特開 2024-81881 ヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置、及びヘッドチップの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024081881

(43)【公開日】2024-06-19

(54)【発明の名称】ヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置、及びヘッドチップの製造方法

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/14 20060101AFI20240612BHJP

   B41J 2/16 20060101ALI20240612BHJP

   B41J 2/01 20060101ALI20240612BHJP

【ＦＩ】

B41J2/14

B41J2/14 613

B41J2/16 503

B41J2/01 303

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022195411

(22)【出願日】2022-12-07

(71)【出願人】

【識別番号】501167725

【氏名又は名称】エスアイアイ・プリンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100142837

【弁理士】

【氏名又は名称】内野 則彰

(74)【代理人】

【識別番号】100166305

【弁理士】

【氏名又は名称】谷川 徹

(72)【発明者】

【氏名】五十嵐 遼

【テーマコード（参考）】

2C056

2C057

【Ｆターム（参考）】

2C056HA37

2C057AF65

2C057AN01

2C057AP25

2C057AP90

(57)【要約】

【課題】接着強度の低下を抑制する。
【解決手段】ヘッドチップは、複数の部材を備える。複数の部材のうち互いに接着される２つの部材を第１部材１０１及び第２部材１０２とする。ヘッドチップは、第１部材１０１において第２部材１０２が接着される第１部材側接着面１０１ｆに下地として形成される下地接着層１１１と、下地接着層１１１と第２部材１０２との間に形成される本接着層１１２と、を備える。下地接着層１１１の未硬化時の粘度は、本接着層１１２の未硬化時の粘度よりも低い。
【選択図】図７

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の部材を備え、
前記複数の部材のうち互いに接着される２つの部材を第１部材及び第２部材とし、
前記第１部材において前記第２部材が接着される接着面に下地として形成される下地接着層と、
前記下地接着層と前記第２部材との間に形成される本接着層と、を備え、
前記下地接着層の未硬化時の粘度は、前記本接着層の未硬化時の粘度よりも低い、
ヘッドチップ。

【請求項2】

前記下地接着層は、前記下地接着層において前記本接着層が形成される面に、平坦面を有する、
請求項１に記載のヘッドチップ。

【請求項3】

前記下地接着層は、前記下地接着層において前記本接着層が形成される面に、湾曲又は屈曲の形状を有する、
請求項１に記載のヘッドチップ。

【請求項4】

前記下地接着層は、前記下地接着層において前記本接着層が形成される面に、前記第２部材において前記本接着層が形成される部分が食い込む楔形状を有する、
請求項１から３の何れか一項に記載のヘッドチップ。

【請求項5】

前記下地接着層は、前記下地接着層において前記本接着層が形成される面に、前記本接着層の余剰部分が入り込む逃げ溝を有する、
請求項１から３の何れか一項に記載のヘッドチップ。

【請求項6】

前記下地接着層は、前記下地接着層において前記本接着層が形成される面に、前記第２部材を位置決めする凹部又は凸部を有する、
請求項１から３の何れか一項に記載のヘッドチップ。

【請求項7】

請求項１から３の何れか一項に記載のヘッドチップを備える、
液体噴射ヘッド。

【請求項8】

請求項７に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドが取り付けられるキャリッジと、を備える、
液体噴射記録装置。

【請求項9】

複数の部材を備えるヘッドチップの製造方法であって、
前記複数の部材のうち互いに接着される２つの部材を第１部材及び第２部材とし、
前記第１部材において前記第２部材が接着される接着面に下地として下地接着層を形成する第１工程と、
前記第１工程の後、前記下地接着層と前記第２部材との間に本接着層を形成する第２工程と、を含み、
前記第１工程では、押圧板を用いて前記下地接着層となる接着剤を前記第１部材の前記接着面に押し付ける、
ヘッドチップの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示の実施形態は、ヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置、及びヘッドチップの製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、基板と、基板に固定される圧電部材と、基板の表面の圧電部材が固定される領域に形成される第１接着剤層と、第１接着剤層と圧電部材との間に形成される第２接着剤層と、を備えるインクジェットヘッドが開示されている。第１接着剤層及び第２接着剤層は、互いに異なる色の接着剤で形成される。例えば、第１接着剤層は、第１の色の接着剤をスプレーによって塗布して形成される。圧電部材の基板への接着面には、第２接着剤層を形成する接着剤（第２の色の接着剤）が塗布される。この状態で、圧電部材を基板上の第１接着剤層の上に置き、互いに接着させる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１５－１０７５５６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかし、スプレーによる接着剤の塗布では、基板の表面の細かい凹凸が第１接着剤層によって十分に埋められない場合がある。例えば、基板の表面において高低差の大きい凹凸面では、凹凸面に沿った接着面が形成されてしまう可能性が高い。そのため、被接着部材同士の接着面積が減少し、接着強度が低下する可能性が高い。

【0005】

本開示は、上記課題に鑑みてなされたものであり、接着強度の低下を抑制することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

（１）本開示の一態様に係るヘッドチップは、複数の部材を備え、前記複数の部材のうち互いに接着される２つの部材を第１部材及び第２部材とし、前記第１部材において前記第２部材が接着される接着面に下地として形成される下地接着層と、前記下地接着層と前記第２部材との間に形成される本接着層と、を備え、前記下地接着層の未硬化時の粘度は、前記本接着層の未硬化時の粘度よりも低い。

【0007】

本態様に係るヘッドチップによれば、下地接着層の未硬化時の粘度が本接着層の未硬化時の粘度以上に高い場合と比較して、第１部材において第２部材が接着される接着面の凹凸の奥まで下地接着層を入り込ませやすい。このため、被接着部材同士の接着面積が減少することを抑制することができる。したがって、接着強度の低下を抑制することができる。

【0008】

（２）（１）の態様のヘッドチップにおいて、前記下地接着層は、前記下地接着層において前記本接着層が形成される面に、平坦面を有してもよい。

【0009】

この構成によれば、下地接着層において本接着層が形成される面に凹凸がある場合と比較して、下地接着層と本接着層との界面に気泡が入りにくくなる。したがって、接着剤層に空洞ができることに起因する密着度の低下を抑制することができる。

【0010】

（３）（１）の態様のヘッドチップにおいて、前記下地接着層は、前記下地接着層において前記本接着層が形成される面に、湾曲又は屈曲の形状を有してもよい。

【0011】

この構成によれば、下地接着層において本接着層が形成される面が平坦面である場合と比較して、被接着部材同士の接着面積が増える。したがって、接着強度が更に向上する。

【0012】

（４）（１）から（３）の何れかの態様のヘッドチップにおいて、前記下地接着層は、前記下地接着層において前記本接着層が形成される面に、前記第２部材において前記本接着層が形成される部分が食い込む楔形状を有してもよい。

【0013】

この構成によれば、下地接着層が有する楔形状と第２部材において本接着層が形成される部分とのアンカー効果により、接着強度が向上する。加えて、単純な面同士（例えば平面同士）の接着構造と比較して、楔形状の表面積分だけ接着面積が増えるため、接着強度が更に向上する。

【0014】

（５）（１）から（４）の何れかの態様のヘッドチップにおいて、前記下地接着層は、前記下地接着層において前記本接着層が形成される面に、前記本接着層の余剰部分が入り込む逃げ溝を有してもよい。

【0015】

この構成によれば、本接着層の余剰部分が逃げ溝に入るため、本接着層のはみだし量を減少させることができる。加えて、下地接着層において本接着層が形成される面から逃げ溝への気泡の移動が許容されるため、下地接着層において本接着層が形成される面に気泡が残存することを抑制することができる。したがって、下地接着層において本接着層が形成される面に気泡を含むことによる接着強度の低下を抑制することができる。

【0016】

（６）（１）から（５）の何れかの態様のヘッドチップにおいて、前記下地接着層は、前記下地接着層において前記本接着層が形成される面に、前記第２部材を位置決めする凹部又は凸部を有してもよい。

【0017】

この構成によれば、下地接着層の凹部又は凸部により、第２部材の位置決めのために別のマークを用意する必要がなくなる。さらに、はめあいでの位置決めが可能となることによって、マークを手動で合わせる位置決めが不要となる。したがって、容易に正確な位置決めが可能となる。

【0018】

（７）本開示の一態様に係る液体噴射ヘッドは、（１）から（６）の何れかの態様のヘッドチップを備える。

【0019】

本態様に係る液体噴射ヘッドによれば、接着強度の低下を抑制できる液体噴射ヘッドが得られる。

【0020】

（８）本開示の一態様に係る液体噴射記録装置は、（７）の態様の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドが取り付けられるキャリッジと、を備える。

【0021】

本態様に係る液体噴射記録装置によれば、接着強度の低下を抑制できる液体噴射記録装置が得られる。

【0022】

（９）本開示の一態様に係るヘッドチップの製造方法は、複数の部材を備えるヘッドチップの製造方法であって、前記複数の部材のうち互いに接着される２つの部材を第１部材及び第２部材とし、前記第１部材において前記第２部材が接着される接着面に下地として下地接着層を形成する第１工程と、前記第１工程の後、前記下地接着層と前記第２部材との間に本接着層を形成する第２工程と、を含み、前記第１工程では、押圧板を用いて前記下地接着層となる接着剤を前記第１部材の前記接着面に押し付ける。

