特開 2024-80971 フルオロオレフィン検知装置、フルオロオレフィン分解装置、フルオロオレフィン検知方法およびフルオロオレフィン分解方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024080971

(43)【公開日】2024-06-17

(54)【発明の名称】フルオロオレフィン検知装置、フルオロオレフィン分解装置、フルオロオレフィン検知方法およびフルオロオレフィン分解方法

(51)【国際特許分類】

   B01J 23/755 20060101AFI20240610BHJP

   B01J 23/89 20060101ALI20240610BHJP

   B01J 23/889 20060101ALI20240610BHJP

   B01J 23/46 20060101ALI20240610BHJP

   B01J 23/52 20060101ALI20240610BHJP

   G01N 31/00 20060101ALI20240610BHJP

【ＦＩ】

B01J23/755 M

B01J23/89 M

B01J23/889 M

B01J23/46 311M

B01J23/46 301M

B01J23/52 M

G01N31/00 Q

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022194348

(22)【出願日】2022-12-05

(71)【出願人】

【識別番号】000190301

【氏名又は名称】新コスモス電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100104433

【弁理士】

【氏名又は名称】宮園 博一

(74)【代理人】

【識別番号】100155608

【弁理士】

【氏名又は名称】大日方 崇

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 達也

【テーマコード（参考）】

2G042

4G169

【Ｆターム（参考）】

2G042AA01

2G042BA03

2G042BA04

2G042BA10

2G042BD02

2G042CA10

2G042CB01

2G042DA07

2G042FA07

2G042GA01

4G169AA03

4G169BA01A

4G169BA01B

4G169BA03A

4G169BA03B

4G169BA13A

4G169BA13B

4G169BC33A

4G169BC33B

4G169BC42A

4G169BC42B

4G169BC43A

4G169BC43B

4G169BC58A

4G169BC58B

4G169BC62A

4G169BC62B

4G169BC66A

4G169BC66B

4G169BC67A

4G169BC67B

4G169BC68A

4G169BC68B

4G169BC70A

4G169BC70B

4G169BC71A

4G169BC71B

4G169BC72A

4G169BC72B

4G169BC75A

4G169BC75B

4G169CD08

4G169DA06

4G169EA01Y

4G169EA02Y

4G169EA03Y

4G169EA06

4G169EA08

4G169EA10

4G169EC21Y

4G169EC22X

4G169EC22Y

4G169FA02

4G169FB14

4G169FB30

4G169FC08

(57)【要約】

【課題】フルオロオレフィンを効率よく触媒反応させることが可能なフルオロオレフィン検知装置を提供する。
【解決手段】このフルオロオレフィン検知装置１００は、フルオロオレフィンが水素原子を含む分子が関与して触媒反応するためのフルオロオレフィン分解部３０と、フルオロオレフィン分解部３０によりフルオロオレフィンが触媒反応することにより発生した被検知ガス中の成分を検知する検知部４０と、を備える。フルオロオレフィン分解部３０は、フルオロオレフィンが水素原子を含む分子が関与して触媒反応するための触媒３１ｂを有する触媒部３１と、触媒反応を引き起こすための加熱機構３２と、を含む。触媒３１ｂは、基材としてアルミノケイ酸塩鉱物を含む。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

フルオロオレフィンが水素原子を含む分子が関与して触媒反応するためのフルオロオレフィン分解部と、
前記フルオロオレフィン分解部により前記フルオロオレフィンが触媒反応することにより発生した被検知ガス中の成分を検知する検知部と、を備え、
前記フルオロオレフィン分解部は、
前記フルオロオレフィンが水素原子を含む分子が関与して触媒反応するための触媒を有する触媒部と、
触媒反応を引き起こすための加熱機構と、
を含み、
前記触媒は、基材としてアルミノケイ酸塩鉱物を含む、フルオロオレフィン検知装置。

【請求項2】

前記触媒は、アルミノケイ酸塩鉱物として、ムライトと、α－アルミナとを含む、請求項１に記載のフルオロオレフィン検知装置。

【請求項3】

前記触媒は、白金と、パラジウムと、ルテニウムと、金と、ロジウムと、コバルトと、クロムと、セリウムと、ニッケルと、マンガンと、鉄と、ランタンとのうちの少なくとも一つをさらに含む、請求項２に記載のフルオロオレフィン検知装置。

【請求項4】

前記触媒は、白金と、パラジウムと、ルテニウムと、金と、ロジウムと、コバルトと、クロムと、セリウムと、ニッケルと、マンガンと、鉄と、ランタンとのうちの他の一つをさらに含む、請求項３に記載のフルオロオレフィン検知装置。

【請求項5】

前記基材は、５０質量％以上７０質量％以下のムライトと、５質量％以下のα－アルミナとを含む、請求項２に記載のフルオロオレフィン検知装置。

【請求項6】

前記ガス検知部は、電気化学式のガス検知部を含む、請求項１に記載のフルオロオレフィン検知装置。

【請求項7】

フルオロオレフィンとしてのヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンおよびオクタフルオロシクロペンテンが水素原子を含む分子が関与して触媒反応するための触媒を有する触媒部と、
触媒反応を引き起こすための加熱機構と、を備え、
前記触媒は、基材としてアルミノケイ酸塩鉱物を含む、フルオロオレフィン分解装置。

【請求項8】

フルオロオレフィンが水素原子を含む分子が関与して触媒反応するステップと、
前記フルオロオレフィンが触媒反応することにより発生した被検知ガス中の成分を検知するステップと、を備え、
触媒反応するステップは、
触媒反応を引き起こすために、基材としてアルミノケイ酸塩鉱物を含む触媒を加熱するステップと、
前記触媒により、前記フルオロオレフィンが水素原子を含む分子が関与して触媒反応するステップと、
を含む、フルオロオレフィン検知方法。

【請求項9】

触媒反応を引き起こすために、基材としてアルミノケイ酸塩鉱物を含む触媒を加熱するステップと、
前記触媒により、フルオロオレフィンとしてのヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンおよびオクタフルオロシクロペンテンが水素原子を含む分子が関与して触媒反応するステップと、を備える、フルオロオレフィン分解方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は、フルオロオレフィン検知装置、フルオロオレフィン分解装置、フルオロオレフィン検知方法およびフルオロオレフィン分解方法に関し、特に、触媒によりフルオロオレフィンを触媒反応させるフルオロオレフィン検知装置、フルオロオレフィン分解装置、フルオロオレフィン検知方法およびフルオロオレフィン分解方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体製造工程のドライエッチングガスとして、ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン（鎖状フルオロオレフィン）やオクタフルオロシクロペンテン（環状フルオロオレフィン）が知られている。ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンは、1,3-ブタジエンの水素が全てフッ素に置き換わった分子構造である。1,3-ブタジエンは、日本産業衛生学会において、発がん性分類第1群に分類され、人に対して遺伝毒性の誘発が示唆されており、発がん性があると判断されている。また、ACGIH（アメリカ合衆国産業衛生専門議会）では、TWA（時間加重平均値）は2ppmとなっている。そこで、ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンやオクタフルオロシクロペンテンは、電気陰性度の大きいフッ素原子によって、二つの二重結合の電子密度が低い状態にあり、電子供与性物質と反応しやすい性質を持つ。ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンは、1,3-ブタジエンとは化学的性質が異なるが、人に対して毒性を示すことが予想されることから、適切に検知される必要がある。また、同様にオクタフルオロシクロペンテンも適切に検知される必要がある。

【0003】

そこで、従来、触媒によりフルオロオレフィンを触媒反応させるフルオロオレフィン検知装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。

【0004】

上記特許文献１には、触媒によりヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン（フルオロオレフィン）を触媒反応させるヘキサフルオロブタジエン測定装置（フルオロオレフィン検知装置）が開示されている。このヘキサフルオロブタジエン測定装置は、ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンを熱分解してフッ化水素を発生させる熱分解炉と、熱分解炉で発生したフッ化水素と反応して呈色する検知紙とを備えている。また、この熱分解炉は、ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンを触媒反応させるための金および白金などの酸化性触媒を含んでいる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特許第４７８９１４６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、上記特許文献１では、ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンを触媒反応させるために白金および金などの酸化性触媒を用いている。ここで、ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンなどのフルオロオレフィンの二重結合の電子吸引性を考慮すれば、酸化性触媒では、効率よく触媒反応させることが難しい。そのため、フルオロオレフィンを効率よく触媒反応させることが望まれる。

【0007】

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、フルオロオレフィンを効率よく触媒反応させることが可能なフルオロオレフィン検知装置、フルオロオレフィン分解装置、フルオロオレフィン検知方法およびフルオロオレフィン分解方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記目的を達成するために、鋭意検討した結果、本願発明者は、電子を付与する性質を有する塩基性のアルミノケイ酸塩鉱物を基材として含む触媒が、フルオロオレフィンを効率よく触媒反応させることができるという新たな知見を得た。すなわち、この発明の第１の局面によるフルオロオレフィン検知装置は、フルオロオレフィンが水素原子を含む分子が関与して触媒反応するためのフルオロオレフィン分解部と、フルオロオレフィン分解部によりフルオロオレフィンが触媒反応することにより発生した被検知ガス中の成分を検知する検知部と、を備え、フルオロオレフィン分解部は、フルオロオレフィンが水素原子を含む分子が関与して触媒反応するための触媒を有する触媒部と、触媒反応を引き起こすための加熱機構と、を含み、触媒は、基材としてアルミノケイ酸塩鉱物を含む。

