特開 2024-88195 洗浄装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024088195

(43)【公開日】2024-07-02

(54)【発明の名称】洗浄装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/304 20060101AFI20240625BHJP

   B08B 3/10 20060101ALI20240625BHJP

   B08B 3/04 20060101ALI20240625BHJP

【ＦＩ】

H01L21/304 642F

B08B3/10 Z

B08B3/04 Z

H01L21/304 642A

H01L21/304 648K

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022203254

(22)【出願日】2022-12-20

(71)【出願人】

【識別番号】594201700

【氏名又は名称】株式会社マブチ・エスアンドティー

(74)【代理人】

【識別番号】100125690

【弁理士】

【氏名又は名称】小平 晋

(72)【発明者】

【氏名】林 賢一

【テーマコード（参考）】

3B201

5F157

【Ｆターム（参考）】

3B201AA46

3B201AB03

3B201AB44

3B201BB02

3B201BB05

3B201BB92

3B201BB98

5F157AB03

5F157AB13

5F157AB34

5F157BB04

5F157BB07

5F157BB09

5F157BB79

5F157CF02

5F157CF04

5F157CF60

5F157CF66

5F157CF92

5F157DB02

(57)【要約】

【課題】ファインバブルを用いて洗浄対象物を洗浄するための洗浄装置において、洗浄対象物の下側で発生させたファインバブルを用いて洗浄対象物を効率的に洗浄することが可能な洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄装置１は、洗浄対象物２を洗浄するための洗浄液が貯留される洗浄槽３と、洗浄槽３の中の洗浄液に浸かる洗浄対象物２の下側でファインバブルを発生させるファインバブル発生機構５と、洗浄対象物２の上側で洗浄液が上昇する方向に洗浄液の流れを発生させる上昇流発生機構６とを備えている。上昇流発生機構６は、ファインバブル発生機構５が発生させたファインバブルが上昇して洗浄対象物２を通過する方向に洗浄液の流れを発生させる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

洗浄対象物を洗浄するための洗浄液が貯留される洗浄槽と、前記洗浄槽の中の前記洗浄液に浸かる前記洗浄対象物の下側でファインバブルを発生させるファインバブル発生機構と、前記洗浄対象物の上側で前記洗浄液が上昇する方向に前記洗浄液の流れを発生させる上昇流発生機構とを備え、
前記上昇流発生機構は、前記ファインバブル発生機構が発生させた前記ファインバブルが上昇して前記洗浄対象物を通過する方向に前記洗浄液の流れを発生させることを特徴とする洗浄装置。

【請求項2】

前記上昇流発生機構は、前記洗浄対象物の上側に配置され上下方向を回転の軸方向として回転する回転体と、前記回転体の回転中心となる回転軸と、前記回転軸を回転させる駆動機構とを備え、
前記回転体には、前記回転体の下端面で開口する前記洗浄液の吸入口と、前記回転軸の径方向における前記回転体の外側面で開口するとともに前記吸入口よりも前記回転軸の径方向の外側に配置される複数の前記洗浄液の吐出口とが形成され、
前記回転体が回転すると、前記吸入口から吸入されて複数の前記吐出口から排出される前記洗浄液の流れが発生することを特徴とする請求項１記載の洗浄装置。

