特開 2024-87627 交番磁気力顕微鏡用試料台

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024087627

(43)【公開日】2024-07-01

(54)【発明の名称】交番磁気力顕微鏡用試料台

(51)【国際特許分類】

   G01N 27/72 20060101AFI20240624BHJP

   G01Q 60/08 20100101ALI20240624BHJP

   G01Q 60/50 20100101ALI20240624BHJP

【ＦＩ】

G01N27/72

G01Q60/08

G01Q60/50

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022202557

(22)【出願日】2022-12-19

(71)【出願人】

【識別番号】598163064

【氏名又は名称】学校法人千葉工業大学

(74)【代理人】

【識別番号】100165179

【弁理士】

【氏名又は名称】田▲崎▼ 聡

(74)【代理人】

【識別番号】100188558

【弁理士】

【氏名又は名称】飯田 雅人

(74)【代理人】

【識別番号】100175824

【弁理士】

【氏名又は名称】小林 淳一

(74)【代理人】

【識別番号】100152272

【弁理士】

【氏名又は名称】川越 雄一郎

(74)【代理人】

【識別番号】100181722

【弁理士】

【氏名又は名称】春田 洋孝

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 宣夫

(72)【発明者】

【氏名】角 真輝

(72)【発明者】

【氏名】大山 祐生

【テーマコード（参考）】

2G053

【Ｆターム（参考）】

2G053AA30

2G053AB15

2G053BA02

2G053BC02

2G053DA01

(57)【要約】

【課題】本発明は、交番磁気力顕微鏡に用いた場合に、その探針近傍に、高い磁場強度であり、かつ、垂直性に優れた磁場を発生することができる交番磁気力顕微鏡用試料台を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の一態様に係る交番磁気力顕微鏡用試料台は、筒部、筒部の一端に配された第１フランジ部、前記一端と逆側に配された第２フランジ部、を有する筐体と、前記筒部に導線が巻回されて構成されたコイルと、を備え、前記第１フランジ部の外面が平坦である。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

筒部、筒部の一端に配された第１フランジ部、前記一端と逆側に配された第２フランジ部、を有する筐体と、
前記筒部に導線が巻回されて構成されたコイルと、を備え、
前記第１フランジ部の外面が平坦である、交番磁気力顕微鏡用試料台。

【請求項2】

前記筒部の内部に収容された磁性コアをさらに備える、請求項１に記載の交番磁気力顕微鏡用試料台。

【請求項3】

前記第１フランジ部及び前記導線の外周に配され、磁性体で構成されたリング状のカバーをさらに備える、請求項１又は２に記載の交番磁気力顕微鏡用試料台。

【請求項4】

前記筐体が、主としてアルミニウムを含有する金属で構成されている、請求項１又は２に記載の交番磁気力顕微鏡用試料台。

【請求項5】

前記筐体が、ポリアセタール樹脂で構成されている、請求項１又は２に記載の交番磁気力顕微鏡用試料台。

【請求項6】

前記第２フランジ部が、前記交番磁気力顕微鏡用試料台を固定する固定部を備える、請求項１又は２に記載の交番磁気力顕微鏡用試料台。

【請求項7】

直径が２５ｍｍ以上、３７ｍｍ以下である、請求項１又は２に記載の交番磁気力顕微鏡用試料台。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、交番磁気力顕微鏡用試料台に関する。

【背景技術】

【0002】

走査型プローブ顕微鏡法の一つである交番磁気力顕微鏡（Ａｌｔｅｒｎａｔｉｎｇ Ｍａｇｎｅｔｉｃ Ｆｏｒｃｅ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ；Ａ－ＭＦＭ）は、試料下部から試料の上方に配置された磁性探針に対して交番磁場を発生させることで、従来の磁気力顕微鏡では測定が困難であった表面磁場の極性及び零検出を可能とする（非特許文献１参照）。

【0003】

交番磁気力顕微鏡では、測定感度を高めるために、交流電磁石から発生する交番磁場の強度を高めることが望ましい。特許文献１には、強い交番磁場を低電圧かつ低発熱で発生させるために、所定の形状を有する交流電磁石が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１７－１０８０２３号公報

