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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024090010
(43)【公開日】2024-07-04
(54)【発明の名称】クライストロン
(51)【国際特許分類】
H01J 23/20 20060101AFI20240627BHJP
H01J 25/02 20060101ALI20240627BHJP
【ＦＩ】
H01J23/20 A
H01J25/02
【審査請求】未請求
【請求項の数】5
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022205628
(22)【出願日】2022-12-22
(71)【出願人】
【識別番号】503382542
【氏名又は名称】キヤノン電子管デバイス株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110001737
【氏名又は名称】弁理士法人スズエ国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】宗本 尚也
(57)【要約】
【課題】 出力の調整を短時間でできるクライストロンを提供する。
【解決手段】 電子銃と、高周波相互作用部と、高周波相互作用部の周囲に環状に設けた主マグネットと、出力導波管と、出力導波管に対向する位置で環状に設けた補助マグネットと、出力導波管から高周波電力を取り出す出力部と、出力導波管を変形させることで出力部から取り出される高周波電力の出力を調整する出力調整機構とを備えている。出力調整機構は、出力導波管に固定した係合部材と、補助マグネットの外側から係合部材に向けて貫通する治具挿入孔部と、補助マグネットの外側から治具挿入孔部に挿入して係合部材に係合する治具とを備えている。補助マグネットの外側から治具挿入孔部を介して挿入した治具の先端を係合部材に係合して、係合部材を押し又は引き操作することで、出力導波管を変形するクライストロンである。
【選択図】図２
【解決手段】 電子銃と、高周波相互作用部と、高周波相互作用部の周囲に環状に設けた主マグネットと、出力導波管と、出力導波管に対向する位置で環状に設けた補助マグネットと、出力導波管から高周波電力を取り出す出力部と、出力導波管を変形させることで出力部から取り出される高周波電力の出力を調整する出力調整機構とを備えている。出力調整機構は、出力導波管に固定した係合部材と、補助マグネットの外側から係合部材に向けて貫通する治具挿入孔部と、補助マグネットの外側から治具挿入孔部に挿入して係合部材に係合する治具とを備えている。補助マグネットの外側から治具挿入孔部を介して挿入した治具の先端を係合部材に係合して、係合部材を押し又は引き操作することで、出力導波管を変形するクライストロンである。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
電子銃と、
前記電子銃から出力された電子ビームを高周波電界との相互作用で入力された高周波電力を増幅する高周波相互作用部と、
前記高周波相互作用部の周囲に環状に設けた主マグネットと、
前記高周波相互作用部に接続された出力導波管と、
前記出力導波管に対向する位置で、環状に設けた補助マグネットと、
前記出力導波管から高周波電力を取り出す出力部と、
前記出力導波管を変形させることで前記出力部から取り出される高周波電力の出力を調整する出力調整機構と、を備え、
前記出力調整機構は、出力導波管に固定した係合部材と、前記補助マグネットの外側から前記係合部材に向けて貫通する治具挿入孔部と、前記補助マグネットの外側から前記治具挿入孔部に挿入して前記係合部材に係合する治具とを備え、
前記補助マグネットの外側から前記治具挿入孔部を介して挿入した前記治具の先端を前記係合部材に係合して、前記係合部材を押し又は引き操作することで、出力導波管を変形するクライストロン。
前記電子銃から出力された電子ビームを高周波電界との相互作用で入力された高周波電力を増幅する高周波相互作用部と、
前記高周波相互作用部の周囲に環状に設けた主マグネットと、
前記高周波相互作用部に接続された出力導波管と、
前記出力導波管に対向する位置で、環状に設けた補助マグネットと、
