特開2024-8937IP Force 特許公報全文掲載

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技術分野

マストランスファー技術分野に関し、特にマイクロ発光ダイオードのマストランスファー方法及びシステム

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】マイクロ発光ダイオードのマストランスファー方法及びシステムを提供する。
【解決手段】マイクロ発光ダイオードのマストランスファー方法及びシステムを開示し、マストランスファー方法は、複数のマイクロ発光ダイオードが形成された素子基板を提供するステップと、第１トランスファー基板上の複数の粘着構造を用いて素子基板上のマイクロ発光ダイオード少なくとも１回ピックアップし、毎回のピックアップの後に第２トランスファー基板上にトランスファーするステップと、第２トランスファー基板上の各マイクロ発光ダイオードを、目標基板のうち対応するサブ画素内に一括してトランスファーするステップと、を含み、第２トランスファー基板上の１つのマイクロ発光ダイオードは、目標基板の１つのサブ画素に対応する。
【選択図】図１

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 本開示の実施例によるマストランスファー方法のフローチャートである。
【図2a】 本開示の実施例による目標基板の上面構造模式図である。
【図2b】 図２ａに示す目標基板のＡＡ’方向に沿う断面構造模式図である。
【図3a】 本開示の実施例による素子基板の一例の上面構造模式図である。
【図3b】 本開示の実施例による別の素子基板の上面構造模式図である。
【図3c】 本開示の実施例による別の素子基板の上面構造模式図である。
【図3d】 図３ａに示す素子基板のＡＡ’方向に沿う断面構造模式図である。
【図3e】 図３ｂに示す素子基板のＡＡ’方向に沿う断面構造模式図である。
【図3f】 図３ｃに示す素子基板のＡＡ’方向に沿う断面構造模式図である。
【図4】 本開示の実施例による第１トランスファー基板の一例の上面構造模式図である。
【図5】 本開示の実施例による第２トランスファー基板の一例の上面構造模式図である。
【図6a】 本開示の実施例によるマストランスファー方法の一例の各ステップの構造模式図である。
【図6b】 本開示の実施例によるマストランスファー方法の一例の各ステップの構造模式図である。
【図6c】 本開示の実施例によるマストランスファー方法の一例の各ステップの構造模式図である。
【図6d】 本開示の実施例によるマストランスファー方法の一例の各ステップの構造模式図である。
【図6e】 本開示の実施例によるマストランスファー方法の一例の各ステップの構造模式図である。
【図6f】 本開示の実施例によるマストランスファー方法の一例の各ステップの構造模式図である。
【図6g】 本開示の実施例によるマストランスファー方法の一例の各ステップの構造模式図である。
【図6h】 本開示の実施例によるマストランスファー方法の一例の各ステップの構造模式図である。
【図6i】 本開示の実施例によるマストランスファー方法の一例の各ステップの構造模式図である。
【図6j】 本開示の実施例によるマストランスファー方法の一例の各ステップの構造模式図である。
【図6k】 本開示の実施例によるマストランスファー方法の一例の各ステップの構造模式図である。
【図6l】 本開示の実施例によるマストランスファー方法の一例の各ステップの構造模式図である。
【図6m】 本開示の実施例によるマストランスファー方法の一例の各ステップの構造模式図である。
【図6n】 本開示の実施例によるマストランスファー方法の一例の各ステップの構造模式図である。
【図6o】 本開示の実施例によるマストランスファー方法の一例の各ステップの構造模式図である。
【図7a】 本開示の実施例による別のマストランスファー方法の各ステップの構造模式図である。
【図7b】 本開示の実施例による別のマストランスファー方法の各ステップの構造模式図である。
【図7c】 本開示の実施例による別のマストランスファー方法の各ステップの構造模式図である。
【図7d】 本開示の実施例による別のマストランスファー方法の各ステップの構造模式図である。
【図7e】 本開示の実施例による別のマストランスファー方法の各ステップの構造模式図である。
【図7f】 本開示の実施例による別のマストランスファー方法の各ステップの構造模式図である。
【図7g】 本開示の実施例による別のマストランスファー方法の各ステップの構造模式図である。
【図8】 本開示の実施例による別の第２トランスファー基板の上面構造模式図である。
【図9a】 本開示の実施例による別のマストランスファー方法の各ステップの構造模式図である。
【図9b】 本開示の実施例による別のマストランスファー方法の各ステップの構造模式図である。

選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図

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