特開 2024-89047 エキシマランプ及び紫外線照射装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024089047

(43)【公開日】2024-07-03

(54)【発明の名称】エキシマランプ及び紫外線照射装置

(51)【国際特許分類】

   H01J 65/00 20060101AFI20240626BHJP

   A61L 2/10 20060101ALI20240626BHJP

【ＦＩ】

H01J65/00 B

A61L2/10

【審査請求】未請求

【請求項の数】11

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022204156

(22)【出願日】2022-12-21

(71)【出願人】

【識別番号】000002303

【氏名又は名称】スタンレー電気株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100149548

【弁理士】

【氏名又は名称】松沼 泰史

(74)【代理人】

【識別番号】100179833

【弁理士】

【氏名又は名称】松本 将尚

(74)【代理人】

【識別番号】100175824

【弁理士】

【氏名又は名称】小林 淳一

(72)【発明者】

【氏名】十川 博行

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 一樹

(72)【発明者】

【氏名】吉池 勝大

(72)【発明者】

【氏名】阿部 友則

【テーマコード（参考）】

4C058

【Ｆターム（参考）】

4C058BB02

4C058KK02

(57)【要約】

【課題】放電中に発生した熱を外部へと効率良く放熱させることを可能としたエキシマランプを提供する。
【解決手段】放電ガスが封入された放電管２と、放電管２を外側から挟み込む一対の電極３と、電極３と熱的に接続された蓄熱部４とを備え、一対の電極３の間で放電管２内に電圧を印加することにより、放電ガスが励起されて紫外線Ｌを外部へ照射し、放電管２の放電中に発生した熱を蓄熱部４に蓄熱しながら外部へと放熱する。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

放電ガスが封入された放電管と、
前記放電管を外側から挟み込む一対の電極と、
前記電極と熱的に接続された蓄熱部とを備え、
前記一対の電極の間で前記放電管内に電圧を印加することにより、前記放電ガスが励起されて紫外線を外部へ照射し、
前記放電管の放電中に発生した熱を前記蓄熱部に蓄熱しながら外部へと放熱することを特徴とするエキシマランプ。

【請求項2】

前記蓄熱部は、前記電極よりも熱容量が大きいことを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。

【請求項3】

前記蓄熱部は、前記電極よりも容積が大きいことを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。

【請求項4】

前記蓄熱部の容積は、前記電極の容積よりも３．３倍以上大きいことを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。

【請求項5】

前記蓄熱部と熱的に接続された放熱部を備え、
前記放熱部を介して前記蓄熱部に蓄熱された熱を外部へと放熱することを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。

【請求項6】

前記放熱部は、前記蓄熱部の少なくとも表面の一部を覆うように設けられていることを特徴とする請求項５に記載のエキシマランプ。

【請求項7】

前記放熱部は、黒色であることを特徴とする請求項５に記載のエキシマランプ。

【請求項8】

請求項１～７の何れか一項に記載のエキシマランプと、
前記エキシマランプの通電を制御する通電制御部とを備え、
前記通電制御部は、前記エキシマランプの点灯時に、前記一対の電極に対する通電のオンとオフとを周期的に切り替える制御を行うことを特徴とする紫外線照射装置。

【請求項9】

前記エキシマランプを内側に収容する筐体と、
前記筐体の内面に設けられた伝熱部とを備え、
前記伝熱部を介して前記エキシマランプから放熱された熱を前記筐体へと伝熱することを特徴とする請求項８に記載の紫外線照射装置。

【請求項10】

前記筐体の内側から前記エキシマランプを吊り下げた状態で支持する絶縁性の支持部材を備えることを特徴とする請求項９に記載の紫外線照射装置。

【請求項11】

前記伝熱部の熱放射率は、前記蓄熱部の熱放射率よりも高いことを特徴とする請求項９に記載の紫外線照射装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、エキシマランプ及び紫外線照射装置に関する。

【背景技術】

【0002】

放電ガスが封入された放電管と、放電管を外側から挟み込む一対の電極とを備え、一対の電極の間に高周波高電圧を印加することによって、放電管内で放電を開始し、放電ガスの励起により発生した紫外線を外部へと照射するエキシマランプがある（例えば、下記特許文献１，２を参照。）。