前記出力導波管から高周波電力を取り出す出力部と、
前記出力導波管を変形させることで前記出力部から取り出される高周波電力の出力を調整する出力調整機構と、を備え、
前記出力調整機構は、出力導波管に固定した係合部材と、前記補助マグネットの外側から前記係合部材に向けて貫通する治具挿入孔部と、前記補助マグネットの外側から前記治具挿入孔部に挿入して前記係合部材に係合する治具とを備え、
前記補助マグネットの外側から前記治具挿入孔部を介して挿入した前記治具の先端を前記係合部材に係合して、前記係合部材を押し又は引き操作することで、出力導波管を変形するクライストロン。
【請求項2】
前記補助マグネットは、コイルを周方向に巻き付けて形成した環状のコイル体を備え、前記治具挿入孔部は、前記コイル体を横断するコイル体横断孔を含む請求項１に記載のクライストロン。
【請求項3】
前記出力調整機構は、前記出力導波管に設けられて、前記係合部材との間に空間を形成する台座を備え、前記台座には雌ネジが形成された雌ネジ部を有し、前記治具には先端部に前記係合部材に螺合する雄ネジが形成された引き用治具と、前記雌ネジ部を挿通して先端が前記係合部材に当接する押し用治具と、を備える請求項１に記載のクライストロン。
【請求項4】
前記引き用治具は、前記先端部の径よりも大きい本体部を有し、前記先端部を前記台座の前記雌ネジ部に挿通すると共に前記雄ネジを前記係合部材の雌ネジ部に螺合し、前記本体部は前先端部側の端面を前記台座に当接させて回すことで、前記係合部材を引く請求項３に記載のクライストロン。
【請求項5】
前記押し用治具は、前記台座の前記雌ネジ部に螺合する雄ネジを備え、前記押し用治具の前記雄ネジを前記台座の雌ネジ部に螺合した状態で前記押し用治具を回すことで前記係合部材を押す請求項3に記載のクライストロン。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明の実施形態は、クライストロンに関する。
【背景技術】
【0002】
クライストロンは、高周波電力の増幅に使用されるマイクロ波管であり、電子銃から出力された電子ビームを高周波電界との相互作用で入力された高周波電力を増幅する高周波相互作用部と、高周波相互作用部の周囲に環状に設けた主マグネットと、高周波相互作用部に接続された出力導波管と、出力導波管に対応する位置で環状に設けた補助マグネットと、出力導波管に接続された出力部とを備えている。
【0003】
一般的に、クライストロンは出力部が１ポート（port）又は２ポート（port）で、高周波（ＲＦ）電力の取り出しを行う。高周波電力の取り出しにおいて、強い電場強度は以下のリスクを伴う。
第１に、高周波出力窓（高周波出力部）の窓セラミックでは、セラミック破壊、ピンホールの発生、熱変形によるクラックの発生が生じるリスク。
第２に、高周波出力窓（高周波出力部）の使用環境では、放電発生リスクが上昇する。
第１に、高周波出力窓（高周波出力部）の窓セラミックでは、セラミック破壊、ピンホールの発生、熱変形によるクラックの発生が生じるリスク。
第２に、高周波出力窓（高周波出力部）の使用環境では、放電発生リスクが上昇する。
【0004】
このようなリスクに対して、発生リスクを抑えるために電場強度を下げる必要がある。また、高周波出力部において、パルス幅が長い・高いの繰り返しの動作条件を要求される場合は２ポート出力が選択される事が多い。
２ポート出力の場合には、客先の用途により各ポート（高周波出力部）から出力される高周波電力をそれぞれ別系統のシステムに供給する用途等があり、出力バランスを一致させる場合がある。
２ポート出力の場合には、客先の用途により各ポート（高周波出力部）から出力される高周波電力をそれぞれ別系統のシステムに供給する用途等があり、出力バランスを一致させる場合がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特開２０１６－２２５２０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
各ポートの出力バランス調整は、主に高周波相互作用部と高周波出力部との間に設けられた出力導波管の形状を変化させ、出力導波管のインピーダンスを変化させる事で各高周波出力部から出力される高周波（ＲＦ）電力を顧客要求仕様以内になるように調整する。
