特開 2024-85031 基板収納容器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024085031

(43)【公開日】2024-06-26

(54)【発明の名称】基板収納容器

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20240619BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022199347

(22)【出願日】2022-12-14

(71)【出願人】

【識別番号】000190116

【氏名又は名称】信越ポリマー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100128381

【弁理士】

【氏名又は名称】清水 義憲

(74)【代理人】

【識別番号】100171583

【弁理士】

【氏名又は名称】梅景 篤

(72)【発明者】

【氏名】五十嵐 壮紀

(72)【発明者】

【氏名】戸田 順也

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131BA00

5F131CA18

5F131GA02

5F131GA12

5F131GA76

5F131KA05

5F131KA11

5F131KA60

5F131KB24

5F131KB32

(57)【要約】

【課題】外部装置に安定して固定されることが可能な基板収納容器を提供すること。
【解決手段】
基板収納容器は、基板を収納する収容空間を画定する底板を有する容器本体と、容器本体に設けられた一体成形品である構造体６と、を備え、構造体６は、底板に接合される基部６１と、基板収納容器を外部装置に固定する固定部６２と、外部装置が基板収納容器を検知するための検知部６３と、を備える。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板収納容器であって、
基板を収納する収容空間を画定する底板を有する容器本体と、
前記容器本体に設けられた一体成形品である構造体と、
を備え、
前記構造体は、
前記底板に接合される基部と、
前記基板収納容器を外部装置に固定する固定部と、
前記外部装置が前記基板収納容器を検知するための検知部と、
を備える、基板収納容器。

【請求項2】

前記基部は、前記底板に埋設される第１面と、前記第１面と反対側の第２面とを有し、
前記固定部は、前記第２面と交差する第１方向において前記第２面と向かい合う板状の部材であって、前記第１方向と交差する第２方向における両端である第１端及び第２端を有し、
前記構造体は、
前記基部に設けられ、前記第１端において前記固定部を支持する第１壁部と、
前記基部に設けられ、前記第２端において前記固定部を支持する第２壁部と、を更に備え、
前記固定部には、前記第１方向において前記固定部を貫通する貫通孔が設けられている、請求項１に記載の基板収納容器。

【請求項3】

前記検知部は、前記第１方向及び前記第２方向と交差する第３方向において前記固定部を挟むように設けられた第１検知体及び第２検知体を備える、請求項２に記載の基板収納容器。

【請求項4】

前記構造体は、前記第１検知体と前記第２検知体とを連結するとともに、前記第１壁部に支持される連結板を更に備え、
前記連結板は、前記第２方向において前記第２端から離れるように前記第１端から延びており、
前記第１壁部には、前記第２方向において前記第１壁部を貫通する孔が設けられている、請求項３に記載の基板収納容器。

【請求項5】

前記第１面には、前記第１面から前記第２面に向かって窪んだ第１凹部が設けられ、
前記第２面には、前記第２面から前記第１面に向かって窪んだ第２凹部が設けられる、請求項２～請求項４のいずれか一項に記載の基板収納容器。

【請求項6】

前記第１凹部は、前記第１面を横断する溝であり、
前記第２凹部は、前記基部の周縁に沿って設けられている、請求項５に記載の基板収納容器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、基板収納容器に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体ウエハなどの基板を収納する基板収納容器が知られている。例えば、特許文献１には、容器本体と、容器本体の底面部に設けられたボトムプレートと、を備えるウエハ搬送容器が記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００８－１０５７４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

このような基板収納容器は、基板収納容器が有するドアが開閉されるときに外部装置に固定されることがあるので、基板収納容器の底部には、基板収納容器を外部装置に固定するためのクランプ構造（センタークランプ）が設けられることがある。さらに、基板収納容器の底部には、基板収納容器を検知するための検知パッドが設けられることがある。センタークランプの機能を有する部品と、検知パッドが設けられた部品とが、容器本体の底部に設けられた部品に嵌め合わされることによって、基板収納容器にこれらの機能が付加され得る。

【0005】

各部品の寸法公差などに起因して、嵌め合わされた部品間にクリアランスが生じることがある。このクリアランスによってセンタークランプの厳密な位置決めができないおそれがあるので、外部装置に基板収納容器が一層安定して固定されることが望まれる。