【0003】

例えば、放電ガスにＫｒＣｌを用いたエキシマランプは、ピーク波長が２２２ｎｍの紫外線（ＵＶＣ）を励起させるため、２５４～２９０ｎｍの他のＵＶＣよりも人体に対する許容可能暴露量が多く、除菌やウイルスの不活性化などに用いられている（例えば、下記特許文献３を参照。）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００３－２２７８４号公報

【特許文献2】特許第３２８２７９８号公報

【特許文献3】特開２０２２－８３８２６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、上述したエキシマランプを用いた紫外線照射装置では、放電中にランプ表面温度が上昇することで、紫外線の照度維持率が低下することがわかっている。

【0006】

このため、紫外線照射装置では、エキシマランプの点灯時に、通電のオン（ＯＮ）とオフ（ＯＦＦ）とを周期的に切り替えることで、ランプの温度上昇を抑制することが行われている。また、ランプの温度上昇を抑制することで、ランプ寿命を延ばすことが可能である。

【0007】

一方、従来のエキシマランプでは、１分程度の短時間のパルス信号による通電であっても、ランプ表面温度が大きく上昇することが確認されている。このため、エキシマランプでは、放電中に放電管から発生した熱を外部へと効率良く放熱させることが求められている。

【0008】

本発明は、このような従来の事情に鑑みて提案されたものであり、放電中に放電管から発生した熱を外部へと効率良く放熱させることを可能としたエキシマランプ、並びにそのようなエキシマランプを用いることによって、ランプ温度の上昇を抑制し、ランプ寿命を更に延ばすことを可能とした紫外線照射装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供する。
〔１〕 放電ガスが封入された放電管と、
前記放電管を外側から挟み込む一対の電極と、
前記電極と熱的に接続された蓄熱部とを備え、
前記一対の電極の間で前記放電管内に電圧を印加することにより、前記放電ガスが励起されて紫外線を外部へ照射し、
前記放電管の放電中に発生した熱を前記蓄熱部に蓄熱しながら外部へと放熱することを特徴とするエキシマランプ。
〔２〕 前記蓄熱部は、前記電極よりも熱容量が大きいことを特徴とする前記〔１〕に記載のエキシマランプ。
〔３〕 前記蓄熱部は、前記電極よりも容積が大きいことを特徴とする前記〔１〕に記載のエキシマランプ。
〔４〕 前記蓄熱部の容積は、前記電極の容積よりも３．３倍以上大きいことを特徴とする前記〔１〕に記載のエキシマランプ。
〔５〕 前記蓄熱部と熱的に接続された放熱部を備え、
前記放熱部を介して前記蓄熱部に蓄熱された熱を外部へと放熱することを特徴とする前記〔１〕に記載のエキシマランプ。
〔６〕 前記放熱部は、前記蓄熱部の少なくとも表面の一部を覆うように設けられていることを特徴とする前記〔５〕に記載のエキシマランプ。
〔７〕 前記放熱部は、黒色であることを特徴とする前記〔５〕に記載のエキシマランプ。
〔８〕 前記〔１〕～〔７〕の何れか一項に記載のエキシマランプと、
前記エキシマランプの通電を制御する通電制御部とを備え、
前記通電制御部は、前記エキシマランプの点灯時に、前記一対の電極に対する通電のオンとオフとを周期的に切り替える制御を行うことを特徴とする紫外線照射装置。
〔９〕 前記エキシマランプを内側に収容する筐体と、
前記筐体の内面に設けられた伝熱部とを備え、
前記伝熱部を介して前記エキシマランプから放熱された熱を前記筐体へと伝熱することを特徴とする前記〔８〕に記載の紫外線照射装置。
〔１０〕 前記筐体の内側から前記エキシマランプを吊り下げた状態で支持する絶縁性の支持部材を備えることを特徴とする前記〔９〕に記載の紫外線照射装置。
〔１１〕 前記伝熱部の熱放射率は、前記蓄熱部の熱放射率よりも高いことを特徴とする前記〔９〕に記載の紫外線照射装置。

【発明の効果】

【0010】

以上のように、本発明によれば、放電中に放電管から発生した熱を外部へと効率良く放熱させることを可能としたエキシマランプ、並びにそのようなエキシマランプを用いることによって、ランプ温度の上昇を抑制し、ランプ寿命を更に延ばすことを可能とした紫外線照射装置を提供することが可能である。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本発明の一実施形態に係るエキシマランプを備えた紫外線照射装置の構成を示す平面図である。