【請求項3】

上面および下面が開口する箱状に形成され前記洗浄対象物が収容される洗浄対象物収容部を備え、
前記ファインバブル発生機構は、前記ファインバブルを放出するノズルと、上面が開口する箱状に形成されるとともに前記洗浄対象物の下側に配置され前記ノズルから放出された前記ファインバブルが入るファインバブル収容部とを備え、
上下方向から見たときに、前記ファインバブル収容部の外形は、前記洗浄対象物収容部の外形よりも大きくなっており、前記ファインバブル収容部の上端は、前記洗浄対象物収容部の下端よりも上側に配置されているか、または、上下方向において前記洗浄対象物収容部の下端と同じ位置に配置されていること、
あるいは、上下方向から見たときに、前記ファインバブル収容部の外形は、前記洗浄対象物収容部の外形と同じになっており、前記ファインバブル収容部の上端は、上下方向において前記洗浄対象物収容部の下端と同じ位置に配置されていることを特徴とする請求項２記載の洗浄装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ファインバブルを用いて洗浄対象物を洗浄するための洗浄装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、マイクロバブルを用いて半導体ウエハ等の洗浄対象物を洗浄するための洗浄装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の洗浄装置は、上方が開口する洗浄槽を備えている。洗浄槽の底部には、多孔板からなる支持板が固定されている。支持板の上側には、保持用カセットに保持された多数枚の半導体ウエハが配置されている。支持板と洗浄槽の底面との間には、マイクロバブルを含む洗浄液を噴射する複数の噴射ノズルが設置されている。複数の噴射ノズルは、たとえば、上向きに洗浄液を噴射するように設置されている。洗浄槽は、皿状の回収ボックスの中に設置されており、洗浄槽からオーバーフローする洗浄液は、回収ボックスに回収される。特許文献１に記載の洗浄装置では、半導体ウエハから除去された異物がマイクロバブルと一緒に浮上して洗浄槽から流れ出す。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特許第７１２５２８０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本願発明者は、ファインバブルを用いて半導体ウエハ等の洗浄対象物を洗浄するための洗浄装置を開発している。すなわち、本願発明者は、マイクロバブルまたはウルトラファインバブルを用いて洗浄対象物を洗浄するための洗浄装置を開発している。本願発明者は、開発中の洗浄装置において、特許文献１に記載の洗浄装置と同様に洗浄対象物の下側でファインバブルを発生させることを検討している。しかしながら、浮力の小さいマイクロバブルは洗浄液の中でゆっくり浮上するため、開発中の洗浄装置において、洗浄対象物の下側で発生させたマイクロバブルを用いて洗浄対象物を効率的に洗浄することは困難であることが本願発明者の検討によって明らかになった。また、浮力が生じないウルトラファインバブルは洗浄液の中で停滞するため、開発中の洗浄装置において、洗浄対象物の下側で発生させたウルトラファインバブルを用いて洗浄対象物を効率的に洗浄することは困難であることが本願発明者の検討によって明らかになった。

【0005】

なお、本願発明者は、特許文献１に記載の洗浄装置と同様に、ファインバブルを含む洗浄液をノズルが上向きに噴射するように洗浄対象物の下側にノズルを設置して、ファインバブルを効果的に浮上させることも検討した。しかしながら、一般的なノズルを用いてファインバブルを発生させる場合には、ファインバブルを含む洗浄液をノズルが上向きに噴射するように洗浄対象物の下側にノズルを設置しても、ファインバブルが効果的に浮上する程度まで、ファインバブルを含む洗浄液のノズルからの噴射圧を高めることは困難であることが本願発明者の検討によって明らかになった。

【0006】

そこで、本発明の課題は、ファインバブルを用いて洗浄対象物を洗浄するための洗浄装置において、洗浄対象物の下側で発生させたファインバブルを用いて洗浄対象物を効率的に洗浄することが可能な洗浄装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記の課題を解決するため、本発明の洗浄装置は、洗浄対象物を洗浄するための洗浄液が貯留される洗浄槽と、洗浄槽の中の洗浄液に浸かる洗浄対象物の下側でファインバブルを発生させるファインバブル発生機構と、洗浄対象物の上側で洗浄液が上昇する方向に洗浄液の流れを発生させる上昇流発生機構とを備え、上昇流発生機構は、ファインバブル発生機構が発生させたファインバブルが上昇して洗浄対象物を通過する方向に洗浄液の流れを発生させることを特徴とする。

