(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024092704
(43)【公開日】2024-07-08
(54)【発明の名称】遮蔽板製造装置および遮蔽板の製造方法
(51)【国際特許分類】
H01J 37/305 20060101AFI20240701BHJP
【ＦＩ】
H01J37/305 A
【審査請求】有
【請求項の数】8
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022208823
(22)【出願日】2022-12-26
(71)【出願人】
【識別番号】000004271
【氏名又は名称】日本電子株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100090387
【弁理士】
【氏名又は名称】布施 行夫
(74)【代理人】
【識別番号】100090398
【弁理士】
【氏名又は名称】大渕 美千栄
(74)【代理人】
【識別番号】100161540
【弁理士】
【氏名又は名称】吉田 良伸
(72)【発明者】
【氏名】根岸 勉
(72)【発明者】
【氏名】小塚 心尋
【テーマコード（参考）】
5C101
【Ｆターム（参考）】
5C101AA34
5C101AA39
5C101FF34
5C101FF56
5C101FF58
5C101GG10
(57)【要約】
【課題】容易に遮蔽板を製造できる遮蔽板製造装置を提供する。
【解決手段】遮蔽板製造装置１００は、試料の一部を遮蔽板で遮蔽し、試料に荷電粒子ビームを照射して試料を加工する試料加工装置の遮蔽板を製造するための遮蔽板製造装置であって、基板２を回転可能に保持し、基板２にテープ４を巻き取る基板保持シャフト１０と、基板２に巻き取られるテープ４に張力を付与する張力付与機構５０と、を含む。
【選択図】図１
【解決手段】遮蔽板製造装置１００は、試料の一部を遮蔽板で遮蔽し、試料に荷電粒子ビームを照射して試料を加工する試料加工装置の遮蔽板を製造するための遮蔽板製造装置であって、基板２を回転可能に保持し、基板２にテープ４を巻き取る基板保持シャフト１０と、基板２に巻き取られるテープ４に張力を付与する張力付与機構５０と、を含む。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
試料の一部を遮蔽板で遮蔽し、前記試料に荷電粒子ビームを照射して前記試料を加工する試料加工装置の前記遮蔽板を製造するための遮蔽板製造装置であって、
基板を回転可能に保持し、前記基板にテープを巻き取る基板保持シャフトと、
前記基板に巻き取られる前記テープに張力を付与する張力付与機構と、
を含む、遮蔽板製造装置。
基板を回転可能に保持し、前記基板にテープを巻き取る基板保持シャフトと、
前記基板に巻き取られる前記テープに張力を付与する張力付与機構と、
を含む、遮蔽板製造装置。
【請求項2】
請求項１において、
前記張力付与機構は、
前記テープの一端が固定される摺動部材と、
前記摺動部材に接続され、前記テープに張力を付与するバネと、
を含み、
前記基板保持シャフトを回転させることによって、前記テープは、前記テープの他端側から前記基板に巻き取られる、遮蔽板製造装置。
前記張力付与機構は、
前記テープの一端が固定される摺動部材と、
前記摺動部材に接続され、前記テープに張力を付与するバネと、
を含み、
前記基板保持シャフトを回転させることによって、前記テープは、前記テープの他端側から前記基板に巻き取られる、遮蔽板製造装置。
【請求項3】
請求項１において、
前記張力付与機構は、
前記テープの一端が固定されるアームと、
前記アームが回転可能に固定されたアーム固定シャフトと、
前記テープを巻き取るときの前記基板保持シャフトの回転方向とは反対方向に前記アームを付勢するバネと、
を含み、
前記基板保持シャフトを回転させることによって、前記テープは、前記テープの他端側から前記基板に巻き取られる、遮蔽板製造装置。
前記張力付与機構は、
前記テープの一端が固定されるアームと、
前記アームが回転可能に固定されたアーム固定シャフトと、
前記テープを巻き取るときの前記基板保持シャフトの回転方向とは反対方向に前記アームを付勢するバネと、
を含み、
前記基板保持シャフトを回転させることによって、前記テープは、前記テープの他端側から前記基板に巻き取られる、遮蔽板製造装置。
【請求項4】
請求項１ないし３のいずれか１項において、
前記基板保持シャフトを受ける長孔が設けられた筐体と、
前記張力付与機構が前記テープに付与する張力の方向とは反対方向の力が前記テープに加わるように、前記基板保持シャフトを押さえるシャフト押さえ部材と、
を含む、遮蔽板製造装置。
前記基板保持シャフトを受ける長孔が設けられた筐体と、
前記張力付与機構が前記テープに付与する張力の方向とは反対方向の力が前記テープに加わるように、前記基板保持シャフトを押さえるシャフト押さえ部材と、
を含む、遮蔽板製造装置。
【請求項5】
請求項１において、
前記基板を前記基板保持シャフトに押し付ける基板固定用バネを含む、遮蔽板製造装置。
前記基板を前記基板保持シャフトに押し付ける基板固定用バネを含む、遮蔽板製造装置。
【請求項6】
請求項１において、
前記基板保持シャフトを回転させるための摘みを含む、遮蔽板製造装置。
前記基板保持シャフトを回転させるための摘みを含む、遮蔽板製造装置。
【請求項7】
試料の一部を遮蔽板で遮蔽し、前記試料に荷電粒子ビームを照射して前記試料を加工する試料加工装置の前記遮蔽板の製造方法であって、
基板を回転可能に保持する基板保持シャフトに、前記基板を装着する工程と、
前記基板保持シャフトに保持された前記基板と張力付与機構との間にテープを掛け渡す工程と、
前記基板保持シャフトを回転させて、前記張力付与機構によって前記テープに張力を付与しながら前記基板に前記テープを巻き取る工程と、
を含む、遮蔽板の製造方法。
基板を回転可能に保持する基板保持シャフトに、前記基板を装着する工程と、
前記基板保持シャフトに保持された前記基板と張力付与機構との間にテープを掛け渡す工程と、
前記基板保持シャフトを回転させて、前記張力付与機構によって前記テープに張力を付与しながら前記基板に前記テープを巻き取る工程と、
を含む、遮蔽板の製造方法。
【請求項8】
請求項７において、
前記基板保持シャフトは、筐体に設けられた長孔に挿入され、
前記テープを前記基板に巻き取る工程では、
前記張力付与機構が前記テープに付与する張力の方向とは反対方向の力が前記テープに加わるように、前記基板保持シャフトを押さえる、遮蔽板の製造方法。
前記基板保持シャフトは、筐体に設けられた長孔に挿入され、
前記テープを前記基板に巻き取る工程では、
前記張力付与機構が前記テープに付与する張力の方向とは反対方向の力が前記テープに加わるように、前記基板保持シャフトを押さえる、遮蔽板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、遮蔽板製造装置および遮蔽板の製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
