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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024008094
(43)【公開日】2024-01-19
(54)【発明の名称】検査装置
(51)【国際特許分類】
G01B 7/00 20060101AFI20240112BHJP
【ＦＩ】
G01B7/00 101C
【審査請求】未請求
【請求項の数】18
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022109653
(22)【出願日】2022-07-07
(71)【出願人】
【識別番号】000232302
【氏名又は名称】ニデック株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100109380
【弁理士】
【氏名又は名称】小西 恵
(74)【代理人】
【識別番号】100109036
【弁理士】
【氏名又は名称】永岡 重幸
(72)【発明者】
【氏名】石丸 裕
(72)【発明者】
【氏名】中谷 政次
【テーマコード（参考）】
2F063
【Ｆターム（参考）】
2F063AA02
2F063BA21
2F063BB02
2F063BB05
2F063BC05
2F063BD11
2F063CA04
2F063CA09
2F063DA01
2F063DA02
2F063DA05
2F063DC08
2F063DD08
2F063EB16
2F063FA00
2F063HA01
(57)【要約】
【課題】静電容量式変位計の測定に影響を及ぼさずに、信頼性が高い計測結果だけを記録する検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置は、導電材料製の計測対象との距離を計測する静電容量式変位計と、静電容量式変位計のセンサグランドが電気的に接続された接地部と、計測対象が取り付けられた導電材料製の板である支持部を押圧して支持部を固定し、接地部に接触する２つの押圧ピンと、静電容量式変位計が距離を計測していない時間に、支持部を含む部分の２つの地点の間の抵抗を測定する抵抗測定計と、抵抗が閾値より低い場合に、抵抗の測定前に静電容量式変位計で計測された計測結果を記録する測定制御部とを備える。２つの押圧ピンの少なくとも１つは導電材料製である。
【選択図】図１
【解決手段】検査装置は、導電材料製の計測対象との距離を計測する静電容量式変位計と、静電容量式変位計のセンサグランドが電気的に接続された接地部と、計測対象が取り付けられた導電材料製の板である支持部を押圧して支持部を固定し、接地部に接触する２つの押圧ピンと、静電容量式変位計が距離を計測していない時間に、支持部を含む部分の２つの地点の間の抵抗を測定する抵抗測定計と、抵抗が閾値より低い場合に、抵抗の測定前に静電容量式変位計で計測された計測結果を記録する測定制御部とを備える。２つの押圧ピンの少なくとも１つは導電材料製である。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
導電材料製の計測対象との距離を計測する静電容量式変位計と、
前記静電容量式変位計のセンサグランドが電気的に接続された接地部と、
前記計測対象が取り付けられた導電材料製の板である支持部を押圧して前記支持部を固定し、前記接地部に接触する２つの押圧ピンと、
前記静電容量式変位計が前記距離を計測していない時間に、前記支持部を含む部分の２つの地点の間の抵抗を測定する抵抗測定計と、
前記抵抗が閾値より低い場合に、前記抵抗の測定前に前記静電容量式変位計で計測された計測結果を記録する測定制御部とを備え、
前記２つの押圧ピンの少なくとも１つは導電材料製である
検査装置。
前記静電容量式変位計のセンサグランドが電気的に接続された接地部と、
前記計測対象が取り付けられた導電材料製の板である支持部を押圧して前記支持部を固定し、前記接地部に接触する２つの押圧ピンと、
前記静電容量式変位計が前記距離を計測していない時間に、前記支持部を含む部分の２つの地点の間の抵抗を測定する抵抗測定計と、
前記抵抗が閾値より低い場合に、前記抵抗の測定前に前記静電容量式変位計で計測された計測結果を記録する測定制御部とを備え、
前記２つの押圧ピンの少なくとも１つは導電材料製である
検査装置。
【請求項2】
前記抵抗が閾値より高い場合に、前記測定制御部は、前記抵抗の測定前に前記静電容量式変位計で計測された前記計測結果を記録せず、警告を発する
ことを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
ことを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項3】
前記抵抗測定計は、前記接地部と前記支持部を含む回路の抵抗を測定する
ことを特徴とする請求項１または２に記載の検査装置。
ことを特徴とする請求項１または２に記載の検査装置。
【請求項4】
前記抵抗測定計が前記抵抗を測定する時、前記抵抗測定計を前記支持部に電気的に接続し、前記静電容量式変位計が前記距離を計測する時、前記抵抗測定計を前記支持部から電気的に切り離す切替部をさらに備える
ことを特徴とする請求項３に記載の検査装置。
ことを特徴とする請求項３に記載の検査装置。
【請求項5】
前記２つの押圧ピンの一方は、前記接地部に接触して前記支持部に接触しない導電材料製の第１の端部と、前記支持部に接触して前記接地部に接触しない導電材料製の第２の端部と、前記第１の端部と前記第２の端部の間に介在させられた絶縁材料製の絶縁部を有し、
前記切替部は、前記押圧ピンの前記第２の端部に電気的に接続された共通端子と、前記接地部に電気的に接続された接地端子と、前記抵抗測定計に電気的に接続された抵抗測定端子を有し、
前記抵抗測定計は、前記接地部に電気的に接続された第１の端子と、前記切替部の前記抵抗測定端子に電気的に接続されて、前記抵抗測定計が前記抵抗を測定する時、前記押圧ピンの前記第２の端部に電気的に接続される第２の端子を有する
ことを特徴とする請求項４に記載の検査装置。
前記切替部は、前記押圧ピンの前記第２の端部に電気的に接続された共通端子と、前記接地部に電気的に接続された接地端子と、前記抵抗測定計に電気的に接続された抵抗測定端子を有し、
前記抵抗測定計は、前記接地部に電気的に接続された第１の端子と、前記切替部の前記抵抗測定端子に電気的に接続されて、前記抵抗測定計が前記抵抗を測定する時、前記押圧ピンの前記第２の端部に電気的に接続される第２の端子を有する
ことを特徴とする請求項４に記載の検査装置。
【請求項6】
前記切替部は、前記支持部に電気的に接続された共通端子と、前記接地部に電気的に接続された接地端子と、前記抵抗測定計に電気的に接続された抵抗測定端子を有し、
前記抵抗測定計は、前記接地部に電気的に接続された第１の端子と、前記切替部の前記抵抗測定端子に電気的に接続されて、前記抵抗測定計が前記抵抗を測定する時、前記支持部に電気的に接続される第２の端子を有する
ことを特徴とする請求項４に記載の検査装置。
前記抵抗測定計は、前記接地部に電気的に接続された第１の端子と、前記切替部の前記抵抗測定端子に電気的に接続されて、前記抵抗測定計が前記抵抗を測定する時、前記支持部に電気的に接続される第２の端子を有する
ことを特徴とする請求項４に記載の検査装置。
【請求項7】
前記支持部に接触して前記支持部に電気的に接続される導電材料製のコンタクト部材をさらに備え、
前記切替部の前記共通端子は、前記コンタクト部材に電気的に接続されている
ことを特徴とする請求項６に記載の検査装置。
前記切替部の前記共通端子は、前記コンタクト部材に電気的に接続されている
ことを特徴とする請求項６に記載の検査装置。
【請求項8】
前記コンタクト部材は、前記支持部の前記計測対象が配置された面と反対の面に接触する
ことを特徴とする請求項７に記載の検査装置。
ことを特徴とする請求項７に記載の検査装置。
【請求項9】
前記支持部は孔部を有し、
前記コンタクト部材は、前記孔部に挿入されて前記支持部に電気的に接続されるコンタクトピンである
ことを特徴とする請求項７に記載の検査装置。
前記コンタクト部材は、前記孔部に挿入されて前記支持部に電気的に接続されるコンタクトピンである
ことを特徴とする請求項７に記載の検査装置。
【請求項10】
前記コンタクトピンは、径方向に拡張可能な拡張部を有し、前記拡張部は前記孔部への挿入時に径方向に拡張して前記孔部の内周面に接触し、前記孔部からの抜き出し時に径方向に縮小する
ことを特徴とする請求項９に記載の検査装置。
ことを特徴とする請求項９に記載の検査装置。
【請求項11】
前記拡張部の前記孔部の前記内周面に対する接触圧を推定するための機構をさらに備えることを特徴とする請求項１０に記載の検査装置。
【請求項12】
前記抵抗測定計は、前記支持部の２つの地点の間の抵抗を測定する
ことを特徴とする請求項１または２に記載の検査装置。
ことを特徴とする請求項１または２に記載の検査装置。
【請求項13】
２つの切替部をさらに備え、
前記抵抗測定計が前記抵抗を測定する時、前記２つの切替部は、前記抵抗測定計を前記支持部の前記２つの地点に電気的に接続し、前記静電容量式変位計が前記距離を計測する時、前記２つの切替部は、前記抵抗測定計を前記支持部から電気的に切り離す
ことを特徴とする請求項１２に記載の検査装置。
前記抵抗測定計が前記抵抗を測定する時、前記２つの切替部は、前記抵抗測定計を前記支持部の前記２つの地点に電気的に接続し、前記静電容量式変位計が前記距離を計測する時、前記２つの切替部は、前記抵抗測定計を前記支持部から電気的に切り離す
ことを特徴とする請求項１２に記載の検査装置。
【請求項14】
前記支持部の前記２つの地点にそれぞれ接触して前記支持部に電気的に接続される導電材料製の２つのコンタクト部材をさらに備え、
各切替部は、前記コンタクト部材の１つに電気的に接続された共通端子と、前記接地部に電気的に接続された接地端子と、前記抵抗測定計に電気的に接続された抵抗測定端子を有し、