【0006】

本開示は、外部装置に安定して固定されることが可能な基板収納容器を説明する。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本開示の一側面に係る基板収納容器は、基板を収納する収容空間を画定する底板を有する容器本体と、容器本体に設けられた一体成形品である構造体と、を備える。構造体は、底板に接合される基部と、基板収納容器を外部装置に固定する固定部と、外部装置が基板収納容器を検知するための検知部と、を備える。

【0008】

この基板収納容器では、底板に接合される基部と、基板収納容器を外部装置に固定する固定部と、外部装置が基板収納容器を検知するための検知部とを備える構造体が一体成形品として構成されている。構造体は一体成形品であるので、基部と検知部との相対的な位置関係、及び基部と固定部との相対的な位置関係は固定され得る。よって、互いに係合する２つ以上の部品によって、基部と検知部と固定部とが構成されている場合と比較して、検知部の位置及び固定部の位置を安定化することができる。その結果、基板収納容器を外部装置に安定して固定することが可能となる。

【0009】

いくつかの実施形態において、基部は、底板に埋設される第１面と、第１面と反対側の第２面とを有してもよい。固定部は、第２面と交差する第１方向において第２面と向かい合う板状の部材であってもよく、第１方向と交差する第２方向における両端である第１端及び第２端を有してもよい。構造体は、基部に設けられ、第１端において固定部を支持する第１壁部と、基部に設けられ、第２端において固定部を支持する第２壁部と、を更に備えてもよい。固定部には、第１方向において固定部を貫通する貫通孔が設けられていてもよい。この場合、固定部と基部との間に空間が形成される。例えば、外部装置が第１方向に進退する軸部と、軸部の先端から第１方向と交差する方向に延びる爪とを有する留め具を備える場合には、上記留め具を貫通孔に挿通させ、上記空間に爪が位置した状態で、軸部を貫通孔から引き抜く方向に移動させることによって、固定部に爪を引っ掛けることができる。これにより、基板収納容器を外部装置に安定して固定することが可能となる。

【0010】

いくつかの実施形態において、検知部は、第１方向及び第２方向と交差する第３方向において固定部を挟むように設けられた第１検知体及び第２検知体を備えてもよい。この構成では、外部装置が第１検知体及び第２検知体を検知することによって、外部装置に基板収納容器が載置されたことを検知することができる。

【0011】

いくつかの実施形態において、構造体は、第１検知体と第２検知体とを連結するとともに、第１壁部に支持される連結板を更に備えてもよい。連結板は、第２方向において第２端から離れるように第１端から延びていてもよい。第１壁部には、第２方向において第１壁部を貫通する孔が設けられていてもよい。この構成によれば、第１検知体、第２検知体、及び連結板と、基部と、第１壁部とによって囲まれる空間が形成される。第１壁部を貫通する孔が設けられることによって、上記空間の通気性が向上する。したがって、この基板収納容器を洗浄したときに、上記空間に水が残る可能性を低減することができる。その結果、基板収納容器の乾燥性能を向上させることが可能となる。

【0012】

いくつかの実施形態において、第１面には、第１面から第２面に向かって窪んだ第１凹部が設けられてもよい。第２面には、第２面から第１面に向かって窪んだ第２凹部が設けられてもよい。容器本体を樹脂成形するために用いられる金型に構造体が配置された状態で、構造体の基部と容器本体の底板とが接合されるように容器本体が樹脂成形される際に、第１凹部と第２凹部とに溶融状態の樹脂材料が入り込み得る。この状態で樹脂材料が固化されて容器本体が形成されたとすると、容器本体は、第１凹部及び第２凹部を埋める部分を含む。このため、容器本体に向かって構造体が押し込まれるような力が構造体に加わったときに、基部と底板との接合が十分でなかったとしても、第１凹部を埋める部分に構造体が当接するので、構造体の移動が規制される。同様に、容器本体から構造体が引き離されるような力が構造体に加わったときに、基部と底板との接合が十分でなかったとしても、第２凹部を埋める部分に構造体が当接するので、構造体の移動が規制される。したがって、構造体が容器本体から外れる可能性を低減することができる。

【0013】

いくつかの実施形態において、第１凹部は、第１面を横断する溝であってもよい。第２凹部は、基部の周縁に沿って設けられていてもよい。この場合、第１凹部及び第２凹部の形状が単純であるので、構造体を製造するために用いられる金型の構造を単純化することができる。