イオンビームを用いて試料を加工する試料加工装置として、試料の断面を加工するためのクロスセクションポリッシャ（登録商標）や、薄膜試料を作製するためのイオンスライサ（登録商標）などが知られている。
【0003】
例えば、特許文献１には、試料の一部を遮蔽板で覆い、試料の遮蔽板で覆われていない部分をイオンビームで切削して、試料の断面を加工する試料加工装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０１９－１６０５７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
遮蔽板を用いた試料加工装置では、イオンビームが照射される遮蔽板の遮蔽面は平滑であることが望ましい。しかしながら、イオンビームの照射によって試料だけでなく遮蔽板もエッチングされるため、遮蔽面に凹凸ができてしまう。そのため、遮蔽板は何度も使用することができず、遮蔽面に凹凸ができると、交換する必要があった。
【0006】
このような問題に対して、基板に金属テープ等を巻いて遮蔽板を製造し、遮蔽面をテープで形成することが考えられる。これにより、基板にテープを巻きなおすことによって新たな遮蔽板を製造できる。
【0007】
上述したように、遮蔽面は平滑であることが望ましいが、テープを基板にしわなく貼り付けることは困難である。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明に係る遮蔽板製造装置の一態様は、
試料の一部を遮蔽板で遮蔽し、前記試料に荷電粒子ビームを照射して前記試料を加工する試料加工装置の前記遮蔽板を製造するための遮蔽板製造装置であって、
基板を回転可能に保持し、前記基板にテープを巻き取る基板保持シャフトと、
前記基板に巻き取られる前記テープに張力を付与する張力付与機構と、
を含む。
試料の一部を遮蔽板で遮蔽し、前記試料に荷電粒子ビームを照射して前記試料を加工する試料加工装置の前記遮蔽板を製造するための遮蔽板製造装置であって、
基板を回転可能に保持し、前記基板にテープを巻き取る基板保持シャフトと、
前記基板に巻き取られる前記テープに張力を付与する張力付与機構と、
を含む。
【0009】
このような遮蔽板製造装置では、テープに張力を付与しながら基板にテープを巻き取ることができる。そのため、このような遮蔽板製造装置では、基板にテープをしわなく貼り付けることができる。したがって、このような遮蔽板製造装置では、遮蔽板を容易に製造できる。
【0010】
本発明に係る遮蔽板の製造方法の一態様は、
試料の一部を遮蔽板で遮蔽し、前記試料に荷電粒子ビームを照射して前記試料を加工する試料加工装置の前記遮蔽板の製造方法であって、
基板を回転可能に保持する基板保持シャフトに、前記基板を装着する工程と、
前記基板保持シャフトに保持された前記基板と張力付与機構との間にテープを掛け渡す
工程と、
前記基板保持シャフトを回転させて、前記張力付与機構によって前記テープに張力を付与しながら前記基板に前記テープを巻き取る工程と、
を含む。
試料の一部を遮蔽板で遮蔽し、前記試料に荷電粒子ビームを照射して前記試料を加工する試料加工装置の前記遮蔽板の製造方法であって、
基板を回転可能に保持する基板保持シャフトに、前記基板を装着する工程と、
前記基板保持シャフトに保持された前記基板と張力付与機構との間にテープを掛け渡す
工程と、
前記基板保持シャフトを回転させて、前記張力付与機構によって前記テープに張力を付与しながら前記基板に前記テープを巻き取る工程と、
を含む。
【0011】
このような遮蔽板の製造方法では、テープに張力を付与しながら基板にテープを巻き取ることができるため、基板にテープをしわなく貼り付けることができる。したがって、このような遮蔽板の製造方法では、遮蔽板を容易に製造できる。
【図面の簡単な説明】
【0012】
【図1】第１実施形態に係る遮蔽板製造装置を模式的に示す斜視図。
【図2】第１実施形態に係る遮蔽板製造装置を模式的に示す斜視図。
【図3】基板保持シャフトを説明するための図。
【図4】クリックストップ機構を説明するための図。
【図5】クリックストップ機構を説明するための図。
【図6】シャフト押さえ部材を説明するための図。
【図7】張力付与機構を説明するための図。
【図8】張力付与機構を説明するための図。
【図9】遮蔽板の製造方法の一例を示すフローチャート。
【図10】遮蔽板の製造工程を模式的に示す図。
【図11】遮蔽板の製造工程を模式的に示す図。
【図12】遮蔽板の製造工程を模式的に示す図。
【図13】遮蔽板の製造工程を模式的に示す図。
【図14】遮蔽板の製造工程を模式的に示す図。
【図15】遮蔽板の製造工程を模式的に示す図。
【図16】遮蔽板の製造工程を模式的に示す図。
【図17】遮蔽板の製造工程を模式的に示す図。
【図18】遮蔽板の製造工程を模式的に示す図。
【図19】遮蔽板の製造工程を模式的に示す図。
【図20】第１実施形態に係る遮蔽板製造装置を用いて製造した遮蔽板にイオンビームを照射した結果を示す写真。
【図21】基板にテープを手で巻いて製造した遮蔽板にイオンビームを照射した結果を示す写真。
【図22】変形例に係る遮蔽板製造装置を模式的に示す斜視図。
【図23】変形例に係る遮蔽板製造装置を模式的に示す断面図。
【図24】遮蔽板を取り出すための取り出しツールを模式的に示す斜視図。
【図25】スリットに取り出しツールを挿入した状態を模式的に示す図。
【図26】遮蔽板を取り出す工程を示す模式的に示す断面図。
【図27】遮蔽板を取り出す工程を示す模式的に示す断面図。
【図28】遮蔽板を取り出す工程を示す模式的に示す断面図。
【図29】第２実施形態に係る遮蔽板製造装置を模式的に示す斜視図。
【図30】第２実施形態に係る遮蔽板製造装置の張力付与機構を説明するための図。
【図31】第２実施形態に係る遮蔽板製造装置の張力付与機構を説明するための図。
【図32】第３実施形態に係る試料加工装置の構成を示す図。
【図33】第３実施形態に係る試料加工装置の遮蔽板を模式的に示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【0013】
以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【0014】
１． 第１実施形態
１．１． 遮蔽板製造装置
まず、第１実施形態に係る遮蔽板製造装置について図面を参照しながら説明する。図１および図２は、第１実施形態に係る遮蔽板製造装置１００を模式的に示す斜視図である。
１．１． 遮蔽板製造装置
まず、第１実施形態に係る遮蔽板製造装置について図面を参照しながら説明する。図１および図２は、第１実施形態に係る遮蔽板製造装置１００を模式的に示す斜視図である。
【0015】