【図2】図１中に示す線分Ａ－Ａによる紫外線照射装置の断面図である。

【図3】蓄熱部の形状を説明するための断面図である。

【図4】ランプ表面温度と照射維持率との関係を示すグラフである。

【図5】エキシマランプの通電制御を説明するための図であり、（Ａ）は通電のＯＮ／ＯＦＦを示すグラフ、（Ｂ）は通電によるランプ表面温度を示すグラフである。

【図6】ランプ表面温度を測定した結果を示すグラフである。

【図7】エキシマランプの変形例を例示した断面図である。

【図8】紫外線照射装置の変形例を示す断面図である。

【図9】（Ａ）は比較例１のエキシマランプの構成を示す断面図、（Ｂ）は実施例１のエキシマランプの構成を示す断面図である。

【図10】実施例１及び比較例１の通電時間に対するランプ表面温度の変化を示すグラフである。

【図11】実施例１及び実施例２の４５℃からの経過時間に対するランプ表面温度の変化を示すグラフである。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
なお、以下の説明で用いる図面においては、各構成要素を模式的に示すことがあり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。

【0013】

本発明の一実施形態として、例えば図１～図８に示すエキシマランプ１を備えた紫外線照射装置１００について説明する。

【0014】

なお、図１は、エキシマランプ１を備えた紫外線照射装置１００の構成を示す平面図である。図２は、図１中に示す線分Ａ－Ａによる紫外線照射装置１００の断面図である。図３は、蓄熱部の形状を説明するための断面図である。図４は、ランプ表面温度と照射維持率との関係を示すグラフである。図５は、エキシマランプ１の通電制御を説明するための図であり、（Ａ）は通電のＯＮ／ＯＦＦを示すグラフ、（Ｂ）は通電によるランプ表面温度を示すグラフである。図６は、ランプ表面温度を測定した結果を示すグラフである。図７は、エキシマランプ１の変形例を例示した断面図である。図８は、紫外線照射装置１００の変形例を示す断面図である。

【0015】

本実施形態のエキシマランプ１は、図１及び図２に示すように、放電ガスが封入された放電管２と、放電管２を外側から挟み込む一対の電極３と、電極３と熱的に接続して一体に形成された蓄熱部４と、蓄熱部４と熱的に接続された放熱部５とを備えている。

【0016】

放電管２は、例えば放電ガスとしてＫｒＣｌを封入した硼珪酸ガラス製の円筒管からなる。ＫｒＣｌの放電ガスは、ピーク波長が２２２ｎｍの紫外線Ｌを励起させる。

【0017】

一対の電極３は、例えばアルミニウム（Ａｌ）や銅（Ｃｕ）などの導電金属からなり、互いに対称な形状を有して、放電管２を挟んだ幅方向の両側に互いに対向して配置されている。

【0018】

また、一対の電極３は、放電管２の軸線方向（長さ方向）に延在しながら、互いに対向する側（内側）の面が放電管２の外周面に沿って凹状に湾曲した形状を有している。

【0019】

これにより、一対の電極３は、放電管２の外周面に沿って放電管２を挟み込みながら、放電管２の両端部分を除く中央部分を保持している。

【0020】

蓄熱部４は、上述した電極３と同じ材質のものからなり、各電極３の外側に各電極３と一体に設けられている。

【0021】

また、各電極３と一体に設けられた蓄熱部４は、互いに対称な形状を有している。本実施形態では、放電管２の軸線方向と直交する方向の断面（鉛直断面）において、矩形状に形成されている。

【0022】

具体的に、この蓄熱部４は、電極３よりも熱容量が大きいことが好ましい。本実施形態では、図３に示すように、電極３の寸法ａ’，ｂ’よりも蓄熱部４の寸法ａ，ｂが大きくなっている。

【0023】

すなわち、この蓄熱部４は、その鉛直断面において、電極３の断面積よりも大きい断面積を有している。なお、図３において、放熱部５は図示を省略している。

【0024】

また、電極３の高さ寸法ｂ’よりも蓄熱部４の高さ寸法ｂが大きくなっている。この場合、蓄熱部４は、放電管２の中心軸Ｏと、放電管２と接する電極３の高さ方向の両端Ｐとを結ぶ２つの延長線ｅの内側に蓄熱部４が位置することが好ましい。