【発明の効果】

【0014】

本開示によれば、基板収納容器を外部装置に安定して固定することができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】図１は、一実施形態に係る基板収納容器の分解斜視図である。

【図2】図２は、図１に示される基板収納容器の底面図である。

【図3】図３は、図２に示される構造体の斜視図である。

【図4】図４は、図２に示される構造体の正面図である。

【図5】図５は、図２に示される構造体の背面図である。

【図6】図６は、図２に示される構造体の側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、図面を参照しながら本開示の実施形態が詳細に説明される。なお、図面の説明において同一要素には同一符号が付され、重複する説明は省略される。各図には、ＸＹＺ座標系が示される。Ｙ軸方向（第２方向）は、Ｘ軸方向（第３方向）及びＺ軸方向（第１方向）と交差（ここでは、直交）する方向である。Ｚ軸方向は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向と交差（ここでは、直交）する方向である。一例として、Ｘ軸方向は、左右方向（幅方向）であり、Ｙ軸方向は、前後方向（奥行方向）であり、Ｚ軸方向は、上下方向（高さ方向）である。説明の便宜上、「前」、「後」、「上」、「下」、「左」、及び「右」の用語が用いられるが、これらの方向に限定されない。

【0017】

図１を参照しながら、一実施形態に係る基板収納容器を説明する。図１は、一実施形態に係る基板収納容器の分解斜視図である。図１に示される基板収納容器１は、複数の基板を収納するための容器である。基板収納容器１は、例えば、ＦＯＳＢ（Front Opening Shipping Box）と称され、工場間で基板を輸送するために用いられる。基板収納容器１は、例えば、ＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials International）規格を参考にして構成されている。基板の例としては、半導体ウエハが挙げられる。基板は、例えば、３００ｍｍの直径及び７７５μｍの厚さを有する円板形状を有する。基板収納容器１に収納可能な基板の枚数は、任意に定められており、例えば、２５枚である。

【0018】

基板収納容器１は、容器本体２と、蓋体３と、一対の支持体４と、を含む。

【0019】

容器本体２は、正面（前面）に開口２ａが設けられたフロントオープン型の容器である。容器本体２は、複数の基板を収納する。具体的には、容器本体２は、複数の基板を上下方向に配列した状態で収納する。開口２ａを介して基板が容器本体２に出し入れされる。

【0020】

容器本体２は、天板２１と、底板２２と、一対の側壁２３と、背面壁２４と、枠体２５と、を含む。天板２１、底板２２、一対の側壁２３、及び背面壁２４によって、複数の基板を収納するための収容空間２０が画定される。底板２２は、容器本体２の外部に面する底面２２ａ（図２参照）を有する。枠体２５は、矩形状の枠体であって、天板２１の前端、底板２２の前端、及び一対の側壁２３の前端にわたって設けられている。枠体２５によって、開口２ａが画定される。枠体２５は、外側に広がるように段差をつけて屈曲形成されており、その段差部の面が、ガスケットなどの封止部材が接触するシール面として機能する。

【0021】

蓋体３は、容器本体２の開口２ａを閉塞するための部材である。蓋体３は、枠体２５に着脱自在に取り付けられる。蓋体３は、ガスケットなどの封止部材を介して容器本体２の開口２ａを気密に閉塞する。蓋体３は、蓋本体３１と、施錠機構３２と、を含む。

【0022】

蓋本体３１は、蓋体３の本体部分である。蓋本体３１は、矩形状の板材である。蓋本体３１の前面には、鍵穴３１ｈが設けられている。鍵穴３１ｈには、不図示の鍵が挿入される。施錠機構３２は、鍵穴３１ｈに挿入された鍵が操作されることによって、蓋体３を施錠又は解錠する。施錠機構３２は、不図示のラッチを含む。蓋体３が容器本体２の開口２ａを塞いでいる状態で、鍵の操作によりラッチが枠体２５に設けられた施錠穴（不図示）に嵌入されることによって蓋体３が施錠される。蓋体３が施錠されている状態で、鍵の操作によりラッチが施錠穴から引き抜かれることよって蓋体３が解錠される。

【0023】

容器本体２及び蓋体３の材料の例としては、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、及び液晶ポリマーなどの熱可塑性樹脂が挙げられる。この熱可塑性樹脂には、導電材、各種の帯電防止材、及び紫外線吸収材などが適宜添加されてもよい。導電材の例としては、導電性カーボン、導電繊維、金属繊維、及び導電性高分子が挙げられる。

