特開 2024-81055 プローブおよび電気的接続装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024081055

(43)【公開日】2024-06-17

(54)【発明の名称】プローブおよび電気的接続装置

(51)【国際特許分類】

   G01R 1/067 20060101AFI20240610BHJP

   G01R 1/073 20060101ALI20240610BHJP

   G01R 31/28 20060101ALI20240610BHJP

   G01R 31/26 20200101ALI20240610BHJP

   H01L 21/66 20060101ALI20240610BHJP

【ＦＩ】

G01R1/067 C

G01R1/073 D

G01R31/28 K

G01R31/26 J

H01L21/66 B

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022194489

(22)【出願日】2022-12-05

(71)【出願人】

【識別番号】000153018

【氏名又は名称】株式会社日本マイクロニクス

(74)【代理人】

【識別番号】100083806

【弁理士】

【氏名又は名称】三好 秀和

(74)【代理人】

【識別番号】100070024

【弁理士】

【氏名又は名称】松永 宣行

(72)【発明者】

【氏名】林▲崎▼ 孝幸

(72)【発明者】

【氏名】今 瑞穂

(72)【発明者】

【氏名】豊田 美岬

【テーマコード（参考）】

2G003

2G011

2G132

4M106

【Ｆターム（参考）】

2G003AA07

2G003AG03

2G003AG04

2G003AH04

2G003AH05

2G011AA10

2G011AB01

2G011AB07

2G011AB08

2G011AC14

2G011AE03

2G011AF07

2G132AF02

4M106AA01

4M106DD03

4M106DD09

4M106DD10

(57)【要約】

【課題】側面を覆う保護材の形成に起因するプローブの反りを抑制できるプローブおよび電気的接続装置を提供する。
【解決手段】プローブは、プローブヘッドに含まれるガイド板のガイド穴に挿入されてプローブヘッドによって保持される。プローブは、柱形状の母材と、母材のガイド穴を通過する領域の側面の少なくとも一部を覆う、母材よりも硬度の高い保護材を備える。母材の同一のガイド穴を通過する領域を覆う保護材は、母材の軸方向に沿って複数の部分に分割されている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

プローブヘッドに含まれるガイド板のガイド穴に挿入されて前記プローブヘッドに保持され、検査対象物の電気的特性の検査に使用されるプローブであって、
柱形状の母材と、
前記母材の前記ガイド穴を通過する領域の側面の少なくとも一部を覆う、前記母材よりも硬度の高い保護材と
を備え、
前記母材の同一の前記ガイド穴を通過する領域を覆う前記保護材が、前記母材の軸方向に沿って複数の部分に分割されているプローブ。

【請求項2】

前記ガイド板の開口部を通過する前記母材の領域が前記保護材によって被覆されるように、前記保護材が分割されている、請求項１に記載のプローブ。

【請求項3】

前記母材の前記軸方向に垂直な断面が矩形状であり、
前記母材の少なくとも３つの側面は前記保護材によって被覆される、
請求項１に記載のプローブ。

【請求項4】

前記母材の側面に、前記軸方向に延伸する凸部が形成され、
前記保護材が、前記軸方向に向いた端面を含む前記凸部の表面を覆って前記母材に配置されている、
請求項１に記載のプローブ。

【請求項5】

前記ガイド穴がそれぞれ形成された第１ガイド板と第２ガイド板を離隔して配置した構成を有する前記プローブヘッドと
前記ガイド穴に挿入されて前記プローブヘッドに保持される、請求項１乃至４のいずれか１項に記載のプローブと
を備え、
同一の前記プローブが貫通する前記ガイド穴について、前記第１ガイド板の前記ガイド穴に対して前記第２ガイド板の前記ガイド穴の位置が前記第１ガイド板の主面と平行なオフセット方向にずらしてオフセット配置されて、
前記プローブは、前記第１ガイド板と前記第２ガイド板の間で湾曲した状態で保持される、
電気的接続装置。

