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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024084917
(43)【公開日】2024-06-26
(54)【発明の名称】熱処理装置
(51)【国際特許分類】
F27B 9/02 20060101AFI20240619BHJP
F27D 7/06 20060101ALI20240619BHJP
F27B 9/40 20060101ALI20240619BHJP
F27B 9/38 20060101ALI20240619BHJP
【ＦＩ】
F27B9/02
F27D7/06 B
F27B9/40
F27B9/38
【審査請求】未請求
【請求項の数】3
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022199118
(22)【出願日】2022-12-14
(71)【出願人】
【識別番号】000167200
【氏名又は名称】株式会社ジェイテクトサーモシステム
(74)【代理人】
【識別番号】110002044
【氏名又は名称】弁理士法人ブライタス
(72)【発明者】
【氏名】中谷 淳司
【テーマコード（参考）】
4K050
4K063
【Ｆターム（参考）】
4K050AA02
4K050BA16
4K050CA10
4K050CA12
4K050CF02
4K050CF12
4K050CG29
4K050EA03
4K050EA05
4K063AA05
4K063BA12
4K063CA01
4K063DA23
4K063DA32
(57)【要約】
【課題】熱処理装置において、加熱室からの熱の移動を抑制する。
【解決手段】熱処理装置１は、第１加熱室１０と、第１加熱室１０の外部と内部との間で被処理物１０を搬送する第１搬送手段３０と、第１加熱室１０に設けられ第１搬送手段３０が通過する第１開口１５と、第２加熱室２０と、第１加熱室１０と第２加熱室２０との間で被処理物１００を搬送する第２搬送手段５０と、加熱室１０，２０の外部から第２搬送手段５０が挿入される第２開口１６と、加熱室１０，２０間で被処理物１００を搬送される第３開口１７と、を有する。第２開口１６は被処理物１００より小さく、第１開口１５及び第３開口１７は被処理物１００より大きい。
【選択図】 図６
【解決手段】熱処理装置１は、第１加熱室１０と、第１加熱室１０の外部と内部との間で被処理物１０を搬送する第１搬送手段３０と、第１加熱室１０に設けられ第１搬送手段３０が通過する第１開口１５と、第２加熱室２０と、第１加熱室１０と第２加熱室２０との間で被処理物１００を搬送する第２搬送手段５０と、加熱室１０，２０の外部から第２搬送手段５０が挿入される第２開口１６と、加熱室１０，２０間で被処理物１００を搬送される第３開口１７と、を有する。第２開口１６は被処理物１００より小さく、第１開口１５及び第３開口１７は被処理物１００より大きい。
【選択図】 図６
【特許請求の範囲】
【請求項1】
被処理物を加熱処理する第１加熱室と、
前記第１加熱室の外部と内部との間で前記被処理物を搬送する第１搬送手段と、
前記第１加熱室に設けられ前記第１搬送手段が通過する第１開口と、
前記被処理物を加熱処理する第２加熱室と、
前記第１加熱室の外部から挿入され、前記第１加熱室と前記第２加熱室との間で前記被処理物を搬送する第２搬送手段と、
前記第１加熱室に設けられ前記第１加熱室の外部から前記第２搬送手段が挿入される第２開口と、
第１加熱室と第２加熱室との間で前記被処理物を搬送される第３開口と、を備え、
前記第２開口は前記被処理物より小さく、前記第１開口及び第３開口は前記被処理物より大きいことを特徴とする熱処理装置。
前記第１加熱室の外部と内部との間で前記被処理物を搬送する第１搬送手段と、
前記第１加熱室に設けられ前記第１搬送手段が通過する第１開口と、
前記被処理物を加熱処理する第２加熱室と、
前記第１加熱室の外部から挿入され、前記第１加熱室と前記第２加熱室との間で前記被処理物を搬送する第２搬送手段と、
前記第１加熱室に設けられ前記第１加熱室の外部から前記第２搬送手段が挿入される第２開口と、
第１加熱室と第２加熱室との間で前記被処理物を搬送される第３開口と、を備え、
前記第２開口は前記被処理物より小さく、前記第１開口及び第３開口は前記被処理物より大きいことを特徴とする熱処理装置。
【請求項2】
請求項１に記載の熱処理装置であって、
前記第１開口、前記第２開口、および前記第３開口を開閉させる手段が備えられ、
前記第１搬送手段によって、前記被処理物を搬送する時は、前記第２開口及び前記第３開口が閉じられ、
前記第２搬送手段によって、前記被処理物を搬送する時は、前記第１開口が閉じられることを特徴とする熱処理装置。
前記第１開口、前記第２開口、および前記第３開口を開閉させる手段が備えられ、
前記第１搬送手段によって、前記被処理物を搬送する時は、前記第２開口及び前記第３開口が閉じられ、
前記第２搬送手段によって、前記被処理物を搬送する時は、前記第１開口が閉じられることを特徴とする熱処理装置。
【請求項3】
請求項１または２に記載の熱処理装置であって、
前記第２搬送手段によって、前記第１加熱室と前記第２加熱室の間で前記被処理物の搬送を終えて、前記第２搬送手段が前記第１加熱室の外部に移動する際に、前記第２開口より前記第３開口を先に閉じられることを特徴とする熱処理装置。
前記第２搬送手段によって、前記第１加熱室と前記第２加熱室の間で前記被処理物の搬送を終えて、前記第２搬送手段が前記第１加熱室の外部に移動する際に、前記第２開口より前記第３開口を先に閉じられることを特徴とする熱処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、熱処理装置に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体基板上に形成した金属と半導体材料との合金化を行う熱処理装置（１０）が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２００５－０３３０８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
熱処理装置の搬送アームを、２つの室間の搬送用と、室の内外での搬送用と、の２つ設け、これらの搬送アームを室の外側に設置する場合、室には、搬送アームを通過させる開口が形成される。２つの室間の搬送用の搬送アームを通過させる開口が大きいと、室の内部の熱が外部へ移動し易いが、このような熱の移動を抑制したい。
【課題を解決するための手段】
【0005】
（１）上記課題を解決するために、この発明のある局面に係わる熱処理装置は、
被処理物を加熱処理する第１加熱室と、
前記第１加熱室の外部と内部との間で前記被処理物を搬送する第１搬送手段と、
前記第１加熱室に設けられ前記第１搬送手段が通過する第１開口と、
前記被処理物を加熱処理する第２加熱室と、
