特開 2024-85030 基板収納容器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024085030

(43)【公開日】2024-06-26

(54)【発明の名称】基板収納容器

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20240619BHJP

   B65D 85/30 20060101ALN20240619BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

B65D85/30 500

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022199346

(22)【出願日】2022-12-14

(71)【出願人】

【識別番号】000190116

【氏名又は名称】信越ポリマー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100128381

【弁理士】

【氏名又は名称】清水 義憲

(74)【代理人】

【識別番号】100171583

【弁理士】

【氏名又は名称】梅景 篤

(72)【発明者】

【氏名】五十嵐 壮紀

(72)【発明者】

【氏名】長谷川 晃裕

(72)【発明者】

【氏名】田鹿 紗代

【テーマコード（参考）】

3E096

5F131

【Ｆターム（参考）】

3E096AA05

3E096BA15

3E096BB04

3E096CA02

3E096CC02

3E096DA01

3E096DA17

3E096DB02

3E096DC04

3E096EA02X

3E096FA31

3E096GA12

5F131AA02

5F131BA00

5F131CA18

5F131FA02

5F131GA14

5F131GA53

5F131GA76

5F131GA88

5F131KA05

5F131KB32

(57)【要約】

【課題】外部装置に安定して固定されることが可能な基板収納容器を提供すること。
【解決手段】基板収納容器は、底板２２を有する容器本体と、容器本体に設けられる一体成形品である構造体７と、底板２２に接合され、構造体７を容器本体に着脱可能に保持する保持部材６と、を備え、保持部材６は、構造体７の前後方向における移動を規制する規制部６２，６３と、規制部６２に設けられ、底板２２の底面２２ａから離間するとともに規制部６３に向かって突出する突出片６４と、規制部６３に設けられ、底面２２ａから離間するとともに規制部６２に向かって突出する突出片６５と、を備え、構造体７は、基板収納容器を外部装置に固定するための固定部７２と、外部装置が基板収納容器を検知するための検知部７３と、突出片６４及び突出片６５に係合することにより構造体７を保持部材６に取り付ける取付部７７と、を備える。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板収納容器であって、
基板を収納する収容空間を画定する底板を有する容器本体と、
前記容器本体に設けられる一体成形品である構造体と、
前記底板に接合され、前記構造体を前記容器本体に着脱可能に保持する保持部材と、
を備え、
前記底板は、前記基板収納容器の外部に面する底面を有し、
前記保持部材は、
前記底面に沿った第１方向において互いに向かい合い、前記構造体の前記第１方向における移動を規制する第１規制部及び第２規制部と、
前記第１規制部に設けられ、前記底面と交差する第２方向において前記底面から離間するとともに前記第１方向において前記第２規制部に向かって突出する第１突出片と、
前記第２規制部に設けられ、前記第２方向において前記底面から離間するとともに前記第１方向において前記第１規制部に向かって突出する第２突出片と、を備え、
前記構造体は、
前記基板収納容器を外部装置に固定するための固定部と、
前記外部装置が前記基板収納容器を検知するための検知部と、
前記第１突出片及び前記第２突出片に係合することにより前記構造体を前記保持部材に取り付ける取付部と、を備える、基板収納容器。

【請求項2】

前記構造体は、前記第１方向において互いに向かい合い、前記固定部を支持する第１壁部及び第２壁部を更に備え、
前記固定部は、前記底面と向かい合う板状の部材であって、前記第１方向における両端である第１端及び第２端を有し、
前記第１壁部は、前記第１方向において前記第２壁部に向かって突出するとともに前記第１端に接続される第１突出部を備え、
前記第２壁部は、前記第１方向において前記第１壁部に向かって突出するとともに前記第２端に接続される第２突出部を備え、
前記取付部は、
前記第１突出部に設けられ、前記第１方向及び前記第２方向と交差する第３方向において前記第１突出片を挟むとともに、前記第２方向において前記第１突出片に係止される一対の第１係止片と、
前記第２突出部に設けられ、前記第３方向において前記第２突出片を挟むとともに、前記第２方向において前記第２突出片に係止される一対の第２係止片と、を備える、請求項１に記載の基板収納容器。

【請求項3】

前記固定部は、前記第２方向に延びる筒状部を備え、
前記取付部は、
前記筒状部の外周面に設けられ、前記第１突出片と前記底面との間に嵌り込む第１突起部と、
前記筒状部の外周面に設けられ、前記第２突出片と前記底面との間に嵌り込む第２突起部と、を備える、請求項１に記載の基板収納容器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、基板収納容器に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体ウエハなどの基板を収納する基板収納容器が知られている。例えば、特許文献１には、容器本体と、容器本体の底面部に設けられたボトムプレートと、を備えるウエハ搬送容器が記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００８－１０５７４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

このような基板収納容器は、基板収納容器が有するドアが開閉されるときに外部装置に固定されることがあるので、基板収納容器の底部には、基板収納容器を外部装置に固定するためのクランプ構造（センタークランプ）が設けられることがある。さらに、基板収納容器の底部には、基板収納容器を検知するための検知パッドが設けられることがある。センタークランプの機能を有する部品と、検知パッドが設けられた部品とが、容器本体の底部に設けられた部品に嵌め合わされることによって、基板収納容器にこれらの機能が付加され得る。

