特開 2024-82608 腐食性薬液回収システム及び腐食性薬液回収システム用蓋体

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024082608

(43)【公開日】2024-06-20

(54)【発明の名称】腐食性薬液回収システム及び腐食性薬液回収システム用蓋体

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/304 20060101AFI20240613BHJP

   H01L 21/306 20060101ALI20240613BHJP

【ＦＩ】

H01L21/304 648K

H01L21/304 622E

H01L21/304 622Q

H01L21/306 R

H01L21/304 643A

【審査請求】未請求

【請求項の数】11

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022196571

(22)【出願日】2022-12-08

(71)【出願人】

【識別番号】390004581

【氏名又は名称】三益半導体工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100147935

【弁理士】

【氏名又は名称】石原 進介

(74)【代理人】

【識別番号】100080230

【弁理士】

【氏名又は名称】石原 詔二

(72)【発明者】

【氏名】小笠原 俊一

(72)【発明者】

【氏名】三瓶 一朗

【テーマコード（参考）】

5F043

5F057

5F157

【Ｆターム（参考）】

5F043DD13

5F043EE07

5F043EE08

5F043EE33

5F043EE40

5F057AA51

5F057BA11

5F057DA28

5F057EC30

5F057FA37

5F057FA43

5F057GB02

5F057GB03

5F057GB11

5F057GB24

5F157AB02

5F157AB33

5F157AB90

5F157CD32

5F157CF22

5F157CF42

5F157DA01

5F157DA41

5F157DC84

(57)【要約】

【課題】 所定量に達した腐食性薬液回収ボトルから空の腐食性薬液回収ボトルに付け替える際に、腐食性薬液の漏洩を防止することができるようにした腐食性薬液回収システム及び腐食性薬液回収システム用蓋体を提供する。
【解決手段】 回収ボトル本体部と、先端に開口部が形成された首部と、を含む少なくとも一つの腐食性薬液回収ボトルと、前記腐食性薬液回収ボトルの首部に取付けられ、前記開口部を閉塞する蓋体と、前記回収ボトル本体部の腐食性薬液が所定の容量になったことを検知する容量検知センサーと、前記所定の容量になったら警報を発する警報センサーと、前記回収ボトル本体部内へと前記腐食性薬液を導入する腐食性薬液回収ノズルと、前記腐食性薬液回収ボトルの首部に前記蓋体が取付けられて前記開口部が封止されたか否かを圧力変化で検知する圧力センサーと、を含む、腐食性薬液回収システムとした。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

半導体製造工程に用いられる腐食性薬液を回収するための腐食性薬液回収システムであって、
前記腐食性薬液が収容される回収ボトル本体部と、前記回収ボトル本体部の上端に形成され、先端に開口部が形成された首部と、を含む少なくとも一つの腐食性薬液回収ボトルと、
前記腐食性薬液回収ボトルの首部に取付けられ、前記開口部を閉塞する蓋体と、
前記回収ボトル本体部の腐食性薬液が所定の容量になったことを検知する容量検知センサーと、
前記所定の容量になったら警報を発する警報センサーと、
前記回収ボトル本体部内へと前記腐食性薬液を導入する腐食性薬液回収ノズルと、
前記腐食性薬液回収ボトルの首部に前記蓋体が取付けられて前記開口部が封止されたか否かを圧力変化で検知する圧力センサーと、
を含む、
腐食性薬液回収システム。

【請求項2】

前記蓋体が、
前記開口部を封止する封止材と、
前記封止材に形成され、封止検知用ガスが供給される流路と、
を有し、
前記蓋体を、前記腐食性薬液回収ボトルの首部に取付けると、前記流路に供給される前記封止検知用ガスが前記首部によって遮断されることにより圧力変化が生じ、前記圧力変化を前記圧力センサーで検知するようにした、請求項１記載の腐食性薬液回収システム。

【請求項3】

前記封止検知用ガスが不活性ガス又はエアーである、請求項２記載の腐食性薬液回収システム。

【請求項4】

前記蓋体の内側面に形成された被螺合部と、
前記腐食性薬液回収ボトルの首部の外側面に形成された螺合部と、
前記開口部を形成する円形突端部と、
を有し、
前記蓋体が、前記腐食性薬液回収ボトルの首部に螺合せしめられると、前記円形突端部によって前記封止検知用ガスの流路が閉塞されて、前記封止検知用ガスが前記首部によって遮断される、請求項２記載の腐食性薬液回収システム。