前記第１加熱室の外部から挿入され、前記第１加熱室と前記第２加熱室との間で前記被処理物を搬送する第２搬送手段と、
前記第１加熱室に設けられ前記第１加熱室の外部から前記第２搬送手段が挿入される第２開口と、
第１加熱室と第２加熱室との間で前記被処理物を搬送される第３開口と、を備え、
前記第２開口は前記被処理物より小さく、前記第１開口及び第３開口は前記被処理物より大きいことを特徴とする。
被処理物を加熱処理する第１加熱室と、
前記第１加熱室の外部と内部との間で前記被処理物を搬送する第１搬送手段と、
前記第１加熱室に設けられ前記第１搬送手段が通過する第１開口と、
前記被処理物を加熱処理する第２加熱室と、
前記第１加熱室の外部から挿入され、前記第１加熱室と前記第２加熱室との間で前記被処理物を搬送する第２搬送手段と、
前記第１加熱室に設けられ前記第１加熱室の外部から前記第２搬送手段が挿入される第２開口と、
第１加熱室と第２加熱室との間で前記被処理物を搬送される第３開口と、を備え、
前記第２開口は前記被処理物より小さく、前記第１開口及び第３開口は前記被処理物より大きいことを特徴とする。
【0006】
（２）前記熱処理装置は、前記第１開口、前記第２開口、および前記第３開口を開閉させる手段を備え、
前記第１搬送手段によって、前記被処理物を搬送する時は、前記第２開口及び前記第３開口が閉じられ、
前記第２搬送手段によって、前記被処理物を搬送する時は、前記第１開口が閉じられてもよい。
前記第１搬送手段によって、前記被処理物を搬送する時は、前記第２開口及び前記第３開口が閉じられ、
前記第２搬送手段によって、前記被処理物を搬送する時は、前記第１開口が閉じられてもよい。
【0007】
（３）前記第２搬送手段によって、前記第１加熱室と前記第２加熱室の間で前記被処理物の搬送を終えて、前記第２搬送手段が前記第１加熱室の外部に移動する際に、前記第２開口より前記第３開口を先に閉じられてもよい。
【発明の効果】
【0008】
本発明によると、熱処理装置において、加熱室からの熱の移動を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しつつ説明する。
【0011】
＜熱処理装置の全体構成＞
図１は、熱処理装置1の構成を説明するための模式的な断面図であり、熱処理装置１の全体構成を示している。
図１は、熱処理装置1の構成を説明するための模式的な断面図であり、熱処理装置１の全体構成を示している。
【0012】
熱処理装置１は、第１加熱室１０と、第２加熱室２０と、第１搬送手段３０と、第２搬送手段５０と、第３搬送手段７０と、図示しない制御部と、を有している。
【0013】
第１加熱室１０内には、第１ヒータ１３と、被処理部品１０２（図２参照）が載せられる第１ワーク台１４とが設置されている。第１ヒータ１３により、第１加熱室１０の雰囲気が所定温度に加熱される。第２加熱室２０内には、第２ヒータ２３と、被処理部品１０２が載せられる第２ワーク台２４とが設置されている。第２ヒータ２３により、第２加熱室２０の雰囲気が所定温度に加熱される。また、第１加熱室１０に第１開口１５，第２開口１６が設けられ、第２加熱室２０に第４開口１８が設けられる。さらに、第１加熱室１０と第２加熱室２０の間を被処理部品１０２が通過する第３開口１７が設けられ、その第３開口１７に扉２が設けられる。この扉２はアクチュエータにより開閉する。
【0014】
第１搬送手段３０は第１加熱室１０の内部と外部との間で被処理部品１０２を搬送する搬送装置であり、第２搬送手段５０は第１加熱室１０と第２加熱室２０との間で被処理部品１０２を搬送する搬送装置であり、第３搬送手段７０は第２加熱室２０の内部と外部との間で被処理物１０２を搬送する搬送装置である。これらの各搬送手段３０，５０，７０は、アクチュエータにより動作する。
【0015】
また、第１搬送手段３０と、第１加熱室１０の第１開口１５と、の間に扉４２，４３が設けられ、第１搬送手段３０は第１開口１５を通過して被処理部品１０２を搬送する。また、第２搬送手段５０と、第１加熱室１０の第２開口１６と、の間に扉４２が設けられ、第２搬送手段５０は第２開口１６を通過して被処理部品１０２を搬送する。また、第３搬送手段７０と、第２加熱室２０の第４開口１８と、の間に扉４２，４３が設けられ、第３搬送手段７０は第４開口１８を通過して被処理部品１０２を搬送する。これら扉４２，４３はアクチュエータにより開閉する。
【0016】
制御部は、各ヒータ１３，２３と、各扉２，４２，４３のアクチュエータと、各搬送手段３０，５０，７０のアクチュエータとに電気的に接続されており、それらを制御する。
【0017】
被処理部品（ワーク）１０２として、電子部品を例示できる。電子部品として、セラミック電子部品（例えば、ＭＬＣＣ（Ｍｕｌｔｉ Ｌａｙｅｒｅｄ Ｃｅｒａｍｉｃ Ｃａｐａｃｉｔｏｒ））と、フェライトコア、ＥＭＩフィルタ（Ｅｌｅｃｔｒｏｍａｇｎｅｔｉｃ Ｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ Ｆｉｌｔｅｒ）、磁性シート、インダクタといった高周波部品およびデバイスと、ＧＰＳなどのＧＮＳＳ（Ｇｌｏｂａｌ Ｎａｖｉｇａｔｉｏｎ Ｓａｔｅｌｌｉｔｅ Ｓｙｓｔｅｍ）用アンテナおよびモジュールと、パワーインダクタと、全固体電池、ＳＯＦＣ（Ｓｏｌｉｄ Ｏｘｉｄｅ Ｆｕｅｌ Ｃｅｌｌ）といった二次電池部品と、を例示できる。
【0018】
＜熱処理方法の概要＞
熱処理装置１は、被処理部品１０２を熱処理する装置であり、本実施形態では、被処理部品１０２を２種類の温度で熱処理する。熱処理装置１は、被処理部品１０２を第１加熱室１０において第１温度（例えば、６００℃）の雰囲気下で熱処理し、さらに、被処理部品１０２を第２加熱室２０において第２温度（例えば、１３００℃）の雰囲気下で熱処理する。なお、第１温度および第２温度は、上述した一定値に限定されず、時間ともに変化する値であってもよく、互いに異なる値であってもよい。本実施形態では、熱処理装置１は、複数の（２つの）加熱室１０，２０を有しており、被処理部品１０２を第１加熱室１０から第２加熱室２０に搬送することで、被処理物１０２を上記２種類の温度で連続して熱処理する。本実施形態では、熱処理装置１は、加熱室１０，２０内に所定の熱処理ガスを供給しながら被処理部品１０２に熱処理を行う。なお、熱処理装置１は、第１加熱室１０と第２加熱室２０を個別に運用することで２つの熱処理装置として運用されることも可能である。
熱処理装置１は、被処理部品１０２を熱処理する装置であり、本実施形態では、被処理部品１０２を２種類の温度で熱処理する。熱処理装置１は、被処理部品１０２を第１加熱室１０において第１温度（例えば、６００℃）の雰囲気下で熱処理し、さらに、被処理部品１０２を第２加熱室２０において第２温度（例えば、１３００℃）の雰囲気下で熱処理する。なお、第１温度および第２温度は、上述した一定値に限定されず、時間ともに変化する値であってもよく、互いに異なる値であってもよい。本実施形態では、熱処理装置１は、複数の（２つの）加熱室１０，２０を有しており、被処理部品１０２を第１加熱室１０から第２加熱室２０に搬送することで、被処理物１０２を上記２種類の温度で連続して熱処理する。本実施形態では、熱処理装置１は、加熱室１０，２０内に所定の熱処理ガスを供給しながら被処理部品１０２に熱処理を行う。なお、熱処理装置１は、第１加熱室１０と第２加熱室２０を個別に運用することで２つの熱処理装置として運用されることも可能である。
