特開 2024-94657 リーク検査装置、コントローラ、プログラム、及び、リーク検出方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024094657

(43)【公開日】2024-07-10

(54)【発明の名称】リーク検査装置、コントローラ、プログラム、及び、リーク検出方法

(51)【国際特許分類】

   G01M 3/20 20060101AFI20240703BHJP

【ＦＩ】

G01M3/20 E

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022211348

(22)【出願日】2022-12-28

(71)【出願人】

【識別番号】000006666

【氏名又は名称】アズビル株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100098394

【弁理士】

【氏名又は名称】山川 茂樹

(72)【発明者】

【氏名】吉塚 充

(72)【発明者】

【氏名】大島 伸紀

(72)【発明者】

【氏名】津村 佳宏

【テーマコード（参考）】

2G067

【Ｆターム（参考）】

2G067AA38

2G067BB02

2G067BB03

2G067BB12

2G067BB25

2G067BB36

2G067BB40

2G067CC13

2G067DD17

2G067EE09

2G067EE12

(57)【要約】

【課題】フード法によるリーク検査を自動で行う。
【解決手段】リーク検査装置は、検査対象６を収容するチャンバ１１０と、チャンバ１１０内の空間のうちの検査対象６の外側空間への検査ガスの供給と非供給とを開状態と閉状態とのそれぞれにより切り替える第２制御弁１２３と、チャンバ１１０からの検査ガスの排気と非排気とを開状態と閉状態とのそれぞれにより切り替える排気弁１３１と、検査対象６の内部空間を真空引きし、前記内部空間にリークした検査ガスの量を測定するリークディテクタ１４２と、外部から供給されるリーク検査の開始指示が供給されたことを契機として、予め定められた検査シーケンスに従って、第２制御弁１２３、排気弁１３１、及び、リークディテクタ１４２を動作させ、フード法によりリーク検査を実行するコントローラ１７０と、を備える。
【選択図】図１２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

検査対象を収容するチャンバと、
前記チャンバ内の空間のうちの前記検査対象の外側空間への検査ガスの供給と非供給とを開状態と閉状態とのそれぞれにより切り替える検査ガス用の制御弁と、
前記チャンバからの前記検査ガスの排気と非排気とを開状態と閉状態とのそれぞれにより切り替える排気弁と、
前記検査対象の内部空間を真空引きし、前記内部空間にリークした検査ガスの量を測定するリークディテクタと、
外部から供給されるリーク検査の開始指示が供給されたことを契機として、予め定められた検査シーケンスに従って、前記制御弁、前記排気弁、及び、前記リークディテクタを動作させ、フード法によりリーク検査を実行するコントローラと、
を備えるリーク検査装置。

【請求項2】

前記コントローラは、
前記制御弁及び前記排気弁を前記開状態として、前記チャンバ内の前記外側空間を前記検査ガスでパージする第１制御と、
前記第１制御のあとに前記排気弁を閉状態として、前記チャンバ内の前記外側空間に前記検査ガスを蓄積する第２制御と、
前記第２制御中又は前記第２制御の終了タイミングで、前記検査ガスの前記量をリークディテクタにより測定する第３制御と、
測定した前記検査ガスの前記量が所定基準を満たして大きいときに、前記検査対象にリーク異常が発生していると判別する判別処理と、を行う、
請求項１に記載のリーク検査装置。

【請求項3】

前記第１制御中での、前記チャンバ内の前記外側空間に供給される前記検査ガスの流量を監視する流量監視装置を備え、
前記流量監視装置は、前記第１制御中の１以上の所定タイミングにおいて前記流量が予め定められたイベント閾値を超えなかったときに前記検査ガスの供給異常を検出して出力する、
請求項２に記載のリーク検査装置。

【請求項4】

前記第２制御中での、前記チャンバ内の前記外側空間に供給される前記検査ガスの流量を監視する流量監視装置を備え、
前記流量監視装置は、前記第２制御中の１以上の所定タイミングにおいて前記流量が予め定められたイベント閾値を下回らなかったときに前記検査ガスの蓄積異常を検出して出力する、
請求項２に記載のリーク検査装置。

【請求項5】

前記第１制御中及び前記第２制御中での、前記チャンバ内の前記外側空間に供給される前記検査ガスの流量を監視する流量監視装置を備え、
前記流量監視装置は、前記流量が予め定められたアラーム閾値を超えたときに前記検査ガスの供給異常を検出して出力する、
請求項２に記載のリーク検査装置。

【請求項6】

前記チャンバ内の前記外側空間への前記検査ガスとは異なるパージガスの供給と非供給とを開状態と閉状態とのそれぞれにより切り替えるパージガス用の制御弁をさらに備え、
前記コントローラは、
前記第１制御の前に、前記パージガス用の制御弁及び前記排気弁を開状態とし、前記検査ガス用の制御弁を閉状態として、前記チャンバ内の前記外側空間を前記パージガスでパージし、
前記パージガスでのパージ中又はパージの終了タイミングに、前記検査ガスの量をリークディテクタにより測定し、測定した前記量を基準値として記憶し、
前記判別処理において、前記第３制御で測定した前記検査ガスの前記量が前記基準値よりも所定値以上大きい場合に、前記検査対象にリーク異常が発生していると判別する、
請求項２に記載のリーク検出装置。

【請求項7】

請求項１に記載のリーク検出装置に用いられる前記コントローラ。

【請求項8】

コンピュータを、請求項１に記載のリーク検出装置が備える前記コントローラとして機能させるプログラム。

【請求項9】

検査対象を収容するチャンバと、
前記チャンバ内の空間のうちの前記検査対象の外側空間への検査ガスの供給と非供給とを開状態と閉状態とのそれぞれにより切り替える検査ガス用の制御弁と、
前記チャンバからの前記検査ガスの排気と非排気とを開状態と閉状態とのそれぞれにより切り替える排気弁と、
前記検査対象の内部空間を真空引きし、前記内部空間にリークした検査ガスの量を測定するリークディテクタと、を備えるリーク検査装置をコントローラにより制御し、
前記コントローラが、外部から供給されるリーク検査の開始指示が供給されたことを契機として、予め定められた検査シーケンスに従って、前記制御弁、前記排気弁、及び、前記リークディテクタを動作させ、フード法によりリーク検査を実行する、
を備えるリーク検査方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、真空容器などの検査対象のリークの有無を検査するリーク検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

