特開 2024-81855 金属板移載装置、及び、金属板移載方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024081855

(43)【公開日】2024-06-19

(54)【発明の名称】金属板移載装置、及び、金属板移載方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20240612BHJP

   C23C 14/04 20060101ALI20240612BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

C23C14/04 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022195354

(22)【出願日】2022-12-07

(71)【出願人】

【識別番号】000003193

【氏名又は名称】ＴＯＰＰＡＮホールディングス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100105957

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 誠

(74)【代理人】

【識別番号】100068755

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 博宣

(72)【発明者】

【氏名】木村 康彦

【テーマコード（参考）】

4K029

5F131

【Ｆターム（参考）】

4K029BA62

4K029BB03

4K029BD01

4K029CA01

4K029HA02

4K029HA03

4K029HA04

5F131AA10

5F131AA33

5F131BA03

5F131CA17

5F131EA10

5F131EA17

5F131EA22

5F131EA23

5F131EB00

5F131EB78

(57)【要約】

【課題】金属板の製造工程において、金属板の移載に伴う変形を抑制可能とした金属板移載装置及び金属板移載方法を提供する。
【解決手段】磁石に吸着するシート状の金属板の一例であるメタルマスクＭを移載する金属板移載装置１であって、メタルマスクＭと接する接触面１０Ｓを有する多孔質シート１０と、多孔質シート１０が備える面のうち接触面１０Ｓと反対の面を支持する支持面２０Ｓを有する非磁性板２０と、非磁性板２０に対して多孔質シート１０が位置する側と反対側からメタルマスクＭに磁力を作用させる磁気吸着部３０と、非磁性板２０と磁気吸着部３０との間の距離を変える昇降部４０と、を備え、接触面１０Ｓにおける硬度が支持面２０Ｓにおける硬度よりも低い。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

磁石に吸着するシート状の金属板を移載する金属板移載装置であって、
前記金属板と接する接触面を有する多孔質シートと、
前記多孔質シートが備える面のうち前記接触面と反対の面を支持する支持面を有する非磁性板と、
前記非磁性板に対して前記多孔質シートが位置する側と反対側から前記金属板に磁力を作用させる磁気吸着部と、
前記非磁性板と前記磁気吸着部との間の距離を変える昇降部と、を備え、
前記接触面における硬度が前記支持面における硬度よりも低い
金属板移載装置。

【請求項2】

前記多孔質シートは、連続気泡の孔部を有し、かつ、気孔率が６０％以上である
請求項１に記載の金属板移載装置。

【請求項3】

前記非磁性板は、前記支持面から延びる通気孔を備える
請求項２に記載の金属板移載装置。

【請求項4】

前記接触面は、アスカーＣ硬度が２０以下である
請求項１に記載の金属板移載装置。

【請求項5】

前記昇降部は、前記非磁性板に対して前記磁気吸着部を移動させることで、前記非磁性板と前記磁気吸着部との間の距離を変え、
前記金属板が前記磁気吸着部の磁力によって前記接触面に吸着されるときの前記磁気吸着部の位置が吸着位置であり、
前記金属板が前記磁気吸着部の磁力によって前記接触面に吸着されないときの前記磁気吸着部の位置が非吸着位置であり、
前記昇降部が前記磁気吸着部を前記吸着位置から前記非吸着位置に移動させるときの前記磁気吸着部の移動量は、２ｍｍ以上である
請求項１に記載の金属板移載装置。

【請求項6】

前記磁気吸着部は、前記接触面に沿う一次元方向において、第１磁力と、前記第１磁力よりも弱い第２磁力とを交互に作用させる
請求項１に記載の金属板移載装置。

【請求項7】

前記多孔質シートは、厚さ方向に貫通した開口部を備え、
前記金属板と前記多孔質シートとを接触させたときに、前記金属板の平面方向において、前記金属板が備える貫通孔が前記開口部の内側に位置する
請求項１に記載の金属板移載装置。

【請求項8】

非磁性板が備える支持面によって支持される多孔質シートが備える面のうち、前記非磁性板と接する面と反対の面であって、前記支持面よりも低い硬度を有する接触面に、磁石に吸着するシート状の金属板を接触させることと、
前記接触面に前記金属板を引き付ける磁気吸着部の磁力を、前記非磁性板に対して前記多孔質シートが位置する側と反対側から前記金属板に作用させることと、
前記非磁性板と前記磁気吸着部との間の距離を変えることと、を含む
金属板移載方法。

【請求項9】

第１非磁性板が備える第１支持面によって支持される第１多孔質シートが備える面のうち、前記第１非磁性板と接する面と反対の面であって、前記第１支持面よりも低い硬度を有する第１接触面に、磁石に吸着するシート状の金属板が備える第１面を接触させることと、
前記第１接触面に前記金属板を引き付ける第１磁気吸着部の磁力を、前記第１非磁性板に対して前記第１多孔質シートが位置する側と反対側から前記金属板に作用させることと、
前記第１面が前記第１多孔質シートに接している状態において、第２非磁性板が備える第２支持面によって支持される第２多孔質シートが備える面のうち、前記第２非磁性板と接する面と反対の面であって、前記第２支持面よりも低い硬度を有する第２接触面に、前記金属板が備える面のうち前記第１面と反対の第２面を接触させることと、
前記第２接触面に前記金属板を引き付ける第２磁気吸着部の磁力を、前記第２非磁性板に対して前記第２多孔質シートが位置する側と反対側から前記金属板に作用させることと、
前記第１非磁性板と前記第１磁気吸着部との間の距離を増加させることと、を含む
金属板移載方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、磁石によって吸着可能な金属板を移載するための金属板移載装置、及び、金属板移載方法に関する。

【背景技術】

【0002】

メタルマスクは、金属板の一例であって、貫通孔を有する金属製のシート状部材である。メタルマスクは、有機ＥＬディスプレイの製造や、積層セラミックコンデンサ（ＭＬＣＣ）の製造、電子機器が備えるカメラユニットにおいて外光に対する絞りとして機能するカメラ用金属遮光板などに用いられる。

【0003】

例えば、有機ＥＬディスプレイの製造において、メタルマスクは、基板の表面に有機ＥＬ材料を蒸着するために用いられる。この場合のメタルマスクは、数十μｍの厚さを有したシート状の金属板に、数十μｍの幅を有した貫通孔を備える。メタルマスクを移載する際には、メタルマスクに変形や損傷等が生じないように、メタルマスクの姿勢を安定した状態で保持するとともに、メタルマスクに外力を加えずに移載装置と他の装置との間で受け渡しを行うことが要求される。

【0004】

特許文献１には、シート状の部材を保持する技術の一例として、通気路部を有するベース基板と、通気路部を塞ぐようにベース基板に配置された粘着剤層とを備える保持用治具が開示されている。粘着剤層には、フレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）のようなシート状の部材が着脱自在に粘着される。特許文献１に記載される技術では、シート状の部材が粘着剤層に粘着された状態で、通気路部から気体を加圧もしくは吸引することで、通気路部を覆う粘着剤層を凸形状あるいは凹形状に変形させる。このようにして粘着剤層に粘着されたシート状の部材を剥離することで、シート状の部材の受け渡しを行う。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２００９－１０５２２６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

メタルマスクは、厚さが薄く、かつ、貫通孔を区画する微細な形状を備えることから、メタルマスクを保持して移載する際、及び、受け渡しにおいて吸着を解除した際に、メタルマスクに外力が加わると容易に変形する。したがって、特許文献１の技術をメタルマスクの移載に適用した場合、メタルマスクを粘着剤層から剥離する際に加わる外力によって、メタルマスクが変形するおそれがある。なお、上記の課題は、外力に対して変形し易いメタルマスク以外の金属板においても共通する。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記課題を解決するための金属板移載装置は、磁石に吸着するシート状の金属板を移載する金属板移載装置であって、前記金属板と接する接触面を有する多孔質シートと、前記多孔質シートが備える面のうち前記接触面と反対の面を支持する支持面を有する非磁性板と、前記非磁性板に対して前記多孔質シートが位置する側と反対側から前記金属板に磁力を作用させる磁気吸着部と、前記非磁性板と前記磁気吸着部との間の距離を変える昇降部と、を備え、前記接触面における硬度が前記支持面における硬度よりも低い。

【0008】

上記構成によれば、接触面と接する金属板に作用する磁力の強さが、昇降部による非磁性板に対する磁気吸着部の移動によって変わる。これにより、金属板と接触面との相対位置を変えることなく、金属板の吸着とその解除とが可能である。結果として、金属板の吸着とその解除とにおいて、金属板に局所的な応力が作用することが抑えられる。また、非磁性板の支持面よりも硬度が低い多孔質シートの接触面に金属板が吸着される。これにより、支持面のような接触面よりも高い硬度を有した面に金属板が吸着される場合と比べて、接触面と金属板との間に異物が介在しても、異物との接触による金属板の変形を抑制できる。