【0025】

これにより、放電管２から外部へと照射される紫外線Ｌの一部が蓄熱部４により遮蔽されることを防ぐことができ、照度を維持することが可能である。

【0026】

一方、蓄熱部４は、少なくとも電極３との境界における高さ寸法が電極３の境界における高さ寸法と同じか、それよりも大きいことが好ましい。

【0027】

これにより、放電管２から電極３に伝わる熱を蓄熱部４へと効率良く伝熱させることが可能である。

【0028】

また、蓄熱部４は、電極３よりも容積が大きいことが好ましい。具体的に、蓄熱部４の容積は、電極３の容積よりも３．３倍以上大きいことが好ましい。

【0029】

これにより、蓄熱部４からの放熱性を高めることが可能である。

【0030】

なお、本実施形態において、蓄熱部４は、電極３を介して放電管２からの熱を蓄積する機能と放熱部５へ熱を伝達する機能以外を有していない。

【0031】

放熱部５は、蓄熱部４からの熱の放射率（放熱性）を高めるものであり、例えば黒アルマイトからなる。放熱部５は、蓄熱部４の少なくとも表面の一部を覆うように設けられている。

【0032】

本実施形態では、蓄熱部４の表面全体にアルマイト処理を施すことで、蓄熱部４の表面を覆う黒色の放熱部５が設けられている。

【0033】

本実施形態の紫外線照射装置１００は、図１及び図２に示すように、上記エキシマランプ１と、エキシマランプ１を内側に収容する筐体１０１と、筐体１０１の開口部１０１ａを閉塞するガラス基板１０２と、筐体１０１の内側からエキシマランプ１を吊り下げた状態で支持する複数（本実施形態では４つ）の支持部材１０３と、エキシマランプ１の通電を制御する通電制御部１０４とを備えている。

【0034】

筐体１０１は、例えば下面に開口部１０１ａを有して、方形箱状に形成されたアルミニウム材からなる。

【0035】

ガラス基板１０２は、紫外線Ｌの透過性に優れた石英ガラスからなり、開口部１０１ａを閉塞した状態で筐体１０１に取り付けられている。

【0036】

したがって、エキシマランプ１は、筐体１０１及びガラス基板１０２により密閉された空間Ｋに配置されている。

【0037】

なお、本実施形態の紫外線照射装置１００では、持ち運び可能とするため、筐体１０１の上部に取手（図示せず。）が取り付けられた構成としてもよい。

【0038】

複数の支持部材１０３は、例えばセラミックス等の絶縁体からなり、互いに同じ長さで棒状に形成されている。一対の電極３には、それぞれ一対の支持部材１０３が長さ方向に並んで取り付けられており、筐体１０１に接続されている。

【0039】

これにより、エキシマランプ１は、複数の支持部材１０３を介して筐体１０１の内側の上面から吊り下げた状態で支持している。また、筐体１０１は、複数の支持部材１０３を介して一対の電極３とは電気的に絶縁されている。

【0040】

通電制御部１０４は、筐体１０１の外側の上面に配置された通電回路基板からなり、一対の配線１０５を介して一対の電極３と電気的に接続されている。

【0041】

以上のような構成を有する本実施形態のエキシマランプ１を備えた紫外線照射装置１００では、外部電源（図示せず。）から通電制御部１０４に電力が供給される。

【0042】

また、エキシマランプ１の点灯時には、通電制御部１０４を介して一対の電極３の間に高周波高電圧が印加される。具体的には、ピーク電圧が約２ｋＶ、周波数が約５０ｋＨｚの高周波高電圧を印加する。

【0043】

これにより、エキシマランプ１は、放電管２内で放電を開始し、放電ガスの励起により発生した紫外線Ｌを外部へと照射する。紫外線Ｌは、ガラス基板１０２を透過しながら照射対象物Ｔに向けて照射される。

【0044】

本実施形態の紫外線照射装置１００は、例えば除菌やウイルスの不活性化などに好適に用いられる。

【0045】

ところで、エキシマランプ１では、図４に示すように、ランプ表面温度と照射維持率との間に相関関係があることが実測によりわかった。

【0046】

図４に示すエキシマランプは、上記エキシマランプ１から蓄熱部４及び放熱部５を省略したものを使用している。

【0047】

ランプ表面温度については、サーモグラフィを用いて、放電管２の表面温度を測定した。

【0048】

なお、実測は、室温環境において、エキシマランプ及びサーモグラフィを設置し、エキシマランプの表面をサーモグラフィと対向して設置し、送風ファンをエキシマランプの表面に当たるようにして行った。

