特開 2024-84669 支持ユニット、ラインストレージユニットおよびそれを含む搬送システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024084669

(43)【公開日】2024-06-25

(54)【発明の名称】支持ユニット、ラインストレージユニットおよびそれを含む搬送システム

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20240618BHJP

   B65G 1/00 20060101ALI20240618BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

B65G1/00 501H

【審査請求】未請求

【請求項の数】17

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023040481

(22)【出願日】2023-03-15

(31)【優先権主張番号】10-2022-0173221

(32)【優先日】2022-12-13

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(71)【出願人】

【識別番号】598123150

【氏名又は名称】セメス株式会社

【氏名又は名称原語表記】ＳＥＭＥＳ ＣＯ．， ＬＴＤ．

【住所又は居所原語表記】７７，４ｓａｎｄａｎ ５－ｇｉｌ，Ｊｉｋｓａｎ－ｅｕｐ，Ｓｅｏｂｕｋ－ｇｕ，Ｃｈｅｏｎａｎ－ｓｉ，Ｃｈｕｎｇｃｈｅｏｎｇｎａｍ－ｄｏ，３３１－８１４ Ｒｅｐｕｂｌｉｃ ｏｆ Ｋｏｒｅａ

(74)【代理人】

【識別番号】110000671

【氏名又は名称】ＩＢＣ一番町弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】キム，ド ヒュン

【テーマコード（参考）】

3F022

5F131

【Ｆターム（参考）】

3F022AA08

3F022BB09

3F022EE05

3F022FF01

3F022HH03

3F022HH11

3F022JJ11

3F022LL12

3F022MM11

3F022QQ13

5F131AA02

5F131AA03

5F131AA32

5F131AA33

5F131BA00

5F131CA32

5F131CA35

5F131DA02

5F131DA23

5F131DA24

5F131DA43

5F131DB12

5F131DC05

5F131DD02

5F131DD12

5F131GA14

5F131GA18

5F131GB02

5F131GB13

5F131GB22

(57)【要約】      （修正有）

【課題】半導体製造工場における基板を収容するフープやレチクルを収容するポッドを搬送する搬送台車による搬送効率を向上させる。
【解決手段】搬送システムにおいて、２以上の第１頂点が形成される第１貯蔵部９０Ａと、第１頂点の位置と異なる第２頂点が形成される第２貯蔵部９０Ｂを含み、半導体製造用消耗品又は基板を含む物品が貯蔵される搬送物を支持する支持ユニット１００は、底面をなすベース部１１０、ベース部に設けられ、第１頂点が位置して第１貯蔵部の周面又は角と対向するか当接する第１離脱防止面１２１を備える第１ブロック部１２０及び第１ブロック部に設けられ、第２頂点が位置して第２貯蔵部の周面又は角と対向するか当接する第２離脱防止面１３１を備える第２ブロック部１３０を含む。
【選択図】図１４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

下端に２以上の第１頂点が形成される第１貯蔵部と、前記第１頂点の位置と異なる第２頂点が形成される第２貯蔵部を含み、半導体製造用消耗品または基板を含む物品が貯蔵される搬送物を支持する支持ユニットにおいて、
底面をなすベース部；
前記ベース部に設けられ、前記第１頂点が位置して前記第１貯蔵部の周面または角と対向するか当接する第１離脱防止面を備える第１ブロック部；および
前記第１ブロック部に設けられ、前記第２頂点が位置して前記第２貯蔵部の周面または角と対向するか当接する第２離脱防止面を備える第２ブロック部を含む、支持ユニット。

【請求項2】

前記第１ブロック部は前記第１貯蔵部の角の周辺を囲み、前記第１貯蔵部の角に形成される角度と同じ角度を有する逆Ｌ字形状をなして、
前記第２ブロック部は前記第２貯蔵部の角の周辺を囲み、前記第２貯蔵部の角に形成される角度と同じ角度を有する逆Ｌ字形状をなす、請求項１に記載の支持ユニット。

【請求項3】

前記第１ブロック部は、
上端に前記第２貯蔵部の下面が当接して、前記第２離脱防止面が連結される第１支持面をさらに含む、請求項１に記載の支持ユニット。

【請求項4】

前記第１ブロック部は、
前記第１支持面と前記第１離脱防止面の間で前記第１貯蔵部の反対側である外側方向に上向きに傾斜する第１傾斜面をさらに含む、請求項３に記載の支持ユニット。