【0005】

各部品の寸法公差などに起因して、嵌め合わされた部品間にクリアランスが生じることがある。このクリアランスによってセンタークランプの厳密な位置決めができないおそれがあるので、外部装置に基板収納容器が一層安定して固定されることが望まれる。

【0006】

本開示は、外部装置に安定して固定されることが可能な基板収納容器を説明する。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本開示の一側面に係る基板収納容器は、基板を収納する収容空間を画定する底板を有する容器本体と、容器本体に設けられる一体成形品である構造体と、底板に接合され、構造体を容器本体に着脱可能に保持する保持部材と、を備える。底板は、基板収納容器の外部に面する底面を有する。保持部材は、底面に沿った第１方向において互いに向かい合い、構造体の第１方向における移動を規制する第１規制部及び第２規制部と、第１規制部に設けられ、底面と交差する第２方向において底面から離間するとともに第１方向において第２規制部に向かって突出する第１突出片と、第２規制部に設けられ、第２方向において底面から離間するとともに第１方向において第１規制部に向かって突出する第２突出片と、を備える。構造体は、基板収納容器を外部装置に固定するための固定部と、外部装置が基板収納容器を検知するための検知部と、第１突出片及び第２突出片に係合することにより構造体を保持部材に取り付ける取付部と、を備える。

【0008】

この基板収納容器においては、基板収納容器を外部装置に固定するための固定部と、外部装置が基板収納容器を検知するための検知部と、保持部材に取り付けるための取付部とを備える構造体が一体成形品として構成されている。容器本体の底板に接合された保持部材の第１突出片及び第２突出片に取付部が係合することによって、構造体が保持部材に取り付けられる。したがって、構造体と保持部材との２つの部品が係合するので、３つの部品が係合する構成と比較して、固定部の位置を安定化することができる。その結果、基板収納容器を外部装置に安定して固定することが可能となる。

【0009】

いくつかの実施形態において、構造体は、第１方向において互いに向かい合い、固定部を支持する第１壁部及び第２壁部を更に備えてもよい。固定部は、底面と向かい合う板状の部材であって、第１方向における両端である第１端及び第２端を有してもよい。第１壁部は、第１方向において第２壁部に向かって突出するとともに第１端に接続される第１突出部を備えてもよい。第２壁部は、第１方向において第１壁部に向かって突出するとともに第２端に接続される第２突出部を備えてもよい。取付部は、第１突出部に設けられ、第１方向及び第２方向と交差する第３方向において第１突出片を挟むとともに、第２方向において第１突出片に係止される一対の第１係止片と、第２突出部に設けられ、第３方向において第２突出片を挟むとともに、第２方向において第２突出片に係止される一対の第２係止片と、を備えてもよい。この場合、第１壁部の第１突出部に設けられた一対の第１係止片が第３方向において第１突出片を挟むとともに、第２方向において第１突出片に係止され、第２壁部の第２突出部に設けられた一対の第２係止片が第３方向において第２突出片を挟むとともに、第２方向において第２突出片に係止される。この構成により、構造体を保持部材に取り付けることができる。その結果、基板収納容器の製造を簡易化することができる。

【0010】

いくつかの実施形態において、固定部は、第２方向に延びる筒状部を備えてもよい。取付部は、筒状部の外周面に設けられ、第１突出片と底面との間に嵌り込む第１突起部と、筒状部の外周面に設けられ、第２突出片と底面との間に嵌り込む第２突起部と、を備えてもよい。この場合、筒状部の外周面に設けられた第１突起部を、保持部材の第１突出片と容器本体の底板の底面との間に嵌り込ませ、筒状部の外周面に設けられた第２突起部を、保持部材の第２突出片と容器本体の底板の底面との間に嵌り込ませるだけで、構造体を保持部材に取り付けることができる。その結果、基板収納容器の製造を簡易化することができる。

【発明の効果】

【0011】

本開示によれば、基板収納容器を外部装置に安定して固定することができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】図１は、一実施形態に係る基板収納容器の分解斜視図である。

【図2】図２は、図１に示される基板収納容器の底面図である。

【図3】図３は、図２に示される基板収納容器の底部の分解斜視図である。

【図4】図４は、図２に示される構造体の斜視図である。

【図5】図５は、図４に示される構造体を後方から見た斜視図である。

【図6】図６は、図２のＶI－ＶI線に沿った断面図である。

【図7】図７は、比較例の基板収納容器の底部の分解斜視図である。

【図8】図８は、構造体の別例の斜視図である。

【図9】図９は、図８に示される構造体を保持部材に取り付ける手順を説明するための図である。

【図10】図１０は、図８に示される構造体が保持部材に取り付けられた状態を示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、図面を参照しながら本開示の実施形態が詳細に説明される。なお、図面の説明において同一要素には同一符号が付され、重複する説明は省略される。各図には、ＸＹＺ座標系が示される。Ｙ軸方向（第１方向）は、Ｘ軸方向（第３方向）及びＺ軸方向（第２方向）と交差（ここでは、直交）する方向である。Ｚ軸方向は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向と交差（ここでは、直交）する方向である。一例として、Ｘ軸方向は、左右方向（幅方向）であり、Ｙ軸方向は、前後方向（奥行方向）であり、Ｚ軸方向は、上下方向（高さ方向）である。説明の便宜上、「前」、「後」、「上」、「下」、「左」、及び「右」の用語が用いられるが、これらの方向に限定されない。