【非特許文献】

【0005】

【非特許文献1】齊藤 準、「交番磁気力顕微鏡：空間分解能５ｎｍと高機能性の実現」、先端計測分析技術・機器開発プログラム 新技術説明会、２０１６年３月１５日、URL https://shingi.jst.go.jp/list/list_2015/2015_sentan.html#20160315X-002

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、非特許文献１に記載の技術では、交番磁場源となる交流電磁石と、交番磁場を印加する対象である探針との間に大きな間隙が存在する。そのため、特許文献１に記載されているような交流電磁石を非特許文献１に適用して強力な交番磁場を発生したとしても、大きな間隙により交番磁場の強度が減衰する。また、電磁石からの距離が大きくなるにつれて磁場が広がるため、探針近傍の磁場垂直性が低く、十分な空間分解能が得られない可能性がある。

【0007】

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、交番磁気力顕微鏡に用いた場合に、その探針近傍に、高い磁場強度であり、かつ、垂直性に優れた磁場を発生することができる交番磁気力顕微鏡用試料台を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明者らは、交番磁気力顕微鏡において、交番磁場発生源と探針との距離を短くすることで、探針近傍の磁場を高め、かつ、磁場の垂直性を均一にすることに着想し、交番磁場発生源を試料台とすることに想到した。

【0009】

本発明は、このような知見に基づいてなされたものであり、その要旨は以下のとおりである。
［１］ 本発明の一態様に係る交番磁気力顕微鏡用試料台は、筒部、筒部の一端に配された第１フランジ部、上記一端と逆側に配された第２フランジ部、を有する筐体と、
上記筒部に導線が巻回されて構成されたコイルと、を備え、
上記第１フランジ部の外面が平坦である。
［２］上記［１］に記載の交番磁気力顕微鏡用試料台は、上記筒部の内部に収容された磁性コアをさらに備えていてもよい。
［３］上記［１］又は［２］に記載の交番磁気力顕微鏡用試料台は、上記第１フランジ部及び上記導線の外周に配され、磁性体で構成されたリング状のカバーをさらに備えていてもよい。
［４］上記［１］～［３］のいずれかに記載の交番磁気力顕微鏡用試料台では、上記筐体が、主としてアルミニウムを含有する金属で構成されていてもよい。
［５］上記［１］～［３］のいずれかに記載の交番磁気力顕微鏡用試料台では、上記筐体が、ポリアセタール樹脂で構成されていてもよい。
［６］上記［１］～［５］のいずれかに記載の交番磁気力顕微鏡用試料台では、上記第２フランジ部が、上記交番磁気力顕微鏡用試料台を固定する固定部を備えていてもよい。
［７］上記［１］～［６］のいずれかに記載の交番磁気力顕微鏡用試料台は、直径が２５ｍｍ以上、３７ｍｍ以下であってもよい。

【発明の効果】

【0010】

上記態様に係る交番磁気力顕微鏡用試料台によれば、交番磁気力顕微鏡に用いた場合に、その探針近傍に、高い磁場強度であり、かつ、垂直性に優れた磁場を発生することができるが可能である。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本発明の第１の実施形態に係る交番磁気力顕微鏡用試料台の斜視図である。

【図2】同実施形態における筐体の斜視図である。

【図3】図１におけるＩＩＩ－ＩＩＩ断面図である。

【図4】本発明の第２の実施形態に係る交番磁気力顕微鏡用試料台の斜視図である。

【図5】図４におけるＩＶ－ＩＶ断面図である。

【図6】本発明の第３の実施形態に係る交番磁気力顕微鏡用試料台の断面図である。

【図7】本発明の第４の実施形態に係る交番磁気力顕微鏡用試料台の側面図である。

【図8】交番磁気力顕微鏡用試料台の変形例を示す側面図である。

【図9】交番磁気力顕微鏡用試料台の変形例を示す側面図である。

【図10】実施例における磁束密度を測定するためのシステムの概略構成図である。

【図11】実施例における各交番磁気力顕微鏡用試料台のラインプロファイルの結果を示すグラフである。

【図12】実施例における各交番磁気力顕微鏡用試料台の周波数特性のグラフを示す。である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、本発明の一実施形態に係る交番磁気力顕微鏡用試料台について、図面を参照して説明する。図１は、本発明の第１の実施形態に係る交番磁気力顕微鏡用試料台１の斜視図である。図２は、本実施形態における筐体１０の斜視図である。図３は、図１におけるＩＩＩ－ＩＩＩ断面図である。なお、図中の各構成要素の寸法、比率は、実際の各構成要素の寸法、比率を表すものではない。

