させることができる。本発明の一実施形態において、測定アセンブリ２００の変位センシング素子２４０は、第１移動機構３１０に配置され、ウエハキャリアＣの内部コンポーネントをセンシングするニーズに応じて、第１移動機構３１０の変位距離を介して、ｙ軸上の変位センシング素子２４０の変位距離を同時に調整することができる。本発明のその他の実施形態において、変位センシング素子２４０は、第２連結部材２２０又は第２移動機構３２０に配置され、風速センシング素子２３０の測定を妨げることなく操作して、第２連結部材２２０或いは第２移動機構３２０とともに変位することができるため、ウエハキャリアＣの内部コンポーネントをセンシングするニーズに応じてｘ軸、ｚ軸上の変位距離を調整する。

【0030】

ウエハキャリア測定装置１０が測定を開始する時、操作者は、操作手段（例えばボタン、ジョイスティック又はユーザインターフェース４００内のアプリであるが、これらに限定されない）に基づき移動ユニット３００を制御して、測定アセンブリ２００を検出空間ＳからウエハキャリアＣの収容空間Ｓ_C内に移動して、風速データを測定し、同時に測定アセンブリ２００の変位センシング素子２４０は画像認識でガス流通管ＧＴの個々位置及び個々高さを判断する。次に図９のユーザインターフェース４００に表示される風速データの概略図を参照すると、本発明の具体的実施形態において、使用者はユーザインターフェース４００において空気充填時間（Ａｉｒ Ｔｉｍｅ）を設定できることで、載置インターフェース１００の給気組立体１３０が気体をウエハキャリアＣの収容空間Ｓ_Cに供給する持続時間を設定し、また風速センシング素子２３０の測定回数（Ｔｏｔａｌ Ｉｎｓｐ）を設定することもでき、前記風速センシング素子２３０を介して収容空間Ｓ_C内の位置１（Ｐ１）～位置８（Ｐ８）に対応する風速をそれぞれ測定して、ウエハキャリアＣ中の全体的な流れ場の分布を得、変位センシング素子２４０を介してガス流通管ＧＴの個々高さ、例えば「Ｈｉｓｔｏｒｙ Ｒｅｓｕｌｔ」（履歴結果)テーブル内の「Ｌｅｆｔ Ｈｅｉｇｈｔ」（左の高さ）と「Ｒｉｇｈｔ Ｈｅｉｇｈｔ」（右の高さ）を得る。図９に示す風速データは、３つのウエハキャリアＣを測定した風速データ及びガス流通管ＧＴの高さをそれぞれ表示し、操作者はこれに基づいてウエハキャリアＣの機能の正常の有無を判断できる。本発明の他の実施形態において、操作者は、ガス流通管ＧＴの所定の高さを予め設定でき、測定したデータが誤差範囲を超えた場合、ウエハキャリア測定装置１０はウエハキャリアＣの機能が異常であると自動的に判断し、操作者にガス流通管ＧＴに異常があることを知らせる。なお、位置１（Ｐ１）と位置２（Ｐ２）の風速或いは位置７（Ｐ７）と位置８（Ｐ８）の風速の差が誤差範囲を超えた場合、ウエハキャリア測定装置１０はウエハキャリアＣの機能が異常であると自動的に判断し、操作者にどの位置で風速が異常であるかを知らせる。

【0031】

本発明の変形例において、図４を参照すると、測定アセンブリ２００内の第２連結部材２２０は、第１連結部材２１０に昇降可能に連結することができ、風速センシング素子２３０は第２連結部材２２０に水平方向に摺動可能に連結され、枢動でき、第１連結部材２１０と第２連結部材２２０は少なくともスライドレール又はボールねじによって実現でき、風速センシング素子２３０の枢動は少なくとも歯車構造によって実現できる。前記第１連結部材２１０、第２連結部材２２０、風速センシング素子２３０、変位センシング素子２４０及び移動ユニット３００は、いずれも処理ユニット（図示せず）に電気的に接続され、変位センシング素子２４０は画像認識によりウエハキャリアＣの中心線を見つけ出し、より具体的に言えば、変位センシング素子２４０は異なる画像内のウエハキャリアＣのガス流通管ＧＴ及び支持部材ＳＭを固有値として、ウエハキャリアＣの中心線を算出する。ウエハキャリアＣの中心線が見つかった後、変位センシング素子２４０は、関連のデータを処理ユニットに送信し、処理ユニットは測定アセンブリ２００が測定位置に到達するまで、ｘｙ軸上での移動ユニット３００の変位を制御し、次に処理ユニットは変位センシング素子２４０によって認識されたガス流通管ＧＴの位置及び高さに基づいて、各第２連結部材２２０の第１連結部材２１０における水平高さ、及び各対の風速センシング素子２３０の第２連結部材２２０における間隔を制御し、各風速センシング素子２３０を例えば図９に示す位置１（Ｐ１）～位置８（Ｐ８）などの正確な測定位置に移動させることができ、次にウエハキャリア測定装置１０は所定の持続時間の気体をウエハキャリアＣの内部に供給し、前記処理ユニットは各対の風速センシング素子２３０の開閉角度を制御して、風速センシング素子２３０の開始位置として最大風速時の開閉角度を見つける。上述の操作方法を通じて、本発明は測定アセンブリ２００の測定位置を自動的に補正してウエハキャリアＣを測定することができ、流量分布を効果的に測定し、ガス流通管ＧＴの組み立て精度を観察できるだけでなく、測定結果を介して上述の異常問題を速やかに発見することで、ウエハキャリアＣ内のガス流通管ＧＴの手動組み立の欠陥による気体供給の不均一、さらにガス漏れによる給気効果が悪くなるという問題を解決することができる。

【0032】

要するに、本発明で開示するウエハキャリア測定装置は、ウエハキャリア内のガス流通管の気体流の状態を簡単かつ正確に測定して、ウエハキャリアの機能の正常の有無を判断できる。

【符号の説明】

【0033】

１０ ウエハキャリア測定装置
１００ 載置インターフェース
１１０ 位置決め構造
１１１ 位置決めブロック
１１２ 位置決めポスト
１３０ 給気組立体
２００ 測定アセンブリ
２１０ 第１連結部材
２２０ 第２連結部材
２３０ 風速センシング素子
２３１ センシングロッド
２３２ センシング線
２４０ 変位センシング素子
３００ 移動ユニット
３１０ 第１移動機構
３２０ 第２移動機構
３３０ ガイドレール
３３１ 第１ガイドレール
３３２ 第２ガイドレール
４００ ユーザインターフェース
Ｂ 底板
Ｃ ウエハキャリア
Ｇ 気体
ＧＴ ガス流通管
Ｈ 筐体
ＯＰ 開放端
Ｓ 検出空間
Ｓ_C 収容空間
ＳＭ 支持部材

【図1A】

【図1B】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】