【0023】

本態様に係るヘッドチップの製造方法によれば、押圧板を用いて下地接着層となる接着剤を第１部材の接着面に押し付けることにより、第１部材において第２部材が接着される接着面の凹凸の奥まで下地接着層を入り込ませることができる。このため、被接着部材同士の接着面積が減少することを抑制することができる。したがって、接着強度の低下を抑制することができる。加えて、押圧板の押し付ける面の形状を転写することができるため、下地接着層において本接着層が形成される面を所望の形状・状態にすることができる。このため、凹凸を有する第１部材の接着面に直接接着するよりも、接着強度を確保することができる。

【図面の簡単な説明】

【0024】

【図1】第１実施形態に係るインクジェットプリンタの概略構成図である。

【図2】第１実施形態に係るインクジェットヘッド及びインク循環手段の概略構成図である。

【図3】第１実施形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視図である。

【図4】第１実施形態に係るインクジェットヘッドの断面図である。

【図5】第１実施形態に係るインクジェットヘッドの断面図である。

【図6】図５のＶＩ－ＶＩ断面を含む図である。

【図7】第１実施形態に係る第１部材及び第２部材を接着する接着剤層の説明図である。

【図8】第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法の第１工程の説明図である。

【図9】第２実施形態に係るヘッドチップの製造方法の第１工程の説明図である。

【図10】第３実施形態に係るヘッドチップの製造方法の第１工程の説明図である。

【図11】図１０に続く、第３実施形態に係る第１工程の説明図である。

【図12】第４実施形態に係るヘッドチップの製造方法の第１工程の説明図である。

【図13】第５実施形態に係るヘッドチップの製造方法の第１工程の一例の説明図である。

【図14】第５実施形態に係るヘッドチップの製造方法の第１工程の他の例の説明図である。

【図15】第６実施形態に係る第１部材及び第２部材を接着する接着剤層の説明図である。

【図16】第７実施形態に係る第１部材及び第２部材を接着する接着剤層の説明図である。

【図17】第７実施形態に係る接着剤層のはみ出し部の説明図である。

【図18】第８実施形態に係るヘッドチップの斜視図である。

【図19】第８実施形態に係るヘッドチップの製造方法の一工程の斜視図である。

【図20】第８実施形態に係るヘッドチップの平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0025】

以下、本開示に係る実施形態について図面を参照して説明する。実施形態では、本開示の液体噴射ヘッドチップ（以下、単に「ヘッドチップ」という。）を備えた液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置の一例として、インク（液体）を利用して被記録媒体に記録を行うインクジェットプリンタ（以下、単に「プリンタ」という。）を例に挙げて説明する。なお、以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。

【0026】

以下で説明する実施形態や変形例において、対応する構成については同一の符号を付して説明を省略する場合がある。また、以下の説明において、例えば「平行」や「直交」、「中心」、「同軸」等の相対的又は絶対的な配置を示す表現は、厳密にそのような配置を表すのみならず、公差や同じ機能が得られる程度の角度や距離をもって相対的に変位している状態も表すものとする。

【0027】

＜第１実施形態＞
＜プリンタ＞
図１はプリンタ１の概略構成図である。
図１に示すように、本実施形態のプリンタ１は、一対の搬送手段２，３と、インクタンク４と、インクジェットヘッド５（液体噴射ヘッド）と、インク循環手段６と、走査手段７と、を備える。なお、以下の説明では、必要に応じてＸ，Ｙ，Ｚの直交座標系を用いて説明する。Ｘ方向は、被記録媒体Ｐ（例えば、紙等）の搬送方向である。Ｙ方向は、走査手段７の走査方向である。Ｚ方向は、Ｘ方向及びＹ方向に直交する上下方向である。

【0028】

搬送手段２，３は、被記録媒体ＰをＸ方向に搬送する。具体的に、搬送手段２は、Ｙ方向に延設されたグリットローラ１１と、グリットローラ１１に平行に延設されたピンチローラ１２と、グリットローラ１１を軸回転させるモータ等の駆動機構（不図示）と、を備える。搬送手段３は、Ｙ方向に延設されたグリットローラ１３と、グリットローラ１３に平行に延設されたピンチローラ１４と、グリットローラ１３を軸回転させる駆動機構（不図示）と、を備える。

【0029】

インクタンク４は、一方向に並んで複数設けられている。実施形態において、複数のインクタンク４は、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの四色のインクをそれぞれ収容するインクタンク４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋである。実施形態において、インクタンク４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋは、Ｘ方向に並んで配置されている。

【0030】

図２に示すように、インク循環手段６は、インクタンク４とインクジェットヘッド５との間でインクを循環させる。具体的に、インク循環手段６は、インク供給管２１及びインク排出管２２を有する循環流路２３と、インク供給管２１に接続された加圧ポンプ２４と、インク排出管２２に接続された吸引ポンプ２５と、を備える。例えば、インク供給管２１及びインク排出管２２は、インクジェットヘッド５を支持する走査手段７の動作に追従可能な可撓性を有するフレキシブルホースにより構成されている。

【0031】

加圧ポンプ２４は、インク供給管２１内を加圧し、インク供給管２１を通してインクジェットヘッド５にインクを送り出している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク供給管２１側は正圧となっている。
吸引ポンプ２５は、インク排出管２２内を減圧し、インク排出管２２内を通してインクジェットヘッド５からインクを吸引している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク排出管２２側は負圧となっている。そして、インクは、加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５の駆動により、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間を、循環流路２３を通して循環可能となっている。

【0032】

図１に示すように、走査手段７は、インクジェットヘッド５をＹ方向に往復走査させる。具体的に、走査手段７は、Ｙ方向に延設された一対のガイドレール３１，３２と、一対のガイドレール３１，３２に移動可能に支持されたキャリッジ３３と、キャリッジ３３をＹ方向に移動させる駆動機構３４と、を備える。なお、搬送手段２，３及び走査手段７は、インクジェットヘッド５と被記録媒体Ｐとを相対的に移動させる移動機構として機能する。

【0033】

駆動機構３４は、Ｘ方向におけるガイドレール３１，３２の間に配設されている。駆動機構３４は、Ｙ方向に間隔をあけて配設された一対のプーリ３５，３６と、一対のプーリ３５，３６間に巻回された無端ベルト３７と、一方のプーリ３５を回転駆動させる駆動モータ３８と、を備える。

【0034】

キャリッジ３３は、無端ベルト３７に連結されている。キャリッジ３３には、複数のインクジェットヘッド５が搭載されている。実施形態において、複数のインクジェットヘッド５は、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの四色のインクをそれぞれ吐出するインクジェットヘッド５Ｙ，５Ｍ，５Ｃ，５Ｋである。実施形態において、インクジェットヘッド５Ｙ，５Ｍ，５Ｃ，５Ｋは、Ｙ方向に並んで配置されている。

【0035】

＜インクジェットヘッド＞
図３に示すように、インクジェットヘッド５は、一対のヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂと、流路プレート４１と、入口マニホールド４２と、出口マニホールド（不図示）と、帰還プレート４３と、ノズルプレート４４（噴射プレート）と、を備える。インクジェットヘッド５は、吐出チャネル５４におけるチャネル延在方向の先端部からインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプのうち、インクタンク４との間でインクを循環させる循環式（エッジシュート循環式）のものである。

【0036】

＜ヘッドチップ＞
一対のヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂは、第１ヘッドチップ４０Ａおよび第２ヘッドチップ４０Ｂである。以下、第１ヘッドチップ４０Ａを中心に説明する。第２ヘッドチップ４０Ｂにおいて、第１ヘッドチップ４０Ａと同一の構成には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
第１ヘッドチップ４０Ａは、アクチュエータプレート５１と、カバープレート５２と、を備える。

【0037】

＜アクチュエータプレート＞
アクチュエータプレート５１の外形は、Ｘ方向に長手を有しかつＺ方向に短手を有する矩形板状をなしている。実施形態において、アクチュエータプレート５１は、分極方向が厚さ方向（Ｙ方向）で異なる２枚の圧電基板を積層した、いわゆるシェブロンタイプの積層基板である（図６参照）。例えば、圧電基板は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等からなるセラミックス基板が好適に用いられる。

【0038】

アクチュエータプレート５１のＹ方向における第１主面（アクチュエータプレート側第１主面）には、複数のチャネル５４，５５が形成されている。実施形態において、アクチュエータプレート側第１主面は、アクチュエータプレート５１のＹ方向内側面５１ｆ１（以下「ＡＰ側Ｙ方向内側面５１ｆ１」という。）である。ここで、Ｙ方向内側は、インクジェットへッド５のＹ方向中心側（Ｙ方向において流路プレート４１の側）を意味する。実施形態において、アクチュエータプレート側第２主面は、アクチュエータプレート５１のＹ方向外側面（図中符号５１ｆ２で示す。）である。

【0039】

各チャネル５４，５５は、Ｚ方向（第１方向）に延びる直線状に形成されている。各チャネル５４，５５は、Ｘ方向（第２方向）に間隔をあけて交互に形成されている。各チャネル５４，５５間は、アクチュエータプレート５１からなる駆動壁５６によってそれぞれ画成されている。一方のチャネル５４は、インクが充填される吐出チャネル５４（噴射チャネル）である。他方のチャネル５５は、インクが充填されない非吐出チャネル５５（非噴射チャネル）である。

【0040】

図４は、第１ヘッドチップ４０Ａにおける吐出チャネル５４の断面を含む図である。
図４に示すように、吐出チャネル５４は、下端部に位置する延在部５４ａと、延在部５４ａから上方に連なる切り上がり部５４ｂと、を有している。
延在部５４ａは、Ｚ方向の全体に亘って溝深さが一様とされている。切り上がり部５４ｂは、上方に向かうに従い溝深さが漸次浅くなっている。