【0009】

この発明の第１の局面によるフルオロオレフィン検知装置では、上記のように、触媒を、基材としてアルミノケイ酸塩鉱物を含むように構成する。これにより、電子を付与する性質を有する塩基性のアルミノケイ酸塩鉱物を含む触媒により、電子不足の二重結合を有するフルオロオレフィンに対して、触媒反応を容易に引き起こすことができる。その結果、フルオロオレフィンを効率よく触媒反応させることができる。なお、この点は、本願発明者による後述する実験において確認済みである。

【0010】

上記第１の局面によるフルオロオレフィン検知装置において、好ましくは、触媒は、アルミノケイ酸塩鉱物として、ムライトと、α－アルミナとを含む。このように構成すれば、ムライトと、α－アルミナとを含む触媒により、触媒反応を容易に引き起こすことができる。なお、この点は、本願発明者による後述する実験において確認済みである。

【0011】

上記触媒がムライトとα－アルミナとを含む構成において、好ましくは、触媒は、白金と、パラジウムと、ルテニウムと、金と、ロジウムと、コバルトと、クロムと、セリウムと、ニッケルと、マンガンと、鉄と、ランタンとのうちの少なくとも一つをさらに含む。このように構成すれば、白金と、パラジウムと、ルテニウムと、金と、ロジウムと、コバルトと、クロムと、セリウムと、ニッケルと、マンガンと、鉄と、ランタンとのうちの少なくとも一つにより、触媒反応を促進させることができるので、白金と、パラジウムと、ルテニウムと、金と、ロジウムと、コバルトと、クロムと、セリウムと、ニッケルと、マンガンと、鉄と、ランタンとのうちの少なくとも一つを含む触媒により、フルオロオレフィンを効率よく触媒反応させることができる。なお、この点は、本願発明者による後述する実験において確認済みである。

【0012】

この場合、好ましくは、触媒は、白金と、パラジウムと、ルテニウムと、金と、ロジウムと、コバルトと、クロムと、セリウムと、ニッケルと、マンガンと、鉄と、ランタンとのうちの他の一つをさらに含む。このように構成すれば、白金と、パラジウムと、ルテニウムと、金と、ロジウムと、コバルトと、クロムと、セリウムと、ニッケルと、マンガンと、鉄と、ランタンとのうちの他の一つをさらに含むことにより、触媒反応を容易に引き起こすことができる。なお、この点は、本願発明者による後述する実験において確認済みである。

【0013】

上記触媒がムライトとα－アルミナとを含む構成において、好ましくは、基材は、５０質量％以上７０質量％以下のムライトと、５質量％以下のα－アルミナとを含む。このように構成すれば、５０質量％以上７０質量％以下のムライトと、５質量％以下のα－アルミナとを含む基材を含む触媒により、触媒反応を容易に引き起こすことができる。なお、この点は、本願発明者による後述する実験において確認済みである。

【0014】

上記第１の局面によるフルオロオレフィン検知装置において、好ましくは、ガス検知部は、電気化学式のガス検知部を含む。このように構成すれば、電気化学式のガス検知部により、フルオロオレフィン分解部によりフルオロオレフィンが触媒反応されることにより発生した被検知ガス中の成分を容易に検知することができる。

【0015】

この発明の第２の局面によるフルオロオレフィン分解装置は、フルオロオレフィンとしてのヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンおよびオクタフルオロシクロペンテンが水素原子を含む分子が関与して触媒反応するための触媒を有する触媒部と、触媒反応を引き起こすための加熱機構と、を備え、触媒は、基材としてアルミノケイ酸塩鉱物を含む。

【0016】

この発明の第２の局面によるフルオロオレフィン分解装置では、上記のように、触媒を、基材としてアルミノケイ酸塩鉱物を含むように構成する。これにより、第１の局面によるフルオロオレフィン検知装置と同様に、フルオロオレフィンを効率よく触媒反応させることが可能なフルオロオレフィン分解装置を提供することができる。

【0017】

この発明の第３の局面によるフルオロオレフィン検知方法は、フルオロオレフィンが水素原子を含む分子が関与して触媒反応するステップと、フルオロオレフィンが触媒反応することにより発生した被検知ガス中の成分を検知するステップと、を備え、触媒反応するステップは、触媒反応を引き起こすために、基材としてアルミノケイ酸塩鉱物を含む触媒を加熱するステップと、触媒により、フルオロオレフィンが水素原子を含む分子が関与して触媒反応するステップと、を含む。

【0018】

この発明の第３の局面によるフルオロオレフィン検知方法では、上記のように、基材としてアルミノケイ酸塩鉱物を含む触媒により、フルオロオレフィンが水素原子を含む分子が関与して触媒反応するステップを設ける。これにより、第１の局面によるフルオロオレフィン検知装置と同様に、フルオロオレフィンを効率よく触媒反応させることが可能なフルオロオレフィン検知方法を提供することができる。

【0019】

この発明の第４の局面によるフルオロオレフィン分解方法は、触媒反応を引き起こすために、基材としてアルミノケイ酸塩鉱物を含む触媒を加熱するステップと、触媒により、フルオロオレフィンとしてのヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンおよびオクタフルオロシクロペンテンが水素原子を含む分子が関与して触媒反応するステップと、を備える。

【0020】

この発明の第４の局面によるフルオロオレフィン分解方法では、上記のように、基材としてアルミノケイ酸塩鉱物を含む触媒により、フルオロオレフィンとしてのヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンおよびオクタフルオロシクロペンテンが水素原子を含む分子が関与して触媒反応するステップを設ける。第１の局面によるフルオロオレフィン検知装置と同様に、フルオロオレフィンを効率よく触媒反応させることが可能なフルオロオレフィン分解方法を提供することができる。

【発明の効果】

【0021】

本発明によれば、上記のように、フルオロオレフィンを効率よく触媒反応させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1】一実施形態によるフルオロオレフィン検知装置を示した模式図である。

【図2】ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンとオクタフルオロシクロペンテンを示した図である。

【図3】実施例１による実験結果（Ｎｉ／アルミノケイ酸塩鉱物）を示したグラフである。

【図4】実施例２による実験結果（Ｐｔ－Ｃｏ／アルミノケイ酸塩鉱物）を示したグラフである。

【図5】実施例３による実験結果（Ｐｔ－Ｒｈ／アルミノケイ酸塩鉱物）を示したグラフである。

【図6】実施例４による実験結果（Ｒｕ－Ｒｈ／アルミノケイ酸塩鉱物）を示したグラフである。

【図7】実施例５による実験結果（Ｐｔ－Ｒｕ／アルミノケイ酸塩鉱物）を示したグラフである。

【図8】実施例６による実験結果（Ｐｔ－Ｒｕ／アルミノケイ酸塩鉱物）を示したグラフである。

【図9】実施例７による実験結果（Ｐｔ－Ｒｕ／アルミノケイ酸塩鉱物）を示したグラフである。

【図10】実施例８による実験結果（Ｐｔ－Ａｕ－Ｒｕ／アルミノケイ酸塩鉱物）を示したグラフである。

【図11】実施例９による実験結果（Ｐｔ－Ｐｄ－Ｒｕ／アルミノケイ酸塩鉱物）を示したグラフである。

【図12】実施例１０による実験結果（Ｐｔ－Ｐｄ－Ｒｕ／アルミノケイ酸塩鉱物）を示したグラフである。

【図13】実施例１１による実験結果（Ｐｔ－Ｒｕ－Ｒｈ／アルミノケイ酸塩鉱物）を示したグラフである。

【図14】実施例１２による実験結果（Ｐｔ－Ｒｕ－Ｍｎ／アルミノケイ酸塩鉱物）を示したグラフである。

【図15】実施例１３による実験結果（Ｐｔ－Ｒｕ－Ｍｎ－Ｃｏ／アルミノケイ酸塩鉱物）を示したグラフである。

【図16】実施例１４による実験結果（Ｐｔ－Ｒｕ－Ｐｄ－Ｍｎ／アルミノケイ酸塩鉱物）を示したグラフである。

【図17】実施例１５による実験結果（Ｐｔ－Ｒｕ／アルミノケイ酸塩鉱物）を示したグラフである。

【図18】実施例１６による実験結果（指示値と触媒温度との関係）を示したグラフである。

【図19】実施例１７による実験結果（圧力損失とかさ密度との関係）を示したグラフである。

【発明を実施するための形態】

【0023】

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

【0024】

まず、図１を参照して、一実施形態によるフルオロオレフィン検知装置１００の構成について説明する。

【0025】

（フルオロオレフィン検知装置の全体構成）
図１に示すように、フルオロオレフィン検知装置１００は、フルオロオレフィンを触媒反応させるとともに、フルオロオレフィンが触媒反応されることにより発生した被検知ガス中の成分を検知する装置である。フルオロオレフィン検知装置１００は、たとえば、分析試料中のフルオロオレフィンの検知、雰囲気中のフルオロオレフィンの検知などに用いることができる。具体例としては、フルオロオレフィン検知装置１００は、半導体製造工程のドライエッチングガスとして用いられるヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン（Ｃ_４Ｆ_６）やオクタフルオロシクロペンテン（Ｃ_５Ｆ_８）などのフルオロオレフィンの検知に用いられる。