遮蔽板製造装置１００は、試料加工装置用の遮蔽板を製造する装置である。試料加工装置は、試料の一部を遮蔽板で遮蔽し、試料にイオンビームを照射して試料を加工する装置である。試料加工装置は、例えば、試料の一部を遮蔽板で覆い、試料の遮蔽板で覆われていない部分をイオンビームで切削して、試料の断面を加工する装置である。試料加工装置は、例えば、クロスセクションポリッシャ（登録商標）である。
【0016】
基板２は、例えば、金属の板である。基板２として市販の遮蔽板を用いてもよい。テープ４は、例えば、導電性テープである。テープ４は、例えば、導電層と、粘着層と、を含む。導電層は、例えば、アルミニウム、銅、カーボンなどからなる金属箔や、グラファイトシートなどの導電性薄膜である。圧延によって製造された光沢のある金属箔は表面粗さが小さいため、導電層として好ましい。導電層の表面は、鏡面であることが好ましい。導電層の厚さは、例えば、５０μｍ程度である。粘着層は、導電性を有する接着剤である。粘着層は、耐熱性を有する。
【0017】
【0018】
図３は、基板保持シャフト１０を説明するための図である。
【0019】
基板保持シャフト１０は、基板２を保持する。基板保持シャフト１０には、スリット１２が設けられている。スリット１２に基板２を挿入することによって、基板２を基板保持シャフト１０で保持できる。基板保持シャフト１０は、基板２の幅方向の両端を支持しており、基板２の中央部分が露出するように基板２を保持する。テープ４は、基板２の中央部分に貼り付けられる。
【0020】
基板保持シャフト１０は、摘み２０に接続されている。摘み２０を回転させることによって、基板保持シャフト１０が回転する。これにより、基板保持シャフト１０に保持された基板２にテープ４を巻き取ることができる。
【0021】
基板保持シャフト１０は、筐体３０に回転可能に取り付けられている。基板保持シャフト１０は、筐体３０の長孔３２に挿入されている。筐体３０には、基板保持シャフト１０を受ける長孔３２が２つ設けられている。２つの長孔３２のうちの一方には、基板保持シャフト１０の一端が挿入され、２つの長孔３２のうちの他方には、基板保持シャフト１０の他端が挿入される。
【0022】
摘み２０は、基板保持シャフト１０を回転させるための摘みである。摘み２０は、基板保持シャフト１０の一方の端に取り付けられている。摘み２０には、基板保持シャフト１０の回転角度を示す番号が付されている。
【0023】
図４および図５は、クリックストップ機構２２を説明するための図である。摘み２０には、摘み２０に付された番号に対応する回転角度で基板保持シャフト１０の回転を止めるクリックストップ機構２２が設けられている。クリックストップ機構２２は、基板保持シャフト１０に設けられた複数の凹部２４と、ストッパー２６と、を含む。
【0024】
各凹部２４は、摘み２０に付された番号に対応する回転角度に設けられている。図示の例では、基板保持シャフト１０には、摘み２０に付された３つの番号に対応して３つの凹部２４が設けられている。ストッパー２６は、バネ２６ａと、バネ２６ａに先端に設けられた凸部２６ｂと、を含む。凸部２６ｂは、バネ２６ａによって基板保持シャフト１０に押し付けられている。基板保持シャフト１０を回転させて凸部２６ｂが凹部２４に嵌まると、基板保持シャフト１０の回転を止めることができる。そのため、クリックストップ機構２２によって、摘み２０に付された番号に対応する回転角度で基板保持シャフト１０の回転を止めることができる。バネ２６ａは、例えば、トーションバネである。
【0025】
筐体３０には、基板保持シャフト１０、シャフト押さえ部材４０、および張力付与機構５０が取り付けられている。筐体３０には、基板保持シャフト１０を取り付けるための軸受けとしての長孔３２が設けられている。長孔３２は、シャフト押さえ部材４０が基板保持シャフト１０を押す方向に長手方向を有している。
【0026】
筐体３０は、第１板部材３０ａと、第２板部材３０ｂと、を有している。第１板部材３０ａと第２板部材３０ｂは、対向している。長孔３２は、第１板部材３０ａと第２板部材３０ｂに設けられており、基板保持シャフト１０の一端は第１板部材３０ａに設けられた長孔３２に挿入され、基板保持シャフト１０の他端は第２板部材３０ｂに設けられた長孔３２に挿入されている。同様に、張力付与機構５０のアーム固定シャフト５４の一端は、第１板部材３０ａに設けられた孔に挿入され、アーム固定シャフト５４の他端は、第２板部材３０ｂに設けられた孔に挿入されている。アーム固定シャフト５４は、筐体３０に回転可能に支持されている。
【0027】
シャフト押さえ部材４０は、基板保持シャフト１０を押さえる。シャフト押さえ部材４０は、張力付与機構５０がテープ４に付与する張力の方向とは反対方向の力がテープ４に加わるように基板保持シャフト１０を押さえる。シャフト押さえ部材４０は、バネであり、基板保持シャフト１０を張力付与機構５０から遠ざかる方向に付勢する。シャフト押さえ部材４０は、例えば、Ｕ字形状のバネである。図示の例では、シャフト押さえ部材４０は２つのバネを有している。２つのバネのうちの一方は、基板保持シャフト１０の一端を押さえ、２つのバネのうちの他方は、基板保持シャフト１０の他端を押さえている。
【0028】
図６は、シャフト押さえ部材４０を説明するための図である。
【0029】
シャフト押さえ部材４０は、張力付与機構５０がテープ４に付与する張力の方向とは反対方向の力がテープ４に加わるように基板保持シャフト１０を押さえている。また、基板保持シャフト１０は長孔３２で支持されているため、基板保持シャフト１０をフレキシブルに支持できる。そのため、図６に示すように、基板保持シャフト１０を回転させて基板２にテープ４を巻き取るときに、テープ４が撓むことを防ぐことができる。
【0030】
例えば、基板保持シャフト１０の軸が固定されている場合、基板保持シャフト１０の軸に対してテープ４が斜めに貼られると、図６に示すように、テープ４の対向する２つの辺（第１辺４ａおよび第２辺４ｂ）のうちの一方の辺（図示の例では第１辺４ａ）が撓んでしまう。この状態で基板２にテープ４を巻き取ると、テープ４にしわができてしまう。
【0031】
これに対して、遮蔽板製造装置１００では、シャフト押さえ部材４０によって基板保持シャフト１０を押さえつつ、長孔３２によって基板保持シャフト１０をフレキシブルに支持できる。そのため、テープ４が撓むことを防ぐことができる。したがって、基板２にテープ４をしわなく貼り付けることができる。
【0032】
【0033】
【0034】
アーム５２には、テープ４の一端が固定される。テープ４は、基板保持シャフト１０に保持された基板２とアーム５２との間に掛け渡される。テープ４の一端は、アーム５２に固定され、基板保持シャフト１０を回転させることによって、テープ４はテープ４の他端側から基板保持シャフト１０に巻き取られる。アーム５２は、アーム固定シャフト５４に回転可能に固定されている。アーム５２には、アーム５２の可動範囲を制限するストッパー５３が設けられている。アーム固定シャフト５４は、回転可能に筐体３０に取り付けられている。
【0035】
バネ５６は、テープ４を巻き取るときの基板保持シャフト１０の回転方向とは反対方向にアーム５２が回転するように、アーム５２を付勢する。これにより、テープ４に張力を付与できる。バネ５６は、例えば、トーションバネである。