【0014】

図１を参照しながら、一実施形態に係る基板収納容器を説明する。図１は、一実施形態に係る基板収納容器の分解斜視図である。図１に示される基板収納容器１は、複数の基板を収納するための容器である。基板収納容器１は、例えば、ＦＯＳＢ（Front Opening Shipping Box）と称され、工場間で基板を輸送するために用いられる。基板収納容器１は、例えば、ＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials International）規格を参考にして構成されている。基板の例としては、半導体ウエハが挙げられる。基板は、例えば、３００ｍｍの直径及び７７５μｍの厚さを有する円板形状を有する。基板収納容器１に収納可能な基板の枚数は、任意に定められており、例えば、２５枚である。

【0015】

基板収納容器１は、容器本体２と、蓋体３と、一対の支持体４と、を含む。

【0016】

容器本体２は、正面（前面）に開口２ａが設けられたフロントオープン型の容器である。容器本体２は、複数の基板を収納する。具体的には、容器本体２は、複数の基板を上下方向に配列した状態で収納する。開口２ａを介して基板が容器本体２に出し入れされる。

【0017】

容器本体２は、天板２１と、底板２２と、一対の側壁２３と、背面壁２４と、枠体２５と、を含む。天板２１、底板２２、一対の側壁２３、及び背面壁２４によって、複数の基板を収納するための収容空間２０が画定される。底板２２は、容器本体２の外部に面する底面２２ａ（図２参照）を有する。枠体２５は、矩形状の枠体であって、天板２１の前端、底板２２の前端、及び一対の側壁２３の前端にわたって設けられている。枠体２５によって、開口２ａが画定される。枠体２５は、外側に広がるように段差をつけて屈曲形成されており、その段差部の面が、ガスケットなどの封止部材が接触するシール面として機能する。

【0018】

蓋体３は、容器本体２の開口２ａを閉塞するための部材である。蓋体３は、枠体２５に着脱自在に取り付けられる。蓋体３は、ガスケットなどの封止部材を介して容器本体２の開口２ａを気密に閉塞する。蓋体３は、蓋本体３１と、施錠機構３２と、を含む。

【0019】

蓋本体３１は、蓋体３の本体部分である。蓋本体３１は、矩形状の板材である。蓋本体３１の前面には、鍵穴３１ｈが設けられている。鍵穴３１ｈには、不図示の鍵が挿入される。施錠機構３２は、鍵穴３１ｈに挿入された鍵が操作されることによって、蓋体３を施錠又は解錠する。施錠機構３２は、不図示のラッチを含む。蓋体３が容器本体２の開口２ａを塞いでいる状態で、鍵の操作によりラッチが枠体２５に設けられた施錠穴（不図示）に嵌入されることによって蓋体３が施錠される。蓋体３が施錠されている状態で、鍵の操作によりラッチが施錠穴から引き抜かれることよって蓋体３が解錠される。

【0020】

容器本体２及び蓋体３の材料の例としては、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、及び液晶ポリマーなどの熱可塑性樹脂が挙げられる。この熱可塑性樹脂には、導電材、各種の帯電防止材、及び紫外線吸収材などが適宜添加されてもよい。導電材の例としては、導電性カーボン、導電繊維、金属繊維、及び導電性高分子が挙げられる。

【0021】

一対の支持体４は、基板を支持する部材である。各支持体４は、側壁２３の内面に設けられ、側壁２３の内面から収容空間２０に突出している。各支持体４には、前後方向に延びる複数の溝が設けられている。複数の溝は、側壁２３に向かって窪む形状を有してもよい。複数の溝は、上下方向に並設されている。一対の支持体４に設けられた同じ高さに位置する溝に、基板の左右方向の両端部が挿入されることによって、基板が支持される。各支持体４は、インサート成形によって容器本体２に一体的に形成されてもよく、組み立て式で容器本体２に組付けられてもよい。各支持体４の構成材料の例として、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、液晶ポリマー、ポリブチレンテレフタレート、及びポリエーテルエーテルケトンなどの熱可塑性樹脂が挙げられる。

【0022】

次に、図２を参照しながら、容器本体２の底部に設けられる部材を説明する。図２は、図１に示される基板収納容器の底面図である。図２に示されるように、基板収納容器１は、位置決め部材５と、保持部材６と、構造体７と、を更に含む。

【0023】

位置決め部材５は、ロードポートなどの外部装置が基板収納容器１（容器本体２）の位置決めを行うために用いられる部材である。位置決め部材５は、底面２２ａから下方に突出するように、底板２２に設けられる。位置決め部材５は、底板２２に向かって（上方に）Ｖ字状に窪むＶ字面を有している。Ｖ字面には、必要に応じて、耐摩耗性、及び摺動性を向上させる表面処理が施され得る。本実施形態では、基板収納容器１は、３つの位置決め部材５を含む。各位置決め部材５は、インサート成形によって容器本体２に一体的に形成されてもよく、組み立て式で容器本体２に組付けられてもよい。各位置決め部材５の構成材料の例として、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、液晶ポリマー、ポリブチレンテレフタレート、及びポリエーテルエーテルケトンなどの熱可塑性樹脂が挙げられる。

【0024】

保持部材６は、構造体７を容器本体２に着脱可能に保持する部材である。保持部材６は、底板２２に接合されている。保持部材６は、インサート成形によって容器本体２に一体的に形成されてもよく、組み立て式で容器本体２に組付けられてもよい。保持部材６の構成材料の例として、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、液晶ポリマー、ポリブチレンテレフタレート、及びポリエーテルエーテルケトンなどの熱可塑性樹脂が挙げられる。

