特開 2024-93099 アクチュエーター及びサポート部材

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024093099

(43)【公開日】2024-07-09

(54)【発明の名称】アクチュエーター及びサポート部材

(51)【国際特許分類】

   F16H 25/22 20060101AFI20240702BHJP

   F16H 25/20 20060101ALI20240702BHJP

   F16H 25/24 20060101ALI20240702BHJP

【ＦＩ】

F16H25/22 K

F16H25/20 F

F16H25/24 H

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022209251

(22)【出願日】2022-12-27

(71)【出願人】

【識別番号】391008515

【氏名又は名称】株式会社アイエイアイ

(74)【代理人】

【識別番号】100095407

【弁理士】

【氏名又は名称】木村 満

(74)【代理人】

【識別番号】100132883

【弁理士】

【氏名又は名称】森川 泰司

(74)【代理人】

【識別番号】100147924

【弁理士】

【氏名又は名称】美恵 英樹

(74)【代理人】

【識別番号】100165489

【弁理士】

【氏名又は名称】榊原 靖

(72)【発明者】

【氏名】望月 佑真

【テーマコード（参考）】

3J062

【Ｆターム（参考）】

3J062AB01

3J062AB22

3J062AC07

3J062BA12

3J062CD04

3J062CD12

3J062CD22

3J062CD36

(57)【要約】

【課題】装置の大型化を抑制しつつ、構造を簡素にすることができるアクチュエーター及びサポート部材を提供する。
【解決手段】アクチュエーター１は、ボールねじスプライン軸２１と、移動部材４０と、ガイド部材３１と、サポート部材６０とを備える。サポート部材６０は、サポートブラケット６０ａと、サポートブラケット６０ａに支持され、ボールねじスプライン軸２１のスプライン溝２１ｄと係合し、ボールねじスプライン軸２１と一体に回転されるスプラインナットＳＮ１と、スプラインナットＳＮ１と一体に回転される第１歯車６１と、第１歯車６１と噛合される第２歯車６２と、第２歯車６２と一体に回転される第３歯車６３と、第３歯車６３と噛合される第４歯車６４と、第４歯車６４と一体に回転され、サポートブラケット６０ａに支持され、ボールねじスプライン軸２１のボールねじ溝２１ｃと係合されるサポートナットＳＮ２とを有する。
【選択図】図６

【特許請求の範囲】

【請求項1】

両端が回転可能に支持されると共に、ボールねじ溝とスプライン溝とが形成されているボールねじスプライン軸と、
前記ボールねじスプライン軸の回転によりボールねじナットと共に移動される移動部材と、
前記移動部材を移動自在に支持するガイド部材と、
前記ボールねじスプライン軸の軸端と前記移動部材との間で前記ボールねじスプライン軸を支持すると共に、前記ガイド部材に移動自在に支持されるサポート部材と、を備え、
前記サポート部材は、
サポートブラケットと、
前記サポートブラケットにスプラインナット用軸受を介して支持され、前記ボールねじスプライン軸の前記スプライン溝と係合し、前記ボールねじスプライン軸と一体に回転されるスプラインナットと、
前記スプラインナットと一体に回転される第１歯車と、
前記第１歯車と噛合される第２歯車と、
前記第２歯車と一体に回転される第３歯車と、
前記第３歯車と噛合される第４歯車と、
前記第４歯車と一体に回転され、ボールねじナット用軸受を介して前記サポートブラケットに支持され、前記ボールねじスプライン軸の前記ボールねじ溝と係合されるサポートナットと、を有する、アクチュエーター。

【請求項2】

前記サポートナットは、滑りねじを有し、
前記滑りねじは、前記ボールねじ溝と噛合される、請求項１に記載のアクチュエーター。

【請求項3】

前記サポート部材の移動方向に垂直な両方の側部に設けられ、前記ガイド部材に対する前記サポート部材の移動を円滑化させる移動支持部材を備え、
前記両方の側部のうちの一方側の側部に設けられた前記移動支持部材は、前記ガイド部材に対する前記サポート部材の位置を調整可能に前記サポートブラケットに取り付けられ、
前記両方の側部のうちの他方側の側部に設けられた前記移動支持部材は、前記サポートブラケットに位置決めされた状態で固定され、
前記第２歯車及び前記第３歯車は、前記サポートブラケットの前記一方側以外の位置に設置されている、請求項１に記載のアクチュエーター。