【0036】
１．２． 遮蔽板の製造方法
次に、遮蔽板製造装置１００を用いた遮蔽板の製造方法について説明する。図９は、遮蔽板製造装置１００を用いた遮蔽板の製造方法の一例を示すフローチャートである。図１０～図１９は、遮蔽板の製造工程を模式的に示す図である。
次に、遮蔽板製造装置１００を用いた遮蔽板の製造方法について説明する。図９は、遮蔽板製造装置１００を用いた遮蔽板の製造方法の一例を示すフローチャートである。図１０～図１９は、遮蔽板の製造工程を模式的に示す図である。
【0037】
（１）基板の装着（Ｓ１０）
まず、図１０に示すように、基板保持シャフト１０に基板２を装着する。具体的には、まず、摘み２０を回転させて摘み２０の番号を「１」にする。これにより、基板保持シャフト１０が回転し、基板保持シャフト１０に設けられたスリット１２が、筐体３０やアーム５２の影にならない位置になる。次に、基板２をスリット１２に挿入する。これにより、基板保持シャフト１０に基板２を装着できる。
まず、図１０に示すように、基板保持シャフト１０に基板２を装着する。具体的には、まず、摘み２０を回転させて摘み２０の番号を「１」にする。これにより、基板保持シャフト１０が回転し、基板保持シャフト１０に設けられたスリット１２が、筐体３０やアーム５２の影にならない位置になる。次に、基板２をスリット１２に挿入する。これにより、基板保持シャフト１０に基板２を装着できる。
【0038】
（２）テープを掛け渡す（Ｓ２０）
次に、図１１に示すように、基板保持シャフト１０に保持された基板２と張力付与機構５０のアーム５２との間にテープ４を掛け渡す。具体的には、テープ４の一端をアーム５２に貼り付け、テープ４の他端を基板保持シャフト１０および基板２に貼り付ける。テープ４は、粘着層を有しているため、アーム５２、基板保持シャフト１０、および基板２にテープ４を貼り付けることができる。このようにして、基板保持シャフト１０に保持された基板２と張力付与機構５０のアーム５２との間にテープ４を掛け渡すことができる。
次に、図１１に示すように、基板保持シャフト１０に保持された基板２と張力付与機構５０のアーム５２との間にテープ４を掛け渡す。具体的には、テープ４の一端をアーム５２に貼り付け、テープ４の他端を基板保持シャフト１０および基板２に貼り付ける。テープ４は、粘着層を有しているため、アーム５２、基板保持シャフト１０、および基板２にテープ４を貼り付けることができる。このようにして、基板保持シャフト１０に保持された基板２と張力付与機構５０のアーム５２との間にテープ４を掛け渡すことができる。
【0039】
なお、上記では、テープ４の他端を基板保持シャフト１０および基板２に貼りつけたがテープ４の他端を基板２のみに貼り付けてもよい。また、テープ４の他端をスリット１２の中に入れ込んでもよい。また、テープ４の他端を基板保持シャフト１０に貼り付けた後、基板保持シャフト１０を回転させることによってテープ４を基板２に貼り付けてもよい。
【0040】
（３）基板にテープを巻き取る（Ｓ３０）
次に、図１２に示すように、基板保持シャフト１０を回転させて、基板２にテープ４を巻き取る。具体的には、摘み２０を回転させて摘み２０の番号を「１」から「２」にする。これにより、基板保持シャフト１０が所定の角度だけ回転し、テープ４が基板２に巻き取られる。
次に、図１２に示すように、基板保持シャフト１０を回転させて、基板２にテープ４を巻き取る。具体的には、摘み２０を回転させて摘み２０の番号を「１」から「２」にする。これにより、基板保持シャフト１０が所定の角度だけ回転し、テープ４が基板２に巻き取られる。
【0041】
このとき、テープ４には、張力付与機構５０によって張力が付与される。具体的には、バネ５６が、テープ４を巻き取るときの基板保持シャフト１０の回転方向とは反対方向にアーム５２が回転するように、アーム５２を付勢する。そのため、テープ４が基板２に巻き取られるときに、テープ４に張力が付与され、テープ４は張った状態を維持できる。基板保持シャフト１０を回転させるときにアーム固定シャフト５４に指をのせ、アーム５２に力を付与してもよい。これにより、テープ４に加えられる張力を大きくできる。
【0042】
シャフト押さえ部材４０は、張力付与機構５０がテープ４に付与する張力の方向とは反対方向の力がテープ４に加わるように、基板保持シャフト１０を押さえている。また、基板保持シャフト１０は長孔３２に挿入されており、基板保持シャフト１０はフレキシブルに動くことができる。したがって、テープ４が撓むことを防ぐことができる。
【0043】
このように、遮蔽板製造装置１００では、テープ４に張力を付与しながら基板２にテープ４を巻き取ることができるため、基板２にテープ４をしわなく貼り付けることができる。
【0044】
（４）テープをカットする（Ｓ４０）
次に、テープ４をカットする。具体的には、まず、図１３および図１４に示すように、テープカットツール６０を基板２に沿ってスリット１２内に挿入する。これにより、テープ４をカットできる。テープカットツール６０は、例えば、スリット１２の幅よりも幅が小さいカッターナイフである。
次に、テープ４をカットする。具体的には、まず、図１３および図１４に示すように、テープカットツール６０を基板２に沿ってスリット１２内に挿入する。これにより、テープ４をカットできる。テープカットツール６０は、例えば、スリット１２の幅よりも幅が小さいカッターナイフである。
【0045】
次に、図１５に示すように、摘み２０を回転させて摘み２０の番号を「２」から「１」にする。
【0046】
次に、図１６および図１７に示すように、テープカットツール６０を基板２に沿ってスリット１２内に挿入する。これにより、テープ４をカットできる。このように、テープカットツール６０を基板２に沿ってスリット１２内に挿入することによって、基板２のエッジに巻かれたテープ４に力が加わるため、テープ４を基板２に密着させることができる。これにより、テープ４の端までしわなく基板２に貼り付けることができる。このようにして、遮蔽板６を製造できる。
【0047】
（５）遮蔽板を取り出す（Ｓ５０）
次に、図１８に示すように、基板保持シャフト１０から遮蔽板６を取り出す。具体的には、摘み２０を回転させて摘み２０の番号を「１」から「３」にする。これにより、図１９に示すように、基板保持シャフト１０のスリット１２の開口から遮蔽板６を取り出すことができる。
次に、図１８に示すように、基板保持シャフト１０から遮蔽板６を取り出す。具体的には、摘み２０を回転させて摘み２０の番号を「１」から「３」にする。これにより、図１９に示すように、基板保持シャフト１０のスリット１２の開口から遮蔽板６を取り出すことができる。
【0048】
以上の工程により、遮蔽板６を製造できる。
【0049】
１．３． 効果