【0009】

上記金属板移載装置において、前記多孔質シートは、連続気泡の孔部を有し、かつ、気孔率が６０％以上であることが好ましい。上記構成によれば、多孔質シートが連続気泡の孔部を有することで、金属板と接触面との間に密閉された空間が形成されることが抑制される。これにより、金属板を接触面から剥離する際に、金属板と接触面との間の空間の気圧と大気圧との差によって金属板に対して接触面に引き付けられる力が作用することを抑制できる。結果として、金属板を接触面から剥離する際に、金属板に加わる外力を低減できるとともに、金属板接触面から容易に剥離することができる。また、多孔質シートの気孔率が６０％以上であることで、上述の効果を好適に発揮することができる。

【0010】

上記金属板移載装置において、前記非磁性板は、前記支持面から延びる通気孔を備えることが好ましい。上記構成によれば、非磁性板が支持面から延びる通気孔を備えることで、多孔質シートが備える孔部のうち非磁性板と対向する孔部が、通気孔によって大気に通じる。したがって、金属板と多孔質シートの接触面との間に密閉された空間が形成されることをより確実に抑制できる。

【0011】

上記金属板移載装置において、前記接触面は、アスカーＣ硬度が２０以下であることが好ましい。接触面のアスカーＣ硬度が２０以下であることで、仮に接触面と金属板との間に異物が介在した場合であっても、異物との接触による金属板の変形をより確実に抑制できる。

【0012】

上記金属板移載装置において、前記昇降部は、前記非磁性板に対して前記磁気吸着部を移動させることで、前記非磁性板と前記磁気吸着部との間の距離を変え、前記金属板が前記磁気吸着部の磁力によって前記接触面に吸着されるときの前記磁気吸着部の位置が吸着位置であり、前記金属板が前記磁気吸着部の磁力によって前記接触面に吸着されないときの前記磁気吸着部の位置が非吸着位置であり、前記昇降部が前記磁気吸着部を前記吸着位置から前記非吸着位置に移動させるときの前記磁気吸着部の移動量は、２ｍｍ以上であることが好ましい。上記構成によれば、吸着位置に位置する磁気吸着部を２ｍｍ以上移動させることで、接触面に接する状態の金属板に作用する磁力を十分に低減できる。

【0013】

上記金属板移載装置において、前記磁気吸着部は、前記接触面に沿う一次元方向において、第１磁力と、前記第１磁力よりも弱い第２磁力とを交互に作用させることが好ましい。上記構成によれば、仮に波打ちが生じた状態で金属板が磁気吸着された場合であっても、波打ちのうち第１磁力が作用する部分が優先的に吸着されることで、波打ちが絞られるように縮小する。同時に、金属板に生じた波打ちの頂点が、第１磁力が作用せず第２磁力が作用する位置、すなわち、相対的に磁力が弱い位置に移動する。これにより、波打ちが過剰に絞られることが抑制されるため、波打ちの頂点に折れ目が形成されることが抑制される。

【0014】

上記金属板移載装置において、前記多孔質シートは、厚さ方向に貫通した開口部を備え、前記金属板と前記多孔質シートとを接触させたときに、前記金属板の平面方向において、前記金属板が備える貫通孔が前記開口部の内側に位置する構成でもよい。上記構成によれば、金属板のうち貫通孔を区画する部分は、多孔質シートと接触しない状態となる。これにより、金属板のうち貫通孔を区画する部分に対して、金属板と多孔質シートの接触面との間に介在する異物による外力が加わることを抑制できる。

【0015】

上記課題を解決するための金属板移載方法は、非磁性板が備える支持面によって支持される多孔質シートが備える面のうち、前記非磁性板と接する面と反対の面であって、前記支持面よりも低い硬度を有する接触面に、磁石に吸着するシート状の金属板を接触させることと、前記接触面に前記金属板を引き付ける磁気吸着部の磁力を、前記非磁性板に対して前記多孔質シートが位置する側と反対側から前記金属板に作用させることと、前記非磁性板と前記磁気吸着部との間の距離を変えることと、を含む。

【0016】

上記課題を解決するための金属板移載方法は、第１非磁性板が備える第１支持面によって支持される第１多孔質シートが備える面のうち、前記第１非磁性板と接する面と反対の面であって、前記第１支持面よりも低い硬度を有する第１接触面に、磁石に吸着するシート状の金属板が備える第１面を接触させることと、前記第１接触面に前記金属板を引き付ける第１磁気吸着部の磁力を、前記第１非磁性板に対して前記第１多孔質シートが位置する側と反対側から前記金属板に作用させることと、前記第１面が前記第１多孔質シートに接している状態において、第２非磁性板が備える第２支持面によって支持される第２多孔質シートが備える面のうち、前記第２非磁性板と接する面と反対の面であって、前記第２支持面よりも低い硬度を有する第２接触面に、前記金属板が備える面のうち前記第１面と反対の第２面を接触させることと、前記第２接触面に前記金属板を引き付ける第２磁気吸着部の磁力を、前記第２非磁性板に対して前記第２多孔質シートが位置する側と反対側から前記金属板に作用させることと、前記第１非磁性板と前記第１磁気吸着部との間の距離を増加させることと、を含む。

【0017】

上記方法によれば、金属板の第１面が第１接触面に引き付けられた状態から、金属板の第２面が第２接触面に引き付けられた状態となるため、金属板が吸着される面を反転させることができる。また、反転動作中に金属板の姿勢が一定に保たれるため、金属板の変形を抑えることができる。そして、第１支持面よりも硬度が低い第１接触面に金属板の第１面が吸着される。これにより、第１支持面のような第１接触面よりも高い硬度を有した面に金属板が吸着される場合と比べて、第１接触面と金属板の第１面との間に異物が介在しても、異物との接触による金属板の変形を抑制できる。同様に、第２支持面のような第２接触面よりも高い硬度を有した面に金属板が吸着される場合と比べて、第２接触面と金属板の第２面との間に異物が介在しても、異物との接触による金属板の変形を抑制できる。

【発明の効果】

【0018】

本発明によれば、金属板の製造工程において、金属板の移載に伴う変形を抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】図１は、第１実施形態の金属板移載装置の構成を表す模式図である。

【図2】図２は、磁気吸着部が非吸着位置に位置するとともに、多孔質シートの接触面をメタルマスクに接触させた状態の金属板移載装置を示す模式図である。

【図3】図３は、図２に示す状態から磁気吸着部を吸着位置に移動させた状態の金属板移載装置を示す模式図である。

【図4】図４は、図３に示す状態からメタルマスクを吸着した状態の金属板移載装置を持ち上げた状態を示す模式図である。

【図5】図５は、磁気吸着部からメタルマスクに作用する第１磁力及び第２磁力を示す模式図である。

【図6】図６は、波打ちが生じたメタルマスクがステージに載置された状態を示す模式図である。

【図7】図７は、図６に示す状態のメタルマスクが金属板移載装置に吸着された状態を示す模式図である。

【図8】図８は、メタルマスクに生じた波打ちが、第１磁力が作用する位置から第２磁力が作用する位置に移動した状態のメタルマスクを示す模式図である。

【図9】図９は、第１実施形態の金属板移載装置の変更例を表す分解斜視図である。

【図10】図１０は、第２実施形態の金属板移載装置の構成を表す模式図である。

【図11】図１１は、第３実施形態において用いられる第１金属板移載装置と第２金属板移載装置とを示す模式図である。

【図12】図１２は、第１金属板移載装置に吸着されたメタルマスクを第２金属板移載装置に受け渡す工程を示す模式図である。

【図13】図１３は、メタルマスクが第２金属板移載装置に吸着された状態を示す模式図である。

【図14】図１４は、比較例１の金属板移載装置の構成を示す模式図である。

【図15】図１５は、比較例２の金属板移載装置の構成を示す模式図である。

【図16】図１６は、比較例３の金属板移載装置の構成を示す模式図である。

【図17】図１７は、比較例４の金属板移載装置の構成を示す模式図である。

【図18】図１８は、比較例５において用いられる第１金属板移載装置と第２金属板移載装置とを示す模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

［第１実施形態］
以下、金属板移載装置の第１実施形態について図１～図９を参照して説明する。
［メタルマスク］
図１に示すように、ステージＳが備える平坦な面には、金属板の一例であるメタルマスクＭが載置されている。メタルマスクＭは、磁石に吸着する矩形板状のシート状の金属である。メタルマスクＭは、一例として、長さが３００ｍｍ以上３０００ｍｍ以下、幅が５０ｍｍ以上４００ｍｍ以下、厚さが１０μｍ以上５０μｍ以下である。メタルマスクＭの中央部には、所定の形状を有した複数の貫通孔が並んでいる。メタルマスクＭが備える貫通孔は、円形孔でもよいし、四角形孔でもよいし、楕円形孔でもよい。貫通孔の開口における最大幅は、例えば２０μｍ以上１００μｍ以下である。メタルマスクＭは、例えば、有機ＥＬディスプレイの製造に用いられる。なお、メタルマスクＭは、有機ＥＬ材料以外の材料を蒸着するために用いられるものであってもよい。