【請求項4】

前記スプラインナット及び前記第１歯車は、一体に成型されている部品である、請求項１に記載のアクチュエーター。

【請求項5】

前記第２歯車と前記第３歯車は、一体に成型されている部品である、請求項１に記載のアクチュエーター。

【請求項6】

前記第４歯車と前記サポートナットは、一体に成型されている部品である、請求項１に記載のアクチュエーター。

【請求項7】

前記サポート部材が、複数個設置されている、請求項１から６のいずれか一項に記載のアクチュエーター。

【請求項8】

両端が回転可能に支持されると共に、ボールねじ溝とスプライン溝とが形成されているボールねじスプライン軸と、
前記ボールねじスプライン軸の回転によりボールねじナットと共に移動される移動部材と、
前記移動部材を移動自在に支持するガイド部材と、
前記ボールねじスプライン軸の軸端と前記移動部材との間で前記ボールねじスプライン軸を支持すると共に、前記ガイド部材に移動自在に支持されるサポート部材と、を備えるアクチュエーターに用いられるサポート部材であって、
サポートブラケットと、
前記サポートブラケットにスプラインナット用軸受を介して支持され、前記ボールねじスプライン軸の前記スプライン溝と係合し、前記ボールねじスプライン軸と一体に回転されるスプラインナットと、
前記スプラインナットと一体に回転される第１歯車と、
前記第１歯車と噛合される第２歯車と、
前記第２歯車と一体に回転される第３歯車と、
前記第３歯車と噛合される第４歯車と、
前記第４歯車と一体に回転され、ボールねじナット用軸受を介して前記サポートブラケットに支持され、前記ボールねじスプライン軸の前記ボールねじ溝と係合されるサポートナットと、を有する、サポート部材。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、アクチュエーター及びサポート部材に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、軸受装置（サポート部材）を被搬送体より遅い速度で移動させる装置が開示されている。特許文献１に開示の装置では、軸受装置（サポート部材）は、送りねじの回転から得た動力を歯車列を介して送りねじの軸方向と直交する方向へ変換させることで移動可能に設けられている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開昭６３－１６３０５９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に開示のものにおいて、軸受装置（サポート部材）を移動させるための動力が送りねじの軸方向と直交するように変換されているので、歯車列の軸方向を変更する必要があり、装置が大型化するおそれがあると共に、機構が複雑化するおそれがある。

【0005】

本発明は、上述の事情の下になされたもので、装置の大型化を抑制しつつ、構造を簡素にすることができるアクチュエーター及びサポート部材を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上述の目的を達成するために、本発明の第１の観点に係るアクチュエーターは、
両端が回転可能に支持されると共に、ボールねじ溝とスプライン溝とが形成されているボールねじスプライン軸と、
前記ボールねじスプライン軸の回転によりボールねじナットと共に移動される移動部材と、
前記移動部材を移動自在に支持するガイド部材と、
前記ボールねじスプライン軸の軸端と前記移動部材との間で前記ボールねじスプライン軸を支持すると共に、前記ガイド部材に移動自在に支持されるサポート部材と、を備え、
前記サポート部材は、
サポートブラケットと、
前記サポートブラケットにスプラインナット用軸受を介して支持され、前記ボールねじスプライン軸の前記スプライン溝と係合し、前記ボールねじスプライン軸と一体に回転されるスプラインナットと、
前記スプラインナットと一体に回転される第１歯車と、
前記第１歯車と噛合される第２歯車と、
前記第２歯車と一体に回転される第３歯車と、
前記第３歯車と噛合される第４歯車と、
前記第４歯車と一体に回転され、ボールねじナット用軸受を介して前記サポートブラケットに支持され、前記ボールねじスプライン軸の前記ボールねじ溝と係合されるサポートナットと、を有する。

【0007】

前記サポートナットは、滑りねじを有し、
前記滑りねじは、前記ボールねじ溝と噛合されていてもよい。

【0008】

前記サポート部材の移動方向に垂直な両方の側部に設けられ、前記ガイド部材に対する前記サポート部材の移動を円滑化させる移動支持部材を備え、
前記両方の側部のうちの一方側の側部に設けられた前記移動支持部材は、前記ガイド部材に対する前記サポート部材の位置を調整可能に前記サポートブラケットに取り付けられ、
前記両方の側部のうちの他方側の側部に設けられた前記移動支持部材は、前記サポートブラケットに位置決めされた状態で固定され、
前記第２歯車及び前記第３歯車は、前記サポートブラケットの前記一方側以外の位置に設置されていてもよい。

【0009】

前記スプラインナット及び前記第１歯車は、一体に成型されている部品であってもよい。

【0010】

前記第２歯車と前記第３歯車は、一体に成型されている部品であってもよい。

【0011】

前記第４歯車と前記サポートナットは、一体に成型されている部品であってもよい。

【0012】

前記サポート部材が、複数個設置されていてもよい。

【0013】

本発明の第２の観点に係るサポート部材は、
両端が回転可能に支持されると共に、ボールねじ溝とスプライン溝とが形成されているボールねじスプライン軸と、
前記ボールねじスプライン軸の回転によりボールねじナットと共に移動される移動部材と、
前記移動部材を移動自在に支持するガイド部材と、
前記ボールねじスプライン軸の軸端と前記移動部材との間で前記ボールねじスプライン軸を支持すると共に、前記ガイド部材に移動自在に支持されるサポート部材と、を備えるアクチュエーターに用いられるサポート部材であって、
サポートブラケットと、
前記サポートブラケットにスプラインナット用軸受を介して支持され、前記ボールねじスプライン軸の前記スプライン溝と係合し、前記ボールねじスプライン軸と一体に回転されるスプラインナットと、
前記スプラインナットと一体に回転される第１歯車と、
前記第１歯車と噛合される第２歯車と、
前記第２歯車と一体に回転される第３歯車と、
前記第３歯車と噛合される第４歯車と、
前記第４歯車と一体に回転され、ボールねじナット用軸受を介して前記サポートブラケットに支持され、前記ボールねじスプライン軸の前記ボールねじ溝と係合されるサポートナットと、を有する。

