特開 2024-84421 水平多関節型ロボットの原点復帰方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024084421

(43)【公開日】2024-06-25

(54)【発明の名称】水平多関節型ロボットの原点復帰方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20240618BHJP

   B25J 9/10 20060101ALI20240618BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

B25J9/10 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022198689

(22)【出願日】2022-12-13

(71)【出願人】

【識別番号】000002059

【氏名又は名称】シンフォニアテクノロジー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100137486

【弁理士】

【氏名又は名称】大西 雅直

(74)【代理人】

【識別番号】100129377

【弁理士】

【氏名又は名称】瀬川 耕司

(72)【発明者】

【氏名】小川 優司

(72)【発明者】

【氏名】加納 秀紀

(72)【発明者】

【氏名】藤井 隆良

【テーマコード（参考）】

3C707

5F131

【Ｆターム（参考）】

3C707AS01

3C707AS24

3C707BS15

3C707CV07

3C707CW07

3C707DS01

3C707HS27

3C707KV01

3C707LT17

3C707LV14

3C707LV15

3C707MS05

3C707MT01

3C707NS13

5F131AA02

5F131CA54

5F131CA62

5F131DB02

5F131DB52

5F131DB76

5F131DD03

5F131DD30

5F131DD33

5F131DD43

5F131DD74

5F131KA72

5F131KB12

5F131KB32

5F131KB48

5F131KB58

(57)【要約】      （修正有）

【課題】原点までの軌道を逐一計算しなくても原点復帰する水平多関節型ロボットの原点復帰方法を提供する。
【解決手段】基台、基台に対して直列に２本以上連結したアーム及び最先端のアームに対して連結されるハンドを備える水平多関節型ロボットの原点復帰方法であって、ハンドの位置についての複数の正規位置と、ハンドが正規位置にあるときのアーム及びハンドが他の部材と干渉しないで原点位置まで移動するための適正軌道を有する正規姿勢とを設定し、原点復帰の要求があったときにハンドが停止している停止位置を検出し、複数の正規位置のなかから１つの正規位置を選択し、停止位置にあるハンドが選択した正規位置に移動するようにアーム及びハンドを駆動し、ハンドが選択した正規位置にあるときのアーム及びハンドの姿勢が正規姿勢である場合に、選択した正規位置にあるハンドが適正軌道に基づいて原点位置まで移動するようにアーム及びハンドを駆動する。
【選択図】図９

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基台と、基台に対して直列に２本以上連結したアームと、最先端の前記アームに対して連結されるハンドとを備える水平多関節型ロボットの原点復帰方法であって、
前記ハンドの位置についての複数の正規位置と、前記ハンドが前記正規位置にあるときの前記アーム及び前記ハンドが他の部材と干渉しないで原点位置まで移動するための適正軌道を有する正規姿勢とを設定し、
原点復帰の要求があったときに前記ハンドが停止している停止位置を検出し、
前記複数の正規位置のなかから１つの正規位置を選択し、
前記停止位置にある前記ハンドが前記選択した正規位置に移動するように前記アーム及び前記ハンドを駆動し、
前記ハンドが前記選択した正規位置にあるときの前記アーム及び前記ハンドの姿勢が前記正規姿勢である場合に、前記選択した正規位置にある前記ハンドが前記適正軌道に基づいて原点位置まで移動するように前記アーム及び前記ハンドを駆動することを特徴とする水平多関節型ロボットの原点復帰方法。

【請求項2】

前記ハンドが前記選択した正規位置にあるときの前記アーム及び前記ハンドの姿勢が前記正規姿勢でない場合に、前記選択した正規位置にある前記ハンドを最先端の前記アームに重なるように折り畳んだ後で、前記ハンドが原点位置まで移動するように前記アーム及び前記ハンドを駆動することを特徴とする請求項１記載の水平多関節型ロボットの原点復帰方法。

【請求項3】

前記停止位置が前記複数の正規位置の全てよりも原点位置に近い場合に、前記停止位置にある前記ハンドが前記正規位置を経由しないで原点位置まで移動するように前記アーム及び前記ハンドを駆動することを特徴とする請求項１または２に記載の水平多関節型ロボットの原点復帰方法。

【請求項4】

前記水平多関節型ロボットは、前記ハンドにより保持した搬送対象物を複数の処理装置に対して搬入及び搬出するように前記アーム及び前記ハンドを駆動可能であり、
前記複数の正規位置は、前記ハンドが前記複数の処理装置のそれぞれに対向する位置に設定されることを特徴とする請求項１に記載の水平多関節型ロボットの原点復帰方法。

【請求項5】

前記ハンドにより保持した搬送対象物を所定の処理装置に対して搬入及び搬出動作中に停止し、原点復帰の要求があった場合、
前記複数の正規位置のなかから前記所定の処理装置に最も近い正規位置を選択することを特徴とする請求項４に記載の水平多関節型ロボットの原点復帰方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、例えば基板などの搬送対象物を搬送する水平多関節型ロボットの原点復帰方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体ウエハなどの基板を収納するカセットと基板に対して所定の処理を実行する処理装置との間で基板を搬送するために搬送ロボットが使用される。例えば、水平多関節型ロボットがある。

【0003】

特許文献１の水平多関節型ロボットは、複数のカセットに対して基板をロード／アンロードできるように、最先端のアームにハンドが連結された複数のアームを互いに回転可能に連結するとともに、モータなどの回転力をアームに伝達して、伸縮等の動作をさせるように構成される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１９－８４６２７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

水平多関節型ロボットにおいて、動作中に何らかの理由で原点復帰を行なわなければならない場合がある。その際、原点復帰動作においてロボットのアームやハンドが周囲の他の部材や壁に衝突しないようにする必要がある。

【0006】

特許文献１の水平多関節型ロボットでは、搬送動作中に水平多関節型ロボットの座標の記録を継続して実行し、原点復帰の要求が入力したときに、要求が入力したときの水平多関節型ロボットの座標が記録された最新の座標から所定の範囲内にあるかを判定し、所定の範囲内にあるときは、原点復帰の軌跡を計算して、搬送の方向とは反対方向に水平多関節型ロボットを原点まで移動させる必要がある。

【0007】

本発明は、原点までの軌道を逐一計算しないでも水平多関節型ロボットの原点復帰を可能とすることを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明は、かかる目的を達成するために、次のような手段を講じたものである。