【0041】

図３に示すように、非吐出チャネル５５の上端部は、アクチュエータプレート５１の上端面で開口している。非吐出チャネル５５の下端部は、アクチュエータプレート５１の下端面で開口している。

【0042】

図５は、第１ヘッドチップ４０Ａにおける非吐出チャネル５５の断面を含む図である。
図５に示すように、非吐出チャネル５５は、下端部に位置する延在部５５ａと、延在部５５ａから上方に連なる切り上がり部５５ｂと、を有している。
延在部５５ａは、Ｚ方向の全体に亘って溝深さが一様とされている。切り上がり部５５ｂは、上方に向かうに従い溝深さが漸次浅くなっている。

【0043】

図４に示すように、吐出チャネル５４の内面には、共通電極６１が形成されている。アクチュエータプレート５１のうち、吐出チャネル５４に対して上方に位置する部分５１ｅ（以下「ＡＰ側尾部５１ｅ」という。）のＹ方向内側面には、アクチュエータプレート側共通パッド６２（以下「ＡＰ側共通パッド６２」という。）が形成されている。ＡＰ側共通パッド６２は、共通電極６１に連続している。図３に示すように、ＡＰ側共通パッド６２は、ＡＰ側尾部５１ｅのＹ方向内側面上でＸ方向に間隔をあけて複数配置されている。

【0044】

図５に示すように、非吐出チャネル５５の内面には、個別電極６３が形成されている。図６に示すように、個別電極６３は、非吐出チャネル５５の内面のうち、Ｘ方向で対向する内側面に各別に形成されている。したがって、各個別電極６３のうち、同一の非吐出チャネル５５内で対向する個別電極６３同士は、非吐出チャネル５５の底面において電気的に分離されている。個別電極６３は、非吐出チャネル５５の内側面全体（Ｙ方向及びＺ方向の全体）に亘って形成されている。

【0045】

図５に示すように、ＡＰ側尾部５１ｅのＹ方向内側面には、アクチュエータプレート側個別配線６４（以下「ＡＰ側個別配線６４」という。）が形成されている。図３に示すように、ＡＰ側個別配線６４は、ＡＰ側尾部５１ｅのＹ方向内側面のうちＡＰ側共通パッド６２よりも上方に位置する部分をＸ方向に延在している。ＡＰ側個別配線６４は、吐出チャネル５４を間に挟んで対向する個別電極６３同士を接続している。

【0046】

＜カバープレート＞
図３に示すように、カバープレート５２の外形は、Ｘ方向に長手を有しかつＺ方向に短手を有する矩形板状をなしている。カバープレート５２のうち、ＡＰ側Ｙ方向内側面５１ｆ１と対向する第１主面（カバープレート側第１主面）は、ＡＰ側Ｙ方向内側面５１ｆ１に接合されている。実施形態において、カバープレート側第１主面は、カバープレート５２のＹ方向外側面５２ｆ１（以下「ＣＰ側Ｙ方向外側面５２ｆ１」という。）である。ここで、Ｙ方向外側は、インクジェットへッド５のＹ方向中心側とは反対側（Ｙ方向において流路プレート４１の側とは反対側）を意味する。実施形態において、カバープレート側第２主面は、カバープレート５２のＹ方向内側面５２ｆ２（以下「ＣＰ側Ｙ方向内側面５２ｆ２」という。）である。

【0047】

カバープレート５２には、カバープレート５２をＹ方向（第３方向）に貫通するとともに、吐出チャネル５４に連通する液体供給路７０が形成されている。液体供給路７０は、カバープレート５２をＹ方向内側に開口する共通インク室７１と、共通インク室７１に連通するとともにＹ方向外側に開口しかつＸ方向に間隔をあけて配置された複数のスリット７２と、を含む。共通インク室７１は、スリット７２を通して各吐出チャネル５４内に各別に連通している。一方、共通インク室７１は、非吐出チャネル５５には連通していない。

【0048】

図４に示すように、カバープレート５２において、液体供給路７０の内面には共通電極６５（以下「液体供給路内電極６５」という。）が形成されている。ＣＰ側Ｙ方向外側面５２ｆ１におけるスリット７２の周囲には、カバープレート側共通パッド６６（以下「ＣＰ側共通パッド６６」という。）が形成されている。ＣＰ側Ｙ方向内側面５２ｆ２における共通インク室７１の周囲には、共通引出配線６７が形成されている。図３に示すように、カバープレート５２の上端には、カバープレート５２のＺ方向内側に窪むとともに、Ｘ方向に間隔をあけて配置された複数の凹部７３が形成されている。

【0049】

図４に示すように、共通引出配線６７は、カバープレート５２のうち、アクチュエータプレート５１に対して上方に位置する部分５２ｅ（以下「ＣＰ側尾部５２ｅ」という。）のＹ方向外側面まで引き出されている。これにより、複数の吐出チャネル５４の内面に形成された共通電極６１は、ＡＰ側共通パッド６２、ＣＰ側共通パッド６６、液体供給路内電極６５および共通引出配線６７を経て、共通端子６８においてフレキシブル基板４５（外部配線）と電気的に接続される。実施形態において、共通引出配線６７及び液体供給路内電極６５は、共通電極６１とフレキシブル基板４５とを接続する接続配線６０を構成している。

【0050】

カバープレート５２には、カバープレート側個別配線６９（以下「ＣＰ側個別配線６９」という。）が形成されている。ＣＰ側個別配線６９は、アクチュエータプレート５１とカバープレート５２とを接合したときにおけるＡＰ側個別配線６４に対応する位置に配置されたカバープレート側個別パッド６９ａ（以下「ＣＰ側個別パッド６９ａ」という。）と、ＣＰ側個別パッド６９ａから上側ほどＸ方向外方に位置するように傾斜した後に上方に直線状に延びて形成された個別端子６９ｂと、を備える。

【0051】

個別端子６９ｂは、ＣＰ側尾部５２ｅのＹ方向外側面の上端まで延出している。これにより、複数の非吐出チャネル５５の内面に形成された個別電極６３は、ＡＰ側個別配線６４およびＣＰ側個別パッド６９ａを経て、個別端子６９ｂにおいてフレキシブル基板４５（図５参照）と電気的に接続される。実施形態において、ＣＰ側尾部５２ｅのＹ方向外側面は、フレキシブル基板４５が接続される接続面とされている。

【0052】

＜流路プレート＞
流路プレート４１は、第１ヘッドチップ４０Ａと第２ヘッドチップ４０ＢとのＹ方向間に挟持されている。図３に示すように、流路プレート４１の外形は、Ｘ方向に長手を有しかつＺ方向に短手を有する矩形板状をなしている。流路プレート４１のＹ方向における第１主面４１ｆ１（第１ヘッドチップ４０Ａ側を向く面）には、第１ヘッドチップ４０ＡにおけるＣＰ側Ｙ方向内側面５２ｆ２が接合されている。流路プレート４１のＹ方向における第２主面４１ｆ２（第２ヘッドチップ４０Ｂ側を向く面）には、第２ヘッドチップ４０ＢにおけるＣＰ側Ｙ方向内側面５２ｆ２が接合されている。

【0053】

流路プレート４１の各主面４１ｆ１，４１ｆ２には、共通インク室７１に各別に連通する入口流路７４と、帰還プレート４３の循環路７６に各別に連通する出口流路７５と、が形成されている。流路プレート４１は、入口流路７４と出口流路７５とがＺ方向に並ぶように形成されている。

【0054】

各入口流路７４は、共通インク室７１にインクを流入させる前に一時的にインクを貯蔵する入口液体貯蔵部７４ｓを含む。図３に示すように、入口液体貯蔵部７４ｓは、上下幅を一定に維持して流路プレート４１の上下中央部をＸ方向に直線状に延在している。図４に示すように、流路プレート４１には、入口流路７４をＹ方向における第１ヘッドチップ４０Ａ側と第２ヘッドチップ４０Ｂ側とに仕切る入口流路仕切り壁４１ａが設けられている。

【0055】

出口流路７５は、流路プレート４１のＸ方向の他端面において図示しない出口マニホールドに接続されている。出口マニホールドは、インク排出管２２（図１参照）に接続されている。各出口流路７５は、循環路７６から流出したインクを一時的に貯蔵する出口液体貯蔵部７５ｓを含む。図３に示すように、出口液体貯蔵部７５ｓは、上下幅を一定に維持して流路プレート４１の下端部をＸ方向に直線状に延在している。

【0056】

図４に示すように、流路プレート４１には、出口流路７５をＹ方向における第１ヘッドチップ４０Ａ側と第２ヘッドチップ４０Ｂ側とに仕切る出口流路仕切り壁４１ｂが設けられている。図４の断面視で、流路プレート４１のうち、ＣＰ側尾部５２ｅとＹ方向で重なる部分には、入口流路７４及び出口流路７５が形成されていない。すなわち、流路プレート４１のうち、ＣＰ側尾部５２ｅとＹ方向で重なる部分は、中実部材４１ｃとされている。

【0057】

＜入口マニホールド＞
図３に示すように、入口マニホールド４２は、各ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂ及び流路プレート４１のＸ方向の一端面にまとめて接合されている。入口マニホールド４２には、各入口流路７４に連通する供給路７７が形成されている。入口マニホールド４２は、インク供給管２１（図１参照）に接続されている。

