特開2024-86658制御ユニットおよびそれを含む半導体製造設備

発明の名称　制御ユニットおよびそれを含む半導体製造設備

出願人　セメス株式会社　（識別番号 598123150）

　　　　特許公開件数ランキング 3836 位（4件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 4065 位（3件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2024-86658

公報発行日　2024年6月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2024-86658

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