【0009】

すなわち、本発明の水平多関節型ロボットの原点復帰方法は、基台と、基台に対して直列に２本以上連結したアームと、最先端の前記アームに対して連結されるハンドとを備える水平多関節型ロボットの原点復帰方法であって、前記ハンドの位置についての複数の正規位置と、前記ハンドが前記正規位置にあるときの前記アーム及び前記ハンドが他の部材と干渉しないで原点位置まで移動するための適正軌道を有する正規姿勢とを設定し、原点復帰の要求があったときに前記ハンドが停止している停止位置を検出し、前記複数の正規位置のなかから１つの正規位置を選択し、前記停止位置にある前記ハンドが前記選択した正規位置に移動するように前記アーム及び前記ハンドを駆動し、前記ハンドが前記選択した正規位置にあるときの前記アーム及び前記ハンドの姿勢が前記正規姿勢である場合に、前記選択した正規位置にある前記ハンドが前記適正軌道に基づいて原点位置まで移動するように前記アーム及び前記ハンドを駆動することを特徴とする。

【0010】

本発明の水平多関節型ロボットの原点復帰方法では、原点復帰させる場合に、ハンドが正規位置に移動してから原点位置に戻ることで、正規位置から原点位置に戻るまでの軌道を使いまわすことができる。よって、原点復帰させるために、原点までの軌道を逐一計算したり、ハンドの停止位置から原点までの軌道をいくつも記録したりする必要がなくなる。

【0011】

本発明の水平多関節型ロボットの原点復帰方法において、前記ハンドが前記選択した正規位置にあるときの前記アーム及び前記ハンドの姿勢が前記正規姿勢でない場合に、前記選択した正規位置にある前記ハンドを最先端の前記アームに重なるように折り畳んだ後で、前記ハンドが原点位置まで移動するように前記アーム及び前記ハンドを駆動することを特徴とする。

【0012】

このように構成すると、停止位置にあるハンドを選択した正規位置に移動した後、アーム及びハンドの姿勢が適正軌道を有する正規姿勢でない場合、ハンドを最先端のアームに重なるように折り畳むことで、アーム及びハンドを他の部材と干渉させないで原点位置まで移動させることができる。

【0013】

本発明の水平多関節型ロボットの原点復帰方法において、前記停止位置が前記複数の正規位置の全てよりも原点位置に近い場合に、前記停止位置にある前記ハンドが前記正規位置を経由しないで原点位置まで移動するように前記アーム及び前記ハンドを駆動することを特徴とする。

【0014】

このように構成すると、アーム及びハンドを他の部材と干渉させないで最短経路で原点位置まで移動させることができる。

【0015】

本発明の水平多関節型ロボットの原点復帰方法において、前記水平多関節型ロボットは、前記ハンドにより保持した搬送対象物を複数の処理装置に対して搬入及び搬出するように前記アーム及び前記ハンドを駆動可能であり、前記複数の正規位置は、前記ハンドが前記複数の処理装置のそれぞれに対向する位置に設定されることを特徴とする。

【0016】

このように構成すると、正規位置を各処理装置に対向する位置に設定することで、原点復帰動作において、通常の動作に用いる軌道を使用するため、アーム及びハンドを他の部材と干渉させないで確実に原点位置まで移動させることができる。

【0017】

本発明の水平多関節型ロボットの原点復帰方法において、前記ハンドにより保持した搬送対象物を所定の処理装置に対して搬入及び搬出動作中に停止し、原点復帰の要求があった場合、前記複数の正規位置のなかから前記所定の処理装置に最も近い正規位置を選択することを特徴とする。

【0018】

このように構成すると、ハンドが処理装置に対して搬入及び搬出動作中に停止し、原点復帰の要求があった場合でも、搬送対象物の出し入れ動作をする際の軌道を利用してハンドを正規位置に移動させた後、アーム及びハンドを他の部材と干渉させないで確実に原点位置まで移動させることができる。

【発明の効果】

【0019】

以上説明した本発明によれば、水平多関節型ロボットが保有するメモリ容量を低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】本発明の実施形態に係る搬送ロボット１２の原点復帰方法が行われる基板処理装置１の構成を示す図である。

【図2】搬送ロボット１２が原点位置Ｎ０にある状態を示す図である。

【図3】図３（ａ）は、ハンド３３が処理装置Ｔ２についての待機位置にある状態を示す図であり、図３（ｂ）は、ハンド３３が処理装置Ｔ２内にある状態を示す図である。

【図4】図４（ａ）は、ハンド３３が処理装置Ｔ１についての待機位置にある状態を示す図であり、図４（ｂ）は、ハンド３３が処理装置Ｔ２についての待機位置にある状態を示す図である。

【図5】図５（ａ）は、ハンド３３が処理装置Ｔ３についての待機位置にある状態を示す図であり、図５（ｂ）は、ハンド３３が処理装置Ｔ４についての待機位置にある状態を示す図である。

【図6】図６（ａ）は、ハンド３３が処理装置Ｔ５についての待機位置にある状態を示す図であり、図６（ｂ）は、ハンド３３が処理装置Ｔ６についての待機位置にある状態を示す図である。

【図7】搬送ロボット１２の原点位置Ｎ０及び正規位置Ｎ１～Ｎ６を示す図である。

【図8】搬送ロボット１２の制御ブロック図である。

【図9】第１実施形態の搬送ロボット１２の原点復帰動作を説明するフローチャートである。

【図10】搬送ロボット１２の原点復帰動作の第１実施例を説明する図である。

【図11】搬送ロボット１２の原点復帰動作の第１実施例を説明する図である。

【図12】搬送ロボット１２の原点復帰動作の第２実施例を説明する図である。

【図13】搬送ロボット１２の原点復帰動作の第２実施例を説明する図である。

【図14】搬送ロボット１２の原点復帰動作の第２実施例を説明する図である。

【図15】搬送ロボット１２の原点復帰動作の第３実施例を説明する図である。

【図16】搬送ロボット１２の原点復帰動作の第３実施例を説明する図である。

【図17】第２実施形態の搬送ロボット１２の原点復帰動作を説明するフローチャートである。

【図18】基板を保持したハンド３３の折り畳み可能な第２アーム先端領域を説明する図である。

【図19】搬送ロボット１２の原点復帰動作の第４実施例を説明する図である。

【図20】搬送ロボット１２の原点復帰動作の第４実施例を説明する図である。

【図21】正規位置の設定可能領域を説明する図である。

【図22】搬送ロボット１２の変形例である搬送ロボット１１２を説明する図である。

【図23】搬送ロボット１１２の原点復帰動作を説明するフローチャートである。

【図24】搬送ロボット１１２のハンド１３３ａ，１３３ｂを折り畳む動作を説明する図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

