特開 2024-85628 アクチュエータ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024085628

(43)【公開日】2024-06-27

(54)【発明の名称】アクチュエータ

(51)【国際特許分類】

   B06B 1/04 20060101AFI20240620BHJP

【ＦＩ】

B06B1/04 S

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022200241

(22)【出願日】2022-12-15

(71)【出願人】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100142619

【弁理士】

【氏名又は名称】河合 徹

(74)【代理人】

【識別番号】100153316

【弁理士】

【氏名又は名称】河口 伸子

(74)【代理人】

【識別番号】100196140

【弁理士】

【氏名又は名称】岩垂 裕司

(72)【発明者】

【氏名】羽多野 慎司

【テーマコード（参考）】

5D107

【Ｆターム（参考）】

5D107AA12

5D107AA14

5D107BB08

5D107CC09

5D107CC10

5D107DD03

5D107DD12

5D107FF10

(57)【要約】

【課題】磁気駆動回路により可動体を振動させるアクチュエータにおいて、コイルホルダの穴にコイルを精度良く位置決めする。
【解決手段】アクチュエータ１は、支持体２および可動体３と、可動体３と支持体２とに接続され、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えた接続体９と、可動体３を支持体２に対して相対移動させる磁気駆動回路４と、を有する。磁気駆動回路４は、支持体２に設けられたコイル６と、可動体３に設けられてコイル６に第１方向Ｚで対向する磁石７と、を備え、可動体３を第２方向Ｘに駆動する。コイル６は、空芯コイルである。支持体２は、第１コイル配置穴３１および第２コイル配置穴３２が設けられたコイルホルダ３０を備える。コイルホルダ３０は、第１コイル配置穴３１および第２コイル配置穴３２のそれぞれに配置されるコイル６に外周側から弾性接触するばね部５０を備える。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

支持体および可動体と、
前記可動体と前記支持体とに接続され、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えた接続体と、
前記可動体を前記支持体に対して相対移動させる磁気駆動回路と、を有し、
前記磁気駆動回路は、前記支持体に設けられたコイルと、前記可動体に設けられて前記コイルに第１方向で対向する磁石と、を備え、前記可動体を前記第１方向に対して交差する第２方向に駆動し、
前記コイルは、空芯コイルであり、
前記支持体は、コイル配置穴が設けられたコイルホルダを備え、
前記コイルホルダは、前記コイル配置穴に配置されるコイルに外周側から弾性接触するばね部を備えることを特徴とするアクチュエータ。

【請求項2】

前記コイルホルダは、前記コイル配置穴の内周面から突出して前記コイルの外周面に接触する受け部を備え、
前記ばね部から前記コイルに加わる押圧力により、前記受け部に前記コイルが押し付けられることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。

【請求項3】

前記ばね部は、１箇所に設けられており、
前記受け部は、前記コイル配置穴の周方向に離れた２箇所に設けられていることを特徴とする請求項２に記載のアクチュエータ。

【請求項4】

前記コイルは、前記第１方向と交差し且つ前記第２方向と交差する第３方向に平行に延びる２本の有効辺を備え、
前記ばね部は、前記２本の有効辺の一方に弾性接触し、
前記受け部は、前記２本の有効辺の他方に接触することを特徴とする請求項３に記載のアクチュエータ。

【請求項5】

前記コイルホルダは、前記第１方向と交差する方向に延びる板部を備える樹脂部材であり、前記コイル配置穴は、前記板部を前記第１方向に貫通しており、
前記ばね部は、前記板部と一体に形成される樹脂ばねであることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。

【請求項6】

前記支持体は、前記板部に前記第１方向の一方側から重なるプレートを備え、
前記ばね部は、前記コイルの外周縁を前記第１方向の他方側から係止する係止部を備えることを特徴とする請求項５に記載のアクチュエータ。

【請求項7】

前記コイルホルダは、前記コイル配置穴の内周面に開口する凹部を備え、
前記ばね部は、前記凹部の一方側の開口縁から他方側の開口縁へ向かって延びており、
前記ばね部は、前記コイル配置穴の内周面よりも内周側に突出する凸部を備えることを特徴とする請求項５に記載のアクチュエータ。

