特開 2024-94204 ボウル、基板処理装置及びボウルの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024094204

(43)【公開日】2024-07-09

(54)【発明の名称】ボウル、基板処理装置及びボウルの製造方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/304 20060101AFI20240702BHJP

【ＦＩ】

H01L21/304 643Z

H01L21/304 643A

H01L21/304 648K

【審査請求】未請求

【請求項の数】20

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023069982

(22)【出願日】2023-04-21

(31)【優先権主張番号】10-2022-0186275

(32)【優先日】2022-12-27

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(71)【出願人】

【識別番号】598123150

【氏名又は名称】セメス株式会社

【氏名又は名称原語表記】ＳＥＭＥＳ ＣＯ．， ＬＴＤ．

【住所又は居所原語表記】７７，４ｓａｎｄａｎ ５－ｇｉｌ，Ｊｉｋｓａｎ－ｅｕｐ，Ｓｅｏｂｕｋ－ｇｕ，Ｃｈｅｏｎａｎ－ｓｉ，Ｃｈｕｎｇｃｈｅｏｎｇｎａｍ－ｄｏ，３３１－８１４ Ｒｅｐｕｂｌｉｃ ｏｆ Ｋｏｒｅａ

(74)【代理人】

【識別番号】110000671

【氏名又は名称】ＩＢＣ一番町弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】ハン，サン フ

【テーマコード（参考）】

5F157

【Ｆターム（参考）】

5F157AB02

5F157AB14

5F157AB33

5F157AB90

5F157BB23

5F157BB45

5F157BB66

5F157CF04

5F157CF16

5F157CF38

5F157CF66

5F157CF92

5F157DA43

5F157DC31

5F157DC84

(57)【要約】

【課題】ボウルが熱変形することを防止するボウル、基板処理装置及びボウルの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のボウルは、回収ラインが連結される回収孔が形成された本体部と、上記本体部の上部から上方延長された後、側方向に延長されたガイド部と、上記本体部の内部及び上記ガイド部の内部にわたって設置された連結フレームと、を含む。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

回収ラインが連結される回収孔が形成された本体部と、
前記本体部の上部から上方へ延長された後、側方向に延長されたガイド部と、
前記本体部の内部及び前記ガイド部の内部にわたって設置された連結フレームと、を含む、ボウル。

【請求項2】

前記連結フレームは、
前記本体部及び前記ガイド部にわたって配置され、互いに離隔配置された複数個の第１部分と、
複数個の前記第１部分を連結する複数個の第２部分と、を含み、
複数個の前記第２部分のうち一部が前記本体部に配置され、複数個の前記第２部分のうち残りが前記ガイド部に配置された、請求項１に記載のボウル。

【請求項3】

複数個の前記第２部分のうち一部は複数個の前記第１部分の一端部を連結し、複数個の前記第２部分のうち残りは複数個の前記第１部分の他端部を連結する、請求項２に記載のボウル。

【請求項4】

前記本体部には、複数個の排気孔が互いに離隔して形成され、
前記第１部分は、複数個の前記排気孔の間に配置された、請求項２に記載のボウル。

【請求項5】

前記連結フレームは管構造であって、内部に冷媒が流動する、請求項１に記載のボウル。

【請求項6】

前記連結フレームは、一端部が冷媒供給管と連結され、他端部が冷媒回収管と連結される、請求項５に記載のボウル。

【請求項7】

前記本体部と前記ガイド部とは一体型に形成された、請求項１に記載のボウル。

【請求項8】

前記ガイド部は、前記本体部よりも厚くなるように内側に突出した拡張部が形成された、請求項１に記載のボウル。

【請求項9】

前記ガイド部の内周面にはリング状の補強部材が設置された、請求項１に記載のボウル。

【請求項10】

工程チャンバと、
前記工程チャンバ内に設置され、基板を処理する処理空間を有する処理容器と、
前記処理空間で前記基板を支持する支持ユニットと、
前記基板に液を吐出するノズルユニットと、を含み、
前記処理容器は、前記支持ユニットの周りに配置された複数個のボウルを含み、
前記複数個のボウルのうち少なくとも一つのボウルは、
円筒形構造であり、回収ラインが連結される回収孔が形成された本体部と、
前記本体部の上部から上方へ延長された後、側方向に延長されたガイド部と、
前記本体部の内部及び前記ガイド部の内部にわたって設置された連結フレームと、を含む、基板処理装置。