【0021】

メタルマスクＭを構成する材料は、磁石に吸着する強磁性の金属を含む。強磁性の金属は、例えば、鉄、コバルト、ニッケル、及び、これらのうち何れかを含む合金からなる群から選択されるいずれか一種である。合金の一例は、鉄及びニッケルを含むインバー材である。インバー材から構成されるメタルマスクＭのビッカース硬さは、一例として、１６５ＨＶ以上１７５ＨＶ以下程度である。

【0022】

［金属板移載装置］
第１実施形態の金属板移載装置１は、磁石に吸着される金属板の製造や検査、あるいは金属板の保管に際して、任意の場所に載置された金属板を他の場所に移動させるための装置である。金属板移載装置１が移載する金属板は、一例としてメタルマスクＭであるが、磁石に吸着するシート状の金属板であれば金属板移載装置１によって移載可能である。金属板移載装置１が移載する金属板は、例えば、リードフレームやシャドーマスクである。

【0023】

金属板移載装置１は、一例として、作業者によって持ち運び可能に構成されているが、ロボットアームや電動スライダのような機械的な移動機構によって移動される構成であってもよい。金属板移載装置１は、多孔質シート１０と、非磁性板２０と、磁気吸着部３０と、昇降部４０と、を備える。

【0024】

［多孔質シート］
多孔質シート１０は、内部に孔部（空隙）を有するシート状の部材である。多孔質シート１０は、接触面１０Ｓを備える。接触面１０Ｓは、多孔質シート１０が備える面のうちメタルマスクＭと接する面である。多孔質シート１０は、接触面１０Ｓと反対の面を、非磁性板２０が備える支持面２０Ｓによって支持されている。接触面１０Ｓは、メタルマスクＭよりも大きい。すなわち、接触面１０ＳとメタルマスクＭとが接する状態において、メタルマスクＭの外縁が接触面１０Ｓの外縁よりも内側に位置する。なお、図１では、多孔質シート１０にドットを付して示している。

【0025】

多孔質シート１０は、例えば、有機材料からなる多孔質体である。多孔質シート１０を構成する材料は、例えば、アクリル・ウレタン・ゴムの共重合発泡体及びポリウレタンの発泡体のうちの少なくとも何れか１種を含む。多孔質シート１０は、一例として、ポリウレタンの発泡体（ウレタンフォーム）である。多孔質シート１０の厚さは、例えば、０．５ｍｍ以上１．０ｍｍ以下である。多孔質シート１０の気孔率は、例えば、６０％以上である。なお、多孔質シート１０の気孔率は、多孔質シート１０全体の見かけの体積に対する多孔質シート１０に含まれる孔部の体積の割合である。多孔質シート１０全体の見かけの体積は、多孔質シート１０を構成する材料の体積と、多孔質シート１０に含まれる孔部の体積との和である。

【0026】

多孔質シート１０が備える孔部は、例えば、少なくとも一部が連続気泡であることが好ましい。多孔質シート１０は、連続気泡の孔部を備えることで通気性を有する。すなわち、多孔質シート１０は、多孔質シート１０が備える１つの面から多孔質シート１０の内部を通じて他の面もしくは同一の面まで連通する孔部を備える。

【0027】

多孔質シート１０の接触面１０Ｓを構成する材料の一例は、メタルマスクＭを構成するインバー材、及び、非磁性板２０の支持面２０Ｓを構成する材料よりも低い硬度を有する。接触面１０ＳがメタルマスクＭよりも低い硬度を有することは、接触面１０ＳのなかでメタルマスクＭと接する任意の点が、メタルマスクＭの任意の点よりも低い硬度を有することである。接触面１０Ｓにおける反発力は、非磁性板２０の支持面２０Ｓよりも弱い。接触面１０Ｓにおける衝撃吸収性は、非磁性板２０の支持面２０Ｓよりも高い。多孔質シート１０の接触面１０Ｓは、ＪＩＳ Ｋ７３１２－１９９６に準拠したスプリング硬さ試験におけるタイプＣの試験方法によるアスカーＣ硬度（以下、単にアスカーＣ硬度という）がＣ２０以下であることが好ましい。

【0028】

メタルマスクＭを製造する場面において、メタルマスクＭの基材に貫通孔を加工するために用いられたレジストマスクの残渣、また、ウェットエッチングによって発生した基材の加工残渣は、メタルマスクＭに付着し得る異物である。メタルマスクＭを検査する場面において、製造環境あるいは検査環境のなかの塵あるいは埃もまた、メタルマスクＭに付着し得る異物である。

【0029】

接触面１０Ｓが支持面２０Ｓよりも低い硬度を有することから、メタルマスクＭが支持面２０Ｓに吸着される場合と比較して、接触面１０ＳとメタルマスクＭとの間に介在した異物による凹凸を接触面１０Ｓによって吸収することができる。したがって、接触面１０ＳとメタルマスクＭとの間に異物が介在しても、異物との接触によるメタルマスクＭの変形を抑制できる。特に、多孔質シート１０の接触面１０ＳにおけるアスカーＣ硬度がＣ２０以下であれば、異物との接触によるメタルマスクＭの変形をより確実に抑制できる。

【0030】

［非磁性板］
非磁性板２０は、磁石に吸着しない材料で構成された矩形板状の部材である。非磁性板２０を構成する材料は、非磁性体の金属、あるいは非磁性の無機化合物である。非磁性を構成する金属の一例は、アルミニウム、ステンレス、あるいは銅である。非磁性を構成する無機化合物は、酸化珪素、あるいは酸化アルミニウムである。非磁性板２０を構成する材料は、金属板移載装置１の軽量化の観点から、重量あたりの変形抵抗が高いアルミニウムが好適である。非磁性板２０の厚さは、例えば、０．５ｍｍ以上１．０ｍｍ以下である。

【0031】

非磁性板２０は、多孔質シート１０を支持する平坦な支持面２０Ｓを備える。支持面２０Ｓは、メタルマスクＭよりも大きく、かつ、多孔質シート１０と同等もしくは多孔質シート１０よりも大きな面積を有する。例えば、非磁性板２０がアルマイト処理を施されたアルミニウムで構成される場合、非磁性板２０における支持面２０Ｓは、ＪＩＳ Ｚ２２４４－１：２０２０に準拠した測定によるビッカース硬さは、２００ＨＶ以上３００ＨＶ以下程度である。

【0032】

［磁気吸着部］
磁気吸着部３０は、非磁性板２０に対して多孔質シート１０が位置する側と反対側に配置される。磁気吸着部３０は、複数の永久磁石シート３１と、支持板３２とを備える。永久磁石シート３１は、例えば、アルニコ磁石、フェライト磁石、ネオジム磁石の何れかによって構成されたシート状の永久磁石である。永久磁石シート３１は、メタルマスクＭの長さ（長手方向の寸法）よりも十分に小さい幅を有する。磁気吸着部３０では、メタルマスクＭの長手方向に沿って、複数の永久磁石シート３１が所定の間隔を有した状態で支持板３２に対して並んで配置される。複数の永久磁石シート３１は、メタルマスクＭの長手方向に沿って隙間を空けて間欠的に並ぶ。なお、メタルマスクＭの長手方向は、接触面１０Ｓに沿う一次元方向の一例である。また、図１では、永久磁石シート３１にハッチングを付して示している。

【0033】

支持板３２は、例えば、アルミニウムやステンレス等の非磁性体の金属、あるいは非磁性の無機化合物である。支持板３２は、一例として、矩形状の板体である。なお、支持板３２は、例えば、パンチングメタルのように軽量化を目的とした肉抜きが設けられていてもよい。支持板３２は、昇降部４０に取り付けられている。

【0034】

磁気吸着部３０は、非磁性板２０に対して多孔質シート１０が位置する側と反対側から、非磁性板２０及び多孔質シート１０を通じてメタルマスクＭに永久磁石シート３１の磁力を作用させる。永久磁石シート３１の磁力がメタルマスクＭに作用することで、メタルマスクＭが多孔質シート１０の接触面１０Ｓに向けて引き付けられる。これにより、メタルマスクＭが金属板移載装置１に吸着保持される。

