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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024089174
(43)【公開日】2024-07-03
(54)【発明の名称】液化ガス供給装置
(51)【国際特許分類】
F17C 13/02 20060101AFI20240626BHJP
F17C 13/04 20060101ALI20240626BHJP
F17D 3/18 20060101ALI20240626BHJP
【ＦＩ】
F17C13/02 301A
F17C13/04 301B
F17D3/18
【審査請求】有
【請求項の数】5
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022204374
(22)【出願日】2022-12-21
(11)【特許番号】
(45)【特許公報発行日】2023-07-03
(71)【出願人】
【識別番号】518230935
【氏名又は名称】東日本イワタニガス株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100136098
【弁理士】
【氏名又は名称】北野 修平
(74)【代理人】
【識別番号】100137246
【弁理士】
【氏名又は名称】田中 勝也
(74)【代理人】
【識別番号】100158861
【弁理士】
【氏名又は名称】南部 史
(74)【代理人】
【識別番号】100194674
【弁理士】
【氏名又は名称】青木 覚史
(72)【発明者】
【氏名】山本 裕
(72)【発明者】
【氏名】松井 一雄
【テーマコード（参考）】
3E172
3J071
【Ｆターム（参考）】
3E172AB03
3E172AB13
3E172BA01
3E172BB04
3E172BB12
3E172BB17
3E172JA09
3E172KA03
3E172KA28
3J071AA23
3J071CC07
3J071CC12
3J071CC17
(57)【要約】
【課題】供給先に正確な量の液化ガスを供給することができる液化ガス供給装置を提供する。
【解決手段】液化ガス供給装置は、内部に液化ガス容器を収容可能な筐体と、液化ガス容器に接続可能な第１端部と第１端部とは反対側の端部である第２端部とを含み、筐体の内部に収容された第１配管と、第２端部において第１配管に接続されており、第１配管の内径よりも大きい内径を有し、筐体の内部に収容された第２配管と、第２配管に接続された第３端部と筐体の外部に露出する第４端部とを含み、第２配管の内径よりも小さい内径を有する第３配管と、第１配管に設置されており、第１配管を閉塞された閉状態と開通された開状態とに切り替える第１の切り替えを実現可能な第１弁部と、第３配管に設置されており、第３配管を閉塞された閉状態と開通された開状態とに切り替える第２の切り替えを実現可能な第２弁部と、第２配管の質量を計測可能な計測部と、を備える。
【選択図】図１
【解決手段】液化ガス供給装置は、内部に液化ガス容器を収容可能な筐体と、液化ガス容器に接続可能な第１端部と第１端部とは反対側の端部である第２端部とを含み、筐体の内部に収容された第１配管と、第２端部において第１配管に接続されており、第１配管の内径よりも大きい内径を有し、筐体の内部に収容された第２配管と、第２配管に接続された第３端部と筐体の外部に露出する第４端部とを含み、第２配管の内径よりも小さい内径を有する第３配管と、第１配管に設置されており、第１配管を閉塞された閉状態と開通された開状態とに切り替える第１の切り替えを実現可能な第１弁部と、第３配管に設置されており、第３配管を閉塞された閉状態と開通された開状態とに切り替える第２の切り替えを実現可能な第２弁部と、第２配管の質量を計測可能な計測部と、を備える。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
内部に液化ガス容器を収容可能な筐体と、
前記液化ガス容器に接続可能な第１端部と前記第１端部とは反対側の端部である第２端部とを含み、前記筐体の内部に収容された第１配管と、
前記第２端部において前記第１配管に接続されており、前記第１配管の内径よりも大きい内径を有し、前記筐体の内部に収容された第２配管と、
前記第２配管に接続された第３端部と前記筐体の外部に露出する第４端部とを含み、前記第２配管の内径よりも小さい内径を有する第３配管と、
前記第１配管に設置されており、前記第１配管を閉塞された閉状態と開通された開状態とに切り替える第１の切り替えを実現可能な第１弁部と、
前記第３配管に設置されており、前記第３配管を閉塞された閉状態と開通された開状態とに切り替える第２の切り替えを実現可能な第２弁部と、
前記第２配管の質量を計測可能な計測部と、を備える、液化ガス供給装置。
前記液化ガス容器に接続可能な第１端部と前記第１端部とは反対側の端部である第２端部とを含み、前記筐体の内部に収容された第１配管と、
前記第２端部において前記第１配管に接続されており、前記第１配管の内径よりも大きい内径を有し、前記筐体の内部に収容された第２配管と、
前記第２配管に接続された第３端部と前記筐体の外部に露出する第４端部とを含み、前記第２配管の内径よりも小さい内径を有する第３配管と、
前記第１配管に設置されており、前記第１配管を閉塞された閉状態と開通された開状態とに切り替える第１の切り替えを実現可能な第１弁部と、
前記第３配管に設置されており、前記第３配管を閉塞された閉状態と開通された開状態とに切り替える第２の切り替えを実現可能な第２弁部と、
前記第２配管の質量を計測可能な計測部と、を備える、液化ガス供給装置。
【請求項2】
前記計測部によって計測される前記第２配管の質量に基づいて、前記第１の切り替えと前記第２の切り替えとを制御する制御部をさらに備える、請求項１に記載の液化ガス供給装置。
【請求項3】
前記液化ガス供給装置が設置された状態において、前記第２配管は、前記液化ガス容器よりも鉛直方向の下側に配置される、請求項１に記載の液化ガス供給装置。
【請求項4】
前記第２配管は、
筒状の形状を有する側壁部と、
前記液化ガス供給装置が設置された状態において、前記側壁部における鉛直方向の上端部を閉じる上壁部と、前記側壁部における鉛直方向の下端部を閉じる底壁部と、を含み、
前記第２配管には、前記底壁部の一部が欠損するように前記第２配管を貫通する第１貫通孔および第２貫通孔が形成されており、
前記第１貫通孔には、前記第２端部が接続されており、
前記第２貫通孔には、前記第３端部が接続されている、請求項１に記載の液化ガス供給装置。
筒状の形状を有する側壁部と、
前記液化ガス供給装置が設置された状態において、前記側壁部における鉛直方向の上端部を閉じる上壁部と、前記側壁部における鉛直方向の下端部を閉じる底壁部と、を含み、