【発明の効果】

【0014】

本発明においては、装置の大型化を抑制しつつ、構造を簡素にすることができるアクチュエーター及びサポート部材を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】本発明の実施の形態に係るアクチュエーターの斜視図である。

【図2】実施の形態に係るアクチュエーターの分解斜視図（その１）である。

【図3】実施の形態に係るアクチュエーターの正面図である。

【図4】図３のＡ－Ａ断面図である。

【図5】実施の形態に係るアクチュエーターの分解斜視図（その２）である。

【図6】実施の形態に係るアクチュエーターハウジング、移動部材、及びサポート部材の斜視図である。

【図7】実施の形態に係るサポート部材及びガイド部材の斜視図（その１）である。

【図8】実施の形態に係るサポート部材の分解斜視図である。

【図9】実施の形態に係るサポート部材及びボールねじの斜視図である。

【図10】実施の形態に係るサポート部材及びボールねじの分解斜視図である。

【図11】実施の形態に係るサポート部材及びボールねじの一部を断面にした斜視図である。

【図12】実施の形態に係るサポート部材及びガイド部材の斜視図（その２）である。

【図13】実施の形態に係るアクチュエーターの動作を説明するための断面図である。

【図14】実施の形態に係るサポート部材及びボールねじの動作を説明するための分解斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、本発明の実施の形態に係るアクチュエーター１について説明する。なお、図中のＹ軸方向は、図１及び図２に示すように、スライドカバー４３を有するスライドテーブルＴが進退する第１方向Ｄ１に平行な方向であり、Ｘ軸方向及びＺ軸方向は、第１方向Ｄ１に直交する方向である。また、図中のＸＹ平面は、アクチュエーター１が設置される面に平行な水平面である。

【0017】

アクチュエーター１は、スライドテーブルＴが移動するスライダータイプのアクチュエーターであり、スライドテーブルＴの移動距離（Ｙ軸方向の長さ）が比較的長いアクチュエーターである。アクチュエーター１は、図３及び図４に示すように、スライドテーブルＴに加え、モーター１０と、ボールねじ２０と、アクチュエーターハウジング３０と、移動部材４０と、サポート部材６０、６０－２とを備える。

【0018】

モーター１０は、出力軸１０ａ（回転軸）と、モーター本体１１と、それらを覆うモーターカバーとを有する。モーター１０は、アクチュエーターハウジング３０から着脱可能な一つのユニットとして構成されている。

【0019】

モーター本体１１は、例えば、ローター、ステーター、エンコーダー等を有している。モーター本体１１には、電源から図示しないアクチェータケーブルを経由して電力が供給される。アクチェーターケーブルは、モーター本体１１に外部からの電力供給や制御信号の入出力等を行う。モーター本体１１に電力が供給されることによって、モーター本体１１のローターが回転する。このローターの回転運動は、出力軸１０ａに出力される。これにより、出力軸１０ａは回転する。出力軸１０ａには、カップリング１０ｂが取り付けられている。なお、本実施の形態においては、モーター本体１１のローターの回転運動は、出力軸１０ａに出力されるが、これに限られない。モーター本体１１のローターの回転運動は、減速器によって所定の減速比で減速されてから、出力軸１０ａに出力されてもよい。

【0020】

ボールねじ２０は、ボールねじスプライン軸２１と、ボールねじナット２２と、カップリング２３とを有する。

【0021】

ボールねじスプライン軸２１は、両端が回転可能に支持され、ボールねじナット２２との螺合に基づいて、ボールねじナット２２を直線運動させる。ボールねじスプライン軸２１は、ボールねじスプライン軸本体と、ボールねじスプライン軸本体の径よりも小径となるように形成された小径部２１ａ、２１ｂとを有する。

【0022】

ボールねじスプライン軸本体は、その外周面が螺旋状のボールねじ溝２１ｃが形成されているボールねじ面として構成されている。ボールねじ溝２１ｃには、ボールねじ用転動体が転動する。また、ボールねじスプライン軸本体の外周面には、ボールねじ溝２１ｃに加えて、スプライン溝２１ｄが形成されている。

【0023】

ボールねじナット２２は、ボールねじスプライン軸２１のボールねじスプライン軸本体の外周に配置されている。ボールねじナット２２は、ボールねじスプライン軸２１に複数のボールねじ用転動体を介して嵌め込まれる。このボールねじ用転動体が転動することにより、ボールねじスプライン軸２１の回転運動が、ボールねじナット２２の直線運動に円滑に変換される。また、ボールねじナット２２は、移動部材４０に対して＋Ｙ側から取り付けられて、ボルト等により固定されている。

