特開 2024-93899 センサ装置、異常診断システム及びロボット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024093899

(43)【公開日】2024-07-09

(54)【発明の名称】センサ装置、異常診断システム及びロボット

(51)【国際特許分類】

   B25J 19/02 20060101AFI20240702BHJP

   B25J 19/00 20060101ALI20240702BHJP

【ＦＩ】

B25J19/02

B25J19/00 K

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022210540

(22)【出願日】2022-12-27

(71)【出願人】

【識別番号】000002107

【氏名又は名称】住友重機械工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100090033

【弁理士】

【氏名又は名称】荒船 博司

(74)【代理人】

【識別番号】100093045

【弁理士】

【氏名又は名称】荒船 良男

(72)【発明者】

【氏名】田中 光晴

【テーマコード（参考）】

3C707

【Ｆターム（参考）】

3C707BS10

3C707CX01

3C707CX03

3C707HS27

3C707JS07

3C707KS15

3C707KV04

3C707KX10

3C707MS14

3C707MS15

3C707MS21

(57)【要約】

【課題】配線の引き回しを低減できるセンサ装置、異常診断システム及びロボットを提供する。
【解決手段】減速機（２２１）の振動を検出するセンサ装置（１１０）である。減速機（２２１）の振動を電力に変換する振動電力変換素子（１１０Ａ）と、振動電力変換素子によって変換された電力の情報を無線送信する無線送信部（１１０Ｂｂ）とを備え、振動電力変換素子（１１０Ａ）が無線送信部（１１０Ｂｂ）を動作させる電力を供給する。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

減速機の振動を検出するセンサ装置であって、
減速機の振動を電力に変換する振動電力変換素子と、
前記振動電力変換素子によって変換された電力の情報を無線送信する無線送信部と、
を備え、
前記振動電力変換素子が前記無線送信部を動作させる電力を供給するセンサ装置。

【請求項2】

前記振動電力変換素子が出力する電力を蓄積する蓄電部を備え、
前記振動電力変換素子の出力は少なくとも一方及びもう一方の２つに分岐され、
前記蓄電部は前記一方の出力を受けて蓄電し、
前記無線送信部は前記もう一方の出力の情報を無線送信する、
請求項１記載のセンサ装置。

【請求項3】

前記無線送信部が動作する動作モードと、前記無線送信部が動作しない動作モードとに所定の条件を満たした場合に切り替える制御部を備える、
請求項１記載のセンサ装置。

【請求項4】

前記振動電力変換素子を含む第１部品と、
前記無線送信部を含む第２部品と、
前記第１部品と前記第２部品とを接続する柔軟性を有する導線と、
を備え、
前記第１部品と前記第２部品とが異なる箇所に別々に固定可能である、
請求項１記載のセンサ装置。

【請求項5】

請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のセンサ装置と、
前記センサ装置から送られる前記電力の情報を受けて異常診断を行う監視装置と、
を備える異常診断システム。

【請求項6】

請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のセンサ装置を備えるロボット。

【請求項7】

アームの外枠を備え、
前記振動電力変換素子が前記外枠の内側に配置され、
前記無線送信部が前記外枠に設けられた貫通孔に配置されている、
請求項６記載のロボット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、センサ装置、異常診断システム及びロボットに関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、軸受又は減速機等の回転部品の異常診断を行う装置が示されている。当該装置は、振動系センサにより検出された信号波形の周波数成分を比較することで異常を判定している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００６－０７７９４５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、検出対象にセンサを設けるには、センサに接続された配線を引き回すことが煩雑であり、また、場所によっては配線の引き回しが困難になることがある。

【0005】

本発明は、配線の引き回しを低減できるセンサ装置、異常診断システム及びロボットを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明に係るセンサ装置は、
減速機の振動を検出するセンサ装置であって、
減速機の振動を電力に変換する振動電力変換素子と、
前記振動電力変換素子によって変換された電力の情報を無線送信する無線送信部と、
を備え、
前記振動電力変換素子が前記無線送信部を動作させる電力を供給する。