【0026】

触媒反応対象のフルオロオレフィンは、二重結合で結合された炭素原子にフッ素原子が結合したフッ素化合物であり、アルケンの水素原子が全てもしくは一部フッ素原子で置換された化合物である。また、触媒反応対象のフルオロオレフィンは、鎖状フルオロオレフィンまたは環状フルオロオレフィンである。また、図２に示すように、触媒反応対象のフルオロオレフィンは、電気陰性度が大きいフッ素原子により炭素原子の二重結合の電子が引っ張られているため、炭素原子の二重結合の電子が不足状態（電子密度が低い状態）となっている。また、電子不足の二重結合は、電子を補おうとする化学的性質を有しているため、塩基性触媒に対して反応しやすい。なお、図２では、フルオロオレフィンのうち、鎖状フルオロオレフィンの一例であるヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン（Ｃ_４Ｆ_６）を示すとともに、環状フルオロオレフィンの一例であるオクタフルオロシクロペンテン（Ｃ_５Ｆ_８）を示している。触媒反応対象のフルオロオレフィンは、特に限られないが、たとえば、Ｃ_４Ｆ_６（ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン）、Ｃ_４Ｆ_８、Ｃ_５Ｆ_８、Ｃ_６Ｆ_８、Ｃ_６Ｆ_１０、Ｃ_５Ｆ_８、および、Ｃ₆Ｆ₆などである。また、Ｃ_４Ｆ_８、Ｃ_５Ｆ_８、Ｃ_６Ｆ_８、Ｃ_６Ｆ_１０、Ｃ_５Ｆ_８、および、Ｃ₆Ｆ₆は、たとえば、以下の化学式の化合物である。

【化1】

【0027】

ここで、ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン（Ｃ_４Ｆ_６）およびオクタフルオロシクロペンテン（Ｃ_５Ｆ_８）の二重結合の電子密度を量子化学計算により求めて比較すると、オクタフルオロシクロペンテンの二重結合よりもヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンの二重結合の方が電子密度が小さい。また、ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンおよびオクタフルオロシクロペンテンの二重結合の結合次数を量子化学計算により求めて比較すると、オクタフルオロシクロペンテンの二重結合よりもヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンの二重結合の結合次数の方が小さい。これらのことは、オクタフルオロシクロペンテンの二重結合よりもヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンの二重結合の方が、電子を補おうとする力が強いことを表している。すなわち、オクタフルオロシクロペンテンよりもヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンの方が、電子供与性の塩基性触媒により触媒反応しやすく分解しやすい。言い換えると、オクタフルオロシクロペンテンは、ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンよりも、塩基性触媒により触媒反応しにくく分解しにくい。このため、ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンを分解することができる塩基性触媒であっても、オクタフルオロシクロペンテンを分解することができるとは限らない。ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンおよびオクタフルオロシクロペンテンの両方を容易に分解するためには、活性が高い塩基性触媒が必要である。

【0028】

図１に示すように、フルオロオレフィン検知装置１００は、流量制御部１０と、ポンプ２０と、フルオロオレフィン分解部３０と、ガス検知部４０とを備えている。流量制御部１０と、フルオロオレフィン分解部３０と、ガス検知部４０と、ポンプ２０とは、被検知ガスＧ（分析試料のガス、雰囲気中のガスなど）の流れ方向の上流側から下流側に向かって、ガス流路５０により、この順に流体的に接続されている。なお、各構成の接続順は、フルオロオレフィン分解部３０と、ガス検知部４０とがこの順に接続されていれば、特に限られない。また、フルオロオレフィン分解部３０は、特許請求の範囲の「フルオロオレフィン分解装置」の一例である。

【0029】

流量制御部１０は、たとえばマスフローコントローラであり、被検知ガスＧの流量を制御するように構成されている。フルオロオレフィン検知装置１００は、流量制御部１０による被検知ガスＧの流量の制御により、定流量の被検知ガスＧが流れるように構成されている。ポンプ２０は、被検知ガスＧがガス流路５０を介してフルオロオレフィン分解部３０による圧力損失を生じた場合、ガス検知部４０の内蔵ポンプを補助するための駆動源である。

【0030】

フルオロオレフィン分解部３０は、被検知ガスＧ中のフルオロオレフィンとしてのヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンおよびオクタフルオロシクロペンテンなどに水素原子を含む分子（水分子など）を関与させて触媒反応させるように構成されている。具体的には、フルオロオレフィン分解部３０は、触媒筒３１と、加熱機構３２とを含んでいる。触媒筒３１は、筒本体３１ａと、触媒３１ｂとを有している。筒本体３１ａは、たとえば、アルミナ管、石英管などである。筒本体３１ａは、中空の円筒形状を有している。筒本体３１ａには、触媒３１ｂが充填されている。触媒３１ｂは、被検知ガスＧ中のフルオロオレフィンとしてのヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンおよびオクタフルオロシクロペンテンなどが水素原子を含む分子（水分子など）が関与した触媒反応するために設けられている。触媒反応は、たとえば、以下の式（１）～（６）に示すようなフルオロオレフィンの水蒸気改質反応を含んでいる。本実施形態のフルオロオレフィン検知装置１００は、フルオロオレフィンの水蒸気改質反応により発生するフッ化水素（化学組成：ＨＦ）を検知する。なお、以下の式（１）～（３）では、フルオロオレフィンのうちのＣ_５Ｆ_８の反応を示しており、式（４）～（６）では、フルオロオレフィンのうちのＣ_４Ｆ_６の反応を示している。また、触媒筒３１は、特許請求の範囲の「触媒部」の一例である。
Ｃ_５Ｆ_８＋５Ｈ_２Ｏ→８ＨＦ＋５ＣＯ＋Ｈ_２ ・・・（１）
Ｃ_５Ｆ_８＋１０Ｈ_２Ｏ→８ＨＦ＋５ＣＯ_２＋６Ｈ_２ ・・・（２）
Ｃ_５Ｆ_８＋８Ｈ_２Ｏ→８ＨＦ＋２ＣＯ＋３ＣＯ_２＋４Ｈ_２ ・・・（３）
Ｃ_４Ｆ_６＋４Ｈ_２Ｏ→６ＨＦ＋４ＣＯ＋Ｈ_２ ・・・（４）
Ｃ_４Ｆ_６＋８Ｈ_２Ｏ→６ＨＦ＋４ＣＯ_２＋５Ｈ_２ ・・・（５）
Ｃ_４Ｆ_６＋６Ｈ_２Ｏ→６ＨＦ＋２ＣＯ＋２ＣＯ_２＋３Ｈ_２ ・・・（６）

【0031】

ここで、本実施形態では、触媒３１ｂは、塩基性材料であるアルミノケイ酸塩鉱物を基材として含んでいる。触媒３１ｂは、フルオロオレフィンの触媒反応を促進する観点から、塩基性を示す材料であることが好ましい。好ましくは、触媒３１ｂは、アルミノケイ酸塩鉱物として、ムライト（化学組成：Ａｌ_６Ｏ_１３Ｓｉ_２）と、α－アルミナ（化学組成：Ａｌ_２Ｏ_３）とを含んでいる。より好ましくは、触媒３１ｂの基材は、５０質量％以上７０質量％以下のムライトと、５質量％以下のα－アルミナとを含んでいる。より好ましくは、触媒３１ｂは、触媒反応を促進する金属添加物として、白金（化学組成：Ｐｔ）と、パラジウム（化学組成：Ｐｄ）と、ルテニウム（化学組成：Ｒｕ）と、金（化学組成：Ａｕ）と、ロジウム（化学組成：Ｒｈ）と、コバルト（化学組成：Ｃｏ）と、クロム（化学組成：Ｃｒ）と、セリウム（化学組成：Ｃｅ）と、ニッケル（化学組成：Ｎｉ）と、マンガン（化学組成：Ｍｎ）と、鉄（化学組成：Ｆｅ）と、ランタン（化学組成：Ｌａ）とのうちの少なくとも一つを含んでいる。より好ましくは、触媒３１ｂは、触媒反応を促進する金属添加物として、白金と、パラジウムと、ルテニウムと、金と、ロジウムと、コバルトと、クロムと、セリウムと、ニッケルと、マンガンと、鉄と、ランタンとのうちの他の一つをさらに含んでいる。触媒３１ｂは、アルミノケイ酸塩鉱物を基材とし、アルミノケイ酸塩鉱物の基材に触媒反応を促進させる金属を添加することにより形成されている。なお、アルミノケイ酸塩鉱物を含む触媒３１ｂによるフルオロオレフィンの触媒反応の実験については、後述する。