遮蔽板製造装置１００は、試料加工装置の遮蔽板６を製造するための遮蔽板製造装置であって、基板２を回転可能に保持し、基板２にテープ４を巻き取る基板保持シャフト１０と、基板２に巻き取られるテープ４に張力を付与する張力付与機構５０と、を含む。そのため、遮蔽板製造装置１００では、テープ４に張力を付与しながら基板２にテープ４を巻き取ることができる。したがって、遮蔽板製造装置１００では、基板２にテープ４をしわなく貼り付けることができる。よって、遮蔽板製造装置１００では、容易に遮蔽板６を製造できる。
遮蔽板製造装置１００は、試料加工装置の遮蔽板６を製造するための遮蔽板製造装置であって、基板２を回転可能に保持し、基板２にテープ４を巻き取る基板保持シャフト１０と、基板２に巻き取られるテープ４に張力を付与する張力付与機構５０と、を含む。そのため、遮蔽板製造装置１００では、テープ４に張力を付与しながら基板２にテープ４を巻き取ることができる。したがって、遮蔽板製造装置１００では、基板２にテープ４をしわなく貼り付けることができる。よって、遮蔽板製造装置１００では、容易に遮蔽板６を製造できる。
【0050】
遮蔽板製造装置１００では、張力付与機構５０は、テープ４の一端が固定されるアーム
５２と、アーム５２が回転可能に固定されたアーム固定シャフト５４と、テープ４を巻き取るときの基板保持シャフト１０の回転方向とは反対方向にアーム５２を付勢するバネ５６と、を含む。また、遮蔽板製造装置１００では、基板保持シャフト１０を回転させることによって、テープ４は、テープ４の他端側から基板２に巻き取られる。このように、張力付与機構５０が、バネ５６がテープ４を巻き取るときの基板保持シャフト１０の回転方向とは反対方向にアーム５２を付勢することによって、テープ４に張力を付与できる。
５２と、アーム５２が回転可能に固定されたアーム固定シャフト５４と、テープ４を巻き取るときの基板保持シャフト１０の回転方向とは反対方向にアーム５２を付勢するバネ５６と、を含む。また、遮蔽板製造装置１００では、基板保持シャフト１０を回転させることによって、テープ４は、テープ４の他端側から基板２に巻き取られる。このように、張力付与機構５０が、バネ５６がテープ４を巻き取るときの基板保持シャフト１０の回転方向とは反対方向にアーム５２を付勢することによって、テープ４に張力を付与できる。
【0051】
遮蔽板製造装置１００は、基板保持シャフト１０を受ける長孔３２が設けられた筐体３０と、張力付与機構５０がテープ４に付与する張力の方向とは反対方向の力がテープ４に加わるように、基板保持シャフト１０を押さえるシャフト押さえ部材４０と、を含む。そのため、上述したように、テープ４を基板２に巻き取るときに、テープ４が撓むことを防ぐことができる。したがって、基板２にテープ４をしわなく貼り付けることができる。
【0052】
遮蔽板製造装置１００は、基板保持シャフト１０を回転させるための摘み２０を含む。そのため、基板保持シャフト１０を手動で容易に回転させることができる。
【0053】
遮蔽板製造装置１００を用いた遮蔽板６の製造方法は、基板２を回転可能に保持する基板保持シャフト１０に、基板２を装着する工程と、基板保持シャフト１０に保持された基板２と張力付与機構５０との間にテープ４を掛け渡す工程と、基板保持シャフト１０を回転させて、張力付与機構５０によってテープ４に張力を付与しながら基板２にテープ４を巻き取る工程と、を含む。遮蔽板製造装置１００を用いた遮蔽板６の製造方法では、張力付与機構５０によってテープ４に張力を付与しながら基板２にテープ４を巻き取るため、基板２にテープ４をしわなく貼り付けることができる。したがって、遮蔽板製造装置１００を用いた遮蔽板６の製造方法では、容易に遮蔽板６を製造できる。
【0054】
遮蔽板製造装置１００を用いた遮蔽板６の製造方法では、基板保持シャフト１０は、筐体３０に設けられた長孔３２に挿入されている。また、テープ４を基板２に巻き取る工程では、張力付与機構５０がテープ４に付与する張力の方向とは反対方向の力がテープ４に加わるように、シャフト押さえ部材４０が基板保持シャフト１０を押さえる。そのため、テープ４を基板２に巻き取るときに、テープ４が撓むことを防ぐことができる。したがって、基板２にテープ４をしわなく貼り付けることができる。このように、遮蔽板製造装置１００を用いた遮蔽板６の製造方法では、容易に基板２にテープ４をしわなく貼り付けることができ、容易に遮蔽板６を製造できる。
【0055】
図２０は、遮蔽板製造装置１００を用いて製造した遮蔽板にイオンビームを照射した結果を示す写真である。図２１は、基板にテープを手で巻いて製造した遮蔽板にイオンビームを照射した結果を示す写真である。ここでは、テープとしてアルミテープを用いた。また、遮蔽板にイオンビームを加速電圧６ｋＶで８時間照射した。
【0056】
図２１に示すように、基板にテープを手で巻いた場合、テープにしわができ、しわの部分が選択的にエッチングされてしまう。これに対して、遮蔽板製造装置１００を用いて製造した遮蔽板にはテープにしわがないため、テープで形成された遮蔽面が均等にエッチングされる。したがって、遮蔽板製造装置１００を用いて製造した遮蔽板は、寿命が長い。
【0057】
１．４． 変形例
１．４．１． 遮蔽板製造装置
図２２は、変形例に係る遮蔽板製造装置１００を模式的に示す斜視図である。図２３は、変形例に係る遮蔽板製造装置１００を模式的に示す断面図である。以下、遮蔽板製造装置１００の変形例において、上述した遮蔽板製造装置１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
１．４．１． 遮蔽板製造装置
図２２は、変形例に係る遮蔽板製造装置１００を模式的に示す斜視図である。図２３は、変形例に係る遮蔽板製造装置１００を模式的に示す断面図である。以下、遮蔽板製造装置１００の変形例において、上述した遮蔽板製造装置１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【0058】
【0059】
基板固定用バネ７０は、スリット１２内に設けられている。基板固定用バネ７０は、スリット１２内において、基板２を基板保持シャフト１０のスリット１２を規定する面に押し付ける。これにより、基板保持シャフト１０に基板２を確実に固定できる。
【0060】
スリット１２内の空間は、図２３に示すように、スリット１２の開口側の第１空間１２ａと、スリット１２の底側の第２空間１２ｂと、を有している。第２空間１２ｂの幅Ｗ２は、第１空間１２ａの幅Ｗ１よりも大きい。そのため、第１空間１２ａと第２空間１２ｂとの間にフック（段差）１４が形成される。スリット１２内に挿入された基板２は、基板固定用バネ７０に押されて、基板保持シャフト１０のフック１４に引っかかる。これにより、基板保持シャフト１０に基板２を確実に固定できる。
【0061】
１．４．２． 遮蔽板の製造方法
変形例に係る遮蔽板製造装置１００を用いた遮蔽板の製造方法は、図９に示す基板保持シャフト１０に基板２を装着する工程Ｓ１０、および遮蔽板６を取り出す工程Ｓ５０が異なる点を除いて、上述した遮蔽板の製造方法と同様である。以下では、上述した遮蔽板の製造方法と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
