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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024090744
(43)【公開日】2024-07-04
(54)【発明の名称】搬送装置
(51)【国際特許分類】
C21D 1/00 20060101AFI20240627BHJP
F27B 9/39 20060101ALI20240627BHJP
F27D 3/00 20060101ALI20240627BHJP
【ＦＩ】
C21D1/00 112B
C21D1/00 115Z
C21D1/00 112M
C21D1/00 112A
F27B9/39
F27D3/00 Z
【審査請求】未請求
【請求項の数】10
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022206826
(22)【出願日】2022-12-23
(71)【出願人】
【識別番号】000004064
【氏名又は名称】日本碍子株式会社
(71)【出願人】
【識別番号】591076109
【氏名又は名称】エヌジーケイ・キルンテック株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110000110
【氏名又は名称】弁理士法人 快友国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】山口 実
(72)【発明者】
【氏名】浅野 良充
(72)【発明者】
【氏名】磯野 隆規
(72)【発明者】
【氏名】大山 智明
【テーマコード（参考）】
4K034
4K050
4K055
【Ｆターム（参考）】
4K034AA08
4K034AA19
4K034BA01
4K034BA10
4K034CA05
4K034DA02
4K034DA03
4K034DA05
4K034DB02
4K034DB03
4K034DB04
4K034DB05
4K034DB06
4K034EA12
4K034EB01
4K034EB31
4K034EB34
4K034EB36
4K034EB39
4K034GA18
4K050AA02
4K050BA16
4K050CC07
4K050CD06
4K050CF06
4K050CF16
4K050CF20
4K050CG04
4K050CG29
4K050DA01
4K050EA03
4K050EA04
4K050EA08
4K055AA06
4K055BA05
(57)【要約】
【課題】搬送方向における複数の被処理物の位置関係が大きく乱れたときでも、複数の被処理物を安定して搬送する。
【解決手段】搬送装置は、第１搬送ローラ装置と、第１搬送ローラ装置よりも下流側に配置されている第２搬送ローラ装置と、第１搬送ローラ装置よりも下流側であって、第２搬送ローラ装置よりも上流側に配置されており、搬送方向への被処理物の移動を禁止するストッパと、を備えている。第１搬送ローラ装置は、複数の被処理物の間の搬送方向における間隔を、熱処理炉からの搬出時での複数の被処理物の間の搬送方向における間隔よりも広い間隔に広げることで、複数の被処理物を、所定数または所定数よりも少ない数の被処理物を含む被処理物群に分割可能とするように構成されている。ストッパは、第１搬送ローラ装置により分割され、搬送方向に隣接する被処理物群の間に配置可能に構成されている。
【選択図】図４
【解決手段】搬送装置は、第１搬送ローラ装置と、第１搬送ローラ装置よりも下流側に配置されている第２搬送ローラ装置と、第１搬送ローラ装置よりも下流側であって、第２搬送ローラ装置よりも上流側に配置されており、搬送方向への被処理物の移動を禁止するストッパと、を備えている。第１搬送ローラ装置は、複数の被処理物の間の搬送方向における間隔を、熱処理炉からの搬出時での複数の被処理物の間の搬送方向における間隔よりも広い間隔に広げることで、複数の被処理物を、所定数または所定数よりも少ない数の被処理物を含む被処理物群に分割可能とするように構成されている。ストッパは、第１搬送ローラ装置により分割され、搬送方向に隣接する被処理物群の間に配置可能に構成されている。
【選択図】図４
【特許請求の範囲】
【請求項1】
搬送方向に直交する列方向に所定数並べた被処理物を、前記搬送方向に所定の間隔で連続して熱処理炉に搬入し、前記熱処理炉内で熱処理された複数の前記被処理物を前記熱処理炉から搬送する搬送装置であって、
前記熱処理炉から搬出された前記複数の被処理物を、前記熱処理炉から前記被処理物を搬出するときの搬出速度よりも高い速度で前記搬送方向に搬送する第１搬送ローラ装置と、
前記第１搬送ローラ装置よりも下流側に配置されている第２搬送ローラ装置と、
前記第１搬送ローラ装置よりも下流側であって、前記第２搬送ローラ装置よりも上流側に配置されており、前記搬送方向への前記被処理物の移動を禁止するストッパと、を備えており、
前記第１搬送ローラ装置は、前記複数の被処理物の間の前記搬送方向における間隔を、前記熱処理炉からの搬出時での前記複数の被処理物の間の前記搬送方向における前記間隔よりも広い間隔に広げることで、前記複数の被処理物を、前記所定数または前記所定数よりも少ない数の前記被処理物を含む被処理物群に分割可能とするように構成されており、
前記ストッパは、前記第１搬送ローラ装置により分割され、前記搬送方向に隣接する被処理物群の間に配置可能に構成されている、搬送装置。
前記熱処理炉から搬出された前記複数の被処理物を、前記熱処理炉から前記被処理物を搬出するときの搬出速度よりも高い速度で前記搬送方向に搬送する第１搬送ローラ装置と、
前記第１搬送ローラ装置よりも下流側に配置されている第２搬送ローラ装置と、
前記第１搬送ローラ装置よりも下流側であって、前記第２搬送ローラ装置よりも上流側に配置されており、前記搬送方向への前記被処理物の移動を禁止するストッパと、を備えており、
前記第１搬送ローラ装置は、前記複数の被処理物の間の前記搬送方向における間隔を、前記熱処理炉からの搬出時での前記複数の被処理物の間の前記搬送方向における前記間隔よりも広い間隔に広げることで、前記複数の被処理物を、前記所定数または前記所定数よりも少ない数の前記被処理物を含む被処理物群に分割可能とするように構成されており、
前記ストッパは、前記第１搬送ローラ装置により分割され、前記搬送方向に隣接する被処理物群の間に配置可能に構成されている、搬送装置。
【請求項2】
前記第１搬送ローラ装置は、
前記複数の被処理物を前記搬出速度よりも高い切り離し速度で搬送する高速部と、
前記複数の被処理物の搬送速度を前記搬出速度から前記切り離し速度に向けて増速する増速部と、を備えている、請求項１に記載の搬送装置。
前記複数の被処理物を前記搬出速度よりも高い切り離し速度で搬送する高速部と、
前記複数の被処理物の搬送速度を前記搬出速度から前記切り離し速度に向けて増速する増速部と、を備えている、請求項１に記載の搬送装置。
【請求項3】
前記増速部は、
前記搬出速度よりも高く、かつ、前記切り離し速度よりも低い第１速度で前記複数の被処理物を搬送する第１増速部と、
前記第１速度よりも高く、かつ、前記切り離し速度よりも低い第２速度で前記複数の被処理物を搬送する第２増速部と、を備えている、請求項２に記載の搬送装置。
前記搬出速度よりも高く、かつ、前記切り離し速度よりも低い第１速度で前記複数の被処理物を搬送する第１増速部と、
前記第１速度よりも高く、かつ、前記切り離し速度よりも低い第２速度で前記複数の被処理物を搬送する第２増速部と、を備えている、請求項２に記載の搬送装置。
【請求項4】
前記第１搬送ローラ装置の前記高速部における前記複数の被処理物の配置を検出する検出器と、
前記検出器の検出結果に基づいて、前記複数の被処理物を第１の被処理物群と第２の被処理物群に分類する制御ユニットと、を備えており、
前記制御ユニットは、前記第１の被処理物群と前記第２の被処理物群の分類結果に基づいて、前記ストッパを動作させて前記第１の被処理物群と前記第２の被処理物群の間に配置させる、請求項２に記載の搬送装置。
前記検出器の検出結果に基づいて、前記複数の被処理物を第１の被処理物群と第２の被処理物群に分類する制御ユニットと、を備えており、
前記制御ユニットは、前記第１の被処理物群と前記第２の被処理物群の分類結果に基づいて、前記ストッパを動作させて前記第１の被処理物群と前記第２の被処理物群の間に配置させる、請求項２に記載の搬送装置。
【請求項5】
前記検出器は、前記列方向にレーザを照射可能な透過型光電センサである、請求項４に記載の搬送装置。
【請求項6】
前記第１搬送ローラ装置は、その内部が雰囲気ガスで満たされたフード内に配置されており、
前記第２搬送ローラ装置は、前記雰囲気ガスを空気に置換する置換室内に配置されている、請求項１に記載の搬送装置。
前記第２搬送ローラ装置は、前記雰囲気ガスを空気に置換する置換室内に配置されている、請求項１に記載の搬送装置。
【請求項7】
前記ストッパよりも下流側に配置されており、前記搬送方向を第１方向から前記第１方向に略直交する第２方向に変更する第１ターン装置をさらに備えている、請求項１から６のいずれか一項に記載の搬送装置。
【請求項8】
前記第１ターン装置は、前記第１方向に２個の前記被処理物を並べて配置可能であって、前記複数の被処理物が前記第２方向に搬送される搬送通路を備えている、請求項７に記載の搬送装置。
【請求項9】
前記第１方向における前記搬送通路の幅は、長手方向における前記被処理物の幅の３倍以下である、請求項８に記載の搬送装置。
【請求項10】
前記第１ターン装置よりも下流側に配置されており、前記搬送方向を前記第２方向から、前記第２方向に略直交すると共に前記第１方向と反対となる第３方向に変更する第２ターン装置と、