【0032】

また、触媒３１ｂは、ムライト中にα－アルミナ結晶を析出させた無機繊維からなる綿状の基材に金属を添加することにより形成されており、全体として綿状である。綿状の触媒３１ｂは、触媒筒３１の筒本体３１ａに充填されている。綿状の触媒３１ｂは、触媒筒３１の筒本体３１ａに充填層を形成するように設けられている。触媒３１ｂの充填層は、両端に配置された触媒３１ｂの保持部材３１ｃにより、触媒筒３１の筒本体３１ａの内部に保持されている。保持部材３１ｃは、たとえば、石英ウールである。なお、保持部材３１ｃは、触媒３１ｂを保持するための部材で、加熱機構３２の温度に耐えうる材料であれば限定されることは無い。

【0033】

加熱機構３２は、触媒反応を引き起こすために触媒筒３１を加熱するように構成されている。具体的には、加熱機構３２は、加熱部３２ａと、断熱部３２ｂとを含んでいる。加熱部３２ａは、触媒筒３１の筒本体３１ａを介して、触媒３１ｂを加熱するように構成されている。加熱部３２ａは、たとえば、電熱線である。電熱線である加熱部３２ａは、たとえば、触媒筒３１の筒本体３１ａを隔てて触媒３１ｂを取り囲むように、コイル状に形成されている。なお、電熱線の形状は、加熱機構３２の温度を一定に保つことができれば限定されることは無い。加熱部３２ａは、触媒３１ｂの充填層の一方端部から他方端部に亘って、触媒３１ｂの充填層と対向するように設けられている。すなわち、加熱部３２ａは、触媒３１ｂの充填層の一方端部から他方端部に亘って、触媒３１ｂを加熱するように構成されている。断熱部３２ｂは、断熱材料により構成されており、加熱部３２ａと触媒筒３１の触媒３１ｂとを取り囲むように設けられている。

【0034】

加熱機構３２は、好ましくは、２８０℃以上５００℃以下の温度範囲において、加熱部３２ａにより触媒筒３１を加熱するように構成されている。また、加熱機構３２は、略一定の温度になるように、加熱部３２ａにより触媒筒３１を加熱するように構成されている。触媒筒３１が略一定の温度になるような加熱は、特に限られないが、たとえば、図示しない温度検知部による温度の検知結果に基づいて、ＰＩＤ制御などのフィードバック制御により加熱機構３２の加熱部３２ａを制御することにより行うことが可能である。

【0035】

ガス検知部４０は、フルオロオレフィン分解部３０によりフルオロオレフィンが触媒反応されることにより発生した被検知ガスＧ中の成分（フッ化水素）を検知するように構成されている。ガス検知部４０は、電気化学式のガス検知部（電気化学式のセンサ）を含んでいる。具体的には、ガス検知部４０は、フッ化水素の検知に好適な定電位電解式のガス検知部（定電位電解式のセンサ）を含んでいる。フルオロオレフィン検知装置１００は、ガス検知部４０によりフルオロオレフィンが触媒反応されることにより発生した被検知ガスＧ中の成分（フッ化水素）を検知することにより、フルオロオレフィンを間接的に検知するように構成されている。なお、ガス検知部４０は、被検知ガスＧを流すためのポンプを内蔵するように構成されている。

【0036】

（フルオロオレフィン検知方法）
フルオロオレフィン検知装置１００によるフルオロオレフィン検知方法について説明する。

【0037】

まず、フルオロオレフィン分解部３０により、フルオロオレフィンが水素原子を含む分子が関与して触媒反応される。具体的には、加熱機構３２により、触媒反応を引き起こすために、基材としてアルミノケイ酸塩鉱物を含む触媒３１ｂが加熱されるとともに、触媒３１ｂにより、フルオロオレフィンが水素原子を含む分子が関与して触媒反応される。そして、ガス検知部４０により、フルオロオレフィンが触媒反応することにより発生した被検知ガス中の成分（フッ化水素）が検知される。

【0038】

（本実施形態の効果）
本実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

【0039】

本実施形態では、上記のように、触媒３１ｂを、基材としてアルミノケイ酸塩鉱物を含むように構成する。これにより、電子を付与する性質を有する塩基性のアルミノケイ酸塩鉱物を含む触媒により、電子不足の二重結合を有するフルオロオレフィンに対して、触媒反応を容易に引き起こすことができる。その結果、フルオロオレフィンを効率よく触媒反応させることができる。なお、この点は、本願発明者による後述する実験において確認済みである。

【0040】

また、本実施形態では、上記のように、触媒３１ｂは、アルミノケイ酸塩鉱物として、ムライトと、α－アルミナとを含む。これにより、ムライトと、α－アルミナとを含む触媒により、触媒反応を容易に引き起こすことができる。なお、この点は、本願発明者による後述する実験において確認済みである。

【0041】

また、本実施形態では、上記のように、触媒３１ｂは、白金と、パラジウムと、ルテニウムと、金と、ロジウムと、コバルトと、クロムと、セリウムと、ニッケルと、マンガンと、鉄と、ランタンとのうちの少なくとも一つをさらに含む。これにより、白金と、パラジウムと、ルテニウムと、金と、ロジウムと、コバルトと、クロムと、セリウムと、ニッケルと、マンガンと、鉄と、ランタンとのうちの少なくとも一つにより、触媒反応を促進させることができるので、白金と、パラジウムと、ルテニウムと、金と、ロジウムと、コバルトと、クロムと、セリウムと、ニッケルと、マンガンと、鉄と、ランタンとのうちの少なくとも一つを含む触媒により、フルオロオレフィンを効率よく触媒反応させることができる。なお、この点は、本願発明者による後述する実験において確認済みである。

【0042】

また、本実施形態では、上記のように、触媒３１ｂは、白金と、パラジウムと、ルテニウムと、金と、ロジウムと、コバルトと、クロムと、セリウムと、ニッケルと、マンガンと、鉄と、ランタンとのうちの他の一つをさらに含む。これにより、白金と、パラジウムと、ルテニウムと、金と、ロジウムと、コバルトと、クロムと、セリウムと、ニッケルと、マンガンと、鉄と、ランタンとのうちの他の一つをさらに含むことにより、触媒反応を容易に引き起こすことができる。なお、この点は、本願発明者による後述する実験において確認済みである。

【0043】

また、本実施形態では、上記のように、触媒３１ｂの基材は、５０質量％以上７０質量％以下のムライトと、５質量％以下のα－アルミナとを含む。これにより、５０質量％以上７０質量％以下のムライトと、５質量％以下のα－アルミナとを含む基材を含む触媒により、触媒反応を容易に引き起こすことができる。なお、この点は、本願発明者による後述する実験において確認済みである。

【0044】

また、本実施形態では、上記のように、ガス検知部４０は、電気化学式のガス検知部を含む。これにより、電気化学式のガス検知部により、フルオロオレフィン分解部によりフルオロオレフィンが触媒反応されることにより発生した被検知ガス中の成分を容易に検知することができる。

【0045】

［実施例］
次に、図３～図１９を参照して、本発明の効果を確認するために行った確認実験（実施例１～１７）について説明する。

【0046】

各実施例では、フルオロオレフィン検知装置として、図１に示すフルオロオレフィン検知装置１００を用いた。また、触媒反応対象のフルオロオレフィンとして、半導体製造工程のドライエッチングガスとして用いられるヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンおよびヘキサフルオロシクロペンテンを用いた。また、触媒は、次のように作製した。

【0047】

まず、綿状（繊維状）のアルミノケイ酸塩鉱物を基材として準備した。また、基材に添加する金属を含む溶液を調整した。そして、準備した綿状のアルミノケイ酸塩鉱物に、調整した溶液を浸み込ませた。そして、溶液を浸み込ませた綿状のアルミノケイ酸塩鉱物を焼成炉で焼成した。これにより、アルミノケイ酸塩鉱物を基材とし、アルミノケイ酸塩鉱物の基材に触媒反応を促進させる金属を添加した触媒を作製した。

【0048】

また、実施例１～１４、１６および１７では、アルミノケイ酸塩鉱物の基材として、５０質量％以上７０質量％以下のムライトと、５質量％以下のα－アルミナとを含んだものを用いた。具体的には、アルミノケイ酸塩鉱物の基材として、デンカ株式会社のデンカアルセンバルクのＢ８０（型番）を用いた。また、実施例１５では、アルミノケイ酸塩鉱物の基材として、１２質量％以下のムライトと、３０質量％以上４９質量％以下のα－アルミナとを含んだものを用いた。具体的には、アルミノケイ酸塩鉱物の基材として、デンカ株式会社のデンカアルセンバルクのＢ９７Ｕ（型番）を用いた。また、ガス検知部として、定電位電解式のガス検知部を含む、新コスモス電機株式会社のＣＤＳ―７（型番）を用いた。

