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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024086114
(43)【公開日】2024-06-27
(54)【発明の名称】搬送装置
(51)【国際特許分類】
B65G 1/00 20060101AFI20240620BHJP
B61B 13/00 20060101ALI20240620BHJP
【ＦＩ】
B65G1/00 501C
B61B13/00 V
【審査請求】未請求
【請求項の数】4
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022201062
(22)【出願日】2022-12-16
(71)【出願人】
【識別番号】000003643
【氏名又は名称】株式会社ダイフク
(74)【代理人】
【識別番号】110001818
【氏名又は名称】弁理士法人Ｒ＆Ｃ
(72)【発明者】
【氏名】稲留 慶太
(72)【発明者】
【氏名】坂本 純一
(72)【発明者】
【氏名】吉崎 豪
【テーマコード（参考）】
3D101
3F022
【Ｆターム（参考）】
3D101BB16
3D101BB17
3D101BB34
3D101BB39
3F022AA08
3F022CC02
3F022EE05
3F022LL12
3F022MM51
3F022PP06
3F022QQ12
(57)【要約】
【課題】搬送対象物が検知面を通過しない場合には、検知面を通過する物体を検知し、搬送対象物が検知面を通過する場合には、搬送対象物を検知しないように、侵入検知センサを適切にミューティングすることが可能な搬送装置の実現が望まれる。
【解決手段】搬送車と、カバー部材と、侵入検知センサと、侵入検知センサを無効にするミューティング装置と、を備えた搬送装置であって、搬送車は、載置部と、載置部を支持して走行する台車部と、を備え、検知面は、搬送対象物の移動軌跡に交差するように配置され、ミューティング装置は、載置センサの検知結果が肯定的であり、且つ、範囲検知センサの検知結果が肯定的である場合に、侵入検知センサを無効にし、載置センサの検知結果が否定的である場合、又は、範囲検知センサの検知結果が否定的である場合には、侵入検知センサを有効にする。
【選択図】図５
【解決手段】搬送車と、カバー部材と、侵入検知センサと、侵入検知センサを無効にするミューティング装置と、を備えた搬送装置であって、搬送車は、載置部と、載置部を支持して走行する台車部と、を備え、検知面は、搬送対象物の移動軌跡に交差するように配置され、ミューティング装置は、載置センサの検知結果が肯定的であり、且つ、範囲検知センサの検知結果が肯定的である場合に、侵入検知センサを無効にし、載置センサの検知結果が否定的である場合、又は、範囲検知センサの検知結果が否定的である場合には、侵入検知センサを有効にする。
【選択図】図５
【特許請求の範囲】
【請求項1】
予め定められた移動経路に沿って往復移動することで搬送対象物を搬送する搬送車と、前記移動経路を覆うカバー部材と、検知面を通過する物体を検知する侵入検知センサと、前記侵入検知センサを一時的に無効にするミューティング装置と、を備えた搬送装置であって、
前記搬送車は、前記搬送対象物が載置される載置部と、前記載置部を支持して走行する台車部と、を備え、
前記検知面は、前記載置部よりも上側であって、前記載置部に載置された前記搬送対象物の移動軌跡に交差するように配置され、
前記移動経路に沿う方向を移動方向とし、前記移動方向における、前記載置部に載置された前記搬送対象物が前記検知面と交差することになる前記搬送車の位置の範囲を検知対応範囲として、
前記ミューティング装置は、
前記搬送対象物が前記載置部に載置されているか否かを検知する載置センサと、前記搬送車が前記検知対応範囲に基づいて設定された対象範囲にいるか否かを検知する範囲検知センサと、を備え、
前記載置センサの検知結果が肯定的であり、且つ、前記範囲検知センサの検知結果が肯定的である場合に、前記侵入検知センサを無効にし、
前記載置センサの検知結果が否定的である場合、又は、前記範囲検知センサの検知結果が否定的である場合には、前記侵入検知センサを有効にする、搬送装置。
前記搬送車は、前記搬送対象物が載置される載置部と、前記載置部を支持して走行する台車部と、を備え、
前記検知面は、前記載置部よりも上側であって、前記載置部に載置された前記搬送対象物の移動軌跡に交差するように配置され、
前記移動経路に沿う方向を移動方向とし、前記移動方向における、前記載置部に載置された前記搬送対象物が前記検知面と交差することになる前記搬送車の位置の範囲を検知対応範囲として、
前記ミューティング装置は、
前記搬送対象物が前記載置部に載置されているか否かを検知する載置センサと、前記搬送車が前記検知対応範囲に基づいて設定された対象範囲にいるか否かを検知する範囲検知センサと、を備え、
前記載置センサの検知結果が肯定的であり、且つ、前記範囲検知センサの検知結果が肯定的である場合に、前記侵入検知センサを無効にし、
前記載置センサの検知結果が否定的である場合、又は、前記範囲検知センサの検知結果が否定的である場合には、前記侵入検知センサを有効にする、搬送装置。
【請求項2】
前記範囲検知センサは、前記移動経路に沿って配置された被検知体と、前記搬送車に搭載されて前記被検知体を検知する車載センサと、を備え、
前記被検知体は、前記搬送車が前記対象範囲にいる場合に前記車載センサに検知され、前記搬送車が前記対象範囲の外にいる場合には前記車載センサに検知されないように設けられている、請求項１に記載の搬送装置。
前記被検知体は、前記搬送車が前記対象範囲にいる場合に前記車載センサに検知され、前記搬送車が前記対象範囲の外にいる場合には前記車載センサに検知されないように設けられている、請求項１に記載の搬送装置。
【請求項3】
前記搬送車は、前記台車部に対して前記載置部を昇降させる昇降機構を更に備え、
前記昇降機構は、前記搬送対象物が前記載置部に載置されていない場合には、前記載置部を第１高さに位置させ、前記搬送対象物が前記載置部に載置されている場合には、前記載置部を前記第１高さよりも上側の第２高さに位置させるように構成され、