前記第２ターン装置の搬送通路上に、前記第２方向に前記複数の被処理物を並べて整列させる整列装置と、をさらに備えている、請求項７に記載の搬送装置。
前記第２ターン装置の搬送通路上に、前記第２方向に前記複数の被処理物を並べて整列させる整列装置と、をさらに備えている、請求項７に記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本明細書に開示する技術は、複数の被処理物を搬送する搬送装置に関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１には、複数の被処理物を搬送する搬送装置が開示されている。複数の被処理物は、搬送方向に直交する列方向に所定数並べられ、搬送方向に所定の間隔で連続して熱処理炉に搬入される。熱処理炉に搬入された被処理物は、熱処理炉内で熱処理される。搬送装置は、熱処理された複数の被処理物を熱処理炉から搬送する。この搬送装置では、搬送通路上にストッパが配置されている。熱処理炉から搬送される複数の被処理物は、ストッパに突き当てられることにより、列方向に一列に整列する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特許第６９７８６２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
熱処理炉内に配置される複数の搬送ローラでは、その両端が回転可能に支持され、その中間部分に複数の被処理物が載置される。このため、搬送ローラは、被処理物の重みにより中間部分が撓んだ状態で回転することになる。これにより、列方向に並べられた状態で複数の被処理物が熱処理炉内に搬入されても、熱処理炉の出口において、列方向に並べられた複数の被処理物の搬送方向の位置関係が大きく乱れることがある。この場合、列方向に並べられた所定数の被処理物を、搬送方向に所定の間隔を空けて熱処理炉内に搬入しても、熱処理炉の出口において、搬送方向に設けた所定の間隔が維持されない。この結果、先に搬入された被処理物と、後に搬入された被処理物との間の間隔が狭くなり、両者が一体となって搬送されている状態となることがある。
【0005】
このような場合に、特許文献１の技術により、複数の被処理物をストッパに突き当てると、搬送方向に並ぶ複数の被処理物同士が衝突し、被処理物同士の間に間隔が無くなった一塊のクラスタ状態となる。これにより、過度に多くの被処理物が一度に下流側に搬送されることとなり、複数の被処理物を安定して搬送することができない。
【0006】
本明細書は、搬送方向における複数の被処理物の位置関係が大きく乱れたときでも、複数の被処理物を安定して搬送することができる技術を開示する。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本明細書に開示する技術の第１の態様では、搬送装置は、搬送方向に直交する列方向に所定数並べた被処理物を、搬送方向に所定の間隔で連続して熱処理炉に搬入し、熱処理炉内で熱処理された複数の被処理物を熱処理炉から搬送する。搬送装置は、熱処理炉から搬出された複数の被処理物を、熱処理炉から被処理物を搬出するときの搬出速度よりも高い速度で搬送方向に搬送する第１搬送ローラ装置と、第１搬送ローラ装置よりも下流側に配置されている第２搬送ローラ装置と、第１搬送ローラ装置よりも下流側であって、第２搬送ローラ装置よりも上流側に配置されており、搬送方向への被処理物の移動を禁止するストッパと、を備えている。第１搬送ローラ装置は、複数の被処理物の間の搬送方向における間隔を、熱処理炉からの搬出時での複数の被処理物の間の搬送方向における間隔よりも広い間隔に広げることで、複数の被処理物を、所定数または所定数よりも少ない数の被処理物を含む被処理物群に分割可能とするように構成されている。ストッパは、第１搬送ローラ装置により分割され、搬送方向に隣接する被処理物群の間に配置可能に構成されている。
【0008】
上記の構成によれば、搬送方向における複数の被処理物の位置関係が大きく乱れた状態で複数の被処理物が熱処理炉から搬出されると、まず、複数の被処理物は、第１搬送ローラ装置上を移動する。第１搬送ローラ装置が、熱処理炉から搬出される搬出速度よりも高い速度で複数の被処理物を搬送することにより、搬送方向における複数の被処理物の間隔が広がる。即ち、先に搬出された被処理物と、後に搬出された被処理物との搬送方向の間隔が広がる。これにより、ストッパにより先に搬出された被処理物群の搬送方向への移動が禁止されても、先に搬出された被処理物群と後に搬出された被処理物群との間隔が無くなることを抑制することができる。この結果、搬送方向に隣接する被処理物群をストッパにより分割し易くなり、被処理物を安定して第２搬送ローラ装置に向けて搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】第１実施例の搬送装置と熱処理炉の概略断面図である。
【図2】第１実施例の熱処理システムの概略図である。
【図3】第１実施例において、熱処理炉の入口近傍の熱処理システムの概略断面図である。
【図4】第１実施例において、熱処理搬送ローラ装置と、第１搬送ローラ装置と、第１ストッパと、第１検出器と、第１ターン装置と、制御ユニットの概略図である。
【図5】第１実施例の第１ターン装置の概略図である。
【図6】第１実施例の置換室搬送ローラ装置と、置換室後搬送ローラ装置と、第２検出器と、切り離しローラ装置と、第２ストッパと、整列台ローラ装置と、整列装置と、第２ターン入口装置と、第２ターン装置と、第３検出器と、第４検出器と、冷却搬送ローラ装置と、制御ユニットの概略図である。
【図7】第２実施例の置換室搬送ローラ装置と、置換室後搬送ローラ装置と、第２検出器と、切り離しローラ装置と、第２ストッパと、整列装置と、第２ターン入口装置と、第２ターン装置と、第３検出器と、第４検出器と、冷却搬送ローラ装置と、制御ユニットの概略図である。
【図8】第３実施例の置換室搬送ローラ装置と、置換室後搬送ローラ装置と、切り離しローラ装置と、整列装置と、第４検出器と、冷却搬送ローラ装置入口部と、冷却搬送ローラ装置と、制御ユニットの概略図である。
【図9】第４実施例の熱処理システムの概略図である。
【0010】
以下に説明する実施例の主要な特徴を列記しておく。なお、以下に記載する技術要素は、それぞれ独立した技術要素であって、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。
【0011】
本明細書に開示する技術の第２の態様では、上記の第１の態様において、第１搬送ローラ装置は、複数の被処理物を搬出速度よりも高い切り離し速度で搬送する高速部と、複数の被処理物の搬送速度を搬出速度から切り離し速度に向けて増速する増速部と、を備えていてもよい。上記の構成によれば、搬送方向における複数の被処理物の間隔を安定して広げることができる。
【0012】
本明細書に開示する技術の第３の態様では、上記の第２の態様において、増速部は、搬出速度よりも高く、かつ、切り離し速度よりも低い第１速度で複数の被処理物を搬送する第１増速部と、第１速度よりも高く、かつ、切り離し速度よりも低い第２速度で複数の被処理物を搬送する第２増速部と、を備えていてもよい。上記の構成によれば、搬送方向における複数の被処理物の間隔をより安定して広げることができる。
【0013】
本明細書に開示する技術の第４の態様では、上記の第２または第３の態様において、搬送装置は、第１搬送ローラ装置の高速部における複数の被処理物の配置を検出する検出器と、検出器の検出結果に基づいて、複数の被処理物を第１の被処理物群と第２の被処理物群に分類する制御ユニットと、を備えていてもよい。制御ユニットは、第１の被処理物群と第２の被処理物群の分類結果に基づいて、ストッパを動作させて第１の被処理物群と第２の被処理物群の間にストッパを配置させてもよい。上記の構成によれば、ストッパが動作すると、第１の被処理物群と第２の被処理物群の一方はストッパにより搬送方向の移動が禁止され、第１の被処理物群と第２の被処理物群の他方はストッパより下流（搬送方向）に向かって移動することになる。このため、複数の被処理物を、第１の被処理物群と第２の被処理物群に分類（分離）することができる。これにより、第１の被処理物群と第２の被処理物群を別々に安定して第２搬送ローラ装置に向けて搬送することができる。
【0014】
本明細書に開示する技術の第５の態様では、上記の第４の態様において、検出器は、列方向にレーザを照射可能な透過型光電センサであってもよい。上記の構成によれば、簡素な構成により、第１搬送ローラ装置の高速部における複数の被処理物の配置を検出することができる。
【0015】
本明細書に開示する技術の第６の態様では、上記の第１から第５の態様のいずれか１つにおいて、第１搬送ローラ装置は、その内部が雰囲気ガスで満たされたフード内に配置されていてもよい。第２搬送ローラ装置は、雰囲気ガスを空気に置換する置換室内に配置されていてもよい。上記の構成によれば、被処理物を安定して置換室に向けて搬送することができる。
【0016】
本明細書に開示する技術の第７の態様では、上記の第１から第６の態様のいずれか１つにおいて、搬送装置は、ストッパよりも下流側に配置されており、搬送方向を第１方向から第１方向に略直交する第２方向に変更する第１ターン装置をさらに備えていてもよい。上記の構成によれば、搬送装置が第１方向に大型化することを抑制することができる。
【0017】