【0049】

（実施例１）
図３に示すように、実施例１の確認実験では、ニッケルと、アルミノケイ酸塩鉱物とを含む触媒を用いたフルオロオレフィン検知装置（実施例１）を用いた。具体的には、２４質量％のニッケルを含む触媒を用いた。また、１ｐｐｍ、２ｐｐｍ、３ｐｐｍおよび４ｐｐｍのオクタフルオロシクロペンテンを含む被検知ガスを流し、ガス検知部の指示値（検知量に応じたガス検知部の出力値に対応する値）を得た。また、０．５ｐｐｍ、１ｐｐｍ、１．５ｐｐｍ、２ｐｐｍおよび３ｐｐｍのヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンを含む被検知ガスを流し、ガス検知部の指示値を得た。測定は、加熱機構により触媒を４２０℃に加熱しながら行った。図３に示すグラフは、実施例１のフルオロオレフィン検知装置のガス検知部の指示値の時間変化を示している。図３（および図４～図１７）に示すグラフでは、縦軸がガス検知部の指示値を示し、横軸が時間を示している。なお、図３（および図４～図１７）に示すグラフにおいて、ガス検知部の指示値が最後に下降しているのは、被検知ガスの流通を停止したためである。

【0050】

図３に示すグラフから分かるように、実施例１のフルオロオレフィン検知装置では、オクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンのいずれの場合にも、時間が経過するにつれて、ガス検知部の指示値が上昇した。これは、ニッケルと、アルミノケイ酸塩鉱物とを含む実施例１の触媒によりオクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンの両方を触媒反応させることができ、触媒反応により発生したフッ化水素を検知することができたためと考えられる。このことから、実施例１の触媒は、オクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンの両方の触媒反応を容易に引き起こすことができると考えられる。

【0051】

また、図３に示すグラフから分かるように、オクタフルオロシクロペンテン濃度と、ガス検知部の指示値との間には相関が見られた。具体的には、オクタフルオロシクロペンテン濃度が上昇すると、概ね一定の関係でガス検知部の指示値が上昇する相関が見られた。また、ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン濃度と、ガス検知部の指示値との間にも同様の相関が見られた。このことから、実施例１の触媒によれば、ガス検知部の指示値に基づいて、オクタフルオロシクロペンテン濃度およびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン濃度を容易に測定することができると考えられる。

【0052】

（実施例２）
図４に示すように、実施例２の確認実験では、白金と、コバルトと、アルミノケイ酸塩鉱物とを含む触媒を用いたフルオロオレフィン検知装置（実施例２）を用いた。具体的には、２質量％の白金と、２質量％のコバルトとを含む触媒を用いた。また、３ｐｐｍのオクタフルオロシクロペンテンを含む被検知ガスを流し、ガス検知部の指示値を得た。また、１ｐｐｍのヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンを含む被検知ガスを流し、ガス検知部の指示値を得た。測定は、加熱機構により触媒を３５０℃に加熱しながら行った。図４に示すグラフは、実施例２のフルオロオレフィン検知装置のガス検知部の指示値の時間変化を示している。

【0053】

図４に示すグラフから分かるように、実施例２のフルオロオレフィン検知装置では、オクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンのいずれの場合にも、時間が経過するにつれて、ガス検知部の指示値が上昇した。これは、白金と、コバルトと、アルミノケイ酸塩鉱物とを含む実施例２の触媒によりオクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンの両方を触媒反応させることができ、触媒反応により発生したフッ化水素を検知することができたためと考えられる。このことから、実施例２の触媒は、オクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンの両方の触媒反応を容易に引き起こすことができると考えられる。

【0054】

（実施例３）
図５に示すように、実施例３の確認実験では、白金と、ロジウムと、アルミノケイ酸塩鉱物とを含む触媒を用いたフルオロオレフィン検知装置（実施例３）を用いた。具体的には、２質量％の白金と、２質量％のロジウムとを含む触媒を用いた。また、１ｐｐｍ、１．５ｐｐｍ、２ｐｐｍ、２．５ｐｐｍおよび３ｐｐｍのオクタフルオロシクロペンテンを含む被検知ガスを流し、ガス検知部の指示値を得た。測定は、加熱機構により触媒を５００℃に加熱しながら行った。図５に示すグラフは、実施例３のフルオロオレフィン検知装置のガス検知部の指示値の時間変化を示している。

【0055】

図５に示すグラフから分かるように、実施例３のフルオロオレフィン検知装置では、時間が経過するにつれて、ガス検知部の指示値が上昇した。これは、白金と、ロジウムと、アルミノケイ酸塩鉱物とを含む実施例３の触媒によりオクタフルオロシクロペンテンを触媒反応させることができ、触媒反応により発生したフッ化水素を検知することができたためと考えられる。また、オクタフルオロシクロペンテンを触媒反応させることができたことから、オクタフルオロペンテンよりも触媒反応しやすいヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンも触媒反応させることができると考えられる。このことから、実施例３の触媒は、オクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンの両方の触媒反応を容易に引き起こすことができると考えられる。

【0056】

また、図５に示すグラフから分かるように、オクタフルオロシクロペンテン濃度と、ガス検知部の指示値との間には相関が見られた。具体的には、オクタフルオロシクロペンテン濃度が上昇すると、概ね一定の関係でガス検知部の指示値が上昇する相関が見られた。このことから、実施例３の触媒によれば、ガス検知部の指示値に基づいて、オクタフルオロシクロペンテン濃度を容易に測定することができると考えられる。

【0057】

（実施例４）
図６に示すように、実施例４の確認実験では、ルテニウムと、ロジウムと、アルミノケイ酸塩鉱物とを含む触媒を用いたフルオロオレフィン検知装置（実施例４）を用いた。具体的には、１５質量％のルテニウムと、５質量％のロジウムとを含む触媒を用いた。また、１ｐｐｍ、１．５ｐｐｍ、２ｐｐｍ、２．５ｐｐｍ、３ｐｐｍおよび４ｐｐｍのオクタフルオロシクロペンテンを含む被検知ガスを流し、ガス検知部の指示値を得た。また、０．５ｐｐｍおよび１ｐｐｍのヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンを含む被検知ガスを流し、ガス検知部の指示値を得た。測定は、加熱機構により触媒を３３０℃に加熱しながら行った。図６に示すグラフは、実施例４のフルオロオレフィン検知装置のガス検知部の指示値の時間変化を示している。

【0058】

図６に示すグラフから分かるように、実施例４のフルオロオレフィン検知装置では、オクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンのいずれの場合にも、時間が経過するにつれて、ガス検知部の指示値が上昇した。これは、ルテニウムと、ロジウムと、アルミノケイ酸塩鉱物とを含む実施例４の触媒によりオクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンの両方を触媒反応させることができ、触媒反応により発生したフッ化水素を検知することができたためと考えられる。このことから、実施例４の触媒は、オクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンの両方の触媒反応を容易に引き起こすことができると考えられる。

【0059】

また、図６に示すグラフから分かるように、オクタフルオロシクロペンテン濃度と、ガス検知部の指示値との間には相関が見られた。具体的には、オクタフルオロシクロペンテン濃度が上昇すると、概ね一定の関係でガス検知部の指示値が上昇する相関が見られた。このことから、実施例４の触媒によれば、ガス検知部の指示値に基づいて、オクタフルオロシクロペンテン濃度を容易に測定することができると考えられる。

【0060】

（実施例５）
図７に示すように、実施例５の確認実験では、白金と、ルテニウムと、アルミノケイ酸塩鉱物とを含む触媒を用いたフルオロオレフィン検知装置（実施例５）を用いた。具体的には、１０質量％の白金と、９質量％のルテニウムとを含む触媒を用いた。また、０．５ｐｐｍ、１ｐｐｍ、１．５ｐｐｍ、２ｐｐｍ、２．５ｐｐｍ、３ｐｐｍおよび４ｐｐｍのオクタフルオロシクロペンテンを含む被検知ガスを流し、ガス検知部の指示値を得た。また、０．５ｐｐｍ、１ｐｐｍおよび１．５ｐｐｍのヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンを含む被検知ガスを流し、ガス検知部の指示値を得た。測定は、加熱機構により触媒を３４０℃に加熱しながら行った。図７に示すグラフは、実施例５のフルオロオレフィン検知装置のガス検知部の指示値の時間変化を示している。

【0061】

図７に示すグラフから分かるように、実施例５のフルオロオレフィン検知装置では、オクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンのいずれの場合にも、時間が経過するにつれて、ガス検知部の指示値が上昇した。これは、白金と、ルテニウムと、アルミノケイ酸塩鉱物とを含む実施例５の触媒によりオクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンの両方を触媒反応させることができ、触媒反応により発生したフッ化水素を検知することができたためと考えられる。このことから、実施例５の触媒は、オクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンの両方の触媒反応を容易に引き起こすことができると考えられる。