前記抵抗測定計は、前記２つの切替部の前記抵抗測定端子に電気的にそれぞれ接続されて、前記抵抗測定計が前記抵抗を測定する時、前記２つのコンタクト部材に電気的にそれぞれ接続される２つの端子を有する
ことを特徴とする請求項１３に記載の検査装置。
各切替部は、前記コンタクト部材の１つに電気的に接続された共通端子と、前記接地部に電気的に接続された接地端子と、前記抵抗測定計に電気的に接続された抵抗測定端子を有し、
前記抵抗測定計は、前記２つの切替部の前記抵抗測定端子に電気的にそれぞれ接続されて、前記抵抗測定計が前記抵抗を測定する時、前記２つのコンタクト部材に電気的にそれぞれ接続される２つの端子を有する
ことを特徴とする請求項１３に記載の検査装置。
【請求項15】
前記２つの地点は、前記支持部の前記計測対象が配置された面と反対側の面にある
ことを特徴とする請求項１４に記載の検査装置。
ことを特徴とする請求項１４に記載の検査装置。
【請求項16】
前記支持部は、前記２つの地点のそれぞれに２つの孔部を有し、
前記２つのコンタクト部材は、前記孔部にそれぞれ挿入されて前記支持部に電気的に接続される２つのコンタクトピンである
ことを特徴とする請求項１４に記載の検査装置。
前記２つのコンタクト部材は、前記孔部にそれぞれ挿入されて前記支持部に電気的に接続される２つのコンタクトピンである
ことを特徴とする請求項１４に記載の検査装置。
【請求項17】
各コンタクトピンは、径方向に拡張可能な拡張部を有し、前記拡張部は前記孔部への挿入時に径方向に拡張して前記孔部の内周面に接触し、前記孔部からの抜き出し時に径方向に縮小する
ことを特徴とする請求項１６に記載の検査装置。
ことを特徴とする請求項１６に記載の検査装置。
【請求項18】
各コンタクトピンの前記拡張部の対応する孔部の前記内周面に対する接触圧を推定するための機構をさらに備えることを特徴とする請求項１７に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、導電材料製の測定対象の位置を計測する検査装置に関する。
【背景技術】
【0002】
静電容量式変位計は、特許文献１に記載されているように、測定対象の位置を計測するために広く使用されている。
静電容量式変位計のセンサグランドは、計測対象に電気的に接続され、計測対象と同電位であることが必要とされる。
静電容量式変位計のセンサグランドは、計測対象に電気的に接続され、計測対象と同電位であることが必要とされる。
【0003】
各種の部品が組付けられたアッセンブリユニットのベース板に固定され回転部材のベース板に対する高さを静電容量式変位計で計測する場合、ベース板を押圧ピンで押圧して固定することにより、回転部材を計測位置に固定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２００１－２６６３１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
回転部材の高さを高い精度で測定するには、回転部材と静電容量式変位計のセンサグランドができる限り同電位であることが必要とされる。回転部材とセンサグランドの電位差を確認するには、回転部材とセンサグランドの抵抗を測定することが考えられるが、抵抗測定時に電圧が発生し、静電容量式変位計の測定に影響を及ぼすおそれがある。
【0006】
そこで、本発明は、静電容量式変位計の測定に影響を及ぼさずに、信頼性が高い計測結果だけを記録する検査装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明のある態様は検査装置を提供する。この検査装置は、導電材料製の計測対象との距離を計測する静電容量式変位計と、前記静電容量式変位計のセンサグランドが電気的に接続された接地部と、前記計測対象が取り付けられた導電材料製の板である支持部を押圧して前記支持部を固定し、前記接地部に接触する２つの押圧ピンと、前記静電容量式変位計が前記距離を計測していない時間に、前記支持部を含む部分の２つの地点の間の抵抗を測定する抵抗測定計と、前記抵抗が閾値より低い場合に、前記抵抗の測定前に前記静電容量式変位計で計測された計測結果を記録する測定制御部とを備える。前記２つの押圧ピンの少なくとも１つは導電材料製である。
【0008】
この態様においては、２つの押圧ピンが支持部を押圧して支持部を固定している間に、静電容量式変位計が計測対象との距離を計測する。静電容量式変位計のセンサグランドは接地部に電気的に接続され、２つの押圧ピンは接地部に接触する。２つの押圧ピンの少なくとも１つは導電材料製であるので、静電容量式変位計のセンサグランドは、計測対象および支持部に電気的に接続され、計測対象と同電位になるので、静電容量式変位計は計測対象との距離を計測することができる。静電容量式変位計が前記距離を測定していない時間に、抵抗測定計は支持部を含む部分の２つの地点の間の抵抗を測定し、測定制御部は、抵抗が閾値より低い場合に、抵抗の測定前に静電容量式変位計で計測された計測結果を記録する。したがって、静電容量式変位計の測定に影響を及ぼさずに、信頼性が高い計測結果だけを記録することができる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、添付の図面を参照しながら本発明に係る様々な実施形態を説明する。図面の縮尺は必ずしも正確ではなく、一部の特徴は誇張または省略されることもある。
【0011】
第１実施形態
本発明の各実施形態に係る検査装置は、アッセンブリユニット１のベース板（支持部）２に対する回転部材３の高さの計測に使用される。アッセンブリユニット１は、ベース板２、ベース板２に固定された円柱状のシャフト４、シャフト４の周囲に配置されてベース板２に取り付けられた円筒状の回転部材３を有する。ベース板２、回転部材３およびシャフト４は、導電材料である金属から形成されている。
本発明の各実施形態に係る検査装置は、アッセンブリユニット１のベース板（支持部）２に対する回転部材３の高さの計測に使用される。アッセンブリユニット１は、ベース板２、ベース板２に固定された円柱状のシャフト４、シャフト４の周囲に配置されてベース板２に取り付けられた円筒状の回転部材３を有する。ベース板２、回転部材３およびシャフト４は、導電材料である金属から形成されている。
【0012】
図１に示すように、本発明の第１実施形態に係る検査装置は、プラットフォーム１０、ビーム１２、静電容量式変位計１４、２つの押圧ピン１６，１７、抵抗測定計２６、切替部２８、測定制御部２４、昇降機構２０および搬送部２２を有する。
【0013】
プラットフォーム１０には、アッセンブリユニット１のベース板２が載置される。ベース板２は、位置決め治具（図示せず）によって、プラットフォーム１０上の所定の計測位置に位置決めされる。
【0014】
ビーム（接地部）１２は、導電材料である金属製であって、プラットフォーム１０の上方に配置されており、昇降機構２０によって昇降可能である。ビーム１２には、静電容量式変位計１４のハウジング１４ｂおよび押圧ピン１６，１７が固定されている。
【0015】
昇降機構２０によってビーム１２が下降させられた時、ビーム１２に固定された押圧ピン１６，１７は、アッセンブリユニット１のベース板２をプラットフォーム１０に向けて押圧してアッセンブリユニット１を固定する。
【0016】
静電容量式変位計１４は、プローブ１４ａとハウジング１４ｂを有する。プローブ１４ａはハウジング１４ｂの下端に固定されている。ハウジング１４ｂの内部には、プローブ１４ａと計測対象の距離に対応する静電容量を距離値に換算する変換装置（図示せず）が配置されている。
【0017】
昇降機構２０によってビーム１２が下降させられた時、ビーム１２に固定された静電容量式変位計１４は、押圧ピン１６，１７で固定されたアッセンブリユニット１の回転部材（計測対象）３とプローブ１４ａとの距離を計測する。ベース板２の厚さは既知であるため、プローブ１４ａと回転部材３との距離を計測することにより、回転部材３のベース板２に対する突出量すなわち高さが計測されることになる。
【0018】
静電容量式変位計１４は、プローブ１４ａと回転部材３との距離の計測に加えて、プローブ１４ａとベース板２との距離を計測してもよい。この場合、プローブ１４ａと回転部材３との距離をプローブ１４ａとベース板２との距離から減算することにより、回転部材３のベース板２に対する高さが計測される。
【0019】
いずれにせよ、結果的に静電容量式変位計１４は、回転部材３の高さを計測する。以下、プローブ１４ａと回転部材３の距離の測定を回転部材３の高さの測定と呼ぶことがある。
【0020】
搬送部２２は、昇降機構２０によってビーム１２が上昇させられた時、既に計測されたアッセンブリユニット１をプラットフォーム１０から除去するとともに、次に計測されるべきアッセンブリユニット１をプラットフォーム１０上に供給する。
【0021】
測定制御部２４は、プロセッサと記憶部を有するコンピュータである。記憶部に格納されたコンピュータプログラムに従って、プロセッサは動作し、昇降機構２０と搬送部２２を協調させる。
【0022】
また、測定制御部２４には、静電容量式変位計１４の計測結果、すなわちプローブ１４ａと回転部材３との距離値が供給される。測定制御部２４は、各アッセンブリユニット１について、計測結果をメモリーである記録部２４ａに記録する。
【0023】
静電容量式変位計１４のセンサグランド１４ｃは、計測対象であるアッセンブリユニット１の回転部材３に電気的に接続され、回転部材３と同電位であることが必要とされる。センサグランド１４ｃは、ビーム１２に電気的に接続されており、２つの押圧ピン１６，１７はビーム１２に常に接触している。２つの押圧ピン１６，１７がベース板２を押圧してベース板２を固定している間に、静電容量式変位計１４は回転部材３との距離を計測する。
【0024】
押圧ピン１６は、導電材料である金属から形成されている。押圧ピン１７の大部分も導電材料である金属から形成されているが、押圧ピン１７の詳細については後述する。２つの押圧ピン１６，１７のうち押圧ピン１６は導電材料製であるので、静電容量式変位計１４のセンサグランド１４ｃは、回転部材３およびベース板２に電気的に接続され、回転部材３と同電位になるので、静電容量式変位計１４はプローブ１４ａと回転部材３との距離を計測することができる。