【0049】

ここで、送風ファンは、エキシマランプの表面温度がそれぞれ約７０℃、約８０℃、約１２０℃となるように風速を調整している。

【0050】

実測により、ランプ表面温度が７０℃を超えないようにすることで、連続５，０００時間の点灯でも、照射維持率を７０％以上に維持することが可能である。

【0051】

そこで、本実施形態の紫外線照射装置１００では、図５（Ａ）に示すように、エキシマランプ１の点灯時に、通電制御部１０４により一対の電極３に対する通電のオン（ＯＮ）とオフ（ＯＦＦ）とを周期的に切り替える制御を行う。

【0052】

具体的には、照射対象物Ｔに対して、１箇所当たり、数秒～数分の間隔で通電をＯＮからＯＦＦへと切り替える。なお、パルス周期は、約５０ｋＨｚである。

【0053】

一方、従来のエキシマランプでは、例えば１分程度の短い通電時間であっても、ランプ表面温度の上昇が確認されたことから、本実施形態のエキシマランプ１では、上述した放電管２の放電中に発生した熱を一対の電極３から蓄熱部４に蓄熱しながら外部へと放熱する。

【0054】

図６は、エキシマランプ１の蓄熱部４を省略し、電極３の寸法ａ’を１．５ｍｍ、ｂ’を６．５ｍｍとし、図５（Ａ）の通電条件に従って、ランプ表面温度を実測した際に得られたグラフである。

【0055】

なお、ランプ表面温度については、サーモグラフィを用いて、放電管２の表面温度を実測した。また、実測は、室温環境において、密閉容器内にエキシマランプ及びサーモグラフィを設置し、エキシマランプの表面をサーモグラフィと対向して設置して行った。

【0056】

図６に示すグラフから、紫外線照射装置１００を２分間駆動させたときに、ランプ表面温度が７０℃以下の条件を満たすように、初期の温度勾配に基づいて、蓄熱部４の容積を求めた。

【0057】

その結果、蓄熱部４の容積は、電極３の容積の３．３倍以上大きくすることで実現できることがわかった。

【0058】

また、新型コロナウィルスやインフルエンザ等の人体に有害な菌は、波長約２２２ｎｍで４～５秒間暴露されることによって不活化されることが知られている。

【0059】

本発明者らは、殺菌を行うにあたり、十分な駆動時間として２分間を条件として設定し、その時にランプ表面温度が７０℃以下となる蓄熱部４の条件を実測により見出した。

【0060】

本実施形態のエキシマランプ１では、電極３と熱的に接続された蓄熱部４による熱容量の増加によって、放電管２から一対の電極３に伝わる熱が蓄熱部４へと蓄熱されるため、放電管２の温度上昇を抑制することが可能である。

【0061】

さらに、本実施形態のエキシマランプ１では、上述した放熱部５を介して蓄熱部４に蓄熱された熱を外部へと効率良く放熱させることが可能である。

【0062】

これにより、本実施形態１のエキシマランプ１では、ランプ表面温度が７０℃を超えないようにすることが可能である。

【0063】

したがって、本実施形態の紫外線照射装置１００では、このようなエキシマランプ１を用いることによって、ランプ温度の上昇を抑制し、ランプ寿命を更に延ばすことが可能である。

【0064】

なお、本発明は、上記実施形態のものに必ずしも限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。

【0065】

具体的に、上記エキシマランプ１については、上述した構成に必ずしも限定されるものではなく、例えば図７（Ａ）～（Ｄ）に示すような構成とすることも可能である。

【0066】

このうち、図７（Ａ）に示す構成は、断面略円形状の蓄熱部４Ａが一対の電極３の外側に接続された構成である。蓄熱部４Ａでは、このような形状とすることで、放電管２から外部へと照射される紫外線Ｌの一部が遮蔽されることを防ぐことが可能である。

【0067】

一方、図７（Ｂ）に示す構成は、断面略台形状の蓄熱部４Ｂが一対の電極３の外側に接続された構成である。また、蓄熱部４Ｂは、電極３との境界における高さ寸法が電極３と同じで、その境界から外側に向かって高さ寸法が漸次大きくなっている。

【0068】

蓄熱部４Ｂでは、このような形状とすることで、放電管２から外部へと照射される紫外線Ｌの一部が遮蔽されることを防ぐことが可能である。

【0069】

一方、図７（Ｃ）に示す構成は、複数のフィン部４０を有した蓄熱部４Ｃが一対の電極３の外側に接続された構成である。フィン部４０は、その間に切欠き部を有し、いわゆるヒートシンクとしての役割を果たす。