以下、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。

【0022】

（第１実施形態）
基板処理装置１は、図１に示すように、ウエハなどの基板（搬送対象物）を搬送する装置である基板搬送装置１０と、基板搬送装置１０に接続された６個の処理装置Ｔ１～Ｔ６とを有している。基板搬送装置１０は、各処理装置Ｔ１～Ｔ６に対する基板の搬入および処理装置Ｔ１～Ｔ６からの基板の搬出を行う搬送ロボット１２を有している。

【0023】

処理装置Ｔ１～Ｔ６は、基板に対して各種の処理を行う装置であり、処理対象となる基板を載置する処理ステージなどを含んで構成される。処理装置Ｔ１～Ｔ６で行われる処理は何であってもよく、基板処理装置１に複数の処理装置Ｔ１～Ｔ６が設けられる場合に、各処理装置Ｔ１～Ｔ６で行われる処理が互いに異なるものであってもよい。

【0024】

基板搬送装置１０は、搬送チャンバ１１と、搬送チャンバ１１の内部に配置された搬送ロボット１２と、搬送ロボット１２の動作を制御する制御部５０（図８参照）とを有している。

【0025】

搬送チャンバ１１は、内部に搬送ロボット１２を収容する略直方体形状のチャンバである。搬送チャンバ１１の内部空間は、平面視で長方形状であり、搬送ロボット１２の動作空間を形成する。搬送チャンバ１１には、各処理装置Ｔ１～Ｔ６が接続されており、各接続部分には、搬送ロボット１２を各処理装置Ｔ１～Ｔ６内にアクセスさせるための開口（図示省略）が設けられる。

【0026】

搬送ロボット１２は、いわゆる水平多関節型ロボットであり、基台３０と、基台３０に対して接続された第１アーム３１と、第１アーム３１に対して接続された第２アーム３２と、第２アーム３２に対して接続されたハンド３３とを有している。

【0027】

基台３０は、搬送ロボット１２の基台となる部分であり、例えば搬送チャンバ１１の床面の下方に設けられて、床面に設けられた貫通孔などを通じて、第１アーム３１と連結される。

【0028】

第１アーム３１は、略水平姿勢で延在する長尺の部材であり、その基端において基台３０に対して水平旋回自在に連結される。第１アーム３１の基端に形成された第１アーム軸（図示省略）は、モータ３１ａにより回転駆動されて、第１アーム３１を基台３０に対して水平旋回させる。

【0029】

第２アーム３２は、略水平姿勢で延在する長尺の部材であり、その基端において第１アーム３１の先端部に対して水平旋回自在に連結される。第２アーム３２の基端に形成された第２アーム軸（図示省略）は、モータ３２ａにより回転駆動されて、第２アーム３２を第１アーム３１に対して水平旋回させる。

【0030】

ハンド３３は、略水平姿勢で延在する長尺の部材であり、その基端において第２アーム３２の先端部に対して水平旋回自在に連結される。ハンド３３は、その先端部において搬送対象となる基板を保持する部材である。ハンド３３は、例えば先端部が二股状に分岐したフォーク状を呈している。ハンド３３の基端に形成されたハンド軸（図示省略）は、モータ３３ａにより回転駆動されて、ハンド３３を第２アーム３２に対して水平旋回させる。

【0031】

このように、搬送ロボット１２では、第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３の各々が制御部５０からの指示に応じて旋回されることによって、搬送ロボット１２がさまざまな搬送動作（例えば、各処理装置Ｔ１～Ｔ６との間で基板を搬送する搬送動作など）を行うことができる。

【0032】

本実施形態の搬送ロボット１２において、ハンド３３の長さ（ハンド３３のハンド軸から、ハンド３３の先端で半径ｒの円板形状の基板を保持したときの基板の中心位置までの距離）をＬ３、搬送チャンバ１１の短辺方向長さをＬとすると、（式１）を満たす。

【数1】

【0033】

３個の処理装置Ｔ１～Ｔ３は、基板搬送装置１０の長辺側の一側面に配置され、３個の処理装置Ｔ４～Ｔ６は、基板搬送装置１０の長辺側の他側面に配置される。

【0034】

基台３０は、搬送チャンバ１１内の長手方向中央部において処理装置Ｔ５と近接した位置に配置される。搬送ロボット１２は、図２に示すように、第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３が重なるように配置される原点位置Ｎ０を有している。すなわち、原点位置Ｎ０では、第１アーム３１が基端から先端に向かうにつれて処理装置Ｔ５から処理装置Ｔ２に向かう方向に沿って配置され、第２アーム３２が基端から先端に向かうにつれて処理装置Ｔ２から処理装置Ｔ５に向かう方向に沿って配置され、ハンド３３が基端から先端に向かうにつれて処理装置Ｔ５から処理装置Ｔ２に向かう方向に沿って配置される。そのとき、第１アーム３１が最も下方に配置され、上方に向かって、第２アーム３２、ハンド３３の順に配置される。

【0035】

搬送ロボット１２は、処理装置Ｔ１～Ｔ６に対する基板の搬入および処理装置Ｔ１～Ｔ６からの基板の搬出を行うが、例えば処理装置Ｔ２に対する基板の搬入および処理装置Ｔ２からの基板の搬出を行う際の動作について、図３に基づいて説明する。

【0036】

図３（ａ）は、基板を保持したハンド３３が処理装置Ｔ２と対向する位置に配置される状態を示している。そのとき、ハンド３３の長手方向は、処理装置Ｔ２内にアクセスするための開口に対して垂直な方向に沿っている。このように、搬送ロボット１２は、処理装置Ｔ２に対する基板の搬入を行う場合、基板を保持したハンド３３が、搬送チャンバ１１内において処理装置Ｔ２と対向する待機位置Ｎ２に配置される。

【0037】

この状態から、基板を保持したハンド３３が、図３（ｂ）に示すように、処理装置Ｔ２内に向かって移動することで、基板が処理装置Ｔ２内に搬入される。そのとき、ハンド３３の長手方向が変化しない状態（ハンド３３の長手方向が処理装置Ｔ２の開口に対して垂直な状態）で処理装置Ｔ２内に移動するように、第１アーム３１及び第２アーム３２が伸縮される。

【0038】

ハンド３３により保持された基板が処理装置Ｔ２内の処理ステージに載置されると、基板を保持しないハンド３３が、図３（ａ）に示すように、処理装置Ｔ２内から、搬送チャンバ１１内において処理装置Ｔ２と対向する待機位置Ｎ２に戻される。このように、処理装置Ｔ２に対する基板の搬入を行う場合、ハンド３３が処理装置Ｔ２と対向する待機位置Ｎ２に配置された後で、待機位置Ｎ２と処理装置Ｔ２内との間を往復移動するように駆動される。

