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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024085272
(43)【公開日】2024-06-26
(54)【発明の名称】モノクロメータ
(51)【国際特許分類】
G01J 3/18 20060101AFI20240619BHJP
【ＦＩ】
G01J3/18
【審査請求】未請求
【請求項の数】4
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022199716
(22)【出願日】2022-12-14
(71)【出願人】
【識別番号】000000572
【氏名又は名称】アンリツ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110002000
【氏名又は名称】弁理士法人栄光事務所
(72)【発明者】
【氏名】伴野 元洋
(72)【発明者】
【氏名】森本 晋司
(72)【発明者】
【氏名】湯田 怜央奈
【テーマコード（参考）】
2G020
【Ｆターム（参考）】
2G020CB05
2G020CC09
2G020CC43
2G020CC47
2G020CC49
(57)【要約】
【課題】光学系のサイズを大きくすることなく、複数の入射光を１つの光学系に入射することができるモノクロメータを提供する。
【解決手段】コリメータ４が、入射部２から出射された入射光ＬＡ，ＬＢを平行光に変換し出射する。回動可能な回折格子５が、コリメータ４から出射された平行光を分散分光して回折光を出射する。入射部２において、２つの光ファイバ２１Ａ，２１Ｂが、入射光ＬＡ，ＬＢをそれぞれ出射する。複数のトロイダルミラー２２Ａ，２２Ｂが、光ファイバ２１Ａ，２１Ｂから出射された入射光ＬＡ，ＬＢをそれぞれ集光し、プリズムミラー２３Ａ，２３Ｂが、複数のトロイダルミラー２２Ａ，２２Ｂで集光された入射光ＬＡ，ＬＢをそれぞれコリメータ４に入射するように反射する。
【選択図】図１
【解決手段】コリメータ４が、入射部２から出射された入射光ＬＡ，ＬＢを平行光に変換し出射する。回動可能な回折格子５が、コリメータ４から出射された平行光を分散分光して回折光を出射する。入射部２において、２つの光ファイバ２１Ａ，２１Ｂが、入射光ＬＡ，ＬＢをそれぞれ出射する。複数のトロイダルミラー２２Ａ，２２Ｂが、光ファイバ２１Ａ，２１Ｂから出射された入射光ＬＡ，ＬＢをそれぞれ集光し、プリズムミラー２３Ａ，２３Ｂが、複数のトロイダルミラー２２Ａ，２２Ｂで集光された入射光ＬＡ，ＬＢをそれぞれコリメータ４に入射するように反射する。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
入射光（ＬＡ，ＬＢ）を出射する入射部（２）と、該入射部（２）から出射された入射光（ＬＡ，ＬＢ）を平行光に変換し出射するコリメータ（４）と、該コリメータ（４）から出射された前記平行光を分散分光して回折光を出射する回動可能な回折格子（５）と、を備えたモノクロメータ（１）において、
前記入射部（２）は、
前記入射光（ＬＡ，ＬＢ）をそれぞれ出射する複数の入射手段（２１Ａ，２１Ｂ）と、
複数の前記入射手段（２１Ａ，２１Ｂ）から出射された前記入射光（ＬＡ，ＬＢ）をそれぞれ集光する複数の集光部（２２Ａ，２２Ｂ）と、
複数の前記集光部（２２Ａ，２２Ｂ）で集光された前記入射光（ＬＡ，ＬＢ）をそれぞれ前記コリメータ（４）に入射するように反射する複数の第１の反射部（２３Ａ，２３Ｂ）と、を有する
モノクロメータ（１）。
前記入射部（２）は、
前記入射光（ＬＡ，ＬＢ）をそれぞれ出射する複数の入射手段（２１Ａ，２１Ｂ）と、
複数の前記入射手段（２１Ａ，２１Ｂ）から出射された前記入射光（ＬＡ，ＬＢ）をそれぞれ集光する複数の集光部（２２Ａ，２２Ｂ）と、