【0007】

本発明に係る異常診断システムは、
上記のセンサ装置と、
前記センサ装置から送られる前記電力の情報を受けて異常診断を行う受信装置と、
を備える。

【0008】

本発明に係るロボットは、
上記のセンサ装置を備える。

【発明の効果】

【0009】

本発明によれば、配線の引き回しを低減できるセンサ装置、異常診断システム及びロボットを提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明の実施形態に係る異常診断システム及びロボットを示す図である。

【図2】本発明の実施形態に係るセンサ装置、並びに、その配置の一例を示す構成図である。

【図3】センサ装置を示すブロック図である。

【図4】センサ装置の動作モードを説明する図であり、（ａ）は充電モード、（ｂ）はモニタモード、（ｃ）は送信モードを示す。

【図5】センサ装置の送信信号（ａ）と監視装置が監視する信号（ｂ）との一例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、本発明の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。

【0012】

図１は、本発明の実施形態に係る異常診断システム及びロボットを示す図である。図２は、本発明の実施形態に係るセンサ装置、並びに、その配置の一例を示す構成図である。図３は、センサ装置を示すブロック図である。

【0013】

本実施形態に係る異常診断システム１００は、振動を検出するセンサ装置１１０と、センサ装置１１０から検出情報を受けて異常の有無等を診断する監視装置１２０とを備える。本実施形態においてセンサ装置１１０はロボット２００に取り付けられ、異常診断システム１００はロボット２００の減速機２２１について異常診断を行う。

【0014】

本実施形態に係るロボット２００は、アーム２１０と、アーム２１０を回動駆動する関節部２２０とを備える。関節部２２０には、回転速度を減速、トルクを増大してアーム２１０に出力する減速機２２１と、回転動力を出力するモータ２２２とが設けられている。モータ２２２は、関節部２２０から離れた位置に設けられ、伝達軸等の伝達機構を介して回転動力が減速機２２１に伝達されてもよい。減速機２２１は回動運動を出力する出力部材２２１ａを有し、出力部材２２１ａが回動対象のアーム２１０の外枠２１１に連結されている。外枠２１１は、内部に空洞部を有する筐体構造を有してもよく、外枠２１１は筐体と呼んでもよい。

【0015】

センサ装置１１０は、図３に示すように、振動電力変換素子１１１と、電力を蓄積する蓄電部１１２と、センサ装置１１０の制御を行う制御部１１３と、無線信号を送信する無線送信部１１４とを備える。

【0016】

振動電力変換素子１１１は、例えばピエゾ素子であり、振動に応じた電力を出力する。振動電力変換素子１１１の出力を抵抗に流せば、当該出力は振動に応じた電圧となり、振動電力変換素子１１１の出力を容量に流せば、当該出力は振動に応じた電流となる。したがって、上記の振動に応じた電力は、電圧又は電流と言い換えてもよい。振動電力変換素子１１１は、ピエゾ素子に限定されず、振動を電力に変換できればどのような構成であってもよい。振動電力変換素子１１１の出力は、一方の出力１１１ｏｕｔ－１ともう一方の出力１１１ｏｕｔ－２に二分岐され、変換された電力は蓄電部１１２と制御部１１３とにそれぞれ出力される。

【0017】

蓄電部１１２は、例えばキャパシタであるが、ニッケル水素二次電池、リチウムイオン二次電池などのバッテリであってもよい。蓄電部１１２の入力部１１２ａには、振動電力変換素子１１１の出力を整流する整流回路が含まれる。加えて、入力部１１２ａには、整流された電圧を充電電圧まで昇圧する昇圧回路が含まれていてもよい。蓄電部１１２は、振動電力変換素子１１１から出力された電力を蓄積し、当該電力を制御部１１３及び無線送信部１１４に動作電力として供給する。

【0018】

制御部１１３は、マイクロコンピュータであり、蓄電部１１２から供給される電力により動作する。制御部１１３には、振動電力変換素子１１１の一方の出力１１１ｏｕｔ－２が振動検出用に入力される。すなわち、振動電力変換素子１１１の一方の出力１１１ｏｕｔ－２は、蓄電部１１２を介さずに制御部１１３に送られる。