【0035】

永久磁石シート３１の表面磁束密度は、５０ｍＴ以上２００ｍＴ以下であることが好ましい。永久磁石シート３１の表面磁束密度が５０ｍＴ以上であることで、メタルマスクＭを接触面１０Ｓに引き付けるための十分な磁力を作用させることができる。永久磁石シート３１の表面磁束密度が２００ｍＴ以下であることで、永久磁石シート３１の磁力が作用する距離が過剰に長くなることを抑制できる。これにより、吸着位置から非吸着位置への移動量を短くできるため、吸着位置と非吸着位置との切り換えに要する時間を短縮できる。なお、永久磁石シート３１の表面磁束密度は、メタルマスクＭの大きさや重量、多孔質シート１０及び非磁性板２０の厚さ、永久磁石シート３１の大きさ及び枚数に応じて適宜決定すればよい。

【0036】

［昇降部］
昇降部４０は、非磁性板２０において、支持面２０Ｓと反対側に配置される。昇降部４０は、非磁性板２０と磁気吸着部３０との間の距離を変えるように非磁性板２０に対して磁気吸着部３０を移動させる。昇降部４０が磁気吸着部３０を非磁性板２０に近づけることで、メタルマスクＭに作用する永久磁石シート３１の磁力が強められる。また、昇降部４０が磁気吸着部３０を非磁性板２０から遠ざけることで、メタルマスクＭに作用する永久磁石シート３１の磁力が弱められる。昇降部４０が磁気吸着部３０を移動させる方向は、メタルマスクＭに作用する磁力の変化がメタルマスクＭの縁において均一である方向、例えば、支持面２０Ｓに対する法線方向であることが好ましい。

【0037】

昇降部４０が磁気吸着部３０を移動させる機構は、例えば、モータを備えた電動アクチュエータ、あるいはシリンダを備えたエアアクチュエータによって支持板３２を移動させる構成である。昇降部４０が磁気吸着部３０を移動させる機構は、例えば、手動操作によって支持板３２を移動させる構成でもよく、支持板３２の移動を補助するための圧縮ばねを備えた構成でもよい。昇降部４０は、金属板移載装置１の大型化を抑制する観点、及び、金属板移載装置１の軽量化の観点から、手動操作によって支持板３２を移動させる構成が好ましい。

【0038】

メタルマスクＭが多孔質シート１０の接触面１０Ｓに接する状態で、メタルマスクＭが自重に抗して接触面１０Ｓに吸着される程度の磁力がメタルマスクＭに作用するときの磁気吸着部３０の位置が吸着位置である。メタルマスクＭが多孔質シート１０の接触面１０Ｓに接する状態で、永久磁石シート３１の磁力によってメタルマスクＭが接触面１０Ｓに吸着されないときの磁気吸着部３０の位置が非吸着位置である。昇降部４０は、吸着位置と非吸着位置との間において磁気吸着部３０を移動させることで、メタルマスクＭが接触面１０Ｓに吸着される状態と、メタルマスクＭが接触面１０Ｓに吸着されない状態とを切り換える。なお、図１では、磁気吸着部３０が吸着位置に位置する状態を図示している。

【0039】

吸着位置において、メタルマスクＭに作用する磁力をより強める観点から、永久磁石シート３１と非磁性板２０とが接する状態であることが好ましい。なお、吸着位置において、メタルマスクＭが自重に抗して接触面１０Ｓに吸着される程度の磁力がメタルマスクＭに作用するのであれば、永久磁石シート３１と非磁性板２０とが離間していてもよい。

【0040】

昇降部４０が磁気吸着部３０を吸着位置から非吸着位置へ移動させる際の磁気吸着部３０の移動量は、メタルマスクＭに作用する磁力をより弱める観点から、２ｍｍ以上が好ましい。すなわち、非吸着位置において、非磁性板２０と磁気吸着部３０との距離が２ｍｍ以上であることが好ましい。非吸着位置において、非磁性板２０と磁気吸着部３０との距離が２ｍｍ以上となるように非磁性板２０に対して磁気吸着部３０を移動させることで、接触面１０Ｓに接する状態のメタルマスクＭに作用する磁力を十分に低減できる。なお、昇降部４０が磁気吸着部３０を吸着位置から非吸着位置へ移動させる際の磁気吸着部３０の移動量は、５０ｍｍ以下が好ましい。磁気吸着部３０の移動量を５０ｍｍ以下とすることで、吸着位置と非吸着位置との間の移動量を短くできるため、吸着位置と非吸着位置との切り換えに要する時間を短縮できるとともに、金属板移載装置１の大型化を抑制できる。

【0041】

［金属板の移載方法］
以下、図２～図４を参照してステージＳに設置されたメタルマスクＭを移載する手順について説明する。

【0042】

図２に示すように、メタルマスクＭを金属板移載装置１によって移載する際には、まず、昇降部４０によって磁気吸着部３０を非磁性板２０から遠ざけることで、磁気吸着部３０を非吸着位置に移動させる。この状態で、多孔質シート１０の接触面１０ＳがステージＳに載置されたメタルマスクＭに接するように金属板移載装置１を移動させる。磁気吸着部３０が非吸着位置に位置する状態で接触面１０ＳをメタルマスクＭに接触させることで、接触面１０ＳをメタルマスクＭに近づける過程で、メタルマスクＭが意図せず吸着されることを防ぐことができる。なお、磁気吸着部３０が吸着位置に位置する状態で接触面１０ＳをメタルマスクＭに接触させてもよい。

【0043】

図３に示すように、次いで、昇降部４０によって磁気吸着部３０を非磁性板２０に近づけることで、磁気吸着部３０を吸着位置に移動させる。これにより、ステージＳに載置されたメタルマスクＭが多孔質シート１０の接触面１０Ｓに引き付けられる。したがって、メタルマスクＭが金属板移載装置１に吸着された状態となる。

【0044】

図４に示すように、メタルマスクＭが金属板移載装置１に吸着された状態で、金属板移載装置１を持ち上げた後、メタルマスクＭの移載先となる任意の場所に金属板移載装置１を移動させる。そして、金属板移載装置１に吸着されたメタルマスクＭを新たな載置場所に載せた状態で、昇降部４０によって磁気吸着部３０を非磁性板２０から遠ざけることで、磁気吸着部３０を非吸着位置に移動させる。これにより、メタルマスクＭの吸着が解除される。そして、金属板移載装置１を移動させることで、接触面１０ＳからメタルマスクＭが剥離される。以上の手順によって、メタルマスクＭが移載される。

【0045】

メタルマスクＭと接触面１０Ｓとが接する状態において、多孔質シート１０が備える孔部の一部は、接触面１０Ｓに位置する開口がメタルマスクＭによって塞がれた状態となる。多孔質シート１０が連続気泡の孔部を有することで、メタルマスクＭによって開口が塞がれた孔部が、多孔質シート１０の内部を介して大気と通じた状態となる。第１実施形態では、メタルマスクＭによって開口が塞がれた孔部の少なくとも一部は、例えば、接触面１０ＳのうちメタルマスクＭによって塞がれていない部分に位置する開口を介して大気と通じた状態となる。また、第１実施形態では、メタルマスクＭによって開口が塞がれた孔部の少なくとも一部は、例えば、多孔質シート１０のうち非磁性板２０と接していない面である多孔質シート１０の側面に位置する開口を介して大気と通じた状態となる。

【0046】

したがって、多孔質シート１０が連続気泡の孔部を有することで、メタルマスクＭと接触面１０Ｓとの間に密閉された空間が形成されることが抑制される。これにより、メタルマスクＭを接触面１０Ｓから剥離する際に、メタルマスクＭと接触面１０Ｓとの間の空間の気圧と大気圧との差によって、メタルマスクＭに対して接触面１０Ｓに引き付けられる力が作用することを抑制できる。結果として、メタルマスクＭを接触面１０Ｓから剥離する際に、メタルマスクＭに加わる外力を低減できるとともに、メタルマスクＭを接触面１０Ｓから容易に剥離することができる。また、多孔質シート１０の気孔率が６０％以上であることで、上述の効果を好適に発揮することができる。

【0047】

［永久磁石シートの配置］
以下、図５～図８を参照して永久磁石シート３１の配置による作用について説明する。
図５に示すように、複数の永久磁石シート３１がメタルマスクＭの長手方向に沿って間欠的に並ぶことで、メタルマスクＭに対して第１磁力ＭＦ１と、第１磁力ＭＦ１よりも弱い第２磁力ＭＦ２とがメタルマスクＭの長手方向に沿って交互に作用する。

【0048】

例えば、メタルマスクＭのうち多孔質シート１０及び非磁性板２０を介して永久磁石シート３１と対向する部分には、第１磁力ＭＦ１が作用する。メタルマスクＭのうち多孔質シート１０及び非磁性板２０を介して永久磁石シート３１と対向しない部分には、第２磁力ＭＦ２が作用する。メタルマスクＭのうち第１磁力ＭＦ１が作用する部分は、第２磁力ＭＦ２が作用する部分よりも接触面１０Ｓに向けて優先的に引き付けられる。