【0024】

一対の支持体４は、基板を支持する部材である。各支持体４は、側壁２３の内面に設けられ、側壁２３の内面から収容空間２０に突出している。各支持体４には、前後方向に延びる複数の溝が設けられている。複数の溝は、側壁２３に向かって窪む形状を有してもよい。複数の溝は、上下方向に並設されている。一対の支持体４に設けられた同じ高さに位置する溝に、基板の左右方向の両端部が挿入されることによって、基板が支持される。各支持体４は、インサート成形によって容器本体２に一体的に形成されてもよく、組み立て式で容器本体２に組付けられてもよい。各支持体４の構成材料の例として、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、液晶ポリマー、ポリブチレンテレフタレート、及びポリエーテルエーテルケトンなどの熱可塑性樹脂が挙げられる。

【0025】

次に、図２を参照しながら、容器本体２の底部に設けられる部材を説明する。図２は、図１に示される基板収納容器の底面図である。図２に示されるように、基板収納容器１は、位置決め部材５と、構造体６と、を更に含む。

【0026】

位置決め部材５は、ロードポートなどの外部装置が基板収納容器１（容器本体２）の位置決めを行うために用いられる部材である。位置決め部材５は、底面２２ａから下方に突出するように、底板２２に設けられる。位置決め部材５は、底板２２に向かって（上方に）Ｖ字状に窪むＶ字面を有している。Ｖ字面には、必要に応じて、耐摩耗性、及び摺動性を向上させる表面処理が施され得る。本実施形態では、基板収納容器１は、３つの位置決め部材５を含む。各位置決め部材５は、インサート成形によって容器本体２に一体的に形成されてもよく、組み立て式で容器本体２に組付けられてもよい。各位置決め部材５の構成材料の例として、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、液晶ポリマー、ポリブチレンテレフタレート、及びポリエーテルエーテルケトンなどの熱可塑性樹脂が挙げられる。

【0027】

構造体６は、基板収納容器１に各種機能を付加するための部材である。構造体６は、一体成形品であって、容器本体２に設けられている。構造体６は、例えば、樹脂成形（射出成形）によって作製される。構造体６は、インサート成形によって容器本体２に一体的に形成されている。構造体６の構成材料の例として、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、液晶ポリマー、ポリブチレンテレフタレート、及びポリエーテルエーテルケトンなどの熱可塑性樹脂が挙げられる。

【0028】

次に図３～図６を更に参照しながら、構造体６を詳細に説明する。図３は、図２に示される構造体の斜視図である。図４は、図２に示される構造体の正面図である。図５は、図２に示される構造体の背面図である。図６は、図２に示される構造体の側面図である。図３～図６に示されるように、構造体６は、基部６１と、固定部６２と、検知部６３と、支持部６４と、連結板６５とを含む。構造体６は、左右対称の形状を有する。

【0029】

基部６１は、底板２２に接合される板状の部分である。基部６１の後端部の左右方向における中央は、前方に向かって矩形状に窪んでいる。基部６１は、面６１ａ（第１面）と、面６１ｂ（第２面）とを有する。面６１ａは、底板２２に埋設される面である。面６１ｂは、面６１ａと反対側の面である。面６１ａ及び面６１ｂは、上下方向と交差（ここでは、直交）する。

【0030】

面６１ａには、凹部６１ｃ（第１凹部）が設けられている。凹部６１ｃは、面６１ａから面６１ｂに向かって窪んでいる。本実施形態では、面６１ａには、２つの凹部６１ｃが設けられており、各凹部６１ｃは、面６１ａを左右方向に横断する溝である。２つの凹部６１ｃは、前後方向に並んで配置されている。各凹部６１ｃの左右方向と交差する断面は、矩形の形状を有する。各凹部６１ｃは、底板２２を構成する樹脂によって埋められている。

【0031】

面６１ｂには、凹部６１ｄ（第２凹部）が設けられている。凹部６１ｄは、面６１ｂから面６１ａに向かって窪んでいる。凹部６１ｄは、面６１ａにおける凹部６１ｃが設けられている領域の裏側には設けられていない。言い換えると、面６１ｂにおける凹部６１ｄが設けられている領域は、平面視で面６１ａにおける凹部６１ｃが設けられている領域とは異なる位置に設けられている。本実施形態では、面６１ｂには、４つの凹部６１ｄが設けられており、各凹部６１ｄは、基部６１の周縁に沿って設けられている。具体的には、４つの凹部６１ｄは、基部６１の４つの角部にそれぞれ設けられている。各凹部６１ｄは、平面視でＬ字状の形状を有する。各凹部６１ｄは、底板２２を構成する樹脂によって埋められている。言い換えると、基部６１の４つの角部は、底板２２に埋設されている。