本明細書に開示する技術の第８の態様では、上記の第７の態様において、第１ターン装置は、第１方向に２個の被処理物を並べて配置可能であって、複数の被処理物が第２方向に搬送される搬送通路を備えていてもよい。上記の構成によれば、２個の被処理物が、搬送方向に並んだ状態で第１搬送ローラ装置から第１ターン装置に搬送されても、搬送方向に並んだ２個の被処理物が第１ターン装置から脱落することを抑制することができる。
【0018】
本明細書に開示する技術の第９の態様では、上記の第８の態様において、第１方向における搬送通路の幅は、長手方向における被処理物の幅の３倍以下であってもよい。上記の構成によれば、第１ターン装置が第１方向に大型化することを抑制しつつ、搬送方向に並んだ２個の被処理物が第１ターン装置の搬送通路から脱落することを抑制することができる。
【0019】
本明細書に開示する技術の第１０の態様では、上記の第７から第９の態様のいずれか１つにおいて、搬送装置は、第１ターン装置よりも下流側に配置されており、搬送方向を第２方向から、第２方向に略直交すると共に第１方向と反対となる第３方向に変更する第２ターン装置と、第２ターン装置の搬送通路上に、第２方向に複数の被処理物を並べて整列させる整列装置と、をさらに備えていてもよい。上記の構成によれば、複数の被処理物が第２方向に整列された状態で、複数の被処理物を第３方向に搬送することができる。
【0020】
（第１実施例）
図１に示す第１実施例の搬送装置１０は、複数の被処理物２を搬送するように構成されている。搬送装置１０は、複数の被処理物２を熱処理するための熱処理システム１００で用いられる。まず、熱処理システム１００を説明する。熱処理システム１００は、熱処理炉１１０と、搬送装置１０と、を備えている。
図１に示す第１実施例の搬送装置１０は、複数の被処理物２を搬送するように構成されている。搬送装置１０は、複数の被処理物２を熱処理するための熱処理システム１００で用いられる。まず、熱処理システム１００を説明する。熱処理システム１００は、熱処理炉１１０と、搬送装置１０と、を備えている。
【0021】
熱処理炉１１０は、複数の匣鉢４内に収容された被処理物本体６を熱処理する。本実施例では、匣鉢４と、被処理物本体６と、を合わせて被処理物２という。匣鉢４は、略直方体形状の箱形状を有する。被処理物本体６は、例えば、セラミックス製の誘電体と電極を積層した積層体、および、リチウムイオン電池の正極材と負極材である。
【0022】
熱処理炉１１０は、炉体１１２と、複数のヒータ１１４と、を備えている。炉体１１２は、Ｘ方向に延びる略直方体形状を有する。炉体１１２は、炉体１１２の一端に配置される入口１１６と、炉体１１２の他端に配置される出口１１８と、を備えている。また、炉体１１２は、内部に熱処理空間１２０を画定している。熱処理空間１２０は、雰囲気ガスで満たされている。雰囲気ガスは、例えば、酸素ガス、不活性ガス（例えば窒素ガス）である。熱処理空間１２０は、入口１１６と出口１１８を介して、炉体１１２の外部の空間と連通している。複数の被処理物２は、搬送装置１０に搬送されて熱処理空間１２０を搬送方向Ｄ１に移動する。
【0023】
複数のヒータ１１４は、熱処理空間１２０に配置されている。複数のヒータ１１４は、Ｘ方向に略等間隔に並んで配置されている。ヒータ１１４は、発熱することにより、熱処理空間１２０を加熱する。これにより、熱処理空間１２０内を移動する間に、被処理物２（詳細には、匣鉢４内に収容された被処理物本体６）が熱処理される。
【0024】
図２に示すように、搬送装置１０は、熱処理搬送ローラ装置１２と、切り離し搬送ローラ装置１４と、ストッパ前搬送ローラ装置１６と、第１ストッパ１８と、第１検出器２０（図４参照）と、第１ターン装置２２と、置換室搬送ローラ装置２４と、置換室後搬送ローラ装置２６と、第２検出器２７（図６参照）と、切り離しローラ装置２８と、第２ストッパ３０と、整列台ローラ装置３２と、整列装置３４と、第２ターン入口装置３６と、第２ターン装置３８と、第３検出器４０（図６参照）と、第４検出器４１（図６参照）と、冷却搬送ローラ装置４２と、制御ユニット４４（図１参照）と、を備えている。制御ユニット４４は、駆動装置４５（図１参照）を制御することにより、熱処理搬送ローラ装置１２と、切り離し搬送ローラ装置１４と、ストッパ前搬送ローラ装置１６と、第１ターン装置２２と、置換室搬送ローラ装置２４と、置換室後搬送ローラ装置２６と、切り離しローラ装置２８と、整列台ローラ装置３２と、第２ターン入口装置３６と、第２ターン装置３８と、冷却搬送ローラ装置４２の動作を制御する。
【0025】
図１および図３に示すように、熱処理搬送ローラ装置１２は、炉体１１２の入口１１６近傍から、熱処理空間１２０を通って炉体１１２の出口１１８の近傍まで延びている。熱処理搬送ローラ装置１２は、その両端が回転可能に支持された複数のローラを備えている。複数の被処理物２は、回転する複数のローラにより搬送され、熱処理搬送ローラ装置１２の搬送通路１２ａを、入口１１６から出口１１８に向かって移動する。このとき、複数の被処理物２は、搬送方向Ｄ１に所定の間隔で並べられた状態で、入口１１６から熱処理空間１２０に連続して搬入される。複数の被処理物２が搬送通路１２ａを移動するとき、搬送方向Ｄ１は、＋Ｘ方向と略同一である。また、複数の被処理物２は、搬送通路１２ａ上で列方向Ｄ２に所定数（本実施例では６個）並べられた状態で、入口１１６から熱処理空間１２０に搬入される。列方向Ｄ２は、搬送方向Ｄ１に略直交しており、複数の被処理物２が搬送通路１２ａを移動するとき、Ｙ方向と略同一である。複数の被処理物２は、列方向Ｄ２における搬送通路１２ａの中央部分に載置される。熱処理空間１２０に搬入された複数の被処理物２は、熱処理空間１２０内を搬送方向Ｄ１に移動して、出口１１８から熱処理空間１２０の外部に搬出される。
【0026】
図２に示すように、切り離し搬送ローラ装置１４は、熱処理搬送ローラ装置１２よりも搬送方向Ｄ１における下流側に配置されている。切り離し搬送ローラ装置１４は、Ｘ方向に延びている。切り離し搬送ローラ装置１４は、ストッパ前搬送ローラ装置１６と、第１ストッパ１８と、第１検出器２０（図４参照）と、第１ターン装置２２とともに、フード４６内に配置されている。図２では、フード４６が破線で図示されている。フード４６内には、雰囲気ガスが満たされている。雰囲気ガスは、例えば、酸素ガス、不活性ガス（例えば窒素ガス）である。フード４６内の雰囲気ガスは、炉体１１２内の雰囲気ガスと同一である。
【0027】
図４に示すように、切り離し搬送ローラ装置１４は、その両端が回転可能に支持された複数のローラを備えている。複数の被処理物２は、回転する複数のローラにより搬送され、切り離し搬送ローラ装置１４の搬送通路１４ａ上を搬送方向Ｄ１に移動する。複数の被処理物２が搬送通路１４ａを移動しているとき、搬送方向Ｄ１は、＋Ｘ方向と略同一である。図４では、熱処理炉１１０への搬入時に列方向Ｄ２に並んでいた６個の被処理物２に、一方の端部の被処理物２から他方の端部の被処理物２に向けて、順番に符号Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆが付されている。切り離し搬送ローラ装置１４は、低速部５０と、増速部５２と、高速部５４と、を備えている。上流から下流に向かって、低速部５０と、増速部５２と、高速部５４が順番に並んでいる。
【0028】
低速部５０の複数のローラは、熱処理搬送ローラ装置１２の複数のローラの回転速度と略同一の速度で回転する。このため、低速部５０は、熱処理炉１１０からの複数の被処理物２の搬出速度と略同一の搬送速度で、複数の被処理物２を搬送する。
【0029】
増速部５２は、複数の被処理物２の搬送速度を段階的に増加させる。増速部５２は、第１増速部５６と、第２増速部５８と、を備えている。上流から下流に向かって、第１増速部５６と第２増速部５８が順番に並んでいる。第１増速部５６の複数のローラは、低速部５０のローラの回転速度よりも高い速度で回転する。このため、第１増速部５６は、低速部５０での搬送速度よりも高い第１速度で、複数の被処理物２を搬送する。第１速度は、低速部５０での搬送速度の１倍よりも大きく、かつ１０倍以下であり、好ましくは２倍以上かつ４倍以下である。第２増速部５８の複数のローラは、第１増速部５６のローラの回転速度よりも高い速度で回転する。このため、第２増速部５８は、第１増速部５６での第１速度よりも高い第２速度で、複数の被処理物２を搬送する。第２速度は、低速部５０での搬送速度の３倍以上かつ３０倍以下であり、好ましくは５倍以上かつ２０倍以下である。
【0030】
高速部５４の複数のローラは、第２増速部５８のローラの回転速度よりも高い速度で回転する。このため、高速部５４は、第２増速部５８での第２速度よりも高い切り離し速度で、複数の被処理物２を搬送する。切り離し速度は、低速部５０での搬送速度の３倍以上かつ３０倍以下であり、好ましくは１０倍以上３０倍以下である。搬送方向Ｄ１における高速部５４の長さは、搬送方向Ｄ１における低速部５０と増速部５２の長さの合計よりも長い。複数の被処理物２が切り離し搬送ローラ装置１４を通過すると、搬送方向Ｄ１における複数の被処理物２の間隔、例えば、符号Ａが付された前列の被処理物２（先に搬入された被処理物２）と符号Ａが付された後列の被処理物２（後に搬入された被処理物２）との間隔は、熱処理炉１１０の入口１１６への搬入時の間隔よりも広がる。即ち、符号Ａが付された前列の被処理物２がまず増速部５２に到達して増速部５２で搬送されても、符号Ａが付された後列の被処理物２は低速部５０で搬送されている。この結果、両者の間隔が広がる。また、同様に、Ｙ方向に隣接する複数の被処理物２の搬送方向Ｄ１における間隔、例えば、符号Ａが付された被処理物２と符号Ｂが付された被処理物２との間の搬送方向Ｄ１における間隔は、熱処理炉１１０の出口１１８からの搬出時の間隔よりも広がる。これらにより、複数の被処理物２は、搬送方向Ｄ１に並ぶ被処理物群に分割される。なお、被処理物２の搬送速度は、第１増速部５６と第２増速部５８と高速部５４により徐々に加速されるため、被処理物２とローラとの間に滑りが発生することを抑制し、被処理物２の搬送速度を安定して増速することができる。