【0013】

＜第１の実施形態＞
本実施形態に係る交番磁気力顕微鏡用試料台１は、図１に示すように、筐体１０と、コイル２０と、を備える。

【0014】

筐体１０は、図２に示すように、筒部１１、筒部１１の軸方向の一端に配された第１フランジ部１２、及び、一端と逆側に配された第２フランジ部１３を有する。

【0015】

筒部１１は、図３に示すように中空であり、筒部１１の軸方向に垂直な断面の形状は円形となっている。筒部１１の外周面には導線が巻かれ、コイル２０が形成される。

【0016】

筒部１１の軸方向の一端には第１フランジ部１２が配されている。第１フランジ部１２の外面１２１は平坦となっている。外面１２１は、第１フランジ部１２における筒部１１と接続された面とは逆側の面である。外面１２１は平坦であるため、交番磁気力顕微鏡により観察される試料を配することができる。また、外面１２１が平坦であるため、交番磁気力顕微鏡の探針と試料との間の距離が一定になり、優れた分析精度が得られる。第１フランジ部１２の厚さ（軸方向長さ）は、例えば２ｍｍ以下である。

【0017】

図２に示すように、筒部１１における軸方向の第１フランジ部１２が配された一端とは逆側には第２フランジ部１３が配されている。第２フランジ部１３は、交番磁気力顕微鏡のステージと接して配されて用いられる。そのため、本実施形態における第２フランジ部１３において、第２フランジ部１３における筒部１１と接続された面とは逆側の面である外面１３１は平坦である。また、第２フランジ部１３は、図２に示すように、コイル２０を構成する導線の両端を引き出すための切り欠き１３２を有していてもよい。

【0018】

筐体１０は、非磁性体で構成される。筐体１０を構成する非磁性体としては、例えば、純アルミニウム、アルミニウム合金、ポリアセタール樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂等が挙げられる。筐体１０は、主としてアルミニウムを含有する金属（純アルミニウム、アルミニウム合金）で構成されていると、軽量かつ高強度となる。したがって、筐体１０には、主としてアルミニウムを含有する金属が用いられることが好ましい。また、ポリアセタール樹脂は絶縁性に優れるため、交番磁場が発生したときの渦電流の発生が抑制される。そのため、高周波の電流をコイル２０に通電した場合に、探針付近の磁場の強さをより大きくすることができる。更に、ポリアセタール樹脂であれば、磁場強度を維持しつつ、軽量化することができる。したがって、筐体１０には、ポリアセタール樹脂が用いられることがより好ましい。

【0019】

コイル２０は、導線が筒部１１に巻かれて構成される。導線には、公知のものが用いられてよく、例えば、エナメル線が用いられてよい。また、コイル２０の巻き数は、要求される磁場の強度に応じて定められてよく、例えば、２５０～５００とすることができる。

【0020】

交番磁気力顕微鏡用試料台１は、公知の交番磁気力顕微鏡のステージに配置されて使用される。そのため、交番磁場の発生源から交番磁気力顕微鏡の探針までの距離を短くすることができる。したがって、交番磁場の強度の減衰を従来よりも抑制することができ、また、探針近傍の磁場垂直性を向上させることができる。その結果、交番磁気力顕微鏡の空間分解能を向上させることができる。