【0032】

固定部６２は、基板収納容器１を外部装置に固定するための部分である。固定部６２は、上下方向において基部６１と離間して配置されている。固定部６２は、上下方向において面６１ｂ（基部６１）と向かい合う板状の形状を有する。平面視における固定部６２の外形は、矩形の形状を有する。固定部６２は、基部６１と実質的に平行に配置されている。固定部６２は、前後方向における固定部６２の両端である前端６２ａ（第１端）及び後端６２ｂ（第２端）を有する。固定部６２には、固定部６２を上下方向に貫通する貫通孔６２ｃが設けられている。貫通孔６２ｃは、前後方向に延びる長孔である。図６に示されるように、固定部６２と基部６１との間には空間Ｖが設けられている。

【0033】

検知部６３は、外部装置が基板収納容器１を検知するための部分である。検知部６３は、一対の検知体６３ａ（第１検知体、第２検知体）を含む。各検知体６３ａは、前後方向に延びる矩形板状の形状を有する。一対の検知体６３ａは、左右方向において固定部６２を挟むように設けられている。各検知体６３ａの前後方向における長さは、固定部６２の前後方向における長さよりも長い。具体的には、各検知体６３ａは、前後方向において、前端６２ａよりも前方から後端６２ｂよりも後方まで延びている。

【0034】

各検知体６３ａは、検知面６３ｂを有する。検知面６３ｂは、構造体６が底板２２に接合されている状態で、下方を向く面である。検知面６３ｂは、固定部６２の上面と（面６１ｂと向かい合う面）と実質的に平行である。検知面６３ｂは、外部装置によって検知されるセンシングパッドとして機能する。

【0035】

検知体６３ａは、左右方向における両縁であって、前後方向に延びる内縁６３ｃ及び外縁６３ｄを有する。内縁６３ｃは、左右方向において外縁６３ｄよりも固定部６２に近い。

【0036】

支持部６４は、固定部６２及び検知部６３を支持する部分である。支持部６４は、壁部６４ａ（第１壁部）と、壁部６４ｂ（第２壁部）と、一対の側壁部６４ｃと、一対の側壁部６４ｄとを含む。壁部６４ａ及び壁部６４ｂは、前後方向において固定部６２を挟むように基部６１に設けられている。壁部６４ａと壁部６４ｂとは、前後方向において互いに向かい合っており、実質的に平行に配置されている。

【0037】

壁部６４ａは、前端６２ａにおいて固定部６２を支持する。壁部６４ａは、面６１ｂに立設されており、左右方向に延びる矩形板状の形状を有する。壁部６４ａは、左右方向において、右側の検知体６３ａの外縁６３ｄから左側の検知体６３ａの外縁６３ｄまで延びている。壁部６４ａは、上下方向において、面６１ｂから前端６２ａまで延びている。

【0038】

図４に示されるように、壁部６４ａには、孔６４ｅと、孔６４ｆとが設けられている。孔６４ｅ及び孔６４ｆは、前後方向において壁部６４ａを貫通している。孔６４ｅは、上下方向における壁部６４ａの縁部のうち、基部６１に接する縁部（上縁部）に設けられている。本実施形態では、壁部６４ａには、３個の孔６４ｅが設けられている。３個の孔６４ｅは、左右方向に配列されている。孔６４ｅは、壁部６４ａを左右方向に３等分することによって得られる各領域の左右方向における中央部に設けられている。

【0039】

孔６４ｆは、上下方向における壁部６４ａの縁部のうち、検知体６３ａに接する縁部（下縁部）に設けられている。本実施形態では、壁部６４ａには、２個の孔６４ｆが設けられている。２個の孔６４ｆは、左右方向における壁部６４ａの両端に設けられている。つまり、孔６４ｆは、側壁部６４ｃと検知体６３ａとによって画定される角部に位置している。２個の孔６４ｆは、左右方向において連結板６５を挟むように設けられている。