前記検知面の下端は、前記第１高さの前記載置部よりも上側であって前記第２高さの前記載置部よりも下側に配置されている、請求項１又は２に記載の搬送装置。
前記昇降機構は、前記搬送対象物が前記載置部に載置されていない場合には、前記載置部を第１高さに位置させ、前記搬送対象物が前記載置部に載置されている場合には、前記載置部を前記第１高さよりも上側の第２高さに位置させるように構成され、
前記検知面の下端は、前記第１高さの前記載置部よりも上側であって前記第２高さの前記載置部よりも下側に配置されている、請求項１又は２に記載の搬送装置。
【請求項4】
前記移動経路及び前記カバー部材が、壁部材を貫通するように配置され、
前記壁部材における前記搬送対象物の前記移動軌跡と交差する部分には、開口が形成され、
前記検知面は、前記開口における前記載置部よりも上側に設定された検知境界線よりも上側の全体を覆うように配置されている、請求項１又は２に記載の搬送装置。
前記壁部材における前記搬送対象物の前記移動軌跡と交差する部分には、開口が形成され、
前記検知面は、前記開口における前記載置部よりも上側に設定された検知境界線よりも上側の全体を覆うように配置されている、請求項１又は２に記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、予め定められた移動経路に沿って往復移動することで搬送対象物を搬送する搬送車と、前記移動経路を覆うカバー部材と、検知面を通過する物体を検知する侵入検知センサと、前記侵入検知センサを一時的に無効にするミューティング装置と、を備えた搬送装置に関する。
【背景技術】
【0002】
このような搬送装置の一例が、特開２００９－６３３６２号公報（特許文献１）に開示されている。以下、この背景技術の説明では、特許文献１における符号を括弧内に引用する。特許文献１の搬送装置は、侵入検知センサ（１１）と、複数のミュートセンサ（Ａ１、Ａ２、Ｂ１、Ｂ２）と、を備えている。ミュートセンサ（Ａ１、Ａ２）は、搬送対象物（ワークＷ）の搬送経路において、侵入検知センサ（１１）よりも上流側に配置され、ミュートセンサ（Ｂ１、Ｂ２）は、侵入検知センサ（１１）よりも下流側に配置されている。そして、搬送対象物がミュートセンサ（Ａ１、Ａ２）により検知されると、侵入検知センサ（１１）に対するミューティングが開始され、搬送中の搬送対象物が侵入検知センサ（１１）により検知されなくなる。また、搬送対象物が、最も下流側のミュートセンサ（Ｂ２）により検知されると、侵入検知センサ（１１）に対するミューティングが終了する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２００９－６３３６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
ところで、特許文献１に開示されたミュートセンサは、投光部と受光部とを備える光センサであり、投光部から射出された光が遮断されることにより、搬送経路上の搬送対象物を検知する。そのため、例えば、搬送対象物が透明であるような場合には、射出された光が搬送対象物を透過してしまうため、ミュートセンサが搬送対象物を検知できないことがあり、このような場合、侵入検知センサがミューティングされずに、搬送対象物を誤って検知してしまう恐れがある。すなわち、搬送対象物の材質や色によっては、侵入検知センサを適切にミューティングできないという問題が生じるが、特許文献１にはこの点について言及されていない。
【0005】
そこで、搬送対象物が検知面を通過しない場合には、検知面を通過する物体を検知し、搬送対象物が検知面を通過する場合には、搬送対象物を検知しないように、侵入検知センサを適切にミューティングすることが可能な搬送装置の実現が望まれる。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本開示に係る搬送装置は、予め定められた移動経路に沿って往復移動することで搬送対象物を搬送する搬送車と、前記移動経路を覆うカバー部材と、検知面を通過する物体を検知する侵入検知センサと、前記侵入検知センサを一時的に無効にするミューティング装置と、を備えた搬送装置であって、
前記搬送車は、前記搬送対象物が載置される載置部と、前記載置部を支持して走行する台車部と、を備え、
前記検知面は、前記載置部よりも上側であって、前記載置部に載置された前記搬送対象物の移動軌跡に交差するように配置され、
前記移動経路に沿う方向を移動方向とし、前記移動方向における、前記載置部に載置された前記搬送対象物が前記検知面と交差することになる前記搬送車の位置の範囲を検知対応範囲として、
前記ミューティング装置は、
前記搬送対象物が前記載置部に載置されているか否かを検知する載置センサと、前記搬送車が前記検知対応範囲に基づいて設定された対象範囲にいるか否かを検知する範囲検知センサと、を備え、
前記載置センサの検知結果が肯定的であり、且つ、前記範囲検知センサの検知結果が肯定的である場合に、前記侵入検知センサを無効にし、
前記載置センサの検知結果が否定的である場合、又は、前記範囲検知センサの検知結果が否定的である場合には、前記侵入検知センサを有効にする。
前記搬送車は、前記搬送対象物が載置される載置部と、前記載置部を支持して走行する台車部と、を備え、
前記検知面は、前記載置部よりも上側であって、前記載置部に載置された前記搬送対象物の移動軌跡に交差するように配置され、
前記移動経路に沿う方向を移動方向とし、前記移動方向における、前記載置部に載置された前記搬送対象物が前記検知面と交差することになる前記搬送車の位置の範囲を検知対応範囲として、
前記ミューティング装置は、
前記搬送対象物が前記載置部に載置されているか否かを検知する載置センサと、前記搬送車が前記検知対応範囲に基づいて設定された対象範囲にいるか否かを検知する範囲検知センサと、を備え、
前記載置センサの検知結果が肯定的であり、且つ、前記範囲検知センサの検知結果が肯定的である場合に、前記侵入検知センサを無効にし、
前記載置センサの検知結果が否定的である場合、又は、前記範囲検知センサの検知結果が否定的である場合には、前記侵入検知センサを有効にする。
【0007】
本構成によれば、搬送車が搬送対象物を搬送している場合であって、且つ、載置部に載置された搬送対象物が検知面と交差することになる範囲である検知対応範囲に搬送車がいる場合には、侵入検知センサが無効にされる。そのため、侵入検知センサが、搬送中の搬送対象物を誤って検知することが回避されるように、侵入検知センサのミューティングを適切に行うことができる。