【0024】

カップリング２３は、小径部２１ｂに取り付けられている。このカップリング２３は、モーター１０の出力軸１０ａに取り付けられているカップリング１０ｂに接続され、回転するカップリング１０ｂと共に回転する。このカップリング２３が、カップリング１０ｂと共に回転するように接続されることにより、小径部２１ｂに出力軸１０ａの回転運動が伝達され、この結果、ボールねじスプライン軸２１は、出力軸１０ａと共に回転する。

【0025】

アクチュエーターハウジング３０は、図５に示すように、ボールねじ２０と移動部材４０の一部とを収容すると共に、モーター１０が固定されている。アクチュエーターハウジング３０は、ガイド部材３１と、シート３２と、フロントブラケット３３と、リアブラケット３４とを有する。

【0026】

ガイド部材３１は、底部分３１ａと一対の側壁部分３１Ｒ、３１Ｌと有することで、アクチュエーター１の内部の各構成部品を保護する。また、ガイド部材３１は、剛性を有する複数のリニアガイド用転動体を介して、移動部材４０を＋Ｙ方向及び－Ｙ方向の双方向にスライド移動自在に支持するベースである。ガイド部材３１は、例えば、アルミニウム等の金属を押出成形することによって形成されている。ガイド部材３１の一対の側壁部分の互いに対向する内面には、Ｙ軸方向に延びる一対の線状の凹部が形成されている。この凹部のそれぞれには、転動体用ガイドレール３１ｂが嵌め込まれている。転動体用ガイドレール３１ｂは、例えば、ガイド部材３１の素材であるアルミニウムよりも硬い金属から形成されている。転動体用ガイドレール３１ｂには、Ｙ軸方向に延びる一対の線状の溝３１ｃが形成されている。この転動体用ガイドレール３１ｂの溝３１ｃをリニアガイド用転動体が転動することにより、移動部材４０は、第１方向Ｄ１（Ｙ軸方向）に円滑に往復運動をする。

【0027】

シート３２は、Ｙ軸方向を長手方向とする略矩形のステンレスシートである。シート３２の－Ｙ側の端部は、フロントブラケット３３に固定されている。シート３２の＋Ｙ側の端部は、リアブラケット３４に固定されている。シート３２は、ガイド部材３１と共に、アクチュエーター１の内部の各構成部品を保護する。

【0028】

フロントブラケット３３は、ガイド部材３１の先端側（－Ｙ側）に固定されることで、アクチュエーターハウジング３０の－Ｙ側の先端部分を構成する。フロントブラケット３３は、例えば、アルミダイガストである本体部と、本体部に被せられると共に樹脂成形により形成されている加飾カバーと、本体部の内部に形成されているベアリング収容空間に配置されるベアリングとを有する。当該ベアリングは、例えば、ボールベアリングである。このベアリングによって、フロントブラケット３３は、ボールねじスプライン軸２１の小径部２１ａを回転可能に支持する。

【0029】

リアブラケット３４は、ガイド部材３１の基端側（＋Ｙ側）に固定されている。リアブラケット３４は、例えば、アルミダイガストである本体部とベアリングとを有する。本体部の内部には、図４に示すように、ボールねじスプライン軸２１を挿入するための貫通孔がＹ軸方向に貫通して形成されている。貫通孔の内部には、ベアリングが配置されている。ベアリングは、例えば、ボールベアリングである。このベアリングによって、リアブラケット３４は、ボールねじスプライン軸２１の小径部２１ｂを回転可能に支持する。

【0030】

移動部材４０は、ボールねじスプライン軸２１の回転により、ボールねじナット２２と共に、＋Ｙ方向及び－Ｙ方向の双方向（第１方向Ｄ１）にスライド移動する部材である。移動部材４０には、Ｙ軸方向に貫通する貫通孔４０ａが形成されている。この貫通孔４０ａには、ボールねじスプライン軸２１が挿通されると共に、ボールねじナット２２が＋Ｙ側から挿入されて固定されている。移動部材４０は、図２に示すように、一対のワーク取付け部４１を有する。

【0031】

ワーク取付け部４１は、図１及び図２に示すように、アクチュエーターハウジング３０から外部に突出して形成されている。ワーク取付け部４１には、ねじ穴が形成されている。このねじ穴に、ねじやボルト等の留め具が捻じ込まれることで、ワーク取付け部４１は、図示しないワークを取り付けることが可能に構成されている。