【請求項6】

前記プローブの前記母材の前記軸方向に垂直な断面が矩形状であり、
前記オフセット方向と平行な方向を向いた前記母材の側面の一方が前記保護材によって被覆され、他方が前記保護材によって被覆されていない、
請求項５に記載の電気的接続装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、検査対象物の電気的特性の検査に使用するプローブおよび電気的接続装置に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体集積回路などの検査対象物の電気的特性をウェハ状態で検査するために、プローブを含む電気的接続装置が使用されている。プローブを用いた検査では、プローブの一方の端部を検査対象物の電極パッドに接触させ、プローブの他方の端部を、プリント基板などに配置された端子（以下において「ランド」という。）に接触させる。ランドは、テスタなどの検査装置と電気的に接続される。

【0003】

検査対象物の検査において、プローブを電極パッドに接触させた後に、更に電気的接続装置と検査対象物を近づける（オーバードライブ）ことにより、プローブを弾性変形により湾曲させる処理が行われている。プローブを湾曲させることにより、プローブの弾性力によって電極パッドおよびランドにプローブを安定して接触させることができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１８－９１８７０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

プローブは、複数のガイド板を有するプローブヘッドによって、ガイド板に形成されたガイド穴を貫通した状態で支持される。ガイド穴の内壁面又は開口部とプローブの側面が接触することによりプローブが破損することを防止するために、プローブのガイド穴を貫通する領域の側面の周囲をプローブの母材よりも硬い材料の保護材で覆うことが行われている。しかし、保護材を形成することによりプローブに掛かる応力によって、プローブに反りが生じる場合がある。

【0006】

本発明は、側面を覆う保護材の形成に起因するプローブの反りを抑制できるプローブおよび電気的接続装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の一態様に係るプローブは、プローブヘッドに含まれるガイド板のガイド穴に挿入されてプローブヘッドによって保持される。プローブは、柱形状の母材と、母材のガイド穴を通過する領域の側面の少なくとも一部を覆う、母材よりも硬度の高い保護材を備える。母材の同一のガイド穴を通過する領域を覆う保護材は、母材の軸方向に沿って複数の部分に分割されている。

【発明の効果】

【0008】

本発明によれば、側面を被覆する保護材の形成に起因するプローブの反りを抑制できるプローブおよび電気的接続装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本発明の実施形態に係る電気的接続装置の構成を示す模式図である。

【図2】本発明の実施形態に係るプローブの構成を示す模式図である。

【図3】図２のＩＩＩ－ＩＩＩ方向に沿った模式的な断面図である。

【図4】本発明の実施形態に係るプローブの製造過程の状態の例を示す模式図である。

【図5A】本発明の実施形態の第１の変形例に係るプローブの構成を示す模式図である。

【図5B】図５ＡのＶ－Ｖ方向に沿った模式的な断面図である。

【図6】本発明の実施形態の第２の変形例に係る電気的接続装置の構成を示す模式図である。

【図7】図６のＶＩＩ－ＶＩＩ方向に沿った模式的な断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

次に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、各部の厚みの比率などは現実のものとは異なることに留意すべきである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることはもちろんである。以下に示す実施形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、この発明の実施形態は、構成部品の材質、形状、構造、配置および製造方法などを下記のものに特定するものでない。

【0011】

図１に示す本発明の実施形態に係る電気的接続装置１００は、検査対象物２の電気的特性の検査に使用される。電気的接続装置１００では、プローブ１がプローブヘッド２０によって保持されている。具体的には、プローブヘッド２０に含まれる第１ガイド板２１、第２ガイド板２２および第３ガイド板２３のガイド穴に挿入されて、複数のプローブ１がプローブヘッド２０に保持されている。プローブヘッド２０は、第１ガイド板２１、第２ガイド板２２、第３ガイド板２３を、ガイド板の主面の面法線方向に相互に離隔して配置した構成を有する。以下では、第１ガイド板２１、第２ガイド板２２および第３ガイド板２３のそれぞれを限定しない場合には、ガイド板と表記する。