【0019】
＜第１実施形態＞
第１実施形態について説明する。
第１実施形態について説明する。
【0020】
なお、以下では、各図に示すように、左右、前後、および、上下を規定する。
【0021】
被処理部品１０２として、例えば上述した電子部品であるＭＬＣＣ（積層セラミックコンデンサ）を用いる。なお、本実施形態では、被処理部品１０２は、セッター１０１に載せられた状態で、搬送および熱処理が行われる。セッター１０１は、例えば、セラミック系材料で形成された矩形状の平板部材である。被処理物１００とは、セッター１０１に被処理部品１０２が載せられたものをいう。
【0022】
主に図１～４を参照しつつ、熱処理装置１における、第１加熱室１０と、第２加熱室２０と、第１搬送手段３０と、第２搬送手段５０と、第３搬送手段７０と、の詳細について説明する。
【0023】
各加熱室１０，２０は中空の立方体である。第１加熱室１０と第２加熱室２０は、第２搬送方向Ｄ２に並んでいる。第２搬送方向Ｄ２は、本実施形態では、水平方向であり、左右方向である。第１加熱室１０と第２加熱室２０は、隣接している。
【0024】
第１加熱室１０の壁１１は、壁１１ａと、壁１１ｂと、壁１１ｃと、壁１１ｄと、壁１１ｅと、を有している。第２加熱室２０の壁２１は、壁２１ａと、壁２１ｂと、壁２１ｃと、壁２１ｄと、壁２１ｅと、を有している。
【0025】
第１加熱室１０の壁１２は、壁１１の壁１１ａ，壁１１ｄ，壁１１ｃ、および壁１１ｅに囲まれている。また、第２加熱室２０の壁２２は、壁２１の壁２１ａ，壁２１ｄ，壁２１ｃ、および壁２１ｅに囲まれている。また、これらの壁１２，２２が互いに突き合わされている。これらの壁１２，２２には、被処理物１００が通過するための第３開口１７が形成されている。また、第３開口１７を開閉する扉２が設置されている。この扉２は、油圧シリンダなどのアクチュエータ３によって開閉される。
【0026】
第１加熱室１０の壁１１には、第１開口１５が形成されている。第１開口１５は、第１搬送手段３０により、第１加熱室１０の内部と外部との間で搬送される被処理物１００が通過する開口である。第１開口１５は、壁１１ａに配置されている。
【0027】
第１搬送手段３０は、上記のように第１加熱室１０の内部と外部との間で被処理物１００を搬送し、当該第１搬送手段３０の一部（例えば、後述する第１搬送ロッド３１）が第１搬送方向Ｄ１における第１加熱室１０の壁１１（壁１１ａ）を通過する構成である。すなわち、第１搬送手段３０が第１開口１５を通ることで、被処理物１００が搬送される。
【0028】
また、第１加熱室１０の壁１１には、第２開口１６が形成されている。第２開口１６は、第２搬送手段５０の一部が通過する開口であり、第２開口１６は、壁１１ｂに配置されている。
【0029】
第２搬送手段５０は、第１加熱室１０または第２加熱室２０（本実施形態では、第１加熱室１０）の外部から挿入され、第１加熱室１０と第２加熱室２０との間で被処理物１００を搬送し、当該第２搬送手段５０の一部（例えば、後述する第２搬送ロッド５１）が第２搬送方向Ｄ２における第１加熱室１０または第２加熱室２０のいずれかの壁１１，２１（本実施形態では、第１加熱室１０の壁１１）を通過する構成である。すなわち、第２搬送手段５０が第２開口１６を通ることで、被処理物１００が搬送される。
【0030】
また、第２加熱室２０の壁２１には、第４開口１８が形成されている。第４開口１８は、第３搬送手段７０により、第２加熱室２０の内部と外部との間で搬送される被処理物１００が通過する開口である。第４開口１８は、壁２１ａに配置されている。
【0031】
第３搬送手段７０は、第２加熱室２０の内部と外部との間で被処理物１００を搬送し、当該第３搬送手段７０の一部（例えば、後述する第３搬送ロッド７１）が第３搬送方向Ｄ３における第２加熱室２０の壁２１（壁２１ａ）を通過する構成である。すなわち、第３搬送手段７０が第４開口１８を通ることで、被処理物１００が搬送される。
【0032】
図１の矢印Ａ１に示す通り、第１搬送手段３０は、第１加熱室１０の外部から内部へ被処理物１００を搬送する。矢印Ａ２に示す通り、第２搬送手段５０は、第１加熱室１０から第２加熱室２０へ被処理物１００を搬送する。矢印Ａ３に示す通り、第３搬送手段７０は、第２加熱室２０の内部から外部へ被処理物１００を搬送する。
【0033】
＜搬送手段の構造と、被処理物１００の搬送方法＞
第１搬送手段３０は、被処理物１００のセッター１０１が搭載される第１搬送ロッド３１と、第１搬送ロッド３１を第１搬送方向Ｄ１に移動させるとともに回転させるアクチュエータ３２と、を有している。なお、第１搬送方向Ｄ１は、本実施形態では、水平方向であり、前後方向である。
第１搬送手段３０は、被処理物１００のセッター１０１が搭載される第１搬送ロッド３１と、第１搬送ロッド３１を第１搬送方向Ｄ１に移動させるとともに回転させるアクチュエータ３２と、を有している。なお、第１搬送方向Ｄ１は、本実施形態では、水平方向であり、前後方向である。
【0034】
第１搬送ロッド３１は、例えば、第１搬送方向Ｄ１を長手方向とする棒状に形成されている。第１搬送ロッド３１は、棒状の本体３５と、本体３５の先端に突起状の凸部３６と、を有している。本実施形態では、１つの本体３５に、複数（２つ）の凸部３６が第１搬送方向Ｄ１に並んで設けられている。
【0035】
また、第１搬送ロッド３１は、セッター１０１を搭載した状態で、第１搬送ロッド３１の本体３５の先端にある凸部３６がセッター１０１の裏面に当接している。これにより、セッター１０１は第１搬送ロッド３１に支持される。
【0036】
図５は、搬送ロッド３１（５１，７１）の動作を説明するための模式図である。図５に示すように、第１搬送ロッド３１（第２搬送ロッド５１，第３搬送ロッド７１）が回転すると、凸部３６は、上向きまたは下向きになる。本実施形態では、各搬送ロッド３１（５１，７１）は、左右一対設置されている。左右一対の搬送ロッド３１（５１，７１）が回転し、凸部３６が下向きから上向きになることで、セッター１０１を持ち上げる。また、左右一対の搬送ロッド３１（５１，７１）が回転し、凸部３６が上向きから下向きになることで、セッター１０１を下ろしてセッター１０１をワーク台１４（２４）に載せる。
【0037】
第１搬送手段３０に関連して、熱処理装置１には、第１チャンバユニット４０が設けられている。この第１チャンバユニット４０は、本実施形態では、第１加熱室１０の壁１１ａに設置されている。
【0038】
第１チャンバユニット４０は、チャンバ４１と、断熱扉４２と、シール扉４３と、これらの扉を開閉する電動モータ、エアシリンダなどのアクチュエータ４４と、を有している。
【0039】
