特開 2024-92859 ガス精製方法、及び、ガス精製システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024092859

(43)【公開日】2024-07-08

(54)【発明の名称】ガス精製方法、及び、ガス精製システム

(51)【国際特許分類】

   B01D 53/04 20060101AFI20240701BHJP

   B01D 53/92 20060101ALI20240701BHJP

   B01D 53/96 20060101ALI20240701BHJP

   B01D 53/62 20060101ALI20240701BHJP

【ＦＩ】

B01D53/04 230

B01D53/92 240

B01D53/96 ZAB

B01D53/62

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022209065

(22)【出願日】2022-12-26

(71)【出願人】

【識別番号】000220262

【氏名又は名称】東京瓦斯株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001519

【氏名又は名称】弁理士法人太陽国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】東海 英顯

【テーマコード（参考）】

4D002

4D012

【Ｆターム（参考）】

4D002AA09

4D002AC10

4D002BA04

4D002CA07

4D002CA13

4D002DA31

4D002EA04

4D002EA08

4D002FA01

4D002GA02

4D002GA03

4D002GB01

4D012BA01

4D012CA03

4D012CB16

4D012CD02

4D012CE01

4D012CE02

4D012CF02

4D012CG03

4D012CJ03

(57)【要約】

【課題】吸着剤を用いて目的ガスを吸着及び脱着して、目的ガスを回収するシステムにおいて、確実に洗浄を行うと共に、目的ガスの回収効率を向上させる。
【解決手段】目的ガスを吸着する吸着剤２２が収納された複数の吸着部２０へ、目的ガスを含む原料ガスを流入させて吸着剤２２へ吸着させる吸着工程と、吸着剤２２に吸着された目的ガスを脱着させて吸着部２０から送出させる脱着工程と、吸着工程後脱着工程前に吸着部２０へ目的ガスを供給して吸着剤２２を洗浄する洗浄工程と、を繰り返して目的ガスを得るガス精製方法であって、洗浄工程中の吸着部２０へ供給される目的ガスの流量と吸着部２０から排出されるガスの流量との差が、洗浄完了量Ｄ１以下となった場合に、目的ガスの吸着部２０への供給を停止して洗浄工程を終了する。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

目的ガスを吸着する吸着剤が収納された複数の吸着部へ、前記目的ガスを含む原料ガスを流入させて前記吸着剤へ吸着させる吸着工程と、前記吸着剤に吸着された目的ガスを脱着させて前記吸着部から送出させる脱着工程と、前記吸着工程後前記脱着工程前に前記吸着部へ目的ガスを供給して前記吸着部を洗浄する洗浄工程と、を繰り返して目的ガスを得るガス精製方法であって、
前記洗浄工程中の前記吸着部へ供給される目的ガスの流量と前記吸着部から排出されるガスの流量との差が、洗浄完了量以下となった場合に、前記目的ガスの前記吸着部への供給を停止して前記洗浄工程を終了する、
ガス精製方法。

【請求項2】

前記洗浄完了量は、ゼロである、請求項１に記載のガス精製方法。

【請求項3】

目的ガスを吸着する吸着剤が収納された複数の吸着部へ、前記目的ガスを含む原料ガスを流入させて前記吸着剤へ吸着させる吸着工程と、前記吸着剤に吸着された目的ガスを脱着させて前記吸着部から送出させる脱着工程と、前記吸着工程後前記脱着工程前に前記吸着部へ目的ガスを供給して前記吸着部を洗浄する洗浄工程と、を繰り返して目的ガスを得るガス精製方法であって、
前記洗浄工程中の前記吸着部から排出されるガスの流量上昇が、洗浄完了値以下となった場合に、前記目的ガスの前記吸着部への供給を停止して前記洗浄工程を終了する、
ガス精製方法。

【請求項4】

前記洗浄完了量は、ゼロである、請求項３に記載のガス精製方法。

【請求項5】

目的ガスを吸着する吸着剤が収納され、前記目的ガスを含む原料ガスが供給される一方側接続部、前記一方側接続部と異なる他方側接続部、を有する複数の吸着部と、
前記吸着部の前記一方側接続部及び前記他方側接続部から排出されるガスの流量を各々取得する流量計と、
前記原料ガスを前記吸着剤へ吸着させる吸着工程と、前記吸着剤に吸着された目的ガスを脱着させて前記吸着部から送出させる脱着工程と、前記吸着工程後前記脱着工程前に前記吸着部へ目的ガスを供給して前記吸着部を洗浄する洗浄工程と、を有するサイクルが繰り返されるように、前記一方側接続部及び前記他方側接続部へのガスの供給を制御する制御部と、
を有し、
前記制御部は、前記流量計から得られた、前記洗浄工程中の前記吸着部へ供給される目的ガスの流量と前記吸着部から排出されるガスの流量との差が、洗浄完了量以下となった場合に、前記目的ガスの前記吸着部への供給を停止するようにガスの供給を制御する、
ガス精製システム。

【請求項6】

目的ガスを吸着する吸着剤が収納され、前記目的ガスを含む原料ガスが供給される一方側接続部、前記一方側接続部と異なる他方側接続部、を有する複数の吸着部と、
前記吸着部の前記他方側接続部から排出されるガスの流量を取得する流量計と、
前記原料ガスを前記吸着剤へ吸着させる吸着工程と、前記吸着剤に吸着された目的ガスを脱着させて前記吸着部から送出させる脱着工程と、前記吸着工程後前記脱着工程前に前記吸着部へ目的ガスを供給して前記吸着部を洗浄する洗浄工程と、を有するサイクルが繰り返されるように、前記一方側接続部及び前記他方側接続部へのガスの供給を制御する制御部と、
を有し、
前記制御部は、前記流量計から得られた、前記洗浄工程中の前記吸着部から排出される目的ガスの流量上昇が、洗浄完了値以下となった場合に、前記目的ガスの前記吸着部への供給を停止するように、ガスの供給を制御する、
ガス精製システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ガス精製方法、及び、ガス精製システムに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、吸着剤を用いて二酸化炭素等の目的のガスを吸着／脱着し、目的のガスを回収するシステムが提案されている。特許文献１には、吸着工程、脱着工程、洗浄工程について、各々時間を設定し、時間で各工程の切り替えを実行している。当該時間について、脱着工程時間を吸着工程時間よりも長くすることで、異なる２つの吸着塔において脱着工程を並行して行い、サイクルタイムの短縮を図っている。また、洗浄工程の時間を吸着工程の時間よりも短くすることが開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１２－２５０２１５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１では、洗浄工程を時間で切り換えているため、洗浄工程におけるパージが不十分になったり、パージが充分に行われた後も洗浄工程が継続されてしまったりすることも生じうる。洗浄工程では、パージガスとして製品ガスを消費するため、製品ガスのロスとなる。洗浄工程において、確実に洗浄を行うと共に、目的ガスの回収効率を向上させることが求められる。