【0025】
しかし、押圧ピン１６とベース板２との間には接触抵抗Ｒ１があり、押圧ピン１７とベース板２との間には接触抵抗Ｒ２がある。回転部材３の高さを高精度で計測するためには、押圧ピン１６，１７は強い力でベース板２を押圧することが好ましい。したがって、ベース板２には強い衝撃と力が加えられ、ベース板２が僅かに擦傷してしまう。ベース板２から生じた擦傷粉は酸化して絶縁体となりうる。酸化した擦傷粉は押圧ピン１６，１７の底面に付着しうる。複数のアッセンブリユニット１の回転部材３の高さを計測すると、酸化した擦傷粉つまり汚れが押圧ピン１６，１７の底面に蓄積してゆく。したがって、検査装置の使用の間に、接触抵抗Ｒ１，Ｒ２が増加する。このため、静電容量式変位計１４のセンサグランド１４ｃの電位が回転部材３の電位とは異なってしまう。
【0026】
そこで、抵抗測定計２６は、例えば定期的にビーム１２とベース板２を含む回路の抵抗を測定する。この回路は、押圧ピン１６とベース板２との間の接触抵抗Ｒ１と、押圧ピン１７とベース板２との間の接触抵抗Ｒ２を含む。
【0027】
このため、押圧ピン１７の途中部分は絶縁体で形成されている。具体的には、押圧ピン１７は、導電材料である金属製の第１の端部１７ａ、導電材料である金属製の第２の端部１７ｂおよび絶縁材料製の絶縁部１７ｃを有する。第１の端部１７ａは、ビーム１２に固定されてベース板２に接触しない。第２の端部１７ｂは、ベース板２に接触可能であってビーム１２に接触しない。絶縁部１７ｃは、第１の端部１７ａと第２の端部１７ｂの間に介在させられている。絶縁部１７ｃの材料は、例えばセラミック材料である。
【0028】
したがって、抵抗測定計２６は、ビーム１２、押圧ピン１６、ベース板２、押圧ピン１７の第２の端部１７ｂを有する回路の抵抗を測定する。測定される抵抗は、ほぼ接触抵抗Ｒ１，Ｒ２の合計である。但し、ビーム１２、押圧ピン１６、ベース板２、押圧ピン１７の第２の端部１７ｂの抵抗も僅かではあるが、測定される抵抗に含まれる。
【0029】
図２の左側は、押圧ピン１７の例を示す正面図であり、図２の右側は、押圧ピン１７の分解図である。絶縁部１７ｃの両端面には、突起１７ｄ，１７ｅが形成されている。第１の端部１７ａの下端面には凹部１７ｆが形成されている。第２の端部１７ｂの上端面には凹部１７ｇが形成されている。
【0030】
絶縁部１７ｃの突起１７ｄは第１の端部１７ａの凹部１７ｆに嵌め入れられて固定されている。絶縁部１７ｃの突起１７ｅは第２の端部１７ｂの凹部１７ｇに嵌め入れられて固定されている。固定の方式は、例えば焼き嵌めであってよい。
【0031】
逆に、絶縁部１７ｃに凹部を形成し、端部１７ａ，１７ｂに突起を形成して、突起を凹部に嵌め入れてもよい。
【0032】
図３は、押圧ピン１７の他の例の分解斜視図である。この例では、絶縁部１７ｃは、Ｃ字形の有端リングであって、端部の外周面にフランジ１７ｈ，１７ｉを有する。フランジ１７ｈ，１７ｉの間隔はネジ１７ｊで調節可能である。第１の端部１７ａの下端面には突起１７ｋが形成されている。第２の端部１７ｂの条端面には突起１７ｍが形成されている。
【0033】
突起１７ｋ，１７ｍは、絶縁部１７ｃに嵌め入れられ、ネジ１７ｊを絶縁部１７ｃに締結することによって、第１の端部１７ａ、第２の端部１７ｂおよび絶縁部１７ｃは一体化される。
【0034】
【0035】
静電容量式変位計１４が回転部材３の高さを計測していない時間に、抵抗測定計２６が上記回路の抵抗を測定するように、切替部２８が設けられている。切替部２８は、抵抗測定計２６が抵抗を測定する時、抵抗測定計２６をベース板２に電気的に接続し、静電容量式変位計１４が回転部材３の高さを計測する時、抵抗測定計２６をベース板２から電気的に切り離す。
【0036】
切替部２８は、共通端子２８ａ、接地端子２８ｂおよび抵抗測定端子２８ｃを有する。共通端子２８ａは、押圧ピン１７の第２の端部１７ｂに電気的に接続されている。接地端子２８ｂは、ビーム１２に電気的に接続されている。抵抗測定端子２８ｃは、抵抗測定計２６の第２の端子２６ｂに電気的に接続されている。
【0037】
図示の切替部２８は機械式スイッチであるが、切替部２８は電気式スイッチであってもよい。
【0038】
抵抗測定計２６は、ビーム１２に電気的に接続された第１の端子２６ａと、切替部２８の抵抗測定端子２８ｃに電気的に接続された第２の端子２６ｂを有する。
【0039】
測定制御部２４は、抵抗測定計２６と切替部２８に測定切替信号を供給する。測定切替信号は、回転部材３の高さ計測と上記回路の抵抗測定を切り替えるため、高さ計測と抵抗測定のいずれかを指令する。
【0040】
測定切替信号が高さ計測を指令する場合、抵抗測定計２６は休止し、切替部２８は抵抗測定端子２８ｃではなく接地端子２８ｂを共通端子２８ａに電気的に接続する。したがって、静電容量式変位計１４が回転部材３の高さを計測する時、切替部２８は、抵抗測定計２６をベース板２から電気的に切り離す。静電容量式変位計１４は、プローブ１４ａと回転部材３との距離を計測し、計測結果を測定制御部２４に供給する。また、この時、接地端子２８ｂが共通端子２８ａに電気的に接続されるので、静電容量式変位計１４のセンサグランド１４ｃに電気的に接続されたビーム１２は、切替部２８と第２の端部１７ｂを介して、ベース板２に電気的に接続される。ビーム１２は、押圧ピン１６を介してもベース板２に電気的に接続されるので、センサグランド１４ｃがより確実に回転部材３と同電位になる。
【0041】
測定切替信号が抵抗測定を指令する場合、抵抗測定計２６は起動し、切替部２８は抵抗測定端子２８ｃを共通端子２８ａに電気的に接続し、抵抗測定計２６の第２の端子２６ｂを押圧ピン１７の第２の端部１７ｂに電気的に接続する。したがって、抵抗測定計２６が抵抗を測定する時、切替部２８は、抵抗測定計２６をベース板２に電気的に接続する。この結果、切替部２８は、ビーム１２、押圧ピン１６、ベース板２、押圧ピン１７の第２の端部１７ｂを有する回路に抵抗測定計２６を接続する。そして、抵抗測定計２６はこの回路に電流を流して、この回路の抵抗を測定し、抵抗値を測定制御部２４に供給する。
【0042】
図４を参照し、検査装置、特に測定制御部２４の動作の一例を説明する。
【0043】
ステップＳ１では、測定制御部２４は、搬送部２２を制御して、計測されるべきアッセンブリユニット１をプラットフォーム１０上に搬送し、位置決め治具（図示せず）を制御して、アッセンブリユニット１をプラットフォーム１０上の所定の計測位置に位置決めする。測定制御部２４は、昇降機構２０を制御して、ビーム１２とともに押圧ピン１６，１７および静電容量式変位計１４を下降させる。
【0044】
ステップＳ２では、測定制御部２４は、高さ計測を指令する測定切替信号を抵抗測定計２６と切替部２８に供給する。静電容量式変位計１４は、プローブ１４ａと回転部材３との距離を計測し、計測結果を測定制御部２４に供給する。
【0045】
ステップＳ３では、測定制御部２４は、抵抗測定時期か否か判断する。ステップＳ３の判断が否定的であれば、動作はステップＳ４に進み、判断が肯定的であれば、動作はステップＳ７に進む。
【0046】
ステップＳ４では、測定制御部２４は、静電容量式変位計１４の計測結果を記録部２４ａに記録する。ステップＳ５では、測定制御部２４は、昇降機構２０を制御して、ビーム１２とともに押圧ピン１６，１７および静電容量式変位計１４を上昇させる。また、測定制御部２４は、位置決め治具（図示せず）と搬送部２２を制御して、計測が終了したアッセンブリユニット１をプラットフォーム１０から排出位置へ搬送する。ステップＳ６では、測定制御部２４は、計測されるべき次のアッセンブリユニット１があるか否か判断する。ステップＳ６の判断が肯定的であれば、動作はステップＳ１に戻り、判断が否定的であれば、動作は終了する。
【0047】
ステップＳ７では、測定制御部２４は、抵抗測定を指令する測定切替信号を抵抗測定計２６と切替部２８に供給する。この結果、抵抗測定計２６は上記回路の抵抗を測定し、抵抗値を測定制御部２４に供給する。ステップＳ８では、測定制御部２４は、抵抗測定計２６で測定された抵抗が所定の閾値より低いか否かを判断する。ステップＳ８の判断が肯定的であれば、動作はステップＳ４に進み、測定制御部２４は、静電容量式変位計１４の計測結果を記録部２４ａに記録する。ステップＳ８の判断が否定的であれば、動作はステップＳ９に進む。
【0048】
ステップＳ９では、測定制御部２４は警告を発する。例えば、測定制御部２４は、ディスプレイ装置（図示せず）に警告メッセージを表示させてもよいし、スピーカー（図示せず）を起動して警告音を発生させてもよい。そして、ステップＳ１０では、測定制御部２４は、検査装置を停止する。この後、動作は終了する。検査装置の操作者は、警告を認識し、必要な措置、例えば押圧ピン１６，１７の清掃を行って、措置の完了後に、検査装置を再起動させるだろう。
【0049】
このように、静電容量式変位計１４がプローブ１４ａと回転部材３との距離（あるいは回転部材３の高さ）を計測していない時間に、抵抗測定計２６は上記回路の抵抗を測定する。したがって、抵抗測定時に回転部材３とセンサグランド１４ｃとの間に、抵抗測定に伴う電圧が発生しないので、静電容量式変位計１４の測定に悪影響が及ぼされない。
【0050】
以上から明らかなように、上記回路の抵抗が閾値より低い場合（すなわち接触抵抗Ｒ１，Ｒ２が小さく、静電容量式変位計１４の計測結果が正確であると推定される場合）に、測定制御部２４は、抵抗の測定前に静電容量式変位計１４で計測された計測結果を記録部２４ａに記録する。他方、抵抗が閾値以上である高い場合（すなわち接触抵抗Ｒ１，Ｒ２が大きく、静電容量式変位計１４の計測結果が不正確であると推定される場合）に、測定制御部２４は、抵抗の測定前に静電容量式変位計１４で計測された計測結果を記録せず、警告を発する。したがって、信頼性が高い計測結果だけを記録することができる。
【0051】
接触抵抗Ｒ１，Ｒ２は、押圧ピン１６，１７の汚れの蓄積に伴って増加するため、短時間では増加しない。そのため、ステップＳ３の「抵抗測定時期」は、例えば検査装置の起動または直前の抵抗測定の一定時間後（例えば８時間後）として設定してもよい。