【0012】

プローブ１は、一方の端部である第１の接触部１１１、および他方の端部である第２の接触部１１２を有する。検査対象物２の検査時に、プローブ１の第１の接触部１１１は、検査対象物２の電極パッド（図示略）と接触する。プローブ１の第２の接触部１１２は、基板３０のランド３１に接触する。ランド３１は、図示を省略するＩＣテスタなどの検査装置と電気的に接続されている。第１の接触部１１１は、第２ガイド板２２および第３ガイド板２３を貫通するガイド穴を通過する。第２の接触部１１２は、第１ガイド板２１を貫通するガイド穴を通過する。

【0013】

プローブ１は、柱形状の母材と、母材のガイド穴を通過する領域の側面の少なくとも一部を覆う、母材よりも硬度が高い保護材５０を備える。図１に示すプローブ１は、第１ガイド板２１を通過する領域の外周を覆う第１の保護材５０１、第２ガイド板２２を通過する領域の外周を覆う第２の保護材５０２、および、第３ガイド板２３を通過する領域の外周を覆う第３の保護材５０３を含む。以下において、第１の保護材５０１、第２の保護材５０２および第３の保護材５０３のそれぞれを限定しない場合には、保護材５０と表記する。

【0014】

保護材５０により、ガイド穴の側面とプローブ１が接触することによるプローブの破損が防止される。ガイド穴の「側面」は、ガイド穴の内壁面および開口部を含む。実施形態に係るプローブ１では、ガイド板を貫通する複数の領域の少なくともいずれかにおいて、母材１０の同一のガイド穴を通過する領域を覆う保護材５０が、母材１０の軸方向に沿って複数の部分に分割されている。図１に示したプローブ１では、第３の保護材５０３が、第１保護部分５０Ａと第２保護部分５０Ｂに分割されている。

【0015】

図１に示すように、プローブヘッド２０において、同一のプローブ１が貫通するガイド穴について、第１ガイド板２１のガイド穴に対して第２ガイド板２２のガイド穴の位置が、第１ガイド板２１の主面と平行な方向Ｆにずらして配置されている。以下において、ガイド穴の位置をずらした配置を「オフセット配置」と称する。また、ガイド穴の位置をずらした方向Ｆを「オフセット方向」とも称する。オフセット配置により、第１ガイド板２１と第２ガイド板２２の間でプローブ１が湾曲している。即ち、第１ガイド板２１と第２ガイド板２２の間の中空領域２００で、プローブ１は弾性変形により湾曲した状態である。第２ガイド板２２のガイド穴の位置と第３ガイド板２３のガイド穴の位置は、ガイド板の面法線方向から見て一致している。

【0016】

第１ガイド板２１のガイド穴と第２ガイド板２２のガイド穴とがオフセット配置されていることにより、プローブ１の第１の接触部１１１が検査対象物２と接触すると、中空領域２００においてプローブ１が座屈する。即ち、プローブ１が検査対象物２に接触した状態（以下、「接触状態」）において、プローブ１が検査対象物２に接触していない状態（以下、「非接触状態」）における湾曲形状からプローブ１がたわみ変形により更に湾曲する。プローブ１が更に湾曲することにより、所定の押力でプローブ１が検査対象物２に接触する。したがって、オフセット配置により、プローブ１を用いて検査対象物２の電気的特性を安定して測定することができる。プローブ１は、非接触状態になると、検査対象物２に接触する前の形状に復帰する弾性を有する。

【0017】

以下に、図２を参照してプローブ１の詳細について説明する。

【0018】

図２に示す実施形態に係るプローブ１は、第１の接触部１１１、第１の連結部１２１、湾曲部１３、第２の連結部１２２および第２の接触部１１２が軸方向に沿って順に接続された構造を含む柱形状である。以下、第１の接触部１１１と第２の接触部１１２のそれぞれを限定しない場合には、接触部１１と表記する。また、第１の連結部１２１と第２の連結部１２２のそれぞれを限定しない場合には、連結部１２と表記する。言い換えると、プローブ１は、接触部１１、湾曲部１３、および接触部１１と湾曲部１３を連結する連結部１２を含む。