【0058】

＜帰還プレート＞
帰還プレート４３の外形は、Ｘ方向に長手を有しかつＹ方向に短手を有する矩形板状をなしている。帰還プレート４３は、各ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂ及び流路プレート４１の下端面にまとめて接合されている。帰還プレート４３には、各ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂの吐出チャネル５４と出口流路７５との間を接続する複数の循環路７６が形成されている。複数の循環路７６は、第１循環路７６ａ及び第２循環路７６ｂを含む。複数の循環路７６は、帰還プレート４３をＺ方向に貫通している。

【0059】

図４に示すように、第１循環路７６ａは、Ｙ方向に延在している。第１循環路７６ａにおけるＹ方向の内側端部は、出口流路７５内に連通している。第１循環路７６ａにおけるＹ方向の外側端部は、第１ヘッドチップ４０Ａの吐出チャネル５４内に各別に連通している。

【0060】

図５に示すように、第２循環路７６ｂは、Ｙ方向に延在している。第２循環路７６ｂにおけるＹ方向の内側端部は、出口流路７５内に連通している。第２循環路７６ｂにおけるＹ方向の外側端部は、第２ヘッドチップ４０Ｂの吐出チャネル５４内に各別に連通している。

【0061】

＜ノズルプレート＞
図３に示すように、ノズルプレート４４の外形は、Ｘ方向に長手を有しかつＹ方向に短手を有する矩形板状をなしている。ノズルプレート４４は、帰還プレート４３の下端面に接合されている。ノズルプレート４４には、ノズルプレート４４をＺ方向に貫通する複数のノズル孔７８（噴射孔）が配列されている。複数のノズル孔７８は、第１ノズル孔７８ａ及び第２ノズル孔７８ｂを含む。

【0062】

図４に示すように、各第１ノズル孔７８ａは、第１循環路７６ａを介して第１ヘッドチップ４０Ａの対応する吐出チャネル５４にそれぞれ連通している。
図５に示すように、各第２ノズル孔７８ｂは、第２循環路７６ｂを介して第２ヘッドチップ４０Ｂの対応する吐出チャネル５４にそれぞれ連通している。
一方、各非吐出チャネル５５は、ノズル孔７８ａ，７８ｂには連通しておらず、帰還プレート４３により下方から覆われている。

【0063】

＜接着剤層＞
図７は、第１実施形態に係る第１部材１０１及び第２部材１０２を接着する接着剤層１１０の説明図である。
図７を併せて参照し、ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂは、吐出チャネル５４（液体が通過するチャネルに相当）を有するアクチュエータプレート５１を含む複数の部材を備える。複数の部材のうち互いに接着される２つの部材を第１部材１０１及び第２部材１０２とする。ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂは、第１部材１０１と第２部材１０２との間に接着剤層１１０を備える。

【0064】

接着剤層１１０は、第１部材１０１において第２部材１０２が接着される接着面１０１ｆに下地として形成される下地接着層１１１と、下地接着層１１１と第２部材１０２との間に形成される本接着層１１２と、を備える。接着剤層１１０は、下地接着層１１１の上に本接着層１１２が積層されることで形成されている。下地接着層１１１の未硬化時の粘度は、本接着層１１２の未硬化時の粘度よりも低い。

【0065】

例えば、接着剤層１１０は、熱硬化性樹脂や紫外線硬化性樹脂等の樹脂材料で形成されていてもよい。例えば、下地接着層１１１は、エポキシ系接着剤等で形成されているとよい。例えば、本接着層１１２は、アクリル系接着剤等で形成されていてもよい。なお、下地接着層１１１及び本接着層１１２の形成材料は、上記に限定されない。例えば、下地接着層１１１及び本接着層１１２の形成材料は、設計仕様に応じて変更することができる。

【0066】

図７の例では、第１部材１０１において第２部材１０２が接着される接着面１０１ｆ（以下「第１部材側接着面１０１ｆ」ともいう。）を示している。図７では、第１部材側接着面１０１ｆ上にある細かい凹凸を誇張して示しており、符号１０１ａは凹部の一例を、符号１０１ｂは凸部の一例を示している。なお、図７では対比のために、第１部材側接着面１０１ｆが平坦であったと仮想した場合の仮想線１０１ｖを２点鎖線で示している。ここで、下地接着層１１１は、第１部材側接着面１０１ｆの凹凸の奥（凹部１０１ａ内）まで入り込んでいる。下地接着層１１１は、第１部材側接着面１０１ｆを全体的に隙間なく覆っている。

【0067】

下地接着層１１１は、下地接着層１１１において本接着層１１２が形成される面（下地接着層１１１の上面に相当）に、平坦面１１１ｆを有する。

【0068】

下地接着層１１１の上面（平坦面１１１ｆ）は、第２部材１０２において第１部材１０１が接着される接着面（以下「第２部材側接着面１０２ｆ」ともいう。第２部材１０２の下面に相当）に対して全体的に平行な平面となっている。下地接着層１１１の上面は、第１部材側接着面１０１ｆ上にある凹凸の上端（凸部１０１ｂの最上端）を面内に有する平面状に形成されている。

【0069】

本接着層１１２は、第２部材１０２の下面（第２部材側接着面１０２ｆに相当）と下地接着層１１１の上面（平坦面１１１ｆ）との間に介在している。本接着層１１２は、第２部材側接着面１０２ｆを全体的に隙間なく覆っている。本接着層１１２は、下地接着層１１１の上面（平坦面１１１ｆ）を全体的に隙間なく覆っている。下地接着層１１１と本接着層１１２との界面１０３は、第１部材側接着面１０１ｆ上にある凹凸の上端（凸部１０１ｂの最上端）を面内に有する。界面１０３は、下地接着層１１１と本接着層１１２とが互いに接している境界を意味する。

【0070】

＜プリンタの動作方法＞
次に、プリンタ１を利用して、被記録媒体Ｐに文字や図形等を記録する場合のプリンタ１の動作方法について説明する。
なお、初期状態として、図１に示す４つのインクタンク４にはそれぞれ異なる色のインクが十分に封入されているものとする。また、インクタンク４内のインクがインク循環手段６を介してインクジェットヘッド５内に充填された状態となっている。

【0071】

図１に示すように、初期状態のもと、プリンタ１を作動させると、搬送手段２，３のグリットローラ１１，１３が回転することで、これらグリットローラ１１，１３及びピンチローラ１２，１４間に被記録媒体Ｐを搬送方向（Ｘ方向）に向けて搬送する。また、被記録媒体Ｐの搬送と同時に、駆動モータ３８がプーリ３５，３６を回転させて無端ベルト３７を動かす。これにより、キャリッジ３３がガイドレール３１，３２にガイドされながらＹ方向に往復移動する。
そして、キャリッジ３３の往復移動の間に、各インクジェットヘッド５より４色のインクを被記録媒体Ｐに適宜吐出させることで、被記録媒体Ｐに文字や画像等の記録を行うことができる。

【0072】

ここで、各インクジェットヘッド５の動きについて説明する。
本実施形態のようなエッジシュートタイプのうち、縦循環式のインクジェットヘッド５では、まず図２に示す加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５を作動させることで、循環流路２３内にインクを流通させる。この場合、インク供給管２１を流通するインクは、図３に示す入口マニホールド４２の供給路７７を通り、流路プレート４１の各入口流路７４内に流入する。各入口流路７４内に流入したインクは、各共通インク室７１を通過した後、スリット７２を通って各吐出チャネル５４内に供給される。各吐出チャネル５４内に流入したインクは、帰還プレート４３の循環路７６を通して出口流路７５内で集合し、その後図示しない出口マニホールドを通して図２に示すインク排出管２２に排出される。インク排出管２２に排出されたインクは、インクタンク４に戻された後、再びインク供給管２１に供給される。これにより、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間でインクを循環させる。

【0073】

そして、キャリッジ３３（図１参照）によって往復移動が開始されると、フレキシブル基板４５を介して各電極６１，６３に駆動電圧を印加する。この際、個別電極６３を駆動電位Ｖｄｄとし、共通電極６１を基準電位ＧＮＤとして各電極６１，６３間に駆動電圧を印加する。すると、吐出チャネル５４を画成する２つ駆動壁５６に厚み滑り変形が生じ、これら２つの駆動壁５６が非吐出チャネル５５側へ突出するように変形する。すなわち、本実施形態のアクチュエータプレート５１は、厚さ方向（Ｙ方向）に分極処理された２枚の圧電基板が積層されているため、駆動電圧を印加することで、駆動壁５６におけるＹ方向の中間位置を中心にしてＶ字状に屈曲変形する。これにより、吐出チャネル５４があたかも膨らむように変形する。

【0074】

２つの駆動壁５６の変形によって、吐出チャネル５４の容積が増大すると、共通インク室７１内のインクがスリット７２を通って吐出チャネル５４内に誘導される。そして、吐出チャネル５４の内部に誘導されたインクは、圧力波となって吐出チャネル５４の内部に伝搬し、この圧力波がノズル孔７８に到達したタイミングで、各電極６１，６３間に印加した駆動電圧をゼロにする。
これにより、駆動壁５６が復元し、一旦増大した吐出チャネル５４の容積が元の容積に戻る。この動作によって、吐出チャネル５４の内部の圧力が増加し、インクが加圧される。その結果、インクをノズル孔７８から吐出させることができる。この際、インクはノズル孔７８を通過する際に、液滴状のインク滴となって吐出される。これにより、上述したように被記録媒体Ｐに文字や画像等を記録することができる。