【請求項11】

前記連結フレームは、
前記本体部及び前記ガイド部にわたって配置され、互いに離隔配置された複数個の第１部分と、
複数個の前記第１部分を連結する複数個の第２部分と、を含み、
複数個の前記第２部分のうち一部が前記本体部に配置され、複数個の前記第２部分のうち残りが前記ガイド部に配置された、請求項１０に記載の基板処理装置。

【請求項12】

複数個の前記第２部分のうち一部は複数個の前記第１部分の一端部を連結し、複数個の前記第２部分のうち残りは複数個の前記第１部分の他端部を連結する、請求項１１に記載の基板処理装置。

【請求項13】

前記本体部には、複数個の排気孔が互いに離隔して形成され、
前記第１部分は複数個の前記排気孔の間に配置された、請求項１１に記載の基板処理装置。

【請求項14】

前記連結フレームは管構造であって、内部に冷媒が流動する、請求項１０に記載の基板処理装置。

【請求項15】

前記連結フレームは、一端部が冷媒供給管と連結され、他端部が冷媒回収管と連結される、請求項１４に記載の基板処理装置。

【請求項16】

前記冷媒供給管と前記冷媒回収管は循環ポンプによって連結され、前記冷媒供給管には熱交換器が設置された、請求項１５に記載の基板処理装置。

【請求項17】

前記本体部と前記ガイド部とは一体型に形成された、請求項１０に記載の基板処理装置。

【請求項18】

本体部と前記本体部の一端部に連結されたガイド部のそれぞれと対応する第１空間と第２空間とが互いに繋がるように形成された金型を設ける金型準備段階と、
前記第１空間及び前記第２空間にわたって連結フレームを配置させるフレーム配置段階と、
前記第１空間及び前記第２空間に溶融材料を射出して、前記本体部と前記ガイド部を前記連結フレームに固定させながら一体型に成形するボウル射出成形段階と、を含む、ボウルの製造方法。

【請求項19】

前記フレーム配置段階において、
前記連結フレームの複数個の第１部分のそれぞれを前記第１空間及び前記第２空間にわたって配置させ、複数個の前記第１部分を連結する前記連結フレームの複数個の第２部分のうち一部を前記第１空間に配置させ、複数個の前記第２部分のうち残りを前記第２空間に配置させ、
前記第１部分と前記第２部分とを交互に互いに繋がるように配置する、請求項１８に記載のボウルの製造方法。

【請求項20】

前記フレーム配置段階において、
前記連結フレームとして冷媒が内部で流動可能な管を使用する、請求項１８に記載のボウルの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板に吐出された液を回収するボウル、基板処理装置及びボウルの製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

一般に、基板上に形成された膜を除去又は洗浄するために、様々な液が使用される。このような液は回転する基板に提供され、基板に提供された液は基板の一側に配置されたボウルによって回収される。その後、液はボウルに連結された配管を介して外部に排出される。

【0003】

上記ボウルは組立体であって、複数個の部品によって組み立てられて形成されるが、液が高温である場合、部品の変形により、部品間の組み立て部分が元の位置から離脱するため、組み立て不良が発生する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】韓国公開特許公報第１０－２０２１－０１１２７５４号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

本発明は、上記のような問題点を解決するために創案されたものであって、ボウルが熱変形することを防止するボウル、基板処理装置、及びボウルの製造方法を提供することにその目的がある。

【0006】

上記のような目的を達成するために、本発明の第１実施形態によるボウルは、回収ラインが連結される回収孔が形成された本体部と、上記本体部の上部から上方へ延長された後、側方向に延長されたガイド部と、上記本体部の内部及び上記ガイド部の内部にわたって設置された連結フレームと、を含む。

【0007】

上記連結フレームは、上記本体部及び上記ガイド部にわたって配置され、互いに離隔配置された複数個の第１部分と、複数個の上記第１部分を連結する複数個の第２部分と、を含み、複数個の上記第２部分のうち一部が上記本体部に配置され、複数個の上記第２部分のうち残りが上記ガイド部に配置されることができる。