【0049】

図６に示すように、例えば、ステージＳに載置された状態のメタルマスクＭに波打ちＷ（シワ）が生じる場合がある。メタルマスクＭに波打ちＷが生じる場合、波打ちＷは、メタルマスクＭの長手方向に交差する一次元方向に延びる形状になりやすい傾向がある。波打ちＷが生じたメタルマスクＭに接触面１０Ｓを接触させると、波打ちＷの頂点の位置が移動したり、波打ちＷが２つに分離したりする。例えば、波打ちＷは、メタルマスクＭの端部まで移動すると波打ちＷが解消された状態となる場合がある。また、メタルマスクＭは、一部の波打ちＷが残った状態で磁気吸着される場合がある。

【0050】

図７に示すように、波打ちＷが生じたメタルマスクＭにおいて、波打ちＷに対して永久磁石シート３１の第１磁力ＭＦ１が作用すると、波打ちＷが絞られるようにその高さ及び幅が縮小する。同時に、波打ちＷは、波打ちＷの頂点が、第１磁力ＭＦ１が作用せず第２磁力ＭＦ２が作用する位置まで移動する。

【0051】

図８に示すように、第２磁力ＭＦ２が作用する位置まで波打ちＷの頂点が移動すると、波打ちＷに対する磁力による絞りが弱まることによって波打ちＷの幅が大きくなる。仮に、波打ちＷに過剰な磁力が作用した場合には、波打ちＷが過剰に絞られることで波打ちＷの頂点に折れ目が形成される場合がある。この点、メタルマスクＭに対して第１磁力ＭＦ１と第２磁力ＭＦ２とが交互に作用することで、波打ちＷの頂点が第１磁力ＭＦ１によって第１磁力ＭＦ１よりも弱い第２磁力ＭＦ２が作用する位置、すなわち、相対的に磁力が弱い位置に移動する。これにより、波打ちＷに過剰な磁力が作用して波打ちＷの頂点に折れ目が形成されることが抑制される。

【0052】

［第１実施形態の効果］
上記第１実施形態によれば、以下に列挙する効果を得ることができる。
（１－１）接触面１０Ｓと接するメタルマスクＭに作用する磁力の強さが、昇降部４０による非磁性板２０に対する磁気吸着部３０の移動によって変わる。これにより、メタルマスクＭと接触面１０Ｓとの相対位置を変えることなく、メタルマスクＭの吸着とその解除とが可能である。結果として、メタルマスクＭの吸着とその解除とにおいて、メタルマスクＭに局所的な応力が作用することが抑えられる。

【0053】

（１－２）メタルマスクＭに磁気吸着部３０の磁力が作用すると、多孔質シート１０の接触面１０ＳにメタルマスクＭが吸着される。これにより、支持面２０Ｓのような接触面１０Ｓよりも高い硬度を有した面にメタルマスクＭが吸着される場合と比べて、接触面１０ＳとメタルマスクＭとの間に異物が介在しても、異物との接触によるメタルマスクＭの変形を抑制できる。

【0054】

（１－３）金属板移載装置１を用いることで、接触面１０Ｓよりも小さいメタルマスクＭであれば、メタルマスクＭの大きさによらず、メタルマスクＭの全面を吸着保持することができる。

【0055】

（１－４）多孔質シート１０が連続気泡の孔部を有することで、メタルマスクＭを接触面１０Ｓから剥離する際にメタルマスクＭが接触面１０Ｓに引き付けられる力が作用することを抑制できる。結果として、メタルマスクＭを接触面１０Ｓから剥離する際に、メタルマスクＭに加わる外力を低減できるとともに、メタルマスクＭを接触面１０Ｓから容易に剥離することができる。また、多孔質シート１０の気孔率が６０％以上であることで、上述の効果を好適に発揮することができる。

【0056】

（１－５）多孔質シート１０の接触面１０ＳにおけるアスカーＣ硬度がＣ２０以下であることで、仮に接触面１０ＳとメタルマスクＭとの間に異物が介在した場合であっても、異物との接触によるメタルマスクＭの変形をより確実に抑制できる。

【0057】

（１－６）昇降部４０が磁気吸着部３０を吸着位置から非吸着位置へ移動させる際の磁気吸着部３０の移動量が２ｍｍ以上であることで、接触面１０Ｓに接する状態のメタルマスクＭに作用する磁力を十分に低減できる。

【0058】

（１－７）複数の永久磁石シート３１を間欠的に並べることで、メタルマスクＭに対して、第１磁力ＭＦ１と、第１磁力ＭＦ１よりも弱い第２磁力ＭＦ２とがメタルマスクＭの長手方向に沿って交互に作用する。これにより、仮にメタルマスクＭに波打ちＷが生じた場合であっても、波打ちＷが過剰に絞られることが抑制される。したがって、波打ちＷの頂点に折れ目が形成されることを抑制できる。

【0059】

［第１実施形態の変更例］
なお、上記第１実施形態は、以下のように変更して実施することができる。
・金属板移載装置１によって吸着されたメタルマスクＭに波打ちＷが生じ難い構成であれば、メタルマスクＭに第１磁力ＭＦ１と第２磁力ＭＦ２とを交互に作用させる構成ではなく、メタルマスクＭに対して一様な磁力を作用させる構成であってもよい。また、メタルマスクＭにおける長手方向の中央部が弛まないように、メタルマスクＭにおける長手方向の中央部に作用する磁力を、メタルマスクＭにおける長手方向の両端部に作用する磁力よりも強くしてもよい。そして、メタルマスクＭにおける長手方向の両端部をより確実に吸着するために、メタルマスクＭにおける長手方向の両端部に作用する磁力を、メタルマスクＭにおける長手方向の中央部に作用する磁力よりも強くしてもよい。

【0060】

・メタルマスクＭに第１磁力ＭＦ１と第２磁力ＭＦ２とを交互に作用させる構成は、複数の永久磁石シート３１を間欠的に並べる構成に限定されない。例えば、メタルマスクＭよりも大きな面積を有した１枚の永久磁石シート３１に、メタルマスクＭの長手方向と交差する方向に延在する凹部を間欠的に複数設ける構成であってもよい。この場合、永久磁石シート３１のうち凹部が設けられた部分とメタルマスクＭとの距離が、凹部が設けられていない部分とメタルマスクＭとの距離よりも大きくなる。したがって、メタルマスクＭに対する永久磁石シート３１の距離の差によって、第１磁力ＭＦ１と第２磁力ＭＦ２とが交互に作用する。

【0061】

・メタルマスクＭに対して第１磁力ＭＦ１と第２磁力ＭＦ２とが交互に作用する方向は、接触面１０Ｓに沿う一次元方向であればよく、例えば、接触面１０Ｓに沿う一次元方向のうちメタルマスクＭの長手方向と交差する方向であってもよい。

【0062】

・昇降部４０が磁気吸着部３０を吸着位置から非吸着位置へ移動させる際の磁気吸着部３０の移動量は、接触面１０Ｓに接する状態のメタルマスクＭに作用する磁力を十分に低減できるのであれば、２ｍｍ未満であってもよい。磁気吸着部３０を吸着位置から非吸着位置へ移動させる際の磁気吸着部３０の移動量は、例えば、永久磁石シート３１の表面磁束密度や、永久磁石シート３１の枚数、メタルマスクＭの大きさや重量などに応じて適宜決定すればよい。

【0063】

・接触面１０ＳとメタルマスクＭとの間に異物が介在した場合であっても、接触面１０Ｓが異物による凹凸を吸収できるのであれば、接触面１０ＳにおけるアスカーＣ硬度がＣ２０超であってもよい。

【0064】

・多孔質シート１０の孔部が独立気泡であってもよい。この場合、メタルマスクＭと接触面１０Ｓとの間に密閉された空間が形成されないように、接触面１０Ｓに凹凸形状を形成してもよい。また、多孔質シート１０の孔部は、連続気泡の孔部と独立気泡の孔部との両方を有していてもよい。そして、メタルマスクＭを接触面１０Ｓから剥離する際に、メタルマスクＭに過剰な外力を加わらないのであれば、多孔質シート１０の気孔率が６０％未満であってもよい。

【0065】

・昇降部４０が非磁性板２０に対して磁気吸着部３０を移動させる構成に代えて、昇降部４０が磁気吸着部３０に対して非磁性板２０を移動させる構成としてもよい。また、昇降部４０が非磁性板２０及び磁気吸着部３０の両方を、非磁性板２０と磁気吸着部３０との間の距離を変えるように移動させる構成であってもよい。すなわち、昇降部４０は、非磁性板２０及び磁気吸着部３０の少なくとも一方を移動させることで、非磁性板２０と磁気吸着部３０との間の距離を変える構成であればよい。