【0039】

なお、処理装置Ｔ２から基板の搬出を行う場合も同様に、基板を保持しないハンド３３が処理装置Ｔ２と対向する待機位置Ｎ２に配置された後で、待機位置Ｎ２と処理装置Ｔ２内との間を往復移動するように駆動されることで、処理装置Ｔ２内の処理ステージに載置された基板が搬送チャンバ１１内に搬出される。

【0040】

このように、搬送ロボット１２において、処理装置Ｔ１～Ｔ６に対して基板の搬入および搬出を行う場合、図４～図６に示すように、ハンド３３が処理装置Ｔ１～Ｔ６と対向する待機位置Ｎ１～Ｎ６に配置された後で、待機位置Ｎ１～Ｎ６と処理装置Ｔ１～Ｔ６内との間を往復移動するように、第１アーム３１及び第２アーム３２が駆動される。

【0041】

図４～図６に示すように、搬送ロボット１２において、ハンド３３が待機位置Ｎ１～Ｎ６に配置された状態の第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３の待機姿勢が記憶されている。そのため、ハンド３３が待機位置Ｎ１～Ｎ６に配置された状態に対して、それぞれ、第１アーム３１の基台３０に対する角度α、第２アーム３２の第１アーム３１に対する角度β、ハンド３３の第２アーム３２に対する角度γが記憶されている。

【0042】

例えば、図４～図６では、ハンド３３が待機位置Ｎ１～Ｎ６に配置された状態の待機姿勢について記憶された第１アーム３１の基台３０に対する角度α１～α６、第２アーム３２の第１アーム３１に対する角度β１～β６、ハンド３３の第２アーム３２に対する角度γ１～γ６を図示している。

【0043】

そのため、搬送ロボット１２では、第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３が原点位置Ｎ０と待機位置Ｎ１～Ｎ６との間を移動するときの軌道、及び、第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３が待機位置Ｎ１～Ｎ６の何れかとそれと異なる他の待機位置Ｎ１～Ｎ６との間を移動するときの軌道も記憶されている。よって、通常の搬送動作を行う場合、図７に示す原点位置Ｎ０と待機位置Ｎ１～Ｎ６との間、及び、異なる２つの待機位置Ｎ１～Ｎ６間をハンド３３が移動する場合に、第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３は、他の部材と干渉しないで移動可能である。

【0044】

制御部５０は、基板搬送装置１０が備える各部の動作を制御するとともに、各種の演算処理を行う要素であり、例えばコンピュータなどによって構成される。制御部５０は、具体的には、中央演算装置としてのＣＰＵ（Central Processing Unit）といったプロセッサ、基本プログラムなどが格納されるＲＯＭ（Read Only Memory）、ＣＰＵが所定の処理（データ処理）を行う際の作業領域として用いられるＲＡＭ（Random Access Memory）、フラッシュメモリ、ハードディスク装置などの不揮発性記憶装置によって構成される記憶装置などを含んで構成される。

【0045】

制御部５０は、例えば記憶装置に格納されたプログラムをＣＰＵが実行することによって、プログラムによって規定された処理を実行する。制御部５０は、搬送ロボット１２と電気的に接続されており、搬送ロボット２を制御可能であり、図８に示すように、位置姿勢記憶部５１と、停止位置検出部５２と、正規位置選択部５３と、正規姿勢判定部５４とを有している。また、制御部５０には、モータ３１ａ、３２ａ、３３ａが接続され、モータ３１ａ、３２ａ、３３ａには、エンコーダ３１ｃ、３２ｃ、３３ｃがそれぞれ取り付けられる。

【0046】

位置姿勢記憶部５１は、ハンド３３の原点位置Ｎ０と、処理装置Ｔ１～Ｔ６に対して基板の搬入および搬出を行う場合にハンド３３が待機する待機位置Ｎ１～Ｎ６と、ハンド３３が原点位置Ｎ０に配置されたときの第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３の原点姿勢と、ハンド３３が待機位置Ｎ１～Ｎ６に配置されたときの第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３の待機姿勢（第１アーム３１の基台３０に対する角度α、第２アーム３２の第１アーム３１に対する角度β、ハンド３３の第２アーム３２に対する角度γ）とを記憶する。

【0047】

本実施形態の搬送ロボット１２では、動作中に何らかの理由で原点復帰動作を行なわなければならない場合があるため、位置姿勢記憶部５１は、ハンド３３の位置についての複数の正規位置を記憶している。正規位置とは、原点復帰動作を行う際に、原点復帰の要求があったときにハンド３３が停止している停止位置から原点位置に移動するまでに経由する位置である。

【0048】

本実施形態では、複数の正規位置として待機位置Ｎ１～Ｎ６と同一の位置が設定される。そのため、位置姿勢記憶部５１は、複数の正規位置として待機位置Ｎ１～Ｎ６と同一の位置を記憶するとともに、ハンド３３が各正規位置に配置されたときの第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３の正規姿勢として、ハンド３３が待機位置Ｎ１～Ｎ６に配置されたときの第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３の待機姿勢と同一の姿勢を記憶する。以下の説明では、複数の正規位置と待機位置Ｎ１～Ｎ６は同一の位置であるため、複数の正規位置Ｎ１～Ｎ６として説明する。

【0049】

停止位置検出部５２は、原点復帰の要求があったときにハンド３３が停止している停止位置を検出する。具体的には、停止位置検出部５２は、第１アーム軸、第２アーム軸及びハンド軸をそれぞれ回転駆動するモータ３１ａ、３２ａ、３３ａに取り付けられたエンコーダ３１ｃ、３２ｃ、３３ｃの値より、第１アーム３１の基台３０に対する角度α、第２アーム３２の第１アーム３１に対する角度β、ハンド３３の第２アーム３２に対する角度γを検知して、それに基づいてハンド３３の停止位置を検出する。

【0050】

正規位置選択部５３は、複数の正規位置のなかから、原点復帰の要求があったときにハンド３３の停止位置と最も近い正規位置（以下「選択正規位置」と称する場合がある）を選択する。なお、停止位置が、複数の正規位置の全てよりも原点位置に近い場合、正規位置選択部５３は、複数の正規位置のなかから１つの正規位置を選択しない。

【0051】

正規位置選択部５３では、下記の数式により、複数の正規位置Ｎ１～Ｎ６のそれぞれについて停止位置Ａと正規位置Ｎ１～Ｎ６との距離を算出するとともに、停止位置Ａと原点位置Ｎ０との距離を算出する。

【0052】

【数2】

【0053】

正規姿勢判定部５４は、原点復帰動作において、ハンド３３が選択正規位置に移動されたときの第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３の姿勢が、位置姿勢記憶部５１に記憶された正規姿勢であるか否かを判定する。