【0075】

なお、インクジェットヘッド５の動作方法は上述した内容に限られない。例えば、通常状態の駆動壁５６が吐出チャネル５４の内側に変形し、吐出チャネル５４があたかも内側に凹むように構成しても構わない。この場合は、各電極６１，６３間に印可する電圧を上述した電圧とは正負逆の電圧にするか、電圧の正負は変えずにアクチュエータプレート５１の分極方向を逆にすることで実現可能である。また、吐出チャネル５４が外側に膨らむように変形させた後で、吐出チャネル５４が内側に凹むように変形させ、吐出時のインクの加圧力を高めても構わない。

【0076】

＜ヘッドチップの製造方法＞
本実施形態のヘッドチップの製造方法は、吐出チャネル５４を有するアクチュエータプレート５１を含む複数の部材を備えるヘッドチップの製造方法であって、複数の部材のうち互いに接着される２つの部材を第１部材１０１及び第２部材１０２とし、第１部材１０１において第２部材１０２が接着される第１部材側接着面１０１ｆに下地として下地接着層１１１を形成する第１工程と、第１工程の後、下地接着層１１１と第２部材１０２との間に本接着層１１２を形成する第２工程と、を含み、第１工程では、押圧板１２０を用いて下地接着層１１１となる接着剤を第１部材１０１の接着面に押し付ける。
なお、ヘッドチップの製造方法は、上述した各ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂともに同様の方法により行うことが可能である。

【0077】

ヘッドチップの製造方法は、第１部材１０１及び第２部材１０２を準備する部材準備工程と、第１部材１０１及び第２部材１０２を互いに接着する部材接着工程と、を含む。

【0078】

部材準備工程では、上述したアクチュエータプレート５１等を含む複数の部材（第１部材１０１及び第２部材１０２）を準備する。例えば、アクチュエータプレート５１、カバープレート５２及び流路プレート４１の少なくとも一つが第１部材１０１に相当し、帰還プレート４３が第２部材１０２に相当する（側面－平面での接着）。例えば、アクチュエータプレート５１、カバープレート５２及び流路プレート４１の少なくとも一つの側面（表面）をダイサー等で削る場合は、表面が粗くなるため、第１部材１０１の接着面に凹凸ができることになる。なお、アクチュエータプレート５１が第１部材１０１に相当する場合は、カバープレート５２が第２部材１０２に相当してもよい（平面同士の接着）。部材準備工程の後、部材接着工程に移行する。

【0079】

部材接着工程では、上述した接着剤層１１０により、第１部材１０１及び第２部材１０２を互いに接着する。部材接着工程は、第１部材側接着面１０１ｆに下地接着層１１１を形成する第１工程と、下地接着層１１１と第２部材１０２との間に本接着層１１２を形成する第２工程と、を含む。

【0080】

図８は、第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法の第１工程の説明図である。
図８を併せて参照し、第１工程では、押圧板１２０を用いて下地接着層１１１となる接着剤（以下「下地接着剤」ともいう。）を第１部材側接着面１０１ｆに押し付ける。押圧板１２０は、スプレー等による塗布では平坦化できないような高低差のある第１部材側接着面１０１ｆ上の凹凸に対して、接着に適した接着面を形成するための板部材である。本実施形態では、接着に適した接着面が平坦面１１１ｆである。そのため、押圧板１２０は、平坦面１１１ｆに沿う平面状の転写面１２０ｆを有する。

【0081】

第１工程では、第１部材側接着面１０１ｆ上の凹凸を埋める程度の下地接着剤の塗布後に、平面状の転写面１２０ｆを有する押圧板１２０を、下地接着剤の上方（図８の矢印方向）から押し付ける。その後、押圧板１２０を下地接着剤から離反させる。例えば、押圧板１２０を離反するタイミング（工程）は、以下の（１）から（３）が挙げられる。
（１）下地接着剤塗布→押圧板押し付け→押圧板離反（下地接着剤は未硬化の状態）
これにより、本接着剤とのなじみを良くできる。
（２）下地接着剤塗布→押圧板押し付け→下地接着剤仮硬化→押圧板離反
これにより、下地接着層の接着面形状の転写性が高くなり、本接着剤とのなじみを良くできる。
（３）下地接着剤塗布→押圧板押し付け→下地接着剤完全硬化→押圧板離反
これにより、下地接着層の接着面形状の転写性が高くなる。

【0082】

例えば、押圧板１２０は、下地接着剤に対して離型性があるポリテトラフルオロエチレンやガラス等の材料で形成されている。例えば、下地接着剤の形成材料がエポキシ系接着剤である場合は、押圧板１２０の形成材料はポリテトラフルオロエチレンであることが好ましい。例えば、押圧板１２０の形成材料は、設計仕様に応じて変更することができる。

【0083】

本実施形態では、下地接着剤の粘度（下地接着層１１１の未硬化時の粘度に相当）は、本接着層１１２となる接着剤（以下「本接着剤」ともいう。）の粘度（本接着層１１２の未硬化時の粘度に相当）よりも低い。このため、下地接着剤の粘度が本接着剤の粘度以上に高い場合と比較して、第１工程において第１部材側接着面１０１ｆ上の凹凸の奥まで下地接着剤を入り込ませやすい。

【0084】

その後、第１部材側接着面１０１ｆに塗布された下地接着剤を、加熱や紫外線照射等で硬化させる。これにより、第１部材側接着面１０１ｆに下地接着層１１１が形成される。第１工程の後、第２工程に移行する。なお、下地接着剤は未硬化の状態で第２工程に移行することもある。

【0085】

第２工程では、下地接着層１１１と第２部材１０２との間に本接着層１１２を形成する。第２工程では、先ず、本接着剤を下地接着層１１１の上面（平坦面１１１ｆ）に塗布する。次に、本接着剤を介して下地接着層１１１の上面に第２部材１０２を配置する。その後、下地接着層１１１と第２部材１０２との間の本接着剤を、加熱や紫外線照射等で硬化させる。これにより、下地接着層１１１と第２部材１０２との間に本接着層１１２が形成される。すなわち、接着剤層１１０（下地接着層１１１及び本接着層１１２）を介して、第１部材１０１及び第２部材１０２が互いに接着される。なお、第２工程では、本接着剤だけでなく、下地接着剤も一緒に硬化することもある。
以上の工程により、ヘッドチップが得られる。

【0086】

なお、第２工程の前に、第２部材１０２において第１部材１０１が接着される接着面（第２部材側接着面１０２ｆ）に下地接着層１１１を形成してもよい。例えば、第１工程と同様、押圧板１２０を用いて下地接着剤を第２部材側接着面１０２ｆに押し付けてもよい。これにより、下地接着層１１１（２層）及び本接着層１１２を介して、第１部材１０１及び第２部材１０２を互いに接着することができる。例えば、第２部材側接着面１０２ｆに対する下地接着層１１１の設置態様は、設計仕様に応じて変更することができる。

【0087】

例えば、第１工程及び第２工程は、インクジェットヘッドの製造方法に適用してもよい。例えば、インクジェットヘッドの製造方法は、上述したアクチュエータプレートを含む複数の部材を備えるインクジェットヘッドの製造方法であって、複数の部材のうち互いに接着される２つの部材を第１部材１０１及び第２部材１０２とし、第１部材１０１において第２部材１０２が接着される接着面に下地として下地接着層１１１を形成する第１工程と、第１工程の後、下地接着層１１１と第２部材１０２との間に本接着層１１２を形成する第２工程と、を含み、第１工程では、押圧板１２０を用いて下地接着層１１１となる接着剤を第１部材１０１の接着面に押し付けてもよい。

【0088】

例えば、アクチュエータプレート５１を第１部材１０１とし、帰還プレート４３を第２部材１０２としてもよい。例えば、アクチュエータプレート５１と帰還プレート４３とを互いに接着する前に、アクチュエータプレート５１をダイシングソーで切断する場合がある。この場合、アクチュエータプレート５１の表面（切断面）は、ＪＩＳ（ＪＩＳ Ｂ ０６０１、ＩＳＯ ２５１７８）で定義される算術平均粗さ（Ｒａ）が非常に大きい。そのため、アクチュエータプレート５１の表面（切断面）は、周期や高さ、形状がばらついている粗面となる可能性が高い。また、アクチュエータプレート５１の表面（粗面）をグラインダー等で研磨することも困難である。特に、アクチュエータプレート５１がＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等からなるセラミックス基板で構成される場合は、研磨などでアクチュエータプレート５１の表面を平滑化することは極めて困難である。

【0089】

例えば、アクチュエータプレート５１の表面（粗面）に対してスプレーによる接着剤の塗布を行った場合は、アクチュエータプレート５１表面の細かい凹凸が接着剤によって十分に埋められない場合がある。例えば、アクチュエータプレート５１表面において高低差の大きい凹凸面では、凹凸面に沿った接着面が形成されてしまう可能性が高い。そのため、被接着部材同士（アクチュエータプレート５１及び帰還プレート４３）の接着面積が減少し、接着強度が低下する可能性が高い。

【0090】

これに対し本製造方法によれば、アクチュエータプレート５１の表面（切断面）が上記の粗面となっている場合であっても、上述した押圧板１２０を用いて下地接着層１１１となる接着剤をアクチュエータプレート５１の表面（第１部材側接着面１０１ｆに相当）に押し付けることで、アクチュエータプレート５１の表面の凹凸の奥まで下地接着層１１１を入り込ませることができる。このため、被接着部材同士（アクチュエータプレート５１及び帰還プレート４３）の接着面積が減少することを抑制することができる。したがって、接着強度の低下を抑制する上で実益が大きい。