出力バランスを調整するためには、クライストロンから補助マグネットを抜き取り、ダミーロード等試験設備からクライストロン構体を切り離し、調整を実施・再試験を実施するが、クライストロン構体は、出力部の導波管の形状を変形させる事により、各ポートのインピータンスを変化させ、これにより各ポートの出力バランスを調整する。
出力バランスを調整するためには、クライストロンから補助マグネットを抜き取り、ダミーロード等試験設備からクライストロン構体を切り離し、調整を実施・再試験を実施するが、クライストロン構体は、出力部の導波管の形状を変形させる事により、各ポートのインピータンスを変化させ、これにより各ポートの出力バランスを調整する。
【0007】
しかし、補助マグネットの切り離しや、クライストロン構体の切り離し等が必要なため、調整を実施するためのリードタイムが長くなるという問題があった。
特に、クライストロン構体のみを取り出して調整、再セットを行い、テスト実施を繰り返さなければならず、リードタイムが膨大となっていた。
特に、クライストロン構体のみを取り出して調整、再セットを行い、テスト実施を繰り返さなければならず、リードタイムが膨大となっていた。
【0008】
本実施形態は、出力の調整を短時間でできるクライストロンの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0009】
一実施形態は、電子銃と、前記電子銃から出力された電子ビームを高周波電界との相互作用で入力された高周波電力を増幅する高周波相互作用部と、前記高周波相互作用部の周囲に環状に設けた主マグネットと、前記高周波相互作用部に接続された出力導波管と、前記出力導波管に対向する位置で、環状に設けた補助マグネットと、前記出力導波管から高周波電力を取り出す出力部と、前記出力導波管を変形させることで前記出力部から取り出される高周波電力の出力を調整する出力調整機構と、を備え、
前記出力調整機構は、出力導波管に固定した係合部材と、前記補助マグネットの外側から前記係合部材に向けて貫通する治具挿入孔部と、前記補助マグネットの外側から前記治具挿入孔部に挿入して前記係合部材に係合する治具とを備え、前記補助マグネットの外側から前記治具挿入孔部を介して挿入した前記治具の先端を前記係合部材に係合して、前記係合部材を押し又は引き操作することで、出力導波管を変形するクライストロンである。
前記出力調整機構は、出力導波管に固定した係合部材と、前記補助マグネットの外側から前記係合部材に向けて貫通する治具挿入孔部と、前記補助マグネットの外側から前記治具挿入孔部に挿入して前記係合部材に係合する治具とを備え、前記補助マグネットの外側から前記治具挿入孔部を介して挿入した前記治具の先端を前記係合部材に係合して、前記係合部材を押し又は引き操作することで、出力導波管を変形するクライストロンである。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【図1】図１は、実施形態に係るクライストロンの概略構造を示す斜視図であり、（ａ）はクライストロン構体の図であり、（ｂ）はクライストロン構体に主マグネット及び補助マグネットを装着したクライストロンの図である。
【図3】引き用治具を用いて、出力導波管を引き変形する状態を示す断面図である。
【図4】押し用治具を用いて、出力導波管を押し変形する状態を示す断面図である。
【図5】導波管の変形を示す概略断面図である。
【図6】各出力部（出力ポート）の出力と出力導波管の変形量との関係を示すグラフである。
【図7】出力調整機構の取付け工程を説明する図であり、出力調整機構を取り付ける前のクライストロン構体の斜視図である。
【図8】出力調整機構の取付け工程を説明する図であり、（ａ）は出力導波管に脚部材と係合部材とを取付けたクライストロン構体の平面図であり、（ｂ）脚部材の斜視図である。
【図9】出力調整機構の取付け工程を説明する図であり、（ａ）は脚部材間に面部材を取付けたクライストロン構体の平面図であり、（ｂ）面部材の斜視図である。
【図10】実施形態に用いられる補助マグネットの斜視図である。
【図12】（ａ）は引き用治具の正面図であり、（ｂ）は押し用治具の正面図である。
【発明を実施するための形態】
【0011】