【0005】

本発明は、上記事情に鑑みて成されたものであり、吸着剤を用いて目的ガスを吸着及び脱着して、目的ガスを回収するシステムにおいて、確実に洗浄を行うと共に、目的ガスの回収効率を向上させることを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

第１の態様に係るガス精製方法は、目的ガスを吸着する吸着剤が収納された複数の吸着部へ、前記目的ガスを含む原料ガスを流入させて前記吸着剤へ吸着させる吸着工程と、前記吸着剤に吸着された目的ガスを脱着させて前記吸着部から送出させる脱着工程と、前記吸着工程後前記脱着工程前に前記吸着部へ目的ガスを供給して前記吸着部を洗浄する洗浄工程と、を繰り返して目的ガスを得るガス精製方法であって、前記洗浄工程中の前記吸着部へ供給される目的ガスの流量と前記吸着部から排出されるガスの流量との差が、洗浄完了量以下となった場合に、前記目的ガスの前記吸着部への供給を停止して前記洗浄工程を終了する。

【0007】

第１の態様に係るガス精製方法では、吸着工程、洗浄工程、脱着工程、を繰り返して目的ガスを得る。吸着工程では、目的ガスを含む原料ガスを吸着部へ流入させて吸着剤へ吸着させ、脱着工程では、吸着剤に吸着された目的ガスを脱着させて吸着部から送出させる。洗浄工程では、吸着部へ目的ガスを供給して吸着部を洗浄する。

【0008】

この洗浄工程において、洗浄工程中に吸着部へ供給された目的ガスは、原料ガスよりも高濃度の目的ガスであるため、供給開始の始めは吸着剤に吸着され、吸着部から排出されるガスは供給された流量よりも少ない。吸着剤への目的ガスの吸着が進むにつれて、吸着量が減るため、吸着部から排出されるガスは増加していき、供給流量へ近づく。

【0009】

そこで、洗浄工程中に吸着部へ供給される目的ガスの流量と、吸着部から排出されるガスの流量との差が、洗浄完了量以下となった場合に、目的ガスの吸着部への供給を停止して洗浄工程を終了する。ここでの洗浄完了量は、吸着剤へ目的ガスが充分に吸着されて、洗浄後に回収する目的ガスの濃度が製品ガスとして問題ない程度となる量で設定される。

【0010】

このようなタイミングで、洗浄工程を終了することにより、確実に洗浄を行うことができると共に、目的ガスを無駄に消費することなく、回収効率を向上させることができる。

【0011】

第２の態様に係るガス精製方法は、前記洗浄完了量は、ゼロである。

【0012】

このように、洗浄工程中に吸着部へ供給される目的ガスの流量と、吸着部から排出されるガスの流量との差が、ゼロとなった場合に、目的ガスの吸着部への供給を停止して洗浄工程を終了することにより、より確実に洗浄を行うことができる。

【0013】

第３の態様に係るガス精製方法は、目的ガスを吸着する吸着剤が収納された複数の吸着部へ、前記目的ガスを含む原料ガスを流入させて前記吸着剤へ吸着させる吸着工程と、前記吸着剤に吸着された目的ガスを脱着させて前記吸着部から送出させる脱着工程と、前記吸着工程後前記脱着工程前に前記吸着部へ目的ガスを供給して前記吸着部を洗浄する洗浄工程と、を繰り返して目的ガスを得るガス精製方法であって、前記洗浄工程中の前記吸着部から排出されるガスの流量上昇が、洗浄完了値以下となった場合に、前記目的ガスの前記吸着部への供給を停止して前記洗浄工程を終了する。

【0014】

第３の態様に係るガス精製方法では、吸着工程、洗浄工程、脱着工程、を繰り返して目的ガスを得る。吸着工程では、目的ガスを含む原料ガスを吸着部へ流入させて吸着剤へ吸着させ、脱着工程では、吸着剤に吸着された目的ガスを脱着させて吸着部から送出させる。洗浄工程では、吸着部へ目的ガスを供給して吸着部を洗浄する。

【0015】

この洗浄工程において、洗浄工程中に吸着部へ供給された目的ガスは、原料ガスよりも高濃度の目的ガスであるため、供給開始の始めは吸着剤に吸着され、吸着部から排出されるガスは供給された流量よりも少ない。吸着剤への目的ガスの吸着が進むにつれて、吸着量が減るため、吸着部から排出されるガスの流量は上昇していき、この上昇は吸着剤への目的ガスの吸着が飽和状態に近づくにつれて小さくなっていく。

【0016】

そこで、洗浄工程中の吸着部から排出されるガスの流量上昇が、洗浄完了値以下となった場合に、目的ガスの前記吸着部への供給を停止して前記洗浄工程を終了する。ここでの洗浄完了値は、吸着剤へ目的ガスが充分に吸着されて、洗浄後に回収する目的ガスの濃度が製品ガスとして問題ない程度となる値で設定される。

【0017】

このようなタイミングで、洗浄工程を終了することにより、確実に洗浄を行うことができると共に、目的ガスを無駄に消費することなく、回収効率を向上させることができる。

【0018】

第４の態様に係るガス精製方法は、前記洗浄完了値は、ゼロである。

【0019】

このように、洗浄工程中の吸着部から排出されるガスの流量上昇がゼロとなった場合に、目的ガスの吸着部への供給を停止して洗浄工程を終了することにより、より確実に洗浄を行うことができる。