【0008】

本発明の洗浄装置では、洗浄液が上昇する方向に洗浄液の流れを発生させる上昇流発生機構は、ファインバブル発生機構が発生させたファインバブルが上昇して洗浄対象物を通過する方向に洗浄液の流れを発生させている。そのため、本発明では、洗浄対象物の下側で発生させたファインバブルが洗浄対象物を通過するようにファインバブルを効果的に浮上させることが可能になる。したがって、本発明では、洗浄対象物から除去された異物をファインバブルと一緒に効率的に浮上させることが可能になり、その結果、洗浄対象物の下側で発生させたファインバブルを用いて洗浄対象物を効率的に洗浄することが可能になる。

【0009】

また、本発明では、洗浄液が上昇する方向に洗浄液の流れを発生させる上昇流発生機構が洗浄対象物の上側で洗浄液の流れを発生させているため、たとえば、洗浄対象物の下側に設置される羽根を回転させることによって洗浄対象物の下側で洗浄液が上昇する方向に洗浄液の流れを発生させる場合と比較して、洗浄対象物を通過する前にファインバブルが破裂するのを抑制することが可能になる。

【0010】

本発明において、上昇流発生機構は、洗浄対象物の上側に配置され上下方向を回転の軸方向として回転する回転体と、回転体の回転中心となる回転軸と、回転軸を回転させる駆動機構とを備え、回転体には、回転体の下端面で開口する洗浄液の吸入口と、回転軸の径方向における回転体の外側面で開口するとともに吸入口よりも回転軸の径方向の外側に配置される複数の洗浄液の吐出口とが形成され、回転体が回転すると、吸入口から吸入されて複数の吐出口から排出される洗浄液の流れが発生することが好ましい。このように構成すると、異物と一緒に浮上したファインバブルは、洗浄対象物の上側に配置される回転体の径方向の外側に移動する。したがって、異物と一緒に浮上したファインバブルが回転体の径方向の外側に移動した後に破裂して洗浄液の中で異物が降下しても、降下する異物が洗浄対象物に再付着するのを抑制することが可能になる。

【0011】

本発明において、洗浄装置は、上面および下面が開口する箱状に形成され洗浄対象物が収容される洗浄対象物収容部を備え、ファインバブル発生機構は、ファインバブルを放出するノズルと、上面が開口する箱状に形成されるとともに洗浄対象物の下側に配置されノズルから放出されたファインバブルが入るファインバブル収容部とを備え、上下方向から見たときに、ファインバブル収容部の外形は、洗浄対象物収容部の外形よりも大きくなっており、ファインバブル収容部の上端は、洗浄対象物収容部の下端よりも上側に配置されているか、または、上下方向において洗浄対象物収容部の下端と同じ位置に配置されていること、あるいは、上下方向から見たときに、ファインバブル収容部の外形は、洗浄対象物収容部の外形と同じになっており、ファインバブル収容部の上端は、上下方向において洗浄対象物収容部の下端と同じ位置に配置されていることが好ましい。

【0012】

このように構成すると、ノズルから放出されたファインバブルを洗浄対象物の真下に効率的に集めることが可能になる。したがって、洗浄対象物の下側で発生させたファインバブルを用いて洗浄対象物をより効率的に洗浄することが可能になる。また、このように構成すると、異物と一緒に浮上したファインバブルが回転体の径方向の外側に移動した後に破裂して洗浄液の中で異物が降下しても、降下する異物はファインバブル収容部の中に入りにくくなる。したがって、降下した異物がファインバブルと一緒に再浮上しにくくなり、その結果、降下した異物が洗浄対象物に再付着するのを効果的に抑制することが可能になる。

【発明の効果】

【0013】

以上のように、本発明では、ファインバブルを用いて洗浄対象物を洗浄するための洗浄装置において、洗浄対象物の下側で発生させたファインバブルを用いて洗浄対象物を効率的に洗浄することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】本発明の実施の形態にかかる洗浄装置の構成を説明するための概略図である。

【図2】（Ａ）は、図１に示す回転体の縦断面図であり、（Ｂ）は、図１に示す回転体の底面図である。

【図3】本発明の他の実施の形態にかかる上昇流発生機構の構成を説明するための図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