【0062】

また、図７に示すグラフから分かるように、オクタフルオロシクロペンテン濃度と、ガス検知部の指示値との間には相関が見られた。具体的には、オクタフルオロシクロペンテン濃度が上昇すると、概ね一定の関係でガス検知部の指示値が上昇する相関が見られた。また、ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン濃度と、ガス検知部の指示値との間にも同様の相関が見られた。このことから、実施例５の触媒によれば、ガス検知部の指示値に基づいて、オクタフルオロシクロペンテン濃度およびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン濃度を容易に測定することができると考えられる。

【0063】

（実施例６）
図８に示すように、実施例６の確認実験では、白金と、ルテニウムと、アルミノケイ酸塩鉱物とを含む触媒を用いたフルオロオレフィン検知装置（実施例６）を用いた。具体的には、２０質量％の白金と、１４質量％のルテニウムとを含む触媒を用いた。また、１ｐｐｍ、１．５ｐｐｍ、２ｐｐｍ、２．５ｐｐｍ、３ｐｐｍおよび４ｐｐｍのオクタフルオロシクロペンテンを含む被検知ガスを流し、ガス検知部の指示値を得た。また、０．５ｐｐｍ、１ｐｐｍ、１．５ｐｐｍおよび２ｐｐｍのヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンを含む被検知ガスを流し、ガス検知部の指示値を得た。測定は、加熱機構により触媒を３２０℃に加熱しながら行った。図８に示すグラフは、実施例６のフルオロオレフィン検知装置のガス検知部の指示値の時間変化を示している。

【0064】

図８に示すグラフから分かるように、実施例６のフルオロオレフィン検知装置では、オクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンのいずれの場合にも、時間が経過するにつれて、ガス検知部の指示値が上昇した。これは、白金と、ルテニウムと、アルミノケイ酸塩鉱物とを含む実施例６の触媒によりオクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンの両方を触媒反応させることができ、触媒反応により発生したフッ化水素を検知することができたためと考えられる。このことから、実施例６の触媒は、オクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンの両方の触媒反応を容易に引き起こすことができると考えられる。

【0065】

また、図８に示すグラフから分かるように、オクタフルオロシクロペンテン濃度と、ガス検知部の指示値との間には相関が見られた。具体的には、オクタフルオロシクロペンテン濃度が上昇すると、概ね一定の関係でガス検知部の指示値が上昇する相関が見られた。また、ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン濃度と、ガス検知部の指示値との間にも同様の相関が見られた。このことから、実施例６の触媒によれば、ガス検知部の指示値に基づいて、オクタフルオロシクロペンテン濃度およびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン濃度を容易に測定することができると考えられる。

【0066】

（実施例７）
図９に示すように、実施例７の確認実験では、白金と、ルテニウムと、アルミノケイ酸塩鉱物とを含む触媒を用いたフルオロオレフィン検知装置（実施例７）を用いた。具体的には、１２質量％の白金と、８質量％のルテニウムとを含む触媒を用いた。また、１ｐｐｍ、１．５ｐｐｍ、２ｐｐｍ、２．５ｐｐｍ、３ｐｐｍおよび４ｐｐｍのオクタフルオロシクロペンテンを含む被検知ガスを流し、ガス検知部の指示値を得た。また、０．５ｐｐｍ、１ｐｐｍおよび１．５ｐｐｍのヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンを含む被検知ガスを流し、ガス検知部の指示値を得た。測定は、加熱機構により触媒を３６０℃に加熱しながら行った。図９に示すグラフは、実施例７のフルオロオレフィン検知装置のガス検知部の指示値の時間変化を示している。

【0067】

図９に示すグラフから分かるように、実施例７のフルオロオレフィン検知装置では、オクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンのいずれの場合にも、時間が経過するにつれて、ガス検知部の指示値が上昇した。これは、白金と、ルテニウムと、アルミノケイ酸塩鉱物とを含む実施例７の触媒によりオクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンの両方を触媒反応させることができ、触媒反応により発生したフッ化水素を検知することができたためと考えられる。このことから、実施例７の触媒は、オクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンの両方の触媒反応を容易に引き起こすことができると考えられる。

【0068】

また、図９に示すグラフから分かるように、オクタフルオロシクロペンテン濃度と、ガス検知部の指示値との間には相関が見られた。具体的には、オクタフルオロシクロペンテン濃度が上昇すると、概ね一定の関係でガス検知部の指示値が上昇する相関が見られた。また、ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン濃度と、ガス検知部の指示値との間にも同様の相関が見られた。このことから、実施例７の触媒によれば、ガス検知部の指示値に基づいて、オクタフルオロシクロペンテン濃度およびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン濃度を容易に測定することができると考えられる。

【0069】

（実施例８）
図１０に示すように、実施例８の確認実験では、白金と、金と、ルテニウムと、アルミノケイ酸塩鉱物とを含む触媒を用いたフルオロオレフィン検知装置（実施例８）を用いた。具体的には、１３質量％の白金と、１０質量％の金と、１０質量％のルテニウムとを含む触媒を用いた。また、０．５ｐｐｍ、１ｐｐｍ、１．５ｐｐｍ、２ｐｐｍ、２．５ｐｐｍ、３ｐｐｍおよび４ｐｐｍのオクタフルオロシクロペンテンを含む被検知ガスを流し、ガス検知部の指示値を得た。測定は、加熱機構により触媒を３４０℃に加熱しながら行った。図１０に示すグラフは、実施例８のフルオロオレフィン検知装置のガス検知部の指示値の時間変化を示している。

【0070】

図１０に示すグラフから分かるように、実施例８のフルオロオレフィン検知装置では、時間が経過するにつれて、ガス検知部の指示値が上昇した。これは、白金と、金と、ルテニウムと、アルミノケイ酸塩鉱物とを含む実施例８の触媒によりオクタフルオロシクロペンテンを触媒反応させることができ、触媒反応により発生したフッ化水素を検知することができたためと考えられる。また、オクタフルオロシクロペンテンを触媒反応させることができたことから、オクタフルオロペンテンよりも触媒反応しやすいヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンも触媒反応させることができると考えられる。このことから、実施例８の触媒は、オクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンの両方の触媒反応を容易に引き起こすことができると考えられる。

【0071】

また、図１０に示すグラフから分かるように、オクタフルオロシクロペンテン濃度と、ガス検知部の指示値との間には相関が見られた。具体的には、オクタフルオロシクロペンテン濃度が上昇すると、概ね一定の関係でガス検知部の指示値が上昇する相関が見られた。このことから、実施例８の触媒によれば、ガス検知部の指示値に基づいて、オクタフルオロシクロペンテン濃度を容易に測定することができると考えられる。

【0072】

（実施例９）
図１１に示すように、実施例９の確認実験では、白金と、パラジウムと、ルテニウムと、アルミノケイ酸塩鉱物とを含む触媒を用いたフルオロオレフィン検知装置（実施例９）を用いた。具体的には、６質量％の白金と、６質量％のパラジウムと、６質量％のルテニウムとを含む触媒を用いた。また、０．５ｐｐｍ、１ｐｐｍ、１．５ｐｐｍ、２ｐｐｍ、２．５ｐｐｍ、３ｐｐｍおよび４ｐｐｍのオクタフルオロシクロペンテンを含む被検知ガスを流し、ガス検知部の指示値を得た。また、０．５ｐｐｍ、１ｐｐｍおよび１．５ｐｐｍのヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンを含む被検知ガスを流し、ガス検知部の指示値を得た。測定は、加熱機構により触媒を３４０℃に加熱しながら行った。図１１に示すグラフは、実施例９のフルオロオレフィン検知装置のガス検知部の指示値の時間変化を示している。

【0073】

図１１に示すグラフから分かるように、実施例９のフルオロオレフィン検知装置では、オクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンのいずれの場合にも、時間が経過するにつれて、ガス検知部の指示値が上昇した。これは、白金と、パラジウムと、ルテニウムと、アルミノケイ酸塩鉱物とを含む実施例９の触媒によりオクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンの両方を触媒反応させることができ、触媒反応により発生したフッ化水素を検知することができたためと考えられる。このことから、実施例９の触媒は、オクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンの両方の触媒反応を容易に引き起こすことができると考えられる。

【0074】

また、図１１に示すグラフから分かるように、オクタフルオロシクロペンテン濃度と、ガス検知部の指示値との間には相関が見られた。具体的には、オクタフルオロシクロペンテン濃度が上昇すると、概ね一定の関係でガス検知部の指示値が上昇する相関が見られた。また、ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン濃度と、ガス検知部の指示値との間にも同様の相関が見られた。このことから、実施例９の触媒によれば、ガス検知部の指示値に基づいて、オクタフルオロシクロペンテン濃度およびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン濃度を容易に測定することができると考えられる。