【0020】

第５の態様に係るガス精製システムは、目的ガスを吸着する吸着剤が収納され、前記目的ガスを含む原料ガスが供給される一方側接続部、前記一方側接続部と異なる他方側接続部、を有する複数の吸着部と、前記吸着部の前記一方側接続部及び前記他方側接続部から排出されるガスの流量を各々取得する流量計と、前記原料ガスを前記吸着剤へ吸着させる吸着工程と、前記吸着剤に吸着された目的ガスを脱着させて前記吸着部から送出させる脱着工程と、前記吸着工程後前記脱着工程前に前記吸着部へ目的ガスを供給して前記吸着部を洗浄する洗浄工程と、を有するサイクルが繰り返されるように、前記一方側接続部及び前記他方側接続部へのガスの供給を制御する制御部と、を有し、前記制御部は、前記流量計から得られた、前記洗浄工程中の前記吸着部へ供給される目的ガスの流量と前記吸着部から排出されるガスの流量との差が、洗浄完了量以下となった場合に、前記目的ガスの前記吸着部への供給を停止するようにガスの供給を制御する。

【0021】

第５の態様に係るガス精製システムでは、吸着工程、洗浄工程、脱着工程、洗浄工程を繰り返して目的ガスを得る。吸着工程では、目的ガスを含む原料ガスを吸着部へ流入させて吸着剤へ吸着させ、脱着工程では、吸着剤に吸着された目的ガスを脱着させて吸着部から送出させる。洗浄工程では、吸着部へ目的ガスを供給して吸着部を洗浄する。

【0022】

この洗浄工程において、洗浄工程中に吸着部へ供給された目的ガスは、原料ガスよりも高濃度の目的ガスであるため、供給開始の始めは吸着剤に吸着され、吸着部から排出されるガスは供給された流量よりも少ない。吸着剤への目的ガスの吸着が進むにつれて、吸着量が減るため、吸着部から排出されるガスは増加していき、供給流量へ近づく。

【0023】

そこで、洗浄工程中に吸着部へ供給される目的ガスの流量と、吸着部から排出されるガスの流量との差が、洗浄完了量以下となった場合に、目的ガスの吸着部への供給を停止して洗浄工程を終了するようにガスの供給を制御する。ここでの洗浄完了量は、吸着剤へ目的ガスが充分に吸着されて、洗浄後に回収する目的ガスの濃度が製品ガスとして問題ない程度となる量で設定される。

【0024】

このようなタイミングで、洗浄工程を終了することにより、確実に洗浄を行うことができると共に、目的ガスを無駄に消費することなく、回収効率を向上させることができる。

【0025】

第６の態様に係るガス精製システムは、目的ガスを吸着する吸着剤が収納され、前記目的ガスを含む原料ガスが供給される一方側接続部、前記一方側接続部と異なる他方側接続部、を有する複数の吸着部と、前記吸着部の前記他方側接続部から排出されるガスの流量を取得する流量計と、前記原料ガスを前記吸着剤へ吸着させる吸着工程と、前記吸着剤に吸着された目的ガスを脱着させて前記吸着部から送出させる脱着工程と、前記吸着工程後前記脱着工程前に前記吸着部へ目的ガスを供給して前記吸着部を洗浄する洗浄工程と、を有するサイクルが繰り返されるように、前記一方側接続部及び前記他方側接続部へのガスの供給を制御する制御部と、を有し、前記制御部は、前記流量計から得られた、前記洗浄工程中の前記吸着部から排出される目的ガスの流量上昇が、洗浄完了値以下となった場合に、前記目的ガスの前記吸着部への供給を停止するように、ガスの供給を制御する。

【0026】

この洗浄工程において、洗浄工程中に吸着部へ供給された目的ガスは、原料ガスよりも高濃度の目的ガスであるため、供給開始の始めは吸着剤に吸着され、吸着部から排出されるガスは供給された流量よりも少ない。吸着剤への目的ガスの吸着が進むにつれて、吸着量が減るため、吸着部から排出されるガスの流量は上昇していき、この上昇は吸着剤への目的ガスの吸着が飽和状態に近づくにつれて小さくなっていく。

【0027】

そこで、洗浄工程中の吸着部から排出されるガスの流量上昇が、洗浄完了値以下となった場合に、目的ガスの前記吸着部への供給を停止して前記洗浄工程を終了するように、ガスの供給を制御する。ここでの洗浄完了値は、吸着剤へ目的ガスが充分に吸着されて、洗浄後に回収する目的ガスの濃度が製品ガスとして問題ない程度となる値で設定される。

【0028】

このようなタイミングで、洗浄工程を終了することにより、確実に洗浄を行うことができると共に、目的ガスを無駄に消費することなく、回収効率を向上させることができる。

【発明の効果】

【0029】

本発明によれば、吸着剤を用いて目的ガスを吸着及び脱着して、目的ガスを回収するシステムにおいて、確実に洗浄を行うと共に、目的ガスの回収効率を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0030】

【図1】本実施形態に係るガス精製システムの概略構成図である。

【図2】本実施形態に係るガス精製システムの制御部とその接続部材とのブロック図である。

【図3】本実施形態の二酸化炭素回収処理の流れを示すフローチャートである。

【図4】本実施形態の第１工程処理の流れを示すフローチャートである。

【図5】第１工程処理中の洗浄確認処理の流れを示すフローチャートである。

【図6】第１工程処理におけるガスの流れを示す説明ステップ（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）である。

【図7】本実施形態の第２工程処理の流れを示すフローチャートである。

【図8】第２工程処理中の洗浄確認処理の流れを示すフローチャートである。

【図9】第２工程処理におけるガスの流れを示す説明ステップ（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）である。

【図10】本実施形態の第３工程処理の流れを示すフローチャートである。

【図11】第３工程処理中の洗浄確認処理の流れを示すフローチャートである。

【図12】第３工程処理におけるガスの流れを示す説明ステップ（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）である。

【図13】各吸着部における、第１工程、第２工程、第３工程のタイミングを示す図である。

【図14】（Ａ）は本実施形態に係るガス精製システムのオフガス流量Ｆ２と回収ＣＯ２流量Ｆ１の経時的な変化を示すグラフであり、（Ｂ）は比較例に係るガス精製システムのオフガス流量Ｆ２と回収ＣＯ２流量Ｆ１の経時的な変化を示すグラフである。