以下に、図面を参照しながら、一実施形態について詳細に説明する。なお、図面は、説明をより明確にするため、実際の態様に比べて、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同一又は類似した機能を発揮する構成要素には同一の参照符号を付し、重複する詳細な説明を適宜省略することがある。
【0012】
まず、図１～図４を参照して、実施形態に係るクライストロンの構成について説明する。
図１（ｂ）に示すように、実施形態に係るクライストロン１は、図１（ａ）に示すクライストロン構体３に、主マグネット５と補助マグネット７とを装着して構成されている。
図１（ａ）に示すように、クライストロン構体３は、電子銃９と、高周波相互作用部１１と、出力導波管１３と、出力部１５と、コレクタ１９とを備えている。
図１（ｂ）に示すように、実施形態に係るクライストロン１は、図１（ａ）に示すクライストロン構体３に、主マグネット５と補助マグネット７とを装着して構成されている。
図１（ａ）に示すように、クライストロン構体３は、電子銃９と、高周波相互作用部１１と、出力導波管１３と、出力部１５と、コレクタ１９とを備えている。
【0013】
電子銃９は、高周波相互作用部１１に電子ビームを出力する。
高周波相互作用部１１は、電子銃９から出力された電子ビームを高周波電界との相互作用で、入力された高周波電力を増幅する。
出力導波管１３は、一端側が高周波相互作用部１１に接続されており、他端側に出力部１５が接続されている。本実施形態のクライストロン構体３は、高周波相互作用部１１に対向して２つの出力導波管１３が接続されており、各出力導波管１３に出力部１５を設けてなる、２ポートタイプのクライストロン構体３である。
出力導波管１３は、本実施形態では、扁平な四角柱形状を成しており、図１（ａ）に示すように、対向する一対の長辺面２１と、対向する一対の短辺面２３とを備えている。
コレクタ１９は、使用済の電子を補足する。
高周波相互作用部１１は、電子銃９から出力された電子ビームを高周波電界との相互作用で、入力された高周波電力を増幅する。
出力導波管１３は、一端側が高周波相互作用部１１に接続されており、他端側に出力部１５が接続されている。本実施形態のクライストロン構体３は、高周波相互作用部１１に対向して２つの出力導波管１３が接続されており、各出力導波管１３に出力部１５を設けてなる、２ポートタイプのクライストロン構体３である。
出力導波管１３は、本実施形態では、扁平な四角柱形状を成しており、図１（ａ）に示すように、対向する一対の長辺面２１と、対向する一対の短辺面２３とを備えている。
コレクタ１９は、使用済の電子を補足する。
【0014】
図１（ｂ）に示すように、主マグネット５は、高周波相互作用部１１の周囲に環状に設けており、高周波相互作用部１１を取り巻いて高周波相互作用部１１に強磁界を付与している。
補助マグネット７は、出力導波管１３に対向する位置で、主マグネット５に重ねるように環状に設けてあり、出力導波管１３に強磁界を付与している。
補助マグネット７は、出力導波管１３に対向する位置で、主マグネット５に重ねるように環状に設けてあり、出力導波管１３に強磁界を付与している。
【0015】
図２に示すように、出力調整機構１７は、出力導波管１３の一面に固定した係合部材２５（図８参照）と、補助マグネット７に設けた治具挿入孔部２７と、治具２９ａ、２９ｂと、台座３１（図１（ａ）参照）と、を備えている。
図３及び図８に示すように、係合部材２５は、上面２５ａが平坦な環状部材であり、内周面に雌ネジ２５ｂが形成されている。本実施形態では、六角ナットを用いている。
図３及び図８に示すように、係合部材２５は、上面２５ａが平坦な環状部材であり、内周面に雌ネジ２５ｂが形成されている。本実施形態では、六角ナットを用いている。
【0016】
図２及び図１０に示すように、治具挿入孔部２７は、出力導波管１３に対向して設けた補助マグネット７に設けてあり、係合部材２５と対向する位置で補助マグネット７を貫通する孔部である。治具挿入孔部２７は補助マグネット７の外側から係合部材２５に向けて一直線状に形成されており、引き用治具２９ａ及び押し用治具２９ｂが挿入される孔径を有している。
【0017】
引き用治具２９ａは、図１２（ａ）に示すように、後端にハンドル３３を設けた本体部３５ａを有し、本体部３５ａの先端には、雄ネジ３７ａが形成された先端部３７が一体に形成されている。本体部３５ａの径は先端部３７の径よりも大きくなっており、本端部３５の先端部３７側の端面３９は環状面となっている。図３に示すように、引き用治具２９ａの雄ネジ３７ａは、係合部材２５の雌ネジ２５ｂと螺合するネジである。