【請求項8】

前記コイル配置穴は、前記第２方向の一方側に位置する第１コイル配置穴と、前記第１コイル配置穴に対して前記第２方向の他方側に位置する第２コイル配置穴を含み、
前記コイルは、前記第１コイル配置穴に配置される第１コイルと、前記第２コイル配置穴に配置される第２コイルを含み、
前記板部は、前記第１コイル配置穴と前記第２コイル配置穴の間で前記第１方向と交差し且つ前記第２方向と交差する第３方向に延びる仕切り部を備え、
前記仕切り部には、前記第１コイル配置穴の内周面に開口する前記凹部と、前記第２コ
イル配置穴の内周面に開口する前記凹部が前記第３方向で異なる位置に設けられ、
前記第１コイル配置穴の内周面に開口する前記凹部には、前記第１コイルに前記第２方向の他方側から弾性接触する前記ばね部が設けられ、
前記第２コイル配置穴の内周面に開口する前記凹部には、前記第２コイルに前記第２方向の一方側から弾性接触する前記ばね部が設けられていることを特徴とする請求項７に記載のアクチュエータ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、可動体を振動させるアクチュエータに関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、支持体および可動体と、可動体を支持体に接続する接続体と、可動体を支持体に対して相対移動させる磁気駆動回路を有するアクチュエータが記載される。特許文献１のアクチュエータは、Ｘ方向を長手方向とする直方体形状をしており、支持体に対して可動体をＸ方向に振動させる。支持体は、磁気駆動回路のコイルを保持するコイルホルダを備える。コイルホルダには、Ｘ方向に並ぶ２箇所のコイル保持穴が形成されている。コイルは、接着剤によりコイル保持穴に固定される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１９－０１３０９４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１のアクチュエータでは、磁気駆動回路のコイルとして空芯コイルが用いられている。空芯コイルは、製造上その外形の寸法精度を高めることが困難であり、寸法ばらつきが大きい。コイル配置穴は、コイルの外形寸法にばらつきがあっても確実にコイルを収容できる形状に設計される。そのため、コイルとコイル配置穴の内周面との隙間が大きくなるおそれがあり、コイルを精度良く位置決めできないおそれがある。

【0005】

また、コイルとコイル配置穴の内周面との隙間が大きくなる場合には、接着剤を注入しても隙間に適正に充填されないおそれがある。その場合には、コイルの接着不良となるおそれがある。

【0006】

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、磁気駆動回路により可動体を振動させるアクチュエータにおいて、コイルホルダの穴にコイルを固定する際、コイルの位置決めを精度良く行うことにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記課題を解決するために、本発明に係るアクチュエータは、支持体および可動体と、前記可動体と前記支持体とに接続され、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えた接続体と、前記可動体を前記支持体に対して相対移動させる磁気駆動回路と、を有し、前記磁気駆動回路は、前記支持体に設けられたコイルと、前記可動体に設けられて前記コイルに第１方向で対向する磁石と、を備え、前記可動体を前記第１方向に対して交差する第２方向に駆動し、前記コイルは、空芯コイルであり、前記支持体は、コイル配置穴が設けられたコイルホルダを備え、前記コイルホルダは、前記コイル配置穴に配置されるコイルに外周側から弾性接触するばね部を備えることを特徴とする。

【0008】

本発明によれば、コイルホルダがコイルに外周側から弾性接触するばね部を備えているので、コイル配置穴の内周面とコイルとの間に隙間ができる場合でも、ばね部によりコイルを決められた位置に位置決めして固定することができる。また、その際、コイル配置穴にコイルを嵌め込むだけで、ばね部によりコイルが押圧される状態が形成される。従って、コイルの位置決めを容易に、且つ、精度良く行うことができ、コイルの位置精度を高めることができる。

【0009】

本発明において、前記コイルホルダは、前記コイル配置穴の内周面から突出して前記コイルの外周面に接触する受け部を備え、前記ばね部から前記コイルに加わる押圧力により、前記受け部に前記コイルが押し付けられることが好ましい。このようにすると、コイル配置穴の内周面でなく受け部の先端でコイルを支持できるので、決められた位置からコイルがずれにくい。従って、コイルの位置決めを精度良く行うことができる。また、受け部は、コイル配置穴の内周面から突出しているので、コイル配置穴の内周面とコイルの外周面との間に適正な隙間を形成することができる。従って、接着不良が発生しにくい。

【0010】

本発明において、前記ばね部は、１箇所に設けられており、前記受け部は、前記コイル配置穴の周方向に離れた２箇所に設けられていることが好ましい。このようにすると、ばね部と２箇所の受け部の３箇所でコイルを位置決めできる。従って、コイルのがたつきを回避でき、コイルの位置精度を高めることができる。

【0011】

本発明において、前記コイルは、前記第１方向と交差し且つ前記第２方向と交差する第３方向に平行に延びる２本の有効辺を備え、前記ばね部は、前記２本の有効辺の一方に弾性接触し、前記受け部は、前記２本の有効辺の他方に接触することが好ましい。このように、コイルの直線部（有効辺）にばね部と受け部を接触させることにより、ばね部からの押圧力によってコイルが傾くおそれが少ない。従って、コイルの位置精度を高めることができる。

【0012】

本発明において、前記コイルホルダは、前記第１方向と交差する方向に延びる板部を備える樹脂部材であり、前記コイル配置穴は、前記板部を前記第１方向に貫通しており、前記ばね部は、前記板部と一体に形成される樹脂ばねであることが好ましい。このようにすると、別部品のばねを取り付ける工程が不要となるので、組立工数の削減、および、部品点数の削減を図ることができる。

【0013】

本発明において、前記支持体は、前記板部に前記第１方向の一方側から重なるプレートを備え、前記ばね部は、前記コイルの外周縁を前記第１方向の他方側から係止する係止部を備えることが好ましい。このようにすると、コイルを第１方向の他方側から押さえてコイルの浮きを規制できるため、コイルの第１方向の位置精度を高めることができる。従って、コイルと磁石とのギャップの寸法精度を高めることができる。また、板部に第１方向の他方側から重なるプレートが不要となるので、組立工数の削減、および、部品点数の削減を図ることができる。