【0032】

サポート部材６０は、図４に示すように、移動部材４０とフロントブラケット３３との間に配置されている。また、サポート部材６０は、ガイド部材３１に移動自在に支持されることで、＋Ｙ方向及び－Ｙ方向の双方向（第１方向Ｄ１）のいずれかに移動可能に配置されている。サポート部材６０は、図６に示すように、移動部材４０と共に、ボールねじスプライン軸２１がガイド部材３１に支持される支点となっており、支点間の距離を短くすることで、ボールねじスプライン軸２１の撓みを抑制する。ひいては、サポート部材６０は、ボールねじスプライン軸２１の回転速度の高速化を図るために設けられている。特に、本発明の実施の形態に係るアクチュエーター１のように、ボールねじスプライン軸２１のＹ軸方向の長さが長いものの場合には必要性の高い部材である。なお、図４に示すように、サポート部材６０と移動部材４０（詳しくは、ボールねじナット２２）との支点間距離Ｌ３は、ボールねじスプライン軸２１の先端と移動部材４０（ボールねじナット２２）との支点間距離Ｌ１のおよそ１／２であることが望ましい（Ｌ３≒Ｌ１／２）。ただし、これに限られず、アクチュエーター１の用途や設置環境に応じて、支点間距離Ｌ３を適宜変更してもよい。サポート部材６０は、図７及び図８に示すように、サポートブラケット６０ａと、スプラインナットＳＮ１と、スプラインナット用軸受ＳＮ１ａと、第１歯車６１と、第２歯車６２と、第３歯車６３と、第４歯車６４と、サポートナットＳＮ２と、ボールねじナット用軸受ＳＮ２ａと、アジャストプレート７１と、移動支持部材７２－１、７２－２、７２－３とを有する。

【0033】

サポートブラケット６０ａは、サポート部材６０の第１歯車６１～第４歯車６４などの構成部品の全体又は一部を収容して保護する。サポートブラケット６０ａは、本実施の形態においては、２つのケース６０ａ－１、６０ａ－２から構成されている。しかしながら、これに限られない。サポートブラケット６０ａは、３つ以上の部品から構成されていてもよい。

【0034】

スプラインナットＳＮ１は、図８に示すように、サポートブラケット６０ａの内部にスプラインナット用軸受ＳＮ１ａを介して支持されている。このスプラインナットＳＮ１は、Ｙ軸方向に貫通する円孔が設けられていると共に、その孔軸がボールねじスプライン軸２１の回転軸Ａ１と一致する円筒形状に形成されている。スプラインナットＳＮ１には、その円孔の内面において、スプライン溝２１ｄに係合する係合部ＳＮ１ｂが形成されている。この係合部ＳＮ１ｂにより、スプラインナットＳＮ１は、ボールねじスプライン軸２１のスプライン溝２１ｄと係合し、Ｙ軸回りに回転するボールねじスプライン軸２１と一体に回転される。

【0035】

第１歯車６１は、スプラインナットＳＮ１と一体に回転される平歯車である。第１歯車６１は、ボールねじスプライン軸２１の回転軸Ａ１と同一の回転軸回りに回転するように設けられている。本実施の形態では、第１歯車６１は、スプラインナットＳＮ１に対して一体に成型されている部品である。しかしながら、これに限られない。第１歯車６１及びスプラインナットＳＮ１は、別々に成型されて、互いに固着されている部品であってもよい。ただし、第１歯車６１は、スプラインナットＳＮ１に対して確実に一体に回転できる観点からは、スプラインナットＳＮ１に対して一体に成型されている部品である方が好ましい。第１歯車６１は、スプラインナットＳＮ１と共に、ねじやボルトの留め具によって、ケース６０ａ－１の内部に収容されつつスプラインナット用軸受ＳＮ１ａを介して固定されている。

【0036】

第２歯車６２は、図９及び図１０に示すように、第１歯車６１と噛合される平歯車である。第２歯車６２は、ボールねじスプライン軸２１の回転軸Ａ１と平行な回転軸Ａ２回りに回転するように設けられている。

【0037】

第３歯車６３は、第２歯車６２と一体に回転される平歯車である。第３歯車６３は、第２歯車６２と同様に、回転軸Ａ２回りに回転するように設けられている。本実施の形態では、第３歯車６３は、第２歯車６２に対して一体に成型されている部品である。しかしながら、これに限られない。第３歯車６３及び第２歯車６２は、別々に成型されて、互いに固着されている部品であってもよい。ただし、第３歯車６３は、第２歯車６２に対して確実に一体に回転できる観点からは、第２歯車６２に対して一体に成型されている部品である方が好ましい。本実施の形態では、第３歯車６３は、図１１及び図１２に示すように、第２歯車６２と共に、サポートブラケット６０ａの＋Ｘ側以外の位置であるサポートブラケット６０ａの－Ｘ側の側部６０Ｌに形成されている貫通孔６０Ｌａに嵌め込まれつつ設置されている。また、第３歯車６３及び第２歯車６２は、ケース６０ａ－１から一部が露出した設置状態で固定されている。

【0038】

第４歯車６４は、図９及び図１０に示すように、第３歯車６３と噛合される平歯車である。第４歯車６４は、第１歯車６１の回転軸と同一の回転軸回りに回転するように設けられている。