【0008】

複数個の上記第２部分のうち一部は、複数個の上記第１部分の一端部を連結し、複数個の上記第２部分のうち残りは、複数個の上記第１部分の他端部を連結することができる。

【0009】

上記本体部には、複数個の排気孔が互いに離隔して形成され、上記第１部分は、複数個の上記排気孔の間に配置されることができる。

【0010】

上記連結フレームは管構造であって、内部に冷媒が流動することができる。

【0011】

上記連結フレームは、一端部が冷媒供給管と連結され、他端部が冷媒回収管と連結されることができる。

【0012】

上記本体部と上記ガイド部は一体型に形成されることができる。

【0013】

本発明の第２実施形態によれば、上記ガイド部は、上記本体部よりも厚くなるように内側に突出した拡張部が形成されることができる。

【0014】

本発明の第３実施形態によれば、上記ガイド部の内周面にはリング状の補強部材が設置されることができる。

【0015】

本発明の他の側面によれば、工程チャンバと、上記工程チャンバ内に設置され、基板を処理する処理空間を有する処理容器と、上記処理空間で上記基板を支持する支持ユニットと、上記基板に液を吐出するノズルユニットと、を含み、上記処理容器は、上記支持ユニットの周りに配置された複数個のボウルを含み、上記ボウルは、回収ラインが連結される回収孔が形成された本体部と、上記本体部の上部から上方へ延長された後、側方向に延長されたガイド部と、上記本体部の内部及び上記ガイド部の内部にわたって設置された連結フレームと、を含む基板処理装置が提供されることができる。

【0016】

上記連結フレームは管構造であって、内部に冷媒が流動し、上記連結フレームは一端部が冷媒供給管と連結され、他端部が冷媒回収管と連結され、上記冷媒供給管と上記冷媒回収管は循環ポンプにより連結され、上記冷媒供給管には熱交換器が設置されることができる。

【0017】

上記本体部と上記ガイド部は一体型に形成されることができる。

【0018】

本発明のさらに他の側面によれば、本体部と上記本体部の一端部に連結されたガイド部のそれぞれと対応する第１空間と第２空間とが互いに繋がるように形成された金型を設ける金型準備段階と、上記第１空間及び上記第２空間にわたって連結フレームを配置させるフレーム配置段階と、上記第１空間及び上記第２空間に溶融材料を射出して、上記本体部と上記ガイド部を上記連結フレームに固定させながら一体型に成形するボウル射出成形段階と、を含むボウルの製造方法が提供されることができる。

【0019】

上記フレーム配置段階において、上記連結フレームの複数個の上記第１部分のそれぞれを上記第１空間及び上記第２空間にわたって配置させ、複数個の上記第１部分を連結する上記連結フレームの複数個の上記第２部分のうち一部を上記第１空間に配置させ、複数個の上記第２部分のうち残りを上記第２空間に配置させ、上記第１部分と上記第２部分とが交互に互いに繋がるように配置することができる。

【0020】

上記フレーム配置段階において、上記連結フレームとして冷媒が内部で流動可能な管を使用することができる。

【発明の効果】

【0021】

本発明は、内蔵された連結フレームによりボウルの本体部とガイド部が固定されることで、ガイド部が高温の液によって熱変形することを防止し、本体部から離脱することを防止できるという効果を有する。

【0022】

さらに、本発明は、本体部とガイド部が一体型に形成されることにより、本体部とガイド部が熱変形することを防止できるという利点を有する。

【0023】

また、本発明は、連結フレームが冷媒の流動する管構造をとることにより、本体部とガイド部を冷却させることで本体部とガイド部の熱変形を防止できるという利点を有する。

【図面の簡単な説明】

【0024】

【図1】従来技術によるボウルを示す図である。

【図2】本発明による基板処理装置を示す平面図である。

【図3】図２の基板処理装置の内部を示す図である。

【図4】図２の基板処理装置において複数個のボウルを示す図である。

【図5】図４の複数個のボウルのうち内側ボウルである、本発明の第１実施形態によるボウルを示す図である。

【図6】図４のボウルにおいて連結フレームを示す図である。

【図7】本発明の第２実施形態によるボウルを示す図である。

【図8】本発明の第３実施形態によるボウルを示す図である。

【図9】図４の複数個のボウルのうち第１ボウルに、本発明が適用されたことを示す図である。

【図10】本発明の一実施形態によるボウルの製造方法を示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0025】

以下、添付の図面を参照して、本発明が属する技術分野において通常の知識を有する者が本発明を容易に実施できるように好ましい実施形態を詳細に説明する。但し、本発明の好ましい実施形態を詳細に説明するに当たり、関連する公知の機能又は構成に対する具体的な説明が、本発明の要旨を不必要に不明瞭にする可能性があると判断される場合には、その詳細な説明を省略する。また、類似の機能及び作用をする部分については、図面全体にわたって同じ符号を用いる。なお、本明細書において、「上」、「上部」、「上面」、「下」、「下部」、「下面」、「側面」等の用語は図面を基準としたものであり、実際には構成要素が配置される方向によって異なることがある。