【0014】

本発明において、前記コイルホルダは、前記コイル配置穴の内周面に開口する凹部を備え、前記ばね部は、前記凹部の一方側の開口縁から他方側の開口縁へ向かって延びており、前記ばね部は、前記コイル配置穴の内周面よりも内周側に突出する凸部を備えることが好ましい。このようにすると、ばね部を外周側へ撓ませるスペースを確保できる。また、コイルの外周面をばね部の先端によって押圧することができる。

【0015】

本発明において、前記コイル配置穴は、前記第２方向の一方側に位置する第１コイル配置穴と、前記第１コイル配置穴に対して前記第２方向の他方側に位置する第２コイル配置穴を含み、前記コイルは、前記第１コイル配置穴に配置される第１コイルと、前記第２コイル配置穴に配置される第２コイルを含み、前記板部は、前記第１コイル配置穴と前記第２コイル配置穴の間で前記第１方向と交差し且つ前記第２方向と交差する第３方向に延びる仕切り部を備え、前記仕切り部には、前記第１コイル配置穴の内周面に開口する前記凹部と、前記第２コイル配置穴の内周面に開口する前記凹部が前記第３方向で異なる位置に設けられ、前記第１コイル配置穴の内周面に開口する前記凹部には、前記第１コイルに前記第２方向の他方側から弾性接触する前記ばね部が設けられ、前記第２コイル配置穴の内
周面に開口する前記凹部には、前記第２コイルに前記第２方向の一方側から弾性接触する前記ばね部が設けられていることが好ましい。このようにすると、２つのばね部を仕切り部に集約して配置でき、且つ、仕切り部の第２方向の幅が大型化することを回避できる。従って、ばね部を設けることに起因するコイルホルダの平面形状の大型化を抑制でき、アクチュエータの大型化を抑制できる。

【発明の効果】

【0016】

本発明によれば、コイルホルダがコイルに外周側から弾性接触するばね部を備えているので、コイル配置穴の内周面とコイルとの間に隙間ができる場合でも、ばね部によりコイルを決められた位置に位置決めして固定することができる。また、その際、コイル配置穴にコイルを嵌め込むだけで、ばね部によりコイルが押圧される状態が形成される。従って、コイルの位置決めを容易に、且つ、精度良く行うことができ、コイルの位置精度を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本発明に係るアクチュエータの外観斜視図である。

【図2】図１のアクチュエータのＸＺ断面図（図４のＡ－Ａ断面図）である。

【図3】図１のアクチュエータのＹＺ断面図（図４のＢ－Ｂ断面図）である。

【図4】図１のアクチュエータのＸＹ断面図（図２のＣ－Ｃ断面図）である。

【図5】図１のアクチュエータの分解斜視図である。

【図6】コイルホルダの斜視図である。

【図7】ばね部の位置で切断したコイルホルダ、プレート、およびコイルの断面図（図６（ａ）のＤ－Ｄ断面図）である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下に、図面を参照して、本発明に係るアクチュエータ１の実施形態を説明する。なお、以下の説明において、互いに交差する３つの方向を各々、第１方向Ｚ、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙとして説明する。また、第２方向Ｘの一方側にＸ１を付し、第２方向Ｘの他方側にＸ２を付し、第３方向Ｙの一方側にＹ１を付し、第３方向Ｙの他方側にＹ２を付し、第１方向Ｚの一方側にＺ１を付し、第１方向Ｚの他方側にＺ２を付して説明する。本形態では、第１方向Ｚ、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙは、互いに直交する方向である。第２方向Ｘは、可動体３の振動方向である。

【0019】

（全体構成）
図１は、本発明に係るアクチュエータ１の斜視図である。図２は、図１のアクチュエータ１のＸＺ断面図であり、図４のＡ－Ａ位置で切断した断面図である。図３は、図１のアクチュエータ１のＹＺ断面図であり、図４のＡ－Ａ位置で切断した断面図である。図４は、図１のアクチュエータ１のＸＹ断面図であり、図２のＣ－Ｃ位置で切断した断面図である。図５は、図１のアクチュエータ１の分解斜視図である。

【0020】

図１に示すように、アクチュエータ１は、全体として、第２方向Ｘの寸法が第３方向Ｙの寸法および第１方向Ｚの寸法より大きい直方体形状である。図２～図５に示すように、アクチュエータ１は、支持体２と、可動体３と、磁気駆動回路４と、配線基板５とを有する。磁気駆動回路４は、第１方向Ｚに対向するコイル６および磁石７を備えており、可動体３を第２方向Ｘに振動させる。コイル６は、支持体２の外周面に固定される配線基板５に接続されており、配線基板５を介してコイル６に電流が流れる。