【0040】

壁部６４ｂは、後端６２ｂにおいて固定部６２を支持する。壁部６４ｂは、面６１ｂに立設されており、左右方向に延びる矩形板状の形状を有する。壁部６４ｂは、左右方向において、右側の検知体６３ａの内縁６３ｃから左側の検知体６３ａの内縁６３ｃまで延びている。壁部６４ｂは、上下方向において、面６１ｂから後端６２ｂまで延びている。壁部６４ｂには、壁部６４ｂを前後方向に貫通する孔は設けられていない。

【0041】

図５に示されるように、壁部６４ｂは、第１部分６４ｇと、一対の第２部分６４ｈと、によって構成されている。第１部分６４ｇは、左右方向における中央に位置する。第１部分６４ｇは、後端６２ｂに連なっており、後端６２ｂの左右方向における全長にわたって設けられている。つまり、第１部分６４ｇの左右方向における長さは、固定部６２の左右方向における長さと実質的に等しい。第１部分６４ｇは、固定部６２よりも下方に突出している。第１部分６４ｇは、検知面６４ｊを有する。検知面６４ｊは、第１部分６４ｇの先端に位置し、下方を向く面である。検知面６４ｊ及び一対の検知面６３ｂは、同一平面上に位置する。検知面６４ｊは、検知面６３ｂと同様に、外部装置によって検知されるセンシングパッドとして機能する。

【0042】

一対の第２部分６４ｈは、左右方向において第１部分６４ｇを挟むように設けられ、第１部分６４ｇの左右方向における両端から互いに離れるように延びている。各第２部分６４ｈの上下方向における長さは、第１部分６４ｇの上下方向における長さよりも短く、各第２部分６４ｈは、上下方向において面６１ｂから固定部６２まで延びている。

【0043】

各側壁部６４ｃは、面６１ｂに立設されており、前後方向に延びる矩形板状の形状を有する。一対の側壁部６４ｃは、左右方向において互いに向かい合っており、実質的に平行に配置されている。一対の側壁部６４ｃは、壁部６４ａの左右方向における両端に連結されている。具体的には、右側の側壁部６４ｃは、壁部６４ａの右端に連結され、壁部６４ａの右端から前方に右側の検知体６３ａの前端まで延びている。左側の側壁部６４ｃは、壁部６４ａの左端に連結され、壁部６４ａの左端から前方に左側の検知体６３ａの前端まで延びている。各側壁部６４ｃは、上下方向において面６１ｂから検知体６３ａまで延びており、検知体６３ａの外縁６３ｄに連なっている。壁部６４ａと、一対の側壁部６４ｃとによって、平面視でＵ字状の形状が構成される。

【0044】

各側壁部６４ｄは、面６１ｂに立設されており、前後方向に延びる矩形板状の形状を有する。一対の側壁部６４ｄは、左右方向において互いに向かい合っている。一対の側壁部６４ｄは、上下方向において基部６１から検知体６３ａに向かうにつれて互いに離れるように傾斜している。一対の側壁部６４ｄは、壁部６４ｂの左右方向における両端に連結されている。具体的には、右側の側壁部６４ｄは、壁部６４ｂの右端に連結され、壁部６４ｂの右端から後方に右側の検知体６３ａの後端まで延びている。左側の側壁部６４ｄは、壁部６４ｂの左端に連結され、壁部６４ｂの左端から後方に左側の検知体６３ａの後端まで延びている。各側壁部６４ｄは、上下方向において面６１ｂから検知体６３ａまで延びており、検知体６３ａの内縁６３ｃに連なっている。壁部６４ｂと、一対の側壁部６４ｄとによって、平面視でＵ字状の形状が構成される。

【0045】

側壁部６４ｃが検知体６３ａのうちの固定部６２の前端６２ａよりも前方に延びている部分を支持し、側壁部６４ｄが検知体６３ａのうちの固定部６２の後端６２ｂよりも後方に延びている部分を支持することによって、支持部６４は検知部６３を支持している。

【0046】

連結板６５は、一対の検知体６３ａ同士を連結している板状の部分である。連結板６５は、基板収納容器１を外部装置に固定するフロントリテーナとしても機能する。連結板６５は、平面視で矩形の形状を有し、左右方向に延びている。連結板６５の後端は、壁部６４ａの下端に連結されており、連結板６５は、壁部６４ａによって支持されている。連結板６５は、前端６２ａに連結されており、前後方向において後端６２ｂとは反対方向（前方）に前端６２ａから延びている。連結板６５は、左右方向において、壁部６４ａの右端近傍から左端近傍まで延びている。