【0091】

＜作用効果＞
本実施形態のヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂは、吐出チャネル５４を有するアクチュエータプレート５１を含む複数の部材を備える。複数の部材のうち互いに接着される２つの部材を第１部材１０１及び第２部材１０２とする。ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂは、第１部材１０１において第２部材１０２が接着される第１部材側接着面１０１ｆに下地として形成される下地接着層１１１と、下地接着層１１１と第２部材１０２との間に形成される本接着層１１２と、を備える。下地接着層１１１の未硬化時の粘度は、本接着層１１２の未硬化時の粘度よりも低い。

【0092】

この構成によれば、下地接着層１１１の未硬化時の粘度が本接着層１１２の未硬化時の粘度以上に高い場合と比較して、第１部材側接着面１０１ｆの凹凸の奥まで下地接着層１１１を入り込ませやすい。このため、被接着部材１０１，１０２同士の接着面積が減少することを抑制することができる。したがって、接着強度の低下を抑制することができる。

【0093】

本実施形態の下地接着層１１１は、下地接着層１１１において本接着層１１２が形成される面に、平坦面１１１ｆを有する。
この構成によれば、下地接着層１１１において本接着層１１２が形成される面に凹凸がある場合と比較して、下地接着層１１１と本接着層１１２との界面１０３に気泡が入りにくくなる。したがって、接着剤層１１０に空洞ができることに起因する密着度の低下を抑制することができる。

【0094】

本実施形態のインクジェットヘッド５は、上述したヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂを備える。
この構成によれば、接着強度の低下を抑制できるインクジェットヘッド５が得られる。

【0095】

本実施形態のプリンタ１は、上述したインクジェットヘッド５と、インクジェットヘッド５が取り付けられるキャリッジ３３と、を備える。
この構成によれば、接着強度の低下を抑制できるプリンタ１が得られる。

【0096】

本実施形態のヘッドチップの製造方法は、吐出チャネル５４を有するアクチュエータプレート５１を含む複数の部材を備えるヘッドチップの製造方法である。複数の部材のうち互いに接着される２つの部材を第１部材１０１及び第２部材１０２とする。ヘッドチップの製造方法は、第１部材１０１において第２部材１０２が接着される第１部材側接着面１０１ｆに下地として下地接着層１１１を形成する第１工程と、第１工程の後、下地接着層１１１と第２部材１０２との間に本接着層１１２を形成する第２工程と、を含む。第１工程では、押圧板１２０を用いて下地接着層１１１となる下地接着剤を第１部材側接着面１０１ｆに押し付ける。

【0097】

この方法によれば、押圧板１２０を用いて下地接着剤を第１部材側接着面１０１ｆに押し付けることにより、第１部材側接着面１０１ｆの凹凸の奥まで下地接着層１１１を入り込ませることができる。このため、被接着部材１０１，１０２同士の接着面積が減少することを抑制することができる。したがって、接着強度の低下を抑制することができる。加えて、押圧板１２０の押し付ける面の形状を転写することができるため、下地接着層１１１において本接着層１１２が形成される面を所望の形状・状態にすることができる。このため、凹凸を有する第１部材１０１の接着面に直接接着するよりも、接着強度を確保することができる。

【0098】

＜変形例＞
なお、本発明の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上述した実施形態では、液体噴射装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であっても構わない。

【0099】

上述した実施形態では、ノズル孔７８が二列並んだ二列タイプのインクジェットヘッド５について説明したが、これに限られない。例えば、ノズル孔が三列以上のインクジェットヘッド５としてもよく、ノズル孔が一列のインクジェットヘッド５としてもよい。

【0100】

上述した実施形態では、吐出チャネル５４と非吐出チャネル５５とが交互に配列された構成について説明したが、この構成のみに限られない。例えば、全チャネルから順次インクを吐出する、いわゆる３サイクル方式のインクジェットヘッドに本発明を適用しても構わない。

【0101】

上述した実施形態では、アクチュエータプレートとしてシェブロンタイプを用いた構成について説明したが、これに限られない。すなわち、モノポールタイプ（分極方向が厚さ方向で一方向）のアクチュエータプレートを用いても構わない。

【0102】

上述した実施形態では、入口流路７４が流路プレート４１のＸ方向の一端面で開口している構成について説明したが、この構成のみに限られない。例えば、入口流路７４を流路プレート４１のＺ方向の一端面で開口させてもよいし、入口流路７４を流路プレート４１のＹ方向の一端面で開口させてもよい。

【0103】

上述した実施形態では、出口流路７５が流路プレート４１のＸ方向の他端面で開口している構成について説明したが、この構成のみに限られない。例えば、出口流路７５を流路プレート４１のＺ方向の一端面で開口させてもよいし、出口流路７５を流路プレート４１のＹ方向の一端面で開口させてもよい。

【0104】

上述した実施形態では、循環路側流路断面積がチャネル側流路断面積よりも小さい構成について説明したが、この構成のみに限られない。例えば、循環路側流路断面積をチャネル側流路断面積以上の大きさとしてもよい。

【0105】

上述した実施形態では、ＣＰ側Ｙ方向外側面５２ｆ１がフレキシブル基板４５の接続面とされている構成について説明したが、この構成のみに限られない。例えば、ＣＰ側Ｙ方向内側面５２ｆ２が接続面とされていてもよい。

【0106】

上述した実施形態では、流路プレート４１のうちＣＰ側尾部５２ｅとＹ方向で重なる部分が中実部材４１ｃとされている構成について説明したが、この構成のみに限られない。例えば、流路プレート４１のうちＣＰ側尾部５２ｅとＹ方向で重なる部分を中空部材としてもよい。

【0107】

上述した実施形態では、流路プレート４１が同一の部材により一体に形成された構成について説明したが、この構成のみに限られない。例えば、流路プレート４１が複数の部材の組合せで形成されていてもよい。

【0108】

上述した実施形態では、印刷時にインクジェットヘッドが被記録媒体に対して移動する構成（いわゆる、シャトル機）を例にして説明をしたが、この構成に限られない。本開示に係る構成は、インクジェットヘッドを固定した状態で、インクジェットヘッドに対して被記録媒体を移動させる構成（いわゆる、固定ヘッド機）に採用してもよい。
上述した実施形態では、被記録媒体Ｐが紙の場合について説明したが、この構成に限られない。被記録媒体Ｐは、紙に限らず、金属材料や樹脂材料であってもよく、食品等であってもよい。
上述した実施形態では、液体噴射ヘッドが液体噴射記録装置に搭載された構成について説明したが、この構成に限られない。すなわち、液体噴射ヘッドから噴射される液体は、被記録媒体に着弾させるものに限らず、例えば調剤中に配合する薬液や、食品に添加する調味料や香料等の食品添加物、空気中に噴射する芳香剤等であってもよい。
上述した実施形態では、Ｚ方向が重力方向に一致する構成について説明したが、この構成のみに限らず、Ｚ方向を水平方向に沿わせてもよい。

【0109】

＜第２実施形態＞
図９は、第２実施形態に係るヘッドチップの製造方法の第１工程の説明図である。
上述した第１実施形態では、下地接着層において本接着層が形成される面に平坦面を有する例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、図９に示すように、下地接着層２１１は、下地接着層２１１において本接着層が形成される面に、湾曲又は屈曲の形状２１１ｆを有してもよい。第２実施形態において、上述した実施形態と同様の構成には同一の符号を付し、詳細説明は省略する。

【0110】

湾曲又は屈曲の形状２１１ｆには、湾曲面等の丸みのある形状のみならず、一部あるいは全体で角があるようないびつな形状（例えば、断面が三角形のような形状、鋭角で角のあるような形状）も含まれる。図９の例では、湾曲面を示しているが、これに屈曲（角があるような）形状が含まれてもよい。

【0111】

例えば、湾曲又は屈曲の形状２１１ｆとなる要素の平均長さ（ＲＳｍ値）は、２００μｍ以下になるような凹凸形状を有していてもよい。ＲＳｍ値は、ＪＩＳ（ＪＩＳ Ｂ ０６０１）で定義される線粗さを意味する。ＲＳｍ値は、湾曲又は屈曲の形状２１１ｆとなる要素である凹凸の平均ピッチ（凹部中心と凸部中心との間の平均の長さ）に相当する。図示はしないが、第２部材において第１部材１０１が接着される第２部材側接着面は、下地接着層２１１の湾曲又は屈曲の形状２１１ｆに沿うように湾曲している。

【0112】

本実施形態では、接着に適した接着面が湾曲又は屈曲の形状２１１ｆである。そのため、押圧板２２０は、湾曲又は屈曲の形状２１１ｆに沿う曲面状の転写面２２０ｆを有する。例えば、第１工程では、凹凸を埋める程度の下地接着剤の塗布後に、曲面状の転写面２２０ｆを有する押圧板２２０を、下地接着剤の上方（図９の矢印方向）から押し付ける。その後の工程は、上述した第１実施形態と同様であるため、詳細説明は省略する。

【0113】

以上説明したように、本実施形態の下地接着層２１１は、下地接着層２１１において本接着層が形成される面に、湾曲又は屈曲の形状２１１ｆを有する。
この構成によれば、下地接着層２１１において本接着層が形成される面が平坦面である場合と比較して、被接着部材１０１，１０２同士の接着面積が増える。したがって、接着強度が更に向上する。