【0054】

本実施形態において、ハンド３３が各正規位置に移動されたときの第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３の姿勢が、正規姿勢と同一である場合、第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３が他の部材と干渉しないで原点位置まで移動可能な適正軌道を有している。

【0055】

本実施形態の搬送ロボット１２の原点復帰動作について、図９に基づいて説明する。搬送ロボット１２の原点復帰動作は、ハンド３３の先端に基板を保持している場合も、ハンド３３の先端に基板を保持していない場合も同様である。

【0056】

ステップＳ１において、原点復帰要求があったか否かを繰り返し判定する。原点復帰要求があった場合、ステップＳ２に進む。

【0057】

ステップＳ２において、複数の正規位置及びその位置についての正規姿勢が位置姿勢記憶部５１に記憶されているか否かを判定する。正規位置及び正規姿勢が位置姿勢記憶部５１に記憶されている場合、ステップＳ３に進む。正規位置及び正規姿勢が位置姿勢記憶部５１に記憶されていない場合、ステップＳ１２に進む。

【0058】

ステップＳ３において、停止位置検出部５２により、第１アーム３１に形成された第１アーム軸、第２アーム３２に形成された第２アーム軸及びハンド３３に形成されたハンド軸をそれぞれ回転駆動するモータ３１ａ、３２ａ、３３ａに取り付けられたエンコーダ３１ｃ、３２ｃ、３３ｃの値より、第１アーム３１の基台３０に対する角度α、第２アーム３２の第１アーム３１に対する角度β、ハンド３３の第２アーム３２に対する角度γを検知して、それに基づいて原点復帰要求があったときのハンド３３の停止位置Ａを検出する。

【0059】

ステップＳ４において、正規位置選択部５３により、原点復帰要求があったときのハンド３３の停止位置Ａから複数の正規位置Ｎ１～Ｎ６までのそれぞれの距離と、原点復帰要求があったときのハンド３３の停止位置Ａから原点位置Ｎ０までの距離とを算出して、原点位置Ｎ０よりも停止位置Ａに近い正規位置が、複数の正規位置Ｎ１～Ｎ６のなかにあるか否かを判定する。原点位置Ｎ０よりも停止位置Ａに近い正規位置がある場合、停止位置Ａに最も近い正規位置を、選択正規位置として１つ選択して、ステップＳ５に進む。原点位置Ｎ０よりも停止位置Ａに近い正規位置がない場合、１つの正規位置を選択しないで、ステップＳ９に進む。

【0060】

ステップＳ５において、停止位置にあるハンド３３を選択正規位置に移動させるように、第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３を駆動する。その後、ステップＳ６に進む。

【0061】

ステップＳ６において、ハンド３３を選択正規位置に移動させたときの第１アーム３１の基台３０に対する角度と、位置姿勢記憶部５１に記憶された選択正規位置に対応した第１アーム３１の基台３０に対する角度αとを比較する。その後、ステップＳ７に進む。

【0062】

ステップＳ７において、ハンド３３を選択正規位置に移動させた場合において、第１アーム３１の基台３０に対する角度が、位置姿勢記憶部５１に記憶された正規姿勢に対応した第１アーム３１の基台３０に対する角度αと一致する場合、ステップＳ８に進む。第１アーム３１の基台３０に対する角度が、位置姿勢記憶部５１に記憶された正規姿勢に対応した第１アーム３１の基台３０に対する角度αと一致しない場合、ステップＳ９に進む。

【0063】

ステップＳ８において、選択正規位置にあるハンド３３を、位置姿勢記憶部５１に記憶された選択正規位置に対応した適正軌道に基づいて原点位置まで移動する。すると、第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３が重なった状態で原点位置に配置されるため、原点復帰動作が終了する。

【0064】

ステップＳ９において、選択正規位置にあるハンド３３を第２アーム３２に対して回転させて、ハンド３３を第２アーム３２に重なるように折り畳む。その後、ステップＳ１０に進む。

【0065】

ステップＳ１０において、ハンド３３が第２アーム３２に重なる状態で、第２アーム３２を第１アーム３１に対して回転させて、第２アーム３２を第１アーム３１に重なるように折り畳む。その後、ステップＳ１１に進む。

【0066】

ステップＳ１１において、ハンド３３及び第２アーム３２が第１アーム３１に重なる状態で、第１アーム３１を基台３０に対して回転させて原点位置まで移動する。すると、第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３が重なった状態で原点位置に配置されるため、原点復帰動作が終了する。

【0067】

ステップＳ２において、複数の正規位置が位置姿勢記憶部５１に記憶されていないと判定され、原点復帰動作を自動的に行うことが不可能であるため、ステップＳ１２にてエラー表示を行う。

【0068】

本実施形態の搬送ロボット１２の原点復帰動作の実施例について、図１０～図１６に基づいて説明する。

【0069】

（第１実施例）
搬送ロボット１２が図１０（ａ）に示す状態において原点復帰要求があった場合、正規位置Ｎ１～Ｎ６及び原点位置Ｎ０のなかで、ハンド３３の停止位置Ａとの距離が最も近い位置は、正規位置Ｎ２であるため、ハンド３３を移動させる正規位置として正規位置Ｎ２が選択される。その後、図１０（ｂ）に示すように、ハンド３３を正規位置Ｎ２に移動させるように、第１アーム３１第２アーム３２及びハンド３３を駆動する。

【0070】

そのとき、第１アーム３１の基台３０に対する角度が、正規位置Ｎ２にした正規姿勢のアーム角度α２と一致するため、そのときの姿勢は、正規位置Ｎ２に対応した正規姿勢（図４（ｂ））と一致すると判定される。

【0071】

正規位置Ｎ２に対応した正規姿勢から原点位置まで移動する際の適正軌道は、位置姿勢記憶部５１に記憶されているため、その適正軌道に基づいて、図１１に示すように、第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３が重なるように原点位置まで移動させる。

【0072】

（第２実施例）
搬送ロボット１２が図１２（ａ）に示す状態において原点復帰要求があった場合、正規位置Ｎ１～Ｎ６及び原点位置Ｎ０のなかで、ハンド３３の停止位置Ａとの距離が最も近い位置は、正規位置Ｎ２であるため、ハンド３３を移動させる正規位置として正規位置Ｎ２が選択される。その後、図１２（ｂ）に示すように、ハンド３３を正規位置Ｎ２に移動させるように、第１アーム３１第２アーム３２及びハンド３３を駆動する。

【0073】

そのとき、第１アーム３１の基台３０に対した角度αが、正規位置Ｎ２に対応した正規姿勢のアーム角度α２と一致しないため、そのときの姿勢は、正規位置Ｎ２に対応した正規姿勢（図４（ｂ））と一致しないと判定される。