【0021】

また、交番磁気力顕微鏡用試料台１は、公知の交番磁気力顕微鏡のステージに配置されて使用されるため、交番磁気力顕微鏡用試料台１は、公知の交番磁気力顕微鏡のステージに配置できるサイズであり、例えば、その直径は２５ｍｍ以上３７ｍｍ以下であり、高さ（軸方向長さ）は１５ｍｍ以上２２ｍｍ以下である。交番磁気力顕微鏡用試料台１によれば、上述したとおり、交番磁場の発生源から交番磁気力顕微鏡の探針までの距離を短くすることで、探針近傍の磁場強度を向上させることができる。そのため、従来の交番磁場の発生源と比較して小さな電流で観察に求められる磁場強度が得られることから、交番磁場を発生する交番磁気力顕微鏡用試料台１のサイズを、従来の交番磁場の発生源よりも小型化することができる。例えば、非特許文献１に記載された低磁場用の交番磁場発生源は、直径４０ｍｍ、高さ２８ｍｍであるが、この交番磁場発生源による磁場強度と同程度の磁場強度を得るためには、交番磁気力顕微鏡用試料台１は、直径３７ｍｍ、高さ２２ｍｍ程度であればよい。

【0022】

また、交番磁気力顕微鏡用試料台１では、上述したとおり、交番磁気力顕微鏡用試料台１は交番磁場の発生源から交番磁気力顕微鏡の探針までの距離を短くすることができるため、小さな電流でも、交番磁気力顕微鏡の探針付近における磁場の強度を大きくすることができる。したがって、本実施形態に係る交番磁気力顕微鏡用試料台１によれば、電流の大きさを変更することで磁場強度を制御することができる。

【0023】

＜第２の実施形態＞
続いて、図４、５を参照して、本発明の第２の実施形態に係る交番磁気力顕微鏡用試料台１Ａを説明する。図４は、本発明の第２の実施形態に係る交番磁気力顕微鏡用試料台の斜視図である。図５は、図４におけるＩＶ－ＩＶ断面図である。

【0024】

本実施形態に係る交番磁気力顕微鏡用試料台１Ａは、図４、５に示すように、筐体１０と、コイル２０と、カバー３０と、を備える。交番磁気力顕微鏡用試料台１Ａは、カバー３０を備える点で交番磁気力顕微鏡用試料台１と異なり、筐体１０及びコイル２０は、第１の実施形態と同様であるため、ここでのこれらの説明は省略する。以下ではカバー３０について説明する。

【0025】

カバー３０は、電磁鋼板が軸方向に積層されて形成されたリング状のカバーである。カバー３０は、図５に示すように、第１フランジ部１２及びコイル２０の外周に配されている。カバー３０により、漏れ磁束が低減し、磁束密度を高めることができる。また、カバー３０が電磁鋼板の積層体であるため、カバー３０に生じる渦電流が減少し、渦電流損を抑制することができる。

【0026】

カバー３０を構成する電磁鋼板は、特段制限されず、公知のものであればよい。また、電磁鋼板の積層数も、コイル２０に流れる電流の大きさに応じて定められればよい。

【0027】

＜第３の実施形態＞
続いて、図６を参照して、本発明の第３の実施形態に係る交番磁気力顕微鏡用試料台１Ｂを説明する。図６は、本実施形態に係る交番磁気力顕微鏡用試料台１Ｂの中心軸を含む断面の断面図である。

【0028】

本実施形態に係る交番磁気力顕微鏡用試料台１Ｂは、図６に示すように、筐体１０と、コイル２０と、磁性コア４０と、を備える。交番磁気力顕微鏡用試料台１Ｂは、磁性コア４０を備える点で交番磁気力顕微鏡用試料台１と異なり、筐体１０及びコイル２０は、第１の実施形態と同様であるため、ここでのこれらの説明は省略する。以下では磁性コア４０について説明する。

【0029】

磁性コア４０は、図６に示すように、筒部１１の内部に収容されている。磁性コア４０には、透磁率が高い材料が用いられ、例えば、純鉄、鉄系合金、又は酸化鉄を主成分とするフェライト、パーマロイ等が用いられる。また、磁性コア４０は、電磁鋼板が積層した積層コアであってもよいし、アモルファスコアであってもよい。磁性コア４０により、磁束密度を高めることができ、また、磁場垂直性が向上する。