【0016】

（洗浄装置の構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる洗浄装置１の構成を説明するための概略図である。図２（Ａ）は、図１に示す回転体１８の縦断面図であり、図２（Ｂ）は、図１に示す回転体１８の底面図である。

【0017】

本形態の洗浄装置１は、ファインバブルを用いて洗浄対象物である半導体ウエハ２（以下、「ウエハ２」とする。）を洗浄するための装置である。すなわち、洗浄装置１は、直径が１μｍ以上１００μｍ未満のマイクロバブルまたは直径が１μｍ未満のウルトラファインバブルを用いてウエハ２を洗浄するための装置である。洗浄装置１では、たとえば、スライシング、べべリング、ラッピングまたはポリッシング後のウエハ２に付着した研削材、研磨材、研削粉または研磨粉等がウエハ２から除去される。ウエハ２は、たとえば、ガラスやシリコンで形成されている。また、ウエハ２は、たとえば、直径８インチの円板状に形成されている。

【0018】

洗浄装置１は、ウエハ２を洗浄するための洗浄液が貯留される洗浄槽３と、洗浄槽３が固定される本体フレーム４と、洗浄槽３の中でファインバブルを発生させるためのファインバブル発生機構５と、洗浄槽３の中の洗浄液が上昇する方向に洗浄液の流れを発生させるための上昇流発生機構６と、ウエハ２が収容される洗浄対象物収容部としてのウエハキャリア７と、ウエハキャリア７を支持する支持フレーム８とを備えている。洗浄液は、たとえば、純水または市水（水道水）等の水である。また、洗浄液は、たとえば、オゾンが溶解したオゾン水であっても良い。ただし、洗浄液は、水以外の洗浄用の液体であっても良い。

【0019】

洗浄槽３は、上面が開口する直方体の箱状に形成されている。洗浄槽３の上端側には、洗浄槽３から洗浄液を排出するための排出用の配管（図示省略）が繋がる継手９が取り付けられている。継手９は、洗浄液の液面よりも若干下側に配置されている。また、継手９は、洗浄液の液面と同じ位置に配置されていても良い。洗浄槽３からは、継手９を介して洗浄液が排出される。ウエハキャリア７は、上面および下面が開口する直方体の箱状に形成されている。上下方向から見たときのウエハキャリア７の外形は、たとえば、正方形状となっている。ウエハキャリア７の中には、多数枚のウエハ２が収容されている。ウエハキャリア７に収容される多数枚のウエハ２は、水平方向において一定の間隔をあけた状態で配列されている。支持フレーム８は、本体フレーム４の上端部に固定されている。ウエハキャリア７は、支持フレーム８に着脱可能に取り付けられている。具体的には、ウエハキャリア７は、支持フレーム８に吊り下げられており、支持フレーム８に対してウエハキャリア７を持ち上げると、支持フレーム８からウエハキャリア７を取り外すことができる。

【0020】

ファインバブル発生機構５は、洗浄槽３の中で洗浄液に漬かるウエハ２の下側（具体的には、ウエハキャリア７に収容される多数枚のウエハ２の下側）でファインバブルを発生させる。ファインバブル発生機構５は、ファインバブルを放出するノズル１２と、ノズル１２から放出されたファインバブルが入る箱状のファインバブル収容部１３と、ノズル１２とファインバブル収容部１３とを繋ぐ配管１４とを備えている。ノズル１２、ファインバブル収容部１３および配管１４は、ウエハキャリア７に収容される多数枚のウエハ２よりも下側に配置されている。また、ノズル１２の少なくとも一部、ファインバブル収容部１３および配管１４は、洗浄槽３の中に配置されている。