【0026】

さらに、明細書全体において、ある部分が他の部分と「連結」されていると言うとき、これは「直接的に連結」されている場合だけでなく、その中間に他の構成要素を挟んで「間接的に連結」されている場合も含む。また、ある構成要素を「含む」とは、特に反対の記載がない限り、他の構成要素を除外するのではなく、他の構成要素をさらに含み得ることを意味する。

【0027】

図１は、従来技術によるボウルを示す図である。

【0028】

図面を参照すると、従来技術によるボウル１０は、基板を支持する支持ユニットの周りに複数個が離隔して配置される。複数個のボウル１０は、支持ユニット側から外側に第１ボウルＢ１、第２ボウルＢ２、及び第３ボウルＢ３が順次に多段配置されることができる。このとき、ボウル１０は、第１ボウルＢ１、第２ボウルＢ２、及び第３ボウルＢ３のうち一つであってもよく、第１ボウルＢ１の内側に形成された内側ボウルＩＢであってもよい。

【0029】

このようなボウル１０は、複数個の部品が組み立てられて形成されることができる。

【0030】

具体的な一例として、ボウル１０が内側ボウルＩＢである場合、ボウル１０は、下側部分である本体部１１と上側部分であるガイド部１２とを含むことができる。ここで、本体部１１の上面には組立突起ライン１１ａが形成され、ガイド部１２の下面には組立溝ライン１２ａが形成され、本体部１１の組立突起ライン１１ａがガイド部１２の組立溝ライン１２ａに挿入されることにより、本体部１１及びガイド部１２が組み立てられる。また、本体部１１及びガイド部１２のそれぞれにはピンホールｇが形成され、このようなピンホールｇに固定ピンｐが挿入されることにより、本体部１１及びガイド部１２が組み立てられた状態で固定される。

【0031】

ところが、高温のＳＰＭ（Ｓｕｌｆｕｒｉｃ Ａｃｉｄ Ｈｙｄｒｏｇｅｎ Ｐｅｒｏｘｉｄｅ Ｍｉｘｔｕｒｅ）のように高温の液が基板に吐出されてボウル１０に回収される場合、ボウル１０が熱変形することがある。具体的に、ボウル１０のガイド部１２が高温の液により内側に熱変形する場合、固定ピンｐが損傷したり抜けたりして、組立溝ライン１２ａが組立突起ライン１１ａから分離されて離脱することで、工程不良が発生するという問題点がある。

【0032】

図２は、本発明の第１実施形態による基板処理装置を示す平面図であり、図３は、図２の基板処理装置の内部を示す図である。

【0033】

図面を参照すると、本発明の基板処理装置１０００は、液で基板Ｗに対する工程を行う工程チャンバ１００を含む。このような工程チャンバ１００内では、基板Ｗを水平に保持した状態で基板Ｗに対して工程を行う。上記工程は、基板Ｗ上に形成された窒化膜をエッチングする工程であってもよい。このとき、液はリン酸を含んでもよい。さらに、工程チャンバ１００は、様々な液を使用して基板Ｗの表面に残留する異物及び膜質を除去する工程において使用されることができる。

【0034】

具体的に、上記工程チャンバ１００は密閉された内部空間を提供し、上部にはファンフィルタユニット１１０が設置される。上記ファンフィルタユニット１１０は、工程チャンバ１００の内部に垂直気流を発生させる。このようなファンフィルタユニット１１０は、フィルタと空気供給ファンが一つのユニットとしてモジュール化したものであって、清浄空気をフィルタリングして工程チャンバ１００の内部に供給する。清浄空気はファンフィルタユニット１１０を通過した後、工程チャンバ１００の内部に供給されて垂直気流を形成する。このような垂直気流は、基板Ｗの上部に均一な気流を提供し、処理流体によって基板Ｗの表面が処理される過程で発生する汚染物質（ヒューム）を空気と共に処理容器２００の複数個のボウル２１０、２２０、２３０を介して回収ライン１３１、１３２、１３３に排出させて除去することにより、処理容器の内部の高清浄度を保持させる。

【0035】

工程チャンバ１００は、水平隔壁１０１によって区画される工程領域１００ａとメンテナンス領域１００ｂとを含む。上記水平隔壁１０１には、昇降ユニット２９０の駆動部材２９３と、ノズルユニット４００の駆動部材４９０とが設置される。また、メンテナンス領域１００ｂは、処理容器２００と連結される回収ライン１３１、１３２、１３３、及び排気部材１２０が位置する空間であって、このようなメンテナンス領域１００ｂは、基板Ｗの処理が行われる工程領域１００ａから隔離されることが好ましい。