【0039】

サポートナットＳＮ２は、図８に示すように、サポートブラケット６０ａの内部にボールねじナット用軸受ＳＮ２ａを介して支持されている。このサポートナットＳＮ２は、図９及び図１０に示すように、Ｙ軸方向に貫通する円孔が設けられていると共に、その孔軸がボールねじスプライン軸２１の回転軸Ａ１と一致する円筒形状に形成されている。サポートナットＳＮ２は、滑りねじＳＮ２ｂを有し、ボールねじ溝２１ｃと噛合される。滑りねじＳＮ２ｂは、サポートナットＳＮ２の円孔の内面に形成されている。この滑りねじＳＮ２ｂにより、サポートナットＳＮ２は、ボールねじスプライン軸２１のボールねじ溝２１ｃと係合し、回転軸Ａ１回りに回転するボールねじスプライン軸２１の回転に伴って、＋Ｙ方向及び－Ｙ方向の双方向（第１方向Ｄ１）に回転しながらスライド移動する。結果として、サポート部材６０が、ボールねじスプライン軸２１の回転に伴って、＋Ｙ方向及び－Ｙ方向の双方向（第１方向Ｄ１）にスライド移動する。

【0040】

このように構成されているサポート部材６０は、第１歯車６１～第４歯車６４における減速比を調整することにより、サポートナットＳＮ２が、スプラインナットＳＮ１の回転速度の１／２の回転速度で回転するように形成されている。

【0041】

アジャストプレート７１は、図８に示すように、３つの移動支持部材７２－１、７２－２、７２－３のうちの２つの移動支持部材７２－１、７２－２を回転可能に支持する。アジャストプレート７１には、２つのねじ孔が形成されている。この２つのねじ孔に、ボルト、ねじなどの２本の留め具が捻じ込まれることにより、アジャストプレート７１は、２つの移動支持部材７２－１、７２－２と共に、サポートブラケット６０ａのケース６０ａ－２の＋Ｘ側の端部に取り付けられる。また、移動支持部材７２－１、７２－２は、ガイド部材３１に対するサポート部材６０の位置を調整可能に設けられている。具体的には、サポートブラケット６０ａに対するアジャストプレート７１のＸ軸方向における位置を調整することで、サポートブラケット６０ａに対する移動支持部材７２－１、７２－２のＸ軸方向と同一の方向である第２方向Ｄ２における位置を調整することができる。これにより、ガイド部材３１に対して移動支持部材７２－１、７２－２、７２－３を適切な押圧力で、側壁部分３１Ｌ、３１Ｒの転動体用ガイドレール３１ｂに転動可能に設置することができると共に、サポートナットＳＮ２の軸心とボールねじスプライン軸２１の軸心とを適切な状態にすることができる。

【0042】

移動支持部材７２－１、７２－２、７２－３は、図１１及び図１２に示すように、ガイド部材３１に対するサポート部材６０のＹ軸方向の移動を円滑化させるために用いられる。移動支持部材７２－１、７２－２、７２－３は、軸心部分と、この軸心部分に巻き付けられているように設けられている円環状の樹脂部分とを有する。移動支持部材７２－１、７２－２、７２－３は、本実施の形態では、３つ設けられている。しかしながら、これに限られない。移動支持部材７２－１、７２－２、７２－３は、サポート部材６０の＋Ｘ側及び－Ｘ側に１つづつ又は２つづつ設けられていてもよいし、＋Ｘ側及び－Ｘ側合わせて４つ以上設けられていてもよい。移動支持部材７２－１、７２－２、７２－３は、サポート部材６０の移動方向（第１方向Ｄ１）におけるサポートブラケット６０ａの垂直な両方の側部６０Ｒ、６０Ｌに設けられることで、ガイド部材３１の＋Ｘ側及び－Ｘ側の転動体用ガイドレール３１ｂに転動可能に設置される。

【0043】

このように構成されている移動支持部材７２－１、７２－２、７２－３は、ガイド部材３１に対するサポート部材６０の位置を調整可能に設けられている。具体的には、サポートブラケット６０ａに対するアジャストプレート７１のＸ軸方向における位置を調整することで、サポートブラケット６０ａに対する移動支持部材７２－１、７２－２のＸ軸方向と同一の方向である第２方向Ｄ２における位置を調整することができる。移動支持部材７２－１、７２－２の位置の調整により、サポート部材６０は、移動支持部材７２－３を適切な押圧力で、側壁部分３１Ｌの転動体用ガイドレール３１ｂに転動可能に設置することができると共に、サポートナットＳＮ２の軸心とボールねじスプライン軸２１の軸心とを適切な状態にすることができる。