複数の前記集光部（２２Ａ，２２Ｂ）で集光された前記入射光（ＬＡ，ＬＢ）をそれぞれ前記コリメータ（４）に入射するように反射する複数の第１の反射部（２３Ａ，２３Ｂ）と、を有する
モノクロメータ（１）。
【請求項2】
請求項１に記載のモノクロメータ（１）において、
前記回折格子（５）から出射された前記回折光が前記コリメータ（４）で集光される位置に配置された第１のスリット（７）と、
前記コリメータ（４）で集光された前記回折光を前記第１のスリット（７）に向けて反射する第２の反射部（６）と、
前記第１のスリット（７）を通過した前記回折光を前記コリメータ（４）に向けて反射する第３の反射部（８）と、
前記第３の反射部（８）で反射された前記回折光が前記コリメータ（４）で平行光に変更され再び前記回折格子（５）で回折された後、前記コリメータ（４）で再び集光される位置に配置された第２のスリット（９）と、をさらに備えた、
モノクロメータ（１）。
前記回折格子（５）から出射された前記回折光が前記コリメータ（４）で集光される位置に配置された第１のスリット（７）と、
前記コリメータ（４）で集光された前記回折光を前記第１のスリット（７）に向けて反射する第２の反射部（６）と、
前記第１のスリット（７）を通過した前記回折光を前記コリメータ（４）に向けて反射する第３の反射部（８）と、
前記第３の反射部（８）で反射された前記回折光が前記コリメータ（４）で平行光に変更され再び前記回折格子（５）で回折された後、前記コリメータ（４）で再び集光される位置に配置された第２のスリット（９）と、をさらに備えた、
モノクロメータ（１）。
【請求項3】
請求項１に記載のモノクロメータ（１）において、
複数の前記集光部（２２Ａ，２２Ｂ）が、トロイダルミラーから構成されている、
モノクロメータ（１）。
複数の前記集光部（２２Ａ，２２Ｂ）が、トロイダルミラーから構成されている、
モノクロメータ（１）。
【請求項4】
請求項１～３の何れか１項に記載のモノクロメータ（１）において、
前記入射手段（２１Ａ，２１Ｂ）、前記集光部（２２Ａ，２２Ｂ）及び前記第１の反射部（２３Ａ，２３Ｂ）はそれぞれ、２つ設けられ、
２つの前記入射手段（２１Ａ，２１Ｂ）の並び方向において、２つの前記入射手段（２１Ａ）と前記入射手段（２１Ｂ）との間に２つの前記第１の反射部（２３Ａ，２３Ｂ）が、前記並び方向に並んで配置されている、
モノクロメータ（１）。
前記入射手段（２１Ａ，２１Ｂ）、前記集光部（２２Ａ，２２Ｂ）及び前記第１の反射部（２３Ａ，２３Ｂ）はそれぞれ、２つ設けられ、
２つの前記入射手段（２１Ａ，２１Ｂ）の並び方向において、２つの前記入射手段（２１Ａ）と前記入射手段（２１Ｂ）との間に２つの前記第１の反射部（２３Ａ，２３Ｂ）が、前記並び方向に並んで配置されている、
モノクロメータ（１）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、モノクロメータ、に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、回折格子を含む光学系に入射光を入射して、回折格子により入射光を分散分光させた回折光の中から、ある特定の波長の回折光のみをスリットで取り出すモノクロメータが提案されている（特許文献１）。
【0003】
近年、上述したモノクロメータにおいて、２つの光ファイバ（入射手段）から出射される２つの入射光を一つの光学系に入射したいという要望があった。２つの光ファイバを近づけるには限界があるため、２つの入射光の入射位置を近づけるには限界があった。このため、２つの入射光の光学系への入射範囲がそれぞれ大きく異なるため、光学系を大きくする必要がある、という課題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特許第３２７４０３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