【0019】

第１の連結部１２１は、第１の接触部１１１と湾曲部１３を連結する。第２の連結部１２２は、第２の接触部１１２と湾曲部１３を連結する。第１の接触部１１１の先端は、検査において検査対象物と接触する。第２の接触部１１２の先端は、検査対象物の検査においてランドと接触する。検査対象物の検査時に、プローブ１は弾性変形により湾曲する。

【0020】

本発明の実施形態の説明では、図２に示すようにＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向を定義する。図２において、Ｘ方向は紙面の左右方向、Ｙ方向は紙面の奥行方向、Ｚ方向は紙面の上下方向にそれぞれ平行である。プローブ１の軸方向は、Ｚ方向に沿っている。以下では、プローブ１が、軸方向に垂直な断面が矩形状である場合を説明する。そして、Ｘ方向をプローブ１の幅の方向とし、Ｙ方向をプローブ１の厚さの方向とする。

【0021】

図３に、図２のＩＩＩ－ＩＩＩ方向に沿ったプローブ１の軸方向に垂直な断面（以下において、単に「断面」という。）の構造を示す。図３に示したプローブ１では、母材１０の４つの側面のうち、１つの長辺と２つの短辺が保護材５０に覆われている場合を例示的に示した。図３に示したように、断面が矩形状の母材１０の３つの側面が保護材５０によって被覆され、残りの１つの側面が保護材５０によって被覆されていなくてもよい。或いは、保護材５０が母材１０の側面を周回していてもよい。

【0022】

実施形態に係るプローブ１によれば、母材１０の側面に保護材５０を配置することにより、ガイド穴の側面との接触によるプローブ１の損傷を抑制できる。例えば、母材１０に、ニッケル（Ｎｉ）またはニッケル合金などが使用される。保護材５０には、例えばロジウム（Ｒｈ）などが好適に使用される。或いは、保護材５０にＤＬＣ（Diamond Like Carbon）などを使用してもよい。なお、母材１０は単一の材料であってもよいし、異なる材料の積層構造であってもよい。

【0023】

プローブ１において、図２に示すように、湾曲部１３の連結部１２に接続する領域の断面の面積を、湾曲部１３のその他の領域の断面の面積よりも小さくしてもよい。以下において、湾曲部１３の連結部１２と接続する領域を、「接続領域」とも称する。また、接続領域を除いた湾曲部１３の残余の領域を、「中間領域」とも称する。図２に示す湾曲部１３は、中間領域１３３と、中間領域１３３の一方の端部に連結する第１の接続領域１３１と、中間領域１３３の他方の端部に連結する第２の接続領域１３２を含む。第１の接続領域１３１は第１の連結部１２１に接続し、第２の接続領域１３２は第２の連結部１２２に接続している。以下、第１の接続領域１３１と第２の接続領域１３２のそれぞれを限定しない場合には、接続領域１３０と表記する。

【0024】

湾曲部１３において中間領域１３３よりも接続領域１３０の断面の面積を小さくすることにより、プローブ１が湾曲するときに、中間領域１３３と連結部１２の間で接続領域１３０が特に大きく湾曲する。このため、湾曲部１３とは反対側で連結部１２に接続する接触部１１の直進性を確保できる。例えば、図２に示すように、Ｘ方向において接続領域１３０の幅を中間領域１３３の幅よりも狭くすることによって、接続領域１３０の断面の面積を中間領域１３３の断面の面積より小さくしてもよい。このとき、Ｘ方向からみて湾曲部１３の厚みは一定である。