前記第２配管には、前記底壁部の一部が欠損するように前記第２配管を貫通する第１貫通孔および第２貫通孔が形成されており、
前記第１貫通孔には、前記第２端部が接続されており、
前記第２貫通孔には、前記第３端部が接続されている、請求項１に記載の液化ガス供給装置。
【請求項5】
前記第１配管の前記第２端部を含む領域と、前記第３配管の前記第３端部を含む領域とは、前記第１配管と前記第３配管とを兼ねる統合配管で構成され、
前記第１貫通孔と前記第２貫通孔とは、両者を兼ねる統合貫通孔で構成され、
前記統合配管は、前記第２端部と前記第３端部とを兼ねる統合端部を含み、
前記統合貫通孔には、前記統合端部が接続されている、請求項４に記載の液化ガス供給装置。
前記第１貫通孔と前記第２貫通孔とは、両者を兼ねる統合貫通孔で構成され、
前記統合配管は、前記第２端部と前記第３端部とを兼ねる統合端部を含み、
前記統合貫通孔には、前記統合端部が接続されている、請求項４に記載の液化ガス供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、液化ガス供給装置に関する。
【背景技術】
【0002】
液化ガス容器に充填された液化ガスを供給先に供給する装置として、シリンダキャビネットが知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に開示されたシリンダキャビネットにおいて、供給先へ流れるガスの流量は、ガス供給口の近傍に設置された流量計によって測定される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０１２－２０２４２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
供給先によっては、正確な量のガスを供給することが望まれる。例えば、供給先が冷凍機であって、冷媒として液化ガスを供給する場合、冷凍機に正確な量の冷媒を供給することが望まれる。
【0005】
本開示は、上記に鑑みてなされたものであって、供給先に正確な量の液化ガスを供給することができる液化ガス供給装置を提供することを目的の１つとする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本開示に従う液化ガス供給装置は、内部に液化ガス容器を収容可能な筐体と、液化ガス容器に接続可能な第１端部と第１端部とは反対側の端部である第２端部とを含み、筐体の内部に収容された第１配管と、第２端部において第１配管に接続されており、第１配管の内径よりも大きい内径を有し、筐体の内部に収容された第２配管と、第２配管に接続された第３端部と筐体の外部に露出する第４端部とを含み、第２配管の内径よりも小さい内径を有する第３配管と、第１配管に設置されており、第１配管を閉塞された閉状態と開通された開状態とに切り替える第１の切り替えを実現可能な第１弁部と、第３配管に設置されており、第３配管を閉塞された閉状態と開通された開状態とに切り替える第２の切り替えを実現可能な第２弁部と、第２配管の質量を計測可能な計測部と、を備える。
【発明の効果】
【0007】
本開示によれば、供給先に正確な量のガスを供給することができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【発明を実施するための形態】
【0009】
［実施形態の概要］
本開示に従う液化ガス供給装置は、内部に液化ガス容器を収容可能な筐体と、液化ガス容器に接続可能な第１端部と第１端部とは反対側の端部である第２端部とを含み、筐体の内部に収容された第１配管と、第２端部において第１配管に接続されており、第１配管の内径よりも大きい内径を有し、筐体の内部に収容された第２配管と、第２配管に接続された第３端部と筐体の外部に露出する第４端部とを含み、第２配管の内径よりも小さい内径を有する第３配管と、第１配管に設置されており、第１配管を閉塞された閉状態と開通された開状態とに切り替える第１の切り替えを実現可能な第１弁部と、第３配管に設置されており、第３配管を閉塞された閉状態と開通された開状態とに切り替える第２の切り替えを実現可能な第２弁部と、第２配管の質量を計測可能な計測部と、を備える。
第１配管に設置された第１弁部を開状態にし、かつ、第３配管に設置された第２弁部を閉状態にすることにより、液化ガスが第１配管を通じて第２配管内に流入する。計測部によって計測される第２配管の質量に基づいて、第２配管内に流入した液化ガスの質量が把握される。計測部によって計測される第２配管の質量に基づいて、供給先に供給される正確な量分の液化ガスが計量される。第２弁部を開状態にすることにより、計量された液化ガスが第２配管から第３配管を通じて供給先に流出する。これにより、供給先に正確な量の液化ガスを供給することができる。
本開示に従う液化ガス供給装置は、内部に液化ガス容器を収容可能な筐体と、液化ガス容器に接続可能な第１端部と第１端部とは反対側の端部である第２端部とを含み、筐体の内部に収容された第１配管と、第２端部において第１配管に接続されており、第１配管の内径よりも大きい内径を有し、筐体の内部に収容された第２配管と、第２配管に接続された第３端部と筐体の外部に露出する第４端部とを含み、第２配管の内径よりも小さい内径を有する第３配管と、第１配管に設置されており、第１配管を閉塞された閉状態と開通された開状態とに切り替える第１の切り替えを実現可能な第１弁部と、第３配管に設置されており、第３配管を閉塞された閉状態と開通された開状態とに切り替える第２の切り替えを実現可能な第２弁部と、第２配管の質量を計測可能な計測部と、を備える。
第１配管に設置された第１弁部を開状態にし、かつ、第３配管に設置された第２弁部を閉状態にすることにより、液化ガスが第１配管を通じて第２配管内に流入する。計測部によって計測される第２配管の質量に基づいて、第２配管内に流入した液化ガスの質量が把握される。計測部によって計測される第２配管の質量に基づいて、供給先に供給される正確な量分の液化ガスが計量される。第２弁部を開状態にすることにより、計量された液化ガスが第２配管から第３配管を通じて供給先に流出する。これにより、供給先に正確な量の液化ガスを供給することができる。
【0010】
上記液化ガス供給装置は、計測部によって計測される第２配管の質量に基づいて、第１の切り替えと第２の切り替えとを制御する制御部をさらに備えてもよい。
制御部が、計測部によって計測される第２配管の質量に基づいて第１弁部による切り替えと第２弁部による切り替えとを制御することにより、ガス計量およびガス供給を容易に実施することができる。
制御部が、計測部によって計測される第２配管の質量に基づいて第１弁部による切り替えと第２弁部による切り替えとを制御することにより、ガス計量およびガス供給を容易に実施することができる。
【0011】
上記液化ガス供給装置が設置された状態において、第２配管は、液化ガス容器よりも鉛直方向の下側に配置されていてもよい。