検査対象のリークの有無を検査する方法の一つとしてフード法が知られている。このフード法は、検査対象の内部を真空にし、かつ、この検査対象を覆うフード内の空間のうちの検査対象の外側空間にＨｅガスなどの検査ガスを充満させ、検査対象の外側から内部への検査ガスのリーク量を測定する方法である。このフード法を実施するための装置が引用文献１に開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】実公昭６２－０１２９８８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記特許文献１に開示されている装置は、作業者による操作が前提となっており、上記フード法を自動で実施するようには構成されていない。また、リーク検査装置には複数の切換弁が設けられているが各切換弁の開閉動作の動作タイミングを適切に実施する必要があり、作業者は熟練した者である必要がある。

【0005】

本発明は、フード法によるリーク検査を自動で行うことを課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

この目的を達成するために本発明に係るリーク検査装置は、検査対象を収容するチャンバと、前記チャンバ内の空間のうちの前記検査対象の外側空間への検査ガスの供給と非供給とを開状態と閉状態とのそれぞれにより切り替える検査ガス用の制御弁と、前記チャンバからの前記検査ガスの排気と非排気とを開状態と閉状態とのそれぞれにより切り替える排気弁と、前記検査対象の内部空間を真空引きし、前記内部空間にリークした検査ガスの量を測定するリークディテクタと、外部から供給されるリーク検査の開始指示が供給されたことを契機として、予め定められた検査シーケンスに従って、前記制御弁、前記排気弁、及び、前記リークディテクタを動作させ、フード法によりリーク検査を実行するコントローラと、を備える。

【0007】

一例として、前記コントローラは、前記制御弁及び前記排気弁を前記開状態として、前記チャンバ内の前記外側空間を前記検査ガスでパージする第１制御と、前記第１制御のあとに前記排気弁を閉状態として、前記チャンバ内の前記外側空間に前記検査ガスを蓄積する第２制御と、前記第２制御中又は前記第２制御の終了タイミングで、前記検査ガスの前記量をリークディテクタにより測定する第３制御と、測定した前記検査ガスの前記量が所定基準を満たして大きいときに、前記検査対象にリーク異常が発生していると判別する判別処理と、を行う。

【0008】

一例として、前記リーク検査装置は、前記第１制御中及び前記第２制御中での、前記チャンバ内の前記外側空間に供給される前記検査ガスの流量を監視する流量監視装置を備え、前記流量監視装置は、前記第１制御中の１以上の所定タイミングにおいて前記流量が予め定められたイベント閾値を超えなかったときに前記検査ガスの供給異常を検出して出力する。

【0009】

一例として、前記リーク検査装置は、前記第１制御中及び前記第２制御中での、前記チャンバ内の前記外側空間に供給される前記検査ガスの流量を監視する流量監視装置を備え、前記流量監視装置は、前記第２制御中の１以上の所定タイミングにおいて前記流量が予め定められたイベント閾値を下回らなかったときに前記検査ガスの蓄積異常を検出して出力する。

【0010】

一例として、前記リーク検査装置は、前記第１制御中及び前記第２制御中での、前記チャンバ内の前記外側空間に供給される前記検査ガスの流量を監視する流量監視装置を備え、前記流量監視装置は、前記流量が予め定められたアラーム閾値を上回ったときに前記検査ガスの供給異常を検出して出力する。

【0011】

一例として、前記リーク検査装置は、前記チャンバ内の前記外側空間への前記検査ガスとは異なるパージガスの供給と非供給とを開状態と閉状態とのそれぞれにより切り替えるパージガス用の制御弁をさらに備え、前記コントローラは、前記第１制御の前に、前記パージガス用の制御弁及び前記排気弁を開状態とし、前記検査ガス用の制御弁を閉状態として、前記チャンバ内の前記外側空間を前記パージガスでパージし、前記パージガスでのパージ中又はパージの終了タイミングに、前記検査ガスの量をリークディテクタにより測定し、測定した前記量を基準値として記憶し、前記判別処理において、前記第３制御で測定した前記検査ガスの前記量が前記基準値よりも所定値以上大きい場合に、前記検査対象にリーク異常が発生していると判別する。

【0012】

本発明に係るコントローラは、上記リーク検出装置に用いられる上記コントローラである。

【0013】

本発明に係るプログラムは、コンピュータを、上記リーク検出装置が備える前記コントローラとして機能させる。

【0014】

本発明に係るリーク検査方法は、検査対象を収容するチャンバと、前記チャンバ内の空間のうちの前記検査対象の外側空間への検査ガスの供給と非供給とを開状態と閉状態とのそれぞれにより切り替える検査ガス用の制御弁と、前記チャンバからの前記検査ガスの排気と非排気とを開状態と閉状態とのそれぞれにより切り替える排気弁と、前記検査対象の内部空間を真空引きし、前記内部空間にリークした検査ガスの量を測定するリークディテクタと、を備えるリーク検査装置をコントローラにより制御し、前記コントローラが、外部から供給されるリーク検査の開始指示が供給されたことを契機として、予め定められた検査シーケンスに従って、前記制御弁、前記排気弁、及び、前記リークディテクタを動作させ、フード法によりリーク検査を実行する。

【発明の効果】

【0015】

本発明によれば、フード法による検査を自動で行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】図１は、本発明の実施形態に係るリーク検査装置の斜視図である。

【図2】図２は、フードおよびフード押圧部を省略して示すリーク検査装置の平面図である。

【図3】図３は、フードおよびフード押圧部を省略して示すリーク検査装置の斜視図である。

【図4】図４は、検査対象の一部を破断して示す斜視図である。

【図5】図５は、ベース、検査対象の一部および検査対象固定部の一部を破断して示す断面図である。

【図6】図６は、検査ガスが流れる経路を示す斜視断面図である。

【図7】図７は、ベースの斜視図である。

【図8】図８は、ベースの貫通孔部分を拡大して示す断面図である。

【図9】図９は、パージガスが流れる経路を示す斜視断面図である。

【図10】図１０は、ノズルの斜視図である。

【図11】図１１は、要部を拡大して示す断面図である。

【図12】図１２は、図１のリーク検査装置の構成を示すブロック図である。

【図13】図１３は、図１２のコントローラが実行する検査シーケンスを示す図である。

【図14】図１４は、正常時のＨｅガス（検査ガス）の流量の時間変化を示すグラフである。

【図15】図１５は、異常時のＨｅガス（検査ガス）の流量の時間変化を示すグラフである。

【図16】図１６は、異常時のＨｅガス（検査ガス）の流量の時間変化を示すグラフである。

【発明を実施するための形態】

【0017】

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。本実施形態では、検査対象として静電容量式の流量センサが用いられている（詳細は後述）。