【0052】
あるいは、ステップＳ３の判断を省略し、各アッセンブリユニット１の回転部材３の高さ計測（ステップＳ２）の終了後、動作が抵抗測定（ステップＳ７）に進むようにしてもよい。この場合、アッセンブリユニット１の回転部材３の高さ計測の終了のたびに、上記回路の抵抗が測定され、抵抗が閾値以上である場合（すなわち静電容量式変位計１４の計測結果の信頼性が低い場合）、静電容量式変位計１４で計測された計測結果を記録せずに排除することができる。したがって、静電容量式変位計１４で計測された計測結果の信頼性が高まる。
【0053】
図５は検査装置の動作の他の例を示す。この動作は、図４の動作の修正であり、ステップＳ９，Ｓ１０を実行しない。ステップＳ８の判断が否定的であれば、動作はステップＳ５に進む。つまり、上記回路の抵抗が閾値以上である場合でも、検査装置は停止されず、アッセンブリユニット１は搬出位置へ搬送される。但し、このアッセンブリユニット１は、後の製造工程で使用されない。
【0054】
第２実施形態
図６に示すように、本発明の第２実施形態に係る検査装置は、押圧ピン１７の代わりに押圧ピン１８を有する。
図６に示すように、本発明の第２実施形態に係る検査装置は、押圧ピン１７の代わりに押圧ピン１８を有する。
【0055】
また、第２実施形態に係る検査装置は、ベース板２に接触して、ベース板２に電気的に接続される導電材料製のコンタクト部材２９を有し、コンタクト部材２９は切替部２８の共通端子２８ａに電気的に接続されている。この結果、共通端子２８ａはベース板２に電気的に接続されている。抵抗測定計２６が抵抗を測定する時、切替部２８は抵抗測定端子２８ｃを共通端子２８ａに電気的に接続し、抵抗測定計２６の第２の端子２６ｂは、ベース板２に電気的に接続される。コンタクト部材２９は、ピンの形状を有してもよいし、板の形状を有してもよいし、ブロックの形状を有していてもよい。
【0056】
さらに、第２実施形態に係る検査装置は、コンタクト部材２９をベース板２に接触させ、ベース板２から遠ざけるコンタクト部材操作部３２を有する。コンタクト部材操作部３２は、モータとボールねじの組み合わせでもよいし、電気式リニアアクチュエータでもよいし、気圧または油圧式リニアアクチュエータでもよい。
但し、コンタクト部材操作部３２は絶対必要というわけではない。例えば、コンタクト部材２９をベース板２が配置されるべき位置に向けて押圧するバネ（図示せず）を設けて、ベース板２がプラットフォーム１０に載置されたら、バネの力によってコンタクト部材２９がベース板２に接触するようにしてもよい。ビーム１２の下降時には、アッセンブリユニット１の重量および押圧ピン１６，１８の押圧力により、ベース板２はプラットフォーム１０上で動かなくなり、コンタクト部材２９はバネの力で確実にベース板に接触する。アッセンブリユニット１の搬送時には、押圧ピン１６，１８を上昇させ、搬送部２２は、コンタクト部材２９からアッセンブリユニット１が離れるようにアッセンブリユニット１を持ち上げればよい。
但し、コンタクト部材操作部３２は絶対必要というわけではない。例えば、コンタクト部材２９をベース板２が配置されるべき位置に向けて押圧するバネ（図示せず）を設けて、ベース板２がプラットフォーム１０に載置されたら、バネの力によってコンタクト部材２９がベース板２に接触するようにしてもよい。ビーム１２の下降時には、アッセンブリユニット１の重量および押圧ピン１６，１８の押圧力により、ベース板２はプラットフォーム１０上で動かなくなり、コンタクト部材２９はバネの力で確実にベース板に接触する。アッセンブリユニット１の搬送時には、押圧ピン１６，１８を上昇させ、搬送部２２は、コンタクト部材２９からアッセンブリユニット１が離れるようにアッセンブリユニット１を持ち上げればよい。
【0057】
好ましくは、コンタクト部材２９は、ベース板２の回転部材３が配置された面と反対側の面、すなわち下面に接触させられる。コンタクト部材２９がベース板２の下面を擦傷しても、ベース板２の下面の損傷は目立たない。
【0058】
他の特徴は、第１実施形態の検査装置の特徴と同じである。
【0059】
昇降機構２０によってビーム１２が下降させられた時、ビーム１２に固定された押圧ピン１６，１８は、アッセンブリユニット１のベース板２をプラットフォーム１０に向けて押圧してアッセンブリユニット１を固定する。押圧ピン１８は押圧ピン１６と同じである。したがって、途中部分に絶縁体を設けた特殊な押圧ピン１７は必要ない。金属である押圧ピン１６，１８は、ベース板２を押圧する時の衝撃に対する耐性の点で押圧ピン１７よりも優れている。また、押圧ピン１６，１８は、同じ熱膨張率を有するので、温度が変化しても、ベース板２を均等な力で押圧することができる。
【0060】
第１実施形態と同様に、切替部２８は、抵抗測定計２６が抵抗を測定する時、抵抗測定計２６をベース板２に電気的に接続し、静電容量式変位計１４が回転部材３の高さを計測する時、抵抗測定計２６をベース板２から電気的に切り離す。
【0061】
測定制御部２４が供給する測定切替信号が高さ計測を指令する場合、抵抗測定計２６は休止し、切替部２８は接地端子２８ｂを共通端子２８ａに電気的に接続する。したがって、静電容量式変位計１４が回転部材３の高さを計測する時、切替部２８は、抵抗測定計２６をベース板２から電気的に切り離すとともに、静電容量式変位計１４のセンサグランド１４ｃに電気的に接続されたビーム１２を、コンタクト部材２９ひいてはベース板２に電気的に接続する。ビーム１２の下降時には、ビーム１２に固定された押圧ピン１６，１８がベース板２に接触するので、ビーム１２は押圧ピン１６，１８を介してベース板２に電気的に接続される。さらに切替部２８がベース板２をビーム１２に電気的に接続することによって、押圧ピン１６，１８が汚れていても（接触抵抗Ｒ１，Ｒ２が高くても）、センサグランド１４ｃがより確実に回転部材３と同電位になる。静電容量式変位計１４は、プローブ１４ａと回転部材３との距離を計測し、計測結果を測定制御部２４に供給する。
【0062】
測定制御部２４が供給する測定切替信号が抵抗測定を指令する場合、抵抗測定計２６は起動し、切替部２８は抵抗測定端子２８ｃを共通端子２８ａに電気的に接続し、抵抗測定計２６の第２の端子２６ｂをコンタクト部材２９に電気的に接続する。したがって、抵抗測定計２６が抵抗を測定する時、切替部２８は、抵抗測定計２６をベース板２に電気的に接続する。この結果、切替部２８は、ビーム１２、押圧ピン１６，１８、ベース板２、コンタクト部材２９を有する回路に抵抗測定計２６を接続する。そして、抵抗測定計２６はこの回路に電流を流して、この回路の抵抗を測定し、抵抗値を測定制御部２４に供給する。したがって、抵抗測定計２６は、ビーム１２、押圧ピン１６，１８、ベース板２、コンタクト部材２９を有する回路の抵抗を測定する。測定される抵抗は、ほぼ接触抵抗Ｒ１，Ｒ２の合成抵抗Ｒ１・Ｒ２／（Ｒ１＋Ｒ２）と、接触抵抗Ｒ３の合計である。接触抵抗Ｒ３はベース板２とコンタクト部材２９との間の接触抵抗である。但し、ビーム１２、押圧ピン１６，１８、ベース板２、コンタクト部材２９の抵抗も僅かではあるが、測定される抵抗に含まれる。
【0063】
このように、静電容量式変位計１４がプローブ１４ａと回転部材３との距離（あるいは回転部材３の高さ）を計測していない時間に、抵抗測定計２６は上記回路の抵抗を測定する。したがって、抵抗測定時に回転部材３とセンサグランド１４ｃとの間に、抵抗測定に伴う電圧が発生しないので、静電容量式変位計１４の測定に悪影響が及ぼされない。
【0064】
第２実施形態では、静電容量式変位計１４の使用時に、切替部２８がコンタクト部材２９を介してベース板２をビーム１２に電気的に接続することによって、押圧ピン１６，１８が汚れていても（接触抵抗Ｒ１，Ｒ２が高くても）、静電容量式変位計１４のセンサグランド１４ｃがより確実に回転部材３と同電位になる。したがって、押圧ピン１６，１８の汚れは、静電容量式変位計１４の測定精度に顕著に影響しない。押圧ピン１６，１８の清掃は、第１実施形態よりも頻繁に行わなくてよい。
【0065】
しかし、コンタクト部材２９は、多数の計測対象であるアッセンブリユニット１のベース板２について使用されるので、コンタクト部材２９が擦傷し、コンタクト部材２９から生じた擦傷粉は酸化して絶縁体となりうる。酸化した擦傷粉はコンタクト部材２９に付着しうる。コンタクト部材２９に蓄積した酸化した擦傷粉つまり汚れのため、接触抵抗Ｒ３が増加する。このため、静電容量式変位計１４のセンサグランド１４ｃの電位が回転部材３の電位とは異なってしまう。
【0066】
【0067】
ステップＳ１で、第１実施形態と同様に、測定制御部２４は、搬送部２２を制御して、計測されるべきアッセンブリユニット１をプラットフォーム１０上に搬送し、位置決め治具（図示せず）を制御して、アッセンブリユニット１をプラットフォーム１０上の所定の計測位置に位置決めする。測定制御部２４は、昇降機構２０を制御して、ビーム１２とともに押圧ピン１６，１８および静電容量式変位計１４を下降させる。さらに、第２実施形態では、ステップＳ１で、測定制御部２４は、コンタクト部材操作部３２を制御して、アッセンブリユニット１のベース板２の下面にコンタクト部材２９を接触させる。
【0068】
第２実施形態では、ステップＳ５で、測定制御部２４は、コンタクト部材操作部３２を制御して、計測が終了したアッセンブリユニット１のベース板２の下面からコンタクト部材２９を遠ざける。そして、第１実施形態と同様に、昇降機構２０を制御して、ビーム１２とともに押圧ピン１６，１８および静電容量式変位計１４を上昇させる。また、測定制御部２４は、位置決め治具（図示せず）と搬送部２２を制御して、計測が終了したアッセンブリユニット１をプラットフォーム１０から排出位置へ搬送する。
【0069】
ステップＳ８（図４）で使用される「閾値」は、第１実施形態のそれらと異なる。
【0070】
また、ステップＳ１０で検査装置が停止した後、検査装置の操作者は、コンタクト部材２９の清掃または交換を行うであろう。この時、押圧ピン１６，１８を清掃してもよい。
【0071】