押し用治具２９ｂは、図１２（ｂ）に示すように、引き用治具２９ａと同様に後端にハンドル３３を設けた本体部３５ｂを有している。本体部３５ｂは外周面全体に雄ネジ４１が形成されている。本体部３５ｂの先端面３６は、平坦面となっている。
図４に示すように、本体部３５ｂの直径の寸法は、係合部材２５の直径と略同じ寸法を有し、先端面３６が係合部材２５の上面２５ａに上から当接するようになっている。
雄ネジ４１は、後述する台座３１の雌ネジ５１ａと螺合可能なネジである。
押し用治具２９ｂは、図１２（ｂ）に示すように、引き用治具２９ａと同様に後端にハンドル３３を設けた本体部３５ｂを有している。本体部３５ｂは外周面全体に雄ネジ４１が形成されている。本体部３５ｂの先端面３６は、平坦面となっている。
図４に示すように、本体部３５ｂの直径の寸法は、係合部材２５の直径と略同じ寸法を有し、先端面３６が係合部材２５の上面２５ａに上から当接するようになっている。
雄ネジ４１は、後述する台座３１の雌ネジ５１ａと螺合可能なネジである。
【0018】
次に、台座３１について説明する。台座３１は、図１（ａ）、図３及び図４に示すように、出力導波管１３の対向する一対の短辺面２３（図１（ａ）参照）にそれぞれに固定された脚部材４７と、係合部材２５を固定した長辺面２１との間に空間をあけて設けた面部材４９とを備えている。
図８及び図１（ａ）に示すように、脚部材４７は、上端４７ａを出力導波管１３の長辺面２１から突設させた状態で短辺面２３に固定されている。脚部材４７は、側面を溶接やろう付けで出力導波管１３の短辺面２３に固定される。この脚部材４７の上端４７ａには、ボルトを螺合するネジ穴が形成されている。
図８及び図１（ａ）に示すように、脚部材４７は、上端４７ａを出力導波管１３の長辺面２１から突設させた状態で短辺面２３に固定されている。脚部材４７は、側面を溶接やろう付けで出力導波管１３の短辺面２３に固定される。この脚部材４７の上端４７ａには、ボルトを螺合するネジ穴が形成されている。
【0019】
図９及び図１（ａ）に示すように、面部材４９は対向する脚部材４７、４７の各上端４７ａに上から載置して脚部材４７、４７にボルトで固定されている。図３及び図４に示すように、面部材４９は、出力導波管１３の長辺面２１に間隔をあけて設けると共に係合部材２５との間にも間隔を空けている。
この面部材４９には、係合部材２５と対向する位置に雌ネジ５１ａを有するネジ穴（雌ネジ部）５１が形成されている。図４に示すように、雌ネジ５１ａは、押し用治具２９ｂの雄ネジ４１と螺合可能である。
この面部材４９には、係合部材２５と対向する位置に雌ネジ５１ａを有するネジ穴（雌ネジ部）５１が形成されている。図４に示すように、雌ネジ５１ａは、押し用治具２９ｂの雄ネジ４１と螺合可能である。
【0020】
次に、図７～図１１を参照して、出力調整機構１７の設置手順について、説明する。
まず、図７に示すように、クライストロン構体３を用意する。
次に、図８に示すように、クライストロン構体３の出力導波管１３において、その上側の長辺面２１の略中央に係合部材２５を固定する。係合部材２５の固定は、溶接又はろう付けにより行う。
一方、図８及び図１（ａ）に示すように、出力導波管１３の対向する一対の短辺面２３には、脚部材４７を固定する。脚部材４７は、上端４７ａが長辺面２１から上方に突設して配置する（図３及び図４参照）が、上端４７ａが係合部材２５の上面２５ａよりも上方に位置するように配置して、一方の側面４７ｂを溶接又はろう付けにより、出力導波管１３の短辺面２３固定する。
まず、図７に示すように、クライストロン構体３を用意する。
次に、図８に示すように、クライストロン構体３の出力導波管１３において、その上側の長辺面２１の略中央に係合部材２５を固定する。係合部材２５の固定は、溶接又はろう付けにより行う。
一方、図８及び図１（ａ）に示すように、出力導波管１３の対向する一対の短辺面２３には、脚部材４７を固定する。脚部材４７は、上端４７ａが長辺面２１から上方に突設して配置する（図３及び図４参照）が、上端４７ａが係合部材２５の上面２５ａよりも上方に位置するように配置して、一方の側面４７ｂを溶接又はろう付けにより、出力導波管１３の短辺面２３固定する。