第２配管が液化ガス容器よりも鉛直方向の下側に配置されていることにより、液化ガスが液化ガス容器から重力によって容易に第２配管に流入することができる。
第２配管が液化ガス容器よりも鉛直方向の下側に配置されていることにより、液化ガスが液化ガス容器から重力によって容易に第２配管に流入することができる。
【0012】
上記液化ガス供給装置において、第２配管は、筒状の形状を有する側壁部と、液化ガス供給装置が設置された状態において、側壁部における鉛直方向の上端部を閉じる上壁部と、側壁部における鉛直方向の下端部を閉じる底壁部と、を含んでもよい。第２配管には、底壁部の一部が欠損するように第２配管を貫通する第１貫通孔および第２貫通孔が形成されていてもよい。第１貫通孔には、第２端部が接続されており、第２貫通孔には、第３端部が接続されていてもよい。
【0013】
底壁部の一部が欠損するように第２配管を貫通する第１貫通孔によって、液化ガスが滴下せずに第２配管内に底壁部側から流入する。これにより、液化ガスの気化を抑制することができる。底壁部の一部が欠損するように第２配管を貫通する貫通孔によって、液化ガスが第２配管外に底壁部から流出する。これにより、液化ガスが第２配管から容易に流出することができる。
【0014】
上記液化ガス供給装置において、第１配管の第２端部を含む領域と、第３配管の第３端部を含む領域とは、第１配管と第３配管とを兼ねる統合配管で構成されてもよい。第１貫通孔と第２貫通孔とは、両者を兼ねる統合貫通孔で構成されてもよい。統合配管は、第２端部と第３端部とを兼ねる統合端部を含んでもよい。統合貫通孔には、統合端部が接続されていてもよい。
【0015】
統合配管が統合端部を含むことにより、統合端部において統合配管が統合貫通孔に接続され得る。これにより、液化ガスが統合配管を通じて第１配管から第２配管に流入することができる。液化ガスが統合配管を通じて第２配管から第３配管に流出することができる。
【0016】
第１配管と第３配管とを兼ねる統合配管が統合貫通孔において第２配管に接続されることにより、第１配管および第３配管がそれぞれ別の場所において第２配管に接続される場合と比較して配管の数が少なくなる。これにより、筐体の内部において配管の設置に要するスペースを削減することができる。
【0017】
第２配管に接続された配管から第２配管が力を受けることにより、計測部の計測値が影響を受けるおそれがある。第１配管と第３配管とを兼ねる統合配管が統合貫通孔において第２配管に接続されることにより、第１配管および第３配管がそれぞれ別の場所において第２配管に接続される場合と比較して、第２配管に接続される配管の数が少なくなる。これにより、第２配管に接続された配管から第２配管が受ける力によって計測部の計測値が影響を受けることを抑制することができる。
【0018】
第２配管内の温度の変化によって、第２配管に接続された第１配管および第３配管のそれぞれの内部において液化ガスの気相と液相との界面が移動することがある。第１配管および第３配管のそれぞれの内部において液化ガスの気相と液相との界面が移動することにより、第１配管および第３配管から第２配管内に液化ガスが意図せず流入し、計測部の校正が影響を受けるおそれがある。第１配管と第３配管とを兼ねる統合配管が統合貫通孔において第２配管に接続されることにより、第１配管および第３配管がそれぞれ別の場所において第２配管に接続される場合と比較して、第２配管に接続される配管の数が少なくなる。これにより、上記界面の移動によって計測部の校正が影響を受けることを抑制することができる。
【0019】
［実施形態の具体例］
次に、本開示に従う液化ガス供給装置の具体的な実施の形態の一例を、図面を参照しつつ説明する。以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰返さない。
次に、本開示に従う液化ガス供給装置の具体的な実施の形態の一例を、図面を参照しつつ説明する。以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰返さない。
【0020】
図において、Ｘ方向はシリンダキャビネットＡが設置された状態におけるシリンダキャビネットＡの幅方向を示している。Ｙ方向はシリンダキャビネットＡが設置された状態におけるシリンダキャビネットＡの奥行き方向を示している。Ｚ方向はシリンダキャビネットＡが設置された状態におけるシリンダキャビネットＡの高さ方向（鉛直方向）を示している。
【0021】
〔シリンダキャビネット〕
図１は、実施形態におけるシリンダキャビネットＡの構成を示す図である。図１において、破線は、開閉弁ＡＶ１からＡＶ７のそれぞれに対して制御部９の制御による制御信号が送られる経路を概念的に示している。一点鎖線は、計測部８がそれぞれ制御部９と通信可能に接続された状態を概念的に示している。図１において、第１チューブＴ１および第２チューブＴ２は、太線で表されている。
図１は、実施形態におけるシリンダキャビネットＡの構成を示す図である。図１において、破線は、開閉弁ＡＶ１からＡＶ７のそれぞれに対して制御部９の制御による制御信号が送られる経路を概念的に示している。一点鎖線は、計測部８がそれぞれ制御部９と通信可能に接続された状態を概念的に示している。図１において、第１チューブＴ１および第２チューブＴ２は、太線で表されている。
【0022】
先ず、図１を参照して、本開示の一実施形態であるシリンダキャビネットＡ（液化ガス供給装置）の各構成要素について説明する。
【0023】
シリンダキャビネットＡ（液化ガス供給装置）は、液化ガス容器Ｂを収容し、かつ、液化ガス容器Ｂに充填された液化ガスを供給先（図示せず）に供給する。供給先の例は、冷凍機を含む。液化ガスの一部は、液化ガス容器Ｂの内部において気化していてもよい。液化ガスの例は、プロパンガス（Ｒ２９０）、二酸化炭素ガスを含む。
【0024】
図１を参照して、シリンダキャビネットＡは、筐体１０と、第１配管１と、第２配管２と、第３配管３と、第４配管４と、第５配管５と、第１弁部Ｖ１と、第２弁部Ｖ２と、計測部８と、制御部９と、を備える。
【0025】
＜筐体＞
図２は、シリンダキャビネットＡが設置された状態における筐体１０の内部を筐体１０の左側から視た図である。幅方向において、後述の扉部１４が配置される側を左側としている。図３は、図２の筐体１０の内部を筐体１０の上側から視た図である。鉛直方向において、後述の排気ダンパ１２が配置される側を上側としている。図２および図３において、制御部９の図示を省略している。
図２は、シリンダキャビネットＡが設置された状態における筐体１０の内部を筐体１０の左側から視た図である。幅方向において、後述の扉部１４が配置される側を左側としている。図３は、図２の筐体１０の内部を筐体１０の上側から視た図である。鉛直方向において、後述の排気ダンパ１２が配置される側を上側としている。図２および図３において、制御部９の図示を省略している。