【0044】

サポート部材６０－２は、図４に示すように、移動部材４０とリアブラケット３４との間に配置されている。サポート部材６０－２は、サポート部材６０と同等の形状、構造のものであり、サポート部材６０と同様に、＋Ｙ方向及び－Ｙ方向の双方向（第１方向Ｄ１）のいずれかに移動可能に配置されている。サポート部材６０－２は、移動部材４０及びサポート部材６０と共に、ボールねじスプライン軸２１がガイド部材３１に支持される支点となっており、支点間の距離を短くすることで、ボールねじスプライン軸２１の撓みを抑制する。ひいては、サポート部材６０－２は、ボールねじスプライン軸２１の回転速度の高速化を図るために設けられている。特に、本発明の実施の形態１に係るアクチュエーター１のように、ボールねじスプライン軸２１のＹ軸方向の長さが長いものの場合には必要性の高い部材である。なお、サポート部材６０－２と移動部材４０（詳しくは、ボールねじナット２２）との支点間距離Ｌ４は、ボールねじスプライン軸２１の基端と移動部材４０（詳しくは、ボールねじナット２２）との支点間距離Ｌ２のおよそ１／２であることが望ましい（Ｌ４≒Ｌ２／２）。ただし、これに限られず、アクチュエーター１の用途や設置環境に応じて、支点間距離Ｌ４を適宜変更してもよい。サポート部材６０－２は、図７及び図８に示すように、サポート部材６０と同様に、サポートブラケット６０ａと、スプラインナットＳＮ１と、スプラインナット用軸受ＳＮ１ａと、第１歯車６１と、第２歯車６２と、第３歯車６３と、第４歯車６４と、サポートナットＳＮ２と、ボールねじナット用軸受ＳＮ２ａと、アジャストプレート７１と、移動支持部材７２－１、７２－２、７２－３とを有する。

【0045】

上述のように構成されたアクチュエーター１の動作について、図を参照しつつ説明する。

【0046】

先ず、図１３に示すように、モーター１０のモーター本体１１に電源が供給されることによって、出力軸１０ａが、矢印Ａ３に示すように、ボールねじスプライン軸２１と共に回転する。ボールねじスプライン軸２１が回転すると、移動部材４０は、矢印Ａ３－２に示すように、第１方向Ｄ１（Ｙ軸方向）に移動する。

【0047】

ボールねじスプライン軸２１が回転すると、スプラインナットＳＮ１の係合部ＳＮ１ｂがボールねじスプライン軸２１のスプライン溝２１ｄと係合しているため、スプラインナットＳＮ１は、図１４の矢印Ａ４に示すように、ボールねじスプライン軸２１と一体に回転される。

【0048】

スプラインナットＳＮ１が回転すると、第１歯車６１はスプラインナットＳＮ１に対して一体に成型されているため、第１歯車６１が、矢印Ａ５に示すように、スプラインナットＳＮ１と一体に回転される。

【0049】

第１歯車６１が回転すると、第１歯車６１と噛合されている第２歯車６２も、矢印Ａ６に示すように回転する。

【0050】

第２歯車６２が回転すると、第２歯車６２に対して一体に成型されている第３歯車６３も、矢印Ａ７に示すように回転する。

【0051】

第３歯車６３が回転すると、第３歯車６３と噛合されている第４歯車６４も、矢印Ａ８に示すように回転する。

【0052】

第４歯車６４が回転すると、サポートナットＳＮ２は第４歯車６４に対して一体に成型されているため、サポートナットＳＮ２が、矢印Ａ９に示すように、第４歯車６４と一体に回転される。なお、本実施の形態においては、サポートナットＳＮ２は、スプラインナットＳＮ１の回転速度の１／２の回転速度で回転するように（「サポートナットＳＮ２の回転速度」≒１／２×「スプラインナットＳＮ１の回転速度」）、第１歯車６１～第４歯車６４は、それらの減速比が設定されつつ形成されている。

【0053】

サポートナットＳＮ２が有する滑りねじＳＮ２ｂが、ボールねじスプライン軸２１のボールねじ溝２１ｃと噛合されている。この結果、図１３の矢印Ａ１０に示すように、サポートナットＳＮ２の回転により、サポート部材６０は、移動部材４０と同じ方向、且つ、移動部材４０の移動速度のおよそ１／２の移動速度で移動する。サポート部材６０の移動速度が移動部材４０の移動速度のおよそ１／２であるため、サポート部材６０と移動部材４０との支点間距離Ｌ３が、ボールねじスプライン軸２１の先端と移動部材４０との支点間距離Ｌ１のおよそ１／２であることが維持される。同様に、サポート部材６０－２も、矢印Ａ１１に示すように、移動部材４０と同じ方向、且つ、移動部材４０の移動速度のおよそ１／２の移動速度で移動する。サポート部材６０－２の移動速度が移動部材４０の移動速度のおよそ１／２であるため、サポート部材６０－２と移動部材４０との支点間距離Ｌ４が、ボールねじスプライン軸２１の基端と移動部材４０との支点間距離Ｌ２のおよそ１／２であることが維持される。