【0021】
次に、図９に示すように、対向する脚部材４７、４７において、その上端４７ａ、４７ａに面部材４９を載置し、ボルトで固定する。
面部材４９には、予めその略中央で、係合部材２５に対向する位置に雌ネジ５１ａを形成したネジ穴５１を形成しておく。
これにより、図３及び図４に示すように、面部材４９が係合部材２５の上面２５ａから所定間隔を空けて面部材４９を設置した台座３１が、出力導波管１３に組み付けられる。
面部材４９には、予めその略中央で、係合部材２５に対向する位置に雌ネジ５１ａを形成したネジ穴５１を形成しておく。
これにより、図３及び図４に示すように、面部材４９が係合部材２５の上面２５ａから所定間隔を空けて面部材４９を設置した台座３１が、出力導波管１３に組み付けられる。
【0022】
一方、図２及び図１０に示すように、補助マグネット７に治具挿入孔部２７を形成する。図２（ｃ）に示すように、補助マグネット７は、コイル体７ａとコイル体７ａを覆うケース７ｂとで構成されており、ケース７ｂには、ドリル等で孔５３を穿孔する。一方、コイル体７ａには、コイル横断孔５２が形成されている。このように、治具挿入孔部２７は、ケース７ｂの孔５３とコイル横断孔５２との部分から構成されている。
【0023】
ここで、コイル横断孔５２の形成について説明する。
図１１（ａ）に示すように、予め治具挿入孔部２７の径と同様の径を有する孔部形成部材５５を用意しておく。この孔部形成部材５５は、樹脂製の円柱体であり、コイル体７ａの厚みＬよりも長い寸法を有する。
そして、この孔部形成部材５５を介在させた状態で、コイルを環状に巻き付けてコイル体７ａを製造し、その後に、孔部形成部材５５を引き抜き等により除去する。
図１１（ｂ）に示すように、このようにして製造したコイル体７ａをケース７ｂに収納して、治具挿入孔部２７を有する補助マグネット７を製造する。
図１１（ａ）に示すように、予め治具挿入孔部２７の径と同様の径を有する孔部形成部材５５を用意しておく。この孔部形成部材５５は、樹脂製の円柱体であり、コイル体７ａの厚みＬよりも長い寸法を有する。
そして、この孔部形成部材５５を介在させた状態で、コイルを環状に巻き付けてコイル体７ａを製造し、その後に、孔部形成部材５５を引き抜き等により除去する。
図１１（ｂ）に示すように、このようにして製造したコイル体７ａをケース７ｂに収納して、治具挿入孔部２７を有する補助マグネット７を製造する。
【0024】
図１（ａ）に示すように、係合部材２５及び台座３１を取付けたクライストロン構体３に、図１（ｂ）に示すように、主マグネット５及び、治具挿入孔部２７を形成した補助マグネット７を装着して、本実施形態にかかるクライストロン１を組み立てる。
次に、本実施形態に係るクライストロン１における、各出力部１５から取り出される出力調整について説明する。
クライストロン１において、２つの出力部１５、１５からそれぞれ出力する高周波電力を調整する場合には、それぞれ必要な調整量に応じて各出力部１５、１５に接続されている出力導波管１３、１３を変形させる。
図５及び図６に示すように、出力導波管１３、１３において、係合部材２５が固定されている長辺面２１を押し（push）たり、引き（pull）したりして、形状を変化させる。
例えば、図６に示すように、出力導波管１３の長辺面２１を押し（push）操作することで、凹み量（-Δｄ）が大きくなり、高周波電力のピークパワー（peak power）を減少させることができる。
次に、本実施形態に係るクライストロン１における、各出力部１５から取り出される出力調整について説明する。
クライストロン１において、２つの出力部１５、１５からそれぞれ出力する高周波電力を調整する場合には、それぞれ必要な調整量に応じて各出力部１５、１５に接続されている出力導波管１３、１３を変形させる。
図５及び図６に示すように、出力導波管１３、１３において、係合部材２５が固定されている長辺面２１を押し（push）たり、引き（pull）したりして、形状を変化させる。
例えば、図６に示すように、出力導波管１３の長辺面２１を押し（push）操作することで、凹み量（-Δｄ）が大きくなり、高周波電力のピークパワー（peak power）を減少させることができる。
【0025】