【請求項5】

前記ベース部で多数の前記第１ブロック部の間に突出し、前記第１貯蔵部の下部が嵌められる突出部をさらに含む、請求項３に記載の支持ユニット。

【請求項6】

前記突出部は、ばねプランジャを含む、請求項５に記載の支持ユニット。

【請求項7】

前記ばねプランジャの最小の高さは前記第１支持面の高さと同一であるか低い、請求項６に記載の支持ユニット。

【請求項8】

前記第２ブロック部は、
前記第２離脱防止面の上部で延び、外側方向に上向きに傾斜する第２傾斜面をさらに含む、請求項１に記載の支持ユニット。

【請求項9】

前記第１離脱防止面と前記第２離脱防止面それぞれは前記ベース部に対して直角に設けられる、請求項１に記載の支持ユニット。

【請求項10】

前記搬送物は、レチクルを収容するポッド（ｐｏｄ）または基板を収容するフープ（ＦＯＵＰ）を含む、請求項１に記載の支持ユニット。

【請求項11】

前記ベース部上に設けられる反射板をさらに含む、請求項１に記載の支持ユニット。

【請求項12】

前記第１貯蔵部は下端に前記第１頂点が４個備えられ、
前記第１ブロック部は前記第１貯蔵部で対角線方向に一対備えられるか、前記第１頂点の数と同じ数で備えられる、請求項１に記載の支持ユニット。

【請求項13】

前記ベース部は、穿孔板を含む、請求項１に記載の支持ユニット。

【請求項14】

搬送台車の移動経路が提供されるレールに隣接して設けられるか、前記レールに連結されるフレーム部；および
前記請求項１に記載の支持ユニットを含む、ラインストレージユニット。

【請求項15】

前記フレーム部は、
前記支持ユニットが設けられる第１水平部；
前記第１水平部で上部方向に延びる垂直部；および
前記第１水平部と平行するように設けられ、前記垂直部の上端部に設けられる第２水平部を含む、請求項１４に記載のラインストレージユニット。

【請求項16】

前記垂直部または前記第２水平部と前記レールを連結する媒介部をさらに含む、請求項１５に記載のラインストレージユニット。

【請求項17】

搬送台車；
前記搬送台車の移動経路が提供されるレール；
水平方向のバー（ｂａｒ）として備えられる第１水平部と、前記第１水平部で上部方向に延びる垂直部と、前記第１水平部と平行するように設けられ、前記垂直部の上端部に設けられる第２水平部と、前記垂直部または前記第２水平部と前記レールを連結する媒介部を含むフレーム部；および
前記第１水平部に設けられ、下端に４個の第１頂点が形成される第１貯蔵部と、前記第１頂点の位置と異なる第２頂点が形成される第２貯蔵部を含み、半導体製造用消耗品または基板を含む物品が貯蔵される搬送物を支持する支持ユニットを含み、
前記搬送物は、レチクルを収容するポッド（ｐｏｄ）または基板を収容するＦＯＵＰを含み、
前記支持ユニットは、
底面をなして穿孔板を含むベース部；
前記ベース部に設けられ、前記第１貯蔵部の角の周辺を囲み、前記第１貯蔵部の角に形成される角度と同じ角度を有する逆Ｌ字形状をなして、前記第１頂点が位置して前記第１貯蔵部の周面または角と対向するか当接して前記ベース部に対して直角に設けられる第１離脱防止面と、上端に前記第２貯蔵部の下面が当接する第１支持面と、前記第１支持面と前記第１離脱防止面の間で前記第１貯蔵部の反対側である外側方向に上向きに傾斜する第１傾斜面を備えて４個備えられる第１ブロック部；
前記第１ブロック部の上部に設けられ、前記第２貯蔵部の角の周辺を囲み、前記第２貯蔵部の角に形成される角度と同じ角度を有する逆Ｌ字形状をなして前記第２頂点が位置して前記第２貯蔵部の周面または角と対向するか当接して前記第１支持面に連結されて前記第１ブロック部に対して直角に設けられる第２離脱防止面と、前記第２離脱防止面の上部で延び、外側方向に上向きに傾斜する第２傾斜面を備える第２ブロック部；
前記ベース部で多数の前記第１ブロック部の間に突出し、前記第１貯蔵部の下部が嵌められ、最小の高さが前記第１ブロック部の高さより低いばねプランジャ；および
前記ベース部上に設けられる反射板を含む、搬送システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は支持ユニットおよびそれを含む搬送システムに関する。

【背景技術】

【0002】

半導体製造工程は基板（ウエハ）上に半導体素子を製造するための工程であって、例えば露光、蒸着、エッチング、イオン注入、洗浄およびパッケージングなどを含む。半導体素子を製造するための製造工場は一つ以上の層がクリーンルームで構成され、半導体製造工程を行うための製造設備が各層に配置される。

【0003】

製造設備で基板に複数の製造工程が繰り返し行われることによって最終処理された基板が完成されるが、いずれか一つの物品収容部から次の製造工程のための設備に基板が搬送され得る。ここで基板はフープ（（ｆｒｏｎｔ ｏｐｅｎｉｎｇ ｕｎｉｆｉｅｄ ｐｏｄ，ＦＯＵＰ））に保管された状態で搬送されることができる。さらに、露光工程に用いられるレチクル（ｒｅｔｉｃｌｅ）のような半導体製造用消耗品がポッド（ｐｏｄ）に保管された状態で搬送されることができる。ＦＯＵＰやポッドは搬送台車（ｏｖｅｒｈｅａｄ ｈｏｉｓｔ ｔｒａｎｓｐｏｒｔ，ＯＨＴ）により搬送されることができる。