チャンバ４１は、第１開口１５を覆うようにして壁１１の壁１１ａに設置される箱である。チャンバ４１内の空間が、第１開口１５につながっている。このチャンバ４１には、第１搬送ロッド３１が通されている。
【0040】
チャンバ４１には、扉４５が設けられており、扉４５を開いた状態で被処理物１００をチャンバ４１内の空間に対して出し入れする。扉４５は、例えば作業員の手作業などによって、開閉される。なお、扉４５をアクチュエータで開閉させてもよい。
【0041】
断熱扉４２は第１開口１５に隣接して配置され、この断熱扉４２と扉４５との間に、シール扉４３が配置されている。
【0042】
第２搬送手段５０は、第１加熱室１０のうち第２搬送方向Ｄ２の一端側の壁である壁１１ｂに設置されている点以外は、第１搬送手段３０と同様の構成を有している。より具体的には、第２搬送手段５０は、セッター１０１が搭載される第２搬送ロッド５１と、第２搬送ロッド５１を第２搬送方向Ｄ２に移動させるとともに回転させるアクチュエータ３２と、を有している。なお、第２搬送方向Ｄ２は、水平方向であり、左右方向である。
【0043】
第２搬送ロッド５１は、本実施形態では、第１搬送ロッド３１と同じ形状に形成されている。
【0044】
第２搬送手段５０に関連して、熱処理装置１には、第２チャンバユニット６０が設けられている。この第２チャンバユニット６０は、第１加熱室１０の壁１１ｂに設置されている点と、シール扉４３および扉４５が設けられていない点以外は、第１チャンバユニット４０と同様の構成を有している。
【0045】
第２チャンバユニット６０は、チャンバ４１と、断熱扉４２と、この扉を開閉する電動モータ、エアシリンダなどのアクチュエータ４４とを有している。
【0046】
第２チャンバユニット６０のチャンバ４１は、第２開口１６を覆うようにして壁１１の壁１１ｂに設置された箱部材であり、当該チャンバ４１内の空間が、第２開口１６につながっている。このチャンバ４１には、第２搬送ロッド５１が通されている。
【0047】
第２チャンバユニット６０の断熱扉４２は、第２開口１６に隣接して配置されている。
【0048】
第３搬送手段７０は、第２加熱室２０の壁である壁２１ａに設置されている点以外は、第１搬送手段３０と同様の構成を有している。より具体的には、第３搬送手段７０は、セッター１０１が搭載される第３搬送ロッド７１と、第３搬送ロッド７１を第３搬送方向Ｄ３に移動させるとともに回転させるアクチュエータ３２と、を有している。なお、第３搬送方向Ｄ３は、本実施形態では、水平方向であり、前後方向である。第１搬送方向Ｄ１と第３搬送方向Ｄ３とは、平行である。
【0049】
第３搬送ロッド７１は、本実施形態では、第１搬送ロッド３１と同じ形状に形成されている。
【0050】
第３搬送手段７０に関連して、熱処理装置１には、第３チャンバユニット８０が設けられている。この第３チャンバユニット８０は、第２加熱室２０の壁２１ａに設置されており、第１チャンバユニット４０と同じ構成を有している。
【0051】
第３チャンバユニット８０は、チャンバ４１と、断熱扉４２と、シール扉４３と、これらの扉を開閉する電動モータ、エアシリンダなどのアクチュエータ４４と、扉４５と、を有している。
【0052】
第３チャンバユニット８０のチャンバ４１は、第４開口１８を覆うようにして壁２１の壁２１ａに設置されている。第３チャンバユニット８０のチャンバ４１には、第３搬送ロッド７１が通されている。
【0053】
断熱扉４２は第４開口１８に隣接して配置され、この断熱扉４２と扉４５との間に、シール扉４３が配置されている。
【0054】
次に、第１～第３搬送手段３０，５０，７０が通過する第１開口１５，第２開口１６，第３開口１７，および第４開口１８について、より詳細に説明する。なお、以下では、第１～第４開口１５～１８について説明するときは、第１～第３開口１５～１８をそれぞれの開口の正面（第１搬送方向Ｄ１，第２搬送方向Ｄ２，および第３搬送方向Ｄ３）から見た状態を基準に説明する。
【0055】
＜第１開口の詳細＞
図６（Ａ）は、第１加熱室１０の第１開口１５について説明するための図である。主に図１，図２および図６（Ａ）を参照して、第１開口１５は、被処理物１００を搬送している第１ロッド３１が第１搬送方向Ｄ１に沿って第１加熱室１０の外壁１１の内側と外側との間を移動するときの開口である。このため、第１開口１５は、被処理物１００よりも大きい。第１搬送方向Ｄ１から見て、第１開口１５の面積は、被処理物１００の面積よりも大きい。第１開口１５は、縁部１５ａによって区画されている。第１搬送方向Ｄ１から見て、第１開口１５の縁部１５ａは、本実施形態では、矩形に形成されている。
図６（Ａ）は、第１加熱室１０の第１開口１５について説明するための図である。主に図１，図２および図６（Ａ）を参照して、第１開口１５は、被処理物１００を搬送している第１ロッド３１が第１搬送方向Ｄ１に沿って第１加熱室１０の外壁１１の内側と外側との間を移動するときの開口である。このため、第１開口１５は、被処理物１００よりも大きい。第１搬送方向Ｄ１から見て、第１開口１５の面積は、被処理物１００の面積よりも大きい。第１開口１５は、縁部１５ａによって区画されている。第１搬送方向Ｄ１から見て、第１開口１５の縁部１５ａは、本実施形態では、矩形に形成されている。
【0056】
第１ロッド３１は、左右および上下には移動しないので、第１開口１５は、左右および上下に小さな寸法とされている。また、第１ロッド３１の凸部３６は、本体３５の直径程度の長さで短く、被処理物１００を支持しているときの被処理物１００と本体３５との距離が、本体３５の直径以下程度で近い。このため、第１開口１５は、上下に狭い。
【0057】
第１開口１５は、第２搬送方向Ｄ２に細長く、平板状のセッター１０１に比較的小さな被処理部品１０２が載せられた構成の被処理物１００を通過させるのに適している。本実施形態では、第１開口１５の上側半分の領域が、被処理物１００を通過させる被処理物通過領域１５ｂとされており、第１開口１５の下側半分の領域が、第１ロッド３１を通過させる搬送手段通過領域１５ｃとされている。第１開口１５において、第１搬送ロッド３１は第１搬送方向Ｄ１と直交する方向には移動しないので、搬送手段通過領域１５ｃを、このような移動を考慮した大きな開口としなくてよい。
【0058】
本実施形態では、搬送手段通過領域１５ｃの幅Ｗ１５ｃは、被処理物通過領域１５ｂの幅Ｗ１５ｂと同じである。搬送手段通過領域１５ｃの幅Ｗ１５ｃは、被処理物通過領域１５ｂの幅Ｗ１５ｂ未満であることが、第１開口１５をより小さくするのに好ましい。被処理物１００および第１ロッド３１が第１開口１５を通過しているときにおいて、被処理物１００および第１ロッド３１と、第１開口１５の縁部１５ａとの隙間は、被処理物１００および第１ロッド３１と縁部１５ａが接触しない程度に小さいことが好ましい。
【0059】
＜第２開口の詳細＞