【0031】
ストッパ前搬送ローラ装置１６は、切り離し搬送ローラ装置１４よりも下流側に配置されている。ストッパ前搬送ローラ装置１６は、その両端が回転可能に支持された複数のローラを備えている。複数の被処理物２は、回転する複数のローラにより搬送され、ストッパ前搬送ローラ装置１６の搬送通路１６ａ上を搬送方向Ｄ１に移動する。複数の被処理物２が搬送通路１６ａを移動しているとき、搬送方向Ｄ１は、＋Ｘ方向と略同一である。ストッパ前搬送ローラ装置１６の複数のローラは、高速部５４のローラの回転速度と同一の速度で回転する。このため、ストッパ前搬送ローラ装置１６は、切り離し速度で複数の被処理物２を搬送する。
【0032】
第１ストッパ１８は、ストッパ前搬送ローラ装置１６よりも下流側であって、第１ターン装置２２よりも上流側に配置されている。第１ストッパ１８は、ストッパ前搬送ローラ装置１６の搬送通路１６ａの幅方向（Ｙ方向）に延びる平板形状を有する。Ｙ方向に関して、第１ストッパ１８の長さは、ストッパ前搬送ローラ装置１６の長さよりも長い。第１ストッパ１８は、通過禁止位置と通過許容位置との間を＋Ｚ方向と－Ｚ方向に移動する。第１ストッパ１８が通過禁止位置に位置するとき、第１ストッパ１８は、ストッパ前搬送ローラ装置１６と第１ターン装置２２との間を搬送方向Ｄ１に塞ぐように配置される。このため、複数の被処理物２は、ストッパ前搬送ローラ装置１６の搬送通路１６ａを通過するときに第１ストッパ１８に当接することにより、搬送通路１６ａ上に留まり、ストッパ前搬送ローラ装置１６から第１ターン装置２２に移動することができない。即ち、第１ストッパ１８は、搬送方向Ｄ１に隣接する被処理物群の間に配置される。この状態では、第１ストッパ１８よりも上流側では、第１ストッパ１８により移動を禁止された被処理物２と、その上流を搬送される被処理物２との搬送方向Ｄ１の間隔は短くなる。一方、第１ストッパ１８が通過許容位置に位置するとき、第１ストッパ１８は、ストッパ前搬送ローラ装置１６と第１ターン装置２２のそれぞれから、－Ｚ方向に離れて配置される。このとき、第１ストッパ１８は、ストッパ前搬送ローラ装置１６と第１ターン装置２２との間を搬送方向Ｄ１に塞がない。このため、第１ストッパ１８により移動を禁止された被処理物２は、第１ターン装置２２に移動することができ、また、ストッパ前搬送ローラ装置１６を搬送される複数の被処理物２は、第１ストッパ１８に当接することなく、ストッパ前搬送ローラ装置１６から第１ターン装置２２に移動することができる。
【0033】
第１検出器２０は、切り離し搬送ローラ装置１４の搬送通路１４ａの幅方向（Ｙ方向）に高速部５４を挟むように配置されている。第１検出器２０は、高速部５４での複数の被処理物２の配置を検出する。第１検出器２０は、例えば、Ｙ方向にレーザを照射可能な透過型光電センサである。変形例では、第１検出器２０は、透過型光電センサに限られず、例えば、位置センサ、ＣＣＤセンサ、またはＣＭＯＳセンサであってもよい。第１検出器２０が透過型光電センサであるとき、第１検出器２０は、投光器２０ａと、受光器２０ｂと、を備えている。投光器２０ａは、制御ユニット４４に制御されて、＋Ｙ方向にレーザを照射する。被処理物２が投光器２０ａと受光器２０ｂとの間にあるとき、受光器２０ｂは、投光器２０ａから照射されたレーザを受光することができない。一方、被処理物２が投光器２０ａと受光器２０ｂとの間にないとき、受光器２０ｂは、投光器２０ａから照射されたレーザを受光することができる。受光器２０ｂでのレーザの検出結果は、制御ユニット４４に送信される。
【0034】
第１ターン装置２２の詳細を説明する前に、複数の被処理物２を第１ターン装置２２に搬送する流れを説明する。図１に示すように、複数の被処理物２は、炉体１１２の入口１１６から熱処理空間１２０に搬入され、炉体１１２の出口１１８から切り離し搬送ローラ装置１４に搬出される。複数の被処理物２は、熱処理空間１２０内の熱処理搬送ローラ装置１２のローラ上を移動している間、例えば、ローラの撓みや反りにより、列方向Ｄ２に並べられた被処理物２の間で搬送速度が相違したり、各被処理物２が蛇行したりすることがある。これにより、符号Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆで示される６個の被処理物２は、熱処理空間１２０への搬入前には、列方向Ｄ２（Ｙ方向）に一列に並んでいたものの、図４に示すように、熱処理空間１２０からの搬出後には、列方向Ｄ２（Ｙ方向）に一列に並んでいないことがある。即ち、熱処理空間１２０からの搬出後では、符号Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆで示される６個の被処理物２の間の搬送方向Ｄ１における間隔が、熱処理空間１２０への搬入前における６個の被処理物２の間の搬送方向Ｄ１における間隔よりも広がり、符号Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆで示される６個の被処理物２の搬送方向Ｄ１における位置関係が乱れる。また、前列の６個の被処理物２と後列の６個の被処理物２との間の搬送方向Ｄ１における間隔が、熱処理空間１２０への搬入前と熱処理空間１２０からの搬出後で変化することがある。また、被処理物２が蛇行することにより、被処理物２の間の列方向Ｄ２における間隔が変化し、さらに、被処理物２の姿勢が、熱処理空間１２０への搬入前と熱処理空間１２０からの搬出後で変化することがある。
【0035】
６個の被処理物２の間の搬送方向Ｄ１における間隔が広がった状態で、６個の被処理物２は、搬送通路１４ａ上を、低速部５０、第１増速部５６、第２増速部５８、高速部５４を順番に移動する。搬送速度が、第１増速部５６、第２増速部５８、高速部５４の順番に高くなるため、６個の被処理物２が第１増速部５６、第２増速部５８、高速部５４を順番に通過するにつれて、６個の被処理物２の間の搬送方向Ｄ１における間隔がさらに長くなる。また、搬送方向Ｄ１に隣接する２個の被処理物２の間隔、例えば、符号Ａで示される前列の被処理物２と符号Ａで示される後列の被処理物２の間隔が長くなる。これらにより、６個の被処理物２の間の搬送方向Ｄ１における間隔と、搬送方向Ｄ１に並ぶ各列の６個の被処理物２の間の間隔を安定して広げることができる。
【0036】
被処理物２は、高速部５４上で投光器２０ａと受光器２０ｂとの間を通過する。このとき、投光器２０ａから照射されたレーザが被処理物２に遮られることにより、受光器２０ｂは、レーザを受光しない。したがって、受光器２０ｂでレーザ光が受光されたとき、第１検出器２０よりも下流側を搬送される複数の被処理物２と、第１検出器２０よりも上流側を搬送される複数の被処理物２の間に間隔が形成されていることになる。また、受光器２０ｂでレーザ光を受光していない時間を計測することにより、第１検出器２０よりも上流側の被処理物２と下流側の被処理物２の間の間隔（距離）を計測することができる。制御ユニット４４は、受光器２０ｂがレーザを受光していないか否かを判断することにより、高速部５４での複数の被処理物２の配置を検出し、高速部５４を搬送される複数の被処理物２を、所定数以下（例えば、６個以下）の被処理物２により構成される被処理物群（被処理物２の集合体）に分類（分離）する。図４に示される複数の被処理物２の配置を例に挙げて、説明する。
【0037】
まず、符号Ａで示される被処理物２と、符号Ｂで示される被処理物２と、符号Ｄで示される被処理物２が投光器２０ａと受光器２０ｂとの間を搬送方向Ｄ１に順番に通過する。符号Ａ、Ｂ、Ｄで示される被処理物２が少なくとも部分的にＹ方向に重なり合っているため、符号Ａ、Ｂ、Ｄで示される被処理物２が投光器２０ａと受光器２０ｂとの間を通過している間、レーザは、被処理物２に遮られ、受光器２０ｂに受光されない。符号Ｄで示される被処理物２が投光器２０ａと受光器２０ｂとの間を通過すると、次に、符号Ｅで示される被処理物２が投光器２０ａと受光器２０ｂとの間を搬送方向Ｄ１に通過する。符号Ｄ、Ｅで示される被処理物２は、Ｙ方向に重なり合っていないため、符号Ｄで示される被処理物２が投光器２０ａと受光器２０ｂとの間を通過してから、符号Ｅで示される被処理物２が投光器２０ａと受光器２０ｂとの間を通過するまでの間、レーザは、被処理物２により遮られず、受光器２０ｂに受光される。制御ユニット４４は、レーザが受光器２０ｂに受光されたことを検知すると、レーザが受光器２０ｂに受光されていない間に投光器２０ａと受光器２０ｂとの間を通過した複数の被処理物２（即ち、符号Ａ、Ｂ、Ｄで示される被処理物２）を、第１の被処理物群ＧＰ１に分類する。第１の被処理物群ＧＰ１の被処理物２の個数は、熱処理空間１２０への搬入前に列方向Ｄ２に並んだ被処理物２の個数（即ち、６個）よりも少ない。
【0038】