また、本構成によれば、搬送車が搬送対象物を搬送していない場合には、搬送車の位置に拘らず侵入検知センサが有効な状態に維持される。このように、搬送車が搬送対象物を搬送していない場合に侵入検知センサが有効となることで、搬送対象物が存在しない検知面を、人体等の物体が通過しても侵入検知センサにより検知できない事態が生じることを回避できる。従って、検知面を通過する搬送対象物以外の物体を適切に検知できる可能性を高めることができる。
このように、本構成によれば、搬送対象物が検知面を通過しない場合には、検知面を通過する物体を検知し、搬送対象物が検知面を通過する場合には、搬送対象物を検知しないように、侵入検知センサを適切にミューティングすることができる。
また、本構成によれば、搬送車が搬送対象物を搬送していない場合には、搬送車の位置に拘らず侵入検知センサが有効な状態に維持される。このように、搬送車が搬送対象物を搬送していない場合に侵入検知センサが有効となることで、搬送対象物が存在しない検知面を、人体等の物体が通過しても侵入検知センサにより検知できない事態が生じることを回避できる。従って、検知面を通過する搬送対象物以外の物体を適切に検知できる可能性を高めることができる。
このように、本構成によれば、搬送対象物が検知面を通過しない場合には、検知面を通過する物体を検知し、搬送対象物が検知面を通過する場合には、搬送対象物を検知しないように、侵入検知センサを適切にミューティングすることができる。
【0008】
搬送装置のさらなる特徴と利点は、図面を参照して説明する例示的且つ非限定的な実施形態についての以下の記載から明確となる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下に、搬送装置１を処理装置１０に適用した例について図面に基づいて説明する。図１に示すように、本実施形態では、搬送装置１は、処理装置１０に設けられており、搬送対象物Ｗを、処理装置１０の内部と外部との間に亘って搬入及び搬出する。本例では、搬送装置１は、処理装置１０が設置された床面から作業者の腰の高さ分だけ上方に設けられている。
【0011】
本実施形態では、搬送対象物Ｗは、処理装置１０による直接の処理対象物を収容する容器であり、処理装置１０は、搬送対象物Ｗに収容された処理対象物に対して処理を行う。具体的には、搬送対象物Ｗは、ウェハを収容するＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）であり、処理装置１０は、搬送対象物Ｗに収容されたウェハに対して処理（例えば、洗浄処理やエッチング処理等）を行う。
【0012】
図２及び図３に示すように、搬送装置１は、予め定められた移動経路Ｒに沿って往復移動することで搬送対象物Ｗを搬送する搬送車２と、移動経路Ｒを覆うカバー部材３と、検知面４を通過する物体を検知する侵入検知センサ５と、侵入検知センサ５を一時的に無効にするミューティング装置６と、を備えている。本実施形態では、搬送装置１は、制御装置Ｈを更に備えている。以下では、搬送装置１の具体的な構成について説明する。
【0013】
なお、以下では、移動経路Ｒに沿う方向を移動方向Ｘとし、上下方向視で移動方向Ｘに直交する方向を幅方向Ｙとして説明する。また、移動方向Ｘの一方側を移動方向第１側Ｘ１とし、移動方向Ｘの他方側を移動方向第２側Ｘ２として説明する。
【0014】
図１及び図２に示すように、本実施形態では、移動経路Ｒ及びカバー部材３が、壁部材８を貫通するように配置されている。また、壁部材８における搬送対象物Ｗの移動軌跡７と交差する部分には、開口８１が形成されている。本例では、壁部材８は、処理装置１０の内部を覆う壁体（ここでは、外壁）とされている。そして、移動経路Ｒ及びカバー部材３は、壁部材８に形成された開口８１に挿通されて、処理装置１０の内部と外部とを接続するように配置されている。開口８１は、搬送車２及び搬送車２により搬送される搬送対象物Ｗが通過できるように、壁部材８を移動方向Ｘに貫通して形成されている。また、本実施形態では、移動経路Ｒに沿って搬送車２が走行可能な走行面Ｆが形成されている。すなわち、搬送車２は、走行面Ｆを走行することで、移動経路Ｒに沿って移動する。カバー部材３は、後述する搬送車２の台車部２２の走行軌跡と、走行面Ｆとを覆うように配置されている。これにより、例えば、台車部２２が移動する領域に、作業者の手などが侵入することを防ぐことができ、搬送装置１の安全性を高めることができる。
【0015】
本例では、図１及び図２に示すように、搬送装置１は、第１支持部１１と、第２支持部１２とを備えている。第１支持部１１は、壁部材８の開口８１に対して移動方向第１側Ｘ１（すなわち、処理装置１０の外側）に設けられている。また、第２支持部１２は、壁部材８の開口８１に対して移動方向第２側Ｘ２（すなわち、処理装置１０の内部側）に設けられている。そして、走行面Ｆは、第１支持部１１と第２支持部１２とを接続するように配置されている。すなわち、移動経路Ｒは、第１支持部１１と第２支持部１２とを接続する経路である。第１支持部１１及び第２支持部１２は、搬送対象物Ｗを支持できると共に、走行面Ｆを走行する搬送車２との間で搬送対象物Ｗを受け渡し可能に構成されている。そして、搬送車２は、走行面Ｆ上を走行することで、移動経路Ｒを往復移動し、第１支持部１１及び第２支持部１２との間で搬送対象物Ｗの受け渡しを行う。なお、本例では、搬送車２は、作業者が処理装置１０の外部から第１支持部１１に載置した搬送対象物Ｗを第２支持部１２に向けて搬送する。そして、第２支持部１２に搬送された搬送対象物Ｗは、処理装置１０が備える搬送機構等によって、第２支持部１２から処理対象物に対して例えば洗浄処理等が行われる処理部（不図示）に搬送される。また、そのような処理が行われた後の搬送対象物Ｗは、処理部から第２支持部１２に搬送される。そして、搬送車２は、当該搬送対象物Ｗを、第２支持部１２から第１支持部１１に向けて搬送する。第１支持部１１に搬送された処理後の搬送対象物Ｗは、作業者によって回収される。なお、第１支持部１１と第２支持部１２とのそれぞれは、搬送対象物Ｗを載置可能に構成されており、例えば、搬送対象物Ｗが載置されたことを検知する公知の在荷センサを備えていると好適である。
【0016】