【0018】

図１に示すように、リーク検査装置１は、図１において最も下に描かれているベース２と、ベース２の上面となる載置面３の上に取り付けられたフード４およびフード押圧部５などを備えている。ベース２は、金属材料によって板状に形成されている。ベース２の平面形状は長方形である。

【0019】

ベース２の載置面３には、図２および図３（Ａ）～（Ｃ）に示すように、リーク検査装置１によるリーク検査の検査対象６が載置される。この載置面３には、検査対象６を取り囲むように環状溝７が形成されている。以下においては、環状溝７に囲まれた内側を検査対象６が設置されるステージ部８という。環状溝７には、フード４との間をシールするためのＯリングからなるシール部材９が装着されている。

【0020】

フード４は、ベース２側の一端面が開口するカップ状に形成され、載置面３に配置されて検査対象６を覆う（図６、図９も参照）。フード４のベース２に対する取付位置は、ベース２に突設された複数の第１の位置決めピン１０（図３（Ａ））によって規定される。

【0021】

図１に示すフード押圧部５は、フード４をベース２に向かって押圧するもので、ベース２の載置面３であって、ステージ部８の外側に位置する端部に設けられている。この実施の形態によるフード押圧部５は、フード４の天井壁を押圧するアーム５ａと、アーム５ａを操作するための操作レバー５ｂとを備えたトグルクランプによって構成されている。このフード押圧部５は、ベース２に複数の支柱５ｃを介して取付けられている。支柱５ｃは、ベース２の貫通孔５ｄ（図２）に通された固定用ボルト（図示せず）によってベース２に固定されている。

【0022】

フード４がフード押圧部５によってベース２に向かって押圧されることにより、フード４のベース２側の一端面が、シール部材９を当該シール部材９が装着されている環状溝７の底に押し付ける（図６及び図９参照）。これにより、フード４がシール部材９と密着し、フード４の内部空間と外部空間とがフード４により遮断される。ベース２、フード４、及び、シール部材９は、検査対象６を収容するチャンバ１１０を構成している。

【0023】

検査対象６は、上述のように静電容量式の流量センサであり、図４に示すように、外観が円柱状に形成され内部が空洞の本体部６ａと、本体部６ａの一端から突出するパイプ部６ｂとによって構成されている。

【0024】

本体部６ａの中には、隔壁（ダイアフラム）６ｃで区画された真空室６ｄが形成されている。なお、図面で描かれている検査対象６としての流量センサは、簡略化されている。例えば、実際の本体部６ａは、複数の部品を溶接して形成されている。また、隔壁６ｃの真空室６ｄ側の面上には、静電容量式のセンサチップが設けられている。また、隔壁６Ｃには、パイプ部６ｂから流入するガスをセンサチップに導入する貫通孔なども設けられている。また、本体部６ａの上端（図４の右端）の円板の貫通孔を貫通する、センサチップから静電容量を取り出すための導電ピンも設けられている。導電ピンは、貫通孔内に設けられたハーメチックシールなどで支持される。

【0025】

本体部６ａの外周部分には、真空室６ｄの内外を連通する連通孔１１が形成されている。検査対象６は、真空室６ｄが真空とされる前の製造途中の流量センサである。本実施形態によるリーク検査後、連通孔１１から真空室６ｄの空気を抜いて連通孔を封止することで、真空室６ｄが真空となる。連通孔１１の周囲には平坦面１２が形成されている。検査時、この平坦面１２とベース２とが対向するように検査対象６がベース２に載置される。

【0026】

リーク検査装置１は、連通孔１１から本体部６ａの真空室６ｄの空気を排気して真空室６ｄを真空状態とし、検査ガスをフード４の内部（検査対象６の外部）に充満させた後、検査対象６の真空室６ｄへの検査ガスの透過量を測定することにより、検査対象６のシール性能を検査する。検査ガスは、ここでは、Ｈｅガスとするが、前記の透過量を検出可能な種類のガスであればどのようなガスであってもよい。化学的に安定な不活性ガスが採用されるとよい。

【0027】

図３（Ａ）～（Ｃ）に示すように、ステージ部８には、検査対象６をステージ部８の所定の位置に固定する検査対象固定部１３が設けられている。図３（Ａ）～（Ｃ）においては、フード押圧部５を省略して描いてある。検査対象固定部１３は、図３（Ａ）に示すように、検査対象６の本体部６ａをステージ部８に固定するクランプ部１４と、検査対象６のパイプ部６ｂを保持するパイプ保持部１５とによって構成されている。図３（Ａ）では、検査対象固定部１３により検査対象６がベース２に固定されている。

【0028】

クランプ部１４は、図示していない固定用ボルトによってベース２に固定された第１および第２の支持部材１４ａ，１４ｂと、第１の支持部材１４ａに揺動自在に支持されて検査対象６の本体部６ａをベース２との間に挟むアーム部材１４ｃと、第２の支持部材１４ｂに揺動自在に支持されてアーム部材１４ｃと係合するロック部材１４ｄとを有している。

【0029】

アーム部材１４ｃは、検査対象６の本体部６ａをベース２に押し付ける押圧用ボルト１４ｅを備えている。ロック部材１４ｄは、本体部６ａをベース２に押し付けている状態にあるアーム部材１４ｃの揺動端部に係合し、本体部６ａがベース２に押し付けられた状態を保持する。

【0030】

この検査対象固定部１３によれば、図３（Ｂ）～（Ｃ)に示すように、アーム部材１４ｃとロック部材１４ｄとが開いている状態で検査対象６とパイプ保持部１５とをベース２に対して着脱することができる。図３（Ｂ）はアーム部材１４ｃとロック部材１４ｄとを開いた状態を示す。図３（Ｃ）は検査対象６とパイプ保持部１５とを外した状態を示す。

【0031】

パイプ保持部１５は、ベース２に着脱自在に取付けられており、図５に示すように、検査対象６のパイプ部６ｂが通される中空部１６を有する支持ブロック１７と、中空部１６の断面Ｖ字状の壁面１６ａにパイプ部６ｂを押し付ける押圧用ボルト１８とを備えている。図５の破断位置は、図２中にV－V線によって示す位置である。このパイプ保持部１５は、断面Ｖ字状の壁面１６ａにパイプ部６ｂが押し付けられることにより、検査対象６の軸線がベース２の載置面３と平行になるように構成されている。パイプ保持部１５のベース２に対する取付位置は、図６に示すようにベース２に突設された第２の位置決めピン１９によって規定される。図６の破断位置は、図２中にVI－VI線によって示す位置である。図６は、フード押圧部５を省略して描いてある。