【0021】

ファインバブル収容部１３は、上面が開口する直方体の箱状に形成されている。上下方向から見たときのファインバブル収容部１３の外形は、たとえば、正方形状となっている。ファインバブル収容部１３は、ウエハキャリア７の真下に配置されている。すなわち、ファインバブル収容部１３は、ウエハキャリア７に収容される多数枚のウエハ２の下側に配置されている。上下方向から見たときに、ファインバブル収容部１３の中心とウエハキャリア７の中心とが一致している。

【0022】

上下方向から見たときに、ファインバブル収容部１３の外形は、ウエハキャリア７の外形よりも大きくなっている。具体的には、上下方向から見たときに、ファインバブル収容部１３の外形は、ウエハキャリア７の外形よりも若干大きくなっている。ファインバブル収容部１３の上端は、ウエハキャリア７の下端よりも上側に配置されており、ウエハキャリア７の下端は、ファインバブル収容部１３の中に配置されている。あるいは、ファインバブル収容部１３の上端は、上下方向においてウエハキャリア７の下端と同じ位置に配置されている。また、上下方向から見たときに、ファインバブル収容部１３の外形は、ウエハキャリア７の外形と同じになっていても良い。この場合には、ファインバブル収容部１３の上端は、上下方向においてウエハキャリア７の下端と同じ位置に配置されている。

【0023】

また、ファインバブル発生機構５は、ノズル１２に洗浄液を供給する洗浄液の供給部（図示省略）を備えている。また、ファインバブル発生機構５は、必要に応じてノズル１２に圧縮空気の気体を供給する気体の供給部（図示省略）を備えている。ノズル１２は、ファインバブルを含む洗浄液を放出する。すなわち、洗浄槽３には、ノズル１２から洗浄液が供給される。ノズル１２は、たとえば、水平方向にファインバブルを含む洗浄液を放出する。配管１４の一端は、ノズル１２の先端部に繋がり、配管１４の他端は、ファインバブル収容部１３の側面に繋がっている。ノズル１２から放出されるファインバブルは、ファインバブル収容部１３の中に入って、ファインバブル収容部１３の中に溜まる。

【0024】

上昇流発生機構６は、ウエハ２の上側（具体的には、ウエハキャリア７に収容される多数枚のウエハ２の上側）で洗浄液が上昇する方向に洗浄液の流れを発生させる。上昇流発生機構６は、洗浄液に含まれるファインバブルを上昇させる。上昇流発生機構６は、上下方向（鉛直方向）を回転の軸方向として回転する回転体１８と、回転体１８の回転中心となる回転軸１９と、回転軸１９を回転させる駆動機構２０とを備えている。回転体１８および回転軸１９は、ウエハキャリア７に収容される多数枚のウエハ２の上側に配置されている。

【0025】

回転体１８は、たとえば、フッ素樹脂によって形成されている。回転体１８は、軸方向の長さが短い扁平な底付きの円筒状に形成される本体部１８ａと、回転軸１９が固定される円筒状の回転軸固定部１８ｂとから構成されている。本体部１８ａは、本体部１８ａの軸方向と上下方向とが一致するように配置されている。本体部１８ａは、洗浄液の中に配置されている。本体部１８ａは、底付きの円筒状に形成される本体部１８ａの下端面が開口するように配置されている。回転軸固定部１８ｂは、本体部１８ａの上端面に繋がっている。本体部１８ａの軸心と回転軸固定部１８ｂの軸心とは一致している。回転軸固定部１８ｂの外径は、回転体１８の外径よりも小さくなっている。回転軸固定部１８ｂの内周側には、回転軸１９の下端部が固定されている。

【0026】

上下方向から見たときに、本体部１８ａの外径（直径）は、正方形状をなすウエハキャリア７の各辺の長さよりも大きくなっている。すなわち、上下方向から見たときに、回転体１８の外径は、ウエハキャリア７の各辺の長さよりも大きくなっている。また、上下方向から見たときに、回転体１８の外径は、正方形状をなすファインバブル収容部１３の各辺の長さとほぼ等しいか若干大きくなっている。