【0030】

＜第４の実施形態＞
続いて、図７を参照して、本発明の第４の実施形態に係る交番磁気力顕微鏡用試料台１Ｃを説明する。図７は、本実施形態に係る交番磁気力顕微鏡用試料台１Ｃの側面図である。

【0031】

本実施形態に係る交番磁気力顕微鏡用試料台１Ｃは、図７に示すように、筐体１０と、コイル２０と、固定部５０と、を備える。交番磁気力顕微鏡用試料台１Ｃは、固定部５０を備える点で交番磁気力顕微鏡用試料台１と異なり、筐体１０及びコイル２０は、第１の実施形態と同様であるため、ここでのこれらの説明は省略する。以下では固定部５０について説明する。

【0032】

固定部５０は、図７に示すように、筐体１０における第２フランジ部１３の外面１３１から延びたねじ切りされた部分である。交番磁気力顕微鏡のステージにねじ穴が設けられている場合に、固定部５０が当該ねじ穴と嵌め合わされて、交番磁気力顕微鏡用試料台１Ｃが交番磁気力顕微鏡のステージに固定される。これにより、交番磁気力顕微鏡用試料台１Ｃをステージにより強固に固定することができる。

【0033】

ここまで、実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上述した実施形態に限られるものではない。例えば、上述した実施形態の構成が組み合わされてもよい。詳細には、本発明に係る交番磁気力顕微鏡用試料台は、カバー３０、磁性コア４０、及び固定部５０のうちの２つ以上の構成を備えていてもよい。より大きな磁場強度及びより均一な磁場垂直性を実現するという観点から、交番磁気力顕微鏡用試料台は、カバー３０及び磁性コア４０を備えていることが好ましい。

【0034】

また、第１フランジ部１２は、例えば図８に示すように、筒部１１と連通する孔を有しており、蓋１２２が当該孔に嵌合されていてもよい。この場合、第１フランジ部１２の外面１２１と蓋１２２の外面とが平坦になるように構成される。筒部１１と連通する孔を通じて、筒部１１の内部に磁性コア４０を装入し、及び、取り出すことができる。

【0035】

また、上述した第１の実施形態等では、筒部１１の軸方向に垂直な断面の形状は円形であったが、当該形状は、円形に限られず、矩形等種々の形状であってよい。均一な磁場垂直性を実現するという観点からは、導線が軸方向に垂直な断面において均一に巻き付けられたコイル２０とするために、筒部１１の軸方向に垂直な断面の形状は円形であることが好ましい。

【0036】

また、筒部１１の内部の空間は、第１フランジ部１２又は第２フランジ部１３のいずれか一方に延びていてもよい。換言すると、第１フランジ部１２又は第２フランジ部１３の少なくともいずれかは、筒部１１の内部の空間に接続される凹部を有していてもよい。例えば、図９に示す交番磁気力顕微鏡用試料台１Ｅでは、第１フランジ部１２には筒部１１の内部の空間に接続される凹部１２３が設けられており、第２フランジ部１３には筒部１１の内部の空間に接続される凹部１３３が設けられている。これにより、コイル２０の高さ（軸方向長さ）よりも長尺の磁性コア４０をコイル２０の内側に配することができるため、磁場垂直性をより向上させることができる。

【0037】

また、上述した第１の実施形態等では、筒部１１は中空であったが、筒部１１は中実であってもよい。筒部１１が中実であれば、筐体１０をより容易に製造することができる。

【実施例0038】

以下、本発明を実施例により具体的に説明する。ただし、本発明はこの実施例に限定されるものではない。

【0039】

＜実施例１＞
交番磁気力顕微鏡用試料台（本発明例１～４）を作製した。本発明例１は、図３に示す、筐体と、コイルと、を備える交番磁気力顕微鏡用試料台とした。具体的には、筒部の直径が１０ｍｍであり、交番磁気力顕微鏡用試料台の高さは２２ｍｍであるとした。本発明例２は、本発明例１の筐体における筒部の内部に直径８ｍｍ、高さ２０ｍｍであり、ＪＦＥフェライト株式会社製の磁性コア（品番 Ｉ－９３Ｋ）を装入した。本発明例３は、本発明例１の交番磁気力顕微鏡用試料台における第１フランジ部及びコイルの外周にカバーを設けた。カバーには、板厚０．３ｍｍの電磁鋼板（電機資材株式会社製、品番３０ＺＨ１０５）を６６枚積層したものを用いた。カバーの外径を３７ｍｍとし、肉厚ｍｍとした。本発明例４は、本発明例３の交番磁気力顕微鏡用試料台における筒部の内部に、本発明例２の磁性コアと同様の磁性コアを装入した。本発明例１～４の筐体は、アルミニウム製とした。本発明例１～４において、導線には直径０．６ｍｍのエナメル線を使用し、筒部に４８５回巻きつけてコイルとした。