符号Ｅで示される被処理物２が投光器２０ａと受光器２０ｂとの間を通過すると、次に、符号Ｆで示される被処理物２と符号Ｃで示される被処理物２が投光器２０ａと受光器２０ｂとの間を搬送方向Ｄ１に順番に通過する。さらに、符号Ａで示される後列の被処理物２も、投光器２０ａと受光器２０ｂとの間を搬送方向Ｄ１に通過する。符号Ｅ、Ｆ、Ｃ、Ａで示される被処理物２は、少なくとも部分的にＹ方向に重なり合っているため、符号Ｅ、Ｆ、Ｃ、Ａで示される被処理物２が投光器２０ａと受光器２０ｂとの間を通過している間、レーザは、被処理物２に遮られ、受光器２０ｂに受光されない。符号Ａで示される後列の被処理物２が投光器２０ａと受光器２０ｂとの間を通過すると、次に、符号Ｂで示される後列の被処理物２が投光器２０ａと受光器２０ｂとの間を搬送方向Ｄ１に通過する。符号Ａ、Ｂで示される後列の被処理物２は、Ｙ方向に重なり合っていないため、符号Ａで示される後列の被処理物２が投光器２０ａと受光器２０ｂとの間を通過してから、符号Ｂで示される後列の被処理物２が投光器２０ａと受光器２０ｂとの間を通過するまでの間、レーザは、被処理物２により遮られず、受光器２０ｂに受光される。制御ユニット４４は、レーザが受光器２０ｂに受光されたことを検知すると、レーザが受光器２０ｂに受光されていない間に投光器２０ａと受光器２０ｂとの間を通過した複数の被処理物２（即ち、符号Ｅ、Ｆ、Ｃで示される被処理物２と符号Ａで示される後列の被処理物２）を、第２の被処理物群ＧＰ２に分類する。第２の被処理物群ＧＰ２の被処理物２の個数は、熱処理空間１２０への搬入前に列方向Ｄ２に並んだ被処理物２の個数よりも少ない。制御ユニット４４は、搬送装置１０が動作している間、上記の処理を連続して実行する。
【0039】
第１の被処理物群ＧＰ１がストッパ前搬送ローラ装置１６まで到達すると、制御ユニット４４は、第１ストッパ１８を、通過禁止位置から通過許容位置に移動させる。これにより、第１の被処理物群ＧＰ１は、ストッパ前搬送ローラ装置１６から第１ターン装置２２に移動し、第１ターン装置２２上を移動する。制御ユニット４４は、第１の被処理物群ＧＰ１が第１ターン装置２２に移動したと判断すると（例えば、図示省略の検出装置により検出すると）、第１ストッパ１８を、通過許容位置から通過禁止位置に移動させる。これにより、第１ストッパ１８は、分割された第１の被処理物群ＧＰ１と、隣接する第２の被処理物群ＧＰ２との間に配置される。このため、第２の被処理物群ＧＰ２は、ストッパ前搬送ローラ装置１６から第１ターン装置２２に移動することができない。なお、制御ユニット４４は、第１ストッパ１８が通過許容位置に位置している間、低速部５０の複数のローラと、第１増速部５６の複数のローラと、第２増速部５８の複数のローラと、高速部５４の複数のローラを停止する。制御ユニット４４は、第１の被処理物群ＧＰ１が第１ターン装置２２を通過したと判断すると（例えば、第１ストッパ１８が通過禁止位置に移動してから所定時間経過したと判断すると）、第１ストッパ１８を、通過禁止位置から通過許容位置に移動させる。これにより、第２の被処理物群ＧＰ２は、ストッパ前搬送ローラ装置１６から第１ターン装置２２に移動し、第１ターン装置２２上を移動する。これにより、第１の被処理物群ＧＰ１と第２の被処理物群ＧＰ２が別々に安定して第１ターン装置２２に搬送される。
【0040】
次に、符号Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆで示される６個の被処理物２が、熱処理空間１２０からの搬出後にも、列方向Ｄ２（Ｙ方向）に一列に並んでいる場合を説明する。このとき、符号Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆで示される６個の被処理物２は、搬送通路１４ａ上を、低速部５０、第１増速部５６、第２増速部５８、高速部５４を順番に移動しても、列方向Ｄ２に一列に並んでいる。このため、符号Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆで示される６個の被処理物２は、投光器２０ａと受光器２０ｂとの間を略同時に通過する。この結果、制御ユニット４４は、符号Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆで示される６個の被処理物２を、第１の被処理物群ＧＰ１に分類する。また、制御ユニット４４は、符号Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆで示される後列の６個の被処理物２を、第２の被処理物群ＧＰ２に分類する。なお、第１の被処理物群ＧＰ１の被処理物２の個数と、第２の被処理物群ＧＰ２の被処理物２の個数は、それぞれ、熱処理空間１２０への搬入前に列方向Ｄ２に並んだ被処理物２の個数（即ち、６個）と同一である。その後、第１の被処理物群ＧＰ１と第２の被処理物群ＧＰ２が順番に、ストッパ前搬送ローラ装置１６から第１ターン装置２２に移動する。
【0041】
次に、第１ターン装置２２を説明する。第１ターン装置２２は、第１ストッパ１８よりも下流側に配置されている。第１ターン装置２２は、複数の被処理物２の搬送方向Ｄ１を、＋Ｘ方向から、Ｘ方向に直交する－Ｙ方向に変更する。これにより、搬送装置１０がＸ方向に大型化することが抑制される。また、第１ターン装置２２は、その両端が回転可能に支持された複数の第１ローラと、その両端が回転可能に支持された複数の第２ローラと、を備えている。複数の被処理物２は、回転する複数の第１ローラにより搬送され、搬送通路２２ａ上を＋Ｘ方向に移動するとともに、回転する複数の第２ローラにより搬送され、第１ターン装置２２の搬送通路２２ａ上を搬送方向Ｄ１（－Ｙ方向）に移動する。
【0042】
図５に示すように、搬送方向Ｄ１に直交する搬送通路２２ａの幅方向（Ｘ方向）に関して、搬送通路２２ａの幅Ｗ１は、被処理物２の長手方向の幅Ｗ２の２倍以上かつ３倍以下である。これにより、被処理物２の長手軸が搬送通路２２ａの幅方向に対して傾いているとき、例えば、傾斜角度が４５度であり、かつ、２個の被処理物２が搬送方向Ｄ１（Ｘ方向）に並んだ状態で搬送通路２２ａに移動しても、２個の被処理物２は、搬送通路２２ａ上にＸ方向に並んで配置可能であり、搬送通路２２ａから脱落しない。また、搬送通路２２ａの幅Ｗ１は、ストッパ前搬送ローラ装置１６のＸ方向の幅よりも大きい。
【0043】
図２に示すように、置換室搬送ローラ装置２４は、第１ターン装置２２よりも下流側に配置されている。置換室搬送ローラ装置２４は、Ｙ方向に延びている。置換室搬送ローラ装置２４は、その両端が回転可能に支持された複数のローラ（図６参照）を備えている。複数の被処理物２は、回転する複数のローラにより搬送され、置換室搬送ローラ装置２４の搬送通路２４ａ上を搬送方向Ｄ１（－Ｙ方向）に移動する。また、置換室搬送ローラ装置２４は、第１ターン装置２２による複数の被処理物２の搬送速度と同一の速度で、複数の被処理物２を搬送する。搬送通路２４ａの幅（Ｘ方向の寸法）は、第１ターン装置２２の搬送通路２２ａの幅Ｗ１と略同一である。また、置換室搬送ローラ装置２４は、置換室６２に配置されている。図２では、置換室６２が破線で図示されている。置換室６２は、雰囲気ガスを空気に置換する。
【0044】
置換室後搬送ローラ装置２６は、置換室搬送ローラ装置２４よりも下流側に配置されている。置換室後搬送ローラ装置２６は、Ｙ方向に延びている。置換室後搬送ローラ装置２６は、その両端が回転可能に支持された複数のローラ（図６参照）を備えている。複数の被処理物２は、回転する複数のローラにより搬送され、置換室後搬送ローラ装置２６の搬送通路２６ａ上を搬送方向Ｄ１（－Ｙ方向）に移動する。また、置換室後搬送ローラ装置２６は、第１ターン装置２２による複数の被処理物２の搬送速度と同一の速度で、複数の被処理物２を搬送する。搬送通路２６ａの幅（Ｘ方向の寸法）は、第１ターン装置２２の搬送通路２２ａの幅Ｗ１と略同一である。
【0045】
図６に示すように、第２検出器２７は、置換室後搬送ローラ装置２６の近傍に配置されている。例えば、第２検出器２７は、置換室後搬送ローラ装置２６よりも＋Ｘ側または－Ｘ側に配置されていてもよく、置換室後搬送ローラ装置２６よりも＋Ｚ側に配置されていてもよい。第２検出器２７は、置換室後搬送ローラ装置２６の搬送通路２６ａ上の被処理物２の位置を検出する。第２検出器２７は、例えば、ＣＣＤカメラまたはＣＭＯＳカメラである。
【0046】
切り離しローラ装置２８は、置換室後搬送ローラ装置２６よりも下流側に配置されている。切り離しローラ装置２８は、第１切り離しローラ装置６４と、第２切り離しローラ装置６６と、を備えている。第１切り離しローラ装置６４と第２切り離しローラ装置６６は、Ｙ方向に並んでいる。第１切り離しローラ装置６４と第２切り離しローラ装置６６は、回転可能に支持された複数のローラ（図６参照）を備えている。複数の被処理物２は、回転する複数のローラにより搬送され、第１切り離しローラ装置６４の搬送通路６４ａ上と、第２切り離しローラ装置６６の搬送通路６６ａ上のそれぞれを搬送方向Ｄ１（－Ｙ方向）に移動する。また、第１切り離しローラ装置６４と第２切り離しローラ装置６６は、置換室後搬送ローラ装置２６による複数の被処理物２の搬送速度の１．５倍以上かつ５倍以下の速度で、複数の被処理物２を搬送する。第１切り離しローラ装置６４の複数のローラと、第２切り離しローラ装置６６の複数のローラは、それぞれ独立して動作する。搬送通路６４ａの幅（Ｘ方向の寸法）と搬送通路６６ａの幅（Ｘ方向の寸法）のそれぞれは、第１ターン装置２２の搬送通路２２ａの幅Ｗ１と略半分である。
【0047】