本発明は、光学系のサイズを大きくすることなく、複数の入射光を１つの光学系に入射することができるモノクロメータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
前述した目的を達成するために、本発明に係るモノクロメータは、下記［１］～［４］を特徴としている。
［１］
入射光（ＬＡ，ＬＢ）を出射する入射部（２）と、該入射部（２）から出射された入射光（ＬＡ，ＬＢ）を平行光に変換し出射するコリメータ（４）と、該コリメータ（４）から出射された前記平行光を分散分光して回折光を出射する回動可能な回折格子（５）と、を備えたモノクロメータ（１）において、
前記入射部（２）は、
前記入射光（ＬＡ，ＬＢ）をそれぞれ出射する複数の入射手段（２１Ａ，２１Ｂ）と、
複数の前記入射手段（２１Ａ，２１Ｂ）から出射された前記入射光（ＬＡ，ＬＢ）をそれぞれ集光する複数の集光部（２２Ａ，２２Ｂ）と、
複数の前記集光部（２２Ａ，２２Ｂ）で集光された前記入射光（ＬＡ，ＬＢ）をそれぞれ前記コリメータ（４）に入射するように反射する複数の第１の反射部（２３Ａ，２３Ｂ）と、を有する
モノクロメータ（１）であること。
［２］
［１］に記載のモノクロメータ（１）において、
前記回折格子（５）から出射された前記回折光が前記コリメータ（４）で集光される位置に配置された第１のスリット（７）と、
前記コリメータ（４）で集光された前記回折光を前記第１のスリット（７）に向けて反射する第２の反射部（６）と、
前記第１のスリット（７）を通過した前記回折光を前記コリメータ（４）に向けて反射する第３の反射部（８）と、
前記第３の反射部（８）で反射された前記回折光が前記コリメータ（４）で平行光に変更され再び前記回折格子（５）で回折された後、前記コリメータ（４）で再び集光される位置に配置された第２のスリット（９）と、をさらに備えた、
モノクロメータ（１）であること。
［３］
［１］に記載のモノクロメータ（１）において、
複数の前記集光部（２２Ａ，２２Ｂ）が、トロイダルミラーから構成されている、
モノクロメータ（１）であること。
［４］
［１］～［３］の何れか１項に記載のモノクロメータ（１）において、
前記入射手段（２１Ａ，２１Ｂ）、前記集光部（２２Ａ，２２Ｂ）及び前記第１の反射部（２３Ａ，２３Ｂ）はそれぞれ、２つ設けられ、
２つの前記入射手段（２１Ａ，２１Ｂ）の並び方向において、２つの前記入射手段（２１Ａ）と前記入射手段（２１Ｂ）との間に２つの前記第１の反射部（２３Ａ，２３Ｂ）が、前記並び方向に並んで配置されている、
モノクロメータ（１）であること。
［１］
入射光（ＬＡ，ＬＢ）を出射する入射部（２）と、該入射部（２）から出射された入射光（ＬＡ，ＬＢ）を平行光に変換し出射するコリメータ（４）と、該コリメータ（４）から出射された前記平行光を分散分光して回折光を出射する回動可能な回折格子（５）と、を備えたモノクロメータ（１）において、
前記入射部（２）は、
前記入射光（ＬＡ，ＬＢ）をそれぞれ出射する複数の入射手段（２１Ａ，２１Ｂ）と、
複数の前記入射手段（２１Ａ，２１Ｂ）から出射された前記入射光（ＬＡ，ＬＢ）をそれぞれ集光する複数の集光部（２２Ａ，２２Ｂ）と、
複数の前記集光部（２２Ａ，２２Ｂ）で集光された前記入射光（ＬＡ，ＬＢ）をそれぞれ前記コリメータ（４）に入射するように反射する複数の第１の反射部（２３Ａ，２３Ｂ）と、を有する
モノクロメータ（１）であること。
［２］
［１］に記載のモノクロメータ（１）において、
前記回折格子（５）から出射された前記回折光が前記コリメータ（４）で集光される位置に配置された第１のスリット（７）と、
前記コリメータ（４）で集光された前記回折光を前記第１のスリット（７）に向けて反射する第２の反射部（６）と、
前記第１のスリット（７）を通過した前記回折光を前記コリメータ（４）に向けて反射する第３の反射部（８）と、
前記第３の反射部（８）で反射された前記回折光が前記コリメータ（４）で平行光に変更され再び前記回折格子（５）で回折された後、前記コリメータ（４）で再び集光される位置に配置された第２のスリット（９）と、をさらに備えた、