図４から明らかなように、上記回路の抵抗が閾値より低い場合（すなわち接触抵抗Ｒ３が小さく、静電容量式変位計１４の計測結果が正確であると推定される場合）に、測定制御部２４は、抵抗の測定前に静電容量式変位計１４で計測された計測結果を記録部２４ａに記録する。他方、抵抗が閾値以上である高い場合（すなわち接触抵抗Ｒ３が大きく、静電容量式変位計１４の計測結果が不正確であると推定される場合）に、測定制御部２４は、抵抗の測定前に静電容量式変位計１４で計測された計測結果を記録せず、警告を発する。したがって、信頼性が高い計測結果だけを記録することができる。
【0072】
図７に示すように、第２実施形態の変形例では、コンタクト部材としてコンタクトピン（接続プラグ）３０を使用する。コンタクトピン３０は、ベース板２の孔部３１に挿入されて、ベース板２に電気的に接続される。アッセンブリユニット１のベース板２の回転部材３が配置された面と反対側の面、すなわち下面には、孔部３１が形成されている。孔部３１は、アッセンブリユニット１を他の部品、例えば筐体に取り付けるための孔の１つであってよい。孔部３１はネジ孔でもよい。孔部３１には、コンタクトピン３０の一部が挿入される。孔部３１はベース板２の下面に形成されているので、コンタクトピン３０が孔部３１の内周面を擦傷しても、損傷は目立たない。コンタクト部材操作部３２は、コンタクトピン３０を孔部３１に挿入し、孔部３１から抜き出す。
【0073】
他の特徴は、第２実施形態の検査装置の特徴と同じである。
【0074】
コンタクトピン３０の具体例を詳述する。
図８および図９は、コンタクトピン３０の一例を示す。コンタクトピン３０は、スリーブ３４、シャフト３５および拡張部３６を有する。スリーブ３４、シャフト３５および拡張部３６は、いずれも導電材料である金属製である。
図８および図９は、コンタクトピン３０の一例を示す。コンタクトピン３０は、スリーブ３４、シャフト３５および拡張部３６を有する。スリーブ３４、シャフト３５および拡張部３６は、いずれも導電材料である金属製である。
【0075】
スリーブ３４は底部を有する円筒形状を有する。シャフト３５は、円柱形状を有し、スリーブ３４に挿入されている。シャフト３５はスリーブ３４よりも長く、スリーブ３４から突出する。
【0076】
拡張部３６は、複数の板バネ３７から構成されており、スリーブ３４から突出したシャフト３５の部分の径方向外側に配置され、径方向に拡張および縮小可能である。各板バネ３７の一端部３７ａは、シャフト３５の突出部分の先端に固定されているが、他端部３７ｂは、シャフト３５には固定されておらず、スリーブ３４の上端の口縁に固定されている。
【0077】
図９に示すように、拡張部３６をベース板２の孔部３１に挿入していない非使用状態では、各板バネ３７はシャフト３５の軸線方向に長く伸びており、したがって拡張部３６は径方向に縮小している。
【0078】
図８に示すように、シャフト３５の突出部とともに拡張部３６を孔部３１に挿入すると、シャフト３５の上端面が孔部３１の上端面に突き当たり、シャフト３５の上端面はベース板２に面接触させられる。そして、矢印Ａで示すようにスリーブ３４を上昇させると、各板バネ３７はスリーブ３４の上端の口縁から力を受けてシャフト３５の軸線方向に沿って圧縮させられ、拡張部３６は径方向に拡張し、孔部３１の内周面に接触する。この状態で、コンタクトピン３０は使用される。拡張部３６を構成する板バネ３７が孔部３１の内周面に接触するので、接触抵抗Ｒ３は小さい。
【0079】
各板バネ３７の変形量は、スリーブ３４の上昇量に依存する。孔部３１の直径が小さい場合には、スリーブ３４を僅かに上昇させれば、拡張部３６を構成する板バネ３７が孔部３１の内周面に接触する。孔部３１の直径が大きい場合には、スリーブ３４を大きく上昇させれば、拡張部３６を構成する板バネ３７が孔部３１の内周面に接触する。いずれにせよ、拡張部３６は孔部３１の内周面に安定して接触する。
【0080】
シャフト３５の突出部とともに拡張部３６を孔部３１から抜き出す際、スリーブ３４を下方に移動させれば、端部３７ｂがスリーブ３４に固定された板バネ３７は板バネ３７自身の復元力でシャフト３５の軸線方向に伸長し、拡張部３６は径方向に縮小する。こうして、拡張部３６は図９の状態に戻る。
【0081】
このように、拡張部３６は、孔部３１への挿入時に径方向に拡張し、孔部３１からの抜き出し時に径方向に縮小する。したがって、拡張部３６と孔部３１の内周面との間の摩擦は最小限であり、孔部３１の内周面の損傷のおそれが少ない。
【0082】
コンタクト部材操作部３２（図７）はスリーブ３４を上下に移動させる。
【0083】
図１０（Ａ）および図１０（Ｂ）は、コンタクトピン３０の一部を拡大してその詳細を示す。４枚の同形同大の板バネ３７がシャフト３５の突出部分の周囲に等しい角間隔をおいて配置されている。この場合、孔部３１は丸孔でなくてもよく、例えば断面が正方形の角孔であってもよい。
【0084】
拡張部３６を構成するバネの数は４に限定されない。図１１（Ａ）および図１１（Ｂ）は、コンタクトピン３０の変形例の一部を拡大して示す。この変形例では、拡張部３６は１６の同形同大のワイヤバネ３８を有し、ワイヤバネ３８がシャフト３５の突出部分の周囲に等しい角間隔をおいて配置されている。各ワイヤバネ３８の一端部３８ａは、シャフト３５の突出部分の先端に固定されているが、他端部３８ｂは、シャフト３５には固定されておらず、スリーブ３４の上端の口縁に固定されている。この場合、孔部３１は丸孔でなくてもよく、例えば断面が正方形の角孔であってもよい。ワイヤバネ３８は、板バネ３７よりも孔部３１の内周面を擦傷するおそれが少ない。また、板バネ３７で構成された拡張部３６は、図１０（Ｂ）の平面図に示すように、仮想線で示された丸孔である孔部３１との接触面積が小さいが、ワイヤバネ３８で構成された拡張部３６は、図１１（Ｂ）の平面図に示すように、仮想線で示された丸孔である孔部３１との接触面積が大きい。
【0085】
拡張部３６を構成するバネの数は２でもよいし、３枚でもよい。
【0086】
図１２および図１３は、他の例のコンタクトピン３０Ａを示す。コンタクトピン３０Ａにおいては、シャフト３５の下端にオネジ部３５ｔが形成されており、スリーブ３４の内周面にはメネジ部３４ｔが形成されている。オネジ部３５ｔはメネジ部３４ｔにねじ込まれている。
【0087】
各板バネ３７の一端部３７ａは、シャフト３５の突出部分の先端に固定されているが、他端部３７ｂは、シャフト３５にもスリーブ３４にも固定されていない。したがって、スリーブ３４を回転させても、板バネ３７はねじられない。
【0088】
図１３に示すように、拡張部３６をベース板２の孔部３１に挿入していない非使用状態では、各板バネ３７はシャフト３５の軸線方向に長く伸びており、したがって拡張部３６は径方向に縮小している。
【0089】
図１２に示すように、シャフト３５の突出部とともに拡張部３６を孔部３１に挿入すると、シャフト３５の上端面が孔部３１の上端面に突き当たり、シャフト３５の上端面はベース板２に面接触させられる。そして、矢印Ｂで示すようにスリーブ３４を回転させながら上昇させると、各板バネ３７はスリーブ３４の上端の口縁から力を受けてシャフト３５の軸線方向に沿って圧縮させられ、拡張部３６は径方向に拡張し、孔部３１の内周面に接触する。この状態で、コンタクトピン３０は使用される。拡張部３６を構成する板バネ３７が孔部３１の内周面に接触するので、接触抵抗Ｒ３は小さい。
【0090】
シャフト３５の突出部とともに拡張部３６を孔部３１から抜き出す際、スリーブ３４を矢印Ｂと逆方向に回転させながら下方に移動させれば、板バネ３７は板バネ３７自身の復元力でシャフト３５の軸線方向に伸長し、拡張部３６は径方向に縮小する。こうして、拡張部３６は図１３の状態に戻る。
【0091】
コンタクト部材操作部３２（図７）はスリーブ３４を回転させる。
【0092】
この例では、オネジ部３５ｔとメネジ部３４ｔによって、スリーブ３４を上昇させて拡張部３６が拡張した状態を安定して維持することができる。
【0093】
図１４および図１５は、他の例のコンタクトピン３０Ｂを示す。コンタクトピン３０Ｂにおいては、シャフト３５の下端に径方向に延びる孔３５ｈが形成されており、スリーブ３４の外周面にはロックピンガイド３４ｇが固定されている。ロックピンガイド３４ｇには貫通孔が形成され、その貫通孔にはロックピン３４ｐが挿入されている。
【0094】
各板バネ３７の一端部３７ａは、シャフト３５の突出部分の先端に固定されているが、他端部３７ｂは、シャフト３５に固定されておらず、スリーブ３４に固定されている。
【0095】
図１５に示すように、拡張部３６をベース板２の孔部３１に挿入していない非使用状態では、各板バネ３７はシャフト３５の軸線方向に長く伸びており、したがって拡張部３６は径方向に縮小している。
【0096】
図１４に示すように、シャフト３５の突出部とともに拡張部３６を孔部３１に挿入すると、シャフト３５の上端面が孔部３１の上端面に突き当たり、シャフト３５の上端面はベース板２に面接触させられる。そして、矢印Ａで示すようにスリーブ３４を上昇させると、各板バネ３７はスリーブ３４の上端の口縁から力を受けてシャフト３５の軸線方向に沿って圧縮させられ、拡張部３６は径方向に拡張し、孔部３１の内周面に接触する。この状態で、ロックピン３４ｐをシャフト３５の孔３５ｈに挿入して、コンタクトピン３０は使用される。拡張部３６を構成する板バネ３７が孔部３１の内周面に接触するので、接触抵抗Ｒ３は小さい。
【0097】
シャフト３５の突出部とともに拡張部３６を孔部３１から抜き出す際、ロックピン３４ｐをシャフト３５の孔３５ｈから抜き出して、スリーブ３４を下方に移動させれば、板バネ３７は板バネ３７自身の復元力でシャフト３５の軸線方向に伸長し、拡張部３６は径方向に縮小する。こうして、拡張部３６は図１５の状態に戻る。
【0098】
この例では、ロックピン３４ｐによって、スリーブ３４を上昇させて拡張部３６が拡張した状態を安定して維持することができる。
【0099】
コンタクトピン３０の拡張部３６の孔部３１の内周面に対する接触圧を推定することができると好ましい。接触圧が小さいと、接触抵抗Ｒ３（図７参照）が高くなり、静電容量式変位計１４の測定結果および抵抗測定計２６の測定結果が不正確となりうる。一方、接触圧が大きいと、孔部３１の内周面が損傷するおそれがある。そこで、接触圧を推定するための機構を設けることが好ましい。