【0114】

＜第３実施形態＞
図１０は、第３実施形態に係るヘッドチップの製造方法の第１工程の説明図である。図１１は、図１０に続く、第３実施形態に係る第１工程の説明図である。
上述した第１実施形態では、下地接着層の上面は、第２部材の下面（第２部材側接着面）に対して全体的に平行な平面となっている例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、図１０に示すように、下地接着層３１１は、下地接着層３１１において本接着層が形成される面に、第２部材において本接着層が形成される部分が食い込む楔形状３１１ｗを有してもよい。第３実施形態において、上述した実施形態と同様の構成には同一の符号を付し、詳細説明は省略する。

【0115】

例えば、第１部材１０１が矩形板状である場合は、楔形状３１１ｗは、第１部材側接着面１０１ｆの短辺又は長辺を横断するように延びていてもよい。図１０の例では、楔形状３１１ｗは、負のテーパ形状（逆台形）を有する。図示はしないが、第２部材において本接着層が形成される部分は、下地接着層３１１の楔形状３１１ｗが食い込む形状を有する。

【0116】

本実施形態では、下地接着層３１１が負のテーパ形状（逆台形）の楔形状３１１ｗを有する。そのため、押圧板３２０は、楔形状３１１ｗに対応するテーパ形状（台形）の楔形状３２０ｗを有する。例えば、第１工程では、第１部材側接着面１０１ｆ上の凹凸及び押圧板３２０の楔形状３２０ｗ間を埋める程度の下地接着剤の塗布後に、テーパ形状（台形）の楔形状３２０ｗを有する押圧板３２０を、下地接着剤の上方から押し付ける。

【0117】

その後、押圧板３２０を下地接着剤から離反させる。例えば、第１部材側接着面１０１ｆに塗布された下地接着剤を、加熱や紫外線照射等で硬化させた後に、押圧板３２０を図１１の矢印方向にスライドさせることで、押圧板３２０を抜く。これにより、第１部材側接着面１０１ｆに、楔形状３１１ｗを有する下地接着層３１１が形成される。その後の工程は、上述した第１実施形態と同様であるため、詳細説明は省略する。

【0118】

以上説明したように、本実施形態の下地接着層３１１は、下地接着層３１１において本接着層が形成される面に、第２部材において本接着層が形成される部分が食い込む楔形状３１１ｗを有する。
この構成によれば、下地接着層３１１が有する楔形状３１１ｗと第２部材において本接着層が形成される部分とのアンカー効果により、接着強度が向上する。加えて、単純な面同士（例えば平面同士）の接着構造と比較して、楔形状３１１ｗの表面積分だけ接着面積が増えるため、接着強度が更に向上する。

【0119】

＜第４実施形態＞
図１２は、第４実施形態に係るヘッドチップの製造方法の第１工程の説明図である。
上述した第１実施形態では、下地接着層の上面は、溝等を有しない平坦面となっている例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、図１２に示すように、下地接着層４１１は、下地接着層４１１において本接着層が形成される面（下地接着層４１１の上面）に、本接着層の余剰部分が入り込む逃げ溝４１１ｇを有してもよい。第４実施形態において、上述した実施形態と同様の構成には同一の符号を付し、詳細説明は省略する。

【0120】

例えば、第１部材１０１が矩形板状である場合は、逃げ溝４１１ｇは、第１部材側接着面の短辺又は長辺を横断するように延びていてもよい。図１２の例では、逃げ溝４１１ｇは、下地接着層４１１の上面から第１部材１０１に向かって窪む矩形溝状の凹形状を有する。図示はしないが、第２部材において第１部材１０１が接着される第２部材側接着面は、下地接着層４１１の上面（具体的には、下地接着層４１１において逃げ溝４１１ｇ以外の上面）に沿う形状を有している。なお、第２部材は、逃げ溝４１１ｇの一部に入り込む形状を有していてもよい。

【0121】

本実施形態では、下地接着層４１１が矩形溝状の逃げ溝４１１ｇを有する。そのため、押圧板４２０は、逃げ溝４１１ｇに対応する矩形突状の突起部４２０ｐを有する。例えば、第１工程では、第１部材側接着面上の凹凸及び押圧板４２０の突起部４２０ｐ間を埋める程度の下地接着剤の塗布後に、矩形突状の突起部４２０ｐを有する押圧板４２０を、下地接着剤の上方から押し付ける。その後の工程は、上述した第１実施形態と同様であるため、詳細説明は省略する。

【0122】

以上説明したように、本実施形態の下地接着層４１１は、下地接着層４１１において本接着層が形成される面に、本接着層の余剰部分が入り込む逃げ溝４１１ｇを有する。

【0123】

この構成によれば、本接着層の余剰部分が逃げ溝４１１ｇに入るため、本接着層のはみだし量を減少させることができる。加えて、下地接着層４１１の上面から逃げ溝４１１ｇへの気泡の移動が許容されるため、下地接着層４１１の上面に気泡が残存することを抑制することができる。したがって、下地接着層４１１において本接着層が形成される面に気泡を含むことによる接着強度の低下を抑制することができる。

【0124】

なお、逃げ溝の形状は、上記に限定されない。例えば、逃げ溝の形状を図１０のような楔形状とすることで、アンカー効果を有する接着剤逃げ溝としても利用することができる。また、逃げ溝の表面積分だけ接着面積が増えるため、接着強度が更に向上する。

【0125】

＜第５実施形態＞
図１３は、第５実施形態に係るヘッドチップの製造方法の第１工程の一例の説明図である。図１４は、第５実施形態に係るヘッドチップの製造方法の第１工程の他の例の説明図である。
上述した第１実施形態では、下地接着層の上面は、凹凸等を有しない平坦面となっている例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、図１３及び図１４に示すように、下地接着層５１１Ａ，５１１Ｂは、下地接着層５１１Ａ，５１１Ｂにおいて本接着層が形成される面（下地接着層４１１の上面）に、第２部材を位置決めする凹部５１１ｒ又は凸部５１１ｃを有していてもよい。第５実施形態において、上述した実施形態と同様の構成には同一の符号を付し、詳細説明は省略する。

【0126】

例えば、第１部材１０１が矩形板状である場合は、凹部５１１ｒ又は凸部５１１ｃは、第１部材側接着面の短辺以下又は長辺以下の範囲に設けられていてもよい。図１３の例では、凹部５１１ｒは、下地接着層５１１Ａの上面から第１部材１０１に向かって窪む矩形状の凹形状を有する。この場合、図示はしないが、第２部材において本接着層が形成される部分は、下地接着層５１１Ａの凹部５１１ｒに嵌め合わせられる凸部を有する。

【0127】

一方、図１４の例では、凸部５１１ｃは、下地接着層５１１Ｂの上面から突出する矩形状の凸形状を有する。この場合、図示はしないが、第２部材において本接着層が形成される部分は、下地接着層５１１Ｂの凸部５１１ｃを嵌め合わせる凹部を有する。

【0128】

例えば、凹部５１１ｒ又は凸部５１１ｃの形状は、上記に限定されない。例えば、凹部５１１ｒ又は凸部５１１ｃの形状は、平面視で十字や円、矩形等、又は、これらの少なくとも２つを組み合わせた形状であってもよい。例えば、凹部５１１ｒ又は凸部５１１ｃの形状は、第２部材を位置決め可能に互いに嵌め合わせることが可能な形状であればよい。

【0129】

本実施形態では、下地接着層５１１Ａ，５１１Ｂが凹部５１１ｒ又は凸部５１１ｃを有する。そのため、押圧板５２０Ａ，５２０Ｂは、凹部５１１ｒに対応する凸部５２０ｃ、又は、凸部５１１ｃに対応する凹部５２０ｒを有する。
例えば、押圧板５２０Ａが凸部５２０ｃを有する場合、第１工程では、第１部材側接着面上の凹凸及び押圧板５２０Ａの凸部５２０ｃ間を埋める程度の下地接着剤の塗布後に、凸部５２０ｃを有する押圧板５２０Ａを、下地接着剤の上方から押し付ける。その後の工程は、上述した第１実施形態と同様であるため、詳細説明は省略する。

【0130】

一方、押圧板５２０Ｂが凹部５２０ｒを有する場合、第１工程では、第１部材側接着面上の凹凸及び押圧板５２０Ｂの凹部５２０ｒを埋める程度の下地接着剤の塗布後に、凹部５２０ｒを有する押圧板５２０Ｂを、下地接着剤の上方から押し付ける。その後の工程は、上述した第１実施形態と同様であるため、詳細説明は省略する。

【0131】

以上説明したように、本実施形態の下地接着層５１１Ａ，５１１Ｂは、下地接着層５１１Ａ，５１１Ｂにおいて本接着層が形成される面に、第２部材を位置決めする凹部５１１ｒ又は凸部５１１ｃを有する。
この構成によれば、下地接着層５１１Ａ，５１１Ｂの凹部５１１ｒ又は凸部５１１ｃにより、第２部材の位置決めのために別のマークを用意する必要がなくなる。さらに、はめあいでの位置決めが可能となることによって、マークを手動で合わせる位置決めが不要となる。したがって、容易に正確な位置決めが可能となる。

【0132】

例えば、凹部５１１ｒ又は凸部５１１ｃが第１部材側接着面の短辺以下又は長辺以下の範囲に設けられている場合は、押圧板５２０Ａ，５２０Ｂは第１部材１０１よりも大きいため、第１部材１０１の固定や保持が容易となる。そのため、第１部材側接着面に対して下地接着剤を押圧する際に、押圧板５２０Ａ，５２０Ｂの精密な位置決めも容易となる。

【0133】

なお、下地接着層の凹部又は凸部の形状は、上記に限定されない。例えば、１軸方向の位置決めであれば、凹部又は凸部の形状を図１２のような第１部材側接着面の短辺又は長辺を横断する形状とすることで、接着剤逃げ溝としても利用することができる。