図１及び図２の例では、走行面Ｆは、移動方向Ｘに延在する板状部材の上面とされている。そして、走行面Ｆは、上下方向の位置が、第１支持部１１及び第２支持部１２のそれぞれの上面よりも下側になるように配置されている。また、走行面Ｆの始端（ここでは、移動方向第１側Ｘ１の端部）は、第１支持部１１と上下方向視で重複し、走行面Ｆの終端（ここでは、移動方向第２側Ｘ２の端部）は、第２支持部１２と上下方向視で重複するように配置されている。なお、第１支持部１１と第２支持部１２との上面は、互いに同じ高さになるように配置されている。
【0017】
また、図１及び図２の例では、カバー部材３は、第１カバー３１と、第２カバー３２と、第３カバー３３とを備えており、これらはそれぞれ板状の部材とされている。第１カバー３１は、走行面Ｆの始端から立ち上がるように設けられており、台車部２２の走行軌跡に対して、移動方向第１側Ｘ１の外側に配置されている。第２カバー３２は、走行面Ｆの幅方向Ｙの両端から立ち上がるように２つ設けられており、台車部２２の走行軌跡に対して幅方向Ｙの両外側にそれぞれ配置されている。第３カバー３３は、台車部２２の走行軌跡の上側を覆うように配置されており、第１カバー３１と、２つの第２カバー３２とに下側から支持されるように設けられている。なお、第３カバー３３には、後述する昇降機構２３（ここでは、昇降体２４）が、搬送車２の走行等により第３カバー３３と干渉しないように、移動方向Ｘに沿うと共に上下方向に貫通した貫通孔３４（言い換えれば、移動方向Ｘに沿って延びるスリット状の貫通孔）が形成されている。このようにして、カバー部材３は、移動経路Ｒ（ここでは、台車部２２の走行軌跡）を覆っている。具体的には、本実施形態では、移動経路Ｒを覆うカバー部材３は、貫通孔３４が形成されるように、移動経路Ｒを部分的に覆っている。本明細書では、「覆う」は、全体を覆う場合と部分的に覆う場合との双方を含む概念として用いている。
【0018】
図２及び図３に示すように、搬送車２は、搬送対象物Ｗが載置される載置部２１と、載置部２１を支持して走行する台車部２２と、を備えている。本実施形態では、台車部２２は、載置部２１を下側から支持している。台車部２２は、走行面Ｆを転動する複数の車輪と、不図示の駆動モータとを備えている。そして、搬送車２は、駆動モータにより１つ又は複数の車輪を回転駆動させることで、台車部２２が移動方向Ｘに走行するための推進力を得ることができる。なお、走行面Ｆには、例えば、１つ又は複数の車輪を移動方向Ｘに案内する案内レールが設けられていてもよく、車輪とは異なる案内輪が、例えば台車部２２の側面等に別途設けられ、当該案内輪を移動方向Ｘに案内する案内レールが設けられていてもよい。また、本例では、台車部２２は、処理装置１０に設けられた給電部（不図示）から電力を供給するための給電線（不図示）と接続されているが、非接触給電により給電されてもよい。また、図示の例では、載置部２１の上面には、搬送対象物Ｗの位置決めを行う複数（ここでは３つ）の位置決めピンＫが設けられており、これにより、載置部２１において、第１支持部１１や第２支持部１２から載せ替えられた搬送対象物Ｗの位置決めが行われる。このように、搬送車２は、搬送対象物Ｗを、載置部２１の上面で支持して走行する。
【0019】
本実施形態では、搬送車２は、台車部２２に対して載置部２１を昇降させる昇降機構２３を更に備えている。そして、図２及び図３に示すように、昇降機構２３は、搬送対象物Ｗが載置部２１に載置されていない場合には、載置部２１を第１高さＴ１に位置させ、搬送対象物Ｗが載置部２１に載置されている場合には、載置部２１を第１高さＴ１よりも上側の第２高さＴ２に位置させるように構成されている。本例では、第１高さＴ１は、第１支持部１１及び第２支持部１２よりも下側であって、カバー部材３（ここでは、第３カバー３３）よりも上側の位置に設定されている。第２高さＴ２は、第１支持部１１及び第２支持部１２よりも上側の位置に設定されている。また、本例では、昇降機構２３は、昇降体２４を備えている。昇降体２４は、上下方向に移動自在に構成され、載置部２１と台車部２２とを接続するように設けられている。そして、昇降体２４の昇降に伴い、載置部２１が、第１高さＴ１と第２高さＴ２との間を移動する。なお、昇降機構２３は、昇降体２４を上下方向に往復移動させるためのシリンダ（例えば空気圧シリンダや電動シリンダ等）や、昇降体２４を上下方向に案内するための直動案内機構等を備える構成とすることができる。
【0020】
図２の例では、搬送車２は、載置部２１を第１高さＴ１に位置させることで、載置部２１ごと第１支持部１１及び第２支持部１２の真下に移動することができる。また、第１支持部１１及び第２支持部１２のそれぞれは、上下方向に移動する昇降体２４及び載置部２１と干渉しないように構成されている。従って、第１支持部１１又は第２支持部１２の上に載せられた搬送対象物Ｗを受け取る場合には、搬送車２は、第１支持部１１又は第２支持部１２の真下にある状態で、載置部２１を第１高さＴ１から第２高さＴ２に上昇させることで、搬送対象物Ｗを載置部２１の上に載せ替えることができる。搬送車２が載置部２１から第１支持部１１又は第２支持部１２の上に搬送対象物Ｗを載せる場合には、上記とは逆の手順を行えばよい。
【0021】
図２及び図３に示すように、本実施形態では、侵入検知センサ５は、開口８１に検知面４が形成されるように配置される。本例では、侵入検知センサ５は、投光器５１と受光器５２とを備えている。そして、投光器５１には、光が射出される複数の投光部が設けられている。受光器５２には、複数の投光部のそれぞれから射出された光を受光する複数の受光部が設けられている。本例では、侵入検知センサ５は、壁部材８に設けられている。図３の例では、投光器５１及び受光器５２は、それぞれ上下方向に延在するように形成されている。そして、侵入検知センサ５の投光器５１と受光器５２とが、開口８１を挟んで幅方向Ｙに離間するように配置されている。そして、投光器５１から受光器５２に向けて上下方向に並ぶ複数の光が射出されることにより、検知面４（すなわち、ライトカーテン）が形成される。以下では、検知面４の下端４１の上下方向の位置を第３高さＴ３として説明する。
【0022】