変形例に係る遮蔽板製造装置１００を用いた遮蔽板の製造方法は、図９に示す基板保持シャフト１０に基板２を装着する工程Ｓ１０、および遮蔽板６を取り出す工程Ｓ５０が異なる点を除いて、上述した遮蔽板の製造方法と同様である。以下では、上述した遮蔽板の製造方法と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
【0062】
まず、基板２を装着する工程Ｓ１０について説明する。図２２に示すように、遮蔽板製造装置１００の基板保持シャフト１０に基板２を装着する。具体的には、まず、摘み２０を回転させて摘み２０の番号を「１」にする。次に、基板２をスリット１２に挿入する。
【0063】
このとき、基板２の先端部分からスリット１２に挿入する。ここで、試料加工装置では、遮蔽板６の先端部分のエッジに沿ってエッチングされる。そのため、遮蔽板６の先端部分となる基板２の先端部分からスリット１２に挿入することによって、遮蔽板６の先端部分を保護できる。
【0064】
基板２をスリット１２に挿入すると、基板２は基板固定用バネ７０によって基板保持シャフト１０に押さえつけられ、基板２はフック１４に引っかかる。これにより、基板保持シャフト１０に基板２を装着できる。
【0065】
次に、遮蔽板６を取り出す工程Ｓ５０について説明する。図２４は、遮蔽板６を取り出すための取り出しツール８０を模式的に示す斜視図である。図２５は、スリット１２に取り出しツール８０を挿入した状態を模式的に示す図である。図２６～図２８は、取り出しツール８０を用いて基板保持シャフト１０から遮蔽板６を取り出す工程を示す模式的に示す断面図である。
【0066】
取り出しツール８０は、遮蔽板６を基板保持シャフト１０のスリット１２から取り出すためのツールである。取り出しツール８０は、図２４に示すように、遮蔽板６を引っ掛けるための爪８２を有している。
【0067】
遮蔽板６を取り出す工程では、まず、図２５および図２６に示すように、スリット１２に取り出しツール８０を挿入する。このとき、図２６に示すように、スリット１２内において、取り出しツール８０の爪８２を遮蔽板６に引っ掛ける。次に、図２７に示すように、取り出しツール８０で遮蔽板６を押して遮蔽板６を傾ける。これにより、遮蔽板６がフック１４から外れる。次に、図２８に示すように、スリット１２から取り出しツール８０を引き出す。これにより、スリット１２内から遮蔽板６を取り出すことができる。
【0068】
変形例に係る遮蔽板製造装置１００を用いた遮蔽板の製造方法では、取り出しツール８０を用いて遮蔽板６を取り出すため、テープ４の表面に汚れが付いたり、傷ができたりすることを防ぐことができる。
【0069】
２． 第２実施形態
２．１． 遮蔽板製造装置
次に、第２実施形態に係る遮蔽板製造装置について、図面を参照しながら説明する。図２９は、第２実施形態に係る遮蔽板製造装置２００を模式的に示す斜視図である。以下、第２実施形態に係る遮蔽板製造装置２００において、第１実施形態に係る遮蔽板製造装置１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
２．１． 遮蔽板製造装置
次に、第２実施形態に係る遮蔽板製造装置について、図面を参照しながら説明する。図２９は、第２実施形態に係る遮蔽板製造装置２００を模式的に示す斜視図である。以下、第２実施形態に係る遮蔽板製造装置２００において、第１実施形態に係る遮蔽板製造装置１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【0070】
遮蔽板製造装置２００は、張力付与機構５０の構成が異なる点を除いて上述した遮蔽板製造装置１００と同様である。以下では、上述した遮蔽板製造装置１００と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
【0071】
図３０は、遮蔽板製造装置２００の張力付与機構５０を説明するための図である。
【0072】
【0073】
スライダー５０２は、図２９に示すように、筐体３０に設けられたガイド５０６に沿って摺動する。ガイド５０６は、例えば、基板保持シャフト１０に対して垂直に延びている。スライダー５０２およびガイド５０６は、リニアガイドを構成している。スライダー５０２には、テープ４の一端が貼り付けられる。
【0074】
なお、図３１に示すように、スライダー５０２の後端部５０３までテープ４を貼ってもよい。これにより、テープ４を折り曲げることができ、テープ４が張力によって剥がれることを防ぐことができる。また、図示はしないが、スライダー５０２には、テープ４を固定するための固定部材が設けられていてもよい。固定部材は、例えば、テープ４を挟むクリップであってもよい。固定部材でテープ４を固定することによって、テープ４の粘着力だけでテープ４をスライダー５０２に固定する場合と比べて、テープ４をスライダー５０２に確実に固定できる。
【0075】
バネ５０４は、スライダー５０２に接続されている。バネ５０４は、基板保持シャフト１０に保持された基板２とスライダー５０２との間に掛け渡されたテープ４に張力が付与されるように、スライダー５０２を付勢する。バネ５０４は、例えば、圧縮バネである。バネ５０４は、例えば、コイルバネである。遮蔽板製造装置２００では、テープ４に張力を付与するバネ５０４として一般的なコイルバネを用いることができる。
【0076】
２．２． 遮蔽板の製造方法
次に、遮蔽板製造装置２００を用いた遮蔽板の製造方法について説明する。遮蔽板製造装置２００を用いた遮蔽板の製造方法の流れは、上述した図９に示す遮蔽板製造装置１００を用いた遮蔽板の製造方法の流れと同様である。以下、上述した遮蔽板製造装置１００を用いた遮蔽板の製造方法と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
次に、遮蔽板製造装置２００を用いた遮蔽板の製造方法について説明する。遮蔽板製造装置２００を用いた遮蔽板の製造方法の流れは、上述した図９に示す遮蔽板製造装置１００を用いた遮蔽板の製造方法の流れと同様である。以下、上述した遮蔽板製造装置１００を用いた遮蔽板の製造方法と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
【0077】
（１）基板の装着（Ｓ１０）
まず、遮蔽板製造装置２００の基板保持シャフト１０に基板２を装着する。
まず、遮蔽板製造装置２００の基板保持シャフト１０に基板２を装着する。
【0078】
（２）テープを掛け渡す（Ｓ２０）
次に、図２９に示すように、基板保持シャフト１０に保持された基板２とスライダー５０２との間にテープ４を掛け渡す。具体的には、テープ４の一端をスライダー５０２に貼り付け、テープ４の他端を基板保持シャフト１０および基板２に貼り付ける。テープ４は、粘着層を有しているため、スライダー５０２、基板保持シャフト１０、およびスライダー５０２にテープ４を貼り付けることができる。