図６（Ｂ）は、第１加熱室１０の第２開口１６について説明するための図である。図１～図４および図６（Ｂ）を参照して、第２開口１６は、被処理物１００を搬送している第２ロッド５１が第２搬送方向Ｄ２に沿って第１加熱室１０の外壁１１の内側と外側との間を移動するときの開口である。一方で、第２開口１６は、被処理物１００は通過しない開口である。よって、各第２開口１６は、被処理物１００よりも小さい。第２搬送方向Ｄ２から見て、各第２開口１６の面積は、被処理物１００の面積よりも小さい。各第２開口１６は、縁部１６ａによって区画されている。
図６（Ｂ）は、第１加熱室１０の第２開口１６について説明するための図である。図１～図４および図６（Ｂ）を参照して、第２開口１６は、被処理物１００を搬送している第２ロッド５１が第２搬送方向Ｄ２に沿って第１加熱室１０の外壁１１の内側と外側との間を移動するときの開口である。一方で、第２開口１６は、被処理物１００は通過しない開口である。よって、各第２開口１６は、被処理物１００よりも小さい。第２搬送方向Ｄ２から見て、各第２開口１６の面積は、被処理物１００の面積よりも小さい。各第２開口１６は、縁部１６ａによって区画されている。
【0060】
第２搬送方向Ｄ２から見て、各第２開口１６の縁部１６ａは、本実施形態では、本体３５および凸部３６が存在する箇所における第２ロッド５１の軸断面形状に相似する形状に形成されており、第１ロッド３１の本体３５の外周面と相似の円弧状部分と、凸部３６の外周面と相似の溝状部分と、を有している。第２開口１６は、前後対称に一対設置されており、外壁１１において２つの第２開口１６，１６はつながっていない。
【0061】
第２ロッド５１の本体３５の軸断面形状が円形であることにより、第２開口１６の縁部１６ａの内周面の一部を円弧形状にできる。第２ロッド５１の本体３５の軸断面形状が多角形、かつ第２開口１６の縁部の内周面が多角形である場合と比べて、縁部１６ａの円周長さを小さくできる結果、第２開口１６の縁部と第２ロッド５１との隙間をより狭くでき、第２開口１６からの熱の逃げをより少なくできる。第２ロッド５１は、前後および上下には移動しないので、第２開口１６は、前後および上下に小さな寸法とされている。
【0062】
第２開口１６には、第２ロッド５１が被処理物１００を搬送していないときの凸部３６が通過する。このため、本実施形態では、第２ロッド５１が被処理物１００をワーク台１４，２４に下ろしたときにおける凸部３６の向きに合わせた形状に、第２開口１６の縁部１６ａが形成されている。各第２開口１６の幅Ｗ１６は、被処理物１００の幅Ｗ１００未満である。
【0063】
各第２開口１６の高さは、被処理物１００の厚み以上であってもよいし、同じであってもよいし、厚み以下であってもよい。第２ロッド５１が第２開口１５を通過しているときにおいて、第２ロッド５１と第２開口１６の縁部１６ａとの隙間の値は、第２ロッド５１と縁部１６ａが接触しない程度に小さいことが好ましい。
【0064】
＜第３開口の詳細＞
図６（Ｃ）は、第１加熱室１０の第２開口１６と、第１加熱室１０および第２加熱室２０の第３開口１７について説明するための図である。主に図１、図４、および図６（Ｃ）を参照して、第３開口１７は、被処理物１００および第２ロッド５１が第２搬送方向Ｄ２に沿って加熱室１０，２０間を移動するときの開口である。このため、第３開口１７は、被処理物１００よりも大きい。
図６（Ｃ）は、第１加熱室１０の第２開口１６と、第１加熱室１０および第２加熱室２０の第３開口１７について説明するための図である。主に図１、図４、および図６（Ｃ）を参照して、第３開口１７は、被処理物１００および第２ロッド５１が第２搬送方向Ｄ２に沿って加熱室１０，２０間を移動するときの開口である。このため、第３開口１７は、被処理物１００よりも大きい。
【0065】
本実施形態では、第３開口１７は、第１開口１５と同じ形状に形成されているので、第１開口１５と重複する説明を一部省略する。第２搬送方向Ｄ２から見て、第３開口１７の面積は、被処理物１００の面積よりも大きい。第３開口１７は、縁部１７ａによって区画されている。第２搬送方向Ｄ２から見て、第３開口１７の縁部１７ａは、本実施形態では、矩形に形成されている。
【0066】
第３開口１７は、第１搬送方向Ｄ１に細長い。本実施形態では、第３開口１７の上側半分の領域が、被処理物１００を通過させる被処理物通過領域１７ｂとされており、第１開口１５の下側半分の領域が、第２ロッド５１を通過させる搬送手段通過領域１７ｃとされている。第３開口１７において、第２搬送ロッド５１は上下および前後には移動しないので、搬送手段通過領域１７ｃを、このような上下および前後の移動を考慮した大きな開口としなくてよい。被処理物通過領域１７ｂの幅Ｗ１７ｂと搬送手段通過領域１７ｃの幅Ｗ１７ｃは、それぞれ、被処理物通過領域１５ｂの幅Ｗ１５ｂと搬送手段通過領域１５ｃの幅Ｗ１５ｃと同様に設定されている。
【0067】
＜第４開口の詳細＞
図６（Ｄ）は、第１加熱室１０の第４開口１８について説明するための図である。図１～図５および図６（Ｄ）を参照して、第４開口１５は、被処理物１００を搬送している第３搬送手段７０が第３搬送方向Ｄ１に沿って第２加熱室２０の外壁２１の内側と外側との間を移動するときの開口である。このため、第４開口１８は、被処理物１００よりも大きい。第３搬送方向Ｄ３から見て、第４開口１８の面積は、被処理物１００の面積よりも大きい。第４開口１８は、縁部１８ａによって区画されている。第４開口１８の形状は、第１開口１５の形状と同じであるので、詳細な説明は省略する。
図６（Ｄ）は、第１加熱室１０の第４開口１８について説明するための図である。図１～図５および図６（Ｄ）を参照して、第４開口１５は、被処理物１００を搬送している第３搬送手段７０が第３搬送方向Ｄ１に沿って第２加熱室２０の外壁２１の内側と外側との間を移動するときの開口である。このため、第４開口１８は、被処理物１００よりも大きい。第３搬送方向Ｄ３から見て、第４開口１８の面積は、被処理物１００の面積よりも大きい。第４開口１８は、縁部１８ａによって区画されている。第４開口１８の形状は、第１開口１５の形状と同じであるので、詳細な説明は省略する。
【0068】
＜第２開口と、第１開口、第３開口および第４開口と、の関係＞
本実施形態では、第１開口１５と第３開口１７と第４開口１８の被処理物通過領域１５ｂ，１７ｂ，１８ｂの高さ位置が揃えられている。また、第１開口１５と第３開口１７と第４開口１８のそれぞれの搬送手段通過領域１５ｃ，１７ｃ，１８ｃの高さ位置が揃えられている。第２開口１６の高さ位置は、第１開口１５と第３開口１７と第４開口１８の搬送手段通過領域１５ｃ，１７ｃ，１８ｃの高さ位置と揃えられている。このように、第１～第４開口１５～１８の高さ位置が揃えられている。この構成であれば、第１～第４開口１５～１８の大きさを大きくすることでこれら第１～第４開口１５～１８の高さ位置を揃えなくてすみ、第１～第４開口１５～１８をより小さくできる。