【0019】

制御部１１３は、さらに、無線送信部１１４へ動作電力の供給と非供給とを切り替えることができる。当該切り替えにより、無線送信部１１４が動作状態と非動作状態とに切り替わる。制御部１１３は、無線送信部１１４が動作状態のときに、振動電力変換素子１１１の出力１１１ｏｕｔ－２の情報を無線送信部１１４に送る。出力１１１ｏｕｔ－２の情報とは、振動の検出情報に相当し、具体的には、出力１１１ｏｕｔ－２の電圧波形を表わす情報である。

【0020】

無線送信部１１４は、動作状態のときに、制御部１１３から入力した出力１１１ｏｕｔ－２の情報を、無線信号により監視装置１２０に送る。無線信号は、出力１１１ｏｕｔ－２の情報を様々な変調方式で変調した信号であってもよい。変調方式は、アナログ変調であってもよいし、デジタル変調であってもよい。

【0021】

センサ装置１１０は、図２に示すように、少なくとも振動電力変換素子１１１を含んだ第１部品１１０Ａと、少なくとも無線送信部１１４を含んだ第２部品１１０Ｂとを備え、第１部品１１０Ａと第２部品１１０Ｂとが柔軟性を有する導線ｈ１で接続されている。センサ装置１１０の取付け時において、第１部品１１０Ａと第２部品１１０Ｂとは離した状態で異なる箇所に固定することができる。

【0022】

第２部品１１０Ｂには、無線送信部１１４に加えて、蓄電部１１２及び制御部１１３が含まれている。このような構成により、振動の多い箇所に第１部品１１０Ａを配置して電力を多く発生させる一方、蓄電部１１２、制御部１１３及び無線送信部１１４を振動が比較的に少ない箇所に配置し、これらの動作の安定性を向上できる。

【0023】

第２部品１１０Ｂは、基部１１０Ｂａと棒状部１１０Ｂｂとを備えてもよい。基部１１０Ｂａは、棒状部１１０Ｂｂよりも棒状部１１０Ｂｂの太さ方向の寸法が大きく、棒状部１１０Ｂｂの一端部に固定されている。棒状部１１０Ｂｂには無線送信部１１４又はそのアンテナが配置され、基部１１０Ｂａには蓄電部１１２及び制御部１１３が配置される。

【0024】

センサ装置１１０は、状態を表示する発光素子を有し、棒状部１１０Ｂｂの先端に上記の発光素子が配置されてもよい。発光素子が表示する状態には、センサ装置１１０が動作中であること、センサ装置１１０が休止中であること、センサ装置１１０から振動の検出情報を送信中であることなどの情報が含まれていてもよい。

【0025】

続いて、センサ装置１１０の配置の一例を説明するが、以下の配置は、一例であって、それに限定されるものではない。第１部品１１０Ａは、減速機２２１の出力部材２２１ａが連結される部位で、アーム２１０の外枠２１１の内側に取り付けられる。第２部品１１０Ｂは、アーム２１０の外枠２１１における減速機２２１から離れた箇所に配置される。減速機２２１から離れた箇所とは、減速機２２１の軸方向に見て、減速機２２１或いは出力部材２２１ａと重ならない箇所を意味する。第２部品１１０Ｂは、外枠２１１に設けられた貫通孔ｑ１に棒状部１１０Ｂｂが通され、外枠２１１の内側に基部１１０Ｂａが位置するように取り付けられる。

【0026】

このような配置により、振動の多い箇所に第１部品１１０Ａを配置して電力を多く発生させ、かつ、減速機２２１の振動を大きな信号で検出可能となる。さらに、蓄電部１１２、制御部１１３及び無線送信部１１４が、振動が比較的に少ない箇所に配置され、これらの動作の安定性を向上できる。

【0027】

＜センサ装置の動作制御＞
図４は、センサ装置の動作モードを説明する図であり、（ａ）は充電モード、（ｂ）はモニタモード、（ｃ）は送信モードを示す。

【0028】

センサ装置１１０は、蓄電部１１２への充電を主に行う充電モードと、充電と振動の検出とを行うモニタモードと、検出した情報を無線送信する送信モードと、の複数の動作モードを有する。