【0025】

構造体７は、基板収納容器１に各種機能を付加するための部材である。構造体７は、一体成形品であって、容器本体２に設けられる。構造体７の構成材料の例として、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、液晶ポリマー、ポリブチレンテレフタレート、及びポリエーテルエーテルケトンなどの熱可塑性樹脂が挙げられる。保持部材６及び構造体７の詳細は後述する。

【0026】

次に、図３～図６を参照しながら、保持部材６及び構造体７を詳細に説明する。図３は、図２に示される基板収納容器の底部の分解斜視図である。図４は、図２に示される構造体の斜視図である。図５は、図４に示される構造体を後方から見た斜視図である。図６は、図２のＶI－ＶI線に沿った断面図である。図３に示されるように、保持部材６は、基部６１と、規制部６２（第１規制部）と、規制部６３（第２規制部）と、突出片６４（第１突出片）と、突出片６５（第２突出片）と、を含む。

【0027】

基部６１は、底板２２に接合される板状の部分である。基部６１は、底板２２に埋設されている。基部６１は、平面視でＴ字状の形状を有している。基部６１は、第１部分６１ａと、第２部分６１ｂと、連結部分６１ｃと、を含む。第１部分６１ａは、規制部６２が設けられる部分であり、平面視で規制部６２よりもひと回り大きい形状を有する。第２部分６１ｂは、規制部６３が設けられる部分であり、平面視で規制部６３よりもひと回り大きい形状を有する。連結部分６１ｃは、第１部分６１ａと第２部分６１ｂとを連結する部分である。連結部分６１ｃには、上下方向に連結部分６１ｃを貫通する矩形状の貫通孔６１ｈが設けられている。

【0028】

規制部６２及び規制部６３は、構造体７の前後方向における移動を規制する部材である。規制部６２は、構造体７の前方への移動を規制する。規制部６３は、構造体７の後方への移動を規制する。規制部６２と規制部６３とは、前後方向において互いに向かい合うように設けられる。

【0029】

規制部６２は、左右方向に延びる直方体形状を有する。規制部６２は、基板収納容器１を外部装置に固定するフロントリテーナとしても機能する。規制部６２の下面の左右方向における両端部には、溝６２ａが設けられている。溝６２ａは、規制部６２の前端の近傍から規制部６２の後端まで前後方向に延びている。

【0030】

規制部６３は、前後方向と実質的に直交する主面を有する板状の形状を有する。規制部６３は、検知面６３ａを有する。検知面６３ａは、規制部６３の先端に位置し、構造体７が保持部材６に取り付けられている状態で下方を向く面である。検知面６３ａは、外部装置によって検知されるセンシングパッドとして機能する。

【0031】

突出片６４及び突出片６５は、構造体７を取り付けるために用いられる部分である。突出片６４は、規制部６２の後面に設けられ、前後方向において規制部６３に向かって（後方に）規制部６２の後面から突出している。突出片６４は、上下方向において底面２２ａから離間している。突出片６４の先端は、円弧状に窪んでいる。突出片６５は、規制部６３の前面に設けられ、前後方向において規制部６２に向かって（前方に）規制部６３の前面から突出している。突出片６５は、上下方向において底面２２ａから離間している。突出片６５の先端は、円弧状に窪んでいる。

【0032】

図３～図６に示されるように、構造体７は、基部７１と、固定部７２と、検知部７３と、壁部７４（第１壁部）と、壁部７５（第２壁部）と、一対の側壁部７６と、取付部７７と、を含む。ここでは、構造体７が保持部材６に取り付けられている状態における構造体７を説明する。

【0033】

基部７１は、基部６１上に載置される板状の部分である。構造体７が保持部材６に取り付けられる際に、基部７１が突出片６４と干渉しないように、基部７１の前縁は突出片６４の形状に沿って窪んでいる。構造体７が保持部材６に取り付けられる際に、基部７１が突出片６５と干渉しないように、基部７１の後縁は突出片６５の形状に沿って窪んでいる。基部７１は、面７１ａと、面７１ｂと、を有する。面７１ａは、基部６１と向かい合う面である。面７１ｂは、面７１ａとは反対側の面であり、固定部７２と向かい合う面である。

【0034】

固定部７２は、基板収納容器１を外部装置に固定するための部分である。固定部７２は、上下方向において底面２２ａ（基部７１）と向かい合う板状の形状を有する。固定部７２は、後方に向かうにつれて底面２２ａから離れるようにわずかに傾斜している。固定部７２は、前後方向における両端である前端７２ａ（第１端）及び後端７２ｂ（第２端）を有している。固定部７２には、固定部７２を上下方向に貫通する貫通孔７２ｈが設けられている。貫通孔７２ｈは、前後方向に延びる長孔である。

【0035】

検知部７３は、外部装置が基板収納容器１を検知するための部分である。検知部７３は、一対の検知体７３ａを含む。各検知体７３ａは、前後方向に延びる板状の形状を有する。一対の検知体７３ａは、左右方向において固定部７２を挟むように設けられている。各検知体７３ａは、検知面７３ｂを有する。検知面７３ｂは、構造体７が保持部材６に取り付けられている状態で、下方を向く面である。検知面７３ｂは、固定部７２の上面（底面２２ａと向かい合う面）と実質的に平行である。検知面６３ａ及び一対の検知体７３ａの検知面７３ｂは、略同一平面上に位置する。検知面７３ｂは、検知面６３ａと同様、外部装置によって検知されるセンシングパッドとして機能する。