【0026】
筐体１０は、内部に液化ガス容器Ｂを収容可能である。筐体１０は、例えば、直方体状の形状を有する。図２を参照して、筐体１０は、排気ダンパ１２と、ガス検知器１３と、扉部１４と、制御ボックス１５と、台座部１６と、保持チェーン１６ａ，１６ｂと、を含む。
【0027】
図１を参照して、排気ダンパ１２およびガス検知器１３は、筐体１０の外部に設置されている。排気ダンパ１２の内部に設置されたファン（図示せず）の稼働によって筐体１０の内部の気体が排気ダンパ１２から排出されることにより、筐体１０の内部が負圧に保たれている。ガス検知器１３は、吸引式ガス検知器である。ガス検知器１３は、筐体１０の内部におけるガスの漏洩を監視する。筐体１０の内側には、筐体１０の内部の圧力を計測する負圧計ＮＰが設置されている。
【0028】
図３を参照して、扉部１４は、筐体１０の左側に設置されている。扉部１４の後端部１４ａは、筐体１０の後壁部１０ａに回転可能に保持されている。扉部１４は、後端部１４ａを基端として開閉方向Ｄに開閉する。扉部１４の前端部１４ｂが筐体１０の前壁部１０ｂから離れることにより、扉部１４が開けられる。扉部１４が開けられることにより、筐体１０の内部に対して液化ガス容器Ｂを出し入れすることが可能となる。扉部１４の前端部１４ｂが筐体１０の前壁部１０ｂに固定されることにより、扉部１４が閉じられる。扉部１４が閉じられることにより、筐体１０の内部が閉塞される。
【0029】
図２および図３を参照して、制御ボックス１５は、筐体１０の前壁部１０ｂの外側に設置されている。制御ボックス１５は、制御部９を格納する。台座部１６は、筐体１０の後壁部１０ａの内側に接続されている。液化ガス容器Ｂは、台座部１６の天面１６０上に配置されている。
【0030】
図２を参照して、保持チェーン１６ａ，１６ｂは、液化ガス容器Ｂを保持する。保持チェーン１６ｂは、保持チェーン１６ａよりも下側に位置する。保持チェーン１６ａの両端部は、筐体１０の後壁部１０ａの内側に配置されたブラケット１７ａに接続されている。保持チェーン１６ｂの両端部は、筐体１０の後壁部１０ａの内側に配置されたブラケット１７ｂに接続されている。
【0031】
＜第１配管＞
図１を参照して、第１配管１は、液化ガス容器Ｂに接続可能な第１端部Ｅ１と、第１端部Ｅ１とは反対側の端部である第２端部Ｅ２と、を含む。第１配管１は、筐体１０の内部に収容されている。
図１を参照して、第１配管１は、液化ガス容器Ｂに接続可能な第１端部Ｅ１と、第１端部Ｅ１とは反対側の端部である第２端部Ｅ２と、を含む。第１配管１は、筐体１０の内部に収容されている。
【0032】
第１配管１は、第１端部Ｅ１から第２端部Ｅ２まで順に接続されたフレキシブルホースＦＰ、第１金属管Ｐ１、第１チューブＴ１および第２金属管Ｐ２によって構成される。第１チューブＴ１は、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）製である。
フレキシブルホースＦＰと第１金属管Ｐ１とが接続される部分には、入口弁Ｖａが設置されている。第１金属管Ｐ１、第１チューブＴ１および第２金属管Ｐ２は、互いに、継手（図示せず）によって接続されている。
フレキシブルホースＦＰと第１金属管Ｐ１とが接続される部分には、入口弁Ｖａが設置されている。第１金属管Ｐ１、第１チューブＴ１および第２金属管Ｐ２は、互いに、継手（図示せず）によって接続されている。
【0033】
フレキシブルホースＦＰには、逆止弁ＣＶ１が設置されている。第１金属管Ｐ１には、フレキシブルホースＦＰから第２金属管Ｐ２に向かって順にフィルタＦＬ、開閉弁ＡＶ１および第１弁部Ｖ１が設置されている。第１配管１は、第１金属管Ｐ１において形成された主管ＭＰ１およびバイパス管ＢＰ１を含む。バイパス管ＢＰ１は、第１金属管Ｐ１において開閉弁ＡＶ１が設置される部分と第１弁部Ｖ１が設置される部分との間の領域と、第１金属管Ｐ１において第１弁部Ｖ１が設置される部分と第１チューブＴ１に接続される部分との間の領域と、を接続している。
【0034】
開閉弁ＡＶ１は、例えば、空気作動弁で構成されている。図１における破線は、例えば、制御部９の制御によって空気作動弁に対して送られる制御信号である空気圧信号を送るための配管を概念的に示している。後述する開閉弁ＡＶ２からＡＶ７についても同様である。
【0035】
【0036】
図１を参照して、第２配管２は、第２端部Ｅ２において第１配管１に接続されており、筐体１０の内部に収容されている。図２を参照して、シリンダキャビネットＡが設置された状態において、第２配管２は、液化ガス容器Ｂよりも鉛直方向の下側に配置されている。第２配管２は、例えば、ＪＩＳ（Ｊａｐａｎｅｓｅ Ｉｎｄｕｓｔｒｉａｌ Ｓｔａｎｄａｒｄｓ）規格のＳＵＳ３０４などのステンレス鋼製である。
【0037】
第２配管２は、第１配管１の内径よりも大きい内径を有する。第２配管２の内径は、例えば、６０ｍｍ以上２００ｍｍ以下である。
【0038】
図４を参照して、第２配管２は、筒状の形状を有する側壁部２０と、側壁部２０における鉛直方向の上端部を閉じる上壁部２１と、側壁部２０における鉛直方向の下端部を閉じる底壁部２２と、を含む。第２配管２は、例えば、鉛直方向に沿って延びるように配置される。第２配管２の中心軸は、例えば、鉛直方向に沿う。
【0039】
鉛直方向において側壁部２０の中央よりも上側には、側壁部２０を貫通する貫通孔２００が形成されている。貫通孔２００には、第５配管５が接続されている。
【0040】
第２配管２には、底壁部２２の一部が欠損するように第２配管２を貫通する第１貫通孔Ｈ１および第２貫通孔Ｈ２が形成されている。第１貫通孔Ｈ１には、第１配管１の第２端部Ｅ２が接続されている。第２貫通孔Ｈ２には、第３配管３の後述する第３端部Ｅ３が接続されている。
【0041】
第１貫通孔Ｈ１と第２貫通孔Ｈ２とは、両者を兼ねる統合貫通孔Ｈで構成されている。統合貫通孔Ｈには、後述する統合配管Ｃの統合端部Ｅが接続されている。
【0042】
図５を参照して、統合貫通孔Ｈは、底壁部２２の外周側面２２ａから天面２２ｂまで貫通する。側壁部２０に形成され円形の一部が切欠かれた形状の断面を有する貫通孔２０ａと、底壁部２２に形成され上側に開口する円弧状の凹部２２ｃと、によって統合貫通孔Ｈが形成される。統合貫通孔Ｈには、統合配管Ｃが挿入されている。
【0043】
＜第３配管＞
図１を参照して、第３配管３は、第２配管２に接続された第３端部Ｅ３と、筐体１０の外部に露出する第４端部Ｅ４と、を含む。第４端部Ｅ４には、供給先、供給先に接続される配管（図示せず）および真空ポンプ（図示せず）に接続可能なカプラＣ１が設置されている。第３配管３は、第２配管２の内径よりも小さい内径を有する。
図１を参照して、第３配管３は、第２配管２に接続された第３端部Ｅ３と、筐体１０の外部に露出する第４端部Ｅ４と、を含む。第４端部Ｅ４には、供給先、供給先に接続される配管（図示せず）および真空ポンプ（図示せず）に接続可能なカプラＣ１が設置されている。第３配管３は、第２配管２の内径よりも小さい内径を有する。