【請求項5】

前記回収ボトル本体部内のエアーを抜くエアー抜きノズルをさらに含む、請求項１記載の腐食性薬液回収システム。

【請求項6】

前記腐食性薬液回収ボトルが複数あり、前記回収ボトル本体部の腐食性薬液が所定の容量になったら前記蓋体を外すことで、前記圧力センサーがＯＦＦ状態となり、新しい腐食性薬液回収ボトルに前記蓋体を付け替えると、前記圧力センサーがＯＮ状態となる、請求項１記載の腐食性薬液回収システム。

【請求項7】

前記容量検知センサーが、光学式又は静電容量式のレベルセンサーである、請求項１記載の腐食性薬液回収システム。

【請求項8】

前記容量検知センサーが、質量計である、請求項１記載の腐食性薬液回収システム。

【請求項9】

前記光学式又は静電容量式のレベルセンサーが前記蓋体下面よりも前記回収ボトル本体部側に少なくとも延出せしめられてなり、少なくとも前記回収ボトル本体部側に延出せしめられた部分の表面が耐腐食性樹脂からなる、請求項７記載の腐食性薬液回収システム。

【請求項10】

前記封止材のうち、少なくとも前記回収ボトル本体部側の部分の表面が耐腐食性樹脂からなる、請求項２記載の腐食性薬液回収システム。

【請求項11】

請求項１～１０いずれか１項記載の腐食性薬液回収システムに用いられる蓋体であり、
前記蓋体が、
前記開口部を封止する封止材と、
前記封止材に形成され、封止検知用ガスが供給される流路と、
を有し、
前記蓋体を、前記腐食性薬液回収ボトルの首部に取付けると、前記流路に供給される前記封止検知用ガスが前記首部によって遮断されるようにした、腐食性薬液回収システム用蓋体。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体製造工程に用いられる腐食性薬液を回収するための腐食性薬液回収システム及びそれに用いられる腐食性薬液回収ボトルに使用される腐食性薬液回収システム用蓋体に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体製造工程では、それぞれの工程に合わせて、洗浄装置、エッチング装置塗布コーティング装置、フォトレジスト装置などといった種々の半導体製造装置が用いられるが、それぞれの工程で様々な薬液が使用される。

【0003】

例えば、半導体製造装置の一つである半導体洗浄設備の場合、半導体洗浄設備において薬液処理を行う場合、それが大規模な設備で、大量に使用薬液が発生する場合は工場に排液設備を設けて、使用済み薬液の排液処理を行う。中規模の設備の場合には、使用済み薬液のための数トン単位の排液備蓄タンクを設けて定期的に産廃処理を行っている。

【0004】

上記のような大中規模の半導体製造設備の場合、各々の半導体製造装置、例えば半導体洗浄装置には専用の排液配管が設置されており、前記半導体洗浄装置からの排液の処理量の管理がなされている（例えば特許文献１参照）。

【0005】

一方、小規模の半導体製造設備の場合、使用済み薬液が発生する場合は、各々の半導体製造装置、例えば半導体洗浄装置の装置内に薬液回収ボトルが設置されており、回収した使用済み薬液は産業廃棄物として処理される。その場合、半導体製造装置内には２個以上の薬液回収ボトルを設置して使用済み薬液の管理を行う。

【0006】

薬液回収ボトルは、作業員による入替作業を行う事から容量が２０ｋｇのボトルに、使用済み薬液約１５ｋｇを収納した状態で産業廃棄物として処理される。前記薬液回収ボトルのキャップには薬液回収配管、満杯センサー（H）、警報センサー（HH）、及びエアー抜き配管（排気）が設置されていることが一般的である。