【0004】

搬送台車の移動経路が形成されるレール周辺にはストッカ、ＵＴＢ（Ｕｎｄｅｒ Ｔｒａｃｋ Ｂｕｆｆｅｒ ｕｎｉｔ）およびＳＴＢ（Ｓｉｄｅ Ｔｒａｃｋ Ｂｕｆｆｅｒ）が設けられ得る。例えばストッカにはポッドが収納されることができ、ＵＴＢとＳＴＢにはＦＯＵＰが収納されることができ、このように、物品が収納された搬送物は収納される対象が異なってもよい。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

一方、ポッドとＦＯＵＰのような搬送物は固定された位置に備えられたストッカまたはＵＴＢに搬送されるが、工程によって収納位置がストッカの位置でないＵＴＢ（またはその反対）に位置することが効率的である。しかし、ストッカ、ＵＴＢおよびＳＴＢは固定された状態でレール周辺に備えられるので、搬送効率を向上させるための開発が必要である。

【0006】

本発明が解決しようとする課題は、ＵＴＢとＳＴＢにＦＯＵＰ以外にポッドを収納することができ、ストッカとＵＴＢの設置変更なしにＦＯＵＰとポッドが収納される位置を変更してライン効率を向上させることができ、サイズが異なる２種の搬送物をすべて支持できる支持ユニット、ラインストレージユニットおよびそれを含む搬送システムを提供することにある。

【0007】

本発明の課題は以上で言及した課題に制限されず、言及されていないまた他の課題は以下の記載から当業者に明確に理解されるものである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

前記課題を達成するための本発明の支持ユニットの一態様（ａｓｐｅｃｔ）は、下端に２以上の第１頂点が形成される第１貯蔵部と、前記第１頂点の位置と異なる第２頂点が形成される第２貯蔵部を含み、半導体製造用消耗品または基板を含む物品が貯蔵される搬送物を支持する支持ユニットにおいて、底面をなすベース部；前記ベース部に設けられ、前記第１頂点が位置して前記第１貯蔵部の周面または角と対向するか当接する第１離脱防止面を備える第１ブロック部；および前記第１ブロック部に設けられ、前記第２頂点が位置して前記第２貯蔵部の周面または角と対向するか当接する第２離脱防止面を備える第２ブロック部を含む。

【0009】

前記他の課題を達成するための本発明のラインストレージユニットの一態様は、搬送台車の移動経路が提供されるレールに隣接して設けられるか、前記レールに連結されるフレーム部；および前記支持ユニットを含む。

【0010】

前記また他の課題を達成するための本発明の搬送システムの一態様は、搬送台車；前記搬送台車の移動経路が提供されるレール；水平方向のバー（ｂａｒ）として備えられる第１水平部と、前記第１水平部で上部方向に延びる垂直部と、前記第１水平部と平行するように設けられ、前記垂直部の上端部に設けられる第２水平部と、前記垂直部または前記第２水平部と前記レールを連結する媒介部を含むフレーム部；および前記第１水平部に設けられ、下端に４個の第１頂点が形成される第１貯蔵部と、前記第１頂点の位置と異なる第２頂点が形成される第２貯蔵部を含み、半導体製造用消耗品または基板を含む物品が貯蔵される搬送物を支持する支持ユニットを含み、前記搬送物は、レチクルを収容するポッド（ｐｏｄ）または基板を収容するＦＯＵＰを含み、前記支持ユニットは、底面をなして穿孔板を含むベース部；前記ベース部に設けられ、前記第１貯蔵部の角の周辺を囲み、前記第１貯蔵部の角に形成される角度と同じ角度を有する逆Ｌ字形状をなして、前記第１頂点が位置して前記第１貯蔵部の周面または角と対向するか当接して前記ベース部に対して直角に設けられる第１離脱防止面と、上端に前記第２貯蔵部の下面が当接する第１支持面と、前記第１支持面と前記第１離脱防止面の間で前記第１貯蔵部の反対側である外側方向に上向きに傾斜する第１傾斜面を備えて４個備えられる第１ブロック部；前記第１ブロック部の上部に設けられ、前記第２貯蔵部の角の周辺を囲み、前記第２貯蔵部の角に形成される角度と同じ角度を有する逆Ｌ字形状をなして前記第２頂点が位置して前記第２貯蔵部の周面または角と対向するか当接して前記第１支持面に連結されて前記第１ブロック部に対して直角に設けられる第２離脱防止面と、前記第２離脱防止面の上部で延び、外側方向に上向きに傾斜する第２傾斜面を備える第２ブロック部；前記ベース部で多数の前記第１ブロック部の間に突出し、前記第１貯蔵部の下部が嵌められ、最小の高さが前記第１ブロック部の高さより低いばねプランジャ；および前記ベース部上に設けられる反射板を含む。