【0100】
図１６（Ａ）および図１６（Ｂ）は、コンタクトピン３０の拡張部３６の孔部３１の内周面に対する接触圧を推定するための機構を備えた変形例に係るコンタクトピン３０Ｃを示す。コンタクトピン３０Ｃは、半円筒形の導電材料製のスリーブ部３４Ａ，３４Ｂを有するスリーブ３４と、円柱形のシャフト３５と、拡張部３６を有する。シャフト３５はここでは絶縁材料から形成されている。コンタクトピン３０Ｃの軸線を含む平面で、スリーブ３４は２分割されて、スリーブ部３４Ａ，３４Ｂが設けられている。
【0101】
拡張部３６は、複数の板バネ４７から構成されており、スリーブ３４から突出したシャフト３５の部分の径方向外側に配置され、径方向に拡張および縮小可能である。各板バネ４７の一端部４７ａは、シャフト３５の突出部分の先端に固定されているが、他端部４７ｂは、シャフト３５には固定されておらず、スリーブ３４の上端の口縁に固定されている。
【0102】
板バネ４７は、スリーブ３４を２分割する面以外の箇所に配置されている。スリーブ部３４Ａ，３４Ｂの間には、絶縁材料製の絶縁シート４４が挟み込まれており、スリーブ部３４Ａ，３４Ｂは絶縁されている。図示の４枚の板バネ４７のうち２枚の板バネ４７は、他の２枚の板バネ４７から絶縁シート４４によって絶縁されている。一方、スリーブ部３４Ａ、および２枚の板バネ４７は電気的に接続され、スリーブ部３４Ｂおよび他の２枚の板バネ４７は電気的に接続されている。
【0103】
拡張部３６が孔部３１に挿入された状態で、スリーブ部３４Ａおよび２枚の板バネ４７を有する組と、スリーブ部３４Ｂおよび他の２枚の板バネ４７を有する組の間の抵抗を測定することによって、拡張部３６の孔部３１の内周面に対する接触圧を推定することができる。抵抗がある値になれば、接触圧は適切であり。抵抗がその値より高ければ、接触圧は低い。抵抗がその値より低ければ、接触圧は高い。接触圧が適切とは、孔部３１の内周面に擦傷痕を残さず、かつ拡張部３６と孔部３１の内周面の抵抗が十分に低いことを意味する。
【0104】
図１７を用いて、図１６（Ａ）および図１６（Ｂ）の具体的な構成について詳述する。説明の簡略化のため、２枚の板バネ４７（４７１，４７２）のみを図１７に示す。スリーブ部３４Ａ，３４Ｂは、それぞれ抵抗計４８の２つの端子に接続されている。抵抗計４８は、スリーブ部３４Ａと板バネ４７１を有する組、ベース板２、およびスリーブ部３４Ｂと板バネ４７２を有する組を流れる電流の抵抗を測定する。図示の測定方法は、２端子測定法であるが、４端子測定法を使用してもよい。
【0105】
測定された抵抗が一定範囲より高ければ、コンタクト部材操作部３２（図７参照）は、スリーブ３４を上昇させ、拡張部３６を径方向に拡張させる。コンタクト部材操作部３２は、抵抗が上記値の付近の一定範囲になった時点で、スリーブ３４の上昇を停止させる。抵抗が一定範囲より低ければ、コンタクト部材操作部３２はスリーブ３４を下降させて拡張部３６を径方法に縮小させる。
【0106】
この変形例では、スリーブ部３４Ａ，３４Ｂには径方向内側に突出する突起３４Ｃ，３４Ｄがそれぞれ形成され、シャフト３５には径方向外側に突出する突起環３５Ｃが形成されている。突起３４Ｃ，３４Ｄと突起環３５Ｃの間には、シャフト３５を包囲するコイルバネ４６が配置されている。コイルバネ４６は、スリーブ３４が上昇して、拡張部３６を孔部３１に挿入する時、拡張部３６の変形を緩和する。
【0107】
図１８は、さらに他の変形例を示す。図１７の抵抗計４８は、コンタクトピン３０の拡張部３６の孔部３１の内周面に対する接触圧を推定するために使用され、一旦、ベース板２に対するスリーブ部３４の位置が確定すれば、抵抗計４８を使用する必要はない。そこで、この変形例では、スリーブ部３４Ａと抵抗計４８の間にスイッチ４９が配置されている。スリーブ部３４Ｂは、接続線４３に電気的に接続されている。接続線４３は、切替部２８（図７）の共通端子２８ａに電気的に接続されている。
【0108】
コンタクトピン３０の拡張部３６をベース板２の孔部３１に挿入する時、スイッチ４９は、スリーブ部３４Ａを抵抗計４８に電気的に接続し、抵抗計４８はスリーブ部３４Ａと板バネ４７１を有する組、ベース板２、およびスリーブ部３４Ｂと板バネ４７２を有する組を流れる電流の抵抗を測定可能となる。拡張部３６の位置の確定後、スイッチ４９は、スリーブ部３４Ａ，３４Ｂを互いに電気的に接続する。これにより、すべての板バネ４７が接続線４３を介して切替部２８の共通端子２８ａに電気的に接続され、抵抗測定計２６はより正確に抵抗を測定することができる。
【0109】
【0110】
コンタクトピン３０Ｄでは、各板バネ３７の外側の面に感圧センサ５０が貼付されている。感圧センサ５０は例えば歪ゲージであってよい。感圧センサ５０は、板バネ３７とベース板２の孔部３１の内周面との間に配置され、板バネ３７と孔部３１の内周面の間で圧縮されるので、コンタクトピン３０の拡張部３６の孔部３１の内周面に対する接触圧を高感度で測定することができる。板バネ３７はベース板２の孔部３１の内周面と直接接触しないが、感圧センサ５０の少なくとも一部分は導電体で形成され、板バネ３７がベース板２の孔部３１の内周面と感圧センサ５０を介して電気的に接続されている。
【0111】
コンタクトピン３０Ｅでは、各板バネ３７の内側の面に感圧センサ５１が貼付されている。感圧センサ５１は例えば歪ゲージであってよい。感圧センサ５１で測定された板バネ３７の歪の量からコンタクトピン３０の拡張部３６の孔部３１の内周面に対する接触圧を推定することができる。感圧センサ５１が各板バネ３７の内側の面に配置されているので、板バネ３７は孔部３１の内周面に直接接触する。
【0112】
図１９（Ａ）および図１９（Ｂ）のいずれの場合も、感圧センサで測定された歪の量が一定範囲より低ければ、コンタクト部材操作部３２（図７参照）は、スリーブ３４を上昇させ、拡張部３６を径方向に拡張させる。コンタクト部材操作部３２は、歪の量が適正値の付近の一定範囲になった時点で、スリーブ３４の上昇を停止させる。歪の量が一定範囲より高ければ、コンタクト部材操作部３２はスリーブ３４を下降させて拡張部３６を径方法に縮小させる。
【0113】
第３実施形態
図２０に示すように、本発明の第３実施形態に係る検査装置は、第２実施形態と同様に、押圧ピン１８を有する。
図２０に示すように、本発明の第３実施形態に係る検査装置は、第２実施形態と同様に、押圧ピン１８を有する。
【0114】
また、第３実施形態に係る検査装置は、ベース板２の２つの地点の間の抵抗を測定するため、ベース板２の２つの地点にそれぞれ接触して、ベース板２に電気的に接続される導電材料製のコンタクト部材２９，５９を有する。コンタクト部材２９，５９は、第２実施形態のコンタクト部材２９と同じよい。
【0115】
好ましくは、コンタクト部材２９，５９は、ベース板２の回転部材３が配置された面と反対側の面、すなわち下面に接触させられる。コンタクト部材２９，５９がベース板２の下面を擦傷しても、ベース板２の下面の損傷は目立たない。
【0116】
コンタクト部材操作部３２は、コンタクト部材２９，５９の両方をベース板２に接触させ、ベース板２から遠ざける。第２実施形態に関して上述したように、コンタクト部材操作部３２は絶対必要というわけではない。
【0117】
さらに、この検査装置は、コンタクト部材２９，５９にそれぞれ対応する２つの切替部６８，６９をさらに備える。抵抗測定計２６が抵抗を測定する時、２つの切替部６８，６９は、抵抗測定計２６をベース板２の２つの地点に電気的に接続する。一方、静電容量式変位計１４が距離を計測する時、２つの切替部６８，６９は、抵抗測定計２６をベース板２から電気的に切り離す。
【0118】
具体的には、切替部６８は、共通端子６８ａ、接地端子６８ｂおよび抵抗測定端子６８ｃを有する。共通端子６８ａは、コンタクト部材２９に電気的に接続されている。接地端子６８ｂは、ビーム１２に電気的に接続されている。抵抗測定端子６８ｃは、抵抗測定計２６の第２の端子２６ｂに電気的に接続されている。
【0119】
切替部６９は、共通端子６９ａ、接地端子６９ｂおよび抵抗測定端子６９ｃを有する。共通端子６９ａは、コンタクト部材５９に電気的に接続されている。接地端子６９ｂは、ビーム１２に電気的に接続されている。抵抗測定端子６９ｃは、抵抗測定計２６の第１の端子２６ａに電気的に接続されている。
【0120】
他の特徴は、第２実施形態の検査装置の特徴と同じである。
【0121】
測定制御部２４が供給する測定切替信号が高さ計測を指令する場合、抵抗測定計２６は休止し、切替部６８，６９はそれぞれ接地端子６８ｂ，６９ｂを共通端子６８ａ，６９ａに電気的に接続する。したがって、静電容量式変位計１４が回転部材３の高さを計測する時、切替部２８は、抵抗測定計２６をベース板２から電気的に切り離すとともに、静電容量式変位計１４のセンサグランド１４ｃに電気的に接続されたビーム１２を、コンタクト部材２９，５９ひいてはベース板２に電気的に接続する。ビーム１２の下降時には、ビーム１２に固定された押圧ピン１６，１８がベース板２に接触するので、ビーム１２は押圧ピン１６，１８を介してベース板２に電気的に接続される。さらに切替部６８，６９がベース板２をビーム１２に電気的に接続することによって、押圧ピン１６，１８が汚れていても、センサグランド１４ｃがより確実に回転部材３と同電位になる。静電容量式変位計１４は、プローブ１４ａと回転部材３との距離を計測し、計測結果を測定制御部２４に供給する。
【0122】