【0036】

壁部７４及び壁部７５は、固定部７２を支持する部分である。壁部７４及び壁部７５は、前後方向において固定部７２を挟むように基部７１に設けられている。壁部７４と壁部７５とは、前後方向において互いに向かい合っており、実質的に平行に配置されている。壁部７４は、基部７１の前縁に沿って面７１ｂに立設されている。壁部７５は、基部７１の後縁に沿って面７１ｂに立設されている。

【0037】

壁部７４は、本体部７４ａと、突出部７４ｂ（第１突出部）と、を含む。本体部７４ａは、板状の部分である。本体部７４ａには、開口部７４ｃが設けられている。開口部７４ｃは、構造体７が保持部材６に取り付けられる際に壁部７４が突出片６４と干渉しないように、本体部７４ａのうちの突出片６４が通過する部分に設けられている。突出部７４ｂは、本体部７４ａの後面に設けられ、前後方向において壁部７５に向かって本体部７４ａの後面から突出している。突出部７４ｂは、固定部７２の前端７２ａに接続されている。突出部７４ｂは、平面視で突出片６４と実質的に同じ形状を有する。

【0038】

壁部７５は、本体部７５ａと、突出部７５ｂ（第２突出部）と、を含む。本体部７５ａは、板状の部分である。本体部７５ａには、開口部７５ｃが設けられている。開口部７５ｃは、構造体７が保持部材６に取り付けられる際に壁部７５が突出片６５と干渉しないように、本体部７５ａのうちの突出片６５が通過する部分に設けられている。突出部７５ｂは、本体部７５ａの前面に設けられ、前後方向において壁部７４に向かって本体部７５ａの前面から突出している。突出部７５ｂは、固定部７２の後端７２ｂに接続されている。突出部７５ｂは、平面視で突出片６５と実質的に同じ形状を有する。

【0039】

一対の側壁部７６は、検知部７３を支持する部分である。一対の側壁部７６は、左右方向において固定部７２を挟むように基部７１に設けられている。一対の側壁部７６は、左右方向において互いに向かい合っており、実質的に平行に配置されている。一対の側壁部７６は、基部７１の左右の縁に沿って面７１ｂに立設されている。右側の側壁部７６の下端は右側の検知体７３ａの左端に接続されており、左側の側壁部７６の下端は左側の検知体７３ａの右端に接続されている。つまり、一対の検知体７３ａは、左右方向に互いに離れるように各側壁部７６の下端から延びている。

【0040】

基部７１、固定部７２、壁部７４、壁部７５、及び一対の側壁部７６によって、空間Ｖが画定されている。空間Ｖは、ロードポートなどの外部装置が基板収納容器１を固定するために用いられ、空間Ｖには外部装置のＴ字状の固定具が挿入される。

【0041】

各側壁部７６には、空間Ｖと外部とを連通する開口部７６ａが設けられている。開口部７６ａは、左右方向から見て、空間Ｖと同じ大きさを有する。つまり、開口部７６ａは、上下方向において、側壁部７６の下端から基部７１の面７１ｂにわたって広がっており、前後方向において、壁部７４の後面から壁部７５の前面にわたって広がっている。

【0042】

取付部７７は、突出片６４及び突出片６５に係合することにより構造体７を保持部材６に取り付ける部分である。取付部７７は、スナップフィット構造により、構造体７を保持部材６に取り付ける。取付部７７は、一対の係止片７８（第１係止片）と、一対の係止片７９（第２係止片）と、を含む。

【0043】

一対の係止片７８は、左右方向において互いに離間して設けられている。一対の係止片７８は、突出部７４ｂの左右両端に設けられ、突出部７４ｂから底面２２ａ（面７１ｂ）に向かって延びている。一対の係止片７８は、前後方向において開口部７４ｃ及び開口部７５ｃと重なる位置に設けられ、左右方向において開口部７６ａと重なる位置に設けられている。各係止片７８は、フック状の形状を有している。具体的には、各係止片７８は、柱部７８ａと、爪部７８ｂと、を含む。

【0044】

柱部７８ａは可撓性を有する。柱部７８ａの上下方向における長さは、突出片６４の上下方向における長さ（厚さ）と実質的に同じである。柱部７８ａの基端は突出部７４ｂに接続されている。柱部７８ａの先端には爪部７８ｂが設けられている。爪部７８ｂは、他方の爪部７８ｂに向かって突出している。爪部７８ｂは、傾斜面７８ｃを有する。傾斜面７８ｃは、上下方向において柱部７８ａに近づくにつれて、左右方向において他方の爪部７８ｂに近づくように傾斜している。

【0045】

構造体７が保持部材６に取り付けられている状態において、一対の係止片７８は、左右方向において突出片６４を挟むとともに、上下方向において突出片６４に係止される。具体的には、一対の係止片７８の柱部７８ａが左右方向において突出片６４を挟み、一対の係止片７８の爪部７８ｂが突出片６４の面７１ｂと向かい合う面によって係止される。