【0032】

図７に示すように、ステージ部８の中央部には貫通孔２１が形成されているとともに、複数のねじ孔２２や丸穴２３～２８などが開口している。貫通孔２１は、検査対象６から空気を吸い出すために使用される。この貫通孔２１の詳細は後述する。貫通孔２１と隣接するように形成された四角形の二つの凹部２９，３０は、ステージ部８と検査対象６の本体部６ａとの干渉を避けるために設けられている。

【0033】

貫通孔２１の近傍に形成されている４つのねじ孔２２には、検査対象固定部１３の第１および第２の支持部材１４ａ，１４ｂをベース２に取付ける取付用ボルト（図示せず）がねじ込まれる。

【0034】

複数の丸穴２３～２８のうち、環状溝７に隣接する位置に形成された二つの丸穴２３，２４には、第１の位置決めピン１０が取付けられる。これらの丸穴２３，２４とねじ孔２２との間でベース２の短手方向に並ぶ残りの４つの丸穴２５～２８のうち、内側の二つの丸穴２６，２７には、第２の位置決めピン１９が取り付けられる。外側の二つの丸穴２５，２８は、検査ガスをフード４内に対して出し入れするために設けられている。これら２つの丸穴２５，２８のうちの一方の丸穴２５は、図６に示すように、ベース２内に形成された検査ガス導入路３１に連通し、他方の穴２８は、ベース２内に形成された検査ガス排気路３２に連通している。

【0035】

検査ガス導入路３１は、ベース２の短手方向の一方の側面２ａ（図５参照）に形成された第１導入口３３と、上述した一方の丸穴２５とを連通している。以下においては、上述した一方の丸穴２５を「第２導入口２５」という。第１導入口３３には、検査ガス及び又はフード４内（より詳細には、そのうちの検査対象６の外側の空間）をパージするためのパージガス（フードパージガスともいう）を供給するガス供給機構１２０（詳細は後述）が接続されている。フードパージガスは、ここでは圧縮空気とするが、空気、不活性ガスなどであってもよい。

【0036】

検査ガス排気路３２は、ベース２の短手方向の他方の側面２ｂに形成された第２導出口３６と、上述した他方の丸穴２８とを連通している。以下においては、上述した他方の丸穴２８を「第１導出口２８」という。第２導出口３６には、フード４内の検査ガス及び又はフードパージガスをリーク検査装置１の外部に排気するガス排気機構１３０（詳細は後述）が接続されている。

【0037】

検査ガス及び又はフードパージガスは、ガス供給機構１２０→第１導入口３３→検査ガス導入路３１→第２導入口２５→チャンバ１１０内つまりフード４内→第１導出口２８→第２導出口３６→ガス排気機構１３０の順で流れる。

【0038】

ベース２に形成された貫通孔２１は、図８に示すように、ステージ部８の表面とは直交する垂直方向（図７においては上下方向）にベース２を貫通している。貫通孔２１が形成される位置は、検査対象６の本体部６ａがステージ部８で固定される位置である。

【0039】

この実施の形態による貫通孔２１は、孔径が異なる複数の孔を接続して形成されている。複数の孔は、ステージ部８に開口する第１の孔４１と、第１の孔４１より孔径が小さく形成されて第１の環状の平坦面４２を介して第１の孔４１に接続された第２の孔４３と、第２の孔４３より孔径が大きく形成されてテーパー面４４と第２の環状の平坦面４５とを介して第２の孔４３に接続された第３の孔４６を含む。

【0040】

第１の孔４１のベース２に開口する一端の孔径（開口径）は、第１の環状の平坦面４２に接続される他端の孔径より小さい。このため、第１の孔４１の孔壁面はテーパー面である。

【0041】

第３の孔４６の内面にはパージガス流通路５１が開口している。パージガス流通路５１は、図９に示すように、ベース２の載置面３とは別の面（長手方向の一方の側面２ｃ）に形成された第３導入口５２と貫通孔２１の第３の孔４６とを連通する第１の流路５１ａと、ベース２の載置面３とはさらに別の面（長手方向の他方の側面２ｄ）に形成された第３導出口５３と貫通孔２１の第３の孔４６とを連通する第２の流路５１ｂとによって構成されている。図９の破断位置は、図２におけるIX－IX線によって示す位置である。また、図９は、フード押圧部５を省略して描いてある。

【0042】

第３導入口５２には、図示していない配管を介してパージガス供給装置１５１が接続されている。パージガス供給装置１５１は、パージガスを、特に、リーク検査時のチャンバ１１０内への検査ガスの充填時に第３導入口５２に供給する。

【0043】

第３導出口５３には、図示していない配管を介してパージガス排気弁１５２が接続されている。パージガス排気弁１５２は、第３導出口５３から排気されたパージガスを外部に放出する。パージガス排気弁１５２に、パージガス回収装置が接続され、パージガスは当該装置により回収されてもよい。パージガスは、例えば空気を使用することができる。

【0044】

貫通孔２１には、図９に示すように、ノズル６１がベース２の裏側から挿入されている。ノズル６１は、図１０に示すように、図１０において最も上に位置する第１の円筒６２と、第１の円筒６２より外径が大きい第２の円筒６３と、第２の円筒６３から離れるにしたがって次第に外径が大きくなるテーパー面６４と円筒面６５とを有する方向変更部６６と、方向変更部６６から径方向の外側に延びるフランジ部６７と、フランジ部６７から方向変更部６６とは反対側に延びる配管接続部６８などを有している。

【0045】

第１の円筒６２は、検査対象６の連通孔１１に挿入可能に形成されている。第１の円筒６２と第２の円筒６３との境界部分には、第３の環状の平坦面６９が形成されている。

【0046】

方向変更部６６は、パージガス流通路５１（第１の流路５１ａ）から貫通孔２１（第３の孔４６）に流入したパージガスの流れる方向を変えるためのものである。パージガスは、方向変更部６６のテーパー面６４に沿って流れることにより流れる方向が変えられる。

【0047】

フランジ部６７には、図９に示すように、フランジ部６７とベース２との間をシールするためにＯリング７０が装着されている。

【0048】

配管接続部６８には、図示していない配管を介してリーク検出機構１４０が接続される。詳細は後述するが、リーク検出機構１４０は、ノズル６１を介して、検査対象６の真空室６ｄに対して真空引きを行い、また、フード４内から真空室６ｄにリークした検査ガスの量を測定し、検査ガスの量が予め定めた限界量を越えたときにリーク有りと判定する。