【発明を実施するための形態】

【0031】

本発明の実施形態に係るガス精製方法、及び、ガス精製システムの一例を図面に従って説明する。本実施形態では、ガスの一例として二酸化炭素を精製するシステムについて説明する。

【0032】

ガス精製システム１０は、ガスエンジンやガスボイラなどの機器や、工場から排出される二酸化炭素を含む排ガスを原料ガスとし、原料ガスから高濃度の二酸化炭素リッチガスを回収するものである。なお、図１では、ガス精製システム１０の構成を概略的に示しており、ガス精製システム１０は、他の構成を含んでいてもよい。

【0033】

本実施形態に係るガス精製システム１０は、図１に示されるように、３つの吸着部２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、ＣＯ２回収側ポンプ１２、透過側流量計１４、回収側流量計１６、水蒸気供給部１８を備えている。

【0034】

吸着部２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃは同一構成とされており、これらを区別なく説明する場合には、総称として「吸着部２０」とする。吸着部２０は、内部に二酸化炭素を吸着すると共に、吸着部２０内の条件を変更することにより、吸着した二酸化炭素を脱着可能な吸着剤２２が充填されている。吸着剤２２としては、例えば、アミン担持多孔質体、アミノシラン修飾多孔質体を用いることができる。本実施形態では、吸着した二酸化炭素の脱着が、水蒸気を供給することによりを促進されるアミン担持多孔質体を用いる。

【0035】

吸着部２０の吸着剤２２を挟んで一方側には、第一口としての一方側接続部２４が形成され、他方側には第二口としての他方側接続部２６が形成されている。一方側接続部２４には、第１ガス路４０が接続され、他方側接続部２６には、第２ガス路３０が接続されている。

【0036】

第１ガス路４０には、原料ガス供給路４２、ＣＯ２供給路４４、ＣＯ２回収路４６が接続されている。原料ガス供給路４２には原料供給バルブＶ１が設けられ、ＣＯ２供給路４４にはＣＯ２供給バルブＶ２が設けられ、ＣＯ２回収路４６にはＣＯ２回収バルブＶ３が設けられている。第１ガス路４０、原料ガス供給路４２、ＣＯ２供給路４４、ＣＯ２回収路４６、原料供給バルブＶ１、ＣＯ２供給バルブＶ２、ＣＯ２回収バルブＶ３は、吸着部２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃの各々に対応して設けられている。以下、吸着部２０Ａに対応する各部の符号の末尾に「Ａ」を付し、吸着部２０Ｂに対応する各部の符号の末尾に「Ｂ」を付し、吸着部２０Ｃに対応する各部の符号の末尾に「Ｃ」を付して図示すると共に、説明において区別する場合には、各部の符号末尾に当該符号を付して説明する。

【0037】

原料ガス供給路４２は、上流側が不図示の原料ガス供給源（ガスエンジン、工場排ガス路等）に接続されており、原料供給バルブＶ１よりも上流側で原料ガス供給路４２Ａ、４２Ｂ、４２Ｃに分岐されている。原料ガス供給路４２Ａ、４２Ｂ、４２Ｃの下流端が、各々、第１ガス路４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｂと接続されている。原料供給バルブＶ１は、原料ガス供給路４２Ａ、４２Ｂ、４２Ｃの各々に設けられている。

【0038】

ＣＯ２回収路４６には、ＣＯ２回収側ポンプ１２が設けられている。ＣＯ２回収側ポンプ１２は、一例として真空ポンプを用いることができる。ＣＯ２回収路４６のＣＯ２回収側ポンプ１２よりも下流側には、回収側流量計１６が設けられている。回収側流量計１６は、通過するＣＯ２ガスの流量を測定する。回収側流量計１６は、後述する制御部５０と接続されており、計測したＣＯ２ガスの流量（以下「回収ＣＯ２流量Ｆ１」という）を制御部５０へ送信する。

【0039】

ＣＯ２回収路４６はＣＯ２回収側ポンプ１２よりも吸着部２０側で、ＣＯ２回収路４６Ａ、４６Ｂ、４６Ｃに分岐されている。ＣＯ２回収路４６Ａ、４６Ｂ、４６Ｃの一端は、各々、第１ガス路４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｂと接続されている。ＣＯ２回収路４６には、ＣＯ２回収側ポンプ１２及び回収側流量計１６を挟んでＣＯ２回収路４６Ａ、４６Ｂ、４６Ｃの分岐部分と反対側に、三方弁Ｖ７を介してＣＯ２供給路４４の一端が接続されている。ＣＯ２回収バルブＶ３は、ＣＯ２回収路４６Ａ、４６Ｂ、４６Ｃの各々に設けられている。

【0040】

ＣＯ２供給路４４は、ＣＯ２供給バルブＶ２を挟んで吸着部２０と反対側でＣＯ２供給路４４Ａ、４４Ｂ、４４Ｃに分岐されている。ＣＯ２供給路４４Ａ、４４Ｂ、４４Ｃは、各々、第１ガス路４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｂと接続されている。ＣＯ２供給バルブＶ２は、ＣＯ２供給路４４Ａ、４４Ｂ、４４Ｃの各々に設けられている。

【0041】

第２ガス路３０には、オフガス送出路３２、洗浄オフガス送出路３４、水蒸気供給路３６が接続されている。オフガス送出路３２にはオフガス排出バルブＶ４が設けられ、洗浄オフガス送出路３４には洗浄オフガスバルブＶ５が設けられ、水蒸気供給路３６には水蒸気供給バルブＶ６が設けられている。第２ガス路３０、オフガス送出路３２、洗浄オフガス送出路３４、水蒸気供給路３６、オフガス排出バルブＶ４、洗浄オフガスバルブＶ５、水蒸気供給バルブＶ６は、吸着部２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃの各々に対応して設けられている。以下、吸着部２０Ａに対応する各部の符号の末尾に「Ａ」を付し、吸着部２０Ｂに対応する各部の符号の末尾に「Ｂ」を付し、吸着部２０Ｃに対応する各部の符号の末尾に「Ｃ」を付して図示すると共に、説明において区別する場合には、当該符号を付して説明する。