【0011】

その他実施形態の具体的な内容は詳細な説明および図面に含まれている。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明のいくつかの実施形態による搬送システムを示す図である。

【図2】本発明のいくつかの実施形態による搬送システムのレールに提供された物品収容部を示す正面図である。

【図3】本発明のいくつかの実施形態による搬送システムのレールに提供された物品収容部を示す斜視図である。

【図4】本発明の第１実施形態による支持ユニットを示す斜視図である。

【図5】本発明の第１実施形態による支持ユニットに位置する第１角を示す図である。

【図6】本発明の第１実施形態による支持ユニットに第１貯蔵部が安着する過程を示す図である。

【図7】本発明の第１実施形態による支持ユニットに第１貯蔵部が安着した状態を示す断面図である。

【図8】本発明の第１実施形態による支持ユニットに第１貯蔵部が安着した状態を示す斜視図である。

【図9】本発明の第１実施形態による支持ユニットに位置する第２角を示す図である。

【図10】本発明の第１実施形態による支持ユニットに第２貯蔵部が安着する過程を示す図である。

【図11】本発明の第１実施形態による支持ユニットに第２貯蔵部が安着した状態を示す断面図である。

【図12】本発明の第１実施形態による支持ユニットに第２貯蔵部が安着した状態を示す斜視図である。

【図13】本発明の第２実施形態による支持ユニットを示す図である。

【図14】本発明の第３実施形態による支持ユニットを示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、添付する図面を参照して本発明の好ましい実施形態について詳細に説明する。本発明の利点および特徴、並びにこれらを達成する方法は添付する図面と共に詳細に後述している実施形態を参照すると明確になる。しかし、本発明は以下に開示する実施形態に限定されるものではなく互いに異なる多様な形態で実現することができ、本実施形態は、単に本発明の開示を完全にし、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者に発明の範疇を完全に知らせるために提供するものであり、本発明は請求項の範疇によってのみ定義される。明細書全体にわたって同一参照符号は同一構成要素を指すものとする。

【0014】

本明細書で使用された用語は実施形態を説明するためのものであり、本発明を制限しようとするものではない。本明細書で、単数形は文面で特記しない限り、複数形も含む。明細書で使用される「含む（ｃｏｍｐｒｉｓｅｓ）」および／または「含む（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」は、言及された構成要素、段階、動作および／または素子は一つ以上の他の構成要素、段階、動作および／または素子の存在または追加を排除しない。

【0015】

図１は本発明のいくつかの実施形態による搬送システムを示す図である。

【0016】

図１を参照すると本発明の実施形態による搬送システム１０はレール１１，１２、物品収容部２０および搬送台車３０を含むことができる。

【0017】

レール１１，１２は、搬送台車３０がタスクを行うために移動する移動経路を提供し得る。レール１１，１２は天井に設置され、直線と曲線が組合わせる構造を有することができる。レール１１，１２は、作業空間の活用性および搬送台車３０の管理容易性のために、タスクが行われるベイ部１１が多数設けられ、通路部１２により多数のベイ部１１が一つに連結され得る。そのため搬送台車３０は一つのベイ部１１でのみ移動することに限定されず通路部１２を移動して互いに隣り合うベイ部１１に移動することもできる。

【0018】

例えばベイ部１１は閉曲線（ｌｏｏｐ）構造をなすことができる。ただし、閉曲線構造から分岐／合流する構造が設けられ、多数のベイ部１１が通路部１２と連結されることができる。

【0019】

ここで通路部１２は、多数のベイ部１１の間に設けられるか、多数のベイ部１１で分岐する構造を有することができる。例えば図１を参照するように、通路部１２を基準として多数のベイ部１１が設けられるが、多数のベイ部１１が通路部１２の周囲に沿って設けられ得る。しかし、これは例示に過ぎずこれに限定されない。

【0020】

さらに、レール１１，１２は、搬送台車３０に非接触方式（ＨＩＤ（ｈｉｇｈ－ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ ｉｎｄｕｃｔｉｖｅ ｐｏｗｅｒ ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎ）またはＣＰＳ（ｃｏｎｔａｃｔｌｅｓｓ ｐｏｗｅｒ ｓｕｐｐｌｙ）であり得る）で電力を供給する電力供給ケーブル１２Ａが設けられ得る。電力供給ケーブル１２Ａはレール１１，１２の全体または一部に布設されることができる。

【0021】

レール１１，１２の周辺には物品収容部２０が提供され得る。物品収容部２０は、半導体製造設備２１、ストッカ２３およびラインストレージユニット２５が提供され得る。半導体製造設備２１とストッカ２３はレール１１，１２の周辺に設けられ得る。ラインストレージユニット２５はレール１１，１２やその周辺に設けられ得るＵＴＢ（Ｕｎｄｅｒ Ｔｒａｃｋ Ｂｕｆｆｅｒ ｕｎｉｔ）とＳＴＢ（Ｓｉｄｅ Ｔｒａｃｋ Ｂｕｆｆｅｒ）を含むことができる。ラインストレージユニット２５は図面を参照して後述する。