第２ストッパ３０は、切り離しローラ装置２８よりも下流側であって、整列台ローラ装置３２よりも上流側に配置されている。第２ストッパ３０は、第２左ストッパ６８と、第２右ストッパ７０と、を備えている。第２左ストッパ６８は、第１切り離しローラ装置６４と整列台ローラ装置３２との間に配置されている。第２右ストッパ７０は、第２切り離しローラ装置６６と整列台ローラ装置３２との間に配置されている。第２左ストッパ６８と第２右ストッパ７０は、通過禁止位置と通過許容位置との間を＋Ｚ方向と－Ｚ方向に移動する。第２左ストッパ６８と第２右ストッパ７０は、独立して動作する。第２左ストッパ６８と第２右ストッパ７０が通過禁止位置に位置するとき、第２左ストッパ６８は、第１切り離しローラ装置６４と整列台ローラ装置３２との間を搬送方向Ｄ１に塞ぐように配置され、第２右ストッパ７０は、第２切り離しローラ装置６６と整列台ローラ装置３２との間を搬送方向Ｄ１に塞ぐように配置される。このため、複数の被処理物２は、第２左ストッパ６８と第２右ストッパ７０の一方に当接することにより、搬送通路６４ａ、６６ａ上に留まり、切り離しローラ装置２８から整列台ローラ装置３２に移動することができない。一方、第２左ストッパ６８と第２右ストッパ７０が通過許容位置に位置するとき、第２左ストッパ６８と第２右ストッパ７０は、切り離しローラ装置２８と整列台ローラ装置３２のそれぞれから－Ｚ方向に離れて配置される。このとき、第２左ストッパ６８は、第１切り離しローラ装置６４と整列台ローラ装置３２との間を搬送方向Ｄ１に塞がず、第２右ストッパ７０は、第２切り離しローラ装置６６と整列台ローラ装置３２との間を搬送方向Ｄ１に塞がない。このため、複数の被処理物２は、第２左ストッパ６８に当接することなく、第１切り離しローラ装置６４から整列台ローラ装置３２に移動することができ、第２右ストッパ７０に当接することなく、第２切り離しローラ装置６６から整列台ローラ装置３２に移動することができる。
【0048】
整列台ローラ装置３２は、回転可能に支持されている複数のローラを備えている。複数の被処理物２は、回転する複数のローラにより搬送され、整列台ローラ装置３２の搬送通路３２ａ上を搬送方向Ｄ１（－Ｙ方向）に移動する。また、整列台ローラ装置３２は、第１ターン装置２２による複数の被処理物２の搬送速度と同一の速度で、複数の被処理物２を搬送する。搬送通路３２ａの幅（Ｘ方向の寸法）は、第１ターン装置２２の搬送通路２２ａの幅Ｗ１と略同一である。
【0049】
整列装置３４は、幅方向（Ｘ方向）に整列台ローラ装置３２を挟むように配置されている。整列装置３４は、可動部７４と、固定部７６と、を備えている。可動部７４は、整列台ローラ装置３２の搬送通路３２ａ上を、＋Ｘ方向と－Ｘ方向に移動可能である。固定部７６は、可動部７４に対して＋Ｘ方向に配置されている。固定部７６は、移動不可能である。
【0050】
第２ターン入口装置３６は、整列台ローラ装置３２よりも下流側に配置されている。第２ターン入口装置３６は、回転可能に支持された複数のローラを備えている。複数の被処理物２は、回転する複数のローラにより搬送されて、第２ターン入口装置３６の搬送通路３６ａ上を搬送方向Ｄ１（－Ｙ方向）に移動する。また、第２ターン入口装置３６は、第１ターン装置２２による複数の被処理物２の搬送速度と同一の速度で、複数の被処理物２を搬送する。搬送通路３６ａの幅（Ｘ方向の寸法）は、第１ターン装置２２の搬送通路２２aの幅Ｗ１の略半分である。
【0051】
第２ターン装置３８は、第２ターン入口装置３６よりも下流側に配置されている。第２ターン装置３８は、複数の被処理物２の搬送方向Ｄ１を、－Ｙ方向から、Ｙ方向に直交する－Ｘ方向に変更する。これにより、搬送装置１０がＹ方向に大型化することが抑制される。搬送通路３８ａの幅（Ｙ方向の寸法）は、切り離し搬送ローラ装置１４の搬送通路１４ａの幅（Ｙ方向の寸法）と略同一である。このため、搬送通路３８ａには、６個の被処理物２を、幅方向に一列に並べて配置することができる。変形例では、搬送通路３８ａの幅は、搬送通路１４ａの幅と異なっていてもよい。
【0052】
また、第２ターン装置３８は、その両端が回転可能に支持された複数の第１ローラと、その両端が回転可能に支持された複数の第２ローラと、を備えている。複数の被処理物２は、回転する複数の第１ローラにより搬送され、第２ターン装置３８の搬送通路３８ａ上を－Ｙ方向に移動するとともに、回転する複数の第２ローラにより搬送され、搬送通路３８ａ上を－Ｘ方向に移動する。また、第２ターン装置３８は、高速部５４での切り離し速度よりも低い速度で、複数の被処理物２を搬送する。変形例では、第２ターン装置３８による複数の被処理物２の搬送速度は、熱処理炉１１０からの複数の被処理物２の搬出速度よりも大きい。
【0053】
第３検出器４０は、第２ターン入口装置３６と第２ターン装置３８との境界近傍に配置されている。第３検出器４０は、例えば、Ｘ方向にレーザを照射可能な透過型光電センサである。変形例では、第３検出器４０は、透過型光電センサに限られず、例えば、位置センサ、ＣＣＤセンサ、またはＣＭＯＳセンサであってもよい。第３検出器４０は、被処理物２が第２ターン入口装置３６と第２ターン装置３８との境界を通過しているか否かを検出する。
【0054】
第４検出器４１は、第２ターン装置３８のＹ方向における遠位端３８ｂ近傍に配置されている。第２ターン装置３８の遠位端３８ｂは、第２ターン入口装置３６から最も離反した位置に位置する端に対応する。第４検出器４１は、例えば、Ｘ方向にレーザを照射可能な透過型光電センサである。変形例では、第４検出器４１は、透過型光電センサに限られず、例えば、位置センサ、ＣＣＤセンサ、またはＣＭＯＳセンサであってもよい。第４検出器４１は、被処理物２が第２ターン装置３８の遠位端３８ｂ近傍に配置されているか否かを検出する。
【0055】
冷却搬送ローラ装置４２は、第２ターン装置３８よりも下流側に配置されている。冷却搬送ローラ装置４２は、その両端が回転可能に支持された複数のローラを備えている。複数の被処理物２は、回転する複数のローラにより搬送され、冷却搬送ローラ装置４２の搬送通路４２ａ上を搬送方向Ｄ１（－Ｘ方向）に移動する。また、冷却搬送ローラ装置４２は、第２ターン装置３８による複数の被処理物２の搬送速度と同一の速度で、複数の被処理物２を搬送する。搬送通路４２ａの幅（Ｙ方向の寸法）は、第２ターン装置３８の搬送通路３８ａの幅と略同一である。
【0056】
冷却搬送ローラ装置４２は、冷却室９０に配置されている。図６では、冷却室９０が破線で図示されている。冷却室９０は、熱処理された被処理物２を冷却するように構成されている。複数の被処理物２は、搬送通路４２ａ上を移動する間に冷却される。
【0057】
最後に、複数の被処理物２を、置換室後搬送ローラ装置２６から冷却搬送ローラ装置４２に搬送する流れを説明する。置換室搬送ローラ装置２４により搬送された複数の被処理物２は、置換室後搬送ローラ装置２６の搬送通路２６ａ上を－Ｙ方向に移動し、その後に、切り離しローラ装置２８に移動する。被処理物２が、搬送通路２６ａ上で第１切り離しローラ装置６４と第２切り離しローラ装置６６との境界よりも＋Ｘ方向に位置しているとき、被処理物２は、第１切り離しローラ装置６４の搬送通路６４ａに移動し、第２左ストッパ６８に当接する。また、被処理物２が、搬送通路２６ａ上で第１切り離しローラ装置６４と第２切り離しローラ装置６６との境界よりも－Ｘ方向に位置しているとき、被処理物２は、第２切り離しローラ装置６６の搬送通路６６ａに移動し、第２右ストッパ７０に当接する。また、第２検出器２７は、制御ユニット４４の制御により、搬送通路２６ａ上での複数の被処理物２の位置を検出する。具体的には、第２検出器２７は、被処理物２が、第１切り離しローラ装置６４と第２切り離しローラ装置６６との境界よりも＋Ｘ方向と－Ｘ方向のいずれの方向に位置するかどうかを検出する。第２検出器２７による検出結果は、制御ユニット４４に送信される。以下では、２個の被処理物２がＸ方向に並んでおり、一方の被処理物２が第１切り離しローラ装置６４に移動し、他方の被処理物２が第２切り離しローラ装置６６に移動した場合を説明する。
【0058】
まず、制御ユニット４４は、第２左ストッパ６８を通過禁止位置から通過許容位置に移動させ、第１切り離しローラ装置６４の複数のローラを回転させる。これにより、一方の被処理物２は、整列台ローラ装置３２の搬送通路３２ａに移動する。次に、制御ユニット４４は、可動部７４を固定部７６に向かって＋Ｘ方向に移動させ、その後に－Ｘ方向に移動させて初期位置に復帰させる。これにより、一方の被処理物２は、可動部７４と固定部７６との間に挟まれ、一方の被処理物２の向きが所定の向きに調整される。可動部７４が移動している間に、第２左ストッパ６８が通過許容位置から通過禁止位置に復帰する。次に、制御ユニット４４は、整列台ローラ装置３２の複数のローラと、第２ターン入口装置３６の複数のローラを回転させる。これにより、一方の被処理物２は、整列台ローラ装置３２の搬送通路３２ａと、第２ターン入口装置３６の搬送通路３６ａを順番に－Ｙ方向に移動する。
【0059】
次に、制御ユニット４４は、第２右ストッパ７０を通過禁止位置から通過許容位置に移動させ、第２切り離しローラ装置６６の複数のローラを回転させる。これにより、他方の被処理物２は、整列台ローラ装置３２の搬送通路３２ａに移動する。次に、制御ユニット４４は、可動部７４を固定部７６に向かって＋Ｘ方向に移動させ、その後に－Ｘ方向に移動させて初期位置に復帰させる。これにより、他方の被処理物２は、第２右ストッパ７０前から第２左ストッパ６８前まで＋Ｘ方向に移動し、その後に、可動部７４と固定部７６との間に挟まれ、他方の被処理物２の向きが所定の向きに調整される。可動部７４が移動している間に、第２右ストッパ７０が通過許容位置から通過禁止位置に復帰する。次に、制御ユニット４４は、整列台ローラ装置３２の複数のローラと、第２ターン入口装置３６の複数のローラと、第２ターン装置３８の複数の第１ローラを回転させる。これにより、他方の被処理物２は、整列台ローラ装置３２の搬送通路３２ａと、第２ターン入口装置３６の搬送通路３６ａと、第２ターン装置３８の搬送通路３８ａを順番に－Ｙ方向に移動する。
【0060】
第３検出器４０は、被処理物２が移動しているとき、制御ユニット４４の制御により、被処理物２が第２ターン装置３８の搬送通路３８ａに移動し終えたか否かを検出している。第３検出器４０による検出結果は、制御ユニット４４に送信される。制御ユニット４４が、受信した検出結果に基づいて、被処理物２を第２ターン入口装置３６から第２ターン装置３８に移動させる移動処理を繰り返すことにより、複数の被処理物２が、第２ターン装置３８の搬送通路３８ａに載置される。また、最初に第２ターン装置３８に移動した被処理物２は、移動処理が繰り返されることにより、第２ターン装置３８の遠位端３８ｂに向かって徐々に移動する。