【0036】

そして、本発明の基板処理装置１０００は、工程チャンバ１００内に処理容器２００、支持ユニット３００、及びノズルユニット４００を含むことができる。上記処理容器２００は工程チャンバ１００の内部に設置され、上部が開口した円筒形状を有し、基板Ｗを処理するための処理空間を提供する。処理容器２００の開口した上面は、基板Ｗの搬出及び搬入通路として提供される。ここで、上記処理空間には支持ユニット３００が位置する。このとき、支持ユニット３００は、工程の進行時に基板Ｗを支持し、基板Ｗを回転させる。

【0037】

また、処理容器２００は、支持ユニット３００のスピンヘッド３１０が位置する上部空間２００ａと、強制排気が行われるように、下部には排気ダクト２５０が連結された下部空間２００ｂとを提供する。このような排気ダクト２５０は、工程チャンバ１００の外部に延長された排気部材１２０と連結される。処理容器２００の上部空間２００ａには、回転する基板Ｗ上から飛散する液と気体を回収及び吸入する環状の第１ボウル２１０、第２ボウル２２０、及び第３ボウル２３０が多段に配置される。上記第１ボウル２１０、第２ボウル２２０、及び第３ボウル２３０は、一つの共通した環状空間（処理容器の下部空間に該当）と通じる排気孔ｈを有する。

【0038】

ここで、複数個のボウル２１０、２２０、２３０は、基板Ｗから飛散した液及びヒュームが含まれた気流が流入する複数個の回収空間ＲＳ１、ＲＳ２、ＲＳ３を提供する。第１回収空間ＲＳ１は第１ボウル２１０によって区画されて形成され、第２回収空間ＲＳ２は第１ボウル２１０と第２ボウル２２０間の離隔空間で形成され、第３回収空間ＲＳ３は、第２ボウル２２０と第３ボウル２３０間の離隔空間で形成される。

【0039】

これに加えて、上記処理容器２００は、処理容器２００の垂直位置を変更させる昇降ユニット２９０と結合される。昇降ユニット２９０は、処理容器２００を上下方向に直線移動させる。処理容器２００が上下に移動することによって、スピンヘッド３１０に対する処理容器２００の相対高さが変更される。このような昇降ユニット２９０は、ブラケット２９１、昇降軸２９２、及び駆動部材２９３を有する。ブラケット２９１は処理容器２００の外壁に固定設置され、ブラケット２９１には、駆動部材２９３によって上下方向に移動する昇降軸２９２が固定結合される。基板Ｗがスピンヘッド３１０にロードされるか、又はスピンヘッド３１０からアンロードされるとき、スピンヘッド３１０が処理容器２００の上部に突出するように処理容器２００は下降する。

【0040】

また、工程の進行時には、基板Ｗに供給された液の種類に応じて設定された（選択された）各ボウル２１０、２２０、２３０に液が流入できるように処理容器２００の高さが調節される。これにより、処理容器２００と基板Ｗ間の相対的な垂直位置が変更される。したがって、処理容器２００は、各回収空間ＲＳ１、ＲＳ２、ＲＳ３ごとに回収される液と汚染ガスの種類を異ならせることができる。

【0041】

上記支持ユニット３００は処理容器２００の内側に設置される。支持ユニット３００は、工程の進行中に基板Ｗを支持し、工程が行われる間、駆動部材３３０によって回転することができる。また、上記支持ユニット３００は、円形の上部面を有するスピンヘッド３１０を有する。スピンヘッド３１０の上部面には、基板Ｗを支持する複数個の支持ピン３１１と複数個のチャッキングピン３１２とを有する。支持ピン３１１は、スピンヘッド３１０の上部面の縁部に一定間隔を離隔して一定の配列で複数個が配置され、スピンヘッド３１０から上側に突出するように備えられる。支持ピン３１１は基板Ｗの下面を支持し、基板Ｗがスピンヘッド３１０から上側の方向に離隔した状態で支持されるようにする。支持ピン３１１の外側には複数個のチャッキングピン３１２がそれぞれ配置され、このようなチャッキングピン３１２は上側に突出するように備えられる。複数個のチャッキングピン３１２は、複数個の支持ピン３１１によって支持された基板Ｗがスピンヘッド３１０上の定位置に載置されるように基板Ｗを整列する。工程の進行時に、複数個のチャッキングピン３１２は、基板Ｗの側部と接触して基板Ｗが定位置から離脱することを防止する。スピンヘッド３１０の下部には、スピンヘッド３１０を支持する支持軸３２０が連結され、支持軸３２０は、その下端に連結された駆動部材３３０によって回転する。このとき、駆動部材３３０はモータ等で構成され、このような駆動部材３３０により支持軸３２０が回転することで、スピンヘッド３１０及び基板Ｗが回転するようになる。