【0022】

搬送台車３０は半導体製造工程で基板とレチクルのような物品を任意の位置（開始地点）から目的位置（終了地点）に移送するタスクを行い得る。例えば、基板が収納されたフープ（ｆｒｏｎｔ ｏｐｅｎｉｎｇ ｕｎｉｆｉｅｄ ｐｏｄ：ＦＯＵＰ）やレチクルを収容するポッド（ｐｏｄ）を移送し、いずれか一つの物品収容部２０から他の物品収容部２０に提供することができる。すなわち、ＦＯＵＰとポッドのような搬送物９０は搬送台車３０により移送されることができる。

【0023】

搬送台車３０はレール１１，１２に沿って移動することができる。例えば搬送台車３０は物品が効率的に搬送されるためにＯＨＴ（ｏｖｅｒｈｅａｄ ｈｏｉｓｔ ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）として提供されることができる。搬送台車３０はバッテリが設けられるか、電力供給ケーブル１２Ａから電力の供給を受けることができる。

【0024】

以下では図面を参照してラインストレージユニット２５について説明する。

【0025】

先にラインストレージユニット２５に搬送される搬送物９０は、ポッドまたはＦＯＵＰとして提供され得る。搬送物９０はサイズが異なる第１貯蔵部９０Ａと第２貯蔵部９０Ｂを含み得る。例えばレチクルを貯蔵するポッドは、レチクルの種類によってサイズが異なる。以下では第１貯蔵部９０Ａは第１種のレチクルを貯蔵する第１ポッドであり、第２貯蔵部９０Ｂは第２種のレチクルを貯蔵する第２ポッドである場合を例示して説明する。しかし、これに限定されない。

【0026】

さらに、第１貯蔵部９０Ａは下端に２以上の第１頂点が形成され得、第２貯蔵部９０Ｂは下端に２以上の第２頂点が形成されることができる。以下では第１貯蔵部９０Ａと第２貯蔵部９０Ｂそれぞれは、下端に４個の頂点が形成された場合を例示して説明する。さらに、第２貯蔵部９０Ｂは第１貯蔵部９０Ａとサイズが異なり、第１頂点の位置と第２頂点の位置は異なってもよい。

【0027】

ただし、本実施形態の搬送物は４個の頂点が形成される場合を例示するが、これに限定されるものではなく、頂点は面取りおよび／またはラウンド処理することができ、このように、多様な形状／構造が可能である。

【0028】

図２および図３は本発明のいくつかの実施形態による搬送システムのレールに提供された物品収容部を示す図である。

【0029】

図２および図３を参照すると、物品収容部２０のラインストレージユニット２５は例えばＵＴＢ（Ｕｎｄｅｒ Ｔｒａｃｋ Ｂｕｆｆｅｒ ｕｎｉｔ）とＳＴＢ（Ｓｉｄｅ Ｔｒａｃｋ Ｂｕｆｆｅｒ）であり得る。ラインストレージユニット２５はＦＯＵＰが収納され得る。特に本実施形態は支持ユニット１００が提供されてＦＯＵＰの他にポッドが収納されることができる。以下ではラインストレージユニット２５はＵＴＢ（Ｕｎｄｅｒ Ｔｒａｃｋ Ｂｕｆｆｅｒ ｕｎｉｔ）として提供される場合を説明する。ＵＴＢはレール１１，１２で搬送台車３０の移動を干渉しない構造として提供されることができる。

【0030】

ただしこれに限定されるものではなく、ラインストレージユニット２５はＳＴＢであり得る。実施形態により搬送台車３０にホイストおよび／またはスライディング装置が設けられて搬送物を水平方向に移動させることができる。または、ＳＴＢにスライディング装置が設けられ、搬送台車方向に受け台のような構造物がスライディングされるように提供されることができる。

【0031】

ラインストレージユニット２５は、フレーム部２５Ａ，２５Ｂ１，２５Ｂ２，２５Ｃと支持ユニット１００を含むことができる。

【0032】

フレーム部は、多数のバーが組合わせられたフレーム構造であり得、例えば垂直部２５Ａ、第１水平部２５Ｂ１、第２水平部２５Ｂ２および媒介部２５Ｃを含むことができる。しかし、これに限定されない。

【0033】

第１水平部２５Ｂ１にはＦＯＵＰ（またはＦＯＵＰが支えられる受け台）または支持ユニット１００が設置され得る。第１水平部２５Ｂ１は水平方向のバー（ｂａｒ）が平行するように一対で備えられ得る。または、第１水平部２５Ｂ１は四角形の枠構造で備えられるか、板として提供することができ、このように多様な変形例が可能である。