【0044】
第３配管３は、第３端部Ｅ３から第４端部Ｅ４まで順に接続された第２金属管Ｐ２、第１チューブＴ１および第３金属管Ｐ３によって構成される。第２金属管Ｐ２、第１チューブＴ１および第３金属管Ｐ３は、互いに、継手（図示せず）によって接続されている。
【0045】
第３金属管Ｐ３には、第１チューブＴ１から第４端部Ｅ４に向かって順に第２弁部Ｖ２および逆止弁ＣＶ２が設置されている。第３配管３は、第３金属管Ｐ３において形成された主管ＭＰ２およびバイパス管ＢＰ２を含む。バイパス管ＢＰ２は、第３金属管Ｐ３において第１チューブＴ１に接続される部分と第２弁部Ｖ２が設置される部分との間の領域と、第３金属管Ｐ３において第２弁部Ｖ２が設置される部分と逆止弁ＣＶ２が設置される部分との間の領域と、を接続している。
【0046】
第１配管１の第２端部Ｅ２を含む領域と、第３配管３の第３端部Ｅ３を含む領域とは、第１配管１と第３配管３とを兼ねる統合配管Ｃで構成される。統合配管Ｃは、互いに接続された第１チューブＴ１および第２金属管Ｐ２によって構成される。統合配管Ｃは、第２端部Ｅ２と第３端部Ｅ３とを兼ねる統合端部Ｅを含む。
【0047】
＜第４配管＞
図１を参照して、第４配管４は、統合配管Ｃに接続された第５端部Ｅ５と、筐体１０の外部に露出する第６端部Ｅ６と、を含む。第６端部Ｅ６には、ガスを大気に放出するための放出管（図示せず）に接続可能なカプラＣ２が設置されている。第４配管４は、金属製である。第４配管４には、第５端部Ｅ５から第６端部Ｅ６に向かって順に開閉弁ＡＶ７および逆止弁ＣＶ３が設置されている。
図１を参照して、第４配管４は、統合配管Ｃに接続された第５端部Ｅ５と、筐体１０の外部に露出する第６端部Ｅ６と、を含む。第６端部Ｅ６には、ガスを大気に放出するための放出管（図示せず）に接続可能なカプラＣ２が設置されている。第４配管４は、金属製である。第４配管４には、第５端部Ｅ５から第６端部Ｅ６に向かって順に開閉弁ＡＶ７および逆止弁ＣＶ３が設置されている。
【0048】
＜第５配管＞
図１を参照して、第５配管５は、第２配管２に形成された貫通孔２００に接続された第７端部Ｅ７と、開閉弁ＡＶ７および逆止弁ＣＶ３の間で第４配管４に接続された第８端部Ｅ８と、を含む。第５配管５は、第７端部Ｅ７から第８端部Ｅ８まで順に接続された第４金属管Ｐ４、第２チューブＴ２および第５金属管Ｐ５によって構成される。第２チューブＴ２は、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）製である。第５金属管Ｐ５には、第２チューブＴ２から第８端部Ｅ８に向かって順に微少流量調整弁ＦＶ１および開閉弁ＡＶ２が設置されている。
図１を参照して、第５配管５は、第２配管２に形成された貫通孔２００に接続された第７端部Ｅ７と、開閉弁ＡＶ７および逆止弁ＣＶ３の間で第４配管４に接続された第８端部Ｅ８と、を含む。第５配管５は、第７端部Ｅ７から第８端部Ｅ８まで順に接続された第４金属管Ｐ４、第２チューブＴ２および第５金属管Ｐ５によって構成される。第２チューブＴ２は、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）製である。第５金属管Ｐ５には、第２チューブＴ２から第８端部Ｅ８に向かって順に微少流量調整弁ＦＶ１および開閉弁ＡＶ２が設置されている。
【0049】
＜第１弁部＞
図１を参照して、第１弁部Ｖ１は、第１配管１に設置されており、第１配管１を閉塞された閉状態と開通された開状態とに切り替える第１の切り替えを実現可能である。第１弁部Ｖ１は、開閉弁ＡＶ３、微少流量調整弁ＦＶ２および開閉弁ＡＶ４を含む。
図１を参照して、第１弁部Ｖ１は、第１配管１に設置されており、第１配管１を閉塞された閉状態と開通された開状態とに切り替える第１の切り替えを実現可能である。第１弁部Ｖ１は、開閉弁ＡＶ３、微少流量調整弁ＦＶ２および開閉弁ＡＶ４を含む。
【0050】
開閉弁ＡＶ３および微少流量調整弁ＦＶ２は、主管ＭＰ１に設置されている。開閉弁ＡＶ４は、バイパス管ＢＰ１に設置されている。第１配管１は、開閉弁ＡＶ３および開閉弁ＡＶ４が閉じられることにより、閉状態となる。第１配管１は、開閉弁ＡＶ３または開閉弁ＡＶ４が開かれることにより、開状態となる。
【0051】
＜第２弁部＞
図１を参照して、第２弁部Ｖ２は、第３配管３に設置されており、第３配管３を閉塞された閉状態と開通された開状態とに切り替える第２の切り替えを実現可能である。第２弁部Ｖ２は、開閉弁ＡＶ５、微少流量調整弁ＦＶ３、開閉弁ＡＶ６および微少流量調整弁ＦＶ４を含む。
図１を参照して、第２弁部Ｖ２は、第３配管３に設置されており、第３配管３を閉塞された閉状態と開通された開状態とに切り替える第２の切り替えを実現可能である。第２弁部Ｖ２は、開閉弁ＡＶ５、微少流量調整弁ＦＶ３、開閉弁ＡＶ６および微少流量調整弁ＦＶ４を含む。
【0052】
開閉弁ＡＶ５および微少流量調整弁ＦＶ３は、主管ＭＰ２に設置されている。開閉弁ＡＶ６および微少流量調整弁ＦＶ４は、バイパス管ＢＰ２に設置されている。第３配管３は、開閉弁ＡＶ５および開閉弁ＡＶ６が閉じられることにより、閉状態となる。第３配管３は、開閉弁ＡＶ５または開閉弁ＡＶ６が開かれることにより、開状態となる。
【0053】
＜計測部＞
計測部８は、第２配管２の質量を計測可能である。計測部８は、例えば、防爆型台はかりで構成されている。
計測部８は、第２配管２の質量を計測可能である。計測部８は、例えば、防爆型台はかりで構成されている。
【0054】
＜制御部＞
制御部９は、シリンダキャビネットＡに設置された開閉弁ＡＶ１からＡＶ７の開閉を制御する。制御部９は、第１弁部Ｖ１の開閉弁ＡＶ３および開閉弁ＡＶ４を制御することにより、第１の切り替えを制御する。制御部９は、第２弁部Ｖ２の開閉弁ＡＶ５および開閉弁ＡＶ６を制御することにより、第２の切り替えを制御する。
制御部９は、シリンダキャビネットＡに設置された開閉弁ＡＶ１からＡＶ７の開閉を制御する。制御部９は、第１弁部Ｖ１の開閉弁ＡＶ３および開閉弁ＡＶ４を制御することにより、第１の切り替えを制御する。制御部９は、第２弁部Ｖ２の開閉弁ＡＶ５および開閉弁ＡＶ６を制御することにより、第２の切り替えを制御する。
【0055】
制御部９は、例えば、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）を含むＰＬＣ（Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｌｏｇｉｃ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）などで構成される。制御部９は、ラダープログラムなどの制御プログラムを実行することにより開閉弁ＡＶ１からＡＶ７の開閉を制御する。制御部９の入出力部（図示せず）には、開閉弁ＡＶ１からＡＶ７と、計測部８と、液晶パネルなどを含む表示部（図示せず）と、タッチパネルなどを含みユーザからの入力操作を受け付ける操作受付部（図示せず）と、が接続されている。