【0046】

一対の係止片７９は、左右方向において互いに離間して設けられている。一対の係止片７９は、突出部７５ｂの左右両端に設けられ、突出部７５ｂから底面２２ａ（面７１ｂ）に向かって延びている。一対の係止片７９は、前後方向において開口部７４ｃ及び開口部７５ｃと重なる位置に設けられ、左右方向において開口部７６ａと重なる位置に設けられている。各係止片７９は、柱部７９ａと、爪部７９ｂと、を含む。

【0047】

柱部７９ａは可撓性を有する。柱部７９ａの上下方向における長さは、突出片６５の上下方向における長さ（厚さ）と実質的に同じである。柱部７９ａの基端は突出部７５ｂに接続されている。柱部７９ａの先端には爪部７９ｂが設けられている。爪部７９ｂは、他方の爪部７９ｂに向かって突出している。爪部７９ｂは、傾斜面７９ｃを有する。傾斜面７９ｃは、上下方向において柱部７９ａに近づくにつれて、左右方向において他方の爪部７９ｂに近づくように傾斜している。

【0048】

構造体７が保持部材６に取り付けられている状態において、一対の係止片７９は、左右方向において突出片６５を挟むとともに、上下方向において突出片６５に係止される。具体的には、一対の係止片７９の柱部７９ａが左右方向において突出片６５を挟み、一対の係止片７９の爪部７９ｂが突出片６５の面７１ｂと向かい合う面によって係止される。

【0049】

次に、図７を更に参照して比較例の基板収納容器と比較しながら、基板収納容器１の底部の組立方法を説明する。図７は、比較例の基板収納容器の底部の分解斜視図である。図７に示される基板収納容器１００は、構造体７に代えて検知部材１０７及び固定部材１０８を含む点において、基板収納容器１と主に相違する。

【0050】

検知部材１０７は、一対の側壁部７６に代えて一対の壁部１７６を含む点、並びに、固定部７２及び取付部７７を含まない点において、構造体７と主に相違する。一対の壁部１７６は、開口部７６ａが設けられていない点において一対の側壁部７６と主に相違する。

【0051】

固定部材１０８は、円筒形状を有する部材である。固定部材１０８の一端は、開放されており、固定部材１０８の他端には、貫通孔１０８ｈが設けられている。固定部材１０８の一端には、固定部材１０８を保持部材６に取り付けるための突起部１０８ａ及び突起部１０８ｂが設けられている。突起部１０８ａ及び突起部１０８ｂは、固定部材１０８の一端において筒状部分の外周面に設けられている。突起部１０８ａと突起部１０８ｂとは、筒状部分の中心軸に対して実質的に点対称に設けられており、筒状部分の外周面から互いに反対方向に突出している。

【0052】

基板収納容器１００では、まず、壁部７４の突出部７４ｂが開口部７４ｃを介して突出片６４に重ね合わせられ、壁部７５の突出部７５ｂが開口部７５ｃを介して突出片６５に重ね合わせられるように、検知部材１０７が保持部材６に載置される。これにより、一対の検知体７３ａの一端部が規制部６２上に載置されるとともに、一対の側壁部７６の上端が底面２２ａに当接する。このとき、検知部材１０７は保持部材６に固定されていない。

【0053】

続いて、突起部１０８ａ及び突起部１０８ｂが突出部７４ｂ及び突出部７５ｂと干渉しないように固定部材１０８の中心軸回りに固定部材１０８の向きが調整されて、固定部材１０８の一端が基部７１に載置される。そして、固定部材１０８がその中心軸回りに回転されることで、突起部１０８ａが突出片６４と基部７１との間に嵌り込み、突起部１０８ｂが突出片６５と基部７１との間に嵌り込む。

【0054】

以上により、検知部材１０７及び固定部材１０８が保持部材６に取り付けられる。

【0055】

一方、基板収納容器１では、壁部７４の突出部７４ｂが開口部７４ｃを介して突出片６４に重ね合わせられ、壁部７５の突出部７５ｂが開口部７５ｃを介して突出片６５に重ね合わせられるように、構造体７が保持部材６に向けて押し込まれる。このとき、突出片６４の左右両端が一対の係止片７８の爪部７８ｂの傾斜面７８ｃに沿って摺動するので、一対の係止片７８が左右方向に互いに離れるような押圧力が各係止片７８に加わる。これにより、柱部７８ａが弾性変形して一対の係止片７８が左右方向に押し広げられる。そして、突出片６４が爪部７８ｂ間を通過すると、突出片６４によって各係止片７８に加えられていた押圧力が解除され、柱部７８ａの弾性力により柱部７８ａの形状が元の形状に戻る。その結果、一対の柱部７８ａによって突出片６４が左右方向に挟まれ、爪部７８ｂが突出片６４の上面に当接する。

【0056】

一対の係止片７９についても同様に、突出片６５の左右両端が一対の係止片７９の爪部７９ｂの傾斜面７９ｃに沿って摺動するので、一対の係止片７９が左右方向に押し広げられる。そして、突出片６５が爪部７９ｂ間を通過すると、突出片６５によって各係止片７９に加えられていた押圧力が解除され、柱部７９ａの弾性力により柱部７９ａの形状が元の形状に戻る。その結果、一対の柱部７９ａによって突出片６５が左右方向に挟まれ、爪部７９ｂが突出片６５の上面に当接する。