【0029】

充電モードでは、図４（ａ）に示すように、制御部１１３と無線送信部１１４とが非動作状態となり、振動電力変換素子１１１の出力が蓄電部１１２に送られることで、蓄電部１１２が充電される。制御部１１３が非動作状態のときには、制御部１１３の入力端子がハイインピーダンスになるように制御されてもよい。このような構成により、振動電力変換素子１１１の出力は主に蓄電部１１２に送られ、蓄電部１１２の充電を効率的に行うことができる。

【0030】

モニタモードでは、図４（ｂ）に示すように、制御部１１３が動作状態にされ、無線送信部１１４が非動作状態にされる。そして、振動電力変換素子１１１の二分岐した出力のうち、一方の出力１１１ｏｕｔ－１が蓄電部１１２に送られ、もう一方の出力１１１ｏｕｔ－２が制御部１１３に送られる。モニタモードにおいても、蓄電部１１２は出力１１１ｏｕｔ－１によって充電される。さらに、制御部１１３は、出力１１１ｏｕｔ－２を無線送信用の情報として入力する。

【0031】

送信モードでは、図４（ｃ）に示すように、制御部１１３と無線送信部１１４とが動作状態にされる。送信モードにおいて、振動電力変換素子１１１は、蓄電部１１２の充電を停止する。この停止は、制御部１１３の制御等により蓄電部１１２の入力部１１２ａが電力の入力を遮断することで実現されてもよいし、制御部１１３の制御等により振動電力変換素子１１１が出力１１１ｏｕｔ－１を停止することで実現されてもよい。なお、充電を停止するかわりに、充電電力を小さくしてもよい。そして、制御部１１３は、出力１１１ｏｕｔ－２の情報を無線送信部１１４に送り、無線送信部１１４は、当該情報を監視装置１２０に無線送信する。なお、送信モードにおいても、出力１１１ｏｕｔ－１により蓄電部１１２が充電されるようにしてもよい。

【0032】

各動作モードの遷移は、次のように行われてもよい。すなわち、蓄電部１１２の充電量（電圧）が所定値未満である場合に、制御部１１３が休止状態になることで、動作モードが充電モードに遷移される。上記充電量の所定値とは、例えば、制御部１１３が規定時間動作可能な値として予め設定された値を採用できる。

【0033】

充電モードにおいて、蓄電部１１２の充電量（電圧）が、上記の所定値以上となったことに基づき、制御部１１３が起動すると、動作モードが充電モードからモニタモードへ遷移する。

【0034】

さらに、モニタモードにおいて、制御部１１３は、所定条件に基づいて、無線送信部１１４が動作する送信モードへ切り替える。所定条件としては、例えば所定量以上の充電に達したとき、一定時間ごと、出力１１１ｏｕｔ－２が所定量より大きいときなどを採用できる。所定条件に基づき、制御部１１３が情報を無線送信することを選択し、無線送信部１１４を駆動することで、動作モードがモニタモードから送信モードへ遷移する。モニタモードにおいて、制御部１１３は、入力された出力１１１ｏｕｔ－２の情報を全て無線送信させてもよいし、一部を選択して無線送信させてもよい。また、制御部１１３は、無線送信する情報を一時的に記憶して間欠的に情報を無線送信させるようにしてもよい。入力された出力１１１ｏｕｔ－２のうち一部のみを無線送信させる場合、制御部１１３は、例えば出力１１１ｏｕｔ－２の振幅平均が所定範囲になった部分を無線送信させるなど、出力１１１ｏｕｔ－２に基づく条件で無線送信させる情報を選択してもよい。あるいは、制御部１１３は、所定サイクル時間ごとに入力された出力１１１ｏｕｔ－２の情報を無線送信させるなど、出力１１１ｏｕｔ－２とは関係しない条件で無線送信させる情報を選択してもよい。

【0035】

上記のモニタモード又は送信モードにおいて、蓄電部１１２の充電量が上記の所定値未満となると、再び、動作モードが充電モードに遷移する。

【0036】

＜異常診断処理＞
続いて、異常診断システム１００において実行される異常診断処理について説明する。図５は、センサ装置の送信信号（ａ）と監視装置が監視する信号（ｂ）との一例を示す図である。