【0021】

アクチュエータ１は、支持体２と可動体３とに接続される接続体９を備える。可動体３は、接続体９を介して支持体２に支持される。後述するように、アクチュエータ１は、接続体９としてゲル状部材（粘弾性体）を用いている。なお、本発明は、接続体９としてゴ
ムや板バネ等を用いたアクチュエータに適用可能である。

【0022】

アクチュエータ１は、可動体３が第２方向Ｘに振動することにより、アクチュエータ１や、アクチュエータ１を取り付けた機器等を利用する者の身体を通して利用者に情報を報知する。アクチュエータ１は、例えば、ゲーム機の操作部材、操作パネル、自動車のハンドルやいす等に組み込んで利用することができ、可動体３の第２方向Ｘの振動によって利用者に触覚を与える触覚デバイスとして使用することができる。アクチュエータ１を触覚デバイスとして使用する際、例えば、コイル６に印加する交流波形を調整して、可動体３が第２方向Ｘの一方側Ｘ１に移動する加速度と、可動体３が第２方向の他方側Ｘ２に移動する加速度とを相違させれば、利用者は、第２方向Ｘにおいて方向性を有する振動を体感することができる。

【0023】

支持体２は、第１方向Ｚの一方側Ｚ１から他方側Ｚ２に順に重ねられた第１ケース部材１０、コイルホルダ３０、および第２ケース部材２０を有する。第１ケース部材１０と第２ケース部材２０との間に可動体３および磁気駆動回路４が配置される。本形態では、第１ケース部材１０、コイルホルダ３０、および第２ケース部材２０は各々、樹脂製である。

【0024】

図５に示すように、コイルホルダ３０は、４箇所の角部にそれぞれ、第１ケース部材１０側へ突出する凸部３０ａと、第２ケース部材２０側へ突出する凸部３０ｂが設けられている。支持体２を組み立てる際には、コイルホルダ３０の凸部３０ａは第１ケース部材１０の穴１０ａに嵌まり、コイルホルダ３０の凸部３０ｂは第２ケース部材２０の穴（図示せず）に嵌まる。従って、第１ケース部材１０、コイルホルダ３０および第２ケース部材２０は互いに位置決めされた状態で連結される。第１ケース部材１０、コイルホルダ３０、および第２ケース部材２０は、例えば、接着剤により結合される。あるいは、図示しない筒状のカバーの内側に第１ケース部材１０、コイルホルダ３０、および第２ケース部材２０を保持させる構造を採用してもよい。

【0025】

第１ケース部材１０は、第２方向Ｘで並ぶ２つの凹部１３が形成された第１端板部１１と、第１端板部１１の外周縁からＺ２方向に延びる第１側板部１２を備える。第２ケース部材２０は、第２方向Ｘで並ぶ２つの凹部２３が形成された第２端板部２１と、第２端板部２１の外周縁からＺ１方向に延びる第２側板部２２を備える。コイルホルダ３０の凸部３０ａが嵌まる穴１０ａは、第１側板部１２における４箇所の角部の先端面に開口し、コイルホルダ３０の凸部３０ｂが嵌まる穴（図示せず）は、第２側板部２２における４箇所の角部の先端面に開口する。

【0026】

コイルホルダ３０のＸ２方向の側面には、配線基板５が固定される。第２ケース部材２０のＸ２方向の側面には、コイルホルダ３０からＺ２方向に突出する配線基板５の上端部分を配置する凹部２４が形成されている。コイル６から引き出したコイル線（図示せず）は、コイルホルダ３０のＺ２方向の表面に沿って引き回され、配線基板５に接続される。

【0027】

コイルホルダ３０には、第１コイル配置穴３１および第２コイル配置穴３２が第２方向Ｘに並んで設けられている。第１コイル配置穴３１はＸ１方向に配置され、第２コイル配置穴３２は第１コイル配置穴３１のＸ２方向に配置される。コイルホルダ３０は、ＸＹ面に平行な板部３３を備えており、第１コイル配置穴３１および第２コイル配置穴３２は、板部３３を第１方向Ｚに貫通する。第１コイル配置穴３１と第２コイル配置穴３２の間には、第３方向Ｙに延びる仕切り部３４が設けられている。仕切り部３４は、コイルホルダ３０の第２方向Ｘの略中央に位置する。

【0028】

コイルホルダ３０には、第１コイル配置穴３１のＸ１方向に切欠き部３０１が形成され
、第２コイル配置穴３２のＸ２方向に開口部３０２が形成されている。切欠き部３０１、および開口部３０２は板部３３を第１方向Ｚで貫通している。板部３３のＹ１方向の側面には、Ｙ２方向に凹んだ凹部３０３、３０４が設けられている。凹部３０３は、板部３３の第２方向Ｘの略中央に設けられ、凹部３０４は、板部３３のＸ２方向の端部に近い位置に設けられている。板部３３のＹ２方向の側面には、Ｙ１方向に凹んだ凹部３０５が第２方向Ｘの略中央に設けられている。凹部３０３、３０４、３０５は、コイル６からコイル線（図示せず）を引き出して配線基板５まで引き回す際、配線スペースとして利用される。