【0134】

＜第６実施形態＞
図１５は、第６実施形態に係る第１部材及び第２部材を接着する接着剤層の説明図である。
上述した第１実施形態では、下地接着層及び本接着層の形成材料は限定されない例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、図１５に示すように、下地接着層６１１及び本接着層６１２の形成材料は、互いに同じ接着剤であってもよい。第６実施形態において、上述した実施形態と同様の構成には同一の符号を付し、詳細説明は省略する。

【0135】

例えば、下地接着層６１１及び本接着層６１２の形成材料は、完全に同一であることに限らず、実質的に同一であってもよい。例えば、下地接着剤の粘度（下地接着層６１１の未硬化時の粘度に相当）が本接着剤の粘度（本接着層６１２の未硬化時の粘度に相当）よりも低くなるように、下地接着層６１１及び本接着層６１２の形成材料の成分を調整してもよい。

【0136】

以上説明したように、本実施形態の下地接着層６１１及び本接着層６１２の形成材料は、互いに同じ接着剤である。
この構成によれば、下地接着層６１１及び本接着層６１２が互いに近い物質同士の接着剤で構成されるため、互いに相性が良くなり、接着剤同士の馴染みが向上する。このため、第１部材６０１に対して下地接着層６１１を薄く塗布することが可能となり、気泡等を塗布後に逃がすことが容易となる。また、塗布した下地接着剤を押圧板で押し込むことで、第１部材６０１表面の湾曲形状の凹凸（粗面凹凸）の奥まで下地接着剤を行き渡らせることができる。このため、厚塗り等の塗布方法よりも、第１部材６０１と下地接着剤との馴染みを向上させることができる。

【0137】

＜第７実施形態＞
図１６は、第７実施形態に係る第１部材及び第２部材を接着する接着剤層の説明図である。図１７は、第７実施形態に係る接着剤層のはみ出し部の説明図である。
上述した第４実施形態では、下地接着層において本接着層が形成される面に本接着層の余剰部分が入り込む逃げ溝を有する例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、図１６及び図１７に示すように、第１部材７０１及び第２部材７０２に加工された溝内部に接着剤のはみ出し部７１３ができるように構成されていてもよい。第７実施形態において、上述した実施形態と同様の構成には同一の符号を付し、詳細説明は省略する。

【0138】

図１６及び図１７の例では、ポンプ室として機能する第１溝７０１ｇを有する第１部材７０１と、共通流路として機能する第２溝７０２ｇを有する第２部材７０２と、を示す。例えば、第１部材側接着面及び第２部材側接着面に対して押圧板により下地接着剤を塗布して硬化させた後、本接着層７１２を介して第１部材７０１及び第２部材７０２を接着させる。すると、第１部材７０１及び第２部材７０２に加工された溝７０１ｇ，７０２ｇ内部にはみ出し部７１３が形成される。

【0139】

例えば、下地接着層７１１が硬化した後に本接着剤を塗布した場合、溝７０１ｇ，７０２ｇ内部で硬化した部分（下地接着層７１１のはみ出し部）に沿うようにして本接着剤が流れてはみ出す。そのため、第１部材７０１及び第２部材７０２における溝７０１ｇ，７０２ｇ内部の壁面に本接着剤が回り込む量が減少し、はみ出し部７１３が立体的に成長する。これにより、溝７０１ｇ，７０２ｇ内部の壁面には接着剤が形成されにくいため、硬化したはみ出し部７１３は後工程で除去することが容易になる。

【0140】

以上説明したように、本実施形態のヘッドチップは、第１部材７０１及び第２部材７０２に加工された溝７０１ｇ，７０２ｇ内部に、接着剤のはみ出し部７１３ができるように構成されている。
この構成によれば、接着剤の余剰部分は溝７０１ｇ，７０２ｇ内部にはみ出し部７１３として形成される。したがって、第１部材７０１及び第２部材７０２同士の接着面に対する接着剤（下地接着剤及び本接着剤）の塗布量を可及的に少量に抑えることができる。

【0141】

＜第８実施形態＞
図１８は、第８実施形態に係るヘッドチップの斜視図である。図１９は、第８実施形態に係るヘッドチップの製造方法の一工程の斜視図である。図２０は、第８実施形態に係るヘッドチップの平面図である。
上述した第１実施形態では、ヘッドチップがアクチュエータプレート５１及びカバープレート５２を備える例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、図１８に示すように、ヘッドチップ８４０は、アクチュエータプレート８５１（第１部材に相当）と、一対の流路部材８５２（第２部材に相当）と、ノズルプレート８４４と、を備えていてもよい。第８実施形態において、上述した実施形態と同様の構成には同一の符号を付し、詳細説明は省略する。

【0142】

図１８から図２０の例では、アクチュエータプレート８５１は、電極が形成されるＡＣＴ溝８５１ｇを有する。一対の流路部材８５２は、インク流路及びポンプ室として機能するＣＯＭ溝８５２ｇを有する。例えば、両面蒸着等で電極を形成した場合は、一対の流路部材８５２の形成部材８５２Ｍの切断面に対してアクチュエータプレート８５１の形成部材８５１Ｍの切断面を接着した後、図１９の下部の厚肉部分（溝以外の部分）を研磨してもよい。

【0143】

例えば、第１工程では、ヘッドチップ８４０を構成するアクチュエータプレート８５１及び流路部材８５２の表面（切断面）に下地として下地接着層を形成する。第１工程の後、第２工程では、アクチュエータプレート８５１及び流路部材８５２の各下地接着層の間に本接着層を形成する。第１工程では、押圧板を用いて下地接着剤をアクチュエータプレート８５１及び流路部材８５２の各表面（切断面）に押し付ける。

【0144】

以上説明したように、本実施形態の構成によれば、ヘッドチップ８４０を構成するアクチュエータプレート８５１及び流路部材８５２の表面（切断面）が上記の粗面となっている場合であっても、上述した押圧板を用いて下地接着剤をアクチュエータプレート８５１及び流路部材８５２の各表面に押し付けることで、各表面の凹凸の奥まで下地接着層を入り込ませることができる。このため、被接着部材同士（アクチュエータプレート８５１及び流路部材８５２）の接着面積が減少することを抑制することができる。したがって、接着強度の低下を抑制する上で実益が大きい。例えば、アクチュエータプレート８５１及び流路部材８５２においてＡＣＴ溝８５１ｇ及びＣＯＭ溝８５２ｇが互いに直線状になるような厳しい位置合わせが行われる部位であっても、接着強度の低下を抑制することができる。

【0145】

なお、第１工程では、ヘッドチップ８４０を構成するアクチュエータプレート８５１及び各流路部材８５２の表面（切断面）に下地として下地接着層を形成することに限らない。例えば、第１工程では、ヘッドチップ８４０を構成するアクチュエータプレート８５１及びノズルプレート８４４の表面に下地として下地接着層を形成してもよい。この場合、第１工程の後、第２工程では、アクチュエータプレート８５１及びノズルプレート８４４の各下地接着層の間に本接着層を形成してもよい。第１工程では、押圧板を用いて下地接着剤をアクチュエータプレート８５１及びノズルプレート８４４の各表面に押し付けてもよい。

【0146】

なお、ヘッドチップは、アクチュエータプレート、一対の流路部材、及び、ノズルプレートを備える構成に限らない。例えば、ヘッドチップは、ノズルプレートを備えず、アクチュエータプレート及びカバープレートを備える構成であってもよい。例えば、ヘッドチップは、アクチュエータプレート、カバープレート及びノズルプレーを備える構成であってもよい。例えば、ヘッドチップは、ルーフトップ（天井駆動）やサーマル型の構成であってもよい。例えば、ヘッドチップの構成態様は、設計仕様に応じて変更することができる。

【0147】

以上、本開示の好ましい実施形態を記載し説明してきたが、これらは本開示の例示的なものであり、限定するものとして考慮されるべきではないことを理解すべきである。追加、省略、置換、及びその他の変更は、本開示の範囲から逸脱することなく行うことができる。従って、本開示は、前述の説明によって限定されていると見なされるべきではなく、特許請求の範囲によって制限されている。

【符号の説明】

【0148】

１ … プリンタ（液体噴射記録装置）
５ … インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
３３ … キャリッジ
４０Ａ，４０Ｂ … ヘッドチップ
５１ … アクチュエータプレート
５４ … 吐出チャネル（液体が通過するチャネル）
１０１ … 第１部材
１０１ｆ … 第１部材側接着面（第１部材において前記第２部材が接着される接着面）
１０２ … 第２部材
１１１ … 下地接着層
１１１ｆ … 平坦面
１１２ … 本接着層
１２０ … 押圧板
２１１ … 下地接着層
２１１ｆ … 湾曲又は屈曲の形状
２２０ … 押圧板
３１１ … 下地接着層
３１１ｗ … 楔形状
３２０ … 押圧板
４１１ … 下地接着層
４１１ｇ … 逃げ溝
４２０ … 押圧板
５１１Ａ，Ｂ … 下地接着層
５１１ｃ … 凸部
５１１ｒ … 凹部
５２０Ａ，Ｂ … 押圧板
６０１ … 第１部材
６１１ … 下地接着層
６１２ … 本接着層
７０１ … 第１部材
７０２ … 第２部材
７１１ … 下地接着層
７１２ … 本接着層
８４０ … ヘッドチップ
８５１ … アクチュエータプレート（第１部材）
８５２ … 流路部材（第２部材）
８４４ … ノズルプレート

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】