【0040】

本発明例１～４の各交番磁気力顕微鏡用試料台について、図１０に示す磁場測定システムを用いて、磁場均一性の評価を行った。図１０は、実施例における磁場測定システムの概略構成図である。交番磁気力顕微鏡用試料台の第１フランジ部の外面からホールセンサまでの距離を２ｍｍとした。この距離は、交番磁気力顕微鏡において取り得る、試料が配されたステージの上面から探針までの距離に相当する。コイルに流す電流は、信号源としてファンクションジェネレータ（ＷＦ１９７４、エヌエフ回路設計ブロック社製)から、高速バイポーラ電源（ＢＡ４８５０、エヌエフ回路設計ブロック社製）に接続して増幅された。導通電流の大きさを０．８Ａ_P-Pに設定し、ホールセンサで磁場を検出してロックインアンプにて位相を検波した。ロックインアンプは、ホールセンサが検出した磁場に関する信号を出力し、ＰＣ２は当該信号に基づいてラインプロファイルを取得した。なお、測定中は、交番磁気力顕微鏡用試料台と電源間の電流量、及び、オフセットが一定になるように、電流－電圧変換回路及びシステム開発ソフトウェア（ＬａｂＶＩＥＷ、Ｎａｔｉｏｎａｌ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ社製)を用いて制御した。

【0041】

ラインプロファイルは、変調周波数を９０Ｈｚに設定し、交番磁気力顕微鏡用試料台の中心から±４０ｍｍ（０～８０ｍｍ）の範囲でホールセンサを走査して取得した。

【0042】

取得された各実施例にラインプロファイルを図１１に示す。図１１に示すように、本発明例１～４のいずれの例でも高い強度の磁場が得られた。また、交番磁気力顕微鏡における観測範囲は約０．１ｍｍ角であり、磁場の強度は、空間に対して連続的に減衰することから、図１１に示すように、交番磁気力顕微鏡を用いた観測範囲において、良好な磁場垂直性が得られた。

【0043】

＜実施例２＞
本発明例５として、ポリアセタール樹脂製の筐体を準備し、その他を本発明例４と同様の交番磁気力顕微鏡用試料台を作製した。図１０に示す磁場測定システムを用いて、本発明例４及び本発明例５の交番磁気力顕微鏡用試料台の周波数特性を評価した。周波数特性は、ホールセンサを交番磁気力顕微鏡用試料台の中心軸の直上に固定し、１０Ｈｚから１５００Ｈｚまでをスイープ測定し、ロックインアンプが出力した信号に基づいて取得された。

【0044】

図１２に各交番磁気力顕微鏡用試料台の周波数特性のグラフを示す。図１２に示すように、ポリアセタール樹脂製の筐体を有する交番磁気力顕微鏡用試料台の例である本発明例５は、本発明例４と比較して高周波数領域でも大きな磁束密度が維持されていることが分かった。これは、アルミニウム製の筐体を有する交番磁気力顕微鏡用試料台の例である本発明例４と比較して渦電流が抑制されたためであると考えられる。

【符号の説明】

【0045】

１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ、１Ｅ 交番磁気力顕微鏡用試料台
１０ 筐体
１１ 筒部
１２ 第１フランジ部
１３ 第２フランジ部
２０ コイル
３０ カバー
４０ 磁性コア
１２１ 第１フランジ部の外面
１２２ 蓋
１２３ 凹部
１３１ 第２フランジ部の外面
１３２ 切り欠き
１３３ 凹部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】