【0042】

オフガス送出路３２は、オフガス送出路３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃに分岐されて、各々第２ガス路３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃと接続されている。オフガス排出バルブＶ４Ａ、Ｖ４Ｂ、Ｖ４Ｃは、オフガス送出路３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃに各々設けられている。

【0043】

洗浄オフガス送出路３４は、洗浄オフガス送出路３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃに分岐されて、各々第２ガス路３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃと接続されている。洗浄オフガスバルブＶ５Ａ、Ｖ５Ｂ、Ｖ５Ｃは、洗浄オフガス送出路３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃに各々設けられている。オフガス送出路３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃからのガスは、洗浄オフガス送出路３４を介して排出される。

【0044】

洗浄オフガス送出路３４には、透過側流量計１４が設けられている。透過側流量計１４は、後述する制御部５０と接続されており、計測したガスの流量（以下「オフガス流量Ｆ２」という）を制御部５０へ送信する。

【0045】

水蒸気供給路３６の一端は、水蒸気供給部１８と接続されている。水蒸気供給部１８は、一例として気化器等を用いることができる。水蒸気供給路３６は、水蒸気供給バルブＶ６を挟んで吸着部２０と反対側で水蒸気供給路３６Ａ、３６Ｂ、３６Ｃに分岐されている。水蒸気供給路３６Ａ、３６Ｂ、３６Ｃは、各々、第２ガス路３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｂと接続されている。水蒸気供給バルブＶ６は、水蒸気供給路３６Ａ、３６Ｂ、３６Ｃの各々に設けられている。

【0046】

図２に示されるように、ガス精製システム１０は、制御部５０を備えている。制御部５０は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ：プロセッサ）５０Ａ、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）５０Ｂ、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）５０Ｃ、ストレージ５０Ｄ、入出力インターフェース（Ｉ／Ｏ）５０Ｅ、を有する。各構成は、バス５２を介して相互に通信可能に接続されている。

【0047】

ＣＰＵ５０Ａは、中央演算処理ユニットであり、各種プログラムを実行したり、各部を制御したりする。すなわち、ＣＰＵ５０Ａは、ＲＯＭ５０Ｂまたはストレージ５０Ｄからプログラムを読み出し、ＲＡＭ５０Ｃを作業領域としてプログラムを実行する。ＣＰＵ５０Ａは、ＲＯＭ５０Ｂまたはストレージ５０Ｄに記録されているプログラムにしたがって、上記各構成の制御および各種の演算処理を行う。

【0048】

ＲＯＭ５０Ｂは、各種プログラムおよび各種データを格納する。ＲＡＭ５０Ｃは、作業領域として一時的にプログラムまたはデータを記憶する。ストレージ５０Ｄは、ＨＤＤ（Ｈａｒｄ Ｄｉｓｋ Ｄｒｉｖｅ）またはＳＳＤ（Ｓｏｌｉｄ Ｓｔａｔｅ Ｄｒｉｖｅ）により構成され、オペレーティングシステムを含む各種プログラム、および各種データを格納する。本実施形態では、ＲＯＭ５０Ｂまたはストレージ５０Ｄには、後述するガス精製システム１０の、吸着工程、粗洗浄工程、洗浄工程等を実行するためのプログラム（二酸化炭素回収処理、洗浄確認処理）や、後述する洗浄完了量Ｄ１、吸着・脱着のための所定時間Ｔ１等々、各種のデータ等が格納されている。

【0049】

入出力Ｉ／Ｏ５０Ｅは、信号線を介して、原料供給バルブＶ１、ＣＯ２供給バルブＶ２、ＣＯ２回収バルブＶ３、オフガス排出バルブＶ４、洗浄オフガスバルブＶ５、水蒸気供給バルブＶ６、三方弁Ｖ７、ＣＯ２回収側ポンプ１２、透過側流量計１４、回収側流量計１６と接続されている。制御部５０により、これらのバルブの開閉、三方弁の流路の切り換えが制御されている。また、制御部５０により、ＣＯ２回収側ポンプ１２の駆動が制御され、透過側流量計１４、回収側流量計１６から、オフガス流量Ｆ２、回収ＣＯ２流量Ｆ１の情報が入力される。

【0050】

次に、本実施形態のガス精製システム１０の作用について説明する。

【0051】

吸着工程では、原料供給バルブＶ１及びオフガス排出バルブＶ４が開放され、原料ガス供給路４２から第１ガス路４０を経て、吸着部２０へ原料ガスが供給される。原料ガスに含まれる二酸化炭素は、吸着剤２２に吸着される。原料ガスは、吸着部２０を一方側接続部２４側から他方側接続部２６側へ流れ、吸着剤２２に吸着されなかったガスは、オフガスとして第２ガス路３０へ送出され、オフガス送出路３２を経て大気へ放出される。このとき、吸着部２０内の圧力は、所定の吸着圧に設定されている。

【0052】

脱着工程では、ＣＯ２回収バルブＶ３及び水蒸気供給バルブＶ６が開放され、吸着部２０内の圧力は、所定の脱着圧に設定され、水蒸気供給部１８から吸着部２０へ、水蒸気供給路３６を経て水蒸気が供給される。また、ＣＯ２回収側ポンプ１２が駆動される。これにより、吸着剤２２に吸着されていた二酸化炭素は、吸着剤２２から脱着し、水蒸気と共に一方側接続部２４から第１ガス路４０を経て、ＣＯ２回収路４６へ送出される。ＣＯ２回収路４６へ送出された二酸化炭素は、不図示の凝縮器で水分離され、製品二酸化炭素として回収される。また、水分離された後の二酸化炭素は、後述する洗浄工程でも用いられる。