【0047】

連結板６５の左右両端部は、一対の検知体６３ａの検知面６３ｂとは反対側の面（上面）に連結されている。連結板６５は、左右方向における連結板６５の両端である一対の端６５ａを有する。端６５ａは、左右方向において側壁部６４ｃから離間している。前方から見て、端６５ａと側壁部６４ｃとの間に孔６４ｆが位置している。上下方向において検知体６３ａと連結板６５とが重なっている部分の左右方向における長さは、検知体６３ａ（又は連結板６５）の上下方向における長さ（厚さ）と実質的に同じである。

【0048】

次に、基板収納容器１を製造する方法を説明する。まず、構造体６が作製される。構造体６は、樹脂成形（射出成形）によって作製される。具体的には、固定型に前方のスライド構造と、両側方のスライド構造と、可動型とが組み合わせられ、キャビティ空間に溶融状態の樹脂材料が注入され、樹脂材料が冷却されて固化することによって、構造体６が作製される。

【0049】

固定型は、基部６１の面６１ａの形状に応じた形状を有している。可動型は固定型に対し上下方向において移動可能である。可動型は、構造体６のうち平面視で（下方から見て）他の部分に重なっていない部分（アンダーカット形状が生じていない部分）に応じた形状を有している。例えば、壁部６４ｂと一対の側壁部６４ｄと基部６１とによって囲まれた空間には、アンダーカット形状が生じていないので、可動型によって形成される。前方のスライド構造は、壁部６４ａ、一対の側壁部６４ｃ、連結板６５、及び基部６１によって囲まれる空間を形成するためのスライド構造である。側方のスライド構造は、検知体６３ａと基部６１とによって挟まれた空間、及び空間Ｖを形成するためのスライド構造である。

【0050】

続いて、容器本体２を樹脂成形（射出成形）するために用いられる金型に、一対の支持体４と、位置決め部材５と、構造体６とが配置される。続いて、一対の支持体４と、位置決め部材５と、構造体６とが金型に配置された状態で、金型内のキャビティ空間に溶融状態の樹脂材料が注入される。そして、樹脂材料が冷却されて固化することにより、容器本体２が形成される。以上により、基板収納容器１が製造される。

【0051】

以上説明した基板収納容器１では、構造体６は一体成形品であるので、基部６１と検知部６３との相対的な位置関係、及び基部６１と固定部６２との相対的な位置関係は固定され得る。よって、互いに係合する２つ以上の部品によって、基部と検知部と固定部とが構成されている場合と比較して、検知部６３の位置及び固定部６２の位置を安定化することができる。その結果、基板収納容器１を外部装置に安定して固定することが可能となる。

【0052】

構造体６は一体成形品であるので、構造体が２以上の互いに係合する部品によって構成されている場合と比較して、部品点数を削減することができ、部品の員数管理の負担を軽減することができる。基板収納容器１では、インサート成形により、構造体６と容器本体２とが一体的に形成される。その結果、基板収納容器１の製造を簡易化することができる。

【0053】

固定部６２は上下方向において基部６１と離間して配置されているので、固定部６２と基部６１との間に空間Ｖが形成される。固定部６２には、貫通孔６２ｃが設けられている。例えば、外部装置が上下方向に進退する軸部と、軸部の先端から上下方向と交差する方向に延びる爪とを有する留め具を備える場合には、上記留め具を貫通孔６２ｃに挿通させ、上記空間に爪が位置した状態で、軸部を貫通孔６２ｃから引き抜く方向に移動させることによって、固定部６２に爪を引っ掛けることができる。これにより、基板収納容器１を外部装置に安定して固定することが可能となる。

【0054】

外部装置が一対の検知体６３ａを検知することによって、基板収納容器１が外部装置に載置されたことを検知することができる。

【0055】

壁部６４ａには孔６４ｅ，６４ｆが設けられているので、一対の検知体６３ａ及び連結板６５と、基部６１と、壁部６４ａと、一対の側壁部６４ｃとによって囲まれる空間の通気性が向上する。したがって、基板収納容器１を洗浄したときに、上記空間に水が残る可能性を低減することができる。その結果、基板収納容器１の乾燥性能を向上させることが可能となる。