図２及び図３に示すように、検知面４は、載置部２１よりも上側であって、載置部２１に載置された搬送対象物Ｗの移動軌跡７に交差するように配置されている。本実施形態では、検知面４の下端４１は、第１高さＴ１の載置部２１よりも上側であって第２高さＴ２の載置部２１よりも下側に配置されている。すなわち、本実施形態のように、搬送車２の載置部２１が昇降する場合には、第１高さＴ１が搬送対象物Ｗを載せていない載置部２１の高さとして、第３高さＴ３は、第１高さＴ１よりも高く、第２高さＴ２よりも低い位置に配置される。これにより、侵入検知センサ５は、搬送車２が搬送対象物Ｗを搬送していない場合に、載置部２１を検知することを回避できる。また、例えば、搬送車２が昇降機構２３を備えず、載置部２１が昇降しない場合は、搬送対象物Ｗを載せているかに拘らず、載置部２１は常に第１高さＴ１に配置されており、第３高さＴ３は、当該第１高さＴ１よりも高い位置に配置される。また、本実施形態では、検知面４は、開口８１における載置部２１よりも上側に設定された検知境界線Ｌよりも上側の全体を覆うように配置されている。検知境界線Ｌは、検知面４の下端４１を規定する仮想線である。本例では、検知面４は、開口８１における検知境界線Ｌよりも上側の部分の、上下方向の全域及び幅方向Ｙの全域を覆うように配置されている。本実施形態のように載置部２１が昇降する場合には、検知境界線Ｌは、第１高さＴ１に配置された載置部２１よりも上側に設定される。本例では、検知境界線Ｌは、第１高さＴ１に配置された載置部２１よりも上側であって第２高さＴ２に配置された載置部２１よりも下側に設定されており、具体的には、第３高さＴ３に設定されている。なお、検知面４に交差することで侵入検知センサ５に検知される物体としては、例えば、人体の一部（腕や頭部等）のように、搬送装置１による搬送対象とならない異物とされているが、搬送対象物Ｗ自体も侵入検知センサ５で検知可能であるため、搬送対象物Ｗも、そのような物体の１つに含まれる。従って、搬送対象物Ｗの搬送中に侵入検知センサ５が作動すると、搬送途中の搬送対象物Ｗを侵入物として検知してしまうため、搬送対象物Ｗを搬送する場合には、侵入検知センサ５が作動しないようにミューティングされる必要がある。詳細は省略するが、侵入検知センサ５により物体が検知された場合、後述する制御装置Ｈは、例えば、搬送装置１及び処理装置１０の作動を停止させ、或いは、警報音を発する等の作業者に対する注意喚起を行う。
【0023】
以下では、ミューティング装置６の具体的な構成について説明する。なお、移動方向Ｘにおける、載置部２１に載置された搬送対象物Ｗが検知面４と交差することになる搬送車２の位置の範囲を検知対応範囲９として説明する。本例では、図２に示すように、載置部２１に載せられた搬送対象物Ｗの移動方向第２側Ｘ２の端部が、検知面４と重なり合う台車部２２の位置から、載置部２１に載せられた搬送対象物Ｗの移動方向第１側Ｘ１の端部が、検知面４と重なり合う台車部２２の位置までを検知対応範囲９としている。すなわち、検知対応範囲９に、少なくとも台車部２２の一部が進入した状態では、載置部２１上の搬送対象物Ｗが、検知面４と交差する。このように検知対応範囲９を設定することで、検知対応範囲９を極力短い範囲とすることができる。これにより、搬送対象物Ｗの搬送中において、侵入検知センサ５がミューティングされる期間をできるだけ小さくすることが可能となる。なお、検知対応範囲９を設定する場合に、載置部２１に載せられた搬送対象物Ｗの移動方向Ｘの両端のそれぞれが、移動方向Ｘにおいて、必ずしも正確に検知面４と重なり合っている必要はなく、移動方向Ｘに規定長さだけずれるようにして、検知対応範囲９を設定するようにしてもよい。
【0024】
図２及び図３に示すように、ミューティング装置６は、搬送対象物Ｗが載置部２１に載置されているか否かを検知する載置センサ６１と、搬送車２が検知対応範囲９に基づいて設定された対象範囲にいるか否かを検知する範囲検知センサ６２と、を備えている。対象範囲は、例えば、検知対応範囲９と同じ範囲に設定され、或いは、検知対応範囲９を移動方向Ｘのいずれか一方側又は両側に規定量だけ拡張した範囲に設定される。この規定量は、検知対応範囲９の大きさよりも小さい値に設定される。本実施形態では、ミューティング装置６は、ミューティング制御部６５と、ミューティング制御部６５と搬送車２側に設けられた載置センサ６１及び範囲検知センサ６２とを接続する有線又は無線の通信装置（不図示）と、ミューティング制御部６５と侵入検知センサ５とを接続する有線又は無線の通信装置（不図示）と、を備えている。本例では、ミューティング制御部６５は、後述の制御装置Ｈに設けられている。そのため、ミューティング制御部６５は、制御装置Ｈを介して、載置センサ６１及び範囲検知センサ６２と、侵入検知センサ５との通信を可能としている。また、本例では、載置センサ６１及び範囲検知センサ６２が備える後述する車載センサ６４は、搬送車２に設けられている。そして、搬送車２は、制御装置Ｈとの間で有線（通信ケーブル）で通信可能とされている。これにより、ミューティング制御部６５は、載置センサ６１が検知した検知情報や、車載センサ６４が検知した検知情報を、制御装置Ｈを介して取得することができる。なお、上記のような通信ケーブルは、搬送車２と給電部（不図示）とを接続する給電線と共に、ケーブルベア（登録商標）等に収容されていると好適である。なお、搬送車２と制御装置Ｈとの通信は、無線で行われてもよい。
【0025】
図２及び図３に示すように、載置センサ６１は、載置部２１に設けられている。本例では、載置部２１に複数（ここでは、２つ）の載置センサ６１が設けられており、それぞれの載置センサ６１が搬送対象物Ｗを検知することで、載置部２１に搬送対象物Ｗが載せられていることを認識する。図２及び図３の例では、載置センサ６１は、投光部と受光部とが一体となっている反射型の光センサとされており、上方に射出した光が遮られて反射することにより、搬送対象物Ｗを検知する。しかし、載置センサ６１は、このような光センサ以外にも、リミットスイッチ等の公知のセンサで構成されていてもよい。
【0026】