【0049】

ノズル６１は、図１１に示すように、第１の円筒６２から方向変更部６６までの部分がベース２の貫通孔２１の中に挿通され、フランジ部６７をベース２の裏面に重ねるようにして図示していない固定用ボルトによってベース２に固定されている。第１の円筒６２は、貫通孔２１の中心に位置しており、ノズル６１がベース２に取付けられた状態でベース２のステージ部８から突出する。ノズル６１がベース２に取り付けられた状態において、ノズル６１の第２の円筒６３と貫通孔２１の第２の孔４３との間には環状の空間Ｓが形成される。

【0050】

検査対象６は、図１１に示すように、ノズル６１の第１の円筒６２が本体部６ａの連通孔１１に挿入された状態でステージ部８に固定される。

【0051】

ノズル６１の第１の円筒６２と貫通孔２１の第１の孔４１との間には、図１１に示すように、二重シールリング７３が設けられている。二重シールリング７３は、ノズル６１の第１の円筒６２の外周（リーク検査ガス導出管の一端開口部の外周）に密着装着されて、外気が第１の円筒６２の中に進入することを防止する。この実施の形態による二重シールリング７３は、内径が第１の円筒６２の外径と等しい第１のＯリング７４と、内径が第１のＯリング７４の外径と等しい第２のＯリング７５とによって構成されている。また、第１のＯリング７４と第２のＯリング７５とがノズル６１の第１の円筒６２の外周に装着された状態で、第１のＯリング７４の外周面と第２のＯリング７５の内周面とが密着している。

【0052】

第１のＯリング７４は、検査対象６の連通孔１１の周囲に形成された平坦面１２と、ノズル６１の第３の環状の平坦面６９との間に挟まれている。このため、ノズル６１の第１の円筒６２は、第１のＯリング７４を介して検査対象６に密着することになる。

【0053】

第２のＯリング７５は、検査対象６の上述した平坦面１２と、貫通孔２１の第１の環状の平坦面４２との間に挟まれている。

【0054】

パージガス供給装置１５１の動作中、パージガスが図８中に矢印で示すように第３導入口５２からベース２の貫通孔２１とノズル６１との間の空間を通って第３導出口５３に流れる。その途中、パージガスは、二重シールリング７３およびノズル６１の外周面（テーパー面６４、第２の円筒６３の外周面）に沿って流れる。

【0055】

フード４内に供給される検査ガスは、図１１中に白抜き矢印で示すように、検査対象６の周辺近傍から第２のＯリング７５を透過して内側に漏洩する。第２のＯリング７５の内側は、ベース２の第２の孔４３とノズル６１の第２の円筒６３との間の環状の空間Ｓに露出している。この環状の空間Ｓには、パージガス流通路５１を流れてノズル６１のテーパー面６４に当たって流れる方向が変えられたパージガスが吹き付けられる。このため、第２のＯリング７５を透過して環状の空間Ｓに漏れ出た検査ガスは、パージガスによって押し流されて環状の空間Ｓからパージガス流通路５１の下流に送られる。このため、第２のＯリング７５を透過した検査ガスの、ノズル６１の薄肉の第１の円筒６２の中に吸い込まれる量が低減され（当該量が０となることを含む）、高い精度でリーク検査を実施することができる。また、第２のＯリング７５を透過した検査ガスの、第１のＯリング７４及び検査対象６の連通孔１１を介して真空室６ｄに侵入する量も低減され、高い精度でリーク検査を実施することができる。

【0056】

上記で説明したリーク検査装置１の構成においては、検査対象６の直下から真空排気を行うことができるから、真空排気を行う相対的に太い配管が側方に張り出すようなことはない。

【0057】

図１２に示すように、リーク検査装置１は、チャンバ１１０、ガス供給機構１２０、ガス排気機構１３０、リーク検出機構１４０、指示受付部１６０、出力部１６５、及び、コントローラ１７０を備える。なお、図１２では不図示だが、リーク検査装置１は、パージガス供給装置１５１、パージガス排気弁１５２も備える。また、以下の説明では、検査ガスをヘリウム（Ｈｅ）ガスとし、ガス供給機構１２０からのフードパージガス及びパージガス供給装置１５１からのパージガスを空気（圧縮空気を含む）とする。

【0058】

ガス供給機構１２０は、第１制御弁１２１と、第１流量制御装置１２２と、第２制御弁１２３と、第２流量制御装置１２４と、を備える。

【0059】

第１制御弁１２１及び第１流量制御装置１２２は、配管により形成された第１流路Ｌ１の途中に設けられている。第１流路Ｌ１は、ボンベ又はコンプレッサなどからの空気を合流流路Ｌ１２に流す。第１制御弁１２１は、チャンバ１１０内の空間のうちの検査対象６の外側空間への空気の供給と非供給とを、第１流路Ｌ１を開閉する開状態と閉状態とのそれぞれにより切り替える空気用の制御弁である。第１流量制御装置１２２は、第１流路Ｌ１を流れる空気の流量を測定及び制御する。

【0060】

第２制御弁１２３及び第２流量制御装置１２４は、配管により形成された第２流路Ｌ２の途中に設けられている。第２流路Ｌ２は、ボンベなどからのＨｅガスを合流流路Ｌ１２に流す。第２制御弁１２３は、チャンバ１１０内の空間のうちの検査対象６の外側空間への空気の供給と非供給とを、第２流路Ｌ２を開閉する開状態と閉状態とのそれぞれにより切り替えるＨｅガス用の制御弁である。第２流量制御装置１２４は、第２流路Ｌ２を流れるＨｅガスの流量を測定及び制御する。

【0061】

合流流路Ｌ１２は、第１流路Ｌ１及び第２流路Ｌ２が合流した流路であり、第１流路Ｌ１及び又は第２流路Ｌ２を流れるガス（空気又はＨｅガス）をチャンバ１１０（ベース２）の第１導入口３３に流す。

【0062】

ガス排気機構１３０は、第３流路Ｌ３の途中に設けられた排気弁１３１を備える。第３流路Ｌ３は、第２導出口３６から排気されるチャンバ１１０内の前記ガスを、大気に放出又は所定のガス回収装置に排気する。排気弁１３１は、チャンバ１１０（より詳細には、チャンバ１１０内の空間のうちの検査対象６の外側空間）からのＨｅガスの排気と非排気とを、第３流路Ｌ３を開閉する開状態と閉状態とのそれぞれにより切り替える。

【0063】

リーク検出機構１４０は、遮断弁１４１と、リークディテクタ１４２と、を備える。リーク検出機構１４０は、ノズル６１のベース２側とは反対側の端部に直接又は所定の配管を介して接続される。遮断弁１４１は、リークディテクタ１４２とチャンバ１１０との間の流路を開閉することで、リークディテクタ１４２とチャンバ１１０との接続／遮断を制御する。リークディテクタ１４２は、検査対象６の内部空間である真空室６ｄを真空引きする真空ポンプ１４２Ａと、チャンバ１１０の前記外側空間から真空室６ｄにリークしたＨｅガスの量を測定する測定器１４２Ｂと、を備える。遮断弁１４１は、検査対象６が交換されるときなどに真空ポンプ１４２Ａを保護するため、閉じられる。