【0025】

プローブ１が検査対象物２に接触している接触状態においてプローブ１が湾曲するとき、湾曲部１３が中間領域１３３と接続領域１３０を含む場合には、特に接続領域１３０でプローブ１は大きく湾曲する。このため、接触部１１のガイド穴に沿った直線的な移動を確保できる。その結果、ガイド穴の側面と接触部１１の接触を抑制できる。ただし、湾曲部１３が接続領域１３０を含まなくてもガイド穴の側面と接触部１１の接触を抑制できる場合には、湾曲部１３の径は一定であってもよい。

【0026】

保護材５０が、接触部１１と連結部１２の接続部分を超えて連結部１２の一部を覆っていてもよい。即ち、連結部１２の接触部１１に近い領域を保護材５０で覆い、連結部１２の湾曲部１３に近い領域を保護材５０で覆わないようにしてもよい。連結部１２の接触部１１に近い領域を保護材５０で覆うことにより、連結部１２の一部がガイド穴の内部を通過する場合にも、ガイド穴の側面との接触によりプローブ１が損傷することを抑制できる。

【0027】

保護材５０は、プローブ１のガイド穴を通過する領域の範囲に応じて、ガイド穴の開口部を通過する領域の母材１０を覆うように分割される。言い換えると、保護材５０が配置される母材１０の領域は、検査対象物の検査時および非検査時のいずれかにおいてガイド穴を通過する領域である。例えば、オフセット配置によりプローブヘッド２０の内部で母材１０が湾曲した状態において、母材１０のガイド穴を通過する領域が保護材５０に覆われる。更に、検査対象物の検査時にプローブ１を検査対象物に押し付けるようにオーバードライブをかけることによりガイド穴を通過することになる母材１０の領域が、保護材５０に覆われる。

【0028】

例えば、プローブ１の軸方向に沿ったガイド穴の長さ（例えば２５０μｍ）およびプローブ１の湾曲に起因するストロークの長さ（例えば１２０μｍ）などを考慮して、保護材５０は分割される。「ストローク」とは、接触状態と非接触状態との間でガイド穴を通過する範囲の変化量である。

【0029】

オフセット方向は、例えば、母材１０の断面の長辺が向いた方向である。その場合、図３に示すように３つの側面が保護材５０によって被覆される母材１０では、オフセット方向と平行な方向を向いた側面の少なくともいずれかに保護材５０が配置されている。一方、オフセット方向と平行な方向を向いた側面のうち、保護材５０が配置された側面の反対方向を向いた側面は保護材５０によって被覆されていなくてもよい。言い換えると、オフセット方向を向いた側面若しくはオフセット方向と反対の方向を向いた側面のいずれか一方の側面を除いた母材１０の残余の側面に、保護材５０を形成してもよい。

【0030】

近年、プローブカードにはプローブの間隔を狭くする狭ピッチ化が求められており、隣接プローブとのショートを防ぐためプローブが細くなっている。ガイド板と接触する可能性のある母材１０の側面に保護材５０を被覆することによって、プローブ１が太くなることを抑制しつつ、母材１０がガイド穴と接触し破損することを抑制させることができる。例えば、本実施例であるプローブ１は、オフセット方向を向いた側面若しくはオフセット方向と反対の方向を向いた側面のいずれか一方の側面を除いた母材１０の残余の側面に、保護材５０が被覆される。一方、オフセット方向と反対の方向を向いた側面は母材１０が露出される。従って、３面に保護材５０を被覆し、１面に母材１０を露出させることによって、保護材５０が母材１０の表面に被覆されることでプローブ１が太くなることを抑制しつつ、母材１０がガイド穴と接触し破損することを抑制することができる。

【0031】

なお、母材１０の３面のみに保護材５０が被覆されることに制限されない。また、母材１０に保護材５０を埋め込むことによってプローブ１が太くなることを抑制しつつ、母材１０がガイド穴と接触し破損することを抑制することも考えられる。保護材５０を母材１０の表面に被覆される構造と、母材１０に保護材５０を埋め込む構造の一方がプローブ１に設けられることに限定されない。