【0074】

その場合、図１３（ａ）に示すように、ハンド３３を第２アーム３２に対して回転させて、ハンド３３が第２アーム３２に重なるように移動させる。その後、図１３（ｂ）に示すように、第２アーム３２を第１アーム３１に対して回転させて、第２アーム３２が第１アーム３１に重なるように移動させる。その後、図１４に示すように、第１アーム３１を基台３０に対して回転させて、第１アーム３１を原点位置まで移動させると、第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３が重なった状態で原点位置に配置される。

【0075】

（第３実施例）
搬送ロボット１２が図１５（ａ）に示す状態において原点復帰要求があった場合、正規位置Ｎ１～Ｎ６及び原点位置Ｎ０のなかで、ハンド３３の停止位置Ａとの距離が最も近い位置は、原点位置Ｎ０であるため、正規位置Ｎ１～Ｎ６のなかからハンド３３を移動させる正規位置は選択されない。

【0076】

その後、図１５（ｂ）に示すように、ハンド３３を第２アーム３２に対して回転させて、ハンド３３が第２アーム３２に重なるように移動させる。その後、図１６（ａ）に示すように、ハンド３３が第２アーム３２に重なる状態で、第２アーム３２を第１アーム３１に対して回転させて、第２アーム３２を第１アーム３１に重なるように折り畳む。ハンド３３及び第２アーム３２が第１アーム３１に重なる状態で、第１アーム３１を基台３０に対して回転させて原点位置まで移動する。すると、第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３が重なった状態で原点位置に配置される。

【0077】

以上のように本実施形態の搬送ロボット１２の原点復帰方法は、基台３０と、基台３０に対して直列に２本以上連結した第１アーム３１及び第２アーム３２と、最先端の第２アーム３２に対して連結されるハンド３３とを備える水平多関節型ロボットの原点復帰方法であって、ハンド３３の位置についての複数の正規位置Ｎ１～Ｎ６と、ハンド３３が正規位置Ｎ１～Ｎ６にあるときの第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３が他の部材と干渉しないで原点位置Ｎ０まで移動するための適正軌道を有する正規姿勢とを設定し、原点復帰の要求があったときにハンド３３が停止している停止位置Ａを検出し、複数の正規位置Ｎ１～Ｎ６のなかから１つの正規位置を選択し、停止位置Ａにあるハンド３３が選択した正規位置に移動するように第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３を駆動し、ハンド３３が選択した正規位置にあるときの第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３の姿勢が正規姿勢である場合に、選択した正規位置にあるハンド３３が適正軌道に基づいて原点位置Ｎ０まで移動するように第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３を駆動する。

【0078】

本実施形態の搬送ロボット１２の原点復帰方法では、原点復帰させる場合に、ハンド３３が正規位置に移動してから原点位置に戻ることで、正規位置から原点位置に戻るまでの適正軌道を使いまわすことができる。よって、原点復帰させるために、原点までの軌道を逐一計算したり、ハンド３３の停止位置から原点までの軌道をいくつも記録したりする必要がなくなる。

【0079】

本実施形態の搬送ロボット１２の原点復帰方法において、ハンド３３が選択した正規位置にあるときの第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３の姿勢が正規姿勢でない場合に、選択した正規位置にあるハンド３３を最先端の第２アーム３２に重なるように折り畳んだ後で、ハンド３３が原点位置Ｎ０まで移動するように第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３を駆動する。

【0080】

このように構成すると、停止位置Ａにあるハンド３３を選択した正規位置に移動した後、第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３の姿勢が適正軌道を有する正規姿勢でない場合、ハンド３３を最先端の第２アーム３２に重なるように折り畳むことで、第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３を他の部材と干渉させないで原点位置Ｎ０まで移動させることができる。

【0081】

本実施形態の搬送ロボット１２の原点復帰方法において、停止位置Ａが複数の正規位置Ｎ１～Ｎ６の全てよりも原点位置Ｎ０に近い場合に、停止位置Ａにあるハンド３３が正規位置Ｎ１～Ｎ６を経由しないで原点位置Ｎ０まで移動するように第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３を駆動する。

【0082】

このように構成すると、第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３を他の部材と干渉させないで最短経路で原点位置Ｎ０まで移動させることができる。

【0083】

本実施形態の搬送ロボット１２の原点復帰方法において、搬送ロボット１２は、ハンド３３により保持した基板を複数の処理装置Ｔ１～Ｔ６に対して搬入及び搬出するように第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３を駆動可能であり、複数の正規位置Ｎ１～Ｎ６は、ハンド３３が複数の処理装置Ｔ１～Ｔ６のそれぞれに対向する位置に設定される。

【0084】

このように構成すると、正規位置Ｎ１～Ｎ６を各処理装置Ｔ１～Ｔ６に対向する位置に設定することで、原点復帰動作において、通常の動作に用いる軌道を使用するため、第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３を他の部材と干渉させないで確実に原点位置Ｎ０まで移動させることができる。

【0085】

本実施形態の搬送ロボット１２の原点復帰方法において、ハンド３３により保持した基板を所定の処理装置に対して搬入及び搬出動作中に停止し、原点復帰の要求があった場合、複数の正規位置Ｎ１～Ｎ６のなかから所定の処理装置に最も近い正規位置を選択する。

【0086】

このように構成すると、ハンド３３が処理装置Ｔ１～Ｔ６に対して搬入及び搬出動作中に停止し、原点復帰の要求があった場合でも、基板の出し入れ動作をする際の軌道を利用してハンド３３を正規位置Ｎ１～Ｎ６の何れかに移動させた後、第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３を他の部材と干渉させないで確実に原点位置Ｎ０まで移動させることができる。

【0087】

（第２実施形態）
本実施形態の搬送ロボット１２の原点復帰動作が、第１実施形態の搬送ロボット１２の原点復帰動作と異なる点は、複数の正規位置から１つの正規位置を選択した後のハンド３３の位置を原点位置まで移動させる方法である。本実施形態の搬送ロボット１２の構成は、第１実施形態の搬送ロボット１２と同様であるため、説明は省略する。

【0088】

本実施形態の搬送ロボット１２の原点復帰動作について、図１７に基づいて説明する。

【0089】

ステップＳ１０１において、原点復帰要求があったか否かを繰り返し判定する。原点復帰要求があった場合、ステップＳ１０２に進む。

【0090】

ステップＳ１０２において、複数の正規位置及びその位置についての正規姿勢が位置姿勢記憶部５１に記憶されているか否かを判定する。正規位置及び正規姿勢が位置姿勢記憶部５１に記憶されている場合、ステップＳ１０３に進む。正規位置及び正規姿勢が位置姿勢記憶部５１に記憶されていない場合、ステップＳ１１２に進む。