本実施形態では、範囲検知センサ６２は、移動経路Ｒに沿って配置された被検知体６３と、搬送車２に搭載されて被検知体６３を検知する車載センサ６４と、を備えている。また、被検知体６３は、搬送車２が検知対応範囲９に基づいて設定された上記対象範囲にいる場合に車載センサ６４に検知され、搬送車２が当該対象範囲の外にいる場合には車載センサ６４に検知されないように設けられている。具体的に説明すると、車載センサ６４は、搬送車２の台車部２２（ここでは、台車部２２の側面）に設けられている。そして、対象範囲が検知対応範囲９と同じ範囲に設定される場合には、被検知体６３は、台車部２２の少なくとも一部が検知対応範囲９に進入して搬送対象物Ｗが検知面４と交差する状態では、車載センサ６４によって検知され、台車部２２が検知対応範囲９から完全に退出して搬送対象物Ｗが検知面４と交差しない状態では、車載センサ６４によって検知されないように、移動経路Ｒに沿って配置されている。この場合、範囲検知センサ６２は、検知対応範囲９に台車部２２の少なくとも一部が存在することを検知するが、例えば、検知対応範囲９よりも規定分だけ広く設定された範囲を対象範囲として設定し、台車部２２の少なくとも一部が当該対象範囲に存在することを検知する構成としてもよい。なお、範囲検知センサ６２として、移動経路Ｒの移動方向Ｘの一方側の端部又は台車部２２にレーザー距離計を設けたり、台車部２２の車輪にエンコーダを設けたりすることもできる。また、図２の例では、車載センサ６４は、台車部２２における幅方向Ｙの一方側の側面に設けられており、これに対応して、台車部２２に対して幅方向Ｙの当該一方側に被検知体６３が設けられているが、台車部２２における幅方向Ｙの両側の側面に車載センサ６４が設けられ、これに対応して、台車部２２に対して幅方向Ｙの両側に被検知体６３が設けられていてもよい。
【0027】
図５に示すように、ミューティング装置６は、載置センサ６１の検知結果が肯定的であり、且つ、範囲検知センサ６２の検知結果が肯定的である場合に、侵入検知センサ５を無効にする。本実施形態では、ミューティング制御部６５は、載置センサ６１により載置部２１に載置された搬送対象物Ｗが検知され、且つ、車載センサ６４が、被検知体６３を検知したと判定した場合には、侵入検知センサ５を無効とする。本例では、ミューティング制御部６５が侵入検知センサ５を無効にすると判定した場合に、制御装置Ｈは、侵入検知センサ５への電力の給電を遮断して、投光器５１及び受光器５２により検知面４が形成されないようにする。なお、投光器５１及び受光器５２により検知面４を形成した状態のまま、侵入検知センサ５の検知結果を無視することで、侵入検知センサ５を無効にする構成としてもよい。また、ミューティング装置６は、載置センサ６１の検知結果が否定的である場合、又は、範囲検知センサ６２の検知結果が否定的である場合には、侵入検知センサ５を有効にする。本実施形態では、ミューティング制御部６５は、載置センサ６１により搬送対象物Ｗが検知されない場合、又は、車載センサ６４が、被検知体６３を検知していない場合には、侵入検知センサ５を有効とする。侵入検知センサ５がミューティングにより無効とされている状態で、ミューティング制御部６５が侵入検知センサ５を有効にすると判定すると、制御装置Ｈは侵入検知センサ５のミューティング状態を解除する。すなわち、制御装置Ｈは、侵入検知センサ５に対する電力の給電を再開して、投光器５１及び受光器５２により検知面４が形成されるようにする。
【0028】
制御装置Ｈは、図４に示すように、搬送車２と、侵入検知センサ５と、ミューティング装置６と、を制御する。また、制御装置Ｈには、上記のように、ミューティング制御部６５が設けられている。本例では、このような制御装置Ｈは、処理装置１０に設けられている。制御装置Ｈは、ＣＰＵ等の演算処理装置を備えると共にメモリ等の周辺回路を備え、これらのハードウェアと、演算処理装置等のハードウェア上で実行されるプログラムとの協働により、制御装置Ｈの各機能が実現される。制御装置Ｈは、１つのハードウェアではなく、互いに通信可能な複数のハードウェア（複数の分離したハードウェア）の集合によって構成されてもよい。
【0029】
本実施形態では、制御装置Ｈは、搬送車２を制御して、搬送車２に搬送対象物Ｗの搬送を行わせる。具体的には、制御装置Ｈは、第１支持部１１に搬送対象物Ｗが載せられると、搬送車２を第１支持部１１に向かわせる。そして、制御装置Ｈは、載置部２１を第１高さＴ１から第２高さＴ２に移動させるように昇降機構２３を制御して、搬送対象物Ｗを載置部２１に載置する。その後、制御装置Ｈは、搬送車２を第２支持部１２へ向かわせる。そして、制御装置Ｈは、載置部２１を第２高さＴ２から第１高さＴ１に移動させるように昇降機構２３を制御して、搬送対象物Ｗを第２支持部１２の上に載置する。
【0030】
また、制御装置Ｈは、第２支持部１２に処理後の搬送対象物Ｗが載せられると、搬送車２を第２支持部１２に向かわせる。そして、制御装置Ｈは、載置部２１を第１高さＴ１から第２高さＴ２に移動させるように昇降機構２３を制御して、搬送対象物Ｗを載置部２１に載置する。その後、制御装置Ｈは、搬送車２を第１支持部１１へ向かわせる。そして、制御装置Ｈは、載置部２１を第２高さＴ２から第１高さＴ１に移動させるように昇降機構２３を制御して、搬送対象物Ｗを第２支持部１２の上に載置する。
【0031】
次に、図５に示す制御フローに従って、侵入検知センサ５に対するミューティングに関する制御について説明する。なお、本実施形態では、上記のとおり、侵入検知センサ５に対してミューティングを有効にするか否かの判定は、ミューティング制御部６５で行われる。
【0032】
本実施形態では、ミューティング制御部６５は、載置センサ６１の検知結果が肯定的であると判定した場合（Ｓ０１：Ｙｅｓ）、範囲検知センサ６２の検知結果が肯定的であるか否かを判定する（Ｓ０２）。そして、ミューティング制御部６５は、範囲検知センサ６２の検知結果が肯定的であると判定した場合（Ｓ０２：Ｙｅｓ）、侵入検知センサ５を無効にする（Ｓ０３）。また、ミューティング制御部６５は、範囲検知センサ６２の検知結果が否定的であると判定した場合（Ｓ０２：Ｎо）、侵入検知センサ５を有効にする（Ｓ０４）。また、ミューティング制御部６５は、載置センサ６１の検知結果が否定的であると判定した場合（Ｓ０１：Ｎо）にも、侵入検知センサ５を有効にする（Ｓ０４）。なお、図５に示す例とは異なり、ステップＳ０２の処理をステップＳ０１の処理よりも前に行ってもよく、ステップＳ０１の処理とステップＳ０２の処理とを並行して行ってもよい。
【0033】