次に、図２９に示すように、基板保持シャフト１０に保持された基板２とスライダー５０２との間にテープ４を掛け渡す。具体的には、テープ４の一端をスライダー５０２に貼り付け、テープ４の他端を基板保持シャフト１０および基板２に貼り付ける。テープ４は、粘着層を有しているため、スライダー５０２、基板保持シャフト１０、およびスライダー５０２にテープ４を貼り付けることができる。
【0079】
なお、図示はしないが、テープ４の他端を、クリップ等の固定部材でスライダー５０２に固定してもよい。
【0080】
（３）基板にテープを巻き取る（Ｓ３０）
次に、基板保持シャフト１０を回転させて、基板２にテープ４を巻き取る。具体的には、摘み２０を回転させて摘み２０の番号を「１」から「２」にする。これにより、基板保持シャフト１０が所定の角度だけ回転し、テープ４が基板２に巻き取られる。
次に、基板保持シャフト１０を回転させて、基板２にテープ４を巻き取る。具体的には、摘み２０を回転させて摘み２０の番号を「１」から「２」にする。これにより、基板保持シャフト１０が所定の角度だけ回転し、テープ４が基板２に巻き取られる。
【0081】
このとき、テープ４には、張力付与機構５０によって張力が付与される。具体的には、基板２にテープ４が巻き取られることによって、バネ５０４が圧縮され、バネ５０４に反力が生じる。これにより、テープ４に張力が付与される。基板２にテープ４が巻き取られるほど、バネ５０４がテープ４に付与する張力が強くなる。
【0082】
基板保持シャフト１０を回転させるときには、テープ４がスライダー５０２から剥がれないようにスライダー５０２上のテープ４を指で押さえてもよい。
【0083】
シャフト押さえ部材４０は、張力付与機構５０がテープ４に付与する張力の方向とは反対方向の力がテープ４に加わるように、基板保持シャフト１０を押さえている。また、基板保持シャフト１０は長孔３２に挿入されており、基板保持シャフト１０はフレキシブルに動くことができる。したがって、テープ４が撓むことを防ぐことができる。
【0084】
（４）テープをカットする（Ｓ４０）
次に、テープカットツール６０を用いてテープ４をカットする。なお、テープ４をカットする前に、テープ４を押さえていた指をテープ４から離すことで、テープ４をスライダー５０２からはがしてもよい。
次に、テープカットツール６０を用いてテープ４をカットする。なお、テープ４をカットする前に、テープ４を押さえていた指をテープ４から離すことで、テープ４をスライダー５０２からはがしてもよい。
【0085】
（５）遮蔽板を取り出す（Ｓ５０）
次に、基板保持シャフト１０から遮蔽板６を取り出す。例えば、図２４に示す取り出しツール８０を用いて遮蔽板６を取り出してもよい。
次に、基板保持シャフト１０から遮蔽板６を取り出す。例えば、図２４に示す取り出しツール８０を用いて遮蔽板６を取り出してもよい。
【0086】
以上の工程により、遮蔽板６を製造できる。
【0087】
２．３． 効果
遮蔽板製造装置２００では、張力付与機構５０は、テープ４の一端が固定されるスライダー５０２と、スライダー５０２に接続され、テープ４に張力を付与するバネ５０４と、を含む。また、基板保持シャフト１０を回転させることによって、テープ４は、テープ４の他端側から基板２に巻き取られる。そのため、遮蔽板製造装置２００では、遮蔽板製造装置１００と同様に、基板２にテープ４をしわなく貼り付けることができる。
遮蔽板製造装置２００では、張力付与機構５０は、テープ４の一端が固定されるスライダー５０２と、スライダー５０２に接続され、テープ４に張力を付与するバネ５０４と、を含む。また、基板保持シャフト１０を回転させることによって、テープ４は、テープ４の他端側から基板２に巻き取られる。そのため、遮蔽板製造装置２００では、遮蔽板製造装置１００と同様に、基板２にテープ４をしわなく貼り付けることができる。
【0088】
【0089】
試料加工装置３００は、試料Ｓの一部を遮蔽板６で遮蔽し、試料ＳにイオンビームＩＢを照射して試料Ｓを加工する。試料加工装置３００では、例えば、走査電子顕微鏡用の断面試料を作製できる。なお、試料加工装置３００は、イオンビーム以外の荷電粒子ビーム（電子ビーム等）を照射する装置であってもよい。
【0090】
試料加工装置３００は、図３２に示すように、遮蔽板６を含む。試料加工装置３００は、さらに、イオン源３１０と、遮蔽板ホルダー３３０と、支持部材３４０と、試料ステージ３５０と、チャンバー３６０と、を含む。
【0091】
イオン源３１０は、試料ＳにイオンビームＩＢを照射する。イオン源３１０は、チャンバー３６０の上部に取り付けられている。イオン源３１０は、例えば、所定の加速電圧でイオンを加速させてイオンビームＩＢを放出するイオン銃である。イオンビームＩＢとしては、例えば、Ａｒイオンビームを用いることができる。
【0092】
遮蔽板６は、試料Ｓ上に配置される。遮蔽板６は、試料Ｓの上面Ｓａの一部を覆う。試料Ｓ上に遮蔽板６を配置してイオンビームＩＢを照射することによって、イオンビームＩＢによりエッチングされる照射領域と遮蔽板６で遮蔽されてエッチングされない非照射領域との境界に沿って断面を形成できる。
【0093】
遮蔽板ホルダー３３０は、遮蔽板６を保持している。支持部材３４０は、遮蔽板ホルダー３３０を支持している。支持部材３４０は、遮蔽板６の位置を調整するための遮蔽板位置調整機構を備えている。
【0094】
試料ステージ３５０には、試料位置調整機構３５２が設けられている。試料位置調整機構３５２上には、試料Ｓを保持する試料ホルダー３５４が装着されている。試料位置調整機構３５２によって試料Ｓの位置を調整できる。
【0095】
試料ステージ３５０は、試料ホルダー３５４に保持された試料Ｓおよび遮蔽板６を軸Ａを回転軸として回転可能な回転機構を備えている。軸Ａは、イオンビームＩＢの光軸に直交する軸である。回転機構は、例えば、モーター駆動によって動作する。試料加工装置３００では、回転機構によって試料Ｓおよび遮蔽板６を軸Ａを回転軸（スイング軸）としてスイングさせながら、イオンビームＩＢを試料Ｓに照射できる。
【0096】
試料加工装置３００では、遮蔽板位置調整機構および試料位置調整機構３５２によって、遮蔽板６と試料Ｓとの間の位置関係を調整できる。さらに、遮蔽板位置調整機構および試料位置調整機構３５２によって、試料Ｓとイオン源３１０との間の位置関係、および遮蔽板６とイオン源３１０との間の位置関係を調整できる。
【0097】
チャンバー３６０内には、試料Ｓが収容される。チャンバー３６０内は、不図示の真空ポンプによって真空状態にできる。チャンバー３６０内において、試料ＳにイオンビームＩＢが照射される。
【0098】
なお、図示はしないが試料加工装置３００は、遮蔽板６および試料Ｓの位置を確認するためのカメラ、および試料Ｓの加工状況を確認するためのカメラを備えていてもよい。
【0099】
図３３は、試料加工装置３００の遮蔽板６を模式的に示す断面図である。
【0100】
遮蔽板６は、試料Ｓの上面Ｓａに配置される。イオンビームＩＢは、試料Ｓおよび遮蔽
板６の回転軸（スイング軸）となる軸Ａに対して垂直に照射される。軸Ａは、試料Ｓの上面Ｓａと遮蔽板６との境界を通る。試料Ｓの上面Ｓａは、軸Ａに平行である。試料加工装置３００では、軸Ａに平行な試料Ｓの上面ＳａにイオンビームＩＢを照射し、上面Ｓａに垂直な断面を形成できる。