本実施形態では、第１開口１５と第３開口１７と第４開口１８の被処理物通過領域１５ｂ，１７ｂ，１８ｂの高さ位置が揃えられている。また、第１開口１５と第３開口１７と第４開口１８のそれぞれの搬送手段通過領域１５ｃ，１７ｃ，１８ｃの高さ位置が揃えられている。第２開口１６の高さ位置は、第１開口１５と第３開口１７と第４開口１８の搬送手段通過領域１５ｃ，１７ｃ，１８ｃの高さ位置と揃えられている。このように、第１～第４開口１５～１８の高さ位置が揃えられている。この構成であれば、第１～第４開口１５～１８の大きさを大きくすることでこれら第１～第４開口１５～１８の高さ位置を揃えなくてすみ、第１～第４開口１５～１８をより小さくできる。
【0069】
第２開口１６は被処理物１００より小さく、第１開口１５、第３開口１７、および第４開口１８は何れも被処理物１００より大きい。本実施形態では、第２搬送方向Ｄ２から見て各第２開口１６，１６の面積は、ワーク台１４，２４に載せられているときの被処理物１００の面積よりも小さい。一方、第１搬送方向Ｄ１から見て、第１開口１５の面積は、ワーク台１４，２４に載せられているときの被処理物１００の面積よりも大きい。また、第２搬送方向Ｄ２から見て、第３開口１７の面積は、ワーク台１４，２４に載せられているときの被処理物１００の面積よりも大きい。また、第３搬送方向Ｄ１から見て、第４開口１８の面積は、ワーク台１４，２４に載せられているときの被処理物１００の面積よりも大きい。
【0070】
以上の構成により、第２開口１６は、第２ロッド５１が通過できる最低限の大きさの開口であるので、第１加熱室１０から外部への熱の移動量を抑制できる。
【0071】
＜熱処理装置１におけるセッター１０１の搬送動作＞
次に、熱処理装置１におけるセッター１０１の搬送動作を説明する。
次に、熱処理装置１におけるセッター１０１の搬送動作を説明する。
【0072】
以下では、（１）セッター１０１を第１加熱室１０に搬入する動作、（２）セッター１０１を加熱室１０，２０間で搬送する動作、（３）セッター１０１を第２加熱室２０から搬出する動作を、順に説明する。これら（１）～（３）の動作では、セッター１０１は、図１の矢印Ａ１～Ａ３の順に搬送される。熱処理装置１でのセッター１０１の搬送動作開始時、第１～第４開口１５～１８は、何れも、扉２，４２，４３によって閉じられている。
【0073】
＜（１）セッター１０１を第１加熱室１０に搬入する動作＞
セッター１０１を第１加熱室１０に搬入する際には、まず、第１チャンバユニット４０の扉４５を開け、セッター１０１が第１チャンバユニット４０内に入れられる。このとき、セッター１０１は、扉４５の直下に配置された第１搬送ロッド３１の凸部３６に載せられる。
セッター１０１を第１加熱室１０に搬入する際には、まず、第１チャンバユニット４０の扉４５を開け、セッター１０１が第１チャンバユニット４０内に入れられる。このとき、セッター１０１は、扉４５の直下に配置された第１搬送ロッド３１の凸部３６に載せられる。
【0074】
次に、第１チャンバユニット４０の扉４５が閉じられた後、断熱扉４２およびシール扉４３が開かれることで第１開口１５が開かれ、セッター１０１が第１開口１５と直接向かい合う。
【0075】
次に、第１搬送ロッド３１が第１搬送方向Ｄ１に移動することで、第１開口１５を通ってセッター１０１が第１加熱室１０に搬入され、第１ワーク台１４の上方に位置される。
【0076】
次に、第１搬送ロッド３１が回転することで凸部３６が下向きになり、セッター１０１が第１ワーク台１４に載せられる。
【0077】
次に、第１搬送ロッド３１の凸部３６は、第１チャンバユニット４０の開閉扉４５の下方にまで後退し、断熱扉４２およびシール扉４３が閉じられる。この状態で、第１加熱室１０にて被処理部品１０２が熱処理された後、セッター１０１は、第１加熱室１０から第２加熱室２０へ搬送される。
【0078】
＜（２）セッター１０１を加熱室１０，２０間で搬送する動作＞
第１搬送ロッド３１が第１加熱室１０から待避した状態において、第２チャンバユニット６０では、断熱扉４２が開かれることで第２開口１６が開かれ、第２搬送ロッド５１と第２開口１６とが直接向かい合う。
第１搬送ロッド３１が第１加熱室１０から待避した状態において、第２チャンバユニット６０では、断熱扉４２が開かれることで第２開口１６が開かれ、第２搬送ロッド５１と第２開口１６とが直接向かい合う。
【0079】
次に、第２搬送ロッド５１は、第２開口１６を通って第１加熱室１０に移動することで、第２搬送手段５０の凸部３６がセッター１０１の下方に位置される。次に、第２搬送ロッド５１が回転することで凸部３６が上向きになることで、セッター１０１が持ち上げられる。
【0080】
次に、扉２が開かれることで第３開口１７が開かれ、次いで、第２搬送ロッド５１と共にセッター１０１が、第２搬送方向Ｄ２に沿って第２加熱室２０の第２ワーク台２４まで搬送される。
【0081】
次に、第２搬送ロッド５１の凸部３６が下向きになり、セッター１０１が第２ワーク台２４に載せられる。
【0082】
次に、第１加熱室１０と第２加熱室２０の間でセッター１０１の搬送を終えた第２搬送ロッド５１は、第２チャンバユニット６０のチャンバ４１まで後退する。これにより、第２ロッド５１は、第１加熱室１０の外部に移動する。第２搬送ロッド３１の後退に伴い扉２が閉じられることで第３開口１７が閉じられ、次いで、断熱扉４２が閉じられることで第２開口１６が閉じられる。この状態で、第２加熱室２０にて被処理部品１０２が熱処理された後、セッター１０１は、第２加熱室２０から第２加熱室２０の外部へ搬送される。
【0083】
＜（３）セッター１０１を第２加熱室２０から搬出する動作＞
第１搬送手段３０に代えて第３搬送手段７０が行う点以外は、説明した、第１加熱室１０へのセッター１０１の搬入動作の手順と逆の手順によって、セッター１０１が搬送され、第４開口１８を通して被処理物１００が第２加熱室２０から第２チャンバユニット８０内における扉４５の下方に到達する。その後、扉４５が開かれ、セッター１０１が扉４５を通して第２チャンバユニット８０から取り出されることで、熱処理装置１における被処理物１０２の熱処理が完了する。
第１搬送手段３０に代えて第３搬送手段７０が行う点以外は、説明した、第１加熱室１０へのセッター１０１の搬入動作の手順と逆の手順によって、セッター１０１が搬送され、第４開口１８を通して被処理物１００が第２加熱室２０から第２チャンバユニット８０内における扉４５の下方に到達する。その後、扉４５が開かれ、セッター１０１が扉４５を通して第２チャンバユニット８０から取り出されることで、熱処理装置１における被処理物１０２の熱処理が完了する。
【0084】
上述したように、第１搬送手段３０によって被処理物１００を搬送する時は、第２開口１６及び第３開口１７が閉じられる。一方、第２搬送手段５０によって被処理物１００を搬送する時は、第１開口１５が閉じられる。この構成によると、被処理物１００の搬送中は、被処理物１００が通過していない開口は閉じられるので、加熱室１０から外部への熱の移動量を抑制できる。
【0085】
また、第３搬送手段７０によって被処理物１００を搬送する時は、第２開口１６及び第３開口１７が閉じられる。一方、第２搬送手段５０によって被処理物１００を搬送する時は、第４開口１８が閉じられる。この構成によると、被処理物１００の搬送中は、被処理物１００が通過していない開口は閉じられるので、加熱室２０から外部への熱の移動量を抑制できる。