測定制御部２４が供給する測定切替信号が抵抗測定を指令する場合、抵抗測定計２６は起動し、切替部６８，６９はそれぞれ抵抗測定端子６８ｃ，６９ｃを共通端子６８ａ，６９ａに電気的に接続し、抵抗測定計２６の第１の端子２６ａと第２の端子２６ｂをコンタクト部材２９，５９に電気的に接続する。したがって、抵抗測定計２６が抵抗を測定する時、切替部６８，６９は、抵抗測定計２６をベース板２に電気的に接続する。この結果、切替部６８，６９は、コンタクト部材２９、ベース板２、コンタクト部材５９を有する回路に抵抗測定計２６を接続する。そして、抵抗測定計２６はこの回路に電流を流して、この回路の抵抗を測定し、抵抗値を測定制御部２４に供給する。したがって、抵抗測定計２６は、コンタクト部材２９、ベース板２、コンタクト部材５９を有する回路の抵抗を測定する。測定される抵抗は、ほぼ接触抵抗Ｒ３と接触抵抗Ｒ４の合計である。接触抵抗Ｒ３はベース板２とコンタクト部材２９との間の接触抵抗であり、接触抵抗Ｒ４はベース板２とコンタクト部材５９との間の接触抵抗であり、ビーム１２、押圧ピン１６，１８の抵抗は含まれない。但し、ベース板２、コンタクト部材２９，５９の抵抗も僅かではあるが、測定される抵抗に含まれる。
【0123】
このように、静電容量式変位計１４がプローブ１４ａと回転部材３との距離（あるいは回転部材３の高さ）を計測していない時間に、抵抗測定計２６は上記回路の抵抗を測定する。したがって、抵抗測定時に回転部材３とセンサグランド１４ｃとの間に、抵抗測定に伴う電圧が発生しないので、静電容量式変位計１４の測定に悪影響が及ぼされない。
【0124】
第３実施形態では、静電容量式変位計１４の使用時に、切替部６８，６９がコンタクト部材２９，５９を介してベース板２をビーム１２に電気的に接続することによって、押圧ピン１６，１８が汚れていても（図６の接触抵抗Ｒ１，Ｒ２が高くても）、静電容量式変位計１４のセンサグランド１４ｃがより確実に回転部材３と同電位になる。したがって、押圧ピン１６，１８の汚れは、静電容量式変位計１４の測定精度に顕著に影響しない。押圧ピン１６，１８の清掃は、第１実施形態よりも頻繁に行わなくてよい。
【0125】
しかし、コンタクト部材２９，５９は、多数の計測対象であるアッセンブリユニット１のベース板２について使用されるので、コンタクト部材２９，５９が擦傷し、コンタクト部材２９，５９から生じた擦傷粉は酸化して絶縁体となりうる。酸化した擦傷粉はコンタクト部材２９，５９に付着しうる。コンタクト部材２９，５９に蓄積した酸化した擦傷粉つまり汚れのため、接触抵抗Ｒ３，Ｒ４が増加する。このため、静電容量式変位計１４のセンサグランド１４ｃの電位が回転部材３の電位とは異なってしまう。
【0126】
【0127】
ステップＳ１で、第１実施形態と同様に、測定制御部２４は、搬送部２２を制御して、計測されるべきアッセンブリユニット１をプラットフォーム１０上に搬送し、位置決め治具（図示せず）を制御して、アッセンブリユニット１をプラットフォーム１０上の所定の計測位置に位置決めする。測定制御部２４は、昇降機構２０を制御して、ビーム１２とともに押圧ピン１６，１８および静電容量式変位計１４を下降させる。さらに、第３実施形態では、ステップＳ１で、測定制御部２４は、コンタクト部材操作部３２を制御して、アッセンブリユニット１のベース板２の下面にコンタクト部材２９，５９を接触させる。
【0128】
第３実施形態では、ステップＳ２で、測定制御部２４は、高さ計測を指令する測定切替信号を抵抗測定計２６と切替部６８，６９に供給する。
【0129】
第３実施形態では、ステップＳ５で、測定制御部２４は、コンタクト部材操作部３２を制御して、計測が終了したアッセンブリユニット１のベース板２の下面からコンタクト部材２９，５９を遠ざける。そして、第１実施形態と同様に、昇降機構２０を制御して、ビーム１２とともに押圧ピン１６，１８および静電容量式変位計１４を上昇させる。また、測定制御部２４は、位置決め治具（図示せず）と搬送部２２を制御して、計測が終了したアッセンブリユニット１をプラットフォーム１０から排出位置へ搬送する。
【0130】
ステップＳ７では、測定制御部２４は、抵抗測定を指令する測定切替信号を抵抗測定計２６と切替部６８，６９に供給する。
【0131】
ステップＳ８（図４）で使用される「閾値」は、第１実施形態および第２実施形態のそれらと異なる。
【0132】
また、ステップＳ１０で検査装置が停止した後、検査装置の操作者は、コンタクト部材２９，５９の清掃または交換を行うであろう。この時、押圧ピン１６，１８を清掃してもよい。
【0133】
図４から明らかなように、上記回路の抵抗が閾値より低い場合（すなわち接触抵抗Ｒ３，Ｒ４が小さく、静電容量式変位計１４の計測結果が正確であると推定される場合）に、測定制御部２４は、抵抗の測定前に静電容量式変位計１４で計測された計測結果を記録部２４ａに記録する。他方、抵抗が閾値以上である高い場合（すなわち接触抵抗Ｒ３，Ｒ４が大きく、静電容量式変位計１４の計測結果が不正確であると推定される場合）に、測定制御部２４は、抵抗の測定前に静電容量式変位計１４で計測された計測結果を記録せず、警告を発する。したがって、信頼性が高い計測結果だけを記録することができる。
【0134】
図２１に示すように、第３実施形態の変形例では、コンタクト部材としてコンタクトピン（接続プラグ）３０，６０を使用する。コンタクトピン３０は、ベース板２の孔部３１に挿入されて、ベース板２に電気的に接続される。コンタクトピン６０は、ベース板２の孔部６１に挿入されて、ベース板２に電気的に接続される。アッセンブリユニット１のベース板２の回転部材３が配置された面と反対側の面、すなわち下面には、孔部３１，６１が形成されている。孔部３１，６１は、アッセンブリユニット１を他の部品、例えば筐体に取り付けるための孔の２つであってよい。孔部３１，６１はネジ孔でもよい。孔部３１には、コンタクトピン３０の一部が挿入され、孔部６１には、コンタクトピン６０の一部が挿入される。孔部３１，６１はベース板２の下面に形成されているので、コンタクトピン３０，６０が孔部３１，６１の内周面を擦傷しても、損傷は目立たない。コンタクト部材操作部３２は、コンタクトピン３０，６０を孔部３１，６１に挿入し、孔部３１，６１から抜き出す。
【0135】
他の特徴は、第３実施形態の検査装置の特徴と同じである。
【0136】
コンタクトピン６０はコンタクトピン３０と同じタイプであってよい。コンタクトピン３０，６０の具体例は、図８から図１１を参照して詳述したコンタクトピン３０と同じであってよいし、図１２から図１９を参照して詳述した変形例のコンタクトピン３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ，３０Ｄ，３０Ｅのいずれかであってもよい。
【0137】
以上、本発明の好ましい実施形態を参照しながら本発明を図示して説明したが、当業者にとって特許請求の範囲に記載された発明の範囲から逸脱することなく、形式および詳細の変更が可能であることが理解されるであろう。このような変更、改変および修正は本発明の範囲に包含されるはずである。
【0138】
例えば、静電容量式変位計１４の計測対象は、アッセンブリユニット１の回転部材３に限られない。導電材料製の各種の物体が静電容量式変位計１４の計測対象となりうる。具体的な例としては、回転ヘッド装置が挙げられ、他例ではハードディスクドライブ（ＨＤＤ）などのモータアッセンブリユニットが挙げられる。さらに、平板、段差を有する部品なども計測対象となりうる。
【0139】
測定制御部２４は、コンピュータプログラムに従って動作するプロセッサの代わりに、ハードウェアで実行してもよいし、例えばFPGA（Field Programmable Gate Array），DSP（Digital Signal Processor）等のプログラマブルロジックデバイスで実行してもよい。
【0140】
前記の実施形態および変形例は、矛盾しない限り、組み合わせてもよい。
【0141】
なお、本技術は、以下のような構成をとることが可能である。
（１） 導電材料製の計測対象との距離を計測する静電容量式変位計と、
前記静電容量式変位計のセンサグランドが電気的に接続された接地部と、
前記計測対象が取り付けられた導電材料製の板である支持部を押圧して前記支持部を固定し、前記接地部に接触する２つの押圧ピンと、
前記静電容量式変位計が前記距離を計測していない時間に、前記支持部を含む部分の２つの地点の間の抵抗を測定する抵抗測定計と、
前記抵抗が閾値より低い場合に、前記抵抗の測定前に前記静電容量式変位計で計測された計測結果を記録する測定制御部とを備え、
前記２つの押圧ピンの少なくとも１つは導電材料製である
検査装置。
（２） 前記抵抗が閾値より高い場合に、前記測定制御部は、前記抵抗の測定前に前記静電容量式変位計で計測された前記計測結果を記録せず、警告を発する
ことを特徴とする（１）に記載の検査装置。
（３） 前記抵抗測定計は、前記接地部と前記支持部を含む回路の抵抗を測定する
ことを特徴とする（１）または（２）に記載の検査装置。
（４） 前記抵抗測定計が前記抵抗を測定する時、前記抵抗測定計を前記支持部に電気的に接続し、前記静電容量式変位計が前記距離を計測する時、前記抵抗測定計を前記支持部から電気的に切り離す切替部をさらに備える
ことを特徴とする（３）に記載の検査装置。
（５） 前記２つの押圧ピンの一方は、前記接地部に接触して前記支持部に接触しない導電材料製の第１の端部と、前記支持部に接触して前記接地部に接触しない導電材料製の第２の端部と、前記第１の端部と前記第２の端部の間に介在させられた絶縁材料製の絶縁部を有し、
前記切替部は、前記押圧ピンの前記第２の端部に電気的に接続された共通端子と、前記接地部に電気的に接続された接地端子と、前記抵抗測定計に電気的に接続された抵抗測定端子を有し、
前記抵抗測定計は、前記接地部に電気的に接続された第１の端子と、前記切替部の前記抵抗測定端子に電気的に接続されて、前記抵抗測定計が前記抵抗を測定する時、前記押圧ピンの前記第２の端部に電気的に接続される第２の端子を有する
ことを特徴とする（４）に記載の検査装置。
（６） 前記切替部は、前記支持部に電気的に接続された共通端子と、前記接地部に電気的に接続された接地端子と、前記抵抗測定計に電気的に接続された抵抗測定端子を有し、
前記抵抗測定計は、前記接地部に電気的に接続された第１の端子と、前記切替部の前記抵抗測定端子に電気的に接続されて、前記抵抗測定計が前記抵抗を測定する時、前記支持部に電気的に接続される第２の端子を有する
ことを特徴とする（４）に記載の検査装置。
（７） 前記支持部に接触して前記支持部に電気的に接続される導電材料製のコンタクト部材をさらに備え、
前記切替部の前記共通端子は、前記コンタクト部材に電気的に接続されている