【0034】

垂直部２５Ａは第１水平部２５Ｂ１の上部に空間が形成されるように、第１水平部２５Ｂ１の両端で上部方向に延び得る。垂直部２５Ａは第１水平部２５Ｂ１の各端部に設けられる４個のバー（ｂａｒ）として提供されることができる。さらに、剛性が補強されるように第１水平部２５Ｂ１の中心部にさらに備えられることもできる。また、垂直部２５Ａの長手方向で第１水平部２５Ｂ１がさらに備えられて剛性が補強されることもできる。

【0035】

第２水平部２５Ｂ２は第１水平部２５Ｂ１と平行するように設けられ得、垂直部２５Ａの上端部に設けられ得る。第２水平部２５Ｂ２はレール１１，１２と水平方向で平行するように設けられ得る。しかし、これに限定されない。

【0036】

媒介部２５Ｃは、第２水平部２５Ｂ２（または垂直部２５Ａ）とレール１１，１２を連結し得る。媒介部２５Ｃは垂直部２５Ａと第２水平部２５Ｂ２がレール１１，１２に沿って移動する搬送台車３０を干渉しないように、第２水平部２５Ｂ２をレール１１，１２の両側に離隔した形態で連結することができる。しかし、これに限定されない。

【0037】

例えば媒介部２５Ｃは第１水平部２５Ｂ１、第２水平部２５Ｂ２および垂直部２５Ａに比べて長さが短いバー（ｂａｒ）として提供されることができる。または、媒介部２５Ｃはブラケットとして提供されることができ、このように、第２水平部２５Ｂ２とレール１１，１２を連結する多様な構造／形態が可能である。

【0038】

以下では図面を参照して支持ユニット１００を説明する。

【0039】

図４ないし図１２は本発明の第１実施形態による支持ユニットを説明するための図である。

【0040】

図４ないし図１２を参照すると、支持ユニット１００は、搬送物９０を支持することができ、第１水平部２５Ｂ１に設けられ得る。例示として支持ユニット１００は、ベース部１１０、第１ブロック部１２０、第２ブロック部１３０、ばねプランジャ１４０および反射板１５０を含むことができる。

【0041】

ベース部１１０は底面をなして穿孔板として提供されることができる。ベース部１１０は一つの板に一つの搬送物が収納される広さを有することができる。ベース部１１０はフレーム部に複数備えられ得、例えば一つのフレーム部に４個の搬送物９０が収納される構造を有すれば、４個のベース部１１０が一つのフレーム部に備えられることができる。一方、一つのフレーム部に一つのポッドと３個のＦＯＵＰが収納されると、フレーム部には一つのベース部１１０が設置されることができ、このように、ＦＯＵＰとポッドの数によってフレーム部に設置されるベース部１１０の数が変わり得る。

【0042】

その上、ベース部１１０は一つの板に多数の搬送物９０が収納される広さを有することもできる。すなわち、一つのベース部１１０に一つの搬送物９０の位置が固定されるように第１ブロック部１２０の数が提供されるか、一つのベース部１１０に２個以上の搬送物９０の位置が固定されるようにそれに対応する第１ブロック部１２０の数が提供されることができる。

【0043】

ベース部１１０はボルティング孔が提供されてフレーム部にボルティング方式で結合されるか、磁石によって固定されるか、これらの組み合わせにより固定されることができる。言い換えればベース部１１０は、ラインストレージユニット２５にＦＯＵＰが収納されるように支持ユニット１００が分離される構造で設けられるか、ポッドが収納されるようにラインストレージユニット２５に支持ユニット１００が結合されることができ、このように、支持ユニット１００が脱着可能な構造として提供されることができる。

【0044】

第１ブロック部１２０は第１貯蔵部９０Ａの位置を設定しながらも、第１貯蔵部９０Ａの位置を固定することができる。例えば第１ブロック部１２０はベース部１１０上で対角線方向の２個の第１頂点に位置して一対が備えられることができる。または、第１ブロック部１２０はベース部１１０上で４個の第１頂点それぞれに対応する位置で４個備えられることができる。

【0045】

第１ブロック部１２０は第１貯蔵部９０Ａの角の周辺を囲み、第１貯蔵部９０Ａの角に形成される角度と同じ角度を有する逆Ｌ字（┓）形状をなすことができる（図５を参照）。

【0046】

ただし、本明細書で言及される頂点と逆Ｌ字は、直線または直線の組み合わせによる頂点に限定されない。言い換えれば、本実施形態の支持ユニット１００は搬送物９０が安着する構成であって、搬送物９０の下端形状に対応するかガイドする形状を有することができ、第１ブロック部１２０と第２ブロック部１３０の形状が 角張った構造でない曲線構造をなすと、第１ブロック部１２０と第２ブロック部１３０は逆Ｌ字形状が曲がった形状を有して、曲線をなすことができる。

【0047】

第１ブロック部１２０は第１頂点が位置して、第１頂点を形成する第１角９０ＡＥまたは第１貯蔵部９０Ａの周面が対向するか当接し得る。例示として第１ブロック部１２０は第１離脱防止面１２１、第１傾斜面１２３および第１支持面１２５を含むことができる。