モノクロメータ（１）であること。
［３］
［１］に記載のモノクロメータ（１）において、
複数の前記集光部（２２Ａ，２２Ｂ）が、トロイダルミラーから構成されている、
モノクロメータ（１）であること。
［４］
［１］～［３］の何れか１項に記載のモノクロメータ（１）において、
前記入射手段（２１Ａ，２１Ｂ）、前記集光部（２２Ａ，２２Ｂ）及び前記第１の反射部（２３Ａ，２３Ｂ）はそれぞれ、２つ設けられ、
２つの前記入射手段（２１Ａ，２１Ｂ）の並び方向において、２つの前記入射手段（２１Ａ）と前記入射手段（２１Ｂ）との間に２つの前記第１の反射部（２３Ａ，２３Ｂ）が、前記並び方向に並んで配置されている、
モノクロメータ（１）であること。
【0007】
上記［１］の構成のモノクロメータによれば、複数の集光部が入射光をそれぞれ集光して、複数の第１の反射部で反射してコリメータに入射する。これにより、第１の反射部への集光部により集光した入射光の入射位置を互いに近づければ、入射光の入射範囲をほぼ同じにすることができ、光学系のサイズを大きくすることなく、複数の入射光を１つの光学系に入射することができる。
上記［２］の構成のモノクロメータによれば、入射光を回折格子に２回反射させることができ、波長選択性を高めて、広いダイナミックレンジを得ることができる。
上記［３］の構成のモノクロメータによれば、集光部をトロイダルミラーから構成することにより、入射光を精度よく集光することができる。
上記［４］の構成のモノクロメータによれば、第１の反射部への集光部により集光した入射光の入射位置を近づけることができる。
上記［２］の構成のモノクロメータによれば、入射光を回折格子に２回反射させることができ、波長選択性を高めて、広いダイナミックレンジを得ることができる。
上記［３］の構成のモノクロメータによれば、集光部をトロイダルミラーから構成することにより、入射光を精度よく集光することができる。
上記［４］の構成のモノクロメータによれば、第１の反射部への集光部により集光した入射光の入射位置を近づけることができる。
【発明の効果】
【0008】
本発明によれば、光学系のサイズを大きくすることなく、複数の入射光を１つの光学系に入射することができるモノクロメータを提供することができる。
【0009】
以上、本発明について簡潔に説明した。更に、以下に説明される発明を実施するための形態（以下、「実施形態」という。）を添付の図面を参照して通読することにより、本発明の詳細は更に明確化されるであろう。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【発明を実施するための形態】
【0011】
本発明に関する具体的な実施形態について、各図を参照しながら以下に説明する。
【0012】
以下、説明の便宜上、図１及び図２に示すように、「前」、「後」、「上」、「下」、「右」及び「左」を定義する。「前後方向」、「上下方向」及び「左右方向」は互いに直交している。なお、左右方向は、本発明の「並び方向」に対応する。
【0013】
図１に示すように、モノクロメータ１は、２つの光ファイバ２１Ａ，２１Ｂから出射される２つの入射光ＬＡ，ＬＢを１つの光学系に入力して、入射光ＬＡ，ＬＢを分散させた光の中から、ある特定の波長の光のみを選択して第１のスリット７，第２のスリット９で取り出す装置である。
【0014】
モノクロメータ１は、入射部２と、平面鏡３と、コリメータ４と、回折格子５と、第１の反射部としての平面鏡６と、第１のスリット７と、第２の反射部としての平面鏡８と、第２のスリット９と、を備えている。入射部２は、入射光ＬＡ，ＬＢを出射する。入射部２についての詳細は後述する。平面鏡３は、入射部２から出射された入射光ＬＡ，ＬＢをコリメータ４に向けて反射する。
【0015】