板６の回転軸（スイング軸）となる軸Ａに対して垂直に照射される。軸Ａは、試料Ｓの上面Ｓａと遮蔽板６との境界を通る。試料Ｓの上面Ｓａは、軸Ａに平行である。試料加工装置３００では、軸Ａに平行な試料Ｓの上面ＳａにイオンビームＩＢを照射し、上面Ｓａに垂直な断面を形成できる。
【0101】
遮蔽板６は、遮蔽面６０２と、底面６０４と、上面６０６と、を含む。
【0102】
遮蔽面６０２は、イオンビームＩＢが照射される面である。遮蔽面６０２は、第１傾斜面６０２ａと、第２傾斜面６０２ｂと、を有している。
【0103】
第１傾斜面６０２ａは、底面６０４に接続されている。第１傾斜面６０２ａと底面６０４によってエッジ６０３が形成される。第１傾斜面６０２ａは、垂直ではなく、試料Ｓの上面Ｓａの垂線に対してわずかに傾いている。第１傾斜面６０２ａと試料Ｓの上面Ｓａがなす角度θ１は、鋭角である。第１傾斜面６０２ａと試料Ｓの上面Ｓａがなす角度θ１は、例えば、８５°＜θ１＜９０°である。第１傾斜面６０２ａが試料Ｓの上面Ｓａの垂線に対して傾いていることによって、イオンビームＩＢの照射角度がずれた場合でも遮蔽板６が試料Ｓの上面Ｓａに影をつくることを防ぐことができる。
【0104】
第２傾斜面６０２ｂは、第１傾斜面６０２ａに接続されている。第２傾斜面６０２ｂは、上面６０６に接続されている。第２傾斜面６０２ｂと上面６０６によって、エッジ６０５が形成される。第２傾斜面６０２ｂは、第１傾斜面６０２ａよりも試料Ｓの上面Ｓａに対する傾斜角度が小さい。第２傾斜面６０２ｂと試料Ｓの上面Ｓａがなす角度θ２は、鋭角である。第２傾斜面６０２ｂと試料Ｓの上面Ｓａがなす角度θ２は、例えば、６５°＜θ２＜θ１である。
【0105】
遮蔽面６０２が第２傾斜面６０２ｂを有することによって、遮蔽板６が大きくなることを防ぎつつ、遮蔽面６０２と上面６０６が形成するエッジ６０５をイオンビームＩＢの強度が弱い位置に配置できる。例えば、遮蔽面６０２が１つの傾斜面のみからなる場合、エッジ６０５をイオンビームＩＢの強度が弱い位置に配置するためには、遮蔽板６の高さを大きくしなければならず、遮蔽板６とイオン源３１０との間の距離が小さくなってしまう。
【0106】
これに対して、遮蔽面６０２が、第１傾斜面６０２ａよりも傾斜角度が小さい第２傾斜面６０２ｂを有することによって、遮蔽板６の高さが大きくなることを防ぎつつ、エッジ６０５をイオンビームＩＢの強度が弱い位置に配置できる。したがって、遮蔽板６とイオン源３１０との間の距離を適切に保ちつつ、エッジ６０５をイオンビームＩＢの強度が弱い位置に配置できる。
【0107】
底面６０４は、試料Ｓの上面Ｓａを向く面である。底面６０４は、遮蔽面６０２に接続されている。遮蔽面６０２と底面６０４によって、エッジ６０３が形成される。図示の例では、第１傾斜面６０２ａが底面６０４に接続されてエッジ６０３を形成している。エッジ６０３は、イオンビームＩＢでエッチングされる照射領域と遮蔽板６で遮蔽されてイオンビームＩＢでエッチングされない非照射領域との境界を決める。
【0108】
底面６０４は、試料Ｓの上面Ｓａに対して傾斜しているため、底面６０４の一部は試料Ｓに接触しない。図示はしないが、エッジ６０３のみが試料Ｓの上面Ｓａにあたるように遮蔽板６が遮蔽板ホルダー３３０で支持されていてもよい。
【0109】
遮蔽板６は、基板２と、テープ４と、を含む。テープ４は、導電層４０２と、粘着層４０４と、を含む。導電層４０２は、例えば、アルミニウム、銅、カーボンなどからなる金
属箔や、グラファイトシートなどの導電性薄膜である。粘着層４０４は、導電性を有する接着剤である。
属箔や、グラファイトシートなどの導電性薄膜である。粘着層４０４は、導電性を有する接着剤である。
【0110】
遮蔽板６では、遮蔽面６０２、底面６０４、および上面６０６は、テープ４で形成されている。ここで、試料Ｓの断面形状は、遮蔽面６０２の形状に影響を受ける。特に、第１傾斜面６０２ａおよびエッジ６０３の形状は、試料Ｓの断面形状に影響を与える。遮蔽板６では、遮蔽面６０２および底面６０４がテープ４で形成されているため、テープ４を貼り替えることによって、しわのない平滑な第１傾斜面６０２ａおよびしわのない平滑な底面６０４を形成できる。したがって、試料加工装置３００では、低コスト化を図ることができる。
【0111】
上述した遮蔽板製造装置１００および遮蔽板製造装置２００を用いることによって、容易に、しわのない平滑な第１傾斜面６０２ａおよびしわのない平滑な底面６０４を有する遮蔽板６を製造できる。
【0112】
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、さらに種々の変形が可能である。例えば、本発明は、実施形態で説明した構成と実質的に同一の構成を含む。実質的に同一の構成とは、例えば、機能、方法、及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成である。また、本発明は、実施形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【符号の説明】
【0113】
２…基板、４…テープ、４ａ…第１辺、４ｂ…第２辺、６…遮蔽板、１０…基板保持シャフト、１２…スリット、１２ａ…第１空間、１２ｂ…第２空間、１４…フック、２０…摘み、２２…クリックストップ機構、２４…凹部、２６…ストッパー、２６ａ…バネ、２６ｂ…凸部、３０…筐体、３０ａ…第１板部材、３０ｂ…第２板部材、３２…長孔、４０…シャフト押さえ部材、５０…張力付与機構、５２…アーム、５３…ストッパー、５４…アーム固定シャフト、５６…バネ、６０…テープカットツール、７０…基板固定用バネ、８０…取り出しツール、８２…爪、１００…遮蔽板製造装置、２００…遮蔽板製造装置、３００…試料加工装置、３１０…イオン源、３３０…遮蔽板ホルダー、３４０…支持部材、３５０…試料ステージ、３５２…試料位置調整機構、３５４…試料ホルダー、３６０…チャンバー、４０２…導電層、４０４…粘着層、５０２…スライダー、５０３…後端部、５０４…バネ、５０６…ガイド、６０２…遮蔽面、６０２ａ…第１傾斜面、６０２ｂ…第２傾斜面、６０３…エッジ、６０４…底面、６０５…エッジ、６０６…上面
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
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【図20】
【図21】
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【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
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【図28】
【図29】
【図30】
【図31】
【図32】
【図33】