【0048】

第１離脱防止面１２１は第１貯蔵部９０Ａの位置を固定する構成であって、第１離脱防止面１２１はベース部１１０に対して上部方向に直角に設けられ得る。ただしこれに限定されず、図１４を参照して他の例を説明する。

【0049】

そして、対向して隣り合う第１離脱防止面１２１の間隔は、第１貯蔵部９０Ａの幅と同一であるか同一の範囲の長さを有することができる。すなわち、第１離脱防止面１２１は、その下端に第１貯蔵部９０Ａが当接するように設けられることができる。したがって、第１離脱防止面１２１がベース部１１０に対して直角に設けられると第１離脱防止面１２１に第１角９０ＡＥをなす第１貯蔵部９０Ａの周面が当接するように設けられることができる。したがって、第１貯蔵部９０Ａに外力が発生しても揺れずに安定的に位置が固定されることができる。ただし、第１離脱防止面１２１と第１貯蔵部９０Ａの間に隙間は形成され得る。

【0050】

第１傾斜面１２３は第１支持面１２５と第１離脱防止面１２１の間で第１貯蔵部９０Ａの反対側である外側方向に上向きに傾斜し得る。したがって、互いに対向する第１ブロック部１２０が対をなして、対向して隣り合う２個の第１傾斜面１２３の間に第１貯蔵部９０Ａの下端がガイドされながら多数の第１ブロック部１２０の間に進入し得る。

【0051】

第１支持面１２５は第２貯蔵部９０Ｂが支持される面であり、上端に第２貯蔵部９０Ｂの下面が当接し得、ベース部１１０と平行した平面を有することができる。第１支持面１２５の上部には第２ブロック部１３０が一体で提供されることができる。例として、互いに隣り合う第１支持面１２５の縁に第２ブロック部１３０が設けられ得る。

【0052】

第２ブロック部１３０は第１ブロック部１２０の上部に設けられ得る。第２ブロック部１３０は第２貯蔵部９０Ｂの角の周辺を囲むことができる。第２ブロック部１３０は第２頂点が位置し、第２頂点を形成する第２角９０ＢＥまたは第１貯蔵部９０Ａの周面が対向するか当接し得る。例示として第２ブロック部１３０は第２離脱防止面１３１および第２傾斜面１３３を含むことができる。

【0053】

第２離脱防止面１３１は第２貯蔵部９０Ｂの位置を固定する構成であって、第２離脱防止面１３１は第１ブロック部１２０に対して直角に設けられ得る。ただし、これに限定されず、図１４を参照して他の例を説明する。

【0054】

そして、対向して隣り合う第２離脱防止面１３１の間隔は、第２貯蔵部９０Ｂの幅と同一であり得る。言い換えれば、第２離脱防止面１３１は、その下端に第２貯蔵部９０Ｂが当接するように設けられ得る。したがって、第２離脱防止面１３１がベース部１１０および第１ブロック部１２０に対して直角に設けられると第２離脱防止面１３１に第２角９０ＢＥをなす第２貯蔵部９０Ｂの周面が当接するように設けられ得る。したがって、第２貯蔵部９０Ｂに外力が発生しても揺れずに安定的に位置が固定されることができる。ただし、第２離脱防止面１３１と第２貯蔵部９０Ｂの間に隙間は形成され得る。

【0055】

第２傾斜面１３３は第２離脱防止面１３１で第２貯蔵部９０Ｂの反対側である外側方向に上向きに傾斜し得る。互いに対向する第２ブロック部１３０が対をなして、対向して隣り合う２個の第２傾斜面１３３の間に第２貯蔵部９０Ｂの下端がガイドされながら多数の第２ブロック部１３０の間に進入し得る。

【0056】

ばねプランジャ１４０は第１貯蔵部９０Ａの下部が嵌められる。例として第１貯蔵部９０Ａの嵌合溝９１にばねプランジャ１４０が嵌められる。ばねプランジャ１４０はベース部１１０で多数の第１ブロック部１２０の間に突出し得る。ばねプランジャ１４０の最小の高さは第１貯蔵部９０Ａの嵌合溝９１に収容される高さであり得る。これと共に、ばねプランジャ１４０が第２貯蔵部９０Ｂの下面を押さないように、第１支持面１２５の高さと同一または低く設定されることができる。

【0057】

反射板１５０はベース部１１０上に設けられ得る。例えば反射板１５０は搬送台車３０またはフレーム部に設けられたセンサ（図示せず）で照射される光を反射させることができる。例えば支持ユニット１００上に搬送物９０が位置すると、反射板１５０が搬送物９０に隠れてセンサで照射される光が反射しないので、搬送物が支持ユニット１００に配置されたと判別することができる。