【0037】

ロボット２００が駆動され、ロボット２００の振動がセンサ装置１１０に加わることで蓄電部１１２が充電される。そして、蓄電部１１２の充電量が所定値以上になると、センサ装置１１０の動作モードがモニタモード及び送信モードとなる。その結果、センサ装置１１０から振動電力変換素子１１１の出力１１１ｏｕｔ－２の情報が無線送信される。当該情報は、図５（ａ）に示すように、出力１１１ｏｕｔ－２の信号波形を示す情報であり、監視装置１２０により受信される。出力１１１ｏｕｔ－２の情報の無線送信は、蓄電部１１２の充電後、継続的に行われてもよいし、間欠的に行われてもよい。

【0038】

監視装置１２０は、出力１１１ｏｕｔ－２の信号波形の情報を受信すると、当該情報を蓄積し、かつ、当該情報にＦＦＴ（Fast Fourier Transform）処理を行うことで、図５（ｂ）に示されるような各周波数成分の振幅値を得る。

【0039】

監視装置１２０は、減速機２２１が正常であるときに得られる振動の周波数成分の振幅値を表わす基準データを有しており、当該基準データと上記のＦＦＴ処理された周波数成分の振幅値とを比較することで、当該振幅値が閾値（＝基準データ±許容値）を逸脱していないか判別する。そして、逸脱していなければ、監視装置１２０は、正常と判断し、逸脱している場合に、異常と判断する。

【0040】

減速機２２１が異常となった場合に、特定の周波数帯ω１（図５（ｂ）を参照）の振動振幅に大きな変化が生じることが分かっている場合、監視装置１２０は、当該特定の周波数帯ω１の振幅値に絞って基準データとの比較を行うことで、異常の有無を判断してもよい。

【0041】

例えば、正常時に検出されるアーム２１０の外枠２１１又は減速機２２１の構造に由来する振動成分が上記基準データに示されているとする。そして、減速機に２１のベアリングの転動体等に異常が発生した場合、正常時には小さい特定振動成分の振幅が増大する場合がある。監視装置１２０は、当該特定振動成分の振幅が予め定められた閾値Ｖｔｈ（図５（ｂ）を参照）を超える場合に、異常と判断することができる。特定の振動成分が、上述した特定の周波数帯ω１に相当する。

【0042】

上記の処理の結果、正常と判断した場合には、監視装置１２０は、センサ装置１１０からの情報の受信と、上記の基準データを用いた比較処理とを継続する。一方、異常と判断した場合には、監視装置１２０は、異常に対処する処理を行う。異常に対処する処理には、例えば、表示器に異常を示す信号を出力して作業員への異常報知を行う処理、並びに、上位コントローラに異常を示す信号を出力する処理が含まれていてもよい。

【0043】

このような異常診断処理により、減速機２２１に異常が生じた場合に、当該異常をほぼリアルタイムに検出し、当該異常に対処することができる。

【0044】

以上のように、本実施形態のセンサ装置１１０及び異常診断システム１００によれば、減速機２２１の振動を電力に変換する振動電力変換素子１１１と、振動電力変換素子１１１によって変換された電力の情報（出力１１１ｏｕｔ－２の情報）を無線送信する無線送信部１１４と、を備える。そして、振動電力変換素子１１１が無線送信部１１４を動作させる電力を供給する。したがって、センサ装置１１０を駆動する電力を送るための配線、並びに、センサ装置１１０からセンサ信号を外部に送るための配線が低減され（例えば不要とされ）、センサ装置１１０をロボット２００に取り付けるために配線を引き回す煩雑さが低減される。また、配線の引き回しが困難な箇所であっても、センサ装置１１０を取り付けて、当該箇所の振動を検出できる。そして、当該センサ装置１１０によって、減速機２２１の異常振動の有無を監視し、異常が生じたときに速やかな対処が可能となる。

【0045】

さらに、本実施形態のセンサ装置１１０によれば、振動電力変換素子１１１が出力する電力を蓄積する蓄電部１１２を備える。さらに、振動電力変換素子１１１の出力は少なくとも一方の出力１１１ｏｕｔ－１及びもう一方の出力１１１ｏｕｔ－２の２つに分岐され、蓄電部１１２は一方の出力１１１ｏｕｔ－１を受けて蓄電し、無線送信部１１４はもう一方の出力１１１ｏｕｔ－２の情報を無線送信する。したがって、センサ装置１１０は、蓄電部１１２の充電を行いながら、振動電力変換素子１１１の出力の情報を振動検出用に取得することができる。したがって、センサ装置１１０による振動の検出期間が短くなってしまうことを抑制できる。