【0061】
第４検出器４１は、被処理物２が第２ターン装置３８の遠位端３８ｂ近傍に配置されているか否かを検出している。なお、被処理物２が第２ターン装置３８の遠位端３８ｂ近傍に配置されるとき、６個の被処理物２が、第２ターン装置３８の搬送通路３８ａに載置されることとなる。第４検出器４１による検出結果は、制御ユニット４４に送信される。制御ユニット４４は、被処理物２が第２ターン装置３８の遠位端３８ｂ近傍に配置されていると判断すると、第２ターン装置３８の複数の第２ローラを回転させる。これにより、６個の被処理物２は、－Ｘ方向に移動し、第２ターン装置３８の搬送通路３８ａから冷却搬送ローラ装置４２の搬送通路４２ａに移動する。６個の被処理物２は、搬送通路４２ａを移動している間に冷却される。
【0062】
（効果）
本実施例の搬送装置１０は、列方向Ｄ２に６個（所定数の一例）並べた被処理物２を、搬送方向Ｄ１に所定の間隔で連続して熱処理炉１１０に搬入し、熱処理炉１１０内で熱処理された複数の被処理物２を熱処理炉１１０から搬送する。搬送装置１０は、熱処理炉１１０から搬出された複数の被処理物２を、熱処理炉１１０から被処理物２を搬出するときの搬出速度よりも高い速度で搬送方向Ｄ１に搬送する切り離し搬送ローラ装置１４（第１搬送ローラ装置の一例）と、切り離し搬送ローラ装置１４よりも下流側に配置されている置換室搬送ローラ装置２４（第２搬送ローラ装置の一例）と、切り離し搬送ローラ装置１４よりも下流側であって、置換室搬送ローラ装置２４よりも上流側に配置されており、搬送方向Ｄ１への被処理物２の移動を禁止する第１ストッパ１８（ストッパの一例）と、を備えている。切り離し搬送ローラ装置１４は、複数の被処理物２の間の搬送方向Ｄ１における間隔を、熱処理炉１１０からの搬出時での複数の被処理物２の間の搬送方向Ｄ１における間隔よりも広い間隔に広げることで、複数の被処理物２を、６個または６個よりも少ない数の被処理物２を含む被処理物群ＧＰ１，ＧＰ２（被処理物群の一例）に分割する。
本実施例の搬送装置１０は、列方向Ｄ２に６個（所定数の一例）並べた被処理物２を、搬送方向Ｄ１に所定の間隔で連続して熱処理炉１１０に搬入し、熱処理炉１１０内で熱処理された複数の被処理物２を熱処理炉１１０から搬送する。搬送装置１０は、熱処理炉１１０から搬出された複数の被処理物２を、熱処理炉１１０から被処理物２を搬出するときの搬出速度よりも高い速度で搬送方向Ｄ１に搬送する切り離し搬送ローラ装置１４（第１搬送ローラ装置の一例）と、切り離し搬送ローラ装置１４よりも下流側に配置されている置換室搬送ローラ装置２４（第２搬送ローラ装置の一例）と、切り離し搬送ローラ装置１４よりも下流側であって、置換室搬送ローラ装置２４よりも上流側に配置されており、搬送方向Ｄ１への被処理物２の移動を禁止する第１ストッパ１８（ストッパの一例）と、を備えている。切り離し搬送ローラ装置１４は、複数の被処理物２の間の搬送方向Ｄ１における間隔を、熱処理炉１１０からの搬出時での複数の被処理物２の間の搬送方向Ｄ１における間隔よりも広い間隔に広げることで、複数の被処理物２を、６個または６個よりも少ない数の被処理物２を含む被処理物群ＧＰ１，ＧＰ２（被処理物群の一例）に分割する。
【0063】
上記の構成によれば、搬送方向Ｄ１における複数の被処理物２の位置関係が大きく乱れた状態で複数の被処理物２が熱処理炉１１０から搬出されたとしても、切り離し搬送ローラ装置１４が搬出速度よりも高い速度で複数の被処理物２を搬送することにより、搬送方向Ｄ１における複数の被処理物２の間隔が広がる。即ち、先に搬出された被処理物２と、後に搬出された被処理物２との搬送方向Ｄ１の間隔が広がる。これにより、第１ストッパ１８により先に搬出された被処理物群ＧＰ１の搬送方向Ｄ１への移動が禁止されても、先に搬出された被処理物群ＧＰ１と後に搬出された被処理物群ＧＰ２との間隔が無くなることを抑制することができる。この結果、搬送方向Ｄ１に隣接する被処理物群ＧＰ１、ＧＰ２を第１ストッパ１８により分割し易くなり、被処理物２を安定して置換室搬送ローラ装置２４に向けて搬送することができる。
【0064】
（対応関係）
本実施例では、整列台ローラ装置３２と整列装置３４と第２ターン入口装置３６が、「整列装置」に対応する。
本実施例では、整列台ローラ装置３２と整列装置３４と第２ターン入口装置３６が、「整列装置」に対応する。
【0065】
（第２実施例）
図７を参照して、第２実施例を説明する。第２実施例では、第１実施例と異なる点のみ説明する。第２実施例では、搬送装置１０は、第１実施例の整列台ローラ装置３２と整列装置３４を備えていない。また、第２実施例では、第２ストッパ３０は、第２左ストッパ６８と第２右ストッパ７０に分かれていない。第２ストッパ３０は、移動不可能である。第２ストッパは、通過禁止位置に固定されている。第２ストッパ３０は、複数の被処理物２が切り離しローラ装置２８から脱落することを抑制する。
図７を参照して、第２実施例を説明する。第２実施例では、第１実施例と異なる点のみ説明する。第２実施例では、搬送装置１０は、第１実施例の整列台ローラ装置３２と整列装置３４を備えていない。また、第２実施例では、第２ストッパ３０は、第２左ストッパ６８と第２右ストッパ７０に分かれていない。第２ストッパ３０は、移動不可能である。第２ストッパは、通過禁止位置に固定されている。第２ストッパ３０は、複数の被処理物２が切り離しローラ装置２８から脱落することを抑制する。
【0066】
第２実施例では、複数の被処理物２は、回転する第２切り離しローラ装置６６の複数のローラにより、搬送通路６６ａを－Ｙ方向と＋Ｘ方向の両方向に移動する。このため、被処理物２は、第２切り離しローラ装置６６の搬送通路６６ａ上にあるとき、複数のローラの回転により、搬送通路６６ａから第１切り離しローラ装置６４の搬送通路６４ａに移動する。
【0067】
第２実施例では、搬送装置１０は、整列装置１７４を備えている。整列装置１７４は、第１切り離しローラ装置６４の搬送通路６４ａ上の被処理物２を第２ターン入口装置３６の搬送通路３６ａ上に移動させる。整列装置１７４は、把持部１７６と、スライド部１７８と、を備えている。把持部１７６は、被処理物２を把持可能である。把持部１７６は、例えば、被処理物２を挟む一対のアームを備えている。把持部１７６は、スライド部１７８に回動可能に取り付けられている。把持部１７６は、被処理物２を把持した状態でスライド部１７８に対して回動することにより、被処理物２の向きを所定の向きに調整する。また、把持部１７６は、Ｚ方向に移動可能にスライド部１７８に取り付けられている。スライド部１７８は、Ｘ方向とＹ方向に移動可能である。
【0068】
次に、整列装置１７４の動作を説明する。まず、制御ユニット４４は、スライド部１７８を、第１切り離しローラ装置６４の搬送通路６４ａ上の被処理物２の直上まで移動させる。次に、制御ユニット４４は、スライド部１７８に取り付けられた図示省略の検出器（例えばＣＣＤカメラまたはＣＭＯＳカメラ）の検出結果に基づいて、被処理物２の向きに合わせて把持部１７６を回動させる。次に、制御ユニット４４は、把持部１７６を－Ｚ方向に移動させる。次に、制御ユニット４４は、把持部１７６の一対のアームを閉じる。これにより、被処理物２が把持部１７６に把持される。次に、制御ユニット４４は、把持部１７６を＋Ｚ方向に、スライド部１７８を－Ｙ方向に、把持部１７６を－Ｚ方向に順番に移動させる。これにより、被処理物２は、第２ストッパ３０を超えて、第２ターン入口装置３６の搬送通路３６ａ上に移動する。制御ユニット４４は、スライド部１７８が移動する間に、把持部１７６を所定の位置まで回動させる。これにより、被処理物２の向きが所定の向きに調整される。最後に、制御ユニット４４は、把持部１７６の一対のアームを開く。これにより、被処理物２は、第２ターン入口装置３６の搬送通路３６ａ上に載置される。
【0069】
（対応関係）
本実施例では、切り離しローラ装置２８と第２ターン入口装置３６と整列装置１７４が、「整列装置」の一例である。
本実施例では、切り離しローラ装置２８と第２ターン入口装置３６と整列装置１７４が、「整列装置」の一例である。
【0070】
（第３実施例）
図８を参照して、第３実施例を説明する。第３実施例では、第１実施例と異なる点のみ説明する。第３実施例では、搬送装置１０は、第１実施例の第２検出器２７と、第２ストッパ３０と、整列台ローラ装置３２と、整列装置３４と、第２ターン入口装置３６と、第２ターン装置３８と、第３検出器４０と、を備えていない。また、第３実施例では、切り離しローラ装置２８は、第１切り離しローラ装置６４と第２切り離しローラ装置６６に分かれていない。
図８を参照して、第３実施例を説明する。第３実施例では、第１実施例と異なる点のみ説明する。第３実施例では、搬送装置１０は、第１実施例の第２検出器２７と、第２ストッパ３０と、整列台ローラ装置３２と、整列装置３４と、第２ターン入口装置３６と、第２ターン装置３８と、第３検出器４０と、を備えていない。また、第３実施例では、切り離しローラ装置２８は、第１切り離しローラ装置６４と第２切り離しローラ装置６６に分かれていない。
【0071】
第３実施例では、搬送装置１０は、冷却搬送ローラ装置入口部２３８と、整列装置２７４と、を備えている。冷却搬送ローラ装置入口部２３８は、冷却搬送ローラ装置４２の上流側に（＋Ｘ方向に）配置されている。冷却搬送ローラ装置入口部２３８は、その両端が回転可能に支持された複数のローラを備えている。複数の被処理物２は、回転する複数のローラにより搬送され、冷却搬送ローラ装置入口部２３８の搬送通路２３８ａ上を搬送方向Ｄ１（－Ｘ方向）に移動する。搬送通路２３８ａの幅（Ｙ方向の寸法）は、冷却搬送ローラ装置４２の搬送通路４２ａの幅と略同一である。