このように、搬送車２が搬送対象物Ｗを搬送している場合であって、且つ検知対応範囲９に搬送車２がいる場合には、侵入検知センサ５が無効にされる。そのため、搬送対象物Ｗの材質や色に拘らず、侵入検知センサ５が、搬送中の搬送対象物Ｗを誤って検知することが回避される。また、搬送車２が搬送対象物Ｗを搬送していない場合には、搬送車２の位置に拘らず侵入検知センサ５が有効な状態に維持される。このように、搬送車２が搬送対象物Ｗを搬送していない場合に侵入検知センサ５が有効となることで、搬送対象物Ｗが存在しない検知面４を、人体等の物体が通過しても侵入検知センサ５により検知できない事態が生じることを回避できる。更に、搬送車２が搬送対象物Ｗを搬送している場合であっても、検知対応範囲９に搬送車２がいない場合には、侵入検知センサ５が有効な状態とされる。従って、侵入検知センサ５が無効とされる期間を必要最低限の期間に設定することが可能になる。
【0034】
〔その他の実施形態〕
（１）上記の実施形態では、処理装置１０に搬送装置１を適用する構成を例として説明したが、これには限定されない。例えば、搬送対象物Ｗを保管する物品収容設備等に搬送装置１を適用することもできる。
（１）上記の実施形態では、処理装置１０に搬送装置１を適用する構成を例として説明したが、これには限定されない。例えば、搬送対象物Ｗを保管する物品収容設備等に搬送装置１を適用することもできる。
【0035】
（２）上記の実施形態では、範囲検知センサ６２は、搬送車２が検知対応範囲９に基づいて設定された対象範囲にいる場合に被検知体６３を検知する構成を例として説明したが、これには限定されない。例えば、範囲検知センサ６２は、搬送車２が対象範囲の外にいる場合に被検知体６３を検知するようにしてもよい。この場合、範囲検知センサ６２は、被検知体６３を検知していない場合に、搬送車２が対象範囲にいると判定する。すなわち、範囲検知センサ６２が被検知体６３を検知していない場合に、範囲検知センサ６２の検知結果が肯定的となる。この場合、仮に範囲検知センサ６２が故障して、被検知体６３を検知できなくなったとしても、搬送対象物Ｗが載置部２１に載せられていれば、侵入検知センサ５は常にミューティングされるため、搬送車２による搬送対象物Ｗの搬送を継続することが可能になる。
【0036】
（３）上記の実施形態では、範囲検知センサ６２は、移動経路Ｒに沿って配置された被検知体６３と、搬送車２に搭載されて被検知体６３を検知する車載センサ６４と、を備えている構成を例として説明したが、これには限定されない。例えば、範囲検知センサ６２として、移動経路Ｒに沿うように単一または複数のセンサが設けられて、搬送車２に、当該センサに検知される被検知体６３が搭載される構成とすることもできる。
【0037】
（４）上記の実施形態では、搬送車２が台車部２２に対して載置部２１を昇降させる昇降機構２３を備える場合、検知面４の下端４１は、第１高さＴ１の載置部２１よりも上側であって第２高さＴ２の載置部２１よりも下側に配置される構成を例として説明したが、これには限定されない。例えば、検知面４の下端４１を、第２高さＴ２よりも上側に設定することもできる。
【0038】
（５）上記の実施形態では、検知面４は、開口８１における検知境界線Ｌよりも上側の全体を覆うように配置されている構成を例として説明したが、これには限定されない。この場合、検知面４は、必ずしも開口８１における検知境界線Ｌよりも上側の全体を覆うように配置される必要はない。例えば、検知面４は、開口８１に搬送対象物Ｗ以外の物体が侵入した場合に、当該物体が存在する可能性のある領域のみを覆うように配置されてもよい。
【0039】
（６）なお、上述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用すること（その他の実施形態として説明した実施形態同士の組み合わせを含む）も可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。
【0040】
〔上記実施形態の概要〕
以下、上記において説明した搬送装置の概要について説明する。
以下、上記において説明した搬送装置の概要について説明する。
【0041】
本開示に係る搬送装置は、予め定められた移動経路に沿って往復移動することで搬送対象物を搬送する搬送車と、前記移動経路を覆うカバー部材と、検知面を通過する物体を検知する侵入検知センサと、前記侵入検知センサを一時的に無効にするミューティング装置と、を備えた搬送装置であって、
前記搬送車は、前記搬送対象物が載置される載置部と、前記載置部を支持して走行する台車部と、を備え、
前記検知面は、前記載置部よりも上側であって、前記載置部に載置された前記搬送対象物の移動軌跡に交差するように配置され、
前記移動経路に沿う方向を移動方向とし、前記移動方向における、前記載置部に載置された前記搬送対象物が前記検知面と交差することになる前記搬送車の位置の範囲を検知対応範囲として、
前記ミューティング装置は、
前記搬送対象物が前記載置部に載置されているか否かを検知する載置センサと、前記搬送車が前記検知対応範囲に基づいて設定された対象範囲にいるか否かを検知する範囲検知センサと、を備え、
前記載置センサの検知結果が肯定的であり、且つ、前記範囲検知センサの検知結果が肯定的である場合に、前記侵入検知センサを無効にし、
前記載置センサの検知結果が否定的である場合、又は、前記範囲検知センサの検知結果が否定的である場合には、前記侵入検知センサを有効にする。
前記搬送車は、前記搬送対象物が載置される載置部と、前記載置部を支持して走行する台車部と、を備え、
前記検知面は、前記載置部よりも上側であって、前記載置部に載置された前記搬送対象物の移動軌跡に交差するように配置され、
前記移動経路に沿う方向を移動方向とし、前記移動方向における、前記載置部に載置された前記搬送対象物が前記検知面と交差することになる前記搬送車の位置の範囲を検知対応範囲として、
前記ミューティング装置は、
前記搬送対象物が前記載置部に載置されているか否かを検知する載置センサと、前記搬送車が前記検知対応範囲に基づいて設定された対象範囲にいるか否かを検知する範囲検知センサと、を備え、
前記載置センサの検知結果が肯定的であり、且つ、前記範囲検知センサの検知結果が肯定的である場合に、前記侵入検知センサを無効にし、
前記載置センサの検知結果が否定的である場合、又は、前記範囲検知センサの検知結果が否定的である場合には、前記侵入検知センサを有効にする。
【0042】