【0007】

このような薬液回収システムの運用としては、複数の薬液回収ボトルで回収が行われる。第一の薬液回収ボトルに薬液が回収され満杯になると、自動的に薬液回収の流れが切り替わり第二の薬液回収ボトルで薬液が回収されることになる。満杯の薬液回収ボトルから空の薬液回収ボトルに入れ替えるにあたっては、セットされている方の薬液回収ボトルが満杯になると作業員に警告を発する事で作業員は、薬液回収ボトルに螺合されている薬液の回収用ノズルキャップ（薬液回収配管、満杯センサー（H）、警報センサー（HH）及びエアー抜き配管（排気）が設けられているノズルキャップ）を、前記薬液回収ボトルを密閉するための密封キャップに付替えて、満杯になった薬液回収ボトルを取外す。そして、空の薬液回収ボトルをセットして、前記薬液の回収用ノズルキャップの取り付けを行いセットが完了する。この状態で、スイッチを押すことで薬液回収のスタンバイが完了する。すると、一方の薬液回収ボトルが満杯になると自動的に他方の薬液回収ボトルに切り替り、薬液が回収される。

【0008】

以上のことを繰返すことにより、半導体製造装置を停止することなく、使用済み薬液回収を行うことができる。

【0009】

しかしながら、満杯となった薬液回収ボトルの薬液の回収用ノズルキャップを外し、密封キャップに付替えて前記満杯の薬液回収ボトルを回収した後に、薬液の回収用ノズルキャップを空の薬液回収ボトルに付けて、装置にセットするのは作業員の手作業である。そのため、前記空の薬液回収ボトルをセットする際に、前記薬液の回収用ノズルキャップを付け忘れたり、又は前記薬液の回収用ノズルキャップが前記空の薬液回収ボトルにしっかりと螺合されていなかったりすると、薬液回収が正常に行われず薬液漏洩が発生してしまう。

【0010】

半導体製造装置に用いられる薬液は、腐食性の薬液ばかりであり、薬液の漏洩が生じると、作業環境の安全性が損なわれるのみならず、漏洩した薬液の洗浄作業などの必要性も生じてくる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0011】

【特許文献1】特開２０１８－５６１８７

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0012】

本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みてなされたもので、所定量に達した腐食性薬液回収ボトルから空の腐食性薬液回収ボトルに付け替える際に、腐食性薬液の漏洩を防止することができるようにした腐食性薬液回収システム及び腐食性薬液回収システム用蓋体を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0013】

上記課題を解決するために、本発明の腐食性薬液回収システムは、半導体製造工程に用いられる腐食性薬液を回収するための腐食性薬液回収システムであって、前記腐食性薬液が収容される回収ボトル本体部と、前記回収ボトル本体部の上端に形成され、先端に開口部が形成された首部と、を含む少なくとも一つの腐食性薬液回収ボトルと、前記腐食性薬液回収ボトルの首部に取付けられ、前記開口部を閉塞する蓋体と、前記回収ボトル本体部の腐食性薬液が所定の容量になったことを検知する容量検知センサーと、前記所定の容量になったら警報を発する警報センサーと、前記回収ボトル本体部内へと前記腐食性薬液を導入する腐食性薬液回収ノズルと、前記腐食性薬液回収ボトルの首部に前記蓋体が取付けられて前記開口部が封止されたか否かを圧力変化で検知する圧力センサーと、を含む、腐食性薬液回収システムである。

【0014】

前記蓋体が、前記開口部を封止する封止材と、前記封止材に形成され、封止検知用ガスが供給される流路と、を有し、前記蓋体を、前記腐食性薬液回収ボトルの首部に取付けると、前記流路に供給される前記封止検知用ガスが前記首部によって遮断されることにより圧力変化が生じ、前記圧力変化を前記圧力センサーで検知するようにするのが好適である。

【0015】

前記封止検知用ガスが不活性ガス又はエアーであるのが好適である。

【0016】

前記蓋体の内側面に形成された被螺合部と、前記腐食性薬液回収ボトルの首部の外側面に形成された螺合部と、前記開口部を形成する円形突端部と、を有し、前記蓋体が、前記腐食性薬液回収ボトルの首部に螺合せしめられると、前記円形突端部によって前記封止検知用ガスの流路が閉塞されて、前記封止検知用ガスが前記首部によって遮断されるのが好適である。

【0017】

前記回収ボトル本体部内のエアーを抜くエアー抜きノズルをさらに含むのが好適である。

【0018】

前記腐食性薬液回収ボトルが複数あり、前記回収ボトル本体部の腐食性薬液が所定の容量になったら前記蓋体を外すことで、前記圧力センサーがＯＦＦ状態となり、新しい腐食性薬液回収ボトルに前記蓋体を付け替えると、前記圧力センサーがＯＮ状態となるのが好適である。