本実施形態ではコリメータ４は、放物面鏡から構成される。コリメータ４は、入射部２からの入射光ＬＡ，ＬＢを平行光に変換して、回折格子５に向けて反射（出射）する。本実施形態では回折格子５は、左右方向（刻線方向）に沿った微細な溝が複数並べて形成され、コリメータ４からの平行光が入射されると、分散分光した回折光を出射する。回折光は、回折現象によって波長ごとに異なる方向に強められた光である。回折格子５は、回折格子５を通り、刻線方向に沿った回転軸Ｓ１を中心に回転自在に設けられている。回折格子５から出射された回折光は、再びコリメータ４に入射される。
【0016】
コリメータ４は、入射された回折光を反射して集光する。コリメータ４で反射された回折光は平面鏡６に入射される。平面鏡６は、コリメータ４で反射された回折光を第１のスリット７に向けて反射する。第１のスリットは、回折格子５から出射された回折光がコリメータ４で反射されて集光する位置に配置されている。回折格子５の回転によって選択された波長の回折光が、第１のスリット７を通過する。
【0017】
第１のスリット７を通過した回折光は、平面鏡８に入射される。平面鏡８は、第１のスリット７を通過した回折光を再びコリメータ４に向けて反射する。コリメータ４は、第１のスリット７を通過した回折光を再び平行光に変換して、回折格子５に向けて反射する。第２のスリット９は、回折格子５から出射された回折光がコリメータ４で再び反射されて集光する位置に配置されている。回折格子５の回転によって選択された波長の回折光が、第２のスリット９を通過する。第２のスリット９を通過した回折光が図示しない受光部に受光される。
【0018】
以上の構成によれば、入射光ＬＡ，ＬＢを回折格子５に２回反射させることができ、波長選択制を高めて、高い波長分解能と広いダイナミックレンジを得ることができる。
【0019】
次に、入射部２の詳細について説明する。入射部２は、２つの光ファイバ２１Ａ，２１Ｂと、２つの集光部としてのトロイダルミラー２２Ａ，２２Ｂと、２つの第１の反射部としてのプリズムミラー２３Ａ，２３Ｂと、を備えている。本実施形態では、図２に示すように、２つの光ファイバ２１Ａ，２１Ｂは、左右方向に並べて配置され、下側に向けて入射光ＬＡ，ＬＢを出射する。２つの光ファイバ２１Ａ，２１Ｂは、上下方向に沿った軸Ｓ２を中心に線対称に配置されている。光ファイバ２１Ａ，２１Ｂは、入射光ＬＡ，ＬＢを同時に出射してもよいし、別々に出射してもよい。
【0020】
トロイダルミラー２２Ａは、光ファイバ２１Ａの下側に配置され、トロイダルミラー２２Ｂは、光ファイバ２１Ｂの下側に配置されている。トロイダルミラー２２Ａ，２２Ｂは、左右方向に並べて配置されている。トロイダルミラー２２Ａ，２２Ｂは、軸Ｓ２を中心に線対称となる形状、位置に設けられている。光ファイバ２１Ａからの入射光ＬＡは、トロイダルミラー２２Ａに入射される。光ファイバ２１Ｂからの入射光ＬＢは、トロイダルミラー２２Ｂに入射される。
【0021】
プリズムミラー２３Ａ，２３Ｂは、左右方向において光ファイバ２１Ａと光ファイバ２１Ｂとの間に左右方向に並んで配置されている。プリズムミラー２３Ａ，２３Ｂは、トロイダルミラー２２Ａ，２２Ｂよりも上側に配置されている。プリズムミラー２３Ａ，２３Ｂは、軸Ｓ２を中心に線対称となる形状、位置に設けられている。トロイダルミラー２２Ａは、光ファイバ２１Ａからの入射光ＬＡを反射して、プリズムミラー２３Ａの反射面２３１Ａに向けて集光する。トロイダルミラー２２Ｂは、光ファイバ２１Ｂからの入射光ＬＢを反射して、プリズムミラー２３Ｂの反射面２３１Ｂに向けて集光する。プリズムミラー２３Ａ，２３Ｂの反射面２３１Ａ，２３１Ｂは、下側に配置された平面鏡３に向かうに従って互いに近づく傾斜面に設けられている。本実施形態では、プリズムミラー２３Ａ，２３Ｂの反射面２３１Ａ，２３１Ｂが軸Ｓ２で接するように設けられている。
【0022】