【0027】

本体部１８ａの下端面の開口は、洗浄液の吸入口１８ｃとなっている。すなわち、回転体１８には、回転体１８の下端面で開口する洗浄液の吸入口１８ｃが形成されている。吸入口１８ｃの内径（直径）は、上下方向から見たときに、ウエハキャリア７に収容される多数枚のウエハ２の全てがちょうど入る大きさとなっている。すなわち、吸入口１８ｃの内径は、上下方向から見たときに、ウエハキャリア７に収容される多数枚の全てのウエハ２の占有面積がちょうど入る大きさとなっている。

【0028】

また、本体部１８ａには、回転体１８および回転軸１９の径方向（以下、この方向を「径方向」とする。）で本体部１８ａを貫通する複数の貫通穴が形成されている。この貫通穴は、洗浄液の吐出口１８ｄとなっている。すなわち、回転体１８には、径方向における回転体１８の外側面（外周面）で開口する複数の洗浄液の吐出口１８ｄが形成されている。吐出口１８ｄは、吸入口１８ｃよりも径方向の外側に配置されている。吐出口１８ｄは、たとえば、本体部１８ａの軸心を中心とする４５°ピッチで８箇所に形成されている。

【0029】

回転軸１９は、回転軸１９の軸方向と上下方向とが一致するように配置されている。回転軸１９の表面には、たとえば、フッ素樹脂がコーティングされている。上述のように、回転軸１９の下端部は、回転体１８の上端部を構成する回転軸固定部１８ｂに固定されている。回転軸１９の上端部は、図示を省略する軸受けに回転可能に保持されている。この軸受けは、本体フレーム４の上端側に固定される軸受け保持部材に取り付けられている。駆動機構２０は、モータ（図示省略）と、モータの動力を回転軸１９に伝達する動力伝達機構（図示省略）とを備えている。モータは、サーボモータである。モータは、本体フレーム４の上端側に固定されるモータ保持部材に取り付けられている。動力伝達機構は、たとえば、モータの出力軸に固定されるプーリと、回転軸１９に固定されるプーリと、２個のプーリに架け渡されるベルトとを備えている。

【0030】

洗浄装置１では、回転体１８が回転すると、回転体１８の吸入口１８ｃから吸入されて複数の吐出口１８ｄから排出される洗浄液の流れが発生する（図１の一点鎖線の矢印参照）。そのため、ファインバブル収容部１３の中にファインバブルが溜まっている状態で回転体１８が回転すると、ファインバブル収容部１３の中のファインバブルが上昇して、ウエハキャリア７に収容される多数枚のウエハ２を通過する方向に洗浄液の流れが発生する（図１の一点鎖線の矢印参照）。

【0031】

すなわち、上昇流発生機構６は、ファインバブル発生機構５が発生させたファインバブルが上昇してウエハ２を通過する方向に洗浄液の流れを生じさせる。ファインバブル収容部１３から上昇してウエハ２を通過した洗浄液は、その後、吸入口１８ｃを通過してから吐出口１８ｄを通過して回転体１８の径方向の外側に流れる。ファインバブルがウエハ２を通過するときには、ファインバブルが、ウエハ２に付着した異物（パーティクル）に吸着して異物をウエハ２から剥離して除去する。ウエハ２から除去された異物はファインバブルと一緒に洗浄液の液面まで浮上する。洗浄液の液面まで浮上した異物は、継手９を通過して洗浄槽３の外部に排出される。すなわち、洗浄液の液面よりも若干下側に継手９を配置して、洗浄液の液面まで浮上した異物が洗浄液と一緒に洗浄槽３の中で循環しないようにしている。なお、異物に吸着したファインバブルが上昇中に破裂しても、異物は、洗浄液と一緒に回転体１８の径方向の外側に流れる。