【0056】
上記説明した構成要素のほか、図１を参照して、シリンダキャビネットＡは、排出管６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄを含む。排出管６ａ，６ｂ，６ｃは、緊急時に液化ガスを筐体１０の外部に排出するためのものである。
【0057】
排出管６ａは、第１配管１とカプラＣ２とを接続している。排出管６ａには、圧力計ＰＧおよび安全弁ＳＶ１が設置されている。排出管６ｂは、第５配管５とカプラＣ２とを接続している。排出管６ｂには、安全弁ＳＶ２が設置されている。排出管６ｃは、第３配管３とカプラＣ２とを接続している。排出管６ｃには、安全弁ＳＶ３が設置されている。排出管６ｄは、第３配管３において安全弁ＳＶ３よりもカプラＣ２側における領域と排出管６ｃとを接続している。排出管６ｄには、出口弁Ｖｂが設置されている。
【0058】
〔制御部による制御の手順〕
図６は、制御部９による制御の手順の一例を示すフローチャートである。
図６は、制御部９による制御の手順の一例を示すフローチャートである。
【0059】
次に、図６を参照しながら、本実施形態における制御部９による制御の概略について説明する。なお、供給先、供給先に接続される配管および真空ポンプをカプラＣ１に対して取り外しする作業などの作業者による作業ならびに真空ポンプの稼働を開始または停止させる制御などの他の制御については、説明および図示を省略している。制御部９による制御の初期状態において、開閉弁ＡＶ１は開いており、開閉弁ＡＶ２からＡＶ７は閉じている。
【0060】
図６を参照して、ステップＳＴ１において、制御部９は、計測部８のゼロ点を校正する「ゼロ点校正」の処理を実行する。
【0061】
ステップＳＴ２において、制御部９は、ステップＳＴ１においてゼロ点が校正された計測部８を用いて、供給先に供給される供給量分の液化ガスを計量する「ガス計量」の処理を実行する。
【0062】
ステップＳＴ３において、制御部９は、ステップＳＴ２において計量された液化ガスを供給先に供給する「ガス供給」の処理を実行する。こうして、制御部９は、一連の処理を終了する。
【0063】
【0064】
【0065】
＜ゼロ点校正＞
図１および図７を参照して、制御部９は、液化ガス容器Ｂから第２配管２内に所定の初期流入量（例えば、第２配管２の容積の１０％以上３０％以下）の液化ガスを流入させる「初期流入」を実施する。その後、制御部９は、初期流入後の第２配管２の質量をゼロ点として設定することにより、計測部８のゼロ点を校正する。具体的には、図７を参照しながら、以下説明する。ゼロ点校正の初期状態において、真空ポンプがカプラＣ１に接続される。
図１および図７を参照して、制御部９は、液化ガス容器Ｂから第２配管２内に所定の初期流入量（例えば、第２配管２の容積の１０％以上３０％以下）の液化ガスを流入させる「初期流入」を実施する。その後、制御部９は、初期流入後の第２配管２の質量をゼロ点として設定することにより、計測部８のゼロ点を校正する。具体的には、図７を参照しながら、以下説明する。ゼロ点校正の初期状態において、真空ポンプがカプラＣ１に接続される。
【0066】
ステップＳＴ１０において、制御部９は、第２配管２内の圧力を減圧する真空引きを行う。制御部９は、第２弁部Ｖ２の開閉弁ＡＶ５および開閉弁ＡＶ６を所定の時間の間（例えば、１０秒間）開くことにより、第２配管２内に残存している液化ガスを、第３配管３を介してカプラＣ１から真空ポンプに放出する。第２配管２内の圧力は、例えば、１０Ｐａ未満にまで減圧される。この後、真空ポンプがカプラＣ１から取り外される。
【0067】
ステップＳＴ１１において、制御部９は、計測部８の計測値をゼロ点として設定する。
【0068】
ステップＳＴ１２において、制御部９は、第１弁部Ｖ１の開閉弁ＡＶ４を開くことにより、第１配管１を開状態にする。制御部９は、第１配管１を開状態にすることにより、第２配管２内への液化ガスの初期流入を実施する。ここで、制御部９は、計測部８によって計測される第２配管２の質量を監視する。第２配管２の質量が所定の第１目標値に到達したとき、制御部９は、ステップＳＴ１３を実行する。第１目標値は、初期流入量に相当する質量（初期流入量の液化ガスが流入した第２配管２の質量）よりも低く設定されている。
【0069】
ステップＳＴ１３において、制御部９は、第１弁部Ｖ１の開閉弁ＡＶ４を閉じた後に開閉弁ＡＶ３を開くことにより、液化ガス容器Ｂから微少流量調整弁ＦＶ２を通じて第２配管２内に微量の液化ガスをさらに流入させる微調整を実施する。ここで、制御部９は、計測部８によって計測される第２配管２の質量を監視する。第２配管２の質量が所定の第２目標値に到達したとき、制御部９は、開閉弁ＡＶ３を閉じることにより第１配管１を閉状態にした後にステップＳＴ１４を実行する。第２目標値は、第１目標値よりも高く、かつ、初期流入量に相当する質量よりも低く設定されている。
【0070】
ステップＳＴ１４において、制御部９は、第２配管２内に流入した液化ガスを含む第２配管２の質量が所定の初期許容値以下であるか否かを判定する。初期許容値は、初期流入量に相当する質量よりも高く設定されている。
【0071】
制御部９は、第２配管２の質量が初期許容値以下であると判定した場合、ステップＳＴ１６を実行する。制御部９は、第２配管２の質量が初期許容値を超えていると判定した場合、ステップＳＴ１５を実行する。
【0072】
ステップＳＴ１５において、制御部９は、開閉弁ＡＶ２を開くことにより、第２配管２内に流入した余剰分の液化ガスを、第５配管５および第４配管４を介してシリンダキャビネットＡの外部に放出する。ここで、制御部９は、計測部８によって計測される第２配管２の質量を監視する。第２配管２の質量が初期許容値に到達したとき、制御部９は、開閉弁ＡＶ２を閉じた後にステップＳＴ１６を実行する。
【0073】
ステップＳＴ１６において、制御部９は、計測部８の計測値をゼロにリセットする。こうして、制御部９は、「ゼロ点校正」の処理を終了する。
【0074】
＜ガス計量＞
制御部９は、計測部８によって計測される第２配管２の質量に基づいて、第１弁部Ｖ１による切り替えを制御することにより、第２配管２内に液化ガスを流入させながら、供給先に供給される供給量分の液化ガスを計量する。具体的には、図８を参照しながら、以下説明する。
制御部９は、計測部８によって計測される第２配管２の質量に基づいて、第１弁部Ｖ１による切り替えを制御することにより、第２配管２内に液化ガスを流入させながら、供給先に供給される供給量分の液化ガスを計量する。具体的には、図８を参照しながら、以下説明する。
【0075】