【0066】

・図９に示すように、多孔質シート１０は、開口部１１を備えてもよい。開口部１１は、多孔質シート１０の厚さ方向に貫通する部分であって、多孔質シート１０をメタルマスクＭに接触させたときにメタルマスクＭと接しない部分である。開口部１１は、多孔質シート１０を製造する際の発泡によって生じる孔部よりも十分に大きい。開口部１１は、例えば、メタルマスクＭにおいて複数の貫通孔ＭＨが配置される領域よりも大きい。開口部１１の形状は限定されず、例えば、矩形状でもよく、円形や楕円形でもよい。なお、図９では、複数の貫通孔ＭＨが配置される領域にドットを付して示す。

【0067】

開口部１１を備える多孔質シート１０は、例えば、メタルマスクＭにおいて貫通孔ＭＨを区画する部分とは接触せず、それ以外の部分と接する。例えば、メタルマスクＭと多孔質シート１０とを接触させたときに、メタルマスクＭの平面方向において、メタルマスクＭが備える複数の貫通孔ＭＨが開口部１１の内側に位置する。メタルマスクＭの平面方向は、メタルマスクＭの厚さ方向と直交する二次元方向である。

【0068】

メタルマスクＭにおいて貫通孔ＭＨを区画する部分は、外力によって変形し易い部分である。多孔質シート１０に開口部１１を設けることで、例えば、メタルマスクＭにおいて貫通孔ＭＨを区画する部分に対して、メタルマスクＭと多孔質シート１０の接触面１０Ｓとの間に介在する異物による外力が加わることを抑制できる。なお、多孔質シート１０に開口部１１を設けない場合には、多孔質シート１０によって、メタルマスクＭの全面を支持することができる。これにより、メタルマスクＭを安定した状態で保持及び移載することができる。

【0069】

なお、開口部１１の大きさは、例えば、メタルマスクＭと多孔質シート１０とを接触させたときに、メタルマスクＭの平面方向において、メタルマスクＭが備える複数の貫通孔ＭＨのうち一部の貫通孔ＭＨが開口部１１の内側に位置する程度でもよい。もしくは、開口部１１の大きさは、メタルマスクＭが備える複数の貫通孔ＭＨのうち少なくとも１つの貫通孔ＭＨの一部が開口部１１の内側に位置する程度でもよい。この場合、メタルマスクＭと多孔質シート１０とを接触させたときに、メタルマスクＭのうち開口部１１の内側に位置する部分に対して、メタルマスクＭと多孔質シート１０の接触面１０Ｓとの間に介在する異物による外力が加わることを抑制できる。

【0070】

図９に示すように、多孔質シート１０が開口部１１を備える場合、メタルマスクＭのうち多孔質シート１０に接触しない部分における磁力による変形を抑制するため、当該部分に作用する磁力を弱めてもよい。例えば、多孔質シート１０、非磁性板２０、及び、磁気吸着部３０が並ぶ方向において、開口部１１と永久磁石シート３１とが重ならないように永久磁石シート３１を配置してもよい。磁気吸着部３０において、開口部１１と対応する位置を避けて永久磁石シート３１を配置することで、メタルマスクＭのうち多孔質シート１０に接触しない部分に作用する磁力を弱めることができる。なお、多孔質シート１０が開口部１１を備える場合でも、メタルマスクＭのうち多孔質シート１０に接触しない部分が過剰に弛まないように、開口部１１と対応する位置に永久磁石シート３１を配置してもよい。

【0071】

［第２実施形態］
以下、金属板移載装置の第２実施形態について図１０を参照して説明する。
図１０に示すように、第２実施形態の金属板移載装置２は、非磁性板２０が通気孔２０Ｈを備える点を除き第１実施形態の金属板移載装置１と同様の構成を備える。

【0072】

非磁性板２０は、複数の通気孔２０Ｈを備える。通気孔２０Ｈは、支持面２０Ｓから延びる。通気孔２０Ｈは、非磁性板２０の厚さ方向に貫通する。通気孔２０Ｈの形状は、任意の形状でよく、例えば、丸孔、長円孔、楕円孔、四角孔及び六角孔を含む角孔等である。通気孔２０Ｈの配列は、例えば、ランダムでもよいし、所定の間隔で間欠的に配置された通気孔２０Ｈの列が１列または複数列配置されてもよい。非磁性板２０は、例えば、所定の形状の通気孔２０Ｈが規則的に配置されたパンチングメタルであってもよい。

【0073】

［第２実施形態の作用］
非磁性板２０が通気孔２０Ｈを備えることで、多孔質シート１０が備える孔部のうち、非磁性板２０と対向する孔部の一部が、通気孔２０Ｈによって大気と通じた状態となる。すなわち、通気孔２０Ｈは、多孔質シート１０が備える孔部が大気と通じるための通気路として機能する。これにより、第１実施形態の構成と比較して、メタルマスクＭと多孔質シート１０の接触面１０Ｓとの間に密閉された空間が形成されることをより確実に抑制できる。

【0074】

非磁性板２０の開口率は、２０％以上５０％以下であることが望ましい。なお、非磁性板２０の開口率は、支持面２０Ｓと対向する視点から見たときに、支持面２０Ｓの外縁によって区画される形状の面積に対する複数の通気孔２０Ｈの面積の総和の割合である。非磁性板２０の開口率が２０％以上であれば、通気孔２０Ｈが通気路として機能することで、メタルマスクＭと多孔質シート１０の接触面１０Ｓとの間に密閉された空間が形成されることを好適に抑制できる。非磁性板２０の開口率が５０％以下であれば、通気孔２０Ｈの形成に伴って非磁性板２０の機械的強度が過剰に低下することを抑制できる。

【0075】

［第２実施形態の効果］
（２－１）非磁性板２０が備える通気孔２０Ｈによって多孔質シート１０が備える孔部が大気と通じた状態となることで、メタルマスクＭと多孔質シート１０の接触面１０Ｓとの間に密閉された空間が形成されることをより確実に抑制できる。結果として、メタルマスクＭを接触面１０Ｓから剥離する際に、メタルマスクＭに加わる外力をより確実に低減できるとともに、メタルマスクＭを接触面１０Ｓからより容易に剥離することができる。なお、第２実施形態の金属板移載装置２においても、上記の（１－１）～（１－７）の効果を得ることができる。

【0076】

［第２実施形態の変更例］
なお、上記第２実施形態は、以下のように変更して実施することができる。
・第２実施形態の金属板移載装置２においても、第１実施形態と同様の変更例が適用可能である。また、非磁性板２０が通気孔２０Ｈを備える場合であっても、多孔質シート１０が備える孔部が独立気泡であってもよい。この場合、例えば、多孔質シート１０を製造する際の発泡によって形成される孔部とは別に、多孔質シート１０に対して厚さ方向に貫通する孔を形成してもよい。この場合、非磁性板２０の通気孔２０Ｈによって、多孔質シート１０の厚さ方向に貫通する孔が大気と通じることで、メタルマスクＭと多孔質シート１０の接触面１０Ｓとの間に密閉された空間が形成されることを抑制できる。

【0077】

［第３実施形態］
以下、金属板移載装置の第３実施形態について図１１～図１３を参照して説明する。第３実施形態では、メタルマスクＭの移載方法の一例として、２つの金属板移載装置２を用いることで、金属板移載装置２に吸着保持された状態のメタルマスクＭの表裏を反転する方法について説明する。

【0078】

図１１に示すように、２つの金属板移載装置２は、一方が第１金属板移載装置２Ａ、他方が第２金属板移載装置２Ｂである。なお、以下では、第１金属板移載装置２Ａが備える多孔質シート１０、非磁性板２０、磁気吸着部３０、及び昇降部４０を、第１多孔質シート１０Ａ、第１非磁性板２０Ａ、第１磁気吸着部３０Ａ、及び第１昇降部４０Ａとする。第１多孔質シート１０Ａが備える接触面１０Ｓを第１接触面１０ＳＡとする。第１非磁性板２０Ａが備える支持面２０Ｓを第１支持面２０ＳＡとする。第２金属板移載装置２Ｂが備える多孔質シート１０、非磁性板２０、磁気吸着部３０、及び昇降部４０を、第２多孔質シート１０Ｂ、第２非磁性板２０Ｂ、第２磁気吸着部３０Ｂ、及び第２昇降部４０Ｂとする。第２多孔質シート１０Ｂが備える接触面１０Ｓを第２接触面１０ＳＢとする。第２非磁性板２０Ｂが備える支持面２０Ｓを第２支持面２０ＳＢとする。