【0032】

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、上昇流発生機構６は、ファインバブル発生機構５が発生させたファインバブルが上昇してウエハ２を通過する方向に洗浄液の流れを発生させている。そのため、本形態では、ウエハ２の下側で発生させたファインバブルがウエハ２を通過するようにファインバブルを効果的に浮上させることが可能になる。したがって、本形態では、ウエハ２から除去された異物をファインバブルと一緒に効率的に浮上させることが可能になり、その結果、ウエハ２の下側で発生させたファインバブルを用いてウエハ２を効率的に洗浄することが可能になる。

【0033】

また、本形態では、洗浄液が上昇する方向に洗浄液の流れを発生させる上昇流発生機構６がウエハ２の上側で洗浄液の流れを発生させているため、たとえば、ファインバブル収容部１３の中に設置される羽根を回転させることによって（すなわち、ウエハ２の下側に設置される羽根を回転させることによって）ウエハ２の下側で洗浄液が上昇する方向に洗浄液の流れを発生させる場合と比較して、ウエハ２を通過する前にファインバブルが破裂するのを抑制することが可能になる。

【0034】

本形態では、回転体１８に、回転体１８の下端面で開口する洗浄液の吸入口１８ｃと、径方向における回転体１８の外側面で開口するとともに吸入口１８ｃよりも径方向の外側に配置される洗浄液の吐出口１８ｄとが形成されており、回転体１８が回転すると、吸入口１８ｃを通過した後、吐出口１８ｄを通過して回転体１８の径方向の外側に流れる洗浄液の流れが発生する。そのため、本形態では、異物と一緒に浮上したファインバブルは、ウエハ２の上側に配置される回転体１８の径方向の外側に移動する。

【0035】

したがって、本形態では、異物と一緒に浮上したファインバブルが回転体１８の径方向の外側に移動した後に破裂して洗浄液の中で異物が降下しても、降下する異物がウエハ２に再付着するのを抑制することが可能になる。また、本形態では、上下方向から見たときに、回転体１８の外径が、正方形状をなすウエハキャリア７の各辺の長さよりも大きくなっているため、異物と一緒に浮上したファインバブルが回転体１８の径方向の外側に移動した後に破裂して洗浄液の中で異物が降下しても、降下する異物がウエハ２に再付着するのを効果的に抑制することが可能になる。

【0036】

本形態では、吸入口１８ｃの内径は、上下方向から見たときに、ウエハキャリア７に収容される多数枚のウエハ２の全てがちょうど入る大きさとなっている。そのため、本形態では、ウエハキャリア７に収容される多数枚のウエハ２の全てにファインバブルを効率的に当てることが可能になる。したがって、本形態では、ファインバブルを用いてウエハ２をより効率的に洗浄することが可能になる。

【0037】

本形態では、ファインバブル発生機構５は、上面が開口する箱状に形成されるとともにウエハ２の下側に配置されノズル１２から放出されたファインバブルが入るファインバブル収容部１３を備えている。そのため、本形態では、ノズル１２から放出されたファインバブルをウエハ２の真下に効率的に集めることが可能になる。したがって、本形態では、ウエハ２の下側で発生させたファインバブルを用いてウエハ２をより効率的に洗浄することが可能になる。

【0038】

また、本形態では、上下方向から見たときに、ノズル１２から放出されたファインバブルが入るファインバブル収容部１３の外形は、ウエハキャリア７の外形よりも若干大きくなっており、ファインバブル収容部１３の上端は、ウエハキャリア７の下端よりも上側に配置されているか、または、上下方向においてウエハキャリア７の下端と同じ位置に配置されている。あるいは、本形態では、上下方向から見たときに、ファインバブル収容部１３の外形は、ウエハキャリア７の外形と同じになっており、ファインバブル収容部１３の上端は、上下方向においてウエハキャリア７の下端と同じ位置に配置されている。

【0039】

そのため、本形態では、異物と一緒に浮上したファインバブルが回転体１８の径方向の外側に移動した後に破裂して洗浄槽３の中で異物が降下しても、降下した異物がファインバブル収容部１３の中に入りにくくなる。したがって、本形態では、降下した異物がファインバブルと一緒に再浮上しにくくなり、その結果、降下した異物がウエハ２に再付着するのを効果的に抑制することが可能になる。