【0053】

洗浄工程では、ＣＯ２供給バルブＶ２及び洗浄オフガスバルブＶ５が開放され、二酸化炭素が吸着剤２２に吸着された状態の吸着部２０へ、ＣＯ２供給路４４から二酸化炭素が供給される。二酸化炭素は、前述した脱着工程でＣＯ２回収路４６へ送出された二酸化炭素が用いられる。ＣＯ２回収路４６へ送出された二酸化炭素は、三方弁Ｖ７をＣＯ２供給路４４が開放されるように切り換えることにより、ＣＯ２供給路４４へ送出される。ＣＯ２供給路４４へ送出された二酸化炭素は、第１ガス路４０を経て一方側接続部２４側から、二酸化炭素やその他の物質が吸着された状態の吸着部２０へ供給される。供給された二酸化炭素は、吸着部２０内の不純物と共に一方側接続部２４側から他方側接続部２６側へ流れ、洗浄オフガスとして、第２ガス路３０から洗浄オフガス送出路３４を経て排出される。このとき、吸着部２０内の圧力は、所定の吸着圧に設定されている。

【0054】

これら、吸着工程、脱着工程、洗浄工程は、制御部５０により、二酸化炭素回収処理のプログラムが実行されることにより行われる。二酸化炭素回収処理は、図３に示される様に、第１工程Ｓ１、第２工程Ｓ２、第３工程Ｓ３が繰り返し実行される。なお、当該プログラムの実行前、バルブＶ１～Ｖ６は閉鎖されている。

【0055】

第１工程Ｓ１では、図４に示されるように、ステップＳ１０で、吸着部２０Ａについて、原料供給バルブＶ１Ａ及びオフガス排出バルブＶ４Ａを開放することにより、吸着工程処理が実行される。これにより、吸着部２０Ａの吸着剤２２Ａに二酸化炭素が吸着される。

【0056】

ステップＳ１２で、吸着部２０Ｃについて、ＣＯ２回収バルブＶ３Ｃ及び水蒸気供給バルブＶ６Ｃを開放すると共にＣＯ２回収側ポンプ１２を駆動させることにより、脱着工程処理が実行される。これにより、吸着部２０Ｃの吸着剤２２Ｃから二酸化炭素が脱着され、ＣＯ２回収路４６に二酸化炭素が送出される。送出された二酸化炭素を製品二酸化炭素として回収したり、洗浄に使用したりすることができる。

【0057】

ステップＳ１４で、吸着部２０Ｂについて、ＣＯ２供給バルブＶ２Ｂ及び洗浄オフガスバルブＶ５Ｂを開放し、三方弁Ｖ７の吸着部２０側が開放するように切り換えることにより、洗浄工程処理を実行する。

【0058】

図６（Ａ）には、ステップＳ１０～ステップＳ１４が実行された状態のバルブの開閉状態、ガスの流れが示されている。

【0059】

ここで、流量差Ｄ、及び、洗浄完了量Ｄ１について説明する。洗浄工程中にＣＯ２供給路４４から吸着部２０Ｂへ供給された二酸化炭素は、原料ガスよりも二酸化炭素濃度が高濃度であるため、供給開始の始めは吸着剤２２Ｂに吸着され、吸着部２０Ｂから排出されるオフガスの流量は供給された二酸化炭素の流量よりも少ない。吸着剤２２Ｂへの二酸化炭素の吸着が進むにつれて、供給された二酸化炭素は吸着剤２２Ｂへの吸着量が減るため、吸着部２０Ｂから排出されるオフガスの流量は増加していき、供給された二酸化炭素の量と排出される二酸化炭素の流量の差が小さくなる。

【0060】

そこで、洗浄工程中の吸着部２０Ｂへ供給される二酸化炭素の流量と、吸着部２０Ｂから排出されるオフガスの流量との差（流量差Ｄ）を求め、流量差Ｄが洗浄完了量Ｄ１以下となった場合に、吸着部２０Ｂへの二酸化炭素の供給を停止して洗浄工程を終了する。ここで用いられるのが洗浄完了量Ｄ１である。

【0061】

洗浄工程中の吸着部２０Ｂへ供給される二酸化炭素の流量は、回収側流量計１６で計測された回収ＣＯ２流量Ｆ１で得ることができ、吸着部２０Ｂから排出されるオフガスの流量は、透過側流量計１４で計測されたオフガス流量Ｆ２で得ることができる。洗浄完了量Ｄ１は、吸着剤へ二酸化炭素が充分に吸着されて、洗浄後に回収する二酸化炭素の濃度が製品二酸化炭素として問題ない程度となる量で設定される。洗浄完了量Ｄ１は、ゼロであることが好ましい。

【0062】

ステップＳ１４で洗浄工程処理が実行された後、ステップＳ１６で、図５に示す洗浄確認処理が実行される。

【0063】

ステップＳ１６－１で、回収ＣＯ２流量Ｆ１を取得し、ステップＳ１６－２で、オフガス流量Ｆ２を取得し、ステップＳ１６－３で、回収ＣＯ２流量Ｆ１からオフガス流量Ｆ２を差し引いて流量差Ｄを算出する。この流量差Ｄの値が、吸着部２０Ｂにおいて、吸着剤２２Ｂへの二酸化炭素の吸着が飽和状態に近づいているか否かの指標となる。そこで、ステップＳ１６－４で、流量差Ｄが洗浄完了量Ｄ１以下かどうか判断する。ステップＳ１６－４での判断が肯定された場合には、吸着部２０Ｂの洗浄が完了したと確認できるため、ステップＳ１６－５で、三方バルブＶ７について、製品二酸化炭素側を開放する。これにより、吸着部２０Ｃから送出されている製品二酸化炭素の洗浄のための使用が終了し、製品二酸化炭素として、貯留や使用をすることができる。

【0064】

次に、ステップＳ１６－６で、ＣＯ２供給バルブＶ２Ｂを閉鎖し、更に、ステップＳ１６－７で、洗浄オフガスバルブＶ５Ｂを閉鎖し、ステップＳ１６の洗浄確認処理を終了する。

【0065】

図６（Ｂ）には、ステップＳ１６－７終了時のバルブの開閉状態、ガスの流れが示されている。

【0066】

このように、流量差Ｄが洗浄完了量Ｄ１以下となった場合に、吸着部２０Ｂへの二酸化炭素の供給を停止して洗浄工程を終了することにより、確実に洗浄を行うことができると共に、製品二酸化炭素を無駄に消費することなく、回収効率を向上させることができる。