【0057】

以上により、構造体７が保持部材６に取り付けられる。

【0058】

基板収納容器１００では、保持部材６に検知部材１０７を載置した上で、固定部材１０８が取り付けられる。固定部材１０８の突起部１０８ａが突出片６４と基部７１との間に嵌り込み、固定部材１０８の突起部１０８ｂが突出片６５と基部７１との間に嵌り込むことで、固定部材１０８の貫通孔１０８ｈの位置が固定される。しかしながら、寸法公差などに起因して、突出片６４の上下方向における長さ、壁部７４の開口部７４ｃの上下方向における長さ、及び突起部１０８ａの上下方向における長さが、設計値からずれることがある。この場合、突出片６４と基部７１との間に突起部１０８ａが嵌るもののわずかに隙間が生じ、固定部材１０８の厳密な位置決めができないおそれがある。

【0059】

同様に、突出片６５の上下方向における長さ、壁部７５の開口部７５ｃの上下方向における長さ、及び突起部１０８ｂの上下方向における長さが、設計値からずれることがある。この場合、突出片６５と基部７１との間に突起部１０８ｂが嵌るもののわずかに隙間が生じ、固定部材１０８の厳密な位置決めができないおそれがある。したがって、固定部材１０８の貫通孔１０８ｈの位置が厳密に定まらないおそれがある。

【0060】

一方、基板収納容器１においては、固定部７２と検知部７３と取付部７７とを含む構造体７が一体成形品として構成されている。容器本体２の底板２２に接合された保持部材６の突出片６４及び突出片６５に取付部７７が係合することによって、構造体７が保持部材６に取り付けられる。したがって、構造体７と保持部材６との２つの部品が係合するので、３つの部品が係合する基板収納容器１００と比較して、クリアランスが生じ得る箇所が減り、固定部７２（貫通孔７２ｈ）の位置を安定化することができる。その結果、基板収納容器１を外部装置に一層安定して固定することが可能となる。

【0061】

基板収納容器１では、検知部材１０７及び固定部材１０８に代えて、構造体７が用いられる。したがって、部品点数を削減することができ、部品の員数管理の負担を軽減することができる。基板収納容器１では、保持部材６の突出片６４及び突出片６５に構造体７の取付部７７を係合させるだけで、構造体７を保持部材６に取り付けることができる。その結果、基板収納容器１の製造を簡易化することができる。

【0062】

具体的には、壁部７４の突出部７４ｂに設けられた一対の係止片７８が左右方向において突出片６４を挟むとともに、上下方向において突出片６４に係止され、壁部７５の突出部７５ｂに設けられた一対の係止片７９が左右方向において突出片６５を挟むとともに、上下方向において突出片６５に係止される。この構成により、構造体７を保持部材６に取り付けることができる。その結果、基板収納容器１の製造を簡易化することができる。

【0063】

検知部材１０７及び固定部材１０８は、アンダーカット形状を有しない簡易な構造を有しているので、それぞれの部材に対応した固定型板と可動型板とを用いて射出成形により形成することができる。一方、構造体７においては、基部７１と固定部７２とが上下方向に重なっており、突出部７４ｂと一対の係止片７８とが上下方向に重なっており、突出部７５ｂと一対の係止片７９とが上下方向に重なっている。したがって、構造体７はアンダーカット形状を有している。

【0064】

この問題に対し、開口部７４ｃ及び開口部７５ｃのそれぞれが、上下方向において固定部７２の上面から基部７１の面７１ｂまで広がっており、左右方向において固定部７２、一対の係止片７８及び一対の係止片７９を含む範囲にわたって広がっている。さらに、開口部７６ａが上下方向において検知体７３ａの上面から基部７１の面７１ｂまで広がっており、前後方向において固定部７２、一対の係止片７８及び一対の係止片７９を含む範囲にわたって広がっている。したがって、固定型板及び可動型板に加えて、開口部７４ｃ、開口部７５ｃ、及び一対の開口部７６ａを介して固定型板と可動型板との間に挿入されるスライド機構を用いることにより、構造体７を射出成形により形成することができる。

【0065】

なお、本開示に係る基板収納容器は上記実施形態に限定されない。

【0066】

図８～図１０を参照しながら、構造体の別例を説明する。図８は、構造体の別例の斜視図である。図９は、図８に示される構造体を保持部材に取り付ける手順を説明するための図である。図１０は、図８に示される構造体が保持部材に取り付けられた状態を示す斜視図である。図８～図１０に示される構造体８は、構造体７と同様、一体成形品であって、容器本体２に設けられる。構造体８は、保持部材６に着脱可能に構成されている。構造体８は、平板部８１と、筒状部８２と、取付部８３と、を含む。

【0067】

平板部８１は、平面視でＨ字形状を有する板状の部分である。平板部８１は、面８１ａと、面８１ｂと、を有する。面８１ａは、構造体８が保持部材６に取り付けられている状態で基部６１と向かい合う面である。面８１ｂは、面８１ａと反対側の面である。面８１ｂは、構造体８が保持部材６に取り付けられている状態で下方を向く面である。平板部８１は、本体部８４と、検知部８５と、を含む。本体部８４は、矩形状の部分である。本体部８４の左右両端縁に沿って検知部８５が設けられている。本体部８４には、面８１ａから面８１ｂに本体部８４を貫通する貫通孔８４ｈが設けられている。貫通孔８４ｈは、前後方向に延びる長孔である。貫通孔８４ｈは、本体部８４の中心付近に設けられている。