【0079】

第１金属板移載装置２Ａは、メタルマスクＭを吸着保持している。メタルマスクＭは、第１面ＭＳ１と第２面ＭＳ２とを備える。第１面ＭＳ１及び第２面ＭＳ２は、互いに相反する方向に面する２つの面である。メタルマスクＭは、例えば、第２面ＭＳ２とステージＳとが接するようにステージＳに載置された状態から、第１実施形態と同様の手順によって、第１面ＭＳ１が第１接触面１０ＳＡに接する状態で第１金属板移載装置２Ａに吸着保持されている。すなわち、第１金属板移載装置２Ａは、第１磁気吸着部３０Ａを非吸着位置に位置させた状態で第１接触面１０ＳＡをメタルマスクＭの第１面ＭＳ１に接触させた後、第１磁気吸着部３０Ａを吸着位置に移動させる。これにより、第１磁気吸着部３０Ａの磁力がメタルマスクＭに作用することで、第１面ＭＳ１が第１接触面１０ＳＡに接する状態でメタルマスクＭが第１金属板移載装置２Ａに吸着保持される。なお、第１磁気吸着部３０Ａが吸着位置に位置する状態で第１接触面１０ＳＡをメタルマスクＭに接触させてもよい。

【0080】

この状態から、第２金属板移載装置２Ｂが備える第２多孔質シート１０Ｂの第２接触面１０ＳＢとメタルマスクＭの第２面ＭＳ２とが対向するように、第２金属板移載装置２Ｂを配置する。このとき、第２金属板移載装置２Ｂにおいて、第２磁気吸着部３０Ｂは、非吸着位置に位置する。そして、図１１中に矢印で示すように、第２接触面１０ＳＢがメタルマスクＭの第２面ＭＳ２に接するように、第２金属板移載装置２Ｂを移動させる。なお、第２金属板移載装置２Ｂを移動させるのではなく、メタルマスクＭを吸着した第１金属板移載装置２Ａを移動させることで、第２接触面１０ＳＢとメタルマスクＭの第２面ＭＳ２とを接触させてもよい。

【0081】

図１２に示すように、次いで、第２金属板移載装置２Ｂにおいて、第２昇降部４０Ｂによって、非吸着位置に位置する第２磁気吸着部３０Ｂを吸着位置に移動させる。これにより、メタルマスクＭに対して第２磁気吸着部３０Ｂの磁力が作用することで、メタルマスクＭの第２面ＭＳ２が第２接触面１０ＳＢに引き付けられる。そして、第１金属板移載装置２Ａにおいて、第１昇降部４０Ａによって、第１非磁性板２０Ａと第１磁気吸着部３０Ａとの間の距離を増加させるように、第１非磁性板２０Ａに対して第１磁気吸着部３０Ａを移動させる。すなわち、第１金属板移載装置２Ａにおいて、吸着位置に位置する第１磁気吸着部３０Ａを非吸着位置に移動させる。これにより、第１磁気吸着部３０ＡによるメタルマスクＭに対する磁気吸着が解除される。なお、第１金属板移載装置２Ａにおいて、吸着位置に位置する第１磁気吸着部３０Ａを非吸着位置に移動させた後、第２金属板移載装置２Ｂにおいて、非吸着位置に位置する第２磁気吸着部３０Ｂを吸着位置に移動させてもよい。

【0082】

図１３に示すように、メタルマスクＭに対する磁気吸着を解除した状態の第１金属板移載装置２Ａを移動させることで、第１接触面１０ＳＡからメタルマスクＭの第１面ＭＳ１を剥離する。なお、第１金属板移載装置２Ａを移動させるのではなく、メタルマスクＭを吸着した状態の第２金属板移載装置２Ｂを移動させることで、第１接触面１０ＳＡからメタルマスクＭの第１面ＭＳ１を剥離してもよい。その後、メタルマスクＭを吸着した状態の第２金属板移載装置２Ｂの上下を反転させる。

【0083】

以上の手順により、第１磁気吸着部３０ＡによってメタルマスクＭの第１面ＭＳ１が第１接触面１０ＳＡに引き付けられた状態から、第２磁気吸着部３０ＢによってメタルマスクＭの第２面ＭＳ２が第２接触面１０ＳＢに引き付けられた状態となる。したがって、メタルマスクＭにおいて、金属板移載装置２によって吸着される面を反転させることができる。なお、表裏が反転されたメタルマスクＭは、例えば、第２金属板移載装置２Ｂに吸着された状態で移動された後、第２金属板移載装置２Ｂが磁気吸着を解除することによって任意の場所に載置される。

【0084】

［第３実施形態の効果］
（３－１）第１金属板移載装置２Ａに吸着保持されたメタルマスクＭを第２金属板移載装置２Ｂに受け渡すことで、メタルマスクＭにおいて、金属板移載装置２によって吸着される面を反転させることができる。このような表裏反転動作であれば、表裏反転動作中にメタルマスクＭの姿勢が一定に保たれるため、表裏反転動作に伴うメタルマスクＭの変形を抑えることができる。なお、第３実施形態のメタルマスク移載方法においても、上記の（１－１）～（１－７）、（２－１）の効果を得ることができる。

【0085】

［第３実施形態の変更例］
なお、上記第３実施形態は、以下のように変更して実施することができる。
・第２実施形態における金属板移載装置２を２つ用いてメタルマスクＭの表裏を反転する方法を例示したが、第１実施形態における金属板移載装置１を用いた場合も同様の方法を適用可能である。また、２つの金属板移載装置２の一方に代えて、第１実施形態における金属板移載装置１を用いてもよい。そして、２つの金属板移載装置２は、同一の構成である必要は無く、例えば、一方の金属板移載装置２にのみ上述の変更例が適用されていてもよいし、２つの金属板移載装置２のそれぞれに異なる変更例が適用されていてもよい。

【0086】

・２つの金属板移載装置２は、作業者によって持ち運ばれることで移動してもよい。２つの金属板移載装置２のうち少なくとも一方は、金属板移載装置２を電動で移動させるロボットアームや電動スライダのような移動機構に接続されてもよい。また、２つの金属板移載装置２が移動機構を介して一体に構成されていてもよい。例えば、複数の金属板移載装置２と、複数の移動機構とを備えた金属板移載システムにおいて、１つの移動機構に第１金属板移載装置２Ａが接続されるとともに、他の移動機構に第２金属板移載装置２Ｂが接続される構成としてもよい。

【0087】

［実施例］
以下、金属板移載装置の実施例１～３及び比較例１～５について説明する。なお、各実施例は、上記実施形態の一例であって上記実施形態を限定するものではなく、各比較例は、実施例の効果を説明するための参考となる具体例である。

【0088】

［実施例１］
実施例１では、第１実施形態の金属板移載装置１と同様の構成を有した移載装置を用いて、第１実施形態と同様の手順によってステージＳに載置されたメタルマスクＭを他の場所に移載した。

【0089】

［実施例２］
実施例２では、第２実施形態の金属板移載装置２と同様の構成を有した移載装置を用いて、第１実施形態と同様の手順によってステージＳに載置されたメタルマスクＭを他の場所に移載した。なお、実施例２で用いた移載装置は、非磁性板２０が通気孔２０Ｈを備える点を除き、実施例１で用いた移載装置と同様の構成を有する。

【0090】

［実施例３］
実施例３では、第２実施形態の金属板移載装置２と同様の構成を有した移載装置を２つ用いた。そして、第３実施形態と同様の手順によって、一方の移載装置によってステージＳに載置されたメタルマスクＭを吸着した後、他方の移載装置に受け渡すことでメタルマスクＭの表裏を反転させた状態で他の場所に移載した。

【0091】

［比較例１］
図１４に示すように、比較例１では、多孔質シート１０を有していない点を除き、第１実施形態の金属板移載装置１と同様の構成を有する金属板移載装置１００を用いた。そして、第１実施形態と同様の手順によってステージＳに載置されたメタルマスクＭを他の場所に移載した。このとき、メタルマスクＭは、支持面２０Ｓと接する状態で金属板移載装置１００に吸着支持される。

【0092】

［比較例２］
図１５に示すように、比較例２では、多孔質シート１０を有していない点を除き、第２実施形態の金属板移載装置２と同様の構成を有する金属板移載装置１０１を用いた。そして、第１実施形態と同様の手順によってステージＳに載置されたメタルマスクＭを他の場所に移載した。このとき、メタルマスクＭは、支持面２０Ｓと接する状態で金属板移載装置１０１に吸着支持される。

【0093】

［比較例３］
図１６に示すように、比較例３では、多孔質シート１０に代えてクッション１１０を備える点を除き、第１実施形態の金属板移載装置１と同様の構成を有する金属板移載装置１０２を用いた。クッション１１０は、アクリロニトリルブタジエンゴム（ＮＢＲ）を主成分とするゴム製のシート部材を用いた。クッション１１０は、メタルマスクＭと接する接触面１１０Ｓを備える。そして、第１実施形態と同様の手順によってステージＳに載置されたメタルマスクＭを他の場所に移載した。このとき、メタルマスクＭは、接触面１１０Ｓと接する状態で金属板移載装置１０２に吸着支持される。