【0029】

図１に示すように、アクチュエータ１のＸ１方向の外周面には、コイルホルダ３０の切欠き部３０１を塞ぐシール部材２０１が貼付される。アクチュエータ１の製造工程において、内部を検査する際、切欠き部３０１から検査光を照射する。また、アクチュエータ１のＹ１方向の外周面には、凹部３０３、３０４を塞ぐシール部材２０２が貼付され、アクチュエータ１のＹ２方向の外周面には、凹部３０５を塞ぐシール部材２０３が貼付される。

【0030】

支持体２は、コイルホルダ３０の板部３３およびコイル６にＺ１方向から重ねられた金属製のプレート４０を備える。プレート４０は、第１コイル配置穴３１および第２コイル配置穴３２に重なるが、切欠き部３０１および開口部３０２には重ならない。コイルホルダ３０にコイル６を固定する際、プレート４０とコイルホルダ３０とを積層し、接着剤を入れた第１コイル配置穴３１および第２コイル配置穴３２にコイル６を配置して固定する。

【0031】

磁気駆動回路４は、コイル６として、第１コイル６１および第２コイル６２を備える。第１コイル６１は、第１コイル配置穴３１に配置される。第２コイル６２は、第２コイル配置穴３２に配置される。コイル６は、第３方向Ｙに延在する２本の有効辺６０１を備える長円形状の空芯コイルである。コイル６の中央には、第３方向Ｙに延びる中央穴６０２が設けられている。

【0032】

磁石７は、コイル６の有効辺６０１と第１方向Ｚで対向する。磁石７は、第１コイル６１および第２コイル６２の有効辺６０１にＺ１方向から対向する２個の第１磁石７１、７２と、第１コイル６１および第２コイル６２の有効辺６０１にＺ２方向から対向する２個の第２磁石７３、７４を備える。第１磁石７１、７２および第２磁石７３、７４は、第３方向Ｙで分極着磁される。本形態では、第１コイル６１と第２コイル６２は、同一のコイルである。また、第１磁石７１、７２、および第２磁石７３、７４は、全て同一の磁石である。

【0033】

なお、本形態では、コイル６に対する第１方向Ｚの両側に磁石７を配置しているが、磁気駆動回路４は、コイル６に対してＺ１方向およびＺ２方向の一方側にのみ磁石７を配置した構成を採用してもよい。また、本形態では、コイル６と磁石７を第１方向Ｚで対向させた磁気駆動回路４を２組備えているが、本発明は、磁気駆動回路４を１組、あるいは３組以上備えたアクチュエータに適用できる。

【0034】

可動体３は、磁石７を保持するヨーク８０を備える。図２～図５に示すように、ヨーク８０は、コイルホルダ３０の板部３３に対してＺ１方向から対向する第１板部８１と、板部３３に対してＺ２方向から対向する第２板部８２と、板部３３の第３方向Ｙの両側において第１方向Ｚに延びて第１板部８１と第２板部８２とを接続する一対の連結板部８３、８４を備える。第１板部８１のＺ２方向の表面には、第１磁石７１、７２が第２方向Ｘに並んで固定される。第２板部８２のＺ１方向の表面には、第２磁石７３、７４が第２方向Ｘに並んで固定される。第１磁石７１、７２および第２磁石７３、７４は、接着等の方法
でヨーク８０に固定される。

【0035】

本形態では、ヨーク８０は、第１板部８１および第１板部８１の第３方向Ｙの両端からＺ２方向に屈曲した一対の連結板部８３、８４を備える第１ヨーク８５と、第２板部８２からなる第２ヨーク８６の２部品を接合して製造される。連結板部８３は、第１コイル６１に対してＸ１方向でコイルホルダ３０の切欠き部３０１を通ってＺ２方向に延在し、連結板部８４は、第２コイル６２に対してＺ２方向でコイルホルダ３０の開口部３０２を通ってＺ２方向に延在する。一対の連結板部８３、８４のＺ２方向の端部は、溶接により第２板部８２の第３方向Ｙの両端部に連結される。

【0036】

（接続体）
図２に示すように、接続体９は、支持体２と可動体３とが第１方向Ｚで対向する個所に配置される。可動体３は、接続体９によって第２方向Ｘに移動可能に支持される。本形態では、接続体９は、第１ヨーク８５と第１ケース部材１０とが第１方向Ｚで対向する個所に配置される第１接続体９１、および、第２ヨーク８６と第２ケース部材２０とが第１方向Ｚで対向する個所に配置される第２接続体９２を備える。

【0037】

第１接続体９１は、第１ヨーク８５の第１板部８１と第１ケース部材１０の凹部１３の底面との間で第１方向Ｚに圧縮された状態で配置される。本形態では、２個の第１接続体９１が第２方向Ｘで並列して配置される。また、第２接続体９２は、第２ヨーク８６の第２板部８２と第２ケース部材２０の凹部２３の底面との間で第１方向Ｚに圧縮された状態で配置される。本形態では、２個の第２接続体９２が第２方向Ｘで並列して配置される。