【0064】

指示受付部１６０は、リーク検査の開始指示の操作入力などを受け付ける操作装置を含んで構成される。指示受付部１６０は、前記開始指示が無線又は有線により他の装置から入力される通信モジュールを含んでもよい。指示受付部１６０は、入力されたリーク検査の開始指示をコントローラ１７０に供給する。

【0065】

出力部１６５は、コントローラ１７０の制御のもとで各種情報を外部出力する。出力部１６５は、各種情報を表示する表示装置、前記他の装置に各種情報を送信する通信モジュールなどであればよい。出力部１６５は、前記指示の受付画面などを表示してもよい。

【0066】

コントローラ１７０は、ＰＬＣ（Programmable Logic Controller）を含む各種のコンピュータのいずれか又は複数のコンピュータの組合せからなる。コントローラ１７０は、プログラムを実行して下記の処理の少なくとも一部を行うプロセッサ、及び又は、ＦＰＧＡ（Field-Programmable Gate Array）、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）などの、プログラムによらず下記の処理の少なくとも一部を行う論理回路を含んで構成されてもよい。プログラムは、例えば、コンピュータが読み取り可能な非一時的な記憶媒体に記憶される。コントローラ１７０は、リーク検査装置１全体、特に上記各要素の動作を制御し、予め定められた検査シーケンスに従って、検査対象６のフード法によるリーク検査を自動で行う。

【0067】

コントローラ１７０によるリーク検査を行う前、作業者は、前もって、検査対象６をベース２の上に載置し、検査対象固定部１３を用いてベース２に固定する。このとき、本体部６ａの連通孔１１にノズル６１の第１の円筒６２を挿通させる。その後、作業者は、ベース２にフード４を被せ、フード４をフード押圧部５によってベース２に向けて押して固定する。その後、作業者は、指示受付部１６０にリーク検査の開始指示を入力する（例えば、起動スイッチのオン）。入力されたリーク検査の開始指示は、コントローラ１７０に供給され、コントローラ１７０は、この指示の供給に基づいて、図１３の検査シーケンスを実行する。なお、リーク検査開始前、弁１２１、１２３、１３１、１４１は閉じられているものとする。

【0068】

コントローラ１７０は、リーク検査の開始指示が供給されると、第１制御弁１２１、排気弁１３１、遮断弁１４１を開き、リークディテクタ１４２の真空ポンプ１４２Ａを動作させる（タイミングＴ１）。これにより、チャンバ１１０内の空間つまり検査対象６の収容空間が空気によりパージされるとともに、検査対象６の真空室６ｄが真空引きされる。なお、第１流量制御装置１２２の開度などは任意の開度に設定される（以下、同じ）。パージ及び真空引きは、予め定められた固定時間ｔ１だけ行われる。固定時間ｔ１は、パージ及び真空引きが十分行われる期間として設定される。

【0069】

固定時間ｔ１の経過後のタイミングＴ２において、コントローラ１７０は、第１制御弁１２１を閉じ、第２制御弁１２３を開く。第２流量制御装置１２４の開度などは任意の開度に設定される（以下、同じ）。これら制御により、チャンバ１１０内への空気でのパージが、Ｈｅガスでのパージに変更され、リーク検査が開始される。コントローラ１７０は、タイミングＴ２において、リークディテクタ１４２の測定器１４２ＢによりＨｅガスの量を測定する。コントローラ１７０は、測定したＨｅガスの量を基準値として記憶しておく。基準値としてのＨｅガスの量の測定を、空気によるパージ後に行うことで、チャンバ１１０内にＨｅガスが残留したことによる誤った基準値の記憶が防止される。Ｈｅガスでのパージは、予め定められた固定時間ｔ２だけ行われる。固定時間ｔ２は、チャンバ１１０内の空気が全て排気され、チャンバ１１０内がＨｅガスで満たされるのに必要な期間として設定される。基準値としてのＨｅガスの量の測定タイミングは、空気でのパージの終了タイミングであるＴ２の他、当該パージ中の任意のタイミングでもよい。ただし、タイミングＴ２での測定の方が精度の良い基準値が得られる。

【0070】

固定時間ｔ２の経過後のタイミングＴ３において、コントローラ１７０は、排気弁１３１を閉じる。これにより、Ｈｅガスがチャンバ１１０内に蓄積される。Ｈｅガスが蓄積されるのに伴って、チャンバ１１０内のＨｅガスの圧力が増加する。従って、チャンバ１１０内に流入するＨｅガスの流量は徐々に減少する。Ｈｅガスの蓄積は、予め定められた固定時間ｔ３だけ行われる。固定時間ｔ３は、Ｈｅガスが十分な量、チャンバ１１０内に充填されるのに必要な期間として設定される。

【0071】

固定時間ｔ３の経過後のタイミングＴ４において、コントローラ１７０は、測定器１４２ＢによりＨｅガスの量を測定する。コントローラ１７０は、測定したＨｅガスの量と、上記で記憶した基準値とを比較する。コントローラ１７０は、比較の結果、両者の差が所定の閾値未満であれば、検査対象６にリークがない、つまり、検査対象６が良品であると判別する。コントローラ１７０は、前記の差が所定の閾値以上であれば、検査対象６にリークがある、つまり、検査対象６がリークの異常（溶接不良など）のある不良品であると判別する。コントローラ１７０は、出力部１６５を介して判別結果をリーク検査の検査結果として外部出力する、例えば、表示装置に表示、又は他の装置に送信する。Ｈｅガスの量の測定タイミングは、Ｈｅガスの蓄積の終了タイミングであるＴ４の他、当該Ｔ４前の、Ｈｅガスの蓄積の期間中の任意のタイミングでもよい。ただし、タイミングＴ４での測定の方が精度の良い測定値が得られる。

【0072】

タイミングＴ４において、コントローラ１７０は、第１制御弁１２１及び排気弁１３１を開き、第２制御弁１２３を閉じ、真空ポンプ１４２Ａの動作を停止させる。これにより、リーク検査が終了し、空気でのパージが開始される。空気でのパージは、予め定められた固定時間ｔ４だけ行われる。固定時間ｔ４は、空気での十分なパージに必要な期間として設定される。