【0072】
整列装置２７４は、切り離しローラ装置２８よりも－Ｙ方向であって、冷却搬送ローラ装置入口部２３８よりも＋Ｘ方向に配置されている。整列装置２７４は、切り離しローラ装置２８と冷却搬送ローラ装置入口部２３８と離れて配置されている。
【0073】
整列装置２７４は、ベース２７６と、アーム２７８と、を備えている。アーム２７８の基端は、回動軸ＲＸ周りを回動可能にベース２７６に取り付けられている。アーム２７８は、チャック（図示省略）を備えており、チャックは、アーム２７８の先端に位置しており、被処理物２を保持可能である。
【0074】
第４検出器４１は、冷却搬送ローラ装置入口部２３８のＹ方向における近位端２３８ｂ近傍に配置されている。冷却搬送ローラ装置入口部２３８の近位端２３８ｂは、切り離しローラ装置２８に最も近い位置に位置する端に対応する。第４検出器４１は、被処理物２が冷却搬送ローラ装置入口部２３８の近位端２３８ｂ近傍に配置されているか否かを検出する。
【0075】
整列装置２７４の動作を説明する。制御ユニット４４は、アーム２７８の先端が切り離しローラ装置２８上の被処理物２の直上に位置するように、アーム２７８を、回動軸ＲＸ周りを切り離しローラ装置２８に向かって回動させる。次に、制御ユニット４４は、アーム２７８の先端に取り付けられている図示省略の検出器（例えばＣＣＤカメラまたはＣＭＯＳカメラ）の検出結果に基づいて、被処理物２の向きに合わせてチャックを回動させる。次に、制御ユニット４４は、チャックを操作する。これにより、被処理物２が、アーム２７８に把持される。次に、制御ユニット４４は、アーム２７８の先端が冷却搬送ローラ装置入口部２３８の搬送通路２３８ａ上の所定の位置に位置するように、アーム２７８を、回動軸ＲＸ周りを冷却搬送ローラ装置入口部２３８に向かって回動させる。最後に、制御ユニット４４は、アーム２７８のチャックを操作する。これにより、被処理物２は、冷却搬送ローラ装置入口部２３８の搬送通路２３８ａ上に載置される。なお、図８では、被処理物２がチャックから外されたときの被処理物２とアーム２７８が破線で図示されている。整列装置２７４による上記の動作が繰り返されると、６個の被処理物２が、搬送通路２３８ａ上に幅方向（Ｙ方向）に並べられる。また、整列装置２７４による上記の動作が繰り返されると、６個の被処理物２は、冷却搬送ローラ装置入口部２３８の遠位端から近位端２３８ｂに向かって順番に並べられる。なお、冷却搬送ローラ装置入口部２３８の遠位端は、近位端２３８ｂと反対側の端である。
【0076】
６個の被処理物２が搬送通路２３８ａ上に載置されているとき、１個の被処理物２は、冷却搬送ローラ装置入口部２３８の近位端２３８ｂ近傍に配置されている。制御ユニット４４は、冷却搬送ローラ装置入口部２３８の近位端２３８ｂ近傍に配置されていると判断すると、冷却搬送ローラ装置入口部２３８の複数のローラを回転させる。これにより、６個の被処理物２は、－Ｘ方向に移動し、冷却搬送ローラ装置入口部２３８の搬送通路２３８ａから冷却搬送ローラ装置４２の搬送通路４２ａに移動する。
【0077】
（対応関係）
本実施例では、整列装置２７４が、「整列装置」の一例である。
本実施例では、整列装置２７４が、「整列装置」の一例である。
【0078】
（第４実施例）
図９を参照して、第４実施例を説明する。第４実施例では、第１実施例と異なる点のみ説明する。第４実施例では、搬送装置１０の各構成の配置が、第１実施例の搬送装置１０の各構成の配置と異なる。
図９を参照して、第４実施例を説明する。第４実施例では、第１実施例と異なる点のみ説明する。第４実施例では、搬送装置１０の各構成の配置が、第１実施例の搬送装置１０の各構成の配置と異なる。
【0079】
第４実施例では、置換室搬送ローラ装置２４が、第１ストッパ１８よりも下流側であって、第１ターン装置２２よりも上流側に配置されている。このため、複数の被処理物２は、ストッパ前搬送ローラ装置１６から置換室搬送ローラ装置２４に搬送される。複数の被処理物２は、置換室搬送ローラ装置２４の搬送通路２４ａ上を＋Ｘ方向（搬送方向Ｄ１）に移動する。その後、複数の被処理物２は、置換室搬送ローラ装置２４から第１ターン装置２２に搬送される。
【0080】
また、置換室後搬送ローラ装置２６は、第１ターン装置２２よりも下流側に配置されている。このため、被処理物２は、第１ターン装置２２から置換室後搬送ローラ装置２６に搬送される。
【0081】
（変形例）
一実施形態では、制御ユニット４４は、レーザが受光器２０ｂに所定期間（例えば、１秒、２秒、または３秒）受光されていることを検知すると、レーザが受光器２０ｂに受光されていない間に投光器２０ａと受光器２０ｂとの間を通過した複数の被処理物２を、１つの被処理物群に分類してもよい。
一実施形態では、制御ユニット４４は、レーザが受光器２０ｂに所定期間（例えば、１秒、２秒、または３秒）受光されていることを検知すると、レーザが受光器２０ｂに受光されていない間に投光器２０ａと受光器２０ｂとの間を通過した複数の被処理物２を、１つの被処理物群に分類してもよい。
【0082】
一実施形態では、増速部５２は、第１増速部５６と第２増速部５８の一方のみを備えていてもよい。
【0083】
一実施形態では、切り離し搬送ローラ装置１４は、増速部５２を備えていなくてもよい。
【0084】
上記の実施例では、第１ターン装置２２の搬送通路２２ａの幅Ｗ１は、被処理物２の長手方向の幅Ｗ２の３倍よりも大きくてもよい。このとき、３個以上の被処理物２が、搬送通路２２ａ上にＸ方向に並んで配置されてもよい。この構成では、第２ストッパ３０は、複数のストッパを備えており、そのストッパの個数は、搬送通路２２ａ上にＸ方向に並んで配置される被処理物２の個数と同一であってもよい。
【0085】
一実施形態では、被処理物２が第２ターン入口装置３６から第２ターン装置３８に移動するとき、第２ターン入口装置３６の複数のローラの動き方と、第２ターン装置３８の複数の第１ローラの動き方は、実施例での動き方に限られない。例えば、制御ユニット４４は、第３検出器４０の検出結果により、被処理物２が第２ターン入口装置３６と第２ターン装置３８との境界を通過していない（即ち、被処理物２が境界を通過し終えた）と判断すると、第２ターン入口装置３６の複数のローラと、第２ターン装置３８の複数の第１ローラを停止させてもよい。このとき、被処理物２が第２ターン装置３８の搬送通路３８ａ上で停止する。
【0086】
一実施形態では、搬送装置１０は、複数の第４検出器４１を備えていてもよい。このとき、第４検出器４１の個数は、第２ターン装置３８の搬送通路３８ａまたは冷却搬送ローラ装置入口部２３８の搬送通路２３８ａにＹ方向に並ぶ被処理物２の個数と同一であってもよい。この構成では、複数の第４検出器４１により、各被処理物２が所定の位置に配置されているか否かが検出されてもよい。
【0087】
以上、本明細書に開示の技術の具体例を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。また、本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
【符号の説明】
【0088】
２ ：被処理物
４ ：匣鉢
６ ：被処理物本体
１０ ：搬送装置
１２ ：熱処理搬送ローラ装置
１４ ：切り離し搬送ローラ装置
１６ ：ストッパ前搬送ローラ装置
１８ ：第１ストッパ
２０ ：第１検出器
２２ ：第１ターン装置
２４ ：置換室搬送ローラ装置
２６ ：置換室後搬送ローラ装置
２７ ：第２検出器
２８ ：切り離しローラ装置
３０ ：第２ストッパ
３２ ：整列台ローラ装置
３４ ：整列装置
３６ ：第２ターン入口装置
３８ ：第２ターン装置
４０ ：第３検出器
４１ ：第４検出器
４２ ：冷却搬送ローラ装置
４４ ：制御ユニット
４６ ：フード
５０ ：低速部
５２ ：増速部
５４ ：高速部
５６ ：第１増速部
５８ ：第２増速部
６２ ：置換室
９０ ：冷却室
１００ ：熱処理システム
１１０ ：熱処理炉
１１６ ：入口
１１８ ：出口
１２０ ：熱処理空間
１７４ ：整列装置
２３８ ：冷却搬送ローラ装置入口部
２７４ ：整列装置
Ｄ１ ：搬送方向
Ｄ２ ：列方向
ＧＰ１ ：第１の被処理物群
ＧＰ２ ：第２の被処理物群
ＲＸ ：回動軸
Ｗ１、Ｗ２：幅
４ ：匣鉢
６ ：被処理物本体
１０ ：搬送装置
１２ ：熱処理搬送ローラ装置
１４ ：切り離し搬送ローラ装置
１６ ：ストッパ前搬送ローラ装置
１８ ：第１ストッパ
２０ ：第１検出器
２２ ：第１ターン装置
２４ ：置換室搬送ローラ装置
２６ ：置換室後搬送ローラ装置
２７ ：第２検出器
２８ ：切り離しローラ装置
３０ ：第２ストッパ
３２ ：整列台ローラ装置
３４ ：整列装置
３６ ：第２ターン入口装置
３８ ：第２ターン装置
４０ ：第３検出器
４１ ：第４検出器
４２ ：冷却搬送ローラ装置
４４ ：制御ユニット
４６ ：フード
５０ ：低速部
５２ ：増速部
５４ ：高速部
５６ ：第１増速部
５８ ：第２増速部
６２ ：置換室
９０ ：冷却室
１００ ：熱処理システム
１１０ ：熱処理炉
１１６ ：入口
１１８ ：出口
１２０ ：熱処理空間
１７４ ：整列装置
２３８ ：冷却搬送ローラ装置入口部
２７４ ：整列装置
Ｄ１ ：搬送方向
Ｄ２ ：列方向
ＧＰ１ ：第１の被処理物群
ＧＰ２ ：第２の被処理物群
ＲＸ ：回動軸
Ｗ１、Ｗ２：幅
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】