【0032】

プローブ１は、例えば、平板状の基台の上に形成した母材１０の材料をエッチング処理により所定の形状にパターニングして形成される。プローブ１の製造過程において、母材１０の表面に保護材５０がメッキ加工などにより形成される。このとき、例えば図４に上面図を示すように、母材１０は支持台３００に一端を支持されて基台（図示略）の上方に浮いた状態で形成されている。このため、支持台３００と一体化している第２の接触部１１２から第１の接触部１１１に向かうにしたがって、母材１０は応力の影響を受け易い。即ち、第１の接触部１１１の保護材５０がメッキされた領域は、メッキ加工による応力の影響で反りが生じ易い。特に、保護材５０を形成する工程の後でプローブ１に反りが生じ易い。更に、製造工程の後でも、プローブ１の保護材５０で被覆された領域は反りが生じ易い。これに対し、実施形態に係るプローブ１は、保護材５０を分割することにより応力が母材１０に係る影響を低減して、反りの発生を抑制することができる。プローブ１は、特に反りが生じ易い第１の接触部１１１の周囲に形成された第３の保護材５０３を分割した場合を例示的に示している。

【0033】

以上に説明したように、電気的接続装置１００では、プローブ１の接触部１１のガイド穴を通過する領域の周囲に、接触部１１より硬度の高い保護材５０が配置されている。これにより、電気的接続装置１００によれば、ガイド穴の側面と接触してプローブ１が損傷することを抑制できる。一方、母材１０の軸方向に沿って保護材５０を連続的に形成した領域が長いほど、プローブ１に反りが発生し易い。これに対し、実施形態に係る電気的接続装置１００では、プローブ１において同一のガイド穴を通過する領域を覆う保護材５０が、母材１０の軸方向に沿って複数の部分に分割されている。このため、保護材５０の形成に起因するプローブ１の反りを抑制することができる。

【0034】

＜第１の変形例＞
図５Ａおよび図５Ｂに示す第１の変形例に係るプローブ１は、母材１０の１つの側面に、軸方向に沿って延伸する凸部１５を設けた構成である。凸部１５を母材１０の側面に形成することにより、母材１０の剛性を高めてプローブ１の反りの発生を抑制できる。凸部１５が母材１０の側面に配置されることによって、より母材１０の剛性が向上し、ガイド穴に挿入されるプローブ１の部位が湾曲しにくくなる。例えば、母材１０のオフセット方向を向いた側面（以下、「オフセット面」と称する。）に凸部１５を形成してもよい。オフセット面に凸部１５を形成するのは、母材１０の断面が矩形状である場合に、一般的にオフセット面となる長辺である側面に反りが生じ易いためである。保護材５０は、軸方向に向いた端面を含む凸部１５の表面を覆って母材１０に配置されている。

【0035】

凸部１５は、母材１０の先端までは延伸していないことが好ましい。母材１０の先端に凸部１５が形成されていないことにより、プローブ１をプローブヘッド２０のガイド穴に挿入する工程の際に、凸部１５の端面がガイド穴の開口部に当接してプローブ１のガイド穴への挿入が阻害されることを抑制できる。保護材５０により被覆される領域のみに、凸部１５を形成してもよい。

【0036】

＜第２の変形例＞
図６に示す第２の変形例に係る電気的接続装置１００は、プローブ１の表面に、プローブ１の軸方向に沿って互いに離隔して複数の絶縁性の被覆材６０が配置されている。被覆材６０は、保護材５０が配置された領域の残余の領域に配置されている。

【0037】

検査対象物の検査時にプローブ１がプローブヘッド２０の内部で座屈したときに、プローブ間の短絡が発生するおそれがある。図６に示した電気的接続装置１００では、プローブ１の表面に配置された絶縁性の被覆材６０が隣接するプローブ１と接触することにより、プローブ間の短絡が防止される。