【0019】

前記容量検知センサーが、光学式又は静電容量式のレベルセンサーであるのが好適である。

【0020】

前記容量検知センサーが、質量計であるのが好適である。

【0021】

前記光学式又は静電容量式のレベルセンサーが前記蓋体下面よりも前記回収ボトル本体部側に少なくとも延出せしめられてなり、少なくとも前記回収ボトル本体部側に延出せしめられた部分の表面が耐腐食性樹脂からなるのが好適である。

【0022】

前記封止材のうち、少なくとも前記回収ボトル本体部側の部分の表面が耐腐食性樹脂からなるのが好適である。

【0023】

本発明の腐食性薬液回収システム用蓋体は、前記腐食性薬液回収システムに用いられる蓋体であり、前記蓋体が、前記開口部を封止する封止材と、前記封止材に形成され、封止検知用ガスが供給される流路と、を有し、前記蓋体を、前記腐食性薬液回収ボトルの首部に取付けると、前記流路に供給される前記封止検知用ガスが前記首部によって遮断されるようにした、腐食性薬液回収システム用蓋体である。

【発明の効果】

【0024】

本発明によれば、所定量に達した腐食性薬液回収ボトルから空の腐食性薬液回収ボトルに付け替える際に、腐食性薬液の漏洩を防止することができるようにした腐食性薬液回収システム及び腐食性薬液回収システム用蓋体を提供することができるという著大な効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0025】

【図1】本発明の腐食性薬液回収システムを備えた半導体製造設備を示す概略図である。

【図2】本発明の腐食性薬液回収システムを示す断面図であり、蓋体を螺合する前の状態を示す。

【図3】図２の状態から蓋体を少し螺合せしめた状態を示す断面図である。

【図4】図３の状態から蓋体をしっかりと螺合せしめた状態を示す断面図である。

【図5】蓋体の平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0026】

以下に本発明の実施の形態を説明するが、これら実施の形態は例示的に示されるもので、本発明の技術思想から逸脱しない限り種々の変形が可能なことはいうまでもない。図示において、同一部材は同一符号であらわされる。

【0027】

図１において、符号１０は、本発明の腐食性薬液回収システム１２を備えた半導体製造設備である。符号１４は、半導体製造装置を示す。半導体製造装置１４としては、ウェーハのスピン処理装置の例を示した。

【0028】

前記半導体製造装置１４であるスピン処理装置は、エッチングと洗浄を行うことができ、循環タンク２４内には、腐食性薬液であるエッチング液が入っている。半導体製造装置１４としては、図示例ではスピン処理装置の例を示したが、スピン処理装置以外の半導体製造装置であってもよいことは勿論である。半導体製造装置１４としては、図示例以外にも、洗浄装置、エッチング装置塗布コーティング装置、フォトレジスト装置などといった種々の半導体製造装置であってもよい。

【0029】

循環タンク２４には、キャニスター缶６４が配管６２を介して接続されており、循環タンク２４内の腐食性薬液が少なくなるとキャニスター缶６４内の腐食性薬液が配管６２を介して補充される。循環タンク２４には、液面センサー６０が設けられており、腐食性薬液の量が管理されている。

【0030】

循環タンク２４は配管５２を介して半導体製造装置１４に接続されており、工程に応じて半導体製造装置１４に腐食性薬液を供給する。符号２６はポンプである。符号２２は、工程に応じて半導体製造装置１４に腐食性薬液を供給するための弁である。符号５０は配管である。

【0031】

配管１３は純水を半導体製造装置１４に供給するための配管であり、弁２０が取り付けられていて、工程に応じて半導体製造装置１４にリンス液である純水が供給される。純水は半導体製造装置１４のリンス液回収部１６で回収されて配管１８からリンス液として排水される。

【0032】

腐食性薬液は半導体製造装置１４の腐食性薬液回収部１５で回収されて、第一の腐食性薬液回収ボトル４２又は第二の腐食性薬液回収ボトル４４へと送られる。符号１７はポンプである。