【0086】
また、第１加熱室１０と第２加熱室２０の間で被処理物１００の搬送を終えて、第２搬送手段５０が第１加熱室１０の外部に移動する際に、第２開口１６より第３開口１７を先に閉じられる。このように、第２搬送手段５０の動きに応じて、第３開口１７と第２開口１６の閉じる順序を制御することで、加熱室１０，２０において、より熱の移動を抑制できる。
【0087】
以上が第１実施形態の説明である。
【0088】
以下では、第１実施形態と異なる構成を主に説明し、第１実施形態と同様の構成には図に同様の符号を付して詳細な説明を省略する場合がある。
【0089】
＜第２実施形態＞
【0090】
図７は、第２実施形態の熱処理装置１の構成を説明するための模式的な断面図である。
【0091】
第２実施形態の熱処理装置１は、第１実施形態の熱処理装置１においる第３搬送手段７０を除いた構成であり、第４開口１８が存在していない。
【0092】
第１実施形態では、搬送手段として、第１搬送手段３０と第２搬送手段５０と第３搬送手段７０が設けられていた。この第１実施形態の場合、セッター１０１は、矢印Ａ１～Ａ３の順に搬送された。より具体的には、被処理物１０２の熱処理後に、セッター１０１を第２加熱室２０から取出す時に、第３搬送手段７０によってセッター１０１を直接取り出した。一方で、第２実施形態は、一旦、第２搬送手段５０によってセッター１０１を第２加熱室２０から第１加熱室１０へ戻し、その後第１搬送手段３０でセッター１０１を取り出す構成になっている。
【0093】
＜第２実施形態におけるセッター１０１の搬送動作＞
次に、第２実施形態におけるセッター１０１の搬送動作を説明する。
次に、第２実施形態におけるセッター１０１の搬送動作を説明する。
【0094】
第２実施形態の熱処理装置１では、（１）セッター１０１を第１加熱室１０に搬入する動作、（２）セッター１０１を第１加熱室１０から第２加熱室２０へ搬送する動作、（３）セッター１０１を第２加熱室２０から第１加熱室１０へ搬送する動作、（４）セッター１０１を第１加熱室１０から搬出する動作、が行われる。これら（１）～（４）の動作では、セッター１０１は、図７の矢印Ｂ１～Ｂ４の順に搬送される。
【0095】
なお、第２実施形態では、第２搬送手段７０にてセッター１０１を第２加熱室２０から第１加熱室１０に搬送してから、第１搬送手段３０にて第１加熱室１０からセッター１０１を取り出すようにしているが、例えば、第２加熱室２０からセッター１０１を作業者が直接取り出すようにしてもよい。
【0096】
＜変形例＞
以下では、変形例を説明する。
以下では、変形例を説明する。
【0097】
（１）実施形態では、第１開口１５，第３開口１７，および第４開口１８を搬送方向から見て矩形状に形成し、第２開口１６を搬送方向から見て第２搬送ロッド５１の形状に相似する形状を例に説明した。しかしながら、この通りでなくてもよく、搬送方向から見て、第２開口１６が被処理物１００より小さく、第１開口１５，第３開口１７および第４開口１８が被処理物１００より大きければ、各開口１５～１８の具体的な形状は問わない。
【0098】
（２）各実施形態において、２つの加熱室１０，２０によって被処理物１００を加熱するための空間が２箇所に区画されている形態を例に説明したが、この通りでなくてもよい。例えば、１つの加熱室（例えば第１加熱室１０または第２加熱室２０）において、第３開口が形成された仕切板を設けて２つまたは３つ以上の室を設けてもよい。
【0099】
（３）各実施形態において、第１および第２加熱室１０，２０が隙間なく隣接しており被処理物１００がこれらの加熱室１０，２０間で直接搬送される形態を例に説明したが、この通りでなくてもよい。例えば、第１加熱室１０と第２加熱室２０とを離隔して配置しつつ、これらの加熱室１０，２０の内壁１２，２２に形成された第３開口１７を第２搬送方向Ｄ２に向かい合わせてもよい。この場合、被処理物１００は、第１加熱室１０と第２加熱室２０との間で搬送されるときに、一旦、第１加熱室１０と第２加熱室２０以外の箇所を通過する。
【0100】
（４）各実施形態では、第１，第２，第３搬送手段３０，５０，７０は、それぞれ、第１加熱室１０の壁１１ａ側、壁１１ｂ側、第２加熱室２０の壁２１ａ側に設置される形態を例に説明したが、この通りでなくてもよい。第２搬送手段５０は、第１加熱室１０における壁１１ｂ以外の壁１１側に設置されてもよい。第１搬送手段３０および第３搬送手段７０は、加熱室１０，２０の壁１１のうち、壁１１ａ，２１ａ以外の壁側に設置されてもよい。例えば、第１搬送手段３０および第３搬送手段７０の少なくとも一方が、加熱室１０，２０の壁１１ｄ，２１ｄ側、または壁１１ｅ，２１ｅ側に設置される場合、対応する第１搬送手段３０および第３搬送手段７０は、対応するワーク台１４，２４を上下に移動させることで、被処理物１００を加熱室の内部と外部に移動する。
【0101】
（５）各実施形態では、第１加熱室１０側に第２搬送手段５０が設置される構成を例に説明したが、第２搬送手段５０は、第２加熱室２０の例えば壁２１ｂ側に設置されて、壁２１ｂに形成される第２開口１６を通して加熱室１０，２０内に挿入されてもよい。この場合、第２搬送手段５０は、第１加熱室１０側にも設置されていてもよいし、第１加熱室１０側には設置されていなくてもよい。
【0102】
（６）各実施形態では、加熱室として第１加熱室１０と第２加熱室２０が合計で２つ備えられる形態を例に説明した。しかしながら、この通りでなくてもよい。例えば、熱処理装置１において、第２搬送方向Ｄ２に並ぶ３つ以上の加熱室が備えられていてもよい。この場合、例えば、第１加熱室１０および第２加熱室２０の少なくとも一方が２つ以上設置される。３つの加熱室が備えられる場合、加熱室の並び順は、例えば、第１加熱室１０、第２加熱室２０、第２加熱室２０の順であってもよいし、第２加熱室２０、第１加熱室１０、第２加熱室２０の順であってもよい。第２搬送方向Ｄ２に隣接する加熱室同士は、セッター１０１が通過する第３開口１７を形成された壁でつながっており、第２搬送手段５０によってセッター１０１が複数の加熱室間を搬送される。被処理物１０２の熱処理時における第１加熱室１０内の雰囲気温度と、複数の第２加熱室２０内の雰囲気温度は、同一でもよいし、互いに異なっていてもよい。３つ並べられる加熱室の雰囲気温度が、加熱室の並び順に低温、中温、高温と３段階に設定されていてもよい。また、この変形例では、熱処理装置１として第１搬送手段３０が少なくとも１つ備えられていればよく、搬送手段３０，７０の何れも設置されていない加熱室が存在していてもよい。
【0103】
（７）各実施形態では、第１搬送方向Ｄ１、第２搬送方向Ｄ２、および第３搬送方向Ｄ３は、それぞれ、当該方向に進むと突き当たる壁１１，２１の外面に対して直交する方向であった。しかしながら、この通りでなくてもよい。第１搬送方向Ｄ１、第２搬送方向Ｄ２、および第３搬送方向Ｄ３は、そのうちの少なくとも１つが、当該方向に進むと突き当たる壁１１，２１の外面に対して斜めに交差する方向であってもよい。この場合、第１搬送手段３０および第３搬送手段７０のいずれかの長手方向が、前後方向、または上下方向に対して傾斜した方向となる、或いは、第２搬送手段５０の長手方向が、左右方向に対して傾斜した方向となる。