【0067】

次に、ステップＳ１８で、脱着工程処理の実行（ステップＳ１２）から所定時間Ｔ１経過したか否かを判断する。所定時間Ｔ１は、吸着部２０Ｃの吸着剤２２Ｃに吸着された二酸化炭素が充分脱着されるために必要とされる時間が設定される。判断が否定された場合には、ステップＳ１８を繰り返し、判断が肯定された場合には、ステップＳ２０で、原料供給バルブＶ１Ａ、オフガス排出バルブＶ４Ａ、ＣＯ２回収バルブＶ３Ｃ、水蒸気供給バルブＶ６Ｃを閉鎖して（閉鎖処理）、第１工程を終了する。

【0068】

図６（Ｃ）には、ステップＳ１８終了時のバルブの開閉状態、ガスの流れが示されている。

【0069】

第２工程Ｓ２では、図７に示されるように、ステップＳ３０で、吸着部２０Ｃについて、原料供給バルブＶ１Ｃ及びオフガス排出バルブＶ４Ｃを開放することにより、吸着工程処理が実行される。これにより、吸着部２０Ｃの吸着剤２２Ｃに二酸化炭素が吸着される。

【0070】

ステップＳ３２で、吸着部２０Ｂについて、ＣＯ２回収バルブＶ３Ｂ及び水蒸気供給バルブＶ６Ｂを開放すると共にＣＯ２回収側ポンプ１２を駆動させることにより、脱着工程処理が実行される。これにより、吸着部２０Ｃの吸着剤２２Ｃから二酸化炭素が脱着され、ＣＯ２回収路４６に二酸化炭素が送出される。送出された二酸化炭素を製品二酸化炭素として回収したり、洗浄に使用したりすることができる。

【0071】

ステップＳ３４で、吸着部２０Ａについて、ＣＯ２供給バルブＶ２Ａ及び洗浄オフガスバルブＶ５Ａを開放し、三方弁Ｖ７の吸着部２０側が開放するように切り換えることにより、洗浄工程処理を実行する。

【0072】

図９（Ａ）には、ステップＳ３０～ステップＳ３４が実行された状態のバルブの開閉状態、ガスの流れが示されている。

【0073】

ステップＳ３４で洗浄工程処理が実行された後、ステップＳ３６で、図８に示す洗浄確認処理が実行される。

【0074】

ステップＳ３６－１で、回収ＣＯ２流量Ｆ１を取得し、ステップＳ３６－２で、オフガス流量Ｆ２を取得し、ステップＳ３６－３で、回収ＣＯ２流量Ｆ１からオフガス流量Ｆ２を差し引いて流量差Ｄを算出する。この流量差Ｄの値が、吸着部２０Ａにおいて、吸着剤２２Ａへの二酸化炭素の吸着が飽和状態に近づいているか否かの指標となる。そこで、ステップＳ３６－４で、流量差Ｄが洗浄完了値Ｄ１以下かどうか判断する。ステップＳ３６－４での判断が肯定された場合には、吸着部２０Ａの洗浄が完了したと確認できるため、ステップＳ３６－５で、三方バルブＶ７について、製品二酸化炭素側を開放する。これにより、吸着部２０Ｂから送出されている製品二酸化炭素の洗浄のための使用が終了し、製品二酸化炭素として、貯留や使用をすることができる。

【0075】

次に、ステップＳ３６－６で、ＣＯ２供給バルブＶ２Ａを閉鎖し、更に、ステップＳ３６－７で、洗浄オフガスバルブＶ５Ａを閉鎖し、ステップＳ３６の洗浄確認処理を終了する。

【0076】

図９（Ｂ）には、ステップＳ３６－７終了時のバルブの開閉状態、ガスの流れが示されている。

【0077】

このように、流量差Ｄが洗浄完了量Ｄ１以下となった場合に、吸着部２０Ａへの二酸化炭素の供給を停止して洗浄工程を終了することにより、確実に洗浄を行うことができると共に、製品二酸化炭素を無駄に消費することなく、回収効率を向上させることができる。

【0078】

次に、ステップＳ３８で、脱着工程処理の実行（ステップＳ３２）から所定時間Ｔ１経過したか否かを判断する。所定時間Ｔ１は、吸着部２０Ｂの吸着剤２２Ｂに吸着された二酸化炭素が充分脱着されるために必要とされる時間が設定される。判断が否定された場合には、ステップＳ３８を繰り返し、判断が肯定された場合には、ステップＳ４０で、原料供給バルブＶ１Ａ、オフガス排出バルブＶ４Ａ、ＣＯ２回収バルブＶ３Ｃ、水蒸気供給バルブＶ６Ｃを閉鎖して（閉鎖処理）、第２工程を終了する。

【0079】

図９（Ｃ）には、ステップＳ３８終了時のバルブの開閉状態、ガスの流れが示されている。

【0080】

第３工程では、図１０に示されるように、ステップＳ５０で、吸着部２０Ｂについて、原料供給バルブＶ１Ｂ及びオフガス排出バルブＶ４Ｂを開放することにより、吸着工程処理が実行される。これにより、吸着部２０Ｂの吸着剤２２Ｂに二酸化炭素が吸着される。

【0081】

ステップＳ５２で、吸着部２０Ａについて、ＣＯ２回収バルブＶ３Ａ及び水蒸気供給バルブＶ６Ａを開放すると共にＣＯ２回収側ポンプ１２を駆動させることにより、脱着工程処理が実行される。これにより、吸着部２０Ａの吸着剤２２Ａから二酸化炭素が脱着され、ＣＯ２回収路４６に二酸化炭素が送出される。送出された二酸化炭素を製品二酸化炭素として回収したり、洗浄に使用したりすることができる。

【0082】

ステップＳ５４で、吸着部２０Ｃについて、ＣＯ２供給バルブＶ２Ｃ及び洗浄オフガスバルブＶ５Ｃを開放し、三方弁Ｖ７の吸着部２０側が開放するように切り換えることにより、洗浄工程処理を実行する。