【0033】

第一の腐食性薬液回収ボトル４２及び第二の腐食性薬液回収ボトル４４には、容量検知センサー３６，３７及び警報センサー３８，４０がそれぞれ設けられている。腐食性薬液回収部１５で回収された腐食性薬液は、配管３９を介して第一の腐食性薬液回収ボトル４２又は第二の腐食性薬液回収ボトル４４へと送られる。符号３２，３４はエアー抜きノズルである。符号２８，３０は弁であり、第一の腐食性薬液回収ボトル４２又は第二の腐食性薬液回収ボトル４４のいずれかに切り替えて腐食性薬液を第一の腐食性薬液回収ボトル４２又は第二の腐食性薬液回収ボトル４４に送る。符号４１は、第二の腐食性薬液回収ボトル４４に腐食性薬液を送るための配管である。

【0034】

符号４６，４８は、リンス液排水のための配管であり、腐食性薬液を使わないリンス工程のみの場合には、第一の腐食性薬液回収ボトル４２及び第二の腐食性薬液回収ボトル４４は置かずに、リンス液排水のための配管４６，４８から排水される。なお、符号５８はリミッタースイッチである。

【0035】

図２～４に、本発明の腐食性薬液回収システム１２をより具体的に示す。図２～４に示すように、本発明の腐食性薬液回収システム１２は、腐食性薬液が収容される回収ボトル本体部６６と、前記回収ボトル本体部６６の上端に形成され、先端に開口部５１が形成された首部５３と、を含む少なくとも一つの腐食性薬液回収ボトルと、前記腐食性薬液回収ボトル４２の首部５３に取付けられ、前記開口部を閉塞する蓋体６９と、前記回収ボトル本体部６６の腐食性薬液が所定の容量になったことを検知する容量検知センサー３６と、前記所定の容量になったら警報を発する警報センサー３８と、前記回収ボトル本体部６６内へと前記腐食性薬液を導入する腐食性薬液回収ノズル８０と、前記腐食性薬液回収ボトル４２の首部５３に前記蓋体６９が取付けられて前記開口部５１が封止されたか否かを圧力変化で検知する圧力センサー８６と、を含む、腐食性薬液回収システムである。前記回収ボトル本体部６６内のエアーを抜くエアー抜きノズル３２がさらに設けられている。

【0036】

そして、前記蓋体６９が、前記開口部５１を封止する封止材７４と、前記封止材７４に形成され、封止検知用ガスが供給される流路８８と、を有し、前記蓋体６９を、前記腐食性薬液回収ボトル４２の首部５３に取付けると、前記流路８８に供給される前記封止検知用ガスが前記首部５３によって遮断されることにより圧力変化が生じ、前記圧力変化を前記圧力センサー８６で検知する構成とされている。符号８４は、窒素などの不活性ガス又はエアーを微少量供給するための封止検知用ガス供給ノズルである。前記封止検知用ガスは不活性ガス又はエアーが好ましい。

【0037】

また、前記蓋体６９には前記蓋体６９の端部７０の内側面に被螺合部７２が形成されており、前記腐食性薬液回収ボトル４２の首部５３の外側面には螺合部６８が形成されており、そして、前記腐食性薬液回収ボトル４２の首部５３には前記開口部５１を形成する円形突端部９０が存在する。

【0038】

これにより、前記蓋体６９が、図２の状態から、図３の状態のように、前記腐食性薬液回収ボトル４２の首部５３に螺合せしめられ、さらに図４の状態のように前記腐食性薬液回収ボトル４２の首部５３にしっかりと螺合せしめられると、前記円形突端部９０によって前記封止検知用ガスの流路８８が閉塞されて、前記封止検知用ガスが前記首部５３によって遮断される。

【0039】

図３の状態では、前記蓋体６９は、前記腐食性薬液回収ボトル４２の首部５３に螺合せしめられてはいるが、前記封止検知用ガスが矢印で示すように漏れており、前記封止検知用ガスの流路８８が閉塞されていない。

【0040】

図４の状態では、前記腐食性薬液回収ボトル４２の首部５３にしっかりと螺合せしめられており、前記円形突端部９０によって前記封止検知用ガスの流路８８が閉塞されて、前記封止検知用ガスが前記首部５３によって遮断される。これにより、前記封止検知用ガスの流路８８における圧力変化が生じることとなり、この圧力変化を圧力センサー８６で検知することで、前記腐食性薬液回収ボトル４２のキャップ、即ち前記蓋体６９がしっかりと閉まっているかが確認できる。これにより、腐食性薬液の漏洩を防止することができる。