【0091】

ステップＳ１０３において、停止位置検出部５２により、第１アーム３１に形成されたアーム軸、第２アーム３２に形成されたアーム軸及びハンド３３に形成されたハンド軸をそれぞれ回転駆動するモータ３１ａ、３２ａ、３３ａに取り付けられたエンコーダ３１ｃ、３２ｃ、３３ｃの値より、第１アーム３１の基台３０に対する角度α、第２アーム３２の第１アーム３１に対する角度β、ハンド３３の第２アーム３２に対する角度γを検知して、それに基づいて原点復帰要求があったときのハンド３３の停止位置を検出する。

【0092】

ステップＳ１０４において、正規位置選択部５３により、原点復帰要求があったときのハンド３３の停止位置Ａから複の正規位置Ｎ１～Ｎ６までのそれぞれの距離と、原点復帰要求があったときのハンド３３の停止位置Ａから原点位置Ｎ０までの距離とを算出して、原点位置Ｎ０よりも停止位置Ａに近い正規位置が複数の正規位置Ｎ１～Ｎ６のなかにあるか否かを判定する。原点位置Ｎ０よりも停止位置Ａに近い正規位置がある場合、停止位置Ａに最も近い正規位置を、選択正規位置として１つ選択して、ステップＳ１０５に進む。原点位置Ｎ０よりも停止位置Ａに近い正規位置がない場合、１つの正規位置を選択しないで、ステップＳ１０９に進む。

【0093】

ステップＳ１０５において、第２アーム３２の先端位置が、基板を保持したハンド３３の折り畳み可能な第２アーム先端領域内か否かを判定する。第２アーム３２の先端位置が第２アーム先端領域内である場合、ステップＳ１０６に進む。第２アーム３２の先端位置が第２アーム先端領域内でない場合、ステップＳ１１２に進む。

【0094】

なお、基板を保持したハンド３３の折り畳み可能な第２アーム先端領域とは、チャンバ１１内において基板を保持したハンド３３を、チャンバ１１と干渉しないで第２アーム３２と重なるように折り畳み可能な第２アーム先端の領域である。

【0095】

すなわち、図１８に示すように、第１アーム３１に形成された第１アーム軸と第２アーム３２に形成された第２アーム軸との距離をＬ１、第２アーム３２に形成された第２アーム軸とハンド３３に形成されたハンド軸との距離をＬ２、ハンド３３に形成されたハンド軸とハンド３３の位置（ハンド３３により保持された基板の中心位置）との距離をＬ３とすると、第２アーム３２の先端位置（Ｘu，Ｙu）は、（式３）で表される。

【数3】

【0096】

そのため、Ｔ軸上を（０，０）として基板の直径をＬｗとした場合、基板を保持したハンド３３の折り畳み可能な第２アーム先端領域は、（式４）で表される領域となる。

【数4】

図１８において、搬送チャンバ１１の内部空間がＸｍｉｎ、Ｘｍａｘ、Ｙｍｉｎ、Ｙｍａｘで表される領域である場合、第２アーム３２の先端位置（Ｘu，Ｙu）が第２アーム先端領域に配置される場合に、基板を保持したハンド３３を、チャンバ１１と干渉しないで第２アーム３２と重なるように折り畳み可能である。

【0097】

ステップＳ１０６において、停止位置にあるハンド３３を第２アーム３２に対して回転させて、ハンド３３を第２アーム３２に重なるように折り畳む。その後、ステップＳ１０７に進む。

【0098】

ステップＳ１０７において、ハンド３３を重なるように折り畳んだ状態の第２アーム３２の先端Ａ’を、選択適正規位置に対応した正規姿勢において第２アーム３２の先端に対応した位置に移動させるように、第１アーム３１及び第２アーム３２を駆動する。その後、ステップＳ１０８に進む。

【0099】

ステップＳ１０８において、ハンド３３を、位置姿勢記憶部５１に記憶された選択正規位置に対応した適正軌道に基づいて原点位置まで移動する。なお、そのときの第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３の姿勢は、ハンド３３が正規位置（待機位置）にあるときの正規姿勢と一致しないで、ハンド３３が第２アーム３２に折り畳まれた姿勢であるが、第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３の位置を検知可能であり、正規姿勢から原点位置まで移動する際の適正軌道に基づいて原点位置まで移動することができる。すると、第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３が重なった状態で原点位置に配置されるため、原点復帰動作が終了する。

【0100】

ステップＳ１０９において、停止位置にあるハンド３３を基台３０に対して回転させて、ハンド３３を第２アーム３２に重なるように折り畳む。その後、ステップＳ１１０に進む。

【0101】

ステップＳ１１０において、ハンド３３が第２アーム３２に重なる状態で、第２アーム３２を第１アーム３１に対して回転させて、第２アーム３２を第１アーム３１に重なるように折り畳む。その後、ステップＳ１１１に進む。

【0102】

ステップＳ１１１において、ハンド３３及び第２アーム３２が第１アーム３１に重なる状態で、第１アーム３１を基台３０に対して回転させて原点位置まで移動する。すると、第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３が重なった状態で原点位置に配置されるため、原点復帰動作が終了する。

【0103】

ステップＳ１０２において、複数の正規位置及び正規姿勢が位置姿勢記憶部５１に記憶されていないと判定され、原点復帰動作を自動的に行うことが不可能であるため、ステップＳ１１２にてエラー表示を行う。

【0104】

本実施形態の搬送ロボット１２の原点復帰動作の実施例について、図１９～図２０に基づいて説明する。

【0105】

（第４実施例）
搬送ロボット１２が図１９（ａ）に示す状態において原点復帰要求があった場合、正規位置Ｎ１～Ｎ６及び原点位置Ｎ０のなかで、ハンド３３の停止位置Ａとの距離が最も近い位置は、正規位置Ｎ２であるため、ハンド３３を移動させる正規位置として正規位置Ｎ２が選択される。その後、ハンド３３の停止位置Ａが、基板を保持したハンド３３の折り畳み可能領域にある場合、図１９（ｂ）に示すように、ハンド３３を第２アーム３２に対して回転移動させて、ハンド３３が第２アーム３２に重なるように移動させる。

【0106】

その後、図２０（ａ）に示すように、ハンド３３を重なるように折り畳んだ状態の第２アーム３２の先端Ａ’を、正規位置Ｎ２に対応する正規姿勢において第２アーム３２の先端に対応した位置に移動させるように、第１アーム３１及び第２アーム３２を駆動する。その後、正規位置Ｎ２に対応する正規姿勢においてハンド３３を折り畳んだ状態から原点位置まで移動する際の適正軌道は、位置姿勢記憶部５１に記憶されているため、その適正軌道に基づいて、図２０（ｂ）に示すように、第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３が重なった状態で原点位置まで移動させる。