ことを特徴とする（６）に記載の検査装置。
（８） 前記コンタクト部材は、前記支持部の前記計測対象が配置された面と反対の面に接触する
ことを特徴とする（７）に記載の検査装置。
（９） 前記支持部は孔部を有し、
前記コンタクト部材は、前記孔部に挿入されて前記支持部に電気的に接続されるコンタクトピンである
ことを特徴とする（７）に記載の検査装置。
（１０） 前記コンタクトピンは、径方向に拡張可能な拡張部を有し、前記拡張部は前記孔部への挿入時に径方向に拡張して前記孔部の内周面に接触し、前記孔部からの抜き出し時に径方向に縮小する
ことを特徴とする（９）に記載の検査装置。
（１１） 前記拡張部の前記孔部の前記内周面に対する接触圧を推定するための機構をさらに備えることを特徴とする（１０）に記載の検査装置。
（１２） 前記抵抗測定計は、前記支持部の２つの地点の間の抵抗を測定する
ことを特徴とする（１）または（２）に記載の検査装置。
（１３） ２つの切替部をさらに備え、
前記抵抗測定計が前記抵抗を測定する時、前記２つの切替部は、前記抵抗測定計を前記支持部の前記２つの地点に電気的に接続し、前記静電容量式変位計が前記距離を計測する時、前記２つの切替部は、前記抵抗測定計を前記支持部から電気的に切り離す
ことを特徴とする（１２）に記載の検査装置。
（１４） 前記支持部の前記２つの地点にそれぞれ接触して前記支持部に電気的に接続される導電材料製の２つのコンタクト部材をさらに備え、
各切替部は、前記コンタクト部材の１つに電気的に接続された共通端子と、前記接地部に電気的に接続された接地端子と、前記抵抗測定計に電気的に接続された抵抗測定端子を有し、
前記抵抗測定計は、前記２つの切替部の前記抵抗測定端子に電気的にそれぞれ接続されて、前記抵抗測定計が前記抵抗を測定する時、前記２つのコンタクト部材に電気的にそれぞれ接続される２つの端子を有する
ことを特徴とする（１３）に記載の検査装置。
（１５） 前記２つの地点は、前記支持部の前記計測対象が配置された面と反対側の面にある
ことを特徴とする（１４）に記載の検査装置。
（１６） 前記支持部は、前記２つの地点のそれぞれに２つの孔部を有し、
前記２つのコンタクト部材は、前記孔部にそれぞれ挿入されて前記支持部に電気的に接続される２つのコンタクトピンである
ことを特徴とする（１４）に記載の検査装置。
（１７） 各コンタクトピンは、径方向に拡張可能な拡張部を有し、前記拡張部は前記孔部への挿入時に径方向に拡張して前記孔部の内周面に接触し、前記孔部からの抜き出し時に径方向に縮小する
ことを特徴とする（１６）に記載の検査装置。
（１８） 各コンタクトピンの前記拡張部の対応する孔部の前記内周面に対する接触圧を推定するための機構をさらに備えることを特徴とする（１７）に記載の検査装置。
（１） 導電材料製の計測対象との距離を計測する静電容量式変位計と、
前記静電容量式変位計のセンサグランドが電気的に接続された接地部と、
前記計測対象が取り付けられた導電材料製の板である支持部を押圧して前記支持部を固定し、前記接地部に接触する２つの押圧ピンと、
前記静電容量式変位計が前記距離を計測していない時間に、前記支持部を含む部分の２つの地点の間の抵抗を測定する抵抗測定計と、
前記抵抗が閾値より低い場合に、前記抵抗の測定前に前記静電容量式変位計で計測された計測結果を記録する測定制御部とを備え、
前記２つの押圧ピンの少なくとも１つは導電材料製である
検査装置。
（２） 前記抵抗が閾値より高い場合に、前記測定制御部は、前記抵抗の測定前に前記静電容量式変位計で計測された前記計測結果を記録せず、警告を発する
ことを特徴とする（１）に記載の検査装置。
（３） 前記抵抗測定計は、前記接地部と前記支持部を含む回路の抵抗を測定する
ことを特徴とする（１）または（２）に記載の検査装置。
（４） 前記抵抗測定計が前記抵抗を測定する時、前記抵抗測定計を前記支持部に電気的に接続し、前記静電容量式変位計が前記距離を計測する時、前記抵抗測定計を前記支持部から電気的に切り離す切替部をさらに備える
ことを特徴とする（３）に記載の検査装置。
（５） 前記２つの押圧ピンの一方は、前記接地部に接触して前記支持部に接触しない導電材料製の第１の端部と、前記支持部に接触して前記接地部に接触しない導電材料製の第２の端部と、前記第１の端部と前記第２の端部の間に介在させられた絶縁材料製の絶縁部を有し、
前記切替部は、前記押圧ピンの前記第２の端部に電気的に接続された共通端子と、前記接地部に電気的に接続された接地端子と、前記抵抗測定計に電気的に接続された抵抗測定端子を有し、
前記抵抗測定計は、前記接地部に電気的に接続された第１の端子と、前記切替部の前記抵抗測定端子に電気的に接続されて、前記抵抗測定計が前記抵抗を測定する時、前記押圧ピンの前記第２の端部に電気的に接続される第２の端子を有する
ことを特徴とする（４）に記載の検査装置。
（６） 前記切替部は、前記支持部に電気的に接続された共通端子と、前記接地部に電気的に接続された接地端子と、前記抵抗測定計に電気的に接続された抵抗測定端子を有し、
前記抵抗測定計は、前記接地部に電気的に接続された第１の端子と、前記切替部の前記抵抗測定端子に電気的に接続されて、前記抵抗測定計が前記抵抗を測定する時、前記支持部に電気的に接続される第２の端子を有する
ことを特徴とする（４）に記載の検査装置。
（７） 前記支持部に接触して前記支持部に電気的に接続される導電材料製のコンタクト部材をさらに備え、
前記切替部の前記共通端子は、前記コンタクト部材に電気的に接続されている
ことを特徴とする（６）に記載の検査装置。
（８） 前記コンタクト部材は、前記支持部の前記計測対象が配置された面と反対の面に接触する
ことを特徴とする（７）に記載の検査装置。
（９） 前記支持部は孔部を有し、
前記コンタクト部材は、前記孔部に挿入されて前記支持部に電気的に接続されるコンタクトピンである
ことを特徴とする（７）に記載の検査装置。
（１０） 前記コンタクトピンは、径方向に拡張可能な拡張部を有し、前記拡張部は前記孔部への挿入時に径方向に拡張して前記孔部の内周面に接触し、前記孔部からの抜き出し時に径方向に縮小する
ことを特徴とする（９）に記載の検査装置。
（１１） 前記拡張部の前記孔部の前記内周面に対する接触圧を推定するための機構をさらに備えることを特徴とする（１０）に記載の検査装置。
（１２） 前記抵抗測定計は、前記支持部の２つの地点の間の抵抗を測定する
ことを特徴とする（１）または（２）に記載の検査装置。
（１３） ２つの切替部をさらに備え、
前記抵抗測定計が前記抵抗を測定する時、前記２つの切替部は、前記抵抗測定計を前記支持部の前記２つの地点に電気的に接続し、前記静電容量式変位計が前記距離を計測する時、前記２つの切替部は、前記抵抗測定計を前記支持部から電気的に切り離す
ことを特徴とする（１２）に記載の検査装置。
（１４） 前記支持部の前記２つの地点にそれぞれ接触して前記支持部に電気的に接続される導電材料製の２つのコンタクト部材をさらに備え、
各切替部は、前記コンタクト部材の１つに電気的に接続された共通端子と、前記接地部に電気的に接続された接地端子と、前記抵抗測定計に電気的に接続された抵抗測定端子を有し、
前記抵抗測定計は、前記２つの切替部の前記抵抗測定端子に電気的にそれぞれ接続されて、前記抵抗測定計が前記抵抗を測定する時、前記２つのコンタクト部材に電気的にそれぞれ接続される２つの端子を有する
ことを特徴とする（１３）に記載の検査装置。
（１５） 前記２つの地点は、前記支持部の前記計測対象が配置された面と反対側の面にある
ことを特徴とする（１４）に記載の検査装置。
（１６） 前記支持部は、前記２つの地点のそれぞれに２つの孔部を有し、
前記２つのコンタクト部材は、前記孔部にそれぞれ挿入されて前記支持部に電気的に接続される２つのコンタクトピンである
ことを特徴とする（１４）に記載の検査装置。
（１７） 各コンタクトピンは、径方向に拡張可能な拡張部を有し、前記拡張部は前記孔部への挿入時に径方向に拡張して前記孔部の内周面に接触し、前記孔部からの抜き出し時に径方向に縮小する
ことを特徴とする（１６）に記載の検査装置。
（１８） 各コンタクトピンの前記拡張部の対応する孔部の前記内周面に対する接触圧を推定するための機構をさらに備えることを特徴とする（１７）に記載の検査装置。
【符号の説明】
【0142】
１ アッセンブリユニット
２ ベース板（支持部）
３ 回転部材（計測対象）
１２ ビーム（接地部）
１４ 静電容量式変位計
１４ｃ センサグランド
１６，１７，１８ 押圧ピン
１７ａ 第１の端部
１７ｂ 第２の端部
１７ｃ 絶縁部
２４ 測定制御部
２４ａ 記録部
２６ 抵抗測定計
２６ａ 第１の端子
２６ｂ 第２の端子
２８，６８，６９ 切替部
２８ａ，６８ａ，６９ａ 共通端子
２８ｂ，６８ｂ，６９ｂ 接地端子
２８ｃ，６８ｃ，６９ｃ 抵抗測定端子
２９，５９ コンタクト部材
３０，３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ，３０Ｄ，３０Ｅ，６０ コンタクトピン（コンタクト部材）
３１，６１ 孔部
３６ 拡張部
４８ 抵抗計（接触圧を推定するための機構）
５０，５１ 感圧センサ（接触圧を推定するための機構）
２ ベース板（支持部）
３ 回転部材（計測対象）
１２ ビーム（接地部）
１４ 静電容量式変位計
１４ｃ センサグランド
１６，１７，１８ 押圧ピン
１７ａ 第１の端部
１７ｂ 第２の端部
１７ｃ 絶縁部
２４ 測定制御部
２４ａ 記録部
２６ 抵抗測定計
２６ａ 第１の端子
２６ｂ 第２の端子
２８，６８，６９ 切替部
２８ａ，６８ａ，６９ａ 共通端子
２８ｂ，６８ｂ，６９ｂ 接地端子
２８ｃ，６８ｃ，６９ｃ 抵抗測定端子
２９，５９ コンタクト部材
３０，３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ，３０Ｄ，３０Ｅ，６０ コンタクトピン（コンタクト部材）
３１，６１ 孔部
３６ 拡張部
４８ 抵抗計（接触圧を推定するための機構）
５０，５１ 感圧センサ（接触圧を推定するための機構）
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】