【0042】

一方、上記ノズルユニット４００は、支持ユニット３００に支持された基板Ｗに液を吐出する。このようなノズルユニット４００は、移動ノズル機器４００Ｍ又は固定ノズル機器４００Ｆであってもよい。このとき、移動ノズル機器４００Ｍは、処理容器２００の外側に複数個が設置されてもよい。

【0043】

図４は、図２の基板処理装置において複数個のボウルを示す図であり、図５は、図４の複数個のボウルのうち、本発明の第１実施形態によるボウルを示す図であり、図６は、図４のボウルにおいて連結フレームを示す図である。

【0044】

図面を参照すると、本発明の第１実施形態によるボウル２１０は一体型構造で形成されることができる。

【0045】

具体的に、ボウル２１０は、下側部分である本体部２１１及び上側部分であるガイド部２１２を含むことができる。

【0046】

上記本体部２１１は、円筒形の構造をとるが、内側には基板（図３のＷ）を支持する支持ユニット（図３の３００）が配置される。このような本体部２１１は、下部に回収孔２１１ａが形成されることができるが、このとき、回収孔２１１ａには液を回収する回収ライン１３０が連結される。

【0047】

また、ガイド部２１２は、本体部２１１の上部から上方へ延長された後、側方向に延長される。すなわち、ガイド部２１２は、本体部２１１の上端部から上側に立てられた構造をなす。さらに、ガイド部２１２は、側方向に傾斜するように折り曲げ又は屈曲した構造をとる。ガイド部２１２は側方向に延長された構造をとることにより、ボウル２１０が液を回収するとき、基板から飛散する液を、回収ライン１３０の連結された本体部２１１側にガイドする役割を果たす。具体的に、ボウル２１０が第１ボウル（図３のＢ１）、第２ボウル（図３のＢ２）、又は第３ボウル（図３のＢ３）である場合、ガイド部２１２は、本体部２１１から上方へ延長された後、内側の側方向に上方傾斜した構造をとり、ボウル２１０が第１ボウル（図３のＢ１）の内側に配置された内側ボウル（図３のＩＢ）である場合、ガイド部２１２は、本体部２１１から上方延長された後、外側の側方向に下方傾斜した構造をとることができる。図４～図８では、内側ボウル（図３のＩＢ）に、本発明のボウル２１０の構造が適用されたことを示している。さらに、本発明のボウル２１０の構造が第１ボウル（図３のＢ１）に適用される場合、図９のように示すことができる。

【0048】

本発明の本体部２１１とガイド部２１２は、一体型として互いに繋がるように形成された構造をとる。

【0049】

従来技術によるボウル（図１の１０）は、本体部（図１の１１）とガイド部（図１の２１２）とが互いに組み立てられる組立体構造をとっているのに対し、本発明のボウル２１０は、本体部２１１とガイド部２１２とが組み立てられる構造ではなく、一体型構造として製造される。

【0050】

一例として、本発明は、射出成形によって本体部２１１とガイド部２１２とが一体型に製造されることができる。具体的に、本体部２１１とガイド部２１２とは、後述する連結フレーム２１３が挿入されるインサート射出で成形されて一体型に形成されることができる。

【0051】

一方、一体型構造の本体部２１１及びガイド部２１２は、連結フレーム２１３によって強固に固定されることができる。

【0052】

具体的に、上記連結フレーム２１３は、本体部２１１の内部及びガイド部２１２の内部にわたって設置される。

【0053】

すなわち、連結フレーム２１３は、一定の部分が本体部２１１の内部に配置され、残りの部分がガイド部２１２の内部に設置されることができる。

【0054】

これにより、本発明のボウル２１０は、本体部２１１とガイド部２１２とが一体型に形成されるとともに、連結フレーム２１３により固定されることにより、ガイド部２１２が高温の液により熱変形することで、本体部２１１から離脱することを防止することができる。