【0058】

以下では図５ないし図７を参照して、第１貯蔵部９０Ａが支持ユニット１００に安着する過程を説明する。

【0059】

簡略に説明すると、対向して隣り合う一対の第１傾斜面１２３の間に第１貯蔵部９０Ａの下端がガイドされながら多数の第１ブロック部１２０の間に進入することができる。

【0060】

図５を参照すると、逆Ｌ字形状の第１ブロック部１２０は図５を基準として左右方向で離隔した一対の第１ブロック部１２０が対をなして、上下方向で離隔した一対の第１ブロック部１２０が対をなして、第１貯蔵部９０Ａの４個の周面が第１傾斜面１２３にガイドされながら進入することができる。

【0061】

図６および図７を参照すると、互いに対向する一対の第１傾斜面１２３は図６を基準として上部方向に幅が拡張されるテーパー構造をなして、第１貯蔵部９０Ａが第１離脱防止面１２１の位置に正確に配置された状態に進入する必要がない。すなわち、第１傾斜面１２３により拡張された領域に第１貯蔵部９０Ａが進入し、搬送物９０の位置は第１傾斜面１２３上端の水平断面積より小さい第１離脱防止面１２１の水平断面積に合わせて微細に調整されながら支持ユニット１００に置かれる必要がない。そのため、搬送物を置くための位置調整の制御時間が減少し得る。

【0062】

そして、図９ないし図１１を参照すると、第２貯蔵部９０Ｂが支持ユニット１００に安着することができる。簡略に説明すると、対向して隣り合う一対の第２傾斜面１３３の間に第２貯蔵部９０Ｂの下端がガイドされながら多数の第２ブロック部１３０の間に進入することができる。

【0063】

第２貯蔵部９０Ｂが第２ブロック部１３０にガイドされながら下り、第１ブロック部１２０上に安着される過程は第１貯蔵部９０Ａが第１ブロック部１２０のテーパー形状に沿ってガイドされることと同一であるか類似するので、重複する説明は省略する。

【0064】

以下では図１３および図１４を参照して本実施形態の変形例を説明し、同じ機能をする同じ構成の重複する説明は省略する。

【0065】

図１３は本発明の第２実施形態による支持ユニットを示す図である。図１３を参照して、図４ないし図１２を用いて説明した内容と異なる点を中心に説明する。

【0066】

図１３を参照すると、第２実施形態の支持ユニット１００は第１実施形態と同一または類似にベース部１１０、第１ブロック部１２０、第２ブロック部１３０、ばねプランジャ１４０および反射板１５０を含むことができる。

【0067】

一方、第２実施形態のばねプランジャ１４０は第２貯蔵部９０Ｂの下面と当接するように設けられるが、第２貯蔵部９０Ｂを押し出さないように、ばねが加圧された状態であるばねプランジャ１４０の最小の高さが第１支持面１２５の高さと同一に設けられ得る。

【0068】

図１４は本発明の第３実施形態による支持ユニットを示す図である。図１４を参照して、図４ないし図１３を用いて説明した内容と異なる点を中心に説明する。

【0069】

図１４を参照すると、第３実施形態の支持ユニット１００は第１実施形態および第２実施形態と同一または類似にベース部１１０、第１ブロック部１２０、第２ブロック部１３０、ばねプランジャ１４０および反射板１５０を含むことができる。

【0070】

一方、第３実施形態の第１ブロック部１２０は第１傾斜面１２３が省略され、第１離脱防止面１２１が垂直に備えられず傾斜する構造を有する点で差異がある。すなわち、第１実施形態および第２実施形態の第１傾斜面１２３と同一または類似に第１離脱防止面１２１が外側方向に上向きに傾斜する構造を有することができる。

【0071】

したがって、第１離脱防止面１２１に沿って進入した第１貯蔵部９０Ａは最終的に第１離脱防止面１２１の下端に当接するように位置することができる。すなわち、第３実施形態の第１ブロック部１２０は第１実施形態と類似にテーパー構造に沿って第１貯蔵部９０Ａがガイドされるが、ガイドされた構成である第１離脱防止面１２１に位置が固定される構造を有することができる。

【0072】

さらに、第２ブロック部１３０は、第２傾斜面１３３が省略され、第２離脱防止面１３１が垂直に備えられずテーパー構造を有することができる。すなわち、第１離脱防止面１２１が外側方向に上向きに傾斜する構造を有することができる。

【0073】

そのため、第２離脱防止面１３１に沿って進入した第２貯蔵部９０Ｂは最終的に第２離脱防止面１３１の下端に当接するように位置することができる。すなわち、第３実施形態の第２ブロック部１３０は第１実施形態と類似にテーパー構造に沿って第２貯蔵部９０Ｂがガイドされるが、ガイドされた構成である第２離脱防止面１３１に位置が固定される構造を有することができる。

【0074】

以上と添付する図面を参照して本発明の実施形態について説明したが、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者は、本発明がその技術的思想や必須の特徴を変更せず他の具体的な形態で実施できることを理解することができる。したがって、上記一実施形態はすべての面で例示的なものであり、限定的なものではないと理解しなければならない。

【符号の説明】

【0075】

１０ 搬送システム、
２０ 物品収容部、
１００ 支持ユニット。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】