【0054】

以上、説明したように、本実施の形態に係るアクチュエーター１では、図９及び図１０に示すように、第１歯車６１～第４歯車６４が回転する軸方向は、ボールねじスプライン軸２１の軸方向と同一の方向である。このため、本実施の形態に係るアクチュエーター１は、例えば、第１歯車６１～第４歯車６４が回転する軸方向が、ボールねじスプライン軸２１の軸方向と同一の方向ではない場合と比べて、アクチュエーター１の大型化を抑制することができると共に、構造を簡素にすることができる。これにより、本実施の形態では、装置の大型化を抑制しつつ、構造を簡素にすることができるアクチュエーター１及びサポート部材６０を提供することができる。

【0055】

また、本実施の形態では、第１歯車６１～第４歯車６４の歯車列の軸方向を変更する必要がなく、歯車列を配置しやすいアクチュエーター１及びサポート部材６０を提供することができる。

【0056】

また、本実施の形態では、第１歯車６１～第４歯車６４を隣接させて配置できるので、アクチュエーター１の小型化を実現することができる。

【0057】

また、本実施の形態に係るアクチュエーター１は、第１歯車６１～第４歯車６４の歯車列の減速比を変更することで、サポート部材６０の移動速度を任意に変更できる。

【0058】

また、本実施の形態では、第３歯車６３は、図１１及び図１２に示すように、第２歯車６２と共に、サポートブラケット６０ａの＋Ｘ側以外の位置であるサポートブラケット６０ａの－Ｘ側の側部６０Ｌに形成されている貫通孔６０Ｌａに嵌め込まれつつ設置されている。したがって、第２歯車６２及び第３歯車６３は、サポートブラケット６０ａの＋Ｘ側以外の位置に設置されている。このため、アジャストプレート７１が配置されているサポートブラケット６０ａの＋Ｘ側以外の位置に第２歯車６２及び第３歯車６３を設置することで、アジャストプレート７１が配置されている側は、移動支持部材７２－１、７２－２の調整機構構造を有することができる。これにより、サポート部材６０では、移動支持部材７２－１、７２－２の位置調整の作業をしやすくすることができる。また、第２歯車６２及び第３歯車６３の軸方向における設置空間を多く確保することができる。

【0059】

以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上記実施の形態によって限定されるものではない。

【0060】

例えば、本実施の形態に係るアクチュエーター１は、図２に示すように、フロントブラケット３３と移動部材４０との間と移動部材４０とリアブラケット３４との間に１つずつサポート部材６０、６０－２を備える。しかしながら、これに限られない。アクチュエーター１は、フロントブラケット３３と移動部材４０との間と移動部材４０とリアブラケット３４との間に２つずつ以上のサポート部材６０、６０－２を備えてもよい。サポート部材６０、６０－２の数を増やすことにより、アクチュエーター１においては、さらに長尺化を実現することができる。

【0061】

また、本実施の形態１に係るアクチュエーター１では、図８に示すように、サポートナットＳＮ２は、滑りねじＳＮ２ｂを有する。しかしながら、これに限られない。サポートナットＳＮ２は、ボールねじスプライン軸２１のボールねじ溝２１ｃと係合される構造や、ボールねじ溝２１ｃと噛合される構造を有するのであれば、滑りねじＳＮ２ｂを有さなくてもよい。

【0062】

本発明は、本発明の広義の精神と範囲を逸脱することなく、様々な実施の形態及び変形が可能とされるものである。上述した実施の形態は、本発明を説明するためのものであり、本発明の範囲を限定するものではない。

【符号の説明】

【0063】

１：アクチュエーター
１０：モーター
１０ａ：出力軸
１０ｂ：カップリング
１１：モーター本体
２０：ボールねじ
２１：ボールねじスプライン軸
２１ａ，２１ｂ：小径部
２１ｃ：ボールねじ溝
２１ｄ：スプライン溝
２２：ボールねじナット
２３：カップリング
３０：アクチュエーターハウジング
３１：ガイド部材
３１Ｒ，３１Ｌ：側壁部分
３１ａ：底部分
３１ｂ：転動体用ガイドレール
３１ｃ：溝
３２：シート
３３：フロントブラケット
３４：リアブラケット
４０：移動部材
４０ａ：貫通孔
４１：ワーク取付け部
４３：スライドカバー
６０，６０－２：サポート部材
６０Ｒ，６０Ｌ：側部
６０Ｌａ：貫通孔
６０ａ：サポートブラケット
６０ａ－１，６０ａ－２：ケース
６１：第１歯車
６２：第２歯車
６３：第３歯車
６４：第４歯車
７１：アジャストプレート
７２－１，７２－２，７２－３：移動支持部材
ＳＮ１：スプラインナット
ＳＮ１ａ：スプラインナット用軸受
ＳＮ１ｂ：係合部
ＳＮ２：サポートナット
ＳＮ２ａ：ボールねじナット用軸受
ＳＮ２ｂ：滑りねじ
Ｔ：スライドテーブル
Ａ１，Ａ２：回転軸
Ａ３，Ａ３－２，Ａ４，Ａ５，Ａ６，Ａ７，Ａ８，Ａ９，Ａ１０，Ａ１１：矢印
Ｄ１：第１方向
Ｄ２：第２方向
Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４：支点間距離

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】