【0075】

（実施例１０）
図１２に示すように、実施例１０の確認実験では、白金と、パラジウムと、ルテニウムと、アルミノケイ酸塩鉱物とを含む触媒を用いたフルオロオレフィン検知装置（実施例１０）を用いた。具体的には、１３質量％の白金と、９質量％のパラジウムと、１０質量％のルテニウムとを含む触媒を用いた。また、０．５ｐｐｍ、１ｐｐｍ、１．５ｐｐｍ、２ｐｐｍ、２．５ｐｐｍ、３ｐｐｍおよび４ｐｐｍのオクタフルオロシクロペンテンを含む被検知ガスを流し、ガス検知部の指示値を得た。測定は、加熱機構により触媒を３４０℃に加熱しながら行った。図１２に示すグラフは、実施例１０のフルオロオレフィン検知装置のガス検知部の指示値の時間変化を示している。

【0076】

図１２に示すグラフから分かるように、実施例１０のフルオロオレフィン検知装置では、時間が経過するにつれて、ガス検知部の指示値が上昇した。これは、白金と、パラジウムと、ルテニウムと、アルミノケイ酸塩鉱物とを含む実施例１０の触媒によりオクタフルオロシクロペンテンを触媒反応させることができ、触媒反応により発生したフッ化水素を検知することができたためと考えられる。また、オクタフルオロシクロペンテンを触媒反応させることができたことから、オクタフルオロペンテンよりも触媒反応しやすいヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンも触媒反応させることができると考えられる。このことから、実施例１０の触媒は、オクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンの両方の触媒反応を容易に引き起こすことができると考えられる。

【0077】

また、図１２に示すグラフから分かるように、オクタフルオロシクロペンテン濃度と、ガス検知部の指示値との間には相関が見られた。具体的には、オクタフルオロシクロペンテン濃度が上昇すると、概ね一定の関係でガス検知部の指示値が上昇する相関が見られた。このことから、実施例１０の触媒によれば、ガス検知部の指示値に基づいて、オクタフルオロシクロペンテン濃度を容易に測定することができると考えられる。

【0078】

（実施例１１）
図１３に示すように、実施例１１の確認実験では、白金と、ルテニウムと、ロジウムと、アルミノケイ酸塩鉱物とを含む触媒を用いたフルオロオレフィン検知装置（実施例１１）を用いた。具体的には、１４質量％の白金と、１０質量％のルテニウムと、５質量％のロジウムとを含む触媒を用いた。また、０．５ｐｐｍ、１ｐｐｍ、１．５ｐｐｍ、２ｐｐｍ、２．５ｐｐｍ、３ｐｐｍおよび４ｐｐｍのオクタフルオロシクロペンテンを含む被検知ガスを流し、ガス検知部の指示値を得た。測定は、加熱機構により触媒を３４０℃に加熱しながら行った。図１３に示すグラフは、実施例１１のフルオロオレフィン検知装置のガス検知部の指示値の時間変化を示している。

【0079】

図１３に示すグラフから分かるように、実施例１１のフルオロオレフィン検知装置では、時間が経過するにつれて、ガス検知部の指示値が上昇した。これは、白金と、ルテニウムと、ロジウムと、アルミノケイ酸塩鉱物とを含む実施例１１の触媒によりオクタフルオロシクロペンテンを触媒反応させることができ、触媒反応により発生したフッ化水素を検知することができたためと考えられる。また、オクタフルオロシクロペンテンを触媒反応させることができたことから、オクタフルオロペンテンよりも触媒反応しやすいヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンも触媒反応させることができると考えられる。このことから、実施例１１の触媒は、オクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンの両方の触媒反応を容易に引き起こすことができると考えられる。

【0080】

また、図１３に示すグラフから分かるように、オクタフルオロシクロペンテン濃度と、ガス検知部の指示値との間には相関が見られた。具体的には、オクタフルオロシクロペンテン濃度が上昇すると、概ね一定の関係でガス検知部の指示値が上昇する相関が見られた。このことから、実施例１１の触媒によれば、ガス検知部の指示値に基づいて、オクタフルオロシクロペンテン濃度を容易に測定することができると考えられる。

【0081】

（実施例１２）
図１４に示すように、実施例１２の確認実験では、白金と、ルテニウムと、マンガンと、アルミノケイ酸塩鉱物とを含む触媒を用いたフルオロオレフィン検知装置（実施例１２）を用いた。具体的には、７質量％の白金と、５質量％のルテニウムと、１０質量％のマンガンとを含む触媒を用いた。また、１ｐｐｍ、２ｐｐｍ、３ｐｐｍおよび４ｐｐｍのオクタフルオロシクロペンテンを含む被検知ガスを流し、ガス検知部の指示値を得た。また、０．５ｐｐｍ、１ｐｐｍ、１．５ｐｐｍおよび２ｐｐｍのヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンを含む被検知ガスを流し、ガス検知部の指示値を得た。測定は、加熱機構により触媒を４００℃に加熱しながら行った。図１４に示すグラフは、実施例１２のフルオロオレフィン検知装置のガス検知部の指示値の時間変化を示している。

【0082】

図１４に示すグラフから分かるように、実施例１２のフルオロオレフィン検知装置では、オクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンのいずれの場合にも、時間が経過するにつれて、ガス検知部の指示値が上昇した。これは、白金と、ルテニウムと、マンガンと、アルミノケイ酸塩鉱物とを含む実施例１２の触媒によりオクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンの両方を触媒反応させることができ、触媒反応により発生したフッ化水素を検知することができたためと考えられる。このことから、実施例１２の触媒は、オクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンの両方の触媒反応を容易に引き起こすことができると考えられる。

【0083】

また、図１４に示すグラフから分かるように、オクタフルオロシクロペンテン濃度と、ガス検知部の指示値との間には相関が見られた。具体的には、オクタフルオロシクロペンテン濃度が上昇すると、概ね一定の関係でガス検知部の指示値が上昇する相関が見られた。また、ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン濃度と、ガス検知部の指示値との間にも同様の相関が見られた。このことから、実施例１２の触媒によれば、ガス検知部の指示値に基づいて、オクタフルオロシクロペンテン濃度およびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン濃度を容易に測定することができると考えられる。

【0084】

（実施例１３）
図１５に示すように、実施例１３の確認実験では、白金と、ルテニウムと、マンガンと、コバルトと、アルミノケイ酸塩鉱物とを含む触媒を用いたフルオロオレフィン検知装置（実施例１３）を用いた。具体的には、５質量％の白金と、３質量％のルテニウムと、７質量％のマンガンと、８質量％のコバルトとを含む触媒を用いた。また、１ｐｐｍ、２ｐｐｍ、３ｐｐｍ、４ｐｐｍおよび５ｐｐｍのオクタフルオロシクロペンテンを含む被検知ガスを流し、ガス検知部の指示値を得た。また、０．５ｐｐｍのヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンを含む被検知ガスを流し、ガス検知部の指示値を得た。測定は、加熱機構により触媒を３６０℃に加熱しながら行った。図１５に示すグラフは、実施例１３のフルオロオレフィン検知装置のガス検知部の指示値の時間変化を示している。

【0085】

図１５に示すグラフから分かるように、実施例１３のフルオロオレフィン検知装置では、オクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンのいずれの場合にも、時間が経過するにつれて、ガス検知部の指示値が上昇した。これは、ルテニウムと、ラジウムと、アルミノケイ酸塩鉱物とを含む実施例１３の触媒によりオクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンの両方を触媒反応させることができ、触媒反応により発生したフッ化水素を検知することができたためと考えられる。このことから、実施例１３の触媒は、オクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンの両方の触媒反応を容易に引き起こすことができると考えられる。

【0086】

また、図１５に示すグラフから分かるように、オクタフルオロシクロペンテン濃度と、ガス検知部の指示値との間には相関が見られた。具体的には、オクタフルオロシクロペンテン濃度が上昇すると、概ね一定の関係でガス検知部の指示値が上昇する相関が見られた。このことから、実施例１３の触媒によれば、ガス検知部の指示値に基づいて、オクタフルオロシクロペンテン濃度を容易に測定することができると考えられる。

【0087】

（実施例１４）
図１６に示すように、実施例１４の確認実験では、白金と、ルテニウムと、パラジウムと、マンガンと、アルミノケイ酸塩鉱物とを含む触媒を用いたフルオロオレフィン検知装置（実施例１４）を用いた。具体的には、９質量％の白金と、６質量％のルテニウムと、６質量％のパラジウムと、７質量％のマンガンとを含む触媒を用いた。また、１ｐｐｍ、２ｐｐｍ、３ｐｐｍ、４ｐｐｍおよび５ｐｐｍのオクタフルオロシクロペンテンを含む被検知ガスを流し、ガス検知部の指示値を得た。また、０．５ｐｐｍ、１ｐｐｍ、１．５ｐｐｍ、２ｐｐｍおよび２、５ｐｐｍのヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンを含む被検知ガスを流し、ガス検知部の指示値を得た。測定は、加熱機構により触媒を３６０℃に加熱しながら行った。図１６に示すグラフは、実施例１４のフルオロオレフィン検知装置のガス検知部の指示値の時間変化を示している。