【0038】

被覆材６０は、プローブ１のオフセット面、若しくはオフセット面の反対方向を向いた側面に配置することが好ましい。例えば、図７に示すように、矩形状の断面を有する母材１０のオフセット面、および、オフセット面に隣接する２つの側面に、被覆材６０を連続的に配置してもよい。或いは、プローブ１の全周に渡って被覆材６０を配置してもよい。

【0039】

被覆材６０は、プローブ１の中空領域２００を通過する部分において、少なくとも湾曲する部分を含めて間欠的に配置することが好ましい。これに対し、第１の接触部１１１から第２の接触部１１２まで母材１０の表面を軸方向に沿って連続的に被覆材６０で覆うと、プローブ１に反りが生じ易い。しかし、図６に示すプローブ１では、軸方向に沿って被覆材６０を間欠的に配置することにより、プローブ１の反りが抑制される。

【0040】

ところで、プローブ１をプローブヘッド２０にセットするために、ガイド板のガイド穴にプローブ１を貫通させる。例えば、すべてのガイド板のガイド穴の中心軸を一致させた状態で、ガイド板のガイド穴にプローブ１を連続的に貫通させる。このため、プローブ１の外径と被覆材６０の厚みの合計は、ガイド穴の内径よりも小さく設定される。つまり、被覆材６０の厚みは、プローブ１の外径と被覆材６０の厚みの合計とガイド穴の内径とのクリアランスを確保できる範囲で、且つプローブ間の短絡を防止できる厚みに設定される。

【0041】

被覆材６０の材料は、例えば樹脂類、ガラス繊維、永久レジスト、セラミック蒸着物などであってもよい。被覆材６０をプローブ１の表面の所定の位置に形成するには、例えば、プローブ１の表面の全面に被覆材６０を形成した後、フォトリソグラフィ技術などを用いて被覆材６０をパターニングしてもよい。

【0042】

（その他の実施形態）
上記のように本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述および図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例および運用技術が明らかとなろう。

【0043】

例えば、上記では、同一のガイド穴を通過する保護材５０を２つの部分に分割する場合を例示的に説明したが、保護材５０を３つ以上の部分に分割してもよい。ただし、ガイド板のガイド穴の開口部を通過する母材１０の領域が保護材５０によって被覆されるように、保護材５０が分割される。また、第３の保護材５０３を分割する場合を説明したが、第１の保護材５０１と第２の保護材５０２についても複数の部分に分割してもよい。

【0044】

また、上記では、母材１０の断面の形状が矩形状である場合について説明したが、母材１０の断面が他の形状であってもよい。例えば、母材１０の断面が矩形以外の多角形状であってもよい。母材１０の断面がどのような形状であっても、母材１０のガイド穴を通過する領域の側面を保護材５０で覆うことにより、ガイド穴の側面と接触することによるプローブ１の損傷を抑制できる。そして、同一のガイド穴を通過する保護材５０を複数の部分に分割することにより、プローブ１の反りの発生を抑制できる。

【0045】

なお、プローブヘッド２０が３枚のガイド板を含む場合について説明したが、プローブヘッド２０のガイド板の枚数は３枚に限られない。例えば、プローブヘッド２０のガイド板の枚数が２枚であっても４枚以上であってもよい。プローブヘッド２０のガイド板の枚数に関わらず、それぞれのガイド板のガイド穴を通過する領域の母材１０の側面に保護材５０を形成し、且つ、同一のガイド穴を通過する保護材５０を複数の部分に分割することが好ましい。

【0046】

このように、本発明は上記では記載していない様々な実施形態などを含むことはもちろんである。

【符号の説明】

【0047】

１…プローブ
１０…母材
１５…凸部
２０…プローブヘッド
２１…第１ガイド板
２２…第２ガイド板
２３…第３ガイド板
３０…基板
３１…ランド
５０…保護材
６０…被覆材
５０１…第１の保護材
５０２…第２の保護材
５０３…第３の保護材
５０Ａ…第１保護部分
５０Ｂ…第２保護部分
１００…電気的接続装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5A】

【図5B】

【図6】

【図7】