【0073】

固定時間ｔ４経過後、タイミングＴ５において、コントローラ１７０は、開いている弁を閉じ、各装置の動作を終了させる。これにより、リーク検査装置１は初期状態に戻る。

【0074】

コントローラ１７０は、少なくともＨｅガスの蓄積期間（タイミングＴ３～Ｔ４）において、パージガス供給装置１５１を動作させ、パージガス排気弁１５２を開くとよい。コントローラ１７０は、検査開始指示を受けてからＨｅガスの測定タイミングまでの期間（タイミングＴ１～Ｔ４）において、パージガス供給装置１５１を動作させ、パージガス排気弁１５２を開いてもよい。

【0075】

コントローラ１７０は、Ｈｅガスでのパージ及びＨｅガスの蓄積の期間（タイミングＴ２～Ｔ４の期間）、第２流量制御装置１２４にＨｅガスの流量を測定させ、その測定結果を監視してもよい。この監視により、検査自体の異常が検出される。なお、当該監視は、第２流量制御装置１２４にて行われ、下記の監視結果をコントローラ１７０に出力してもよい。監視を行うコントローラ１７０又は第２流量制御装置１２４は、チャンバ１１０内に供給されるＨｅガスの流量を監視する流量監視装置として機能する。

【0076】

まず、正常時のＨｅガスの流量の時間変化について、図１４を参照して説明する。図１４に示すように、Ｈｅガスの流量は、Ｈｅガスでのパージの開始タイミングＴ２から急激に増加し、その後、Ｈｅガスの蓄積の期間の途中まで略一定となる。その後、Ｈｅガスの蓄積が進むと、チャンバ１１０内のＨｅガスの圧力が上昇し、Ｈｅガスの供給圧力に近づく。従って、Ｈｅガスの流量は、徐々に減少し、最終的に０となる。

【0077】

この実施の形態では、Ｈｅガスの流量が略一定となるときの値の上及び下にアラーム閾値及びイベント閾値がそれぞれ設けられている。

【0078】

第２流量制御装置１２４で測定したＨｅガスの流量がアラーム閾値を超えたとき、Ｈｅガスの供給異常、例えば過剰供給が起きていることになる。コントローラ１７０は、流量がアラーム閾値を超えるかを常時判別（監視）し、超えたと判別した場合には、検査シーケンスをただちに中止し、空気でのパージを行う制御（他の弁は閉め、装置などは停止させる。以下、当該制御に応じて同じ）を行うとともに、アラーム（異常が発生した旨及びその種類）を出力部１６５に出力する。

【0079】

図１４に示すように、Ｈｅガスの流量の時間変化は、正常時でもイベント閾値を跨ぐので、イベント閾値と測定した流量との単純な比較では、正常時でも異常との判定が起こってしまう可能性がある。例えば、流量がイベント閾値未満のときに異常とすると、Ｈｅガスでのパージ開始直後、及び、Ｈｅガスの蓄積の期間における流量の低下により、当該流量がイベント閾値を下回り、異常の誤検出が生じてしまう。

【0080】

そこで、この実施の形態では、Ｈｅガスでのパージの期間（Ｔ２～Ｔ３）と、Ｈｅガスの蓄積の期間（Ｔ３～Ｔ４）とのそれぞれに互いに異なる種類のイベント監視期間を設ける。これにより、異常の誤検出を防止する。

【0081】

一例として、Ｈｅガスでのパージの開始タイミングＴ２から予め定められた時間ｔ２１だけ経過したタイミングＴ２－１を開始タイミングとした時間ｔ２２の期間（Ｔ２－１～Ｔ２－２）をイベント監視期間とする。このイベント監視期間中に、Ｈｅガスの流量がイベント閾値を超えれば、検査シーケンスは正常であるといえる。他方、このイベント監視期間中に、Ｈｅガスの流量がイベント閾値を超えない場合、流量が正常に上昇していないことになるので、Ｈｅガスの供給異常、例えば、第２流路Ｌ２の詰まり、Ｈｅガスのボンベの元栓が開いていないなどが原因の異常の発生が考えられる。

【0082】

例えば、コントローラ１７０は、タイミングＴ２からの時間を計時し、当該時間がｔ２１と予め定められた時間Ｄ１（ただし、Ｄ１≦ｔ２２）との合計時間に達したタイミング又は当該タイミングの前かつ定期的に、第２流量制御装置１２４で測定されたＨｅガスの流量と、イベント閾値とを比較する。コントローラ１７０は、比較の結果、流量がイベント閾値を超えている場合、正常と判別する。コントローラ１７０は、図１５に示すように、流量がイベント閾値を超えていない場合、異常と判別する。この場合、コントローラ１７０は、実行中の検査シーケンスを中止し、空気でのパージの制御を行う。また、コントローラ１７０は、アラーム（異常が発生した旨及びその種類）を出力部１６５に出力し、作業者に報知する。

【0083】

ここで、前記流量がイベント閾値を超えていても、当該流量が突発的に高くなった流量である可能性もある。これに対応するため、コントローラ１７０は、前記合計時間に達したタイミングからイベント監視期間終了のタイミングＴ２－２までの期間中、定期的に、流量とイベント閾値との比較を行い、流量がイベント閾値を所定回数以上下回った場合に、異常との判別し、その逆の場合に、正常と判別してもよい。コントローラ１７０は、イベント監視期間中、定期的に、流量とイベント閾値との比較を行い、流量がイベント閾値を所定回数以上下回った場合に、異常との判別し、その逆の場合に、正常と判別してもよい。

【0084】

図１４に戻り、例えば、Ｈｅガスの蓄積の期間（Ｔ３～Ｔ４）に設けられたイベント監視期間は、タイミングＴ３から予め定められた時間ｔ３１だけ経過したタイミングＴ３－１を開始タイミングとした時間ｔ３２の期間（Ｔ２－１～Ｔ２－２）をイベント監視期間とする。このイベント監視期間中に、Ｈｅガスの流量がイベント閾値を下回れば、検査シーケンスは正常であるといえる。他方、このイベント監視期間中に、Ｈｅガスの流量がイベント閾値未満とならない場合、流量が正常に下降していないことになるので、Ｈｅガスの蓄積異常、例えば、チャンバ１１０の漏れ、第２流路Ｌ２の漏れ、排気弁１３１の異常などが原因の異常の発生が考えられる。