【0055】

具体的に、連結フレーム２１３は、第１部分２１３ａと第２部分２１３ｂとを含むことができる。

【0056】

上記第１部分２１３ａは、本体部２１１及びガイド部２１２にわたって配置される。第１部分２１３ａは、本体部２１１の内部及びガイド部２１２の内部にわたって配置される。このような第１部分２１３ａは、下側の本体部２１１及び上側のガイド部２１２にわたって配置されるために、縦方向に形成される。

【0057】

さらに、第１部分２１３ａは複数個が配置されるが、円筒形の第１ボウル２１０の円周方向に沿って互いに離隔して配置される。このような第１部分２１３ａは、本体部２１１とガイド部２１２とを互いに強固に固定させる役割を果たす。

【0058】

より具体的に、本体部２１１には複数個の排気孔ｈが互いに離隔して形成されることができる。排気孔ｈは、ボウル２１０に液と共に回収された気体を排気する部分であるが、第１部分２１３ａは、このような排気孔ｈと干渉しないように複数個の排気孔ｈの間に配置される。

【0059】

また、上記第２部分２１３ｂは、複数個の第１部分２１３ａを連結するように複数個が配置される。このような複数個の第２部分２１３ｂのうち一部が本体部２１１に配置され、複数個の第２部分２１３ｂのうち残りがガイド部２１２に配置される。

【0060】

より具体的に、第２部分２１３ｂは、複数個の第２部分２１３ｂのうち一部が本体部２１１の内部に配置され、複数個の第２部分２１３ｂのうち残りがガイド部２１２の内部に配置される。このとき、複数個の第２部分２１３ｂのうち一部は、複数個の第１部分２１３ａの一端部を連結し、複数個の第２部分２１３ｂのうち残りは、複数個の第１部分２１３ａの他端部を連結する。

【0061】

このように連結フレーム２１３は、第１部分２１３ａと第２部分２１３ｂとが交互に互いに繋がる構造をとることにより、本体部２１１とガイド部２１２の全体的な部分を強固に固定させることができる。

【0062】

さらに、上述した連結フレーム２１３はジグザグパターンで形成されるが、図４～図８に示すように、第１部分２１３ａが垂直配置され、第２部分２１３ｂが水平配置された形状に形成されてもよく、図９に示すように、第１部分２１３ａが傾斜配置され、第２部分２１３ｂが屈曲配置された波のような形状に形成されてもよく、さらに、様々なジグザグパターンで形成されてもよい。

【0063】

そして、上記連結フレーム２１３は管構造であって、内部に冷媒が流動する。すなわち、連結フレーム２１３は、内部に冷媒が流動するルートが形成される管の形態をとる。言い換えれば、連結フレーム２１３としては冷媒管が使用されることができる。

【0064】

このように本発明は、連結フレーム２１３が冷媒の流動する管構造をとることにより、本体部２１１及びガイド部２１２を強固に固定させる役割に加え、本体部２１１及びガイド部２１２を冷却させることができる。基板に吐出された後に回収される高温の液により、本体部２１１及びガイド部２１２が熱変形することがあるが、連結フレーム２１３により本体部２１１及びガイド部２１２が冷却されることで、本体部２１１及びガイド部２１２の熱変形を防止することができる。

【0065】

このような連結フレーム２１３は、図４に示すように、一端部が冷媒供給管９１０と連結され、他端部が冷媒回収管９２０と連結されることができる。上記冷媒供給管９１０と冷媒回収管９２０は循環ポンプ９３０によって連結され、冷媒供給管９１０には熱交換器９４０が設置されることができる。これにより、連結フレーム２１３は、基板工程中に本体部２１１及びガイド部２１２に対する冷却役割を継続して安定的に行うことができる。

【0066】

さらに、連結フレーム２１３は金属材質からなることができる。射出成形で加工される樹脂材質の本体部２１１とガイド部２１２のそれぞれの内部に配置される連結フレーム２１３が金属材質からなることにより、本体部２１１とガイド部２１２をさらに強固に固定させることができる。

【0067】

図７は、本発明の第２実施形態によるボウルを示す図であり、図８は、本発明の第３実施形態によるボウルを示す図である。

【0068】

上記ガイド部２１２は、図７に示すように、本体部２１１よりも厚くなるように内側に突出した拡張部２１２ａが形成されるか、又は図８に示すように、内周面にリング状の補強部材２１４が設置されることができる。

【0069】

高温のＳＰＭのような液では、高温の液が基板に吐出された後、ボウル２１０に回収される過程で、高温の液が先に接触するガイド部２１２の熱変形が、本体部２１１よりも容易に発生する。