【0068】

検知部８５は、外部装置が基板収納容器１を検知するための部分である。検知部８５は、一対の検知体８５ａと、凸部８５ｂと、を含む。一対の検知体８５ａは、前後方向に延びる板状の形状を有する。一対の検知体８５ａは、左右方向において本体部８４を挟むように設けられている。各検知体８５ａは、検知面８５ｃを有する。検知面８５ｃは、面８１ｂのうちの検知体８５ａに含まれる部分であり、構造体８が保持部材６に取り付けられている状態で、下方を向く面である。検知面８５ｃは、検知面７３ｂと同様、外部装置によって検知されるセンシングパッドとして機能する。凸部８５ｂは、構造体８の位置決めをするための部分である。凸部８５ｂは、一方の検知体８５ａの検知面８５ｃとは反対の面（面８１ａ）に設けられた隆起部分である。凸部８５ｂは、溝６２ａに嵌り合う形状を有する。

【0069】

筒状部８２は、筒状の形状を有している。この例では、筒状部８２は、円筒形状を有している。構造体８が保持部材６に取り付けられている状態で、筒状部８２の中心軸は、上下方向に延びている。筒状部８２は、第１端８２ａと、第２端８２ｂと、を有している。第１端８２ａ及び第２端８２ｂは、筒状部８２の中心軸が延びる方向における両端である。第１端８２ａは、開放されている。第２端８２ｂは、貫通孔８４ｈを囲むように、平板部８１の面８１ａに設けられている。筒状部８２は、空間Ｖを画定する。空間Ｖは、貫通孔８４ｈを介して外部と連通している。筒状部８２と、筒状部８２の第２端８２ｂを覆う平板部８１の部分と、によって基板収納容器１を外部装置に固定するための固定部が構成されている。

【0070】

取付部８３は、突出片６４及び突出片６５に係合することにより構造体８を保持部材６に取り付ける部分である。取付部８３は、突起部８３ａ（第１突起部）と突起部８３ｂ（第２突起部）とを含む。突起部８３ａ及び突起部８３ｂは、第１端８２ａにおいて筒状部８２の外周面に設けられている。突起部８３ａと突起部８３ｂとは、筒状部８２の中心軸に対して実質的に点対称に設けられており、筒状部８２の外周面から互いに反対方向に突出している。突起部８３ａは、突出片６４と底板２２（基部６１）との間に嵌り込む。突起部８３ｂは、突出片６５と底板２２（基部６１）との間に嵌り込む。

【0071】

なお、構造体８が保持部材６に取り付けられている状態で、検知面６３ａは本体部８４によって覆われる。したがって、本体部８４における面８１ｂのうち、検知面６３ａと上下方向において重なる部分が、外部装置によって検知されるセンシングパッドとして機能する。

【0072】

次に、構造体８を保持部材６に取り付ける方法について説明する。まず、突起部８３ａ及び突起部８３ｂが突出片６４及び突出片６５と干渉しないように筒状部８２の中心軸回りに構造体８の向きが調整されて、突起部８３ａ及び突起部８３ｂが連結部分６１ｃに載置される。そして、凸部８５ｂが溝６２ａに嵌るまで構造体８が筒状部８２の中心軸回りに回転される。これにより、突起部８３ａが突出片６４と底面２２ａ（基部６１）との間に嵌り込み、突起部８３ｂが突出片６５と底面２２ａ（基部６１）との間に嵌り込む。以上により、構造体８が保持部材６に取り付けられる。

【0073】

構造体８を含む基板収納容器１においても、構造体７を含む基板収納容器１と共通の構成については、構造体７を含む基板収納容器１と同様の作用効果が奏される。さらに、構造体８を含む基板収納容器１においては、筒状部８２の外周面に設けられた突起部８３ａを、保持部材６の突出片６４と底板２２の底面２２ａとの間に嵌り込ませ、筒状部８２の外周面に設けられた突起部８３ｂを、保持部材６の突出片６５と底板２２の底面２２ａとの間に嵌り込ませるだけで、構造体８を保持部材６に取り付けることができる。その結果、基板収納容器１の製造を簡易化することができる。係止片７８の爪部７８ｂよりも突起部８３ａの方が、突出片６４と広い面積で接触する。同様に、係止片７９の爪部７９ｂよりも突起部８３ｂの方が、突出片６５と広い面積で接触する。したがって、構造体７と比較して、構造体８と保持部材６との取付強度が高くなるので、構造体８が保持部材６から意図せずに外れる可能性を低減することができる。

【符号の説明】

【0074】

１…基板収納容器、２…容器本体、６…保持部材、７，８…構造体、２０…収容空間、２２…底板、２２ａ…底面、６２…規制部（第１規制部）、６２ａ…溝、６３…規制部（第２規制部）、６４…突出片（第１突出片）、６５…突出片（第２突出片）、７２…固定部、７２ａ…前端（第１端）、７２ｂ…後端（第２端）、７３…検知部、７３ａ…検知体、７４…壁部（第１壁部）、７４ｂ…突出部（第１突出部）、７５…壁部（第２壁部）、７５ｂ…突出部（第２突出部）、７６…側壁部、７７，８３…取付部、７８…係止片（第１係止片）、７９…係止片（第２係止片）、８２…筒状部、８３ａ…突起部（第１突起部）、８３ｂ…突起部（第２突起部）、８５…検知部、８５ａ…検知体、８５ｂ…凸部。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】