本構成によれば、搬送車が搬送対象物を搬送している場合であって、且つ、載置部に載置された搬送対象物が検知面と交差することになる範囲である検知対応範囲に搬送車がいる場合には、侵入検知センサが無効にされる。そのため、侵入検知センサが、搬送中の搬送対象物を誤って検知することが回避されるように、侵入検知センサのミューティングを適切に行うことができる。
また、本構成によれば、搬送車が搬送対象物を搬送していない場合には、搬送車の位置に拘らず侵入検知センサが有効な状態に維持される。このように、搬送車が搬送対象物を搬送していない場合に侵入検知センサが有効となることで、搬送対象物が存在しない検知面を、人体等の物体が通過しても侵入検知センサにより検知できない事態が生じることを回避できる。従って、検知面を通過する搬送対象物以外の物体を適切に検知できる可能性を高めることができる。
このように、本構成によれば、搬送対象物が検知面を通過しない場合には、検知面を通過する物体を検知し、搬送対象物が検知面を通過する場合には、搬送対象物を検知しないように、侵入検知センサを適切にミューティングすることができる。
また、本構成によれば、搬送車が搬送対象物を搬送していない場合には、搬送車の位置に拘らず侵入検知センサが有効な状態に維持される。このように、搬送車が搬送対象物を搬送していない場合に侵入検知センサが有効となることで、搬送対象物が存在しない検知面を、人体等の物体が通過しても侵入検知センサにより検知できない事態が生じることを回避できる。従って、検知面を通過する搬送対象物以外の物体を適切に検知できる可能性を高めることができる。
このように、本構成によれば、搬送対象物が検知面を通過しない場合には、検知面を通過する物体を検知し、搬送対象物が検知面を通過する場合には、搬送対象物を検知しないように、侵入検知センサを適切にミューティングすることができる。
【0043】
ここで、前記範囲検知センサは、前記移動経路に沿って配置された被検知体と、前記搬送車に搭載されて前記被検知体を検知する車載センサと、を備え、
前記被検知体は、前記搬送車が前記対象範囲にいる場合に前記車載センサに検知され、前記搬送車が前記対象範囲の外にいる場合には前記車載センサに検知されないように設けられていると好適である。
前記被検知体は、前記搬送車が前記対象範囲にいる場合に前記車載センサに検知され、前記搬送車が前記対象範囲の外にいる場合には前記車載センサに検知されないように設けられていると好適である。
【0044】
本構成によれば、搬送車が検知対応範囲に基づく対象範囲にいるか否かを、比較的簡易な構成で適切に検知することができる。
また本構成によれば、搬送対象物を検知するのではなく、搬送車に搭載された車載センサにより、移動経路に沿って配置された被検知体を検知するため、搬送対象物の種類や状態によって検知結果が変動することを回避できる。従って、侵入検知センサのミューティングを安定的に行うことができる。
また本構成によれば、搬送対象物を検知するのではなく、搬送車に搭載された車載センサにより、移動経路に沿って配置された被検知体を検知するため、搬送対象物の種類や状態によって検知結果が変動することを回避できる。従って、侵入検知センサのミューティングを安定的に行うことができる。
【0045】
また、前記搬送車は、前記台車部に対して前記載置部を昇降させる昇降機構を更に備え、
前記昇降機構は、前記搬送対象物が前記載置部に載置されていない場合には、前記載置部を第１高さに位置させ、前記搬送対象物が前記載置部に載置されている場合には、前記載置部を前記第１高さよりも上側の第２高さに位置させるように構成され、
前記検知面の下端は、前記第１高さの前記載置部よりも上側であって前記第２高さの前記載置部よりも下側に配置されていると好適である。
前記昇降機構は、前記搬送対象物が前記載置部に載置されていない場合には、前記載置部を第１高さに位置させ、前記搬送対象物が前記載置部に載置されている場合には、前記載置部を前記第１高さよりも上側の第２高さに位置させるように構成され、
前記検知面の下端は、前記第１高さの前記載置部よりも上側であって前記第２高さの前記載置部よりも下側に配置されていると好適である。
【0046】
本構成によれば、搬送車が搬送対象物を搬送していない場合に、侵入検知センサが載置部を検知することを回避しつつ、当該載置部と検知面の下端との隙間を小さくし、当該隙間を人体等の物体が通過する可能性を低減することができる。
【0047】
また、前記移動経路及び前記カバー部材が、壁部材を貫通するように配置され、
前記壁部材における前記搬送対象物の前記移動軌跡と交差する部分には、開口が形成され、
前記検知面は、前記開口における前記載置部よりも上側に設定された検知境界線よりも上側の全体を覆うように配置されていると好適である。
前記壁部材における前記搬送対象物の前記移動軌跡と交差する部分には、開口が形成され、
前記検知面は、前記開口における前記載置部よりも上側に設定された検知境界線よりも上側の全体を覆うように配置されていると好適である。
【0048】
本構成によれば、侵入検知センサの検知面の外側から人体等の物体が侵入することを防止できる。従って、例えば検知面を超えた先に危険な装置等がある場合であっても、作業者の安全性を確保し易い。
【0049】
本開示に係る搬送装置は、上述した各効果のうち、少なくとも１つを奏することができればよい。
【符号の説明】
【0050】
１ ：搬送装置
２ ：搬送車
３ ：カバー部材
４ ：検知面
５ ：侵入検知センサ
６ ：ミューティング装置
７ ：搬送対象物の移動軌跡
８ ：壁部材
９ ：検知対応範囲
２１ ：載置部
２２ ：台車部
２３ ：昇降機構
４１ ：検知面の下端
６１ ：載置センサ
６２ ：範囲検知センサ
６３ ：被検知体
６４ ：車載センサ
８１ ：開口
Ｒ ：移動経路
Ｔ１ ：第１高さ
Ｔ２ ：第２高さ
Ｗ ：搬送対象物
Ｘ ：移動方向
２ ：搬送車
３ ：カバー部材
４ ：検知面
５ ：侵入検知センサ
６ ：ミューティング装置
７ ：搬送対象物の移動軌跡
８ ：壁部材
９ ：検知対応範囲
２１ ：載置部
２２ ：台車部
２３ ：昇降機構
４１ ：検知面の下端
６１ ：載置センサ
６２ ：範囲検知センサ
６３ ：被検知体
６４ ：車載センサ
８１ ：開口
Ｒ ：移動経路
Ｔ１ ：第１高さ
Ｔ２ ：第２高さ
Ｗ ：搬送対象物
Ｘ ：移動方向
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】