【0083】

図１２（Ａ）には、ステップＳ５０～ステップＳ５４が実行された状態のバルブの開閉状態、ガスの流れが示されている。

【0084】

ステップＳ５４で洗浄工程処理が実行された後、ステップＳ５６で、図１１に示す洗浄確認処理が実行される。

【0085】

ステップＳ５６－１で、回収ＣＯ２流量Ｆ１を取得し、ステップＳ５６－２で、オフガス流量Ｆ２を取得し、ステップＳ５６－３で、回収ＣＯ２流量Ｆ１からオフガス流量Ｆ２を差し引いて流量差Ｄを算出する。この流量差Ｄの値が、吸着部２０Ｃにおいて、吸着剤２２Ｃへの二酸化炭素の吸着が飽和状態に近づいているか否かの指標となる。そこで、ステップＳ５６－４で、流量差Ｄが洗浄完了量Ｄ１以下かどうか判断する。ステップＳ５６－４での判断が肯定された場合には、吸着部２０Ｃの洗浄が完了したと確認できるため、ステップＳ５６－５で、三方バルブＶ７について、製品二酸化炭素側を開放する。これにより、吸着部２０Ａから送出されている製品二酸化炭素の洗浄のための使用が終了し、製品二酸化炭素として、貯留や使用をすることができる。

【0086】

次に、ステップＳ５６－６で、ＣＯ２供給バルブＶ２Ｃを閉鎖し、更に、ステップＳ５６－７で、洗浄オフガスバルブＶ５Ｃを閉鎖し、ステップＳ５６の洗浄確認処理を終了する。

【0087】

図１２（Ｂ）には、ステップＳ５６－７終了時のバルブの開閉状態、ガスの流れが示されている。

【0088】

このように、流量差Ｄが洗浄完了量Ｄ１以下となった場合に、吸着部２０Ｃへの二酸化炭素の供給を停止して洗浄工程を終了することにより、確実に洗浄を行うことができると共に、製品二酸化炭素を無駄に消費することなく、回収効率を向上させることができる。

【0089】

次に、ステップＳ５８で、脱着工程処理の実行（ステップＳ５２）から所定時間Ｔ１経過したか否かを判断する。所定時間Ｔ１は、吸着部２０Ｃの吸着剤２２Ｃに吸着された二酸化炭素が充分脱着されるために必要とされる時間が設定される。判断が否定された場合には、ステップＳ５８を繰り返し、判断が肯定された場合には、ステップＳ６０で、原料供給バルブＶ１Ｂ、オフガス排出バルブＶ４Ｂ、ＣＯ２回収バルブＶ３Ａ、水蒸気供給バルブＶ６Ａを閉鎖して（閉鎖処理）、第３工程を終了する。

【0090】

図１２（Ｃ）には、ステップＳ５８終了時のバルブの開閉状態、ガスの流れが示されている。

【0091】

第３工程Ｓ３の終了後、ステップＳ４で、ガス精製システム１０の運転を終了する指示があるかどうかを判断し、終了指示がなければ、第１工程Ｓ１へ戻り、終了指示があれば、二酸化炭素回収処理を終了する。

【0092】

図１３には、吸着部２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃの各々における、第１工程、第２工程、第３工程のタイミングが示されている。また、図１４（Ａ）には、オフガス流量Ｆ２と回収ＣＯ２流量Ｆ１の経時的な変化を示すグラフが示されている。なお、図１４（Ｂ）には、比較例における、オフガス流量Ｆ２と回収ＣＯ２流量Ｆ１の経時的な変化を示すグラフが示されている。図１４（Ｂ）の比較例に示されるように、１の吸着部における洗浄処理が開始されると、破線で示される回収ＣＯ２流量Ｆ１は瞬間的に高くなり、徐々に減少する。一方、実線で示されるオフガス流量Ｆ２は、徐々に上昇し、回収ＣＯ２流量Ｆ１と同量となり、オフガス流量Ｆ２と回収ＣＯ２流量Ｆ１は、三方弁Ｖ７が切り換えられるまで同量で推移し、三方弁Ｖ７の切り換えにより、オフガス流量Ｆ２はゼロとなる。本実施形態では、図１４（Ａ）に示されるように、オフガス流量Ｆ２と回収ＣＯ２流量Ｆ１が同量で推移する時間を短縮することができる。

【0093】

本実施形態のガス精製システム１０では、流量差Ｄが洗浄完了量Ｄ１以下となった場合に、吸着部２０への二酸化炭素の供給を停止して洗浄工程を終了する。したがって、確実に洗浄を行うことができると共に、製品二酸化炭素を無駄に消費することなく、回収効率を向上させることができる。

【0094】

＜その他の実施形態＞
前述の実施形態では、流量差Ｄが洗浄完了量Ｄ１以下となった場合に、吸着部２０への二酸化炭素の供給を停止して洗浄工程を終了したが、オフガス流量Ｆ２の上昇が洗浄完了値Ｃ２以下となった場合に、吸着部２０への二酸化炭素の供給を停止して洗浄工程を終了してもよい。

【0095】

洗浄処理が実行されている吸着部２０から排出されるオフガス流量Ｆ２は、図１４（Ａ）に示されるように、徐々に上昇し、回収ＣＯ２流量Ｆ１と同量となった後、上昇がなくなる。そこで、オフガス流量Ｆ２に基づいて、ゼロ、またはゼロに近い洗浄完了値Ｃ２を設定する。そして、オフガス流量Ｆ２の上昇が洗浄完了値Ｃ２以下となった場合に、吸着部２０への二酸化炭素の供給を停止して洗浄工程を終了する。このようなタイミングで洗浄工程を終了することによっても、確実に洗浄を行うことができると共に、製品二酸化炭素を無駄に消費することなく、回収効率を向上させることができる。

【0096】

また、本実施形態では、目的ガスとして二酸化炭素を例示したガス精製システムについて説明したが、他のガス、例えば、窒素やメタンの精製に用いることもできる。

【符号の説明】

【0097】

１０ ガス精製システム
１４ 透過側流量計（流量計）
１６ 回収側流量計（流量計）
２０ 吸着部
２４ 一方側接続部
２６ 他方側接続部
５０ 制御部
Ｄ１ 洗浄完了量
Ｃ２ 洗浄完了値

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】