この押し操作をするときには、押し用治具２９ｂ（図１２（ｂ）参照）を用いておこなうが、図２（ｃ）及び図４に示すように、台座３１の面部材４９に形成された雌ネジ５１ａに押し用治具２９ｂの本体部に形成された雄ネジ４１を螺合して、押し用治具２９ｂを螺進することで、台座３１の面部材４９に対して係合部材２５を押し付け、出力導波管１３の長辺面２１を凹み変形させる。
押し操作は、台座３１の雌ネジ５１ａに押し用治具２９ｂの雄ネジ４１を螺合させて行うから、出力導波管１３の長辺面２１を小さな力で容易に、凹み変形させることができる。
押し操作は、台座３１の雌ネジ５１ａに押し用治具２９ｂの雄ネジ４１を螺合させて行うから、出力導波管１３の長辺面２１を小さな力で容易に、凹み変形させることができる。
【0026】
一方、図６に示すように、出力導波管１３の長辺面２１を引き（pull）操作することで突出（+Δｄ）が大きくなり、高周波電力のピークパワー（peak power）を増加するように、出力部１５から出力する高周波電力を増加させることができる。
【0027】
この引き操作をするときには、引き用治具２９ａ（図１２（ａ）参照）を用いておこなうが、図２（ｂ）及び図３に示すように、台座３１の面部材４９に形成されたネジ穴５１に引き用治具２９ａの先端部３７を挿通し、その先端部３７の雄ネジ３７ａを係合部材２５の雌ネジ２５ｂに螺合して、引き用治具２９ｂを螺進すると、引き用治具２９ａの先端部３７側の端面３９が台座３１の面部材４９に当接した状態で、係合部材２５を引き上げ、出力導波管１３の長辺面２１を突出変形する。
引き操作は、引き用治具２９ａの先端部３７の雄ネジ３７ａを係合部材２５の雌ネジ２５ｂに螺合して、引き用治具２９ａの先端部３７側の端面３９を台座３１の面部材４９に当接した状態で、引き用治具２９ａを回すだけであるから、出力導波管１３の長辺面２１を小さな力で容易に、突出変形することができる。
引き操作は、引き用治具２９ａの先端部３７の雄ネジ３７ａを係合部材２５の雌ネジ２５ｂに螺合して、引き用治具２９ａの先端部３７側の端面３９を台座３１の面部材４９に当接した状態で、引き用治具２９ａを回すだけであるから、出力導波管１３の長辺面２１を小さな力で容易に、突出変形することができる。
【0028】
出力導波管１３、１３の長辺面２１の押し（push）又は引き（pull）する為の操作は、
補助マグネット７の治具挿入孔部２７に、引き用治具２９ａ又は押し用治具２９ｂを挿入して行うから、補助マグネット７をクライストロン１から外す必要がないので、出力導波管１３の変形を容易に且つ短時間で行うことができる。
特に、補助マグネット７を外したり、調整後に補助マグネットを組み付けたりして、再セットして調整テスト（確認）を行う必要がないので、リードタイムを著しく低減できる。
補助マグネット７の治具挿入孔部２７に、引き用治具２９ａ又は押し用治具２９ｂを挿入して行うから、補助マグネット７をクライストロン１から外す必要がないので、出力導波管１３の変形を容易に且つ短時間で行うことができる。
特に、補助マグネット７を外したり、調整後に補助マグネットを組み付けたりして、再セットして調整テスト（確認）を行う必要がないので、リードタイムを著しく低減できる。
【0029】
補助マグネット７に形成する治具挿入孔部２７は、コイル体７ａの製造時に、孔部形成部材５５を介在してコイルを巻き付けて、その後に孔部形成部材５５を除去すれば良いので、補助マグネット７に治具孔挿入孔部２７を容易に形成することができる。
【0030】
上述した一実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これらの新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると共に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【0031】
１…クライストロン、３…クライストロン構体、７…補助マグネット、７ａ…コイル体、７ｂ…ケース、９…電子銃、１１…高周波相互作用部、１３…出力導波管、１５…出力部、１７…出力調整機構、２５…係合部材、２５ａ…上面、２５ｂ…雌ネジ、２７…治具挿入孔部、２９ａ…引き用治具、２９ｂ…押し用治具、５１…ネジ孔（雌ネジ部）、５５…孔部形成部材。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】