【0040】

（他の実施の形態）
上述した形態において、上昇流発生機構６は、回転体１８、回転軸１９および駆動機構２０に代えて、遠心ポンプや軸流ポンプ等のポンプ２３を備えていても良い（図３参照）。この場合には、ポンプ２３が駆動すると、ファインバブル収容部１３の中のファインバブルが上昇して、ウエハキャリア７に収容される多数枚のウエハ２を通過する方向に洗浄液の流れが発生する。すなわち、この場合であっても、上昇流発生機構６は、ファインバブル発生機構５が発生させたファインバブルが上昇してウエハ２を通過する方向に洗浄液の流れを生じさせる。

【0041】

また、この場合には、ポンプ２３は、図３（Ａ）に示すように、洗浄槽３の中でウエハ２の上側（具体的には、ウエハキャリア７に収容される多数枚のウエハ２の真上）に配置されていても良いし、図３（Ｂ）に示すように、洗浄槽３の外部に配置されていても良い。図３に示す例では、ウエハ２から除去された異物は、ファインバブルおよび洗浄液と一緒にポンプ２３に吸引されて、洗浄槽３の外部に排出される。図３（Ａ）に示す例では、ポンプ２３に排水用の配管２４が接続されている。図３（Ｂ）に示す例では、洗浄槽３の中の、ウエハキャリア７に収容される多数枚のウエハ２の真上に、吸引口が形成される吸引口形成部材２５が配置されており、吸引口形成部材２５とポンプ２３とが配管２６を介して接続されている。図３に示す例でも、上昇流発生機構６は、ウエハ２の上側で洗浄液が上昇する方向に洗浄液の流れを生じさせている。なお、図３に示す例では、継手９が不要になる。

【0042】

上述した形態では、円筒状に形成される本体部１８ａの下端面の１個の開口が吸入口１８ｃとなっているが、本体部１８ａに、本体部１８ａの下端面で開口する複数の吸入口と、径方向における本体部１８ａの外側面で開口する複数の吐出口と、複数の吸入口のそれぞれと複数の吐出口のそれぞれとを繋ぐ複数の流路とが形成されていても良い。この場合には、流路は、流路の途中で屈曲または湾曲するように形成されており、流路の縦断面の形状は、たとえば、Ｌ形状となっている。

【0043】

上述した形態において、上下方向から見たときに、ファインバブル収容部１３の外形は、ウエハキャリア７の外形より小さくなっていても良い。また、上述した形態において、ファインバブル収容部１３の上端は、ウエハキャリア７の下端より下側に配置されていても良い。さらに、上述した形態において、ノズル１２は、上側に向かってファインバブルを含む洗浄液を放出するように配置されていても良い。また、上述した形態において、ファインバブル発生機構５は、ファインバブル収容部１３および配管１４を備えていなくても良い。また、上述した形態において、ファインバブル発生機構５は、ノズル１２以外の手段を用いてファインバブルを発生させても良い。

【0044】

上述した形態において、洗浄装置１で洗浄される洗浄対象物は、ウエハ２以外の物であっても良い。たとえば、洗浄装置１で洗浄される洗浄対象物は、レンズやプリズム等の光学部品、または、光学部品の製造途中の部材であっても良い。この場合であっても、洗浄装置１では、光学部品等に付着した研削材、研磨材、研削粉または研磨粉等が光学部品等から除去される。

【符号の説明】

【0045】

１ 洗浄装置
２ ウエハ（半導体ウエハ、洗浄対象物）
３ 洗浄槽
５ ファインバブル発生機構
６ 上昇流発生機構
７ ウエハキャリア（洗浄対象物収容部）
１２ ノズル
１３ ファインバブル収容部
１８ 回転体
１８ｃ 吸入口
１８ｄ 吐出口
１９ 回転軸
２０ 駆動機構

【図1】

【図2】

【図3】