ステップＳＴ２０において、制御部９は、第１弁部Ｖ１の開閉弁ＡＶ４を開くことにより、第１配管１を開状態にする。制御部９は、第１配管１を開状態にすることにより、第２配管２内への液化ガスの流入を開始する。ここで、制御部９は、計測部８によって計測される第２配管２の質量を監視する。第２配管２の質量が所定の第３目標値に到達したとき、制御部９は、ステップＳＴ２１を実行する。第３目標値は、供給量に相当する質量（供給量の液化ガスが流入した第２配管２の質量）よりも低く設定されている。
【0076】
ステップＳＴ２１において、制御部９は、第１弁部Ｖ１の開閉弁ＡＶ４を閉じた後に開閉弁ＡＶ３を開くことにより、液化ガス容器Ｂから微少流量調整弁ＦＶ２を通じて第２配管２内に微量の液化ガスをさらに流入させる。ここで、制御部９は、計測部８によって計測される第２配管２の質量を監視する。第２配管２の質量が所定の第４目標値に到達したとき、制御部９は、開閉弁ＡＶ３を閉じることにより第１配管１を閉状態にした後にステップＳＴ２２を実行する。第４目標値は、第３目標値よりも高く、かつ、供給量に相当する質量よりも低く設定されている。
【0077】
ステップＳＴ２２において、制御部９は、第２配管２内に流入した液化ガスを含む第２配管２の質量が所定の許容値以下であるか否かを判定する。許容値は、供給量に相当する質量よりも高く設定されている。
【0078】
制御部９は、第２配管２の質量が許容値以下であると判定した場合、「ガス計量」の処理を終了する。制御部９は、第２配管２の質量が許容値を超えていると判定した場合、ステップＳＴ２３を実行する。
【0079】
ステップＳＴ２３において、制御部９は、開閉弁ＡＶ２を開くことにより、第２配管２内に流入した余剰分の液化ガスを、第５配管５および第４配管４を介してシリンダキャビネットＡの外部に放出する。ここで、制御部９は、計測部８によって計測される第２配管２の質量を監視する。第２配管２の質量が許容値に到達したとき、制御部９は、開閉弁ＡＶ２を閉じた後に「ガス計量」の処理を終了する。
【0080】
＜ガス供給＞
制御部９は、計測部８によって計測される第２配管２の質量に基づいて、第２弁部Ｖ２による切り替えを制御することにより、ステップＳＴ２において計量された液化ガスを第２配管２から供給先に供給する。具体的には、図９を参照しながら、以下説明する。
制御部９は、計測部８によって計測される第２配管２の質量に基づいて、第２弁部Ｖ２による切り替えを制御することにより、ステップＳＴ２において計量された液化ガスを第２配管２から供給先に供給する。具体的には、図９を参照しながら、以下説明する。
【0081】
ステップＳＴ３０において、制御部９は、第２弁部Ｖ２の開閉弁ＡＶ６を開くことにより、第３配管３を開状態にする。制御部９は、第３配管３を開状態にすることにより、第２配管２からの液化ガスの供給を開始する。ここで、制御部９は、計測部８によって計測される第２配管２の質量を監視する。第２配管２の質量が所定の第５目標値に到達したとき、制御部９は、ステップＳＴ３１を実行する。第５目標値は、供給量に相当する質量よりも低く設定されている。
【0082】
ステップＳＴ３１において、制御部９は、第２弁部Ｖ２の開閉弁ＡＶ６を閉じた後に開閉弁ＡＶ５を開くことにより、第２配管２内から微少流量調整弁ＦＶ３を通じて微量の液化ガスをさらに供給する。ここで、制御部９は、計測部８によって計測される第２配管２の質量を監視する。第２配管２の質量が所定の第６目標値に到達したとき、制御部９は、開閉弁ＡＶ５を閉じることにより第３配管３を閉状態にした後にステップＳＴ３２を実行する。第６目標値は、第５目標値よりも低く設定されている。
【0083】
ステップＳＴ３２において、制御部９は、第２配管２内に残存した液化ガスを含む第２配管２の質量が所定の許容範囲内であるか否かを判定する。許容範囲の中央値は、第６目標値よりも低く設定されている。
【0084】
制御部９は、第２配管２の質量が許容範囲内であると判定した場合、「ガス供給」の処理を終了する。制御部９は、第２配管２の質量が許容範囲外であると判定した場合、ステップＳＴ３３を実行する。
【0085】
ステップＳＴ３３において、制御部９は、エラー処理を実行する。制御部９は、エラー処理において、例えば、ユーザに対してエラーの発生を音で報知する。
【0086】
なお、上記説明した制御部９による処理において、制御部９がユーザからの入力を待ってから次の手順を実行してもよい。
【0087】
なお、上記説明したステップＳＴ３の後に、制御部９は、供給先に供給されるガスの供給量を変更するか否かをユーザに選択させてもよい。この場合、ユーザが供給量を変更しないと選択した場合、制御部９がステップＳＴ２に戻り、以後の処理を繰り返してもよい。
【0088】
なお、シリンダキャビネットＡは、制御部９を備えなくてもよい。この場合、上記説明した制御部９による一連の処理は、ユーザによってシリンダキャビネットＡの外部からなされる作業によって実現してもよい。例えば、ステップＳＴ２０からステップＳＴ２１にかけて、ユーザが、開閉弁ＡＶ４を開けた後に、計測部８の計測値を目視で確認して、第２配管２の質量が所定の第３目標値に到達したときに開閉弁ＡＶ４を閉じてもよい。
【0089】
なお、第１チューブＴ１および第２チューブＴ２の剛性は、計測部８の計測値に影響しないようであればよい。第１チューブＴ１および第２チューブＴ２の剛性は、計測部８により第２配管２の質量が正確に計測可能なようであればよい。
【0090】
【0091】
図１０を参照して、第２配管２において、第１貫通孔Ｈ１および第２貫通孔Ｈ２が別の場所に形成されてもよい。この場合、第３配管３は、第３端部Ｅ３から第４端部Ｅ４まで順に接続された第６金属管Ｐ６、第１チューブＴ１および第３金属管Ｐ３によって構成されてもよい。第２貫通孔Ｈ２には、第３配管３における第６金属管Ｐ６が挿入されてもよい。
【0092】
今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって、どのような面からも制限的なものではないと理解されるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなく、特許請求の範囲によって規定され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【0093】