【0070】

そこで、本発明は、図７に示す第２実施形態のように、ガイド部２１２が本体部２１１よりも厚さの側面においてより厚くなるように、内側に突出した拡張部２１２ａが形成されることで、又は図８に示す第３実施形態のように、ガイド部２１２の内周面にリング状の補強部材２１４が設置されることで、ガイド部２１２に対する熱変形を防止することができる。なお、図７及び図８に示した構成要素のうち、説明されていない構成要素は、図４～図６と同じ図面符号を有する構成要素と同一であるため、それに対する具体的な説明は省略する。

【0071】

図１０は、本発明の一実施形態によるボウルの製造方法を示すフローチャートである。

【0072】

図４及び図１０を参照すると、本発明のボウルの製造方法は、金型準備段階Ｓ１００、フレーム配置段階Ｓ２００、及びボウル射出成形段階Ｓ３００を含む。

【0073】

まず、金型準備段階Ｓ１００は、第１空間と第２空間とが互いに繋がるように形成された金型（図示せず）を設ける段階である。すなわち、第１空間と第２空間とは互いに通じる空間であり、第１空間は円筒形構造の本体部２１１と対応する空間であり、第２空間は円筒形構造のガイド部２１２と対応する空間である。

【0074】

次に、フレーム配置段階Ｓ２００は、第１空間及び第２空間にわたって連結フレーム２１３を配置させる段階である。すなわち、フレーム配置段階Ｓ２００では、連結フレーム２１３を金型の内部に移動させて、連結フレーム２１３を第１空間及び第２空間にわたって配置させる。

【0075】

具体的に、フレーム配置段階Ｓ２００では、連結フレーム２１３の複数個の第１部分２１３ａのそれぞれを第１空間及び第２空間にわたって配置させ、そして複数個の第１部分２１３ａを連結する連結フレーム２１３の複数個の第２部分２１３ｂのうち一部を上記第１空間に配置させ、複数個の第２部分２１３ｂのうち残りを第２空間に配置させる。さらに、このとき、第１部分２１３ａと第２部分２１３ｂとを交互に互いに繋げる。

【0076】

また、フレーム配置段階Ｓ２００では、連結フレーム２１３として、冷媒が内部で流動可能な管を用いることができる。すなわち、連結フレーム２１３として冷媒管を使用することができる。

【0077】

最後に、ボウル射出成形段階Ｓ３００は、第１空間及び第２空間に溶融材料を射出して本体部２１１及びガイド部２１２を成形する段階である。フレーム配置段階Ｓ２００により第１空間及び第２空間にわたって連結フレーム２１３が配置されていることによって、このようなボウル射出成形段階Ｓ３００により本体部２１１及びガイド部２１２は連結フレーム２１３に固定され、一体型に成形される。

【0078】

以上、添付の図面を参照して本発明の実施形態を説明したが、本発明が属する技術分野において通常の知識を有する者は、本発明がその技術的思想や必須の特徴を変更せずに他の具体的な形態で実施できるということを理解することができる。よって、上述した実施形態はすべての点で例示的なものであり、限定的なものではないものと理解すべきである。

【符号の説明】

【0079】

１００：工程チャンバ
１００ａ：工程領域
１００ｂ：メンテナンス領域
１０１：水平隔壁
１１０：ファンフィルタユニット
１２０：排気部材
１３０：回収ライン
１３１：第１回収ライン
１３２：第２回収ライン
１３３：第３回収ライン
２００：処理容器
２００ａ：上部空間
２００ｂ：下部空間
２１０：ボウル
２１１：本体部
２１１ａ：回収孔
２１２：ガイド部
２１２ａ：拡張部
２１３：連結フレーム
２１３ａ：第１部分
２１３ｂ：第２部分
２１４：補強部材
２５０：排気ダクト
２９０：昇降ユニット
２９１：ブラケット
２９２：昇降軸
２９３：駆動部材
３００：支持ユニット
３１０：スピンヘッド
３２０：支持軸
３３０：駆動部材
４００：ノズルユニット
４００Ｍ：移動ノズル機器
４００Ｆ：固定ノズル機器
４９０：駆動部材
９１０：冷媒供給管
９２０：冷媒回収管
９３０：循環ポンプ
９４０：熱交換器
１０００：基板処理装置
Ｗ：基板
Ｂ１：第１ボウル
Ｂ２：第２ボウル
Ｂ３：第３ボウル
ＩＢ：内側ボウル
ｈ：排気ホール
Ｓ１００：金型準備段階
Ｓ２００：フレーム配置段階
Ｓ３００：ボウル射出成形段階

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】