【0070】

蓄熱部４Ｃでは、このようなフィン部４０を設けることで、放熱性を高めることが可能である。

【0071】

一方、図７（Ｄ）に示す構成は、電極３とは別体の蓄熱部４Ｄが一対の電極３の外側に接続された構成である。蓄熱部４Ｄは、電極３とは別体とすることで、上述した電極３と同じ材質のものに限らず、電極３とは異なる材質のものを用いることが可能である。

【0072】

蓄熱部４Ｄと電極３との接続方法については、蓄熱部４Ｄと電極３との間の熱伝導性を妨げないようにすればよく、例えば熱伝導性の接着材Ｓを用いることが可能である。それ以外にも、例えば、溶接や溶着、はんだなどの接合方法を用いたり、嵌合やネジ止めなどの固定方法を用いたりすることが可能である。

【0073】

また、上記紫外線照射装置１００では、上述した構成以外にも、例えば図８に示すように、筐体１０１の内面に伝熱部１０６を設け、この伝熱部１０６を介してエキシマランプ１から放射された熱を筐体１０１へと伝熱する構成としてもよい。

【0074】

伝熱部１０６は、例えば黒アルマイトからなり、筐体１０１の蓄熱部４と対向する内側の側面を覆うように設けられている。これに対して、放熱部５は、蓄熱部４の外側の面を覆うように設けられている。

【0075】

この構成の場合、放熱部５から放射（輻射）された熱を伝熱部１０６が吸収しながら、この伝熱部１０６から筐体１０１側へと熱を逃がすことが可能である。

【0076】

これにより、放熱部５から放射（輻射）された熱が筐体１０１の内面で反射して、エキシマランプ１側に放射（輻射）されることを抑制することが可能である。

【0077】

また、この構成により、伝熱部１０６の熱放射率は、放熱部５の放射率よりも高くなる。これは、筐体１０１に放熱性の高い材料を構成することにより条件を満たすことができ、例えばアルミニウムを用いている。通電制御部にヒートシンクを追加した構造とすることで、筐体１０１の放熱性をさらに高くすることができる。

【実施例0078】

以下、実施例により本発明の効果をより明らかなものとする。なお、本発明は、以下の実施例に限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲で適宜変更して実施することができる。

【0079】

本実施例では、先ず、比較例１として、図９（Ａ）に示すように、上記エキシマランプ１の構成のうち、蓄熱部４及び放熱部５を省略したエキシマランプと、実施例１として、図９（Ｂ）に示すように、上記エキシマランプ１と同じ構成のエキシマランプとを準備した。

【0080】

そして、これら実施例１及び比較例１のエキシマランプについて、通電しながら、ランプ表面温度の測定を行った。その測定結果を図１０に示す。

【0081】

なお、ランプ表面温度については、サーモグラフィを用いて、放電管２の表面温度を測定した。また、本測定は、室温環境において、密閉容器内にエキシマランプ及びサーモグラフィを設置し、エキシマランプの表面をサーモグラフィと対向して設置して行った。

【0082】

図１０に示すように、実施例１のエキシマランプは、通電開始から１分後に約４４℃までランプ表面温度の上昇したのに対して、比較例１のエキシマランプは、通電開始から１分後に約６６℃までランプ表面温度が上昇した。

【0083】

このように、実施例１のエキシマランプは、比較例１のエキシマランプよりも、通電時間に対するランプ表面温度の上昇が低いことがわかる。

【0084】

次に、実施例２として、上記エキシマランプ１の構成のうち、放熱部５を省略したエキシマランプを準備し、実施例１及び実施例２のエキシマランプについて、通電開始から通電をＯＦＦとした後、ランプ表面温度が４５℃となった時点を０秒として、ランプ表面温度の変化を測定した。その測定結果を図１１に示す。

【0085】

図１１に示すように、実施例１のエキシマランプは、実施例２のエキシマランプよりも、ランプ表面温度の低下が速いことがわかる。

【符号の説明】

【0086】

１…エキシマランプ ２…放電管 ３…電極 ４…蓄熱部 ５…放熱部 １００…紫外線照射装置 １０１…筐体 １０２…ガラス基板 １０３…支持部材 １０４…通電制御部 １０５…配線 １０６…伝熱部 Ｌ…紫外線

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】