【0085】

例えば、コントローラ１７０は、タイミングＴ３からの時間を計時し、当該時間がｔ３１と予め定められた時間Ｄ２（ただし、Ｄ２≦ｔ３２）との合計時間に達したタイミング又は当該タイミングの前かつ定期的に、第２流量制御装置１２４で測定されたＨｅガスの流量と、イベント閾値とを比較する。コントローラ１７０は、比較の結果、流量がイベント閾値を下回っている場合、正常と判別する。コントローラ１７０は、図１６に示すように、流量がイベント閾値を超えている場合、異常と判別する。この場合、コントローラ１７０は、実行中の検査シーケンスをイベント監視期間経過後に中止し、空気でのパージの制御を行う（図１５の例でもそのようにしてもよい）。なお、中止は、イベント監視期間経過前に行われてもよい。また、コントローラ１７０は、アラーム（異常が発生した旨及びその種類）を出力部１６５に出力し、作業者に報知する。

【0086】

ここで、前記合計時間に達したタイミングに前記流量がイベント閾値を下回っても、当該流量が突発的に低くなった流量である可能性もある。これに対応するため、コントローラ１７０は、前記合計時間に達したタイミングからイベント監視期間終了のタイミングＴ３－２までの期間中、定期的に、流量とイベント閾値との比較を行い、流量がイベント閾値を所定回数以上下回った場合に、異常と判別し、その逆の場合に正常と判別してもよい。コントローラ１７０は、イベント監視期間中、定期的に、流量とイベント閾値との比較を行い、流量がイベント閾値を所定回数以上下回った場合に、異常と判別し、その逆の場合に正常と判別してもよい。

【0087】

本実施の形態では、上述のように、コントローラ１７０が、外部から供給されるリーク検査の開始指示が供給されたことを契機として、予め定められた検査シーケンスに従って、第２制御弁１２３、排気弁１３１、及び、リークディテクタ１４２を動作させ、フード法によりリーク検査を実行する。これにより、フード法によるリーク検査を自動で行うことができ、例えば、大量生産する検査対象６の検査を行う作業者の拘束時間を短くすることができる。なお、これら構成の具体例は上記実施形態に限定されず任意である（下記の各構成についても同様）。

【0088】

上述のように、コントローラ１７０は、第２制御弁１２３及び排気弁１３１を開状態として、チャンバ１１０内の空間のうちの検査対象６の外側空間を検査ガスでパージする第１制御と、この第１制御のあとに排気弁１３１を閉状態として、前記外側空間に検査ガスを蓄積する第２制御と、第２制御中又は第２制御の終了タイミングで、検査対象６の真空室６ｄ内の検査ガスの量をリークディテクタ１４２により測定する第３制御と、測定した検査ガスの量が所定基準を満たして大きいときに、検査対象６にリーク異常が発生していると判別する判別処理と、を行う。これにより、フード法によるリーク検査を自動で行うことができる。

【0089】

上述のように、リーク検査装置１は、第１制御中及び第２制御中での、チャンバ１１０内の前記外側空間に供給される検査ガスの流量を監視する流量監視装置（コントローラ１７０又は第２流量制御装置１２４）を備え、前記流量監視装置は、前記第１制御中の１以上の所定タイミングにおいて前記流量が予め定められたイベント閾値を超えなかったときに前記検査ガスの供給異常を検出して出力する。これにより、検査時の異常を作業者に報知できる。

【0090】

上述のように、前記流量監視装置は、前記第２制御中の１以上の所定タイミングにおいて前記流量が予め定められたイベント閾値を下回らなかったときに前記検査ガスの蓄積異常を検出して出力する。これにより、検査時の異常を作業者に報知できる。

【0091】

上述のように、流量監視装置は、前記流量が予め定められたアラーム閾値を上回ったときに前記検査ガスの供給異常を検出して出力する。

【0092】

上述のように、コントローラ１７０は、第１制御の前に、第１制御弁１２１及び排気弁１３１を開状態とし、第２制御弁１２３を閉状態として、チャンバ１１０内の前記外側空間をパージガス（フ―ドパージガス）でパージし、パージガスでのパージ中又はパージの終了タイミングに、検査ガスの量をリークディテクタ１４２により測定し、測定した前記量を基準値として記憶し、前記判別処理において、前記第３制御で測定した前記検査ガスの前記量が前記基準値よりも所定値以上大きい場合に、前記検査対象にリーク異常が発生していると判別する。これにより、フード法によるリーク検査を自動で行うことができる。

【0093】

本発明は、上記で説明した実施の形態に限定されない。上記実施の形態に対して種々の変形を施したものも本発明の範囲内に含まれ得る。変形例として、リーク検査装置１の各部品の形状は任意である。また、検査対象は、流量センサに限定されず、種々の部品が対象とされる。

【符号の説明】

【0094】

１…リーク検査装置、２…ベース、２ａ…側面、２ｂ…側面、２ｃ…側面、２ｄ…側面、３…載置面、４…フード、５…フード押圧部、５ａ…アーム、５ｂ…操作レバー、５ｃ…支柱、５ｄ…貫通孔、６…検査対象、６ａ…本体部、６ｂ…パイプ部、６ｃ…隔壁、６ｄ…真空室、７…環状溝、８…ステージ部、９…シール部材、１０…ピン、１１…連通孔、１２…平坦面、１３…検査対象固定部、１４…クランプ部、１４ａ…第１の支持部材、１４ｂ…第２の支持部材、１４ｃ…アーム部材、１４ｄ…ロック部材、１４ｅ…押圧用ボルト、１５…パイプ保持部、１６…中空部、１６ａ…壁面、１７…支持ブロック、１８…押圧用ボルト、２５…第２導入口、２８…第１導出口、２９…凹部、３０…凹部、３１…検査ガス導入路、３２…検査ガス排気路、３３…第１導入口、３４…第１制御弁、３６…第２導出口、３７…第２制御弁、４１…第１の孔、４２…平坦面、４３…第２の孔、４４…テーパー面、４５…平坦面、４６…第３の孔、５１…パージガス流通路、５１ａ…第１の流路、５１ｂ…第２の流路、５２…第３導入口、５３…第３導出口、６１…ノズル、６２…第１の円筒、６３…第２の円筒、６４…テーパー面、６５…円筒面、６６…方向変更部、６７…フランジ部、６８…配管接続部、６８…配管接続部、６９…平坦面、７０…Ｏリング、７３…二重シールリング、７４…第１のＯリング、７５…第２のＯリング、１１０…チャンバ、１２０…ガス供給機構、１２１…第１制御弁、１２２…第１流量制御装置、１２３…第２制御弁、１２４…第２流量制御装置、１３０…ガス排気機構、１３１…排気弁、１４０…リーク検出機構、１４１…遮断弁、１４２…リークディテクタ、１４２Ａ…真空ポンプ、１４２Ｂ…測定器、１５１…パージガス供給装置、１５２…パージガス排気弁、１６０…指示受付部、１６５…出力部、１７０…コントローラ。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】