【0094】

［比較例４］
図１７に示すように、比較例４では、複数の真空吸着パッド１２０と、張力付与機構１３０と、パッド位置調整機構１４０とを備える金属板移載装置１０３を用いて、ステージＳに載置されたメタルマスクＭを他の場所に移載した。真空吸着パッド１２０は、例えば、非図示の真空引きポンプに接続される。複数の真空吸着パッド１２０は、真空吸着によってメタルマスクＭにおける長手方向の両端を吸着保持する。複数の真空吸着パッド１２０は、メタルマスクＭにおける長手方向の一端を吸着保持する第１真空吸着パッド１２１と、メタルマスクＭにおける長手方向の他端を吸着保持する第２真空吸着パッド１２２とを含む。

【0095】

張力付与機構１３０は、複数の真空吸着パッド１２０がメタルマスクＭにおける長手方向の両端を吸着保持した状態で、第１真空吸着パッド１２１と第２真空吸着パッド１２２との距離を大きくすることで、メタルマスクＭに張力を付与する。張力付与機構１３０は、第１真空吸着パッド１２１及び第２真空吸着パッド１２２のうち少なくとも一方を、他方に対する距離が大きくなるように移動させる。メタルマスクＭに張力を付与することで、複数の真空吸着パッド１２０に保持されたメタルマスクＭの長手方向の中央部が弛まないようにする。パッド位置調整機構１４０は、メタルマスクＭの大きさに応じて、金属板移載装置１０３における第１真空吸着パッド１２１と第２真空吸着パッド１２２との相対位置を変えるための構成である。

【0096】

比較例４における金属板移載装置１０３を用いたメタルマスクＭを移載する方法は、まず、パッド位置調整機構１４０によって、メタルマスクＭの大きさに応じて第１真空吸着パッド１２１と第２真空吸着パッド１２２との相対位置を調整する。そして、第１真空吸着パッド１２１と第２真空吸着パッド１２２とをメタルマスクＭに接触させるとともに、第１真空吸着パッド１２１及び第２真空吸着パッド１２２によってメタルマスクＭを真空吸着する。そして、メタルマスクＭが弛まないように、張力付与機構１３０によってメタルマスクＭに張力を付与する。この状態で、金属板移載装置１０３を移動させた後、他の移載場所で第１真空吸着パッド１２１及び第２真空吸着パッド１２２による真空吸着を解除する。以上の手順によって、金属板移載装置１０３を用いてメタルマスクＭを移載した。

【0097】

［比較例５］
図１８に示すように、比較例５では、２つの金属板移載装置１０３を用いて、一方の移載装置によってステージＳに載置されたメタルマスクＭを吸着した後、他方の移載装置に受け渡すことでメタルマスクＭの表裏を反転させた状態で他の場所に移載した。

【0098】

メタルマスクＭの表裏反転動作は、まず、２つの金属板移載装置１０３の一方である第１金属板移載装置１０３Ａを用いて、比較例４と同様の手順によって、メタルマスクＭの第１面ＭＳ１を吸着した。この状態から、２つの金属板移載装置１０３の他方である第２金属板移載装置１０３Ｂが備える真空吸着パッド１２０をメタルマスクＭの第２面ＭＳ２に接触させる。そして、第２金属板移載装置１０３Ｂが備える真空吸着パッド１２０によってメタルマスクＭの第２面ＭＳ２を吸着する。さらに、第１金属板移載装置１０３ＡによるメタルマスクＭの吸着保持を解除する。その後、第２金属板移載装置１０３Ｂを移動させた後、他の移載場所で第２金属板移載装置１０３Ｂが備える真空吸着パッド１２０による真空吸着を解除する。以上の手順によって、２つの金属板移載装置１０３を用いて、メタルマスクＭの表裏反転動作を伴いながらメタルマスクＭを移載した。

【0099】

［評価］
実施例１～３及び比較例１～５において、移載完了後におけるメタルマスクＭの変形の有無を目視にて確認した。実施例１～３では、移載に伴うメタルマスクＭの変形は確認されなかった。これに対して、比較例１～５では、移載に伴うメタルマスクＭの変形が確認された。以下、比較例１～５において生じたメタルマスクＭの変形のメカニズムについて説明する。

【0100】

比較例１では、金属板移載装置１００が多孔質シート１０を備えないことから、メタルマスクＭが非磁性板２０の支持面２０Ｓと接する状態で磁気吸着される。このとき、メタルマスクＭと支持面２０Ｓとが密着した状態であるため、メタルマスクＭを支持面２０Ｓから剥離する際において、メタルマスクＭと支持面２０Ｓとの間に密閉された空間が形成され易い。この状態で磁気吸着を解除してメタルマスクＭを支持面２０Ｓから剥離しようとすると、メタルマスクＭの一部が支持面２０Ｓから剥離されずに持ち上げられることによって変形が生じる。また、多孔質シート１０を備える場合と比較して、メタルマスクＭと支持面２０Ｓとの間に異物が介在した場合にも、異物による凹凸によってメタルマスクＭが変形し易い状態となる。

【0101】

比較例２では、金属板移載装置１０１が多孔質シート１０を備えないものの、非磁性板２０が通気孔２０Ｈを備えることから、比較例１よりもメタルマスクＭが支持面２０Ｓから剥離し易い状態である。しかし、メタルマスクＭのうち通気孔２０Ｈを塞ぐように位置する部分は、非磁性板２０の支持面２０Ｓと接しない部分であるため、磁気吸着部３０の磁力によって通気孔２０Ｈの内側に向かって撓むような変形が生じる。また、比較例１と同様に、多孔質シート１０を備える場合と比較して、メタルマスクＭと支持面２０Ｓとの間に異物が介在した場合にも、異物による凹凸によってメタルマスクＭが変形し易い状態となる。

【0102】

比較例３では、メタルマスクＭと支持面２０Ｓとの間に異物が介在した場合にも、クッション１１０が異物による凹凸を吸収することで、メタルマスクＭの変形が抑制される。しかし、比較例３では、比較例１と同様に、メタルマスクＭと接触面１１０Ｓとが密着した状態であるため、メタルマスクＭを接触面１１０Ｓから剥離する際において、メタルマスクＭと接触面１１０Ｓとの間に密閉された空間が形成され易い。この状態で磁気吸着を解除してメタルマスクＭを接触面１１０Ｓから剥離しようとすると、メタルマスクＭの一部が接触面１１０Ｓから剥離されずに持ち上げられることによって変形が生じる。

【0103】

比較例４及び比較例５では、真空吸着パッド１２０による真空吸着によってメタルマスクＭが保持される。そのため、実施例１～３の構成であれば、メタルマスクＭの重量を保持するための磁力をメタルマスクＭの全体に分散させることができるのに対して、比較例４及び比較例５ではメタルマスクＭに対して局所的な力が作用することになる。したがって、メタルマスクＭのうち真空吸着パッド１２０によって吸着される部分に変形が生じる。加えて、メタルマスクＭの長手方向の両端が真空吸着されるため、メタルマスクＭの長手方向の中央部が自重によって弛むことで変形し易くなる。そのため、張力付与機構１３０によって張力を付与する必要があるが、装置の大型化や複雑化を招く。メタルマスクＭが備える貫通孔ＭＨの形状によっては、張力付与機構１３０による張力が局所的に作用し難い場合もあるため、張力付与機構１３０を設けた場合でも上述したメタルマスクＭの撓みが生じる場合がある。

【0104】

なお、真空吸着パッド１２０による真空吸着の場合では、メタルマスクＭの端部が弛まないようにメタルマスクＭの両端部を吸着する必要がある。そのため、パッド位置調整機構１４０によって、真空吸着パッド１２０の位置をメタルマスクＭの大きさに合わせて変える必要が有るが、装置の大型化や複雑化を招く。

【0105】

以上より、実施例１～３の構成によれば、比較例１～５で生じるようなメタルマスクＭの変形を抑制することができる。また、実施例１～３の構成によれば、比較例４、５の構成と比較して張力付与機構１３０を備えずともメタルマスクＭの変形を抑制できるため、装置を小型化できる。そして、実施例１～３の構成によれば、比較例４、５の構成と比較してパッド位置調整機構１４０を備えずとも、多孔質シート１０よりも小さいメタルマスクＭであれば何れの大きさであってもメタルマスクＭの移載が可能であるため、装置を小型化できる。

【符号の説明】

【0106】

Ｍ…メタルマスク
ＭＨ…貫通孔
ＭＦ１…第１磁力
ＭＦ２…第２磁力
ＭＳ１…第１面
ＭＳ２…第２面
Ｓ…ステージ
１，２…金属板移載装置
２Ａ…第１金属板移載装置
２Ｂ…第２金属板移載装置
１０…多孔質シート
１０Ｓ…接触面
１１…開口部
２０…非磁性板
２０Ｈ…通気孔
２０Ｓ…支持面
３０…磁気吸着部
３１…永久磁石シート
３２…支持板
４０…昇降部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】