【0041】

図示例では、腐食性薬液回収ボトルは前記腐食性薬液回収ボトル４２及び前記腐食性薬液回収ボトル４４の２個設置されている。前記回収ボトル本体部６６の腐食性薬液が所定の容量（例えば満杯）になったら前記蓋体６９を外すことで、前記圧力センサー８６がＯＦＦ状態となり、新しい腐食性薬液回収ボトルに前記蓋体６９を付け替えると、前記圧力センサー８６がＯＮ状態となる。このようにして、前記腐食性薬液回収ボトル４２及び前記腐食性薬液回収ボトル４４のいずれか一方が満杯になると空の腐食性薬液回収ボトルに付け替えることで、連続して腐食性薬液を回収することできる。腐食性薬液回収ボトルとしては、図示例では２０Ｌ容量の例を示した。腐食性薬液回収ボトルとしては、複数個設けるのが好ましく、２個以上設けても良い。

【0042】

なお、前記容量検知センサー３６，３７としては、市販の光学式又は静電容量式のレベルセンサーを好適に使用できる。或いは、前記容量検知センサー３６，３７として、市販の質量計を使用することも可能である。

【0043】

また、前記容量検知センサー３６，３７が光学センサー又は静電容量センサーの場合、図２～４によく示されるように、前記光学センサー又は静電容量センサーが前記蓋体６９下面よりも前記回収ボトル本体部６６側に少なくとも延出せしめられてなり、少なくとも前記回収ボトル本体部６６側に延出せしめられた部分の表面が耐腐食性樹脂からなるのが好適である。耐腐食性樹脂としては、ポリテトラフルオロエチレン樹脂による被覆が好適である。

【0044】

また、前記封止材７４のうち、少なくとも前記回収ボトル本体部６６側の部分の表面が耐腐食性樹脂からなるのが好適である。腐食性薬液が前記回収ボトル本体部６６に回収されるからである。耐腐食性樹脂としては、ポリテトラフルオロエチレン樹脂による被覆が好適である。このように、前記蓋体６９は繰り返し使用するから耐腐食性があるのが好適である。前記回収ボトル本体部６６は、ポリプロピレン樹脂製のものなどを使用できる。

【0045】

前記蓋体６９は、前記開口部５１を封止する封止材７１と、前記封止材７１に形成され、封止検知用ガスが供給される流路８８と、を有しており、前記蓋体６９を、前記回収ボトル本体部６６の首部５３に取付けると、前記流路８８に供給される前記封止検知用ガスが前記首部５３によって遮断されるようにされている。

【0046】

前記蓋体６９の平面図を図５に示す。前記蓋体６９には、容量検知センサー３６（又は容量検知センサー３７）が挿入される穴９２、警報センサー３８（又は警報センサー４０）が挿入される穴９４、エアー抜きノズル３２（又はエアー抜きノズル３４）が挿入される穴９６、腐食性薬液回収ノズル８０が挿入される穴９８、封止検知用ガスが供給される流路８８がそれぞれ形成されている。

【0047】

上述したように前記蓋体６９で前記腐食性薬液回収ボトル４２又は前記腐食性薬液回収ボトル４４の開口部を封止するようにすれば、満杯の薬液回収ボトルから空の薬液回収ボトルに付け替える際に、薬液の漏洩を防止することができる。

【符号の説明】

【0048】

１０：半導体製造設備、１２：腐食性薬液回収システム、１３，１８，３９，４１，４６，４８，５０，５２，６２：配管、１４：半導体製造装置、１５：腐食性薬液回収部、１６：リンス液回収部、１７，２６：ポンプ、２０，２２，２８，３０：弁、２４：循環タンク、３２，３４：エアー抜きノズル、３６，３７：容量検知センサー、３８，４０：警報センサー、４２：第一の腐食性薬液回収ボトル、４４：第二の腐食性薬液回収ボトル、５１：開口部、５３：首部、５８：リミッタースイッチ、６０：液面センサー、６４：キャニスター缶、６６：回収ボトル本体部、６８：螺合部、６９：蓋体、７０：端部、７１：封止材、７２：被螺合部、７４：封止材、８０：腐食性薬液回収ノズル、８４：封止検知用ガス供給ノズル、８６：圧力センサー、８８：封止検知用ガスが供給される流路、９０：円形突端部、９２，９４，９６，９８：穴。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】