【0104】
（７）各実施形態では、各搬送ロッド３１，５１，７１が一対設けられてセッター１０１を両持ち支持する形態を例に説明した。しかしながら、この通りでなくてもよい。各搬送ロッド３１，５１，７１の少なくとも１つにおいて、一本のロッドでセッター１０１を片持ち支持する構成であってもよい。第２搬送手段５０の第２搬送ロッド５１が一本設けられる場合、第２開口１６を２つから１つにできるので、第２開口１６を通じた加熱室からの熱の逃げをより確実に抑制できる。また、第１開口１５、第３開口１７，および第４開口１８も、省略された搬送手段が存在していた箇所を開口から壁に変更できるので、これらの開口１５，１７，１８からの熱の逃げをより確実に抑制できる。
【0105】
（９）各実施形態では、第１，第２，第３搬送手段３１，５１，７１の本体３５の軸断面形状が円形である形態を例に説明したが、この通りでなくてもよく、例えば、軸断面形状は、楕円でも多角形でも他の形状でもよい。
【0106】
（１０）各実施形態では、第１開口１５、第３開口１７、および第４開口１８のそれぞれにおいて、２つの搬送手段３１，３１；５１，５１；７１，７１が向かい合う箇所には加熱室の壁が存在せず開口となっている形態を例に説明した。しかしながら、この通りでなくてもよい。例えば、変形例について説明するための図８（Ａ）に示すように、第１開口１５、第３開口１７、および第４開口１８の少なくとも１つにおいて、２つの搬送手段３１，３１；５１，５１；７１，７１の間に加熱室の壁部分９２が存在してもよい。この場合、壁部分９２は、開口の内側に突出した形状となる。壁部分９２が存在することで、搬送手段３１，５１，７１による被処理物１００の搬送の邪魔になることなく、開口をより小さくできる。よって、加熱室からの熱の逃げをより一層抑制できる。
【0107】
（１１）各実施形態では、第１，第２，第３搬送手段３１，５１，７１は、本体３５に凸部３６が固定されている形態を例に説明したが、この通りでなくてもよい。例えば、別の変形例について説明するための図８（Ｂ）に示すように、本体３５と凸部３６を別部材で形成し、本体３５の外周面からの凸部３６の突出量を変更可能な構成が採用されてもよい。この突出量を変更する構成として、例えば、本体３５内に形成された流体経路を通じて圧縮ガスを供給する機械的手段や、ソレノイドを用いた電気的手段などを挙げることができる。この場合、凸部３６は、被処理物１００を支持するときには本体３５から突出して被処理物１００と接触し、被処理物１００を支持していないときには本体３５に収容される。このような構成であれば、第１～第４開口１５～１８において、凸部３６が通過する専用の空間を確保する必要がなく、これらの開口をより小さくして熱の逃げを抑制できる。
【0108】
（１２）各実施形態では、第１，第２，第３搬送手段３０，５０，７０は、被処理物１００と上下に並ぶ配置とされていたが、この通りでなくてもよい。例えば、さらに別の変形例である図８（Ｃ）に示すように、搬送手段と被処理物１００とが搬送方向に並ぶ配置とされてもよい。この場合、第１，第２，第３搬送手段３０，５０，７０の何れかは、例えば、セッター１０１を例えば吸着する構成、またはセッター１０１に形成された凹部または凸部に嵌合する凸部または凹部を有する構成などによって、セッター１０１を支持する。図８（Ｃ）では、一例として、第２搬送手段５０を示している。被処理物１００を搬送する搬送方向から見て、第２搬送手段５０におけるセッター１０１と接触する部分が被処理物１００よりも小さくされていることで、第２開口１６を被処理物１００より小さくできる。この場合も、第１開口１５、第３開口１７および第４開口１８は、被処理物１００を搬送する方向から見て被処理物１００より大きくされる。
【0109】
（１３）各実施形態では、各搬送手段３０，５０，７０としてアクチュエータを介してロッドを直線移動させる搬送装置を例に説明した。しかしながら、この通りでなくてもよい。第１搬送手段３０は、第１加熱室１０の内部と外部との間でセッター１０１を搬送できればよく、第２搬送手段５０は、複数の加熱室間でセッター１０１を搬送できればよく、第３搬送手段７０は、第２加熱室の内部と外部との間でセッター１０１を搬送できればよい。よって、各搬送手段３０，５０，７０として、セッター１０１を載置する支持部と、搬送方向に伸縮するアームとそれらを動作させるアクチュエータを備えた搬送装置や、多関節アームの先端にセッター１０１を載せて移送する搬送装置などが用いられてもよい。これらの搬送装置にて、セッター１０１が対応する搬送方向Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３にそれぞれ搬送される。また、各実施形態では、セッター１０１が直線移動される形態を例に説明したけれども、少なくとも１つの搬送手段においてセッター１０１は、直線ではない曲線などの搬送方向に沿って搬送されてもよい。この場合でも、第１，第３，第４開口１５，１７，１８は、被処理物１００を支持した状態の搬送手段を通過させる大きさとされ、第２開口１６は、被処理物１００よりも小さく形成される。
【0110】
（１４）また、第２搬送手段５１によって被処理物１００を搬送する時に、第１開口１５、および第４開口１８の少なくとも一方は、開かれていてもよい。また、第２搬送手段５１によって、第１加熱室１０と第２加熱室２０の間で被処理物１００の搬送を終えて、第２搬送手段５１が第１加熱室１０の外部に移動する際に、第２開口１６より後に第３開口１７を閉じてもよい。
【0111】
（１５）各実施形態では、被処理部品１０２が小さい又は機械的強度が低く脆い素材で形成されているなど、被処理部品１０２をセッター１０１に載せられた状態で、搬送および熱処理が行われる例について説明したが、搬送手段にて直接に掴んだり載せたりできる被処理部品１０２は、セッター１０１に載せて搬送しなくてもよく、直接搬送されてもよい。この場合、被処理部品１０２が被処理物１００でもある。
【産業上の利用可能性】
【0112】
本発明は、熱処理装置として、広く適用することができる。
【符号の説明】
【0113】
１ 熱処理装置
２ 扉（開口を開閉させる手段）
１０ 第１加熱室
１５ 第１開口
１６ 第２開口
１７ 第３開口
２０ 第２加熱室
３１ 第１搬送手段
４２ 遮熱扉（開口を開閉させる手段）
５１ 第２搬送手段
１００ 被処理物
２ 扉（開口を開閉させる手段）
１０ 第１加熱室
１５ 第１開口
１６ 第２開口
１７ 第３開口
２０ 第２加熱室
３１ 第１搬送手段
４２ 遮熱扉（開口を開閉させる手段）
５１ 第２搬送手段
１００ 被処理物
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】