トロイダルミラー２２Ａ，２２Ｂから反射された入射光ＬＡ，ＬＢは、反射面２３１Ａ，２３１Ｂにおいて軸Ｓ２側の位置（軸Ｓ２に近い位置）に集光する。プリズムミラー２３Ａは、トロイダルミラー２２Ａによって集光された光を平面鏡３に向けて反射し、コリメータ４に入射させる。プリズムミラー２３Ｂは、トロイダルミラー２２Ｂによって集光された光を平面鏡３に向けて反射し、コリメータ４に入射させる。
【0023】
トロイダルミラー２２Ａ，２２Ｂで集光され、プリズムミラー２３Ａ，２３Ｂの反射面２３１Ａ，２３１Ｂに入射される入射位置が近いため、あたかも近い位置から平面鏡３に向けて入射光ＬＡ，ＬＢが出射されるようにすることができる。これにより、光ファイバ２１Ａ，２１Ｂからの入射光ＬＡ，ＬＢが平面鏡３に入射される入射範囲がほぼ同じとなり、平面鏡３、コリメータ４などの光学系のサイズを大きくする必要がなく、２つの入射光ＬＡ，ＬＢを１つの光学系に入射することができる。
【0024】
上述した実施形態によれば、集光部がトロイダルミラー２２Ａ，２２Ｂから構成されている。このため、入射光ＬＡ，ＬＢを精度よく集光することができる。
【0025】
上述した実施形態によれば、左右方向において、光ファイバ２１Ａと光ファイバ２１Ｂとの間に２つのプリズムミラー２３Ａ，２３Ｂを左右方向に並べて配置されている。これにより、プリズムミラー２３Ａ，２３Ｂへのトロイダルミラー２２Ａ，２２Ｂで集光した入射光ＬＡ，ＬＢの入射位置を近づけることができる。
【0026】
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、適宜、変形、改良、等が可能である。その他、上述した実施形態における各構成要素の材質、形状、寸法、数、配置箇所、等は本発明を達成できるものであれば任意であり、限定されない。
【0027】
上述した実施形態によれば、モノクロメータ１は、入射光ＬＡ，ＬＢを回折格子５で２回反射させる所謂ダブルパス方式であったが、回折格子５に反射させる回数は限定されない。例えば、モノクロメータ１としては、回折格子５に１回反射させるシングルパス方式であってもよい。
【0028】
上述した実施形態によれば、集光部がトライダルミラー２２Ａ，２２Ｂから構成されていたが、これに限ったものではない。集光部としては、入射光ＬＡ，ＬＢを集光できればよく、球面ミラーから構成されていてもよい。
【0029】
上述した実施形態によれば、第１の反射部として、プリズムミラー２３Ａ，２３Ｂを用いていたが、これに限ったものではない。第１の反射面としては、平面鏡を用いてもよい。
【0030】
上述した実施形態によれば、２つの第１の反射部は、２つのプリズムミラー２３Ａ，２３Ｂから構成されていたが、これに限ったものではない。２つの第１反射部は、１つのプリズムミラーから構成されていてもよい。
【0031】
ここで、上述した本発明に係るモノクロメータの実施形態の特徴をそれぞれ以下［１］～［４］に簡潔に纏めて列記する。
［１］
入射光（ＬＡ，ＬＢ）を出射する入射部（２）と、該入射部（２）から出射された入射光（ＬＡ，ＬＢ）を平行光に変換し出射するコリメータ（４）と、該コリメータ（４）から出射された前記平行光を分散分光して回折光を出射する回動可能な回折格子（５）と、を備えたモノクロメータ（１）において、
前記入射部（２）は、
前記入射光（ＬＡ，ＬＢ）をそれぞれ出射する複数の入射手段（２１Ａ，２１Ｂ）と、
複数の前記入射手段（２１Ａ，２１Ｂ）から出射された前記入射光（ＬＡ，ＬＢ）をそれぞれ集光する複数の集光部（２２Ａ，２２Ｂ）と、
複数の前記集光部（２２Ａ，２２Ｂ）で集光された前記入射光（ＬＡ，ＬＢ）をそれぞれ前記コリメータ（４）に入射するように反射する複数の第１の反射部（２３Ａ，２３Ｂ）と、を有する
モノクロメータ（１）。
［２］
［１］に記載のモノクロメータ（１）において、
前記回折格子（５）から出射された前記回折光が前記コリメータ（４）で集光される位置に配置された第１のスリット（７）と、
前記コリメータ（４）で集光された前記回折光を前記第１のスリット（７）に向けて反射する第２の反射部（６）と、