１ 第１配管、２ 第２配管、３ 第３配管、４ 第４配管、５ 第５配管、６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ 排出管、８ 計測部、９ 制御部、１０ 筐体、１２ 排気ダンパ、１３ ガス検知器、１４ 扉部、１５ 制御ボックス、１６ 台座部、１６ａ 保持チェーン、２０ 側壁部、２０ａ 貫通孔、２１ 上壁部、２２ 底壁部、２２ａ 外周側面、２２ｂ 天面、２２ｃ 凹部、２００ 貫通孔、Ａ シリンダキャビネット、ＡＶ１，ＡＶ２，ＡＶ３，ＡＶ４，ＡＶ５，ＡＶ６，ＡＶ７ 開閉弁、Ｂ 液化ガス容器、ＭＰ１，ＭＰ２ 主管、ＢＰ１，ＢＰ２ バイパス管、Ｃ 統合配管、Ｃ１，Ｃ２ カプラ、ＣＶ１，ＣＶ２，ＣＶ３ 逆止弁、Ｅ 統合端部、Ｅ１ 第１端部、Ｅ２ 第２端部、Ｅ３ 第３端部、Ｅ４ 第４端部、Ｅ５ 第５端部、Ｅ６ 第６端部、Ｅ７ 第７端部、Ｅ８ 第８端部、ＦＬ フィルタ、ＦＰ フレキシブルホース、ＦＶ１，ＦＶ２，ＦＶ３，ＦＶ４ 微少流量調整弁、Ｈ 統合貫通孔、Ｈ１ 第１貫通孔、Ｈ２ 第２貫通孔、ＮＰ 負圧計、Ｐ１ 第１金属管、Ｐ２ 第２金属管、Ｐ３ 第３金属管、Ｐ４ 第４金属管、Ｐ５ 第５金属管、Ｐ６ 第６金属管、ＰＧ 圧力計、ＳＶ１，ＳＶ２，ＳＶ３ 安全弁、Ｔ１ 第１チューブ、Ｔ２ 第２チューブ、Ｖａ 入口弁、Ｖｂ 出口弁、Ｖ１ 第１弁部、Ｖ２ 第２弁部
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【手続補正書】
【提出日】2023-04-05
【手続補正1】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
内部に液化ガス容器を収容可能な筐体と、
前記液化ガス容器に接続可能な第１端部と前記第１端部とは反対側の端部である第２端部とを含み、前記筐体の内部に収容された第１配管と、
前記第２端部において前記第１配管に接続されており、前記第１配管の内径よりも大きい内径を有し、前記筐体の内部に収容された第２配管と、
前記第２配管に接続されており前記筐体の内部に収容された第３端部と前記筐体の外部に露出する第４端部とを含み、前記第２配管の内径よりも小さい内径を有する第３配管と、
前記第１配管に設置されており、前記第１配管を閉塞された閉状態と開通された開状態とに切り替える第１の切り替えを実現可能な第１弁部と、
前記第３配管に設置されており、前記第３配管を閉塞された閉状態と開通された開状態とに切り替える第２の切り替えを実現可能な第２弁部と、
前記第２配管の質量を計測可能な計測部と、を備え、
前記第１配管にはポンプが設置されていない、液化ガス供給装置。
前記液化ガス容器に接続可能な第１端部と前記第１端部とは反対側の端部である第２端部とを含み、前記筐体の内部に収容された第１配管と、
前記第２端部において前記第１配管に接続されており、前記第１配管の内径よりも大きい内径を有し、前記筐体の内部に収容された第２配管と、
前記第２配管に接続されており前記筐体の内部に収容された第３端部と前記筐体の外部に露出する第４端部とを含み、前記第２配管の内径よりも小さい内径を有する第３配管と、
前記第１配管に設置されており、前記第１配管を閉塞された閉状態と開通された開状態とに切り替える第１の切り替えを実現可能な第１弁部と、
前記第３配管に設置されており、前記第３配管を閉塞された閉状態と開通された開状態とに切り替える第２の切り替えを実現可能な第２弁部と、
前記第２配管の質量を計測可能な計測部と、を備え、
前記第１配管にはポンプが設置されていない、液化ガス供給装置。
【請求項2】
前記計測部によって計測される前記第２配管の質量に基づいて、前記第１の切り替えと前記第２の切り替えとを制御する制御部をさらに備える、請求項１に記載の液化ガス供給装置。
【請求項3】
前記液化ガス供給装置が設置された状態において、前記第２配管は、前記液化ガス容器よりも鉛直方向の下側に配置される、請求項１に記載の液化ガス供給装置。
【請求項4】
内部に液化ガス容器を収容可能な筐体と、
前記液化ガス容器に接続可能な第１端部と前記第１端部とは反対側の端部である第２端部とを含み、前記筐体の内部に収容された第１配管と、
前記第２端部において前記第１配管に接続されており、前記第１配管の内径よりも大きい内径を有し、前記筐体の内部に収容された第２配管と、
前記第２配管に接続された第３端部と前記筐体の外部に露出する第４端部とを含み、前記第２配管の内径よりも小さい内径を有する第３配管と、
前記第１配管に設置されており、前記第１配管を閉塞された閉状態と開通された開状態とに切り替える第１の切り替えを実現可能な第１弁部と、
前記第３配管に設置されており、前記第３配管を閉塞された閉状態と開通された開状態とに切り替える第２の切り替えを実現可能な第２弁部と、
前記第２配管の質量を計測可能な計測部と、を備える液化ガス供給装置であって、
前記第２配管は、
筒状の形状を有する側壁部と、
前記液化ガス供給装置が設置された状態において、前記側壁部における鉛直方向の上端部を閉じる上壁部と、前記側壁部における鉛直方向の下端部を閉じる底壁部と、を含み、
前記第２配管には、前記底壁部の一部が欠損するように前記第２配管を貫通する第１貫通孔および第２貫通孔が形成されており、
前記第１貫通孔には、前記第２端部が接続されており、
前記第２貫通孔には、前記第３端部が接続されている液化ガス供給装置。
前記液化ガス容器に接続可能な第１端部と前記第１端部とは反対側の端部である第２端部とを含み、前記筐体の内部に収容された第１配管と、
前記第２端部において前記第１配管に接続されており、前記第１配管の内径よりも大きい内径を有し、前記筐体の内部に収容された第２配管と、
前記第２配管に接続された第３端部と前記筐体の外部に露出する第４端部とを含み、前記第２配管の内径よりも小さい内径を有する第３配管と、
前記第１配管に設置されており、前記第１配管を閉塞された閉状態と開通された開状態とに切り替える第１の切り替えを実現可能な第１弁部と、
前記第３配管に設置されており、前記第３配管を閉塞された閉状態と開通された開状態とに切り替える第２の切り替えを実現可能な第２弁部と、
前記第２配管の質量を計測可能な計測部と、を備える液化ガス供給装置であって、
前記第２配管は、
筒状の形状を有する側壁部と、
前記液化ガス供給装置が設置された状態において、前記側壁部における鉛直方向の上端部を閉じる上壁部と、前記側壁部における鉛直方向の下端部を閉じる底壁部と、を含み、
前記第２配管には、前記底壁部の一部が欠損するように前記第２配管を貫通する第１貫通孔および第２貫通孔が形成されており、
前記第１貫通孔には、前記第２端部が接続されており、
前記第２貫通孔には、前記第３端部が接続されている液化ガス供給装置。
【請求項5】
前記第１配管の前記第２端部を含む領域と、前記第３配管の前記第３端部を含む領域とは、前記第１配管と前記第３配管とを兼ねる統合配管で構成され、
前記第１貫通孔と前記第２貫通孔とは、両者を兼ねる統合貫通孔で構成され、
前記統合配管は、前記第２端部と前記第３端部とを兼ねる統合端部を含み、
前記統合貫通孔には、前記統合端部が接続されている、請求項４に記載の液化ガス供給装置。
前記第１貫通孔と前記第２貫通孔とは、両者を兼ねる統合貫通孔で構成され、
前記統合配管は、前記第２端部と前記第３端部とを兼ねる統合端部を含み、
前記統合貫通孔には、前記統合端部が接続されている、請求項４に記載の液化ガス供給装置。