【0038】

接続体９は、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備える。本形態では、接続体９は粘弾性体である。例えば、接続体９（粘弾性体）は、針入度が１０度から１１０度であるシリコーン系ゲルである。針入度とは、ＪＩＳ－Ｋ－２２０７やＪＩＳ－Ｋ－２２２０で規定されており、この値が小さい程、硬いことを意味する。また、粘弾性を備えた接続体９として、天然ゴム、ジエン系ゴム（例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム）、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム等）、非ジエン系ゴム（例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等）、熱可塑性エラストマー等の各種ゴム材料及びそれらの変性材料を用いてもよい。

【0039】

接続体９は、その伸縮方向によって、線形あるいは非線形の伸縮特性を備える。例えば、接続体９は、その厚さ方向（軸方向）に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分（バネ係数）よりも非線形の成分（バネ係数）が大きい伸縮特性を備える。これに対して、厚さ方向（軸方向）に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい伸縮特性を備える。また、接続体９は、厚さ方向（軸方向）と交差する方向（せん断方向）に変形する場合、いずれの方向に動いても、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい変形特性を持つ。

【0040】

可動体３が第２方向Ｘに振動した際、接続体９は、せん断方向に変形する。従って、接続体９では、可動体３が第２方向Ｘに振動した際、せん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上することができるので、微妙なニュアンスをもった振動を実現することができる。

【0041】

（樹脂ばねによるコイルの位置決め）
図６（ａ）はコイルホルダ３０をＺ２方向から見た斜視図であり、図６（ｂ）はコイルホルダ３０をＺ１方向から見た斜視図である。コイルホルダ３０は、コイル６の外周面を
押圧して位置決めするばね部５０を２箇所に備える。ばね部５０は、コイルホルダ３０と一体に形成された樹脂ばねである。

【0042】

ばね部５０は、第１コイル配置穴３１のＸ２方向の内周面、および第２コイル配置穴３２のＸ１方向の内周面に１箇所ずつ設けられている。２箇所のばね部５０は、いずれも第３方向Ｙに延びており、第２方向Ｘに弾性変形する。各ばね部５０の先端には、コイル６が位置する側に突出する凸部５１が設けられている。凸部５１の先端は、各コイル配置穴の内周面よりも内周側に突出している。従って、ばね部５０は、凸部５１の先端によってコイル６を押圧する。

【0043】

ばね部５０は、コイルホルダ３０の第２方向Ｘの中央に配置される仕切り部３４のＸ１方向の側面、および仕切り部３４のＸ２方向の側面に配置される。仕切り部３４のＸ１方向の側面には、Ｘ２方向に凹む凹部３５が設けられている。凹部３５は、第１コイル配置穴３１の内周面で開口する。ばね部５０は、凹部３５のＹ１方向の開口縁からＹ２方向の開口縁に向かって延びている。ばね部５０のＹ２方向の先端には、Ｘ１方向に突出する凸部５１が設けられている。第１コイル配置穴３１に第１コイル６１を固定する際、凹部３５の内側に向かってばね部５０を撓ませて第１コイル６１を嵌め込むと、ばね部５０の先端に設けられた凸部５１が第１コイル６１に接触し、ばね部５０の弾性復帰力によって第１コイル６１がＸ１方向に押圧される。

【0044】

仕切り部３４のＸ２方向の側面には、Ｘ１方向に凹む凹部３６が設けられている。凹部３６は、第２コイル配置穴３２の内周面で開口する。仕切り部３４のＸ１方向の側面に設けられる凹部３５と、仕切り部３４のＸ２方向の側面に設けられる凹部３６は、第３方向Ｙの位置が異なる。凹部３５は、仕切り部３４の第３方向Ｙの中央よりもＹ１方向に位置する。凹部３６は、仕切り部３４の第３方向Ｙの中央よりもＹ２方向に位置する。

【0045】

仕切り部３４のＸ２方向の側面において、ばね部５０は、凹部３６のＹ２方向の開口縁からＹ１方向の開口縁に向かって延びている。ばね部５０のＹ１方向の先端には、Ｘ２方向に突出する凸部５１が設けられている。第２コイル配置穴３２に第２コイル６２を固定する際、凹部３６の内側に向かってばね部５０を撓ませて第２コイル６２を嵌め込むと、ばね部５０の先端に設けられた凸部５１が第２コイル６２に接触し、ばね部５０の弾性復帰力によって第２コイル６２がＸ２方向に押圧される。

【0046】

コイルホルダ３０は、第１コイル配置穴３１のＸ１方向の内周面、および第２コイル配置穴３２のＸ２方向の内周面から突出する受け部５５を備える。第１コイル６１は、第１コイル配置穴３１においてばね部５０によりＸ１方向に押圧され、受け部５５に押し付けられている。第２コイル６２は、第２コイル配置穴３２においてばね部５０によりＸ２方向に押圧され、受け部５５に押し付けられている。第１コイル配置穴３１のＸ１方向の内周面、および第２コイル配置穴３２のＸ２方向の内周面には、それぞれ、第３方向Ｙに離れた２箇所に受け部５５が設けられている。従って、第１コイル６１および第２コイル６２には、いずれも、２箇所の受け部５５と１箇所のばね部５０が接触しており、３点で支持される。