前記第１のスリット（７）を通過した前記回折光を前記コリメータ（４）に向けて反射する第３の反射部（８）と、
前記第３の反射部（８）で反射された前記回折光が前記コリメータ（４）で平行光に変更され再び前記回折格子（５）で回折された後、前記コリメータ（４）で再び集光される位置に配置された第２のスリット（９）と、をさらに備えた、
モノクロメータ（１）。
［３］
［１］に記載のモノクロメータ（１）において、
複数の前記集光部（２２Ａ，２２Ｂ）が、トロイダルミラーから構成されている、
モノクロメータ（１）であること。
［４］
［１］～［３］の何れか１項に記載のモノクロメータ（１）において、
前記入射手段（２１Ａ，２１Ｂ）、前記集光部（２２Ａ，２２Ｂ）及び前記第１の反射部（２３Ａ，２３Ｂ）はそれぞれ、２つ設けられ、
２つの前記入射手段（２１Ａ，２１Ｂ）の並び方向において、２つの前記入射手段（２１Ａ）と前記入射手段（２１Ｂ）との間に２つの前記第１の反射部（２３Ａ，２３Ｂ）が、前記並び方向に並んで配置されている、
モノクロメータ（１）。
［１］
入射光（ＬＡ，ＬＢ）を出射する入射部（２）と、該入射部（２）から出射された入射光（ＬＡ，ＬＢ）を平行光に変換し出射するコリメータ（４）と、該コリメータ（４）から出射された前記平行光を分散分光して回折光を出射する回動可能な回折格子（５）と、を備えたモノクロメータ（１）において、
前記入射部（２）は、
前記入射光（ＬＡ，ＬＢ）をそれぞれ出射する複数の入射手段（２１Ａ，２１Ｂ）と、
複数の前記入射手段（２１Ａ，２１Ｂ）から出射された前記入射光（ＬＡ，ＬＢ）をそれぞれ集光する複数の集光部（２２Ａ，２２Ｂ）と、
複数の前記集光部（２２Ａ，２２Ｂ）で集光された前記入射光（ＬＡ，ＬＢ）をそれぞれ前記コリメータ（４）に入射するように反射する複数の第１の反射部（２３Ａ，２３Ｂ）と、を有する
モノクロメータ（１）。
［２］
［１］に記載のモノクロメータ（１）において、
前記回折格子（５）から出射された前記回折光が前記コリメータ（４）で集光される位置に配置された第１のスリット（７）と、
前記コリメータ（４）で集光された前記回折光を前記第１のスリット（７）に向けて反射する第２の反射部（６）と、
前記第１のスリット（７）を通過した前記回折光を前記コリメータ（４）に向けて反射する第３の反射部（８）と、
前記第３の反射部（８）で反射された前記回折光が前記コリメータ（４）で平行光に変更され再び前記回折格子（５）で回折された後、前記コリメータ（４）で再び集光される位置に配置された第２のスリット（９）と、をさらに備えた、
モノクロメータ（１）。
［３］
［１］に記載のモノクロメータ（１）において、
複数の前記集光部（２２Ａ，２２Ｂ）が、トロイダルミラーから構成されている、
モノクロメータ（１）であること。
［４］
［１］～［３］の何れか１項に記載のモノクロメータ（１）において、
前記入射手段（２１Ａ，２１Ｂ）、前記集光部（２２Ａ，２２Ｂ）及び前記第１の反射部（２３Ａ，２３Ｂ）はそれぞれ、２つ設けられ、
２つの前記入射手段（２１Ａ，２１Ｂ）の並び方向において、２つの前記入射手段（２１Ａ）と前記入射手段（２１Ｂ）との間に２つの前記第１の反射部（２３Ａ，２３Ｂ）が、前記並び方向に並んで配置されている、
モノクロメータ（１）。
【符号の説明】
【0032】
１ モノクロメータ
２ 入射部
４ コリメータ
５ 回折格子
６ 平面鏡（第２の反射部）
７ 第１のスリット
８ 平面鏡（第３の反射部）
９ 第２のスリット
２１Ａ，２１Ｂ 光ファイバ
２２Ａ，２２Ｂ トロイダルミラー（集光部）
２３Ａ，２３Ｂ プリズムミラー（第１の反射部）
ＬＡ，ＬＢ 入射光
２ 入射部
４ コリメータ
５ 回折格子
６ 平面鏡（第２の反射部）
７ 第１のスリット
８ 平面鏡（第３の反射部）
９ 第２のスリット
２１Ａ，２１Ｂ 光ファイバ
２２Ａ，２２Ｂ トロイダルミラー（集光部）
２３Ａ，２３Ｂ プリズムミラー（第１の反射部）
ＬＡ，ＬＢ 入射光
【図1】
【図2】