【0107】

以上のように本実施形態の搬送ロボット１２の原点復帰方法は、基台３０と、基台３０に対して直列に連結した第１アーム３１及び第２アーム３２と、最先端の第２アーム３２に対して連結されるハンド３３とを備える水平多関節型ロボットの原点復帰方法であって、ハンド３３の位置についての正規位置Ｎ１～Ｎ６と、ハンド３３が正規位置Ｎ１～Ｎ６にあるときの第１アーム３１、及び第２アーム３２及びハンド３３が他の部材と干渉しないで原点位置Ｎ０まで移動するための適正軌道を有する正規姿勢とを設定し、原点復帰の要求があったときにハンド３３が停止している停止位置Ａをエンコーダ３１ｃ～３３ｃにより検出し、複数の正規位置Ｎ１～Ｎ６のなかから１つの正規位置を選択し、停止位置Ａにあるハンド３３を最先端の第２アーム３２に重なるように折り畳んだ後で、原点復帰の要求があったときの第２アーム３２の先端Ａ’が、選択した正規位置に対応した正規姿勢において第２アーム３２の先端に対応する適正位置に移動するように第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３を駆動し、その後、適正位置にある第２アーム３２の先端Ａ’が原点位置まで移動するように第１アーム３１、第２アーム３２及びハンド３３を駆動する。

【0108】

本実施形態の搬送ロボット１２の原点復帰方法では、原点復帰させる場合に、ハンド３３が重なった状態の第２アーム３２の先端Ａ’が、正規位置に対応した正規姿勢において第２アーム３２の先端に対応する適正位置に移動してから原点位置に戻ることで、正規位置から原点位置に戻るまでの適正軌道を使いまわすことができる。よって、原点復帰させるために、原点までの軌道を逐一計算したり、ハンド３３の停止位置から原点までの軌道をいくつも記録したりする必要がなくなる。

【0109】

なお、各部の具体的な構成は、上述した実施形態のみに限定されるものではない。

【0110】

上記実施形態では、複数の正規位置Ｎ１～Ｎ６が、ハンド３３が複数の処理装置Ｔ１～Ｔ６のそれぞれに対向する待機位置に設定されるが、それに限られない。複数の正規位置Ｎ１～Ｎ６は、チャンバ１１内の任意の位置に設定可能である。

【0111】

例えば、複数の正規位置Ｎ１～Ｎ６は、基板を保持したハンド３３がチャンバ１１内においてチャンバ１１と干渉しないで移動可能な領域に設定可能である。

【0112】

すなわち、図２１に示すように、第１アーム３１に形成された第１アーム軸と第２アーム３２に形成された第２アーム軸との距離をＬ１、第２アーム３２に形成された第２アーム軸とハンド３３に形成されたハンド軸との距離をＬ２、ハンド３３に形成されたハンド軸とハンド３３の位置（ハンド３３により保持された基板の中心位置）との距離をＬ３とすると、基板の中心位置（Ｘ，Ｙ）は、（式５）で表される。

【数5】

【0113】

そのため、Ｔ軸上を（０，０）として基板の直径をＬｗとした場合、基板を保持したハンド３３の動作可能領域は、（式６）で表される領域となる。

【数6】

図２１において、搬送チャンバ１１の内部空間がＸｍｉｎ、Ｘｍａｘ、Ｙｍｉｎ、Ｙｍａｘで表される領域である場合、正規位置は、その内側に形成される基板を保持したハンド３３の動作可能領域内に設定可能である。

【0114】

上記実施形態では、正規位置選択部５３において、複数の正規位置Ｎ１～Ｎ６から１つの正規位置を選択する際に、停止位置Ａに最も近い正規位置が選択されるが、それに限られない。正規位置選択部５３が、複数の正規位置Ｎ１～Ｎ６から１つの正規位置を選択する方法は任意に設定してよい。

【0115】

上記実施形態では、搬送ロボット１２が１つのハンド３３を有しているが、それに限られない。図２２に示すように、２つのハンド１３３ａ、１３３ｂを有する搬送ロボット１１２においてもハンド１３３ａ、１３３ｂを原点位置に移動させることができる。その場合、図２３に示すように、第１実施形態の原点復帰動作のフローチャート（図９）に対してステップＳ２とステップＳ３との間に、ステップＳ２ａ及びステップＳ２ｂを追加すればよい。すなわち、ステップＳ２ａにおいて、２つのハンド１３３ａ、１３３ｂのなかで基準ハンドを指定し、ステップＳ２ｂにおいて、図２４に示すように、指定した基準ハンド以外の他のハンドを第２アームと重なるように折り畳む。このようにすれば、１つのハンド３３を有する搬送ロボット１２と同様に、ハンドを原点位置に移動させることができる。

【0116】

なお、２つのハンド１３３ａ、１３３ｂを有する搬送ロボット１１２において、ハンド１３３ａ、１３３ｂの第２アーム３２に対する角度（基準方向からの角度）θが０°≦θ≦３６０°とする場合、１８０°を境に折りたたむ方向を決定する。基準方向から左回り方向を正方向とし、右回り方向を負方向とする。例えば、図２２において、ハンド１３３ａの場合、０°≦α°＜１８０°であるため、ハンド１３３ａを左回りに回転させて折りたたむ。ハンド１３３ｂの場合、１８０°≦β°＜３６０°であるため、ハンド１３３ｂを右回りに回転させて折りたたむ。

【0117】

上記実施形態では、原点復帰要求があったときのハンド３３の停止位置を検出する際に、モータの回転角度を検出する位置検出センサとして、エンコーダ３１１ｃ、３２ｃ、３３ｃを使用したが、それに限られない。位置検出センサとして、任意のセンサを使用可能であり、例えばレゾルバを使用してもよい。

【0118】

上記実施形態では、６個の処理装置Ｔ１～Ｔ６が基板搬送装置１０に接続されているが、基板搬送装置１０に接続された処理装置の数は任意である。

【符号の説明】

【0119】

１２ 搬送ロボット（水平多関節型ロボット）
３０ 基台
３１ 第１アーム
３２ 第２アーム
３３ ハンド
３１ａ モータ
３２ａ モータ
３３ａ モータ
３１ｃ エンコーダ
３２ｃ エンコーダ
３３ｃ エンコーダ
Ａ 停止位置
Ｎ０ 原点位置
Ｎ１～Ｎ６ 正規位置
Ｔ１～Ｔ６ 処理装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】