【0056】

面６１ａには、凹部６１ｃが設けられ、面６１ｂには、凹部６１ｄが設けられている。容器本体２を樹脂成形するために用いられる金型に構造体６が配置された状態で、基部６１と底板２２とが接合されるように容器本体２が樹脂成形される際に、凹部６１ｃと凹部６１ｄとに溶融状態の樹脂材料が入り込み得る。この状態で樹脂材料が固化されて容器本体が成形されたとすると、容器本体２は、凹部６１ｃ及び凹部６１ｄを埋める部分を含む。このため、容器本体２に向かって構造体６が押し込まれるような力が構造体６に加わったときに、基部６１と底板２２との接合が十分でなかったとしても、凹部６１ｃを埋める部分に構造体６が当接するので、構造体６の移動が規制される。同様に、容器本体２から構造体６が引き離されるような力が構造体６に加わったときに、基部６１と底板２２との接合が十分でなかったとしても、凹部６１ｄを埋める部分に構造体６が当接するので、構造体６の移動が規制される。したがって、構造体６が容器本体２から外れる可能性を低減することができる。

【0057】

凹部６１ｃは、面６１ａを横断する溝であり、凹部６１ｄは、基部６１の周縁に沿って設けられている。凹部６１ｃ及び凹部６１ｄの形状が単純であり、かつ、上下方向において構造体６の他の部分と重ならない位置に設けられるので、構造体６を製造するために用いられる金型の構造を単純化することができる。

【0058】

一対の側壁部６４ｄは、上下方向において基部６１から検知体６３ａに向かうにつれて互いに離れるように傾斜している。したがって、一対の側壁部６４ｄの互いに向かい合う面は抜き勾配として機能し、構造体６が作製される際に、構造体６を金型（可動型）から容易に取り外すことができる。

【0059】

なお、本開示に係る基板収納容器は上記実施形態に限定されない。

【0060】

容器本体２の樹脂成形時に樹脂材料が入り込むことが可能であれば、凹部６１ｃの数、形状及び配置は上記実施形態に限定されない。例えば、凹部６１ｃは、左右方向とは異なる方向に延在してもよい。凹部６１ｃは、面６１ａを横断しなくてもよい。凹部６１ｃは、溝でなくてもよい。

【0061】

容器本体２の樹脂成形時に樹脂材料が入り込むことが可能であれば、凹部６１ｄの数、形状及び配置は上記実施形態に限定されない。例えば、凹部６１ｄは、基部６１の周縁のうち、面６１ｂの角部と異なる位置に設けられてもよい。凹部６１ｄは、基部６１の周縁に設けられなくてもよく、基部６１の周縁よりも内側に設けられてもよい。

【0062】

面６１ａには凹部６１ｃが設けられてなくてもよく、面６１ｂには凹部６１ｄが設けられてなくてもよい。

【0063】

壁部６４ａに設けられる孔６４ｅの数は、３つに限られない。１つの孔６４ｅが設けられてもよく、２つの孔６４ｅが設けられてもよく、４つ以上の孔６４ｅが設けられてもよい。同様に、壁部６４ａには、１つのみの孔６４ｆが設けられてもよく、３つ以上の孔６４ｆが設けられてもよい。孔６４ｅ，６４ｆは、上下方向において、壁部６４ａの両縁に設けられなくてもよい。

【0064】

壁部６４ａには、孔６４ｅが設けられてなくてもよく、孔６４ｆが設けられてなくてもよい。

【0065】

構造体６は、連結板６５を含まなくてもよい。一対の側壁部６４ｃは設けられなくてもよく、一対の側壁部６４ｄは設けられなくてもよい。

【符号の説明】

【0066】

１…基板収納容器、２…容器本体、６…構造体、２０…収容空間、２２…底板、６１…基部、６１ａ…面（第１面）、６１ｂ…面（第２面）、６１ｃ…凹部（第１凹部）、６１ｄ…凹部（第２凹部）、６２…固定部、６２ａ…前端（第１端）、６２ｂ…後端（第２端）、６２ｃ…貫通孔、６３…検知部、６３ａ…検知体（第１検知体、第２検知体）、６４ａ…壁部（第１壁部）、６４ｂ…壁部（第２壁部）、６４ｅ…孔、６４ｆ…孔、６５…連結板。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】