【0088】

図１６に示すグラフから分かるように、実施例１４のフルオロオレフィン検知装置では、オクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンのいずれの場合にも、時間が経過するにつれて、ガス検知部の指示値が上昇した。これは、白金と、ルテニウムと、パラジウムと、マンガンと、アルミノケイ酸塩鉱物とを含む実施例１４の触媒によりオクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンの両方を触媒反応させることができ、触媒反応により発生したフッ化水素を検知することができたためと考えられる。このことから、実施例１４の触媒は、オクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンの両方の触媒反応を容易に引き起こすことができると考えられる。

【0089】

また、図１６に示すグラフから分かるように、オクタフルオロシクロペンテン濃度と、ガス検知部の指示値との間には相関が見られた。具体的には、オクタフルオロシクロペンテン濃度が上昇すると、概ね一定の関係でガス検知部の指示値が上昇する相関が見られた。また、ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン濃度と、ガス検知部の指示値との間にも同様の相関が見られた。このことから、実施例１４の触媒によれば、ガス検知部の指示値に基づいて、オクタフルオロシクロペンテン濃度およびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン濃度を容易に測定することができると考えられる。

【0090】

（実施例１５）
図１７に示すように、実施例１５の確認実験では、白金と、ルテニウムと、アルミノケイ酸塩鉱物とを含む触媒を用いたフルオロオレフィン検知装置（実施例１５）を用いた。具体的には、１１質量％の白金と、８質量％のルテニウムとを含む触媒を用いた。また、１ｐｐｍ、２ｐｐｍ、３ｐｐｍおよび４ｐｐｍのオクタフルオロシクロペンテンを含む被検知ガスを流し、ガス検知部の指示値を得た。測定は、加熱機構により触媒を３６０℃に加熱しながら行った。図１７に示すグラフは、実施例１５のフルオロオレフィン検知装置のガス検知部の指示値の時間変化を示している。

【0091】

また、実施例１５では、アルミノケイ酸塩鉱物の基材として、５０質量％以上７０質量％以下のムライトと、５質量％以下のα－アルミナとを含んだものを用いた実施例１～１４とは異なり、アルミノケイ酸塩鉱物の基材として、１２質量％以下のムライトと、３０質量％以上４９質量％以下のα－アルミナとを含んだものを用いた。

【0092】

図１７に示すグラフから分かるように、実施例１５のフルオロオレフィン検知装置では、時間が経過するにつれて、ガス検知部の指示値が上昇した。これは、白金と、ルテニウムと、アルミノケイ酸塩鉱物とを含む実施例１５の触媒によりオクタフルオロシクロペンテンを触媒反応させることができ、触媒反応により発生したフッ化水素を検知することができたためと考えられる。また、オクタフルオロシクロペンテンを触媒反応させることができたことから、オクタフルオロペンテンよりも触媒反応しやすいヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンも触媒反応させることができると考えられる。このことから、実施例１５の触媒は、オクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンの両方の触媒反応を容易に引き起こすことができると考えられる。

【0093】

また、実施例１５では、実施例１～１４に比べて、指示値が低い傾向を示し、オクタフルオロシクロペンテンの触媒反応による分解効率が低い傾向を示した。これは、アルミノケイ酸塩鉱物の基材が異なることが影響していると考えられる。すなわち、実施例１５では、ムライトが少なく、α－アルミナが多い基材を用いたが、実施例１～１４では、ムライトが多く、α－アルミナが少ない基材を用いたことが影響していると考えられる。すなわち、５０質量％以上７０質量％以下のムライトと、５質量％以下のα－アルミナとを含む基材を触媒に用いた方が、１２質量％以下のムライトと、３０質量％以上４９質量％以下のα－アルミナとを含む基材を触媒に用いるよりも、オクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンの触媒反応をより容易に引き起こすことができると考えられる。

【0094】

なお、実施例１～１５では、白金と、パラジウムと、ルテニウムと、金と、ロジウムと、コバルトと、ニッケルと、マンガンとのうちのいずれかを含む触媒について説明したが、本願発明者は、クロムと、セリウムと、鉄と、ランタンとのうちのいずれかを含む触媒についても、オクタフルオロシクロペンテンの触媒反応を引き起こすことができることを確認している。

【0095】

（実施例１６）
図１８に示すように、実施例１６の確認実験では、白金と、ルテニウムと、パラジウムと、マンガンと、アルミノケイ酸塩鉱物とを含む触媒（上記実施例１４の触媒）を用いたフルオロオレフィン検知装置（実施例１６）を用いて、指示値と触媒温度との関係を調べた。具体的には、１ｐｐｍのオクタフルオロシクロペンテンを含む被検知ガスを流し、２５０℃以上５００℃以下の温度範囲において、１０℃間隔でガス検知部の指示値を得た。また、１ｐｐｍのヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンを含む被検知ガスを流し、２５０℃以上５００℃以下の温度範囲において、１０℃間隔でガス検知部の指示値を得た。図１８に示すグラフは、実施例１６のフルオロオレフィン検知装置のガス検知部の指示値の温度変化を示している。このグラフでは、縦軸がガス検知部の指示値を示し、横軸が触媒温度を示している。

【0096】

図１８に示すグラフから分かるように、実施例１６のフルオロオレフィン検知装置では、２８０℃以上５００℃以下の温度範囲において、オクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンの両方の触媒反応を行うことができた。また、オクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンのいずれの場合にも、触媒温度が大きくなるにつれて、ガス検知部の指示値が増加する傾向を示した。これは、触媒温度が大きくなるにつれて、触媒反応による分解効率が増加したためと考えられる。また、触媒温度が大きくなるにつれて、オクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンの検知に干渉する干渉ガス（半導体製造工程のチラーのフッ素系不活性冷媒など）の触媒反応による分解効率も大きくなると考えられる。干渉ガスが分解されて干渉ガスの影響が大きくなり過ぎることを回避するため、触媒温度は、３６０℃以下であることが好ましいと考えられる。また、オクタフルオロシクロペンテンおよびヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンの指示値の比率が１：１に近い方が好ましいため、触媒温度は、３４０℃以上３６０℃以下であることがより好ましく、３６０℃であることがさらに好ましいと考えられる。

【0097】

（実施例１７）
図１９に示すように、実施例１７の確認実験では、綿状のアルミノケイ酸塩鉱物の基材を触媒筒に充填したフルオロオレフィン検知装置（実施例１７）を用いて、圧力損失とかさ密度との関係を調べた。具体的には、２００℃、２５０℃、３００℃、３５０℃、４００℃、４５０℃および５００℃において、被検知ガスを流し、圧力損失とかさ密度との関係を得た。図１９に示すグラフでは、縦軸が圧力損失を示し、横軸が基材のかさ密度を示している。

【0098】

図１９に示すグラフから分かるように、実施例１７のフルオロオレフィン検知装置では、２００℃以上５００℃以下の温度範囲において、かさ密度が増加するにつれて、圧力損失が増加する傾向を示した。また、実施例１７のフルオロオレフィン検知装置では、２００℃以上５００℃以下の温度範囲において、温度が増加するにつれて、圧力損失が増加する傾向を示した。実施例１７のフルオロオレフィン検知装置の許容圧力損失を－３ｋＰａとすると、２００℃以上５００℃以下の温度範囲では、かさ密度は、５０ｋｇ／ｍ^３以上１０２ｋｇ／ｍ^３以下であることが好ましいと考えられる。また、図１９に示すグラフ（実測値）から、圧力損失と、温度およびかさ密度との相関を表す近似計算式を求めることができる。近似計算式を用いれば、任意の温度およびかさ密度を入力することで、圧力損失を解析的に求めることができる。

【0099】

［変形例］
なお、今回開示された実施形態および実施例は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態および実施例の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。

【0100】

たとえば、上記実施形態では、フルオロオレフィン検知装置が、流量制御部と、ポンプとを備えている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、フルオロオレフィン分解部と、ガス検知部とを備えていれば、フルオロオレフィン検知装置が、流量制御部と、ポンプとを必ずしも備えていなくてもよい。

【0101】

また、上記実施形態では、触媒が、綿状に形成されている例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、触媒が、粒状、粉末状、シート状、および、タブレット状などに形成されていてもよい。

【0102】

また、上記実施形態では、ガス検知部が、電気化学式のガス検知部を含んでいる例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、フルオロオレフィンの触媒反応により発生した成分を検知可能であれば、ガス検知部が、電気化学式以外のガス検知部を含んでいてもよい。

【0103】

また、上記実施形態では、本発明の触媒部が、筒状に形成された触媒筒である例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、触媒を配置可能であれば、触媒部の形状は特に限られず、触媒部が、筒状形状以外の形状を有していてもよい。

【符号の説明】

【0104】

３０ フルオロオレフィン分解部（フルオロオレフィン分解装置）
３１ 触媒筒（触媒部）
３１ｂ 触媒
３２ 加熱機構
４０ ガス検知部
１００ フルオロオレフィン検知装置
Ｇ 被検知ガス

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】