【0046】

さらに、本実施形態のセンサ装置１１０によれば、無線送信部１１４が動作する送信モードと、無線送信部１１４が動作しないモニタモードとを切り替える制御部１１３を備える。したがって、制御部１１３の制御処理によって、蓄電部１１２が充電した電力を振動の検出用と無線送信用とに効率的に振り分けることができる。それゆえ、振動電力変換素子１１１が変換した電力を効率的に用いて、振動の検出期間を長くし、かつ、多くの情報を無線送信することができる。

【0047】

さらに、本実施形態のセンサ装置１１０によれば、振動電力変換素子１１１を含む第１部品１１０Ａと、無線送信部１１４を含む第２部品１１０Ｂと、第１部品１１０Ａと第２部品１１０Ｂとを接続する柔軟性を有する導線ｈ１とを備える。そして、第１部品１１０Ａと第２部品１１０Ｂとが異なる箇所に別々に固定可能である。当該構成により、振動の大きな箇所に振動電力変換素子１１１を配置して大きな電力を取得する一方、比較的に振動が小さい箇所に無線送信部１１４を配置して、無線送信部１１４を安定的に動作させることができる。

【0048】

さらに、本実施形態のセンサ装置１１０によれば、第２部品１１０Ｂは棒状部１１０Ｂｂを有し、無線送信部１１４が棒状部１１０Ｂｂに設けられている。当該構成により、棒状部１１０Ｂｂを外枠２１１の貫通孔ｑ１に通して、棒状部１１０Ｂｂの一部を外枠２１１の外側に位置させることができる。したがって、外部に位置する監視装置１２０への無線信号の送信が容易となる。

【0049】

さらに、本実施形態のロボット２００によれば、センサ装置１１０を備える。センサ装置１１０は電力供給又はセンサ信号の取り出しに外部機器と接続される配線を要さないので、ロボット２００の配線収容部に空きが無い場合であっても、あるいは、配線の取り回しが困難な箇所であっても、センサ装置１１０を容易に設けることができる。また、後付けでセンサ装置１１０をロボット２００の診断箇所に取り付けることも容易である。そして、センサ装置１１０を用いて、ロボット２００の減速機２２１の異常診断を行うことができる。

【0050】

さらに、本実施形態のロボット２００によれば、振動電力変換素子１１１がアーム２１０の外枠２１１の内側に配置され、無線送信部１１４がアーム２１０の外枠２１１の貫通孔ｑ１に配置されている。当該構成によれば、センサ装置１１０がロボット２００の動きに干渉してしまうことを抑制しつつ、無線信号をロボット２００の外に送信することが可能となる。

【0051】

以上、本発明の実施形態について説明した。しかし、本発明は上記の実施形態に限られない。例えば、上記実施形態では、ロボット２００にセンサ装置１１０を設けた例を示したが、センサ装置１１０は、減速機の振動が検出できる箇所に設けられれば、どのような装置に設けられてもよい。また、上記実施形態では、センサ装置１１０が制御部１１３を有する構成を示したが、制御部１１３が省略された構成が採用されてもよい。その他、実施の形態で示した細部は、発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。

【符号の説明】

【0052】

１００ 異常診断システム
１１０ センサ装置
１２０ 監視装置
１１０ センサ装置
１１１ 振動電力変換素子
１１１ｏｕｔ－１、１１１ｏｕｔ－２ 出力
１１２ 蓄電部
１１３ 制御部
１１４ 無線送信部
１１０Ａ 第１部品
１１０Ｂ 第２部品
１１０Ｂａ 基部
１１０Ｂｂ 棒状部
ｈ１ 導線
２００ ロボット
２１０ アーム
２１１ 外枠
ｑ１ 貫通孔
２２０ 関節部
２２１ 減速機
２２１ａ 出力部材
２２２ モータ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】