【0047】

第１コイル配置穴３１および第２コイル配置穴３２において、２箇所の受け部５５と１箇所のばね部５０は、第１コイル６１および第２コイル６２の湾曲部でなく、直線状に延びる有効辺６０１の部分に接触する位置に配置される。ばね部５０は２本の有効辺６０１の一方に接触し、２箇所の受け部５５は他方の有効辺６０１に接触する。２箇所の受け部５５は、有効辺６０１の両端に接触する。なお、本形態では、ばね部５０は、有効辺６０１の中央からずれた位置を押圧しているが、ばね部５０が有効辺６０１の中央を押圧するように構成してもよい。

【0048】

図７は、ばね部５０の位置で切断したコイルホルダ３０、プレート４０、およびコイル６の断面図であり、図６（ａ）のＤ－Ｄ位置で切断した断面図である。コイルホルダ３０には、第１コイル配置穴３１および第２コイル配置穴３２をＺ１方向から塞ぐようにプレート４０が取り付けられており、第１コイル６１および第２コイル６２はプレート４０によりＺ１方向から支持される。

【0049】

図６、図７に示すように、ばね部５０は、凸部５１のＺ２方向の端部から突出する係止部５２を備える。係止部５２は、第１コイル６１のＸ２方向の外周縁をＺ２方向から係止する。同様に、受け部５５のＺ２方向の端部から突出する係止部５６が第１コイル６１のＸ１方向の外周縁をＺ２方向から係止する。これにより、第１コイル６１が第１コイル配置穴３１から抜けないように保持される。第２コイル配置穴３２においても、同様に、第２コイル６２は、ばね部５０に設けられた係止部５２、および、受け部５５に設けられた係止部５６が第２コイル６２の外周縁をＺ２方向から係止する。これにより、第２コイル６２が第２コイル配置穴３２から抜けないように保持される。

【0050】

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態のアクチュエータ１は、支持体２および可動体３と、可動体３と支持体２とに接続され、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えた接続体９と、可動体３を支持体２に対して相対移動させる磁気駆動回路４と、を有する。磁気駆動回路４は、支持体２に設けられたコイル６と、可動体３に設けられてコイル６に第１方向Ｚで対向する磁石７と、を備え、可動体３を第１方向Ｚに対して交差する第２方向Ｘに駆動する。コイル６は、空芯コイルである。支持体２は、コイル配置穴（第１コイル配置穴３１、第２コイル配置穴３２）が設けられたコイルホルダ３０を備える。コイルホルダ３０は、コイル配置穴に配置されるコイル６に外周側から弾性接触するばね部５０を備える。

【0051】

このように、本形態では、コイルホルダ３０がコイル６に外周側から弾性接触するばね部５０を備えているので、コイル配置穴（第１コイル配置穴３１、第２コイル配置穴３２）の内周面とコイル６との間に隙間ができる場合でも、ばね部５０によりコイル６を決められた位置に位置決めして固定することができる。また、その際、コイル配置穴にコイル６を嵌め込むだけで、ばね部５０によりコイル６が押圧される状態が形成される。従って、コイル６の位置決めを容易に、且つ、精度良く行うことができ、コイル６の位置精度を高めることができる。

【0052】

本形態では、コイルホルダ３０は、コイル配置穴（第１コイル配置穴３１、第２コイル配置穴３２）の内周面から突出してコイル６の外周面に接触する受け部５５を備え、ばね部５０からコイル６に加わる押圧力により、受け部５５にコイル６が押し付けられている。このように、コイル配置穴の内周面でなく受け部５５の先端でコイル６を支持すると、決められた位置からコイル６がずれにくい。従って、コイル６の位置決めを精度良く行うことができる。また、受け部５５は、コイル配置穴の内周面から突出しているので、コイル配置穴の内周面とコイル６の外周面との間に適正な隙間を形成することができる。従って、接着剤を適正に入れることができ、接着不良が発生しにくい。

【0053】

本形態では、第１コイル配置穴３１および第２コイル配置穴３２のそれぞれにおいて、ばね部５０は１箇所に設けられてており、受け部５５は、コイル配置穴の周方向に離れた２箇所に設けられている。これにより、ばね部５０と２箇所の受け部５５の３点でコイル６を位置決めできる。従って、コイル６のがたつきを回避でき、コイル６の位置精度を高めることができる。

【0054】

なお、ばね部５０と受け部５５の配置および数は、本形態の配置および数に限定されな
い。例えば、ばね部５０を２箇所に設け、受け部５５を１箇所に設けてもよい。

【0055】

本形態では、コイル６は、第１方向Ｚと交差し且つ第２方向Ｘと交差する第３方向Ｙに平行に延びる２本の有効辺６０１を備え、ばね部５０は、２本の有効辺６０１の一方に弾性接触し、受け部５５は、２本の有効辺６０１の他方に接触する。このように、コイル６の直線部（有効辺６０１）にばね部５０と受け部５５を接触させることにより、ばね部５０からの押圧力によってコイル６が傾くおそれを少なくすることができる。従って、コイル６の位置精度を高めることができる。

【0056】

本形態では、コイルホルダ３０は、第１方向Ｚと交差する方向に延びる板部３３を備える樹脂部材であり、第１コイル配置穴３１および第２コイル配置穴３２は、板部３３を第１方向Ｚに貫通している。ばね部５０は、板部３３と一体に形成される樹脂ばねである。このように、コイルホルダ３０にばね部５０を一体成形することにより、別部品のばねを取り付ける工程が不要となる。従って、組立工数の削減、および、部品点数の削減を図ることができ、コストダウンを図ることができる。

【0057】

本形態では、支持体２は、板部３３にＺ１方向（第１方向Ｚの一方側）から重なるプレート４０を備え、ばね部５０は、コイル６の外周縁をＺ２方向（第１方向Ｚの他方側）から係止する係止部５２を備える。さらに、受け部５５は、コイル６の外周縁をＺ２方向から係止する係止部５６を備える。従って、コイル６をＺ２方向から押さえてコイル６の浮きを規制できるため、コイル６の第１方向Ｚの位置精度を高めることができる。また、従来は、板部３３にＺ２方向から重なるプレートを設けてコイル６を押えていたが、このプレートは不要となる。従って、組立工数の削減、および、部品点数の削減を図ることができ、コストダウンを図ることができる。

【0058】

本形態では、コイルホルダ３０は、第１コイル配置穴３１の内周面に開口する凹部３５と、第２コイル配置穴３２の内周面に開口する凹部３６を備える。ばね部５０は、凹部３５、３６の周方向の一方側の開口縁から周方向の他方側の開口縁へ向かって延びている。このように、各コイル配置穴の内周面に凹部３５、３６を形成してばね部５０を配置することにより、ばね部５０を外周側へ撓ませるスペースを確保できる。また、ばね部５０の先端には、各コイル配置穴の内周面よりも内周側に突出する凸部５１が設けられている。従って、各コイル配置穴にコイル６を配置した際、コイル６の外周面をばね部５０の先端に設けられた凸部５１によって押圧することができる。

【0059】

本形態では、コイル配置穴は、Ｘ１方向（第２方向の一方側）に位置する第１コイル配置穴３１と、第１コイル配置穴３１に対してＸ２方向（第２方向の他方側）に位置する第２コイル配置穴３２を含む。コイル６は、第１コイル配置穴３１に配置される第１コイル６１と、第２コイル配置穴３２に配置される第２コイル６２を含む。コイルホルダ３０の板部３３は、第１コイル配置穴３１と第２コイル配置穴３２の間で第１方向Ｚと交差し且つ第２方向Ｘと交差する第３方向Ｙに延びる仕切り部３４を備える。仕切り部３４には、第１コイル配置穴３１の内周面に開口する凹部３５と、第２コイル配置穴３２の内周面に開口する凹部３６が第３方向Ｙで異なる位置に設けられている。第１コイル配置穴３１の内周面に開口する凹部３５には、コイル６にＸ２方向（第２方向の他方側）から弾性接触するばね部５０が設けられている。第２コイル配置穴３２の内周面に開口する凹部３６には、コイル６にＸ１方向（第２方向の一方側）から弾性接触するばね部５０が設けられている。

【0060】

このように、本形態では、２つのばね部５０を配置するための凹部３５、３６を仕切り部３４において第３方向Ｙに並べて形成したので、ばね部５０を設けるための構造を仕切り部３４に集約して配置しながら、仕切り部３４の大型化を抑制できる。従って、ばね部
５０を設けたことに起因するコイルホルダ３０の平面形状の大型化を抑制でき、アクチュエータの大型化を抑制できる。

【符号の説明】

【0061】

１…アクチュエータ、２…支持体、３…可動体、４…磁気駆動回路、５…配線基板、６…コイル、７…磁石、９…接続体、１０…第１ケース部材、１０ａ…穴、１１…第１端板部、１２…第１側板部、１３…凹部、２０…第２ケース部材、２１…第２端板部、２２…第２側板部、２３…凹部、２４…凹部、３０…コイルホルダ、３０ａ、３０ｂ…凸部、３１…第１コイル配置穴、３２…第２コイル配置穴、３３…板部、３４…仕切り部、３５、３６…凹部、４０…プレート、５０…ばね部、５１…凸部、５２…係止部、５５…受け部、５６…係止部、６１…第１コイル、６２…第２コイル、７１、７２…第１磁石、７３、７４…第２磁石、８０…ヨーク、８１…第１板部、８２…第２板部、８３、８４…連結板部、８５…第１ヨーク、８６…第２ヨーク、９１…第１接続体、９２…第２接続体、２０１、２０２、２０３…シール部材、３０１…切欠き部、３０２…開口部、３０３、３０４、３０５…凹部、６０１…有効辺、６０２…中央穴、Ｘ…第２方向、Ｙ…第３方向、Ｚ…第１方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】